JP2009036629A - サイズ可変ステージ及び液晶基板の検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】互いに平行に設置され、互いに接近し離間することのできるベースフレームBF11,BF21と、ベースフレームBF11,BF21間を橋渡しする少なくとも1本のスライドフレームSF1とを備えている。連結部材C11,C21は、ベースフレームBF11,BF21の縦長方向に沿ってスライドするスライド機構と、ベースフレームBF11,BF21に対するスライドフレームSF1の角度を変化させることができる回転機構とが設けられている。さらに、連結部材C11,C21には、スライドフレームSF1を、前記ベースフレームBF11,BF21の縦長方向と直角な水平方向に沿ってスライドさせることのできる補助スライド機構が設けられている。
【選択図】図1
Description
このような液晶基板の性能試験を行う検査装置は、液晶基板を支持するためフレームで構成したステージと、液晶基板に光を照射してその透過光や反射光を測定する光学検査ヘッドとを含むものである。
そこで、(1)検査装置を部品単位で現地まで輸送し、現地にて最終組立を行うことが考えられる。この方法では、全体動作確認や性能確認は、現地で初めて行うことになるため、問題があった場合、部品を再度取り寄せしなければならずリスクが大きい。また現地での組立作業工数が増加し、作業効率が悪くなるという問題がある。あわせて、制約の多い現地でユニットを取り扱うため作業安全面にも問題がある。
したがって好ましい方法は、(3)全体動作確認や性能確認された検査装置をそのまま現地に輸送することであり、大型化する前の小型サイズの液晶基板用の検査装置は、このように最終組立まで行われたものを現地に輸送していた。
そこで本発明は、フレームを簡単に折り畳んで運ぶことのできるサイズ可変ステージ及び液晶基板の検査装置を提供することを目的とする。
前記第一の連結部材には、前記第一のベースフレームに対する前記スライドフレームの角度を変化させることができる第一の回転機構が設けられ、前記第二の連結部材には、前記第二のベースフレームに対する前記スライドフレームの角度を変化させることができる第二の回転機構が設けられている。
前記「交差する方向」とは、前記第一、第二のベースフレームの縦長方向と所定の角度ψをなす方向、例えば直角な方向でもよい。また「前記交差する方向」は前記スライドフレームの縦長方向でもよい。
また、前記補助スライド機構は、前記第一の連結部材及び前記第二の連結部材のうち、少なくともいずれか1つの連結部材に設置されていればよい。
前記スライドフレームに光学検査ヘッドを装着して基板の光学検査をすることができる。
また、本発明の液晶基板の検査装置は、前記サイズ可変ステージを用いて現地での検査を可能にしたものである。
図1は、本実施の形態に係るサイズ可変ステージの全体を示す斜視図である。図2はサイズ可変ステージの平面図、図3は正面図である。
サイズ可変ステージは、金属(例えばアルミニウムや鉄)や合成樹脂などでできた角棒状の部材(フレームという)を組み合わせて四角い枠を形成して垂直に立て、これらの四角い枠同士を水平に設置された中間フレームIFで連結した形状をしている。四角い枠は、本発明の実施形態では合計4つあり、外側フレーム枠2つと、内側フレーム枠2つとからなる。図面左側の外側フレーム枠と左側の内側フレーム枠と左側の中間フレームIF1を総称して一方側支持部1といい、右側の外側フレーム枠と右側の内側フレーム枠と右側の中間フレームIF2を総称して他方側支持部2という。
中間フレームIFによって枠同士を連結するのも同様に、ボルト等の締結具を用いて行ってもよく、溶接、蝋付けなどの手段によって行ってもよい。
一方側支持部1において、外側フレーム枠を形成する四角の枠のうち、上側の水平に渡されたフレームをベースフレームBF11といい、内側フレーム枠を形成する四角の枠のうち、上側の水平に渡されたフレームをベースフレームBF12という。
ベースフレームBF11又はベースフレームBF12は、「第一のベースフレーム」を構成し、ベースフレームBF21又はベースフレームBF22は、「第二のベースフレーム」を構成する。
スライドフレームSF1がベースフレームBF11と接触する部位には、連結部材C11が介在され、スライドフレームSF1がベースフレームBF21と接触する部位には、連結部材C21が介在されている。また、スライドフレームSF2がベースフレームBF12と接触する部位には、連結部材C11が介在され、スライドフレームSF2がベースフレームBF22と接触する部位には、連結部材C22が介在されている。
図4は、スライドフレームSF1とベースフレームBF11との間に設けられる連結部材の側面図を示し、図5は正面図を示す。図6は分解斜視図である。
連結部材は、本実施の形態では4つ装備されているが、代表して連結部材C11,C21の構造を説明する。他の連結部材については、C12はC11と同一構造であり、C22はC21と同一構造である。
他方側支持部2に属する連結部材C21,C22は、図11に示すように、補助スライド機構が省略されていても良い。すなわち、補助スライド板34とスライド板32とが直接固定されている。この構造では、スライドフレームSF1,SF2は、方向Eに沿って自由に移動することができないが、スライドフレームSF1,SF2の他端が、連結部材C11,C12によって移動可能であるので、サイズ可変ステージを折り畳んだり拡張したりするとき、スライドフレームSF1,SF2をスムーズに動かすことができることに変わりない。なお、連結部材C21,C22においても、補助スライド機構37を設けた構造、すなわちスライドフレームSF1,SF2が方向Eに沿って自由に移動することができる構造としてもよい。
サイズ可変ステージを現地で拡張して組み立てるときは、いままでと逆の作業を行う。すなわち、固定用取付治具40を取り外し、スライドフレームSF1,SF2を拡張していく。このとき、補助スライド機構37があるために、スライド動作と回転動作だけではスライドフレームSF1,SF2がスムーズに動かないときに、補助スライド機構37を利用してスライドフレームSF1,SF2の長さを変化させることができる。このスライドフレームSF1,SF2が長くなる方向は、一方側支持部1と他方側支持部2とが離間していく方向であるので、スライドフレームSF1,SF2をスムーズに動かすことができるようになる。
図9,図10は本発明の他の実施形態に係る、回転ベアリング機構33と補助回転ベアリング機構39の動作を1つの球面回転機構41で兼用した場合の連結部材C11aの構造を示す側面図と正面図である。
球面回転機構41は、補助スライド板34の上に設けられた球面体と、その球面体の球面を覆い、球面に沿って任意の回転運動することのできる球面カバーとからなるものである。球面回転機構41は、垂直軸Vの回りに回転することもでき(図9;θ参照)、スライドフレームの縦長方向Cと直角な水平回転軸Dの回りにも回転することもできる(図10;φ参照)。したがって、ベースフレームBF11とスライドフレームSF1とを平面視したときの交差角θを変化させることができるとともに、スライドフレームを揺動させることもできるので、図4〜図6の連結部材C11と同じ作用をすることができる。
2 他方側支持部
37 補助スライド機構
BF11,BF12,BF21,BF22 ベースフレーム
C11,C12,C21,C22 連結部材
FX 固定用フレーム
IF1,IF2 中間フレーム
OH 光学検査ヘッド
SF1,SF2 スライドフレーム
Claims (9)
- 互いに平行に設置され、互いに接近し離間することのできる第一、第二のベースフレームと、
前記第一、第二のベースフレーム間を橋渡しするスライドフレームと、
前記第一のベースフレームと前記スライドフレームの一部とを連結する第一の連結部材と、前記第二のベースフレームと前記スライドフレームの他の一部とを連結する第二の連結部材とを備え、
前記第一の連結部材には、前記第一のベースフレームの縦長方向に沿ってスライドする第一のスライド機構が設けられ、前記第二の連結部材には、前記第二のベースフレームの縦長方向に沿ってスライドする第二のスライド機構が設けられ、
前記第一の連結部材には、前記第一のベースフレームに対する前記スライドフレームの角度を変化させることができる第一の回転機構が設けられ、前記第二の連結部材には、前記第二のベースフレームに対する前記スライドフレームの角度を変化させることができる第二の回転機構が設けられ、
前記連結部材には、前記スライドフレームを、前記第一、第二のベースフレームの縦長方向と交差する方向に沿ってスライドさせることのできる補助スライド機構が設けられていることを特徴とするサイズ可変ステージ。 - 前記補助スライド機構の交差する方向は、前記第一、第二のベースフレームの縦長方向と所定の角度ψをなす方向である請求項1記載のサイズ可変ステージ。
- 前記補助スライド機構の交差する方向は、前記スライドフレームの縦長方向である請求項1記載のサイズ可変ステージ。
- 前記補助スライド機構は、前記スライドフレームをスライドさせる限界範囲が規定されている請求項1記載のサイズ可変ステージ。
- 前記補助スライド機構は、前記第一の連結部材及び前記第二の連結部材のうち、少なくともいずれか1つの連結部材に設置されている請求項1記載のサイズ可変ステージ。
- 前記第一の連結部材には、前記スライドフレームの縦長方向と直角な方向に回転軸を持ち、前記スライドフレームを揺動させることのできる第一の補助回転機構が設けられ、前記第二の連結部材には、前記スライドフレームの縦長方向と直角な方向に回転軸を持ち、前記スライドフレームを揺動させることのできる第二の補助回転機構が設けられている請求項1記載のサイズ可変ステージ。
- 前記第一、第二の回転機構及び前記第一、第二の補助回転機構は、球面回転機構で兼用される請求項6記載のサイズ可変ステージ。
- 前記スライドフレームには、光学検査ヘッドが装着可能である請求項1記載のサイズ可変ステージ。
- 請求項8記載のサイズ可変ステージを用いた液晶基板の検査装置。
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