KR20090122121A - Light irradiation apparatus - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A light irradiating device is provided to perform partial irradiation while irradiating the ultraviolet ray by opening an irradiation hole when a slide unit receiving an object crosses the opening hole. CONSTITUTION: A light irradiation apparatus(10) includes a housing(14), a slide unit(15), a retaining unit(16), an opening/closing unit(17), and a pressurizing unit. The housing includes a light irradiation unit and an irradiation hole to irradiate the light. The slide unit relatively moves to the direction cross the irradiation hole. The slide unit includes a receiving hole to receive the object. The retaining unit retains the object. The retaining unit closes the receiving hole by engaging with the slide unit when the object is arranged in the slide unit. The opening/closing unit opens or closes the irradiation hole. The pressurizing unit pressurizes the opening/closing unit to the preset direction.

Description

광 조사 장치{LIGHT IRRADIATION APPARATUS}Light irradiation apparatus {LIGHT IRRADIATION APPARATUS}

본 발명은 광 조사 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 피조사체에 대하여 광을 효율적으로 조사할 수 있는 광 조사 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a light irradiation apparatus, and more particularly, to a light irradiation apparatus capable of irradiating light to an irradiated object efficiently.

반도체 웨이퍼(이하, 단지, 「웨이퍼」라고 칭함)의 처리 장치에서는, 웨이퍼의 회로면에 보호용의 접착 시트를 첩부하고 이면 연삭을 행하거나, 다이싱 테이프를 첩부하고 복수의 칩으로 낱개화 하거나 하는 처리가 행해진다. 이러한 처리에 사용되는 접착 시트에는, 접착제에 자외선 경화형(광반응형)의 것이 채용되어 있고, 상기와 같은 처리 후, 자외선 조사 장치에 의해 접착제를 경화시킴으로써 접착력을 약화시켜, 웨이퍼가 파손되지 않도록 용이하게 박리를 행할 수 있게 되어 있다. In a processing apparatus for a semiconductor wafer (hereinafter, simply referred to as a "wafer"), a protective adhesive sheet is attached to a circuit surface of the wafer, and the backside is ground, or a dicing tape is stuck to be cut into a plurality of chips. The process is performed. In the adhesive sheet used for such a treatment, an ultraviolet curable type (photoreaction type) is used for the adhesive, and after the above treatment, the adhesive is weakened by curing the adhesive with an ultraviolet irradiation device, so that the wafer is not damaged. Peeling can be performed easily.

상기 자외선 조사 장치로서는, 예를 들면 특허문헌 1에 개시되어 있다. 동 문헌에서의 자외선 조사 장치는, 접착시트를 통하여 웨이퍼가 링 프레임에 일체화된 피조사체를 흡착 지지하는 흡착기구와, 상부가 개방됨과 아울러 바닥부가 유리류로 구성된 하우징과, 상기 바닥부의 하방으로부터 자외선을 조사하는 광원을 구비하고 있다. 피조사체는 하우징을 흡착기구로 폐색함으로써 당해 하우징 내에 위 치하게 되어 있고, 이 상태에서, 상기 바닥부로부터 자외선을 투과시켜 피조사체에 조사하게 되어 있다. As said ultraviolet irradiation device, it is disclosed by patent document 1, for example. The ultraviolet irradiating apparatus in this document includes an adsorption mechanism for adsorbing and supporting an irradiated body in which a wafer is integrated in a ring frame through an adhesive sheet, a housing having an upper portion and a bottom portion made of glass, and an ultraviolet ray from below the bottom portion. A light source for irradiating the light is provided. The irradiated object is positioned in the housing by closing the housing with an adsorption mechanism. In this state, the irradiated object is irradiated with ultraviolet rays from the bottom portion.

특허문헌 1: 일본 특개 2004-281430호 공보Patent Document 1: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-281430

그렇지만, 특허문헌 1에 개시된 자외선 조사 장치에서는, 바닥부의 전체 영역을 투과하는 자외선에 의해 접착 시트의 접착제를 경화시키는 구성, 즉, 일괄 혹은 전체면 조사이기 때문에, 광원으로부터 상대적으로 떨어진 부위의 조도를 확보하기 위하여 고출력 램프를 사용하지 않으면 안 되어, 장치가 대형화함과 아울러 소비전력이 커져 러닝 코스트가 상승한다는 문제가 있다. 따라서, 피조사체의 평면적이 클 때는, 그것에 대응하여 넓은 영역에 자외선을 조사할 수 있는 램프가 필요하게 되고, 이것이 범용성을 저하시키는 요인이 된다. However, in the ultraviolet irradiation device disclosed in Patent Literature 1, the structure of curing the adhesive of the adhesive sheet by ultraviolet rays passing through the entire area of the bottom portion, that is, collective or whole surface irradiation, so that the roughness of the portion relatively separated from the light source is In order to ensure the use of a high-power lamp, there is a problem that the running cost increases because the device becomes larger and the power consumption increases. Therefore, when the planar area of the irradiated object is large, a lamp capable of irradiating ultraviolet rays to a wide area is required correspondingly to this, and this causes a decrease in versatility.

본 발명은, 이러한 문제에 주목하여 안출된 것으로, 그 목적은, 부분 조사에 의해, 자외선 등의 광을 피조사체에 대하여 효율적으로 조사하여, 소비 전력을 경감하면서 러닝 코스트를 억제하며, 게다가, 광의 외부로의 누설을 방지할 수 있는 광 조사 장치를 제공하는 것에 있다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been devised in view of such a problem, and its object is to irradiate light to ultraviolet light to the irradiated object efficiently by partial irradiation, and to reduce the running cost while reducing power consumption. It is providing the light irradiation apparatus which can prevent the leakage to the exterior.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 광반응형의 접착 시트가 첩부 혹은 가부착된 피조사체에 광을 조사하는 광 조사 장치에 있어서, In order to achieve the said objective, this invention is a light irradiation apparatus which irradiates light to the to-be-exposed object to which the photoreactive adhesive sheet was affixed or temporarily attached,

내부에 광조사 유닛을 구비함과 아울러, 광을 조사하는 조사구를 구비한 하우징과, 상기 조사구를 횡단하는 방향으로 상대적으로 이동 가능하게 설치됨과 아울러, 상기 피조사체를 수용하는 수용구를 갖는 슬라이드 수단과, 상기 피조사체를 유지함과 아울러, 상기 수용구를 통하여 피조사체를 슬라이드 수단의 내부에 배치 시켰을 때에 당해 슬라이드 수단에 걸어맞추어 수용구를 폐색하는 유지 수단과, 상기 조사구를 개폐하는 개폐 수단과, 이 개폐 수단을 소정 방향으로 가압하는 가압 수단을 구비하고, 상기 개폐 수단은, 상기 가압 수단에 의해 상기 조사구를 항상 개방하는 방향으로 가압되어 있음과 아울러, 상기 슬라이드 수단의 이동에 추종하여 상기 조사구를 개폐한다고 하는 구성을 채용하고 있다. In addition to having a light irradiation unit therein, and having a housing having an irradiation tool for irradiating light, and relatively movable in a direction crossing the irradiation tool, and having a receiving port for receiving the irradiated object Holding means for retaining the slide means, the irradiated object and engaging the slide means when the irradiated object is placed inside the slide means through the receiving opening, and closing means for closing the receiving opening, and opening and closing for opening and closing the irradiating opening. Means, and pressing means for pressing the opening and closing means in a predetermined direction, wherein the opening and closing means is pressed in the direction in which the irradiation tool is always opened by the pressing means, and follows the movement of the slide means. The opening and closing of the said irradiation port are employ | adopted.

본 발명에서, 상기 개폐 수단은, 상기 슬라이드 수단의 이동방향을 따라 상기 광조사 유닛을 중간에 끼우도록 배치된 제 1 및 제 2 개폐 수단을 포함하고, 이들 개폐 수단은, 상기 슬라이드 수단이 자외선 조사 대기 위치로부터 자외선 조사 완료 위치를 향하여 조사구를 횡단할 때에, 제 1 개폐 수단이 조사구를 점차로 개방하는 방향으로 이동하는 한편, 제 2 개폐 수단이 조사구를 점차로 폐색하는 방향으로 이동한다고 하는 구성을 채용하는 것이 바람직하다. In the present invention, the opening and closing means includes first and second opening and closing means arranged so as to sandwich the light irradiation unit in the middle along the moving direction of the slide means. When traversing the irradiation port from the standby position toward the ultraviolet irradiation completed position, the first opening and closing means moves in the direction of gradually opening the irradiation tool, while the second opening and closing means moves in the direction of gradually closing the irradiation tool. It is preferable to employ.

또, 상기 개폐 수단은, 상기 광조사 유닛의 측방에 단일 배치로 되고, 당해 개폐 수단은, 상기 슬라이드 수단이 자외선 조사 대기 위치로부터 자외선 조사 완료 위치를 향하여 조사구를 횡단할 때, 상기 조사구를 점차로 개방하는 방향으로 이동하는 구성을 채용해도 된다. In addition, the opening and closing means is arranged in a single side of the light irradiation unit, the opening and closing means, when the slide means traverses the irradiation port from the ultraviolet irradiation standby position to the ultraviolet irradiation complete position, You may employ | adopt the structure which moves to the direction to open gradually.

또한, 본 발명은 상기 개폐 수단의 위치를 검출하는 위치 검출 수단을 포함하고, 상기 조사구의 개폐가 적정하게 행해지지 않을 때, 소정의 신호를 외부에 출력하도록 설치할 수 있다. In addition, the present invention includes a position detecting means for detecting the position of the opening and closing means, and can be provided so as to output a predetermined signal to the outside when the opening and closing of the irradiation port is not performed properly.

본 발명에 의하면, 슬라이드 수단의 이동에 추종하여 개폐 수단이 조사구를 개폐하는 구성이기 때문에, 피조사체를 수용한 슬라이드 수단이 조사구를 횡단할 때, 당해 조사구를 개방하여 자외선을 조사하면서 부분 조사를 행할 수 있다. 따라서, 종래와 같은 일괄 혹은 전체면 조사를 행할 필요가 없게 되어, 고출력 램프를 사용하지 않아, 광의 출력은 종래 장치에 비해 작아도 충분하게 되어, 에너지 절약형의 광 조사 장치를 제공하는 것이 가능하게 된다. 게다가, 개폐 수단은, 피조사체에 대한 광조사에 필요한 영역 이외를 폐색하기 때문에, 자외선 등의 유해한 광이 외부로 새는 것을 방지할 수 있어, 당해 광이 작업자의 눈에 들어가 버리는 것과 같은 문제도 회피 가능하게 된다. According to the present invention, since the opening and closing means opens and closes the irradiation port in accordance with the movement of the slide means, when the slide means containing the irradiated object crosses the irradiation hole, the portion is opened while irradiating ultraviolet rays. Investigation can be carried out. Therefore, it is not necessary to perform the collective or whole surface irradiation like conventionally, and since a high output lamp is not used, the output of light becomes small enough compared with the conventional apparatus, and it becomes possible to provide an energy saving type light irradiation apparatus. In addition, since the opening and closing means occludes only the area required for light irradiation to the irradiated object, it is possible to prevent harmful light such as ultraviolet rays from leaking to the outside, thereby avoiding the problem of the light entering the worker's eyes. It becomes possible.

또, 개폐 수단을 단일로 한 구성에서는, 하우징의 소형화를 달성할 수 있어, 특히, 광 조사 면적이 작은 피조사체를 대상으로 한 경우에 실익을 가져온다. In addition, in a configuration in which the opening / closing means is a single unit, the housing can be miniaturized, and in particular, when the object to be irradiated with a small light irradiation area is targeted, a benefit is obtained.

또한, 검지 수단을 설치한 구성에서는, 개폐 수단의 의도하지 않는 동작 불량이 생겨 자외선의 조사가 적정하게 행해지지 않는 것과 같은 문제를 회피할 수 있다. In addition, in the configuration in which the detecting means is provided, problems such as unintentional malfunction of the opening and closing means are generated and the irradiation of ultraviolet rays is not performed properly can be avoided.

이하, 본 발명의 실시형태에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described, referring drawings.

도 1에는, 본 발명이 자외선 조사 장치에 적용된 실시형태에 따른 개략 사시도가 도시되고, 도 2에는, 그 일부를 단면으로 나타낸 개략 정면도가 도시되고, 도 3에는 도 2의 A 화살표 방향 단면도가 도시되어 있다. 이들 도면에서, 광 조사 장치로서의 자외선 조사 장치(10)는, 피조사체로서의 광반응형(자외선 경화형)의 접착 시트(S)가 가부착된 웨이퍼(W)에 광(자외선)을 조사하는 장치로서 구성되어 있 다. 이 자외선 조사 장치(10)는, 내부에 자외선 조사 유닛(11)이 배치되어 있음과 아울러 상면에 자외선의 조사구(12)가 설치된 하우징(14)과, 이 하우징(14)에 이동 가능하게 지지된 슬라이드 수단(15)과, 웨이퍼(W)를 유지하는 유지 수단(16)과, 하우징(14) 내에 설치된 한 쌍의 개폐 수단(17)과, 이들 개폐 수단(17)이 상기 조사구(12)를 항상 개방하는 방향으로 가압하는 한 쌍의 가압 수단(18)과, 개폐 수단(17)의 위치를 검출하는 위치 검출 수단(19)을 구비하여 구성되어 있다. In FIG. 1, the schematic perspective view which concerns on embodiment to which this invention was applied to the ultraviolet irradiation device is shown, In FIG. 2, the schematic front view which shows the one part by the cross section is shown, In FIG. It is. In these figures, the ultraviolet irradiation device 10 as a light irradiation apparatus is a device which irradiates light (ultraviolet rays) to the wafer W to which the adhesive sheet S of the photoreaction type (ultraviolet curing type) as an irradiated body was attached. Consists of. The ultraviolet irradiating apparatus 10 is supported by the housing 14 in which the ultraviolet irradiation unit 11 is arrange | positioned inside, and the ultraviolet-ray irradiation opening 12 was provided in the upper surface, and this housing 14 is movable. The slide means 15, the holding means 16 for holding the wafer W, a pair of opening and closing means 17 provided in the housing 14, and these opening and closing means 17 are the irradiation holes 12 ) And a pair of pressing means 18 for pressing in the direction of always open, and a position detecting means 19 for detecting the position of the opening and closing means 17.

상기 자외선 조사 유닛(11)은, 광원을 이루는 수은 램프(20)와, 당해 수은 램프(20)로부터 발광되는 자외선을 집광시켜 접착 시트(S)에 조사하기 위한 반사면을 형성하는 반사 후드(21)로 이루어진다. 수은 램프(20)는, 하우징(14)의 Y축방향을 따라 배치되고, 반사 후드(21)는, 도 2에 도시되는 바와 같이, 단면이 수은 램프(20)를 따르는 대략 U자 형상(포물면 형상)으로 설치되어 있다. 이 반사 후드(21)는 수은 램프(20)로부터의 자외선을 내측의 곡면에 의해 반사시키고, 접착 시트(S)에 대하여, Y축방향을 따르는 소정 폭의 라인 형상의 부분 조사가 되도록 구성되어 있다. The ultraviolet irradiation unit 11 forms a mercury lamp 20 constituting a light source and a reflective hood 21 for condensing ultraviolet light emitted from the mercury lamp 20 and reflecting the light onto the adhesive sheet S. ) The mercury lamp 20 is disposed along the Y-axis direction of the housing 14, and the reflective hood 21 has a substantially U-shaped cross section along the mercury lamp 20 as shown in FIG. 2 (parabolic surface). Shape). The reflective hood 21 is configured to reflect the ultraviolet rays from the mercury lamp 20 by the inner curved surface, and to perform partial irradiation of the line shape of a predetermined width along the Y-axis direction with respect to the adhesive sheet S. As shown in FIG. .

상기 하우징(14)은, 대략 직방체 형상의 본체(23)와, 이 본체(23)의 상면(23A)에 설치된 조사구(12)와, X축방향으로 연장되는 가이드 레일(25)을 포함하고, 조사구(12)는, 반사 후드(21)의 상부 개구 영역에 대략 대응한 형상으로 형성되어 있다. The housing 14 includes a main body 23 having a substantially rectangular parallelepiped shape, an irradiation port 12 provided on an upper surface 23A of the main body 23, and a guide rail 25 extending in the X-axis direction. The irradiation port 12 is formed in a shape substantially corresponding to the upper opening region of the reflective hood 21.

상기 슬라이드 수단(15)은 슬라이드 본체(26)와, 이 슬라이드 본체(26)의 X축방향 양측에 설치된 슬라이더(27)로 구성되어 있다. 슬라이드 본체(26)는 웨이 퍼(W)를 수용하는 대략 원형의 수용구(29)를 구비한 정상벽(28)과, 이 정상벽(28)의 외주로부터 내려진 측벽(30)을 포함하여 하부가 개방구(30)로 되는 형상으로 설치되어 있다. 또, 슬라이더(27)는, 가이드 레일(25)을 따라 이동 가능하게 되고, 이것에 의해, 슬라이드 본체(26)는 자외선 조사 대기 위치(P1)(도 2 참조)와, 자외선 조사 완료 위치(P2)(도 7 참조) 사이에서, 조사구(12)를 횡단하는 방향으로 상대이동 가능하게 설치되어 있다. The slide means 15 is composed of a slide main body 26 and sliders 27 provided on both sides of the slide main body 26 in the X-axis direction. The slide body 26 includes a top wall 28 having a substantially circular receiving port 29 for receiving a wafer W and a side wall 30 lowered from the outer circumference of the top wall 28. Is provided in the shape of an opening 30. In addition, the slider 27 is movable along the guide rail 25, whereby the slide main body 26 has an ultraviolet irradiation standby position P1 (see FIG. 2) and an ultraviolet irradiation completed position P2. (Refer FIG. 7), it is provided so that relative movement is possible in the direction which traverses the irradiation tool 12. As shown to FIG.

상기 슬라이드 본체(26)에서, 도 3 중 좌단측의 측벽(30)의 중앙부에는, L형 브래킷(33)이 설치되어 있고, 당해 브래킷(33)의 상부 평면부에는, 유지 수단(16)과의 상대 위치를 결정하는 위치결정 구멍(33A)이 형성되어 있다. 또, 슬라이드 본체(26)는 자외선 조사 대기 위치(P1)에 있을 때에, 스토퍼(35)를 통하여 위치 규제되게 되어 있다. 이 스토퍼(35)는 도 3 중 좌측벽(30)에 설치된 스토퍼편(36)과, 실린더(37)로 구성되어 있다. In the slide main body 26, the L-shaped bracket 33 is provided in the center part of the side wall 30 of the left end side in FIG. 3, and the holding means 16 is provided in the upper planar part of the said bracket 33. As shown in FIG. A positioning hole 33A is formed to determine the relative position of. Moreover, when the slide main body 26 is in the ultraviolet irradiation waiting position P1, it is position-controlled via the stopper 35. As shown in FIG. This stopper 35 is comprised from the stopper piece 36 provided in the left wall 30 in FIG. 3, and the cylinder 37. As shown in FIG.

상기 유지 수단(16)은, 지지 기판(39)과, 당해 지지 기판(39)보다도 작은 직경으로 만들어짐과 아울러, 도시하지 않은 감압 펌프에 접속되어 웨이퍼(W)의 형상에 대응한 흡착 플레이트(40)와, 지지 기판(39)의 상면측에 연결되어 Y축방향으로 연장되는 암(41)과, 당해 암(41)을 Z축방향으로 이동 가능하게 지지하는 Z축 로봇(42)과, 이 Z축 로봇(42)을 X축방향으로 이동 가능하게 지지하는 X축 로봇(43)을 구비하여 구성되어 있다. 흡착 플레이트(40)는, 하면측을 흡착면으로 하여 도시하지 않은 흡착구멍이 설치되어, 웨이퍼(W)를 흡착 지지 가능하게 되어 있다. 또한, 하우징(14)의 인접 위치에는, 웨이퍼(W)의 지지 테이블(45)이 배치되어 있다. 또, 암(41)의 하면측에는 걸어맞춤 핀(47)이 돌출 설치되고, 위치결정 구멍(33A)에 걸리거나 빠지게 되어 있어, 걸어맞춤 상태에서, 흡착 플레이트(40) 및 웨이퍼(W)가 슬라이드 본체(26) 내에 위치하고, 지지 기판(39)이 슬라이드 본체(26)에 걸어맞추어져 수용구(29)를 폐색한다. The holding means 16 is made of a support substrate 39 and a diameter smaller than that of the support substrate 39, and is connected to a pressure reducing pump (not shown), and an adsorption plate corresponding to the shape of the wafer W ( 40, an arm 41 connected to the upper surface side of the support substrate 39 and extending in the Y-axis direction, a Z-axis robot 42 supporting the arm 41 so as to be movable in the Z-axis direction, An X axis robot 43 is provided to support the Z axis robot 42 so as to be movable in the X axis direction. The adsorption plate 40 is provided with adsorption holes (not shown) with the lower surface side as the adsorption surface, and the adsorption support of the wafer W is made possible. Moreover, the support table 45 of the wafer W is arrange | positioned in the adjoining position of the housing 14. Moreover, the engaging pin 47 protrudes and is provided in the lower surface side of the arm 41, and it is caught or pulled out by the positioning hole 33A, and the adsorption plate 40 and the wafer W slide in the engaged state. Located in the main body 26, the support substrate 39 is engaged with the slide main body 26 to close the receiving port 29.

상기 개폐 수단(17)은, 도 2에 도시되는 바와 같이, 자외선 조사 유닛(11)을 중간에 끼우고 대칭 배치된 제 1 개폐 수단(17A)과, 우측에 배치된 제 2 개폐 수단(17B)으로 구성되어 있다. 또, 가압 수단(18)은 각 개폐 수단(17A, 17B)을 가압하는 제 1, 제 2 가압 수단(18A, 18B)에 의해 구성되어 있다. 또한, 제 2 개폐 수단(17B) 및 제 2 가압 수단(18B)에 대해서는, 제 1 개폐 수단(17A) 및 제 2 가압 수단(18A)의 끄트머리 부호 「A」를 「B」로 치환하면 설명할 수 있기 때문에 설명을 간략화 한다. As shown in FIG. 2, the opening / closing means 17 includes the first opening / closing means 17A arranged in a symmetrical manner with the ultraviolet irradiation unit 11 interposed therebetween, and the second opening / closing means 17B arranged on the right side. It consists of. Moreover, the pressurizing means 18 is comprised by the 1st, 2nd pressurizing means 18A, 18B which pressurizes each open / close means 17A, 17B. In addition, about the 2nd opening / closing means 17B and the 2nd pressurizing means 18B, it will demonstrate if replacing the edge "A" of the 1st opening / closing means 17A and the 2nd pressurizing means 18A with "B". The description should be simplified.

상기 제 1 개폐 수단(17A)은 하우징(14)의 조사구(12)를 폐색 가능한 크기로 설치됨과 아울러, 기립부(51A)를 갖는 개폐 플레이트(50A)에 의해 구성되어 있다. 기립부(51A)는 슬라이드 본체(26)의 측벽(30)의 내면에 맞닿음 가능한 높이로 설치되어 있다. The said 1st opening / closing means 17A is provided by the opening-and-closing plate 50A which has a standing part 51A, while being provided in the magnitude | size which can occlude the irradiation port 12 of the housing | casing 14. As shown in FIG. The standing portion 51A is provided at a height capable of coming into contact with the inner surface of the side wall 30 of the slide main body 26.

상기 제 1 가압 수단(18A)은 에어 실린더(53A)에 의해 구성되고, 이 에어 실린더(53A)의 슬라이더(54A)에 개폐 플레이트(50A)가 지지되고, 당해 개폐 플레이트(50A)를 도 2 중 화살표 a 방향으로 항상 가압하게 되어 있다. 이것에 의해 개폐 플레이트(50A)는, 슬라이드 본체(26)가 도 2 중 좌측으로 이동하는 것을 조건으로, 슬라이드 본체(26)에 추종하여 개폐 플레이트(50A)가 이동하여 조사구(12)를 개방한다. The first pressing means 18A is constituted by an air cylinder 53A, and the opening and closing plate 50A is supported by the slider 54A of the air cylinder 53A, and the opening and closing plate 50A is shown in FIG. It is always pressing in the direction of arrow a. As a result, the opening / closing plate 50A follows the slide main body 26 and the opening / closing plate 50A moves on the condition that the slide main body 26 moves to the left side in FIG. do.

한편, 상기 제 2 개폐 수단(17B)을 구성하는 개폐 플레이트(50B)는, 도 2 중 화살표 b 방향으로 가압되어 있다. 이것에 의해 개폐 플레이트(50B)는 슬라이드 본체(26)가 도 2 중 좌측으로 이동하는 것을 조건으로, 우측벽(30)에 기립부(51B)가 걸어맞추어지고 슬라이드 본체(26)에 추종하여 개폐 플레이트(50B)가 이동해서 조사구(12)를 폐색한다. In addition, the opening / closing plate 50B which comprises the said 2nd opening / closing means 17B is pressurized in the arrow b direction in FIG. Thereby, the opening-and-closing plate 50B has a standing part 51B engaged with the right side wall 30 on the condition that the slide main body 26 moves to the left side in FIG. 2, and follows the slide main body 26 to open and close. The plate 50B moves to close the irradiation port 12.

상기 위치 검출 수단(19)은 실린더(53A)의 좌우 양측에 배치된 오토 스위치로 이루어지고, 개방 위치 검출 스위치(60A)와, 폐색 위치 검출 스위치(61A)를 포함한다. 개방 위치 검출 스위치(60A)는 개폐 플레이트(50A)가 개방 위치(도 6 참조)에 도달했을 때에 슬라이더(54A)를 검출하여 도시하지 않은 제어 장치에 신호를 출력한다. 한편, 폐색 위치 검출 스위치(61A)는, 개폐 플레이트(50A)가 폐색 위치(도 2 참조)에 도달했을 때에 슬라이더(54A)를 검출하여 마찬가지로 신호를 출력하게 되어 있다. 또한, 제어 장치는, 슬라이드 본체(26)가 소정의 조건하에 위치할 때, 상기 스위치(60A, 61A)로부터의 신호가 입력되지 않으면 외부로 소정의 신호를 출력한다. The position detecting means 19 is composed of auto switches arranged on both left and right sides of the cylinder 53A, and includes an open position detecting switch 60A and a closed position detecting switch 61A. The open position detection switch 60A detects the slider 54A when the open / close plate 50A reaches the open position (see FIG. 6) and outputs a signal to a control device (not shown). On the other hand, the closing position detection switch 61A detects the slider 54A and outputs a signal similarly when the opening / closing plate 50A reaches the closing position (see FIG. 2). In addition, when the slide main body 26 is located under predetermined conditions, the control device outputs a predetermined signal to the outside unless the signals from the switches 60A and 61A are input.

다음에, 본 실시형태에 따른 자외선 조사방법에 대하여, 도 4 내지 도 7을 참조하면서 설명한다. Next, the ultraviolet irradiation method which concerns on this embodiment is demonstrated, referring FIGS. 4-7.

소정의 처리가 시행된 접착 시트(S) 첩부 웨이퍼(W)가 도시하지 않은 옮겨싣기 암 등을 통하여 지지 테이블(45)의 상면에 옮겨 실리면, X, Z축 로봇(43, 42)을 통하여 흡착 플레이트(40)가 웨이퍼(W)를 흡착 지지하고 슬라이드 본체(26)의 바로 위로 이동한다. 그 후, Z축 로봇(42)을 통하여 흡착 플레이트(40)가 소정량 하강함으로써 웨이퍼(W)가 슬라이드 본체(26) 내에 수용되어, 수용구(29)를 폐색한다. 이때, 핀(47)이 브래킷(33)의 위치결정 구멍(33A)에 걸어 맞추어진다. 핀(47)과 브래킷(33)의 걸어맞춤이 도시하지 않은 검지 수단에 의해 검지되면, 스토퍼(35)에 의한 슬라이드 본체(26)의 고정이 해제됨과 아울러, 상기 폐색 위치 검출 스위치(61A) 및 개방위치 검출 스위치(60B)가 각각 슬라이더(54A, 54B)를 검지하고 있는 것을 조건으로 하여, 이후의 제어로 이행한다. When the adhesive sheet S adhered wafer W subjected to a predetermined treatment is transferred to the upper surface of the support table 45 through a transfer arm or the like not shown, through the X and Z axis robots 43 and 42. The suction plate 40 sucks and supports the wafer W and moves directly above the slide body 26. Thereafter, the suction plate 40 is lowered by a predetermined amount through the Z-axis robot 42 so that the wafer W is accommodated in the slide main body 26 to close the receiving port 29. At this time, the pin 47 is engaged with the positioning hole 33A of the bracket 33. When the engagement of the pin 47 and the bracket 33 is detected by a detection means (not shown), the stopper 35 releases the slide main body 26 and the closure position detection switch 61A and On the condition that the open position detection switch 60B detects the slider 54A, 54B, respectively, it transfers to subsequent control.

X축 로봇(43)이 구동함으로써, 도 5에 도시되는 바와 같이, 슬라이드 본체(26)가 X축방향을 따라 좌측으로 이동을 개시한다. 그러면, 개폐 플레이트(50A)가 제 1 가압 수단(18A)의 가압력에 의해 슬라이드 본체(26)에 추종 이동하여 조사구(12)를 점차로 개방하고, 자외선 조사 유닛(11)에 의해 라인 형상으로 수속된 자외선이 접착 시트(S)에 조사되어, 당해 접착 시트(S)의 접착제를 경화반응시킨다. As the X-axis robot 43 drives, as shown in FIG. 5, the slide main body 26 starts moving to the left along the X-axis direction. Then, the opening / closing plate 50A follows the slide main body 26 by the pressing force of the first pressing means 18A, gradually opens the irradiation port 12, and converges in a line shape by the ultraviolet irradiation unit 11. The ultraviolet rays thus applied are irradiated to the adhesive sheet S to cure the adhesive of the adhesive sheet S.

도 6에 도시되는 바와 같이, 슬라이드 본체(26)가 더 이동하면, 기립부(51A)가 조사구(12)에 맞닿음과 아울러, 우측벽(30)이 기립부(51B)에 맞닿아 개폐 플레이트(50B)가 좌측으로 이동을 개시하고, 조사구(12)로부터 외부로 자외선이 새지 않도록, 슬라이드 본체(26)와 서로 작용하여 조사구(12)를 점차로 폐색하게 된다. 또한, 이 개폐 플레이트(50A)의 개방 동작에서, 슬라이드 본체(26)의 좌측벽(30)이 조사구(12)의 좌측 끝을 지나간 시점에서, 슬라이더(54A)가 개방 위치 검출 스위치(60A)에 의해 검출되지 않을 때는, 개폐 플레이트(50A)가 이동을 정지하고, 자외선이 접착 시트(S)에 조사되지 않고 처리가 완료되어 버리게 된다. 그래 서, 제어 수단은 상기와 같은 소정 조건에서, 개방 위치 검출 스위치(60A)로부터의 신호입력이 없을 때, 경고 수단(회전등이나 버저) 등의 외부 장치를 작동시키는 신호를 출력하여, 오퍼레이터 등에게 이상을 알리게 되어 있다.  As shown in FIG. 6, when the slide main body 26 further moves, the standing portion 51A abuts on the irradiation port 12, and the right wall 30 abuts on the standing portion 51B to open and close. The plate 50B starts to move to the left side and interacts with the slide main body 26 so as not to leak ultraviolet rays from the irradiation hole 12 to the outside, thereby gradually closing the irradiation hole 12. In addition, in the opening operation of the opening / closing plate 50A, when the left wall 30 of the slide main body 26 has passed the left end of the irradiation port 12, the slider 54A is open position detection switch 60A. When it is not detected by, the opening / closing plate 50A stops moving, and the ultraviolet rays are not irradiated to the adhesive sheet S, and the processing is completed. Therefore, the control means outputs a signal for operating an external device such as a warning means (rotary light or buzzer) when there is no signal input from the open position detecting switch 60A under the predetermined conditions as described above, and the operator or the like. It is supposed to announce the ideals.

슬라이드 본체(26)가 더 이동하여, 도 7에 도시되는 자외선 조사 완료 위치(P2)에 도달함으로써 자외선 조사가 완료된다. 이 자외선 조사 완료 위치(P2)는 자외선 조사 유닛(11)을 중심으로 했을 때에, 자외선 조사 대기 위치(P1)와 선대칭 위치에 설정되어 있다. The slide main body 26 further moves, and the ultraviolet irradiation is completed by reaching the ultraviolet irradiation completed position P2 shown in FIG. When the ultraviolet irradiation completed position P2 is centered on the ultraviolet irradiation unit 11, it is set to the ultraviolet irradiation waiting position P1 and the line symmetry position.

그 후, 슬라이드 수단(15)은 상기의 동작과 역동작을 행하여, 유지 수단(16) 을 통하여 자외선 조사 대기 위치(P1)에 복귀되고, 스토퍼(35)에 의해 고정된다. 이 복귀 동작 중에도 자외선이 접착 시트(S)에 조사되고, 개폐 플레이트(50B)의 개방 동작에서, 슬라이드 본체(26)의 우측벽(30)이 조사구(12)의 우측 끝을 지나간 시점에서, 슬라이더(54B)가 개방 위치 검출 스위치(60B)에 의해 검출되지 않을 때는, 상기와 같은, 경고 수단 등을 통하여 오퍼레이터 등에게 이상을 알리게 되어 있다. 이어서, 자외선 조사완료된 웨이퍼(W)는, 유지 수단(16)에 의해 지지 테이블(45)에 옮겨 실리고, 도시하지 않은 옮겨싣기 암을 통하여 다음 공정으로 옮겨 실린다. 그리고, 다음에 자외선 조사를 행하기 위한 새로운 웨이퍼가 지지 테이블(45)에 옮겨 실린 후, 상기와 동일한 동작이 반복됨으로써 차례차례 자외선 조사가 행해진다. Thereafter, the slide means 15 performs the reverse operation to the above operation, returns to the ultraviolet irradiation standby position P1 via the holding means 16, and is fixed by the stopper 35. Even during this return operation, ultraviolet rays are irradiated onto the adhesive sheet S, and at the time when the right side wall 30 of the slide body 26 passes the right end of the irradiation port 12 in the opening operation of the opening / closing plate 50B, When the slider 54B is not detected by the open position detection switch 60B, the operator or the like is notified of the abnormality through the above warning means. Subsequently, the ultraviolet-ray-completed wafer W is carried to the support table 45 by the holding means 16, and is carried to the next process through the carrying arm which is not shown in figure. Subsequently, after a new wafer for carrying out ultraviolet irradiation is transferred to the support table 45, the same operation as described above is repeated, thereby sequentially performing ultraviolet irradiation.

따라서, 이러한 실시형태에 의하면, 슬라이드 본체(26) 내에 수용된 웨이퍼(W)가 조사구(12)의 상방을 횡단하는 방향으로 이동할 때, 폐색된 공간 내에서 웨이퍼(W)에 자외선을 조사할 수 있는 효과를 얻는다. Therefore, according to this embodiment, when the wafer W accommodated in the slide main body 26 moves in the direction crossing the irradiation port 12, the ultraviolet ray can be irradiated to the wafer W in the occluded space. Get an effect.

이상과 같이, 본 발명을 실시하기 위한 최선의 구성, 방법 등은, 상기 기재에서 개시되어 있지만, 본 발명은, 이것에 한정되는 것은 아니다. As mentioned above, although the best structure, method, etc. for implementing this invention are disclosed by the said description, this invention is not limited to this.

즉, 본 발명은, 주로 특정 실시형태에 관하여 특별히 도시, 설명되어 있지만, 본 발명의 기술적 사상 및 원하는 범위로부터 일탈하지 않고, 이상에서 설명한 실시형태에 대하여, 형상, 위치 혹은 배치 등에 관하여, 필요에 따라 당업자가 여러 변경을 가할 수 있는 것이다. In other words, the present invention is mainly illustrated and described with respect to specific embodiments, but without departing from the technical spirit and the desired range of the present invention, and with respect to the embodiments, the shapes, positions, or arrangements of the embodiments described above, Therefore, those skilled in the art can make various changes.

예를 들면, 본 발명에 따른 자외선 조사 장치(10)를 구성하는 각 부의 상대 위치, 즉 레이아웃은 도시 구성예에 한정되는 것이 아니고, 하우징(14)과 유지 수단(16) 등을 상하 혹은 좌우로 반전시키거나, 상하방향을 향하거나 하는 것도 가능하다. 따라서, 방향을 나타내는 용어는, 장치 각 부의 레이아웃의 변경에 의해 하면, 하부, 상하 등으로 될 수 있게 되고, 이들 변경한 태양은 본 발명과 균등한 것으로서 포함된다. For example, the relative position of each part constituting the ultraviolet irradiation device 10 according to the present invention, i.e., the layout, is not limited to the illustrated configuration example, and the housing 14, the holding means 16, and the like are moved up and down or left and right. It is also possible to invert or face up and down. Accordingly, the term indicating the direction can be changed to the lower part, the upper part, and the lower part by changing the layout of each part of the apparatus, and these modified aspects are included as equivalent to the present invention.

또, 상기 실시형태에서는, 유지 수단(16)이 X축방향을 따라 이동함으로써 슬라이드 수단(15)이 하우징(14) 상을 이동하는 구성으로 했지만, 하우징(14)이나, 그것들 양쪽을 이동 가능하게 설치하여 슬라이드 수단(15)과의 상대이동을 행하도록 구성해도 된다. 이 경우에는, 하우징(14)을 이동 가능하게 지지하는 적당한 이동 수단을 설치하면 충분하다. Moreover, in the said embodiment, although the slide means 15 moved on the housing 14 by the holding means 16 moving along the X-axis direction, it is possible to move the housing 14 and both of them. It may be provided so as to perform relative movement with the slide means 15. In this case, it is sufficient to provide suitable moving means for supporting the housing 14 to be movable.

또, 상기 실시형태에서는, 자외선을 조사함으로써 접착 시트(S)의 접착제를 경화시키는 경우를 설명했지만, 감열 접착성의 접착 시트를 웨이퍼(W)에 가부착하 고, 이것을 가열함으로써 당해 접착 시트를 웨이퍼(W)에 강력하게 첩부하는 장치 등에도 적용하는 것이 가능하다. 이 경우의 광으로서는 적외선 등을 예시할 수 있다. Moreover, in the said embodiment, although the case where the adhesive agent of the adhesive sheet S was hardened by irradiating an ultraviolet-ray was demonstrated, the thermosensitive adhesive sheet is temporarily attached to the wafer W, and this is heated and this adhesive sheet is bonded to a wafer ( It can also be applied to a device that is strongly attached to W). As light in this case, infrared rays etc. can be illustrated.

또한, 피조사체는 웨이퍼(W)에 한정되는 것은 아니고, 유리판, 강판, 또는, 수지판 등, 그 밖의 것도 대상으로 할 수 있으며, 반도체 웨이퍼는 실리콘 웨이퍼나 화합물 웨이퍼이어도 된다. In addition, the irradiated object is not limited to the wafer W, A glass plate, a steel plate, a resin plate, etc. can be made into other things, and a semiconductor wafer may be a silicon wafer or a compound wafer.

또, 자외선 조사 유닛(11)의 광원으로서는, 수은램프 이외에, 할로겐 램프, 형광등, 메탈할라이드 램프, 발광 다이오드 등을 채용해도 된다. In addition to the mercury lamp, a halogen lamp, a fluorescent lamp, a metal halide lamp, a light emitting diode, or the like may be employed as the light source of the ultraviolet irradiation unit 11.

또한, 개폐 수단(17)은, 적어도, 제 1 개폐 수단(17A)만의 단일 배치로 해도 되고, 이 경우에는, 하우징(14)의 X축방향을 따르는 길이를 짧게 하여 전체를 컴팩트하게 형성하는 것이 가능하게 된다. In addition, the opening / closing means 17 may be at least a single arrangement of only the first opening / closing means 17A, and in this case, shortening the length along the X-axis direction of the housing 14 to form the whole compactly. It becomes possible.

또, 슬라이드 수단(15)은 그것 자체를 단축 로봇의 슬라이더에 연결하여 자주형(自走型)으로 해도 된다. In addition, the slide means 15 may connect itself to the slider of a single axis robot, and may be self-supporting.

또한, 위치 검출 수단(19)은, 개방 위치 검출 스위치(60A, 60B)만으로 구성해도 되고, 당해 스위치류는 오토 스위치 이외의 여러 스위치를 채용할 수 있다. In addition, the position detection means 19 may be comprised only by the open position detection switches 60A and 60B, and the said switches can employ | adopt various switches other than an auto switch.

또, 슬라이드 본체(26) 내를 유리 등의 자외선 투과 가능한 부재로 칸막이하고, 지지 기판(39)으로 수용구(29)를 폐색했을 때, 밀폐 상태로 하여 질소 퍼지를 해도 된다. 이것에 의해, 자외선 경화형의 접착 시트(S)가 산소 저해를 받아 경화 불량을 일으키는 것을 방지할 수 있다. In addition, when the inside of the slide main body 26 is partitioned with a member which can permeate | transmit ultraviolet-rays, etc., and the receiving port 29 is closed by the support substrate 39, you may make nitrogen purge in a sealed state. Thereby, ultraviolet-ray curable adhesive sheet S can be prevented from receiving oxygen inhibition and hardening failure.

도 1 은 본 실시형태에 따른 자외선 조사 장치의 개략 사시도.1 is a schematic perspective view of an ultraviolet irradiation device according to the present embodiment.

도 2 는 상기 자외선 조사 장치의 일부를 절단한 개략 정면도.2 is a schematic front view of a portion of the ultraviolet irradiation device cut away;

도 3 은 도 2의 A화살표 방향 단면도.3 is a cross-sectional view of the arrow A in FIG.

도 4 는 웨이퍼가 슬라이드 본체 내에 수용된 상태를 도시하는 동작 설명도.4 is an operation explanatory diagram showing a state where a wafer is accommodated in a slide body;

도 5 는 슬라이드 수단이 조사구를 횡단하는 방향으로 이동한 상태를 나타내는 동작 설명도.5 is an operation explanatory diagram showing a state in which the slide means moves in a direction crossing the irradiation port;

도 6 은 슬라이드 수단이 도 5보다도 더욱 이동한 상태를 나타내는 동작 설명도.6 is an operation explanatory diagram showing a state in which the slide means is further moved than in FIG. 5;

도 7 은 슬라이드 수단이 자외선 조사 완료 위치로 이동한 상태를 나타내는 동작 설명도.7 is an operation explanatory diagram showing a state in which the slide means is moved to the ultraviolet irradiation complete position.

Claims (4)

광반응형의 접착 시트가 첩부 혹은 가부착된 피조사체에 광을 조사하는 광 조사 장치에 있어서, In the light irradiation apparatus which irradiates light to the to-be-projected object to which the photoreactive adhesive sheet adhere | attached or was temporarily attached, 내부에 광조사 유닛을 구비함과 아울러, 광을 조사하는 조사구를 구비한 하우징과, 상기 조사구를 횡단하는 방향으로 상대적으로 이동 가능하게 설치됨과 아울러, 상기 피조사체를 수용하는 수용구를 갖는 슬라이드 수단과, 상기 피조사체를 유지함과 아울러, 상기 수용구를 통하여 피조사체를 슬라이드 수단의 내부에 배치시켰을 때에 당해 슬라이드 수단에 걸어맞추어 수용구를 폐색하는 유지 수단과, 상기 조사구를 개폐하는 개폐 수단과, 이 개폐 수단을 소정 방향으로 가압하는 가압 수단을 구비하고, In addition to having a light irradiation unit therein, and having a housing having an irradiation tool for irradiating light, and relatively movable in a direction crossing the irradiation tool, and having a receiving port for receiving the irradiated object Holding means for retaining the slide means, the irradiated object and engaging the slide means when the irradiated object is placed inside the slide means through the receiving opening, closing means for closing the receiving opening, and opening and closing for opening and closing the irradiating opening. Means and pressing means for pressing the opening and closing means in a predetermined direction, 상기 개폐 수단은, 상기 가압 수단에 의해 상기 조사구를 항상 개방하는 방향으로 가압되어 있음과 아울러, 상기 슬라이드 수단의 이동에 추종하여 상기 조사구를 개폐하는 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.The opening and closing means is pressurized in a direction in which the irradiation tool is always opened by the pressing means, and opens and closes the irradiation tool in accordance with the movement of the slide means. 제 1 항에 있어서, 상기 개폐 수단은 상기 슬라이드 수단의 이동방향을 따라 상기 광조사 유닛을 중간에 끼우도록 배치된 제 1 및 제 2 개폐 수단을 포함하고, 이들 개폐 수단은 상기 슬라이드 수단이 자외선 조사 대기 위치로부터 자외선 조사 완료 위치를 향하여 조사구를 횡단할 때, 제 1 개폐 수단이 조사구를 점차로 개방하는 방향으로 이동하는 한편, 제 2 개폐 수단이 조사구를 점차로 폐색하는 방향으 로 이동하는 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.2. The opening and closing means according to claim 1, wherein the opening and closing means includes first and second opening and closing means arranged so as to sandwich the light irradiation unit in the middle along the moving direction of the slide means, wherein the opening and closing means are provided by the slide means. When crossing the irradiation port from the standby position toward the ultraviolet irradiation completed position, the first opening and closing means moves in the direction of gradually opening the irradiation sphere, while the second opening and closing means moves in the direction of gradually occluding the irradiation aperture. Light irradiation apparatus characterized by the above-mentioned. 제 1 항에 있어서, 상기 개폐 수단은 상기 광 조사 유닛의 측방에 단일 배치로 되고, 당해 개폐 수단은, 상기 슬라이드 수단이 자외선 조사 대기 위치로부터 자외선 조사 완료 위치를 향하여 조사구를 횡단할 때, 상기 조사구를 점차로 개방하는 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.The said opening / closing means is a single arrangement | positioning on the side of the said light irradiation unit, The said opening / closing means is a said, When the said slide means traverses an irradiation port toward the ultraviolet irradiation completion position from an ultraviolet irradiation standby position, Light irradiation apparatus characterized by moving in the direction to gradually open the irradiation port. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 개폐 수단의 위치를 검출하는 위치 검출 수단을 포함하고, 상기 조사구의 개폐가 적정하게 행해지지 않을 때, 소정의 신호를 외부에 출력하는 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.The method according to any one of claims 1 to 3, comprising position detecting means for detecting the position of the opening and closing means, and outputting a predetermined signal to the outside when the opening and closing of the irradiation port is not performed properly. Light irradiation apparatus characterized by the above-mentioned.
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