KR20090049537A - 천정 주행차 시스템과 그 버퍼의 시공방법 - Google Patents
천정 주행차 시스템과 그 버퍼의 시공방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20090049537A KR20090049537A KR1020080106350A KR20080106350A KR20090049537A KR 20090049537 A KR20090049537 A KR 20090049537A KR 1020080106350 A KR1020080106350 A KR 1020080106350A KR 20080106350 A KR20080106350 A KR 20080106350A KR 20090049537 A KR20090049537 A KR 20090049537A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- ceiling
- rails
- rows
- side buffer
- buffer
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B61—RAILWAYS
- B61B—RAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B61B3/00—Elevated railway systems with suspended vehicles
- B61B3/02—Elevated railway systems with suspended vehicles with self-propelled vehicles
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/07—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for semiconductor wafers Not used, see H01L21/677
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67733—Overhead conveying
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67769—Storage means
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Transportation (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Carriers, Traveling Bodies, And Overhead Traveling Cranes (AREA)
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
- Chain Conveyers (AREA)
- Automobile Manufacture Line, Endless Track Vehicle, Trailer (AREA)
Abstract
천정으로부터 2줄의 주행 레일을 평행하게 간격을 두고 매단다. 주행 레일 사이의 간격에 사이드 버퍼를 배치하고, 양측 주행 레일에 의해 지지한다.
사이드 버퍼를 천정에 매다는 부재가 불필요하므로, 설치작업도 용이해진다.
Description
본 발명은, 천정 주행차 시스템에서의 사이드 버퍼의 시공에 관한 것이다.
천정 주행차 시스템에서는 천정 주행차의 주행 레일의 측방에 사이드 버퍼를 설치하여, 천정 주행차와의 사이에서 물품을 전달할 수 있도록 하는 것이 주지되어 있다(특허문헌 1: 일본 특허공개공보 제 2006-324469호). 사이드 버퍼는 행거 볼트 등에 의해 클린 룸 등의 천정에 매달리므로, 시공 시에는 천정 부근에서의 고소(高所) 작업이 필요하다. 그리고, 사이드 버퍼의 수가 많을 경우, 행거 볼트의 부착에 상당한 시간과 수고가 든다.
[특허문헌 1] 일본 특허공개공보 제 2006-324469호
본 발명의 과제는, 사이드 버퍼의 시공을 용이하게 하는 데 있으며, 특히 천정에 부착시키는 지지기둥의 수를 줄이는 데 있다. 본 발명에서의 추가적인 과제는, 사이드 버퍼의 시공을 더욱 용이하게 하는 데 있다. 본 발명에서의 추가적인 과제는 또한, 언더 버퍼의 시공도 용이하게 하는 데 있다.
본 발명의 천정 주행차 시스템은, 천정에 매달아 놓은 주행 레일에 따라 천정 주행차를 주행시키는 동시에, 주행 레일의 측방에 천정 주행차로부터 물품의 전달이 가능하게 사이드 버퍼를 설치한 시스템으로서, 2줄의 주행 레일을 평행하게 간격을 두고 배치하는 동시에, 상방에서 보았을 때 상기 2줄의 주행 레일 사이에 위치하면서, 상기 2줄의 주행 레일에 의해 지지되도록, 상기 사이드 버퍼를 배치한 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 사이드 버퍼는, 상기 2줄의 레일에 의해 지지되는 들보와, 하향의 개구를 구비하며, 상기 개구보다도 상부에서 폭이 넓어져 있는 긴 홈을 포함하는 동시에 상기 들보에 고정된 레이스웨이와, 레이스웨이에 매달린 지지기둥과, 상기 지지기둥에 의해 지지되는 사이드 버퍼 본체를 가진다. 특히 바람직하게는, 상기 사이드 버퍼 본체에 의해 지지되며, 사이드 버퍼 본체로부터 하방을 향해 연장되는 부착부재와, 상기 부착부재에 의해 상기 2줄의 주행 레일 중 적어도 하나의 하방에 지지되는 언더 버퍼 본체를 더 설치한다.
또한, 본 발명의 천정 주행차 시스템에서의 버퍼 시공방법에서는, 천정에 매달아 놓은 주행 레일에 따라 천정 주행차를 주행시키는 시스템에 사이드 버퍼를 설치하기 위해, 2줄의 주행 레일을 평행하게 간격을 두고 천정에 매달아 고정하고, 상기 2줄의 주행 레일 사이에, 상기 2줄의 주행 레일에 의해 지지되도록 사이드 버퍼를 설치한다.
본 발명에서는, 사이드 버퍼를 천정에 매달 필요가 없기 때문에, 행거 볼트 등의 부재를 줄일 수 있고, 또한 사이드 버퍼의 설치 작업이 간단해진다.
사이드 버퍼에 2줄의 레일에 의해 지지되는 들보와, 들보에 고정된 레이스웨이와, 레이스웨이에 매달린 지지기둥과, 지지기둥에 의해 지지되는 사이드 버퍼 본체를 설치하면, 레이스웨이에 대한 지지기둥의 위치를 변경함으로써, 사이드 버퍼 본체의 위치를 용이하게 변경할 수 있다. 또한, 사이드 버퍼 본체에 의해 지지되며, 사이드 버퍼 본체로부터 비스듬히 하방을 향해 연장되는 부착부재와, 부착부재에 의해 2줄의 주행 레일 중 적어도 하나의 하방에 지지되는 언더 버퍼 본체를 더 설치하면, 사이드 버퍼를 이용하여 언더 버퍼를 설치할 수 있을 뿐만 아니라, 언더 버퍼의 위치는 사이드 버퍼로 결정되므로, 언더 버퍼의 위치 조정 등이 불필요해진다.
이하에서는, 본 발명을 실시하기 위한 최적의 실시예에 대해 설명한다.
도 1 내지 도 7은, 실시예와 그 변형을 나타낸 것이다. 도면에서, 2는 천정 주행차 시스템이며, 클린 룸의 천정으로부터 간격을 두고 평행하게 매달린 한 쌍의 주행 레일(4, 5)과, 그 하부에 설치된 한 쌍의 급전 레일(6, 7)을 구비하고 있다. 주행 레일(4, 5)의 수평면 내에서의 간격은 일정하며, 주행 레일(4, 5)은 상방에서 보았을 때 평행하다. 또한, 주행 레일(4, 5)은, 도시가 생략된 클린 룸의 천정에 행거 볼트(8)로 지지되어 있다. 10은 천정 주행차이며, 11은 그 주행부, 12는 수 전부(受電部), 13은 수평 드라이브로서, 회동부(14) 이하를 주행 레일(4, 5)의 좌우방향으로 이동시킨다. 참고로, 여기서 좌우방향은, 주행방향과 수평면 내에서 직각인 방향을 말한다. 회동부(14)는 승강 드라이브(15) 및 승강대(16) 등을 수평면 내에서 회동시키고, 승강 드라이브(15)는 승강대(16)를 승강시킨다. 17은 척이며, 전방 개방형 유니파이드 포드(40; FOUP(Front Opening Unified Pod)) 등의 물품을 척킹한다. 18은 천정 주행차(10)의 예컨대 전후에 설치한 커버이며, 물품의 낙하를 방지한다.
20은 사이드 버퍼로서, 좌우의 주행 레일(4, 5)의 틈새에 설치된다. 3줄의 주행 레일을 평행하게 설치할 경우, 이들 레일 사이에 2열의 사이드 버퍼(20)를 평행하게 설치할 수 있다. 22는 들보이며, 좌우의 주행 레일(4, 5)에 브래킷(24) 등을 통해 볼트 등으로 체결된다. 들보(22)에는 예컨대 좌우 한 쌍의 레이스웨이(raceway)(26, 26)가 설치되며, 연결금구(28)를 통해 좌우의 지지기둥(30, 30)이 레이스웨이(26)에 부착된다. 그리고, 지지기둥(30)의 하부에 도리(32)를 고정시키고, 도리(桁)(32) 상에 전방 개방형 유니파이드 포드(40) 등의 물품을 올려놓기 위한 받침대(34)를 부착시킨다. 또한, 천정 주행차(10)의 주행방향을 따라, 사이드 버퍼(20)의 전후 양단에 측판(36)을 부착시킨다. 사이드 버퍼(20)의 부재 중, 도리(32)와 그 상부의 받침대(34) 및 측판(36)을 사이드 버퍼 본체라 부른다. 그리고, 사이드 버퍼 본체는 지지기둥(30)과 연결금구(28)에 의해, 레이스웨이(26)에 고정되어 있다.
도 2는, 들보(22) 및 레이스웨이(26)와 그 주위의 부품을 나타내고 있다. 들보(22)는 브래킷(24)을 통해, 주행 레일(4, 5)에 볼트 등으로 고정되어 있다. 또한, 들보(22)를 주행 레일(4, 5)로 지지시키는 것에는, 들보(22)의 양단을 주행 레일(4, 5)을 지지하기 위한 행거 볼트(8)에 고정시키는 것 등도 포함한다. 레이스웨이(26)는 긴 홈(27)을 구비한 길다란 부재이고, 긴 홈(27)은 레이스웨이(26)의 바닥면 중앙에 하향의 개구를 구비하며, 긴 홈(27)은 개구의 상부에서 폭이 넓어져 있다. 그리고, 긴 홈(27)에 너트(46) 등을 수용하고, 볼트(45) 등으로 연결금구(28)를 부착시킨다. 또한, 도 2의 안길이 방향으로 설치한 한 쌍의 연결금구(28)에 끼워지도록, 볼트(47) 등으로 지지기둥(30)을 고정시킨다. 그 결과, 좌우의 지지기둥(30, 30)이 연결금구(28)로 고정되어, 함께 레이스웨이(26)에 부착된다. 연결금구(28)에는, 수평으로 연장되는 부착판(41)과 연직으로 연장되는 보강판(42)을 설치하고, 부착판(41)에 볼트(45) 등을 부착시킨다.
도 3 및 도 4는, 사이드 버퍼(20)를 일러스트적으로 나타낸 것이다. 좌우의 주행 레일(4, 5)에 들보(22)가 부착되고, 레이스웨이(26)와 연결금구(28)를 통해 사이드 버퍼 본체가 부착되어 있다. 그리고, 받침대(34)에 대해, 주행 레일(4, 5)을 주행하는 천정 주행차로부터, 물품의 전달이 가능하다. 도 1로 되돌아가, 받침대(34)의 높이는, 주행 레일(4, 5)을 주행하는 천정 주행차(10)가 전방 개방형 유니파이드 포드(40) 등의 물품을 반송할 때의, 물품 바닥면보다도 약간 낮은 높이로 되어 있다. 그리고, 좌우의 주행 레일(4, 5)을 주행하는 천정 주행차(10)는, 수평 드라이브(13)에 의해, 회동부(14)∼승강대(16)를 사이드 버퍼(20) 상으로 가로이동시켜, 승강 드라이브(15)로 승강대를 승강시키는 동시에 척(17)을 동작시켜, 천정 주행차(10)와 사이드 버퍼(20)의 받침대(34) 사이에서 물품을 전달한다.
다음은, 실시예의 작용에 대해 설명한다. 사이드 버퍼(20)는 좌우의 주행 레일(4, 5)에 의해 지지되므로, 행거 볼트(8) 등으로 천정에 부착시킬 필요가 없다. 이 때문에, 행거 볼트(8)를 설치하는 수고로움이나, 행거 볼트(8)의 비용을 생략할 수 있다. 들보(22)에 레이스웨이(26)를 고정시키면, 사이드 버퍼(20)의 설치 위치는 레이스웨이(26)에 따라 변경이 가능하다. 또한, 연결금구(28) 및 지지기둥(30)은 레이스웨이(26)에 부착시키므로, 천정에 부착시키는 것과는 달리, 접사다리 등을 이용하여 간단히 부착시킬 수 있어, 고소에서의 작업이 불필요해진다.
도 5 내지 도 7은, 사이드 버퍼(20)에 추가로 언더 버퍼(50)를 부착시킨 변형예를 나타낸 것이다. 51은 부착부재로서, 3개의 변(56, 57, 58)으로 이루어진 삼각형상을 하고 있으며, 변(56)은 볼트(52) 등에 의해 도리(32)에 고정되어 있다. 들보(53)는 부착부재(51)에 고정되는데, 부착부재(51)와 들보(53)를 일체로 제조해도 좋다. 그리고, 들보(53) 상에 좌우의 도리(54, 54)를 배치하고, 그 위에 받침대(55)를 고정시킨다. 받침대(55)의 위치는, 주행 레일(4 또는 5)의 수직 하방이며, 천정 주행차로부터 승강대(16)를 하강시킴으로써 물품을 전달할 수 있는 위치이다. 들보(53), 도리(54) 및 받침대(55)를 언더 버퍼 본체로 한다. 실시예에서는 좌우의 주행 레일(4, 5)의 일측 하방에 언더 버퍼(50)를 설치하였으나, 언더 버퍼(50)를 주행 레일(4, 5)의 쌍방의 하방에 설치해도 된다. 또한 부착 강도가 떨어지기는 하지만, 부착부재(51)로부터 변(58)을 생략한 L자형 부재로 들보(53)∼받침대(55)를 부착시켜도 된다. 도 6 및 도 7은, 사이드 버퍼(20)와 언더 버퍼(50) 를 일러스트적으로 나타낸 것이다.
도 5 내지 도 7의 변형예에서는, 사이드 버퍼(20)의 하단의 도리(32)에 언더 버퍼(50)를 부착시킬 수 있어, 천정에 직접 혹은 주행 레일(4, 5)에 언더 버퍼를 부착시키는 경우에 비해, 설치가 용이하다. 또한, 사이드 버퍼(20)는 주행 레일(4, 5)에 대해 소정의 높이에 설치되어 있으므로, 부착부재(51)를 통해 언더 버퍼를 부착하면, 받침대(55)는 자연히 주행 레일(4, 5)에 대해, 물품의 전달이 용이한 위치에 나타난다. 바꿔 말하면, 언더 버퍼(50)의 높이 위치 및 수평면 내의 위치를 조정하는 것이 실질적으로 불필요하다.
도 1은 실시예의 천정 주행차 시스템의 주요부를 나타낸 정면도이다.
도 2는 실시예에서의 들보에 대한 사이드 버퍼의 지지기둥의 부착구조를 나타낸 도면이다.
도 3은 실시예의 천정 주행차 시스템을 비스듬히 상방으로부터 바라본 사시도이다.
도 4는 실시예의 천정 주행차 시스템을 비스듬히 하방으로부터 바라본 사시도이다.
도 5는 변형예의 천정 주행차 시스템의 주요부를 나타낸 정면도이다.
도 6은 변형예의 천정 주행차 시스템을 비스듬히 상방으로부터 바라본 사시도이다.
도 7은 변형예의 천정 주행차 시스템을 비스듬히 하방으로부터 바라본 사시도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
2 : 천정 주행차 시스템 4, 5 : 주행 레일
6, 7 : 급전 레일 8 : 행거 볼트
10 : 천정 주행차 11 : 주행부
12 : 수전부 13 : 수평 드라이브
14 : 회동부 15 : 승강 드라이브
16 : 승강대 17 : 척
18 : 커버 20 : 사이드 버퍼
22 : 들보 24 : 브래킷
26 : 레이스웨이 27 : 긴 홈
28 : 연결금구 30 : 지지기둥
32 : 도리 34 : 받침대
36 : 측판 40 : 전방 개방형 유니파이드 포드(FOUP)
41 : 부착판 42 : 보강판
45, 47 : 볼트 46 : 너트
50 : 언더 버퍼 51 : 부착부재
52 : 볼트 53 : 들보
54 : 도리 55 : 받침대
56∼58 : 변
Claims (4)
- 천정에 매달아 놓은 주행 레일을 따라 천정 주행차를 주행시키는 동시에, 주행 레일의 측방에 천정 주행차로부터 물품의 전달이 가능하게 사이드 버퍼를 설치한 시스템으로서,2줄의 주행 레일을 평행하게 간격을 두고 배치하는 동시에,상방에서 보았을 때 상기 2줄의 주행 레일 사이에 위치하면서, 상기 2줄의 주행 레일에 의해 지지되도록, 상기 사이드 버퍼를 배치한 것을 특징으로 하는 천정 주행차 시스템.
- 제 1항에 있어서,상기 사이드 버퍼는, 상기 2줄의 레일에 의해 지지되는 들보와, 하향의 개구를 구비하며, 상기 개구보다도 상부에서 폭이 넓어져 있는 긴 홈을 포함하는 동시에 상기 들보에 고정된 레이스웨이와, 레이스웨이에 매달린 지지기둥과, 상기 지지기둥에 의해 지지되는 사이드 버퍼 본체를 가지는 것을 특징으로 하는 천정 주행차 시스템.
- 제 2항에 있어서,상기 사이드 버퍼 본체에 의해 지지되며, 사이드 버퍼 본체로부터 하방을 향해 연장되는 부착부재와,상기 부착부재에 의해 상기 2줄의 주행 레일 중 적어도 하나의 하방에 지지되는 언더 버퍼 본체를 더 설치한 것을 특징으로 하는 천정 주행차 시스템.
- 천정에 매달아 놓은 주행 레일을 따라 천정 주행차를 주행시키는 시스템에 사이드 버퍼를 설치하기 위해,2줄의 주행 레일을 평행하게 간격을 두고 천정에 매달아 고정하고,상기 2줄의 주행 레일 사이에, 상기 2줄의 주행 레일에 의해 지지되도록 사이드 버퍼를 설치하는 것을 특징으로 하는 천정 주행차 시스템에서의 버퍼 시공방법.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007294579A JP4543338B2 (ja) | 2007-11-13 | 2007-11-13 | 天井走行車システムとそのバッファの施工方法 |
JPJP-P-2007-00294579 | 2007-11-13 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20090049537A true KR20090049537A (ko) | 2009-05-18 |
KR101199721B1 KR101199721B1 (ko) | 2012-11-08 |
Family
ID=40303555
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020080106350A KR101199721B1 (ko) | 2007-11-13 | 2008-10-29 | 천정 주행차 시스템과 그 버퍼의 시공방법 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7789019B2 (ko) |
EP (1) | EP2060468B1 (ko) |
JP (1) | JP4543338B2 (ko) |
KR (1) | KR101199721B1 (ko) |
CN (1) | CN101434331B (ko) |
SG (1) | SG153001A1 (ko) |
TW (1) | TWI438125B (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20120134034A (ko) * | 2011-05-31 | 2012-12-11 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 물품 반송 설비 |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5062485B2 (ja) * | 2008-04-09 | 2012-10-31 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
FR2947809B1 (fr) * | 2009-07-10 | 2011-09-02 | Plastic Omnium Cie | Dispositif statique de stockage provisoire de pieces de carrosserie de vehicules automobiles |
WO2011125097A1 (ja) * | 2010-04-02 | 2011-10-13 | ムラテックオートメーション株式会社 | 天井を走行する搬送車のサイドバッファ及び搬送車システム |
JP2012025573A (ja) * | 2010-07-27 | 2012-02-09 | Muratec Automation Co Ltd | 搬送システム |
US8375865B2 (en) * | 2010-09-03 | 2013-02-19 | Jose Alberto Zayas | Overhead suspended personal transportation and freight delivery surface transportation system |
AT511795B1 (de) * | 2011-08-04 | 2013-06-15 | Innova Patent Gmbh | Förderanlage zum transport von schüttgütern |
TWI473194B (zh) * | 2011-09-08 | 2015-02-11 | Inotera Memories Inc | 懸吊式晶圓傳輸系統 |
KR20130117143A (ko) * | 2012-04-17 | 2013-10-25 | 삼성전자주식회사 | 호이스트 장치 |
CN104627835B (zh) * | 2013-11-14 | 2017-01-04 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 用于oht平台的防掉落卡爪系统 |
US9881824B2 (en) * | 2014-01-07 | 2018-01-30 | Murata Machinery, Ltd. | Transfer apparatus and control method thereof |
KR102062179B1 (ko) * | 2015-08-14 | 2020-01-03 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 반송 시스템 |
KR102053959B1 (ko) | 2017-05-12 | 2019-12-09 | 세메스 주식회사 | 레이스웨이 장치 |
WO2020017137A1 (ja) * | 2018-07-20 | 2020-01-23 | 村田機械株式会社 | 保管棚及び保管棚の設置方法 |
CN109532872A (zh) * | 2018-11-21 | 2019-03-29 | 中车青岛四方机车车辆股份有限公司 | 一种轨道车辆吊挂系统 |
US20230415988A1 (en) * | 2020-11-26 | 2023-12-28 | Murata Machinery, Ltd. | Storage shelf and ceiling conveyance car system |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0335169Y2 (ko) * | 1985-10-22 | 1991-07-25 | ||
JPH09150918A (ja) * | 1995-11-30 | 1997-06-10 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | コンテナの立体格納設備 |
TW348162B (en) | 1996-09-30 | 1998-12-21 | Murada Kikai Kk | Work carrying system |
JP3067656B2 (ja) * | 1996-09-30 | 2000-07-17 | 村田機械株式会社 | ワーク搬送システム |
JPH11236187A (ja) * | 1998-02-19 | 1999-08-31 | Super Tool Co Ltd | 荷物移載装置と荷物移載装置付き建物 |
US10957569B2 (en) * | 2002-10-11 | 2021-03-23 | Murata Machinery Ltd. | Access to one or more levels of material storage shelves by an overhead hoist transport vehicle from a single track position |
JP4221603B2 (ja) * | 2005-03-31 | 2009-02-12 | 村田機械株式会社 | 天井走行車システム |
JP4538738B2 (ja) * | 2005-05-19 | 2010-09-08 | 村田機械株式会社 | 天井走行車システム |
JP2007191235A (ja) * | 2006-01-17 | 2007-08-02 | Murata Mach Ltd | 天井走行車システム |
JP4688824B2 (ja) * | 2007-01-12 | 2011-05-25 | 村田機械株式会社 | 天井走行車システム及び天井走行車システムの周囲の処理装置の搬出入方法 |
-
2007
- 2007-11-13 JP JP2007294579A patent/JP4543338B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-09-26 CN CN2008101663800A patent/CN101434331B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2008-10-16 TW TW097139745A patent/TWI438125B/zh not_active IP Right Cessation
- 2008-10-28 EP EP08018794A patent/EP2060468B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2008-10-29 KR KR1020080106350A patent/KR101199721B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2008-11-04 SG SG200808199-4A patent/SG153001A1/en unknown
- 2008-11-05 US US12/264,929 patent/US7789019B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20120134034A (ko) * | 2011-05-31 | 2012-12-11 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 물품 반송 설비 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101434331B (zh) | 2012-09-19 |
KR101199721B1 (ko) | 2012-11-08 |
TWI438125B (zh) | 2014-05-21 |
EP2060468B1 (en) | 2011-10-12 |
CN101434331A (zh) | 2009-05-20 |
TW200925086A (en) | 2009-06-16 |
US20090120320A1 (en) | 2009-05-14 |
JP2009120299A (ja) | 2009-06-04 |
SG153001A1 (en) | 2009-06-29 |
US7789019B2 (en) | 2010-09-07 |
JP4543338B2 (ja) | 2010-09-15 |
EP2060468A2 (en) | 2009-05-20 |
EP2060468A3 (en) | 2010-04-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101199721B1 (ko) | 천정 주행차 시스템과 그 버퍼의 시공방법 | |
KR101236361B1 (ko) | 천정 버퍼 | |
CN1183024C (zh) | 安装在提升通道壁上的升降机支架 | |
SK285867B6 (sk) | Lanový výťah s hnacím kotúčom | |
JP2013515658A (ja) | 外形トラック一体型駆動装置 | |
CN104768863B (zh) | 包括结构上独立的电梯曳引机导轨安装座的系统 | |
JP5092652B2 (ja) | 搬送装置 | |
KR101328131B1 (ko) | 천정타입 물품 운반용 유연 구동 시스템 | |
US5056848A (en) | Body skeleton for supporting suspended passenger seats in vehicles | |
US7004076B2 (en) | Material handling system enclosed track arrangement | |
CN1130303C (zh) | 牵引滑轮升降机 | |
JP5539536B2 (ja) | エレベータのかご | |
US6595331B2 (en) | Bracket for securing elevator components | |
CN115362117A (zh) | 用于固定电梯设备的驱动器的固定装置 | |
JPH072383U (ja) | 物品搬送装置のレール支持装置 | |
CN220624560U (zh) | 用于安装冰箱滑轨组件的吊轨车 | |
RU2340492C1 (ru) | Облицовка потолка пассажирского вагона | |
CN109335939B (zh) | 一种汽车梯门机安装组件 | |
JPWO2014174576A1 (ja) | エレベータ装置 | |
KR101807298B1 (ko) | 방음터널용 작업대차 | |
JP3975145B2 (ja) | ユニットバスの設置構造 | |
TW202337794A (zh) | 高架搬運車系統 | |
JPH0518383Y2 (ko) | ||
JPH078378U (ja) | レール支持構造 | |
KR100795268B1 (ko) | 엘리베이터의 레일 장착 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20151023 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20161021 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |