KR20090086267A - 헤드 서스펜션 어셈블리 및 캐리지 어셈블리 및 헤드 슬라이더 어셈블리의 제조 방법 - Google Patents

헤드 서스펜션 어셈블리 및 캐리지 어셈블리 및 헤드 슬라이더 어셈블리의 제조 방법 Download PDF

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신야 하세가와
와타루 오다지마
후미히로 다와
요시후미 미조시타
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후지쯔 가부시끼가이샤
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Abstract

광학 소자(36)는 헤드 슬라이더(23)의 지지면(23a) 및 헤드 서스펜션(22) 사이에 끼워진다. 광학 소자(36)에는 집광면(72) 및 반사면(73)이 구획된다. 집광면(72)에서 집광되는 광은 반사면(73)에서 반사된다. 이와 같이 하여 광은 헤드 슬라이더(23)의 광 도파로(71)로 유도된다. 이러한 헤드 서스펜션 어셈블리(21)의 제조에 있어서 헤드 슬라이더(23)의 광 도파로(71) 및 광학 소자(36)의 상대 이동이 조정된다. 헤드 슬라이더(23) 및 광학 소자(36)는 이제까지 이상으로 용이하게 위치 결정된다. 헤드 서스펜션 어셈블리(21)의 조립은 용이하게 실시된다.
Figure P1020097013359
광학 소자, 헤드 슬라이더, 반사면, 집광면, 헤드 서스펜션, 광 도파로

Description

헤드 서스펜션 어셈블리 및 캐리지 어셈블리 및 헤드 슬라이더 어셈블리의 제조 방법{HEAD SUSPENSION ASSEMBLY, CARRIAGE ASSEMBLY AND METHOD FOR MANUFACTURING HEAD SLIDER ASSEMBLY}
본 발명은 자기(磁氣) 정보의 기입 및 판독에 있어서 기억 매체의 자기 기록층에 열(熱)을 작용시키는 기억 매체 구동 장치에 관한 것이다.
예를 들면 하드 디스크 구동 장치(HDD)에서는 열 변동의 회피에 있어서 소위 열 어시스트 방식이 이용된다. 예를 들면 특허문헌 4의 도 11 및 도 12에 개시된 바와 같이, 매체 대향면의 이면측(裏面側)에 규정되는 헤드 슬라이더의 지지면에는 프리즘이 부착된다. 프리즘은 광파이버를 수용한다. 헤드 슬라이더의 공기 유출측 단면(端面)에는 렌즈가 부착된다. 프리즘에는 렌즈로 광을 유도하는 반사면이 구획된다.
광은 광파이버로부터 프리즘으로 입사된다. 반사면은 반사에 의거하여 광을 렌즈로 유도한다. 광은 렌즈에서 집광된다. 렌즈로부터 자기 디스크로 광은 공급된다. 자기 기록층의 온도는 상승한다. 자기 기록층의 보자력(保磁力)은 감소한다. 이 때, 헤드 슬라이더의 전자기 변환 소자는 자기 기록층에 자기 정보를 기입한다. 자기 기록층의 온도가 실온으로 되돌아오면, 보자력은 증대한다. 자기 정 보는 확실히 유지된다.
특허문헌 1 : 일본국 특개2001-34982호 공보
특허문헌 2 : 일본국 특개평11-213436호 공보
특허문헌 3 : 일본국 특개2006-196140호 공보
특허문헌 4 : 일본국 특개2003-67901호 공보
특허문헌 5 : 일본국 특개2005-18895호 공보
특허문헌 6 : 일본국 특개2005-216405호 공보
특허문헌 7 : 일본국 특개2000-113499호 공보
특허문헌 8 : 일본국 특개2004-30840호 공보
특허문헌 9 : 미국 특허 제5986978호 명세서
특허문헌 10 : 일본국 특개2002-298302호 공보
헤드 슬라이더에는 프리즘 및 렌즈가 부착된다. 자기 기록층에 공급되는 광의 초점의 조정에 있어서, 헤드 슬라이더에 대하여 프리즘 및 렌즈는 정확히 위치 결정되지 않으면 안된다. 이 때, 프리즘 및 렌즈의 상대 위치가 동시에 미세 조정되지 않으면 안된다. 조립 작업에 손이 많이 가게 된다.
본 발명은, 상기 실상을 감안하여 이루어진 것으로서, 조립을 용이하게 하는 헤드 서스펜션 어셈블리 및 캐리지 어셈블리를 제공하는 것을 목적으로 한다. 본 발명은 또한, 그러한 헤드 서스펜션 어셈블리 및 캐리지 어셈블리의 실현에 크게 공헌하는 헤드 슬라이더 어셈블리의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 제 1 발명에 의하면, 헤드 서스펜션과, 매체 대향면에서 기억 매체와 마주보고, 매체 대향면의 이면측의 지지면에서 헤드 서스펜션에 수용되는 헤드 슬라이더와, 헤드 슬라이더의 매체 대향면에 매립되는 전자기 변환 소자와, 헤드 슬라이더에 조립되고, 지지면으로부터 매체 대향면을 향해 연장되는 광 도파로(光導波路)와, 지지면 및 헤드 서스펜션 사이에 끼워지는 광학 소자를 구비하고, 광학 소자에는, 지지면에 평행하게 입사하는 광을 집광하는 집광면과, 지지면에 평행하게 입사하는 광을 소정 각도로 반사시켜 광 도파로로 유도하는 반사면이 구획되는 것을 특징으로 하는 헤드 서스펜션 어셈블리가 제공된다.
이러한 헤드 서스펜션 어셈블리에서는, 광학 소자는 헤드 슬라이더의 지지면 및 헤드 서스펜션 사이에 끼워진다. 광학 소자에는 집광면 및 반사면이 구획된다. 집광면에서 집광되는 광은 반사면에서 반사된다. 이와 같이 하여 광은 헤드 슬라이더의 광 도파로로 유도된다. 헤드 서스펜션 어셈블리의 제조에 있어서 헤드 슬라이더의 광 도파로 및 광학 소자의 상대 위치가 조정된다. 헤드 슬라이더 및 광학 소자는 이제까지 이상으로 용이하게 위치 결정된다. 헤드 서스펜션 어셈블리의 조립은 용이하게 실시된다.
헤드 서스펜션 어셈블리에서는, 전자기 변환 소자는 광 도파로보다 공기 유출측에 배치되는 기입 헤드 소자를 구비하면 된다. 이 때, 광 도파로는 표면에서 상기 기입 헤드 소자를 수용하는 제 1 굴절률의 비자성 절연층에 매립되고, 제 1 굴절률보다 큰 제 2 굴절률의 재료로 구성되면 된다.
제 2 발명에 의하면, 회전 자재(自在)로 지축(支軸)에 지지되는 캐리지 암과, 캐리지 암의 선단(先端)에 부착되는 1쌍의 헤드 서스펜션과, 매체 대향면에서 기억 매체와 마주보고, 매체 대향면의 이면측의 지지면에서 개개의 헤드 서스펜션에 수용되는 헤드 슬라이더와, 헤드 슬라이더의 매체 대향면에 매립되는 전자기 변환 소자와, 헤드 슬라이더에 조립되고, 지지면으로부터 매체 대향면을 향해 연장되는 광 도파로와, 지지면 및 헤드 서스펜션 사이에 끼워지고, 집광면으로부터 입사하는 광을 광 도파로로 유도하는 광학 소자와, 캐리지 암에 형성되는 개구와, 개구 내에 배치되는 단일의 지지체와, 지지체에 지지되고, 개개의 광학 소자의 집광면에 개별적으로 광을 공급하는 1쌍의 광원을 구비하는 것을 특징으로 하는 캐리지 어셈블리가 제공된다.
이러한 캐리지 어셈블리에서는, 전술한 것과 마찬가지로, 광학 소자는 헤드 슬라이더의 지지면 및 헤드 서스펜션 사이에 끼워진다. 광학 소자에는 집광면 및 반사면이 구획된다. 광원으로부터 공급되는 광은 집광면에서 집광된다. 집광된 광은 반사면에서 반사된다. 이와 같이 하여 광은 헤드 슬라이더의 광 도파로로 유도된다. 캐리지 어셈블리의 제조에 있어서 헤드 슬라이더의 광 도파로 및 광학 소자의 상대 위치가 조정된다. 헤드 슬라이더 및 광학 소자는 이제까지 이상으로 용이하게 위치 결정된다. 캐리지 어셈블리의 조립은 용이하게 실시된다.
게다가, 캐리지 암의 개구 내에는 단일의 지지체가 배치된다. 지지체는 광원을 지지한다. 캐리지 암의 중량의 증대는 가능한 한 회피된다. 부가하여, 지지체는 개구 내에 배치된다. 지지체가 캐리지 암의 표면에 배치되는 경우에 비해 캐리지 암의 두께의 증대는 회피된다.
캐리지 어셈블리에서는, 전자기 변환 소자는 광 도파로보다 공기 유출측에 배치되는 기입 헤드 소자를 구비하면 된다. 이 때, 광 도파로는 표면에서 상기 기입 헤드 소자를 수용하는 제 1 굴절률의 비자성 절연층에 매립되고, 제 1 굴절률보다 큰 제 2 굴절률의 재료로 구성되면 된다.
제 3 발명에 의하면, 하우징과, 하우징 내에 조립되고, 회전 자재로 지축에 지지되는 캐리지 암과, 캐리지 암의 선단에 부착되는 1쌍의 헤드 서스펜션과, 매체 대향면에서 기억 매체와 마주보고, 매체 대향면의 이면측의 지지면에서 개개의 헤드 서스펜션에 수용되는 헤드 슬라이더와, 헤드 슬라이더의 매체 대향면에 매립되는 전자기 변환 소자와, 헤드 슬라이더에 조립되고, 지지면으로부터 매체 대향면을 향해 연장되는 광 도파로와, 지지면 및 헤드 서스펜션 사이에 끼워지고, 집광면으로부터 입사되는 광을 광 도파로로 유도하는 광학 소자와, 캐리지 암에 형성되는 개구와, 개구 내에 배치되는 단일의 지지체와, 지지체에 지지되고, 개개의 광학 소자의 집광면에 개별적으로 광을 공급하는 1쌍의 광원을 구비하는 것을 특징으로 하는 기억 매체 구동 장치가 제공된다. 이러한 기억 매체 구동 장치에 의하면, 전술한 것과 동일한 작용 효과가 실현된다.
제 4 발명에 의하면, 금형에 의해 횡방향으로 긴 성형품을 성형하고, 성형품 상에서 횡방향으로 퍼지는 기준면의 일단(一端)에서 능선에 소정 간격으로 횡 일렬(橫一列)로 복수의 집광면을 배열하는 공정과, 상기 능선의 반대측에서 성형품의 능선에 연마 처리를 실시하고, 소정의 경사각으로 기준면에 교차하면서 횡방향으로 연장되는 반사면을 형성하는 공정과, 성형품의 기준면에, 상기 소정 간격으로 횡 일렬로 복수의 헤드 슬라이더를 구획하는 긴 웨이퍼 바를 부착하는 공정과, 기준면의 이면측에서 성형품을 연마하고, 기준면에 평행한 면을 깎아내는 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더 어셈블리의 제조 방법이 제공된다.
이러한 제조 방법에서는, 성형품의 기준면에 웨이퍼 바가 부착된다. 웨이퍼 바에는 복수의 헤드 슬라이더가 구획된다. 성형품에는 집광면 및 반사면이 형성된다. 이와 같이 하여 한번에 복수의 헤드 슬라이더 어셈블리가 제조된다. 이러한 제조 방법은 전술한 헤드 서스펜션 어셈블리나 캐리지 어셈블리의 실현에 크게 공헌할 수 있다.
헤드 슬라이더 어셈블리의 제조 방법은, 웨이퍼 바의 부착에 있어서, 기준면의 소정 위치에서, 집광면을 통과하여 반사면에서 반사되는 광의 광량을 측정하는 공정과, 광량의 크기에 따라 성형품에 대하여 웨이퍼 바를 위치 맞춤하는 공정을 더 구비하여도 된다. 이와 같이 하여 광량의 크기에 따라 웨이퍼 바는 성형품에 대하여 용이하게 위치 결정된다. 헤드 슬라이더 어셈블리의 제조는 용이하게 실시된다.
제 5 발명에 의하면, 헤드 서스펜션과, 매체 대향면에서 기억 매체와 마주보고, 매체 대향면의 이면측의 지지면에서 헤드 서스펜션에 수용되는 헤드 슬라이더와, 헤드 슬라이더의 매체 대향면에 매립되는 전자기 변환 소자와, 헤드 슬라이더에 조립되고, 지지면으로부터 매체 대향면을 향해 연장되는 광 도파로와, 지지면 및 헤드 서스펜션 사이에 끼워지는 광학 소자를 구비하고, 광학 소자에는, 지지면에 평행하게 입사하는 광을 집광하는 집광면과, 집광면으로부터 광학 소자에 입사하는 광을 소정 각도로 반사시켜 광 도파로로 유도하는 반사면이 구획되는 것을 특징으로 하는 헤드 서스펜션 어셈블리가 제공된다.
이러한 헤드 서스펜션 어셈블리에서는, 전술한 것과 마찬가지로, 광학 소자는 헤드 슬라이더의 지지면 및 헤드 서스펜션 사이에 끼워진다. 광학 소자에는 집광면 및 반사면이 구획된다. 광원으로부터 공급되는 광은 집광면에서 집광된다. 집광된 광은 반사면에서 반사된다. 이와 같이 하여 광은 헤드 슬라이더의 광 도파로로 유도된다. 헤드 서스펜션 어셈블리의 제조에 있어서 헤드 슬라이더의 광 도파로 및 광학 소자의 상대 위치가 조정된다. 헤드 슬라이더 및 광학 소자는 이제까지 이상으로 용이하게 위치 결정된다. 헤드 서스펜션 어셈블리의 조립은 용이하게 실시된다.
헤드 서스펜션 어셈블리에서는, 상기 광학 소자는 상기 헤드 슬라이더의 지지면에 수용되는 제 1 평탄면과, 제 1 평탄면에 평행하게 퍼지는 제 2 평탄면과, 상기 집광면을 포함하면서 제 1 평탄면 및 제 2 평탄면을 접속하는 제 1 측면과, 상기 반사면을 포함하면서 제 1 평탄면 및 제 2 평탄면을 접속하고, 제 1 측면과 마주보는 제 2 측면을 규정하고, 상기 제 1 측면은 상기 제 1 평탄면에 평행하게 퍼지는 제 1 기준면으로부터 멀어짐에 따라, 상기 광학 소자의 윤곽선으로부터 직립(直立)하는 제 1 가상 벽면으로부터 멀어지고, 상기 제 2 측면은 상기 제 1 평탄면에 평행하게 퍼지는 제 2 기준면으로부터 멀어짐에 따라, 상기 광학 소자의 윤곽선으로부터 직립하는 제 2 가상 벽면으로부터 멀어진다.
이러한 헤드 서스펜션 어셈블리에서는, 광학 소자의 형성에 있어서 금형이 사용된다. 광학 소자의 제 1 측면 및 제 2 측면은 제 1 기준면 및 제 2 기준면으로부터 각각 멀어짐에 따라 제 1 가상 벽면 및 제 2 가상 벽면으로부터 각각 멀어진다. 제 1 및 제 2 가상 벽면은 광학 소자의 윤곽선으로부터 직립하므로, 광학 소자는 금형으로부터 간단히 취출될 수 있다. 예를 들면, 2가지의 형태에 의거하여 광학 소자는 간단히 제조된다. 광학 소자는 한번에 대량으로 생산될 수 있다.
상기 광학 소자에서는, 상기 집광면 및 상기 반사면 사이에서 상기 광은 초점을 연결한다. 이러한 광학 소자에 의하면, 초점의 생성에 있어서, 헤드 슬라이더의 지지면에서부터 반사면까지의 거리는 비교적 길게 설정된다. 그 결과, 최적의 NA가 변경되지 않고 반사면은 한층 더 넓은 범위로 집광할 수 있다. 광은 효율적으로 이용된다. 또한, 이러한 광학 소자에서는, 집광면 및 반사면의 거리는 증대한다. 그 결과, 광학 소자는 헤드 슬라이더에 큰 면적으로 접촉할 수 있다. 광학 소자 및 헤드 슬라이더의 접합 강도는 향상된다.
상기 광학 소자에는, 상기 집광면 및 상기 반사면 사이에 배치되는 제 2 반사면이 더 구획된다. 이러한 광학 소자에 의하면, 반사면이 구획되므로, 헤드 슬라이더의 지지면에서부터 반사면까지의 거리는 비교적 길게 설정된다. 그 결과, 최적의 NA가 변경되지 않고 반사면은 한층 더 넓은 범위로 집광할 수 있다. 광은 효율적으로 이용된다. 또한, 이러한 광학 소자에서는, 집광면 및 반사면의 거리는 증대한다. 그 결과, 광학 소자는 헤드 슬라이더에 큰 면적으로 접촉할 수 있다. 광학 소자 및 헤드 슬라이더의 접합 강도는 향상된다.
제 6 발명에 의하면, 헤드 서스펜션과, 매체 대향면에서 기억 매체와 마주보고, 매체 대향면의 이면측의 지지면에서 헤드 서스펜션에 수용되는 헤드 슬라이더와, 헤드 슬라이더의 매체 대향면에 매립되는 전자기 변환 소자와, 헤드 슬라이더에 조립되고, 지지면으로부터 매체 대향면을 향해 연장되는 광 도파로와, 지지면 및 헤드 서스펜션 사이에 끼워지는 광학 소자와, 광학 소자로 구획되고, 지지면에 평행하게 입사하는 광을 소정 각도로 반사시켜 광 도파로로 유도하는 반사면과, 광학 소자에 입사하는 광을 투과시키는 굴절률 분포 렌즈를 구비하는 것을 특징으로 하는 헤드 서스펜션 어셈블리가 제공된다.
이러한 헤드 서스펜션 어셈블리에 의하면, 전술한 것과 동일한 작용 효과가 실현된다. 게다가, 굴절률 분포 렌즈의 작용으로 광은 집속(集束)한다. 집속한 광은 광학 소자에 입사된다. 입사된 광은 반사면에서 소정 각도로 반사된다. 이와 같이 하여 광 도파로로 광은 유도된다. 이러한 광학 소자는 예를 들면 다이싱 가공에 의거하여 형성된다. 다이싱 가공에서 잘라낸 성형품에는 연마 가공이 실시된다. 이와 같이 하여 입사면이나 반사면이 규정된다. 광학 소자는 한번에 대량으로 생산될 수 있다.
제 7 발명에 의하면, 헤드 서스펜션과, 매체 대향면에서 기억 매체와 마주보고, 매체 대향면의 이면측의 지지면에서 헤드 서스펜션에 수용되는 헤드 슬라이더와, 헤드 슬라이더의 매체 대향면에 매립되는 전자기 변환 소자와, 헤드 슬라이더에 조립되고, 지지면으로부터 매체 대향면을 향해 연장되는 광 도파로와, 헤드 서스펜션에 수용되는 시트 형상의 클래드(clad)와, 클래드 내에 매립되고 헤드 슬라이더의 지지면까지 연장되며, 헤드 슬라이더의 광 도파로로 광을 유도하는 코어를 구비하는 것을 특징으로 하는 헤드 서스펜션 어셈블리가 제공된다.
이러한 헤드 서스펜션 어셈블리에서는, 헤드 서스펜션에 시트 형상의 클래드가 수용된다. 클래드 내에는 코어가 매립된다. 이러한 헤드 서스펜션 어셈블리의 형성에 있어서, 미리 형성된 클래드 및 코어가 헤드 서스펜션 상에 부착된다. 헤드 서스펜션 어셈블리의 조립은 용이하게 실시된다. 상기 코어는 굴곡에 의거하여 상기 헤드 슬라이더의 공기 유출단측에서 상기 광 도파로로 광을 공급해도 된다. 마찬가지로, 상기 코어는 상기 지지면에 평행하게 전송되는 광을 상기 광 도파로를 향해 반사시키는 반사면을 구획해도 된다.
상기 코어는 상기 코어의 입사면으로부터 상기 코어의 출사면을 향해 소정 길이에 걸쳐 서서히 개구를 좁히는 테이퍼(taper)부를 구획해도 된다. 테이퍼부에서는 개구는 입사면으로부터 출사면을 향해 서서히 좁혀진다. 그 결과, 코어의 입사면에서는 비교적 크게 규정된다. 이와 같이 하여 입사면에서는 멀티모드 광이 확립된다. 그 한편, 테이퍼부의 선단에서는 싱글모드 광이 확립된다. 이러한 테이퍼부의 작용으로 입사면에서 코어의 개구는 증대한다. 그 결과, 코어에 입사하는 광의 위치에 대하여 허용되는 오차는 증대한다. 코어의 위치와 입사광의 위치는 비교적 간단히 위치 맞춤될 수 있다.
헤드 서스펜션 어셈블리는, 상기 코어의 입사면으로부터 상기 코어의 출사면을 향해 소정 길이에 걸쳐 상기 클래드 내에 매립되고 상기 코어에 인접하며, 상기 코어에 근접함에 따라 굴절률을 증대시키는 굴절률 분포 렌즈를 더 구비한다. 이러한 헤드 서스펜션 어셈블리에서는, 굴절률 분포 렌즈는 소정 길이로 코어를 구성한다. 굴절률 분포 렌즈의 작용으로 광은 집속해 간다. 그 결과, 코어에 입사하는 광의 위치에 대하여 허용되는 오차는 증대한다. 코어의 위치와 입사광의 위치는 비교적 간단히 위치 맞춤될 수 있다.
제 8 발명에 의하면, 헤드 서스펜션과, 매체 대향면에서 기억 매체와 마주보고, 매체 대향면의 이면측의 지지면에서 헤드 서스펜션에 수용되는 헤드 슬라이더와, 헤드 슬라이더의 매체 대향면에 매립되는 전자기 변환 소자와, 헤드 슬라이더에 조립되고, 지지면으로부터 매체 대향면을 향해 연장되는 광 도파로와, 지지면 및 헤드 서스펜션 사이에 끼워지고 광 도파로로 광을 유도하는 광학 소자와, 헤드 서스펜션에 수용되고 시트 형상의 클래드와, 클래드 내에 매립되고 광학 소자로 광을 유도하는 코어를 구비하는 것을 특징으로 하는 헤드 서스펜션 어셈블리가 제공된다. 이러한 헤드 서스펜션 어셈블리에 의하면, 전술한 것과 마찬가지로 동일한 작용 효과가 실현된다.
상기 코어는 굴곡에 의거하여 상기 헤드 슬라이더의 공기 유출단측으로부터 상기 광학 소자에 광을 공급하여도 된다. 그 외, 전술한 것과 마찬가지로, 상기 코어는, 상기 코어의 입사면으로부터 상기 코어의 출사면을 향해 소정 길이에 걸쳐 서서히 개구를 좁히는 테이퍼부를 구획해도 된다. 또한, 헤드 서스펜션 어셈블리는, 상기 코어의 입사면으로부터 상기 코어의 출사면을 향해 소정 길이에 걸쳐 상기 클래드 내에 매립되고 상기 코어에 인접하며, 상기 코어에 근접함에 따라 굴절률을 증대시키는 굴절률 분포 렌즈를 더 구비해도 된다.
제 9 발명에 의하면, 헤드 서스펜션과, 헤드 서스펜션에 수용되는 플렉셔(flexure)와, 매체 대향면에서 기억 매체와 마주보고, 매체 대향면의 이면측의 지지면에서 플렉셔의 지지판에 지지되는 헤드 슬라이더와, 헤드 슬라이더의 매체 대향면에 매립되는 전자기 변환 소자와, 헤드 슬라이더에 조립되고, 지지면으로부터 매체 대향면을 향해 연장되는 광 도파로와, 지지면 및 플렉셔의 지지판 사이에 끼워지고 광 도파로로 광을 유도하는 광학 소자와, 플렉셔의 지지판에 수용되고 광학 소자에 광을 공급하는 광원을 구비하는 것을 특징으로 하는 헤드 서스펜션 어셈블리가 제공된다. 이러한 헤드 서스펜션 어셈블리에 의하면, 전술한 것과 동일한 작용 효과가 실현된다.
제 10 발명에 의하면, 회전 자재로 지축에 지지되는 캐리지 블록과, 캐리지 블록에 구획되는 캐리지 암과, 캐리지 암의 선단에 부착되는 1쌍의 헤드 서스펜션과, 매체 대향면에서 기억 매체와 마주보고, 매체 대향면의 이면측의 지지면에서 개개의 헤드 서스펜션에 수용되는 헤드 슬라이더와, 헤드 슬라이더의 매체 대향면에 매립되는 전자기 변환 소자와, 헤드 슬라이더에 조립되고, 지지면으로부터 매체 대향면을 향해 연장되는 광 도파로와, 헤드 서스펜션에 수용되는 시트 형상의 클래드와, 클래드 내에 매립되고 헤드 슬라이더의 광 도파로로 개별적으로 광을 유도하는 코어와, 캐리지 블록에 부착되고, 개개의 코어의 입사면에 광을 공급하는 광원을 구비하는 것을 특징으로 하는 캐리지 어셈블리가 제공된다.
이러한 캐리지 어셈블리에 의하면, 전술한 것과 동일한 작용 효과가 실현된다. 캐리지 어셈블리에서는, 1쌍의 상기 광원은 1쌍의 상기 코어에 개별적으로 광을 공급하면 된다. 그 한편, 캐리지 어셈블리는, 상기 광원 및 상기 코어의 입사면 사이에 배치되고, 1쌍의 상기 코어 중 어느 한쪽에 광을 공급하는 전환 기구를 더 구비해도 된다.
도 1은 본 발명에 따른 기억 매체 구동 장치의 일구체예 즉 하드 디스크 구동 장치의 내부 구조를 개략적으로 나타낸 평면도.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 캐리지 어셈블리의 구조를 개략적으로 나타낸 부분 확대 평면도.
도 3은 광원 및 지지체의 구조를 개략적으로 나타낸 부분 확대 사시도.
도 4는 헤드 슬라이더 어셈블리의 구조를 개략적으로 나타낸 부분 확대 사시도.
도 5는 일구체예에 따른 헤드 슬라이더의 구조를 개략적으로 나타낸 사시도.
도 6은 전자기 변환 소자의 확대 정면도.
도 7은 도 6의 7-7선에 따른 단면도.
도 8은 광 도파로 및 광학 소자의 구조를 개략적으로 나타낸 부분 분해 사시도.
도 9는 일구체예에 따른 광학 소자의 구조를 개략적으로 나타낸 평면도.
도 10은 일구체예에 따른 광학 소자의 구조를 개략적으로 나타낸 측면도.
도 11은 캐리지 어셈블리가 기억 매체와 마주보는 형태를 개략적으로 나타낸 부분 단면도.
도 12는 성형품의 구조를 개략적으로 나타낸 사시도.
도 13은 성형품에 반사면이 형성되는 형태를 개략적으로 나타낸 사시도.
도 14는 성형품의 기준면에 웨이퍼 바가 부착되는 형태를 개략적으로 나타낸 부분 투시 사시도.
도 15는 성형품 및 웨이퍼 바를 위치 맞춤하는 형태를 개략적으로 나타낸 사시도.
도 16은 성형품에 평행한 면을 형성하는 형태를 개략적으로 나타낸 사시도.
도 17은 성형품 및 웨이퍼 바로부터 헤드 슬라이더 어셈블리를 잘라내는 형태를 개략적으로 나타낸 사시도.
도 18은 일변형예에 따른 광학 소자의 구조를 개략적으로 나타낸 평면도.
도 19는 일변형예에 따른 광학 소자의 구조를 개략적으로 나타낸 측면도.
도 20은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 캐리지 어셈블리의 구조를 개략적으로 나타낸 단면도.
도 21은 광원 및 커플링 렌즈의 상대 위치를 개략적으로 나타낸 단면도.
도 22는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 캐리지 어셈블리의 구조를 개략적으로 나타낸 단면도.
도 23은 커플러 소자에 반사면을 형성하는 형태를 개략적으로 나타낸 사시도.
도 24는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 캐리지 어셈블리의 구조를 개략적으로 나타낸 단면도.
도 25는 본 발명의 제 5 실시예에 따른 캐리지 어셈블리의 구조를 개략적으 로 나타낸 단면도.
도 26은 광파이버 및 광학 소자의 구조를 개략적으로 나타낸 사시도.
도 27은 본 발명의 제 6 실시예에 따른 캐리지 어셈블리의 구조를 개략적으로 나타낸 단면도.
도 28은 본 발명의 제 7 실시예에 따른 캐리지 어셈블리의 구조를 개략적으로 나타낸 단면도.
도 29는 본 발명의 제 8 실시예에 따른 캐리지 어셈블리의 구조를 개략적으로 나타낸 단면도.
도 30은 본 발명의 제 9 실시예에 따른 캐리지 어셈블리의 구조를 개략적으로 나타낸 단면도.
도 31은 일구체예에 따른 광학 소자의 구조를 개략적으로 나타낸 사시도.
도 32는 광학 소자의 구조를 개략적으로 나타낸 평면도.
도 33은 광학 소자의 구조를 개략적으로 나타낸 측면도.
도 34는 금형의 구조를 개략적으로 나타낸 부분 투시 사시도.
도 35는 금형의 구조를 개략적으로 나타낸 수직 단면도.
도 36은 일변형예에 따른 광학 소자의 구조를 개략적으로 나타낸 부분 단면도.
도 37은 일변형예에 따른 광학 소자의 구조를 개략적으로 나타낸 사시도.
도 38은 NA와 결합 효율의 관계를 나타낸 그래프.
도 39는 다른 변형예에 따른 광학 소자의 구조를 개략적으로 나타낸 부분 단 면도.
도 40은 다른 변형예에 따른 광학 소자의 구조를 개략적으로 나타낸 사시도.
도 41은 다른 변형예에 따른 광학 소자의 구조를 개략적으로 나타낸 부분 단면도.
도 42는 다른 변형예에 따른 광학 소자의 구조를 개략적으로 나타낸 사시도.
도 43은 다른 변형예에 따른 광학 소자의 구조를 개략적으로 나타낸 부분 단면도.
도 44는 다른 변형예에 따른 광학 소자의 구조를 개략적으로 나타낸 사시도.
도 45는 금형의 구조를 개략적으로 나타낸 수직 단면도.
도 46은 다른 변형예에 따른 광학 소자의 구조를 개략적으로 나타낸 사시도.
도 47은 다른 변형예에 따른 광학 소자의 구조를 개략적으로 나타낸 부분 단면도.
도 48은 본 발명의 제 10 실시예에 따른 캐리지 어셈블리의 구조를 개략적으로 나타낸 평면도.
도 49는 도 48의 49-49선에 따른 확대 부분 단면도.
도 50은 광원 및 광 도파로의 구조를 개략적으로 나타낸 부분 확대 단면도.
도 51은 광 도파로 및 광학 소자의 구조를 개략적으로 나타낸 부분 확대 단면도.
도 52는 다른 구체예에 따른 광 도파로의 구조를 개략적으로 나타낸 부분 확대 단면도.
도 53은 본 발명의 제 11 실시예에 따른 캐리지 어셈블리의 구조를 개략적으로 나타낸 평면도.
도 54는 광 도파로 및 광학 소자의 구조를 개략적으로 나타낸 부분 확대 단면도.
도 55는 광 도파로 및 광학 소자의 구조를 개략적으로 나타낸 부분 확대 분해 사시도.
도 56은 광 도파로의 구조를 개략적으로 나타낸 부분 확대 단면도.
도 57은 광 도파로를 형성하는 공정을 나타낸 부분 확대 단면도.
도 58은 광 도파로를 형성하는 공정을 나타낸 부분 확대 단면도.
도 59는 광 도파로를 형성하는 공정을 나타낸 부분 확대 단면도.
도 60은 본 발명의 제 12 실시예에 따른 캐리지 어셈블리의 구조를 개략적으로 나타낸 평면도.
도 61은 또 다른 구체예에 따른 광 도파로의 구조를 개략적으로 나타낸 부분 확대 평면도.
도 62는 광원 및 광 도파로의 구조를 개략적으로 나타낸 부분 확대 단면도.
도 63은 발명의 제 13 실시예에 따른 캐리지 어셈블리의 구조를 개략적으로 나타낸 평면도.
도 64는 일구체예에 따른 광학 모듈의 구조를 개략적으로 나타낸 도면.
도 65는 다른 구체예에 따른 광학 모듈의 구조를 개략적으로 나타낸 도면.
도 66은 또 다른 구체예에 따른 광학 모듈의 구조를 개략적으로 나타낸 도 면.
도 67은 일변형예에 따른 광 도파로의 구조를 개략적으로 나타낸 부분 확대 사시도.
도 68은 일변형예에 따른 광 도파로의 구조를 개략적으로 나타낸 부분 확대 단면도.
도 69는 다른 변형예에 따른 광 도파로의 구조를 개략적으로 나타낸 부분 확대 단면도.
도 70은 또 다른 변형예에 따른 광 도파로의 구조를 개략적으로 나타낸 부분 확대 단면도.
도 71은 본 발명의 제 14 실시예에 따른 캐리지 어셈블리의 구조를 개략적으로 나타낸 부분 확대 분해 사시도.
이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 실시예를 설명한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기억 매체 구동 장치 즉 하드 디스크 구동 장치(HDD)(11)의 내부 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다. 이 HDD(11)는 하우징(12)을 구비한다. 하우징(12)은 상자 형상의 베이스(13) 및 커버(도시되지 않음)로 구성된다. 베이스(13)는 예를 들면 평평한 직방체의 내부 공간 즉 수용 공간을 구획한다. 베이스(13)는 예를 들면 알루미늄과 같은 금속 재료로 주조에 의거하여 성형되면 된다. 커버는 베이스(13)의 개구에 결합된다. 커버와 베이스(13) 사이에서 수용 공간은 밀폐된다. 커버는 예를 들면 프레스 가공에 의거하 여 1매의 판재(板材)로 성형되면 된다.
수용 공간에는, 기억 매체로서의 2매 이상의 자기 디스크(14)가 수용된다. 자기 디스크(14)는 스핀들 모터(15)의 회전축에 장착된다. 스핀들 모터(15)는 예를 들면 5,400rpm이나 7,200rpm, 10,000rpm, 15,000rpm이라고 하는 높은 속도로 자기 디스크(14)를 회전시킬 수 있다. 자기 디스크(14)에는 소위 수직 자기 디스크가 사용된다.
수용 공간에는 캐리지 어셈블리(16)가 더 수용된다. 이 캐리지 어셈블리(16)는 캐리지 블록(17)을 구비한다. 캐리지 블록(17)은 수직 방향으로 연장되는 지축(支軸)(18)에 회전 자재로 연결된다. 캐리지 블록(17)에는 지축(18)으로부터 수평 방향으로 연장되는 강체(剛體)의 캐리지 암(19)이 구획된다. 캐리지 블록(17)은 예를 들면 주조에 의거하여 알루미늄으로 성형되면 된다. 주지(周知)된 바와 같이, 인접하는 자기 디스크(14)끼리의 사이에 1개의 캐리지 암(19)이 배치된다.
캐리지 암(19)의 선단(先端)에는 헤드 서스펜션 어셈블리(21)가 부착된다. 헤드 서스펜션 어셈블리(21)는 헤드 서스펜션(22)을 구비한다. 헤드 서스펜션(22)은 캐리지 암(19)의 선단으로부터 전방(前方)을 향해 연장된다. 헤드 서스펜션(22)의 전단(前端)에는 부상 헤드 슬라이더(23)가 지지된다. 부상 헤드 슬라이더(23)는 자기 디스크(14)의 표면과 마주본다. 주지된 바와 같이, 인접하는 자기 디스크(14)끼리의 사이에 캐리지 암(19)에는 2개의 헤드 서스펜션(22)이 지지된다.
부상 헤드 슬라이더(23)에는 전자기 변환 소자가 탑재된다. 전자기 변환 소 자의 상세는 후술된다. 부상 헤드 슬라이더(23)에는 자기 디스크(14)의 표면을 향해 헤드 서스펜션(22)으로부터 가압력이 작용한다. 자기 디스크(14)가 회전하면, 자기 디스크(14)의 표면을 따라 기류가 생성된다. 이 기류의 작용으로 부상 헤드 슬라이더(23)에는 부력이 작용한다. 헤드 서스펜션(22)의 가압력과 부력이 균형이 잡힘으로써 자기 디스크(14)의 회전 중에 비교적 높은 강성으로 부상 헤드 슬라이더(23)는 계속해서 부상할 수 있다.
캐리지 블록(17)에는 동력원 즉 보이스 코일 모터(VCM)(24)가 접속된다. 이 VCM(24)의 작용으로 캐리지 블록(17)은 지축(18) 둘레로 회전할 수 있다. 이러한 캐리지 블록(17)의 회전에 의거하여 캐리지 암(19) 및 헤드 서스펜션(22)의 요동은 실현된다. 부상 헤드 슬라이더(23)의 부상 중에 지축(18) 주위에서 캐리지 암(19)이 회전하면, 부상 헤드 슬라이더(23)는 반경(半徑) 방향으로 자기 디스크(14)의 표면을 가로지를 수 있다. 이러한 부상 헤드 슬라이더(23)의 반경 방향 이동에 의거하여 전자기 변환 소자는 목표의 기록 트랙에 위치 결정된다.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 캐리지 어셈블리(16)의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다. 각 캐리지 암(19)에는 개구(25)가 형성된다. 개구(25)에는 단일의 지지 부재(26)가 배치된다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 인접하는 자기 디스크(14)끼리의 사이에 배치되는 캐리지 암(19)에서는 지지 부재(26)에 1쌍의 광원 즉 LD(레이저 다이오드) 칩(27)이 실장(實裝)된다. LD 칩(27)은 캐리지 암(19)의 전단을 향해 광을 출력한다. LD 칩(27)은 웨이퍼로부터의 잘라냄에 의거하여 제조되면 된다. 지지 부재(26)에는 LD 칩(27)의 후방에서 광 검지(檢知) 소자(28) 가 지지된다. 광 검지 소자(28)는 HDD(11) 내의 온도에 의거하여 LD 칩(27)으로부터 출력되는 광의 강도를 일정하게 유지한다. LD 칩(27)이나 광 검지 소자(28)에는 배선(도시되지 않음)에 의거하여 전력이 공급된다. 배선은 예를 들면 캐리지 암(19)에 부착되어도 된다.
지지 부재(26)에는 1쌍의 커플링 렌즈(29)가 지지된다. 개개의 커플링 렌즈(29)는 LD 칩(27)의 전방에 배치된다. 커플링 렌즈(29)에는 소정 곡률의 집광면(31)이 구획된다. 집광면(31)에는 LD 칩(27)의 전단이 마주본다. LD 칩(27)의 광은 집광면(31)에서 평행광 또는 집속광 중 어느 하나로 변환된다. 또한, 최상단(段) 및 최하단의 캐리지 암(19)에는 1개의 헤드 서스펜션(22)이 지지된다. 최상단 및 최하단의 캐리지 암(19)에서는 지지 부재(26)에 1개의 LD 칩(27) 및 1개의 커플링 렌즈(29)가 지지된다.
여기서는, LD 칩(27)으로부터 출력되는 광의 파장은 660nm 정도로 설정된다. LD 칩(27)의 광의 퍼짐 각도는 18°로 설정된다. 평행광의 확립에 있어서 커플링 렌즈(29)의 초점 거리는 0.75mm로 설정되면 된다. 집속광의 확립에 있어서 커플링 렌즈(29)의 초점 거리는 2.00mm로 설정되면 된다. 이와 같이 하여 커플링 렌즈(29)에서 확립되는 평행광이나 집속광의 지름은 400㎛ 정도로 설정될 수 있다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 부상 헤드 슬라이더(23)는 플렉셔(flexure)(32) 위에 지지된다. 플렉셔(32)는 헤드 서스펜션(22)에 고정되는 고정판(33)을 구비한다. 고정판(33)에는 표면에서 부상 헤드 슬라이더(23)의 지지면(23a)을 수용하는 지지판(34)이 접속된다. 지지면(23a)의 이면측에 매체 대향면(23b)이 규정된다. 고정판(33) 및 지지판(34)은 1매의 판 스프링재로 형성되면 된다. 판 스프링재는 예를 들면 균일한 판 두께의 스테인레스강으로 구성되면 된다. 지지판(34) 즉 부상 헤드 슬라이더(23)는 고정판(33)에 대하여 자세를 변화시킬 수 있다.
부상 헤드 슬라이더(23)의 지지면(23a) 및 지지판(34) 사이에는 광학 소자 즉 커플러 소자(36)가 끼워진다. 커플러 소자(36)는 지지면(23a) 및 지지판(34)에 접착되어도 된다. 커플러 소자(36)는 투명한 글래스 재료나 투명한 플라스틱 재료로 성형에 의거하여 형성되면 된다. 글래스 재료에는 예를 들면 SF6이 사용되어도 된다. SF6은 1.7956의 굴절률을 갖는다. 플라스틱 재료의 성형에는 예를 들면 사출 성형법이 이용되어도 된다. 커플러 소자(36)의 크기는 예를 들면 길이 0.80mm, 폭 0.60mm, 두께 0.23mm 정도로 설정된다. 또한, 부상 헤드 슬라이더(23) 및 커플러 소자(36)는 본 발명의 헤드 슬라이더 어셈블리를 구성한다.
도 5는 일구체예에 따른 부상 헤드 슬라이더(23)를 나타낸 도면이다. 이 부상 헤드 슬라이더(23)는, 예를 들면 평평한 직방체에 형성되는 슬라이더 본체(41)를 구비한다. 슬라이더 본체(41)의 공기 유출측 단면에는 비자성 절연층 즉 소자 내장막(內藏膜)(42)이 적층된다. 이 소자 내장막(42)에 전술한 전자기 변환 소자(43)가 조립된다. 전자기 변환 소자(43)의 상세는 후술된다.
슬라이더 본체(41)는 예를 들면 Al2O3-TiC(알 틱)이라고 하는 경질의 비자성 재료로 형성되면 된다. 소자 내장막(42)은 예를 들면 Al2O3(알루미나)라고 하는 비교적 연질의 절연 비자성 재료로 형성되면 된다. 슬라이더 본체(41)는 매체 대향 면(23b)에서 자기 디스크(14)와 마주본다. 매체 대향면(23b)에는 평탄한 베이스면(45) 즉 기준면이 규정된다. 자기 디스크(14)가 회전하면, 슬라이더 본체(41)의 전단으로부터 후단을 향해 매체 대향면(23b)에는 기류(46)가 작용한다.
매체 대향면(23b)에는, 전술한 기류(46)의 상류측 즉 공기 유입측에서 베이스면(45)으로부터 솟아오르는 1개의 프론트 레일(47)이 형성된다. 프론트 레일(47)은 베이스면(45)의 공기 유입단을 따라 슬라이더 폭 방향으로 연장된다. 마찬가지로, 매체 대향면(23b)에는, 기류의 하류측 즉 공기 유출측에서 베이스면(45)으로부터 솟아오르는 리어 레일(48)이 형성된다. 리어 레일(48)은 슬라이더 폭 방향의 중앙 위치에 배치된다.
매체 대향면(23b)에는 공기 유출측에서 베이스면(45)으로부터 솟아오르는 좌우 1쌍의 보조 리어 레일(49, 49)이 더 형성된다. 보조 리어 레일(49, 49)은 베이스면(45)의 좌우의 가장자리를 따라 각각 배치된다. 그 결과, 보조 리어 레일(49, 49)끼리는 슬라이더 폭 방향으로 간격을 두고 배치된다. 보조 리어 레일(49, 49)끼리의 사이에 리어 레일(48)은 배치된다.
프론트 레일(47), 리어 레일(48) 및 보조 리어 레일(49, 49)의 정상면에는 소위 공기 베어링면(ABS)(51, 52, 53)이 규정된다. 공기 베어링면(51, 52, 53)의 공기 유입단은 단차(54, 55, 56)로 레일(47, 48, 49)의 정상면에 접속된다. 자기 디스크(14)의 회전에 의거하여 생성되는 기류(46)는 매체 대향면(23b)에 수용된다. 이 때, 단차(54, 55, 56)의 작용으로 공기 베어링면(51, 52, 53)에는 비교적 큰 정압 즉 부력이 생성된다. 게다가, 프론트 레일(47)의 후방 즉 배후에는 큰 부압이 생성된다. 이들 부력 및 부압의 밸런스에 의거하여 부상 헤드 슬라이더(23)의 부상 자세는 확립된다. 또한, 부상 헤드 슬라이더(23)의 형태는 이러한 형태로 한정되는 것은 아니다.
도 6은 전자기 변환 소자(43)의 형태를 상세히 나타낸 도면이다. 전자기 변환 소자(43)는 기입 헤드 소자 즉 단자극(單磁極) 헤드(61)와 판독 헤드 소자(62)를 구비한다. 소자 내장막(42) 내에서 단자극 헤드(61)는 판독 헤드 소자(62)보다 공기 유출측으로 배치된다. 단자극 헤드(61)는 주지된 바와 같이, 예를 들면 자기 코일에서 생기는 자계를 이용해서 자기 디스크(14)에 2치(値) 정보를 기입할 수 있다. 판독 헤드 소자(62)에는, 예를 들면 거대 자기 저항 효과(GMR) 소자나 터널 접합 자기 저항 효과(TMR) 소자라고 하는 자기 저항 효과(MR) 소자가 사용되어도 된다. 판독 헤드 소자(62)는, 주지된 바와 같이, 자기 디스크(14)로부터 작용하는 자계에 따라 변화되는 저항에 의거하여 2치 정보를 검출할 수 있다.
단자극 헤드(61) 및 판독 헤드 소자(62)는 소자 내장막(42) 내에 매립된다. 판독 헤드 소자(62)에서는 터널 접합막이라고 하는 자기 저항 효과막(63)이 상하 1쌍의 도전층 즉 하부 실드층(64) 및 상부 실드층(65)에 끼워진다. 하부 실드층(64) 및 상부 실드층(65)은 예를 들면 FeN이나 NiFe라고 하는 자성 재료로 구성되어도 된다. 하부 실드층(64) 및 상부 실드층(65)의 상호 간격은 자기 디스크(14) 위에서 기록 트랙의 선(線) 방향으로 자기 기록의 분해능을 결정한다.
단자극 헤드(61)는 공기 베어링면(52)에서 노출되는 주(主) 자극(66) 및 보조 자극(67)을 구비한다. 주 자극(66) 및 보조 자극(67)은 예를 들면 FeN이나 NiFe라고 하는 자성 재료로 구성되면 된다. 도 7을 아울러 참조하여, 주 자극(66) 및 보조 자극(67) 사이에서 자기 코일 즉 박막 코일(68)이 형성된다. 주 자극(66)의 후단은 박막 코일(68)의 중심 위치에서 보조 자극(67)에 연결편(片)(69)에 의해 자기적으로 연결된다. 이와 같이 하여 주 자극(66), 보조 자극(67) 및 연결편(69)은 박막 코일(68)의 중심 위치를 관통하는 자성 코어를 형성한다.
단자극 헤드(61) 및 판독 헤드 소자(62) 사이에서 소자 내장막(42)에는 광 도파로 즉 코어(71)가 매립된다. 단자극 헤드(61), 판독 헤드 소자(62) 및 코어(71)의 코어 폭 방향의 중심선은 일치한다. 코어(71)에는 예를 들면 2.4의 굴절률의 TiO2가 사용되면 된다. 코어(71)는 부상 헤드 슬라이더(23)의 지지면(23a)으로부터 매체 대향면(23b) 즉 공기 베어링면(52)을 향해 연장된다. 코어(71)의 전단은 공기 베어링면(52)에서 노출된다. 코어(71)는 지지면(23a)으로부터 공기 베어링면(52)을 향함에 따라 폭을 좁힌다. 소자 내장막(42)은 코어(71)보다 작은 굴절률을 가지므로, 소자 내장막(42)은 클래드로서 기능한다.
도 8에 나타낸 바와 같이, 커플러 소자(36)는 지지판(34)의 표면으로부터 솟아오르는 단면에 집광면(72)을 규정한다. 집광면(72)은 상기 LD 칩(27)과 마주보아진다. 집광면(72)은 부상 헤드 슬라이더(23)의 지지면(23a)에 평행하게 입사하는 광을 집광한다. 여기서는, 집광면(72)은 등방 렌즈를 구성하면 된다. 집광면(72)의 곡률은 예를 들면 0.56mm로 설정된다. 그 한편, 집광면(72)의 반대측에서 커플러 소자(36)에는 반사면(73)이 형성된다. 반사면(73)은 집광면(72)과 마주 보아진다. 반사면(73)은 지지판(34)의 표면에 예를 들면 45°의 경사각으로 교차하는 가상 평면을 따라 규정된다. 반사면(73)은 커플러 소자(36) 내에서 광을 반사시킨다.
도 9에 나타낸 바와 같이, 집광면(72)은 등방 렌즈를 구성하므로, 집광면(72)에 입사하는 광은 커플러 소자(36)의 두께 방향 및 폭 방향으로 집속한다. 도 10에 나타낸 바와 같이, 집속한 광은 반사면(73)에서 반사된다. 반사면(73)은 소정 각도로 광을 반사시킨다. 이와 같이 하여 코어(71)를 향해 광은 집속해 간다. 그 결과, 광은 커플러 소자(36)의 상단면으로부터 코어(71)에 입사된다. 코어(71)에 입사된 광은 공기 베어링면(52)으로부터 자기 디스크(14)를 향해 조사된다. 여기서는, 커플러 소자(36)의 상단면에서 개구율(NA)은 0.33 정도로 설정된다. 광의 지름은 2㎛ 정도로 설정된다.
이제, 자기 디스크(14)에 2치 정보를 기입하는 장면을 상정한다. 우선, 부상 헤드 슬라이더(23)는 목표의 기록 트랙에 위치 결정된다. 도 11에 나타낸 바와 같이, LD 칩(27)은 커플러 소자(36)에 개별적으로 광을 공급한다. 커플러 소자(36)의 집광면(72)은 광을 집속시킨다. 반사면(73)은 반사에 의거하여 코어(71)로 광을 유도한다. 그 결과, 코어(71)의 전단으로부터 자기 디스크(14)의 자기 기록층(도시되지 않음)에 조사된다. 광의 에너지는 자기 기록층에서 열의 에너지로 변환된다. 자기 기록층은 가열된다. 자기 기록층의 온도는 상승한다. 자기 기록층에서는 보자력은 저하한다.
이 때, 박막 코일(68)에는 기입 전류가 공급된다. 박막 코일(68)에서는 자 계가 생긴다. 주 자극(66), 보조 자극(67) 및 연결편(69) 내에는 자속이 유통된다. 자속은 매체 대향면(23b)으로부터 누출된다. 누출되는 자속은 기록 자계를 형성한다. 이와 같이 하여 자기 디스크(14)에 2치 정보는 기입된다. 전자기 변환 소자(43)가 통과하면, 자기 기록층의 온도는 실온으로 되돌아간다. 자기 기록층의 보자력은 증대한다. 그 결과, 자기 기록층에서는 2치 정보는 확실히 유지될 수 있다.
이상과 같은 HDD(11)에서는, 커플러 소자(36)는 부상 헤드 슬라이더(23) 및 지지판(34) 사이에 끼워진다. 커플러 소자(36)에는 집광면(72) 및 반사면(73)이 구획된다. 집광면(72)으로 집광되는 광은 반사면(73)에서 반사된다. 이와 같이 하여 광은 부상 헤드 슬라이더(23)의 코어(71)로 유도된다. 후술되는 바와 같이, 헤드 슬라이더 어셈블리의 제조에 있어서 부상 헤드 슬라이더(23) 및 커플러 소자(36)의 상대 위치는 조정된다. 부상 헤드 슬라이더(23) 및 커플러 소자(36)는 이제까지 이상으로 용이하게 위치 결정될 수 있다. 헤드 서스펜션 어셈블리(21)의 조립은 용이하게 실시된다.
게다가, 인접하는 자기 디스크(14)끼리의 사이에 배치되는 캐리지 암(19)에서는, 1쌍의 LD 칩(27)은 단일의 지지 부재(26)로 지지된다. 캐리지 암(19)의 중량의 증대는 가능한 한 회피될 수 있다. 부가하여, 지지 부재(26)는 캐리지 암(19)의 개구(25) 내에 배치된다. 지지 부재(26)가 캐리지 암(19)의 표면에 배치되는 경우에 비해 캐리지 암(19)의 두께의 증대는 회피된다.
또한, 단자극 헤드(61)는 코어(71)보다 공기 유출측에 배치된다. 코어(71) 로부터 조사되는 광의 작용으로 자기 기록층이 가열된 직후에, 단자극 헤드(61)는 즉각 자기 기록층을 통과할 수 있다. 보자력의 저하가 실현된 직후에 2치 정보는 기입된다. 광은 효율적으로 이용될 수 있다. 2치 정보의 기입에 있어서 작은 강도의 기록 자계가 확립되면 된다.
다음에 헤드 슬라이더 어셈블리의 제조 방법을 간단히 설명한다. 우선, 도 12에 나타낸 바와 같이, 금형에 의거하여 횡방향으로 긴 성형품(75)이 성형된다. 성형품(75)은 예를 들면 2mm 내지 5mm 정도의 두께를 갖는다. 성형품(75) 상에서는 횡방향으로 퍼지는 기준면(76)의 일단에서 능선(77)에 소정 간격으로 횡 일렬로 전술한 집광면(72)이 배열된다. 여기서는 예를 들면 3개의 집광면(72)이 배열된다. 계속해서, 능선(77)의 반대측에서 능선(78)에 연마 처리가 실시된다. 그 결과, 도 13에 나타낸 바와 같이, 소정의 경사각으로 기준면(76)에 교차하는 반사면(73)이 형성된다. 반사면(73)은 횡방향으로 신장된다. 경사각은 예를 들면 45°로 설정된다.
도 14에 나타낸 바와 같이, 성형품(75)의 기준면(76)에는 긴 웨이퍼 바(79)가 부착된다. 웨이퍼 바(79)에는 집광면(72)과 동일 간격으로 횡 일렬로 복수의 헤드 슬라이더가 구획된다. 즉, 웨이퍼 바(79)에는 3개의 헤드 슬라이더가 구획된다. 웨이퍼 바(79)의 표면에는 미리 매체 대향면(23b)이 확립된다. 웨이퍼 바(79)에는 미리 전자기 변환 소자(43) 및 코어(71)가 매립된다. 주지된 바와 같이, 웨이퍼 바(79)는 웨이퍼로부터 잘라내진다. 웨이퍼 상에는 판독 헤드 소자(62), 코어(71) 및 단자극 헤드(61)가 주지의 포트리소그래피 기술에 의거하여 미리 적층 형성된다.
도 15에 나타낸 바와 같이, 웨이퍼 바(79)의 표면에는 예를 들면 2개의 현미경(81)이 배치된다. 현미경(81)에는 예를 들면 텔레비전 카메라가 접속된다. 현미경(81)은 웨이퍼 바(79) 양단의 코어(71) 상에 위치 결정된다. 집광면(72)을 통과하는 광은 반사면(73)에서 반사된다. 현미경(81)에서 광량이 측정된다. 그 결과, 광량의 크기에 따라 성형품(75)에 대하여 웨이퍼 바(79)가 위치 맞춤된다. 이 때, 성형품(75) 및 웨이퍼 바(79) 사이에는 미리 예를 들면 자외선 경화형의 접착제가 도포된다. 위치 맞춤 후, 성형품(75)에는 자외선이 조사된다. 접착제는 경화된다.
성형품(75) 및 웨이퍼 바(79)의 접착 후, 기준면(76)의 이면측으로부터 성형품(75)은 연마된다. 그 결과, 도 16에 나타낸 바와 같이, 성형품(75)에는 기준면(76)에 평행한 면(75a)이 깎여진다. 성형품(75)의 두께는 0.23mm 정도로 설정된다. 그 후, 도 17에 나타낸 바와 같이, 성형품(75) 및 웨이퍼 바(79)로부터 개개의 헤드 슬라이더 어셈블리가 잘라내진다. 그 후, 개개의 헤드 슬라이더 어셈블리는 플렉셔(32)의 지지판(34)에 부착된다.
그 외, 도 18에 나타낸 바와 같이, 헤드 서스펜션 어셈블리(21)에는 커플러 소자(36) 대신에 커플러 소자(36a)가 조립되어도 된다. 이 커플러 소자(36a)에서는, 집광면(72a)은 원통면으로 규정된다. 원통면의 중심축은 커플러 소자(36a)의 표면에 직교하는 방향으로 연장된다. 원통면의 곡률은 0.56mm로 규정되면 된다. 도 19를 아울러 참조하여, 반사면(73a)은 포물면으로 규정된다. 그 결과, 집광 면(72a)에 입사하는 광은 커플러 소자(36a)의 폭 방향으로만 집속해 간다. 집속한 광은 반사면(73a)에서 반사된다. 전술한 것과 마찬가지로, 반사면(73a)은 소정 각도로 광을 반사시킨다. 이와 같이 하여 광은 커플러 소자(36a)의 상단면으로부터 코어(71)로 입사된다.
도 20은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 캐리지 어셈블리(16a)의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다. 이 캐리지 어셈블리(16a)에서는, 광은 커플러 소자(36)에 비스듬히 입사된다. 여기서는, 광의 입사 각도는 베이스(13)의 저면(底面)에 평행한 수평면에 대하여 0.2° 내지 3.0°의 범위로 설정된다. 광은 LD 칩(27)으로부터 멀어짐에 따라 캐리지 암(19)의 표면으로부터 멀어진다. 그 외, 전술한 캐리지 어셈블리(16)와 균등한 구성이나 구조에는 동일한 참조 부호가 붙여진다.
도 21에 나타낸 바와 같이, 입사 각도의 조정에 있어서 LD 칩(27)의 광축과 커플링 레지스터(29)의 중심축이 시프트되어도 된다. 입사 각도(θ)와, LD 칩(27)의 광축 및 커플링 렌즈(29)의 중심축의 편차량(△X)의 관계는 △X=f×sinθ로 정의된다. 단, f는 커플링 렌즈(29)의 초점 거리를 나타낸다. 이러한 캐리지 어셈블리(16a)에 의하면, 캐리지 암(19)의 표면으로부터 LD 칩(27)의 광축의 높이와 캐리지 암(19)의 표면으로부터 커플러 소자(36)의 높이가 상이해도, LD 칩(27)으로부터 확실히 커플러 소자(36)에 광이 공급된다.
도 22는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 캐리지 어셈블리(16b)의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다. 이 캐리지 어셈블리(16b)에서는 지지 부재(26)에 커플링 렌즈(29) 대신에 커플러 소자(82)가 지지되면 된다. 커플러 소자(82)는 LD 칩(27) 의 전단과 마주보는 집광면(83)과, 집광면(83)으로부터 입사하는 광을 커플러 소자(36)에 공급하는 2개의 반사면(84, 85)을 구비한다. 반사면(84, 85)은 베이스(13)의 저면에 직교하는 수직 방향으로 배열된다. 반사면(84)은 평면으로 규정된다. 반사면(85)은 포물면으로 규정된다. 그 외, 전술한 캐리지 어셈블리(16)와 균등한 구성이나 구조에는 동일한 참조 부호가 붙여진다.
이러한 캐리지 어셈블리(16b)에서는, 캐리지 암(19)의 표면으로부터 LD 칩(27)의 광축의 높이와 캐리지 암(19)의 표면으로부터 커플러 소자(36)의 높이가 상이해도, 커플러 소자(82)의 작용으로 LD 칩(27)에서부터 커플러 소자(36)까지 광은 확실히 공급될 수 있다. 이러한 커플러 소자(82)의 제조에 있어서, 도 23에 나타낸 바와 같이, 성형품(86)이 성형된다. 그 후, 성형품(86)의 능선(87)에 연마 처리가 실시되면 된다.
도 24는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 캐리지 어셈블리(16c)의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다. 이 캐리지 어셈블리(16c)에서는 LD 칩(27)에 면발광 레이저의 칩이 사용된다. LD 칩(27)의 표면에는 커플러 소자(88)가 부착된다. 커플러 소자(88)는 반사면(89)을 규정한다. 반사면(89)의 작용으로 커플러 소자(88)에 입사하는 LD 칩(27)으로부터의 광은 소정 각도로 반사된다. 그 결과, 커플러 소자(36)에 확실히 광은 공급된다. 그 외, 전술한 캐리지 어셈블리(16)와 균등한 구성이나 구조에는 동일한 참조 부호가 붙여진다. 이와 같이 하여 LD 칩(27)에서 면발광이 확립되므로, 캐리지 암(19)의 두께의 증대는 회피된다.
도 25는 본 발명의 제 5 실시예에 따른 캐리지 어셈블리(16d)의 구조를 개략 적으로 나타낸 도면이다. 이 캐리지 어셈블리(16d)에서는 커플링 렌즈(29) 및 커플러 소자(36)는 광파이버(91)로 연결된다. 광파이버(91)의 일단(一端)에는 커플링 렌즈(29)로부터 집속광이 입사된다. 광파이버(91)의 타단(他端)으로부터 커플러 소자(36)에 집속광은 공급된다. 광파이버(91)의 NA는 0.2 정도로 설정된다. 광파이버(91)는 예를 들면 4㎛ 정도의 코어 지름 및 예를 들면 125㎛ 정도의 클래드 지름을 갖는다.
도 26에 나타낸 바와 같이, 커플러 소자(36)에는 광파이버(91)의 타단을 수용하는 홈(92)이 형성된다. 홈(92)의 내단(內端)에는 집광면(72)이 규정된다. 광파이버(91)의 타단 및 집광면(72)의 거리는 0.2mm 정도로 설정된다. 집광면(72)의 곡률은 0.12mm 정도로 설정된다. 집광면(72) 및 부상 헤드 슬라이더(23)의 코어(71)의 거리는 예를 들면 0.5mm 정도로 설정된다. 이 때, 집광면(72)에서 0.28의 NA가 확립된다. 코어(71)에 입사하는 광의 지름은 2.4㎛로 설정된다. 그 외, 전술한 캐리지 어셈블리(16)와 균등한 구성이나 구조에는 동일한 참조 부호가 붙여진다.
이러한 캐리지 어셈블리(16d)에서는, 광파이버(91)의 작용으로 LD 칩(27)에서부터 커플러 소자(36)까지 확실히 광은 공급될 수 있다. 게다가, LD 칩(27)에서부터 커플러 소자(36)까지 광파이버(91)는 똑바로 연장된다. 광파이버(91)에서는 소위 싱글모드 파이버에서 편광은 확실히 보존된다. 광파이버(91)에 예를 들면 편광 보존 광파이버가 사용될 필요는 없다. 부가하여, 광파이버(91)에 의하면, 예를 들면 LD 칩(27) 및 커플러 소자(36)의 위치 어긋남은 허용된다.
도 27은 본 발명의 제 6 실시예에 따른 캐리지 어셈블리(16e)의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다. 이 캐리지 어셈블리(16e)에서는, 지지 부재(26)에 1개의 LD 칩(27)과 1개의 커플링 렌즈(29)가 지지된다. 커플링 렌즈(29)에는 빔 스플리터(93)가 연결된다. 빔 스플리터(93)는 지지 부재(26)로 지지된다. 커플링 렌즈(29)의 작용으로 빔 스플리터(93)에는 평행광이 공급된다. 그 외, 전술한 캐리지 어셈블리(16)와 균등한 구성이나 구조에는 동일한 참조 부호가 붙여진다.
빔 스플리터(93)에는 투과면(94) 및 반사면(95)이 구획된다. 투과면(94)은 커플링 렌즈(29)로부터 입사하는 광을 투과시킴과 동시에, 커플링 렌즈(29)로부터 입사하는 광을 반사한다. 투과와 반사의 비율은 예를 들면 50% 정도로 설정된다. 투과면(94)을 투과한 광은 한쪽의 커플러 소자(36)에 공급된다. 그 한편, 투과면(94)에서 반사된 광은 반사면(95)에서 소정 각도로 반사된다. 반사율은 거의 100%로 규정된다. 반사된 광은 다른쪽의 커플러 소자(36)에 공급된다. 이와 같이 하여 1개의 LD 칩(27)으로부터 2개의 커플러 소자(36)에 개별적으로 광이 공급될 수 있다.
도 28은 본 발명의 제 7 실시예에 따른 캐리지 어셈블리(16f)의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다. 이 캐리지 어셈블리(16f)에는 커플러 소자(36b)가 사용된다. 커플러 소자(36b) 상에는 전술한 것과는 반대의 방향으로 부상 헤드 슬라이더(23)가 수용된다. 즉, 캐리지 어셈블리(16f)의 전단측에 공기 유입단이 규정된다. 캐리지 어셈블리(16f)의 기부단(基部端)측에 공기 유출단이 규정된다. 소자 내장막(42)은 캐리지 어셈블리(16f)의 기부단측에 배치된다. HDD(11)에서는 자기 디스크(14)는 전술한 방향과 반대 방향으로 회전한다. 전자기 변환 소자(43)나 코어(71)는 전술한 것과 동일하게 제조되면 된다.
커플러 소자(36b)는 LD 칩(27)과 마주보는 단면에 반사면(73b)을 구획한다. 반사면(73b)은 LD 칩(27)으로부터 공급되는 광을 공기 중으로 반사시킨다. 반사면(73b)에는 보호막(도시되지 않음)이 형성되어도 된다. 광은 코어(71)에 공급된다. 여기서는, 반사면(73b)은 집광면을 겸한다. 반사면(73b)에 공급되는 광은 코어(71)에 집광된다. 그 외, 전술한 캐리지 어셈블리(16)와 균등한 구성이나 구조에는 동일한 참조 부호가 붙여진다. 이러한 캐리지 어셈블리(16f)에서는, 소자 내장막(42)이 캐리지 어셈블리(16f)의 전단에 배치되는 경우에 비해, LD 칩(27)과의 사이에서 거리가 단축된다. 광은 효율적으로 이용될 수 있다.
도 29는 본 발명의 제 8 실시예에 따른 캐리지 어셈블리(16g)의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다. 이 캐리지 어셈블리(16g)에서는 커플러 소자(36, 36a, 36b)는 생략된다. 부상 헤드 슬라이더(23)는 플렉셔(32)의 지지판(34)의 표면에 수용된다. 부상 헤드 슬라이더(23)는 캐리지 어셈블리(16f)와 마찬가지로 캐리지 어셈블리(16g)의 전단측에 공기 유입단이 규정된다. 캐리지 어셈블리(16f)의 기부단측에 공기 유출이 규정된다. HDD(11)에서는 자기 디스크(14)는 전술한 방향과 반대 방향으로 회전한다.
이 부상 헤드 슬라이더(23)에서는 코어(71)는 공기 유출측 단면에 부분적으로 노출된다. 노출 부분에서는 코어(71)에 그레이팅(grating)(97)이 형성된다. 이 노출 부분에 직접적으로 LD 칩(27)으로부터 광이 공급된다. 그레이팅(97)의 작 용으로 광은 산란한다. 이와 같이 하여 코어(71)에는 광이 입사된다. 그 외, 전술한 것과 균등한 구성이나 구조에는 동일한 참조 부호가 붙여진다.
도 30은 본 발명의 제 9 실시예에 따른 캐리지 어셈블리(16h)의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다. 이 캐리지 어셈블리(16h)에는 커플러 소자(36c)가 사용된다. 커플러 소자(36c)는 집광면(72c) 및 반사면(73c)을 규정한다. 집광면(72c)에는 전술한 광파이버(91)의 타단이 마주본다. 광파이버(91)의 일단은 LD 칩(27)과 마주본다. 이와 같이 하여 광파이버(91)는 집광면(72c)을 향해 집속광을 공급한다. 집속광은 집광면(72c)에서 집광된다. 집광된 광은 반사면(73c)에서 소정 각도로 반사된다. 그 결과, 코어(71)로 광이 유도된다. 여기서는, 광파이버(91)의 타단 및 집광면(72c)의 거리는 0.3mm 정도로 설정된다. 집광면(72c)에서부터 광의 초점까지의 거리는 0.3mm 정도로 설정된다. 그 외, 전술한 것과 균등한 구성이나 구조에는 동일한 참조 부호가 붙여진다.
커플러 소자(36c)는 부상 헤드 슬라이더(23)의 지지면(23a)을 수용하는 제 1 평탄면(98)과, 제 1 평탄면(98)에 평행하게 퍼지는 제 2 평탄면(99)을 규정한다. 커플러 소자(36c)는 제 2 평탄면(99)에서 지지판(34)에 수용된다. 제 1 평탄면(98) 및 제 2 평탄면(99)은 집광면(72c)을 포함하는 제 1 측면(101)과, 반사면(73c)을 포함하는 제 2 측면(102)에 의해 서로 접속된다. 제 1 측면(101)은 제 2 측면(102)과 마주본다. 도 31에 나타낸 바와 같이, 제 1 평탄면(98) 및 제 2 평탄면(99)은 서로 평행하게 퍼지는 제 3 측면(103) 및 제 4 측면(104)에 의해 접속된다. 여기서는, 집광면(72c)은 만곡면 즉 애너모픽(anamorphic) 비구면으로 규정 된다. 그 한편, 반사면(73c)은 평면으로 규정된다.
도 32에 나타낸 바와 같이, 평면에서 볼 때 확립되는 커플러 소자(36c)의 윤곽선(C)으로부터 제 1 내지 제 4 가상 벽면(105a 내지 105d)이 직립된다. 제 1 가상 벽면(105a) 및 제 2 가상 벽면(105b)은 서로 평행하게 규정된다. 제 3 가상 벽면(105c) 및 제 4 가상 벽면(105d)은 서로 평행하게 규정된다. 커플러 소자(36c)의 제 3 측면(103)은 제 3 가상 벽면(105c)을 따라 퍼진다. 제 4 측면(104)은 제 4 가상 벽면(105d)을 따라 퍼진다. 그 한편, 도 33에 나타낸 바와 같이, 제 1 측면(101) 즉 집광면(72c)은 제 1 평탄면(98)에 평행하게 퍼지는 제 1 기준면(P1)으로부터 멀어짐에 따라, 제 1 가상 벽면(105a)으로부터 멀어진다. 그 한편, 제 2 측면(102)은 제 1 평탄면(98)으로부터 부분적으로 제 2 가상 벽면(105b)을 따라 퍼진다. 제 1 측면(102) 즉 반사면(73c)은 제 1 평탄면(98)에 평행하게 퍼지는 제 2 기준면(P2)으로부터 멀어짐에 따라, 제 2 가상 벽면(105b)으로부터 멀어진다.
다음에, 커플러 소자(36c)의 제조 방법을 설명한다. 도 34는 커플러 소자(36c)의 제조에 있어서 사용되는 금형(106)의 구조를 나타낸 도면이다. 금형(106)은, 예를 들면 원반형의 하형(下型)(107)과, 하형(107)의 표면에 중첩되는 예를 들면 원반형 상형(上型)(108)을 구비한다. 하형(107)의 축심(軸心) 및 상형(108)의 축심은 일치한다. 하형(107)에는 캐비티(109)가 구획된다. 캐비티(109)는, 예를 들면 횡방향으로 배열되는 3개의 커플러 소자(36c)의 윤곽으로 나타낸다. 상형(108)에는 상형(108)의 이면으로부터 돌출되는 돌기(111)가 구획된다. 하형(107)의 표면에 상형(108)의 이면을 중첩시키면, 돌기(111)는 캐비 티(109) 내에 수용된다. 이와 같이 하여 캐비티(109)는 밀폐된다.
캐비티(109) 내에서 하형(107)에는, 서로 마주보는 제 1 측벽(109a) 및 제 2 측벽(109b)과, 서로 마주보는 제 3 측벽(109c) 및 제 4 측벽(109d)이 규정된다. 제 1 측벽(109a)은 커플러 소자(36c)의 제 1 측면(101)을 규정한다. 마찬가지로, 제 3 측벽(109c)은 제 3 측면(103)을 규정한다. 제 4 측벽(109d)은 제 4 측면(104)을 규정한다. 캐비티(109)의 저면은 제 1 평탄면(98)을 규정한다. 그 한편, 도 35를 아울러 참조하여, 상형(108)의 돌기(111)에는 측면(111a)이 규정된다. 측면(111a)은 커플러 소자(36c)의 제 2 측면(102)을 규정한다. 하형(107)의 표면에 상형(108)의 이면이 중첩되면, 캐비티(109)는 커플러 소자(36c)의 윤곽을 구획한다. 돌기벽(111)의 외측에서 상형(108)의 이면은 제 2 평탄면(99)을 규정한다.
커플러 소자(36c)의 제조에 있어서 캐비티(109) 내에는 프리폼(preform)이 배치된다. 프리폼에는 예를 들면 글래스 재료가 사용된다. 글래스 재료는 가열된다. 글래스 재료는 용융한다. 용융한 글래스 재료는 캐비티(109) 내로 퍼진다. 하형(107) 및 상형(108)은 축심에 따라 서로 접근한다. 그 결과, 하형(107)의 표면에는 상형(108)의 이면이 중첩된다. 하형(107) 및 상형(108)은 소정의 가압력으로 상호 꽉 눌려진다. 글래스 재료는 캐비티(109) 내에 완전히 퍼진다. 그 후, 글래스 재료는 냉각된다. 냉각에 의거하여 글래스 재료는 경화한다. 그 결과, 글래스 재료는 소정 형상으로 성형된다. 성형된 성형품은 캐비티(109)로부터 취출된다. 그 후, 성형품으로부터 각 커플러 소자(36c)가 잘라내진다. 이와 같이 하여 커플러 소자(36c)가 제조된다.
이상과 같은 제조 방법에서는, 커플러 소자(36c)의 제 1 측면(101) 및 제 2 측면(102)은, 제 1 기준면(P1) 및 제 2 기준면(P2)으로부터 각각 멀어짐에 따라 제 1 가상 벽면(105a) 및 제 2 가상 벽면(105b)으로부터 각각 멀어진다. 제 3 측면(103) 및 제 4 측면(104)은 제 3 가상 벽면(105c) 및 제 4 가상 벽면(105d)에 따라 규정된다. 제 1 내지 제 4 가상 벽면(105a 내지 105d)은 윤곽선(C)으로부터 직립되므로, 성형품 즉 커플러 소자(36c)는 금형(106)으로부터 간단히 취출될 수 있다. 2가지의 형태 즉 하형(107) 및 상형(108)에 의거하여 커플러 소자(36c)는 간단히 제조된다. 커플러 소자(36c)는 한번에 대량으로 생산될 수 있다.
도 36에 나타낸 바와 같이, 캐리지 어셈블리(16h)에는 전술한 커플러 소자(36c) 대신에 커플러 소자(36d)가 조립되어도 된다. 이 커플러 소자(36d)에서는, 도 37에 나타낸 바와 같이, 집광면(72c)은 원통면으로 규정된다. 원통면의 모선(母線)은 예를 들면 제 1 평탄면(98)에 소정 경사각으로 교차한다. 그 한편, 반사면(73c)은 원통면으로 규정된다. 원통면의 모선은 제 1 가상 벽면(105a)에 평행한 방향으로 연장된다. 이와 같이 하여 반사면(73c)은 집광면으로서 기능할 수 있다. 그 외, 전술한 커플러 소자(36c)와 균등한 구성이나 구조에는 동일한 참조 부호가 붙여진다.
이러한 커플러 소자(36d)는 전술한 커플러 소자(36c)와 마찬가지로 제조된다. 따라서, 커플러 소자(36d)는 한번에 대량으로 생산된다. 게다가, 집광면(72c)은 소정의 모선으로 그려지므로, 커플러 소자(36c)의 제조에 사용되는 금형의 연삭에 있어서 연삭 바이트의 평행 이동이 실현되면 된다. 연삭 바이트의 방향 제어를 포함하는 3차원의 복잡한 가공은 필요하게 되지 않는다. 이와 같이 하여 금형은 간단히 제조될 수 있다.
반사면(73c)은 집광면으로서도 기능한다. 그 결과, 지지면(23a) 및 반사면(73c)까지의 거리가 비교적 짧을 경우, 넓은 범위로 광이 집광되면 NA가 증대하게 된다. NA의 증대는 결합 효율을 저하시킨다. 도 38은 싱글모드 광파이버에 입사하는 광의 NA와 결합 효율의 관계를 나타낸 도면이다. 이 그래프로부터 명백한 바와 같이, NA가 0.10으로 설정되면, 가장 결합 효율은 높다. 따라서, 커플러 소자(36d)의 설계에 의거하여 최적의 NA가 설정되면 된다. 게다가, 커플러 소자(36d)에서는 부상 헤드 슬라이더(23)의 지지면(23a)에서부터 반사면(73c)까지의 거리는 비교적 길게 설정된다. 그 결과, 최적의 NA가 변경되지 않고 반사면(73c)은 한층 더 넓은 범위로 집광할 수 있다. 광은 효율적으로 이용된다.
도 39에 나타낸 바와 같이, 캐리지 어셈블리(16h)에는 전술한 커플러 소자(36c, 36d) 대신에 커플러 소자(36e)가 조립되어도 된다. 이 커플러 소자(36e)에서는, 집광면(72c)은 원통면으로 규정된다. 원통면의 모선은 제 1 가상 벽면(105a)에 평행한 방향으로 연장된다. 그 한편, 반사면(73c)은 마찬가지로 원통면으로 규정된다. 도 40으로부터 명백한 바와 같이, 원통면의 모선은 예를 들면 제 2 평탄면(99)에 소정 경사각으로 교차한다. 이와 같이 하여 반사면(73c)은 집광면으로서 기능할 수 있다. 그 외, 전술한 커플러 소자(36c, 36d)와 균등한 구성이나 구조에는 동일한 참조 부호가 붙여진다.
이러한 커플러 소자(36e)는 전술한 커플러 소자(36c)와 마찬가지로 제조된 다. 따라서, 커플러 소자(36c)는 한번에 대량으로 생산된다. 게다가, 집광면(72c)은 소정의 모선으로 그려지므로, 금형은 간단히 제조될 수 있다. 부가하여, 커플러 소자(36e)에서는 부상 헤드 슬라이더(23)의 지지면(23a)에서부터 반사면(73c)까지의 거리는 비교적 길게 설정된다. 그 결과, 최적의 NA가 변경되지 않고 반사면(73c)은 한층 더 넓은 범위로 집광할 수 있다. 광은 효율적으로 이용된다.
도 41에 나타낸 바와 같이, 캐리지 어셈블리(16h)에는 전술한 커플러 소자(36c 내지 36e) 대신에 커플러 소자(36f)가 조립되어도 된다. 이 커플러 소자(36f)에서는 집광면(72c)은 전술한 커플러 소자(36c)와 마찬가지로 애너모픽 비구면으로 규정된다. 그 한편, 도 42에 나타낸 바와 같이, 반사면(72c)은 예를 들면 타원면이라고 하는 회전 대칭 비구면으로 규정되면 된다. 그 결과, 반사면(73c)은 집광면으로서 기능할 수 있다. 그 외, 반사면(73c)은 쌍곡면으로 규정되어도 된다.
이 커플러 소자(36f)에서는, 전술한 것에 비해 집광면(72c) 및 반사면(73c)의 거리는 증대한다. 광로 길이는 전술한 것에 비해 증대한다. 그 결과, 집광면(73c) 및 반사면(73c) 사이에서 광은 초점을 연결한다. 초점에서부터 집광면(72c)까지의 거리와 초점에서부터 반사면(73c)까지의 거리는 동일하게 설정된다. 이와 같이 하여 코어(71)에 집광하는 광의 NA는 집광면(72c)에 입사하는 광의 NA와 동일하게 설정된다. 그 외, 전술한 커플러 소자(36c 내지 36e)와 균등한 구성이나 구조에는 동일한 참조 부호가 붙여진다.
이러한 커플러 소자(36f)는 전술한 커플러 소자(36c)와 마찬가지로 제조된다. 따라서, 커플러 소자(36f)는 한번에 대량으로 생산된다. 게다가, 집광면(72c)은 소정의 모선으로 그려지므로, 금형은 간단히 제조될 수 있다. 부가하여, 커플러 소자(36e)에서는 부상 헤드 슬라이더(23)의 지지면(23a)에서부터 반사면(73c)까지의 거리는 비교적 길게 설정된다. 그 결과, 최적의 NA가 변경되지 않고 반사면(73c)은 한층 더 넓은 범위로 집광할 수 있다. 광은 효율적으로 이용된다. 또한, 집광면(72c) 및 반사면(73c)의 거리의 증대에 따라 제 1 평탄면(98)의 면적은 증대한다. 커플러 소자(36f) 및 부상 헤드 슬라이더(23)의 접합 강도는 향상된다.
도 43에 나타낸 바와 같이, 캐리지 어셈블리(16h)에는 전술한 커플러 소자(36c 내지 36f) 대신에 커플러 소자(36g)가 조립되어도 된다. 이 커플러 소자(36g)에서는 집광면(72c)은 원통면으로 규정된다. 원통면의 모선은 제 1 가상 벽면(105a)에 평행하게 연장된다. 여기서는, 집광면(72c)은 전술한 제 2 기준면(P2)으로부터 멀어짐에 따라 제 1 가상 벽면(105a)으로부터 멀어진다. 그 한편, 반사면(73c)은 평면으로 규정되면 된다.
이 커플러 소자(36g)에서는, 전술한 커플러 소자(36f)와 마찬가지로, 집광면(72c) 및 반사면(73c)의 거리는 비교적 크다. 그 결과, 집광면(72c)으로부터 입사하는 광은 제 1 평탄면(98)에서 반사된다. 즉, 제 1 평탄면(98)은 제 2 반사면을 구성한다. 반사된 광은 반사면(73c)으로 유도된다. 그 외, 전술한 커플러 소자(36c 내지 36f)와 균등한 구성이나 구조에는 동일한 참조 부호가 붙여진다.
이러한 커플러 소자(36g)의 제조에 있어서, 예를 들면 도 45에 나타낸 바와 같이, 금형(113)이 사용된다. 금형(113)은 하형(114) 및 상형(115)을 구비한다. 하형(114)에는 캐비티(116)가 구획된다. 하형(114)의 표면에 상형(115)의 이면이 중첩되면, 캐비티(116)는 밀폐된다. 도 45로부터 명백한 바와 같이, 커플러 소자(36g)의 집광면(72c) 및 반사면(73c)은 함께 하형(114)의 캐비티(116)로 규정된다. 따라서, 예를 들면 반사면(73c)이 상형(115)의 이면으로 규정되는 경우에 비해, 집광면(72c)이나 반사면(73c)은 한층 더 높은 정밀도로 형성될 수 있다.
이러한 커플러 소자(36g)는 상기와 마찬가지로 한번에 대량으로 생산된다. 게다가, 집광면(72c)은 소정의 모선으로 그려지므로, 금형은 간단히 제조될 수 있다. 부가하여, 집광면(73c) 및 반사면(72c)의 거리의 증대에 따라 제 1 평탄면(98)의 면적은 증대한다. 커플러 소자(36f) 및 부상 헤드 슬라이더(23)의 접합 강도는 향상된다.
도 46에 나타낸 바와 같이, 캐리지 어셈블리(16h)에는 전술한 커플러 소자(36c 내지 36g) 대신에 커플러 소자(36h)가 조립되어도 된다. 이 커플러 소자(36h)에는 광파이버(91)의 타단을 수용하는 홈(118)이 형성된다. 홈(118)의 내단에는 입사면(119)이 규정된다. 입사면(119)은 평면으로 규정된다. 입사면(119)은 광파이버(91)의 타단과 마주본다. 그 한편, 커플러 소자(36h)에는 반사면(121)이 형성된다. 반사면(121)은 평면으로 규정된다. 반사면(121)은 입사면(119)과 마주본다.
광파이버(91)의 타단 및 입사면(119) 사이에는 예를 들면 원주형의 굴절률 분포 렌즈(122)가 배치된다. 굴절률 분포 렌즈(122)는 광파이버(91)의 타단에 접합된다. 굴절률 분포 렌즈(122)에서는 그 중심축으로부터 주위로 멀어짐에 따라 굴절률은 작게 설정된다. 도 47에 나타낸 바와 같이, 광파이버(91)의 타단으로부터 굴절률 분포 렌즈(122)에 광은 입사하면 굴절률 분포 렌즈(122)에서 광은 집속한다. 집속한 광은 입사면(121)으로부터 커플러 소자(36h)에 입사된다. 입사된 광은 반사면(121)에서 소정 각도로 반사된다. 이와 같이 하여 코어(71)로 광은 유도된다. 그 외, 전술한 커플러 소자(36c 내지 36g)와 균등한 구성이나 구조에는 동일한 참조 부호가 붙여진다.
이러한 커플러 소자(36h)에서는 입사면(119) 및 반사면(121)은 평면으로 규정된다. 그 결과, 커플러 소자(36h)는 예를 들면 다이싱 가공에 의거하여 형성된다. 다이싱 가공에서 잘라낸 성형품에는 연마 가공이 실시된다. 이와 같이 하여 입사면(119)이나 반사면(121)이 규정된다. 이러한 커플러 소자(36h)는 한번에 대량으로 생산될 수 있다.
도 48은 본 발명의 제 10 실시예에 따른 캐리지 어셈블리(16i)의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다. 이 캐리지 어셈블리(16i)에서는 캐리지 암(19) 위에 LD 칩(27)이 부착된다. LD 칩(27)은 캐리지 암(19)의 전방으로 광을 조사할 수 있다. LD 칩(27) 및 부상 헤드 슬라이더(23) 사이에는 광 도파로(124)가 배치된다. 광 도파로(124)는 캐리지 암(19) 및 헤드 서스펜션(22) 위에 형성된다. 여기서는, 광 도파로(124)는 LD 칩(27)에서부터 부상 헤드 슬라이더(23)까지 똑바로 연장된다. 부상 헤드 슬라이더(23)의 공기 유입측에서 광 도파로(124)는 플렉셔(32)의 고정판(33)으로부터 지지판(34)으로 연장된다.
도 49에 나타낸 바와 같이, 광 도파로(124)는 예를 들면 폴리이미드 수지로 제조된 지지판(125)을 구비한다. 지지판(125) 위에는 시트 형상의 클래드(126)가 형성된다. 클래드(126) 내에는 코어(127)가 매립된다. 클래드(126)나 코어(127)는 예를 들면 포토폴리머(photopolymer)라고 하는 자외선 경화형의 수지 재료로 형성된다. 이 때, 클래드(126)의 굴절률과 코어(127)의 굴절률에 차(差)가 형성되면 된다. 코어(127)에서는 편광의 방향은 소정 방향으로 설정된다. 플렉셔(32) 위에서는 광 도파로(124) 위에 도전 패턴(도시되지 않음)이 배치되면 된다. 또한, 광 도파로(124)는 도전 패턴 위에 배치되어도 된다. 또한, 도전 패턴은 광 도파로(124)에 일체화되어도 된다.
도 50에 나타낸 바와 같이, LD 칩(27)의 전방으로 광 도파로(124)의 일단 즉 입사면(124a)이 마주본다. 여기서는, LD 칩(27)에는 예를 들면 파브리 페로(Fabry-Perot)형이 사용되면 된다. LD 칩(27)은 입사면(124a)을 향해 광을 공급한다. 그 한편, 도 51에 나타낸 바와 같이, 부상 헤드 슬라이더(23)의 지지면(23a) 및 지지판(34) 사이에는 전술한 커플러 소자(36)가 끼워진다. 커플러 소자(36)의 집광면(72)에는 광 도파로(124)의 타단 즉 출사면(124b)이 마주본다. 그 외, 상기와 균등한 구성이나 구조에는 동일한 참조 부호가 붙여진다.
이러한 캐리지 어셈블리(16i)에서는, LD 칩(27)으로부터 조사된 광은 광 도파로(124)의 코어(127)에 공급된다. 코어(127)에는 입사면(124a)으로부터 광이 입사된다. 코어(127) 내에서 광은 전송된다. 이와 같이 하여 광은 코어(127)의 출 사면(124b)으로부터 출사된다. 출사한 광은 커플러 소자(36)로 유도된다. 그 결과, 부상 헤드 슬라이더(23)의 코어(71)로 광은 유도된다. 또한, 캐리지 어셈블리(16i)의 제조에 있어서, 미리 제조된 광 도파로(124)가 캐리지 암(19) 및 헤드 서스펜션(22)에 부착되면 된다. 이러한 캐리지 어셈블리(16i)에 의하면 전술한 것과 동일한 작용 효과가 실현된다.
이상과 같은 캐리지 어셈블리(16i)에서는, 미리 제조된 광 도파로(124)가 캐리지 암(19) 및 헤드 서스펜션(22)에 부착된다. 미리 제조된 광 도파로(124)에서는 편광의 방향은 소정 방향으로 설정된다. 따라서, 광 도파로(124)는 캐리지 암(19)이나 헤드 서스펜션(22) 상에 간단히 위치 결정될 수 있다. 편광 방향의 미세 조정이라고 하는 번잡한 작업의 실시는 회피된다. 그 결과, 캐리지 어셈블리(16i)는 간단히 대량으로 생산된다. 캐리지 어셈블리(16i)의 생산 비용은 억제된다.
그 외, 전술한 부착 대신에, 광 도파로(124)는 캐리지 암(19) 및 헤드 서스펜션(22) 상에 형성되어도 된다. 형성에 있어서, 캐리지 암(19) 및 헤드 서스펜션(22) 상에 예를 들면 스핀 코트법으로 자외선 경화형의 수지 재료가 도포된다. 그 후, 자외선 조사에 의거하여 클래드(126) 및 코어(127)가 형성되면 된다.
도 52에 나타낸 바와 같이, 캐리지 어셈블리(16i)에는 광 도파로(124) 대신에 광 도파로(128)가 조립되어도 된다. 이 광 도파로(128)는 글래스 재료로 형성되는 클래드(129) 및 코어(131)를 구비한다. 클래드(129)는 지지층(129a)과, 지지층(129a)의 표면에서 코어(131)로 피복되는 피복층(129b)을 구비한다. 광 도파 로(124)는 지지층(129a)에서 캐리지 암(19) 및 헤드 서스펜션(22)에 부착된다. 지지층(129a)은 예를 들면 붕규산 글래스로 형성된다. 지지층(129a)은 예를 들면 30㎛ 내지 50㎛ 정도의 두께를 갖는다. 붕규산 글래스는 1.473의 굴절률을 갖는다. 피복층(129b)은 예를 들면 BK7로 형성된다. BK7은 예를 들면 0.02mm 정도의 두께를 갖는다. BK7은 1.53의 굴절률을 갖는다.
코어(131)는 지지층(129a) 및 피복층(129b) 즉 클래드(129) 내에 매립된다. 코어(131)는 예를 들면 실리카 글래스(BPSG)로 형성된다. 코어(131)는 예를 들면 5㎛ 정도의 두께를 갖는다. 실리카 글래스는 2.0의 굴절률을 갖는다. 이와 같이 하여 광 도파로(128)가 글래스 재료로 형성되면, 예를 들면 400nm의 파장을 갖는 광의 투과율은 향상된다. 부가하여, 글래스 재료의 내열 온도는 높으므로, 캐리지 어셈블리(16i)에서는 고에너지의 광이 이용될 수 있다.
이러한 광 도파로(128)의 형성에 있어서, 우선, 붕규산 글래스의 시트가 준비된다. 시트는 지지층(129a)을 구성한다. 지지층(129a)의 표면에는, 예를 들면 플라즈마 화학 기상 성장법(PECVD)에 의거하여 실리카 글래스층이 형성된다. 실리카 글래스층에는 예를 들면 Cr 마스크에 의거하여 에칭이 실시된다. 이와 같이 하여 지지층(129a)의 표면에서 코어(131)가 깎여진다. 그 후, 지지층(129a)의 표면에는 RF 스퍼터링법에 의거하여 BK7의 피복층(129b)이 형성된다. 그 후, 예를 들면 레이저 가공에 의거하여 광 도파로(128)의 윤곽이 깎여진다. 또한, 전술한 부착 대신에, 광 도파로(128)는 캐리지 암(19) 및 헤드 서스펜션(22) 위에 형성되어도 된다.
도 53은 본 발명의 제 11 실시예에 따른 캐리지 어셈블리(16j)의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다. 이 캐리지 어셈블리(16j)에서는, 전술한 광 도파로(124)는 굴곡에 의거하여 부상 헤드 슬라이더(23)의 공기 유출측으로 연장되어도 된다. 광 도파로(124)의 굴곡 영역에서는 코어(127)에 반사면(133, 134)이 규정된다. 반사면(133, 134)은 예를 들면 평면으로 규정된다. 반사면(133, 134)은 플렉셔(32)의 표면에 직교한다. LD 칩(27)으로부터 광 도파로(124)의 코어(127)에 입사된 광은 반사면(133, 134)에서 전반사된다. 그 결과, 광은 광 도파로(124)의 출사면(124b)으로 유도될 수 있다. 또한, 광 도파로(124) 대신에 광 도파로(128)가 사용되어도 된다.
도 54에 나타낸 바와 같이, 부상 헤드 슬라이더(23)의 지지면(23a) 및 지지판(34) 사이에는 전술한 커플러 소자(36b)가 끼워진다. 광 도파로(124)의 출사면(124b)은 커플러 소자(36b)의 반사면(73b)과 마주본다. 반사면(73b)은 예를 들면 원통면으로 규정된다. 전술한 바와 같이, 반사면(73b)은 집광면을 겸한다. 반사면(73b)은 부상 헤드 슬라이더(23)의 코어(71)와 마주본다. 그 결과, 광 도파로(124)의 출사면(124b)으로부터 출사한 광은 부상 헤드 슬라이더(23)의 코어(71)로 유도된다. 그 외, 전술한 것과 균등한 구성이나 구조에는 동일한 참조 부호가 붙여진다. 이러한 캐리지 어셈블리(16j)에서는 전술한 것과 동일한 작용 효과가 실현된다.
도 55는 본 발명의 제 12 실시예에 따른 캐리지 어셈블리(16k)의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다. 이 캐리지 어셈블리(16k)에서는, 광 도파로(124)는 부 상 헤드 슬라이더(23)의 지지면(23a)까지 연장되어도 된다. 이와 같이 하여 광 도파로(124)의 타단은 지지면(23a) 및 지지판(34) 사이에 끼워진다. 광 도파로(124)의 타단은 지지면(23a) 및 지지판(34) 사이에서 균일한 두께로 퍼진다. 여기서는, 광 도파로(124)의 타단은 부상 헤드 슬라이더(23)와 동일한 윤곽을 가지면 된다. 광 도파로(124)에서는 코어(127)는 지지면(23a) 및 지지판(34) 사이까지 연장된다.
도 56을 아울러 참조하여, 클래드(126)에는 개구(135)가 구획된다. 개구(135) 내에서 코어(127)는 절단된다. 한쪽 코어(127)의 단면에는 출사면(124b)이 규정된다. 그 한편, 다른쪽 코어(127)의 단면에는 반사면(136)이 규정된다. 반사면(136)은 출사면(124b)과 마주본다. 반사면(136)은 지지판(34)의 표면에 예를 들면 45°의 경사각으로 교차하는 경사면으로 규정되어도 된다. 코어(127) 내에서 전송되는 광은 출사면(124b)으로부터 출사된다. 광은 반사면(136)에서 반사된다. 반사된 광은 코어(71)에 입사된다. 그 외, 전술한 캐리지 어셈블리(16j)와 균등한 구성이나 구조에는 동일한 참조 부호가 붙여진다.
이러한 광 도파로(124)의 형성에 있어서, 도 57에 나타낸 바와 같이, 지지판(125) 위에 예를 들면 스핀 코트법으로 클래드용의 포토폴리머재(材)(137)가 균일한 두께로 도포된다. 포토폴리머재(137)는 자외선의 조사에 의거하여 경화한다. 포토폴리머재(137) 위에는 예를 들면 스핀 코트법으로 코어용의 포토폴리머재(138)가 균일한 두께로 도포된다. 그 후, 마스크에 의거하여 포토폴리머재(138)에는 자외선이 조사된다. 이와 같이 하여 코어(127)의 윤곽에서 포토폴리머재(138)는 경화한다. 그 후, 포토폴리머재(137) 위에는 포토폴리머재(139)가 도포된다. 자외 선의 조사에 의거하여 포토폴리머재(139)는 경화한다.
그 후, 도 58에 나타낸 바와 같이, 포토폴리머재(139)에는 가공용 레이저가 조사된다. 가공용 레이저의 조사에 의거하여 소정 범위에 걸쳐 포토폴리머재(139)는 제거된다. 그 결과, 포토폴리머재(139)에는 개구(135)가 형성된다. 개구(135) 내에는 포토폴리머재(38)의 표면이 노출된다. 개구(135) 내에서 포토폴리머재(138)의 표면에 가공용 레이저가 조사된다. 그 결과, 도 59에 나타낸 바와 같이, 포토폴리머재(139)에는 경사면 즉 반사면(136)이 형성된다. 동시에, 포토폴리머재(139)에는 출사면(124b)이 형성된다. 반사면(136)의 평활화에 있어서 반사면(136)에는 가공용 레이저가 재차 조사된다. 이와 같이 하여 광 도파로(124)가 형성된다.
도 60은 본 발명의 제 13 실시예에 따른 캐리지 어셈블리(16m)의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다. 이 캐리지 어셈블리(16m)에서는, 캐리지 암(19) 위에 광 도파로(124)가 배치되는 한편, 헤드 서스펜션(22) 위에 광 도파로(128)가 배치되면 된다. 광 도파로(124)는 캐리지 암(19) 위에 부착된다. 그 한편, 광 도파로(128)는 캐리지 서스펜션(22) 위에 패터닝에 의거하여 형성되면 된다. 광 도파로(124)의 단면은 광 도파로(128)의 단면과 마주본다. 단면끼리의 사이에는 예를 들면 접착제가 끼워지면 된다. 이와 같이 하여 단면끼리는 접착된다. 그 외, 상기와 균등한 구성이나 구조에는 동일한 참조 부호가 붙여진다.
그 외, 도 61에 나타낸 바와 같이, 광 도파로(128)에서는 클래드(129)가 헤드 서스펜션(22) 표면의 전체면에 걸쳐 퍼져도 된다. 이러한 광 도파로(128)는 예 를 들면 레이저 가공에 의거하여 잘라내지면 된다. 그 외, 도 62에 나타낸 바와 같이, LD 칩(27)에는 면발광 레이저(VCSEL)의 칩이 사용되어도 된다. 이 때, 광 도파로(124)의 코어(127)에는 반사면(127a)이 형성되면 된다. LD 칩(27)은 반사면(127a)을 향해 광을 조사한다.
도 63은 본 발명의 제 14 실시예에 따른 캐리지 어셈블리(16n)의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다. 이 캐리지 어셈블리(16n)에서는, 광의 공급에 있어서 캐리지 블록(17)의 측면에 광학 모듈(141)이 부착된다. 광학 모듈(141)로부터 광 도파로(124)의 입사면(124a)에 광이 공급된다. 여기서는, 광 도파로(124)는 굴곡에 의거하여 캐리지 암(19)의 외측 가장자리까지 연장된다. 굴곡 영역에서는 코어(127)에 반사면(142)이 형성된다. 광 도파로(124)의 입사면(124a)은 광학 모듈(141)의 미러(143)와 마주본다. 미러(143)는 광학 모듈(141)의 광학 유닛(144)과 마주본다. 광학 유닛(144)으로부터 조사되는 광은 미러(143)에 의해 반사된다. 반사된 광은 입사면(124a)으로 유도된다.
도 64에 나타낸 바와 같이, 광학 유닛(144)은 제 1 패키지 LD(145) 및 제 2패키지 LD(146)를 구비한다. 제 1 패키지 LD(145) 및 제 2 패키지 LD(146)는 서로 직교하는 직선 상에 배치된다. 제 1 패키지 LD(145)에는 서로 인접하는 제 1 LD 칩(147a) 및 제 2 LD 칩(147b)이 조립된다. 제 2 패키지 LD(146)에는 서로 인접하는 제 3 LD 칩(147c) 및 제 4 LD 칩(147d)이 조립된다. 본 실시예에서는 4개의 제 1 LD 칩(147a) 내지 제 4 LD 칩(147d)이 사용되므로, 본 실시예는 예를 들면 2매의 자기 디스크(14)에 대응할 수 있다.
제 1 패키지 LD(145) 및 제 2 패키지 LD(146)에는 빔 스플리터(148)가 마주본다. 제 1 패키지 LD(145)는 빔 스플리터(148)의 제 1 입사면(148a)과 마주본다. 제 2 패키지 LD(146)는 제 2 입사면(148b)과 마주본다. 제 1 입사면(148a) 및 제 2 입사면(148b)은 서로 직교한다. 빔 스플리터(148)는 반사면(149)을 구비한다. 반사면(149)은 소위 P편광을 투과하는 한편, 소위 S편광을 반사한다. 빔 스플리터(148) 및 미러(143) 사이에는 1쌍의 대물 렌즈(151)가 배치된다. 대물 렌즈(151)의 작용으로 LD 칩(147a 내지 147d)으로부터 출력되는 광은 확대된다. 빔 스플리터(148) 및 대물 렌즈(151)는 본 발명의 전환 기구를 구성한다.
이러한 캐리지 어셈블리(16n)에서는, 각 제 1 내지 제 4 LD 칩(147a 내지 147d)이 각 자기 디스크(14)의 표면이나 이면에 대응한다. 여기서는, 제 1 LD 칩(147a) 및 제 2 LD 칩(147b)으로부터 출력되는 광은 반사면(149)을 투과한다. 그 한편, 제 3 LD 칩(147c) 및 제 4 LD 칩(147d)으로부터 출력되는 광은 반사면(149)에서 반사된다. 예를 들면 제 2 LD 칩(147b)으로부터 출력되는 광은 반사면(149)을 투과한 후, 대물 렌즈(151)의 작용으로 굴절한다. 그 결과, 광은 상측의 자기 디스크(14)의 표면측에 대응하는 광 도파로(124-1)의 입사면(124a)으로 유도된다. 마찬가지로, 제 1 LD 칩(147a)으로부터 출력되는 광은, 하측의 자기 디스크(14)의 표면측에 대응하는 광 도파로(124-3)의 입사면(124a)으로 유도된다.
그 한편, 제 3 LD 칩(147c)으로부터 출력되는 광은, 반사면(149)에서 반사된 후, 대물 렌즈(151)의 작용으로 굴절한다. 그 결과, 광은 상측의 자기 디스크(14)의 이면측에 대응하는 광 도파로(124-2)의 입사면(124a)으로 유도된다. 마찬가지 로, 제 4 LD 칩(147d)으로부터 출력되는 광은, 하측의 자기 디스크(14)의 이면측에 대응하는 광 도파로(124-4)의 입사면(124a)으로 유도된다. 이와 같이 하여 각 제 1 내지 제 4 LD 칩(147a 내지 147d)은 광 도파로(124)에 개별적으로 대응된다. 따라서, 자기 정보의 기입에 있어서 어느 1개의 제 1 내지 제 4 LD 칩(147a 내지 147d)이 광을 출력하면 된다. 그 결과, 제 1 내지 제 4 LD 칩(147a 내지 147d)끼리의 사이에서 열의 상호 간섭의 영향은 억제된다. 그 외, 전술한 것과 균등한 구성이나 구조에는 동일한 참조 부호가 붙여진다.
도 65에 나타낸 바와 같이, 캐리지 어셈블리(16n)에는 광학 모듈(141a)이 조립되어도 된다. 이 광학 모듈(141a)에는 광학 유닛(144a)이 조립된다. 광학 유닛(144a)은 1개의 LD 칩(153)을 구비한다. LD 칩(153) 및 미러(143) 사이에는 제 1 대물 렌즈(154) 및 제 2 대물 렌즈(155)가 배치된다. 제 2 대물 렌즈(155)는, 예를 들면 지축(18)의 축심에 평행한 방향으로 상하 이동할 수 있다. 상하 이동의 실현에 있어서 제 2 대물 렌즈(155)는 예를 들면 피에조 소자에 부착되면 된다. 이러한 제 2 대물 렌즈(155)의 상하 이동에 의거하여 LD 칩(153)으로부터 출력되는 광은 각 광 도파로(124-1 내지 124-4)의 입사면(124a)으로 개별적으로 유도된다. 여기서는, 제 2 대물 렌즈(155)는 본 발명의 전환 기구를 구성한다. 그 외, 전술한 것과 균등한 구성이나 구조에는 동일한 참조 부호가 붙여진다.
도 66에 나타낸 바와 같이, 캐리지 어셈블리(16n)에는 광학 모듈(141, 141a) 대신에 광학 모듈(141b)이 조립되어도 된다. 이 광학 모듈(141b)에는 광학 유닛(144b)이 조립된다. 광학 유닛(144b)은 1개의 LD 칩(156)을 구비한다. LD 칩(156) 및 미러(143) 사이에는 전환 기구 즉 편광 기구(157)가 조립된다. 편광 기구(157)는, 예를 들면 지축(18)의 축심에 평행하게 상하 방향으로 쌓아올려지는 5단의 제 1 내지 제 5 빔 스플리터(158a 내지 158e)를 구비한다. 각 빔 스플리터(158a 내지 158e)는 반사면(159)을 규정한다. 각 반사면(159)은 상호 평행하게 퍼진다. 반사면(159)은 P편광을 투과하는 한편 S편광을 반사한다. 단, 최하단의 제 1 빔 스플리터(158a)의 투과율은 5% 정도로 설정된다. 최상단의 제 5 빔 스플리터(158e)의 투과율은 0%로 설정된다. 여기서는, 제 4 및 제 5 빔 스플리터(158d, 158e)가 상측의 자기 디스크(14)의 이면 및 표면에 각각 대응한다. 마찬가지로, 제 2 및 제 3 빔 스플리터(158b, 158c)가 하측의 자기 디스크(14)의 이면 및 표면에 각각 대응한다.
편광 기구(157)는, 인접하는 빔 스플리터(158a 내지 158e)끼리의 사이에 끼워지는 제 1 내지 제 4 액정(LC) 패널(161a 내지 161d)을 구비한다. 각 LC 패널(161a 내지 161d)은, LC 패널(161)에 입사하는 P편광을 S편광으로 변환할 수 있다. 편광 기구(157)는 빔 스플리터(158a 내지 158e) 및 미러(143) 사이에 배치되는 반파장판(162)을 구비한다. 반파장판(162)은 예를 들면 S편광을 P편광으로 변환할 수 있다. 예를 들면 광 도파로(124)의 코어(127)에 P편광이 최적으로 사용될 경우에는 반파장판(162)이 배치되면 된다. 코어(127)에 S편광이 최적으로 사용될 경우에는 반파장판(162)의 배치는 생략되면 된다. 편광 기구(157)는 반파장판(162) 및 미러(143) 사이에 배치되는 렌즈 그룹(163)을 구비한다. 렌즈 그룹(163)은 각 빔 스플리터(158a 내지 158c)의 출사면과 마주보는 복수의 렌즈(164) 를 구비한다. 렌즈(164)는 광을 집속시킨다.
편광 기구(157)는 최하단의 제 1 빔 스플리터(158a)의 입사면 및 LD 칩(156) 사이에 배치되는 콜리메이트 렌즈(165)를 구비한다. 콜리메이트 렌즈(165)는 LD 칩(156)으로부터 출력되는 광을 평행광의 P편광으로 변환할 수 있다. 그 한편, 편광 기구(157)는 제 1 빔 스플리터(158a)의 출사면과 마주보는 포토다이오드(PD)(166)를 구비한다. PD(166)는 광의 자동 광량 제어(Auto Power Control)에 있어서 사용된다. 전술되는 바와 같이, 제 1 빔 스플리터(158a)에서는 5% 정도의 투과율이 설정되므로, PD(166)에는 광이 출력된다. 이러한 광에 의거하여 LD 칩(156)의 광의 출력은 일정하게 제어된다. 그 외, 전술한 것과 균등한 구성이나 구조에는 동일한 참조 부호가 붙여진다.
이제, 예를 들면 하측의 자기 디스크(14)의 표면측에 배치되는 광 도파로(124)를 향해 광이 공급되는 장면을 상정한다. 우선, LD 칩(156)으로부터 출력되는 광은 콜리메이트 렌즈(165)에서 평행광의 P편광으로 변환된다. P편광은 제 1 빔 스플리터(158a)에 입사된다. 반사면(159)의 투과율은 5% 정도로 설정되므로, P편광의 대부분은 반사면(159)에서 반사된다. 그 결과, P편광은 제 1 LC 패널(161a)에 입사된다. 제 1 LC 패널(161a)은 P편광을 투과시킨다. P편광은 제 2 빔 스플리터(158b)에 입사된다. 제 2 빔 스플리터(158b)의 반사면(159)은 P편광을 투과시킨다. 이와 같이 하여 P편광은 제 2 LC 패널(161b)에 입사된다. 제 2 LC 패널(161b)은 P편광을 S편광으로 변환한다. S편광은 제 3 빔 스플리터(158c)에 입사된다. S편광은 제 3 빔 스플리터(158c)의 반사면(159)에서 반사된다. 그 결과, S편광은 렌즈(164)에 의거하여 집속한다. 집속한 S편광은 미러(143)에 의거하여 광 도파로(124)의 입사면(124a)으로 유도된다. 이와 같이 하여 1의 LD 칩(156)으로부터 출력된 광이 각 광 도파로(124)의 입사면(124a)으로 개별적으로 유도될 수 있다.
이상과 같은 캐리지 어셈블리(16i 내지 16n)에서는, 도 67에 나타낸 바와 같이, 광 도파로(124)의 코어(127)는 입사면(124a)으로부터 출사면(124b)을 향해 소정 길이에 걸쳐 테이퍼(taper)부(171)를 구획한다. 테이퍼부(171)는 기단(基端)으로부터 선단을 향함에 따라 개구를 좁힌다. 테이퍼부(171)는 코어(127)의 두께 방향 및 폭 방향으로 서서히 좁아진다. 여기서는, 코어(127)는 예를 들면 직사각형의 단면을 갖는다. 도 68을 아울러 참조하여, 코어(127)의 상단면에는 두께 방향으로 복수의 단차(172)가 형성된다. 단차(172)에 의거하여 코어(127)의 두께는 서서히 감소한다. 그 한편, 코어(127)의 폭은 입사면(124a)으로부터 멀어짐에 따라 서서히 감소한다. 즉. 코어(127)의 양측면은 입사면(124a)으로부터 멀어짐에 따라 서서히 근접해진다. 테이퍼부(171)의 길이는 입사면(124a)으로부터 예를 들면 10㎛ 정도로 규정된다.
여기서는, 입사면(124a)에서 규정되는 테이퍼부(171)의 크기는 예를 들면 광의 10파장 이상 즉 5㎛ 정도로 설정된다. 이와 같이 하여 입사면(124a)에서는 멀티모드 광이 확립된다. 그 한편, 테이퍼부(171)의 선단에서는 싱글모드 광이 확립된다. 이러한 테이퍼부(171)의 작용으로 입사면(124a)에서 코어(127)의 개구는 증대한다. 그 결과, 코어(127)에 입사하는 광의 위치에 대하여 허용되는 오차는 증 대한다. 코어(127)의 위치와 입사광의 위치는 비교적 간단히 위치 맞춤될 수 있다. 그 외, 전술한 것과 균등한 구성이나 구조에는 동일한 참조 부호가 붙여진다.
이러한 광 도파로(124)의 형성에 있어서, 예를 들면 붕규산 글래스의 시트 위에 균일한 두께로 실리카 글래스층이 형성된다. 시트 상에서 실리카 글래스층으로부터 코어(127)의 윤곽은 깎여진다. 그 후, 실리카 글래스층에는 레지스트재에 의거하여 에칭이 실시된다. 레지스트재의 형성 및 에칭의 반복에 의거하여 단차(172)가 형성된다. 이와 같이 하여 코어(127)가 형성된다. 그 후, 시트 상에서 BK7에 의거하여 전술한 것과 마찬가지로 RF 스퍼터링법이 실시되면 된다. 이와 같이 하여 클래드(126)가 형성된다. 그 결과, 광 도파로(124)가 형성된다.
그 외, 도 69에 나타낸 바와 같이, 전술한 광 도파로(124)에서는, 테이퍼부(171)의 형성에 있어서, 코어(127)의 하단면에 단차(172)가 형성되어도 된다. 코어(127)의 상단면은 평탄면으로 규정되어도 된다. 그 외, 전술한 것과 균등한 구성이나 구조에는 동일한 참조 부호가 붙여진다. 이러한 광 도파로(124)에서는 전술한 것과 동일하게 작용 효과가 실현된다. 이러한 광 도파로(124)의 형성에 있어서, 시트의 표면에 에칭에 의거하여 복수의 단차(172)가 형성된다. 그 후, 시트 상에 코어(127)가 형성된다. 코어(127)의 상단면에는 연마 처리가 실시된다. 코어(127) 위에 BK7에 의거하여 전술한 것과 마찬가지로 RF 스퍼터링법이 실시된다. 이와 같이 하여 클래드(126)가 형성된다. 그 결과, 광 도파로(124)가 형성된다.
그 외, 도 70에 나타낸 바와 같이, 전술한 광 도파로(124)에서는, 테이퍼부(171) 대신에 코어(127)의 상단면에 굴절률 분포 렌즈(173)가 형성되어도 된다. 굴절률 분포 렌즈(173)의 일단은 코어(127)의 입사면(124a)에서 노출된다. 굴절률분포 렌즈(173)는 코어(127)의 입사면(124a)으로부터 출사면(124b)을 향해 소정 길이로 코어(127)에 인접한다. 이러한 굴절률 분포 렌즈(173)에서는 코어(127)에 근접함에 따라 굴절률은 증대한다. 굴절률 분포 렌즈(173)의 광 진행 방향의 길이는 10㎛ 정도로 설정된다. 그 외, 전술한 것과 균등한 구성이나 구조에는 동일한 참조 부호가 붙여진다.
이러한 광 도파로(124)에서는, 굴절률 분포 렌즈(173)는 코어(127)에 근접함에 따라 굴절률이 증대하므로, 굴절률 분포 렌즈(173)에 입사하는 광은 코어(127)를 향해 집속해 간다. 그 결과, 코어(127)에 입사하는 광의 위치에 대하여 허용되는 오차는 증대한다. 코어(127)의 위치와 입사광의 위치는 비교적 간단히 위치 맞춤될 수 있다.
이러한 광 도파로(124)의 형성에 있어서, 코어(127) 상에서 PECVD에 의거하여 실리카 글래스가 적층된다. 이 때, 실리카 글래스의 성장 속도가 조정되면 된다. 성장 속도의 조정에 의거하여 실리카 글래스가 적층됨에 따라 굴절률은 감소해 간다. 이와 같이 하여 코어(127) 상에 굴절률 분포 렌즈(173)가 형성된다. 그 후, 굴절률 분포 렌즈(173) 위에 클래드(126)가 형성된다. 그 외, 성장 속도의 조정은 단계적으로 실시되어도 된다. 또한, 코어(127) 위에 코어(127)로부터 멀어짐에 따라 굴절률을 감소시키는 복수 층의 적층체가 적층되어도 된다.
도 71은 본 발명의 제 15 실시예에 따른 캐리지 어셈블리(16p)의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다. 이 캐리지 어셈블리(16p)에서는, 부상 헤드 슬라이 더(23)보다 공기 유입측에서 플렉셔(32)의 지지판(34) 위에 LD 칩(27)이 실장된다. LD 칩(27)은 지지판(34)에 예를 들면 납땜되어도 된다. 그 외, LD 칩(27) 및 지지판(34) 사이에는 방열 핀(도시되지 않음)이 끼워져도 된다. 부상 헤드 슬라이더(23)의 지지면(23a) 및 지지판(34) 사이에는 전술한 커플러 소자(36a)가 끼워진다. LD 칩(27)은 집광면(72a)을 향해 광을 공급한다. 그 외, 전술한 것과 균등한 구성이나 구조에는 동일한 참조 부호가 붙여진다.
이러한 캐리지 어셈블리(16p)에서는 전술한 것과 동일한 작용 효과가 실현된다. 게다가, LD 칩(27)의 열은 플렉셔(32)의 지지판(34)에 전달된다. 그 한편, 커플러 소자(36a)는 부상 헤드 슬라이더(23) 및 지지판(34) 사이에 끼워진다. 커플러 소자(36a)는 글래스 재료나 플라스틱 재료로 형성되므로, 지지판(34)으로부터 부상 헤드 슬라이더(23)로의 열의 전달은 가능한 한 회피된다. 따라서, 부상 헤드 슬라이더(23)의 온도 상승은 방지된다.

Claims (29)

  1. 헤드 서스펜션과,
    매체 대향면에서 기억 매체와 마주보고, 매체 대향면의 이면측(裏面側)의 지지면에서 헤드 서스펜션에 수용되는 헤드 슬라이더와,
    헤드 슬라이더의 매체 대향면에 매립되는 전자기 변환 소자와,
    헤드 슬라이더에 조립되고, 지지면으로부터 매체 대향면을 향해 연장되는 광 도파로(光導波路)와,
    지지면 및 헤드 서스펜션 사이에 끼워지는 광학 소자를 구비하고,
    광학 소자에는,
    지지면에 평행하게 입사하는 광을 집광하는 집광면과,
    지지면에 평행하게 입사하는 광을 소정 각도로 반사시켜 광 도파로로 유도하는 반사면이 구획되는 것을 특징으로 하는 헤드 서스펜션 어셈블리.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 전자기 변환 소자는, 광 도파로보다 공기 유출측에 배치되는 기입 헤드 소자를 구비하는 것을 특징으로 하는 헤드 서스펜션 어셈블리.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 광 도파로는, 표면에서 상기 기입 헤드 소자를 수용하는 제 1 굴절률의 비자성 절연층에 매립되고, 제 1 굴절률보다 큰 제 2 굴절률의 재료로 구성되는 것을 특징으로 하는 헤드 서스펜션 어셈블리.
  4. 회전 자재(自在)로 지축(支軸)에 지지되는 캐리지 암과,
    캐리지 암의 선단(先端)에 부착되는 1쌍의 헤드 서스펜션과,
    매체 대향면에서 기억 매체와 마주보고, 매체 대향면의 이면측의 지지면에서 개개의 헤드 서스펜션에 수용되는 헤드 슬라이더와,
    헤드 슬라이더의 매체 대향면에 매립되는 전자기 변환 소자와,
    헤드 슬라이더에 조립되고, 지지면으로부터 매체 대향면을 향해 연장되는 광 도파로와,
    지지면 및 헤드 서스펜션 사이에 끼워지고, 집광면으로부터 입사하는 광을 광 도파로로 유도하는 광학 소자와,
    캐리지 암에 형성되는 개구와,
    개구 내에 배치되는 단일의 지지체와,
    지지체에 지지되고, 개개의 광학 소자의 집광면에 개별적으로 광을 공급하는 1쌍의 광원을 구비하는 것을 특징으로 하는 캐리지 어셈블리.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 전자기 변환 소자는, 광 도파로보다 공기 유출측에 배치되는 기입 헤드 소자를 구비하는 것을 특징으로 하는 캐리지 어셈블리.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 광 도파로는, 표면에서 상기 기입 헤드 소자를 수용하는 제 1 굴절률의 비자성 절연층에 매립되고, 제 1 굴절률보다 큰 제 2 굴절률의 재료로 구성되는 것을 특징으로 하는 캐리지 어셈블리.
  7. 하우징과,
    하우징 내에 조립되고, 회전 자재로 지축에 지지되는 캐리지 암과,
    캐리지 암의 선단에 부착되는 1쌍의 헤드 서스펜션과,
    매체 대향면에서 기억 매체와 마주보고, 매체 대향면의 이면측의 지지면에서 개개의 헤드 서스펜션에 수용되는 헤드 슬라이더와,
    헤드 슬라이더의 매체 대향면에 매립되는 전자기 변환 소자와,
    헤드 슬라이더에 조립되고, 지지면으로부터 매체 대향면을 향해 연장되는 광 도파로와,
    지지면 및 헤드 서스펜션 사이에 끼워지고, 집광면으로부터 입사되는 광을 광 도파로로 유도하는 광학 소자와,
    캐리지 암에 형성되는 개구와,
    개구 내에 배치되는 단일의 지지체와,
    지지체에 지지되고, 개개의 광학 소자의 집광면에 개별적으로 광을 공급하는 1쌍의 광원을 구비하는 것을 특징으로 하는 기억 매체 구동 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 전자기 변환 소자는, 광 도파로보다 공기 유출측에 배치되는 기입 헤드 소자를 구비하는 것을 특징으로 하는 기억 매체 구동 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 광 도파로는, 표면에서 상기 기입 헤드 소자를 수용하는 제 1 굴절률의 비자성 절연층에 매립되고, 제 1 굴절률보다 큰 제 2 굴절률의 재료로 구성되는 것을 특징으로 하는 기억 매체 구동 장치.
  10. 금형에 의해 횡방향으로 긴 성형품을 성형하고, 성형품 상에서 횡방향으로 퍼지는 기준면의 일단(一端)에서 능선에 소정 간격으로 횡 일렬(橫一列)로 복수의 집광면을 배열하는 공정과,
    상기 능선의 반대측에서 성형품의 능선에 연마 처리를 실시하고, 소정의 경사각으로 기준면에 교차하면서 횡방향으로 연장되는 반사면을 형성하는 공정과,
    성형품의 기준면에, 상기 소정 간격으로 횡 일렬로 복수의 헤드 슬라이더를 구획하는 긴 웨이퍼 바를 부착하는 공정과,
    기준면의 이면측에서 성형품을 연마하고, 기준면에 평행한 면을 깎아내는 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더 어셈블리의 제조 방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 웨이퍼 바의 부착에 있어서, 기준면의 소정 위치에서, 상기 집광면을 통과하여 반사면에서 반사되는 광의 광량을 측정하는 공정과,
    광량의 크기에 따라 성형품에 대하여 웨이퍼 바를 위치 맞춤하는 공정을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더 어셈블리의 제조 방법.
  12. 헤드 서스펜션과,
    매체 대향면에서 기억 매체와 마주보고, 매체 대향면의 이면측의 지지면에서 헤드 서스펜션에 수용되는 헤드 슬라이더와,
    헤드 슬라이더의 매체 대향면에 매립되는 전자기 변환 소자와,
    헤드 슬라이더에 조립되고, 지지면으로부터 매체 대향면을 향해 연장되는 광 도파로와,
    지지면 및 헤드 서스펜션 사이에 끼워지는 광학 소자를 구비하고,
    광학 소자에는,
    지지면에 평행하게 입사하는 광을 집광하는 집광면과,
    집광면으로부터 광학 소자에 입사하는 광을 소정 각도로 반사시켜 광 도파로로 유도하는 반사면이 구획되는 것을 특징으로 하는 헤드 서스펜션 어셈블리.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 광학 소자는,
    상기 헤드 슬라이더의 지지면에 수용되는 제 1 평탄면과,
    제 1 평탄면에 평행하게 퍼지는 제 2 평탄면과,
    상기 집광면을 포함하면서 제 1 평탄면 및 제 2 평탄면을 접속하는 제 1 측면과,
    상기 반사면을 포함하면서 제 1 평탄면 및 제 2 평탄면을 접속하고, 제 1 측면과 마주보는 제 2 측면을 규정하고,
    상기 제 1 측면은, 상기 제 1 평탄면에 평행하게 퍼지는 제 1 기준면으로부터 멀어짐에 따라, 상기 광학 소자의 윤곽선으로부터 직립(直立)하는 제 1 가상 벽면으로부터 멀어지고,
    상기 제 2 측면은, 상기 제 1 평탄면에 평행하게 퍼지는 제 2 기준면으로부터 멀어짐에 따라, 상기 광학 소자의 윤곽선으로부터 직립하는 제 2 가상 벽면으로부터 멀어지는 것을 특징으로 하는 헤드 서스펜션 어셈블리.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 광학 소자에서는, 상기 집광면 및 상기 반사면 사이에서 상기 광은 초점을 연결하는 것을 특징으로 하는 헤드 서스펜션 어셈블리.
  15. 제 12 항에 있어서,
    상기 광학 소자에는, 상기 집광면 및 상기 반사면 사이에 배치되는 제 2 반사면이 더 구획되는 것을 특징으로 하는 헤드 서스펜션 어셈블리.
  16. 헤드 서스펜션과,
    매체 대향면에서 기억 매체와 마주보고, 매체 대향면의 이면측의 지지면에서 헤드 서스펜션에 수용되는 헤드 슬라이더와,
    헤드 슬라이더의 매체 대향면에 매립되는 전자기 변환 소자와,
    헤드 슬라이더에 조립되고, 지지면으로부터 매체 대향면을 향해 연장되는 광 도파로와,
    지지면 및 헤드 서스펜션 사이에 끼워지는 광학 소자와,
    광학 소자로 구획되고, 지지면에 평행하게 입사하는 광을 소정 각도로 반사시켜 광 도파로로 유도하는 반사면과,
    광학 소자에 입사하는 광을 투과시키는 굴절률 분포 렌즈를 구비하는 것을 특징으로 하는 헤드 서스펜션 어셈블리.
  17. 헤드 서스펜션과,
    매체 대향면에서 기억 매체와 마주보고, 매체 대향면의 이면측의 지지면에서 헤드 서스펜션에 수용되는 헤드 슬라이더와,
    헤드 슬라이더의 매체 대향면에 매립되는 전자기 변환 소자와,
    헤드 슬라이더에 조립되고, 지지면으로부터 매체 대향면을 향해 연장되는 광 도파로와,
    헤드 서스펜션에 수용되는 시트 형상의 클래드(clad)와,
    클래드 내에 매립되고 헤드 슬라이더의 지지면까지 연장되며, 헤드 슬라이더의 광 도파로로 광을 유도하는 코어를 구비하는 것을 특징으로 하는 헤드 서스펜션 어셈블리.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 코어는, 굴곡에 의거하여 상기 헤드 슬라이더의 공기 유출단측으로부터 상기 광 도파로로 광을 공급하는 것을 특징으로 하는 헤드 서스펜션 어셈블리.
  19. 제 17 항에 있어서,
    상기 코어는, 상기 지지면에 평행하게 전송되는 광을 상기 광 도파로를 향해 반사시키는 반사면을 구획하는 것을 특징으로 하는 헤드 서스펜션 어셈블리.
  20. 제 17 항에 있어서,
    상기 코어는, 상기 코어의 입사면으로부터 상기 코어의 출사면을 향해 소정 길이에 걸쳐 서서히 개구를 좁히는 테이퍼(taper)부를 구획하는 것을 특징으로 하는 헤드 서스펜션 어셈블리.
  21. 제 17 항에 있어서,
    상기 코어의 입사면으로부터 상기 코어의 출사면을 향해 소정 길이에 걸쳐 상기 클래드 내에 매립되고 상기 코어에 인접하며, 상기 코어에 근접함에 따라 굴 절률을 증대시키는 굴절률 분포 렌즈를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 헤드 서스펜션 어셈블리.
  22. 헤드 서스펜션과,
    매체 대향면에서 기억 매체와 마주보고, 매체 대향면의 이면측의 지지면에서 헤드 서스펜션에 수용되는 헤드 슬라이더와,
    헤드 슬라이더의 매체 대향면에 매립되는 전자기 변환 소자와,
    헤드 슬라이더에 조립되고, 지지면으로부터 매체 대향면을 향해 연장되는 광 도파로와,
    지지면 및 헤드 서스펜션 사이에 끼워지고 광 도파로로 광을 유도하는 광학 소자와,
    헤드 서스펜션에 수용되고 시트 형상의 클래드와,
    클래드 내에 매립되고 광학 소자로 광을 유도하는 코어를 구비하는 것을 특징으로 하는 헤드 서스펜션 어셈블리.
  23. 제 22 항에 있어서,
    상기 코어는, 굴곡에 의거하여 상기 헤드 슬라이더의 공기 유출단측으로부터 상기 광학 소자로 광을 공급하는 것을 특징으로 하는 헤드 서스펜션 어셈블리.
  24. 제 22 항에 있어서,
    상기 코어는, 상기 코어의 입사면으로부터 상기 코어의 출사면을 향해 소정 길이에 걸쳐 서서히 개구를 좁히는 테이퍼부를 구획하는 것을 특징으로 하는 헤드 서스펜션 어셈블리.
  25. 제 22 항에 있어서,
    상기 코어의 입사면으로부터 상기 코어의 출사면을 향해 소정 길이에 걸쳐 상기 클래드 내에 매립되고 상기 코어에 인접하며, 상기 코어에 근접함에 따라 굴절률을 증대시키는 굴절률 분포 렌즈를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 헤드 서스펜션 어셈블리.
  26. 헤드 서스펜션과,
    헤드 서스펜션에 수용되는 플렉셔(flexure)와,
    매체 대향면에서 기억 매체와 마주보고, 매체 대향면의 이면측의 지지면에서 플렉셔의 지지판에 지지되는 헤드 슬라이더와,
    헤드 슬라이더의 매체 대향면에 매립되는 전자기 변환 소자와,
    헤드 슬라이더에 조립되고, 지지면으로부터 매체 대향면을 향해 연장되는 광 도파로와,
    지지면 및 플렉셔의 지지판 사이에 끼워지고 광 도파로로 광을 유도하는 광학 소자와,
    플렉셔의 지지판에 수용되고 광학 소자에 광을 공급하는 광원을 구비하는 것 을 특징으로 하는 헤드 서스펜션 어셈블리.
  27. 회전 자재로 지축에 지지되는 캐리지 블록과,
    캐리지 블록에 구획되는 캐리지 암과,
    캐리지 암의 선단에 부착되는 1쌍의 헤드 서스펜션과,
    매체 대향면에서 기억 매체와 마주보고, 매체 대향면의 이면측의 지지면에서 개개의 헤드 서스펜션에 수용되는 헤드 슬라이더와,
    헤드 슬라이더의 매체 대향면에 매립되는 전자기 변환 소자와,
    헤드 슬라이더에 조립되고, 지지면으로부터 매체 대향면을 향해 연장되는 광 도파로와,
    헤드 서스펜션에 수용되는 시트 형상의 클래드와,
    클래드 내에 매립되고 헤드 슬라이더의 광 도파로로 개별적으로 광을 유도하는 코어와,
    캐리지 블록에 부착되고, 개개의 코어의 입사면에 광을 공급하는 광원을 구비하는 것을 특징으로 하는 캐리지 어셈블리.
  28. 제 27 항에 있어서,
    1쌍의 상기 광원은 1쌍의 상기 코어에 개별적으로 광을 공급하는 것을 특징으로 하는 캐리지 어셈블리.
  29. 제 27 항에 있어서,
    상기 광원 및 상기 코어의 입사면 사이에 배치되고, 1쌍의 상기 코어 중 어느 한쪽에 광을 공급하는 전환 기구를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 캐리지 어셈블리.
KR1020097013359A 2006-12-27 2007-12-27 헤드 서스펜션 어셈블리 및 캐리지 어셈블리 및 헤드 슬라이더 어셈블리의 제조 방법 KR20090086267A (ko)

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