JPS6138271A - メタルシ−ルを有するゲ−ト弁 - Google Patents
メタルシ−ルを有するゲ−ト弁Info
- Publication number
- JPS6138271A JPS6138271A JP15894784A JP15894784A JPS6138271A JP S6138271 A JPS6138271 A JP S6138271A JP 15894784 A JP15894784 A JP 15894784A JP 15894784 A JP15894784 A JP 15894784A JP S6138271 A JPS6138271 A JP S6138271A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- annular
- gate valve
- plate
- metal seal
- valve plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/0227—Packings
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Sliding Valves (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は超高真空を必要とする真空配管系等に用いら
れるメタルシールを有するゲート弁に関するものである
。
れるメタルシールを有するゲート弁に関するものである
。
最近の半導体製造装置や蒸着装置等においては。
超真空を必要とするので、これらの装置の配管系に用い
られるダート弁のシール部に０１Ｊングを使用した場合
は、０リング材から放出されるガスが、超高真空に悪影
響を与えたシ、半導体のウエノ・−に悪影響を与えるこ
とがあり、そのため超高真空を用いる装置においては、
オールメタルシールを使用することが必要とされている
。
られるダート弁のシール部に０１Ｊングを使用した場合
は、０リング材から放出されるガスが、超高真空に悪影
響を与えたシ、半導体のウエノ・−に悪影響を与えるこ
とがあり、そのため超高真空を用いる装置においては、
オールメタルシールを使用することが必要とされている
。
従来、オールメタルシールを有するケ＋−１・弁として
は、仕切弁板にエツジを有する環状のメタルガスケント
を固着し、そのメタルガスケットのエツジを弁箱内の開
口部の周囲に喰い込ませるように構成したものが知られ
ている。
は、仕切弁板にエツジを有する環状のメタルガスケント
を固着し、そのメタルガスケットのエツジを弁箱内の開
口部の周囲に喰い込ませるように構成したものが知られ
ている。
しかし、前記従来のダート弁におけるオールメタルシー
ルの場合は、シールした際にメタルガスケットのエツジ
の喰い込みによるレグリカが生じるので、シール巾が狭
く、シール解放後に再びシール部る場合、メタルガスケ
ットのエツジが前記レプリカから僅かでも偏位すると完
全なシール性能が得られないという問題がある。
ルの場合は、シールした際にメタルガスケットのエツジ
の喰い込みによるレグリカが生じるので、シール巾が狭
く、シール解放後に再びシール部る場合、メタルガスケ
ットのエツジが前記レプリカから僅かでも偏位すると完
全なシール性能が得られないという問題がある。
この問題を解決できるオールメタルシールヲ有するケ゛
−ト弁として、仕切弁板の表裏両面に対向する環状金具
と弁箱とを、内側ベローズおよび外側ベローズを介して
連結し、前記環状金具に、仕切弁板に対向する環状四部
を設けると共に、その環状凹部の開口部を塞ぐ環状の鏡
面薄板を溶接により固着し、前記内側ベローズと外側ベ
ローズとの間の環状室に供給される流体の圧力により各
ベローズを伸長させ、その環状室から前記環状凹部内に
送られる流体の圧力により前記環状の鏡面薄板が仕切弁
板に強力に押付けるように構成した圧気シール式メタル
シールを有するケ９−ト弁が知られている（実開昭５８
−１０２８７９号公報参照）。
−ト弁として、仕切弁板の表裏両面に対向する環状金具
と弁箱とを、内側ベローズおよび外側ベローズを介して
連結し、前記環状金具に、仕切弁板に対向する環状四部
を設けると共に、その環状凹部の開口部を塞ぐ環状の鏡
面薄板を溶接により固着し、前記内側ベローズと外側ベ
ローズとの間の環状室に供給される流体の圧力により各
ベローズを伸長させ、その環状室から前記環状凹部内に
送られる流体の圧力により前記環状の鏡面薄板が仕切弁
板に強力に押付けるように構成した圧気シール式メタル
シールを有するケ９−ト弁が知られている（実開昭５８
−１０２８７９号公報参照）。
しかし、との圧気シール式メタルシールを有スるダート
弁の場合は、シールしておくためには常時空気圧を作用
させておく必要があり、配管系の故障等によりシール部
が減圧したときはシールが解放されてしまうことになり
、さらに強力にシールするためには、高圧の空気圧を作
用させねばならないので、内側ベローズおよび外側ベロ
ーズとして耐圧力の大きい高価なものを使用する必要が
あり、しかもシール用空気圧を作用させていない状態で
、仕切弁板を移動する必要があるので、誤操作防止のた
めの特別な対策が必要であシ、また前記圧気シール式ダ
ート弁の場合は、部品数が多く構造が複雑であり、かつ
大型でコスト高になるという問題がある。
弁の場合は、シールしておくためには常時空気圧を作用
させておく必要があり、配管系の故障等によりシール部
が減圧したときはシールが解放されてしまうことになり
、さらに強力にシールするためには、高圧の空気圧を作
用させねばならないので、内側ベローズおよび外側ベロ
ーズとして耐圧力の大きい高価なものを使用する必要が
あり、しかもシール用空気圧を作用させていない状態で
、仕切弁板を移動する必要があるので、誤操作防止のた
めの特別な対策が必要であシ、また前記圧気シール式ダ
ート弁の場合は、部品数が多く構造が複雑であり、かつ
大型でコスト高になるという問題がある。
この発明は前述の問題を有利に解決できるメタルシール
を有するダート弁を提供することを目的とするものであ
って、この発明の要旨とするところは、弁箱１における
開口部を囲む内面に鏡面加工が施され、弁箱１内には、
操作軸２により移動されて前記開口部を囲む内面に向か
って押圧される仕切弁板６が配置され、その仕切弁板６
の表面には、弁箱１の内面に対向する位置において環状
溝４が設けられ、その環状溝４内に嵌入された非金属弾
性材料製０１Ｊング５の一部は環状溝４から突出し、環
状メタルシール材６における鏡面状表面を有する環状薄
肉金属板７の裏面は前記Ｏリング５に当接され、その環
状メタルシール材６の内周縁部および外周縁部は前記仕
切弁板６に対し溶接により固着され、前記環状溝４と環
状メタルシール材６により形成された環状室内が真空に
なっていることを特徴とするメタルシールを有するダー
ト弁にある。
を有するダート弁を提供することを目的とするものであ
って、この発明の要旨とするところは、弁箱１における
開口部を囲む内面に鏡面加工が施され、弁箱１内には、
操作軸２により移動されて前記開口部を囲む内面に向か
って押圧される仕切弁板６が配置され、その仕切弁板６
の表面には、弁箱１の内面に対向する位置において環状
溝４が設けられ、その環状溝４内に嵌入された非金属弾
性材料製０１Ｊング５の一部は環状溝４から突出し、環
状メタルシール材６における鏡面状表面を有する環状薄
肉金属板７の裏面は前記Ｏリング５に当接され、その環
状メタルシール材６の内周縁部および外周縁部は前記仕
切弁板６に対し溶接により固着され、前記環状溝４と環
状メタルシール材６により形成された環状室内が真空に
なっていることを特徴とするメタルシールを有するダー
ト弁にある。
次にこの発明を図示の例によって詳細に説明する。
図面はこの発明の一実施例を示すものであって、前部開
口部８および後部開口部９を有する金属製弁箱１におけ
る前部開口部８および後部開口部９を囲む内面に鏡面加
工が施され、かつ弁箱１内には互いに対向する２枚の金
属製仕切弁板６が配置され、各仕切弁板６の表面には、
弁箱１における開口部を囲む内面に対向する位置におい
て円形の環状突条１０が形成され、その環状突条１０の
頂面は弁箱１における開口部を囲む内面と平行になって
おシ、さらに環状突条１０には円形の環状溝４が設けら
れ、その環状溝４内には、非金属弾性材料例えばゴムか
らなるＯ ｒ）ング５が嵌合され、その０リング５の直
径は環状溝４の深さよりも大きくなっていて、０リング
５の一部が環状突条１０の頂面よシも突出している。
口部８および後部開口部９を有する金属製弁箱１におけ
る前部開口部８および後部開口部９を囲む内面に鏡面加
工が施され、かつ弁箱１内には互いに対向する２枚の金
属製仕切弁板６が配置され、各仕切弁板６の表面には、
弁箱１における開口部を囲む内面に対向する位置におい
て円形の環状突条１０が形成され、その環状突条１０の
頂面は弁箱１における開口部を囲む内面と平行になって
おシ、さらに環状突条１０には円形の環状溝４が設けら
れ、その環状溝４内には、非金属弾性材料例えばゴムか
らなるＯ ｒ）ング５が嵌合され、その０リング５の直
径は環状溝４の深さよりも大きくなっていて、０リング
５の一部が環状突条１０の頂面よシも突出している。
アルミニウムまたはアルミニウム合金からなる環状メタ
ルシール材６は円形の環状薄肉金属板６とその内周およ
び外周に連設された円形の環状厚肉金属板１１とにより
構成され、環状薄肉金属板７の巾方向中央部の裏面は０
１Ｊング５に当接され。
ルシール材６は円形の環状薄肉金属板６とその内周およ
び外周に連設された円形の環状厚肉金属板１１とにより
構成され、環状薄肉金属板７の巾方向中央部の裏面は０
１Ｊング５に当接され。
かつ環状メタルシール材６における内周および外周の環
状厚肉金属板１１の縁部は仕切弁板６における環状突条
１０の周縁部に溶接にょ）気密に固着されている。
状厚肉金属板１１の縁部は仕切弁板６における環状突条
１０の周縁部に溶接にょ）気密に固着されている。
仕切弁板３にその裏側から環状溝４の底部に貫通する複
数の小径孔１２が設けられ、環状溝４内が真空にされた
状態で前記小径孔１２は溶接にょり封印されている。
数の小径孔１２が設けられ、環状溝４内が真空にされた
状態で前記小径孔１２は溶接にょり封印されている。
弁箱１の上部に固定された保持枠１ろに線杆１４の上部
が回転自在に取付けられ、その線杆１４の上端部にはノ
・ンドル１５が固定され、かつその線杆１４には中空の
操作軸２の上部に固定された雌ねじ部材１６が螺合され
、さらに金属製シール用ベローズ１７の上端部は雌ねじ
部材１６に対し気密状態で溶接により固着され、また前
記ベローズ１７の下端部に気密状態で溶接により固着さ
れている取付金具１８は弁箱１の上端部に気密状態で固
定されている。
が回転自在に取付けられ、その線杆１４の上端部にはノ
・ンドル１５が固定され、かつその線杆１４には中空の
操作軸２の上部に固定された雌ねじ部材１６が螺合され
、さらに金属製シール用ベローズ１７の上端部は雌ねじ
部材１６に対し気密状態で溶接により固着され、また前
記ベローズ１７の下端部に気密状態で溶接により固着さ
れている取付金具１８は弁箱１の上端部に気密状態で固
定されている。
前記操作軸２は弁箱１の上端部に貫通され、その操作軸
２の下端部に２叉状支持金具１９における横腕２０の中
央部が連結軸２１を介して連結され、前記支持金具１９
における一対の縦腕２２の上部および下部には、弁箱１
の前後の内壁によυガイドされるガイドロー２２６が取
付けられ、かつ前記各仕切弁板ろの左右両側には、ビン
２４が固定され、前記各縦腕２２の中間部には上方から
下方に向かって相互に接近するように傾斜する一対の開
閉用スリット２５が設けられ、前記ビン２４は開閉用ス
リット２５に嵌合され、さらに弁箱１内の下部には、仕
切弁板６が所定の閉止準備位置まで下降したとき、仕切
弁板６の下部に係合する下降制限用ストツノぐ２６が設
けられ、前記横腕２０と各仕切弁板６との間にははね２
７が介在され、また弁箱１の前部および後部には、前部
開口部８および後部開口部９に連通ずる配管２８．２９
が接続され、弁箱１の下部には真空源に接続された排気
ポート３０が設けられている。
２の下端部に２叉状支持金具１９における横腕２０の中
央部が連結軸２１を介して連結され、前記支持金具１９
における一対の縦腕２２の上部および下部には、弁箱１
の前後の内壁によυガイドされるガイドロー２２６が取
付けられ、かつ前記各仕切弁板ろの左右両側には、ビン
２４が固定され、前記各縦腕２２の中間部には上方から
下方に向かって相互に接近するように傾斜する一対の開
閉用スリット２５が設けられ、前記ビン２４は開閉用ス
リット２５に嵌合され、さらに弁箱１内の下部には、仕
切弁板６が所定の閉止準備位置まで下降したとき、仕切
弁板６の下部に係合する下降制限用ストツノぐ２６が設
けられ、前記横腕２０と各仕切弁板６との間にははね２
７が介在され、また弁箱１の前部および後部には、前部
開口部８および後部開口部９に連通ずる配管２８．２９
が接続され、弁箱１の下部には真空源に接続された排気
ポート３０が設けられている。
なお弁箱における鏡面加工された内面には、イオンブレ
ーティング処理により１〜６μの炭化チタン層が形成さ
れて硬化処理されている。
ーティング処理により１〜６μの炭化チタン層が形成さ
れて硬化処理されている。
次に図示のダート弁の作用を説明する。
ハンドル１５により線杆１４を正回転すると、操作軸２
．支持金具１９および各仕切弁板６等が下降していく。
．支持金具１９および各仕切弁板６等が下降していく。
各仕切弁板６の下部がストツノク２６に突き当たった瞬
間の状態では、第１図および第４図に示すように、環状
メタルシール材６が弁箱１の内面から離反している。
間の状態では、第１図および第４図に示すように、環状
メタルシール材６が弁箱１の内面から離反している。
各仕切弁板６の下部がストッパ２６に突き当たったのち
、前記ハンドル１５により螺杵１４をさらに正回転する
と、操作軸２および支持金具１９が下降するので、前記
ばね２７が圧縮され、かつ開閉用スリット２５によりピ
ン２４を介して各仕切弁板３が弁箱１の内面に向かって
抑圧移動されていくので、まず第６図に示すように、各
仕切弁板ろに付属する環状メタルシール材６における環
状薄肉金属板７が、弁箱１における前部開口部８および
後部開口部９を囲む鏡面加工された内面に当接され、次
いで第７図に示すように非金属弾性材料製Ｏリング５が
圧縮され、その０リング５の弾性により環状メタルシー
ル材６における環状薄肉金属板７がその全周にわたって
弁箱１の鏡面加工された内面に強力に押付けられる。
、前記ハンドル１５により螺杵１４をさらに正回転する
と、操作軸２および支持金具１９が下降するので、前記
ばね２７が圧縮され、かつ開閉用スリット２５によりピ
ン２４を介して各仕切弁板３が弁箱１の内面に向かって
抑圧移動されていくので、まず第６図に示すように、各
仕切弁板ろに付属する環状メタルシール材６における環
状薄肉金属板７が、弁箱１における前部開口部８および
後部開口部９を囲む鏡面加工された内面に当接され、次
いで第７図に示すように非金属弾性材料製Ｏリング５が
圧縮され、その０リング５の弾性により環状メタルシー
ル材６における環状薄肉金属板７がその全周にわたって
弁箱１の鏡面加工された内面に強力に押付けられる。
次に前記ハンドル１５により螺杵１４を逆回転すると、
操作軸２および支持金具１９が上昇移動するので、支持
金具１９の開閉用スリット２５によりビン１４を介して
各仕切弁板６が弁箱１の内面から離反する方向に引寄せ
られ、次いで前記開閉用スリット２５の下端部にビン２
４が係合した状態で、各仕切弁板３が引上げられていく
。
操作軸２および支持金具１９が上昇移動するので、支持
金具１９の開閉用スリット２５によりビン１４を介して
各仕切弁板６が弁箱１の内面から離反する方向に引寄せ
られ、次いで前記開閉用スリット２５の下端部にビン２
４が係合した状態で、各仕切弁板３が引上げられていく
。
前記実施例のメタルシールを有するダート弁の場合は、
前記従来の圧気シール式メタルシールを有するｒ−）弁
に比べて、構造が簡単で小型に製作することができ、か
つ単にハンドル１５を手動回転することにより、各仕切
弁板６の昇降移動とメタルシールの開閉とを行なうこと
ができる。
前記従来の圧気シール式メタルシールを有するｒ−）弁
に比べて、構造が簡単で小型に製作することができ、か
つ単にハンドル１５を手動回転することにより、各仕切
弁板６の昇降移動とメタルシールの開閉とを行なうこと
ができる。
前記実施例のゲート弁において、各仕切弁板６およびこ
れに付属するメタルシールにより、弁箱１の前部開口部
８および後部開口部９を閉塞し、排気ポートろＯから排
気した場合のシール性能は、一般（１）式で表わされる
。
れに付属するメタルシールにより、弁箱１の前部開口部
８および後部開口部９を閉塞し、排気ポートろＯから排
気した場合のシール性能は、一般（１）式で表わされる
。
Ａ、シール性能Ｑ ： Ｔｏｒｒ （１７５ｅｃＢ、弁
箱排気速度Ｓ ： ｅ／５ｅａ Ｃ０弁箱内到達圧力ｐ１： Ｔｏｒｒ Ｄ、 前部開口部側と後部開口部の圧力差ニア６０Ｔｏ
ｒｒしたがって、弁箱内の排気量を１０ ｅ／ｓｅｃと
して、そのときの弁箱内圧力をＩ Ｘ １０−’ Ｔｏ
ｒｒに保持すると、下記のシール性能Ｑを得ることがで
きる。
箱排気速度Ｓ ： ｅ／５ｅａ Ｃ０弁箱内到達圧力ｐ１： Ｔｏｒｒ Ｄ、 前部開口部側と後部開口部の圧力差ニア６０Ｔｏ
ｒｒしたがって、弁箱内の排気量を１０ ｅ／ｓｅｃと
して、そのときの弁箱内圧力をＩ Ｘ １０−’ Ｔｏ
ｒｒに保持すると、下記のシール性能Ｑを得ることがで
きる。
＝１．ろＸ １０−１０（ＴｏｒｒＩｌ！／５ｅｅ）こ
の発明を実施する場合、仕切弁板６を弁箱１の内面に向
かって進退移動させる手段としては、図示以外の任意の
手段を採用してもよい。
の発明を実施する場合、仕切弁板６を弁箱１の内面に向
かって進退移動させる手段としては、図示以外の任意の
手段を採用してもよい。
この発明によれば、弁箱１における開口部を囲む内面に
向かって押圧される仕切弁板ろに、弁箱１の内面に対向
する位置において環状溝４が設けられ、その環状溝４内
に嵌入された非金属弾性材料製０ ’Ｊソングの一部は
環状溝４から突出し、環状メタルシール材６における環
状薄肉金属板７は前記０１，１ンダ５に当接され、その
環状メタルシール材６の内周縁部および外周縁部は仕切
弁板ろに対し溶接により固着されているので、単に仕切
弁板６を弁箱１の内面に向かって抑圧移動することによ
り、Ｏｌ）ング５の圧縮弾性を利用して、環状薄肉金属
板７の鏡面加工表面を弁箱１の鏡面加工内面に広いシー
ル巾で強力に圧接させて、完全にシールすることができ
、かつ前記従来の圧気シール式メタルシールに比べて、
構造が簡単であると共に小型、低コストで製作すること
ができ、さらに前記Ｏリング５は環状溝４と環状メタル
シール材６とからなる密閉室内に収容されているので、
０リング材５からダート弁内にガスが放出されることは
なく、かつ環状メタルシール材乙によって非金属弾性材
料からなるＯリング５を保護することができ、また０リ
ング５を収容した密閉室は真影響を受けることがない等
の効果が得られる。
向かって押圧される仕切弁板ろに、弁箱１の内面に対向
する位置において環状溝４が設けられ、その環状溝４内
に嵌入された非金属弾性材料製０ ’Ｊソングの一部は
環状溝４から突出し、環状メタルシール材６における環
状薄肉金属板７は前記０１，１ンダ５に当接され、その
環状メタルシール材６の内周縁部および外周縁部は仕切
弁板ろに対し溶接により固着されているので、単に仕切
弁板６を弁箱１の内面に向かって抑圧移動することによ
り、Ｏｌ）ング５の圧縮弾性を利用して、環状薄肉金属
板７の鏡面加工表面を弁箱１の鏡面加工内面に広いシー
ル巾で強力に圧接させて、完全にシールすることができ
、かつ前記従来の圧気シール式メタルシールに比べて、
構造が簡単であると共に小型、低コストで製作すること
ができ、さらに前記Ｏリング５は環状溝４と環状メタル
シール材６とからなる密閉室内に収容されているので、
０リング材５からダート弁内にガスが放出されることは
なく、かつ環状メタルシール材乙によって非金属弾性材
料からなるＯリング５を保護することができ、また０リ
ング５を収容した密閉室は真影響を受けることがない等
の効果が得られる。
図面はこの発明の一実施例を示すものであって、第１図
は解放されているメタルシールを示す縦断側面図、第２
図はダート弁の側面図、第６図はケ゛−ト弁の一部縦断
正面図、第４図はメタルシール解放状態のケ゛−ト弁を
示す縦断側面図、第５図は第３図のＡ−Ａ線拡大断面図
、第６図は環状薄肉金属板が弁箱の内面に接触した状態
を示す縦断側面図、第７図はシール状態のメタルシール
を示す縦断側面図である。 図において、１は弁箱、２は操作軸、６は仕切弁板、４
は環状溝、５は非金属弾性材料製Ｏリング、６は環状メ
タルシール材、７は環状薄肉金属板、８は前部開口部、
９は後部開口部、１０は環状突条、１１は環状厚肉金属
板、１４は線杆、１５はハンドル、１６は雌ねじ部材、
１９は２叉状支持金具、２３はガイドローラ、２４はピ
ン、２５は開閉用スリット、２６はストッパ、ろ０は排
気ポートである。
は解放されているメタルシールを示す縦断側面図、第２
図はダート弁の側面図、第６図はケ゛−ト弁の一部縦断
正面図、第４図はメタルシール解放状態のケ゛−ト弁を
示す縦断側面図、第５図は第３図のＡ−Ａ線拡大断面図
、第６図は環状薄肉金属板が弁箱の内面に接触した状態
を示す縦断側面図、第７図はシール状態のメタルシール
を示す縦断側面図である。 図において、１は弁箱、２は操作軸、６は仕切弁板、４
は環状溝、５は非金属弾性材料製Ｏリング、６は環状メ
タルシール材、７は環状薄肉金属板、８は前部開口部、
９は後部開口部、１０は環状突条、１１は環状厚肉金属
板、１４は線杆、１５はハンドル、１６は雌ねじ部材、
１９は２叉状支持金具、２３はガイドローラ、２４はピ
ン、２５は開閉用スリット、２６はストッパ、ろ０は排
気ポートである。
Claims (1)
- 弁箱１における開口部を囲む内面に鏡面加工が施され、
弁箱１内には、操作軸２により移動されて前記開口部を
囲む内面に向かつて押圧される仕切弁板３が配置され、
その仕切弁板３の表面には、弁箱１の内面に対向する位
置において環状溝４が設けられ、その環状溝４内に嵌入
された非金属弾性材料製Ｏリング５の一部は環状溝４か
ら突出し、環状メタルシール材６における鏡面状表面を
有する環状薄肉金属板７の裏面は前記Ｏリング５に当接
され、その環状メタルシール材６の内周縁部および外周
縁部は前記仕切弁板３に対し溶接により固着され、前記
環状溝４と環状メタルシール材６により形成された環状
室内が真空になつていることを特徴とするメタルシール
を有するゲート弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15894784A JPS6138271A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | メタルシ−ルを有するゲ−ト弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15894784A JPS6138271A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | メタルシ−ルを有するゲ−ト弁 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6138271A true JPS6138271A (ja) | 1986-02-24 |
| JPH0143191B2 JPH0143191B2 (ja) | 1989-09-19 |
Family
ID=15682805
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15894784A Granted JPS6138271A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | メタルシ−ルを有するゲ−ト弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6138271A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63177364U (ja) * | 1987-05-08 | 1988-11-17 | ||
| WO2007135237A1 (en) * | 2006-05-18 | 2007-11-29 | Maricap Oy | Gate valve |
| WO2010032722A1 (ja) * | 2008-09-18 | 2010-03-25 | 日本バルカー工業株式会社 | シールプレートおよびシールプレートに用いられるシール部材ならびにこれらの製造方法 |
-
1984
- 1984-07-31 JP JP15894784A patent/JPS6138271A/ja active Granted
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| JPH0430461Y2 (ja) * | 1987-05-08 | 1992-07-22 | ||
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| JP2009537755A (ja) * | 2006-05-18 | 2009-10-29 | マリキャップ オーワイ | ゲート弁 |
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| US8888106B2 (en) | 2008-09-18 | 2014-11-18 | Nippon Valqua Industries, Ltd. | Seal plate, seal member that is used in seal plate, and method for manufacturing the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0143191B2 (ja) | 1989-09-19 |
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