JPH0256236A - 真空容器 - Google Patents

真空容器

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Publication number
JPH0256236A
JPH0256236A JP20534188A JP20534188A JPH0256236A JP H0256236 A JPH0256236 A JP H0256236A JP 20534188 A JP20534188 A JP 20534188A JP 20534188 A JP20534188 A JP 20534188A JP H0256236 A JPH0256236 A JP H0256236A
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JP
Japan
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ring
vacuum container
shielding plate
groove
vacuum
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JP20534188A
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English (en)
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JP2776514B2 (ja
Inventor
Takamoto Fukushima
福島　崇元
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NEC Kyushu Ltd
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NEC Kyushu Ltd
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Publication date
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Publication of JPH0256236A publication Critical patent/JPH0256236A/ja
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
    • B01J3/03—Pressure vessels, or vacuum vessels, having closure members or seals specially adapted therefor

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Gasket Seals (AREA)
  • Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は真空容器に関し、特に真空容器内部でプラズマ
を発生するなど反応性の強い雰囲気となり、０リングの
劣化が早くリークが発生しやすい真空容器に関する。
〔従来の技術〕
従来、この種の真空容器は、気密用にＯリングが使用さ
れている。０リングは、真空容器本体の溝に固定し、上
面より平滑な平面をもつ真空容器の蓋にて、Ｏリングを
押え、気密を保つ構造となっていた。
〔発明が解決しようとする課題〕
上述した従来の真空容器は、０リングを平面で押える構
造であるため、真空容器本体と蓋との間に間隙を生じる
。従って、真空容器内がプラズマ等反応性の強い雰囲気
となると、この間隙を通り反応物が０リングを劣化させ
短期間で気密保持んできなくなるという欠点がある。
本発明の目的は、真空容器内が反応性の強い雰囲気とな
っても真空容器本体と蓋との間の間隙を通して反応物が
Ｏリングを劣化させ、気密保持が出来なくなることのな
い真空容器を提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
本発明の真空容器は、気密用０リングが固定された部位
より内側に帯状の遮蔽板を有している。
本発明によれば、真空容器内で発生させるプラズマ等反
応性の強い雰囲気が遮蔽板に遮蔽されるのでＯリングの
劣化を防止することができ、長期間確実に真空状態を保
持できる。
〔実施例〕
次に、本丸明について図面を参照して説明する。第１図
は本発明の一実施例の縦断面図である。
第１図に示すように、真空容器本体１の周辺部にはＯリ
ング２用溝と遮蔽板３用の溝が加工されている。一方、
真空容器用蓋４には遮蔽板が取付いており、真空容器本
体の遮蔽板用蓋と真空容器用蓋の遮蔽板を合わせ、○リ
ング溝にＯリングを付けて組み込む構造となっている。
第２図は本発明の他の実施例の縦断面図である。第２図
に示す構成は第１の実施例とほぼ同様で遮蔽板が真空容
器用上蓋より分離された構造となっている。
この実施例では、遮蔽板が分離できるため、劣化した場
合遮蔽板のみ交換できる利点がる。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明は、０リングの真空側に遮蔽
板を有する事により、気密用０リングを真空室内の反応
性雰囲気より保護でき、真空容器を長期間気密保持でき
る効果がある。
【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の一実施例の縦断面図、第２図は本発明
の他の実施例の縦断面図、第３図は従来の真空容器の縦
断面図である。 １・・・真空容器本体、２・・・真空容器上蓋、３・・
・Ｏリング、４・・・遮蔽板。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. Ｏリングシールを有する真空容器において、Ｏリング取
    付け部位より内側に帯状の遮蔽板を有することを特徴と
    する真空容器。
JP63205341A 1988-08-17 1988-08-17 真空容器 Expired - Lifetime JP2776514B2 (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04349099A (ja) * 1991-02-20 1992-12-03 Nec Corp 放射冷却器
JP2019211196A (ja) * 2018-06-08 2019-12-12 日本電産サンキョー株式会社 ダンパ装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04349099A (ja) * 1991-02-20 1992-12-03 Nec Corp 放射冷却器
JP2019211196A (ja) * 2018-06-08 2019-12-12 日本電産サンキョー株式会社 ダンパ装置

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