KR20090046041A - 유체 분사 유닛 - Google Patents

Abstract

유체 분사 유닛은 제1 평면과, 제1 평면으로부터 연장되어 제1 각도로 접하는 제2 평면을 갖는 제1 몸체부, 그리고 제1 몸체부와 마주하고, 제1 몸체부의 제1 평면과 슬라이딩 가능하게 면접하는 제3 평면과, 제3 평면으로부터 연장되어 제3 평면과 제1 각도로 접하면서 제2 평면에 평행하게 배치됨에 의해 세정 유체를 토출하는 토출구를 형성하는 제4 평면을 갖는 제2 몸체부를 포함한다. 여기서, 제1 몸체부와 제2 몸체부의 슬라이딩에 의해 제1 몸체부의 제2 평면과 제2 몸체부의 제4 평면 사이의 간격이 조절되는 것이 특징이다. 따라서, 토출량 조절을 위한 토출구의 간격 조절이 용이해진다.

Description

유체 분사 유닛{Liquid injecting unit}

본 발명은 기판 세정 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판을 세정하기 위한 세정 유체를 기판으로 분사하는 유체 분사 유닛에 관한 것이다.

일반적으로 평판표시장치는 액정을 이용하는 액정표시장치(LCD), 플라즈마를 이용하는 플라즈마 표시장치(PDP), 유기 발광 소자를 이용하는 유기 발광 표시장치(OLED) 등을 들 수 있다.

최근에는 이들 중에서 전력 소모와 부피가 적고, 저전력 구동이 가능한 액정표시장치가 널리 사용되고 있다. 상기 액정표시장치는 실질적으로 영상을 표시하기 위한 표시 패널을 포함한다. 상기 표시 패널은 통상 유리 재질의 기판에 다양한 공정의 반복적인 수행을 통해서 제조되며, 이들 공정 중 기판의 표면을 세정하는 공정이 필수적으로 수반되다.

상기 세정 공정은 일반적으로 기판 상에 붙어 있는 먼지나 유기물 등을 제거하는 공정으로 탈이온수 등의 세정액을 이용한 수세 단계와, 상기 수세 공정 이후에 압축 공기 등을 분사하여 기판에 잔류하는 세정액을 제거 및 건조시키는 건조 단계를 포함하여 이루어진다.

상기 세정액 또는 압축 공기는 통상 분사 유닛을 사용하여 기판으로 공급하게 된다. 상기 분사 유닛은 세정액 또는 압축 공기를 분사하기 위한 길이가 긴 형상의 토출구를 가지며, 상기 토출구의 간격에 따라서 기판으로 공급되는 세정액 또는 공기의 토출량이 조절된다.

하지만, 상기 분사 유닛은 상기 토출구의 간격이 고정되어 있기 때문에 토출량은 분사 유닛에 의해 결정된다. 따라서, 토출량의 조절을 위해서는 상기 분사 유닛을 교환해야 하므로 토출량 조절을 위한 작업 시간이 길어지고, 정확한 토출량을 구현하기 위해서는 반복적인 교환 작업이 필요한 문제점을 갖는다.

본 발명은 언급한 문제점을 감안한 것으로써 본 발명의 실시예들을 통해 해결하고자 하는 일 과제는 토출량 조절을 위한 토출구의 간격 조절이 용이한 유체 분사 유닛을 제공하는 것이다.

상기 본 발명의 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 유체 분사 유닛은 제1 몸체부와 제2 몸체부를 포함한다. 상기 제1 몸체부는 제1 평면과, 상기 제1 평면으로부터 연장되어 상기 제1 평면과 제1 각도로 접하는 제2 평면을 갖는다. 상기 제2 몸체부는 상기 제1 몸체부와 마주하고, 상기 제1 몸체부의 제1 평면과 슬라이딩 가능하게 면접하는 제3 평면과, 상기 제3 평면으로부터 연장되어 상기 제3 평면과 상기 제1 각도로 접하면서 상기 제2 평면에 평행하게 배치됨에 의해 세정 유체를 토출하는 토출구를 형성하는 제4 평면을 갖는 제2 몸체부를 포함한다. 여기서, 상기 제1 몸체부의 제1 평면과 상기 제2 몸체부의 제3 평면의 슬라이딩에 의해 상기 제1 몸체부의 제2 평면과 상기 제2 몸체부의 제4 평면 사이의 간격이 조절된다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1 몸체부의 제1 평면에 형성되고, 외 부로부터 유입되는 세정 유체를 상기 제1 몸체부의 제2 평면과 상기 제2 몸체부의 제4 평면의 평행 배치에 의해 형성되는 토출구로 제공하기 위한 하나 이상의 공급 유로를 포함한다.

본 발명에 따른 유체 분사 유닛은 두 몸체부 사이의 슬라이딩 동작에 의해 토출구의 간격 조절이 용이하게 이루어짐에 따라 분사 유닛의 교체 없이도 기판 세정용 유체(혹은 건조용 유체)의 토출량 조절을 용이하게 수행할 수 있다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 유체 분사 유닛에 대하여 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 발명의 명확성을 기하기 위해 실제보다 확대하거나, 개략적인 구성을 설명하기 위하여 실제보다 축소하여 도시한 것이다.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유체 분사 유닛을 나타내는 분해 사시도이고, 도 2a 및 도 2b는 도 1의 유체 분사 유닛의 슬라이딩 동작을 설명하기 위한 단면도들이다.

도 1과, 도 2a 및 도 2b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 유체 분사 유닛(100)은 기판을 세정하기 위한 세정 유체를 기판으로 공급하기 위하여 사용될 수 있다. 여기서, 상기 기판의 일 예로는 평판 표시 장치의 핵심 구성인 표시 패널을 제조하기 위한 유리 재질의 기판을 포함할 수 있다. 상기 세정 유체의 일 예로는 탈이온수(Deionized Water : DIW) 등과 같이 상기 기판을 수세하기 위한 세정액(세정 유체)과, 압축 공기 등과 같이 상기 수세 후에 기판 상에 잔류하는 세정액의 제거 및 건조를 위한 유체를 포함할 수 있다.

상기 유체 분사 유닛(100)은 일방향으로 길게 연장되는 형상을 가지며, 외부로부터 기판의 세정 공정을 수행하기 위한 세정 유체(예컨대 수세용 유체 혹은 건조용 유체)를 상기 유체 분사 유닛(100)으로 제공하기 위한 공급관이 연결된다.

상기 유체 분사 유닛(100)은 제1 몸체부(110)와, 상기 제1 몸체부(110)와 슬라이딩(sliding) 가능하게 결합되는 제2 몸체부(120)를 포함한다.

상기 제1 몸체부(110)는 일방향으로 길게 연장되는 형상을 갖는다. 상기 제1 몸체부(110)는 상기 제2 몸체부(120)와 마주하는 쪽(예컨대 결합 방향)에 일방향으로 길게 연장되는 형상의 제1 평면(110a)과, 상기 제1 평면(110a)의 장변을 따라서 접하는 제2 평면(110b)을 갖는다.

구체적으로, 상기 제2 평면(110b)은 상기 제1 평면(110a)의 선단부에 위치하는 장변으로부터 연장되면서 상기 제1 평면(110a)의 장변에 제1 각도로 접한다. 즉, 상기 제2 평면(110b)은 상기 제1 평면(110a)에 상기 제1 각도로 경사진 형태를 갖는다.

상기 제1 몸체부(110)에서 상기 제1 평면(110a)의 반대편에 위치하는 평면은 상기 제1 평면(110a)과 평행하게 배치될 수 있으며, 이에 접하면서 상기 제2 평면(110b)의 반대편에 위치하는 평면은 상기 제2 평면(110b)과 교차하는 방향으로 그 선단부가 맞닿는 구조를 가질 수 있다. 이와 달리, 상기 제2 평면(110b)의 반대편에 위치하는 평면이 상기 제2 평면(110b)과 선단부에서 맞닿는 구조를 갖지 않아도 무방하다. 하지만, 상기 제2 평면(110b)의 선단부를 세정할 기판에 인접하게 위치시키게 되므로, 기판으로 세정 유체를 공급할 때 상기 기판에 영향을 미치지 않는 형상을 갖는 것이 바람직하다.

상기 제2 몸체부(120)는 전체적으로 상기 제1 몸체부(110)에 대응하는 형상 즉, 일방향으로 길게 연장되는 형상을 갖는다. 상기 제2 몸체부(120)는 상기 제1 몸체부(110)와 마주하는 쪽에 일방향으로 길게 연장되는 형상의 제3 평면(120a)과, 상기 제3 평면(120a)의 장변을 따라서 접하는 제4 평면(120b)을 갖는다.

좀 더 구체적으로는 상기 제1 몸체부(110)와 제2 몸체부(120)가 결합됨에 의해 상기 제3 평면(120a)은 상기 제1 평면(110a)과 면접하게 된다. 상기 제4 평면(120b)은 상기 제3 평면(120a)의 장변으로부터 연장되면서, 상기 제3 평면(120a)의 선단부의 장변에 상기 제1 각도로 접한다. 또한, 상기 제1 몸체부(110)와 제2 몸체부(120)의 결합에 의해 상기 제1 평면(110a)과 제3 평면(120a)이 면접할 때, 상기 제4 평면(120b)은 제2 평면(110b)에 상호 평행하게 배치된다. 즉, 상기 제4 평면(120b)은 상기 제2 평면(110b)과 소정간격 이격되어 평행하게 배치됨에 의해, 슬릿 패턴을 갖는다.

상기 제2 몸체부(120)의 제3 평면(10a)의 반대편에 위치하는 평면은 상기 제 3 평면(120a)과 평행하게 배치될 수 있으며, 이에 접하면서 상기 제4 평면(120b)의 반대편에 위치하는 평면은 상기 제4 평면(120b)과 교차하는 방향으로 그 선단부가 맞닿는 구조를 가질 수 있다. 이와 달리, 상기 제4 평면(120b)과 상기 제4 평면(120b)의 반대편에 위치하는 평면의 배치 구조는 다양한 형상을 가질 수 있다. 이 때, 언급한 바와 같이 상기 제1 몸체부(110)의 제2 평면(110b)과 상기 제4 평면(120b)이 토출구를 형성하여 세정 유체를 기판으로 토출한다. 즉, 상기 제4 평면(120b)의 선단부는 기판에 인접하게 위치시켜 세정 유체를 토출하는 토출구가 되므로 기판으로 세정 유체를 공급할 때 상기 기판이나 토출량에 영향을 미치지 않는 형상을 갖는 것이 바람직하다.

한편, 상기 제1 몸체부(110)와 제2 몸체부(120)의 결합에 의해 형성되는 상기 제2 평면(110b)과 제4 평면(120b) 사이의 장공 형상의 평행 이격 공간(예컨대 슬릿 패턴)은 외부로부터 기판을 세정하기 위해 유입되는 세정 유체를 토출하는 토출구 역할을 한다.

이를 위해, 상기 유체 분사 유닛(100)은 외부로부터 유입되는 세정 유체를 상기 제2 평면(110b)과 제4 평면(120b)의 평행 배치에 의해 형성되는 장공 형상의 토출구로 제공하기 위한 하나 이상의 공급 유로(130)를 구비한다.

상기 공급 유로(130)는 상기 제1 몸체부(110)의 제1 평면(110a)에 형성되고, 상기 제1 평면(110a)의 반대편에 위치하는 평면에 형성되는 유입구(130a)까지 관통되어 연결된다. 상기 공급 유로(130)는 복수로 형성하는 것이 바람직하며, 상기 공급 유로(130)가 복수로 형성될 때 세정 유체가 기판으로 균일하게 토출되도록 일정 한 간격으로 배치하는 것이 바람직하다.

상기 공급 유로(130)는 상기 제1 몸체부(110)와 제2 몸체부(120)의 슬라이딩 동작에 의해 변형되지 않을 수 있게 형성하는 것이 바람직하다. 일 예로, 상기 제1 몸체부(110)의 제1 평면(110a)에 "D"자 형상의 홈을 형성함에 의해 이룰 수 있다. 또는, 상기 제1 몸체부(110)를 관통하여 상기 제2 평면(110b)까지 연결되는 형상을 가질 수 있다. 이와 달리, 상기 공급 유로(130)는 다양한 형태로 형성될 수 있다. 또한, 상기 공급 유로(130)가 상기 제1 몸체부(110)에 형성되는 것으로 설명하였으나, 이와 달리 상기 제2 몸체부(120)에 형성될 수도 있다. 세정 유체의 유입구(130a)는 상기 제1 평면(110a)의 반대편에 위치하는 평면 외에 상기 제1 평면(110a)의 측면에 접하는 평면에 형성할 수도 있다.

언급한 바 있듯이 상기 유체 분사 유닛(100)을 이루는 상기 제1 몸체부(110)와 제2 몸체부(120)는 슬라이딩 가능하게 결합된다. 상기 슬라이딩에 의해 상기 제2 평면(110b)과 제4 평면(120b)의 간격이 조절된다. 즉, 상기 제1 몸체부(110)와 제2 몸체부(120)가 상기 제1 평면(110a)과 제3 평면(120a)을 면접시킨 상태에서 슬라이딩함에 의해 상기 토출구의 간격이 조절되고, 이를 통해서 기판으로 공급하는 세정 유체의 토출량을 조절할 수 있다.

예를 들어, 도 2a의 도면에서와 같이 초기에는 토출구의 간격 즉, 상기 제2 평면(110b)과 제4 평면(120b)의 간격이 제1 간격(d1)을 갖지만, 상기 제1 몸체부(110)와 제2 몸체부(120)의 슬라이딩 동작에 의해 상기 토출구의 간격을 제2 간격(d2)으로 증가시킬 수 있다. 따라서, 세정 유체의 토출량 조절을 위해 분사 유닛 자체를 교환하지 않고도 단순한 슬라이딩 동작을 통해서 상기 토출구의 간격을 조절함으로써, 기판으로 토출되는 세정 유체의 토출량을 용이하게 조절할 수 있다.

도 3은 본 발명에 따른 유체 분사 유닛의 설치 상태를 나타내는 개략적인 도면이다.

도 3을 참조하면, 상기 유체 분사 유닛(100)은 기판(G)의 세정을 수행할 때, 기판(G)의 상부에 위치시키면서, 상기 기판(G)의 반송 방향과 교차하는 방향을 따라서 위치시킨다. 즉, 상기 유체 분사 유닛(100)은 컨베이어와 같은 반송 장치에 의해 일방향으로 반송되는 기판(G)의 표면으로 세정을 위한 세정 유체를 공급하는 역할을 한다.

상기 세정 유체는 언급한 바와 같이 기판(G)의 수세를 위한 세정용 유체이거나 수세 공정 이후에 잔류하는 세정액을 제거하고 기판을 건조하기 위한 건조용 유체(예컨대 압축 공기)일 수 있다.

상기 유체 분사 유닛(100)에는 외부의 세정 유체 공급원(미도시)이 공급관을 통해 연결되고, 상기 공급원으로부터 제공되는 세정 유체를 기판(G)으로 토출(예컨대 분사)함에 의해 상기 기판(G)에 대한 세정을 수행한다.

여기서, 종래 분사 유닛의 경우 토출량을 증가 또는 감소시키기 위해서는 상기 분사 유닛의 교체가 필요함에 따라 토출량 조절에 필요한 시간이 길어지는 문제가 있다. 하지만, 본 실시예에서는 세정 공정의 진행 중에 토출량을 조절하고자 할 경우 분사 유닛을 교체하지 않고, 상기 제1 몸체부(110)와 제2 몸체부(120)를 슬라이딩시킴에 의해 토출량의 조절을 수행할 수 있다. 따라서, 토출량을 조절하기 위 한 작업 시간을 현저하게 단축시킬 수가 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유체 분사 유닛은 몸체부의 슬라이딩에 의해 토출구의 간격 조절이 이루어지므로 분사 유닛을 교환하지 않고도 기판으로 공급되는 세정 유체의 토출량 조절을 용이하게 수행할 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유체 분사 유닛을 나타내는 분해 사시도이다.

도 2a 및 도 2b는 도 1의 유체 분사 유닛의 슬라이딩 동작을 설명하기 위한 단면도들이다.

도 3은 본 발명에 따른 유체 분사 유닛의 설치 상태를 나타내는 개략적인 도면이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

100: 유체 분사 유닛 110: 제1 몸체부

110a: 제1 평면 110b: 제2 평면

120: 제2 몸체부 120a: 제3 평면

120b: 제4 평면 130: 공급 유로

d1: 제1 간격 d2: 제2 간격

G: 기판

Claims (2)

1. 제1 평면과, 상기 제1 평면으로부터 연장되어 상기 제1 평면과 제1 각도로 접하는 제2 평면을 갖는 제1 몸체부; 및

   상기 제1 몸체부와 마주하고, 상기 제1 몸체부의 제1 평면과 슬라이딩 가능하게 면접하는 제3 평면과, 상기 제3 평면으로부터 연장되어 상기 제3 평면과 상기 제1 각도로 접하면서 상기 제2 평면에 평행하게 배치됨에 의해 세정 유체를 토출하는 토출구를 형성하는 제4 평면을 갖는 제2 몸체부를 포함하고,

   상기 슬라이딩에 의해 상기 제1 몸체부의 제2 평면과 상기 제2 몸체부의 제4 평면 사이의 간격이 조절되는 유체 분사 유닛.
2. 제1항에 있어서, 상기 제1 몸체부의 제1 평면에 형성되고, 외부로부터 유입되는 세정 유체를 상기 제1 몸체부의 제2 평면과 상기 제2 몸체부의 제4 평면의 평행 배치에 의해 형성되는 토출구로 제공하기 위한 하나 이상의 공급 유로를 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 분사 유닛.

Images