KR20090088391A - 탄소/탄소 복합재료 도가니 및 그 생산공정 - Google Patents

탄소/탄소 복합재료 도가니 및 그 생산공정 Download PDF

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Abstract

탄소/탄소 복합재료 도가니 및 그 제조방법이 제공된다. 상기 도가니는 탄소 섬유의 블랭크 제조-밀도 증가-정화-기계 가공을 거쳐 제조할 수 있으며, 상기 탄소 섬유는 폴리아크릴로니트릴 탄소 섬유이다. 본 제조방법을 수행하는 동안, 부푼 바늘 형상의 탄소 섬유로 구성된 웹은, 니들펀칭 시 유사 3차원 프리폼의 형성이 용이하다. 프리폼 내부 탄소 섬유가 종, 횡방향으로 교차되어 결합력이 비교적 강하고, 탈층 현상이 발생하지 않으며, 구조가 안정적이고, 아울러, 프리폼의 간극이 비교적 작아, 후속 밀도 증가 과정의 속도를 향상시킬 수 있다. 밀도 증가를 통하여 제조된 도가니는 순도가 아주 높으며, 진공 또는 보호 기체 조건 하에서 고온 정화를 진행하기만 하면, 회재량이 180ppm 미만인 탄소/탄소 복합재료를 제조할 수 있다.
탄소/탄소 복합재료 도가니, 도가니 프리폼, 블랭크 제조, 정화, 기계가공

Description

탄소/탄소 복합재료 도가니 및 그 생산공정{A C/C COMPOSITE CRUCIBLE AND A PRODUCING METHOD THEREOF}
본 발명은 고온 용광로에 사용되는 설비에 관한 것으로서, 특히 단결정 용광로에 사용되는 탄소/탄소 복합재료 도가니 및 그 생산공정에 관한 것이다.
현재, 단결정 용광로에서 널리 사용되어 석영 도가니를 지지하는데 사용되는 흑연 도가니는 일반적으로 다판(多瓣) 도가니 또는 흑연 도가니 받침대라고 불리우며, 단결정 용광로의 필수 설비이다.
단결정 용광로를 이용하여 단결정 규소봉 가공시, 다결정 규소 조각 등 원자재가 담긴 석영 도가니는 도가니 베이스 상에 위치한 흑연 도가니 내에 설치되며, 보호성 기체 조건에서 가열 용해되고, 공정 온도로 조정된 후, 씨앗 결정은 가이드 실린더를 거쳐 용해 다결정 액체 내로 삽입되며, 씨앗 결정은 흑연 도가니 역방향으로 회전하면서 위로 들어 올려져서, 다결정 액체로 하여금 씨앗 결정의 원자 배열 순서에 따라 결정화되고 응고되어 단결정 규소봉을 형성하도록 한다. 단결정 규소봉 가공 과정에서 용광로 내 온도는 1,200℃~l,700℃이며, 이때, 석영 도가니의 강도가 낮아지기 때문에, 외면의 흑연 도가니에 의해 지지되어야 한다. 흑연 도가니는 고온 환경에서 사용되고, 석영 도가니 및 원자재의 무게를 지탱하여야 하며, 회전 상태에 처하여 있으므로, 흑연 도가니의 역학 성능이 비교적 떨어지고, 외력의 작용 하에서 쉽게 파열되며, 사용 수명이 일반적으로 며칠, 길어야 몇 개월이며, 이는 기업의 정상적인 생산에 영향을 미치고, 생산 원가를 증가시킨다. 또한, 흑연 도가니의 생산 가공은 자재 소모가 비교적 많아서 단결정 규소 생산 발전의 수요를 만족시킬 수 없다.
특허 출원번호가 200610043186.4, 공개번호가 CNl907914A이며, 발명 명칭이 “단결정 규소 가공 용광로에 사용되는 열장 탄소/탄소 도가니의 제조방법”인 특허에서는, 흑연 도가니를 대체할 수 있는 탄소/탄소 도가니의 제조방법을 제시하고 있다.
상기 방법은 탄소 직물 유사 3차원 구조 프리폼을 사용하여, 화학 증착법, 푸르프랄 아세톤 수지 함침 탄화법 및 열간 등압 피치 탄화법 등을 결합한 치밀화 공정을 통하여, 여러 차례 반복하여 치밀화 처리를 진행하며, 제품 밀도 ≥1.83g/cm3 시, 치밀화 공정을 종료하고; 염소 기체와 프레온을 통과시키면서 제품에 대하여 고온 정화 처리를 진행하고, 기계 가공을 거쳐 단결정 규소 가공 용광로에 사용되는 열장 탄소/탄소 도가니를 제조한다.
상기 방법에서 이용되는 치밀화 공정은, 여러 차례 반복하여 치밀화 처리를 진행하여, 제품 밀도 ≥1.83g/cm3 상태에서만 공정을 종료할 수 있어, 과정이 복잡하고, 잡질 함량이 비교적 높으며, 아울러 염기 기체와 프레온을 통과시키면서 제품에 대하여 정화 처리를 진행하여 하기 때문에, 환경보호에 영향을 미치며, 환경 보호 의식이 날로 고양되는 현재에 바람직하지 않다.
탄소 섬유는 원자재에 따라 폴리아크릴로니트릴계 탄소 섬유, 레이온계 탄소 섬유 및 피치계 탄소 섬유로 구분되며, 현재 가장 널리 사용되는 것은 첫 번째 종류로서, 일반적으로 말하는 탄소 섬유는 폴리아크릴로니트릴계 탄소 섬유를 지칭하는 것이며, 이는 폴리아크릴로니트릴 섬유를 가공하여 제조하는 것이다. 탄소 섬유는 토우(tow)에 포함된 섬유 얀(yarn)의 수량이 부동함에 따라, 1k, 3k, 6k, 12k, 24k, 50k로 구분되며, k는 수량 단위로서, 1,000 얀을 나타낸다.
탄소 직물은 탄소 섬유 토우로 직조된 것으로서, 일반적으로 밀도에 따라, 200g/m2, 220g/m2, 240g/m2, 260g/m2으로 구분되며, 매 평방미터당 탄소 직물 그램 수를 나타낸다.
니들펀칭(needle-punching)은 부직포 및 팰트 직조에 널리 사용되는 공정으로서, 미늘이 형성된 바늘로 인접된 직물과 웹을 니들펀칭 하여 팰트로 복합 직조하는 것이다. 바늘이 꽂힐 때, 바늘 상의 미늘이 웹 상의 일부 섬유를 걸어 바늘의 이동에 따라 위치 변화가 발생하며, 아울러 직물과 웹이 압축된다. 바늘이 일정 깊이 들어간 후, 바늘이 역방향으로 이동하며, 이때 미늘의 방향이 바늘 운동 방향과 반대로 되기 때문에, 미늘에 걸렸던 섬유가 미늘에서 이탈하여, 거의 수직 상태로 팰트 내에 유지되게 되며, 수직방향으로 섬유 내로 안내되어 유사 3차원 구조를 형성한다. 상기 웹은 탄소 섬유를 10-80mm으로 잘라낸 짧은 섬유이고, 기계의 오프닝, 에어 랜드 등 과정을 거쳐 솜과 유사한 탄소 섬유 웹을 형성한다. 니들펀칭 공 정은 부직 업계에서 널리 사용된다.
본 발명은 공정이 간단하고, 환경보호에 유리한 탄소/탄소 복합재료 도가니 생산 공정을 제공하여, 상기 공정을 이용하여 제조된 재료로 고품질 고온 용광로에 사용되는 설비를 제조할 수 있는 탄소/탄소 복합재료 도가니 생산공정을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 상기 탄소/탄소 복합재료 도가니 생산공정은 하기 과정을 포함한다.
(1) 블랭크 제조: 탄소 섬유로 제조된 웹과 탄소 직물을 니들펀칭을 통하여 팰트로 복합 직조한다. 팰트를 몰드에 감고, 그 위에 한 층의 탄소 직물을 덮은 후, 다시 웹을 한 층 덮으며, 이렇게 엇갈아 설치하고 니들펀칭을 통하여 복합 직조하여, 필요한 도가니 프리폼을 제조한다.
(2) 밀도 증가: 화학 증착법을 이용하여 (1)단계에서 제조된 프리폼의 밀도를 점차적으로 증가하며, 흑연화 처리를 거쳐 필요한 도가니 소지를 제조한다.
(3) 정화: (2)단계에서 제조된 도가니 소지를 고온 용광로에 넣고, 진공 또는 보호 기체 조건 하에서 가열하여 잡질을 제거한다.
(4) 기계 가공: (3)단계에서 제조된 도가니 소지를 기계 가공을 거쳐 필요한 모양과 크기의 도가니로 제조한다.
화학 증착법(Chemical vapor deposition, CVD)은 기 공개된 기술로서, 밀도 증가가 필요한 프리폼을 CVD 용광로에 넣고, 고온 환경 하에서 탄화수소 기체가 균일하게 가열된 다공 프리폼에서 열분해 침전물 탄소를 발생하여, 프리폼에 부착되는 기술을 말한다. 이는 제품 밀도를 증가시킬 수 있는 중요한 작업 절차이다.
흑연화 처리: 고온 하에서 무정형, 난층 구조의 탄소 재료를 3차원 흑은 질서 구조로 전환하는 것으로서, 제품의 종합 성능을 향상시킨다. 이는 공개된 공정기술 이다.
본 발명의 (1)단계에서, 상기 웹의 면밀도는 20g/m2~160g/m2, 탄소 직물의 면밀도는 200g/m2~320g/m2; 팰트의 겉보기 밀도는 0.3g/cm3~0.5g/cm3, 제조된 도가니 프리폼의 겉보기 밀도는 0.3g/cm3~0.7g/cm3이다. 본 발명의 (2)단계에서, 도가니 프리폼의 겉보기 밀도는 l.43g/cm3~1.75g/cm3이다.
본 발명의 (3)단계에서, 상기 정화 과정은 진공 또는 보호 기체 조건 하에서 가열하여 잡질을 제거하는 것으로서, 정화 온도는 2,300℃~2,800℃, 보온 시간은 3h~12h이다. 본 발명에서는 염소 기체와 프레온을 기체를 필요로 하지 않는다.
본 발명의 (4)단계 후, 기계 가공 과정에서 발생한 잡질을 제거하기 위하여, 제조된 도가니 완제품을 진공 용광로에 넣고, 진공 조건에서 l,800℃~2,300℃까지 가열하여, 50분~260분 동안 보온시킨다.
상기 생산 방법에 의하여, 본 발명은 탄소/탄소 복합재료 도가니를 제공하며, 이는 탄소 섬유의 블랭크 제조-밀도 증가-정화-기계 가공을 거쳐 제조할 수 있으며, 상기 탄소 섬유는 폴리아크릴로니트릴 탄소 섬유이다.
종래의 도가니는 인장 강도가 비교적 작은 흑연으로 제조되기 때문에, 2판 또는 3판으로 구성되고, 일체로 구성될 수 없다. 본 발명의 재료를 사용하면, 본 발명에서 제공하는 일체형 도가니를 제조할 수 있다.
아울러, 본 발명의 방법으로 제조된 복합재료는 역시 종래의 흑연 도가니 구조로 구현되어, 2-4판으로 구성된 도가니를 제조할 수도 있다.
본 발명의 상기 탄소/탄소 복합재료 도가니는, 좌판과 우판으로 구성되며, 좌판과 우판에 호이스팅 홀이 형성된다.
본 발명의 상기 탄소/탄소 복합재료 도가니는, 사발 모양 트레이와 실린더의 상하 두 부분으로 구성되며, 실린더에 호이스팅 홀이 형성된다.
본 발명의 상기 탄소/탄소 복합재료 도가니는, 도가니 상에 봉쇄 가능한 비아홀이 뚫려 형성된다. 상기 기술방안을 이용하였기 때문에, 본 발명은 비교적 바람직하게 발명의 목적을 이룰 수 있으며, 공정이 간단하고, 블랭크 제작 시, 부푼 바늘 형상의 탄소 섬유로 구성된 웹은, 니들펀칭 시 유사 3차원 프리폼의 형성이 용이하고, 프리폼 내부 탄소 섬유가 종, 횡방향으로 교차되어 결합력이 비교적 강하고, 탈층 현상이 발생하지 않으며, 구조가 안정적이고, 아울러, 프리폼의 간극이 비교적 작아서 후속 밀도 증가 과정의 속도를 향상시킬 수 있으며, 화학 증착법 밀도 증가를 통하여 제조된 도가니 소지는 탄소 섬유와 탄소 매트릭스로 구성되며, 그 중에서, 탄소 매트릭스는 고온 열분해 방식으로 제조된 열분해 탄소로 구성되어, 순도가 아주 높으며, 단지 진공 또는 보호 기체 조건 하에서 고온 정화를 진행하기만 하면, 회재량 180ppm 미만인 탄소/탄소 복합재료를 제조할 수 있어, 에너지를 절감하고, 환경보호에 유리하다.
도1은 본 발명 실시예1의 구조 도면.
도2는 본 발명 실시예2의 구조 도면.
도3은 본 발명 실시예3의 구조 도면.
본 발명에 따른 탄소/탄소 복합재료 도가니 생산공정은 (1) 블랭크 제조: 탄소 섬유로 제조된 웹과 탄소 직물을 니들펀칭을 통하여 팰트로 복합 직조하며, 니어 넷 세이프 원리를 이용하여, 팰트를 몰드에 감고, 그 위에 한 층의 탄소 직물을 덮은 후, 다시 웹을 한 층 덮으며, 이렇게 엇갈아 설치하고 니들펀칭을 통하여 복합 직조하여, 필요한 도가니 프리폼을 제조하며, (2) 밀도 증가: 화학 증착법을 이용하여 (1)단계에서 제조된 프리폼의 밀도를 점차적으로 증가하며, 흑연화 처리를 거쳐 필요한 도가니 소지를 제조하며, (3) 정화: (2)단계에서 제조된 도가니 소지를 고온 용광로에 넣고, 진공 또는 보호 기체 조건 하에서 가열하여 잡질을 제거하며, (4) 기계 가공: (3)단계에서 제조된 도가니 소지를 기계 가공을 거쳐 필요한 모양과 크기의 도가니로 제조하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 대하여 더욱 상세히 설명한다.
실시예1:
본 발명의 탄소/탄소 복합재료 도가니는, 탄소 섬유의 블랭크 제조-밀도 증가-정화-기계 가공을 거쳐 제조될 수 있다.
도1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 상기 탄소/탄소 복합재료 도가니는, 2-4판으로 구성되었으며(본 실시예에서는 2판); 좌판(1) 및 우판(3)으로 구성되었고, 좌판(1)과 우판(3)에 호이스팅 홀(2) 형성되어 있다. 이의 생산공정은 하기와 같은 단계를 포함하여 구성된다.
(1) 블랭크 제조: 오프닝을 통해 그물 모양을 형성하는 바, 25mm~70mm 길이의 오프닝 설비로 오프닝 또는 부푼 상태로 가공된 짧은 탄소 섬유를 선택한 후, 오프닝된 탄소 섬유를 에어 랜드 그리고/또는 컷팅하며, 이어 래퍼로 섬유 그물로 래핑하여, 웹으로 니들펀칭 하며, 상기 웹의 면밀도는 20g/m2~160g/m2(본 실시예에서는 100g/m2)이며; 웹과 면밀도가 200g/m2~320g/m2(본 실시예에서는 240g/m2)의 탄소 직물을 팰트로 복합 니들펀칭 하며, 팰트의 겉보기 밀도는 0.3g/cm3~0.6g/cm3(본 실시예에서는 0.4g/cm3)이며; 니어 넷 세이프 원리를 이용하여, 팰트를 몰드에 감고, 그 위에 한 층의 탄소 직물을 덮은 후, 다시 웹을 한 층 덮으며, 이렇게 엇갈아 설치하고 니들펀칭을 통하여 복합 직조하여, 필요한 도가니 프리폼을 제조하며, 이의 겉보기 밀도는 0.3g/cm3~0.7g/cm3(본 실시예에서는 0.5g/cm3)이다.
(2) 밀도 증가: 화학 증착법을 이용하여 (1)단계에서 제조된 프리폼의 밀도를 점차적으로 증가하며, 흑연화 처리를 거쳐 필요한 도가니 소지를 제조하며, 이의 겉보기 밀도는 l.43g/cm3~1.75g/cm3(본 실시예에서는 1.6g/cm3)이다.
(3) 정화: (2)단계에서 제조된 도가니 소지를 고온 용광로에 넣고, 진공 또 는 보호 기체(본 실시예에서는 아르곤 기체) 조건 하에서 가열하여, 잡질을 제거하며, 정화 온도는 2,300℃~2,800℃(본 실시예에서는 2,600℃), 보온 시간은 3h~12h(본 실시예에서는 6h)이다.
(4) 기계 가공: (3)단계에서 제조된 도가니 소지를 기계 가공을 거쳐 필요한 모양과 크기의 도가니로 제조한다.
분리와 운송의 편리를 위해, (4)단계에서 제조된 탄소/탄소 복합재료 일체형 도가니를, 축선에 따라 좌판(1)과 우판(3)으로 분리시킨다. 좌판(1)과 우판(3)에 호이스팅 홀(2)이 형성된다. 본 발명의 (4)단계 후, 기계 가공 과정에서 발생한 잡질을 제거하기 위하여, 제조된 도가니 완제품을 진공 용광로에 넣고, 진공 조건에서 l,800℃~-2,300℃(본 실시예에서는 2,300℃)까지 가열하여, 50분~260분(본 실시예에서는 160분) 동안 보온시킨다. 본 발명의 방법에 의해 생산된 탄소/탄소 복합재료 도가니는, 고강도 탄소 섬유와 탄소 매트릭스로 구성되었으며, 이의 신장 강도는 86Mpa이고, 회재량은 116ppm이다. 흑연 제품에 비하여, 본 발명의 상기 도가니는 에너지를 절감하고, 재료를 절약하며, 기능이 우수하고, 비강도가 높으며, 내고온, 내부식성이 좋고, 열팽창 계수가 작고, 급열, 급냉에 견디고, 변형되지 않으며, 금이 가지 않는 등 우수한 성능을 구비하고 있어, 단결정 흑연 도가니를 대체할 수 있는 이상적인 업그레이드 제품이다.
실시예2:
도2에 도시된 바와 같이, (4)단계를 거쳐 제조된 탄소/탄소 복합재료 일체형 도가니를, 실린더 부분의 내원호와 내원주의 접합선에서 15mm 떨어진 곳에서, 일체 형 도가니를 실린더(4)와 사발 모양 트레이의 상, 하 두 부분으로 분리시키며, 이어 이의 분리점에서 실린더(4)를 외부 데이퍼형으로 자르고, 사발 모양 트레이(5)를 내부 데이퍼형으로 자르며, 두 데이퍼형의 꼭지각이 일치하고, 모두 120°로 형성되고, 단단히 결합될 수 있으며, 작업의 편리를 위하여, 실린더(4) 상에 호이스팅 홀(2)을 형성한다. 기타 부분은 실시예1에서와 같다.
실시예3:
도3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 상기 탄소/탄소 복합재료 도가니가 일체형일 때, 결정 가공 후 석영 도가니 잔여물 처리의 편리를 위하여, 도가니의 실린더와 원호 과도 부분에 봉쇄 가능한 비아홀(6)을 뚫어 형성할 수 있다. 상기 비아홀(6)은 침몰 나사형 홀, 데이퍼형 홀 또는 나사선형 홀로 형성될 수 있으며, 비아홀(6)은 원추형 핀이나 슬롯팅 스터드로 봉쇄할 수 있다. 기타 부분은 실시예1에서와 같다.
본 발명의 상기 탄소/탄소 복합재료 도가니는, 도가니 상에 봉쇄 가능한 비아홀이 뚫려 형성된다. 상기 기술방안을 이용하였기 때문에, 본 발명은 비교적 바람직하게 발명의 목적을 이룰 수 있으며, 공정이 간단하고, 블랭크 제작 시, 부푼 바늘 형상의 탄소 섬유로 구성된 웹은, 니들펀칭 시 유사 3차원 프리폼의 형성이 용이하고, 프리폼 내부 탄소 섬유가 종, 횡방향으로 교차되어 결합력이 비교적 강하고, 탈층 현상이 발생하지 않으며, 구조가 안정적이고, 아울러, 프리폼의 간극이 비교적 작아, 후속 밀도 증가 과정의 속도를 향상시킬 수 있으며; 화학 증착법 밀 도 증가를 통하여 제조된 도가니 소지는 탄소 섬유와 탄소 매트릭스로 구성되며, 그 중에서, 탄소 매트릭스는 고온 열분해 방식으로 제조된 열분해 탄소로 구성되어, 순도가 아주 높으며, 단지 진공 또는 보호 기체 조건 하에서 고온 정화를 진행하기만 하면, 회재랑<180ppm인 탄소/탄소 복합재료를 제조할 수 있어, 에너지를 절감하고, 환경보호에 유리하다.

Claims (12)

  1. (1) 블랭크 제조: 탄소 섬유로 제조된 웹과 탄소 직물을 니들펀칭을 통하여 팰트로 복합 직조하며, 니어 넷 세이프 원리를 이용하여, 팰트를 몰드에 감고, 그 위에 한 층의 탄소 직물을 덮은 후, 다시 웹을 한 층 덮으며, 이렇게 엇갈아 설치하고 니들펀칭을 통하여 복합 직조하여, 필요한 도가니 프리폼을 제조하며;
    (2) 밀도 증가: 화학 증착법을 이용하여 (1)단계에서 제조된 프리폼의 밀도를 점차적으로 증가하며, 흑연화 처리를 거쳐 필요한 도가니 소지를 제조하며;
    (3) 정화: (2)단계에서 제조된 도가니 소지를 고온 용광로에 넣고, 진공 또는 보호 기체 조건 하에서 가열하여 잡질을 제거하며;
    (4) 기계 가공: (3)단계에서 제조된 도가니 소지를 기계 가공을 거쳐 필요한 모양과 크기의 도가니로 제조하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 탄소/탄소 복합재료 도가니 생산공정.
  2. 제1항에 있어서,
    (1)단계에서, 상기 웹의 면밀도는 20g/m2~160g/m2, 탄소 직물의 면밀도는 200g/m2~320g/m2; 팰트의 겉보기 밀도는 0.3g/cm3~0.5g/cm3, 제조된 도가니 프리폼의 겉보기 밀도는 0.3g/cm3~0.7g/cm3인 것을 특징으로 하는 탄소/탄소 복합재료 도가니 생산공정.
  3. 제1항에 있어서,
    (2)단계에서, 도가니 소지의 겉보기 밀도는 l.43g/cm3~1.75g/cm3인 것을 특징으로 하는 탄소/탄소 복합재료 도가니 생산공정.
  4. 제1항에 있어서,
    (3)단계에서, 상기 정화 과정은 진공 또는 보호 기체 조건 하에서 가열하여 잡질을 제거하는 것으로서, 정화 온도는 2,300℃~2,800℃, 보온 시간은 3h~12h인 것을 특징으로 하는 탄소/탄소 복합재료 도가니 생산공정.
  5. 제1항에 있어서,
    (4)단계 후, 제조된 도가니 완제품을 진공 용광로에 넣고, 진공 조건에서 l,800℃~2,300℃까지 가열하고, 50분~260분 동안 보온시켜서, 기계 가공 과정에서 발생한 잡질을 제거하는 것을 특징으로 하는 탄소/탄소 복합재료 도가니 생산공정.
  6. 탄소 섬유의 블랭크 제조, 밀도 증가, 정화, 기계 가공 등 가공 과정을 거쳐 일체형 도가니로 제조될 수 있으며, 상기 탄소 섬유는 폴리아크릴로니트릴 탄소 섬유인 것을 특징으로 하는 탄소/탄소 복합재료 도가니.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 일체형 가공방법은 청구항1의 방법인 것을 특징으로 하는 탄소/탄소 복합재료 도가니.
  8. 제6항에 있어서,
    일체형 도가니 상에 호이스팅 홀(2)이 형성되는 것을 특징으로 하는 탄소/탄소 복합재료 도가니.
  9. 2-4판으로 구성되고, 그 중에서, 각 판에서 사용되는 재료는 청구항1의 방법으로 제조된 것을 특징으로 하는 탄소/탄소 복합재료 도가니.
  10. 제9항에 있어서,
    좌판(1)과 우판(3)으로 구성되고, 좌판(1)과 우판(3)에 호이스팅 홀(2)이 형성되는 것을 특징으로 하는 탄소/탄소 복합재료 도가니.
  11. 제9항에 있어서,
    사발 모양 트레이(5)과 실린더(4)의 상, 하 두 부분으로 구성되고, 실린더(4) 상에 호이스팅 홀(2)이 형성되는 것을 특징으로 하는 탄소/탄소 복합재료 도가니.
  12. 제9항에 있어서,
    도가니 상에 봉쇄 가능한 비아홀(6)이 뚫려 형성되는 것을 특징으로 하는 탄소/탄소 복합재료 도가니.
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