JPH0143191B2 - - Google Patents
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- JPH0143191B2 JPH0143191B2 JP15894784A JP15894784A JPH0143191B2 JP H0143191 B2 JPH0143191 B2 JP H0143191B2 JP 15894784 A JP15894784 A JP 15894784A JP 15894784 A JP15894784 A JP 15894784A JP H0143191 B2 JPH0143191 B2 JP H0143191B2
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- JP
- Japan
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- annular
- gate valve
- metal
- plate
- valve plate
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Links
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/0227—Packings
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Sliding Valves (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は超高真空を必要とする真空配管系等
に用いられるメタルシールを有するゲート弁に関
するものである。
に用いられるメタルシールを有するゲート弁に関
するものである。
最近の半導体製造装置や蒸着装置等において
は、超真空を必要とするので、これらの装置の配
管系に用いられるゲート弁のシール部にＯリング
を使用した場合は、Ｏリング材から放出されるガ
スが、超高真空に悪影響を与えたり、半導体のウ
エハーに悪影響を与えることがあり、そのため超
高真空を用いる装置においては、オールメタルシ
ールを使用することが必要とされている。
は、超真空を必要とするので、これらの装置の配
管系に用いられるゲート弁のシール部にＯリング
を使用した場合は、Ｏリング材から放出されるガ
スが、超高真空に悪影響を与えたり、半導体のウ
エハーに悪影響を与えることがあり、そのため超
高真空を用いる装置においては、オールメタルシ
ールを使用することが必要とされている。
従来オールメタルシールを有するゲート弁とし
ては、仕切弁板にエツジを有する環状のメタルガ
スケツトを固着し、そのメタルガスケツトのエツ
ジを弁箱内の開口部の周囲に喰い込ませるように
構成したものが知られている。
ては、仕切弁板にエツジを有する環状のメタルガ
スケツトを固着し、そのメタルガスケツトのエツ
ジを弁箱内の開口部の周囲に喰い込ませるように
構成したものが知られている。
しかし、前記従来のゲート弁におけるオールメ
タルシールの場合は、シールした際にメタルガス
ケツトのエツジの喰い込みによるレプリカが生じ
るので、シール巾が狭く、シール解放後に再びシ
ールする場合、メタルガスケツトのエツジが前記
レプリカから僅かでも偏位すると完全なシール性
能が得られないという問題がある。
タルシールの場合は、シールした際にメタルガス
ケツトのエツジの喰い込みによるレプリカが生じ
るので、シール巾が狭く、シール解放後に再びシ
ールする場合、メタルガスケツトのエツジが前記
レプリカから僅かでも偏位すると完全なシール性
能が得られないという問題がある。
この問題を解決できるオールメタルシールを有
するゲート弁として、仕切弁板の表裏両面に対向
する環状金具と弁箱とを、内側ベローズおよび外
側ベローズを介して連結し、前記環状金具に、仕
切弁板に対向する環状凹部を設けると共に、その
環状凹部の開口部を塞ぐ環状の鏡面薄板を溶接に
より固着し、前記内側ベローズと外側ベローズと
の間の環状室に供給される流体の圧力により各ベ
ローズを伸長させ、その環状室から前記環状凹部
内に送られる流体の圧力により前記環状の鏡面薄
板が仕切弁板に強力に押付けるように構成した圧
気シール式メタルシールを有するゲート弁が知ら
れている（実開昭58−102879号公報参照）。
するゲート弁として、仕切弁板の表裏両面に対向
する環状金具と弁箱とを、内側ベローズおよび外
側ベローズを介して連結し、前記環状金具に、仕
切弁板に対向する環状凹部を設けると共に、その
環状凹部の開口部を塞ぐ環状の鏡面薄板を溶接に
より固着し、前記内側ベローズと外側ベローズと
の間の環状室に供給される流体の圧力により各ベ
ローズを伸長させ、その環状室から前記環状凹部
内に送られる流体の圧力により前記環状の鏡面薄
板が仕切弁板に強力に押付けるように構成した圧
気シール式メタルシールを有するゲート弁が知ら
れている（実開昭58−102879号公報参照）。
しかし、この圧気シール式メタルシールを有す
るゲート弁の場合は、シールしておくためには常
時空気圧を作用させておく必要があり、配管系の
故障等によりシール部が減圧したときはシールが
解放されてしまうことになり、さらに強力にシー
ルするためには、高圧の空気圧を作用させねばな
らないので、内側ベローズおよび外側ベローズと
して耐圧力の大きい高価なものを使用する必要が
あり、しかもシール用空気圧を作用させていない
状態で、仕切弁板を移動する必要があるので、誤
操止防止のための特別な対策が必要であり、また
前記圧気シール式ゲート弁の場合は、部品数が多
く構造が複雑であり、かつ大型でコスト高になる
という問題がある。
るゲート弁の場合は、シールしておくためには常
時空気圧を作用させておく必要があり、配管系の
故障等によりシール部が減圧したときはシールが
解放されてしまうことになり、さらに強力にシー
ルするためには、高圧の空気圧を作用させねばな
らないので、内側ベローズおよび外側ベローズと
して耐圧力の大きい高価なものを使用する必要が
あり、しかもシール用空気圧を作用させていない
状態で、仕切弁板を移動する必要があるので、誤
操止防止のための特別な対策が必要であり、また
前記圧気シール式ゲート弁の場合は、部品数が多
く構造が複雑であり、かつ大型でコスト高になる
という問題がある。
この発明は前述の問題を有利に解決できるメタ
ルシールを有するゲート弁を提供することを目的
とするものであつて、この発明の要旨とするとこ
ろは、弁箱１における開口部を囲む内面に鏡面加
工が施され、弁箱１内には、操作軸２により移動
されて前記開口部を囲む内面に向かつて押圧され
る仕切弁板３が配置され、その仕切弁板３の表面
には、弁箱１の内面に対向する位置において環状
溝４が設けられ、その環状溝４内に嵌入された非
金属弾性材料製Ｏリング５の一部は環状溝４から
突出し、環状メタルシール材６における鏡面状表
面を有する環状薄肉金属板７の裏面は前記Ｏリン
グ５に当接され、その環状メタルシール材６の内
周縁部おおよび外周縁部は前記仕切弁板３に対し
溶接により固着され、前記環状溝４と環状メタル
シール材６により形成された環状室内が真空にな
つていることを特徴とするメタルシールを有する
ゲート弁にある。
ルシールを有するゲート弁を提供することを目的
とするものであつて、この発明の要旨とするとこ
ろは、弁箱１における開口部を囲む内面に鏡面加
工が施され、弁箱１内には、操作軸２により移動
されて前記開口部を囲む内面に向かつて押圧され
る仕切弁板３が配置され、その仕切弁板３の表面
には、弁箱１の内面に対向する位置において環状
溝４が設けられ、その環状溝４内に嵌入された非
金属弾性材料製Ｏリング５の一部は環状溝４から
突出し、環状メタルシール材６における鏡面状表
面を有する環状薄肉金属板７の裏面は前記Ｏリン
グ５に当接され、その環状メタルシール材６の内
周縁部おおよび外周縁部は前記仕切弁板３に対し
溶接により固着され、前記環状溝４と環状メタル
シール材６により形成された環状室内が真空にな
つていることを特徴とするメタルシールを有する
ゲート弁にある。
次にこの発明を図示の例によつて詳細に説明す
る。
る。
図面はこの発明の一実施例を示すものであつ
て、前部開口部８および後部開口部９を有する金
属製弁箱１における前部開口部８および後部開口
部９を囲む内面に鏡面加工が施され、かつ弁箱１
内には互いに対向する２枚金属製仕切弁板３が配
置され、各仕切弁板３の表面には、弁箱１におけ
る開口部を囲む内面に対向する位置において円形
の環状突条１０が形成され、その環状突条１０の
頂面は弁箱１における開口部を囲む内面と平行に
なつており、さらに環状突条１０には円形の環状
溝４が設けられ、その環状溝４内には、非金属弾
性材料例えばゴムからなるＯリング５が嵌合さ
れ、そのＯリング５の直径は環状溝４の深さより
も大きくなつていて、Ｏリング５の一部が環状突
条１０の頂面よりも突出している。
て、前部開口部８および後部開口部９を有する金
属製弁箱１における前部開口部８および後部開口
部９を囲む内面に鏡面加工が施され、かつ弁箱１
内には互いに対向する２枚金属製仕切弁板３が配
置され、各仕切弁板３の表面には、弁箱１におけ
る開口部を囲む内面に対向する位置において円形
の環状突条１０が形成され、その環状突条１０の
頂面は弁箱１における開口部を囲む内面と平行に
なつており、さらに環状突条１０には円形の環状
溝４が設けられ、その環状溝４内には、非金属弾
性材料例えばゴムからなるＯリング５が嵌合さ
れ、そのＯリング５の直径は環状溝４の深さより
も大きくなつていて、Ｏリング５の一部が環状突
条１０の頂面よりも突出している。
アルミニウムまたはアルミニウム合金からなる
環状メタルシール材６は円形の環状薄肉金属板６
とその内周および外周に連設された円形の環状厚
肉金属板１１とにより構成され、環状薄肉金属板
７の巾方向中央部の裏面はＯリング５に当接さ
れ、かつ環状メタルシール材６における内周およ
び外周の環状厚肉金属板１１の縁部は仕切弁板３
における環状突条１０の周縁部に溶接により気密
に固着されている。
環状メタルシール材６は円形の環状薄肉金属板６
とその内周および外周に連設された円形の環状厚
肉金属板１１とにより構成され、環状薄肉金属板
７の巾方向中央部の裏面はＯリング５に当接さ
れ、かつ環状メタルシール材６における内周およ
び外周の環状厚肉金属板１１の縁部は仕切弁板３
における環状突条１０の周縁部に溶接により気密
に固着されている。
仕切弁板３にその裏側から環状溝４の底部に貫
通する複数の小径孔１２が設けられ、環状溝４内
が真空にされた状態で前記小型孔１２は溶接によ
り封印されている。
通する複数の小径孔１２が設けられ、環状溝４内
が真空にされた状態で前記小型孔１２は溶接によ
り封印されている。
弁箱１の上部に固定された保持枠１３に螺杆１
４の上部が回転自在に取付けられ、その螺杆１４
の上端部にはハンドル１５が固定され、かつその
螺杆１４には中空の操作軸２の上部に固定された
雌ねじ部材１６が螺合され、さらに金属製シール
用ベローズ１７の上端部は雌ねじ部材１６に対し
気密状態で溶接により固着され、また前記ベロー
ズ１７の下端部に気密状態で溶接により固着され
ている取付金具１８は弁箱１の上端部に気密状態
で固定されている。
４の上部が回転自在に取付けられ、その螺杆１４
の上端部にはハンドル１５が固定され、かつその
螺杆１４には中空の操作軸２の上部に固定された
雌ねじ部材１６が螺合され、さらに金属製シール
用ベローズ１７の上端部は雌ねじ部材１６に対し
気密状態で溶接により固着され、また前記ベロー
ズ１７の下端部に気密状態で溶接により固着され
ている取付金具１８は弁箱１の上端部に気密状態
で固定されている。
前記操作軸２は弁箱１の上端部に貫通され、そ
の操作軸２の下端部に２叉状支持金具１９におけ
る横腕２０の中央部が連結軸２１を介して連結さ
れ、前記支持金具１９における一対の縦腕２２の
上部および下部には、弁箱１の前後の内壁により
ガイドされるガイドローラ２３が取付けられ、か
つ前記各仕切弁板３の左右両側には、ピン２４が
固定され、前記各縦腕２２の中間部には上方から
下方に向かつて相互に接近するように傾斜する一
対の開閉用スリツト２５が設けられ、前記ピン２
４は開閉用スリツト２５に嵌合され、さらに弁箱
１内の下部には、仕切弁板３が所定の閉止準備位
置まで下降したとき、仕切弁板３の下部に係合す
る下降制限用ストツパ２６が設けられ、前記横腕
２０と各仕切弁板３との間にはばね２７が介在さ
れ、また弁箱１の前部および後部には、前部開口
部８および後部開口部９の連通する配管２８，２
９が接続され、弁箱１の下部には真空源に接続さ
れた排気ポート３０が設けられている。
の操作軸２の下端部に２叉状支持金具１９におけ
る横腕２０の中央部が連結軸２１を介して連結さ
れ、前記支持金具１９における一対の縦腕２２の
上部および下部には、弁箱１の前後の内壁により
ガイドされるガイドローラ２３が取付けられ、か
つ前記各仕切弁板３の左右両側には、ピン２４が
固定され、前記各縦腕２２の中間部には上方から
下方に向かつて相互に接近するように傾斜する一
対の開閉用スリツト２５が設けられ、前記ピン２
４は開閉用スリツト２５に嵌合され、さらに弁箱
１内の下部には、仕切弁板３が所定の閉止準備位
置まで下降したとき、仕切弁板３の下部に係合す
る下降制限用ストツパ２６が設けられ、前記横腕
２０と各仕切弁板３との間にはばね２７が介在さ
れ、また弁箱１の前部および後部には、前部開口
部８および後部開口部９の連通する配管２８，２
９が接続され、弁箱１の下部には真空源に接続さ
れた排気ポート３０が設けられている。
なお弁箱における鏡面加工された内面には、イ
オンプレーテイング処理により１〜3μの炭化チ
タン層が形成されて硬化処理されている。
オンプレーテイング処理により１〜3μの炭化チ
タン層が形成されて硬化処理されている。
次に図示のゲート弁の作用を説明する。
ハンドル１５により螺杆１４を正回転すると、
操作軸２、支持金具１９および各仕切弁板３等が
下降していく。各仕切弁板３の下部がストツパ２
６に突き当たつた瞬間の状態では、第１図および
第４図に示すように、環状メタルシール材６が弁
箱１の内面から離反している。
操作軸２、支持金具１９および各仕切弁板３等が
下降していく。各仕切弁板３の下部がストツパ２
６に突き当たつた瞬間の状態では、第１図および
第４図に示すように、環状メタルシール材６が弁
箱１の内面から離反している。
各仕切弁板３の下部がストツパ２６に突き当た
つたのち、前記ハンドル１５により螺杆１４をさ
らに正回転すると、操作軸２および支持金具１９
が下降するので、前記ばね２７が圧縮され、かつ
開閉用スリツト２５によりピン２４を介して各仕
切弁板３が弁箱１の内面に向かつて押圧移動され
ていくので、まず第６図に示すように、各仕切弁
板３に付属する環状メタルシール材６における環
状薄肉金属板７が、弁箱１における前部開口部８
および後部開口部９を囲む鏡面加工された内面に
当接され、次いで第７図に示すように非金属弾性
材料製Ｏリング５が圧縮され、そのＯリング５の
弾性により環状メタルシール材６における環状薄
肉金属板７がその全周にわたつて弁箱１の鏡面加
工された内面に強力に押付けられる。
つたのち、前記ハンドル１５により螺杆１４をさ
らに正回転すると、操作軸２および支持金具１９
が下降するので、前記ばね２７が圧縮され、かつ
開閉用スリツト２５によりピン２４を介して各仕
切弁板３が弁箱１の内面に向かつて押圧移動され
ていくので、まず第６図に示すように、各仕切弁
板３に付属する環状メタルシール材６における環
状薄肉金属板７が、弁箱１における前部開口部８
および後部開口部９を囲む鏡面加工された内面に
当接され、次いで第７図に示すように非金属弾性
材料製Ｏリング５が圧縮され、そのＯリング５の
弾性により環状メタルシール材６における環状薄
肉金属板７がその全周にわたつて弁箱１の鏡面加
工された内面に強力に押付けられる。
次に前記ハンドル１５により螺杆１４を逆回転
すると、操作軸２および支持金具１９が上昇移動
するので、支持金具１９の開閉用スリツト２５に
よりピン１４を介して各仕切弁板３が弁箱１の内
面から離反する方向に引寄せられ、次いで前記開
閉用スリツト２５の下端部にピン２４が係合した
状態で、各仕切弁板３が引上げられていく。
すると、操作軸２および支持金具１９が上昇移動
するので、支持金具１９の開閉用スリツト２５に
よりピン１４を介して各仕切弁板３が弁箱１の内
面から離反する方向に引寄せられ、次いで前記開
閉用スリツト２５の下端部にピン２４が係合した
状態で、各仕切弁板３が引上げられていく。
前記実施例のメタルシールを有するゲート弁の
場合は、前記従来の圧気シール式メタルシールを
有するゲート弁に比べて、構造が簡単で小型に製
作することができ、かつ単にハンドル１５を手動
回転することにより、各仕切弁板３の昇降移動と
メタルシールの開閉とを行なうことができる。
場合は、前記従来の圧気シール式メタルシールを
有するゲート弁に比べて、構造が簡単で小型に製
作することができ、かつ単にハンドル１５を手動
回転することにより、各仕切弁板３の昇降移動と
メタルシールの開閉とを行なうことができる。
前記実施例のゲート弁において、各仕切弁板３
およびこれに付属するメタルシールにより、弁箱
１の前部開口部８および後部開口部９を閉塞し、
排気ポート３０から排気した場合のシール性能
は、一般(1)式で表わされる。
およびこれに付属するメタルシールにより、弁箱
１の前部開口部８および後部開口部９を閉塞し、
排気ポート３０から排気した場合のシール性能
は、一般(1)式で表わされる。
Ｑ＝（P1）2／760×Ｓ ……(1)
Ａ シール性能Ｑ：Torr ｌ／sec
Ｂ 弁箱排気速度Ｓ：ｌ／sec
Ｃ 弁箱内到達圧力P1：Torr
Ｄ 前部開口部側と後部開口部の圧力差：
760Torr したがつて、弁箱内の排気量を10l／secとし
て、そのときの弁箱内圧力を１×10-4Torrに保
持すると、下記シール性能Ｑを得ることができ
る。
760Torr したがつて、弁箱内の排気量を10l／secとし
て、そのときの弁箱内圧力を１×10-4Torrに保
持すると、下記シール性能Ｑを得ることができ
る。
Ｑ＝（１×10-4）2／760×10
＝1.3×10-10（Torr ｌ／sec）
この発明の実施する場合、仕切弁板３を弁箱１
の内面に向かつて進退移動させる手段としては、
図示以外の任意の手段を採用してもよい。
の内面に向かつて進退移動させる手段としては、
図示以外の任意の手段を採用してもよい。
この発明によれば、弁箱１における開口部を囲
む内面に向かつて押圧される仕切弁板３に、弁箱
１の内面に対向する位置において、環状溝４が設
けられ、環状溝４内に嵌入された非金属弾性材料
製Ｏリング５の一部は環状溝４から突出し、環状
メタルシール材６における環状薄肉金属板７は前
記Ｏリング５に当接され、その環状メタルシール
材６の内周縁部および外周縁部は仕切弁板３に対
し溶接により固着されているので、単に仕切弁板
３を弁箱１の内面に向かつて押圧移動することに
より、Ｏリング５の圧縮弾性を利用して、環状薄
肉金属板７の鏡面加工表面を弁箱１の鏡面加工内
面に広いシール巾で強力に圧接させて、完全にシ
ールすることができ、かつ前記従来の圧気シール
式メタルシールに比べて構造が簡単であると共に
小型、低コストで製作することができ、さらに前
記Ｏリング５は環状溝４と環状メタルシール材６
とからなる密閉室内に収容されているので、Ｏリ
ング材５がゲート弁内にガスが放出されることは
なく、かつ環状メタルシール材６によつて非金属
弾性材料からなるＯリング５を保護することがで
き、またＯリング５を収容した密閉室は真空状態
になつているので、弁箱内が大気圧または真空の
何れであつても、環状薄肉金属板７が圧力差によ
る影響を受けることがない等の効果が得られる。
む内面に向かつて押圧される仕切弁板３に、弁箱
１の内面に対向する位置において、環状溝４が設
けられ、環状溝４内に嵌入された非金属弾性材料
製Ｏリング５の一部は環状溝４から突出し、環状
メタルシール材６における環状薄肉金属板７は前
記Ｏリング５に当接され、その環状メタルシール
材６の内周縁部および外周縁部は仕切弁板３に対
し溶接により固着されているので、単に仕切弁板
３を弁箱１の内面に向かつて押圧移動することに
より、Ｏリング５の圧縮弾性を利用して、環状薄
肉金属板７の鏡面加工表面を弁箱１の鏡面加工内
面に広いシール巾で強力に圧接させて、完全にシ
ールすることができ、かつ前記従来の圧気シール
式メタルシールに比べて構造が簡単であると共に
小型、低コストで製作することができ、さらに前
記Ｏリング５は環状溝４と環状メタルシール材６
とからなる密閉室内に収容されているので、Ｏリ
ング材５がゲート弁内にガスが放出されることは
なく、かつ環状メタルシール材６によつて非金属
弾性材料からなるＯリング５を保護することがで
き、またＯリング５を収容した密閉室は真空状態
になつているので、弁箱内が大気圧または真空の
何れであつても、環状薄肉金属板７が圧力差によ
る影響を受けることがない等の効果が得られる。
図面はこの発明の一実施例を示すものであつ
て、第１図は解放されているメタルシールを示す
縦断側面図、第２図はゲート弁の側面図、第３図
はゲート弁の一部縦断正面図、第４図はメタルシ
ール解放状態のゲート弁を示す縦断側面図、第５
図は第３図のＡ−Ａ線拡大断面図、第６図は環状
薄肉金属板が弁箱の内面に接触した状態を示す縦
断側面図、第７図はシール状態のメタルシールを
示す縦断側面図である。 図において、１は弁箱、２は操作軸、３は仕切
弁板、４は環状溝、５は非金属弾性材料製Ｏリン
グ、６は環状メタルシール材、７は環状薄肉金属
板、８は前部開口部、９は後部開口部、１０は環
状突条、１１は環状厚肉金属板、１４は螺杆、１
５はハンドル、１６は雌ねじ部材、１９は２叉状
支持金具、２３はガイドローラ、２４はピン、２
５は開閉用スリツト、２６はストツパ、３０は排
気ポートである。
て、第１図は解放されているメタルシールを示す
縦断側面図、第２図はゲート弁の側面図、第３図
はゲート弁の一部縦断正面図、第４図はメタルシ
ール解放状態のゲート弁を示す縦断側面図、第５
図は第３図のＡ−Ａ線拡大断面図、第６図は環状
薄肉金属板が弁箱の内面に接触した状態を示す縦
断側面図、第７図はシール状態のメタルシールを
示す縦断側面図である。 図において、１は弁箱、２は操作軸、３は仕切
弁板、４は環状溝、５は非金属弾性材料製Ｏリン
グ、６は環状メタルシール材、７は環状薄肉金属
板、８は前部開口部、９は後部開口部、１０は環
状突条、１１は環状厚肉金属板、１４は螺杆、１
５はハンドル、１６は雌ねじ部材、１９は２叉状
支持金具、２３はガイドローラ、２４はピン、２
５は開閉用スリツト、２６はストツパ、３０は排
気ポートである。
Claims (1)
- １ 弁箱１における開口部を囲む内面に鏡面加工
が施され、弁箱１内には、操作軸２により移動さ
れて前記開口部を囲む内面に向かつて押圧される
仕切弁板３が配置され、その仕切弁板３の表面に
は、弁箱１の内面に対向する位置において環状溝
４が設けられ、その環状溝４内に嵌入された非金
属弾性材料製Ｏリング５の一部は環状溝４から突
出し、環状メタルシール材６における鏡面状表面
を有する環状薄肉金属板７の裏面は前記Ｏリング
５に当接され、その環状メタルシール材６の内周
縁部および外周縁部は前記仕切弁板３に対し溶接
により固着され、前記環状溝４と環状メタルシー
ル材６により形成された環状室内が真空になつて
いることを特徴とするメタルシールを有するゲー
ト弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15894784A JPS6138271A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | メタルシ−ルを有するゲ−ト弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15894784A JPS6138271A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | メタルシ−ルを有するゲ−ト弁 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6138271A JPS6138271A (ja) | 1986-02-24 |
| JPH0143191B2 true JPH0143191B2 (ja) | 1989-09-19 |
Family
ID=15682805
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15894784A Granted JPS6138271A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | メタルシ−ルを有するゲ−ト弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6138271A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0430461Y2 (ja) * | 1987-05-08 | 1992-07-22 | ||
| FI122819B (fi) * | 2006-05-18 | 2012-07-13 | Maricap Oy | Luistiventtiili |
| KR101269267B1 (ko) | 2008-09-18 | 2013-05-29 | 닛폰 바루카 고교 가부시키가이샤 | 실링 플레이트, 실링 플레이트에 사용되는 실링 부재 및 이들의 제조방법 |
-
1984
- 1984-07-31 JP JP15894784A patent/JPS6138271A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6138271A (ja) | 1986-02-24 |
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