KR20090013705A - 사이즈 가변 스테이지 및 액정 기판의 검사 장치 - Google Patents

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KR20090013705A
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오츠카 일렉트로닉스 가부시키가이샤
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Abstract

사이즈 가변 스테이지는 서로 평행하게 설치되어 서로 접근, 이격할 수 있는 베이스 프레임(BF11, BF21)과, 베이스 프레임(BF11, BF21) 사이에 걸쳐 있는 적어도 1개의 슬라이드 프레임(SF1)을 포함하고 있다. 연결 부재(C11, C21)는 베이스 프레임(BF11, BF21)의 세로로 긴 방향을 따라 슬라이드하는 슬라이드 기구와, 베이스 프레임(BF11, BF21)에 대한 슬라이드 프레임(SF1)의 각도를 변화시킬 수 있는 회전 기구가 설치되어 있다. 또한, 연결 부재(C11, C21)에는 슬라이드 프레임(SF1)을 상기 베이스 프레임(BF11, BF21)의 세로로 긴 방향과 직각인 수평 방향을 따라 슬라이드시킬 수 있는 보조 슬라이드 기구가 설치되어 있다.
베이스 프레임, 슬라이드 프레임, 회전 기구, 연결 부재, 보조 슬라이드 기구

Description

사이즈 가변 스테이지 및 액정 기판의 검사 장치 {SIZE VARIABLE STAGE AND INSPECTING APPARATUS OF LIQUID CRYSTAL SUBSTRATE}
본 발명은 슬라이드 프레임의 경사 배치에 의해 사이즈 다운 가능한 사이즈 가변 스테이지에 관한 것이다. 이 사이즈 가변 스테이지는 컬러 필터의 광학 특성, 액정 기판의 막 두께 등을 측정하는 액정 기판의 이동식 검사 장치 등에 적합하게 이용할 수 있다.
컬러 필터 기판, TFT 기판, 컬러 필터 기판과 TFT 기판을 접합한 기판(통합하여 「액정 기판」이라고 한다)은 최근 점점 더 대형화되고 있어, 예를 들어 최신 규격(G10)으로는 액정 기판의 사이즈는 약 3m×3m로 커지고 있다. 이 액정 기판을 매트릭스 형상으로, 원하는 수로 절취하여 각 절취된 편을 액정 표시 장치에 설치한다.
이러한 액정 기판의 성능 시험은 절취 전에 할 필요가 있다. 성능 시험을 행하는 검사 장치는 액정 기판을 지지하기 위해 프레임으로 구성한 스테이지와, 액정 기판에 광을 조사해서 그 투과광이나 반사광을 측정하는 광학 검사 헤드를 포함하는 것이다.
상기 검사 장치는 액정 기판의 검사지까지 반송할 필요가 있으나, 액정 기판의 대형화에 수반하여 검사 장치도 대형화되고 있다. 특히, 액정 기판을 지지하는 프레임은 차량에 탑재할 수 없을 만큼의 크기가 된다.
따라서, (1) 검사 장치를 부품 단위로 검사지까지 수송하여 검사지에서 최종 조립을 행하는 것을 생각할 수 있다. 이 방법은, 전체 동작 확인이나 성능 확인은 검사지에서 비로소 행하게 되기 때문에 문제가 있는 경우 부품을 다시 걷어와야 하므로 리스크가 크다. 또한 검사지에서의 조립 작업 공수가 증가하여 작업 효율이 나빠진다는 문제가 있다. 아울러, 제약이 많은 검사지에서 유닛을 취급하기 때문에 작업 안전면에도 문제가 있다.
또한, (2) 일단 전체 동작 확인이나 성능 확인된 것을 유닛 단위로 분할하여, 그들을 수송해서 검사지에서 복원하는 것도 생각할 수 있다. 그 방법도 바람직하지 않다.
따라서 바람직한 방법은, (3) 전체 동작 확인이나 성능 확인된 검사 장치를 그대로 검사지에 수송하는 것이다. 소형 사이즈의 액정 기판용의 검사 장치는, 이렇게 최종 조립까지 행해진 것을 검사지에 수송하고 있었다.
그런데, 대형화된 검사 장치가 되면 그대로 차량에도 탑재할 수 없을 만큼의 크기가 되므로 사이즈 다운 가능한 사이즈 가변 스테이지가 요망되고 있다.
따라서 본 발명은 프레임을 간단하게 절첩해서 운반할 수 있는 사이즈 가변 스테이지 및 액정 기판의 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 사이즈 가변 스테이지는 서로 평행하게 설치되어 서로 접근, 이격할 수 있는 제1, 제2 베이스 프레임과, 상기 제1, 제2 베이스 프레임 사이에 걸쳐 있는 적어도 1개의 슬라이드 프레임과, 상기 제1 베이스 프레임과 상기 슬라이드 프레임의 일부를 연결하는 제1 연결 부재와, 상기 제2 베이스 프레임과 상기 슬라이드 프레임의 다른 일부를 연결하는 제2 연결 부재를 구비하고 있다.
상기 제1 연결 부재는 상기 제1 베이스 프레임의 세로로 긴 방향을 따라 슬라이드하는 제1 슬라이드 기구를 갖고, 상기 제2 연결 부재는 상기 제2 베이스 프레임의 세로로 긴 방향을 따라 슬라이드하는 제2 슬라이드 기구를 갖는다.
상기 제1 연결 부재에는 상기 제1 베이스 프레임에 대한 상기 슬라이드 프레임의 각도를 변화시킬 수 있는 제1 회전 기구가 설치되고, 상기 제2 연결 부재에는 상기 제2 베이스 프레임에 대한 상기 슬라이드 프레임의 각도를 변화시킬 수 있는 제2 회전 기구가 설치되어 있다.
그리고 본 발명의 사이즈 가변 스테이지에서는, 상기 제1 연결 부재 또는 제2 연결 부재 중 적어도 어느 하나에는 상기 슬라이드 프레임을 상기 제1, 제2 베이스 프레임의 세로로 긴 방향과 교차하는 방향을 따라 슬라이드시킬 수 있는 보조 슬라이드 기구가 설치되어 있다.
상기 「교차하는 방향」이란, 상기 제1, 제2 베이스 프레임의 세로로 긴 방향과 소정의 각도(ψ)를 이루는 방향, 예를 들어 직각인 방향(ψ=90°)이어도 된 다. 또한 「교차하는 방향」은 상기 슬라이드 프레임의 세로로 긴 방향이어도 된다.
이 구성의 사이즈 가변 스테이지에 따르면, 상기 제1, 제2 연결 부재의 슬라이드 기구, 회전 기구를 이용하여 베이스 프레임끼리의 폭 방향을 줄이거나 넓히거나 할 수 있다. 따라서, 수송 시 베이스 프레임과 슬라이드 프레임을 일체 분리하지 않고 절첩할 수 있어, 현지 반입 후에도 현지 복원 작업을 용이하게 행할 수 있다. 이에 의해, 수송 전과 동등한 장치 성능을 현지 복원 후에도 보증할 수 있다.
특히 본 발명의 사이즈 가변 스테이지는 보조 슬라이드 기구를 구비하고 있다. 만약 이 보조 슬라이드 기구가 없으면, 슬라이드 프레임을 움직이게 할 때에 상기 슬라이드 기구, 회전 기구만으로는 슬라이드 프레임을 움직이게 할 때에 큰 힘이 필요하게 되어, 상기 제1, 제2 베이스 프레임 사이의 간격을 원활하게 바꿀 수 없는 경우가 있다. 따라서, 보조 슬라이드 기구가 있으면, 슬라이드 프레임 자체를 실질적으로 신축시킬 수 있다. 이에 의해, 상기 슬라이드 기구, 회전 기구만으로 원활하게 움직이지 않을 때에 상기 보조 슬라이드 기구를 이용해서 상기 제1, 제2 베이스 프레임 사이의 간격을 용이하게 바꿀 수 있다. 특히 무거운 프레임을 움직이게 할 때 상기 보조 슬라이드 기구가 도움이 된다.
상기 보조 슬라이드 기구는, 상기 슬라이드 프레임을 슬라이드시키는 한계 범위가 규정되어 있는 것이 바람직하다. 이 한계 범위가 없으면, 상기 슬라이드 프레임을 움직이게 할 때 슬라이드 프레임이 상기 연결 부재로부터 빠져 버릴 우려가 있기 때문이다.
상기 제1 연결 부재에는, 상기 슬라이드 프레임의 세로로 긴 방향과 직각인 방향으로 회전축을 갖고, 상기 슬라이드 프레임을 요동시킬 수 있는 제1 보조 회전 기구가 설치되고, 상기 제2 연결 부재에는 상기 슬라이드 프레임의 세로로 긴 방향과 직각인 방향으로 회전축을 갖고, 상기 슬라이드 프레임을 요동시킬 수 있는 제2 보조 회전 기구가 설치되어 있는 것이 바람직하다. 이 제1, 제2 보조 회전 기구가 없으면, 사이즈 가변 스테이지를 절첩해서 이동시킬 때에 제1, 제2 베이스 프레임이 상하 이동하면 제1, 제2 회전 기구에 과대한 힘이 가해진다. 이 제1, 제2 보조 회전 기구에 의해 상기 슬라이드 프레임을 요동시킴으로써 제1, 제2 회전 기구가 데미지를 받는 것을 방지할 수 있다.
상기 제1, 제2 회전 기구 및 상기 제1, 제2 보조 회전 기구는 구면 회전 기구를 이용하면 1개의 구면 회전 기구에 의해 양 쪽의 회전을 실현할 수 있다.
상기 슬라이드 프레임에 광학 검사 헤드를 장착해서 기판의 광학 검사를 할 수 있다.
또한, 본 발명의 액정 기판의 검사 장치는 상기 사이즈 가변 스테이지를 이용해서 검사지에서의 검사를 가능하게 한 것이다.
본 발명에 있어서의 상술한, 또는 또 다른 이점, 특징 및 효과는 첨부 도면을 참조해서 다음에 서술하는 실시 형태의 설명에 의해 명백해진다.
본 발명에 따르면, 프레임을 간단하게 절첩해서 운반할 수 있는 사이즈 가변 스테이지 및 액정 기판의 검사 장치를 제공할 수 있다.
이하, 본 발명의 실시 형태를 첨부 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.
도1은 본 실시 형태에 관한 사이즈 가변 스테이지의 전체를 도시하는 사시도이다. 도2는 사이즈 가변 스테이지의 평면도이고, 도3은 정면도이다.
사이즈 가변 스테이지는, 금속(예를 들어 알루미늄이나 철)이나 합성 수지 등으로 된 각봉 형상의 부재(프레임이라고 한다)를 조합해서 네모난 틀을 복수 형성하고, 이들 네모난 틀을 수직으로 세워 이들 네모난 틀끼리를 수평으로 설치된 중간 프레임(IF)으로 연결한 형상을 하고 있다. 네모난 틀은 본 발명의 실시 형태에서는 합계 4개 있고, 외측 프레임 틀 2개(11, 21로 나타낸다)와, 내측 프레임 틀 2개(12, 22로 타나낸다)로 이루어진다.
도1의 좌측의 외측 프레임 틀(11)과 좌측의 내측 프레임 틀(12)과 좌측의 중간 프레임(IF1)을 총칭해서 일측 지지부(1)라고 하고, 우측의 외측 프레임 틀(21)과 우측의 내측 프레임 틀(22)과 우측의 중간 프레임(IF2)을 총칭해서 타측 지지부(2)라고 한다.
각 프레임을 조합해서 네모난 틀을 형성할 경우, 직교한 프레임끼리를 볼트 등의 체결구를 이용해서 연결시켜도 되고, 용접, 납땜 등에 의해 직교하는 프레임끼리의 연결을 행해도 된다.
중간 프레임(IF)에 의해 틀끼리 연결하는 것도 마찬가지로, 볼트 등의 체결구를 이용해서 행해도 되고, 용접, 납땜 등의 수단에 의해 행해도 된다.
일측 지지부(1)와 타측 지지부(2) 사이에는 고정용 프레임(FX)이 착탈 가능 하게 설치되어 있다. 사이즈 가변 스테이지를 절첩하려고 할 때에는 일측 지지부(1)와 타측 지지부(2)가 화살표 A의 안쪽 방향으로 접근할 수 있도록 이 고정용 프레임(FX)은 제거된다. 그리고, 일측 지지부(1)와 타측 지지부(2)의 저면에는 일측 지지부(1)와 타측 지지부(2)가 화살표 A방향으로 이동할 수 있도록 롤러(도시 생략)가 설치되고, 바닥면에는 이 롤러를 유도하는 레일이 포설되어 있다. 따라서, 일측 지지부(1)와 타측 지지부(2)는 서로 평행 상태를 유지한 채 서로 접근, 이격할 수 있다.
일측 지지부(1)는 네모진 틀 형상으로 짜여진 외측 프레임 틀(11)과, 네모진 틀 형상으로 짜여진 내측 프레임 틀(12)을 갖고, 타측 지지부(2)는 네모진 틀 형상으로 짜여진 외측 프레임 틀(21)과, 네모진 틀 형상으로 짜여진 내측 프레임 틀(22)을 갖는다. 외측 프레임 틀과 내측 프레임 틀 사이에는 중간 프레임(IF1, IF2)으로 연결되어 있다.
일측 지지부(1)에 있어서, 외측 프레임 틀(11)을 형성하는 네모진 틀 중 상측의 수평으로 걸쳐진 프레임을 베이스 프레임(BF11)이라고 하고, 내측 프레임 틀(12)을 형성하는 네모진 틀 중 상측의 수평으로 걸쳐진 프레임을 베이스 프레임(BF12)이라고 한다.
또한, 타측 지지부(2)에 있어서, 외측 프레임 틀(21)을 형성하는 네모진 틀 중 상측의 수평으로 걸쳐진 프레임을 베이스 프레임(BF21)이라고 하고, 내측 프레임 틀(22)을 형성하는 네모진 틀 중 상측의 수평으로 걸쳐진 프레임을 베이스 프레임(BF22)이라고 한다.
베이스 프레임(BF11) 또는 베이스 프레임(BF12)은 「제1 베이스 프레임」을 구성하고, 베이스 프레임(BF21) 또는 베이스 프레임(BF22)은 「제2 베이스 프레임」을 구성한다.
그리고, 베이스 프레임(BF11)과 베이스 프레임(BF21) 사이를 가교하는 적어도 1개의 길이가 긴 형상의 슬라이드 프레임(SF1)과, 베이스 프레임(BF12)과 베이스 프레임(BF22) 사이를 가교하는 적어도 1개의 길이가 긴 형상의 슬라이드 프레임(SF2)이 구비되어 있다.
슬라이드 프레임(SF1)이 베이스 프레임(BF11)과 접촉하는 부위에는 연결 부재(C11)가 개재되고, 슬라이드 프레임(SF1)이 베이스 프레임(BF21)과 접촉하는 부위에는 연결 부재(C21)가 개재되어 있다. 또한, 슬라이드 프레임(SF2)이 베이스 프레임(BF12)과 접촉하는 부위에는 연결 부재(C12)이 개재되고, 슬라이드 프레임(SF2)이 베이스 프레임(BF22)과 접촉하는 부위에는 연결 부재(C22)가 개재되어 있다.
연결 부재(C11) 또는 연결 부재(C12)는 「제1 연결 부재」를 구성하고, 연결 부재(C21) 또는 연결 부재(C22)는 「제2 연결 부재」를 구성한다.
연결 부재는 본 실시 형태에서는 4개 장비되어 있으나, 대표로 연결 부재(C11, C21)의 구조를 설명한다. 다른 연결 부재에 대해서는 C12는 C11과 동일 구조이며, C22는 C21과 동일 구조이다.
도4는 슬라이드 프레임(SF1)과 베이스 프레임(BF11) 사이에 설치되는 연결 부재(C11)의 측면도를 도시하고, 도5는 정면도를 도시한다. 도6은 분해 사시도이 다.
연결 부재(C11)는 베이스 프레임(BF11)의 세로로 긴 방향(B)을 따라 슬라이드하는 슬라이드판(32)과, 슬라이드판(32) 상에 탑재되어 상기 세로로 긴 방향(B)과 소정의 각도(ψ)를 이루고, 또한 수평인 방향(E)을 따라 슬라이드하는 동시에(도6 참조), 베이스 프레임(BF11)에 대한 슬라이드 프레임(SF1)의 각도(도8 ; θ 참조)를 변화시키기 위한 회전 베어링 기구(33)가 설치된 보조 슬라이드판(34)과, 회전 베어링 기구(33) 상에 탑재되어 수직축(V)의 방향으로 회전하는 동시에 슬라이드 프레임을 요동시키기 위해 슬라이드 프레임(SF1)의 세로로 긴 방향(C)과 직각인 수평 방향(D)으로 회전축을 갖는 보조 회전 베어링 기구(39)가 설치된 회전판(35)이 설치되어 있다. 또한, 회전판(35) 상에는 슬라이드 프레임(SF1)이 보조판(38)을 개재하여 장착되어 있다.
더 상세히 설명하면 베이스 프레임(BF11)의 수평한 상면에는 베이스 프레임(BF11)의 세로로 긴 방향(B)으로 연장된 2개의 레일(31)이 깔려 있다. 슬라이드판(32)의 하면에는 이 2개의 레일(31) 상을 회전 가능한 차륜(도시하지 않음)이 설치되어 있다. 이 차륜의 설치에 의해 연결 부재(C11)는 베이스 프레임(BF11) 상을 세로로 긴 방향(B)으로 자유롭게 이동할 수 있다. 또한, 베이스 프레임(BF11)의 상면에는 연결 부재(C11)가 베이스 프레임(BF11)의 양 단부로부터 탈락되지 않도록 스토퍼가 설치되어 있는 것이 바람직하다. 스토퍼의 형상은 연결 부재(C11)를 고정하는 것만 가능하면 임의이지만, 예를 들어 도6에 도시한 바와 같이 베이스 프레임(BF11)의 상면에 세워 설치된 핀(P)과 같은 것이어도 된다.
슬라이드판(32)의 상면에는 상기 세로로 긴 방향(B)과 소정의 교차 각도(ψ)를 이루는 방향(E)을 따라 2개의 레일(37a)이 깔려 있는 동시에 슬라이드판(32)의 상부에는 하면 양변에 홈부(37b)가 형성되고, 이들 홈부(37b)에 상기 레일(37a) 상을 회전하는 차륜(도시 생략)이 장착된 보조 슬라이드판(34)이 설치되어 있다. 상기 교차 각도(ψ)는 0°<ψ<180°을 만족하는 각도이면 되나, 특히 45°<ψ<135°인 것이 바람직하다. 예를 들어 ψ는 직각(90°)이어도 좋다.
이 보조 슬라이드판(34)의 설치에 의해 슬라이드 프레임(SF1)은 슬라이드판(32) 상을 방향(E)으로 자유롭게 이동할 수 있다. 이와 같이, 이 차륜과 레일(37a)에 의하여 「보조 슬라이드 기구(37)」가 실현된다. 또한, 슬라이드판(32)의 상면 또는 보조 슬라이드판(34)의 하면에는 슬라이드 프레임(SF1)이 슬라이드판(32)의 단으로부터 탈락되지 않도록 스토퍼가 설치되어 있는 것이 바람직하다. 스토퍼의 형상은 보조 슬라이드판(34)을 고정하는 것만 가능하면 임의이다. 예를 들어, 슬라이드판(32)의 상면에 세워 설치된 핀과 같은 것이어도 좋다.
또한, 보조 슬라이드판(34)의 상면에는 회전 베어링 기구(33)가 설치되어 있다. 회전 베어링 기구(33)는 보조 슬라이드판(34)에 설치된 외심 베어링부(33a)와, 외심 베어링부(33a)에 대하여 자유자재로 회전할 수 있는 내심 베어링부(33b)로 이루어진다. 회전판(35)은 내심 베어링부(33b)에 고정된다. 이 구조에 의해, 회전판(35)은 보조 슬라이드판(34)에 대하여 자유자재로 회전할 수 있으며, 그 회전 중심축은 수직축(V)이다. 또한, 내심 베어링부(33b)를 보조 슬라이드판(34)에 설치하고, 회전판(35)을 외심 베어링부(33a)에 설치해도 좋다.
회전판(35) 상에는 슬라이드 프레임(SF1)의 세로로 긴 방향(C)과 직각인 수평 방향(D)으로 회전축을 갖는 보조 회전 베어링 기구(39)가 설치되어 있다. 보조 회전 베어링 기구(39)는 슬라이드 프레임(SF1)을 도5에 도시하는 슬라이드 프레임(SF1)의 세로로 긴 방향(C)과 직각인 수평 방향(D)으로 회전각(Φ)을 따라 요동시키는 것이다. 보조 회전 베어링 기구(39) 상에는 보조판(38)이 장착되고, 그 위에 슬라이드 프레임(SF1)이 장착된다. 또한, 보조 회전 베어링 기구(39)의 자유로운 회전을 제한하기 위해 그 회전각을 일정 범위로 규제하는 스토퍼(도시 생략)를 설치하는 것이 바람직하다.
다른 연결 부재(C12, C21, C22) 중 C11과 동일한 일측 지지부(1)에 속하는 연결 부재(C12)는 C11과 동일한 구조이다.
타측 지지부(2)에 속하는 연결 부재(C21, C22)는 도7에 도시하는 구조를 갖고 있다. 이 구조와 도6의 차이는 보조 슬라이드 기구가 생략되어 있는 것이다. 즉, 보조 슬라이드판(34)과 슬라이드판(32)이 직접 고정되어 있다.
이 구조에서는 슬라이드 프레임(SF1, SF2)은 방향(E)을 따라 자유롭게 이동 할 수 없으나, 슬라이드 프레임(SF1, SF2)의 타단부가 연결 부재(C11, C12)에 의해 이동 가능하므로 사이즈 가변 스테이지를 절첩하거나 확장하거나 할 때 슬라이드 프레임(SF1, SF2)을 원활하게 움직이게 할 수 있는 것은 변함이 없다. 또한, 연결 부재(C21, C22)에 있어서도 보조 슬라이드 기구(37)를 설치한 구조, 즉 슬라이드 프레임(SF1, SF2)이 방향(E)을 따라 자유롭게 이동할 수 있는 구조로 해도 된다.
이 사이즈 가변 스테이지의 절첩 동작을 설명하면 작업자는 도2의 사이즈 가 변 스테이지가 확장된 상태로 볼트를 풀어 일측 지지부(1)와 타측 지지부(2) 사이에 개재하고 있는 고정용 프레임(FX)을 제거한다. 그리고 슬라이드 프레임(SF1, SF2)을 손으로 잡고 비스듬히 눌러 가면, 전술한 슬라이드판(32)에 의한 베이스 프레임(BF11)의 세로로 긴 방향(B)을 따라 슬라이드하는 동작과, 회전 베어링 기구(33)에 의한 θ 방향의 회전 동작의 협동에 의해 슬라이드 프레임(SF1, SF2)은 절첩되어 간다. 이때, 특히 절첩 초기의 단계에서는 작업자의 힘의 방향과, 일측 지지부(1)와 타측 지지부(2)가 접근하는 방향은 직각에 가까운 상태로 작업자는 과대한 힘을 강요받는다.
따라서, 보조 슬라이드 기구(37)가 작용한다. 즉, 슬라이드 동작과 회전 동작만으로는 슬라이드 프레임(SF1, SF2)이 원활하게 움직이지 않을 때에 보조 슬라이드 기구(37)를 이용해서 슬라이드 프레임(SF1, SF2)의 길이를 실질적으로 변화시킬 수 있다. 이 슬라이드 프레임(SF1, SF2)이 짧아지는 방향은 일측 지지부(1)와 타측 지지부(2)가 접근하는 방향이므로, 슬라이드 프레임(SF1, SF2)을 손으로 잡고 비스듬히 눌러 갔을 때 슬라이드 프레임(SF1, SF2)을 원활하게 움직이게 할 수 있게 된다.
보조 회전 베어링 기구(39)는 일측 지지부(1)와 타측 지지부(2)가 완전히 수평으로 설치되어 있지 않는 경우에 도움이 된다. 즉, 사이즈 가변 스테이지를 설치하는 바닥면이 완전하게 수평이 아니고, 베이스 프레임(BF11)의 상면과 베이스 프레임(BF21)의 상면이 동일 수평면이 아닐 경우, 슬라이드 프레임(SF1, SF2)을 절첩해 가면 슬라이드 프레임(SF1)의 일단부와 타단부가 상대적으로 상하 이동하여 슬라이드 프레임(SF2)의 일단부와 타단부가 상대적으로 상하 이동하는 경우가 있으나, 이 움직임을 보조 회전 베어링 기구(39)의 φ 방향의 회전 동작에 의해 흡수할 수 있다. 따라서, 연결 부재(C11)의 가동 부분, 구체적으로는 회전 베어링 기구(33)에 스트레스가 가해지는 것을 방지할 수 있다.
도8은 사이즈 가변 스테이지를 절첩한 상태를 도시하는 평면도이며, 도9는 정면도이다. 일측 지지부(1)와 타측 지지부(2) 사이에는 고정용 설치 지그(40)가 개재되고, 일측 지지부(1)와 타측 지지부(2)는 고정용 설치 지그(40)를 개재하여 볼트로 고정되어 있다. 이 상태로 수송이 가능하게 되어 있다.
사이즈 가변 스테이지를 현지에서 확장해서 조립할 때는 지금까지와 반대로 작업을 행한다. 즉, 고정용 설치 지그(40)를 제거하고, 슬라이드 프레임(SF1, SF2)을 확장해 간다. 이때, 보조 슬라이드 기구(37)가 있기 때문에 슬라이드 동작과 회전 동작만으로는 슬라이드 프레임(SF1, SF2)이 원활하게 움직이지 않을 때에 보조 슬라이드 기구(37)를 이용해서 슬라이드 프레임(SF1, SF2)의 길이를 변화시킬 수 있다. 이 슬라이드 프레임(SF1, SF2)이 길어지는 방향은 일측 지지부(1)와 타측 지지부(2)가 이격해 가는 방향이므로 슬라이드 프레임(SF1, SF2)을 원활하게 움직이게 할 수 있게 된다.
일측 지지부(1)와 타측 지지부(2)의 거리가 소정의 거리로 되면 양부의 사이에 고정용 프레임(FX)을 삽입하여 볼트 등으로 고정한다. 이 상태로 슬라이드 프레임(SF1, SF2) 사이에 액정 기판을 지지하고, 슬라이드 프레임(SF1, SF2)에 광학 검사 헤드(OH)를 설치하여 그 액정 기판의 광학 측정을 행한다.
도10, 도11은 본 발명의 다른 실시 형태에 관한, 회전 베어링 기구(33)와 보조 회전 베어링 기구(39)의 동작을 1개의 구면 회전 기구(41)로 겸용한 경우의 연결 부재(C11a)의 구조를 도시하는 측면도와 정면도이다.
연결 부재(C11a)는 베이스 프레임(BF11)의 세로로 긴 방향(B)을 따라 슬라이드하는 슬라이드판(32)과, 슬라이드판(32) 상에 탑재되고, 보조 슬라이드 기구(37)를 가짐과 동시에 구면 회전 기구(41)가 설치된 보조 슬라이드판(34)과, 구면 회전 기구(41) 상에 탑재된 회전판(36a)을 구비하고 있다.
구면 회전 기구(41)는 보조 슬라이드판(34) 상에 설치된 구면체와, 그 구면체의 구면을 덮고, 구면을 따라 임의의 회전 운동을 할 수 있는 구면 커버로 이루어지는 것이다. 구면 회전 기구(41)는 수직축(V)의 방향으로 회전할 수도 있다(도10 ;θ 참조), 슬라이드 프레임의 세로로 긴 방향(C)과 직각인 수평 회전축(D)의 방향으로도 회전할 수도 있다(도11 ; φ 참조). 따라서, 베이스 프레임(BF11)과 슬라이드 프레임(SF1)을 평면에서 보았을 때의 교차각(θ)을 변화시킬 수 있는 동시에 슬라이드 프레임을 요동시킬 수도 있으므로 도4 내지 도6의 연결 부재(C11)와 동일한 작용을 할 수 있다.
이상에서, 본 발명의 실시 형태를 설명했으나, 본 발명의 실시는 그것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 베이스 프레임의 수는 최저한 2개, 그들 사이에 걸쳐 있는 슬라이드 프레임의 수는 적어도 1개 있으면 본 발명의 실시는 가능하다. 또한, 보조 슬라이드 기구는 슬라이드판(32)과 보조 슬라이드판(34) 사이에 설치되어 있었으나, 다른 부위, 예를 들어 도12에 도시한 바와 같이 보조판(38)과 슬라이 드 프레임(SF1) 사이에 설치되어 있어도 된다. 이 경우, 보조판(38)에 레일을 깔고, 슬라이드 프레임(SF1)의 저면에 이 레일 위를 굴러 가는 차륜을 설치한다. 레일의 방향, 즉 보조 슬라이드 기구(37')의 슬라이드 방향은 슬라이드 프레임(SF1)이 보조판(38)에 대하여 슬라이드 프레임(SF1)의 세로로 긴 방향(C)을 따라 슬라이드가 가능하게 되도록 결정하면 좋다.
또한 지금까지의 설명에서는 사이즈 가변 스테이지를 액정 기판의 검사 장치에 적용하는 것을 상정했다. 그러나, 본 발명의 사이즈 가변 스테이지는 액정 기판의 검사에 한하지 않고, 절첩 가능한 것이 요구되는 모든 용도에 이용할 수 있다. 예를 들어, 대형의 적하를 수용하기 위한 프레임, 대형 상품 진열용 프레임 등에 사용하면 하물을 수용하지 않을 때 절첩한 상태로 창고에 설치하거나 절첩한 상태로 수송하거나 할 수 있다.
도1은 본 발명의 실시 형태에 관한 사이즈 가변 스테이지의 전체를 도시하는 사시도.
도2는 사이즈 가변 스테이지의 평면도.
도3은 사이즈 가변 스테이지의 정면도.
도4는 슬라이드 프레임과 베이스 프레임 사이에 설치된 연결 부재를 도시하는 측면도.
도5는 연결 부재의 정면도.
도6은 연결 부재의 분해 사시도.
도7은 보조 슬라이드 기구가 생략된 연결 부재를 도시하는 분해 사시도.
도8은 사이즈 가변 스테이지를 절첩한 상태를 도시하는 평면도.
도9는 사이즈 가변 스테이지를 절첩한 상태를 도시하는 정면도.
도10은 회전 베어링 기구와 보조 회전 베어링 기구의 동작을 1개의 구면 회전 기구로 겸용한 경우의 연결 부재의 구조를 도시하는 측면도.
도11은 동일 연결 부재의 구조를 도시하는 정면도.
도12는 보조 슬라이드 기구를, 보조판(38)과 슬라이드 프레임(SF1) 사이에 설치한 연결 부재를 도시하는 분해 사시도.
<부호의 설명>
1 : 일측 지지부
2 : 타측 지지부
11, 21 : 외측 프레임 틀
12, 22 : 내측 프레임 틀
37 : 보조 슬라이드 기구
BF11, FB12, BF21, BF22 : 베이스 프레임
C11, C12, C21, C22 : 연결 부재
FX : 고정용 프레임
IF1, IF2 : 중간 프레임
OH : 광학 검사 헤드
SF1, SF2 : 슬라이드 프레임

Claims (9)

  1. 서로 평행하게 설치되어 서로 접근, 이격할 수 있는 제1, 제2 베이스 프레임과,
    상기 제1, 제2 베이스 프레임 사이에 걸쳐 있는 슬라이드 프레임과,
    상기 제1 베이스 프레임과 상기 슬라이드 프레임의 일부를 연결하는 제1 연결 부재와, 상기 제2 베이스 프레임과 상기 슬라이드 프레임의 다른 일부를 연결하는 제2 연결 부재를 구비하고,
    상기 제1 연결 부재에는 상기 제1 베이스 프레임의 세로로 긴 방향을 따라 슬라이드하는 제1 슬라이드 기구가 설치되고, 상기 제2 연결 부재에는 상기 제2 베이스 프레임의 세로로 긴 방향을 따라 슬라이드하는 제2 슬라이드 기구가 설치되고,
    상기 제1 연결 부재에는, 상기 제1 베이스 프레임에 대한 상기 슬라이드 프레임의 각도를 변화시킬 수 있는 제1 회전 기구가 설치되고, 상기 제2 연결 부재에는 상기 제2 베이스 프레임에 대한 상기 슬라이드 프레임의 각도를 변화시킬 수 있는 제2 회전 기구가 설치되고,
    상기 제1 연결 부재 또는 제2 연결 부재 중 적어도 어느 하나에는 상기 슬라이드 프레임을, 상기 제1, 제2 베이스 프레임의 세로로 긴 방향과 교차하는 방향을 따라 슬라이드시킬 수 있는 보조 슬라이드 기구가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 사이즈 가변 스테이지.
  2. 제1항에 있어서, 상기 교차하는 방향은, 상기 제1, 제2 베이스 프레임의 세로로 긴 방향과 소정의 각도(ψ)를 이루는 방향인 사이즈 가변 스테이지.
  3. 제1항에 있어서, 상기 교차하는 방향은 상기 슬라이드 프레임의 세로로 긴 방향인 사이즈 가변 스테이지.
  4. 제1항에 있어서, 상기 보조 슬라이드 기구에는 상기 슬라이드 프레임을 슬라이드시키는 한계 범위가 규정되어 있는 사이즈 가변 스테이지.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제1 연결 부재에는 상기 슬라이드 프레임의 세로로 긴 방향과 직각인 방향으로 회전축을 갖고, 상기 슬라이드 프레임을 요동시킬 수 있는 제1 보조 회전 기구가 설치되고, 상기 제2 연결 부재에는 상기 슬라이드 프레임의 세로로 긴 방향과 직각인 방향으로 회전축을 갖고, 상기 슬라이드 프레임을 요동시킬 수 있는 제2 보조 회전 기구가 설치되어 있는 사이즈 가변 스테이지.
  6. 제5항에 있어서, 상기 제1 회전 기구 및 상기 제1 보조 회전 기구는 구면 회전 기구로 겸용되는 사이즈 가변 스테이지.
  7. 제5항에 있어서, 상기 제2 회전 기구 및 상기 제2 보조 회전 기구는 구면 회 전 기구로 겸용되는 사이즈 가변 스테이지.
  8. 제1항에 있어서, 상기 슬라이드 프레임에는 광학 검사 헤드가 장착 가능한 사이즈 가변 스테이지.
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 기재된 사이즈 가변 스테이지를 이용한 액정 기판의 검사 장치.
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