KR20090017453A

KR20090017453A - 슬릿 밸브 도어 또는 슬릿 밸브, 및 슬릿 밸브 조립체

Info

Publication number: KR20090017453A
Application number: KR1020080080086A
Authority: KR
Inventors: 줄리안 카미바야시야마
Original assignee: 파커-한니핀 코포레이션
Priority date: 2007-08-14
Filing date: 2008-08-14
Publication date: 2009-02-18
Also published as: US9383036B2; TWI440787B; TW200933055A; US20090045371A1

Abstract

본 발명은 금속 인서트 등의 슬릿 밸브의 시일면과 슬릿 밸브 도어 사이의 갭을 유지하기 위한 박막 스페이서를 제공한다. 박막 스페이서는, 예컨대 시일이 웨이퍼 처리 챔버 내의 부식성 가스로의 가시거리내 노출을 제한하고 그리고 시일의 압축률을 제어함으로써 시일의 수명을 연장시킬 수 있다. 스페이서는 챔버 내에 존재할 수 있는 임의의 부식성 가스로부터 슬릿 밸브의 외측 주위 측 상에 배치될 수 있다.

Description

슬릿 밸브 도어 또는 슬릿 밸브, 및 슬릿 밸브 조립체{BONDED SLIT VALVE DOOR SEAL WITH THIN NON-METALLIC FILM GAP CONTROL BUMPER}

본 출원은 2007년 8월 15일자로 출원된 60/955,891호, 2007년 8월 14일자로 출원된 60/955,672호 및 2008년 2월 18일자로 출원된 61/029,436호를 우선권으로 하며, 그 내용은 본원에 참고로 인용된다.

본 발명은 일반적으로 밸브용 시일 조립체에 관한 것으로, 보다 상세하세는, 칩 제조용 반도체 산업에 이용되는 진공 장비 내의 챔버들 사이에 시일을 형성할 때 특히 이용되는 슬릿 밸브 도어 시일에 관한 것이다.

일반적으로, 웨이퍼 상에 집적 회로를 제조하기 위한 진공 시스템이 알려져 있다. 진공 처리 시스템은, 하나의 프로세스 챔버 또는 로드록(load lock) 챔버로부터 다음의 것으로 웨이퍼를 이동하기 위해, 메인프레임의 일부일 수 있는 중앙 집중식 진공 챔버(이송 챔버로도 부름)를 갖는다. 또한, 진공 처리 시스템은 일반 적으로, 웨이퍼를 로드록과 다른 챔버로 제공하며 웨이퍼를 처리를 위해 다음 시스템으로 보내기 위해 웨이퍼를 다시 수집하는 몇 가지 종류의 미니 환경(mini-environment) 등의 서브시스템을 가질 수 있다. 이러한 이송 챔버는 주변 챔버를 구비하고, 임시 저장 영역(staging areas)은 종종 클러스터 툴(cluster tool)로 부른다.

이송 챔버와 프로세스 챔버 중 하나 등의 2개의 진공 챔버 사이에는 슬릿 밸브가 있다. 슬릿 밸브는 2개의 진공 챔버 사이에서 물리적 접근을 제공하기 위한 신장된 장방형 개구를 구비한다. 예를 들면, 슬릿 밸브가 개방되면, 이송 챔버 내의 로봇은 하나의 진공 챔버로부터 웨이퍼를 회수하여 웨이퍼를 보유하는 길고 얇은 블레이드를 이용하여 다른 진공 챔버로 웨이퍼를 삽입할 수 있다.

웨이퍼를 진공 챔버 내로 삽입한 후에, 슬릿 밸브는, 예컨대 공압 액추에이터에 의해 슬릿 밸브 도어로 폐쇄하여 시일(seal)할 수 있다. 슬릿 밸브 도어는 일반적으로 슬릿 밸브용의 기밀성 시일을 형성하여, 2개의 챔버 사이의 압력차는 슬릿 밸브를 통한 가스의 누설을 발생시키지 않을 것이다. 슬릿 밸브 도어를 위한 더욱 양호한 기밀성 시일을 형성하기 위해, 슬릿 밸브 개구 내에 금속 인서트를 배치할 수 있다.

슬릿 밸브 도어는 일반적으로 금속으로 이루어진다. 슬릿 밸브 도어와 금속 인서트 사이의 금속간 접촉은 매우 양호한 시일을 제공할 수 있지만, 금속간의 접촉은 금속을 벗겨내어 미소 입자를 형성하여 비교적 청정한 환경의 진공 챔버 내에 들어갈 수 있다. 이러한 입자는 챔버 내의 웨이퍼 상에 놓이므로 웨이퍼를 오염시 킬 수 있다. 이와 같은 오염은 웨이퍼 처리에 있어서 바람직하지 못하다.

입자에 의해 슬릿 밸브가 오염되는 것을 감소시키기 위해, 슬릿 밸브 도어 내의 홈부에 O링을 일반적으로 배치한다. 이에 따라, 금속간의 접촉이 회피되어 입자가 발생하지 않고, O링이 다수의 적용에서 슬릿 밸브를 위한 만족스런 시일을 제공할 수 있다.

그러나, O링과 슬릿 밸브 사이의 시일이 정적이라기보다는 슬릿 밸브 인서트로부터 O링을 문질러 연마되도록 일정하게 개폐되기 때문에, 일반적으로 O링으로부터 입자가 여전히 발생할 수 있다.

미국 특허 제6,089,543호는 장착 부재 상에 장착된 시일 플레이트를 포함하는 2개 부재의 슬릿 밸브 도어를 개시한다. 슬릿 밸브와 실제로 접촉하는 시일 플레이트는 도어와 밸브 사이의 금속간의 접촉을 방지하기 위한 몰드식 부분 시일(molded-in-place seal)을 구비한다. 이 시일은 포물선형 프로파일을 가질 수 있고, 시일 플레이트 내의 홈부 내에 접착될 수 있다.

탄성 시일을 이용할 때의 또다른 고려사항은 도어와 챔버 사이의 갭의 크기를 제어하여, 도어와 슬릿 밸브의 동적인 금속간 마찰 및/또는 시일의 과압축을 제거하는 것이다. 이러한 갭의 크기를 제어하는 것은 챔버 내에 존재할 수 있는 위험한 화학물에 시일이 과도하게 노출하는 보호할 수도 있다. 일반적으로, 갭 크기를 제어하는 것은 도어의 지루한 조절 및/또는 액추에이터의 교정을 수반한다. 가황처리된 플루오르화 탄소 시일 또는 과불소화 O링 등의 탄성 시일을 이용하는 종래의 슬릿 밸브 도어는, 일반적으로 도어와 밸브 사이의 갭의 크기, 및 시일 압축 을 제어하도록 슬릿 밸브의 공압 액추에이터의 청정 건조 공기(clean dry air: CDA)에 의존한다. 슬릿 밸브 도어의 활동적인 사이클을 통해 O링 또는 가황처리된 시일은 슬릿 밸브 도어와 슬릿 밸브(및/또는 인서트) 사이의 일치하지 않는 갭을 발생시키는 탄성중합체의 소성 변형을 일으킬 수 있다. 일치하지 않는 갭은 시일의 과압축, 슬릿 밸브 도어와 슬릿 밸브 사이의 근속간의 접촉, 시일 요소의 부식성 프로세스 가스로의 높은 노출 레벨, 및 시일의 조속한 열화를 일으킬 수 있다.

본 발명은 금속 인서트 등의 슬릿 밸브의 시일면과 슬릿 밸브 도어 사이의 갭을 유지하기 위한 박막 스페이서를 제공한다. 막 스페이서는, 예컨대 시일을 웨이퍼 처리 챔버 내의 부식성 가스에 가시거리내 노출(line of sight exposure)을 제한함으로써 그리고 시일의 압축률을 제어함으로써 시일의 수명을 연장시킬 수 있다. 스페이서는 챔버 내에 존재할 수 있는 임의의 부식성 가스로부터 먼 슬릿 밸브의 외측 주위 측에 위치될 수 있다.

따라서, 슬릿 밸브 도어 또는 슬릿 밸브는, 시일면과, 이 시일면과 대응하는 시일면 사이의 최소한의 갭을 유지하기 위해 시일면 상에 있는 박막 스페이서를 포함한다. 시일면 상에 있는 시일 요소는 대응하는 시일면에 대해 시일하기 위해 제공될 수 있다. 스페이서는 주위 측 상에 있는 시일 요소로부터 외측에 위치되어 스페이서가 챔버 내의 부식성 가스에 노출되지 않으므로, 열화가 가속화되지 않는 다. 도어와 슬릿 밸브 사이의 최소한의 갭을 유지하기 위해, 스페이서는 시일의 일관된 압축을 제공하므로, 시일의 과압축 및 잠재적인 조속한 마모를 방지할 수 있다. 스페이서와 함께 성취되는 도어와 챔버 사이의 감소된 최소의 갭은 시일이 챔버 내의 부식성 가스에 가시거리내 노출을 감소시키므로, 시일 수명이 연장될 수 있다.

특히, 시일 요소와 스페이서는 일체형 부재로서 형성되고, 시일 부재 및/또는 스페이서는 시일면을 따라 연속적일 수 있다. 스페이서는 탄성중합체(elastomer)와 중합체(polymer)로 이루어진 그룹으로부터 선택된 물질로 형성될 수 있고, 분사 코팅(sprayed-on coating)일 수 있다. 시일면은 평면 또는 다중 평면일 수 있다.

다른 실시예에 따르면, 슬릿 밸브 조립체는 밸브 개구와, 이 밸브 개구를 둘러싸는 시일면을 갖는 슬릿 밸브를 포함하고, 개방 위치와 폐쇄 위치 사이에서 이동가능한 슬랫 밸브 도어는 슬릿 밸브의 밸브 개구를 통한 흐름을 허용 및 차단한다. 슬릿 밸브 도어는 슬릿 밸브의 시일면에 대해 시일하기 위한 시일면을 갖는다. 박막 스페이서는 도어가 폐쇄 위치에 있는 경우, 시일면들 사이의 최소의 갭을 유지하기 위해 상기 슬릿 밸브 도어의 시일면과 상기 슬릿 밸브의 시일면 중 적어도 하나 상에 제공된다.

슬릿 밸브 도어는 상기 밸브 본체의 시일면에 대해 시일하기 위해 상기 시일면 상에 시일 요소를 더 포함한다. 스페이서는 그 주위측 상에 상기 시일 요소로부터 외측에 배치될 수 있다. 시일 요소와 스페이서는 일체형 부재로서 형성될 수 있다. 시일 요소 및/또는 스페이서는 상기 시일면을 따라 연속적일 수 있다. 스페이서는 탄성중합체와 중합체로 이루어진 그룹으로부터 선택된 물질로 형성될 수 있고, 분사 코팅일 수 있거나 또는 시일면에 접착될 수 있다. 시일면은 평면 또는 다중 평면일 수 있다.

다른 실시예에 따르면, 슬릿 밸브 도어는 다중 평면 시일면과, 슬릿 밸브의 대향된 다중 평면 시일면에 대해 시일하기 위해 상기 시일면 내의 홈부 내에 수용된 시일 요소를 포함한다. 시일 요소는 시일 비드를 형성하도록 상기 홈부로부터 상기 시일면의 표면 위로 돌출하는 부분을 구비한다. 시일 요소는 상기 홈부로부터 상기 슬릿 밸브 도어의 시일면 위로 돌출하는 제 2 부분을 구비하며, 상기 제 2 부분은 상기 시일 비드로부터 이격되며, 상기 도어가 슬릿 밸브 조립체 내에 설치되고 폐쇄 위치에 있는 경우 상기 시일 비드가 부식성 가스에 가시거리내 노출(line-of sight exposure)을 제한하도록 구성된다. 시일 요소는 상기 밸브 도어에 의해 3개 측부 상에 대체로 둘러싸일 수 있다. 박막 스페이서는 슬릿 밸브 도어와 슬릿 밸브의 대응하는 시일면 사이의 최소한의 갭을 유지하기 위해 제공될 수 있다.

본 발명의 전술한 특징 및 다른 특징은 도면과 함께 기술된 하기의 상세한 설명으로부터 보다 명백해질 것이다.

도 1은 예시적인 종래의 진공 처리 시스템(10)을 도시한다. 시스템(10)은 중앙의 진공 이송 챔버(12)에 부착된 일련의 진공 챔버(14)를 포함한다. 한 쌍의 진공 로드록 챔버(16)는 미니 환경(18)에 통로를 제공한다. 포드 로더(pod loaders)(20)는 미니 환경(18)에 부착된 것으로 도시되어 있다. 본 시스템은 클러스터 툴의 일례이다.

진공 챔버(14)는, 챔버 내의 진공 손실 없이 웨이퍼를 챔버(12, 14, 16) 사이에서 통과가능하게 하는 기밀성 시일로 이송 챔버(12)에 연결될 수 있다. 포드 로더(20)는 미니 환경(18)에 부착되어, 진공 처리 시스템(10)을 수용하는 제조 플랜트 또는 건물의 전체적으로 자동식 제조 시스템의 일부인 자동식 기계에 의해 또는 사람에 의해 웨이퍼 카세트와 함께 반입될 수 있다. 미니 환경(18) 내의 로봇(도시하지 않음)은 포드 로더(20)로부터 로드록 챔버(16)로의 웨이퍼 또는 카세트를 이동시키고 다시 돌아올 수 있다. 이송 챔버(12) 내의 웨이퍼를 이동하기 위한 아암 및 블레이드를 갖는 로봇(도시하지 않음)은 로드록 챔버(16) 중 하나로부터 프로세스 챔버(14)로의 웨이퍼를 이동시키고 로드록 챔버(16) 중 하나로 다시 돌아올 수 있다.

진공 챔버(14)는, 웨이퍼 상에 집적 회로를 제조하는 일련의 여러 프로세스에서 웨이퍼에 몇 가지의 프로세스를 수행하기 위해, 화학적 증착(CVD) 챔버, 물리적 증착(PVD) 챔버, 식각 챔버와 같은 몇 가지 유형의 프로세스 챔버일 수 있다.

도 2에서, 이송 챔버(12)는, 이송 챔버(12)의 내부가 보이도록 덮개를 제거한 상태로 도시되어 있다. 개구(24)를 갖는 몇 개의 슬릿 밸브는, 슬릿 밸브 인서트(28, 30, 32, 34)와 같이 도시될 수 있다. 원형의 개구(36)는 이송 챔버(12) 내 의 웨이퍼를 이동시키기 위한 아암을 갖는 로봇을 지지하지만, 로봇은 도면에 도시하지 않으므로 이송 챔버(12)의 다른 세부사항은 보일 수 있다. 개구(38)는 슬릿 밸브 도어를 제조하기 위한 유압식 실린더에 접근하게 하며, 개구의 면은 도 3에 도시한다. 유압식 실린더와 슬릿 밸브 도어는 이송 챔버(12)의 다른 특징이 나타날 수 있도록 도시하지 않는다. 슬릿 밸브 도어와 유압식 실린더의 예는 미국 특허 5,226,632호에 개시되어 있으며, 이는 본원에 참고로 인용한다.

도 3은 슬릿 밸브 도어(40)의 전방면 플레이트를 도시한다. 슬릿 밸브 인서트(28, 30, 32, 34) 또는 그 상에 형성된 안착부와 접촉하기 위한 몰드식 부분 시일(50)은 시일 플레이트(42)의 전방면에 있다. 몰드식 부분 시일(50)은 전방면(48)의 주변부 둘레에 형성된 홈부(58) 내에 성형된다. 시일은 시일 플레이트(42)에 가황 처리될 수 있다. 이에 따라, 시일 플레이트(42)의 제조시에, 시일(50)은 시일 플레이트(42)에 영구적으로 부착될 수 있다. 시일(50)은 홈부(58)의 금속 표면에 접착식으로 부착될 수 있다.

이러한 유형의 슬릿 밸브 도어(40)는 개구(38) 외부로 돌출하는 유압식 실린더에 의해 전방면(48)을 보유하는 평면에 수직인 방향으로 작동될 수 있다. 시일(50)은 인서트(28)의 내부의 곡면(54)과 일치할 수 있다. 개구(38) 외부로 돌출하는 유압식 실린더는 슬릿 밸브 도어(40)를 슬릿 밸브 인서트(28)에 대해 위로 밀침으로써, 몰드식 부분 시일(50)이 개구(56) 둘레에 기밀성 시일을 형성하는 표면(54)과 결합한다. 이에 따라, 슬릿 밸브 개구(24)가 슬릿 밸브 도어(40)에 의해 폐쇄되는 경우, 이송 챔버(12) 또는 프로세스 챔버(14) 내의 압력은 2개의 챔버 사 이의 누설 없이 필요에 따라 변경될 수 있다.

도 4 및 도 5를 참조하면, 슬릿 밸브 도어는 참조부호(64)로 도시한다. 슬릿 밸브 도어(64)는, 도어의 전방면 내의 환형 홈부(74) 내에 바람직하게 성형되는 환형 시일(72)을 구비한다. 몰드식 부분 시일(72)은 홈부(74)의 윤곽과 일치하는 바닥 윤곽부를 가질 수 있다. 도시한 바와 같이, 홈부(74)는 전방면(70)에 거의 수직 또는 직교하는 상측으로 만곡된 에지 또는 측부를 가질 수 있다. 홈부 표면은 시일 재료와 홈부 사이의 접착을 강화하기에 적합한 거칠기를 가질 수 있다.

시일(72)은 웨이퍼 처리의 요건에 적합한 각종 플루오르화 탄소 및 과불소화 탄성중합체 등의 시일에 의해 받는 동적 하중 하에서 다수의 입자를 발생시키지 않는 임의의 적절한 물질로 이루어질 수 있다. 적절한 시일 물질은 당해기술에 공지되어 있다. 추가적으로 또는 변형적으로, 시일(72)은 적절한 접착제를 이용하여 도어(64)에 접착될 수 있다.

도 6은 도 4의 평면(62)을 따른 단면도로서, 슬릿 밸브 조립체(60)는 본 발명에 따라 박막 스페이서 또는 범퍼(98)를 갖는 예시적인 슬릿 밸브 도어(64)를 구비한다. 박막 스페이서(98)는 갭(82)을 유지하기 위해 슬릿 밸브(81)의 시일면(80)과 슬릿 밸브 도어(64)의 시일면(70) 사이에 배치된다. 박막 스페이서(98)는 시일면(70, 80)이 서로 접촉하는 것을 방지하며, 이러한 목적을 위해 액추에이터를 정확하게 교정하고 슬릿 밸브 도어(64)를 조절할 필요성이 없이 시일면(70, 80) 사이의 최소한의 거리를 유지하도록 작동한다. 이에 따라, 액추에이터는 일반적으로 시일(782)의 잠재적인 과압축을 고려할 필요 없이 시일(72)을 소정량으로 압축하는 힘을 인가하도록 구성될 수 있다.

또한, 스페이서(98)는 일반적으로 가능한 것보다 훨씬 작은 갭(82)을 성취할 수 있다. 알 수 있는 바와 같이, 보다 작은 갭은 시일(72)이 챔버 내의 부식성 가스상 흐름으로의 가시거리내 노출을 제한하며, 시일(72)의 수명을 연장시킬 수 있다.

박막 스페이서(98)는 시일(72)의 일측부 또는 양측부 상에 배치될 수 있다. 도시한 실시예에 있어서, 스페이서(98)는 내측 챔버 프로세스 측에 반대측인 시일(72)의 외측 주위 비프로세스 측 상에 있다. 이러한 위치는 챔버의 부식성 가스로의 노출로 인한 스페이서 물질의 열화를 최소화한다. 스페이서(98)는 슬릿 밸브 도어(64)에 부착되거나 부착되지 않을 수 있지만, 일반적으로 스페이서(98) 아래에 기계적으로 연마된 입자의 발생을 감소시키도록 확고하게 고정될 것이다. 변형례로서, 스페이서(98)는 슬릿 밸브 도어(64)에 접착식으로 접착, 코팅 또는 분사 또는 화학적으로 결합될 수 있다.

시일(72)은 도 6에 도시한 단면 형상을 가질 수 있다. 그러나, 시일(72)은 일반적으로 슬릿 밸브(81)의 대향/정합 시일면(80)과 도어(64)의 전방면(70) 사이에서 압축될 것이다. 이에 따라, 그 구성은 도 6에 개략적으로 도시한 것과는 상이할 것이다. 예를 들면, 시일은 미국 특허 6,089,543호에 개시된 바와 같은 압축을 받을 수 있으며, 이는 본원에 참고로 인용된다.

스페이서(98)의 치수(예컨대, 폭 및 두께)는 차압력 및 최악의 CDA 압력 설정으로부터 최대의 작용 하중을 수용하도록 설계될 수 있다. 이러한 최대의 적용 하중에서, 스페이서(98)는 실제로 비틀어짐을 발생시키지 않도록 설계되므로, 다수의 동적 사이클과 고온 연화를 통해 스페이서 물질의 피로 강도와 열 안정성에 관계없이 도어(64)와 슬릿 밸브(81) 사이의 일정한 시일 압축 및 갭 제어를 허용한다.

압축된 시일 상태에서, 현재의 밸브 도어 시일 요소는 일반적으로 약 0.015인치 이상의 갭(82)을 산출한다. 박막 스페이서(98)는 갭을 0.015 인치 미만의 크기로 최소화하는데 이용될 수 있다. 이러한 갭의 크기는, 예컨대 스페이서 블록 등의 다른 유형의 스페이서로는 일반적으로 가능하지 않다. 보다 작은 갭(82)은 웨이퍼 처리 사이클 동안에 시일(72)을 공격할 수 있는 부식성 가스의 용적을 제한하므로, 언급한 바와 같이 시일(82)의 수명을 연장시킬 수 있다. 또한, 스페이서(98)가 일반적으로 시일을 압축할 수 있는 정도로 감소 또는 제거되기 때문에, 과압축으로 인한 시일 열화도 감소 또는 제거될 수 있다.

도 7 및 도 8을 참조하면, 또다른 예시적인 슬릿 밸브 조립체(60)는 본 발명에 따른 슬릿 밸브 도어(64)를 구비한다. 슬릿 밸브 조립체(60)는 도 6과 관련하여 기술된 슬릿 밸브 조립체와 유사하다. 이로써, 슬릿 밸브 도어(64)는 유압식 실린더에 의해 전방면(64)을 보유하는 평면에 수직인 방향으로 작동될 수 있으며, 도어(64)는 슬릿 밸브(81)(또는 인서트)의 각을 이룬 시일면에 대해 밀봉한다. 스페이서(98)는 전술한 방식으로 슬릿 밸브 도어(64)와 슬릿 밸브(81) 사이의 갭(82)을 유지한다.

도 9 내지 도 12는 또다른 예시적인 슬릿 밸브 조립체(60)를 도시한다. 슬 릿 밸브 조립체(60)는 슬릿 밸브(81)의 대응하는 시일면(80)에 대해 밀봉하기 위한 다중 평면 시일면(102)을 갖는 슬릿 밸브 도어(64)를 구비한다. 다중 평면 시일면(102)은 환형 홈부(74) 내에 성형되는 시일(72)을 구비한다.

시일(72)은 상술한 바와 같은 시일과 유사하다. 그러나, 본 실시예에 있어서, 도 12에 가장 잘 도시된 시일(72)에 인접한 추가적인 탄성중합체 물질(106)은 밸브의 폐쇄시에 챔버 내의 부식성 화학물에 시일(72)이 노출되는 것을 차단하도록 제공된다. 시일(72)과 배리어 물질(106)은 도시한 바와 같이 일체형 부재로서 형성될 수 있다. 배리어 탄성중합체 물질(106)은 일반적으로 도어(64)의 시일면(80) 상에서 연장되며 시일(72)의 주위 측과 챔버 측 양자 상에 제공되지만, 예컨대 챔버 측 등의 시일(72)의 일 측부 상에만 제공될 수도 있다.

일반적으로, 챔버 측 상에 있는 탄성중합체 물질(106)은 챔버의 부식성 가스로의 노출로 인한 열화를 받을 수 있다. 그러나, 알 수 있는 바와 같이, 탄성중합체 물질(106)이 일반적으로 시일 기능을 하는데에 기능을 하지 않으므로, 이와 같은 열화는 적절하게 밀봉하는 슬릿 밸브 도어(64)의 성능에 영향을 미치지는 않을 것이다. 이에 따라, 시일(72)이 챔버 내의 화학물에 노출하는 것을 차단함으로써, 배리어 탄성중합체 물질(106)은 시일(72)의 수명을 연장시킬 수 있다.

더욱이, 상술한 스페이서(98) 등의 스페이서는 시일(72)에 인접한 다중 평면 시일면(102) 상에 제공될 수 있다. 본 실시예에서는 도시하지 않았지만, 스페이서는 시일면(70, 80) 사이의 최소한의 갭(82)을 유지하는 유사한 방식으로 작동할 것이다.

스페이서(98)가 슬릿 밸브 도어(64)에 부착된 것으로 도시되어 있지만, 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 슬릿 밸브 시일면(예컨대, 인서트) 상에 제동될 수도 있다. 또한, 본 발명의 범위는 정합하는 시일면 사이의 최소한의 갭을 유지하는 다른 밸브 타입뿐만 아니라 임의 유형의 슬릿 밸브에 적용될 수 있다.

또한, 본 명세서에서의 용어 "주위 측(ambient side)"은 일반적으로 임의의 부식성 가스에 반대측의 시일 측(예컨대, 프로세스 측)을 언급한다. 따라서, 추위 측은 대기로의 개방될 수 있거나, 또는 시일의 반대측 상의 가스보다 다소 부식성이 낮은 가스를 함유한 다른 챔버로 누출될 수 있다. 몇몇의 적용에 있어서, 시일의 주위 측이 없을 수 있다. 이는 시일의 양측부가 부식성 가스를 가지는 경우일 수 있다.

본 발명이 특정의 바람직한 실시예에 대해 기술되었지만, 본 명세서 및 첨부된 도면을 통해 변경 및 수정이 이루어질 수 있음이 당업자에게 명백하다. 상술한 요소(구성요소, 조립체, 장치, 조성물 등)에 의해 수행되는 각종 기능과 관련하여, 이러한 요소를 기술하는데 이용된 용어("수단"을 포함함)는 달리 언급하지 않는다면 본 발명의 예시적인 실시예에서의 기능을 수행하는 구조와 동등하게 구성되지 않더라도, 소정의 요소의 특징 기능을 수행하는 임의의 요소에 상응하는 것을 의도한다. 더욱이, 본 발명의 특징이 몇 가지의 실시예에 대해 상술되었지만, 이러한 특징은 특정 적용을 위해 바람직할 수 있는 다른 실시예의 특징과 조합될 수 있다.

도 1은 이송 챔버와 덮개를 포함하는 종래의 진공 시스템의 개략적인 평면도,

도 2는 덮개를 벗긴 상태의 이송 챔버의 사시도,

도 3은 시일 플레이트의 면의 평면도,

도 4는 슬릿 밸브 도어의 사시도,

도 5는 도 4의 슬릿 밸브 도어의 부분 단면을 도시한 사시도,

도 6은 슬릿 밸브의 정합형 시일면과 폐쇄 관계로 도시된 본 발명에 따른 스페이서를 갖는 예시적인 슬릿 밸브를 구비한 슬릿 밸브 조립체의 일부의 확대 단면도,

도 7은 본 발명에 따른 스페이서를 갖는 슬릿 밸브 도어를 구비한 또다른 예시적인 슬릿 밸브 조립체의 단면도,

도 8은 도 7의 확대도,

도 9는 본 발명에 따른 또다른 예시적인 슬릿 밸브 도어의 사시도,

도 10은 도 9의 슬릿 밸브 도어의 정면도,

도 11은 또다른 예시적인 슬릿 밸브 내의 도 9 및 도 10의 슬릿 밸브를 도 10의 A-A선을 따라 취한 단면도,

도 12는 도 11의 확대도.

Claims

시일면과, 이 시일면 상의 박막 스페이서를 포함하며,

상기 박막 스페이서는 상기 시일면과 대응하는 시일면 사이의 최소한의 갭을 유지하는 슬릿 밸브 도어 또는 슬릿 밸브.
제1항에 있어서,

대응하는 시일면에 대해 시일하기 위해 상기 시일면 상에 시일 요소를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿 밸브 도어 또는 슬릿 밸브.
제1항 또는 제2항에 있어서,

상기 스페이서는 그 주위측 상에 상기 시일 요소로부터 외측에 배치되는 것을 특징으로 하는 슬릿 밸브 도어 또는 슬릿 밸브.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 시일 요소와 스페이서는 일체형 부재로서 형성되는 것을 특징으로 하는 슬릿 밸브 도어 또는 슬릿 밸브.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 시일 요소는 상기 시일면을 따라 연속적인 것을 특징으로 하는 슬릿 밸브 도어 또는 슬릿 밸브.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 스페이서는 상기 시일면을 따라 연속적인 것을 특징으로 하는 슬릿 밸브 도어 또는 슬릿 밸브.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 스페이서는 탄성중합체와 중합체로 이루어진 그룹으로부터 선택된 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 슬릿 밸브 도어 또는 슬릿 밸브.
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 스페이서는 분사 코팅(sprayed-on coating)인 것을 특징으로 하는 슬릿 밸브 도어 또는 슬릿 밸브.
제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 스페이서는 상기 시일면에 접착되는 것을 특징으로 하는 슬릿 밸브 도어 또는 슬릿 밸브.
제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 시일면은 다중 평면 시일면인 것을 특징으로 하는 슬릿 밸브 도어 또는 슬릿 밸브.
밸브 개구와, 이 밸브 개구를 둘러싸는 시일면을 갖는 슬릿 밸브;

상기 슬릿 밸브의 밸브 개구를 통한 흐름을 각각 허용 및 차단하도록 개방 위치와 폐쇄 위치 사이에서 이동가능하고, 밸브 본체의 시일면에 대해 시일하기 위한 시일면을 갖는 슬릿 밸브 도어; 및

상기 도어가 폐쇄 위치에 있는 경우, 상기 시일면들 사이의 최소의 갭을 유지하기 위해 상기 슬릿 밸브 도어의 시일면과 상기 슬릿 밸브의 시일면 중 적어도 하나 상에 있는 박막 스페이서;를 포함하는 슬릿 밸브 조립체.
제11항에 있어서,

상기 슬릿 밸브 도어는 상기 밸브 본체의 시일면에 대해 시일하기 위해 상기 시일면 상에 시일 요소를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿 밸브 조립체.
제11항 또는 제12항에 있어서,

상기 스페이서는 그 주위측 상에 상기 시일 요소로부터 외측에 배치되는 것을 특징으로 하는 슬릿 밸브 조립체.
제11항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 시일 요소와 스페이서는 일체형 부재로서 형성되는 것을 특징으로 하는 슬릿 밸브 조립체.
제11항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 시일 요소는 상기 시일면을 따라 연속적인 것을 특징으로 하는 슬릿 밸브 조립체.
제11항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 스페이서는 상기 시일면을 따라 연속적인 것을 특징으로 하는 슬릿 밸브 조립체.
제11항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 스페이서는 탄성중합체와 중합체로 이루어진 그룹으로부터 선택된 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 슬릿 밸브 조립체.
제11항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 스페이서는 분사 코팅인 것을 특징으로 하는 슬릿 밸브 조립체.
제11항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 스페이서는 상기 시일면에 접착되는 것을 특징으로 하는 슬릿 밸브 조립체.
제11항 내지 제19항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 시일면은 다중 평면 시일면인 것을 특징으로 하는 슬릿 밸브 조립체.
다중 평면 시일면과, 슬릿 밸브의 대향된 다중 평면 시일면에 대해 시일하기 위해 상기 시일면 내의 홈부 내에 수용된 시일 요소를 포함하며,

상기 시일 요소는 시일 비드를 형성하도록 상기 홈부로부터 상기 시일면의 표면 위로 돌출하는 부분을 구비하는 슬릿 밸브 도어.
제21항에 있어서,

상기 시일 요소는 상기 홈부로부터 슬릿 밸브 도어의 시일면 위로 돌출하는 제 2 부분을 구비하며,

상기 제 2 부분은 상기 시일 비드로부터 이격되며, 상기 도어가 슬릿 밸브 조립체 내에 설치되고 폐쇄 위치에 있는 경우 상기 시일 비드가 부식성 가스에 가시거리내 노출(line-of sight exposure)을 제한하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 슬릿 밸브 도어.
제21항 또는 제22항에 있어서,

상기 시일 요소는 상기 밸브 도어에 의해 3개 측부 상에 둘러싸이는 것을 특징으로 하는 슬릿 밸브 도어.