TWI737932B - 裸晶台單元及具有裸晶台單元的裸晶黏合裝置 - Google Patents

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Abstract

本發明揭示了一種裸晶台單元及具有裸晶台單元的裸晶黏合裝置。裸晶台單元包括用於支撐裸晶的吸盤，配置成支撐吸盤並可旋轉以對準裸晶的旋轉台，用於向旋轉台提供旋轉力的旋轉驅動單元，和設置在旋轉台下方並通過旋轉台和吸盤向裸晶的下表面提供背光以檢測裸晶的缺陷的背光單元。

Description

裸晶台單元及具有裸晶台單元的裸晶黏合裝置
本發明涉及一種裸晶台單元及具有其的裸晶黏合裝置。更具體地，本發明涉及一種用於支撐待黏合到襯底上的裸晶的裸晶台單元及具有該裸晶台單元的裸晶黏合裝置。
通常，通過重複地執行一系列製造程序可在用作半導體襯底的矽晶圓上形成半導體裝置。如上該形成的半導體裝置可通過切割程序一個個分開，並可通過裸晶黏合程序黏合到襯底上。
用於執行裸晶黏合程序的裝置包括：用於從包括通過切割程序一個個分開的裸晶的晶圓中拾取裸晶的拾取模塊，以及用於將裸晶黏合到諸如引線框架或印刷電路板的襯底上的黏合模塊。拾取模塊包括：用於支撐晶圓的晶圓台單元，用於將裸晶從附著有晶圓的切割帶上分離出來的裸晶排出單元，以及用於拾取由裸晶排出單元分離的裸晶的拾取單元。由拾取單元拾取的裸晶可傳送到裸晶台上，可拾取裸晶台上的裸晶，然後通過黏合模塊將該裸晶黏合到襯底上。
同時，在將裸晶黏合到襯底上之前，可執行檢查裸晶的步驟。例如，由拾取單元拾取的裸晶可放置在裸晶台上，並可通過設置在裸晶台上方的檢查相機檢查裸晶。檢查相機可用來檢測裸晶上諸如雜質、劃痕等的缺陷。然而，使用檢查相機難以檢測尺寸相對較小的缺陷，例如微裂紋、碎裂損壞等。
本發明提供一種裸晶台單元和具有該裸晶台單元、配置爲檢測例如微裂紋、碎裂損壞等尺寸相對較小缺陷的裸晶黏合裝置。
根據本發明的一個方面，裸晶台單元可包括用於支撐裸晶的吸盤，配置成支撐吸盤並可旋轉以對準裸晶的旋轉台，用於向旋轉台提供旋轉力的旋轉驅動單元，和設置在旋轉台下方、通過旋轉台和吸盤向裸晶的下表面提供背光以檢測裸晶的缺陷的背光單元。
根據本發明的一些示例性實施例，吸盤可具有用於將背光提供到裸晶的下表面的開口。
根據本發明的一些示例性實施例，吸盤可包括支撐裸晶並具有用於真空吸取裸晶的真空孔的吸盤部，以及與吸盤部連接並配置爲圍繞吸盤部的吸盤框架。此時，開口可由吸盤部和吸盤框架限定。
根據本發明的一些示例性實施例，吸盤可由透明材料製成，以便透射背光，並且吸盤可具有用於真空吸附裸晶的真空孔。
根據本發明的一些示例性實施例，旋轉台可包括通過同步帶與旋轉驅動單元連接的同步帶輪，以及設置在同步帶輪上以支撐吸盤的支撐板。此時，同步帶輪和支撐板可分別具有通孔以向裸晶的下表面提供背光。
根據本發明的一些示例性實施例，旋轉台還可包括分別設置在通孔中的透光元件，透光元件可由透明材料製成以透射背光。
根據本發明的一些示例性實施例，旋轉台還可包括用於將吸盤和支撐板彼此連結的永磁體。
根據本發明的一些示例性實施例，裸晶台單元還可包括設置在旋轉台下方的基座元件，背光單元安裝在基座元件上；和可旋轉地安裝至基座元件並與旋轉台連接的旋轉軸。
根據本發明的一些示例性實施例，背光單元可包括設置在基座元件上圍繞旋轉軸的多個光源。
根據本發明的另一方面，裸晶黏合裝置可包括：用於從晶圓中拾取裸晶並傳送裸晶的裸晶拾取模塊；裸晶檢查模塊，包括用於支撐由裸晶拾取模塊傳送的裸晶的裸晶台單元和設置在裸晶台單元上方以檢測裸晶的缺陷的第一檢查相機；以及用於將裸晶黏合到襯底上的裸晶黏合模塊。特別地，裸晶台單元可包括用於支撐裸晶的吸盤，配置成支撐吸盤並可旋轉以對準裸晶的旋轉台，用於向旋轉台提供旋轉力的旋轉驅動單元，以及設置在旋轉台下方的背光單元，該背光單元通過旋轉台和吸盤向裸晶的下表面提供背光以檢測裸晶的缺陷。
根據本發明的一些示例性實施例，吸盤可具有用於向裸晶的下表面提供背光的開口和用於真空吸附裸晶的真空孔。
根據本發明的一些示例性實施例，吸盤可由透明材料製成以便透射背光，並且吸盤可具有用於真空吸附裸晶的真空孔。
根據本發明的一些示例性實施例，旋轉台可包括通過同步帶與旋轉驅動單元連接的同步帶輪，該同步帶輪具有通孔以將背光提供給裸晶的下表面。
根據本發明的一些示例性實施例，裸晶台單元還可包括設置在旋轉台下方的基座元件，背光單元安裝在基座元件上；以及可旋轉地安裝至基座元件並與旋轉台連接的旋轉軸。
根據本發明的一些示例性實施例，旋轉台還可包括設置在通孔中的透光元件，該透光元件由透明材料製成以透射背光。此時，旋轉軸可與透光元件連接。
根據本發明的一些示例性實施例，旋轉軸的上部可設置在同步帶輪的通孔中，並可通過多個輻條與同步帶輪連接。
根據本發明的一些示例性實施例，裸晶拾取模塊可包括：用於從晶圓中拾取裸晶並將裸晶傳送到裸晶台單元上的拾取單元，以及裸晶黏合模塊，其可包括用於從裸晶台單元上拾取裸晶並將裸晶黏合到襯底上的黏合單元。
根據本發明的一些示例性實施例，裸晶檢查模塊還可包括用於檢查由黏合單元拾取的裸晶的下表面的第二檢查相機。
本發明的上述發明內容並不旨在描述本發明的每個所示實施例或每種實施方式。下面的具體實施方式和權利要求更具體地舉例說明了這些實施例。
以下，參照附圖更詳細地描述本發明的實施例。然而，本發明並不限於下面描述的實施例，並且本發明可以各種其他形式實施。提供以下實施例不是爲了完全完成本發明，而是爲了向本領域技術人員充分表達本發明的範圍。
在說明書中，當提及一個組件在另一個組件或層之上或者連接至另一個組件或層時，它可直接在另一個組件或層之上或者連接至另一個組件或層，或者也可存在介於中間的組件或層。與此不同，應理解，當提及一個組件直接在另一個組件或層之上或直接連接至另一個組件或層時，這意味著不存在介於中間的組件。而且，儘管在本發明的各種實施例中使用像是第一、第二和第三的術語來描述各種區域和層，但是區域和層並不限於這些術語。
以下使用的術語僅用於描述特定實施例，但並不限制本發明。另外，除非本文中另外定義，否則包括技術或科學術語的所有術語可具有與本領域技術人員通常理解相同的含義。
參照理想實施例的示意圖描述了本發明的實施例。於是，可從附圖的形式預期製造方法和/或允許誤差的變化。因此，本發明的實施例並非描述成限於附圖中的特定形式或區域，而是包括形式上的偏差。這些區域可以是完全示意性的，它們的形式可以不描述或描繪任何給定區域中的準確形式或結構，並且不旨在限制本發明的範圍。
圖1是根據本發明示例性實施例的裸晶黏合裝置的示意圖。
參照圖1，根據本發明示例性實施例的裸晶黏合裝置400可用來將裸晶20黏合到諸如引線框架或印刷電路板的襯底30上。
裸晶黏合裝置400可包括：用於從晶圓10中拾取裸晶20的裸晶拾取模塊100，晶圓10通過切割程序被一個個分開爲多個裸晶；用於檢查由裸晶拾取模塊100拾取的裸晶20的裸晶檢查模塊200；和用於將由裸晶檢查模塊200檢查的裸晶20黏合到襯底30上的裸晶黏合模塊300。晶圓10可附著到切割帶40上，且切割帶40可安裝在具有近似圓環形狀的安裝框架50上。
裸晶拾取模塊100可包括：用於支撐晶圓10的晶圓台單元110，用於將裸晶20從附著有晶圓10的切割帶40上分離出來的裸晶排出單元120，以及用於拾取由裸晶排出單元120排出的裸晶20並將該裸晶20傳送到裸晶檢查模塊200的拾取單元130。
晶圓台單元110可包括：配置成可沿水平方向移動的晶圓台112，設置在晶圓台112上以支撐切割帶40的邊緣部分的擴展環114，用於通過向下移動安裝框架50來擴展切割帶40的夾持元件116，以及用於垂直移動夾持元件116的夾持驅動部（未示出）。例如，在將晶圓10裝載到晶圓台單元110上使得切割帶40的邊緣部分布置在擴展環114上之後，夾持驅動部可向下移動安裝框架50，於是裸晶20之間的距離可因此而加寬。
裸晶排出單元120可設置在晶圓台單元110下方，並可向上推動其中一個裸晶20以便將該裸晶20與切割帶40分離開來。此外，儘管未在圖中示出，晶圓台單元110可通過台驅動單元（未示出）沿水平方向移動以有選擇性地拾取裸晶20。
拾取單元130可設置在由晶圓台單元110支撐的晶圓10的上方。拾取單元130可包括用於拾取裸晶20的拾取器和用於使拾取器沿水平和垂直方向移動的拾取器驅動部。詳細地，拾取器可真空吸附通過裸晶排出單元120從切割帶40分離出來的裸晶20，且拾取器驅動部可使拾取器沿水平和垂直方向移動以將裸晶20傳送至裸晶檢查模塊200。
裸晶檢查模塊200可設置在裸晶拾取模塊100和裸晶黏合模塊300之間。裸晶檢查模塊200可用來在將裸晶20黏合到襯底30上之前對其進行檢查。特別地，裸晶檢查模塊200可用來檢測尺寸相對較小的缺陷，例如微裂紋、碎裂損壞等。此外，裸晶檢查模塊200可用來檢測諸如雜質、劃痕等的缺陷。
由裸晶檢查模塊200判定爲良好的裸晶20可傳送至裸晶黏合模塊300，然後黏合到襯底30上。此外，儘管未在圖中示出，裸晶黏合裝置400可包括用於容納由檢查模塊200判定爲缺陷産品的裸晶的容器（未示出）。
圖2是圖1中所示的裸晶台單元的示意性剖視圖，圖3是圖1中所示的裸晶台單元的示意性平面圖，且圖4是圖2中所示的吸盤的示意性立體圖。
參照圖2至4，裸晶檢查模塊200可包括：用於支撐由裸晶拾取單元130傳送來的裸晶20的裸晶台單元201，以及設置在裸晶台單元201上方用來檢測裸晶20的缺陷的第一檢查相機202。
裸晶台單元201可包括用於支撐裸晶20的吸盤210，配置成支撐吸盤210並可旋轉以對準裸晶20的旋轉台230，用於向旋轉台230提供旋轉力的旋轉驅動單元240，和設置在旋轉台230下方的背光單元250，該背光單元250通過旋轉台230和吸盤210向裸晶20的下表面提供背光BL以檢測裸晶20的缺陷。特別地，吸盤210可具有用於向裸晶20的下表面提供背光BL的開口216。
根據本發明示例性實施例，吸盤210可包括支撐裸晶20的吸盤部212，以及與吸盤部212連接並配置成圍繞吸盤部212的吸盤框架214，吸盤部212具有用於真空吸附裸晶20的真空孔218。例如，吸盤框架214可具有矩形環形狀，並可通過多個輻條與吸盤部212連接。此外，真空孔218可形成爲沿垂直方向穿透吸盤部212，且開口216可由吸盤部212和吸盤框架214限定。特別地，與真空孔218連接的真空通道219可形成於吸盤部212的上表面部分中。
旋轉台230可包括通過同步帶242與旋轉驅動單元240連接的同步帶輪232，以及設置在同步帶輪232上以支撐吸盤210的支撐板234。特別地，同步帶輪232和支撐板234可分別具有第一通孔和第二通孔，以提供背光BL至裸晶20的下表面。此時，同步帶輪232的第一通孔、支撐板234的第二通孔和吸盤210的開口216可沿垂直方向彼此連接。
根據本發明示例性實施例，第一和第二透光元件236和238可分別設置在第一和第二通孔中。第一和第二透光元件236和238可由透明材料製成以透射背光BL。
此外，裸晶黏合裝置400可包括設置在旋轉台230下方的基座單元260。基座單元260可包括背光單元250安裝在其上的基座元件262，以及設置在基座元件262上的蓋板264。此外，裸晶黏合裝置400可包括通過使用軸承224可旋轉地安裝到基座元件262上的旋轉軸220。旋轉軸220可沿垂直方向布置，且旋轉軸220的上部可與第一透光元件236連接。也就是說，旋轉軸220的上部可沿垂直方向插入到第一透光元件236中, 如圖2所示。
或者，旋轉軸220的上部可設置在同步帶輪232的第一通孔中，並可通過多個輻條（未示出）與同步帶輪232連接。在這種情况下，可移除第一透光元件236和/或第二透光元件238。
根據本發明示例性實施例，永磁體270可設置在旋轉軸220的上表面上，以將吸盤210與支撐板234連結。例如，永磁體270可插入到第二透光元件238中，使得永磁體270的上表面通過第二透光元件238的上表面而露出。此外，支撐板234可具有吸盤210插入其中的凹部。
旋轉驅動單元240可設置在基座元件262的一側，並可包括用於提供旋轉力的馬達（未示出）和用於將旋轉力傳遞至同步帶輪232的驅動滑輪（未示出）。基座元件262可具有安裝背光單元250的凹部，且蓋板264可部分地覆蓋基座元件262的凹部，如圖2所示。
背光單元250可包括多個光源252。光源252可設置在基座元件262的凹部的底表面上。例如，背光單元250可包括設置在基座元件262的凹部的底表面上的多個發光二極管（LED）252。特別地，如圖2所示，旋轉軸220可設置爲穿透基座元件262的凹部的底部，且發光二極管252可設置爲圍繞旋轉軸220。此時，軸承224可安裝到基座元件262的下部中以圍繞旋轉軸220的下部。
旋轉軸220可沿豎直方向延伸，並可具有沿豎直方向延伸的中空真空管線222。中空真空管線222可連接至真空泵（未示出），且永磁體270可具有用於連接旋轉軸220的中空真空管線222與吸盤210的真空孔218的中心孔272。
圖5是如圖4所示的吸盤的另一實例的示意性立體圖。
參照圖5，用於支撐裸晶20的吸盤280可由透明材料製成以透射背光BL，並可具有用於真空吸附裸晶20的真空孔282。吸盤280可具有近似矩形板的形狀，且其上放置有裸晶20的吸盤部284可形成於吸盤280上。
此外，吸盤280可具有與真空孔282連接的真空通道286。例如，真空通道286可由吸盤部284限定，如圖5所示。此外，儘管未在圖中示出，連結元件（未示出）可設置在吸盤280的下表面上以對應於永磁體270。
再次參照圖1，第一檢查相機202可設置在裸晶台單元201上方，並可獲取裸晶20上表面的檢查圖像。裸晶檢查模塊200可根據檢查圖像檢測裸晶20的缺陷。例如，可在背光單元250未工作的狀態下獲取裸晶20的第一檢查圖像，並可在背光單元250工作的狀態下獲取裸晶20的第二檢查圖像。根據第一檢查圖像可檢測諸如雜質、劃痕等的缺陷，並且根據第二檢查圖像可檢測諸如微裂紋、碎裂損壞等的缺陷。
裸晶黏合模塊300可包括用於支撐襯底30的襯底台單元310以及用於從裸晶台單元201上拾取裸晶20並將該裸晶20黏合到襯底30上的黏合單元320。例如，黏合單元320可包括用於從裸晶台單元201上拾取裸晶20並將裸晶20黏合到襯底30上的黏合頭，以及用於使黏合頭沿水平和垂直方向移動的頭驅動部（未示出）。
此外，裸晶檢查模塊200可包括用於檢查裸晶20的下表面的第二檢查相機203。第二檢查相機203可設置在黏合單元320下方並在裸晶台單元201和襯底台單元310之間。第二檢查相機203可獲取由黏合單元320拾取的裸晶20的下表面的第三檢查圖像，且裸晶檢查模塊200可根據第三檢查圖像檢測諸如雜質、劃痕等的缺陷。
根據本發明如上項所述的示例性實施例，用於向裸晶20的下表面提供背光BL的背光單元250可設置在用於支撐裸晶20的吸盤210和用於對準裸晶20的旋轉台230的下方，且第一檢查相機202可設置在吸盤210上方以獲取裸晶20上表面的檢查圖像。因此，尺寸相對較小的缺陷，例如微裂紋、碎裂損壞等可通過背光BL非常容易地檢測到。
儘管已參照具體實施例描述了裸晶台單元201和具有裸晶台單元201的裸晶黏合裝置400，但其並不限於此。因此，本領域技術人員容易理解，在不脫離本發明由所附權利要求限定的實質和範圍的情况下，可對其作出各種修改和變化。
10‧‧‧晶圓20‧‧‧裸晶40‧‧‧切割帶50‧‧‧安裝框架100‧‧‧裸晶拾取模塊110‧‧‧晶圓台單元112‧‧‧晶圓台114‧‧‧擴展環116‧‧‧夾持單元120‧‧‧裸晶排出單元130‧‧‧拾取單元200‧‧‧裸晶檢查模塊201‧‧‧裸晶台單元202‧‧‧第一檢查相機203‧‧‧第二檢查相機210‧‧‧吸盤212‧‧‧吸盤部214‧‧‧吸盤框架216‧‧‧開口218‧‧‧真空孔219‧‧‧真空通道220‧‧‧旋轉軸222‧‧‧真空管線224‧‧‧軸承230‧‧‧旋轉台232‧‧‧同步帶輪234‧‧‧支撐板236‧‧‧第一透光元件238‧‧‧第二透光元件240‧‧‧旋轉驅動單元242‧‧‧同步帶250‧‧‧背光單元252‧‧‧發光二極管260‧‧‧基座單元262‧‧‧基座元件264‧‧‧蓋板270‧‧‧永磁體272‧‧‧中心孔280‧‧‧吸盤282‧‧‧真空孔284‧‧‧吸盤部286‧‧‧真空通道300‧‧‧裸晶黏合模塊310‧‧‧襯底台單元320‧‧‧黏合單元400‧‧‧裸晶黏合裝置BL‧‧‧背光
結合附圖，根據以下描述，可更詳細地理解示例性實施例，其中：
圖1是根據本發明示例性實施例的裸晶黏合裝置的示意圖；
圖2是圖1中所示的裸晶台單元的示意性剖視圖；
圖3是圖1中所示的裸晶台單元的示意性平面圖；
圖4是圖2中所示的吸盤的示意性立體圖；和
圖5是圖4中所示的吸盤的另一實例的示意性立體圖。
雖然各種實施例可修改成各種改型和替代形式，其細節已經由附圖中的實例示出並將詳細描述。然而，應理解，本發明並不旨在將要求保護的本發明限制於所描述的特定實施例。相反，本發明涵蓋了落入在由權利要求限定的主題的實質和範圍內的所有改型、等同物和替代物。
20‧‧‧裸晶
201‧‧‧裸晶台單元
202‧‧‧第一檢查相機
210‧‧‧吸盤
212‧‧‧吸盤部
214‧‧‧吸盤框架
216‧‧‧開口
218‧‧‧真空孔
220‧‧‧旋轉軸
222‧‧‧真空管線
224‧‧‧軸承
230‧‧‧旋轉台
232‧‧‧同步帶輪
234‧‧‧支撐板
236‧‧‧第一透光元件
238‧‧‧第二透光元件
242‧‧‧同步帶
250‧‧‧背光單元
252‧‧‧發光二極管
260‧‧‧基座單元
262‧‧‧基座元件
264‧‧‧蓋板
270‧‧‧永磁體
272‧‧‧中心孔
BL‧‧‧背光

Claims (13)

  1. 一種裸晶台單元，包括：用於支撐裸晶的吸盤；配置成支撐該吸盤並可旋轉以對準該裸晶的旋轉台；用於向該旋轉台提供旋轉力的旋轉驅動單元；設置在該旋轉台下方的背光單元，該背光單元通過該旋轉台和該吸盤向該裸晶的下表面提供背光以檢測該裸晶的缺陷；設置在該吸盤與該旋轉台之間以將該吸盤連結於該旋轉台的永磁體；設置在該旋轉台下方的基座元件，該背光單元安裝在該基座元件上；和可旋轉地安裝至該基座元件並與該旋轉台連接的旋轉軸，其中該旋轉台包括：通過同步帶與該旋轉驅動單元連接的同步帶輪；和設置在該同步帶輪上以支撐該吸盤的支撐板，其中，該同步帶輪和該支撐板分別具有通孔以向該裸晶的下表面提供該背光，且該吸盤藉由該永磁體連結於該支撐板。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的裸晶台單元，其中該吸盤具有用於向該裸晶的下表面提供該背光的開口。
  3. 如申請專利範圍第2項所述的裸晶台單元，其中該吸盤包括：支撐該裸晶的吸盤部，該吸盤部具有用於真空吸附該裸晶的真空孔；和與該吸盤部連接並配置為圍繞該吸盤部的吸盤框架， 其中，該開口由該吸盤部和該吸盤框架限定。
  4. 如申請專利範圍第1項所述的裸晶台單元，其中該吸盤由透明材料製成以便透射該背光，並且該吸盤具有用於真空吸附該裸晶的真空孔。
  5. 如申請專利範圍第1項所述的裸晶台單元，其中該旋轉台還包括分別設置在該通孔中的透光元件，該透光元件由透明材料製成以透射該背光。
  6. 如申請專利範圍第1項所述的裸晶台單元，其中該背光單元包括設置在該基座元件上圍繞該旋轉軸的多個光源。
  7. 一種裸晶黏合裝置，包括：用於從晶圓中拾取裸晶並傳送該裸晶的裸晶拾取模塊；裸晶檢查模塊，其包括用於支撐由該裸晶拾取模塊傳送的該裸晶的裸晶台單元和設置在該裸晶台單元上方以檢測該裸晶的缺陷的第一檢查相機；和用於將該裸晶黏合到襯底上的裸晶黏合模塊，其中，該裸晶台單元包括：用於支撐該裸晶的吸盤；配置成支撐該吸盤並可旋轉以對準該裸晶的旋轉台；用於向該旋轉台提供旋轉力的旋轉驅動單元；設置在該旋轉台下方的背光單元，該背光單元通過該旋轉台和該吸盤向該裸晶的下表面提供背光以檢測該裸晶的缺陷； 設置在該吸盤與該旋轉台之間以將該吸盤連結於該旋轉台的永磁體；設置在該旋轉台下方的基座元件，該背光單元安裝在該基座元件上；和可旋轉地安裝至該基座元件並與該旋轉台連接的旋轉軸，其中該旋轉台包括：通過同步帶與該旋轉驅動單元連接的同步帶輪；和設置在該同步帶輪上以支撐該吸盤的支撐板，其中，該同步帶輪和該支撐板分別具有通孔以向該裸晶的下表面提供該背光，且該吸盤藉由該永磁體連結於該支撐板。
  8. 如申請專利範圍第7項所述的裸晶黏合裝置，其中該吸盤具有用於向該裸晶的下表面提供該背光的開口和用於真空吸附該裸晶的真空孔。
  9. 如申請專利範圍第7項所述的裸晶黏合裝置，其中該吸盤由透明材料製成以便傳輸該背光，並且該吸盤具有用於真空吸附該裸晶的真空孔。
  10. 如申請專利範圍第7項所述的裸晶黏合裝置，其中該旋轉台還包括設置在該同步帶輪之該通孔中的透光元件，該透光元件由透明材料製成以透射該背光，且該旋轉軸與該透光元件連接。
  11. 如申請專利範圍第7項所述的裸晶黏合裝置，其中該旋轉軸的上部設置在該同步帶輪的該通孔中，並通過多個輻條與該同步帶輪連接。
  12. 如申請專利範圍第7項所述的裸晶黏合裝置，其中該裸晶拾取模塊包括用於從該晶圓中拾取該裸晶並將該裸晶傳送到該裸晶台單元上的拾取單元；且該裸晶黏合模塊包括用於從該裸晶台單元上拾取該裸晶並將該裸晶黏合到該襯底上的黏合單元。
  13. 如申請專利範圍第12項所述的裸晶黏合裝置，其中該裸晶檢查模塊還包括用於檢查由該黏合單元拾取的該裸晶的下表面的第二檢查相機。
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