JP3012020B2 - 真空バルブ装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、真空室の壁面部に形成
された開口部を開閉する真空バルブ装置に関するもので
あり、特に真空室の開口部に取付けられるバルブボディ
に改良を加えた真空バルブ装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体等の高精度な電子製品を
製造する工程において、製品に対する大気からの各種の
影響を防ぐために、真空雰囲気が確保された真空室が使
用されている。この真空室の壁面部には製品を室内に搬
送するための開口部が形成される必要がある。そのた
め、真空室には開口部を閉鎖して真空室の真空雰囲気を
保持する真空バルブ装置が設置されている。

【０００３】基本的に真空バルブ装置は、真空室の開口
部の周囲に取付けられるバルブボディと、開口部を開閉
する移動自在な真空バルブとを備えている。

【０００４】このうち、バルブボディは真空室の開口部
の周囲に取付けられている。また、開口部の周縁部には
真空バルブが圧着する真空シール面が設けられている。

【０００５】一方、真空バルブは開口部と対向して配置
され、開口部を開閉する弁体と、この弁体を開閉方向に
駆動させる操作ロッドとを備えている。また、弁体の周
縁部にはＯリング等の真空シール部材が設けられてお
り、この真空シール部材がバルブボディ側の真空シール
面と圧着することによって、真空室の真空雰囲気を保持
される。

【０００６】ところで、バルブボディの材質は優れた耐
久性を持たせるように強度の高いステンレス製のものが
主流となっている。しかし、ステンレス製のバルブボデ
ィは次のような問題点を有している。

【０００７】すなわち、ステンレス製のバルブボディは
溶接加工されることが多いため、外形の自由度に対する
制約が大きい。しかも溶接加工によって高い寸法精度を
確保することは難しい。その結果、弁体側の真空シール
部材とバルブボディ側の真空シール面とが確実に圧着せ
ず、バルブ機能が低下する恐れがある。また、ステンレ
ス製で重量が大きいため、バルブボディを洗浄する場合
のハンドリング性にも難があった。

【０００８】そこで、ステンレス製のバルブボディが持
つ上記の問題点を解消するものとして、小形軽量化が発
達したアルミ製のバルブボディが提案されている。しか
し、アルミ製のバルブボディは強度が低いため、バルブ
ボディに対して真空バルブが開閉動作を行う際に、傷が
付き易いという欠点がある。特に、真空バルブの弁体が
圧着する真空シール面は耐久性が低い。この真空シール
面が傷付くと、バルブ機能を果たすことができなくな
り、真空室の真空雰囲気を確保することが困難となっ
た。

【０００９】この様な低い強度を補うために、真空シー
ル面の表面に超硬コーティング加工等を施すことが考え
られるが、この場合、加工を施したことによって生産コ
ストが高騰するという新たな問題が起きる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
ステンレス製及びアルミ製のバルブボディにおいては、
それぞれの材質自体が持つ欠点を克服するに至っていな
い。本発明の真空バルブ装置は、この様な課題を解決す
るために提案されたものであり、優れた耐久性を備える
と共に、小形軽量化が進んだバルブボディを備えた真空
バルブ装置を実現することを目的とするものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するた
めに、本発明の真空バルブ装置は、真空室の壁面部に形
成された開口部に取付けられるバルブボディが切削加工
によるアルミ製ブロックから構成され、バルブボディに
対して真空バルブの先端に設けられる弁体が圧着する部
分には、ステンレス製のバルブシートが組込まれること
を構成上の特徴とするものである。

【００１２】

【作用】以上の構成を有する本発明においては、バルブ
ボディがアルミ製であるため、小形軽量化が可能とな
る。また、バルブボディが切削加工されるため、外形の
自由度及び高い寸法精度を確保できる。更に、弁体が圧
着するバルブシートは、高い強度を備えたステンレス製
であるため、真空バルブが繰返し開閉動作を行い、弁体
とバルブシートとが圧着動作を繰返しても傷付き難い。

【００１３】

【実施例】進んで、以上説明したような本発明の真空バ
ルブ装置の一実施例を図１及び図２に基づいて説明す
る。図１及び図２は本実施例の正面一部断面図であり、
図１は真空バルブ装置の開放状態、図２は真空バルブ装
置の閉鎖状態を示している。

【００１４】真空バルブ装置１は、真空室２側の上壁面
部２ａに形成された開口部３の周囲に取付けられるバル
ブボディ４と、開口部３を開閉する移動自在な真空バル
ブ５とを備えている。

【００１５】バルブボディ４は開口部３の周囲に沿って
立上げられており、上蓋４ａによって覆われている。ま
た、図示しないが開口部３と連通して製品搬送用の開口
部が設けられている。更に、バルブボディ４は切削加工
によるアルミ製ブロックから構成されている。

【００１６】また、開口部３の周縁部には真空バルブ５
が圧着する真空シール面に、ステンレス製のバルブシー
ト６が組込まれている。このバルブシート６とバルブボ
ディ４との間隙には真空シール部材としてＯリング７が
設けられている。

【００１７】一方、真空バルブ５は開口部３と対向し
て、上蓋４ａに配置されており、開口部３を開閉する弁
体８と、この弁体８を上下方向に駆動させる操作ロッド
９とから構成される。弁体８には真空シール部材である
Ｏリング１０が設けられている。また、上蓋４ａ上には
操作ロッド９の駆動源１１が設けられている。

【００１８】上記実施例の真空バルブ装置が真空室２を
閉鎖する場合、図１の状態から図２の状態に移行する。
すなわち、駆動源１１が動作して操作ロッド７が下降
し、弁体８が開口部３を閉じる。この時、Ｏリング１０
はバルブシート６に圧着して、真空室２の真空雰囲気を
保持する。

【００１９】以上のような本実施例によれば、バルブボ
ディ４がアルミ製であるため、小形軽量化を図ることが
できる。また、バルブボディ４が切削加工されたアルミ
ブロックから構成されるため、外形の自由度及び寸法精
度は高くなる。従って、真空バルブ装置自体へのバルブ
ボディ４の組込み作業が容易になる。しかも、寸法精度
が高いため、バルブ機能の信頼性が向上する。

【００２０】更に、バルブシート６は高い強度を備えた
ステンレス製であるため、弁体８との圧着動作が繰返さ
れても傷付き難い。そのため、バルブボディが破損する
不具合が発生せず、安全である。また、バルブシート６
だけを交換すれば足りるため、メンテナンス作業が簡略
化される。更にバルブシート６の交換回数を削減するこ
とができるため、経済的に有利である。

【００２１】更に、本実施例のバルブボディ４はアルミ
製であるため、真空バルブ装置１全体の熱的均一性が高
い。そのため、本実施例を反応ガスより反応生成物が生
成されるドライエッチング装置等へ適用した場合、熱的
不均一によって反応生成物が偏出するという不具合を防
止することができる。

【００２２】なお、本発明は以上のような実施例に限定
されるものではなく、各部材の形状及び寸法は適宜変更
可能である。

【００２３】

【発明の効果】以上述べたように、本発明の真空バルブ
装置によれば、切削加工によるアルミ製ブロックから構
成されるバルブボディを備えることによって、小形軽量
化を図り、外形の自由度及び高い寸法精度を確保するこ
とができると共に、バルブ機能に対する信頼性が向上す
る。

【００２４】また、バルブボディに対して弁体が圧着す
る部分にステンレス製のバルブシートを組込むことによ
って、優れた耐久性を発揮できるため、バルブボディの
破損、交換回数を減らすことができ、且つバルブシート
を交換するだけで良いためメンテナンス作業が簡単にな
り、経済的に有利である。

【００２５】更に、本発明のバルブボディはアルミ製で
あるため、真空バルブ装置全体の熱的均一性が高い。そ
のため、本発明を反応ガスより反応生成物が生成される
ドライエッチング装置等へ適用した場合、熱が不均一で
ある場合に発生する反応生成物の偏出を防ぐことが期待
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の真空バルブ装置の一実施例の側面断面
図であり、真空バルブの開放状態を示す。

【図２】本実施例の側面断面図であり、真空バルブの閉
鎖状態を示す。

【符号の説明】

１ 真空バルブ装置 ２ 真空室 ３ 開口部 ４ バルブボディ ５ 真空バルブ ６ バルブシート ７ Ｏリング ８ 弁体 ９ 操作ロッド １０ Ｏリング １１ 駆動源

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空室の壁面部に形成された開口部の周
   囲にバルブボディが取付けられ、前記開口部を開閉する
   真空バルブが移動自在に配設された真空バルブ装置にお
   いて、前記バルブボディは切削加工によるアルミ製ブロ
   ックから構成され、前記真空バルブの先端には前記バル
   ブボディに圧着する弁体が設けられ、前記バルブボディ
   の前記弁体が圧着する部分にはステンレス製のバルブシ
   ートが組込まれている、以上のことを特徴とする真空バ
   ルブ装置。