KR20090019736A - Acf attaching apparatus, flat panel display manufacturing apparatus and flat panel display - Google Patents

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KR20090019736A KR1020080081526A KR20080081526A KR20090019736A KR 20090019736 A KR20090019736 A KR 20090019736A KR 1020080081526 A KR1020080081526 A KR 1020080081526A KR 20080081526 A KR20080081526 A KR 20080081526A KR 20090019736 A KR20090019736 A KR 20090019736A
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Abstract

An ACF(Anisotropic Conductive Film) attaching apparatus, an apparatus for manufacturing a flat panel display, and a flat panel display are provided to improve adhesion between a substrate and the AFC by heating the substrate. A pressurization unit(57) pressurizes an ACF tape maintaining ACF through an exfoliation layer for a surface of substrate. A substrate reception unit supports the substrate horizontally by contacting a rear side of the substrate. A heating unit(52H) heats the substrate reception unit to a temperature not to harden the ACF thermally. The temperature is higher than the heater of the pressurization unit.

Description

ACF 부착 장치, 플랫 패널 디스플레이의 제조장치 및 플랫 패널 디스플레이 {ACF ATTACHING APPARATUS, FLAT PANEL DISPLAY MANUFACTURING APPARATUS AND FLAT PANEL DISPLAY}ACF attachment device, flat panel display manufacturing equipment and flat panel display {ACF ATTACHING APPARATUS, FLAT PANEL DISPLAY MANUFACTURING APPARATUS AND FLAT PANEL DISPLAY}

본 발명은, 기판에 드라이버 회로 등의 반도체 회로 소자를 탑재하기 위하여, 이 기판에 ACF(Anisotropic Conductive Film)를 부착하기 위한 ACF 부착 장치, 이 ACF 부착 장치를 포함하는 플랫 패널 디스플레이의 제조장치 및 이 플랫 패널 디스플레이의 제조장치를 사용하여 제조된 플랫 패널 디스플레이에 관한 것이다. The present invention relates to an ACF attachment device for attaching an anisotropic conductive film (ACF) to a substrate, for mounting a semiconductor circuit element such as a driver circuit on a substrate, and a flat panel display manufacturing apparatus including the ACF attachment device. A flat panel display manufactured using a manufacturing apparatus of a flat panel display.

플랫 패널 디스플레이의 하나로 액정 디스플레이가 있다. 액정 디스플레이는, 상하 2매의 투명기판으로 이루어지는 액정 패널의 사이에 액정을 봉입하여 구성되어 있다. 액정 패널에는, 드라이버 회로를 거쳐 인쇄 회로 기판이 접속되는 구성으로 되어 있고, 드라이버 회로의 인너측의 전극은 액정 패널에, 아우터측의 전극은 인쇄 회로 기판에 접속되어 있다. 드라이버 회로의 탑재방식으로서는, TAB(Tape Automated Bonding) 방식과 COG(Chip On Glass) 방식이 대표적이지만, 어느 쪽이든, 액정 패널의 표면의 적어도 두 변에 배선 패턴이 형성되고, 이 배선 패턴에서의 전극과 드라이버 회로의 전극이 전기적으로 접속된다. One flat panel display is a liquid crystal display. A liquid crystal display is comprised by enclosing a liquid crystal between the liquid crystal panels which consist of two upper and lower transparent substrates. The printed circuit board is connected to the liquid crystal panel via a driver circuit, the electrode on the inner side of the driver circuit is connected to the liquid crystal panel, and the electrode on the outer side is connected to the printed circuit board. As the mounting method of the driver circuit, a tape automated bonding (TAB) method and a chip on glass (COG) method are typical. In either case, a wiring pattern is formed on at least two sides of the surface of the liquid crystal panel. And the electrode of the driver circuit are electrically connected.

드라이버 회로와 액정 패널 기판과의 사이, 드라이버 회로와 인쇄 회로 기판과의 사이의 전기적인 접속에는, 점착성이 있는 바인더 수지에 미소한 도전입자를 균일하게 분산시킨 ACF가 이용된다. 이 ACF를 열압착함으로써, 도전입자를 거쳐 전극 사이가 전기적으로 접속되고, 또한 가열에 의해 바인더 수지를 경화시켜, 드라이버 회로를 액정 패널이나 인쇄 회로 기판에 고정시키도록 하고 있다. ACF obtained by uniformly dispersing fine conductive particles in a tacky binder resin is used for electrical connection between the driver circuit and the liquid crystal panel substrate and between the driver circuit and the printed circuit board. By thermocompression bonding of this ACF, between electrodes is electrically connected via electroconductive particle, hardening binder resin by heating, and fixing a driver circuit to a liquid crystal panel or a printed circuit board.

TAB 방식에 의하여 드라이버 회로를 액정 패널에 탑재하는 경우, 액정 패널의 기판에서의 배선 패턴이 설치되어 있는 부위에 ACF를 부착하여, 드라이버 회로로서의 TCP(Tape Carrier Package)를 기판에 TAB 탑재한다. ACF는 점착물질이기 때문에, 대지 테이프에 박리층을 거쳐 적층되어 있고, 이것에 의해 ACF 테이프를 구성하고 있다. 따라서, ACF 테이프를 기판에 가압하여 부착한 상태에서, 대지 테이프만을 박리하여, ACF를 기판에 부착하고 있다. In the case where the driver circuit is mounted on the liquid crystal panel by the TAB method, ACF is attached to a portion where the wiring pattern on the substrate of the liquid crystal panel is provided, and TAB is mounted on the substrate as a tape carrier package (TCP) as a driver circuit. Since ACF is an adhesive substance, it is laminated | stacked on the earth tape through a peeling layer, and this constitutes an ACF tape. Therefore, only the earth tape is peeled off and the ACF is attached to the substrate while the ACF tape is pressed against the substrate.

그런데, ACF가 기판에 대하여 확실하게 부착되어 있지 않은 상태에서 ACF 테이프로부터 대지 테이프를 박리하면, 대지 테이프에 끌리어 ACF가 기판으로부터 박리하는 경우가 있다. ACF는 대지 테이프의 박리층에 적층되어 있고, 대지 테이프와 ACF와의 사이에는 일정한 밀착력이 작용하고 있어, 대지 테이프의 박리시에, ACF는 대지 테이프와 함께 기판으로부터 박리되는 힘이 작용하여 ACF가 박리되는 경우가 있다. 또, ACF가 완전하게 박리되지 않는 경우에도, 일부에 떠오름이나 벗겨짐 등이 생겨, 전체로서 ACF의 부착 불량을 발생시키게 된다. 따라서, ACF 테이프를 기판에 가열ㆍ압착하였을 때에는, ACF의 전면이 확실하게 기판측으로 전이하고, 대지 테이프만을 확실하게 분리하여 박리해야 한다. By the way, when ACF is peeled from an ACF tape in the state which ACF is not adhered to a board | substrate reliably, it may be attracted to a mount tape and ACF may peel from a board | substrate. The ACF is laminated on the release layer of the earth tape, and a constant adhesive force is applied between the earth tape and the ACF. When the earth tape is peeled off, the ACF is exfoliated from the substrate together with the earth tape and the ACF peels. It may become. In addition, even when the ACF is not completely peeled off, the surface may be floated, peeled off, etc., resulting in poor adhesion of the ACF as a whole. Therefore, when the ACF tape is heated and pressed onto the substrate, the entire surface of the ACF must be reliably transferred to the substrate side, and only the earth tape must be separated and peeled off reliably.

ACF와 기판과의 접착 강도를 높이기 위하여, ACF와 기판과의 계면(界面)을 냉각하고 있는 기술이 특허문헌 1에 개시되어 있다. 특허문헌 1에서는, ACF를 가열하여 기판측에 전착(轉着)시킨 후에, ACF를 냉각시켜 ACF를 기판에 대하여 부착하고 있다. ACF를 가열 후에 충분하게 냉각되지 않고 단시간에 ACF를 박리하였을 때에 기판으로부터 ACF가 박리하기 때문에, ACF를 열압착한 후에 강제적으로 ACF와 기판과의 계면을 냉각시켜 접착 강도를 높이고 있다. In order to raise the adhesive strength of an ACF and a board | substrate, the technique which cools the interface of an ACF and a board | substrate is disclosed by patent document 1. As shown in FIG. In patent document 1, after ACF is heated and electrodeposited to the board | substrate side, ACF is cooled and ACF is stuck to a board | substrate. Since the ACF peels from the substrate when the ACF is peeled off in a short time without being sufficiently cooled after heating, the interface between the ACF and the substrate is forcibly cooled after the thermal bonding of the ACF to increase the adhesive strength.

[특허문헌 1][Patent Document 1]

일본국 특개평11-242446호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-242446

그런데, 특허문헌 1에서는, ACF를 기판에 확실하게 부착하기 위하여, 가열 공정과 냉각 공정의 두 가지의 공정을 행하고 있다. 따라서, 두 가지의 공정을 필요로 하게 되기 때문에, ACF의 부착 공정이 복잡화하고, 처리의 신속화를 도모할 수 없게 된다. 또, 각각의 공정을 행하기 위하여 별개 독립의 구성이 필요하기 때문에, 기구의 복잡화나 고비용화라는 문제도 초래한다. By the way, in patent document 1, in order to attach | attach ACF to a board | substrate reliably, two processes, a heating process and a cooling process, are performed. Therefore, since two steps are required, the ACF attachment step becomes complicated and the processing can not be speeded up. Moreover, since a separate independent structure is required to perform each process, the problem of complicated mechanism and high cost also arises.

여기서, ACF로서는, 일반적으로 핫멜트 타입의 바인더 수지가 적합하게 사용되고 있다. 핫멜트 타입의 바인더 수지는, 상온에서는 고점도 상태(고형 내지는 반 고형에 가까운 상태)를 유지하고 있고, 바인더 수지에 대하여 가열함으로써 용융상태로 하여, 피착체에 젖어 퍼진다. 용융하여 젖어 퍼진 바인더 수지는 점착성을 가지고 있어, 물체 사이를 점착력에 의해 접합시키는 힘이 작용한다. 따라서, 핫멜트 타입의 바인더 수지는, 가열 용융한 시점에서 점착력을 발휘한다. Here, as ACF, generally hot melt type binder resin is used suitably. The hot-melt type binder resin maintains a high viscosity state (solid state or near solid state) at normal temperature, is heated to binder resin, and melted and spreads on the adherend. The melted and wet binder resin has adhesiveness, and a force to bond objects to each other by adhesive force acts. Therefore, the hot-melt type binder resin exhibits adhesive force at the time of heat melting.

따라서, ACF의 바인더 수지에 대하여 어느 온도로까지 가열을 행함으로써, 일정한 점착력이 작용하여 ACF와 기판과의 사이에는 밀착력이 작용하기 때문에, 바인더 수지가 용융되었을 때에 발휘하는 점착력을, 대지 테이프를 박리할 때의 힘보다도 강력하게 할 수 있으면, 대지 테이프의 박리시에 ACF를 기판측으로 전이시킬 수 있다. 즉, 특별한 냉각 공정을 필요로 하지 않고, ACF를 기판에 확실하게 부착할 수 있다. Therefore, by heating to a certain temperature with respect to the binder resin of ACF, since a certain adhesive force acts and the adhesive force acts between ACF and a board | substrate, the adhesive tape exerts when the binder resin melts, and peels off the earth tape If it can be made stronger than the force at the time of carrying out, ACF can be transferred to the board | substrate side at the time of peeling of a mount tape. In other words, the ACF can be reliably attached to the substrate without requiring a special cooling step.

그래서, 본 발명은, 공정이나 기구의 복잡화, 고비용화를 회피하면서, 대지 테이프를 박리할 때에 ACF를 확실하게 기판에 대하여 부착하는 것을 목적으로 한다. Then, an object of this invention is to attach | attach ACF to a board | substrate reliably when peeling a board | substrate tape, avoiding complicated process and expensive cost of a process and a mechanism.

본 발명의 청구항 1의 ACF 부착 장치는, 기판의 표면에 대하여, 대지 테이프의 박리층을 거쳐 ACF를 유지시킨 ACF 테이프를 상기 기판의 표면에 가압시키는 가압수단과, 상기 기판의 이면을 맞닿게 하여 상기 기판을 수평상태로 지지하는 기판 받이 수단과, 상기 가압수단보다도 높은 온도이고, ACF가 열경화되지 않을 온도가 되도록, 상기 기판 받이 수단을 가열하는 받이측 가열수단을 가지는 것을 특징으로 한다. The apparatus for attaching an ACF of claim 1 of the present invention comprises contacting the back surface of the substrate with pressurizing means for pressing the ACF tape holding the ACF to the surface of the substrate via the release layer of the earth tape against the surface of the substrate. And substrate receiving means for supporting the substrate in a horizontal state, and receiving side heating means for heating the substrate receiving means so as to have a temperature higher than that of the pressurizing means and at a temperature at which the ACF is not thermally cured.

ACF를 기판에 부착하는 데 있어서는, ACF를 가열하여 용융 또는 적어도 연화시켜 기판과의 밀착성을 높이기 위하여, ACF를 가열하여 압착한다. ACF는 대지 테이프의 박리층에 적층되어 있기 때문에, ACF와 대지 테이프와의 밀착성은 약하게 되어 있고, ACF를 가열하여 압착하면, 통상은, 기판에 ACF를 부착하여, 대지 테이프를 박리할 수 있다. 그러나, ACF의 기판에 대한 부착과 대지 테이프로부터의 박리를 더욱 확실한 것으로 하기 위하여, 청구항 1의 ACF 부착 장치에서는, 가압수단보다도 높은 온도에서 기판 받이 수단을 가열하는 받이측 가열수단을 설치하고 있다. 이것에 의해, ACF의 대지 테이프에 적층되는 면(가압측 맞닿음면 : 가압수단에 의해 가압되는 측의 면)보다 기판에 맞닿아 있는 면(받이측 맞닿음면)의 온도가 높아져, 온도 구배(勾配)를 가지게 할 수 있다. 이 온도 구배에 의하여, ACF의 받이측 맞닿음면의 점착력을 가압측 맞닿음면의 점착력보다도 높게 할 수 있다. 또 한, ACF의 가압측 맞닿음면은 대지 테이프의 박리층에 적층되어 있기 때문에, 박리하기 쉽고, ACF를 기판에 대하여 확실하게 전이시킬 수 있다. 그리고, 냉각 처리 등의 특별한 처리를 필요로 하지 않기 때문에, 공정이나 기구의 복잡화, 고비용화를 회피할 수 있다. In adhering the ACF to the substrate, the ACF is heated and compressed in order to heat and melt or at least soften the ACF to enhance adhesion to the substrate. Since ACF is laminated | stacked on the peeling layer of a mount tape, adhesiveness of an ACF and a mount tape becomes weak, and when ACF is heated and crimped | bonded, ACF can be attached to a board | substrate and peeling a mount tape normally. However, in order to make the adhesion of the ACF to the substrate and the peeling from the earth tape more reliable, the ACF attachment device of claim 1 is provided with receiving side heating means for heating the substrate receiving means at a higher temperature than the pressing means. Thereby, the temperature of the surface (receiving side contact surface) which contacts the board | substrate becomes higher than the surface (pressure side contact surface: surface of the side pressurized by a press means) laminated | stacked on the earth tape of ACF, and the temperature gradient You can have (勾 配). By this temperature gradient, the adhesive force of the receiving side contact surface of ACF can be made higher than the adhesive force of the pressure side contact surface. Moreover, since the pressing side contact surface of ACF is laminated | stacked on the peeling layer of the earth tape, it is easy to peel and can transfer ACF to a board | substrate reliably. In addition, since no special treatment such as cooling treatment is required, the complexity and cost of the process and the mechanism can be avoided.

받이측 가열수단의 온도는, ACF가 열경화되지 않을 온도로 할 필요가 있다. ACF의 부착 단계는, 드라이버 회로의 접속 단계 전에 행하기 때문에, 이 단계에서 ACF의 바인더 수지가 열경화하면, 그것에 분산되어 있는 도전입자가 열경화한 바인더 수지에 덮여, 기판과 드라이버 회로와의 사이에서 전기적인 접속에 기여하지 않게 될 가능성이 있다. 단, ACF가 열경화되지 않을 온도이면 되고, 예를 들면 단시간에 기판을 가열하는 경우 등은, 받이측 가열수단의 온도를 ACF의 열경화 온도 내지는 그 근방 온도에까지 가열하여도 된다. The temperature of the receiving side heating means needs to be a temperature at which the ACF is not thermally cured. Since the ACF attaching step is performed before the connecting step of the driver circuit, if the binder resin of the ACF is thermoset at this stage, the conductive particles dispersed therein are covered with the thermosetting binder resin and the substrate and the driver circuit are separated. There is a possibility that it will not contribute to the electrical connection at. However, what is necessary is just the temperature which ACF will not thermoset, for example, when heating a board | substrate in a short time etc., you may heat the temperature of a receiving side heating means to the thermosetting temperature of ACF or its vicinity.

본 발명의 청구항 2의 ACF 부착 장치는, 청구항 1에 기재된 부착 장치에서, 상기 가압수단이 상온 이상의 온도가 되도록, 상기 가압수단을 가열하는 가압측 가열수단을 가지는 것을 특징으로 한다. The ACF attachment device of claim 2 of the present invention is characterized in that the attachment device according to claim 1 has a pressing side heating means for heating the pressing means such that the pressing means has a temperature equal to or higher than room temperature.

청구항 2의 ACF 부착 장치에 의하면, 가압측 가열수단이 가압수단을 가열함으로써, 가압수단의 온도도 높아진다. 가압수단이 저온상태인 경우, ACF의 열이 가압수단측에 흡수되어 ACF의 온도가 저하한다. 또, 처리의 신속화를 도모하기 위해서는, ACF를 신속하게 용융상태로 해야하기 때문에, 가압수단에도 열을 가지게 함으로써, 신속하게 ACF를 용융상태로 할 수 있다. 단, ACF의 가압측 맞닿음면과 받이측 맞닿음면과의 사이에 온도 구배를 가지게 하기 위하여, 가압측 가열수단은 그 렇게 높지 않은 온도(상온보다도 약간 높은 온도가 바람직하다)에서 가열을 행하도록 한다. According to the ACF attachment device of claim 2, the pressure side heating means heats the pressure means, so that the temperature of the pressure means also increases. When the pressurizing means is in a low temperature state, heat of the ACF is absorbed by the pressurizing means and the temperature of the ACF is lowered. In addition, in order to speed up the process, the ACF must be quickly melted, so that the pressurizing means can also be heated to quickly melt the ACF. However, in order to have a temperature gradient between the pressing side contact surface and the receiving side contact surface of the ACF, the pressing side heating means performs heating at a temperature not so high (preferably slightly higher than normal temperature). Do it.

본 발명의 청구항 3의 ACF 부착 장치는, 청구항 1에 기재된 ACF 부착 장치에서, 상기 기판 상에는 복수의 전극군(電極群)을 형성하고, ACF 테이프를 공급하는 공급 릴과, 이 공급 릴로부터 송출되는 ACF 테이프에 유지되는 ACF를 상기 기판의 각각의 전극군에 대한 부착 길이 분량마다 절단하는 하프컷 수단을 설치하고, 상기 가압수단을, 적어도 각각의 전극군에 대한 ACF의 부착 길이 분량을 가지도록 구성하여, 상기 기판의 전극군마다 ACF를 개별적으로 부착하도록 한 것을 특징으로 한다. In the ACF attachment device of Claim 1, the ACF attachment device of Claim 3 forms a plurality of electrode groups on the said board | substrate, and supplies it from the supply reel which supplies an ACF tape, and is sent out from this supply reel. A half cut means for cutting the ACF held by the ACF tape for each of the electrode length groups of the substrate is provided, and the pressing means is configured to have an adhesion length amount of the ACF for at least each electrode group. The ACF is individually attached to each electrode group of the substrate.

ACF를 기판에 부착하는 방법으로서는, 기판의 한 변에서의 전체 길이에 미치는 ACF를 한번에 부착하는 일괄 부착이 주류이지만, 청구항 3의 ACF 부착 장치와 같이 전극군마다 분할하여 개별적으로 ACF를 부착하는 분할 부착을 행할 수도 있다. 기판에 형성되는 미소 피치의 전극은, 드라이버 회로마다 기설정된 수의 전극이 하나의 그룹으로서의 군을 구성하고 있고, 각 전극군은, 인접하는 전극군과의 사이에 공백 영역이 형성되어 있다. 공백 영역에는 ACF를 부착할 필요가 없기 때문에, 불필요한 공백 영역에 ACF가 부착되지 않는 분할 부착을 채용함으로써, 재료에 낭비가 생기는 것을 방지하고, 또 공백 영역에 ACF를 구성하는 점착성 수지와 도전입자가 노출함으로써, 드라이버 회로를 탑재한 후의 처리나 가공에 의하여 단점이 발생하는 것을 회피할 수 있다. As a method of attaching the ACF to the substrate, the bulk attachment for attaching the ACF to the entire length of one side of the substrate at a time is mainstream, but the division for dividing the ACF separately by dividing the electrode groups separately as in the ACF attachment apparatus of claim 3 It can also be attached. In the fine pitch electrode formed on the substrate, a predetermined number of electrodes constitute a group as a group for each driver circuit, and each electrode group has a blank region formed between adjacent electrode groups. Since there is no need to attach the ACF to the blank area, by adopting split adhesion where the ACF is not attached to the unnecessary blank area, waste material is prevented from occurring, and the adhesive resin and the conductive particles constituting the ACF are formed in the blank area. By exposing, it can avoid that a disadvantage arises by the process and the process after mounting a driver circuit.

분할 부착의 경우, 대지 테이프를 끌어올리도록 동작시켜, 대지 테이프로부 터 ACF를 문질러 끊도록 하여 박리를 행한다. 이 때문에, 대지 테이프를 박리할때에, ACF에는 기판으로부터 박리하고자 하는 힘의 작용이 커진다. 이 때문에, 받이측 가열수단에 의해 기판을 가열하여, ACF의 받이측 맞닿음면의 점착력을 강력하게 함으로써, ACF를 확실하게 기판에 부착한 상태에서, 대지 테이프를 박리할 수 있다. In the case of the divided attachment, it is operated to pull up the earth tape, and the peeling is performed by rubbing the ACF from the earth tape. For this reason, the action of the force to peel from a board | substrate becomes large in ACF at the time of peeling a mount tape. For this reason, a board | substrate can be peeled in the state which affixed ACF to a board | substrate reliably by heating a board | substrate by receiving side heating means and making the adhesive force of the receiving side contact surface of ACF strong.

본 발명의 청구항 4의 ACF 부착 장치는, 청구항 3에 기재된 ACF 부착 장치에서, 상기 기판 받이 수단을, 적어도 각각의 전극군에 대한 ACF의 부착 길이 분량을 가지도록 구성하여, 상기 가압수단과 대향하도록 하고, 상기 가압수단에 대하여 근접ㆍ이간하는 방향으로 독립하여 승강 동작을 행하도록 상기 기판 받이 수단을 구동하는 받이측 승강 구동수단을 설치한 것을 특징으로 한다.The ACF attachment device according to claim 4 of the present invention is the ACF attachment device according to claim 3, wherein the substrate receiving means is configured to have an attachment length of the ACF to at least each electrode group so as to face the pressing means. And a receiving side elevating driving means for driving the substrate receiving means so as to perform the elevating operation independently in the direction of approaching and separating from the pressing means.

청구항 4의 ACF 부착 장치에 의하면, 기판 받이 수단의 길이를 1매의 ACF 부착 길이 분량 정도로 하여, 기판 받이 수단을 승강 동작시키도록 하고 있다. 따라서, 기판 받이 수단과 가압수단과의 양자의 승강 동작에 의해 ACF를 압착함으로써, 대략 전면에 걸쳐 균일한 가압력을 작용시킬 수 있다. 이것에 의해, 접착 불량이 생기는 것을 회피할 수 있다는 효과를 가진다.According to the ACF attachment apparatus of Claim 4, the board | substrate receiving means is made to raise and lower the length of the board | substrate receiving means about one ACF attachment length. Therefore, by pressing the ACF by the lifting operation of both the substrate receiving means and the pressing means, it is possible to apply a uniform pressing force over the entire front surface. This has the effect of avoiding the occurrence of adhesion failure.

본 발명의 청구항 5의 ACF 부착 장치는, 상기 기판 받이 수단을, 상기 기판의 전체 길이에 미치는 길이를 가지도록 또한 고정한 상태가 되도록 구성한 것을 특징으로 한다. The ACF attachment apparatus of Claim 5 is comprised so that the said board | substrate receiving means may be in the fixed state so that it may have a length which affects the full length of the said board | substrate. It is characterized by the above-mentioned.

청구항 5의 ACF 부착 장치에 의하면, 기판 받이 수단의 길이를 기판의 전체 길이에 미치는 길이로 하고, 기판 받이 수단은 고정한 상태로 한다. 이 때문에, 승 강 동작을 행하는 것은 가압수단만이 되고, 기판 받이 수단은 기판에 상시 맞닿게 한 상태로 할 수 있다. 따라서, 가압수단에 의해 압착할 때에는, 이미 기판은 가열된 상태로 되어 있기 때문에, ACF의 받이측 맞닿음면의 온도를 신속하게 고온상태로 할 수 있다. 이것에 의해, 처리의 효율화를 도모할 수 있다. 또, 기판과 기판 받이 수단은 항상 맞닿은 상태로 되어 있기 때문에, 기판의 온도 분포를 균일하게 할 수 있다. 따라서, 안정적인 온도 관리를 행할 수도 있다.According to the ACF attachment apparatus of Claim 5, the length of a board | substrate receiving means is made into the length which extends to the full length of a board | substrate, and a board | substrate receiving means is fixed. For this reason, only the pressing means performs the lifting operation, and the substrate receiving means can be brought into contact with the substrate at all times. Therefore, when pressing by the pressing means, since the substrate is already in a heated state, the temperature of the receiving side contact surface of the ACF can be quickly brought to a high temperature state. Thereby, the efficiency of a process can be aimed at. Moreover, since the board | substrate and the board | substrate receiving means are always in contact with each other, the temperature distribution of a board | substrate can be made uniform. Therefore, stable temperature management can also be performed.

본 발명의 청구항 6의 플랫 패널 디스플레이의 제조장치는, 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 기재된 ACF 부착 장치를 가지고 있다. 또, 본 발명의 청구항 7의 플랫 패널 디스플레이는, 청구항 6에 기재된 플랫 패널 디스플레이의 제조장치에 의해 제조되어 있다. ACF 부착 장치는 플랫 패널 디스플레이의 제조장치에 적용할 수 있고, 플랫 패널 디스플레이는 액정 디스플레이나 플라즈마 디스플레이, 유기 EL 디스플레이 등에 적용할 수 있다. The manufacturing apparatus of the flat panel display of Claim 6 of this invention has the ACF attachment apparatus in any one of Claims 1-5. Moreover, the flat panel display of Claim 7 of this invention is manufactured by the manufacturing apparatus of the flat panel display of Claim 6. The ACF attachment device can be applied to an apparatus for manufacturing flat panel displays, and the flat panel display can be applied to liquid crystal displays, plasma displays, organic EL displays, and the like.

본 발명은, 받이측 가열수단을 설치함으로써 기판을 가열하여, 기판과 맞닿는 ACF의 받이측 맞닿음면을 가열함으로써, 기판과 ACF와의 사이의 점착력을 높게 하고 있다. 이것에 의해, 냉각 공정이나 냉각 기구를 필요로 하지 않고, 대지 테이프의 박리시에 확실하게 ACF를 기판에 부착할 수 있다. In this invention, the board | substrate is heated by providing a receiving side heating means, and the adhesive force between a board | substrate and ACF is made high by heating the receiving side contact surface of ACF which contact | connects a board | substrate. Thereby, ACF can be reliably attached to a board | substrate at the time of peeling of a mount tape, without requiring a cooling process or a cooling mechanism.

이하, 도면에 의거하여 본 발명의 실시형태에 대하여 설명한다. 먼저, 도 1에 ACF가 부착되는 기판의 일례로서 액정 패널을 나타내고, 또 ACF를 거쳐 탑재되 는 반도체 회로 장치의 일례로서, 기판에 TAB 탑재되는 TCP로 이루어지는 드라이버 회로를 나타낸다. 또한, 기판은 액정 패널을 구성하는 것뿐 아니라, 다른 디스플레이용 기판이나, 기타 각종 인쇄 회로 기판으로 할 수 있고, 또 기판에 탑재되는 것은 드라이버 회로에 한정하지 않고, ACF를 거쳐 전기적으로 접속되는 것이면 된다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described based on drawing. First, a liquid crystal panel is shown as an example of the board | substrate with ACF shown in FIG. 1, and the driver circuit which consists of TCP mounted TAB on a board | substrate is shown as an example of the semiconductor circuit apparatus mounted via ACF. In addition, the substrate may not only constitute a liquid crystal panel, but also may be other display substrates or other various printed circuit boards, and the substrate mounted on the substrate is not limited to a driver circuit, but is electrically connected through an ACF. do.

도 1에서, 1은 액정 패널이고, 이 액정 패널(1)은, 모두 유리 박판으로 이루어지는 하기판(下基板)(2)과 상기판(上基板)(3)으로 구성되고, 양 기판(2, 3) 사이에는 액정이 봉입되어 있다. 하기판(2)은, 그 적어도 두 변에서, 상기판(3)으로부터 기설정된 폭만큼 돌출되어 있고, 이 돌출부(2a)에 필름기판(4a)에 집적 회로 소자(4b)를 장착한 드라이버 회로(4)가 복수매 탑재된다. In FIG. 1, 1 is a liquid crystal panel, and this liquid crystal panel 1 is comprised from the base board 2 and the said board | plate 3 which consist of glass thin plates, and both board | substrates 2 And 3) are filled with a liquid crystal. The driver board which protrudes from the said board 3 by the predetermined width in at least two sides, and has the integrated circuit element 4b attached to the film board 4a in the protrusion part 2a at least in the 2nd board | substrate. A plurality of (4) are mounted.

하기판(2)의 돌출부(2a)에는, 양 기판(2, 3)이 서로 겹쳐진 부위에 형성되어 있는 TFT(Thin Film Transistor)에 각각 접속한 배선에 접속한 기설정된 수의 전극이 설치되어 있고, 이들 전극은, 도면 중에 부호 5로 나타낸 바와 같이, 드라이버 회로(4)의 탑재부마다 기설정된 수의 전극이 군으로서 형성되어 있다. 그리고, 각 전극군(5)의 좌우 양측에는 얼라인먼트 마크(6a, 6a)가 형성되어 있다. 따라서, 서로 인접하는 전극군(5, 5) 사이에는 기설정된 폭을 가지는 공백 영역이 형성되어 있다. 한편, 드라이버 회로(4)에는, 이들 전극군(5)을 구성하는 각 전극과 전기적으로 접속되는 복수의 전극이 설치되어 있고, 전극군(5)과 접속되는 전극군은 부호 7로 나타내고 있다. 또, 드라이버 회로(4)에도 전극군(7)의 좌우 양측에 얼라인먼트 마크(6b, 6b)가 형성되어 있고, 드라이버 회로(4)가 액정 패널(1)에 탑재될 때에는, 이들 얼라인먼트 마크을 기준으로 하여 전극군(7)을 구성하는 각 전극과 전 극군(5)을 구성하는 각 전극이 일치하도록 위치 조정이 이루어진다. The projecting portion 2a of the lower substrate 2 is provided with a predetermined number of electrodes connected to wirings respectively connected to TFTs (Thin Film Transistors) formed at portions where the substrates 2 and 3 overlap each other. In these electrodes, as indicated by reference numeral 5 in the figure, a predetermined number of electrodes are formed as a group for each mounting portion of the driver circuit 4. And alignment marks 6a and 6a are formed in the left and right both sides of each electrode group 5. Therefore, a blank area having a predetermined width is formed between the electrode groups 5 and 5 adjacent to each other. On the other hand, the driver circuit 4 is provided with the some electrode electrically connected with each electrode which comprises these electrode groups 5, and the electrode group connected with the electrode group 5 is shown with the code | symbol 7. As shown in FIG. Moreover, in the driver circuit 4, alignment marks 6b and 6b are formed on both left and right sides of the electrode group 7, and when the driver circuit 4 is mounted on the liquid crystal panel 1, these alignment marks are referred to as a reference. Position adjustment is performed so that each electrode which comprises the electrode group 7 and each electrode which comprises the electrode group 5 correspond.

드라이버 회로(4)는 ACF(8)를 거쳐 액정 패널(1)에 탑재된다. ACF(8)는, 주지하는 바와 같이, 접착 기능을 가지는 바인더 수지에 미소한 도전입자를 다수 분산시킨 것이고, 드라이버 회로(4)와 액정 패널(1)과의 사이에서 ACF(8)를 가열 및 가압함으로써, 도전입자를 거쳐 전극군(5)을 구성하는 각 전극과 전극군(7)을 구성하는 각 전극이 전기적으로 도통(導通) 상태가 되고, 또한 바인더 수지가 열경화함으로써, 드라이버 회로(4)를 액정 패널(1)에 고착시키게 된다. 여기서, ACF(8)는 하기판(2)의 돌출부(2a)에 설치한 전극군(5)의 위치마다 분할되고, 길이(L) 분량마다 부착된다. 이것에 의해, ACF(8)를 낭비 없이 사용할 수 있고, 또한 부착된 ACF(8)는 대략 완전하게 드라이버 회로(4)에 의해 덮이게 된다. The driver circuit 4 is mounted on the liquid crystal panel 1 via the ACF 8. As is well known, the ACF 8 is obtained by dispersing a large number of minute conductive particles in a binder resin having an adhesive function, and heating and heating the ACF 8 between the driver circuit 4 and the liquid crystal panel 1. By pressurizing, each electrode constituting the electrode group 5 and the electrodes constituting the electrode group 7 are electrically conductive through the conductive particles, and the binder resin is thermally cured. 4) is fixed to the liquid crystal panel 1. Here, the ACF 8 is divided for each position of the electrode group 5 provided in the protruding portion 2a of the base plate 2, and is attached for each length L amount. Thereby, the ACF 8 can be used without waste, and the attached ACF 8 is almost completely covered by the driver circuit 4.

도 2 내지 도 4에 하기판(2)의 돌출부(2a)에 ACF(8)를 부착하기 위한 부착기구의 개략 구성을 나타낸다. 이들 도면에서, 9는 액정 패널(1)을 수평상태로 유지하는 지지 기초대이다. 액정 패널(1)은, 예를 들면 진공 흡착 수단에 의하여, 이 지지 기초대(9) 상에서 안정적으로 유지되도록 하고 있다. 여기서, 지지 기초대(9)에는 액정 패널(1)이 넓은 면적에서 맞닿아 있지만, ACF(8)가 부착되는 하기판(2)의 돌출부(2a)의 하부 위치는 개방되어 있다. 여기서, 지지 기초대(9)에는, 드라이버 회로(4)와의 얼라인먼트 등을 위하여, X, Y, θ 방향으로의 위치 조정 수단을 설치할 수 있다. 2 to 4 show a schematic configuration of an attachment mechanism for attaching the ACF 8 to the protrusion 2a of the base plate 2. In these figures, 9 is a support base for keeping the liquid crystal panel 1 in a horizontal state. The liquid crystal panel 1 is stably held on the support base 9 by, for example, vacuum suction means. Here, although the liquid crystal panel 1 abuts on the support base 9 in a large area, the lower position of the protrusion part 2a of the base board 2 to which the ACF 8 is attached is open. Here, the support base 9 can be provided with a position adjusting means in the X, Y, and θ directions for alignment with the driver circuit 4 or the like.

또, 10은 ACF(8)의 액정 패널(1)에 대한 부착 유닛이고, 이 부착 유닛(10)은 연직 방향으로 설치한 판체(板體)로 구성되고, 공급 릴(11)이 착탈 가능하게 장착 되어 있다. ACF(8)는 대지 테이프(12)의 박리층 상에 적층되어 ACF 테이프(13)를 구성하고, 이 ACF 테이프(13)가 공급 릴(11)에 권회(卷回)되어 있다. ACF 테이프(13)는, 부착 유닛(10)에 장착한 롤러(14∼17)로 이루어지는 주행경로를 따라 주행 가이드된다. 또한, 18은 구동용 롤러이고, ACF(8)를 액정 패널(1)에 부착한 후의 대지 테이프(12)를 끼워 유지하여, 배출부(19)에 보내도록 구동된다. In addition, 10 is an attachment unit with respect to the liquid crystal panel 1 of the ACF 8, This attachment unit 10 is comprised from the board body provided in the perpendicular direction, and the supply reel 11 is detachable. It is equipped. The ACF 8 is laminated on the release layer of the earth tape 12 to constitute the ACF tape 13, and the ACF tape 13 is wound on the supply reel 11. The ACF tape 13 is guided along the travel route consisting of the rollers 14 to 17 attached to the attachment unit 10. In addition, 18 is a drive roller, and it drives so that the earth tape 12 after attaching the ACF 8 to the liquid crystal panel 1 may be hold | maintained and sent to the discharge part 19. FIG.

롤러(14, 15)는, ACF 테이프(13)의 피더용의 가이드 롤러이고, 가이드 롤러(15)는 스윙 암(20)에 장착되어 있으며, 이 스윙 암(20)은 회동축(21)을 중심으로 하여 요동하는 것이다. 회동축(21)에는 모터 등의 구동수단(도시 생략)이 접속되어 있고, 스윙 암(20)을 화살표(F) 방향으로 요동시키면, 공급 릴(11)로부터 적어도 1회의 부착 분량, 즉 도 1에 나타낸 길이(L) 분량의 ACF 테이프(13)가 송출되어, 롤러(14, 15) 사이에 공급된다. 그 결과, ACF 테이프(13)를 보낼 때에 작용하는 반력이 항상 일정하게 되어, 공급 릴(11)의 권회량의 차에 의해 이송력에 대한 저항이 변동되는 경우는 없다. The rollers 14 and 15 are guide rollers for a feeder of the ACF tape 13, and the guide rollers 15 are attached to the swing arm 20, which swings the pivot shaft 21. It is tossed around the center. Driving means (not shown), such as a motor, is connected to the rotational shaft 21, and when the swing arm 20 swings in the direction of an arrow F, at least one attachment amount from the supply reel 11, that is, FIG. The ACF tape 13 of length L shown by the figure is sent out, and is supplied between the rollers 14 and 15. FIG. As a result, the reaction force acting at the time of sending the ACF tape 13 is always constant, and the resistance to the conveying force does not change due to the difference in the winding amount of the supply reel 11.

롤러(16, 17)는, 도 5 및 도 6에도 나타낸 바와 같이, ACF 테이프(13)를, 그 주행경로에서, 수평 방향으로 가이드하고, ACF(8)의 액정 패널(1)에 대한 1회 분량의 부착 길이를 규정하는 수평 가이드 롤러이다. 수평 가이드 롤러(17)는 ACF(8)의 부착 시작단 위치를, 수평 가이드 롤러(16)는 ACF(8)의 부착 종단 위치를 규정하는 것으로, 이들에 의해 ACF(8)의 부착 영역이 설정된다. 이들 수평 가이드 롤러(16, 17)는, 도 6에서 분명하게 알 수 있는 바와 같이, 원통부(16a, 17a)의 양측부에 플랜지부(16b, 17b)를 형성한 것이고, 이 플랜지부(16b, 17b)의 원통부(16a, 17a)에 서 돌출하는 부위의 높이는 ACF 테이프(13)에서의 대지 테이프(12)의 두께 분량과 대략 동일하거나, 그것보다 약간 큰 치수로 되어 있다. 5 and 6, the rollers 16 and 17 guide the ACF tape 13 in the horizontal direction in the traveling path thereof, and once in the liquid crystal panel 1 of the ACF 8. It is a horizontal guide roller that defines the length of attachment. The horizontal guide roller 17 defines the attachment start position of the ACF 8, and the horizontal guide roller 16 defines the attachment end position of the ACF 8, whereby the attachment region of the ACF 8 is set. do. These horizontal guide rollers 16 and 17 form flange parts 16b and 17b in the both side parts of the cylindrical parts 16a and 17a, as is evident from FIG. 6, and this flange part 16b The height of the portion protruding from the cylindrical portions 16a, 17a of 17b is approximately equal to, or slightly larger than, the thickness of the earth tape 12 on the ACF tape 13.

따라서, 수평 가이드 롤러(16, 17) 사이에서 ACF(8)가 액정 패널(1)에 부착되고, 그 후에 대지 테이프(12)로부터 분리된다. 그리고, 수평 가이드 롤러(17)보다 하류측의 위치에서, ACF(8)가 박리된 후의 대지 테이프(12)가 회수된다. 수평 가이드 롤러(16, 17)에 의해 구획되어 있는 ACF(8)의 부착 영역보다 하류측의 위치에 구동용 롤러(18)가 설치되어 있다. 구동용 롤러(18)는 구동 롤러(18a)와 핀치 롤러(18b)로 구성되고, 대지 테이프(12)는 이들 구동 롤러(18a)와 핀치 롤러(18b)의 사이에 끼워 유지된다. 구동 롤러(18a)를 회전 구동함으로써, ACF 테이프(12)를 길이(L) 분량마다 피치 이송된다. Thus, the ACF 8 is attached to the liquid crystal panel 1 between the horizontal guide rollers 16 and 17, and then separated from the mounting tape 12. FIG. And at the position downstream from the horizontal guide roller 17, the mounting tape 12 after ACF 8 peels is collect | recovered. The driving roller 18 is provided at a position downstream from the attachment region of the ACF 8 partitioned by the horizontal guide rollers 16 and 17. The drive roller 18 is comprised by the drive roller 18a and the pinch roller 18b, and the mount tape 12 is pinched | interposed and held between these drive roller 18a and the pinch roller 18b. By rotationally driving the drive roller 18a, the ACF tape 12 is pitch-feeded every length L amount.

도 3에서 분명한 바와 같이, 부착 유닛(10)은 승강 구동부(22)에 장착되고, 이 승강 구동부(22)는 전후동 구동부(23)에 장착되며, 또한 전후동 구동부(23)는 반송수단을 구성하는 평행동 구동부(24)에 장착되어 있다. 이들 기구에 의하여, ACF 테이프(13)의 배선 경로에서의 수평 가이드 롤러(16-17) 사이(도 2 참조)에 의해 규정되는 ACF(8)의 부착 영역을 상하 방향, 즉 Z축 방향과, 수평면에서 X축 방향[전극군(5)의 줄과 직교하는 방향]과 Y축 방향[전극군(5)의 줄 방향]으로 이동 가능하게 되어 있다. 한편, 액정 패널(1)은 지지 기초대(9) 상에 진공 흡착에 의해 고정적으로 유지되고 있다. As is apparent from FIG. 3, the attachment unit 10 is mounted to the lift drive unit 22, and the lift drive unit 22 is mounted to the front-rear drive unit 23, and the front-rear drive unit 23 carries the conveying means. It is attached to the parallel copper drive part 24 which comprises. By these mechanisms, the attachment region of the ACF 8 defined by the horizontal guide rollers 16-17 (see Fig. 2) in the wiring path of the ACF tape 13 is moved up and down, that is, in the Z-axis direction, It is movable in the X-axis direction (direction perpendicular to the string of the electrode group 5) and the Y-axis direction (row direction of the electrode group 5) in the horizontal plane. On the other hand, the liquid crystal panel 1 is fixedly held by the vacuum suction on the support base 9.

여기서, 수평 가이드 롤러(16-17) 사이의 ACF 테이프(13)와 하기판(2)에서의 전극군(5)과의 상대 위치를 조정할 필요가 있지만, 전후동 구동부(23)는, 부착 영 역을 액정 패널(1)에 대하여 근접ㆍ이간하는 방향으로 이동시키는 것이고, 평행동 구동부(24)는 액정 패널(1)에서의 전극군(5)의 줄 방향과 평행한 방향, 즉 Y축 방향으로 부착 영역을 이동시키는 것이기 때문에, 부착 유닛(10)측에서 위치 조정할 수 있지만, 상기한 바와 같이, 지지 기초대(9)에 X, Y, θ 방향으로의 위치 조정 수단을 설치하고 있는 경우에는, 이 지지 기초대(9)측에서 ACF 테이프(13)에 대하여 얼라인먼트할 수도 있다. Here, although it is necessary to adjust the relative position of the ACF tape 13 between the horizontal guide rollers 16-17, and the electrode group 5 in the base board 2, the front-back drive part 23 is affixed zero. The reverse direction is moved in a direction in which the liquid crystal panel 1 is close to and separated from the liquid crystal panel 1, and the parallel copper driving unit 24 is a direction parallel to the row direction of the electrode group 5 in the liquid crystal panel 1, that is, the Y axis direction. Since the attachment area is moved in the above manner, the position can be adjusted on the attachment unit 10 side. However, as described above, when the position adjustment means in the X, Y, and θ directions is provided on the support base 9 It can also be aligned with respect to the ACF tape 13 at this support base 9 side.

승강 구동부(22)는, 경사 블록(30)과, 이 경사 블록(30)을 전후 방향으로 이동시키기 위하여, 실린더(31)를 가지는 것이다. 또, 부착 유닛(10)에는 경사 블록(30)의 경사면에 걸어 맞추는 슬라이드 부재(32)가 연결되어 있고, 이 슬라이드 부재(32)는 경사 블록(30)과 일치하는 경사면을 가지는 것이고, 규제로드(33)에 의하여 상하 방향 이외로는 변위할 수 없는 구성으로 되어 있다. 따라서, 실린더(31)를 구동함으로써, 부착 유닛(10)이 상하 방향으로 변위하게 된다. 여기서, 실린더(31) 대신 모터를 사용할 수도 있다. The lift drive unit 22 includes the inclined block 30 and a cylinder 31 to move the inclined block 30 in the front-back direction. Moreover, the slide unit 32 which engages with the inclined surface of the inclined block 30 is connected to the attachment unit 10, This slide member 32 has the inclined surface matching with the inclined block 30, and is a regulation rod. By (33), it is the structure which cannot be displaced except an up-down direction. Accordingly, by driving the cylinder 31, the attachment unit 10 is displaced in the vertical direction. Here, a motor may be used instead of the cylinder 31.

다음에, 전후동 구동부(23)는, 경사 블록(30)을 장착한 대좌(臺座)(34)를 전후 이동시키기 위한 것이고, 이 대좌(34)의 왕복운동은 실린더, 모터 등으로 이루어지는 구동수단(35)에 의해 행하여진다. 그리고, 평행동 구동부(24)는, 대좌(34) 및 그 구동수단(35)을 장착한 반송대(36)를 가지는 것이고, 반송대(36)는 볼 나사 이송수단을 구성하는 볼 나사(37)를 모터(38)로 회전 구동함으로써, 부착 유닛(10)을 액정 패널(1)에서의 전극군(5)의 배열 방향과 평행하게 이동 가능하게 되어 있다. Next, the front-rear drive unit 23 is for moving the pedestal 34 on which the inclined block 30 is mounted, and the reciprocating motion of the pedestal 34 is a drive made of a cylinder, a motor, or the like. By the means 35. And the parallel drive part 24 has the conveyance base 36 which mounted the base 34 and the drive means 35, The conveyance base 36 has the ball screw 37 which comprises a ball screw feed means. By rotationally driving with the motor 38, the attachment unit 10 can be moved in parallel with the arrangement direction of the electrode group 5 in the liquid crystal panel 1.

부착 유닛(10)에 장착한 ACF 테이프(12)의 주행경로에서, 도 8에 나타낸 바와 같이, 수평 가이드 롤러(16)의 위치보다 약간 하류측의 위치에 하프컷 수단(40)이 설치되어 있고, 이 하프컷 수단(40)은 부착 유닛(10)의 표면에 대하여 전후 방향으로 왕복 이동 가능하게 장착되어 있다. 이 하프컷 수단(40)은 도 7에 나타낸 바와 같이, 커터(41)와 커터 받이(42)를 구비하고, 커터(41)는, 도 7에 화살표로 나타낸 바와 같이, 축(43)을 중심으로 하여 커터 받이(42)에 근접ㆍ이간하는 방향으로 회동 가능하게 되어 있다. 그리고, 보통은 커터(41)에 작용하는 스프링(44)의 부세력(付勢力)에 의해 커터 받이(42)에서 이간된 상태로 유지되어 있고, 실린더(45)에 설치한 압동(押動) 롤러(46)에 의하여, 스프링(44)에 저항하는 방향으로 커터(41)를 압동하여, 커터 받이(42)에 근접하는 방향으로 요동 변위시키게 되어 있다. 그리고, 커터(41)가 커터 받이(42)에 가장 근접한 위치에서는, 그 사이에 ACF 테이프(13)의 대지 테이프(12)의 두께와 동일하거나, 그것보다 약간 짧은 간격이 형성되게 된다. 이것에 의해, ACF(8)만이 하프컷된다. In the traveling path of the ACF tape 12 attached to the attachment unit 10, as shown in FIG. 8, the half cut means 40 is provided in the position slightly downstream from the position of the horizontal guide roller 16, This half-cut means 40 is attached to the surface of the attachment unit 10 so as to reciprocate in the front-rear direction. This half cut means 40 is provided with the cutter 41 and the cutter base 42 as shown in FIG. 7, and the cutter 41 centered on the axis 43 as shown by the arrow in FIG. It is possible to rotate in the direction close to and away from the cutter base 42. And, normally, it is maintained in the state separated from the cutter base 42 by the biasing force of the spring 44 which acts on the cutter 41, and the pressurization provided in the cylinder 45 was carried out. The roller 46 presses the cutter 41 in a direction that resists the spring 44, and causes a swing displacement in a direction close to the cutter receiver 42. At the position where the cutter 41 is closest to the cutter receiver 42, an interval equal to or slightly shorter than the thickness of the earth tape 12 of the ACF tape 13 is formed therebetween. As a result, only the ACF 8 is half-cut.

또한 , ACF(8)를 하기판(2)에서의 돌출부(2a)에 부착하기 위하여, ACF 테이프(13)는, 수평 가이드 롤러(16, 17) 사이의 위치에서, 하기판(2)의 표면에 기설정된 가압력에 의해 압착된다. 이 때문에, 부착 유닛(10)에는, 도 8 및 도 9에 나타낸 바와 같이, 압착 헤드(50)가 설치되어 있다. 여기서, 액정 패널(1)은 지지 기초대(9) 상에 탑재되어 있지만, 그 하기판(2)의 돌출부(2a)는 지지 기초대(9)로부터 밀려나와 있고, 압착 헤드(50)는, 이 밀려나온 부위를 상하로부터 끼워 유지하는 구성으로 되어 있다. In addition, in order to attach the ACF 8 to the protruding portion 2a of the base plate 2, the ACF tape 13 is formed on the surface of the base plate 2 at a position between the horizontal guide rollers 16 and 17. It is crimped by the preset pressing force. For this reason, as shown to FIG. 8 and FIG. 9, the crimping head 50 is provided in the attachment unit 10. FIG. Here, although the liquid crystal panel 1 is mounted on the support base 9, the protrusion part 2a of the base board 2 is pushed out from the support base 9, and the crimping head 50 is This pushed-out part is clamped from above and below.

압착 헤드(50)는 가압수단으로서의 가압날(51)과 기판 받이 수단으로서의 받이날(52)로 구성되어 있는 것이고, 이들 가압날(51) 및 받이날(52)은, 각각 승강 블록(53, 54)에 설치되어 있고, 이들 승강 블록(53, 54)은, 부착 유닛(10)에 설치한 한 쌍의 가이드 레일(55)을 따라 상하 방향으로 변위 가능하게 장착되어 있다. 이들 가압날(51)과 받이날(52)은 액정 패널(1)을 사이에 두고 상하로 배치되어 있고, 동일한 길이로 형성되어 있다. 가압날(51)은, 또한 수평 가이드 롤러(16, 17) 사이에 가이드되어 수평 방향으로 주행하는 ACF 테이프(13)보다 위쪽 위치에 배치되어 있다. 또한, 승강 블록(53, 54)은 공통의 가이드 레일(55)을 승강 동작하게 되어 있지만, 각각의 승강 블록(53, 54)에 대응하는 독립의 가이드 레일을 설치하도록 하여도 된다. The press head 50 is comprised from the press blade 51 as a press means, and the receiving blade 52 as a board | substrate receiving means, These press blades 51 and the receiving blade 52 are the lifting blocks 53, respectively. 54, and these elevating blocks 53 and 54 are attached to the up-down direction along the pair of guide rails 55 provided in the attachment unit 10 so that displacement is possible. These press blades 51 and receiving blades 52 are arranged up and down with the liquid crystal panel 1 interposed therebetween, and are formed in the same length. The press blade 51 is further disposed at a position above the ACF tape 13 which is guided between the horizontal guide rollers 16 and 17 and travels in the horizontal direction. In addition, although the elevating blocks 53 and 54 are made to elevate the common guide rail 55, you may make it provide the independent guide rail corresponding to each elevating block 53 and 54. As shown in FIG.

받이날(52)을 장착한 승강 블록(54)은, 실린더(56)에 의해 기설정된 스트로크 승강 동작이 이루어진다. 즉, 실린더(56)를 축소 상태로 하면, 받이날(52)이 하강하여, 액정 패널(1)로부터 이간된 아래쪽의 위치에 배치되게 되어, 실린더(56)를 신장시키면, 받이날(52)은 액정 패널(1)의 하면에 맞닿는다. 한편, 가압날(51)을 장착한 승강 블록(53)에는, 가압수단(57)이 연결하여 설치되어 있다. 도시한 가압수단(57)은, 모터로 구동되는 이송나사(57a)를 가지는 것으로, 이른바 잭을 구성하고 있다. 이 가압수단(57)은, 가압날(51)에 연결하여 설치한 승강 블록(53)을 가이드 레일(55)을 따라 상하 이동시켜, 받이날(52) 상에 받아들이게 하고 있는 액정 패널(1)을 위쪽에서 기설정된 가압력을 작용시키는 것이다. 그리고, 가압날(51)과 받이날(52)은 정확하게 평행도를 유지하도록 구성하고 있다. 또, 받이날(52)을 지 지하는 실린더(56)는, 적어도 상승 스트로크단 위치에서는, 가압수단(57)에 의해 작용하는 가압력으로 함부로 움직이지 않고, 신장상태에서 유지할 수 있는 압력이 도입된다. The lifting block 54 on which the receiving blade 52 is mounted is subjected to a stroke lifting operation predetermined by the cylinder 56. That is, when the cylinder 56 is in a reduced state, the receiving blade 52 is lowered and disposed at a lower position separated from the liquid crystal panel 1. When the cylinder 56 is extended, the receiving blade 52 is extended. Is in contact with the lower surface of the liquid crystal panel 1. On the other hand, the pressurizing means 57 is attached to the lifting block 53 on which the press blade 51 is attached. The illustrated pressurizing means 57 has a feed screw 57a driven by a motor, and constitutes a so-called jack. The pressurizing means 57 moves the lifting block 53, which is connected to the pressing blade 51 and installed up and down along the guide rail 55, to be received on the receiving blade 52. Is to apply a predetermined pressing force from the top. And the press blade 51 and the receiving blade 52 are comprised so that exact parallelism may be maintained. In addition, the cylinder 56 supporting the receiving blade 52 has a pressure that can be maintained in the extended state without introducing the cylinder 56 at an upward stroke end position by the pressing force acting by the pressing means 57. .

압착 헤드(50)를 구성하는 가압날(51)과 받이날(52)과의 양쪽에, 각각 가압측 가열수단으로서의 가압측 히터(51H)와 받이측 가열수단으로서의 받이측 히터(52H)를 내장하고 있다. 가압측 히터(51H)의 열에 의하여 가압날(51)이 가열되고, 받이측 히터(52H)의 열에 의하여, 받이날(52)이 가열되는 상태가 된다. 받이측 히터(52H)의 가열 온도는 가압측 히터(51H)의 가열 온도보다도 높게 설정한다. 이 때문에, 받이날(52)은 가압날(51)보다도 고온상태가 된다. 가압측 히터(51H)와 받이측 히터(52H)는 열원이고, 예를 들면 도시 생략한 전력 공급원으로부터의 전력을 열에너지로 변환하여 발열을 하도록 한다. The pressurizing side 51 and the receiving side heater 52H serving as the receiving side heating means are incorporated in both the pressing blade 51 and the receiving blade 52 constituting the crimping head 50, respectively. Doing. The presser blade 51 is heated by the heat of the pressurized heater 51H, and the receiver blade 52 is heated by the heat of the receiver-side heater 52H. The heating temperature of the receiving side heater 52H is set higher than the heating temperature of the pressurizing side heater 51H. For this reason, the receiving blade 52 is at a higher temperature than the press blade 51. The pressurized side heater 51H and the receiving side heater 52H are heat sources, and for example, electric power from a power supply source (not shown) is converted into thermal energy to generate heat.

따라서, 가열된 가압날(51)과 받이날(52)에 의해 상하 방향에서 ACF 테이프(13)를 액정 패널(1)에 열압착한다. 받이측 히터(52H)가 가열하는 온도는, ACF(8)가 열경화되지 않을 정도의 온도가 되도록 설정한다. 따라서, 그렇게 높은 온도로 설정하지 않고, ACF(8)의 바인더 수지가 용융하여 점착력을 발휘하는 정도의 온도(예를 들면, 140℃ 전후)로 설정하도록 한다. 한편, 가압측 히터(51H)가 가열하는 온도는 받이측 히터(52H)가 가열하는 온도보다도 저온이고, 가열된 ACF(8)의 온도를 저하시키지 않을 정도의 온도(예를 들면, 50℃ 전후)로 설정하도록 한다. 그리고, 압착 헤드(50)를 구성하는 가압날(51) 및 받이날(52)은, ACF 테이프(13)의 폭을 충분하게 커버할 수 있는 폭 치수를 가지고, 또한 길이 방향의 치수 는 적어도 ACF(8)의 부착 길이(L)를 가지는 것으로 한다. Therefore, the ACF tape 13 is thermocompression-bonded to the liquid crystal panel 1 in the vertical direction by the heated press blade 51 and the receiving blade 52. The temperature which the receiving side heater 52H heats is set so that it may become the temperature which ACF8 does not thermoset. Therefore, the temperature is not set at such a high temperature but is set at a temperature (for example, around 140 ° C) at which the binder resin of the ACF 8 melts and exhibits adhesive force. On the other hand, the temperature at which the pressurized side heater 51H heats is lower than the temperature at which the receiving side heater 52H heats, and the temperature at which the temperature of the heated ACF 8 is not lowered (for example, around 50 ° C). Set to). And the press blade 51 and the receiving blade 52 which comprise the crimping head 50 have the width dimension which can fully cover the width of the ACF tape 13, and the dimension of a longitudinal direction is at least ACF It shall have an attachment length L of (8).

이상과 같이, 부착 유닛(10)에는, 공급 릴(11)과, 이 공급 릴(11)로부터 공급되는 ACF 테이프(13)의 주행경로, 하프컷 수단(40) 및 압착 헤드(50)가 장착되어 있다. 이 ACF 부착 장치에 의하여, 액정 패널(1)의 하기판(2)에서의 돌출부(2a)에 기설정된 수가 형성되어 있는 전극군(5)에 드라이버 회로(4)를 TAB 탑재하기 위하여 필요한 ACF(8)가 부착된다.As described above, the attachment unit 10 is equipped with a supply reel 11, a traveling path of the ACF tape 13 supplied from the supply reel 11, a half cut means 40, and a crimping head 50. It is. By this ACF attachment device, the ACF required for mounting the driver circuit 4 on the electrode group 5 in which a predetermined number is formed in the protrusion 2a on the base plate 2 of the liquid crystal panel 1 ( 8) is attached.

그렇게 하여, 지지 기초대(9) 상에는 ACF(8)가 부착되는 액정 패널(1)이 기설정된 위치에 수평상태로 배치되어 흡착 유지되고 있다. 이 상태에서는, 액정 패널(1)의 하기판(2)에서, 도 4에 나타낸 돌출부(2a)가 지지 기초대(9)로부터 돌출되어 있고, 이 돌출부(2a)에 기설정된 매수의 드라이버 회로(4)가 탑재된다. 이 때문에, 볼 나사(37)에 의해 부착기구가 장착되어 있는 부착 유닛(10)이 도 1에 나타낸 피치 간격(P) 마다 화살표 방향으로 피치 이송이 이루어진다. Thus, on the support base 9, the liquid crystal panel 1 to which the ACF 8 is affixed is arrange | positioned in the horizontal position at the predetermined position, and it is hold | maintained and held. In this state, the projecting portion 2a shown in FIG. 4 protrudes from the support base 9 on the base plate 2 of the liquid crystal panel 1, and the number of driver circuits preset in the projecting portion 2a ( 4) is mounted. For this reason, the pitch feed is performed by the ball screw 37 in the direction of an arrow for every pitch interval P shown in FIG.

액정 패널(1)에 길이(L) 분량의 ACF(8)가 순차 부착되지만, 이 때문에 평행동 구동부(24)를 구성하는 반송대(36)가 구동되어, 부착 유닛(10)이 기설정된 부착 영역에 변위시킨다. 이때에는, 도 8 및 도 9에 화살표로 나타낸 바와 같이, 승강 구동부(22)에 의해 부착 유닛(10)을 상승 위치에 유지한다. 압착 헤드(50)를 구성하는 가압날(51)은 상승 위치에, 받이날(52)은 하강 위치에 유지한다. 이것에 의해, 이들 가압날(51) 및 받이날(52)은 액정 패널(1)과는 비접촉 상태로 유지되어, 부착 유닛(10)의 이동이 원활하게 행하여지고, 액정 패널(1)에 손상을 주는 등의 사태가 발생하는 경우는 없다. 또, ACF 테이프(13)가 액정 패널(1)로부터 이간함으 로써, 하프컷 수단(40)을 부착 유닛(10)의 표면에서 앞쪽으로 돌출시켜도, 액정 패널(1)과 간섭하는 경우는 없다. 따라서, ACF 테이프(13)의 하프컷이 행하여진다. 이 하프컷을 행함으로써, ACF 테이프(13)의 하프컷된 위치가 부착 종단 위치가 되고, 전회 ACF(8)를 부착한 끝부가 부착 시작단 위치이다. 즉, 수평 가이드 롤러(17)는 부착 시작단 위치에, 또 수평 가이드 롤러(16)는 부착 종단 위치에 배치되어 있다. Although the ACF 8 of length L is attached to the liquid crystal panel 1 one by one, for this reason, the conveyance base 36 which comprises the parallel motion drive part 24 is driven, and the attachment area | region 10 with which the attachment unit 10 was preset. Displace in At this time, as shown by the arrow in FIG. 8 and FIG. 9, the attachment unit 10 is held in the raised position by the lift drive unit 22. The presser blade 51 which comprises the crimping head 50 is hold | maintained in a raise position, and the receiving blade 52 is kept in a lowered position. As a result, these pressing blades 51 and the receiving blades 52 are held in a non-contact state with the liquid crystal panel 1, so that the attachment unit 10 is smoothly moved, and the liquid crystal panel 1 is damaged. There is no such thing as giving. In addition, since the ACF tape 13 is separated from the liquid crystal panel 1, the half cut means 40 does not interfere with the liquid crystal panel 1 even when the half cut means 40 protrudes forward from the surface of the attachment unit 10. Therefore, the half cut of the ACF tape 13 is performed. By performing this half cut, the half-cut position of the ACF tape 13 becomes an attachment end position, and the edge part which attached the ACF 8 last time is an attachment start end position. That is, the horizontal guide roller 17 is arrange | positioned at the attachment start end position, and the horizontal guide roller 16 is arrange | positioned at the attachment end position.

그 후, 하프컷 수단(40)을 퇴피시킨 후에, 도 10, 도 11에 화살표로 나타낸 바와 같이, 승강 구동부(22)에 의해 부착 유닛(10)을 하강시켜, ACF 테이프(13) 중, 수평 가이드 롤러(16, 17) 사이의 부위를 액정 패널(1)의 하기판(2)의 표면에 근접한 위치에 배치한다. 그 후에, 실린더(56)를 작동시켜, 승강 블록(54)을 상승시켜, 도 12, 도 13에 나타낸 바와 같이, 받이날(52)을 액정 패널(1)의 이면에 맞닿게 한다. 받이날(52)을 액정 패널(1)의 이면에 맞닿게 하면, 받이측 히터(52H)에 의해 받이날(52)이 가열되어 있기 때문에, 받이날(52)을 하기판(2)에 맞닿게 한 시점에서, 얇은 유리판으로 이루어지는 하기판(2)은 가열되어 고온상태가 된다. Thereafter, after the half cut means 40 is evacuated, the lifting unit 22 lowers the attachment unit 10 as indicated by the arrows in FIGS. 10 and 11, and is horizontal in the ACF tape 13. The site | part between the guide rollers 16 and 17 is arrange | positioned in the position near the surface of the base board 2 of the liquid crystal panel 1. Thereafter, the cylinder 56 is operated to raise and lower the lifting block 54 to bring the receiving blade 52 into contact with the rear surface of the liquid crystal panel 1 as shown in FIGS. 12 and 13. When the receiving blade 52 is brought into contact with the rear surface of the liquid crystal panel 1, the receiving blade 52 is heated by the receiving heater 52H, so that the receiving blade 52 is fitted to the lower substrate 2. At the point of contact, the base plate 2 made of a thin glass plate is heated to a high temperature state.

여기서는, 받이날(52)은 액정 패널(1)의 전체 길이에 미치는 것은 아니고, 1회의 동작으로 ACF(8)가 부착되는 영역에 대응하는 위치에 한정된다. 이어서, 도 14, 도 15에 화살표로 나타낸 바와 같이, 가압수단(57)을 작동시킴으로써, 가압날(51)을 하강시켜, ACF 테이프(13)의 대지 테이프(12)를 압동함으로써, ACF(8)를하기판(2)에 압착시킨다. Here, the receiving blade 52 does not affect the entire length of the liquid crystal panel 1, but is limited to a position corresponding to an area to which the ACF 8 is attached in one operation. Subsequently, as shown by the arrows in FIGS. 14 and 15, the pressing means 57 is operated to lower the pressing blade 51 and press the earth tape 12 of the ACF tape 13 to press the ACF 8. ) Is pressed onto the substrate (2).

가압날(51)이 ACF 테이프(13)를 압동할 때에는, 가압날(51)과 ACF 테이 프(13)가 접촉상태가 되지만, 가압날(51)은 가압측 히터(51H)에 의해 가열되어 어느 정도 가열된 상태로 되어 있기 때문에, 대지 테이프(12)의 박리층에도 열이 전달된다. 대지 테이프(12)의 종류에 따라서는, 박리층에 열을 부여함으로써 대지 테이프(12)의 박리층으로부터 ACF(8)가 박리하기 쉽게 되는 것도 있다. 이 때문에, 대지 테이프(12)의 박리층에 열이 부여되어, ACF(8)와 대지 테이프(12)와의 밀착력은 약화되어 용이하게 박리 가능한 상태가 된다. When the pressure blade 51 presses the ACF tape 13, the pressure blade 51 and the ACF tape 13 come into contact, but the pressure blade 51 is heated by the pressure side heater 51H. Since it is in the state heated to some extent, heat is transmitted also to the peeling layer of the earth tape 12. FIG. Depending on the type of mounting tape 12, the ACF 8 may be easily peeled from the peeling layer of the mounting tape 12 by applying heat to the release layer. For this reason, heat is given to the peeling layer of the mount tape 12, and the adhesive force of the ACF 8 and the mount tape 12 is weakened, and it becomes a state which can be peeled easily.

그리고, 이 상태에서, 가압날(51)에 의해 ACF 테이프(13)가 하기판(2)에 압착된다. 하기판(2)은 받이측 히터(52H)의 가열에 의해 고온상태로 되어 있기 때문에, ACF(8)에 열이 전달되어 용융되기 시작한다. 이때, ACF(8)는 얇은 필름이고 기설정된 두께를 가지고 있기 때문에, ACF(8)의 받이측 맞닿음면[ACF(8)의 하기판(2)과의 맞닿음면]에서 서서히 용융되고, 받이측 맞닿음면측이 더욱 고온이고, 가압측 맞닿음면측[ACF(8)의 대지 테이프(12)에 적층되어 있는 면]이 더욱 저온이 되는 온도 구배를 생성한다. 이 면이 용융되어 가면, 바인더 수지의 점도가 저하하여, 하기판(2)으로 젖어 퍼짐과 동시에 점착력을 발휘한다. 그렇게 하면, ACF(8)와 하기판(2)과의 사이에는 점착력이 작용하여, 양자는 밀착상태가 된다. And in this state, the ACF tape 13 is crimped | bonded to the base board 2 by the press blade 51. As shown in FIG. Since the lower plate 2 is in a high temperature state by heating the receiving heater 52H, heat is transferred to the ACF 8 and starts to melt. At this time, since the ACF 8 is a thin film and has a predetermined thickness, the ACF 8 is gradually melted at the receiving side contact surface of the ACF 8 (abutment surface of the ACF 8 with the substrate 2). The receiving side abutting surface side is higher in temperature, and the pressure side abutting surface side (the surface laminated on the earth tape 12 of the ACF 8) generates a temperature gradient at which the temperature is lower. As this surface melts, the viscosity of the binder resin decreases, soaks into the base plate 2 and at the same time exerts an adhesive force. In this case, the adhesive force acts between the ACF 8 and the lower substrate 2, so that both are in close contact.

한편, 가압날(51)도 가압측 히터(51H)에 의해 가열되어 있기 때문에, ACF(8)의 가압측 맞닿음면에도 열이 전달된다. 그러나, 가압측 히터(51H)는 ACF(8)의 온도를 저하시키지 않도록 할 정도의 낮은 온도에서 가열을 행하고 있기 때문에, ACF(8)의 가압측 맞닿음면에 열이 전달되어도, 이 면은 그렇게 용융되지 않는다. 따라서, ACF(8)의 대지 테이프(12)와의 사이에 작용하는 점착력은 작다. 반대로, 박리층을 가열함으로써, 용이하게 박리하기 쉽도록 되어 있다. On the other hand, since the press blade 51 is also heated by the pressurized side heater 51H, heat is transmitted also to the pressurized side abutting surface of the ACF8. However, since the pressure side heater 51H is heating at a temperature low enough not to lower the temperature of the ACF 8, even if heat is transmitted to the pressure side contact surface of the ACF 8, this surface is maintained. It does not melt so much. Therefore, the adhesive force which acts between the ACF 8 and the mounting tape 12 is small. On the contrary, it is easy to peel easily by heating a peeling layer.

가압날(51)에 의해 액정 패널(1)에 기설정된 가압력을 작용시키기 위하여, 가압수단(57)을 구성하는 이송나사(57a)를 구동한다. 여기서, 액정 패널(1)의 하기판(2)은 얇은 유리판으로 구성되어, 어느 정도의 변형이 허용되고, 또한 동일 길이로, 정확하게 평행도가 유지되어 있는 가압날(51)과 받이날(52)과의 사이에 끼워 유지된다. 따라서, 이렇게 끼워 유지할 때에는, 액정 패널(1) 중의 끼워 유지하는 부위는 이들 가압날(51)과 받이날(52)로 이루어지는 압착 헤드(50)를 모방하게 된다. 그리고, 가압날(51)도, 또 받이날(52)도 실질적으로 ACF 테이프(13)의 부착 시작단 위치로부터 종단위치까지의 부위에 한정되어 있기 때문에, ACF 테이프(13)에는 가압날(51)에 대한 맞닿음부 전체에 균등한 가압력이 작용하게 되고, 또한 ACF(8)가 존재하는 하프컷된 부착 종단 위치보다 기초끝측에는 가압력이 작용하는 경우는 없다. In order to apply the predetermined pressing force to the liquid crystal panel 1 by the pressing blade 51, the feed screw 57a constituting the pressing means 57 is driven. Here, the base plate 2 of the liquid crystal panel 1 is composed of a thin glass plate, and the pressing blade 51 and the receiving blade 52, which are allowed to be deformed to a certain degree and have the same length and exactly parallelity, are maintained. It is kept sandwiched between. Therefore, when hold | maintaining in this way, the site | part held in the liquid crystal panel 1 will mimic the crimping head 50 which consists of these press blade 51 and the receiving blade 52. As shown in FIG. In addition, since both the press blade 51 and the receiving blade 52 are substantially limited to a portion from the attachment start end position to the end position of the ACF tape 13, the press blade 51 is attached to the ACF tape 13. Evenly, the pressing force is applied to the entire abutting portion against the), and the pressing force is not applied to the base end side than the half-cut attachment end position where the ACF 8 is present.

ACF(8)가 하기판(2)에 압착되면, 압착 헤드(50)에 의한 ACF 테이프(13)에 대하는 가압력을 해제한다. 이어서, 실린더(56)를 구동하여, 받이날(52)을 하강 위치로 변위시킨다. 그 후에, 승강 구동부(22)를 상승시키지만, 이 때에 도 16에 화살표로 나타낸 바와 같이, 승강 구동부(22)와 함께 전후동 구동부(23)를 구동하여, ACF 테이프(12)의 폭 방향에 대하여 비스듬하게 위쪽으로 끌어올리도록 동작시키면, 대지 테이프(12)는 ACF(8)로부터 문질러 끊기도록 하여 박리된다. When the ACF 8 is pressed against the base plate 2, the pressing force against the ACF tape 13 by the crimping head 50 is released. Next, the cylinder 56 is driven to displace the receiving blade 52 to the lowered position. Thereafter, the lift drive unit 22 is raised, but at this time, as shown by the arrow in FIG. 16, the front and rear drive unit 23 is driven together with the lift drive unit 22 to the width direction of the ACF tape 12. When operated to be pulled upward at an angle, the earth tape 12 is peeled off by being rubbed off from the ACF 8.

ACF(8)의 분할 부착을 행할 때에는, ACF(8)를 문질러 끊기도록 하여 박리를 행하고 있기 때문에, 대지 테이프(12)에 끌리어 ACF(8)에는 하기판(2)으로부터 박 리되는 힘[대지 테이프(12)와 함께 비스듬하게 위쪽으로 끌어올려지는 힘]이 크게 작용한다. 그러나, 이때의 ACF(8)의 상태로서는, 받이측 맞닿음면은 하기판(2)에 점착력에 의해 밀착한 상태가 되고, 가압측 맞닿음면은 대지 테이프(12)로부터 박리하기 쉬운 상태로 되어 있기 때문에, ACF(8)는 확실하게 하기판(2)에 부착한 상태가 된다. When the ACF 8 is separated, the ACF 8 is rubbed off and peeled off. Therefore, the ACF 8 is attracted to the earth tape 12 and the force peeled off from the base plate 2 [ The force pulled upwards obliquely with the earth tape 12 greatly acts. However, as a state of ACF 8 at this time, the receiving side contact surface is in a state of being in close contact with the base plate 2 by adhesive force, and the pressing side contacting surface is in a state of being easy to peel off from the earth tape 12. As a result, the ACF 8 is securely attached to the base plate 2.

이상에 의하여, 하기판(2)의 돌출부(2a)에서의 하나의 전극군(5)에 대하여 ACF(8)의 부착이 완료된다. 부착 유닛(10)을 상승시킨 위치에 유지하여, 구동용 롤러(18)를 작동시켜, 공급 릴(11)에서 ACF 테이프(13)를 인출하여 1 피치 분량만큼 보낸다. 그리고, 평행동 구동부(24)를 작동시켜, 부착 유닛(10)을 1 피치 분량, 즉 도 1에 간격 P로 나타낸 분량만큼 이동시킨다. 그리고, 액정 패널(1)을 유지하는 기판 지지대(9)는 움직이지 않는다. 이 상태에서, 상기와 동일한 동작을 반복함으로써, 순차 전극군(5)에 대한 ACF(8)의 부착이 행하여진다. By the above, attachment of the ACF 8 is completed with respect to one electrode group 5 in the protrusion part 2a of the base board 2. The attachment unit 10 is held at the raised position, the driving roller 18 is operated, and the ACF tape 13 is taken out from the supply reel 11 and sent by one pitch amount. Then, the parallel copper drive unit 24 is operated to move the attachment unit 10 by one pitch amount, that is, by the amount indicated by the interval P in FIG. And the substrate support 9 which holds the liquid crystal panel 1 does not move. In this state, the ACF 8 is attached to the electrode group 5 sequentially by repeating the same operation as described above.

여기서, 가압날(51)과 받이날(52)은, 각각 승강 블록(53, 54)에 의해 승강 구동되는 것을 채용하고 있다. 따라서, 이들 승강 블록(53, 54)은 부착 유닛(10)에 설치한 가이드 레일(55)을 따라 상하 이동하여, 가압날(51)과 받이날(52)이 항상 평행도를 정확하게 유지한 상태에서 하기판(2)을 상하로부터 끼워 유지한다. 액정 패널(1)에 전극군(5)이 n 군데 형성되어 있는 경우, 최초의 ACF(8)의 부착 위치로부터 최종 ACF(8)의 부착 위치까지 거리(nㆍP)만큼이나 이간되어 있지만, 모두 대략 동일한 조건에서 ACF(8)가 압착된다. 따라서, 작은 사이즈의 것은 물론, 대형의 액정 패널(1)이어도, 모든 전극군(5)에 대하여 ACF(8)를 균등한 가압력에 의해 부 착할 수 있고, 압착 불량을 일으키는 경우는 없다. 또한, 양 승강 블록(53, 54)을 동일 가이드 레일(55)에 가이드 시키도록 하고 있지만, 반드시 가이드 레일(55)을 공용시킬 필요는 없다. Here, the presser blade 51 and the receiving blade 52 employ | adopt a lift drive by the lifting block 53, 54, respectively. Therefore, these lifting blocks 53 and 54 move up and down along the guide rail 55 provided in the attachment unit 10, and the press blade 51 and the receiving blade 52 always maintain the parallel degree correctly. The lower plate 2 is sandwiched and held from above. In the case where n electrode groups 5 are formed in the liquid crystal panel 1, the distance from the position where the first ACF 8 is attached to the position where the final ACF 8 is attached is as much as the distance n · P. The ACF 8 is compressed under approximately the same conditions. Therefore, even in the case of a large size liquid crystal panel 1 as well as a small size, the ACF 8 can be attached to all the electrode groups 5 by an equal pressing force, and no crimping failure occurs. In addition, although it is made to guide both lifting blocks 53 and 54 to the same guide rail 55, it is not necessarily necessary to share the guide rail 55.

한편, 도 17에 나타내는 바와 같이, 받이날(152)을 지지 기초대(9)에 설치하여, 받이날(152)을 지지 기초대(9)와 같은 높이 위치에 배치하여, 하기판(2)의 전체 길이에 미치는 길이를 가지게 하도록 구성할 수도 있다. 그리고, 받이날(152)의 전체 길이에 미치도록 받이측 히터(152H)를 설치하도록 한다. 이 경우에는, 액정 패널(1)을 지지 기초대(9)에 탑재하고 있는 동안은 항상 가열된 상태가 되고, 가압날(51)만이 승강 동작을 행하게 된다. 받이날(152)을 이와 같이 구성함으로써, 안정적인 온도 관리와 처리의 신속화가 도모된다. On the other hand, as shown in FIG. 17, the receiving blade 152 is attached to the support base 9, the receiving blade 152 is arrange | positioned at the same height position as the support base 9, and the base board 2 It can also be configured to have a length that affects the entire length of. Then, the receiving side heater 152H is provided so as to extend to the entire length of the receiving blade 152. In this case, while the liquid crystal panel 1 is mounted on the support base 9, it is always in a heated state, and only the press blade 51 performs the lifting operation. By configuring the receiving blade 152 in this manner, stable temperature management and speeding up of processing can be achieved.

즉, 받이날(152)은 고정되어 있기 때문에, 하기판(2)을 받이날(152)에 항상 맞닿게 한 상태로 할 수 있다. 받이날(152)은 받이측 히터(152H)에 의해 가열된 상태로 되어 있기 때문에, 받이날(152)에 항상 맞닿는 하기판(2)도 항상 가열된 상태로 되어 있다. 또한, 하기판(2)의 전체 길이에 미치는 길이를 받이날(152)은 가지고 있기 때문에, 전극군(5)이 형성되어 있는 하기판(2)의 부위는 전체 길이에 걸쳐 균일한 온도 분포로 가열되어 있게 된다. 이 때문에, 안정적인 온도 관리가 가능하게 된다. 또, 하기판(2)은 항상 가열된 상태이기 때문에, 하기판(2)을 가열하기 위한 시간이 필요로 하지 않게 된다. 따라서, 신속하게 ACF(8)의 부착을 행할 수 있기 때문에, 처리의 신속화에 이바지하게 된다. 따라서, 받이날(152)을 승강 동작하도록 설정할지, 또는 고정된 상태로 설정할지의 선택은, 목적에 따라서 임의로 선 택하는 것이 가능하다. That is, since the receiving blade 152 is fixed, the base plate 2 can be brought into contact with the receiving blade 152 at all times. Since the receiving blade 152 is heated by the receiving heater 152H, the base plate 2 which always comes into contact with the receiving blade 152 is also always in a heated state. In addition, since the receiving blade 152 has a length that affects the entire length of the lower substrate 2, the portion of the lower substrate 2, on which the electrode group 5 is formed, has a uniform temperature distribution over the entire length. It is heated. For this reason, stable temperature management is attained. In addition, since the lower plate 2 is always in a heated state, time for heating the lower plate 2 is not required. Therefore, the ACF 8 can be attached quickly, which contributes to speeding up the processing. Therefore, it is possible to arbitrarily select whether to set the receiving blade 152 to move up or down or to be fixed.

또, 상기에서는, ACF를 분할 부착하는 기구에 대하여 설명하여 왔으나, 일괄 부착을 행하는 기구에 대해서도 본 발명을 적용할 수 있다. 분할 부착의 경우는 ACF의 치수를 전극군 마다의 부착 길이 분량으로 하고 있지만, 일괄 부착의 경우는 하기판의 전체 길이에 미치는 길이 분량으로 하고 있다. 일괄 부착의 경우에서도, ACF를 대지 테이프로부터 박리할 필요가 있기 때문에, 대지 테이프의 박리시에 하기판으로부터 박리하는 힘이 ACF에 작용한다. 따라서, 받이측 히터에 의해 하기판을 가열한 상태로 함으로써, 하기판과 ACF와의 사이에 점착력을 작용시켜 양자를 밀착 상태로 하면, 일괄 부착의 경우이어도 ACF를 확실하게 하기판에 부착시킨 상태에서 대지 테이프를 박리할 수 있다. Moreover, in the above, the mechanism which divides and attaches ACF has been demonstrated, but this invention is applicable also to the mechanism which performs a batch attachment. In the case of split adhesion, the dimension of ACF is made into the length of adhesion for every electrode group, but in the case of package adhesion, it is made into the length of length which affects the full length of a base board. Also in the case of package attachment, since ACF needs to be peeled from a mount tape, the force which peels from a base board at the time of peeling of a mount tape acts on ACF. Therefore, when the base plate is heated by the receiving heater, when the adhesive force is applied between the base plate and the ACF to bring the two into close contact, the ACF is reliably attached to the base plate even in the case of batch attachment. The earth tape can be peeled off.

도 1은 ACF가 부착되는 기판으로서의 액정 셀과, 이 기판에 탑재되는 드라이버 회로를 나타내는 주요부 평면도이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a top view of the principal part which shows the liquid crystal cell as a board | substrate with ACF, and the driver circuit mounted on this board | substrate.

도 2는 ACF 부착기의 개략 구성을 나타내는 정면도, 2 is a front view showing a schematic configuration of an ACF attaching machine;

도 3은 도 2의 좌측면도,3 is a left side view of FIG. 2;

도 4는 도 2의 평면도,4 is a plan view of FIG.

도 5는 수평 이송 롤러의 구성 설명도,5 is a configuration explanatory diagram of a horizontal feed roller;

도 6는 수평 이송 롤러의 구성을 나타내는 측면도,6 is a side view showing the configuration of a horizontal feed roller;

도 7은 커터 유닛의 구성 설명도,7 is a configuration explanatory diagram of a cutter unit;

도 8은 ACF 테이프의 하프컷 상태를 나타내는 ACF 부착기의 주요부 확대 정면도,8 is an enlarged front view of an essential part of an ACF attaching machine showing a half cut state of an ACF tape;

도 9는 도 8의 좌측면도,9 is a left side view of FIG. 8;

도 10은 부착 유닛의 하강상태를 나타내는 ACF 부착기의 주요부 확대 정면도,10 is an enlarged front view of the main part of the ACF attaching machine showing the lowered state of the attaching unit;

도 11은 도 10의 좌측면도,11 is a left side view of FIG. 10;

도 12는 받이날의 상승상태를 나타내는 ACF 부착기의 주요부 확대 정면도,12 is an enlarged front view of the main part of the ACF attaching machine showing the raised state of the receiving blade;

도 13은 도 12의 좌측면도,FIG. 13 is a left side view of FIG. 12;

도 14는 ACF 테이프의 압착상태를 나타내는 ACF 부착기의 주요부 확대 정면도,14 is an enlarged front view of an essential part of an ACF attaching machine showing a compressed state of an ACF tape;

도 15는 도 14의 좌측면도,15 is a left side view of FIG. 14;

도 16은 ACF 테이프의 대지 테이프를 박리하고 있는 상태를 나타내는 설명도,Explanatory drawing which shows the state which peeled the earth tape of ACF tape,

도 17은 받이날의 다른 예를 나타내는 설명도이다. It is explanatory drawing which shows the other example of a receiving blade.

Claims (7)

기판의 표면에 대하여, 대지 테이프의 박리층을 거쳐 ACF를 유지시킨 ACF 테이프를 상기 기판의 표면에 가압시키는 가압수단과, Pressing means for pressing the ACF tape holding the ACF to the surface of the substrate, against the surface of the substrate via the release layer of the earth tape; 상기 기판의 이면을 맞닿게 하여 상기 기판을 수평상태로 지지하는 기판 받이 수단과, Substrate receiving means for supporting the substrate in a horizontal state by abutting the back surface of the substrate; 상기 가압수단보다도 높은 온도이고, ACF가 열경화하지 않는 온도가 되도록, 상기 기판 받이 수단을 가열하는 받이측 가열수단을 가지는 것을 특징으로 하는 ACF 부착 장치. And a receiving side heating means for heating the substrate receiving means so that the temperature is higher than the pressurizing means and the temperature at which the ACF is not thermally cured is provided. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 가압수단이 상온 이상의 온도가 되도록, 상기 가압수단을 가열하는 가압측 가열수단을 가지는 것을 특징으로 하는 ACF 부착 장치. And a pressurizing side heating means for heating the pressurizing means such that the pressurizing means has a temperature equal to or higher than room temperature. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 기판 상에는 복수의 전극군을 형성하고, Forming a plurality of electrode groups on the substrate, ACF 테이프를 공급하는 공급 릴과, 상기 공급 릴로부터 송출되는 ACF 테이프에 유지되는 ACF를 상기 기판의 각각의 전극군에 대한 부착 길이 분량마다 절단하는 하프컷 수단을 설치하고, A supply reel for supplying an ACF tape, and half cut means for cutting the ACF held in the ACF tape sent out from the supply reel for each attachment length of the electrode groups of the substrate, 상기 가압수단을, 적어도 각각의 전극군에 대한 ACF의 부착 길이 분량을 가 지도록 구성하여, The pressing means is configured to have a length of attachment of the ACF to at least each electrode group, 상기 기판의 전극군마다 ACF를 개별적으로 부착하도록 한 것을 특징으로 하는 ACF 부착 장치. ACF attachment device characterized in that the ACF is individually attached to each electrode group of the substrate. 제 3항에 있어서, The method of claim 3, wherein 상기 기판 받이 수단을, 적어도 각각의 전극군에 대한 ACF의 부착 길이 분량을 가지도록 구성하여, The substrate receiving means is configured to have an attachment length of ACF to at least each electrode group, 상기 가압수단과 대향하도록 하여, 상기 가압수단에 대하여 근접ㆍ이간하는 방향으로 독립하여 승강 동작을 행하도록 상기 기판 받이 수단을 구동하는 받이측승강 구동수단을 설치한 것을 특징으로 하는 ACF 부착 장치. And a receiving side elevating driving means for driving the substrate receiving means so as to face the pressing means so as to independently move in the direction close to and separated from the pressing means. 제 3항에 있어서, The method of claim 3, wherein 상기 기판 받이 수단을, 상기 기판의 전체 길이에 미치는 길이를 가지도록 또한 고정한 상태가 되도록 구성한 것을 특징으로 하는 ACF 부착 장치. The board | substrate receiving means was comprised so that it might be in the fixed state so that it may have a length which affects the full length of the said board | substrate, The ACF attachment apparatus characterized by the above-mentioned. 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 기재된 ACF 부착 장치를 가지는 것을 특징으로 하는 플랫 패널 디스플레이의 제조장치.The manufacturing apparatus of the flat panel display which has an ACF attachment apparatus as described in any one of Claims 1-5. 제 6항에 있어서, The method of claim 6, 플랫 패널 디스플레이의 제조장치에 의해 제조된 것을 특징으로 하는 플랫 패널 디스플레이. A flat panel display, which is manufactured by a manufacturing apparatus of a flat panel display.
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