JP2001512897A - 真空処理システム用の現場込めシールを備えた２ピース式スリットバルブドア - Google Patents
真空処理システム用の現場込めシールを備えた２ピース式スリットバルブドアInfo
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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Abstract
(57)【要約】
真空処理システムは、真空室におけるスリットバルブを閉じるため、装着部材に装着されるシールプレートを含む２ピース式スリットバルブドアを有する。スリットバルブに実際に接触するピースであるシールプレートは、接触を行うと共に、ドア及びバルブ間の金属同士の接触を防止するために、現場込めシールを有する。このシールは、放物線形状を有し、その圧縮及び封止能力を高めるために溝内で接着剤により結合される。シールプレートはサービス又は交換を容易にするため取り外し可能である。シールプレートとその装着部材間の金属同士の接触により発生する如何なる粒子も２ピース間の周辺を囲んで静的に封止するO-リングによって捕獲される。
Description
【０００１】
本発明は、一般的に、シリコンウェハのようなウェハ上に集積回路を製作する
ための真空システムに関するものである。特に、本発明は、真空処理システムに
おける２つのチャンバ間のスリットバルブ開口をシールするバルブドアに関する
ものである。
ための真空システムに関するものである。特に、本発明は、真空処理システムに
おける２つのチャンバ間のスリットバルブ開口をシールするバルブドアに関する
ものである。
【０００２】
ウェハ上に集積回路を製作するための真空システムは一般に知られている。真
空処理システムは１つのプロセス室又はロードロック室から次のチャンバもしく
は室へウェハを搬送するため、搬送チャンバと呼ばれる真空室を中央に有し、こ
れは主フレームの一部となる。また、真空処理システムは、処理のためウェハを
次のシステムへ送るべく、該ウェハをロードロック室及び他のチャンバに供給し
、そして該ウェハを集め戻すため、ミニエンバイロメントのようなある種のサブ
システムを有するのが一般的である。時には、この搬送チャンバに周辺チャンバ
及び準備領域を加えてクラスターツールと呼ぶことがある。
空処理システムは１つのプロセス室又はロードロック室から次のチャンバもしく
は室へウェハを搬送するため、搬送チャンバと呼ばれる真空室を中央に有し、こ
れは主フレームの一部となる。また、真空処理システムは、処理のためウェハを
次のシステムへ送るべく、該ウェハをロードロック室及び他のチャンバに供給し
、そして該ウェハを集め戻すため、ミニエンバイロメントのようなある種のサブ
システムを有するのが一般的である。時には、この搬送チャンバに周辺チャンバ
及び準備領域を加えてクラスターツールと呼ぶことがある。
【０００３】 例えば搬送チャンバとプロセス室の１つとの間のように、２つの真空室の間に
は、スリットバルブがある。このスリットバルブは、一般的に、２つの真空室間
の物理的アクセスを可能にするための細長い矩形開口である。例えば、スリット
バルブが開いているときには、搬送チャンバにあるロボットが、長くて細いブレ
ードを使用して、１つの真空室からウェハを取り出し、それをもう１つの真空室
に挿入する。
は、スリットバルブがある。このスリットバルブは、一般的に、２つの真空室間
の物理的アクセスを可能にするための細長い矩形開口である。例えば、スリット
バルブが開いているときには、搬送チャンバにあるロボットが、長くて細いブレ
ードを使用して、１つの真空室からウェハを取り出し、それをもう１つの真空室
に挿入する。
【０００４】 ウェハを真空室に挿入した後、スリットバルブは閉じられスリットバルブドア
で封止される。このスリットバルブドアは、２つのチャンバもしくは室間の圧力
差によりスリットバルブを介してガス漏れが起きないように、スリットバルブの
ための気密シールを形成しなければならない。また、スリットバルブドアのため
のより良好な気密シールを形成するために、スリットバルブ開口内に金属製イン
サートが配置される。
で封止される。このスリットバルブドアは、２つのチャンバもしくは室間の圧力
差によりスリットバルブを介してガス漏れが起きないように、スリットバルブの
ための気密シールを形成しなければならない。また、スリットバルブドアのため
のより良好な気密シールを形成するために、スリットバルブ開口内に金属製イン
サートが配置される。
【０００５】 スリットバルブドアは、一般的に、金属から形成されていた。スリットバルブ
ドア及び金属製インサート間の金属同士の接触は非常に良いシールを提供するが
、金属同士の接触は微細な粒子を生成し、これが金属を掻き落として、さもなけ
れば比較的にクリーンな真空室の環境に入り込む。かかる粒子は、チャンバもし
くは室内のウェハ上に降り落ちて、ウェハを汚染する。かかる汚染はウェハの処
理において全く望ましくない。
ドア及び金属製インサート間の金属同士の接触は非常に良いシールを提供するが
、金属同士の接触は微細な粒子を生成し、これが金属を掻き落として、さもなけ
れば比較的にクリーンな真空室の環境に入り込む。かかる粒子は、チャンバもし
くは室内のウェハ上に降り落ちて、ウェハを汚染する。かかる汚染はウェハの処
理において全く望ましくない。
【０００６】 スリットバルブからの粒子による汚染を低減するため、スリットバルブドアに
ある溝にO-リングを配置するのが一般的である。従って、金属同士の接触が避け
られるので、それにより粒子の発生がなくなる。また、O-リングはスリットバル
ブに対して満足すべきシールを提供する。
ある溝にO-リングを配置するのが一般的である。従って、金属同士の接触が避け
られるので、それにより粒子の発生がなくなる。また、O-リングはスリットバル
ブに対して満足すべきシールを提供する。
【０００７】 O-リング及びスリットバルブ間のシールは静的ではなく、むしろ常時開いたり
閉じたりして、スリットバルブインサートからO-リングに作用する擦れや摩耗が
あるので、特にO-リングからは、依然として多少の粒子の発生がある。この粒子
発生を止める試みは全く成功していなかった。
閉じたりして、スリットバルブインサートからO-リングに作用する擦れや摩耗が
あるので、特にO-リングからは、依然として多少の粒子の発生がある。この粒子
発生を止める試みは全く成功していなかった。
【０００８】 O-リングから粒子が発生する別の原因は、O-リングをスリットバルブドアの所
定位置に保持する溝もしくはグランドの形状に由来する擦れや摩耗であった。Ｉ
Ｃチップを不良品にするのに十分な、０.３ミクロン及びそれ以下の過度の粒子 発生がユーザーから報告されていた。この多くの粒子発生はＩＣチップを不良品
にするのに十分である。図１に示すように、O-リング２はアリ溝状のチャンネル
４内に配置されていた。O-リング２は、角部６間の距離より大きな直径を有する
が、ゴムのような可撓性材料で形成されているので、グランド４の形に変形する
。従って、O-リング２はグランド４の側部８及び底部９によって所定位置に保持
されるが、ある場合には、スリットバルブ作動中にO-リング２がグランドから実
際に抜け出てしまうことがあった。スリットバルブインサート７の表面がO-リン
グ２を押圧するときに、O-リング２は矢印Ａの方向に圧縮される。この圧縮によ
りO-リング２が外方に拡張して側部８にあたる。この動作は側部８にあたるO-リ
ング２に摩耗を生じさせる。また、鋭い角部６はO-リング２に、より悪質な摩耗
を生じさせる。かかる摩耗の全てが粒子を発生させ、真空室におけるウェハを汚
染させることになる。
定位置に保持する溝もしくはグランドの形状に由来する擦れや摩耗であった。Ｉ
Ｃチップを不良品にするのに十分な、０.３ミクロン及びそれ以下の過度の粒子 発生がユーザーから報告されていた。この多くの粒子発生はＩＣチップを不良品
にするのに十分である。図１に示すように、O-リング２はアリ溝状のチャンネル
４内に配置されていた。O-リング２は、角部６間の距離より大きな直径を有する
が、ゴムのような可撓性材料で形成されているので、グランド４の形に変形する
。従って、O-リング２はグランド４の側部８及び底部９によって所定位置に保持
されるが、ある場合には、スリットバルブ作動中にO-リング２がグランドから実
際に抜け出てしまうことがあった。スリットバルブインサート７の表面がO-リン
グ２を押圧するときに、O-リング２は矢印Ａの方向に圧縮される。この圧縮によ
りO-リング２が外方に拡張して側部８にあたる。この動作は側部８にあたるO-リ
ング２に摩耗を生じさせる。また、鋭い角部６はO-リング２に、より悪質な摩耗
を生じさせる。かかる摩耗の全てが粒子を発生させ、真空室におけるウェハを汚
染させることになる。
【０００９】 スリットバルブドアにおいて使用されるO-リングの別の問題は、O-リングがス
リットバルブ座面にくっ付くことがあるので、ドアが開くときに、O-リングが部
分的に引っ張られてアリ溝の外に出てしまい、O-リングが損傷したり、粒子が発
生したり、チャンバの早期のサービスもしくは点検等を必要とすることである。
リットバルブ座面にくっ付くことがあるので、ドアが開くときに、O-リングが部
分的に引っ張られてアリ溝の外に出てしまい、O-リングが損傷したり、粒子が発
生したり、チャンバの早期のサービスもしくは点検等を必要とすることである。
【００１０】 また、金属同士の接触が起きるときにO-リングに作用するスクイズの量は、過
度の圧縮及び押出しによりO-リングを早期に破壊させるほどである。過度の圧縮
は、簡単に解決できないシステムの問題である。例えば、２００mmのウェハで使
用するように設計されたドアに８０psig の空気圧力が作用する場合、直径８０m
mの作動シリンダによって出される力は８２２lbである。O-リングシールは、直 線長さインチ当り(pli) １５ポンド又は総計力２８８lb の通常の作動用に設計 されている。別の例においては、搬送チャンバが真空であり、プロセス室が大気
圧であれば、シールを１５pli に圧縮し続けておくと共に、大気が搬送チャンバ
に漏れないようにしておくために、作動装置は４６４lb の力が要る。これだけ の量の力がシステムの通常の作動中に作用すれば、O-リングは厳しい過度の圧縮
を受けることになる。
度の圧縮及び押出しによりO-リングを早期に破壊させるほどである。過度の圧縮
は、簡単に解決できないシステムの問題である。例えば、２００mmのウェハで使
用するように設計されたドアに８０psig の空気圧力が作用する場合、直径８０m
mの作動シリンダによって出される力は８２２lbである。O-リングシールは、直 線長さインチ当り(pli) １５ポンド又は総計力２８８lb の通常の作動用に設計 されている。別の例においては、搬送チャンバが真空であり、プロセス室が大気
圧であれば、シールを１５pli に圧縮し続けておくと共に、大気が搬送チャンバ
に漏れないようにしておくために、作動装置は４６４lb の力が要る。これだけ の量の力がシステムの通常の作動中に作用すれば、O-リングは厳しい過度の圧縮
を受けることになる。
【００１１】
過度の圧縮問題を解決する１つの方法は、容易に調節可能な機械的ストッパを
備えた作動シリンダを使用することである。作動シリンダはスリットバルブドア
を開閉する装置である。機械的ストッパはシールの圧縮を0.003~0.005インチ以 内に設定することを可能にする。この範囲は、５２０lb 即ち直線長さインチ当 り約２７lb の最大圧縮力を与え、これは、大抵のシール材料の圧縮上限以下で ある。しかし、作動シリンダの機械的ストッパは、O-リングの摩耗及び粒子発生
問題の全てを解決するものではない。
備えた作動シリンダを使用することである。作動シリンダはスリットバルブドア
を開閉する装置である。機械的ストッパはシールの圧縮を0.003~0.005インチ以 内に設定することを可能にする。この範囲は、５２０lb 即ち直線長さインチ当 り約２７lb の最大圧縮力を与え、これは、大抵のシール材料の圧縮上限以下で ある。しかし、作動シリンダの機械的ストッパは、O-リングの摩耗及び粒子発生
問題の全てを解決するものではない。
【００１２】 従って、発生される粒子の数が先行技術と比較して少なく、サービス又は除去
が容易で、長い供用寿命を有するスリットバルブシールを提供する真空処理シス
テムを取得することが望ましい。
が容易で、長い供用寿命を有するスリットバルブシールを提供する真空処理シス
テムを取得することが望ましい。
【００１３】
真空処理システムは、シールプレートでスリットバルブを開閉し、該シールプ
レートは、その周辺まわりの溝内で現場込めされるシールを有する。このシール
プレートは、スリットバルブドアに装着してもよいし、或いはサービスもしくは
点検等又は交換のため容易に取り外せるように、弁座の一部を形成してもよい。
シールプレート及びその装着部材間のシールリングは、シールプレート及びその
装着部材間の接触の際に発生した粒子を捕獲する。装着部材の周辺近くにある隆
起部は、シールプレートとの接触を行い、また、現場込めシールと整列している
。シールリングはこの隆起部よりも高いので、シールプレートが装着部材に接触
するときには、縮められる。
レートは、その周辺まわりの溝内で現場込めされるシールを有する。このシール
プレートは、スリットバルブドアに装着してもよいし、或いはサービスもしくは
点検等又は交換のため容易に取り外せるように、弁座の一部を形成してもよい。
シールプレート及びその装着部材間のシールリングは、シールプレート及びその
装着部材間の接触の際に発生した粒子を捕獲する。装着部材の周辺近くにある隆
起部は、シールプレートとの接触を行い、また、現場込めシールと整列している
。シールリングはこの隆起部よりも高いので、シールプレートが装着部材に接触
するときには、縮められる。
【００１４】 一つの側面によれば、現場込めシールは、スリットバルブ近くに放物線形状を
有し、溝に向かって、該溝に適合する輪郭を有する。シールに働く力によって、
シールは、その力が加えられた方向に縮められ、圧縮力に直角の方向に広がり、
溝の側部を押圧する。現場込めシールは溝に接着剤で結合されるか、或いは別の
手段でその中に取り付けられる。
有し、溝に向かって、該溝に適合する輪郭を有する。シールに働く力によって、
シールは、その力が加えられた方向に縮められ、圧縮力に直角の方向に広がり、
溝の側部を押圧する。現場込めシールは溝に接着剤で結合されるか、或いは別の
手段でその中に取り付けられる。
【００１５】
本発明の上述した特徴、利点及び目的を達成する方法が詳細に理解できるよう
に、上述のように要約した本発明について、添付図面に例示した実施形態を参照
することにより、もっと特定的に説明する。
に、上述のように要約した本発明について、添付図面に例示した実施形態を参照
することにより、もっと特定的に説明する。
【００１６】 しかしながら、添付図面は、本発明の代表的な実施形態を例示するに過ぎず、
本発明にはその他の同様に効果的な実施形態の余地があるので、本発明の範囲を
限定するものと考えてはならない。
本発明にはその他の同様に効果的な実施形態の余地があるので、本発明の範囲を
限定するものと考えてはならない。
【００１７】 図２は、中央の真空式搬送チャンバ１２に取り付けられた一連の真空室１４を
総括的に示す真空処理システム１０の上面概略図である。１対の真空ロードロッ
ク室１６はミニエンバイロメント１８への通路を提供するように示されている。
ポッドローダ２０はミニエンバイロメント１８に取り付けて示されている。この
システムはクラスターツールの例である。
総括的に示す真空処理システム１０の上面概略図である。１対の真空ロードロッ
ク室１６はミニエンバイロメント１８への通路を提供するように示されている。
ポッドローダ２０はミニエンバイロメント１８に取り付けて示されている。この
システムはクラスターツールの例である。
【００１８】 この構成において、真空室１４は、気密シールのところで搬送チャンバ１２に
接続することができ、該気密シールは、チャンバもしくは室１２，１４，１６の
真空を失うことなく２つのチャンバもしくは室１２，１４，１６間にウェハを通
過させることを可能にする。ポッドローダ２０は、ミニエンバイロメント１８に
取り付けられていて、作業員により或いは自動機械によりウェハカセット（ウェ
ハホルダ）を装荷される。この自動機械は、真空処理システム１０を格納する製
造プラントもしくは建屋の全自動製造システムの一部である。ミニエンバイロメ
ント１８内のロボット（図示せず）は、ウェハをポッドローダ２０からロードロ
ック室１２に移動させ、そして再び逆戻りさせ得る。搬送チャンバ１２内でウェ
ハを移動させるためのアーム及びブレードを有するロボット（図示せず）は、ウ
ェハをロードロック室１６の１つからプロセス室１４に、そしてロードロック室
１６の１つに戻すように移動させ得る。
接続することができ、該気密シールは、チャンバもしくは室１２，１４，１６の
真空を失うことなく２つのチャンバもしくは室１２，１４，１６間にウェハを通
過させることを可能にする。ポッドローダ２０は、ミニエンバイロメント１８に
取り付けられていて、作業員により或いは自動機械によりウェハカセット（ウェ
ハホルダ）を装荷される。この自動機械は、真空処理システム１０を格納する製
造プラントもしくは建屋の全自動製造システムの一部である。ミニエンバイロメ
ント１８内のロボット（図示せず）は、ウェハをポッドローダ２０からロードロ
ック室１２に移動させ、そして再び逆戻りさせ得る。搬送チャンバ１２内でウェ
ハを移動させるためのアーム及びブレードを有するロボット（図示せず）は、ウ
ェハをロードロック室１６の１つからプロセス室１４に、そしてロードロック室
１６の１つに戻すように移動させ得る。
【００１９】 真空室１４は、ウェハ上に集積回路を製作するための一連のプロセスにおいて
ウェハに対しある種の処理を行う、化学気相堆積（ＣＶＤ）室，物理気相堆積（
ＰＶＤ）室，エッチング室等のような数種のプロセス室のうちの１つである。真
空室の製造者にとって、各真空室がある共通の特徴を有するが、ウェハに対して
異なる処理を行う２０種を超えるかかるプロセス室を有することは、異常なこと
ではない。
ウェハに対しある種の処理を行う、化学気相堆積（ＣＶＤ）室，物理気相堆積（
ＰＶＤ）室，エッチング室等のような数種のプロセス室のうちの１つである。真
空室の製造者にとって、各真空室がある共通の特徴を有するが、ウェハに対して
異なる処理を行う２０種を超えるかかるプロセス室を有することは、異常なこと
ではない。
【００２０】 図３は、搬送チャンバ１２の内部が見られるように蓋体を除去した具体的搬送
チャンバ１２の斜視図である。開口２４を有する数個のスリットバルブ及びスリ
ットバルブインサート２８，３０，３２，３４の例が示されている。円形の開口
３６は、ウェハを搬送チャンバ１２の内側で移動させるためのアームを有するロ
ボットを通常支持するが、ロボットは、搬送チャンバ内部の他の詳細が観察でき
るように、ここには図示していない。開口３８は、図４に示すもののようなスリ
ットバルブドアを操作するための作動シリンダに対してアクセスを与える。作動
シリンダ及びスリットバルブドアは図示していないので、搬送チャンバ１２にお
ける他の特徴が観察できる。作動シリンダ及びスリットバルブドアの一例は、１
９９３年７月１３日に発行された米国特許第5,226,632号に示され記載されてい る。これは、参照によって、以下に十分に記載されているかのようにここに組み
込まれる。
チャンバ１２の斜視図である。開口２４を有する数個のスリットバルブ及びスリ
ットバルブインサート２８，３０，３２，３４の例が示されている。円形の開口
３６は、ウェハを搬送チャンバ１２の内側で移動させるためのアームを有するロ
ボットを通常支持するが、ロボットは、搬送チャンバ内部の他の詳細が観察でき
るように、ここには図示していない。開口３８は、図４に示すもののようなスリ
ットバルブドアを操作するための作動シリンダに対してアクセスを与える。作動
シリンダ及びスリットバルブドアは図示していないので、搬送チャンバ１２にお
ける他の特徴が観察できる。作動シリンダ及びスリットバルブドアの一例は、１
９９３年７月１３日に発行された米国特許第5,226,632号に示され記載されてい る。これは、参照によって、以下に十分に記載されているかのようにここに組み
込まれる。
【００２１】 図４は、シールプレート４２及び装着部材４４を有する２ピース式スリットバ
ルブドアの側面図である。シールプレート４２及び装着部材４４はアルミニウム
又はステンレス鋼のような金属で製作するのが典型的である。シールプレート４
２及び装着部材４４間にあるのは２ピース４２，４４間をシールするためのO-リ
ング４６である。シールプレート４２の前面４８上にあるのは、スリットバルブ
インサート２８，３０，３２，３４と接触、或いはその上に形成された座部と接
触するための現場込めシール５０である。シールプレート４２は、一連のネジを
含む適当な手段により装着部材４４に取り付けうる。この手段は、シールプレー
ト４２を装着部材４４から取り外すことを許容する。シールプレート４２の取外
しはプレート４２のサービス或いは交換を容易にする。従って、連続使用のため
シールプレート４２が摩耗したときには、シールプレート４２全体を交換し得る
。また、装着部材４４と、スリットバルブドア４０を動かしてスリットバルブイ
ンサート２８にあてる作動シリンダとは非常に切り離すことが難しいので、シー
ルプレート４２を取り外し可能とする方が、ドア４０及び/又は関連のドアアセ ンブリの全体を取り外し可能とするよりも、容易で且つ安価である。
ルブドアの側面図である。シールプレート４２及び装着部材４４はアルミニウム
又はステンレス鋼のような金属で製作するのが典型的である。シールプレート４
２及び装着部材４４間にあるのは２ピース４２，４４間をシールするためのO-リ
ング４６である。シールプレート４２の前面４８上にあるのは、スリットバルブ
インサート２８，３０，３２，３４と接触、或いはその上に形成された座部と接
触するための現場込めシール５０である。シールプレート４２は、一連のネジを
含む適当な手段により装着部材４４に取り付けうる。この手段は、シールプレー
ト４２を装着部材４４から取り外すことを許容する。シールプレート４２の取外
しはプレート４２のサービス或いは交換を容易にする。従って、連続使用のため
シールプレート４２が摩耗したときには、シールプレート４２全体を交換し得る
。また、装着部材４４と、スリットバルブドア４０を動かしてスリットバルブイ
ンサート２８にあてる作動シリンダとは非常に切り離すことが難しいので、シー
ルプレート４２を取り外し可能とする方が、ドア４０及び/又は関連のドアアセ ンブリの全体を取り外し可能とするよりも、容易で且つ安価である。
【００２２】 現場込めシール５０は、ウェハ処理の要件に適合する多種のフルオロカーボン
及び過フルオロエラストマーのような、シール５０が経験する動的荷重下で粒子
が発生しても、多くは発生させない任意の適当な材料から製作することができる
。適当な材料は、Viton(ヴァイトン・登録商標)７３１，ＨＰＶ７５又はＨＰ− １のようなフルオロカーボンエラストマーであり、これらはそれぞれ、ペンシル
バニア州クルプスヴィル所在のグリーン-トウィード社(Greene-Tweed & Co. at
Kulpsville, PA)，デラウエア州ウイルミントン所在のイー・アイ・デュポン， デュポンポリマー事業部(E. I. DuPont, DuPont Polymers Division at Wilming
ton, DE) 又はカリフォルニア州サンディエゴ所在のパーカーハナフィン社の子 会社であるパーカーシール(Parker Seal, subsidiary of Parker Hanafin Corp.
at San Diego, CA)から入手可能である。しかし、ここに記載する動的荷重下で
些少の量の粒子を発生させるに過ぎない他の材料を使用してもよい。
及び過フルオロエラストマーのような、シール５０が経験する動的荷重下で粒子
が発生しても、多くは発生させない任意の適当な材料から製作することができる
。適当な材料は、Viton(ヴァイトン・登録商標)７３１，ＨＰＶ７５又はＨＰ− １のようなフルオロカーボンエラストマーであり、これらはそれぞれ、ペンシル
バニア州クルプスヴィル所在のグリーン-トウィード社(Greene-Tweed & Co. at
Kulpsville, PA)，デラウエア州ウイルミントン所在のイー・アイ・デュポン， デュポンポリマー事業部(E. I. DuPont, DuPont Polymers Division at Wilming
ton, DE) 又はカリフォルニア州サンディエゴ所在のパーカーハナフィン社の子 会社であるパーカーシール(Parker Seal, subsidiary of Parker Hanafin Corp.
at San Diego, CA)から入手可能である。しかし、ここに記載する動的荷重下で
些少の量の粒子を発生させるに過ぎない他の材料を使用してもよい。
【００２３】 シール５０は、スリットバルブドアのO-リングシールに関連した短いシール寿
命、弱い封止、粒子発生，O-リング脱出のような諸問題を超克するのに役立つ。
また、これは金属同士の接触，シール／ドアグランドの摩耗，O-リング固着，O-
リング据付等による諸問題を排除する。
命、弱い封止、粒子発生，O-リング脱出のような諸問題を超克するのに役立つ。
また、これは金属同士の接触，シール／ドアグランドの摩耗，O-リング固着，O-
リング据付等による諸問題を排除する。
【００２４】 図５は、シールプレート４２の前面４８の平面図である。現場込めシール５０
は、前面４８の周りに形成された溝５８の中に成形される。このシールはシール
プレート４２に対して加硫される。従って、シールプレート４２の製作の際に、
シール５０はシールプレート４２に恒久的に取り付けられる。シール５０は接着
剤により溝５８の金属表面に接合しうる。適当な接着剤の例は、ペンシルバニア
州エリーにあるロード社，エラストマープロダクツ(Lord Corporation, Elastom
er Products of Erie, Pennsylvania) から入手しうる Chemlok Y1520A 接着剤 である。現場込めシールは、前述したような溝内におけるO-リングの擦れ及び磨
耗に関連した問題を排除する。装着部材４４の外周の概略寸法はシールプレート
４２の外周に適合する。シール５０と同じ断面を有する、現場成形ではないが、
シールプレート４２を取り外し可能とする必要がないように、どちらかと言えば
取り外し可能であるシールリング（後述する）が、本発明によって企図されてい
る。
は、前面４８の周りに形成された溝５８の中に成形される。このシールはシール
プレート４２に対して加硫される。従って、シールプレート４２の製作の際に、
シール５０はシールプレート４２に恒久的に取り付けられる。シール５０は接着
剤により溝５８の金属表面に接合しうる。適当な接着剤の例は、ペンシルバニア
州エリーにあるロード社，エラストマープロダクツ(Lord Corporation, Elastom
er Products of Erie, Pennsylvania) から入手しうる Chemlok Y1520A 接着剤 である。現場込めシールは、前述したような溝内におけるO-リングの擦れ及び磨
耗に関連した問題を排除する。装着部材４４の外周の概略寸法はシールプレート
４２の外周に適合する。シール５０と同じ断面を有する、現場成形ではないが、
シールプレート４２を取り外し可能とする必要がないように、どちらかと言えば
取り外し可能であるシールリング（後述する）が、本発明によって企図されてい
る。
【００２５】 図６は、弁座５４が形成されたスリットバルブインサート２８の切欠き図であ
る。スリットバルブインサート２８の右端部は拡大して図を示すため切り取られ
ている。インサート２８は、２ピース、即ちスリットバルブ開口２４に滑入する
外側部分２９と、この外側部分２９に滑入する内側部分３１とを含むものとして
示されている。外側部分２９の後面５２は搬送チャンバ１２の内部に面する。内
側部分３１の斜め後面５４は搬送チャンバ１２の内部に向かって臨んでいるが、
下向き角度で面している。後面５４は、シールプレート４２のシール５０と協働
してスリットバルブを封止するための座を形成している。内側部分３１の外向き
面はプロセス室１４と共にシールのための座を形成している。スリットバルブ開
口２４内において、開口５６が搬送チャンバ１２及びプロセス室１４間の実際の
開口である。
る。スリットバルブインサート２８の右端部は拡大して図を示すため切り取られ
ている。インサート２８は、２ピース、即ちスリットバルブ開口２４に滑入する
外側部分２９と、この外側部分２９に滑入する内側部分３１とを含むものとして
示されている。外側部分２９の後面５２は搬送チャンバ１２の内部に面する。内
側部分３１の斜め後面５４は搬送チャンバ１２の内部に向かって臨んでいるが、
下向き角度で面している。後面５４は、シールプレート４２のシール５０と協働
してスリットバルブを封止するための座を形成している。内側部分３１の外向き
面はプロセス室１４と共にシールのための座を形成している。スリットバルブ開
口２４内において、開口５６が搬送チャンバ１２及びプロセス室１４間の実際の
開口である。
【００２６】 スリットバルブドア４０は、その前面４８が保持されている平面に対して垂直
な方向に、開口３８外に突出する作動シリンダによって作動される。シール５０
はインサート２８の内側部分３１の斜め後面５４と本質的に適合する。開口３８
外に突出する作動シリンダはスリットバルブドア４０を押し上げてスリットバル
ブインサート２８に当てるので、現場込めシール５０が後面５４に係合し、開口
５６の周り全体に気密シールを形成する。従って、スリットバルブ開口２４がそ
のスリットバルブドア４０によって閉じられているときには、搬送チャンバ１２
か或いはプロセス室１４の圧力は、２つの室もしくはチャンバ間の漏れなしに、
必要に応じて変えることができる。
な方向に、開口３８外に突出する作動シリンダによって作動される。シール５０
はインサート２８の内側部分３１の斜め後面５４と本質的に適合する。開口３８
外に突出する作動シリンダはスリットバルブドア４０を押し上げてスリットバル
ブインサート２８に当てるので、現場込めシール５０が後面５４に係合し、開口
５６の周り全体に気密シールを形成する。従って、スリットバルブ開口２４がそ
のスリットバルブドア４０によって閉じられているときには、搬送チャンバ１２
か或いはプロセス室１４の圧力は、２つの室もしくはチャンバ間の漏れなしに、
必要に応じて変えることができる。
【００２７】 図７は、図５の７−７線に沿った断面であり、前面４８の周囲近くに溝５８が
形成されたシールプレート４２の縁部を示している。現場込めシール５０は溝５
８内に示されている。シール５０の底部輪郭は溝５８の表面に合っている。図８
は同じ断面であるが、溝５８をもっと良く示すように、シール５０は存在しない
。溝５８は上向きに湾曲する縁部もしくは側部を有し、その端部は前面４８に対
して殆ど垂直、即ち直角である。溝５８のこれらの側部が、後述するようにシー
ル５０のために付加的な圧縮上の利点を提供する。溝の内側の面は、シール５０
の材料と溝５８との間の接着を強くするために、６０−グリットブラスト仕上げ
から得られる粗面である必要がある。
形成されたシールプレート４２の縁部を示している。現場込めシール５０は溝５
８内に示されている。シール５０の底部輪郭は溝５８の表面に合っている。図８
は同じ断面であるが、溝５８をもっと良く示すように、シール５０は存在しない
。溝５８は上向きに湾曲する縁部もしくは側部を有し、その端部は前面４８に対
して殆ど垂直、即ち直角である。溝５８のこれらの側部が、後述するようにシー
ル５０のために付加的な圧縮上の利点を提供する。溝の内側の面は、シール５０
の材料と溝５８との間の接着を強くするために、６０−グリットブラスト仕上げ
から得られる粗面である必要がある。
【００２８】 図９は、スリットバルブドア４０の縁部の図７と同じ断面を示すが、シールプ
レート４２及び装着部材４４の双方を含んでいる。装着部材４４は、シールプレ
ート４２の底面７２と本質的に適合する頂面７０を有する。隆起部７４は頂面７
０から突き出て、シール５０が図５において前面４８の周辺近くの周りで連続し
て延びているのとほぼ同様の仕方で、同頂面７０の周辺近くで装着部材４４の周
りに連続しているので、隆起部７４は本質的にシール５０と整列する。O-リング
４６は隆起部７４及び頂面７０により形成された棚部上に座っている。このよう
に、面７０，７２及び隆起部７４は効果的に溝を形成し、その中にO-リング４６
が着座する。代替的な実施形態においては、O-リング４６は、装着部材４４の外
周と適合するほぼ矩形のリングに形成してもよい。
レート４２及び装着部材４４の双方を含んでいる。装着部材４４は、シールプレ
ート４２の底面７２と本質的に適合する頂面７０を有する。隆起部７４は頂面７
０から突き出て、シール５０が図５において前面４８の周辺近くの周りで連続し
て延びているのとほぼ同様の仕方で、同頂面７０の周辺近くで装着部材４４の周
りに連続しているので、隆起部７４は本質的にシール５０と整列する。O-リング
４６は隆起部７４及び頂面７０により形成された棚部上に座っている。このよう
に、面７０，７２及び隆起部７４は効果的に溝を形成し、その中にO-リング４６
が着座する。代替的な実施形態においては、O-リング４６は、装着部材４４の外
周と適合するほぼ矩形のリングに形成してもよい。
【００２９】 装着部材４４及びシールプレート４２は、隆起部７４と底面７２との間に狭い
隙間を有して、図９に示されている。この配置においては、O-リング４６が隆起
部７４の高さよりも若干大きい直径を有することを示すために、シールプレート
４２及び装着部材４４は未だ確り互いにクランプされていない。従って、シール
プレート４２及び装着部材４４が確り互いにクランプされたときには、O-リング
４６は圧縮され所定位置に保持される。
隙間を有して、図９に示されている。この配置においては、O-リング４６が隆起
部７４の高さよりも若干大きい直径を有することを示すために、シールプレート
４２及び装着部材４４は未だ確り互いにクランプされていない。従って、シール
プレート４２及び装着部材４４が確り互いにクランプされたときには、O-リング
４６は圧縮され所定位置に保持される。
【００３０】 シールプレート４２及び装着部材４４が複数のネジ或いはその他の適当なクラ
ンプ手段により確り互いにクランプされたときには、隆起部７４及び底面７２間
に金属同士の接触がある。前述のように、金属同士の接触は粒子を発生させるこ
とがあるので、O-リング４６は、金属同士の接触部を囲むシールを提供し、この
シールがその内部に粒子を捕獲して真空室への粒子の侵入を防止する。O-リング
４６と面７０，７２及び隆起部７４の接触は粒子を発生させない。シールは静止
しており、結合部は運動しないので、O-リング４６に作用する摩耗はなく、O-リ
ング４６は粒子を発生しない。
ンプ手段により確り互いにクランプされたときには、隆起部７４及び底面７２間
に金属同士の接触がある。前述のように、金属同士の接触は粒子を発生させるこ
とがあるので、O-リング４６は、金属同士の接触部を囲むシールを提供し、この
シールがその内部に粒子を捕獲して真空室への粒子の侵入を防止する。O-リング
４６と面７０，７２及び隆起部７４の接触は粒子を発生させない。シールは静止
しており、結合部は運動しないので、O-リング４６に作用する摩耗はなく、O-リ
ング４６は粒子を発生しない。
【００３１】 スリットバルブドア４０が押し上げられてスリットバルブにあたるときに、装
着部材４４がシールプレート４２を押し、そしてシール５０はインサート２８の
弁座５４と接触する。隆起部７４はシール５０と整列しているので、シールプレ
ート４２をスリットバルブに押圧する装着部材４４の力は、シール５０に直接集
中する。従って、隆起部７４は、シール５０が弁座５４とその周囲全体の周りに
良好な接触をすることを確実にする利点を提供する。そうではなく、面７０全体
が隆起部７４の高さのところにあれば、シールプレート４２はその中央において
出される力で変形されることになる。
着部材４４がシールプレート４２を押し、そしてシール５０はインサート２８の
弁座５４と接触する。隆起部７４はシール５０と整列しているので、シールプレ
ート４２をスリットバルブに押圧する装着部材４４の力は、シール５０に直接集
中する。従って、隆起部７４は、シール５０が弁座５４とその周囲全体の周りに
良好な接触をすることを確実にする利点を提供する。そうではなく、面７０全体
が隆起部７４の高さのところにあれば、シールプレート４２はその中央において
出される力で変形されることになる。
【００３２】 ２ピース式スリットバルブドア４０において装着部材４４上に隆起部７４を有
することの利点は、隆起部７４がないときに生ずる大きな接触面積の場合よりも
、装着部材４４及びシールプレート４２間の接触面積が小さくなって、発生する
粒子も少ないことである。
することの利点は、隆起部７４がないときに生ずる大きな接触面積の場合よりも
、装着部材４４及びシールプレート４２間の接触面積が小さくなって、発生する
粒子も少ないことである。
【００３３】 図１０はシール５０の拡大断面図である。スリットバルブインサート２８（図
６に示す）の斜め後面５４のような面６０は、放物線形状の上部輪郭６４の頂点
６２でシール５０を押圧する始まりから示されている。前面４８の平面はシール
５０の頂点６２のレベルよりも下方に示されている通りであり、従って、シール
５０は、前面４８が面６０に接触するよりも十分前に、面６０に接触する。上部
輪郭６４に切込みを入れずにトリミング装置によってシール５０の縁部６８をシ
ールプレート４２の前面４８と面一にそろえられるように、樋又は逃げ６６が、
シール５０の縁部６８近くで、上部輪郭６４の中に示されている。
６に示す）の斜め後面５４のような面６０は、放物線形状の上部輪郭６４の頂点
６２でシール５０を押圧する始まりから示されている。前面４８の平面はシール
５０の頂点６２のレベルよりも下方に示されている通りであり、従って、シール
５０は、前面４８が面６０に接触するよりも十分前に、面６０に接触する。上部
輪郭６４に切込みを入れずにトリミング装置によってシール５０の縁部６８をシ
ールプレート４２の前面４８と面一にそろえられるように、樋又は逃げ６６が、
シール５０の縁部６８近くで、上部輪郭６４の中に示されている。
【００３４】 図１１は、面６０が十分に上部輪郭６４の上を押しているときのシール５０の
断面を示している。シール５０はその最初の高さから縮められているが、面６０
がシールプレート４２の前面４８に触れることはない。縁部６８は応力下で膨ら
み、樋６６に最も近いその角部が最も大きく膨出するが、シール５０の底面全体
は溝５８に接着剤により接合されているので変形しない。樋６６は生じた応力に
より隆起を形成することがある。シール断面の放物線形状は、垂直軸心及び水平
軸心の双方における圧縮応力が横断面の領域全体にわたり均等に或いは一様に変
換されるように、最適化することができる。形状が高く且つ狭すぎれば、圧縮応
力がシールの中央に集中し、シールを湾曲させてしまうことにさえなる。形状が
短く且つ幅広すぎると、後述するような溝からの圧縮荷重増大或いは材料の強度
についての十分な利点を享受できないかも知れない。もし応力集中が小さな領域
において強すぎると、低集中応力の別の領域をあまり使用しなくても、破損にな
りうる。垂直軸心における高応力はシール材料を損傷させることがある。水平軸
心における高応力もまたシール材料を損傷させることがあるが、これは接着結合
のところでシール材料に裂けを生じさせる。
断面を示している。シール５０はその最初の高さから縮められているが、面６０
がシールプレート４２の前面４８に触れることはない。縁部６８は応力下で膨ら
み、樋６６に最も近いその角部が最も大きく膨出するが、シール５０の底面全体
は溝５８に接着剤により接合されているので変形しない。樋６６は生じた応力に
より隆起を形成することがある。シール断面の放物線形状は、垂直軸心及び水平
軸心の双方における圧縮応力が横断面の領域全体にわたり均等に或いは一様に変
換されるように、最適化することができる。形状が高く且つ狭すぎれば、圧縮応
力がシールの中央に集中し、シールを湾曲させてしまうことにさえなる。形状が
短く且つ幅広すぎると、後述するような溝からの圧縮荷重増大或いは材料の強度
についての十分な利点を享受できないかも知れない。もし応力集中が小さな領域
において強すぎると、低集中応力の別の領域をあまり使用しなくても、破損にな
りうる。垂直軸心における高応力はシール材料を損傷させることがある。水平軸
心における高応力もまたシール材料を損傷させることがあるが、これは接着結合
のところでシール材料に裂けを生じさせる。
【００３５】 このように、面６０からの圧力によるシール５０の圧縮応力は輪郭底面及び溝
５８に伝えられる。従って、応力は垂直成分及び水平成分の双方を有するので、
シール５０は外方へ広がって、前面４８にほぼ垂直な側部に至るまで溝５８を押
そうとする。溝５８の側部によってシール５０が閉じ込められるので、シール５
０の負荷能力が増す。その理由は、制限されていないシールよりも、閉じ込めら
れているシールの方が小さな変形でより大きな圧縮応力に達するからである。制
限されていないシールの頂点が下方に圧縮されるときに、シール内に付加的な圧
縮応力を発生させると言うよりは、シールが広がろうとしてその縁部が溝の外部
に滑り出る。そのようになる際に、制限されていないシールは、閉じ込められて
いるシールよりももっと低い圧縮応力下で変形する。従って、低圧縮応力で金属
同士の接触の危険性がある。
５８に伝えられる。従って、応力は垂直成分及び水平成分の双方を有するので、
シール５０は外方へ広がって、前面４８にほぼ垂直な側部に至るまで溝５８を押
そうとする。溝５８の側部によってシール５０が閉じ込められるので、シール５
０の負荷能力が増す。その理由は、制限されていないシールよりも、閉じ込めら
れているシールの方が小さな変形でより大きな圧縮応力に達するからである。制
限されていないシールの頂点が下方に圧縮されるときに、シール内に付加的な圧
縮応力を発生させると言うよりは、シールが広がろうとしてその縁部が溝の外部
に滑り出る。そのようになる際に、制限されていないシールは、閉じ込められて
いるシールよりももっと低い圧縮応力下で変形する。従って、低圧縮応力で金属
同士の接触の危険性がある。
【００３６】 上述したシール構造の別の利点はシール５０の気体透過性にある。どの材料も
ある程度の透過性を有し、そして高い透過性は真空室におけるシールにおいては
全く望ましくない。物質における透過性を制限する２つの要因は、該物質の密度
と、該物質を貫いて透過する距離とである。シール５０の断面の放物線形状によ
り、上述したように、シール５０の垂直方向の圧縮作用と溝５８による水平方向
の閉じ込め作用とが組み合わさって、他の仕方よりも、シール５０がより稠密に
固められ、従って、その透過性が効果的に低下する。また、図１１に示すように
面６０に接触する全面積の拡張により、シールは透過のための非常に長い距離を
有することになるので、その透過性が更に低下し、一層良好なシールを形成する
。この全接触面積は、前面４８とほぼ同じレベルにある垂直高さから測った放物
線の垂直方向中心線の各側で６０°、約１２０°の放物面上の主面に対応する臨
界領域と呼ばれることがある。
ある程度の透過性を有し、そして高い透過性は真空室におけるシールにおいては
全く望ましくない。物質における透過性を制限する２つの要因は、該物質の密度
と、該物質を貫いて透過する距離とである。シール５０の断面の放物線形状によ
り、上述したように、シール５０の垂直方向の圧縮作用と溝５８による水平方向
の閉じ込め作用とが組み合わさって、他の仕方よりも、シール５０がより稠密に
固められ、従って、その透過性が効果的に低下する。また、図１１に示すように
面６０に接触する全面積の拡張により、シールは透過のための非常に長い距離を
有することになるので、その透過性が更に低下し、一層良好なシールを形成する
。この全接触面積は、前面４８とほぼ同じレベルにある垂直高さから測った放物
線の垂直方向中心線の各側で６０°、約１２０°の放物面上の主面に対応する臨
界領域と呼ばれることがある。
【００３７】 図１２は、シール５０の前記断面についての理論荷重（直線長さインチ当りの
ポンド）対変形（インチ）の有限分析法から曲線で表示するグラフである。有限
分析法は、シール形状の断面のちょうど半分に対して行われているので、グラフ
における全ての荷重値は実際の荷重値と一致するには２倍にしなければならない
。実際の経験によると、特性は、この分析法が示すものよりも実際に少しはよか
った。グラフは、１２.４２ pliの荷重でシール５０が約１１.１ミリインチ（ミ
ル）の変形、即ち収縮を受けることを示している。約１６０ pliの荷重では、シ
ール５０は約３４ミル縮む。シール５０は図示の動的範囲全体において十分に働
くことが分かったが、経験した代表的な変形は、約１４ミル〜約２６ミルの範囲
内にのみあり、約１８pli〜約７４pliの範囲の荷重に相関する。比較すると、こ
れまで使用していたO-リングは約１２pli〜約２２pliのみの動的範囲を有してい
た。従って、シール５０の設計の際に圧縮力の許容範囲が広がり、金属同士の接
触の可能性が低くなる。
ポンド）対変形（インチ）の有限分析法から曲線で表示するグラフである。有限
分析法は、シール形状の断面のちょうど半分に対して行われているので、グラフ
における全ての荷重値は実際の荷重値と一致するには２倍にしなければならない
。実際の経験によると、特性は、この分析法が示すものよりも実際に少しはよか
った。グラフは、１２.４２ pliの荷重でシール５０が約１１.１ミリインチ（ミ
ル）の変形、即ち収縮を受けることを示している。約１６０ pliの荷重では、シ
ール５０は約３４ミル縮む。シール５０は図示の動的範囲全体において十分に働
くことが分かったが、経験した代表的な変形は、約１４ミル〜約２６ミルの範囲
内にのみあり、約１８pli〜約７４pliの範囲の荷重に相関する。比較すると、こ
れまで使用していたO-リングは約１２pli〜約２２pliのみの動的範囲を有してい
た。従って、シール５０の設計の際に圧縮力の許容範囲が広がり、金属同士の接
触の可能性が低くなる。
【００３８】 テストの結果、このシールは、従来のO-リング構造以上にシールの有効寿命を
改善することが分かった。換言すれば、O-リングは約５００荷重サイクル後に交
換しなければならないのに対して、上述したシールは数千荷重サイクル後まで交
換する必要がない。通常のO-リングシールよりも長い１３〜１５時間の交換間隔
が可能となった。従って、１つのシールプレート４２は１つのO-リングよりも相
当に高コストであるが、使用される数が少ないので、所有者の総コストは低減す
る筈である。作動シリンダの機械的ストッパと連係して使用される場合、シール
５０の有効寿命はもっと長くなり、また、１００℃以上の高温で使用される場合
、機械的ストッパの追加が推奨される。
改善することが分かった。換言すれば、O-リングは約５００荷重サイクル後に交
換しなければならないのに対して、上述したシールは数千荷重サイクル後まで交
換する必要がない。通常のO-リングシールよりも長い１３〜１５時間の交換間隔
が可能となった。従って、１つのシールプレート４２は１つのO-リングよりも相
当に高コストであるが、使用される数が少ないので、所有者の総コストは低減す
る筈である。作動シリンダの機械的ストッパと連係して使用される場合、シール
５０の有効寿命はもっと長くなり、また、１００℃以上の高温で使用される場合
、機械的ストッパの追加が推奨される。
【００３９】 上述の説明は本発明の好適な実施形態に向けられているが、本発明の基本的範
囲から逸脱することなくその他のまた更なる実施形態を工夫することができ、本
発明の範囲は以下の請求項によって決められる。
囲から逸脱することなくその他のまた更なる実施形態を工夫することができ、本
発明の範囲は以下の請求項によって決められる。
【図１】 O-リング及び溝の先行技術の図である。
【図２】 真空システムの頂部概略図である。
【図３】 蓋体を取り払った搬送チャンバの斜視図である。
【図４】 ２ピース式スリットバルブドアの側面図である。
【図５】 シールプレートの面の平面図である。
【図６】 スリットバルブインサートの切欠き部の斜視図である。
【図７】 現場込めシールを示すシールプレートの縁部の断面図である。
【図８】 現場込めシールのないシールプレートの縁部の断面図である。
【図９】 シールプレートの縁部及び装着部材の断面図である。
【図１０】 現場込めシールの拡大図である。
【図１１】 圧縮荷重下にある現場込めシールの拡大図である。
【図１２】 現場込めシールについて荷重対変形をプロットした図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｆ１６Ｋ 51/02 Ｈ０１Ｌ 21/302 Ｂ Ｆターム(参考） 3H053 AA02 AA22 AA31 BA34 DA09 3H066 AA03 BA19 BA38 3J040 AA01 AA12 AA17 BA01 EA07 EA16 FA05 HA02 HA15 HA30 5F004 AA16 BC01 BC06 5F045 EB10
Claims (19)
- 【請求項１】 真空処理システムであって、 少なくとも１つの他のチャンバと流体連通する２つ以上のチャンバと、 該２つ以上のチャンバ間の物理的アクセス及び分離を可能にするためのバルブ
と、 該バルブを開閉するためのシールプレートと、 該シールプレートの周辺近くで該シールプレートに設けられた溝と、 前記シールプレートが閉じられるときに前記バルブを封止するため前記溝内に
配置される現場込めシールと、 を備える真空処理システム。 - 【請求項２】 前記シールプレートが取り外し自在に装着される装着部材を
更に備えていて、 前記シールプレートを点検又は交換のため前記装着部材から取り外しうる請求
項１に記載の真空処理システム。 - 【請求項３】 前記装着部材及び前記シールプレートの間にあって、前記装
着部材及び前記シールプレートの周辺に沿って変位されるシールリングを更に備
え、前記シールプレートが前記装着部材の一部分に接触する部分を有する請求項
２に記載の真空処理システム。 - 【請求項４】 請求項１に記載の真空処理システムであって、更に、 前記シールプレートが装着される装着部材と、 前記装着部材及び前記シールプレートの間にあって、前記装着部材及び前記シ
ールプレートの周辺に沿って変位されるシールリングとを備え、 前記シールプレートが前記装着部材の一部分に接触する部分を有する真空処理
システム。 - 【請求項５】 真空処理システムであって、 少なくとも１つの他のチャンバと流体連通する２つ以上のチャンバと、 該２つ以上のチャンバ間の物理的アクセス及び分離を可能にするためのバルブ
と、 前記少なくとも１つの他のチャンバ内に配置される装着部材と、 シールを有し、前記装着部材に取り外し自在に装着され、該装着部材により偏
倚されて前記バルブにあたるシールプレートとを備えていて、 該シールプレートをサービス又は交換のため前記装着部材から取り外しうる真
空処理システム。 - 【請求項６】 真空処理システムであって、 少なくとも１つの他のチャンバと流体連通する２つ以上のチャンバと、 該２つ以上のチャンバ間の物理的アクセス及び分離を可能にするためのバルブ
と、 前記少なくとも１つの他のチャンバ内に配置される装着部材と、 シールを有し、前記装着部材に装着され、前記シールと一緒に偏倚されて前記
バルブにあたると共に、前記装着部分の一部分に接触する部分を有する、シール
プレートと、 前記装着部材及び前記シールプレートの間にあって、前記装着部材及び前記シ
ールプレートの周辺に沿って変位するシールリングと、 を備える真空処理システム。 - 【請求項７】 請求項６に記載の真空処理システムであって、 前記装着部材は実質的に平板状の面を有し、 前記シールプレートの前記部分に接触する前記装着部材の前記一部分が、前記
実質的に平板状の面の周辺近くにある隆起部であり、該隆起部が前記シールプレ
ートの前記シールと実質的に整列している真空処理システム。 - 【請求項８】 請求項７に記載の真空処理システムであって、 前記シールプレートは実質的に平板状の面を有し、 前記シールリングは、前記隆起部の外側面の近くで変位され、該隆起部よりも
高く延びていて、前記シールリングは、前記隆起部が前記シールプレートに接触
する前に、前記シールプレートの前記実質的に平板状の面と前記装着部材の前記
実質的に平板状の面とに接触し、前記隆起部が前記シールプレートに接触すると
きに、前記シールリングが縮むようになっている真空処理システム。 - 【請求項９】 真空処理システムにおいて使用するためのバルブドアであっ
て、 該真空処理システムのバルブを開閉するためのシールプレートと、 該シールプレートの周辺近くにある溝と、 前記シールプレートが閉じられているときに前記バルブを封止するため前記溝
内に配置される現場込めシールと、 を備えるバルブドア。 - 【請求項１０】 請求項９に記載のバルブドアであって、 前記シールプレートが取り外し自在に装着される装着部材を更に備えていて、 前記シールプレートをサービス又は交換のため前記装着部材から取り外しうる
バルブドア。 - 【請求項１１】 請求項１０に記載のバルブドアであって、 前記装着部材及び前記シールプレートの間にあって、前記装着部材及び前記シ
ールプレートの周辺に沿って変位されるシールリングを更に備え、 前記シールプレートが前記装着部材の一部分に接触する部分を有するバルブド
ア。 - 【請求項１２】 請求項９に記載のバルブドアであって、 前記シールプレートが装着される装着部材と、 前記装着部材及び前記シールプレートの間にあって、前記装着部材及び前記シ
ールプレートの周辺に沿って変位されるシールリングとを更に備え、前記シール
プレートが前記装着部材の一部分に接触する部分を有するバルブドア。 - 【請求項１３】 請求項９に記載のバルブドアであって、 前記現場込めシールは、前記バルブに接触するための実質的に放物線形状を有
するバルブドア。 - 【請求項１４】 請求項１３に記載のバルブドアであって、 前記放物線形状は、前記バルブに接触する前記現場込めシールの側が凸であり
、 前記放物線形状とは反対側の前記現場込めシールの側は、前記溝に適合する輪
郭を有し、 前記シールプレートは、前記溝が配置される実質的に平板状の面を有し、 前記溝は、前記シールプレートの前記平板状の面に対して実質的に垂直な側辺
を有しており、 前記放物線形状の頂点にかかる圧力によって、前記現場込めシールが実質的に
垂直方向に縮み、実質的に横方向に広がって、前記溝の前記側辺を押圧するバル
ブドア。 - 【請求項１５】 請求項９に記載のバルブドアであって、 前記現場込めシール前記溝の面に接着剤により結合されるバルブドア。
- 【請求項１６】 真空処理システムにおいて使用するためのバルブドアであ
って、 装着部材と、 シールを有し、前記装着部材に取り外し自在に装着され、該装着部材により偏
倚されて前記バルブにあたるシールプレートとを備えていて、 該シールプレートをサービス又は交換のため前記装着部材から取り外しうるバ
ルブドア。 - 【請求項１７】 真空処理システムにおいて使用するためのバルブドアであ
って、 装着部材と、 シールを有し、前記装着部材に装着され、前記シールと一緒に偏倚されて前記
真空処理システムにあるバルブにあたると共に、前記装着部分の一部分に接触す
る部分を有する、シールプレートと、 前記装着部材及び前記シールプレートの間にあって、前記装着部材及び前記シ
ールプレートの周辺に沿って変位するシールリングと、 を備えるバルブドア。 - 【請求項１８】 請求項１７に記載のバルブドアであって、 前記装着部材は実質的に平板状の面を有し、 前記シールプレートの前記部分に接触する前記装着部材の前記一部分が、前記
実質的に平板状の面の周辺近くにある隆起部であり、該隆起部が前記シールプレ
ートの前記シールと実質的に整列しているバルブドア。 - 【請求項１９】 請求項１８に記載のバルブドアであって、 前記シールプレートは実質的に平板状の面を有し、 前記シールリングは、前記隆起部の外側面の近くで変位され、該隆起部よりも
高く延びていて、前記シールリングは、前記隆起部が前記シールプレートに接触
する前に、前記シールプレートの前記実質的に平板状の面と前記装着部材の前記
実質的に平板状の面とに接触し、前記隆起部が前記シールプレートに接触すると
きに、前記シールリングが縮むようになっているバルブドア。
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