KR20090020787A - 웨이퍼 마운트 장비의 웨이퍼 얼라인먼트 장치 - Google Patents
웨이퍼 마운트 장비의 웨이퍼 얼라인먼트 장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (9)
- 웨이퍼가 안착되는 원판형 구조의 상판과;상기 상판의 아래쪽에 승하강 가능하게 배치되는 원판형 구조의 하판과;상기 하판상에 반경방향으로 전후진 가능하게 장착되어, 상기 상판에 안착된 서로 다른 직경의 웨이퍼를 잡아주는 홀딩수단과;상기 하판의 저면에 장착되어, 상기 홀딩수단에 전후진력을 제공하는 전후진 구동수단과;상기 하판의 저면에 장착되는 동시에 상판과 연결되어, 상기 하판을 승하강시키는 승하강 구동수단과;상단은 상기 하판을 관통하여 상판의 저면에 연결되고, 하단끝은 설치자리면에 고정되는 지지대;를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마운트 장비의 웨이퍼 얼라인먼트 장치.
- 청구항 1에 있어서, 상기 상판은:웨이퍼가 안착되는 원판형 구조로서, 그 외주부에 원주방향을 따라 등간격을 이루는 관통 형성된 복수개의 제1슬롯과;상기 제1슬롯과 반경방향을 따라 일치되며, 그 외경면에 절개 형성된 복수개 의 제2슬롯과;상기 지지대의 상단끝이 삽입 고정되는 복수개의 지지대 결합홀과;공압실린더의 피스톤 끝단이 결합되는 복수개의 피스톤 결합홀; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마운트 장비의 웨이퍼 얼라인먼트 장치.
- 청구항 1에 있어서, 상기 하판은:중앙홀을 갖는 원판형 구조로서, 그 외주부에 원주방향을 따라 등간격을 이루며 반경방향을 따라 연장된 복수개의 슬라이딩 홈과;상기 각 슬라이딩 홈의 내끝단에 형성된 제3슬롯과;상기 지지대가 삽입 경유되는 복수개의 지지대 경유홀과,공압실린더의 피스톤이 삽입 경유되는 복수개의 피스톤 경유홀; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마운트 장비의 웨이퍼 얼라인먼트 장치.
- 청구항 1 또는 청구항 3에 있어서, 상기 하판의 저면에는 상기 지지대가 삽입 안내되는 가이드체가 일체로 더 장착된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마운트 장비의 웨이퍼 얼라인먼트 장치.
- 청구항 1에 있어서, 상기 홀딩수단은:상기 하판의 슬라이딩홈에 제1베어링을 매개로 안착되는 전후진 몸체와;상기 전후진 몸체의 상면에서 외끝단부에 일체로 장착되어, 상기 상판의 제2슬롯을 통해 위쪽으로 돌출되는 대형 웨이퍼 고정단과;상기 대형 웨이퍼 고정단의 바로 앞쪽에 일체로 장착되어 상기 상판의 제1슬롯을 통해 위쪽으로 돌출되며, 대형 웨이퍼 고정단보다 낮은 길이를 갖는 소형 웨이퍼 고정단과;상기 전후진 몸체의 저면에서 내끝단부에 일체로 장착되어, 상기 하판의 제3슬롯에 삽입되어 아래쪽으로 돌출되는 전후진용 핀;을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마운트 장비의 웨이퍼 얼라인먼트 장치.
- 청구항 4에 있어서, 상기 홀딩수단의 대형 웨이퍼 고정단은 8인치 웨이퍼의 외경면에 밀착 고정되고, 상기 소형 웨이퍼 고정단은 6인치 웨이퍼의 외경면에 밀착 고정되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마운트 장비의 웨이퍼 얼라인먼트 장치.
- 청구항 1에 있어서, 상기 전후진 구동수단은:상기 하판의 저면 중앙부에 제2베어링을 매개로 회전 가능하게 장착되어, 상 기 전후진용 핀을 제3슬롯을 따라 전후진시키는 회전체와;상기 회전체의 저부에 결합 고정되는 구동기어와;상기 구동기어와 연결되어 회전력을 전달하는 모터; 를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마운트 장비의 웨이퍼 얼라인먼트 장치.
- 청구항 5에 있어서, 상기 회전체는:상기 제3슬롯을 통해 아래쪽으로 돌출된 전후진용 핀이 삽입되도록 복수개의 나선형 슬롯이 상하로 관통 형성된 링 타입의 원판과;상기 제2베어링이 안착되도록 상기 원판의 내경면에 오목한 공간을 이루며 일체로 형성된 베어링 안착면과;상기 구동기어의 내경면과 밀착 결합되도록 상기 베어링 안착면의 저면에서 아래쪽을 돌출 형성된 결합단;으로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마운트 장비의 웨이퍼 얼라인먼트 장치.
- 청구항 1에 있어서, 상기 승하강 구동수단은:상기 하판의 중앙홀로부터 아래쪽으로 연장되어 상기 회전체의 중앙홀을 지나 상기 결합단의 끝단과 평행한 위치까지 연장된 보스부와;외주단 상면이 상기 회전체의 베어링 안착면 저면과 일치되면서, 그 내주단이 상기 보스부의 저면에 체결되는 링 타입의 커버체와;상기 하판의 저면에서 회전체의 바깥쪽 위치에 장착되며, 그 피스톤이 상기 하판의 피스톤 경유홀을 지나 상기 상판의 피스톤 결합홀에 결합 고정되는 복수개의 공압실린더;로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마운트 장비의 웨이퍼 얼라인먼트 장치.
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2007
- 2007-08-24 KR KR1020070085362A patent/KR100902098B1/ko active IP Right Grant
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