KR20080110619A - Fluid bearing device - Google Patents

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KR20080110619A
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마사아키 토다
켄지 히비
테쯔야 야마모토
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엔티엔 가부시키가이샤
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Abstract

A fluid bearing device which has excellent moment rigidity and an improved working efficiency in assembling and parts control, and in which a bearing sleeve can be easily manufactured. A plurality of bearing sleeves are axially disposed in the fluid bearing device. The bearing sleeves (3, 4) are so formed that their axial lengths are different from each other. ® KIPO & WIPO 2009

Description

유체 베어링 장치{FLUID BEARING DEVICE}Fluid Bearing Device {FLUID BEARING DEVICE}

본 발명은 유체 베어링 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a fluid bearing device.

유체 베어링 장치는 베어링 간극에 형성되는 오일막으로 축부재를 회전가능하게 지지하는 것이다. 이 유체 베어링 장치는 고속 회전, 고속 회전 정밀도, 저소음 등의 특징을 갖는 것이며, 최근에는 그 특징을 살려 정보기기, 예컨대 HDD, FDD 등의 자기 디스크 장치, CD-ROM, CD-R/RW, DVD-ROM/RAM 등의 광디스크 장치, MD, MO 등의 광자기 디스크 장치 등에 탑재하는 스핀들 모터용, 또한, 퍼스널 컴퓨터(PC) 등에 탑재되어 발열원의 냉각을 행하는 팬 모터용 등의 베어링으로서 널리 이용되고 있다.The fluid bearing device is to rotatably support the shaft member with an oil film formed in the bearing gap. This fluid bearing device has features such as high speed rotation, high speed rotation accuracy, and low noise. In recent years, the fluid bearing device has been developed to take advantage of its characteristics, such as magnetic disk devices such as HDDs, FDDs, CD-ROMs, CD-R / RWs, and DVDs. -Widely used as bearings for spindle motors mounted on optical disk devices such as ROM / RAM, magneto-optical disk devices such as MD, MO, etc., and fan motors mounted on personal computers (PCs), etc. to cool the heat generating source. have.

예컨대, HDD 등의 디스크 구동 장치의 스핀들 모터에 조립되는 유체 베어링 장치에서는 축부재를 레이디얼 방향으로 지지하는 레이디얼 베어링부 및 스러스트 방향으로 지지하는 스러스트 베어링부 쌍방을 동압 베어링으로 구성하는 경우가 있다. 이러한 종류의 유체 베어링 장치에 있어서의 레이디얼 베어링부로서는, 예컨대 일본 특허 공개 2003-239951호 공보(특허문헌1)에 기재된 바와 같이, 베어링 슬리브의 내주면과 이것에 대향하는 축부재의 외주면 중 어느 한쪽에 동압 발생부로서의 동압 홈을 형성함과 아울러, 양면 사이에 레이디얼 베어링 간극을 형성하는 것 이 알려져 있다.For example, in a fluid bearing device assembled to a spindle motor of a disk drive device such as an HDD, both a radial bearing part supporting the shaft member in the radial direction and a thrust bearing part supporting in the thrust direction may be constituted by dynamic pressure bearings. . As a radial bearing part in this kind of fluid bearing apparatus, as described in Unexamined-Japanese-Patent No. 2003-239951 (patent document 1), either of the inner peripheral surface of a bearing sleeve and the outer peripheral surface of the shaft member which opposes this, for example. It is known to form a dynamic pressure groove as a dynamic pressure generating portion at the same time, and to form a radial bearing gap between both surfaces.

상기 구성의 유체 베어링 장치를 조립한 정보기기, 예컨대 HDD 등의 디스크 구동 장치에 있어서는 고용량화를 목적으로 하여 복수장의 디스크의 탑재가 요청되지만, 그 경우에는 스핀들 축을 회전가능하게 지지하는 베어링부에 작용하는 모멘트 하중이 커진다. 이 모멘트 하중의 증대에 대응하기 위해서, 레이디얼 베어링부를 축방향으로 이격한 복수 개소에 설치함과 아울러, 레이디얼 베어링부 간의 스팬을 크게 하여 모멘트 강성을 높일 필요가 생긴다. 이들 복수개의 레이디얼 베어링부를 1개의 베어링 슬리브의 내주측에 형성한 구성이 상기 특허문헌1도 포함해서 널리 채용되고 있지만, 모터의 소형화, 및 이것에 따른 스핀들 축 및 베어링 슬리브의 소경화의 요청도 있고, 레이디얼 베어링부 간의 스팬 증대에 대응할 수 있는 베어링 슬리브를 제조하는 것이 곤란해질 경우가 있다.In a disk drive device such as an HDD, such as an information device incorporating the above-described fluid bearing device, mounting of a plurality of disks is required for the purpose of high capacity, but in this case, the disk drive device acts on a bearing portion that rotatably supports the spindle shaft. The moment load becomes large. In order to cope with the increase in the moment load, it is necessary to provide the radial bearing portions at plural places spaced apart in the axial direction, and to increase the span between the radial bearing portions to increase the moment rigidity. Although the structure which provided these several radial bearing parts in the inner peripheral side of one bearing sleeve is employ | adopted widely, including the said patent document 1, the request of miniaturization of a motor and the miniaturization of the spindle shaft and a bearing sleeve by this is also carried out. In some cases, it may be difficult to manufacture a bearing sleeve that can cope with an increase in span between radial bearing portions.

레이디얼 베어링부 간의 스팬을 증대시켜서 모멘트 강성을 높임과 아울러, 베어링 슬리브의 제조를 용이화하는 수단으로서, 예컨대 일본 특허 공개 평11-269475호 공보(특허문헌2)나 일본 특허 제3602707호 공보(특허문헌3)에 기재된 바와 같이, 베어링 슬리브를 축방향의 복수 개소(예컨대 2개소)에 배치하는 구성이 고려된다. 그러나, 이러한 구성의 유체 베어링 장치에 있어서 각 베어링 슬리브는 회전 방향을 고려해서 내주면 등에 형성되는 동압 홈의 배열 패턴이나 형성 개소를 다르게 하고는 있지만, 그 축방향 치수가 동일하게 형성되어 외관상의 차이가 매우 미소한 것이다. 그 때문에, 맞붙임 방향이나 맞붙임 위치가 잘못되기 쉬울 뿐만 아니라, 부품 관리가 번잡해진다는 문제가 있다. 맞붙임 방향 등을 잘못하면 베어링 장치로서 기능하지 않을 우려가 있고, 따라서 맞붙임에는 각별한 배려가 필요하므로 이것이 베어링 장치의 제조 비용을 높이고 있다.As a means for increasing the span between radial bearing portions to increase moment rigidity and facilitating the manufacture of bearing sleeves, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-269475 (Patent Document 2) or Japanese Patent No. 3602707 ( As described in patent document 3), the structure which arrange | positions a bearing sleeve in multiple places (for example, two places) of an axial direction is considered. However, in the fluid bearing device having such a configuration, although each bearing sleeve has a different arrangement pattern or formation points of dynamic pressure grooves formed in the inner circumferential surface or the like in consideration of the rotational direction, the axial dimension is formed in the same way so that there is a difference in appearance. It is very smiling. Therefore, there is a problem that the joining direction and the joining position are not easy to be wrong, and the parts management is complicated. If the joining direction or the like is wrong, there is a possibility that the bearing device may not function as a bearing device. Therefore, special consideration is required for the joining, which increases the manufacturing cost of the bearing device.

또한, 모멘트 강성 향상의 다른 수단으로서 스러스트 베어링부의 베어링 스팬을 확대시킨 구조를 채용할 수도 있고, 이러한 종류의 구조를 갖는 유체 베어링 장치로서, 예컨대 일본 특허 공개 2005-321089호 공보(특허문헌4)에 개시되어 있는 바와 같이, 베어링 슬리브의 양단측에 스러스트 베어링부를 형성한 것이 알려져 있다. 그리고, 더나은 모멘트 강성의 향상을 노려 상기 특허문헌2(또는 특허문헌3) 및 특허문헌4의 구성을 조합시킨 구성을 채용할 수도 있다. 이러한 구성으로 할 경우, 스러스트 베어링 간극에 유체 동압을 발생시키는 동압 홈 등의 동압 발생 수단은 성형성을 고려해서 소결 금속제의 베어링 슬리브의 끝면에 형성되는 경우가 많지만, 각 동압 홈은 회전 방향을 고려해서 경사 방향을 다르게 할 필요가 있다. 따라서, 2종류의 베어링 슬리브가 필요하지만, 이들은 육안으로는 판별하기 어려운 레벨의 대략 동일 형상으로 형성되기 때문에, 맞붙임 방향이나 맞붙임 위치가 잘못되기 쉽다. 맞붙임 방향 등을 잘못하면, 상기한 바와 마찬가지로 베어링 장치로서 기능하지 않을 우려가 있고, 따라서 맞붙임에는 각별한 배려가 필요하므로 이것이 베어링 장치의 제조 비용을 높이고 있다.As another means for improving the moment stiffness, a structure in which the bearing span of the thrust bearing portion is enlarged may be adopted, and as a fluid bearing device having this kind of structure, for example, in JP-A-2005-321089 (Patent Document 4) As disclosed, it is known to form a thrust bearing part at both ends of a bearing sleeve. And the structure which combined the structure of the said patent document 2 (or patent document 3) and patent document 4 in order to improve further moment rigidity can also be employ | adopted. In such a configuration, dynamic pressure generating means such as dynamic pressure grooves for generating fluid dynamic pressure in the thrust bearing gap are often formed on the end face of the bearing sleeve made of sintered metal in consideration of formability, but each dynamic pressure groove is considered in the rotation direction. Therefore, it is necessary to change the inclination direction. Therefore, although two types of bearing sleeves are required, they are formed in substantially the same shape at levels that are difficult to discriminate with the naked eye, and therefore, the joining direction and the joining position tend to be wrong. If the joining direction or the like is wrong, there is a possibility that it will not function as a bearing device as described above. Therefore, special consideration is required for the joining, which increases the manufacturing cost of the bearing device.

그런데, 상기 특허문헌2(또는 3)의 구성에서는 레이디얼 베어링부 간의 베어링 스팬을 증대시켜서 모멘트 강성을 높임과 아울러 베어링 슬리브의 제조를 용이화할 수 있지만, 베어링 장치의 조립시에 있어서 이하의 문제가 생기는 경우가 있다. 즉, 이 구성에서는 가령 개개의 베어링 슬리브가 고정밀도로 형성되어 있어도 각 베어링 슬리브를 접착, 압입 등의 수단으로 하우징에 고정할 때에 코어 어긋남이 생길 우려가 있다. 코어 어긋남에 기인하는 쌍방의 레이디얼 베어링면 사이에서의 동축도의 저하는 베어링 강성의 편차를 초래하고, 이것에 의해 모멘트 강성을 비롯한 베어링 성능의 저하가 우려된다.By the way, in the structure of the said patent document 2 (or 3), although the bearing span between radial bearing parts can be increased, moment rigidity can be improved and manufacture of a bearing sleeve can be made easy, but the following problem at the time of assembling a bearing apparatus is encountered. It may occur. That is, in this structure, even if each bearing sleeve is formed with high precision, there exists a possibility that a core shift | offset | difference may occur when fixing each bearing sleeve to a housing by means of adhesion | attachment, a press-fitting, etc. The reduction in coaxiality between the two radial bearing surfaces due to core misalignment causes variation in bearing stiffness, which may cause deterioration of bearing performance including moment rigidity.

또한, 애당초 유체 베어링 장치의 회전 성능은 베어링 간극(예컨대 레이디얼 베어링 간극)의 폭 정밀도에 의해 결정된다. 그 때문에, 레이디얼 베어링 간극을 형성하는 축부재의 외주면 및 베어링 슬리브(베어링 부재)의 내주면을 정밀도 좋게 형성하기 위한 노력이 이루어지고 있다. 이 레이디얼 베어링 간극의 간극 폭은, 예컨대 특허 공개 2004-132402호 공보(특허문헌5)에 기재된 바와 같이 축방향 전장에 걸쳐 균일하게 형성되는 경우가 많다.In addition, the rotational performance of the fluid bearing device is initially determined by the width precision of the bearing gap (for example, the radial bearing gap). Therefore, efforts have been made to accurately form the outer circumferential surface of the shaft member and the inner circumferential surface of the bearing sleeve (bearing member) forming the radial bearing gap. The gap width of the radial bearing gap is often formed uniformly over the axial length as described in, for example, Patent Publication No. 2004-132402 (Patent Document 5).

모터로의 조립시, 유체 베어링 장치의 축부재에는 각종 회전체가 맞붙여지지만, 맞붙여진 회전체의 크기, 중량 등은 모터에 따라 다르기 때문에 회전체의 무게 중심 위치는 그 때마다 다르다. 따라서, 상기와 같이 레이디얼 베어링 간극의 간극 폭을 축방향 전장에 걸쳐 균일하게 형성하고 있으면, 유체 베어링 장치에 진동이나 충격이 부하된 경우에 모멘트 강성을 비롯한 베어링 강성이 부족해지고, 회전체의 흔들림량의 증대나 공진 현상을 야기할 우려가 있다.When assembling to the motor, various rotating bodies are bonded to the shaft member of the fluid bearing device. However, since the size, weight, etc. of the bonded rotating bodies vary depending on the motor, the position of the center of gravity of the rotating bodies is different each time. Therefore, if the clearance width of the radial bearing clearance is formed uniformly over the axial length as described above, the bearing rigidity including the moment rigidity becomes insufficient when vibration or shock is loaded in the fluid bearing device, and the rotation of the rotating body There is a risk of increasing the amount and causing resonance.

또한, 예컨대 스핀들 모터에 조립되는 유체 베어링 장치에는 상기와 같은 모멘트 강성의 향상뿐만 아니라, 회전 정밀도의 향상이 요구되고 있다. 이것에 대응하기 위해서는 레이디얼 베어링 간극을 형성하는 베어링 부재의 내주면, 및 축부재의 외주면을 한층 고정밀도로 마무리할 필요가 있지만, 일반적으로, 내주면을 고정 밀도로 마무리하는 것은 외주면을 고정밀도로 마무리보다 어렵고, 또한, 가공 정밀도를 일반적인 기계 가공으로 높이는 것은 한도가 있다.In addition, for example, the fluid bearing device assembled to the spindle motor is required to improve not only the moment rigidity as described above but also the rotational accuracy. In order to cope with this, it is necessary to finish the inner circumferential surface of the bearing member and the outer circumferential surface of the shaft member with higher precision, but in general, finishing the inner circumferential surface with high precision is more difficult than finishing the outer circumferential surface with high precision. In addition, there is a limit to increase the processing precision by general machining.

특허문헌1: 일본 특허 공개 2003-239951호 공보Patent Document 1: Japanese Patent Laid-Open No. 2003-239951

특허문헌2: 일본 특허 공개 평11-269475호 공보Patent Document 2: Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-269475

특허문헌3: 일본 특허 제3602707호 공보Patent Document 3: Japanese Patent No. 3602707

특허문헌4: 일본 특허 공개 2005-321089호 공보Patent Document 4: Japanese Unexamined Patent Publication No. 2005-321089

특허문헌5: 일본 특허 공개 2004-132402호 공보Patent Document 5: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-132402

본 발명은 상기 문제점을 감안하여 이루어진 것으로서, 그 제 1 과제는 모멘트 강성이 우수하고, 베어링 슬리브의 제조가 용이하며, 또한, 조립이나 부품 관리의 작업 효율을 개선할 수 있는 유체 베어링 장치를 제공하는 것에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and a first object thereof is to provide a fluid bearing device which is excellent in moment rigidity, easy to manufacture a bearing sleeve, and which can improve work efficiency of assembly and part management. Is in.

또한, 본 발명의 제 2 과제는 조립 정밀도에 기인하는 베어링 성능의 저하를 가급적으로 회피하여 높은 모멘트 강성을 발휘할 수 있는 유체 베어링 장치를 제공하는 것에 있다.Moreover, the 2nd subject of this invention is providing the fluid bearing apparatus which can avoid the fall of the bearing performance resulting from assembly precision, and can exhibit high moment rigidity as much as possible.

또한, 본 발명의 제 3 과제는 레이디얼 베어링 간극의 폭 정밀도를 높이고, 모멘트 강성을 비롯한 베어링 성능이 우수한 유체 베어링 장치를 저비용으로 제공하는 것에 있다.Moreover, the 3rd subject of this invention is providing the fluid bearing apparatus which is excellent in the bearing performance including the moment rigidity, improving the width | variety precision of a radial bearing clearance, and at low cost.

상기 제 1 과제를 해결하기 위해서, 본 발명에서는, 레이디얼 베어링면을 갖는 베어링 슬리브와, 베어링 슬리브의 내주에 삽입되는 축부재와, 베어링 슬리브의 레이디얼 베어링면과 축부재의 외주면 사이의 레이디얼 베어링 간극에 생기는 유체의 동압 작용에 의해 축부재를 레이디얼 방향으로 비접촉 지지하는 레이디얼 베어링부를 구비한 유체 베어링 장치에 있어서, 베어링 슬리브는 축방향으로 복수개 배치되고, 또한 각 베어링 슬리브는 서로 축방향 길이를 다르게 해서 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 베어링 장치를 제공한다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM In order to solve the said 1st subject, in this invention, the radial bearing between the bearing sleeve which has a radial bearing surface, the shaft member inserted in the inner periphery of a bearing sleeve, and the radial bearing surface of a bearing sleeve, and the outer peripheral surface of a shaft member is carried out. In a fluid bearing device having a radial bearing portion for non-contacting support of an axial member in a radial direction by a dynamic pressure action of a fluid generated in a bearing gap, a plurality of bearing sleeves are arranged in an axial direction, and each bearing sleeve is in an axial direction with each other. Provided is a fluid bearing device which is formed with a different length.

상기 구성에 의하면, 베어링 슬리브를 축방향의 복수 개소에 배치했으므로, 레이디얼 베어링부 간의 스팬을 크게 해서 모멘트 하중에 대한 부하 능력을 높일 수 있음과 아울러, 베어링 슬리브의 제조를 용이하게 할 수 있다. 또한, 축방향으로 복수개 배치한 베어링 슬리브의 축방향 길이를 서로 다르게 했으므로, 외관상의 차이가 명확해지고, 조립 실수를 확실하게 방지하는 것이, 또한, 부품 관리의 간략화를 도모하는 것이 가능하게 된다.According to the said structure, since the bearing sleeve was arrange | positioned in multiple places in the axial direction, the span between radial bearing parts can be enlarged, the load capability with respect to a moment load can be improved, and manufacture of a bearing sleeve can be made easy. In addition, since the axial lengths of the bearing sleeves disposed in the axial direction are different from each other, the difference in appearance becomes clear, and it is possible to reliably prevent assembly errors and to simplify the parts management.

예컨대, 베어링 슬리브를 축방향의 2개소에 배치할 경우, 레이디얼 베어링부의 베어링 스팬을 크게 취하는 관점으로부터, 한쪽의 베어링 슬리브의 레이디얼 베어링면은 다른쪽의 베어링 슬리브로부터 이반되는 쪽의 단부 내주에 형성되는 것이 통례이다. 그러나, 이 경우, 특히 축방향 치수를 장대화시킨 측의 베어링 슬리브의 양단부간, 또한 베어링 슬리브(레이디얼 베어링면) 상호간에서의 동축 확보가 어려워지고, 베어링 장치의 회전 성능에 악영향을 끼칠 우려가 있다.For example, when arranging a bearing sleeve in two places of an axial direction, from the viewpoint which takes a large bearing span of a radial bearing part, the radial bearing surface of one bearing sleeve is in the inner periphery of the end part separated from the other bearing sleeve. It is customary to form. In this case, however, it is particularly difficult to secure coaxial between both ends of the bearing sleeve on the side of which the axial dimension is enlarged and between the bearing sleeves (radial bearing surface), which may adversely affect the rotational performance of the bearing device. have.

그래서, 본 발명에서는 인접하는 2개의 베어링 슬리브 중 적어도 어느 한쪽의 내주면에 레이디얼 베어링면보다 다른쪽의 베어링 슬리브측에 위치하며 레이디얼 베어링면과 동일한 직경의 볼록부를 형성한 구성을 제공한다. 이러한 구성으로 함으로써 예컨대 조립 핀을 삽입했을 경우에는 단체(單體)의 베어링 슬리브의 양단부간, 및 베어링 슬리브 상호간에서 동축 확보하면서 용이하게 조립 작업을 진행시킬 수 있다. 또한, 볼록부는 동압 발생 기능을 갖는 형상으로 형성하면 토크 업을 초래하므로, 동압 발생 기능을 갖지 않는 형상(예컨대, 띠형상 등)으로 형성하는 것이 바람직하다. 그런데 볼록부는 회전 성능에 악영향을 미치지 않을 정도의 동축 확보를 할 수 있으면 레이디얼 베어링면과 약간 다른 지름이어도 좋다. 따라서, 여기서 말하는 「동일한 직경의 볼록부」에는 약간 다른 지름의 볼록부도 포함된다.Thus, the present invention provides a configuration in which at least one inner circumferential surface of two adjacent bearing sleeves is located on the bearing sleeve side other than the radial bearing surface and has a convex portion having the same diameter as the radial bearing surface. With such a configuration, for example, when the assembling pin is inserted, the assembling work can be easily proceeded while securing coaxially between both ends of the single bearing sleeve and between the bearing sleeves. In addition, since the convex portion is formed in a shape having a dynamic pressure generating function, it causes a torque up, so it is preferable to form a shape having a dynamic pressure generating function (for example, a band shape or the like). However, the convex portion may have a diameter slightly different from that of the radial bearing surface as long as the convex portion can secure the coaxial to the extent that it does not adversely affect the rotational performance. Therefore, the convex part of the same diameter also includes the convex part of a slightly different diameter here.

또한, 상기 구성에 있어서 축부재에 외경측으로 돌출한 돌출부를 형성하고, 돌출부의 끝면과 베어링 슬리브의 끝면 사이에 스러스트 베어링 간극에 생기는 유체의 동압 작용에 의해 축부재를 스러스트 방향으로 비접촉 지지하는 스러스트 베어링부를 형성해도 된다. 돌출부는 축부재에 일체로 형성된 것이어도 좋고, 축부재에 고정된 것이어도 좋다. 또한, 스러스트 베어링부의 스러스트 베어링 간극에 동압 작용을 발생시키는 동압 홈 등의 동압 발생 수단은 돌출부의 끝면 및 베어링 슬리브의 끝면 중 적어도 어느 한쪽에 형성하면 좋다.Also, in the above configuration, a thrust bearing is formed in the shaft member so as to protrude to the outer diameter side, and the thrust bearing non-contactedly supports the shaft member in the thrust direction by the dynamic pressure action of the fluid generated in the thrust bearing clearance between the end face of the protrusion and the end face of the bearing sleeve. You may form a part. The protruding portion may be formed integrally with the shaft member or may be fixed to the shaft member. Moreover, the dynamic pressure generating means, such as a dynamic groove which generate | occur | produces a dynamic pressure action in the thrust bearing clearance of a thrust bearing part, may be formed in at least one of the end surface of a projection part, and the end surface of a bearing sleeve.

또한, 축부재에 형성한 돌출부의 외주측에 시일 공간이 형성되도록 해도 좋다. 이 시일 공간은 베어링 장치 내부에 충만된 유체(예컨대, 윤활유)의 온도 변화에 기인하는 용적 변화(팽창ㆍ수축)를 흡수하는 기능, 소위 버퍼 기능을 갖는다.Further, the seal space may be formed on the outer circumferential side of the protrusion formed on the shaft member. This seal space has a function of absorbing volume change (expansion and contraction) caused by a temperature change of a fluid (for example, lubricating oil) filled inside the bearing device, a so-called buffer function.

또한, 상기 제 1 과제를 해결하는 위한 다른 구성으로서, 본 발명에서는, 베어링 부재와, 베어링 부재의 내주에 삽입되는 축부재를 갖는 회전체와, 베어링 부재와 회전체 사이에 형성되는 제 1 및 제 2 스러스트 베어링 간극과, 제 1 스러스트 베어링 간극에 유체 동압을 발생시키는 제 1 동압 홈 영역과, 제 2 스러스트 베어링 간극에 유체 동압을 발생시키는 제 2 동압 홈 영역을 구비한 유체 베어링 장치에 있어서, 베어링 부재는 축방향으로 배열된 2개의 베어링 슬리브를 갖고, 그 2개의 베어링 슬리브가 모두 양단면에 제 1 동압 홈 영역과 제 2 동압 홈 영역을 갖는 것이며, 또한 한쪽의 베어링 슬리브의 제 1 동압 홈 영역을 제 1 스러스트 베어링 간극에 면하게 하고, 다른쪽의 베어링 슬리브의 제 2 동압 홈 영역을 제 2 스러스트 베어링 간극에 면하게 한 것을 특징으로 하는 유체 베어링 장치를 제공한다.Moreover, as another structure for solving the said 1st subject, in this invention, the rotating member which has a bearing member, the shaft member inserted in the inner periphery of a bearing member, and the 1st and 1st formed between a bearing member and a rotating body A fluid bearing device having a second thrust bearing gap, a first dynamic pressure groove area for generating fluid dynamic pressure in the first thrust bearing gap, and a second dynamic pressure groove area for generating fluid dynamic pressure in the second thrust bearing gap, the bearing comprising: The member has two bearing sleeves arranged in the axial direction, both bearing sleeves having a first dynamic pressure groove region and a second dynamic pressure groove region at both end surfaces, and a first dynamic pressure groove region of one bearing sleeve. Facing the first thrust bearing clearance, and facing the second thrust bearing clearance of the second dynamic pressure groove region of the other bearing sleeve It provides a fluid bearing device according to claim.

상기와 같이, 베어링 부재가 2개의 베어링 슬리브를 갖고 있으므로, 레이디얼 베어링부의 베어링 스팬을 증대시켜서 모멘트 강성을 높일 수 있음과 아울러, 베어링 슬리브의 제조를 용이화할 수 있다. 또한, 상기의 베어링 슬리브가 모두 양단면에 제 1 동압 홈 영역과 제 2 동압 홈 영역을 갖는 것이며, 또한 한쪽의 베어링 슬리브의 제 1 동압 홈 영역을 제 1 스러스트 베어링 간극에 면하게 하고, 다른쪽의 베어링 슬리브의 제 2 동압 홈 영역을 제 2 스러스트 베어링 간극에 면하게 하고, 이것은 환언하면 동일한 베어링 슬리브를 축방향으로 2개 늘어 놓은 것을 의미한다. 따라서, 상하의 배치를 고려하는 일 없이 각 베어링 슬리브를 하우징에 맞붙일 수 있고, 이것에 의해, 베어링 부재의 일단측에 제 1 스러스트 베어링 간극, 타단측에 제 2 스러스트 베어링 간극을 구비하고, 한층 모멘트 강성이 우수한 유체 베어링 장치를 용이하게 형성할 수 있다. 또한 베어링 슬리브를 1종류로 집약할 수 있는 만큼 부품 단가를 저감할 수 있고, 또한, 부품의 관리 비용을 저감할 수도 있다.As described above, since the bearing member has two bearing sleeves, the bearing span of the radial bearing portion can be increased to increase the moment rigidity, and the manufacturing of the bearing sleeves can be facilitated. In addition, the above-mentioned bearing sleeve has both a 1st dynamic pressure groove area | region and a 2nd dynamic pressure groove area | region in both end surfaces, and makes the 1st dynamic pressure groove area | region of one bearing sleeve face the 1st thrust bearing clearance, and the other The second dynamic pressure groove region of the bearing sleeve faces the second thrust bearing clearance, which means that two identical bearing sleeves are arranged in the axial direction. Therefore, each bearing sleeve can be stuck to a housing, without considering the arrangement of the upper and lower sides, whereby a first thrust bearing clearance is provided at one end side of the bearing member and a second thrust bearing clearance is provided at the other end side, and the moment is further increased. The fluid bearing device excellent in rigidity can be easily formed. In addition, the unit cost can be reduced as much as one type of bearing sleeve can be aggregated, and the management cost of parts can also be reduced.

제 1 동압 홈 영역과 제 2 동압 홈 영역을 다른 형상으로 형성하면, 각 베어링 슬리브의 상하를 용이하게 식별하는 것이 가능하게 되고, 한층 맞붙임의 용이화를 도모할 수 있다. 여기서 말하는 「다른 형상」은 예컨대 한쪽을 스파이럴 형상으로 배열된 복수개의 동압 홈으로, 다른쪽을 헤링본 형상으로 배열된 복수개의 동압 홈으로 형성하는 구성 외에 동종 형상으로 배열된 동압 홈의 홈 개수 등을 양자에서 다르게 한 것도 포함된다. 식별성을 높이는 관점에서 말하면 전자의 구성이 바람직하다. 또한, 유체 베어링 장치의 용도에 따라 제 1 스러스트 베어링 간극과 제 2 스러스트 베어링 간극에서 필요로 되는 압력이 다른 경우 등에는 그것에 맞추어 동압 홈의 배열 패턴을 변경해도 좋다.When the first dynamic pressure groove region and the second dynamic pressure groove region are formed in different shapes, it becomes possible to easily identify the upper and lower sides of each bearing sleeve, and further facilitate the bonding. The term "other shape" herein refers to, for example, a plurality of dynamic pressure grooves arranged in a spiral shape, the other being formed of a plurality of dynamic pressure grooves arranged in a herringbone shape, and the number of grooves of the dynamic pressure grooves arranged in the same shape. It includes both differently. In view of increasing the discrimination, the former configuration is preferable. In addition, when the pressure required in the first thrust bearing gap and the second thrust bearing gap differs depending on the use of the fluid bearing device, the arrangement pattern of the dynamic pressure groove may be changed accordingly.

2개의 베어링 슬리브 간에는 스페이서 부재를 개재시킬 수 있다. 이 스페이서 부재는 예컨대 베어링 슬리브를 오일 함유 소결 금속으로 형성할 경우에 다공질조직을 갖지 않는 재료(비다공질 재료)로 형성할 수 있다. 이 경우, 베어링 장치에 포함시키는 윤활유량을 감소시킬 수 있으므로, 총 오일량이 적어지는 만큼 저비용화할 수 있다. 또한, 오일량이 적어지는 만큼 시일 공간의 용적을 작게 할 수 있고, 레이디얼 베어링부의 베어링 스팬을 한층 확대시키는 것이 즉 모멘트 강성을 한층 높일 수 있다.The spacer member can be interposed between the two bearing sleeves. This spacer member can be formed of a material (non-porous material) having no porous structure, for example, when the bearing sleeve is formed of an oil-containing sintered metal. In this case, since the amount of lubricating oil included in the bearing device can be reduced, the cost can be reduced as the total amount of oil decreases. In addition, as the amount of oil decreases, the volume of the seal space can be reduced, and the bearing span of the radial bearing portion can be further expanded, that is, the moment rigidity can be further increased.

이상의 구성을 갖는 유체 베어링 장치는 상기 유체 베어링 장치와, 고정자 코일과, 회전자 자석을 갖는 모터, 그중에서도 고속 회전화나 회전체의 중량화에 따라 특히 높은 모멘트 강성이 필요한 모터에 바람직하게 이용할 수 있다.The fluid bearing device having the above structure can be suitably used for the fluid bearing device, the stator coil, the motor having the rotor magnet, and especially the motor requiring particularly high moment rigidity due to the high speed rotation and the weight of the rotating body.

또한, 상기 제 2 과제를 해결하기 위해서, 본 발명에서는, 내주에 복수개의 레이디얼 베어링면이 축방향으로 이격해서 설치되는 베어링 부재와, 베어링 부재의 내주에 삽입되는 축부재를 갖는 회전체와, 레이디얼 베어링면과 축부재의 외주면 사이의 레이디얼 베어링 간극에 생기는 유체의 동압 작용에 의해 회전체를 비접촉으로 지지하는 복수개의 레이디얼 베어링부를 구비한 유체 베어링 장치에 있어서, 베어링 부재가 축방향으로 배열된 복수개의 베어링 슬리브를 갖고, 복수개의 베어링 슬리브에 포함되는 제 1 베어링 슬리브에 복수개의 레이디얼 베어링면이 모두 형성되고, 또한 제 1 베어링 슬리브가 회전체의 축방향 무게 중심 위치에 가까운 측에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 베어링 장치를 제공한다. 여기서, 회전체는 유체 베어링 장치의 스핀들로서 회전하는 물체 전체를 가리키고, 축부재에 설치되며 축부재와 일체적으로 회전가능한 부재이면 그들을 모두 포함한 물체를 의미한다. 예컨대, 유체 베어링 장치를 HDD 등의 디스크 구동 장치에 조립해서 사용할 경우, 축부재와, 구동부를 구성하는 마그넷이나 디스크, 또는 이들 마그넷이나 디스크를 축부재에 설치하는 허브 등(그 외에 클램퍼 등)을 모두 포함하는 어셈블리체를 가리킨다. 또한, 상기 유체 베어링 장치를 팬 모터 등에 조립해서 사용할 경우, 축부재와, 구동부를 구성하는 마그넷 외에 허브 등을 통해서 축부재에 고정되는 팬 등을 모두 포함하는 어셈블리체를 가리킨다.Moreover, in order to solve the said 2nd subject, in this invention, the rotating body which has a bearing member in which the several radial bearing surface is spaced apart in the axial direction, and the shaft member inserted in the inner periphery of a bearing member, A fluid bearing device having a plurality of radial bearing portions for supporting a rotating body in a non-contact manner by the dynamic pressure action of the fluid generated in the radial bearing gap between the radial bearing surface and the outer circumferential surface of the shaft member, wherein the bearing member is in the axial direction. With a plurality of bearing sleeves arranged, all the plurality of radial bearing surfaces are formed in the first bearing sleeve included in the plurality of bearing sleeves, and the first bearing sleeve is located on the side close to the axial center of gravity position of the rotating body. It provides a fluid bearing device, characterized in that arranged. Here, the rotating body refers to the whole rotating object as the spindle of the fluid bearing device, and means an object which is installed on the shaft member and includes all of them if the member is rotatable integrally with the shaft member. For example, when the fluid bearing device is used by assembling a disk drive device such as an HDD, the shaft member, a magnet or disk constituting the drive unit, or a hub (such as a clamper) for installing the magnet or disk on the shaft member or the like is used. Points to an assembly that contains all of them. In addition, when the fluid bearing device is assembled to a fan motor or the like, it refers to an assembly including all of the shaft member, a fan constituting the drive unit, and a fan fixed to the shaft member through a hub or the like.

상술한 바와 같이, 본 발명은 베어링 부재를 구성하는 복수개의 베어링 슬리브 중 하나의 베어링 슬리브에 모든 레이디얼 베어링면을 형성함과 아울러, 이러한 베어링 슬리브를 피지지체가 되는 회전체의 축방향 무게 중심 위치에 가까운 측에 배치한 것을 특징으로 하는 것이다. 즉, 모든 레이디얼 베어링면을 1개의 베어링 슬리브에 집약함으로써 복수개의 베어링 슬리브에 각각 레이디얼 베어링면을 형성하는 것에 기인하는 동축도의 저하, 나아가서는 베어링 강성의 저하를 회피할 수 있다. 또한, 복수개의 베어링 슬리브 간에서 동축 맞춤을 행하는 경우와 비교해서 작업 효율이 현격하게 향상되고, 이것에 의한 가공 비용의 저감화가 가능하게 된다. 아울러, 본 발명에서는 이러한 베어링 슬리브를 회전체의 축방향 무게 중심 위치에 가까운 측에 배치했으므로, 바꾸어 말하면, 되도록이면 회전체의 축방향 무게 중심 위치에 가까운 개소에서 레이디얼 베어링부를 형성하도록 했으므로, 지지해야 할 회전체의 무게 중심 위치에 맞춘 적절한 개소에서 회전체를 지지할 수 있다. 이것에 의해, 복수개의 베어링 슬리브에 각각 레이디얼 베어링면을 나누어 형성하는 경우의 레이디얼 베어링부 간의 베어링 스팬과의 차를 보완하여 높은 모멘트 강성을 확보할 수 있다.As described above, the present invention forms all the radial bearing surfaces in one of the bearing sleeves constituting the bearing member, and the axial center of gravity position of the rotating body which supports the bearing sleeves. It is characterized in that placed on the side close to. That is, by condensing all the radial bearing surfaces in one bearing sleeve, the reduction of the coaxial degree resulting from forming radial bearing surfaces in a plurality of bearing sleeves, respectively, and also the fall of bearing rigidity can be avoided. Moreover, compared with the case where coaxial matching is carried out between a some bearing sleeve, work efficiency improves remarkably and this can reduce processing cost. In addition, in this invention, since such a bearing sleeve was arrange | positioned at the side close to the axial center of gravity position of a rotating body, in other words, since it was made to form a radial bearing part in the position close to the axial center of gravity position of a rotating body, it is supported. The rotor can be supported at an appropriate position in accordance with the position of the center of gravity of the rotor to be operated. As a result, the difference between the bearing spans between the radial bearing portions in the case where the radial bearing surfaces are formed separately in the plurality of bearing sleeves can be compensated for, thereby ensuring high moment rigidity.

구체적인 구성으로서, 예컨대 베어링 부재를 구성하는 복수개의 베어링 슬리브 중 내주에 레이디얼 베어링면을 갖지 않는 제 2 베어링 슬리브가 제 1 베어링 슬리브의 축방향 일방측에 배치되어 있는 구성을 들 수 있다. 또한, 이 경우, 베어링 부재는 복수개의 베어링 슬리브를 내주에 유지하는 하우징을 갖고, 하우징이 제 2 베어링 슬리브와 일체로 형성되어 있는 것이어도 된다. 또한, 베어링 부재는 내주에 레이디얼 베어링면을 갖지 않는 제 3 베어링 슬리브를 더 갖는 것이어도 된다. 이 경우, 제 3 베어링 슬리브는 제 1 베어링 슬리브의 축방향 타방측에 배치할 수도 있다. 또한, 베어링 부재가 제 2 베어링 슬리브를 일체로 형성해서 이루어지는 하우징을 가질 경우, 제 2 베어링 슬리브의 축방향 일방측에 제 1 베어링 슬리브를, 축방향 타방측에 제 3 베어링 슬리브를 배치할 수도 있다.As a specific structure, the structure in which the 2nd bearing sleeve which does not have a radial bearing surface in the inner periphery of the some bearing sleeve which comprises a bearing member is arrange | positioned at the axial direction one side of a 1st bearing sleeve is mentioned. In this case, the bearing member may have a housing holding a plurality of bearing sleeves on the inner circumference, and the housing may be formed integrally with the second bearing sleeve. Moreover, the bearing member may further have a 3rd bearing sleeve which does not have a radial bearing surface in an inner periphery. In this case, the third bearing sleeve may be disposed on the other side in the axial direction of the first bearing sleeve. Moreover, when a bearing member has a housing which integrally forms a 2nd bearing sleeve, you may arrange | position a 1st bearing sleeve in the axial one side of a 2nd bearing sleeve, and a 3rd bearing sleeve in the axial other side. .

모멘트 강성의 더나은 향상을 노려서 예컨대 베어링 부재를 구성하는 복수개의 베어링 슬리브의 끝면 중 축방향에서 가장 일단측에 위치하는 제 1 끝면과, 제 1 끝면과 축방향으로 가장 이격한 제 2 끝면에 각각 스러스트 베어링면을 형성한 구성을 가질 수도 있다. 이러한 구성에 의하면, 각 스러스트 베어링면을 베어링 부재의 축방향으로 가능한 한 이간된 위치에 형성할 수 있다. 이것에 의해, 회전체와의 사이에 형성되는 스러스트 베어링부의 축방향 이간 거리를 가능한 한 크게 하여 모멘트 강성의 보다 한층의 향상을 도모할 수 있다.For further improvement of the moment stiffness, for example, a first end face positioned at the one end side in the axial direction among the end faces of the plurality of bearing sleeves constituting the bearing member, and a second end face spaced apart in the axial direction from the first end face, respectively. It may have a configuration in which a thrust bearing surface is formed. According to such a structure, each thrust bearing surface can be formed in the position separated as far as possible in the axial direction of a bearing member. Thereby, the distance in the axial direction of the thrust bearing part formed between the rotating body can be made as large as possible, and the moment rigidity can be further improved.

또한, 상기 제 3 과제를 해결하기 위해서, 본 발명에서는, 베어링 부재와, 베어링 부재의 내주에 삽입되는 축부재를 갖는 회전체와, 베어링 부재와 축부재 사이에 형성되는 레이디얼 베어링 간극에 생기는 유체막에 의해 축부재를 갖는 회전체를 레이디얼 방향으로 지지하는 레이디얼 베어링부를 구비하는 유체 베어링 장치에 있어서, 레이디얼 베어링 간극의 간극 폭을 축방향으로 다르게 하고, 그 간극 폭이 큰 광폭부와 간극 폭이 작은 협폭부 중 협폭부를 회전체의 무게 중심 위치측에 배치하고, 베어링 부재의 적어도 레이디얼 베어링 간극에 면하는 영역을 석출 금속으로 이루어지는 전기 주조부에 형성한 것을 특징으로 하는 유체 베어링 장치를 제공한다. 또한, 여기서 말하는 「회전체」는 축부재에 설치되며 축부재와 일체로 회전가능한 부재 모두를 포함한 것을 가리킨다. 예컨대, HDD 등의 스핀들 모터에 조립해서 사용할 경우, 회전체는 축부재, 축부재에 설치되는 디스크 허브, 및 디스크 허브에 고정되는 마그넷이나 디스크, 또한 클램퍼 등을 모두 포함하는 것을 가리킨다. 또한, 예컨대 팬 모터에 조립해서 사용할 경우, 축부재, 허브 등을 통해서 축부재에 고정되는 팬, 마그넷 등을 모두 포함하는 것을 가리킨다.Moreover, in order to solve the said 3rd subject, in this invention, the fluid which arises in the radial member gap formed between a bearing member, the rotating body which has a shaft member inserted in the inner periphery of a bearing member, and a bearing member and a shaft member. A fluid bearing device comprising a radial bearing portion for supporting a rotating body having an axial member in a radial direction by a membrane, wherein the gap width of the radial bearing gap is changed in the axial direction, and the wide width portion having the large gap width is provided. The narrow bearing part of the narrow part with a small clearance width is arrange | positioned at the center of gravity position of a rotating body, and the area | region which faces at least the radial bearing clearance of a bearing member was formed in the electroforming part which consists of precipitation metals, The fluid bearing characterized by the above-mentioned. Provide the device. In addition, the "rotating body" referred to here refers to the one including both the member installed on the shaft member and rotatable integrally with the shaft member. For example, when assembled to a spindle motor such as an HDD, the rotating body refers to a shaft member, a disk hub provided on the shaft member, a magnet or a disk fixed to the disk hub, and a clamper. In addition, when it is used, for example, when it is assembled to a fan motor, it points out that it contains all the fans, a magnet, etc. which are fixed to the shaft member through a shaft member, a hub, etc.

일반적으로, 레이디얼 베어링 간극의 간극 폭이 작아짐에 따라 레이디얼 베어링 간극에 형성되는 유체막의 강성(베어링 강성)은 높아진다. 따라서, 상기와 같이, 레이디얼 베어링 간극의 간극 폭을 축방향으로 다르게 하고, 그 간극 폭이 큰 광폭부와 간극 폭이 작은 협폭부 중 협폭부를 회전체의 무게 중심 위치측에 배치하면, 회전체의 무게 중심 근방에서 베어링 강성을 높일 수 있는 한편, 무게 중심으로부터 떨어진 영역에서는 베어링 강성을 낮게 할 수 있다. 이것에 의해, 베어링 강성의 확보와 저토크화를 동시에 달성할 수 있고, 회전체의 지지 정밀도를 높일 수 있다. 또한, 레이디얼 베어링부의 베어링 중심과 회전체의 무게 중심 위치의 이간 거리를 단축시킬 수도 있고, 모멘트 강성을 높일 수도 있다. 상기 구성은 예컨대 레이디얼 베어링 간극에 면하는 축방향 영역에서 축부재를 지름이 일정하게 형성함과 아울러 베어링 부재를 다른 지름으로 형성하거나, 또는, 축부재를 다른 지름으로 형성함과 아울러 베어링 부재를 지름이 일정하게 형성함으로써 얻을 수 있다.In general, as the gap width of the radial bearing gap decreases, the rigidity (bearing rigidity) of the fluid film formed in the radial bearing gap increases. Therefore, as described above, if the gap width of the radial bearing gap is changed in the axial direction, and the narrow part among the wide part having the large gap width and the narrow part having the small gap width is arranged at the center of gravity position of the rotating body, The bearing stiffness can be increased near the whole center of gravity, while the bearing stiffness can be lowered in the area away from the center of gravity. As a result, securing of bearing rigidity and lowering torque can be achieved at the same time, and the support accuracy of the rotating body can be improved. Moreover, the separation distance between the bearing center of a radial bearing part and the position of the center of gravity of a rotating body can also be shortened, and moment rigidity can also be improved. The above configuration is such that, for example, the shaft member has a constant diameter in the axial region facing the radial bearing gap and the bearing member has a different diameter, or the shaft member has a different diameter and the bearing member has a different diameter. It can obtain by forming a constant diameter.

또한, 본 발명은 베어링 부재의 적어도 레이디얼 베어링 간극에 면하는 영역(소위, 레이디얼 베어링면)을 석출 금속으로 이루어지는 전기 주조부에 형성한 것을 특징으로 하는 것이다. 전기 주조부는 전해 도금(전기 도금), 또는 무전해 도금(화학 도금)에 준하는 방법으로 형성할 수 있다. 이러한 방법의 특성상, 전기 주조부의 석출 개시측의 면은 이것을 형성하는 마스터의 표면 형상이 미크론 오더의 레벨까지 고정밀도로 전사된 치밀한 면이 되므로, 마스터의 표면을 소정의 형상 정밀도로 마무리해 두면, 특별한 마무리 가공 등을 실시하는 일 없이 용이하게 베어링 부재의 내주면 정밀도를 높일 수 있다. 따라서, 전기 주조부, 특히 그 석출 개시면에 레이디얼 베어링면을 형성하면, 레이디얼 베어링 간극의 폭 정밀도를 용이하고 또한 저비용으로 높일 수 있게 된다. 또한, 이러한 구성으로 하면, 레이디얼 베어링면이 금속면이 되므로, 온도 변화에 따른 레이디얼 베어링면의 특성 변화를 억제하여 회전 정밀도의 저하를 최대한 억제할 수 있다.The present invention is also characterized in that a region (so-called radial bearing surface) facing at least the radial bearing gap of the bearing member is formed in an electroforming section made of a precipitated metal. The electroforming part can be formed by a method similar to electrolytic plating (electroplating) or electroless plating (chemical plating). Due to the characteristics of this method, the surface on the precipitation start side of the electroforming part becomes a dense surface that is accurately transferred to the level of the micron order to form the surface of the master which forms it. The precision of the inner peripheral surface of the bearing member can be easily increased without performing finishing. Therefore, if the radial bearing surface is formed in the electroforming part, especially the precipitation starting surface, the width accuracy of the radial bearing clearance can be easily increased at low cost. In this configuration, since the radial bearing surface becomes a metal surface, it is possible to suppress changes in the characteristics of the radial bearing surface due to temperature changes and to suppress a decrease in rotational accuracy as much as possible.

상기 구성에 있어서, 소망하는 회전 정밀도를 확보할 수 있는 레이디얼 베어링 간극의 간극 폭은 축부재의 축 지름(d)에 대한 레이디얼 베어링 간극의 최소의 직경 간극(δ)의 비(δ/d)로 정의할 수 있고, 본 발명자들의 검증에 의하면, 비(δ/d)는 1/1000≤δ/d≤1/250의 범위 내이면 좋은 것이 판명되었다. 그 이유를 이하에 상세히 설명한다.In the above configuration, the gap width of the radial bearing gap that can ensure the desired rotational accuracy is the ratio (δ / d) of the minimum diameter gap δ of the radial bearing gap to the shaft diameter d of the shaft member. ), And the present inventors proved that the ratio (δ / d) should be within the range of 1/1000 ≦ δ / d ≦ 1/250. The reason is explained in detail below.

우선, 비(δ/d)의 하한값 1/1000은 마스터나 축부재의 외주면, 및 전기 주조부 내주면의 진원도ㆍ원통도 등으로부터 도출할 수 있다. 즉 직경 간극(δ)이 축부재의 외주면이나 베어링 부재의 내주면의 진원도ㆍ원통도보다 작아지면, 축부재와 베어링 부재 사이에서 접촉이 생겨 소정의 성능을 확보하는 것이 어려워진다. 축부재의 외주면이나 베어링 부재의 내주면의 진원도 등을 한층 높이는 것도 가능하지만, 고정밀도화함에 따라 비용 상승을 피할 수 없게 된다. 따라서, 기능면 및 비용면의 밸런스를 고려하면, 비(δ/d)는 1/1000 이상으로 하는 것이 바람직하다. 한편, 비(δ/d)의 상한값 1/250은 회전 정밀도나 모멘트 강성의 관점으로부터 도출할 수 있다. 즉, 레이디얼 베어링 간극의 최소의 직경 간극(δ)이 커지면, 소망하는 베어링 강성, 모멘트 강성을 확보할 수 없게 되고, 회전 정밀도의 악화나 축부재와 베어링 부재의 접촉 등의 문제가 생긴다. 따라서, 비(δ/d)는 1/250 이하로 하는 것이 바람직하다.First, the lower limit value 1/1000 of the ratio δ / d can be derived from the roundness, cylinder degree, etc. of the outer circumferential surface of the master or the shaft member and the inner circumferential surface of the electroforming part. In other words, when the diameter gap δ becomes smaller than the roundness and the cylinder degree of the outer circumferential surface of the shaft member or the inner circumferential surface of the bearing member, contact between the shaft member and the bearing member occurs and it becomes difficult to secure a predetermined performance. It is possible to further increase the roundness of the outer circumferential surface of the shaft member and the inner circumferential surface of the bearing member, but it is inevitable that the increase in cost is inevitable. Therefore, in consideration of the balance between the functional and cost aspects, the ratio δ / d is preferably set to 1/1000 or more. In addition, the upper limit 1/250 of ratio (delta / d) can be derived from a rotation precision or a moment rigidity viewpoint. In other words, when the minimum diameter gap δ of the radial bearing gap becomes large, desired bearing rigidity and moment rigidity cannot be secured, resulting in deterioration of rotational accuracy and problems such as contact between the shaft member and the bearing member. Therefore, it is preferable to make ratio (delta / d) into 1/250 or less.

또한, 상기 구성에 있어서 예컨대 레이디얼 베어링 간극의 일단에 광폭부, 타단에 협폭부를 형성함과 아울러, 광폭부로부터 협폭부에 걸쳐 간극 폭을 점점 감소시킬 경우, 레이디얼 베어링 간극의 축방향 길이(L)와, 레이디얼 베어링 간극의 축방향 전장에 있어서의 반경 간극의 감소량(ε)의 비(ε/L), 바꾸어 말하면, 경사(ε/L)는 1/1000≤ε/L≤1/500으로 하는 것이 바람직한 것이 본 발명자들의 예의연구에 의해 발견되었다. 비(ε/L)가 1/1000보다 작으면 상술한 베어링 강성의 향상 효과, 및 토크 저감 효과를 충분하게 얻는 것이 어려워진다. 한편, 1/500보다 크면, 광폭부의 값이 과대해져 베어링 강성이 부족해지고, 회전 정밀도가 악화될 우려가 있고, 또한, 베어링 부재의 성형시에 있어서는 마스터를 무리하게 빼내는 정도가 커져 레이디얼 베어링면의 손상을 초래할 우려가 높아지기 때문이다.Further, in the above configuration, for example, when the wide width portion is formed at one end of the radial bearing gap and the narrow width portion at the other end, and the gap width is gradually reduced from the wide width portion to the narrow width portion, the axial length of the radial bearing gap is reduced. (L) and the ratio (ε / L) of the decrease amount (ε) of the radial gap in the axial length of the radial bearing gap, in other words, the inclination (ε / L) is 1 / 1000≤ε / L≤1 Preferred to be / 500 has been found by the inventors' earnest research. When the ratio ε / L is smaller than 1/1000, it becomes difficult to sufficiently obtain the above-described improvement of the bearing rigidity and the torque reduction effect. On the other hand, when it is larger than 1/500, the value of the wide part becomes excessive, the bearing rigidity may be insufficient, and the rotational accuracy may deteriorate. In addition, when forming the bearing member, the degree of pulling out the master forcibly increases and the radial bearing surface becomes larger. This is because there is a high risk of causing damage.

상기의 유체 베어링 장치에는 레이디얼 베어링 간극에 유체 동압을 발생시키기 위한 동압 발생부를 형성할 수 있고, 이것에 의해 레이디얼 베어링부를 회전 정밀도가 우수한 동압 베어링으로 구성할 수 있다. 동압 발생부는 전기 주조부의 내주면 또는 축부재의 외주면에 형성할 수 있지만, 전기 주조 가공에서 이용하는 마스터 표면에 동압 발생부에 대응한 다이부를 설치해 두는 것만으로 용이하고 또한 고정밀도로 형성할 수 있다. 그 때문에, 동압 발생부는 축부재의 외주면에 형성하는 것보다 전기 주조부의 내주면에 형성하는 것이 바람직하다. 동압 발생부는 경사 홈, 축방향 홈, 또는 원호면 등 공지의 여러가지의 형상을 채용할 수 있다. 또한, 이러한 동압 발생부를 형성했을 경우, 베어링 부재의 내주면과 축부재의 외주면 사이에 형성되는 간극 중 동압 발생부에 면하는 영역이 본원에서 말하는 레이디얼 베어링 간극이 된다.In the fluid bearing device described above, a dynamic pressure generating portion for generating a fluid dynamic pressure in the radial bearing gap can be formed, whereby the radial bearing portion can be configured as a dynamic pressure bearing with excellent rotational accuracy. The dynamic pressure generating portion can be formed on the inner circumferential surface of the electroforming portion or the outer circumferential surface of the shaft member. However, the dynamic pressure generating portion can be formed easily and with high precision simply by providing a die portion corresponding to the dynamic pressure generating portion on the master surface used in electroforming. Therefore, it is preferable to form the dynamic pressure generating part on the inner circumferential surface of the electroformed portion, rather than the outer circumferential surface of the shaft member. The dynamic pressure generating portion may adopt various known shapes such as an inclined groove, an axial groove, or an arcuate surface. Moreover, when such dynamic pressure generating part is formed, the area | region facing a dynamic pressure generating part of the clearance gap formed between the inner peripheral surface of a bearing member and the outer peripheral surface of a shaft member turns into a radial bearing clearance referred to here.

<발명의 효과>Effect of the Invention

상기와 같이, 베어링 슬리브를 축방향으로 복수개 배치하고, 또한 각 베어링 슬리브를 서로 축방향 길이를 다르게 해서 형성함으로써 모멘트 강성이 우수하고, 베어링 슬리브의 제조가 용이하며, 또한, 조립이나 부품 관리의 작업 효율을 개선할 수 있는 유체 베어링 장치를 제공할 수 있다.As described above, by arranging a plurality of bearing sleeves in the axial direction and forming each bearing sleeve with an axial length different from each other, the moment rigidity is excellent, the bearing sleeves are easy to manufacture, and the work of assembling or managing parts is performed. It is possible to provide a fluid bearing device capable of improving the efficiency.

또한, 상기와 같이, 베어링 부재가 축방향으로 배열된 2개의 베어링 슬리브를 갖고, 그 2개의 베어링 슬리브가 모두 양단면에 제 1 동압 홈 영역과 제 2 동압 홈 영역을 갖는 것이며, 또한 한쪽의 베어링 슬리브의 제 1 동압 홈 영역을 제 1 스러스트 베어링 간극에 면하게 하고, 다른쪽의 베어링 슬리브의 제 2 동압 홈 영역을 제 2 스러스트 베어링 간극에 면하게 한 구성을 채용함으로써 모멘트 강성이 우수하고, 베어링 슬리브의 제조가 용이하며, 또한, 조립이나 부품 관리의 작업 효율을 개선할 수 있는 유체 베어링 장치를 제공할 수 있다.Further, as described above, the bearing member has two bearing sleeves arranged in the axial direction, and the two bearing sleeves each have a first dynamic pressure groove region and a second dynamic pressure groove region on both end faces, and one bearing By adopting a configuration in which the first dynamic pressure groove region of the sleeve faces the first thrust bearing clearance, and the second dynamic pressure groove region of the other bearing sleeve faces the second thrust bearing clearance, the moment rigidity is excellent, and It is possible to provide a fluid bearing device which is easy to manufacture and which can improve the work efficiency of assembly or parts management.

또한, 상기와 같이, 베어링 부재에 축방향으로 배열된 복수개의 베어링 슬리브를 설치하고, 복수개의 베어링 슬리브에 포함되는 제 1 베어링 슬리브에 복수개의 레이디얼 베어링면을 모두 형성하고, 또한 제 1 베어링 슬리브를 회전체의 축방향 무게 중심 위치에 가까운 측에 배치함으로써 조립 정밀도에 기인하는 베어링 성능의 저하를 가급적으로 회피하여 높은 모멘트 강성을 발휘할 수 있는 유체 베어링 장치를 제공할 수 있다.In addition, as described above, the bearing member is provided with a plurality of bearing sleeves arranged in the axial direction, and all the plurality of radial bearing surfaces are formed in the first bearing sleeve included in the plurality of bearing sleeves, and the first bearing sleeve is further provided. Can be provided on a side close to the axial center of gravity position of the rotating body, whereby a fluid bearing device capable of exerting a high moment rigidity by avoiding a drop in bearing performance due to assembling accuracy as much as possible can be provided.

또한, 상기와 같이, 레이디얼 베어링 간극의 간극 폭을 축방향으로 다르게 하고, 상기 간극 폭이 큰 광폭부와 간극 폭이 작은 협폭부 중 협폭부를 회전체의 무게 중심 위치측에 배치하고, 베어링 부재의 적어도 레이디얼 베어링 간극에 면하는 영역을 석출 금속으로 이루어지는 전기 주조부에 형성함으로써 레이디얼 베어링면의 폭 정밀도를 높이고, 모멘트 강성을 비롯한 베어링 성능이 우수한 유체 베어링 장치를 저비용으로 제공할 수 있다.Further, as described above, the gap width of the radial bearing gap is changed in the axial direction, and the narrow part of the wide part having the large gap width and the narrow part having the small gap width is disposed on the center of gravity position of the rotating body, and the bearing By forming the region facing at least the radial bearing gap of the member in the electroforming part made of the precipitated metal, the width precision of the radial bearing surface can be increased, and a fluid bearing device having excellent bearing performance including moment rigidity can be provided at low cost. .

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 유체 베어링 장치의 제 1 구성예를 나타내는 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a first configuration example of a fluid bearing device according to a first embodiment of the present invention.

도 2(A)는 하우징에 베어링 슬리브를 고정한 상태를 나타내는 상면도, 도 2(B)는 그 단면도, 도 2(C)는 그 하면도이다.2: (A) is a top view which shows the state which fixed the bearing sleeve to the housing, FIG. 2 (B) is sectional drawing, and FIG. 2 (C) is its bottom view.

도 3(A)는 베어링 슬리브의 조립 공정을 나타내는 개략도, 도 3(B)는 하우징의 상방 부분을 나타내는 확대 단면도이다.3: (A) is schematic which shows the assembly process of a bearing sleeve, and FIG. 3 (B) is an expanded sectional view which shows the upper part of a housing.

도 4는 제 1 실시형태에 따른 유체 베어링 장치의 제 2 구성예를 나타내는 단면도이다.4 is a cross-sectional view showing a second configuration example of the fluid bearing device according to the first embodiment.

도 5는 유체 베어링 장치를 조립한 스핀들 모터를 개념적으로 나타내는 단면도이다.5 is a cross-sectional view conceptually illustrating a spindle motor incorporating a fluid bearing device.

도 6은 유체 베어링 장치를 조립한 팬 모터를 개념적으로 나타내는 단면도이 다.6 is a cross-sectional view conceptually illustrating a fan motor incorporating a fluid bearing device.

도 7은 유체 베어링 장치를 조립한 스핀들 모터를 개념적으로 나타내는 단면도이다.7 is a cross-sectional view conceptually illustrating a spindle motor incorporating a fluid bearing device.

도 8은 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 유체 베어링 장치의 제 1 구성예를 나타내는 단면도이다.It is sectional drawing which shows the 1st structural example of the fluid bearing apparatus which concerns on 2nd Embodiment of this invention.

도 9(A)는 베어링 슬리브의 종단면도, 도 9(B)는 베어링 슬리브의 상측 끝면을 나타내는 도면, 도 9(C)는 베어링 슬리브의 하측 끝면을 나타내는 도면이다.Fig. 9A is a longitudinal sectional view of the bearing sleeve, Fig. 9B is a view showing the upper end face of the bearing sleeve, and Fig. 9C is a view showing the lower end face of the bearing sleeve.

도 10은 제 2 실시형태에 따른 유체 베어링 장치의 제 2 구성예를 나타내는 단면도이다.It is sectional drawing which shows the 2nd structural example of the fluid bearing device which concerns on 2nd Embodiment.

도 11은 베어링 슬리브의 다른 구성예를 나타내는 종단면도이다.It is a longitudinal cross-sectional view which shows the other structural example of a bearing sleeve.

도 12는 유체 베어링 장치를 조립한 팬 모터를 개념적으로 나타내는 단면도이다.12 is a cross-sectional view conceptually illustrating a fan motor incorporating a fluid bearing device.

도 13은 유체 베어링 장치를 조립한 스핀들 모터를 개념적으로 나타내는 단면도이다.13 is a sectional view conceptually illustrating a spindle motor incorporating a fluid bearing device.

도 14는 본 발명의 제 3 실시형태에 따른 유체 베어링 장치의 제 1 구성예를 나타내는 단면도이다.It is sectional drawing which shows the 1st structural example of the fluid bearing apparatus which concerns on 3rd embodiment of this invention.

도 15는 베어링 부재의 단면도이다.15 is a sectional view of a bearing member.

도 16은 도 15에 나타내는 베어링 부재를 화살표 a의 방향으로 바라본 단면도이다.FIG. 16 is a cross-sectional view of the bearing member shown in FIG. 15 as viewed in the direction of arrow a. FIG.

도 17은 도 15에 나타내는 베어링 부재를 화살표 b의 방향으로 바라본 단면 도이다.It is sectional drawing which looked at the bearing member shown in FIG. 15 in the direction of arrow b.

도 18은 베어링 부재의 다른 구성을 나타내는 단면도이다.It is sectional drawing which shows the other structure of a bearing member.

도 19는 베어링 부재의 다른 구성을 나타내는 단면도이다.It is sectional drawing which shows the other structure of a bearing member.

도 20은 제 3 실시형태에 따른 유체 베어링 장치의 제 2 구성예를 나타내는 단면도이다.It is sectional drawing which shows the 2nd structural example of the fluid bearing device which concerns on 3rd Embodiment.

도 21은 본 발명의 제 4 실시형태에 따른 유체 베어링 장치의 제 1 구성예를 나타내는 함축(含軸) 단면도이다.It is an impregnated sectional drawing which shows the 1st structural example of the fluid bearing device which concerns on 4th Embodiment of this invention.

도 22는 베어링 부재의 단면도이다.22 is a cross-sectional view of the bearing member.

도 23(A)는 마스터의 사시도, 도 23(B)는 마스터에 마스킹을 실시한 상태를 나타내는 사시도, 도 23(C)는 전기 주조 부재의 사시도이다.FIG. 23 (A) is a perspective view of a master, FIG. 23 (B) is a perspective view which shows the state which masked the master, and FIG. 23 (C) is a perspective view of an electroforming member.

도 24는 삽입 성형 직후의 베어링 부재의 단면도이다.It is sectional drawing of the bearing member immediately after insertion molding.

도 25는 제 4 실시형태에 따른 유체 베어링 장치의 제 2 구성예를 나타내는 단면도이다.It is sectional drawing which shows the 2nd structural example of the fluid bearing device which concerns on 4th Embodiment.

도 26은 제 4 실시형태에 따른 유체 베어링 장치의 제 3 구성예를 나타내는 단면도이다.It is sectional drawing which shows the 3rd structural example of the fluid bearing device which concerns on 4th Embodiment.

도 27은 제 4 실시형태에 따른 유체 베어링 장치의 제 4 구성예를 나타내는 단면도이다.It is sectional drawing which shows the 4th structural example of the fluid bearing device which concerns on 4th Embodiment.

도 28은 레이디얼 베어링부를 다원호 베어링으로 구성했을 경우의 함축 단면도이다.FIG. 28 is a constricted cross sectional view when the radial bearing portion is constituted by a multi-arc bearing. FIG.

도 29는 레이디얼 베어링부를 다원호 베어링으로 구성했을 경우의 함축 단면 도이다.Fig. 29 is a constricted cross sectional view when the radial bearing portion is constituted by a multi-arc bearing.

도 30은 레이디얼 베어링부를 다원호 베어링으로 구성했을 경우의 함축 단면도이다.30 is an impregnated cross sectional view when the radial bearing portion is constituted by a multi-arc bearing.

도 31은 레이디얼 베어링부를 스텝 베어링으로 구성했을 경우의 함축 단면도이다.31 is an impregnated cross sectional view when the radial bearing portion is constituted by a step bearing.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)(Explanation of symbols for the main parts of the drawing)

1,21 : 유체 베어링 장치 2 : 하우징1,21: fluid bearing device 2: housing

3 : 제 1 베어링 슬리브 4 : 제 2 베어링 슬리브3: first bearing sleeve 4: second bearing sleeve

5 : 축부재 6,7 : 시일 부재5 shaft member 6,7 seal member

8 : 스페이서 부재 A,A' : 레이디얼 베어링면8: spacer member A, A ': radial bearing surface

B : 볼록부 11 : 제 1 베어링 슬리브의 축방향 길이B: Convex portion 11: Axial length of first bearing sleeve

L2 : 제 2 베어링 슬리브의 축방향 길이L2: axial length of the second bearing sleeve

P : 조립 핀 R1,R2 : 레이디얼 베어링부P: Assembly pin R1, R2: Radial bearing part

T1,T2 : 스러스트 베어링부 S1,S2 : 시일 공간T1, T2: Thrust bearing part S1, S2: Seal space

101 : 유체 베어링 장치 102 : 축부재101: fluid bearing device 102: shaft member

104 : 고정자 코일 105 : 회전자 자석104: stator coil 105: rotor magnet

107 : 하우징 108 : 베어링 부재 107 housing 108 bearing member

109,110 : 시일 부재 181 : 베어링 슬리브 109,110 seal member 181: bearing sleeve

182 : 스페이서 부재 81a1,81b1,81c1 : 동압 홈182: spacer member 81a1, 81b1, 81c1: dynamic pressure groove

R11,R12 : 레이디얼 베어링부 T11,T12 : 스러스트 베어링부R11, R12: radial bearing part T11, T12: thrust bearing part

S11,S12 : 시일 공간 201 : 유체 베어링 장치S11, S12: seal space 201: fluid bearing device

202 : 회전체 203 : 허브202: rotating body 203: hub

206 : 축부재 207,208 : 시일 부재206: shaft member 207,208: seal member

209 : 베어링 부재 210 : 하우징209: bearing member 210: housing

211 : 제 1 베어링 슬리브 212 : 제 2 베어링 슬리브211: first bearing sleeve 212: second bearing sleeve

A21,A22 : 레이디얼 베어링면 B21,C21 : 스러스트 베어링면A21, A22: radial bearing face B21, C21: thrust bearing face

R21,R22 : 레이디얼 베어링부 T21,T22 : 스러스트 베어링부R21, R22: radial bearing part T21, T22: thrust bearing part

301,321,331,341 : 유체 베어링 장치301,321,331,341: Fluid Bearing Device

302 : 회전체 303 : 축부재302: rotating body 303: shaft member

304 : 회전자 305 : 베어링 부재304: rotor 305: bearing member

306 : 전기 주조부 307 : 피복부306: electroforming part 307: covering part

308,309 : 레이디얼 베어링면 311 : 마스터308309: radial bearing face 311: master

312 : 마스킹부 Cr1,Cr2,Cr3 : 레이디얼 베어링 간극312: masking part Cr1, Cr2, Cr3: radial bearing clearance

D1 : (레이디얼 베어링 간극의) 협폭부D1: narrow part (of radial bearing clearance)

D2 : (레이디얼 베어링 간극의) 광폭부D2: wide part (of radial bearing clearance)

L : 레이디얼 베어링 간극의 축방향 길이L: Axial length of radial bearing clearance

R31,R32 : 레이디얼 베어링부 T3 : 스러스트 베어링부R31, R32: radial bearing part T3: thrust bearing part

S3 : 시일 공간 d : 축부재의 축 지름S3: Seal space d: Shaft diameter of shaft member

이하, 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 유체 베어링 장치 및 이것을 구비하 는 모터를 도 1~도 6에 기초하여 상세히 설명한다. 또한, 이하의 설명에 있어서의 『상하』방향은 단지 각 도면에 있어서의 상하방향을 편의적으로 나타내는 것으로, 유체 베어링 장치의 설치 방향이나 사용 형태 등을 한정하는 것은 아니다. 도 7 이후에서 나타내는 본 발명의 다른 실시형태에 대해서도 마찬가지이다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the fluid bearing apparatus which concerns on 1st Embodiment of this invention, and the motor provided with this are demonstrated in detail based on FIGS. In addition, the "up-down" direction in the following description merely shows the up-down direction in each figure, and does not limit the installation direction, the use form, etc. of a fluid bearing apparatus. The same applies to other embodiments of the present invention shown in FIG. 7 and later.

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 유체 베어링 장치의 일구성예를 나타내고 있다. 동 도면에 나타내는 유체 베어링 장치(1)는 HDD에 조립되는 모터에 있어서 스핀들 축의 회전을 지지하는 것이다. 이 유체 베어링 장치(1)는 하우징(2)과, 축방향으로 서로 이격된 위치에서 하우징(2)에 고정된 복수개, 여기서는 2개의 베어링 슬리브(제 1 베어링 슬리브(3), 제 2 베어링 슬리브(4))와, 상기 제 1, 제 2 베어링 슬리브(3,4) 사이에 배치된 스페이서 부재(8)와, 제 1, 제 2 베어링 슬리브(3,4)의 내주에 삽입된 축부재(5)를 주요한 구성 부품으로서 구비하고 있다.1 shows an example of the configuration of a fluid bearing device according to a first embodiment of the present invention. The fluid bearing device 1 shown in the figure supports the rotation of the spindle shaft in the motor assembled to the HDD. The fluid bearing device 1 comprises a housing 2 and a plurality, in this case, two bearing sleeves (first bearing sleeve 3, second bearing sleeve) fixed to the housing 2 at positions axially spaced apart from each other. 4)), a spacer member 8 disposed between the first and second bearing sleeves 3 and 4, and a shaft member 5 inserted into an inner circumference of the first and second bearing sleeves 3 and 4; ) Is provided as a major component.

후술하는 바와 같이, 제 1 베어링 슬리브(3)의 내주면(3a)과 축부재(5)의 외주면(5a) 사이에 제 1 레이디얼 베어링부(R1)가 설치되고, 제 2 베어링 슬리브(4)의 내주면(4a)과 축부재(5)의 외주면(5a) 사이에 제 2 레이디얼 베어링부(R2)가 설치된다. 또한, 제 1 베어링 슬리브(3)의 상측 끝면(3b)과 시일 부재(6)의 하측 끝면(6b) 사이에 제 1 스러스트 베어링부(T1)가 설치되고, 제 2 베어링 슬리브(4)의 하측 끝면(4b)과 시일 부재(7)의 상측 끝면(7b) 사이에 제 2 스러스트 베어링부(T2)가 설치된다.As described later, the first radial bearing portion R1 is provided between the inner circumferential surface 3a of the first bearing sleeve 3 and the outer circumferential surface 5a of the shaft member 5, and the second bearing sleeve 4 is provided. The second radial bearing portion R2 is provided between the inner circumferential surface 4a and the outer circumferential surface 5a of the shaft member 5. Further, a first thrust bearing portion T1 is provided between the upper end surface 3b of the first bearing sleeve 3 and the lower end surface 6b of the seal member 6, and the lower side of the second bearing sleeve 4 is provided. The second thrust bearing portion T2 is provided between the end surface 4b and the upper end surface 7b of the seal member 7.

하우징(2)은 예컨대 수지 재료를 사출 성형해서 대략 원통형상으로 형성되고, 제 1, 제 2 베어링 슬리브(3,4) 및 스페이서 부재(8)가 고정되는 제 1 내주 면(7a)은 스트레이트의 원통면으로 형성되어 있다. 또한, 제 1 내주면(7a)의 양단부에는 제 1 내주면(7a)보다 큰 지름의 제 2, 제 3 내주면(2b,2c)이 형성되어 있고, 제 2, 제 3 내주면(2b,2c)은 단차면(2d,2e)을 통해서 각각 제 1 내주면(2a)에 연결되어 있다. The housing 2 is formed into a substantially cylindrical shape by injection molding a resin material, for example, and the first inner circumferential surface 7a on which the first and second bearing sleeves 3 and 4 and the spacer member 8 are fixed is formed of a straight shape. It is formed in a cylindrical surface. In addition, on both ends of the first inner circumferential surface 7a, second and third inner circumferential surfaces 2b and 2c having a diameter larger than the first inner circumferential surface 7a are formed, and the second and third inner circumferential surfaces 2b and 2c are short. It is connected to the 1st inner peripheral surface 2a through the vehicle surfaces 2d and 2e, respectively.

하우징(2)을 형성하는 수지 재료에 이용하는 베이스 수지로서는 사출 성형 가능한 것이면 비결정성 수지ㆍ결정성 수지를 막론하고 사용 가능하므로, 예컨대, 비결정성 수지로서, 폴리설폰(PSU), 폴리에테르설폰(PES), 폴리페닐설폰(PPSU), 폴리에테르이미드(PEI) 등, 결정성 수지로서 액정 폴리머(LCP), 폴리에테르에테르케톤(PEEK), 폴리부틸렌테레프탈레이트(PBT), 폴리페닐렌술피드(PPS) 등을 이용할 수 있다. 물론 이것들은 일례에 지나지 않고, 사용환경 등을 고려해서 그 외의 베이스 수지를 사용할 수도 있다. 또한, 상기 베이스 수지에 충전하는 충전재의 종류도 특별히 한정되지 않지만, 예컨대, 충전재로서 유리섬유 등의 섬유상 충전재, 티탄산 칼륨 등의 휘스커 형상 충전재, 운모 등의 비늘 조각 형상 충전재, 카본섬유, 카본블랙, 흑연, 카본 나노 재료, 금속 분말 등의 섬유상 또는 분말상의 도전성 충전재를 이용할 수 있다. 이들 충전재는 단독으로 이용하거나, 또는, 2종 이상을 혼합해서 사용해도 좋다.As the base resin used for the resin material for forming the housing 2, any one that can be injection molded can be used regardless of the amorphous resin and the crystalline resin. For example, as the amorphous resin, polysulfone (PSU) and polyether sulfone (PES) can be used. ), Polyphenylsulfone (PPSU), polyetherimide (PEI) and the like, as a crystalline resin liquid crystal polymer (LCP), polyether ether ketone (PEEK), polybutylene terephthalate (PBT), polyphenylene sulfide (PPS) ) And the like can be used. These are of course only examples, and other base resins may be used in consideration of the use environment and the like. The type of the filler to be filled in the base resin is not particularly limited, for example, fibrous fillers such as glass fibers, whisker fillers such as potassium titanate, scaly fillers such as mica, carbon fibers, carbon black, Fibrous or powdery conductive fillers such as graphite, carbon nanomaterial, and metal powder can be used. These fillers may be used independently, or may mix and use 2 or more types.

이 외에 황동이나 알루미늄 합금 등의 연질 금속 재료, 그 외의 금속 재료로서 하우징(7)을 형성할 수도 있다.In addition, the housing 7 can also be formed from soft metal materials, such as brass and an aluminum alloy, and other metal materials.

축부재(5)는 스테인레스강 등의 금속 재료로 형성되고, 전체적으로 대략 동일한 직경의 축 형상을 하고 있다. 이 축부재(5)에는 돌출부로서의 환상의 시일 부 재(6,7)가 적절한 고정수단 예컨대 접착 또는 압입 접착(압입과 접착의 병용)에 의해 고정되어 있다. 이들 시일 부재(6,7)는 축부재(5)의 외주면(5a)으로부터 외경측으로 돌출한 형태가 되고, 각각 하우징(2)의 제 2, 제 3 내주면(2b,2c)의 내주측에 수용된다. 또한, 접착제에 의한 고정 강도를 높이기 위해서 시일 부재(6,7)의 고정 위치가 되는 축부재(5)의 외주면(5a)에 접착제 저류부가 되는 원주 홈(5a1,5a2)이 형성되어 있다. 또한, 시일 부재(6,7)는 놋쇠(황동) 등의 연질 금속 재료나 그 외의 금속 재료로 형성해도 좋고, 수지 재료로 형성해도 좋다. 또한, 시일 부재(6,7) 중 한쪽은 축부재(5)에 일체로 형성해도 좋다.The shaft member 5 is formed of metal materials, such as stainless steel, and has the shaft shape of substantially the same diameter as a whole. To this shaft member 5, annular seal members 6 and 7 as protrusions are fixed by suitable fixing means such as adhesion or press-fitting (combination of press-fitting and adhesion). These seal members 6 and 7 protrude from the outer peripheral surface 5a of the shaft member 5 to the outer diameter side, and are accommodated in the inner peripheral side of the second and third inner peripheral surfaces 2b and 2c of the housing 2, respectively. do. Further, in order to increase the fixing strength by the adhesive, the circumferential grooves 5a1 and 5a2 serving as the adhesive reservoir are formed on the outer circumferential surface 5a of the shaft member 5 serving as the fixing position of the sealing members 6 and 7. In addition, the sealing members 6 and 7 may be formed from soft metal materials, such as brass (brass), and other metal materials, and may be formed from resin materials. In addition, one of the sealing members 6 and 7 may be integrally formed with the shaft member 5.

시일 부재(6)의 외주면(6a)은 하우징(2)의 제 2 내주면(2b)과의 사이에 소정 용적의 시일 공간(S1)을 형성하고, 시일 부재(7)의 외주면(7a)은 하우징(2)의 제 3 내주면(2c)과의 사이에 소정의 용적의 시일 공간(S2)을 형성한다. 이 실시형태에 있어서 시일 부재(6)의 외주면(6a) 및 시일 부재(7)의 외주면(7a)은 각각 하우징(2)의 외부측을 향해서 점차 축경된 테이퍼면 형상으로 형성되어 있다. 그 때문에, 시일 공간(S1,S2)은 하우징(2)의 내부측을 향해서 점차 축소된 테이퍼 형상을 나타낸다.The outer circumferential surface 6a of the seal member 6 forms a seal volume S1 of a predetermined volume between the second inner circumferential surface 2b of the housing 2, and the outer circumferential surface 7a of the seal member 7 is a housing. Seal space S2 of predetermined volume is formed between 3rd inner peripheral surface 2c of (2). In this embodiment, the outer circumferential surface 6a of the seal member 6 and the outer circumferential surface 7a of the seal member 7 are each formed in a tapered surface shape which is gradually reduced toward the outer side of the housing 2. Therefore, the seal spaces S1 and S2 exhibit a tapered shape gradually reduced toward the inner side of the housing 2.

제 1, 제 2 베어링 슬리브(3,4)는 모두 예컨대 소결 금속으로 이루어지는 다공질체, 특히 구리를 주성분으로 하는 소결 금속의 다공질체로 원통형상으로 형성되고, 각각 하우징(2)의 제 1 내주면(2a)에 압입, 접착, 또는 압입 접착 등의 수단에 의해 고정된다. 또한, 베어링 슬리브(3,4)는 소결 금속 이외에도 구리합금 등의 금속 재료로 형성할 수도 있다. 제 1, 제 2 베어링 슬리브(3,4)는 서로 축방향 길 이를 다르게 해서 형성되고, 본 구성예에서는 제 1 베어링 슬리브(3)의 축방향 길이(L1)가 제 2 베어링 슬리브(4)의 축방향 길이(L2)보다 크게(L1>L2) 형성되어 있다.The first and second bearing sleeves 3 and 4 are all formed in a cylindrical shape with a porous body made of, for example, a sintered metal, in particular, a porous body made of copper, and each of the first inner circumferential surfaces 2a of the housing 2. ) Is fixed by means such as indentation, adhesion, or indentation bonding. In addition to the sintered metal, the bearing sleeves 3 and 4 may be formed of a metal material such as a copper alloy. The first and second bearing sleeves 3 and 4 are formed with different axial lengths from each other, and in this configuration, the axial length L1 of the first bearing sleeve 3 is equal to that of the second bearing sleeve 4. It is formed larger than the axial length L2 (L1> L2).

도 2(B)에 나타내는 바와 같이, 제 1 베어링 슬리브(3)의 내주면(3a)에는 제 1 레이디얼 베어링부(R1)의 레이디얼 베어링면(A)이 되는 영역이 형성되고, 상기 레이디얼 베어링면(A)에는 헤링본 형상의 동압 홈(3a1)이 형성되어 있다. 이 레이디얼 베어링면(A)은 제 2 베어링 슬리브(4)로부터 이반되는 측(상측)의 단부에 형성되어 있다. 또한, 제 1 베어링 슬리브(3)의 내주면(3a) 중 레이디얼 베어링면(A)과 축방향으로 이격된 반대측(하측)의 단부에는 띠형상의 볼록부(B)가 형성되어 있다. 이 볼록부(B)는 동압 홈(3a1)을 구획 형성하는 언덕부와 대략 동일한 직경으로 형성되어 있다.As shown in FIG.2 (B), the area | region used as the radial bearing surface A of the 1st radial bearing part R1 is formed in the inner peripheral surface 3a of the 1st bearing sleeve 3, The said radial The bearing surface A is formed with a herringbone-like dynamic pressure groove 3a1. This radial bearing surface A is formed in the edge part of the side (upper side) separated from the 2nd bearing sleeve 4. Moreover, the strip | belt-shaped convex part B is formed in the edge part of the inner peripheral surface 3a of the 1st bearing sleeve 3 on the opposite side (lower side) spaced apart from the radial bearing surface A in the axial direction. This convex part B is formed in substantially the same diameter as the hill part which partitions dynamic pressure groove 3a1.

도 2(A)에 나타내는 바와 같이, 제 1 베어링 슬리브(3)의 상측 끝면(3b)의 일부 또는 전체부 환상 영역에는 제 1 스러스트 베어링부(T1)의 스러스트 베어링면이 되는 영역이 형성되고, 상기 스러스트 베어링면에는 헤링본 형상의 동압 홈(3b1)이 형성되어 있다. 또한 외주면(3d)에는 원주방향 등간격으로 배치된 복수개(도시예는 3개)의 축방향 홈(3d1)이 형성되어 있다.As shown to FIG. 2 (A), the area | region used as the thrust bearing surface of the 1st thrust bearing part T1 is formed in one part or whole part annular area of the upper end surface 3b of the 1st bearing sleeve 3, The thrust bearing surface is formed with a herringbone-like dynamic pressure groove 3b1. The outer circumferential surface 3d is formed with a plurality of axial grooves 3d1 (three in the illustrated example) arranged at equal intervals in the circumferential direction.

또한, 도 2(B)에 나타내는 바와 같이, 제 2 베어링 슬리브(4)의 내주면(4a)에는 제 2 레이디얼 베어링부(R2)의 레이디얼 베어링면(A')이 되는 영역이 형성되고, 상기 레이디얼 베어링면(A')에는 헤링본 형상의 동압 홈(4a1)이 형성되어 있다. 또한 도 2(C)에 나타내는 바와 같이, 제 2 베어링 슬리브(4)의 하측 끝면(4b) 의 일부 또는 전체부 환상 영역에는 제 2 스러스트 베어링부(T2)의 스러스트 베어링면이 되는 영역이 형성되고, 상기 스러스트 베어링면에는 헤링본 형상의 동압 홈(4b1)이 형성되어 있다. 또한 외주면(4d)에는 원주방향 등간격으로 배치된 복수개(도시예에서는 3개)의 축방향 홈(4d1)이 형성되어 있다.In addition, as shown in FIG. 2 (B), a region serving as the radial bearing surface A 'of the second radial bearing portion R2 is formed on the inner circumferential surface 4a of the second bearing sleeve 4, On the radial bearing surface A ', a herringbone-like dynamic pressure groove 4a1 is formed. In addition, as shown in FIG. 2 (C), a part or the whole part annular region of the lower end surface 4b of the second bearing sleeve 4 is formed with a region serving as a thrust bearing surface of the second thrust bearing portion T2. The thrust bearing surface is formed with a herringbone-like dynamic pressure groove 4b1. Moreover, the outer peripheral surface 4d is formed with the plurality of axial grooves 4d1 (three in the illustrated example) arranged at equal intervals in the circumferential direction.

제 1, 제 2 베어링 슬리브(3,4) 사이에는 예컨대 황동이나 알루미늄 등의 연질 금속, 수지 재료, 또는 소결 금속 등으로 형성된 원통형상의 스페이서 부재(8)가 끼워져 장착되고, 하우징(2)의 제 1 내주면(2a)에 압입, 접착, 또는 압입 접착 등의 수단에 의해 고정되어 있다. 스페이서 부재(8)의 내주면(8a)은 양 베어링 슬리브(3,4)의 내주면(3a,4a)보다 약간 큰 지름으로 형성되어 있고, 축부재(5)의 회전시(베어링 운전시), 축부재(5)와의 사이에 레이디얼 베어링 간극은 형성되지 않는다. 또한, 외주면(8d)에는 원주방향 등간격으로 배치된 복수개(예컨대, 3개)의 축방향 홈(8d1)이 형성되어 있다.A cylindrical spacer member 8 formed of a soft metal such as brass or aluminum, a resin material, or a sintered metal is sandwiched between the first and second bearing sleeves 3 and 4, for example, and the 1 is fixed to the inner circumferential surface 2a by means such as press-fitting, bonding, or press-fitting. The inner circumferential surface 8a of the spacer member 8 is formed to have a diameter slightly larger than the inner circumferential surfaces 3a and 4a of both bearing sleeves 3 and 4, and when the shaft member 5 rotates (when bearing operation), the shaft No radial bearing gap is formed between the member 5. The outer peripheral surface 8d is formed with a plurality of axial grooves 8d1 (for example, three) arranged at equal intervals in the circumferential direction.

상기 구성 부재로 이루어지는 유체 베어링 장치(1)는 예컨대 다음과 같은 공정으로 조립된다.The fluid bearing device 1 composed of the constituent members is assembled, for example, in the following process.

우선, 제 1, 제 2 베어링 슬리브(3,4), 및 스페이서 부재(8)를 도 2에 나타내는 형태로 하우징(2)의 제 1 내주면(2a)에 고정한다. 고정시에 있어서의 양 베어링 슬리브(3,4) 사이의 동축 확보는 예컨대 도 3(A)에 나타내는 바와 같은 조립 핀(P)을 이용하여 행해진다. 이 때, 제 1 베어링 슬리브(3)의 내주면(3a)에는 레이디얼 베어링면(A)으로부터 이격된 하단부측에 레이디얼 베어링면(A)과 대략 동일한 직경의 볼록부(B)가 형성되어 있으므로, 제 1 베어링 슬리브(3)는 자세를 악화시키 는 일 없이 그 양단부간에 있어서의 동축 확보가 확실하게 행해진다. 또한 이 조립 핀(P)을 이용함으로써 제 1, 제 2 베어링 슬리브(3,4) 사이에 있어서의 동축 확보가 확실하게 행해진다.First, the 1st, 2nd bearing sleeves 3 and 4 and the spacer member 8 are fixed to the 1st inner peripheral surface 2a of the housing | casing 2 in the form shown in FIG. The coaxial securing between both bearing sleeves 3 and 4 at the time of fixation is performed using the assembly pin P as shown, for example in FIG. 3 (A). At this time, since the convex part B of substantially the same diameter as the radial bearing surface A is formed in the inner peripheral surface 3a of the 1st bearing sleeve 3 at the lower end side spaced apart from the radial bearing surface A, The first bearing sleeve 3 is securely coaxially secured between both ends thereof without deteriorating its posture. Moreover, by using this assembly pin P, coaxial securing between the 1st, 2nd bearing sleeves 3 and 4 is reliably performed.

또한, 양 베어링 슬리브(3,4), 및 스페이서 부재(8)의 하우징(2)으로의 고정시에는, 도 3(B)에 확대해서 나타내는 바와 같이, 제 1 베어링 슬리브(3)의 상측 끝면(3b)이 하우징(2)의 상측의 단차면(2d)과 동일면으로 되거나, 또는, 단면(2d)으로부터 약간의 치수(δ2)만큼 돌출된 상태가 되도록 제 1 베어링 슬리브(3)의 축 방향 위치를 조정한 상태에서 내주면(2a)에 고정한다. 동 도면에 나타내는 바와 같이, 제 1 베어링 슬리브(3)의 상측 끝면(3b)을 단면(2d)으로부터 치수(δ2)만큼 돌출시켰을 경우, 시일 부재(6)의 하측 끝면(6b)과 단면(2f) 사이의 축방향 치수는 제 1 스러스트 베어링부(T1)의 스러스트 베어링 간극의 폭(b1)보다 커진다. 또한, 도시는 생략하지만, 제 2 베어링 슬리브(4)도 제 1 베어링 슬리브(3)와 마찬가지의 위치 조정을 행한 상태에서 하우징(2)의 제 1 내주면(2a)에 고정한다.In addition, at the time of fixing both the bearing sleeves 3 and 4 and the spacer member 8 to the housing 2, the upper end surface of the first bearing sleeve 3 is enlarged as shown in FIG. 3 (B). An axial direction of the first bearing sleeve 3 such that 3b is flush with the stepped surface 2d on the upper side of the housing 2 or protrudes from the end face 2d by a few dimensions δ2. It fixes to the inner peripheral surface 2a in the state which adjusted the position. As shown in the figure, when the upper end surface 3b of the first bearing sleeve 3 projects from the end face 2d by the dimension δ2, the lower end face 6b and the end face 2f of the seal member 6 are shown. The axial dimension between) becomes larger than the width b1 of the thrust bearing clearance of the 1st thrust bearing part T1. Although not shown, the second bearing sleeve 4 is also fixed to the first inner circumferential surface 2a of the housing 2 in the same position adjustment as that of the first bearing sleeve 3.

상기의 형태로 양 베어링 슬리브(3,4)의 축 방향 위치를 조정해서 하우징(2)의 내주면(2a)에 고정한 결과, 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 제 1 베어링 슬리브(3)의 하측 끝면(3c)과 스페이서 부재(8)의 상측 끝면(8b) 사이, 제 2 베어링 슬리브(4)의 상측 끝면(4c)과 스페이서 부재(8)의 하측 끝면(8c) 사이에 약간의 간극이 생기는 경우가 있다. 또한, 제 1, 제 2 베어링 슬리브(3,4), 및 스페이서 부재(8)와 하우징(2)의 내주면(2a)의 축방향 치수에 따라서는 상기 간극이 베어링 슬리브(3,4) 중 한쪽측에만 생기는 경우도 있다. 또는, 베어링 슬리브(3,4) 쌍방이 스페이서 부재(8)에 접촉하는 경우도 있다.As a result of adjusting the axial position of both bearing sleeves 3 and 4 in the above-described manner and fixing it to the inner circumferential surface 2a of the housing 2, as shown in FIGS. 1 and 2, the first bearing sleeve 3 is There is a slight gap between the lower end face 3c and the upper end face 8b of the spacer member 8, the upper end face 4c of the second bearing sleeve 4 and the lower end face 8c of the spacer member 8. It may occur. In addition, depending on the axial dimension of the first and second bearing sleeves 3 and 4 and the spacer member 8 and the inner circumferential surface 2a of the housing 2, the gap is one of the bearing sleeves 3 and 4. It may occur only on the side. Or both the bearing sleeves 3 and 4 may contact the spacer member 8 in some cases.

다음에, 축부재(5)를 제 1, 제 2 베어링 슬리브(3,4)의 내주면(3a,4a) 및 스페이서 부재(8)의 내주면(8a)에 삽입하고, 시일 부재(6,7)를 축부재(5)의 소정 위치에 고정한다. 또한, 시일 부재(6,7) 중 어느 한쪽은 삽입 전에 미리 축부재(5)에 고정해 두어도 좋고, 축부재(5)에 일체로 형성해도 좋다.Next, the shaft member 5 is inserted into the inner circumferential surfaces 3a and 4a of the first and second bearing sleeves 3 and 4 and the inner circumferential surface 8a of the spacer member 8 to seal members 6 and 7. To the predetermined position of the shaft member (5). In addition, either of the seal members 6 and 7 may be fixed to the shaft member 5 before insertion, or may be integrally formed with the shaft member 5.

상기의 공정을 거쳐 조립이 완료된 후, 시일 부재(6,7)에 의해 시일된 하우징(2)의 내부 공간에 양 베어링 슬리브(3,4)의 내부 기공(다공질체 조직의 내부 기공)도 포함시키고, 윤활 유체로서 예컨대 윤활유를 충전한다. 윤활유의 충전은 예컨대 조립이 완료된 유체 베어링 장치(1)를 진공조 내에서 윤활유 중에 침지한 후, 대기압에 개방함으로써 행할 수 있다.After the assembly is completed through the above process, the internal pores of the bearing sleeves 3 and 4 (internal pores of the porous tissue) are also included in the internal space of the housing 2 sealed by the seal members 6 and 7. And lubricating oil, for example, as lubricating fluid. The filling of the lubricating oil can be performed, for example, by immersing the fluid bearing device 1 having completed assembly in the lubricating oil in a vacuum chamber and then opening it to atmospheric pressure.

상기 구성의 유체 베어링 장치(1)에 있어서 축부재(5)가 회전하면, 제 1 베어링 슬리브(3)의 내주면(3a)의 레이디얼 베어링면(A)은 축부재(5)의 외주면(5a)과 레이디얼 베어링 간극을 통해서 대향한다. 레이디얼 베어링면(A)에서는 레이디얼 베어링 간극에 충만된 윤활유가 동압 홈(3a1)의 동압 작용에 의해 그 압력이 높아지고, 이 압력에 의해 축부재(2)가 레이디얼 방향으로 회전 가능하게 비접촉 지지된다. 또한, 본 구성예에서는 볼록부(B)와 축부재(5)의 외주면(5a) 사이에 레이디얼 베어링 간극이 형성되고, 이 레이디얼 베어링 간극에는 제 1 베어링 슬리브(3)로부터 삼출된 오일에 의해 오일막이 형성되고, 이 오일막에 의해 축부재(5)가 레이디얼 방향으로 회전 가능하게 지지된다. 이것에 의해, 동압 베어링 및 원통형 베어링에 의해 축부재(5)를 레이디얼 방향으로 회전 가능하게 지지하는 제 1 레이디 얼 베어링부(R1)가 구성된다. 제 2 베어링 슬리브(4)에서도 레이디얼 베어링면(A')에 의해 동압 베어링이 구성되고, 축부재(5)를 레이디얼 방향으로 회전 가능하게 지지하는 제 2 레이디얼 베어링부(R2)가 구성된다.When the shaft member 5 rotates in the fluid bearing device 1 having the above configuration, the radial bearing surface A of the inner circumferential surface 3a of the first bearing sleeve 3 is the outer circumferential surface 5a of the shaft member 5. ) And through the radial bearing clearance. On the radial bearing surface A, the lubricating oil filled in the radial bearing gap increases its pressure due to the dynamic pressure action of the dynamic pressure groove 3a1, and by this pressure, the shaft member 2 is rotatably contacted in the radial direction. Supported. In this configuration example, a radial bearing gap is formed between the convex portion B and the outer circumferential surface 5a of the shaft member 5, and the radial bearing gap is provided with oil extruded from the first bearing sleeve 3. An oil film is formed, and the oil film is rotatably supported by the shaft member 5 in the radial direction. Thereby, the 1st radial bearing part R1 which supports the shaft member 5 rotatably in the radial direction by the dynamic bearing and the cylindrical bearing is comprised. In the second bearing sleeve 4, the dynamic bearing is also constituted by the radial bearing surface A ', and the second radial bearing portion R2 for rotatably supporting the shaft member 5 in the radial direction is constituted. do.

또한, 축부재(5)가 회전하면, 제 1 베어링 슬리브(3)의 상측 끝면(3b)의 스러스트 베어링면이 시일 부재(6)의 하측 끝면(6b)과 소정의 스러스트 베어링 간극을 통해서 대향하고, 제 2 베어링 슬리브(4)의 하측 끝면(4b)의 스러스트 베어링면이 시일 부재(7)의 상측 끝면(7b)과 소정의 스러스트 베어링 간극을 통해서 대향한다. 그리고 축부재(2)의 회전에 따라 각 스러스트 베어링 간극에 충만된 윤활유는 동압 홈(3b1,4b1)의 동압 작용에 의해 그 압력이 높아지고, 축부재(5)가 양 스러스트 방향으로 회전 가능하게 비접촉 지지된다. 이것에 의해, 축부재(5)를 양 스러스트 방향으로 회전 가능하게 비접촉 지지하는 제 1 스러스트 베어링부(T1)와 제 2 스러스트 베어링부(T2)가 형성된다.Further, when the shaft member 5 rotates, the thrust bearing surface of the upper end surface 3b of the first bearing sleeve 3 faces the lower end surface 6b of the seal member 6 through a predetermined thrust bearing gap. The thrust bearing surface of the lower end surface 4b of the second bearing sleeve 4 opposes the upper end surface 7b of the seal member 7 through a predetermined thrust bearing gap. The lubricating oil filled in each of the thrust bearing gaps with the rotation of the shaft member 2 has a high pressure due to the dynamic pressure action of the dynamic grooves 3b1 and 4b1, and the shaft member 5 is non-contactably rotatable in both thrust directions. Supported. Thereby, the 1st thrust bearing part T1 and the 2nd thrust bearing part T2 which rotatably support the shaft member 5 rotatably in both thrust directions are formed.

또한, 축부재(5)의 회전시에는 상술한 바와 같이 시일 부재(6)의 외주면(6a)측과 시일 부재(7)의 외주면(7a)측에 형성되는 시일 공간(S1,S2)이 하우징(2)의 내부측을 향해서 점차 축소된 테이퍼 형상을 나타내고 있으므로, 양 시일 공간(S1,S2) 내의 윤활유는 모세관력에 의한 인입 작용과, 회전시의 원심력에 의한 인입 작용에 의해서 시일 공간이 좁아지는 방향 즉 하우징(2)의 내부측을 향해서 인입된다. 이것에 의해, 하우징(2)의 내부로부터의 윤활유의 누출이 효과적으로 방지된다. 또한, 시일 공간(S1,S2)은 하우징(2)의 내부 공간에 충전된 윤활유의 온도 변화에 따른 용적 변화량을 흡수하는 버퍼 기능을 갖고, 상정되는 온도 변화의 범 위 내에서는 윤활유의 오일면은 항상 시일 공간(S1,S2) 내에 있다.In the rotation of the shaft member 5, as described above, the seal spaces S1 and S2 formed on the outer circumferential surface 6a side of the seal member 6 and the outer circumferential surface 7a side of the seal member 7 are housed. Since the taper shape is gradually reduced toward the inner side of (2), the lubricating oil in both seal spaces S1 and S2 has a narrow seal space due to a capillary force pull-in action and a centrifugal force pull-in action. It is pulled in the direction of loss, ie towards the inner side of the housing 2. As a result, leakage of lubricant oil from the inside of the housing 2 is effectively prevented. In addition, the seal spaces S1 and S2 have a buffer function for absorbing the volume change amount according to the temperature change of the lubricating oil filled in the internal space of the housing 2, and the oil surface of the lubricating oil is within the range of the assumed temperature change. It is always in the seal spaces S1 and S2.

또한, 제 1 베어링 슬리브(3)의 축방향 홈(3d1)에 의해 형성되는 유체 통로, 제 2 베어링 슬리브(4)의 축방향 홈(4d1)에 의해 형성되는 유체 통로, 스페이서 부재(8)의 축방향 홈(8d1)에 의해 형성되는 유체 통로, 각 베어링 간극(제 1 레이디얼 베어링부(R1) 및 제 2 레이디얼 베어링부(R2)의 레이디얼 베어링 간극, 제 1 스러스트 베어링부(T1) 및 제 2 스러스트 베어링부(T2)의 스러스트 베어링 간극), 및 스페이서 부재(8)의 내주면(8a)과 축부재(5)의 외주면(5a) 사이의 간극에 의해 하우징(2)의 내부에 일련의 순환 통로가 형성된다. 그리고, 하우징(2)의 내부 공간에 충전된 윤활유가 이 순환 통로를 통해서 유동 순환함으로써 윤활유의 압력 밸런스가 유지됨과 동시에, 국부적인 부압의 발생에 따른 기포의 생성, 기포의 생성에 기인하는 윤활유의 누설이나 진동의 발생 등이 방지된다. 또한, 제 1 베어링 슬리브(3)의 축방향 홈(3d1)에 의해 형성되는 유체 통로의 일단과, 제 2 베어링 슬리브(4)의 축방향 홈(4d1)에 의해 형성되는 유체 통로의 일단은 각각 대기 개방측이 되는 시일 공간(S1,S2)에 통하고 있다. 그 때문에, 어떠한 이유로 윤활유 중에 기포가 혼입된 경우에도 기포가 윤활유를 따라 순환할 때에 외기 개방측으로 배출되므로 기포에 의한 악영향은 보다 한층 효과적으로 방지된다.Further, the fluid passage formed by the axial groove 3d1 of the first bearing sleeve 3, the fluid passage formed by the axial groove 4d1 of the second bearing sleeve 4, the spacer member 8 of the Fluid passage formed by the axial groove 8d1, each bearing gap (radial bearing gap between the first radial bearing portion R1 and the second radial bearing portion R2, the first thrust bearing portion T1) And a thrust bearing gap of the second thrust bearing portion T2, and a gap between the inner circumferential surface 8a of the spacer member 8 and the outer circumferential surface 5a of the shaft member 5 in series. The circulation passage of is formed. As the lubricant filled in the internal space of the housing 2 flows through this circulation passage, the pressure balance of the lubricant is maintained, and at the same time, the generation of the lubricant due to the generation of bubbles and the generation of bubbles due to the local negative pressure is generated. Leakage or vibration is prevented. In addition, one end of the fluid passage formed by the axial groove 3d1 of the first bearing sleeve 3 and one end of the fluid passage formed by the axial groove 4d1 of the second bearing sleeve 4 are respectively. It communicates with the seal spaces S1 and S2 used as the air opening side. Therefore, even if bubbles are mixed in the lubricant for some reason, the bubbles are discharged to the outside air opening side when circulating along the lubricant, so that adverse effects caused by the bubbles are more effectively prevented.

또한, 도시는 생략하지만, 양 베어링 슬리브(3,4) 및 스페이서 부재(8)와 하우징(2) 사이에 형성되는 축방향의 유체 통로는 하우징(2)의 내주면(2a)에 축방향 홈을 형성함으로써 형성할 수도 있다.In addition, although not shown, the axial fluid passage formed between the two bearing sleeves 3 and 4 and the spacer member 8 and the housing 2 has an axial groove in the inner circumferential surface 2a of the housing 2. You may form by forming.

이상으로 나타낸 구성이면, 레이디얼 베어링부(R1,R2) 사이의 축방향 스팬을 크게 해서 모멘트 하중에 대한 부하 능력을 높일 수 있고, 한편 개개의 베어링 슬리브의 장대화를 방지할 수 있기 때문에, 소기의 정밀도의 베어링 슬리브(3,4)를 용이하게 제조할 수 있다. 또한, 제 1 베어링 슬리브(3)와 제 2 베어링 슬리브(4)의 축방향 길이를 서로 다르게 했으므로, 외관상의 차이가 명확해져 조립 실수를 확실하게 방지할 수 있고, 또한, 부품 관리의 간략화를 도모할 수 있다.In the above configuration, since the axial span between the radial bearing portions R1 and R2 can be increased, the load capacity for the moment load can be increased, and the extension of the individual bearing sleeves can be prevented. Bearing sleeves 3 and 4 with high precision can be easily manufactured. In addition, since the axial lengths of the first bearing sleeve 3 and the second bearing sleeve 4 are different from each other, apparent differences in appearance can be reliably prevented, and assembly errors can be reliably prevented, and parts management can be simplified. can do.

또한, 본 구성예에서는 축방향 길이를 장대화시킨 제 1 베어링 슬리브(3)의 내주면(3a) 중 레이디얼 베어링면(A)과는 이격된 축방향 하단부에 레이디얼 베어링면(A)과 동일한 직경의 볼록부(B)를 형성했으므로, 조립시에는 확실하게 레이디얼 베어링면(A,A') 사이에서 동축을 확보할 수 있고, 이러한 종류의 정밀도 저하에 의한 베어링 성능의 저하를 방지할 수 있다. 또한, 이상에서는 볼록부(B)를 내주면(3a)의 전체 둘레에 걸쳐서 연속된 띠형상으로 형성한 경우에 대해서 설명을 행했지만, 베어링 슬리브의 동축 확보를 확실하게 행할 수 있으면, 볼록부(B)를 예컨대 원주방향으로 간헐적으로 형성해도 좋다.Moreover, in this structural example, it is the same as a radial bearing surface A in the axial lower end part spaced apart from the radial bearing surface A among the inner peripheral surfaces 3a of the 1st bearing sleeve 3 which enlarged the axial length. Since the convex part B of diameter was formed, it can reliably secure coaxial between radial bearing surfaces A and A 'at the time of assembly, and can prevent the fall of bearing performance by this kind of precision fall. have. In addition, although the case where the convex part B was formed in continuous strip shape over the whole circumference of the inner peripheral surface 3a was demonstrated, if convex part B can be reliably ensured, the convex part B may be performed reliably. ) May be formed intermittently in the circumferential direction, for example.

도 4는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 유체 베어링 장치의 다른 구성예(제 2 구성예)를 나타내고 있다. 동 도면에 나타내는 유체 베어링 장치(21)가 상술한 유체 베어링 장치(1)와 다른 주된 점은 하우징(2)의 내주면(2a)이 균일 지름으로 하우징(2)의 끝면까지 연장되어 있는 점, 그것에 따라 시일 부재(6,7)가 비교적 작은 지름으로 되어 있는 점에 있다. 이러한 구성에서는 제 1 구성예의 유체 베어링 장치(1)에 비해서 하우징(2)의 형상을 간소화하고, 또한, 소경화할 수 있다는 이점이 있다. 또한, 이 구성예에서는 베어링 슬리브(3)의 하측 끝면(3c)과 스페이서 부(2c)의 상측 끝면(2c2)이 접촉하고, 베어링 슬리브(4)의 상측 끝면(4c)과 스페이서부(2c)의 하측 끝면(2c3)이 접촉하고 있다. 그 외의 사항은 제 1 구성예에 준하므로, 공통의 참조 번호를 붙여 중복 설명을 생략한다.4 shows another configuration example (second configuration example) of the fluid bearing device according to the first embodiment of the present invention. The main point that the fluid bearing device 21 shown in the figure differs from the fluid bearing device 1 described above is that the inner circumferential surface 2a of the housing 2 extends to the end face of the housing 2 with a uniform diameter. Therefore, the sealing members 6 and 7 have a relatively small diameter. In such a configuration, there is an advantage that the shape of the housing 2 can be simplified and small in size as compared with the fluid bearing device 1 of the first configuration example. In this configuration example, the lower end surface 3c of the bearing sleeve 3 and the upper end surface 2c2 of the spacer portion 2c are in contact with each other, and the upper end surface 4c and the spacer portion 2c of the bearing sleeve 4 are in contact with each other. The lower end surface 2c3 of is in contact. Other matters are based on the first configuration example, and therefore, common reference numerals are used to omit duplicate explanation.

이상의 설명에서는 레이디얼 베어링부(R1,R2) 및 스러스트 베어링부(T1,T2)의 동압 발생 수단으로서 헤링본 형상의 동압 홈을 예시하고 있지만, 스파이럴 형상이나 그 외의 형상의 동압 홈이어도 좋다. 또는, 동압 발생 수단으로서 소위 스텝 베어링이나 다원호 베어링을 채용해도 좋다.In the above description, the herringbone-shaped dynamic pressure grooves are exemplified as the dynamic pressure generating means of the radial bearing portions R1 and R2 and the thrust bearing portions T1 and T2, but may be spiral or other dynamic pressure grooves. Alternatively, a so-called step bearing or a circular arc bearing may be employed as the dynamic pressure generating means.

도 5는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 유체 베어링 장치 중 도 1에 나타내는 유체 베어링 장치(1)를 조립한 정보기기용 스핀들 모터의 일구성예를 개념적으로 나타내고 있다. 이 스핀들 모터는 예컨대 서버용 HDD에 이용되는 것으로, 유체 베어링 장치(1)와, 유체 베어링 장치(1)의 축부재(5)에 장착된 회전자(디스크 허브(12))와 예컨대 반경방향(레이디얼 방향)의 갭을 사이에 두고 대향시킨 고정자 코일(10) 및 회전자 자석(11)을 구비하고 있다. 고정자 코일(10)은 브래킷(9)의 외주에 부착되고, 회전자 자석(11)은 디스크 허브(12)의 내주에 부착되어 있다. 유체 베어링 장치(1)의 하우징(2)은 브래킷(9)의 내주에 장착된다. 디스크 허브(12)에는 자기디스크 등의 디스크(D)가 1장 또는 복수장 유지된다. 고정자 코일(10)에 통전하면, 고정자 코일(10)과 회전자 자석(11) 사이의 전자력에 의해 회전자 자석(11)이 회전하고, 그것에 의해서, 디스크 허브(12) 및 디스크 허브(12)에 유지된 디스크(D)가 축부재(5)와 일체로 회전한다.FIG. 5 conceptually shows one configuration example of a spindle motor for information apparatus in which the fluid bearing device 1 shown in FIG. 1 is assembled among the fluid bearing devices according to the first embodiment of the present invention. This spindle motor is used in, for example, a server HDD, and includes a fluid bearing device 1, a rotor (disk hub 12) mounted on a shaft member 5 of the fluid bearing device 1, and a radial direction (lady). And a stator coil 10 and a rotor magnet 11 which face each other with a gap in the direction thereof. The stator coil 10 is attached to the outer circumference of the bracket 9, and the rotor magnet 11 is attached to the inner circumference of the disc hub 12. The housing 2 of the fluid bearing device 1 is mounted on the inner circumference of the bracket 9. The disk hub 12 holds one or more disks D such as a magnetic disk. When the stator coil 10 is energized, the rotor magnet 11 rotates by the electromagnetic force between the stator coil 10 and the rotor magnet 11, whereby the disc hub 12 and the disc hub 12 are rotated. The disk D held at the shaft rotates integrally with the shaft member 5.

또한, 이상에서 설명을 행한 유체 베어링 장치는 HDD 등의 디스크 장치용 스 핀들 모터에 한정되지 않고, 고속 회전하며 높은 모멘트 하중에 대한 부하 능력이 요구되는 모터 예컨대 팬 모터에도 바람직하게 이용할 수 있다.The fluid bearing device described above is not limited to a spindle motor for a disk device such as an HDD, but can also be preferably used for a motor such as a fan motor that rotates at high speed and requires a load capacity for high moment load.

도 6은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 유체 베어링 장치(1)를 조립한 팬 모터, 그 중에서도 반경방향(레이디얼 방향)의 갭을 사이에 두고 고정자 코일(10) 및 회전자 자석(11)을 대향시킨 소위 레이디얼 갭형 팬 모터의 일례를 개념적으로 나타내는 것이다. 도시예의 모터는 주로 축부재(5)의 상단 외주에 고정되는 회전자(13)가 외주면에 날개를 갖는 점, 및 브래킷(9)이 모터의 각 구성 부품을 수용하는 케이싱으로서의 기능을 하는 점에서 도 5에 나타내는 스핀들 모터와 구성이 다르다. 또한, 그 외의 사항은 도 5에 나타내는 스핀들 모터에 준하므로, 공통의 참조 번호를 붙여 중복 설명을 생략한다.FIG. 6 shows a fan motor incorporating a fluid bearing device 1 according to a first embodiment of the present invention, among which a stator coil 10 and a rotor magnet 11 with gaps in a radial (radial direction) interposed therebetween. This example conceptually illustrates an example of a so-called radial gap fan motor in which? The motor of the example is mainly characterized in that the rotor 13 fixed to the upper outer circumference of the shaft member 5 has a wing on its outer circumference, and the bracket 9 functions as a casing for accommodating each component of the motor. The configuration differs from the spindle motor shown in FIG. 5. In addition, since other matters conform to the spindle motor shown in FIG. 5, a common reference number is attached | subjected and the duplication description is abbreviate | omitted.

이하, 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 유체 베어링 장치 및 이것을 구비하는 모터를 도 7~도 12에 기초하여 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the fluid bearing apparatus which concerns on 2nd Embodiment of this invention, and the motor provided with this are demonstrated based on FIGS. 7-12.

도 7은 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 유체 베어링 장치를 조립한 정보기기용 스핀들 모터의 일구성예를 개념적으로 나타내고 있다. 이 스핀들 모터는 HDD 등의 디스크 구동 장치에 이용되는 것으로, 유체 베어링 장치(101)와, 축부재(102)에 장착된 회전자(디스크 허브(103))와, 예컨대 반경방향의 갭을 사이에 두고 대향시킨 고정자 코일(104) 및 회전자 자석(105)을 구비하고 있다. 고정자 코일(104)은 브래킷(106)의 외주에 부착되고, 회전자 자석(105)은 디스크 허브(103)의 내주에 부착된다. 유체 베어링 장치(1)의 하우징(107)은 브래킷(106)의 내주에 장착된다. 디스크 허브(103)에는 자기디스크 등의 디스크(D11)가 1장 또는 복수장 유지된다. 고정자 코일(104)에 통전하면, 고정자 코일(104)과 회전자 자석(105) 사이의 전자력에 의해 회전자 자석(105)이 회전하고, 그것에 의해서, 디스크 허브(103) 및 디스크 허브(103)에 유지된 디스크(D11)가 축부재(102)와 일체로 회전한다.Fig. 7 conceptually shows one configuration example of a spindle motor for information apparatus incorporating a fluid bearing device according to a second embodiment of the present invention. This spindle motor is used for a disk drive device such as an HDD. The spindle motor includes a fluid bearing device 101, a rotor (disk hub 103) attached to the shaft member 102, and a radial gap between them. A stator coil 104 and a rotor magnet 105 which face each other are provided. The stator coil 104 is attached to the outer circumference of the bracket 106, and the rotor magnet 105 is attached to the inner circumference of the disc hub 103. The housing 107 of the fluid bearing device 1 is mounted on the inner circumference of the bracket 106. The disk hub 103 holds one or a plurality of disks D11, such as a magnetic disk. When the stator coil 104 is energized, the rotor magnet 105 rotates by the electromagnetic force between the stator coil 104 and the rotor magnet 105, whereby the disk hub 103 and the disk hub 103 are rotated. The disk D11 held at the shaft rotates integrally with the shaft member 102.

도 8은 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 유체 베어링 장치의 일구성예를 나타내는 것이다. 이 유체 베어링 장치(101)는 고정측의 베어링 부재(108)와, 베어링 부재(108)의 내주에 삽입되는 축부재(102)를 갖는 회전측의 회전체를 주요한 구성 부재로서 구비한다. 본 구성예에 있어서 회전체는 축부재(102)와 축부재(102)의 축방향 2개소에 이격해서 설치된 시일 부재(109,110)로 구성된다. 또한, 본 구성예에 있어서 베어링 부재(108)는 축방향으로 이격해서 배치된 2개의 베어링 슬리브(181,181)와, 양 베어링 슬리브(181,181) 사이에 끼워져 장착된 스페이서 부재(182)와, 양 베어링 슬리브(181,181) 및 스페이서 부재(182)를 내주에 고정한 하우징(107)으로 구성되어 있다.8 shows an example of the configuration of a fluid bearing device according to a second embodiment of the present invention. This fluid bearing device 101 includes, as a main component, a rotating member on the rotating side having a bearing member 108 on the fixed side and a shaft member 102 inserted into the inner circumference of the bearing member 108. In this structural example, the rotating body is comprised from the sealing member 109,110 provided so that the shaft member 102 and the shaft member 102 may be spaced apart in two axial directions. In this configuration, the bearing member 108 includes two bearing sleeves 181 and 181 spaced apart from each other in the axial direction, a spacer member 182 sandwiched between the two bearing sleeves 181 and 181, and both bearing sleeves. 181 and 181 and the spacer member 182 are comprised by the housing 107 which fixed the inner periphery.

도 8에 나타내는 유체 베어링 장치(101)에서는, 후술하는 바와 같이, 상측의 베어링 슬리브(181)의 내주면(181a)과 축부재(102)의 외주면(102a) 사이에 제 1 레이디얼 베어링부(R11)가 설치되고, 하측의 베어링 슬리브(181)의 내주면(181a)과 축부재(102)의 외주면(102a) 사이에 제 2 레이디얼 베어링부(R12)가 설치된다. 또한, 상측의 베어링 슬리브(181)의 상측 끝면(181b)과 시일 부재(109)의 하측 끝면(109b) 사이에 제 1 스러스트 베어링부(T11)가 설치되고, 하측의 베어링 슬리브(181)의 하측 끝면(181c)과 시일 부재(110)의 상측 끝면(110b) 사이에 제 2 스러스트 베어링부(T12)가 설치된다.In the fluid bearing apparatus 101 shown in FIG. 8, as described later, the first radial bearing portion R11 is provided between the inner circumferential surface 181a of the upper bearing sleeve 181 and the outer circumferential surface 102a of the shaft member 102. ) Is provided, and a second radial bearing portion R12 is provided between the inner circumferential surface 181a of the lower bearing sleeve 181 and the outer circumferential surface 102a of the shaft member 102. Further, the first thrust bearing portion T11 is provided between the upper end surface 181b of the upper bearing sleeve 181 and the lower end surface 109b of the seal member 109, and the lower side of the lower bearing sleeve 181 is provided. The second thrust bearing portion T12 is provided between the end surface 181c and the upper end surface 110b of the seal member 110.

축부재(102)는 스테인레스강 등의 금속 재료로 형성된다. 축부재(102)는 전체적으로 대략 동일한 직경의 축 형상을 하고, 그 중간 부분에는 타 개소보다 약간 작은 지름의 도피부(102b)가 형성되어 있다. 축부재(102)의 외주면(102a) 중 시일 부재(109,110)의 고정 위치에는 오목부 예컨대 원주 홈(102c)이 형성되어 있다. 또한, 이 실시형태에서는 축부재(102)는 금속의 일체 가공품이지만, 금속이 수지로 이루어지는 하이브리드 축(칼집부가 금속이고, 심부가 수지 등)으로 할 수도 있다.The shaft member 102 is formed of a metal material such as stainless steel. The shaft member 102 has a shaft shape of approximately the same diameter as a whole, and an intermediate portion 102b is formed with a diameter slightly smaller than other locations. A recess, for example, a circumferential groove 102c, is formed in the fixing position of the seal members 109 and 110 in the outer circumferential surface 102a of the shaft member 102. In addition, in this embodiment, although the shaft member 102 is an integral processed product of metal, it can also be set as the hybrid shaft (a sheath part is a metal, and a core part is resin) in which metal consists of resin.

하우징(107)은 양단 개구의 통형상을 이루고, 그 내주면(107a)은 축방향으로 지름이 일정하게 스트레이트의 원통면으로 형성되어 있다. 이 하우징(107)은 예컨대 황동이나 알루미늄 등의 금속 재료의 기계 가공품, 또는 수지조성물의 사출 성형품으로 된다. 수지조성물로 사출 성형할 경우, 사용 가능한 베이스 수지에 특별히 한정은 없지만, 예컨대, 폴리설폰(PSU), 폴리에테르설폰(PES), 폴리페닐설폰(PPSU), 폴리에테르이미드(PEI) 등의 비결정성 수지 외에 액정 폴리머(LCP), 폴리에테르에테르케톤(PEEK), 폴리부틸렌테레프탈레이트(PBT), 폴리페닐렌술피드(PPS) 등의 결정성 수지를 이용할 수 있다. 또한, 상기의 수지에 충전하는 충전재의 종류도 특별히 한정되지 않지만, 예컨대, 충전재로서 유리섬유 등의 섬유상 충전재, 티탄산 칼륨 등의 휘스커 형상 충전재, 운모 등의 비늘 조각 형상 충전재, 카본섬유, 카본블랙, 흑연, 카본 나노 재료, 금속 분말 등의 섬유상 또는 분말상의 도전성 충전재를 사용할 수 있다. 이들 충전재는 단독으로 사용하거나, 또는, 2종 이상을 혼합해서 사용해도 좋다.The housing 107 has a cylindrical shape with openings at both ends, and the inner circumferential surface 107a is formed as a straight cylindrical surface with a constant diameter in the axial direction. The housing 107 is, for example, a machined product of a metal material such as brass or aluminum, or an injection molded product of a resin composition. In the case of injection molding into a resin composition, the base resin that can be used is not particularly limited, but, for example, amorphous such as polysulfone (PSU), polyethersulfone (PES), polyphenylsulfone (PPSU), polyetherimide (PEI), etc. In addition to the resin, crystalline resins such as liquid crystal polymer (LCP), polyether ether ketone (PEEK), polybutylene terephthalate (PBT) and polyphenylene sulfide (PPS) can be used. The type of the filler to be filled in the resin is not particularly limited, for example, fibrous fillers such as glass fibers, whisker fillers such as potassium titanate, scaly fillers such as mica, carbon fibers, carbon black, Fibrous or powdery conductive fillers such as graphite, carbon nanomaterials, and metal powders can be used. These fillers may be used independently, or may mix and use 2 or more types.

2개의 베어링 슬리브(181,181)는 모두 소결 금속으로 이루어지는 다공질체, 특히 구리를 주성분으로 하는 소결 금속의 다공질체로 원통형상으로 형성되어 있다. 양 베어링 슬리브(181,181)는 황동 등의 연질 금속으로 형성할 수도 있다. 베어링 슬리브(181)의 외주면(181d)에는 축방향 홈(181d1)이 원주방향의 복수 개소(도시예에서는 3개소)에 동일한 간격으로 형성되어 있다. The two bearing sleeves 181 and 181 are both formed in a cylindrical shape with a porous body made of a sintered metal, in particular, a porous body made of copper with a main component thereof. Both bearing sleeves 181 and 181 may be formed of a soft metal such as brass. In the outer peripheral surface 181d of the bearing sleeve 181, axial grooves 181d1 are formed at plural places in the circumferential direction (three places in the illustrated example) at equal intervals.

양 베어링 슬리브(181,181)의 내주면(181a)에는 각각 제 1, 제 2 레이디얼 베어링부(R11,R12)의 레이디얼 베어링면(A11)이 되는 영역이 형성되고, 레이디얼 베어링면(A11)이 되는 영역에는, 예컨대 도 9(A)에 나타내는 바와 같이, 헤링본 형상으로 배열된 복수개의 동압 홈(181a1)이 축방향으로 대칭 형상으로 형성되어 있다. 동압 홈(181a1)은 공지 외의 형상 예컨대 스파이럴 형상 등으로 배열할 수도 있다.In the inner circumferential surface 181a of both bearing sleeves 181 and 181, a region serving as the radial bearing surface A11 of the first and second radial bearing portions R11 and R12 is formed, respectively, and the radial bearing surface A11 is formed. 9A, for example, a plurality of dynamic pressure grooves 181a1 arranged in a herringbone shape are formed in an symmetrical shape in the axial direction. The dynamic pressure grooves 181a1 may be arranged in an unknown shape such as a spiral shape.

양 베어링 슬리브(181,181)의 상측 끝면(181b)의 일부 또는 전체부 환상 영역에는, 예컨대 도 9(B)에 나타내는 바와 같이, 스파이럴 형상으로 배열된 복수개의 동압 홈(181b1)으로 이루어지는 제 1 동압 홈 영역이 형성되어 있다. 또한, 하측 끝면(181c)의 일부 또는 전체부 환상 영역에는, 예컨대 도 9(C)에 나타내는 바와 같이, 헤링본 형상으로 배열된 복수개의 동압 홈(181c1)으로 이루어지는 제 2 동압 홈 영역이 형성되어 있다. 본 실시형태에서는 상측의 베어링 슬리브(181)의 제 1 동압 홈 영역이 제 1 스러스트 베어링부(T11)의 스러스트 베어링면(B11)으로 되고, 하측의 베어링 슬리브(181)의 제 2 동압 홈 영역이 제 2 스러스트 베어링부(T12)의 스러스트 베어링면(C11)이 된다. 상술한 동압 홈(181a1,181b1, 및 181c1)은 모두 베어링 슬리브(181)의 성형과 동시에 형성할 수 있다.A first dynamic pressure groove made up of a plurality of dynamic pressure grooves 181b1 arranged in a spiral shape in a part or the whole annular region of the upper end surface 181b of both bearing sleeves 181 and 181, for example, as shown in Fig. 9B. The area is formed. In addition, a second dynamic pressure groove region including a plurality of dynamic pressure grooves 181c1 arranged in a herringbone shape is formed in a part or the whole annular region of the lower end surface 181c, for example, as shown in Fig. 9C. . In this embodiment, the 1st dynamic pressure groove area | region of the upper bearing sleeve 181 becomes the thrust bearing surface B11 of the 1st thrust bearing part T11, and the 2nd dynamic pressure groove area | region of the lower bearing sleeve 181 is It becomes the thrust bearing surface C11 of the 2nd thrust bearing part T12. The above-mentioned dynamic pressure grooves 181a1, 181b1, and 181c1 can all be formed simultaneously with the molding of the bearing sleeve 181.

2개의 베어링 슬리브(181,181)의 사이에는 원통형상의 스페이서 부재(182)가 끼워져 장착되어 있다. 스페이서 부재(182)는 황동이나 알루미늄 등의 금속 재료 또는 수지 재료로 형성되고, 그 내주면(182a)은 베어링 슬리브(181)의 내주면(181a)보다 큰 지름으로 형성되어 있다. 본 실시형태에 있어서 스페이서 부재(182)는 그 상단면(182b)을 상측의 베어링 슬리브(181)의 하측 끝면(181c)과, 또한 하단면(182c)을 하측의 베어링 슬리브(181)의 상측 끝면(181b)과 접촉시킨 상태에서 하우징(107) 내주의 축방향 대략 중앙부에 배치되어 있다. 스페이서 부재(182)의 외주면(82d)에는 축방향 홈(182d1)이 원주방향의 복수 개소(예컨대, 3개소)에 형성되어 있다.A cylindrical spacer member 182 is sandwiched between two bearing sleeves 181, 181. The spacer member 182 is formed of a metal material such as brass or aluminum, or a resin material, and the inner circumferential surface 182a is formed to have a diameter larger than the inner circumferential surface 181a of the bearing sleeve 181. In the present embodiment, the spacer member 182 has the upper end surface 182b of the lower end surface 181c of the upper bearing sleeve 181 and the lower end surface 182c of the upper end surface of the lower bearing sleeve 181. It is arrange | positioned at the substantially axial direction center part of the inner periphery of the housing 107 in contact with 181b. In the outer peripheral surface 82d of the spacer member 182, axial grooves 182d1 are formed in plural places (for example, three places) in the circumferential direction.

시일 부재(109,110)는 모두 황동 등의 연질 금속 재료나 그 외의 금속 재료, 또는 수지 재료로 링 형상으로 형성되고, 축부재(102)의 외주면(102a)에 예컨대 접착 고정되고, 접착 고정시에는 축부재(102)에 도포한 접착제가 접착제 저류부로서의 원주 홈(102c)에 충전되어 고화됨으로써 시일 부재(109,110)의 축부재(102)에 대한 접착 강도가 향상된다.The seal members 109 and 110 are all formed in a ring shape with a soft metal material such as brass, other metal materials, or a resin material, and are for example adhesively fixed to the outer peripheral surface 102a of the shaft member 102. The adhesive applied to the member 102 is filled and solidified in the circumferential groove 102c as the adhesive reservoir, thereby improving the adhesive strength of the seal members 109 and 110 to the shaft member 102.

시일 부재(109)의 외주면(109a)은 하우징(107)의 상단 개구부측의 내주면(107a)과의 사이에 소정 용적의 제 1 시일 공간(S11)을 형성하고, 또한 시일 부재(110)의 외주면(110a)은 하우징(107)의 하단 개구부측의 내주면(107a)과의 사이에 소정 용적의 제 2 시일 공간(S12)을 형성한다. 본 구성예에 있어서 시일 부재(109)의 외주면(109a) 및 시일 부재(110)의 외주면(110a)은 각각 베어링 장치의 외부측을 향해서 점차 축경된 테이퍼면 형상으로 형성된다. 그 때문에, 양 시일 공 간(S11,S12)은 서로 접근하는 방향(하우징(107)의 내부방향)으로 점차 축경된 테이퍼 형상이 된다. 축부재(102)의 회전시, 양 시일 공간(S11,S12) 내의 윤활유는 모세관력에 의한 인입 작용과, 회전시의 원심력에 의한 인입 작용에 의해서 시일 공간이 좁아지는 방향(하우징(107)의 내부방향)을 향해서 인입된다. 이것에 의해, 하우징(107)의 내부로부터의 윤활유의 누출이 효과적으로 방지된다. 오일 누출을 확실하게 방지하기 위해서 하우징(107)의 상하 끝면, 시일 부재(109)의 상측 끝면(109c), 및 시일 부재(110)의 하측 끝면(110c)이 각각 발유제(撥油劑)로 이루어지는 피막을 형성할 수도 있다(도시 생략).The outer circumferential surface 109a of the seal member 109 forms the first seal space S11 of a predetermined volume between the inner circumferential surface 107a of the upper opening side of the housing 107, and also the outer circumferential surface of the seal member 110. 110a forms the 2nd seal space S12 of predetermined volume between the inner peripheral surface 107a of the lower end opening side of the housing 107. As shown in FIG. In this configuration example, the outer circumferential surface 109a of the seal member 109 and the outer circumferential surface 110a of the seal member 110 are each formed in a tapered surface shape gradually reduced toward the outer side of the bearing device. Therefore, both seal spaces S11 and S12 become a tapered shape gradually reduced in the direction approaching each other (inner direction of the housing 107). When the shaft member 102 rotates, the lubricating oil in both seal spaces S11 and S12 is drawn in the capillary force and in the direction in which the seal space is narrowed by the pull action by the centrifugal force during rotation (in the housing 107). Inward). As a result, leakage of lubricant oil from the inside of the housing 107 is effectively prevented. In order to reliably prevent oil leakage, the upper and lower end faces of the housing 107, the upper end face 109c of the seal member 109, and the lower end face 110c of the seal member 110 are respectively oil-repellent agents. It is also possible to form a film formed (not shown).

제 1 및 제 2 시일 공간(S11,S12)은 하우징(107)의 내부 공간에 충만되는 윤활유의 온도 변화에 따른 용적 변화량을 흡수하는 버퍼 기능을 갖는다. 상정되는 온도 변화의 범위 내에서 오일면은 항상 양 시일 공간(S11,S12) 내에 있다. 이것을 실현하기 위해서 양 시일 공간(S11,S12)의 용적의 총 합계는 적어도 내부 공간에 충만되는 윤활유의 온도 변화에 따른 용적 변화량보다 크게 설정된다.The first and second seal spaces S11 and S12 have a buffer function for absorbing the volume change amount according to the temperature change of the lubricating oil filled in the internal space of the housing 107. Within the range of assumed temperature changes, the oil surface is always in both seal spaces S11 and S12. To realize this, the total sum of the volumes of the two seal spaces S11 and S12 is set larger than the volume change due to the temperature change of the lubricating oil filled in at least the internal space.

상기 구성으로 이루어지는 유체 베어링 장치(101)의 조립은 예컨대 다음과 같이 해서 행해진다.Assembly of the fluid bearing apparatus 101 which consists of the said structure is performed as follows, for example.

베어링 슬리브(181,181) 및 스페이서 부재(182)를 하우징(107)의 내주면(107a)에 접착, 압입, 용착 등 적절한 수단으로 고정한다. 그리고, 베어링 슬리브(181,181) 및 스페이서 부재(182)의 내주에 축부재(102)를 삽입한 후, 베어링 슬리브(181,181) 및 스페이서 부재(182)를 끼우도록 시일 부재(109,110)를 소정의 축 간극을 확보한 상태에서 축부재(102)의 원주 홈(102c)의 외주에 접착 고정한다. 이 와 같이 하여 유체 베어링 장치(101)의 조립이 완료되면, 양 시일 부재(109,110)에 의해 밀폐된 하우징(107)의 내부 공간에 양 베어링 슬리브(181,181)의 내부 기공도 포함시키고, 윤활 유체로서 예컨대 윤활유를 충만시킨다. 윤활유의 충전은 예컨대 조립이 완료된 유체 베어링 장치(101)를 진공조 내에서 윤활유 중에 침지한 후, 대기압에 개방함으로써 행할 수 있다.The bearing sleeves 181 and 181 and the spacer member 182 are fixed to the inner circumferential surface 107a of the housing 107 by appropriate means such as adhesion, press fitting and welding. Then, after the shaft member 102 is inserted into the inner circumferences of the bearing sleeves 181 and 181 and the spacer member 182, the seal members 109 and 110 are provided with a predetermined axial gap so as to sandwich the bearing sleeves 181 and 181 and the spacer member 182. Adhesively fixed to the outer circumference of the circumferential groove (102c) of the shaft member 102 in the secure state. In this way, when the assembly of the fluid bearing device 101 is completed, the internal pores of both bearing sleeves 181 and 181 are also included in the internal space of the housing 107 sealed by both seal members 109 and 110, and as a lubricating fluid. For example, it is filled with lubricating oil. The filling of the lubricating oil can be performed, for example, by immersing the fluid bearing device 101 having completed assembly in the lubricating oil in a vacuum chamber, and then opening it to atmospheric pressure.

상기 구성의 유체 베어링 장치(101)에 있어서 축부재(102)가 회전하면, 양 베어링 슬리브(181)의 내주면(181a)의 레이디얼 베어링면(A11)은 각각 축부재(102)의 외주면(102a)과 레이디얼 베어링 간극을 통해서 대향한다. 그리고 축부재(102)의 회전에 따라 각 레이디얼 베어링 간극에 윤활유의 동압이 발생하고, 그 압력에 의해 축부재(102)가 레이디얼 방향으로 회전 가능하게 비접촉 지지된다. 이것에 의해, 축부재(102)를 레이디얼 방향으로 회전 가능하게 비접촉 지지하는 제 1 레이디얼 베어링부(R1)와 제 2 레이디얼 베어링부(R2)가 형성된다.When the shaft member 102 rotates in the fluid bearing device 101 having the above-described configuration, the radial bearing surfaces A11 of the inner circumferential surface 181a of both bearing sleeves 181 are respectively the outer circumferential surface 102a of the shaft member 102. ) And through the radial bearing clearance. As the shaft member 102 rotates, dynamic pressure of lubricating oil is generated in each radial bearing gap, and the shaft member 102 is rotatably supported in a non-contact manner by the pressure. As a result, the first radial bearing portion R1 and the second radial bearing portion R2 are formed to rotatably support the shaft member 102 in the radial direction.

또한, 축부재(102)가 회전하면, 상측의 베어링 슬리브(181)의 상측 끝면(181b)의 스러스트 베어링면(B11)이 되는 영역(제 1 동압 홈 영역)이 시일 부재(109)의 하측 끝면(109b)과 소정의 제 1 스러스트 베어링 간극을 통해서 대향하고, 또한 하측의 베어링 슬리브(181)의 하측 끝면(181c)의 스러스트 베어링면(C11)이 되는 영역(제 2 동압 홈 영역)이 시일 부재(110)의 상측 끝면(110b)과 소정의 제 2 스러스트 베어링 간극을 통해서 대향한다. 그리고 축부재(102)의 회전에 따라 각 스러스트 베어링 간극에 윤활유의 동압이 발생하고, 그 압력에 의해 축부재(102)가 양 스러스트 방향으로 회전 가능하게 비접촉 지지된다. 이것에 의해, 축 부재(102)를 양 스러스트 방향으로 회전 가능하게 비접촉 지지하는 제 1 스러스트 베어링부(T11)와 제 2 스러스트 베어링부(T12)가 형성된다.Moreover, when the shaft member 102 rotates, the area | region (first dynamic pressure groove area | region) which becomes the thrust bearing surface B11 of the upper end surface 181b of the upper bearing sleeve 181, the lower end surface of the sealing member 109 An area (second dynamic pressure groove region) which faces 109b and a thrust bearing surface C11 of the lower end surface 181c of the lower bearing sleeve 181 and faces through a predetermined first thrust bearing gap is sealed. The upper end surface 110b of 110 is opposed through a predetermined second thrust bearing gap. As the shaft member 102 rotates, dynamic pressure of lubricating oil is generated in each of the thrust bearing gaps, and the pressure prevents the shaft member 102 from being rotatably supported in both thrust directions. Thereby, the 1st thrust bearing part T11 and the 2nd thrust bearing part T12 which rotatably support the axial member 102 rotatably in both thrust directions are formed.

그런데, 유체 베어링 장치(101)의 운전 중에는 국소적인 부압의 발생에 따른 기포의 생성, 기포의 생성에 기인하는 윤활유의 누설이나 진동의 발생 등이 생기는 경우가 있다. 이것에 대하여 본 실시형태에서는 양 베어링 슬리브(181,181)의 축방향 홈(181d1), 스페이서 부재(182)의 축방향 홈(182d1), 각 베어링 간극(제 1, 제 2 레이디얼 베어링부(R11,R12)의 레이디얼 베어링 간극, 제 1, 제 2 스러스트 베어링부(T11,T12)의 스러스트 베어링 간극), 및 스페이서 부재(182)의 내주면(182a)과 축부재(102)의 외주면(102a) 사이의 간극에 의해 유체 베어링 장치(101)의 내부에 일련의 순환 유로를 형성했으므로, 베어링 운전 중에는 윤활유가 이 순환 유로를 통해서 유동 순환한다. 이것에 의해, 상기 문제는 효과적으로 방지된다. 또한, 양 베어링 슬리브(181)의 축방향 홈(181d1)의 일단은 각각 대기 개방측이 되는 시일 공간(S11,S12)에 통하고 있다. 그 때문에, 어떠한 이유로 윤활유 중에 기포가 혼입된 경우에도 기포가 윤활유를 따라 순환할 때에 외기 개방측으로 배출되므로, 기포에 의한 악영향은 한층 효과적으로 방지된다.By the way, during operation of the fluid bearing apparatus 101, the generation of bubbles due to the local negative pressure, the leakage of lubricating oil due to the generation of bubbles, the generation of vibration, etc. may occur. In contrast, in the present embodiment, the axial grooves 181d1 of both bearing sleeves 181 and 181, the axial grooves 182d1 of the spacer member 182, and the respective bearing clearances (first and second radial bearing portions R11, Between the radial bearing clearance of R12, the thrust bearing clearance of the first and second thrust bearing portions T11, T12, and the inner circumferential surface 182a of the spacer member 182 and the outer circumferential surface 102a of the shaft member 102; Since a series of circulation flow paths were formed inside the fluid bearing device 101 by the gap of, the lubricating oil flows and flows through this circulation flow path during the bearing operation. By this, the problem is effectively prevented. Further, one end of the axial grooves 181d1 of the two bearing sleeves 181 communicates with the seal spaces S11 and S12 serving as the atmospheric opening sides, respectively. Therefore, even when bubbles are mixed in the lubricant for some reason, the bubbles are discharged to the outside air opening side when the bubbles are circulated along the lubricant, so that adverse effects caused by the bubbles are more effectively prevented.

이상에 나타낸 구성에서는 상측 끝면(181b)에 동압 홈(181b1)으로 이루어지는 제 1 동압 홈 영역을, 하측 끝면(181c)에 동압 홈(181c1)으로 이루어지는 제 2 동압 홈 영역을 각각 갖는 베어링 슬리브(181,181)를 이용하여 환언하면 동일한 베어링 슬리브를 2개 이용해서 베어링 부재(108)를 형성하고 있다. 따라서, 베어링 슬리브(181,181)는 상하의 위치 관계를 고려하는 일 없이 하우징(107)에 맞붙일 수 있고, 조립 실수에 기인해서 유체 베어링 장치(101)를 사용할 수 없다는 문제를 회피하면서, 베어링 부재(108)의 양단측에 스러스트 베어링부(T11,T12)를 설치해서 모멘트 강성이 우수한 유체 베어링 장치(101)를 용이하고 또한 저비용으로 얻을 수 있다. 특히, 본 구성예에서는 상측 끝면(181b)의 동압 홈(181b1)을 스파이럴 형상으로 배열해서 제 1 동압 홈 영역을 형성하고, 하측 끝면(181c)의 동압 홈(181c1)을 헤링본 형상으로 배열해서 제 2 동압 홈 영역을 형성하고 있으므로, 양단면의 식별성을 높이고, 각 베어링 슬리브(181)의 상하를 잘못해서 맞붙인다는 사태를 확실하게 방지하는 것이 가능하게 된다.In the above-described configuration, the bearing sleeves 181 and 181 each have a first dynamic pressure groove region including the dynamic groove 181b1 on the upper end surface 181b and a second dynamic pressure groove region including the dynamic groove 181c1 on the lower end surface 181c. In other words, the bearing member 108 is formed using two identical bearing sleeves. Accordingly, the bearing sleeves 181 and 181 can be stuck to the housing 107 without considering the upper and lower positional relationship, and the bearing member 108 while avoiding the problem that the fluid bearing device 101 cannot be used due to assembly error. The thrust bearing portions T11 and T12 are provided on both ends of the c) so that the fluid bearing device 101 having excellent moment rigidity can be obtained easily and at low cost. In particular, in this configuration example, the dynamic pressure grooves 181b1 of the upper end surface 181b are arranged in a spiral shape to form a first dynamic pressure groove region, and the dynamic pressure grooves 181c1 of the lower end surface 181c are arranged in a herringbone shape. Since the two dynamic pressure groove regions are formed, it is possible to increase the discrimination of both end faces and to reliably prevent the situation of joining the upper and lower parts of each bearing sleeve 181 by mistake.

또한, 2종류의 베어링 슬리브를 1종류의 베어링 슬리브에 집약할 수 있는 만큼 부품 단가를 저감할 수 있는 것 외에 부품의 관리 비용을 저감할 수 있다.In addition, since the two types of bearing sleeves can be aggregated into one type of bearing sleeve, the unit cost can be reduced and the management cost of the parts can be reduced.

또한, 본 구성예에서는 제 1 스러스트 베어링부(T11)의 제 1 스러스트 베어링 간극에 면하는 스러스트 베어링면(B11)(제 1 동압 홈 영역)에는 스파이럴 형상으로 배열한 동압 홈을 형성하고, 제 2 스러스트 베어링부(T12)의 제 2 스러스트 베어링 간극에 면하는 스러스트 베어링면(C11)(제 2 동압 홈 영역)에는 헤링본 형상으로 배열한 동압 홈을 형성하고 있지만, 식별성을 확보할 수 있는 것이면, 예컨대, 제 1 동압 홈 영역과 제 2 동압 홈 영역을 홈 개수나 경사각을 다르게 한 동일형상으로 배열한 동압 홈으로 구성할 수도 있다.Moreover, in this structural example, the dynamic pressure groove arrange | positioned in the spiral shape is formed in the thrust bearing surface B11 (first dynamic pressure groove area | region) which faces the 1st thrust bearing clearance of the 1st thrust bearing part T11, and the 2nd Although the thrust bearing surface C11 (second dynamic pressure groove region) facing the second thrust bearing clearance of the thrust bearing portion T12 is formed with a dynamic pressure groove arranged in a herringbone shape, for example, if identification can be ensured, The first dynamic pressure groove region and the second dynamic pressure groove region may be configured as dynamic pressure grooves arranged in the same shape with different numbers of grooves or inclination angles.

또한, 이상에서는, 식별성에만 착안해서 제 1 동압 홈 영역과 제 2 동압 홈 영역의 동압 홈의 배열 형상을 결정했지만, 예컨대 제 1 스러스트 베어링부(T11)나 제 2 스러스트 베어링부(T12)에서 필요로 되는 압력에 따라 동압 홈의 배열 형상이 나 홈 개수 등을 다르게 할 수도 있다.In addition, in the above, the arrangement shape of the dynamic pressure groove of the 1st dynamic pressure groove area | region and the 2nd dynamic pressure groove area | region was focused only on identification, but it is necessary in the 1st thrust bearing part T11 and the 2nd thrust bearing part T12, for example. Depending on the pressure, the arrangement shape and the number of grooves may be different.

본 구성예에서는 베어링 슬리브(181,181) 사이에 비다공질체의 스페이서 부재(182)를 끼워 장착하고 있으므로, 베어링 내부에 충만해야 할 윤활유량을 저감할 수 있다. 이것에 의해, 시일 부재(109,110)의 축방향 치수를 단축하고, 레이디얼 베어링부(R11,R12)의 베어링 스팬을 확대시킬 수도 있다.In this configuration example, since the spacer member 182 of the non-porous body is sandwiched between the bearing sleeves 181 and 181, the amount of lubricating oil to be filled inside the bearing can be reduced. Thereby, the axial dimension of the sealing members 109 and 110 can be shortened, and the bearing span of radial bearing parts R11 and R12 can be enlarged.

또한, 도시는 생략하지만, 상기 구성의 유체 베어링 장치(101)에 있어서 시일 부재(109,110)의 어느 한쪽은 축부재(102)와 일체로 형성할 수 있고, 이 구성으로 함으로써 유체 베어링 장치(101)의 맞붙임을 한층 간략화할 수 있다.In addition, although illustration is abbreviate | omitted, in the fluid bearing apparatus 101 of the said structure, either of the sealing members 109 and 110 can be formed integrally with the shaft member 102, and by setting it as this structure, the fluid bearing apparatus 101 You can simplify the pasting of.

또한, 이상의 설명에서는 레이디얼 베어링 간극에 유체 동압을 발생시키는 동압 발생 수단(동압 홈)을 베어링 슬리브(181)의 내주에 형성하는 경우에 대해서 설명을 행했지만, 동압 홈은 레이디얼 베어링 간극을 통해서 대향하는 축부재(102)의 외주면(102a)에 형성해도 된다. 이 경우, 양 베어링 슬리브의 상하의 위치 관계는 회전 성능에 영향을 미치지 않으므로, 제 1 레이디얼 베어링부(R1)를 형성하기 위한 동압 홈과 제 2 레이디얼 베어링부(R2)를 형성하기 위한 동압 홈은 그 형상 등을 서로 다르게 해도 좋다.In addition, although the above description demonstrated the case where the dynamic pressure generating means (dynamic pressure groove) which generate | occur | produces fluid dynamic pressure in a radial bearing clearance gap is formed in the inner periphery of the bearing sleeve 181, dynamic pressure groove | channel is provided through a radial bearing clearance. You may form in the outer peripheral surface 102a of the opposing shaft member 102. FIG. In this case, since the upper and lower positional relationship of both bearing sleeves does not affect the rotational performance, the dynamic pressure groove for forming the first radial bearing portion R1 and the dynamic pressure groove for forming the second radial bearing portion R2 are provided. May have different shapes or the like.

도 10은 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 유체 베어링 장치의 다른 구성예(제 2 구성예)를 나타내고 있다. 동 도면에 나타내는 유체 베어링 장치(121)는 주로 베어링 부재(108)를 2개의 베어링 슬리브(181,181)와 하우징(7)으로 구성한 점에서 도 8에 나타내는 유체 베어링 장치(101)와 구성이 다르다. 이 때, 베어링 슬리브(181)의 내주면(181a)에 동압 홈을 형성하는 경우에는 그 동압 홈(181a2) 형상 을 예컨대 도 11에 나타내는 바와 같은 원주방향 등간격으로 형성된 복수개의 축방향 홈 형상으로 하면, 도 8에 나타내는 구성과 마찬가지로, 양 베어링 슬리브(181,181)의 상하 위치를 고려하는 일 없이 맞붙임을 행할 수 있다. 이 형태의 동압 홈(181a2)으로 구성되는 레이디얼 베어링부(R11,R12)는 소위 스텝 베어링이다. 물론, 레이디얼 베어링부(R11,R12)를 형성하기 위한 동압 홈을 축부재(102)의 외주면(102a)에 형성할 경우에는, 상기와 마찬가지로, 그 형상은 자유롭게 설정하는 것이 가능하다. 또한, 이 이외의 구성은 도 8에 나타내는 제 1 구성예에 준하기 때문에 공통의 참조 번호를 붙여 중복 설명을 생략한다.10 shows another configuration example (second configuration example) of the fluid bearing device according to the second embodiment of the present invention. The fluid bearing device 121 shown in the same drawing is different from the fluid bearing device 101 shown in FIG. 8 in that the bearing member 108 mainly consists of two bearing sleeves 181 and 181 and the housing 7. At this time, in the case where the dynamic groove is formed in the inner circumferential surface 181a of the bearing sleeve 181, when the dynamic groove 181a2 has the shape of a plurality of axial grooves formed at equal intervals in the circumferential direction as shown in FIG. 8, the bonding can be performed without considering the vertical position of both bearing sleeves 181, 181. The radial bearing portions R11 and R12 constituted by the dynamic pressure grooves 181a2 of this form are so-called step bearings. Of course, when the dynamic pressure groove for forming the radial bearing portions R11 and R12 is formed on the outer circumferential surface 102a of the shaft member 102, the shape can be freely set as described above. In addition, since a structure other than this is based on the 1st structural example shown in FIG. 8, a common reference number is attached | subjected and overlapping description is abbreviate | omitted.

또한, 이상에서 설명을 행한 유체 베어링 장치(101,121)에 있어서 레이디얼 베어링부(R11,R12)는 레이디얼 베어링면이 되는 영역에 복수개의 원호면을 형성한 소위 다원호 베어링으로 구성할 수도 있다. 또한, 스러스트 베어링부(T11,T12)로서는 상기와 같이 헤링본 형상이나 스파이럴 형상 등의 동압 홈에 의해 윤활유의 동압 작용을 발생시키는 것 이외에도 스러스트 베어링면이 되는 영역에 복수개의 반경방향 홈을 원주방향 소정 간격으로 형성한 소위 스텝 베어링, 소위 파형 베어링(스텝형이 파형으로 된 것) 등을 채용해도 좋다.In the fluid bearing apparatuses 101 and 121 described above, the radial bearing portions R11 and R12 can also be configured as so-called multi-circular bearings in which a plurality of circular arc surfaces are formed in a region serving as the radial bearing surface. The thrust bearing portions T11 and T12 have a plurality of radial grooves defined in the circumferential direction in the region serving as the thrust bearing surface, in addition to generating dynamic pressure action of the lubricating oil by dynamic pressure grooves such as herringbone shape or spiral shape as described above. So-called step bearings, so-called corrugated bearings (stepped to corrugated) formed at intervals may be employed.

또한, 이상의 설명에서는 유체 베어링 장치(101,121)의 내부에 충만하는 유체로서 윤활유를 예시했지만, 그 이외에도 각 베어링 간극에 동압을 발생시킬 수 있는 유체 예컨대 공기 등의 기체나, 자성 유체 등을 사용할 수도 있다.In addition, although the lubricating oil was illustrated as the fluid filled in the inside of the fluid bearing apparatuses 101 and 121 in the above description, the fluid which can generate dynamic pressure in each bearing clearance, for example, gas, such as air, magnetic fluid, etc. can also be used. .

이상에서는 본 실시형태에 따른 유체 베어링 장치(101)를 디스크 장치용 스핀들 모터에 조립해서 사용하는 경우를 설명했지만, 본 실시형태에 따른 유체 베어 링 장치(101)는 정보기기용 스핀들 모터 이외에도 고속 회전하며 높은 모멘트 강성이 요구되는 모터 예컨대 팬 모터에도 바람직하게 이용할 수 있다.In the above, the case where the fluid bearing device 101 according to the present embodiment is assembled to the disk drive spindle motor has been described. However, the fluid bearing device 101 according to the present embodiment rotates at high speed in addition to the spindle motor for information equipment. The present invention can also be preferably used for a motor such as a fan motor that requires high moment rigidity.

도 12는 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 유체 베어링 장치(101)를 조립한 팬 모터, 그 중에서도 반경방향(레이디얼 방향)의 갭을 사이에 두고 고정자 코일(104) 및 회전자 자석(105)을 대향시킨 소위 레이디얼 갭형 팬 모터의 일례를 개념적으로 나타내는 것이다. 도시예의 모터는 주로 축부재(102)의 상단 외주에 고정되는 회전자(133)가 외주면에 날개를 갖는 점, 및 브래킷(136)이 모터의 각 구성 부품을 수용하는 케이싱으로서의 기능을 달성하는 점에서 도 7에 나타내는 스핀들 모터와 구성이 다르다. 또한, 그 외의 구성은 도 7에 나타내는 모터에 준하기 때문에 공통의 참조 번호를 붙여 중복 설명을 생략한다.FIG. 12 shows a fan motor incorporating a fluid bearing device 101 according to a second embodiment of the present invention, among which a stator coil 104 and a rotor magnet 105 with gaps in a radial (radial direction) interposed therebetween. This example conceptually illustrates an example of a so-called radial gap fan motor in which? In the motor of the illustrated example, the rotor 133 fixed to the upper outer circumference of the shaft member 102 has a wing on its outer circumference, and the bracket 136 achieves its function as a casing for accommodating each component of the motor. Is different from the spindle motor shown in FIG. In addition, since the other structure is similar to the motor shown in FIG. 7, the common reference number is attached | subjected and the duplicate description is abbreviate | omitted.

이하, 본 발명의 제 3 실시형태에 따른 유체 베어링 장치 및 이것을 구비하는 모터를 도 13~도 20에 기초하여 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the fluid bearing apparatus which concerns on 3rd Embodiment of this invention, and the motor provided with this are demonstrated based on FIGS. 13-20.

도 13은 본 발명의 제 3 실시형태에 따른 유체 베어링 장치를 조립한 정보기기용 스핀들 모터의 일구성예를 개념적으로 나타내고 있다. 이 스핀들 모터는 HDD 등의 디스크 구동 장치에 이용되는 것으로, 축부재(206)를 갖는 회전체(202)를 레이디얼 방향으로 비접촉 지지하는 유체 베어링 장치(201)와, 예컨대 반경방향의 갭을 사이에 두고 대향시킨 고정자 코일(204a) 및 회전자 자석(204b)으로 이루어지는 구동부(204)와, 브래킷(205)을 구비하고 있다. 축부재(206)에는 허브(203)가 부착되고, 허브(203)에 회전자 자석(204b)이 고정된다. 또한, 브래킷(205)에 고정자 코일(204a)이 고정된다. 유체 베어링 장치(201)의 하우징(210)은 브래킷(205)의 내주 에 고정된다. 또한, 동 도면에 나타내는 바와 같이, 허브(203)에는 디스크(D21)가 1장 또는 복수장(도 13에서는 2장)이 유지된다. 이렇게 구성된 디스크 구동 장치에 있어서 고정자 코일(204a)에 통전하면, 고정자 코일(204a)과 회전자 자석(204b) 사이에 발생하는 전자력에 의해 회전자 자석(204b)이 회전하고, 이것에 따라, 허브(203)에 고정된 디스크(D21)가 축부재(206)와 일체로 회전한다.Fig. 13 conceptually shows an example of the configuration of a spindle motor for information apparatus incorporating a fluid bearing device according to a third embodiment of the present invention. This spindle motor is used for a disk drive device such as an HDD, and is provided with a fluid bearing device 201 for non-contacting support of the rotary body 202 having the shaft member 206 in the radial direction, for example, a radial gap. The drive part 204 which consists of the stator coil 204a and the rotor magnet 204b which faced in the opposite direction, and the bracket 205 are provided. The hub 203 is attached to the shaft member 206, and the rotor magnet 204b is fixed to the hub 203. In addition, the stator coil 204a is fixed to the bracket 205. The housing 210 of the fluid bearing device 201 is fixed to the inner circumference of the bracket 205. As shown in the figure, the hub 203 holds one or a plurality of disks D21 (two in FIG. 13). In the disk drive device configured as described above, when the stator coil 204a is energized, the rotor magnet 204b is rotated by the electromagnetic force generated between the stator coil 204a and the rotor magnet 204b. The disk D21 fixed to 203 rotates integrally with the shaft member 206.

도 14는 본 발명의 제 3 실시형태에 따른 유체 베어링 장치(201)의 일례(제 1 구성예)를 나타내고 있다. 동 도면에 나타내는 유체 베어링 장치(201)는 복수개의 베어링 슬리브를 갖는 베어링 부재(209)와, 베어링 부재(209)의 내주에 삽입된 축부재(206)를 갖는 회전체(202)를 주요한 구성 부품으로서 구비한다.14 shows an example (first configuration example) of the fluid bearing device 201 according to the third embodiment of the present invention. The fluid bearing device 201 shown in the same drawing mainly comprises a rotating member 202 having a bearing member 209 having a plurality of bearing sleeves and a shaft member 206 inserted into an inner circumference of the bearing member 209. It is provided as.

베어링 부재(209)는 하우징(210)과, 하우징(210)의 내주에 고정된 복수개의 베어링 슬리브, 여기서는 제 1 베어링 슬리브(211)와 제 2 베어링 슬리브(212)로 구성된다.The bearing member 209 is composed of a housing 210 and a plurality of bearing sleeves fixed here in the inner circumference of the housing 210, here a first bearing sleeve 211 and a second bearing sleeve 212.

하우징(210)은 예컨대 금속 재료 또는 수지 재료 등으로 형성되는 것으로, 작은 지름면(210a)과, 작은 지름면(210a)의 축방향 양단에 위치하며 작은 지름면(210a)에 비해서 상대적으로 큰 지름이 되는 큰 지름면(210b,210c)을 갖는다. 작은 지름면(210a)의 내주에는 제 1 베어링 슬리브(211)와, 제 2 베어링 슬리브(212)가 축방향으로 늘어서서 배치된다. 또한, 큰 지름면(210b,210c)은 단차면(210d,210e)을 통해서 각각 작은 지름면(210a)과 연결되어 있다.The housing 210 is formed of, for example, a metal material or a resin material, and is located at both ends of the small diameter plane 210a and the small diameter plane 210a in the axial direction and has a relatively larger diameter than the small diameter plane 210a. It has large diameter surfaces 210b and 210c. On the inner circumference of the small diameter surface 210a, the first bearing sleeve 211 and the second bearing sleeve 212 are arranged along the axial direction. In addition, the large diameter surfaces 210b and 210c are connected to the small diameter surfaces 210a through the stepped surfaces 210d and 210e, respectively.

축부재(206)는 스테인레스강 등의 금속 재료로 형성되고, 전체적으로 대략 동일한 직경의 축 형상을 하고 있다. 축부재(206)의 외주면(206a)에는 환상의 시일 부재(207,208)가 적절한 고정수단 예컨대 접착에 의해 고정되어 있다. 그 때문에, 본 구성예에서는 시일 부재(207,208)를 외주에 고정한 축부재(206)와, 축부재(206)에 고정된 허브(203), 허브(203)에 부착된 회전자 자석(204b), 디스크(D21), 및 디스크(D21)를 허브(203)에 고정하기 위한 클램퍼(도시는 생략)로 회전체(202)가 구성된다. 이러한 구성의 회전체(202)의 축방향 무게 중심 위치는 이 구성예에서는 베어링 부재(209)의 축방향 중간 위치보다 상측(허브(203)에 가까운 측)에 있다.The shaft member 206 is formed of a metal material such as stainless steel, and has a shaft shape of approximately the same diameter as a whole. On the outer circumferential surface 206a of the shaft member 206, annular seal members 207 and 208 are fixed by appropriate fixing means, for example, by bonding. Therefore, in this structural example, the shaft member 206 which fixed the sealing member 207,208 to the outer periphery, the hub 203 fixed to the shaft member 206, the rotor magnet 204b attached to the hub 203, The rotating body 202 is comprised from the disk D21 and the clamper (not shown) for fixing the disk D21 to the hub 203. In this configuration, the axial center of gravity position of the rotating body 202 in this configuration is above the axial intermediate position of the bearing member 209 (side closer to the hub 203).

시일 부재(207,208)는 축부재(206)에 고정한 상태에서는 외주면(206a)으로부터 외경측으로 돌출한 형태가 되고, 각각 하우징(210)의 내부(큰 지름면(210b,210c)의 내주)에 수용된다. 시일 부재(207,208)의 축부재(206)로의 고정수단으로서는 접착이나 압입, 압입과 접착의 병용 등 여러가지의 수단이 사용 가능하다. 축부재(206)의 외주면(206a) 중 시일 부재(207,208)가 고정되는 개소에는 접착제 저류부가 되는 원주 홈(206a1,206a2)이 형성되고, 이것에 의해 축부재(206)에 대한 시일 부재(207,208)의 접착 강도의 향상을 도모하고 있다. 또한, 시일 부재(207,208)는 놋쇠(황동) 등의 연질 금속 재료나 그 외의 금속 재료로 형성된 것이어도 좋고, 수지 재료로 형성된 것이어도 좋다. 또한, 시일 부재(207,208) 중 한쪽이 축부재(206)에 일체로 형성된 것이어도 된다. 이와 같이, 한쪽의 시일 부재를 축부재와 일체로 형성할 경우에는 예컨대 금속제의 축부재(206)를 삽입 부품으로 하고, 시일 부재의 어느 한쪽을 수지로 사출 성형할 수도 있다.When the seal members 207 and 208 are fixed to the shaft member 206, the seal members 207 and 208 protrude from the outer circumferential surface 206a to the outer diameter side and are accommodated inside the housing 210 (inner circumference of the large diameter surfaces 210b and 210c), respectively. . As the fixing means of the seal members 207 and 208 to the shaft member 206, various means such as bonding, pressing, pressing and bonding can be used. The circumferential grooves 206a1 and 206a2 serving as the adhesive reservoir are formed in the outer circumferential surface 206a of the shaft member 206 at which the seal members 207 and 208 are fixed, whereby the seal members 207 and 208 with respect to the shaft member 206 are formed. ), The adhesive strength is improved. The seal members 207 and 208 may be formed of a soft metal material such as brass (brass) or other metal material, or may be formed of a resin material. In addition, one of the sealing members 207 and 208 may be formed integrally with the shaft member 206. As described above, when one seal member is integrally formed with the shaft member, for example, the metal shaft member 206 may be used as an insert part, and either of the seal members may be injection molded with resin.

시일 부재(207)의 외주면(207a)은 하우징(210)의 큰 지름면(210b)과의 사이에 소정 용적의 시일 공간(S21)을 형성하고, 시일 부재(208)의 외주면(208a)은 하 우징(210)의 큰 지름면(210c)과의 사이에 소정 용적의 시일 공간(S22)을 형성한다. 본 구성예에 있어서 시일 부재(207)의 외주면(207a) 및 시일 부재(208)의 외주면(208a)은 각각 하우징(210)의 외부측을 향해서 점차 축경된 테이퍼 형상을 이룬다. 그 때문에, 시일 공간(S21,S22)은 하우징(210)의 내부측(제 1 베어링 슬리브(211)의 측)을 향해서 점차 축소된 테이퍼 형상을 갖는다.The outer circumferential surface 207a of the seal member 207 forms a seal volume S21 of a predetermined volume between the large diameter surface 210b of the housing 210, and the outer circumferential surface 208a of the seal member 208 is a lower surface. A seal volume S22 having a predetermined volume is formed between the large diameter surface 210c of the housing 210. In this configuration example, the outer circumferential surface 207a of the seal member 207 and the outer circumferential surface 208a of the seal member 208 respectively form a tapered shape that is gradually reduced toward the outer side of the housing 210. Therefore, the seal spaces S21 and S22 have a tapered shape gradually reduced toward the inner side (the side of the first bearing sleeve 211) of the housing 210.

베어링 부재(209)를 구성하는 복수개의 베어링 슬리브 중 제 1 베어링 슬리브(211)는 예컨대 소결 금속으로 이루어지는 다공질체로 원통형상으로 형성된다. 이 실시형태에서 제 1 베어링 슬리브(211)는 구리를 주성분으로 하는 소결 금속의 다공질체로 원통형상으로 형성되고, 하우징(210)의 내주면(작은 지름면(210a))에 압입, 접착, 또는 압입 접착 등의 수단에 의해 고정된다. 또한, 제 1 베어링 슬리브(211)는 수지나 세라믹 등의 비금속 재료로 이루어지는 다공질체로 형성할 수도 있고, 또한 소결 금속 등의 다공질체 이외에도 내부 중공을 가지지 않거나, 또는 윤활유가 출입을 할 수 없을 정도의 크기의 중공 밖에 가지지 않은 구조의 재료로 형성할 수도 있다. 후술하는 제 2 베어링 슬리브(212)에 대해서도 같은 재료가 선택가능하다.Among the plurality of bearing sleeves constituting the bearing member 209, the first bearing sleeve 211 is formed in a cylindrical shape with a porous body made of, for example, a sintered metal. In this embodiment, the first bearing sleeve 211 is formed in a cylindrical shape with a porous body of sintered metal mainly composed of copper, and press-fitted, adhered, or press-fitted to the inner circumferential surface (small diameter surface 210a) of the housing 210. It is fixed by such means. In addition, the first bearing sleeve 211 may be formed of a porous body made of a non-metallic material such as resin or ceramic, and may not have an internal hollow other than a porous body such as a sintered metal, or may have a degree of lubricating oil in and out. It may be formed of a material having a structure having only a hollow of size. The same material can be selected also for the 2nd bearing sleeve 212 mentioned later.

제 1 베어링 슬리브(211)의 내주면(211a)에는 복수개의 레이디얼 베어링면(A21,A22)이 축방향으로 이격해서 형성된다. 이 실시형태에서는, 예컨대 도 15에 나타내는 바와 같이, 복수개의 동압 홈(211a1)을 헤링본 형상으로 배열한 영역(동압 발생부)이 상측의 레이디얼 베어링면(A21)에 형성되고, 복수개의 동압 홈(211a2)을 헤링본 형상으로 배열한 영역(동압 발생부)이 하측의 레이디얼 베어링 면(A22)에 형성된다. 이들 레이디얼 베어링면(A21,A22)은 축부재(206)의 외주면(206a)과 대향하고, 축부재(206)의 회전시에는 외주면(206a)과의 사이에 후술하는 제 1, 제 2 레이디얼 베어링부(R21,R22)의 레이디얼 베어링 간극을 각각 형성한다(도 14를 참조).On the inner circumferential surface 211a of the first bearing sleeve 211, a plurality of radial bearing surfaces A21 and A22 are formed spaced apart in the axial direction. In this embodiment, as shown, for example in FIG. 15, the area | region (dynamic pressure generation part) which arranged the several dynamic pressure grooves 211a1 in the herringbone shape is formed in the upper radial bearing surface A21, and several dynamic pressure grooves are shown. The area | region (dynamic pressure generation part) which has arrange | positioned 211a2 in the herringbone shape is formed in lower radial bearing surface A22. These radial bearing surfaces A21 and A22 oppose the outer circumferential surface 206a of the shaft member 206, and the first and second lady described later between the outer circumferential surface 206a when the shaft member 206 is rotated. Radial bearing gaps of the radial bearing portions R21 and R22 are formed respectively (see Fig. 14).

베어링 부재(209)를 구성하는 복수개의 베어링 슬리브 중 제 2 베어링 슬리브(212)는 예컨대 소결 금속으로 이루어지는 다공질체로 원통형상으로 형성되고, 제 1 베어링 슬리브(211)의 축방향 일방측(여기서는 하측)에 배치된다. 이 실시형태에서는 제 2 베어링 슬리브(212)는 구리를 주성분으로 하는 소결 금속의 다공질체로 원통형상으로 형성되고, 하우징(210)의 작은 지름면(210a)에 압입, 접착, 또는 압입 접착 등의 수단에 의해 고정된다. 따라서, 이 실시형태에서는 제 1 베어링 슬리브(211)는 하우징(210) 내주에 있어서 제 2 베어링 슬리브(212)에 대하여 상대적으로 상측의 영역에 배치되어 있다. 구체적으로는 제 1 베어링 슬리브(211)의 레이디얼 베어링면(A21,A22)과 이것에 대향하는 축부재(206)의 외주면(206a) 사이에 각각 형성되는 레이디얼 베어링부(R21,R22)의 축방향 중간 위치는 베어링 부재(209)의 축방향 중간 위치보다 상측(허브(203)에 가까운 측)에 있다.Among the plurality of bearing sleeves constituting the bearing member 209, the second bearing sleeve 212 is formed in a cylindrical shape with a porous body made of, for example, a sintered metal, and has an axial one side (here, lower side) of the first bearing sleeve 211. Is placed on. In this embodiment, the second bearing sleeve 212 is formed of a porous body of sintered metal containing copper as a main component, and is cylindrical in shape, and means such as press-fitting, bonding, or press-fitting on the small diameter surface 210a of the housing 210. Is fixed by. Therefore, in this embodiment, the 1st bearing sleeve 211 is arrange | positioned in the area | region of the upper side relatively with respect to the 2nd bearing sleeve 212 in the inner periphery of the housing 210. FIG. Specifically, the radial bearing portions R21 and R22 respectively formed between the radial bearing surfaces A21 and A22 of the first bearing sleeve 211 and the outer circumferential surface 206a of the shaft member 206 opposed thereto are provided. The axial intermediate position is above the axial intermediate position of the bearing member 209 (side closer to the hub 203).

제 2 베어링 슬리브(212)의 하단면(212b)의 전체면 또는 일부 영역에는 스러스트 베어링면(B21)이 형성된다. 본 구성예에서는, 예컨대 도 16에 나타내는 바와 같이, 복수개의 동압 홈(212b1)을 헤링본 형상으로 배열한(바꿔 말하면, 굴곡부를 가진 복수개의 동압 홈(212b1)을 원주방향으로 배열한) 영역이 형성된다. 이 스러스트 베어링면(B21)은 축부재(206)에 고정되는 시일 부재(207)의 상단면(207b)과 대향하고, 축부재(206)의 회전시에는 시일 부재(207)의 상단면(207b)과의 사이에 후술하는 제 1 스러스트 베어링부(T21)의 스러스트 베어링 간극을 형성한다(도 14를 참조).A thrust bearing surface B21 is formed on the entire surface or a partial region of the bottom surface 212b of the second bearing sleeve 212. In this structural example, as shown in FIG. 16, the area | region which arranged the several dynamic pressure grooves 212b1 in the herringbone shape (in other words, arranged the plural dynamic pressure grooves 212b1 which have a bend in the circumferential direction) is formed. do. The thrust bearing surface B21 faces the upper surface 207b of the seal member 207 fixed to the shaft member 206, and the upper surface 207b of the seal member 207 is rotated when the shaft member 206 is rotated. ), A thrust bearing gap of the first thrust bearing portion T21 described later is formed (see FIG. 14).

또한, 제 1 베어링 슬리브(211)의 상단면(211b)의 전체면 또는 일부 영역에는 스러스트 베어링면(C21)이 형성된다. 본 구성예에서는, 예컨대 도 17에 나타내는 바와 같이, 복수개의 동압 홈(211b1)을 헤링본 형상으로 배열한 영역이 형성된다. 이 스러스트 베어링면(C21)은 축부재(206)에 고정되는 시일 부재(208)의 하단면(208b)과 대향하고, 축부재(206)의 회전시에는 시일 부재(208)의 하단면(208b)과의 사이에 후술하는 제 2 스러스트 베어링부(T22)의 스러스트 베어링 간극을 형성한다(도 14를 참조).In addition, a thrust bearing surface C21 is formed on the entire surface or a partial region of the upper surface 211b of the first bearing sleeve 211. In this structural example, as shown, for example in FIG. 17, the area | region which arranged the several dynamic pressure groove | channel 211b1 in the herringbone shape is formed. The thrust bearing surface C21 faces the lower surface 208b of the seal member 208 fixed to the shaft member 206, and the lower surface 208b of the seal member 208 is rotated when the shaft member 206 is rotated. The thrust bearing clearance of the 2nd thrust bearing part T22 mentioned later is formed between () (refer FIG. 14).

여기서, 제 2 베어링 슬리브(212)의 내경 치수(내주면(212a)의 지름 치수)는 제 1 베어링 슬리브(211)의 내경 치수보다 크다. 그 때문에, 축부재(206)를 제 1 베어링 슬리브(211) 및 제 2 베어링 슬리브(212)의 내주에 삽입한 상태에서는 제 1 베어링 슬리브(211)의 내주면(211a)만이 레이디얼 베어링면(A21,A22)이 될 수 있다.Here, the inner diameter dimension (diameter dimension of the inner circumferential surface 212a) of the second bearing sleeve 212 is larger than the inner diameter dimension of the first bearing sleeve 211. Therefore, in the state where the shaft member 206 is inserted into the inner circumference of the 1st bearing sleeve 211 and the 2nd bearing sleeve 212, only the inner peripheral surface 211a of the 1st bearing sleeve 211 is radial bearing surface A21. A22).

각 베어링 슬리브(211,212)의 외주면(211d,212d)에는 각각 복수개(도시예에서는 3개)의 축방향 홈(211d1,212d1)이 원주방향으로 등간격으로 형성되어 있다. 이것에 의해, 축방향으로 이격해서 형성되는 스러스트 베어링부(T21,T22) 사이를 연통할 수 있는 유체 유로가 형성된다.A plurality of axial grooves 211d1 and 212d1 are formed on the outer circumferential surfaces 211d and 212d of each of the bearing sleeves 211 and 212 at equal intervals in the circumferential direction, respectively. Thereby, the fluid flow path which can communicate between the thrust bearing parts T21 and T22 formed in the axial direction spaced apart is formed.

이상의 구성으로 이루어지는 유체 베어링 장치(201)는 예컨대 다음과 같은 공정으로 조립할 수 있다.The fluid bearing device 201 having the above configuration can be assembled, for example, in the following steps.

우선, 하우징(210)의 작은 지름면(210a)에 제 1 베어링 슬리브(211)를 접착 고정한다. 이 때, 제 1 베어링 슬리브(211)의 상단면(211b)이 그 외경측에 위치하는 하우징(210)의 단차면(210e)과 동일 평면상, 또는 단차면(210e)보다 축방향 상측(시일 부재(208)의 하단면(208b)에 가까운 측)이 되도록 축방향의 위치 결정이 행해진 상태에서 작은 지름면(210a)에 고정된다. 이것에 의해, 제 1 베어링 슬리브(211)의 상단면(211b)에 형성된 스러스트 베어링면(C21)만이 시일 부재(208)의 하단면(208b)과의 사이에 제 2 스러스트 베어링부(T22)를 형성할 수 있게 된다.First, the first bearing sleeve 211 is adhesively fixed to the small diameter surface 210a of the housing 210. At this time, the upper end surface 211b of the first bearing sleeve 211 is coplanar with the stepped surface 210e of the housing 210 positioned at the outer diameter side thereof, or is axially higher (sealed) than the stepped surface 210e. It is fixed to the small diameter surface 210a in the state where axial positioning was performed so that it might become the side near the bottom surface 208b of the member 208). As a result, only the thrust bearing surface C21 formed on the upper end surface 211b of the first bearing sleeve 211 is provided with the second thrust bearing portion T22 between the lower end surface 208b of the seal member 208. It can be formed.

이어서, 제 2 베어링 슬리브(212)를 하우징(210)의 하단측(제 1 베어링 슬리브(211)의 축방향 일방측)으로부터 작은 지름면(210a) 내주에 도입한다. 그리고, 스러스트 베어링면(B21)을 형성한 제 2 베어링 슬리브(212)의 하단면(212b)으로부터 스러스트 베어링면(C21)을 형성한 제 1 베어링 슬리브(211)의 상단면(211b)까지의 축방향 이간 거리가 소정의 값이 되도록 제 2 베어링 슬리브(212)의 하우징(210)에 대한 축 방향 위치를 결정하고, 이러한 위치에서 제 2 베어링 슬리브(212)를 하우징(210)의 작은 지름면(210a)에 고정한다. 이것에 의해, 베어링 부재(209)의 어셈블리가 완료된다.Next, the second bearing sleeve 212 is introduced into the small diameter surface 210a inner circumference from the lower end side of the housing 210 (axial one side of the first bearing sleeve 211). And the shaft from the lower end surface 212b of the 2nd bearing sleeve 212 which formed the thrust bearing surface B21 to the upper end surface 211b of the 1st bearing sleeve 211 which formed the thrust bearing surface C21. The axial position with respect to the housing 210 of the second bearing sleeve 212 is determined so that the directional separation distance is a predetermined value, and in this position, the second bearing sleeve 212 is replaced by the small diameter surface of the housing 210 ( To 210a). Thereby, the assembly of the bearing member 209 is completed.

이와 같이, 쌍방의 레이디얼 베어링면(A21,A22)을 하나의 베어링 슬리브(제 1 베어링 슬리브(211))에 집약한 것을 사용함으로써 예컨대 제 1 베어링 슬리브(211)에 쌍방의 레이디얼 베어링면(A21,A22)을 성형할 때의 성형 정밀도를 높여 두는 것만으로 쌍방의 레이디얼 베어링면(A21,A22) 사이의 동축도를 고정밀도로 마 무리할 수 있다. 그 때문에, 종래와 같이 쌍방의 레이디얼 베어링면(A21,A22)을 각각 다른 베어링 슬리브에 형성한 것을 하우징(210)에 위치 결정 고정하는 경우와 비교해서 동축도의 관리가 용이하게 된다. 또한, 복수개의 슬리브 사이에서 내주면(레이디얼 베어링면) 사이의 동축 맞춤을 행하는 경우와 비교해서 작업 효율의 향상이 도모되고, 이것에 의해 가공 비용의 저감화가 가능하게 된다.In this way, by using both the radial bearing surfaces A21 and A22 collected in one bearing sleeve (first bearing sleeve 211), for example, the radial bearing surfaces (both in the first bearing sleeve 211) are used. The coaxiality between the radial bearing surfaces A21 and A22 of both sides can be completed with high precision only by raising the shaping | molding precision at the time of shaping | molding A21, A22). Therefore, management of coaxiality becomes easy compared with the case where positioning and fixing the radial bearing surfaces A21 and A22 in the other bearing sleeve, respectively, is fixed to the housing 210 like conventionally. Moreover, compared with the case where coaxial matching is carried out between the inner peripheral surface (radial bearing surface) between a some sleeve, the improvement of work efficiency is attained, and a machining cost can be reduced by this.

또한, 본 구성예에서는 복수개의 레이디얼 베어링면(A21,A22)을 갖는 제 1 베어링 슬리브(211)를 레이디얼 베어링면을 가지지 않은 제 2 베어링 슬리브(212)와 비교해서 상대적으로 회전체(202)의 축방향 무게 중심 위치에 가까운 측에 배치했다. 이러한 구성에 의하면, 후술과 같이, 각 레이디얼 베어링면(A21,A22)과 이것에 대향하는 축부재(206)의 외주면(206a) 사이에 형성되는 레이디얼 베어링부(R21,R22)의 축방향 중심과 회전체(202) 무게 중심의 축방향 이간 거리를 작게 하여 유체 베어링 장치(201)의 모멘트 강성을 높일 수 있다.In this configuration example, the rotating body 202 is relatively compared with the first bearing sleeve 211 having the plurality of radial bearing surfaces A21 and A22 compared with the second bearing sleeve 212 having no radial bearing surface. ) Is placed on the side close to the axial center of gravity position. According to this structure, as described below, the axial directions of the radial bearing portions R21 and R22 formed between the radial bearing surfaces A21 and A22 and the outer circumferential surface 206a of the shaft member 206 opposed thereto are provided. Moment stiffness of the fluid bearing device 201 can be increased by reducing the axial separation distance between the center and the center of gravity of the rotor 202.

또한, 본 구성예에서는 2개의 스러스트 베어링면(B21,C21)을 각각 다른 베어링 슬리브에 형성하였기 때문에, 이들 스러스트 베어링면(B21,C21)을 단일의 베어링 슬리브에 설치하는 경우와 비교해서 축방향의 이간 거리를 크게 취할 수 있다. 그 때문에, 이러한 구성에 의해서도 모멘트 강성의 향상을 도모할 수 있다. 특히, 본 구성예와 같이, 복수개의 베어링 슬리브(211,212)의 끝면 중 축방향으로 가장 일단측(예컨대 하단측)에 위치하는 제 1 끝면으로서의 하단면(212b)과, 하단면(212b)과 축방향으로 가장 이격한 제 2 끝면으로서의 상단면(211b)에 각각 스러스트 베어링면(B21,C21)을 형성함으로써 스러스트 베어링면(B21,C21)의 축방향 이 간 거리를 가능한 한 크게 할 수 있고, 이것에 의해, 더욱더 모멘트 강성의 향상을 도모할 수 있다.In addition, since the two thrust bearing surfaces B21 and C21 are formed in different bearing sleeves in this configuration example, the thrust bearing surfaces B21 and C21 are axially compared with the case where these thrust bearing surfaces B21 and C21 are provided in a single bearing sleeve. The distance between them can be large. Therefore, the moment rigidity can also be improved by such a configuration. In particular, as in this configuration example, the lower end surface 212b as the first end surface located at the one end side (for example, the lower end side) in the axial direction among the end surfaces of the plurality of bearing sleeves 211 and 212, the lower end surface 212b and the shaft By forming the thrust bearing surfaces B21 and C21 on the upper end surface 211b as the second end surface most spaced in the direction, the axial distance between the thrust bearing surfaces B21 and C21 can be made as large as possible. By this, the moment rigidity can be further improved.

또한, 본 구성예에서는 제 1 베어링 슬리브(211)의 하단면(211c)과 이것에 대향하는 제 2 베어링 슬리브(212)의 상단면(212c)을 접촉시킨 상태에서 제 2 베어링 슬리브(212)를 하우징(210)에 대하여 위치 결정 고정하고 있지만, 이 이외의 형태로 제 2 베어링 슬리브(212)를 위치 결정 고정하는 것도 가능하다. 예컨대, 제 1 베어링 슬리브(211)와 제 2 베어링 슬리브(212)의 축방향 치수의 편차 정도를 상정하여 양 베어링 슬리브(211,212) 사이(하단면(211c)과 상단면(212c) 사이)에 약간의 간극이 생기도록 양 베어링 슬리브(211,212)의 축방향 치수, 및 하우징(210)의 작은 지름면(210a)의 축방향 치수를 미리 설정할 수도 있다. 물론, 먼저 제 2 베어링 슬리브(212)를 하우징(210)에 대해서 위치 결정 고정한 후, 제 1 베어링 슬리브(211)를 하우징(210)에 고정하는 것도 가능하다.In addition, in this configuration example, the second bearing sleeve 212 is brought into contact with the lower end surface 211c of the first bearing sleeve 211 and the upper end surface 212c of the second bearing sleeve 212 opposite thereto. Although the positioning is fixed with respect to the housing 210, it is also possible to positionally fix the 2nd bearing sleeve 212 by the form other than this. For example, assuming a degree of deviation in the axial dimension of the first bearing sleeve 211 and the second bearing sleeve 212, slightly between the two bearing sleeves 211 and 212 (between the lower end face 211c and the upper end face 212c). The axial dimension of both the bearing sleeves 211 and 212 and the axial dimension of the small diameter surface 210a of the housing 210 may be set in advance so that the clearance gap may occur. Of course, it is also possible to first fix the second bearing sleeve 212 to the housing 210 and then fix the first bearing sleeve 211 to the housing 210.

상술한 바와 같이 해서 베어링 부재(209)의 어셈블리를 행한 후, 축부재(206)를 각 베어링 슬리브(211,212)의 내주에 삽입하고, 시일 부재(207,208)를 축부재(206)의 소정 위치에 고정한다. 이 때, 한쪽의 시일 부재(207)의 상단면(207b)으로부터 다른쪽의 시일 부재(208)의 하단면(208b)까지의 축방향 이간 거리를 소정의 값으로 관리한 상태에서 각 시일 부재(207,208)를 축부재(206)에 고정함으로써 후술하는 각 스러스트 베어링부(T21,T22)의 스러스트 베어링 간극의 총 합계가 소정의 범위 내로 설정된다. 또한, 시일 부재(207,208) 중 어느 한쪽은 삽입 전에 미리 축부재(206)에 고정해 두어도 되고, 축부재(206)에 일체로 형성해도 된다.After assembling the bearing member 209 as described above, the shaft member 206 is inserted into the inner circumference of each of the bearing sleeves 211 and 212, and the sealing members 207 and 208 are fixed to the predetermined position of the shaft member 206. do. At this time, each seal member (in the state which managed the axial separation distance from the upper end surface 207b of one seal member 207 to the lower end surface 208b of the other seal member 208 to a predetermined value ( By fixing the 207 and 208 to the shaft member 206, the total sum of the thrust bearing clearances of the thrust bearing portions T21 and T22 described later is set within a predetermined range. In addition, either of the seal members 207 and 208 may be fixed to the shaft member 206 before insertion, or may be integrally formed with the shaft member 206.

상기의 공정을 거쳐 조립이 완료된 후, 시일 부재(207,208)에 의해 시일되는 하우징(210)의 내부 공간에 윤활 유체로서 예컨대 윤활유를 주유한다. 이것에 의해, 각 베어링 슬리브(211,212)의 내부 중공(다공질체 조직의 내부 중공)을 포함한 베어링 부재(209)의 내부 공간이 윤활유에 의해 채워진다. 윤활유의 충전은 예컨대 조립이 완료된 유체 베어링 장치(201)를 진공조 내에서 윤활유 중에 침지한 후 대기압에 개방함으로써 행할 수 있다.After the assembly is completed through the above process, for example, lubricating oil is lubricated as the lubricating fluid in the inner space of the housing 210 which is sealed by the sealing members 207 and 208. Thereby, the inner space of the bearing member 209 including the inner hollow (inner hollow of the porous tissue) of each bearing sleeve 211, 212 is filled with lubricating oil. The filling of the lubricating oil can be performed, for example, by immersing the fluid bearing device 201 in which the assembly is completed in the lubricating oil in a vacuum chamber and then opening it to atmospheric pressure.

상기 구성의 유체 베어링 장치(201)에 있어서 축부재(206)(회전체(202))의 회전시, 제 1 베어링 슬리브(211)의 내주면(211a)에 형성된 2개의 레이디얼 베어링면(A21,A22)은 축부재(206)의 외주면(206a)과 레이디얼 베어링 간극을 통해서 대향한다. 그리고, 축부재(206)의 회전에 따라 상기 레이디얼 베어링 간극의 윤활유가 각 레이디얼 베어링면(A21,A22)에 각각 형성된 동압 홈의 축방향 중심측으로 압입되어 그 압력이 상승한다. 이러한 동압 홈(211a1,211a2)의 동압 작용에 의해 축부재(206)(회전체(202))를 레이디얼 방향으로 비접촉 지지하는 제 1 레이디얼 베어링부(R21)와 제 2 레이디얼 베어링부(R22)가 각각 구성된다(도 14를 참조).Two radial bearing surfaces A21 formed on the inner circumferential surface 211a of the first bearing sleeve 211 when the shaft member 206 (rotator 202) rotates in the fluid bearing device 201 having the above-described configuration. A22 opposes the outer circumferential surface 206a of the shaft member 206 through the radial bearing gap. As the shaft member 206 rotates, the lubricating oil in the radial bearing gap is press-fitted to the axial center side of the dynamic pressure grooves formed in the radial bearing surfaces A21 and A22, respectively, and the pressure thereof rises. The first radial bearing portion R21 and the second radial bearing portion for non-contactingly supporting the shaft member 206 (rotator 202) in the radial direction by the dynamic pressure action of the dynamic pressure grooves 211a1 and 211a2. R22) are configured respectively (see FIG. 14).

이와 동시에, 제 2 베어링 슬리브(212)의 하단면(212b)에 형성된 스러스트 베어링면(B21)과 이것에 대향하는 시일 부재(207)의 상단면(207b) 사이의 스러스트 베어링 간극, 및 제 1 베어링 슬리브(211)의 상단면(211b)에 형성된 스러스트 베어링면(C21)과 이것에 대향하는 시일 부재(208)의 하단면(208b) 사이의 스러스트 베어링 간극에 각 스러스트 베어링면(B21,C21)에 형성한 동압 홈(212b1,211b1)의 동 압 작용에 의해 윤활유의 오일막이 각각 형성된다. 그리고, 이들 오일막의 압력에 의해 축부재(206)(회전체(202))를 양 스러스트 방향으로 비접촉 지지하는 제 1 스러스트 베어링부(T21)와 제 2 스러스트 베어링부(T22)가 각각 구성된다(도 14를 참조).At the same time, the thrust bearing clearance between the thrust bearing surface B21 formed in the lower surface 212b of the second bearing sleeve 212 and the upper surface 207b of the sealing member 207 opposite thereto, and the first bearing. On each thrust bearing surface B21, C21 in the thrust bearing clearance gap between the thrust bearing surface C21 formed in the upper surface 211b of the sleeve 211, and the lower surface 208b of the sealing member 208 facing this. An oil film of lubricating oil is formed by the dynamic pressure action of the formed dynamic grooves 212b1 and 211b1, respectively. Then, the first thrust bearing portion T21 and the second thrust bearing portion T22 for non-contactly supporting the shaft member 206 (rotator 202) in both thrust directions by the pressure of these oil films are constituted ( See FIG. 14).

또한, 상술한 바와 같이, 시일 부재(207)의 외주면(207a)측과 시일 부재(208)의 외주면(208a)측에 형성되는 시일 공간(S21,S22)이 하우징(210)의 내부측을 향해서 점차 축소된 테이퍼 형상을 나타내고 있으므로, 양 시일 공간(S21,S22) 내의 윤활유는 모세관력에 의한 인입 작용과, 회전시의 원심력에 의한 인입 작용에 의해 시일 공간이 좁아지는 방향 즉 하우징(210)의 내부측을 향해서 인입된다. 이것에 의해, 하우징(210)의 내부로부터의 윤활유의 누출이 효과적으로 방지된다. 또한, 시일 공간(S21,S22)은 하우징(210)의 내부 공간에 충전된 윤활유의 온도 변화에 따른 용적 변화량을 흡수하는 버퍼 기능을 갖고, 상정되는 온도 변화의 범위 내에서는 윤활유의 오일면은 항상 시일 공간(S21,S22) 내에 있다.As described above, the seal spaces S21 and S22 formed on the outer circumferential surface 207a side of the seal member 207 and the outer circumferential surface 208a side of the seal member 208 are directed toward the inner side of the housing 210. Since the tapered shape is gradually reduced, the lubricating oil in both seal spaces S21 and S22 is the direction in which the seal space is narrowed by the capturing force by the capillary force and the penetrating action by the centrifugal force during rotation, that is, the housing 210. It is drawn toward the inside. As a result, leakage of lubricant oil from the inside of the housing 210 is effectively prevented. In addition, the seal spaces S21 and S22 have a buffer function for absorbing the volume change amount according to the temperature change of the lubricating oil filled in the internal space of the housing 210, and the oil surface of the lubricating oil is always within the range of the assumed temperature change. It is in seal space S21, S22.

또한, 각 베어링 슬리브(211,212)의 축방향 홈(211d1,212d1)에 의해 형성되는 유체 유로의 존재에 의해 윤활유의 압력 밸런스가 무너진 경우에도 신속하게 이러한 압력차를 해소할 수 있고, 국부적인 부압의 발생에 따른 기포의 생성, 기포의 생성에 기인하는 윤활유의 누설이나 진동의 발생 등을 방지하는 것이 가능하게 된다. 또한, 제 1 베어링 슬리브(211)의 축방향 홈(211d1)에 의해 형성되는 유체 유로의 일단과, 제 2 베어링 슬리브(212)의 축방향 홈(212d1)에 의해 형성되는 유체 유로의 일단은 각각 대기 개방측이 되는 시일 공간(S21,S22)에 통하고 있다. 그 때 문에, 어떠한 이유로 윤활유 중에 기포가 혼입된 경우에도 기포가 윤활유를 따라 순환할 때에 외기 개방측으로 배출되므로 기포의 혼입에 따른 상기 문제의 발생을 보다 확실하게 방지할 수 있다.In addition, even when the pressure balance of the lubricating oil is broken due to the presence of the fluid flow path formed by the axial grooves 211d1 and 212d1 of each of the bearing sleeves 211 and 212, such a pressure difference can be quickly resolved, It is possible to prevent the generation of bubbles due to occurrence, the leakage of lubricating oil due to the generation of bubbles, the generation of vibration, and the like. Further, one end of the fluid flow path formed by the axial groove 211d1 of the first bearing sleeve 211 and one end of the fluid flow path formed by the axial groove 212d1 of the second bearing sleeve 212 are respectively. It communicates with the seal spaces S21 and S22 serving as the air opening side. Therefore, even if bubbles are mixed in the lubricant for some reason, the bubbles are discharged to the open air side when circulating along the lubricant, so that the occurrence of the above problems due to the mixing of bubbles can be prevented more reliably.

이상, 본 발명의 제 3 실시형태에 따른 유체 베어링 장치의 일구성예에 대해서 상세하게 설명했지만, 본 발명은 상기 구성예에 한정되는 일 없이 상기 이외의 구성을 이루는 유체 베어링 장치에도 적용가능하다.As mentioned above, although one structural example of the fluid bearing apparatus which concerns on 3rd Embodiment of this invention was demonstrated in detail, this invention is applicable to the fluid bearing apparatus which comprises the structure of that excepting the above without being limited to the said structural example.

이상에서는 제 1 베어링 슬리브(211)를 하우징(210) 내주에 있어서 제 2 베어링 슬리브(212)에 대해서 상대적으로 하우징(210)의 상측 영역(시일 부재(208)측의 영역)에 배치한 경우를 설명했지만, 회전체(202)의 축방향 무게 중심 위치에 따라서는 이것과 반대의 측(시일 부재(207)의 측)에 배치하는 것도 가능하다. 즉, 유체 베어링 장치(201)를 조립해서 사용하는 기기의 종류에 따라서는 회전체(202)의 무게 중심 위치가 베어링 부재(209)의 축방향 중간 위치보다 하측(허브(203)로부터 먼 측)에 있는 경우도 고려된다. 이러한 경우에는 제 1 베어링 슬리브(211)를 제 2 베어링 슬리브(212)보다 상대적으로 하우징(210)의 하측 영역(시일 부재(207)측의 영역)에 배치함으로써 레이디얼 베어링부(R21,R22)의 축방향 중심과 회전체(202) 무게 중심의 축방향 이간 거리를 작게 하여 이것에 의해 높은 모멘트 강성을 얻을 수 있다.In the above, the case where the 1st bearing sleeve 211 is arrange | positioned in the upper region (region of the sealing member 208 side) of the housing 210 relative to the 2nd bearing sleeve 212 in the housing 210 inner periphery is described. Although demonstrated, depending on the position of the axial center of gravity of the rotating body 202, it is also possible to arrange | position on the opposite side (side of the sealing member 207). In other words, the center of gravity of the rotating body 202 is lower than the axially intermediate position of the bearing member 209 (side far from the hub 203), depending on the type of the device in which the fluid bearing device 201 is assembled and used. It is also considered if In this case, the radial bearing portions R21 and R22 are disposed by arranging the first bearing sleeve 211 in the lower region (the region on the seal member 207 side) of the housing 210 relative to the second bearing sleeve 212. By reducing the axial separation distance between the axial center and the center of gravity of the rotor 202, high moment rigidity can be obtained thereby.

또한, 이상에서는 내주에 레이디얼 베어링면을 갖지 않은 제 2 베어링 슬리브(212)를 하우징(210)과는 별체로 형성한 경우를 설명했지만, 이들을 일체로 형성하는 것도 가능하다. 도 18은 그 일례를 나타내는 것으로, 하우징(210)의 작은 지 름면(210a)으로부터 내경측을 향해서 돌출한 슬리브 형상의 돌출부(210f)가 하우징(210)과 일체로 형성되어 있다. 이 경우, 돌출부(210f)의 내경 치수(내주면(210f1)의 지름 치수)는 제 1 베어링 슬리브(211)의 내경 치수보다 크다. 그 때문에, 축부재(206)(도 14를 참조)를 제 1 베어링 슬리브(211) 및 하우징(210)의 돌출부(210f)의 내주에 삽입한 상태에서는, 상기 구성예와 마찬가지로, 제 1 베어링 슬리브(211)의 내주면(211a)만이 레이디얼 베어링면(A21,A22)이 될 수 있다. 또한, 돌출부(210f)의 하단면(210f2)에는 예컨대 도 16에 나타내는 형상의 스러스트 베어링면(B21)이 형성된다. 이 실시형태에서는 이 하단면(210f2)을 통해서 돌출부(210f)의 내주면(210f1)과 하우징(210)의 큰 지름면(210b)이 연결되어 있다. 또한, 이 도시예에서는 돌출부(210f)에는 축방향의 관통 구멍(210f4)이 형성되어 있고, 이 관통 구멍(210f4)과 축방향 홈(211d1)에 의해 유체 유로가 구성되어 있다.In addition, although the case where the 2nd bearing sleeve 212 which does not have a radial bearing surface in the inner periphery was formed separately from the housing 210 was demonstrated, it is also possible to form these integrally. 18 shows an example, and a sleeve-shaped protrusion 210f protruding toward the inner diameter side from the small diameter surface 210a of the housing 210 is formed integrally with the housing 210. In this case, the inner diameter dimension (diameter dimension of the inner circumferential surface 210f1) of the protrusion 210f is larger than the inner diameter dimension of the first bearing sleeve 211. Therefore, in the state which inserted the shaft member 206 (refer FIG. 14) in the inner periphery of the 1st bearing sleeve 211 and the protrusion part 210f of the housing 210, 1st bearing sleeve similarly to the said structural example. Only the inner circumferential surface 211a of 211 can be the radial bearing surfaces A21 and A22. Moreover, the thrust bearing surface B21 of the shape shown, for example in FIG. 16 is formed in the lower surface 210f2 of the protrusion part 210f. In this embodiment, the inner peripheral surface 210f1 of the protrusion 210f and the large diameter surface 210b of the housing 210 are connected through this lower surface 210f2. In this illustrated example, the through hole 210f4 in the axial direction is formed in the protrusion 210f, and the fluid flow path is formed by the through hole 210f4 and the axial groove 211d1.

이러한 구성에 의하면, 새로운 부품점수의 삭감이 도모됨과 아울러, 베어링 부재(209)의 어셈블리 공정이 제 1 베어링 슬리브(211)의 위치 결정 고정만으로 가능하기 때문에 이것에 의해 작업 공정의 간략화를 도모할 수 있다.According to such a structure, while reducing the number of new parts, the assembly process of the bearing member 209 can be performed only by positioning fixing of the first bearing sleeve 211, thereby simplifying the work process. have.

또한, 베어링 부재(209)는 내주에 레이디얼 베어링면(A21,A22)을 갖지 않은 제 3 베어링 슬리브를 더 갖는 것이어도 된다. 도 19는 그 일례를 나타내는 것으로, 베어링 부재(209)는 제 1 베어링 슬리브(211)와, 제 2 베어링 슬리브로서의 돌출부(210f)를 갖는 하우징(210)을 구비하고, 돌출부(210f)(제 2 베어링 슬리브)의 하단측에 제 3 베어링 슬리브(213)를 더 구비한 구성을 이룬다. 동 도면에 있어서 돌출부(210f)의 내경 치수 및 제 3 베어링 슬리브(213)의 내경 치수는 모두 제 1 베어링 슬리브(211)의 내경 치수보다 크다. 그 때문에, 상기 구성예와 마찬가지로, 제 1 베어링 슬리브(211)의 내주면(211a)만이 레이디얼 베어링면(A21,A22)이 될 수 있다. 또한, 스러스트 베어링면(B21)은 제 3 베어링 슬리브(213)의 하단면(213b)에 형성된다. 제 3 베어링 슬리브(213)의 외주면(213d)에는 축방향 홈(213d1)이 형성되어 있고, 이 축방향 홈(213d1)과 돌출부(210f)의 관통 구멍(210f4), 및 제 1 베어링 슬리브(211)의 축방향 홈(211d1)에 의해 상술의 유체 유로가 구성된다.In addition, the bearing member 209 may further have a 3rd bearing sleeve which does not have radial bearing surfaces A21 and A22 in the inner periphery. FIG. 19 shows an example, in which the bearing member 209 includes a housing 210 having a first bearing sleeve 211 and a protrusion 210f as a second bearing sleeve, and a protrusion 210f (second). A third bearing sleeve 213 is further provided on the lower end side of the bearing sleeve). In the same figure, the inner diameter dimension of the protrusion 210f and the inner diameter dimension of the third bearing sleeve 213 are both larger than the inner diameter dimension of the first bearing sleeve 211. Therefore, similarly to the configuration example, only the inner circumferential surface 211a of the first bearing sleeve 211 can be the radial bearing surfaces A21 and A22. In addition, the thrust bearing surface B21 is formed in the lower surface 213b of the third bearing sleeve 213. The outer peripheral surface 213d of the 3rd bearing sleeve 213 is formed with the axial groove 213d1, the through-hole 210f4 of this axial groove 213d1 and the protrusion 210f, and the 1st bearing sleeve 211 The above-mentioned fluid flow path is constituted by the axial grooves 211d1 of ().

이러한 구성에 의하면, 개개의 베어링 슬리브(211,213)의 하우징(210)에 대한 위치 결정이 용이해짐과 동시에 어떤 스러스트 베어링면(B21,C21)도 소결 금속 에서 형성되기 때문에 각 베어링 간극에 윤택한 윤활유를 안정적으로 공급할 수 있다. 그 때문에, 베어링 간극에서의 기름 떨어짐을 가급적 방지하여 높은 오일막 형성 능력을 안정되게 발휘할 수 있다. 또한, 상술한 바와 같이, 베어링 슬리브의 일부를 하우징(210)과 일체로 형성함으로써 베어링 내부 공간에 충전되는 윤활유의 오일량을 조정하는 작용도 발휘한다.This configuration facilitates positioning of the individual bearing sleeves 211 and 213 with respect to the housing 210, and at the same time, any thrust bearing surfaces B21 and C21 are formed of sintered metal, so that lubricants smooth in each bearing gap can be obtained. Can be supplied stably. Therefore, oil fall in a bearing clearance is prevented as much as possible, and high oil film formation ability can be exhibited stably. In addition, as described above, a part of the bearing sleeve is integrally formed with the housing 210 to exert an effect of adjusting the oil amount of the lubricating oil filled in the bearing internal space.

또한, 이상에서는, 하우징(210)의 내주면을 다른 지름 형상(예컨대 작은 지름면(210a)과 큰 지름면(210b,210c))으로 한 경우를 예시했지만, 물론 이 이외의 형상을 하는 하우징(210) 및 그것을 갖는 베어링 부재(209)를 사용할 수도 있다. 도 20은 그 일례를 나타내는 것으로, 하우징(210)의 내주면이 균일 지름인(지름이 일정한 내주면(210g)을 갖는) 점, 그것에 따라, 시일 부재(207,208)가 비교적 작은 지름으로 되어 있는 점에서 도 14에 나타내는 유체 베어링 장치(201)와 구성이 다르다. 이 경우, 이러한 형상의 하우징(210)을 사용함으로써 하우징(210)의 형상을 간소화하고, 또한, 소경화할 수 있다는 이점이 있다.In addition, although the case where the inner peripheral surface of the housing 210 was made into another diameter shape (for example, the small diameter surface 210a and the large diameter surface 210b, 210c) was illustrated, the housing 210 which has a shape other than this is of course illustrated. ) And a bearing member 209 having the same. FIG. 20 shows an example, in which the inner circumferential surface of the housing 210 has a uniform diameter (having a constant inner circumferential surface 210g), whereby the seal members 207 and 208 have a relatively small diameter. The configuration differs from the fluid bearing device 201 shown in 14. In this case, the use of such a housing 210 has the advantage that the shape of the housing 210 can be simplified and further downsized.

또한, 이상에서는 동압 홈(211a1,211a2)의 배열 영역(동압 발생부)을 레이디얼 베어링면(A21,A22)을 갖는 제 1 베어링 슬리브(211)의 내주면(211a)이나, 스러스트 베어링면(C21)을 갖는 상단면(211b), 또는 스러스트 베어링면(B21)을 갖는 제 2 베어링 슬리브(212)의 하단면(212b)에 형성한 경우를 설명했지만, 이 형태에 한정될 필요는 없다. 예컨대 동압 홈(211a1,211a2)으로 이루어지는 동압 발생부를 각 레이디얼 베어링면(A21,A22)과 대향하는 축부재(206)의 외주면(206a)에 형성할 수도 있고, 또한 동압 홈(212b1,211b1)으로 이루어지는 동압 발생부를 각 스러스트 베어링면(B21,C21)과 대향하는 시일 부재(207)의 상단면(207b)이나 시일 부재(208)의 하단면(208b)에 형성할 수도 있다. 이하에 나타내는 형태의 동압 발생부에 대해서도 마찬가지로, 베어링 부재(209)측에 한정되지 않고, 이것에 대향하는 축부재(206)나 각 시일 부재(207,208)측에 형성할 수 있다.In addition, the inner peripheral surface 211a of the 1st bearing sleeve 211 which has the radial bearing surface A21, A22, or thrust bearing surface C21 in the arrangement area | region (dynamic pressure generation part) of dynamic pressure groove 211a1, 211a2 is mentioned above. Although the case was formed in the lower end surface 212b of the 2nd bearing sleeve 212 which has the top surface 211b which has (), or the thrust bearing surface B21, it does not need to be limited to this form. For example, the dynamic pressure generating part which consists of dynamic pressure grooves 211a1, 211a2 may be formed in the outer peripheral surface 206a of the shaft member 206 which opposes each radial bearing surface A21, A22, and also dynamic pressure grooves 212b1, 211b1. The dynamic pressure generating portion may be formed on the upper end surface 207b of the seal member 207 and the lower end surface 208b of the seal member 208 facing the thrust bearing surfaces B21 and C21. Similarly, the dynamic pressure generating part of the form shown below is not limited to the bearing member 209 side, but can be formed in the shaft member 206 and each sealing member 207,208 which oppose this.

또한, 이상에서는 레이디얼 베어링부(R21,R22)나 스러스트 베어링부(T21,T22)로서 헤링본 형상으로 배열된 복수개의 동압 홈에 의해 윤활 유체의 동압 작용을 발생시키는 구성을 예시하고 있지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다.In addition, although the structure which generate | occur | produces the dynamic pressure action of a lubricating fluid by the several dynamic pressure groove | channel arranged in the herringbone shape as radial bearing part R21, R22 or thrust bearing part T21, T22 is illustrated above, this invention is demonstrated. Is not limited to this.

예컨대, 레이디얼 베어링부(R21,R22)로서, 도시는 생략하지만, 축방향의 홈을 원주방향의 복수 개소에 배열한 소위 스텝 형상의 동압 발생부, 또는, 원주방향으로 복수개의 원호면을 배열하고, 대향하는 축부재(206)의 외주면(206a)과의 사이에 쐐기 형상의 지름 방향 간극(베어링 간극)을 형성한 소위 다원호 베어링을 채용 해도 좋다.For example, as the radial bearing portions R21 and R22, although not shown, a so-called step-shaped dynamic pressure generating portion in which axial grooves are arranged in a plurality of circumferential directions, or a plurality of circular arc surfaces are arranged in the circumferential direction A so-called multi-arc bearing may be employed in which a wedge-shaped radial gap (bearing gap) is formed between the outer circumferential surface 206a of the opposing shaft member 206.

또한, 스러스트 베어링부(T21,T22)의 한쪽 또는 양쪽은, 마찬가지로 도시는 생략하지만, 스러스트 베어링면(B21,C21)이 되는 영역에 복수개의 반경방향 홈 형상의 동압 홈을 원주방향 소정 간격으로 형성한 소위 스텝 베어링, 또는 파형 베어링(스텝형이 파형이 된 것) 등으로 구성할 수도 있다. 물론, 각 스러스트 베어링면(B21,C21)에 있어서의 동압 홈(212b1,211b1)의 배열 형상을 스파이럴 형상으로 한 것도 채용가능하다.In addition, although one or both of thrust bearing parts T21 and T22 are abbreviate | omitted similarly, the several radial groove shape dynamic pressure groove is formed in the area | region used as thrust bearing surface B21, C21 at predetermined circumferential direction. It can also comprise a so-called step bearing, a corrugated bearing (a stepped wave form), etc. Of course, it is also possible to employ | adopt the spiral shape of the arrangement shape of the dynamic pressure grooves 212b1 and 211b1 in each thrust bearing surface B21 and C21.

또한, 이상에서는 축부재(206)가 회전하여 그것을 베어링 부재(209)로 지지하는 구성을 설명했지만, 이것과는 반대로, 베어링 부재(209)측이 회전하여 그것을 축부재(206)측에서 지지하는 구성에 대해서도 본 발명을 적용하는 것이 가능하다.In addition, although the structure which the shaft member 206 rotates and supports it with the bearing member 209 was demonstrated above, on the contrary, the bearing member 209 side rotates and supports it at the shaft member 206 side. It is possible to apply this invention also about a structure.

또한, 이상에서는 유체 베어링 장치(201)의 내부에 충만하고, 레이디얼 베어링 간극이나 스러스트 베어링 간극에 유체의 동압 작용을 발생시키기 위한 유체로서 윤활유를 예시했지만, 이 이외에도 각 베어링 간극에 동압 작용을 발생할 수 있는 유체, 예컨대 공기 등의 기체나, 자성 유체 등의 유동성을 갖는 윤활제, 또는 윤활 그리스 등을 사용할 수도 있다.In the above, the lubricating oil is exemplified as a fluid filling the inside of the fluid bearing device 201 and generating a dynamic pressure action of the fluid in the radial bearing gap or the thrust bearing gap. A fluid which can be used, for example, a gas such as air, a lubricant having fluidity such as a magnetic fluid, or a lubricating grease may be used.

이하, 본 발명의 제 4 실시형태에 따른 유체 베어링 장치를 도 21~도 31에 기초하여 설명한다.Hereinafter, the fluid bearing device which concerns on 4th Embodiment of this invention is demonstrated based on FIGS. 21-31.

도 21은 본 발명의 제 4 실시형태에 따른 유체 베어링 장치(301)의 일례(제 1 구성예)를 나타내는 함축 단면도이다. 동 도면에 나타내는 유체 베어링 장치(301)는 예컨대 HDD 등의 스핀들 모터에 조립해서 사용되는 것으로, 베어링 부 재(305)와, 베어링 부재(305)의 내주에 삽입된 축부재(303)를 갖는 회전체(302)를 주요한 구성 부재로서 구비한다. 또한, 상세한 것은 후술하지만, 동 도면에 나타내는 유체 베어링 장치(301)는 레이디얼 베어링 간극을 축방향의 2개소에 이격해서 구비하고, 2개의 레이디얼 베어링 간극(Cr1,Cr2)과 그 사이의 영역에서 각각 간극 폭을 축방향 상방을 향해서 점점 감소시킨 구성이다.FIG. 21 is an impregnated cross-sectional view showing an example (first configuration example) of the fluid bearing device 301 according to the fourth embodiment of the present invention. The fluid bearing device 301 shown in the same drawing is used by being assembled to a spindle motor such as an HDD, for example, and includes a bearing member 305 and a shaft member 303 inserted into the inner circumference of the bearing member 305. The whole 302 is provided as a main structural member. In addition, although it mentions later in detail, the fluid bearing apparatus 301 shown in the same figure is provided with the radial bearing clearance spaced apart in two places of an axial direction, and two radial bearing clearances Cr1 and Cr2 and the area | region between them In this configuration, the gap width is gradually reduced toward the axial direction, respectively.

회전체(302)는 예컨대 스테인레스강 등의 금속 재료로 이루어지며, 축방향 전장에 걸쳐서 지름이 일정하게 형성된 축부재(303)와, 축부재(303)의 상단 외주에 설치된 허브(디스크 허브)(304)와, 또한, 도시하지 않은 디스크, 회전자 자석, 및 디스크를 허브(304)에 고정하기 위한 클램퍼로 구성된다. 이러한 구성의 회전체(302)의 무게 중심(축방향 무게 중심)(G)은 베어링 부재(305)의 축방향 중심보다 상측(허브(304)에 가까운 측)에 위치하고 있다. 축부재(303)의 외주면(303a)은 평활면으로 형성되고, 또한 하단면(303b)은 볼록 구형상으로 형성되어 있다.The rotating body 302 is made of a metal material such as stainless steel, for example, and has a shaft member 303 having a constant diameter over the entire axial length thereof, and a hub (disc hub) provided on the upper periphery of the shaft member 303 ( 304 and also a disk (not shown), a rotor magnet, and a clamper for fixing the disk to the hub 304. The center of gravity (axial center of gravity) G of the rotating body 302 having such a configuration is located on the upper side (side closer to the hub 304) than the axial center of the bearing member 305. The outer circumferential surface 303a of the shaft member 303 is formed into a smooth surface, and the lower end surface 303b is formed into a convex spherical shape.

베어링 부재(305)는 후술하는 전기 주조 가공으로 형성된 석출 금속으로 이루어지는 바닥이 있는 통형상의 전기 주조부(306)와, 그 전기 주조부(306)를 삽입부로서 용융 재료를 이용하여 사출 성형된 피복부(307)로 구성된다.The bearing member 305 is injection-molded by using a molten material having a bottomed tubular electroforming part 306 made of a precipitated metal formed by electroforming, which will be described later, and the electroforming part 306 as an insertion part. It consists of a coating part 307.

베어링 부재(305) 내주의 상단 개구부에는 축방향 상방을 향해서 점차 확경된 테이퍼면(305c)이 형성되고, 이 테이퍼면(305c)과 축부재(303)의 외주면(303a) 사이에 환상의 시일 공간(S3)이 형성되어 있다.A tapered surface 305c gradually enlarged in the axially upward direction is formed in the upper end opening of the inner circumference of the bearing member 305, and an annular seal space is formed between the tapered surface 305c and the outer peripheral surface 303a of the shaft member 303. (S3) is formed.

베어링 부재(305) 중 상기 테이퍼면(305c)보다 하방의 내주면(305a) 영역에는 레이디얼 베어링부(R31,R32)의 레이디얼 베어링면(308,309)이 되는 영역(도면 중 굵은 선 영역)이 상하 2개소에 이격해서 형성되어 있다. 레이디얼 베어링면(308,309)에는, 도 22에 나타내는 바와 같이, 동압 발생부로서 헤링본 형상으로 배열된 복수개의 동압 홈(308a,309a)이 각각 형성되어 있다. 상측의 동압 홈(308a)은 상하의 경사 홈 사이 영역의 축방향 중심(m)에 대해서 축방향 비대칭으로 형성되고, 축방향 중심(m)보다 상측 영역의 축방향 치수(X1)가 하측 영역의 축방향 치수(X2)보다 크게 되어 있다. 한편, 하측의 동압 홈(309a)은 축방향 대칭으로 형성되고, 그 상하 영역의 축방향 치수는 각각 상기 축방향 치수(X2)와 같게 되어 있다. 이 경우, 축부재(303)의 회전시에는 동압 홈에 의한 윤활유의 인입력(펌핑(pumping)력)은 하측의 대칭형의 동압 홈(9a)에 비해서 상측의 동압 홈(308a)에서 상대적으로 커진다. 펌핑력을 필요로 하지 않을 경우에는 상측의 동압 홈(308a)을 하측의 동압 홈(309a)과 마찬가지로 축방향 대칭 형상으로 할 수도 있다. 동압 홈은 헤링본 형상 외에 예컨대 스파이럴 형상이나 그 외에 공지의 형상으로 배열할 수도 있다. 또한, 도면의 간략화를 위해서 도 21에서는 동압 홈을 생략하고 있다.In the area of the inner circumferential surface 305a below the tapered surface 305c of the bearing member 305, a region (a thick line region in the figure) serving as the radial bearing surfaces 308 and 309 of the radial bearing portions R31 and R32 is disposed. It is formed in two places apart. As shown in FIG. 22, the radial bearing surfaces 308 and 309 are each provided with the some dynamic pressure groove 308a and 309a arrange | positioned in a herringbone shape as a dynamic pressure generating part. The upper dynamic pressure groove 308a is formed axially asymmetrically with respect to the axial center m of the region between the upper and lower inclined grooves, and the axial dimension X1 of the upper region is greater than that of the lower region. It is larger than the direction dimension X2. On the other hand, the lower dynamic pressure groove 309a is formed axially symmetrically, and the axial dimension of the upper and lower regions is the same as the axial dimension X2, respectively. In this case, at the time of rotation of the shaft member 303, the input force (pumping force) of the lubricating oil by the dynamic pressure groove becomes larger in the upper dynamic pressure groove 308a than in the lower symmetrical dynamic pressure groove 9a. . When the pumping force is not required, the upper dynamic pressure groove 308a may be axially symmetrical like the lower dynamic pressure groove 309a. In addition to the herringbone shape, the dynamic pressure groove may be arranged in a spiral shape or other known shape. In addition, the dynamic pressure groove | channel is abbreviate | omitted in FIG.

베어링 부재(305)의 내저면(305b)의 일부 또는 전체부 환상 영역은 스러스트 베어링부(T3)의 스러스트 베어링면이 되고, 본 구성예에 있어서 이러한 영역은 평활 평면으로 형성되어 있다. A part or whole part annular area | region of the inner bottom surface 305b of the bearing member 305 becomes the thrust bearing surface of the thrust bearing part T3, and in this structure example, this area | region is formed in the smooth plane.

레이디얼 베어링면(308,309)을 포함하는 베어링 부재(305)의 내주면(305a)은 축방향 상방을 향해서 내경을 점점 감소시킨 테이퍼 형상으로 형성되어 있다. 즉 본 구성예에서는 레이디얼 베어링면(308,309)과 축부재(303)의 외주면(303a) 사이에 형성되는 레이디얼 베어링 간극(Cr1,Cr2) 중 각 상단부가 간극 폭이 작은 협폭 부(D1), 또한 각 하단부가 간극 폭이 큰 광폭부(D2)로 된다. 또한, 도시예에서는 이해의 용이화를 위해서 내주면(305a)의 경사의 정도를 과장해서 나타내고 있지만, 레이디얼 베어링 간극(Cr1 또는 Cr2)의 협폭부(D1)와 광폭부(D2) 사이에 있어서의 반경 간극의 감소량(ε)과, 양 부분 간의 축방향 이간 거리(레이디얼 베어링 간극의 축방향 길이)(L)의 비 즉 경사(ε/L)는 ε/L≤1/500(축선에 대한 경사각으로 말하면 0.11 °이하)의 매우 미소한 것으로 형성되어 있다. 이러한 미소한 경사각의 테이퍼면을 일반적인 기계 가공으로 저비용으로 양산하는 것은 곤란하지만, 전기 주조 가공이면 후술하는 이유로부터 이러한 테이퍼면도 저비용 또한 고정밀도로 양산 가능하다.The inner circumferential surface 305a of the bearing member 305 including the radial bearing surfaces 308 and 309 is formed in a tapered shape in which the inner diameter is gradually reduced toward the axially upward direction. That is, in this configuration example, the narrow portion D1 having a small gap width at each upper end of the radial bearing gaps Cr1 and Cr2 formed between the radial bearing surfaces 308 and 309 and the outer peripheral surface 303a of the shaft member 303, Moreover, each lower end part becomes the wide part D2 with a large clearance width. In the illustrated example, the degree of inclination of the inner circumferential surface 305a is exaggerated for ease of understanding, but the gap between the narrow portion D1 and the wide portion D2 of the radial bearing gap Cr1 or Cr2 is shown. The ratio of the reduction amount ε of the radial gap and the axial separation distance (axial length of the radial bearing gap) L between both parts, i.e., the inclination (ε / L), is ε / L≤1 / 500 (with respect to the axis line). Speaking of the inclination angle, it is formed to be very small. Although it is difficult to mass-produce such a taper surface of such a small inclination angle at low cost by general machining, it is possible to mass-produce such a taper surface at low cost and high precision for the reason mentioned later in electroforming.

이어서, 상기 구성의 베어링 부재(305)의 제조 공정을 도면에 기초하여 설명한다.Next, the manufacturing process of the bearing member 305 of the said structure is demonstrated based on drawing.

베어링 부재(305)는 전기 주조부(306)의 성형 모체가 되는 마스터를 제작하는 공정(Z1), 마스터 표면의 일부를 절연성 재료로 마스킹하는 공정(Z2), 마스킹을 실시한 마스터에 전기 주조 가공을 실시해서 전기 주조부(306)를 석출 형성하는 공정(Z3), 전기 주조부(306)를 설치한 마스터를 삽입해서 베어링 부재(305)를 사출 성형하는 공정(Z4), 및 마스터와 전기 주조부(306)를 포함하는 베어링 부재(305)를 분리하는 공정(Z5)을 순서대로 거쳐서 제조된다.The bearing member 305 is a step (Z1) for producing a master, which is a molding mother of the electroforming unit 306, a step (Z2) for masking a part of the master surface with an insulating material, and an electroforming process for the masked master. The step (Z3) of depositing and forming the electroforming unit 306, the step of inserting the master provided with the electroforming unit 306, and injection molding the bearing member 305 (Z4), and the master and electroforming unit It manufactures through the process (Z5) which isolate | separates the bearing member 305 containing 306 in order.

(Z1) 마스터 제작 공정(Z1) master production process

도 23(A)에 나타내는 마스터 제작 공정에서는 도전성 재료 예컨대 담금질 처리를 실시한 스테인레스강, 니켈 크롬 강, 그 외의 니켈 합금, 또는 크롬 합금 등 으로 형성된 중실축 형상의 마스터(311)가 형성된다. 마스터(311)는 이들 금속 재료 이외에도 도전 처리(예컨대, 표면에 도전성의 피막을 형성하는)가 실시된 세라믹 등의 비금속 재료로 형성할 수도 있다.In the master fabrication process shown in Fig. 23A, a solid shaft-shaped master 311 formed of a conductive material such as quenched stainless steel, nickel chromium steel, other nickel alloys, chromium alloys, or the like is formed. In addition to these metal materials, the master 311 may be formed of a non-metallic material such as ceramic on which a conductive treatment (for example, a conductive film is formed on the surface) has been performed.

마스터(311)의 일단면과 이것에 연속한 외주면의 일부 영역에는 전기 주조부(306)를 성형하는 성형부(N)가 형성된다. 성형부(N)는 전기 주조부(306) 내측의 요철 패턴이 반전된 형상을 하고, 그 외주면 중 축방향의 이격한 2개소에는 동압 홈(308a,309a) 사이의 언덕부를 성형하는 다이부(311a1,311a2)의 열이 원주방향으로 형성되어 있다. 물론 다이부(311a1,311a2)의 형상은 동압 홈 형상에 대응시켜 스파이럴 형상 등으로 형성해도 좋다. 또한, 다이부(311a1,311a2)를 포함하는 성형부(N)의 표면 정밀도는 전기 주조부(306)의 정밀도를 직접 좌우한다. 따라서, 성형부(N)는 전기 주조부(306)에 요구되는 각종 정밀도에 따라 되도록이면 고정밀도로 마무리해 두는 것이 바람직하다.The molding part N which shape | molds the electroforming part 306 is formed in one area | region of the one end surface of the master 311, and the outer peripheral surface continuous to this. The molding part N has a shape in which the uneven pattern inside the electroforming part 306 is inverted, and die parts for forming hills between the dynamic pressure grooves 308a and 309a in two axially spaced outer peripheral surfaces thereof ( Rows of 311a1 and 311a2 are formed in the circumferential direction. Of course, the shape of the die parts 311a1 and 311a2 may be formed into a spiral shape or the like corresponding to the dynamic pressure groove shape. In addition, the surface precision of the molding part N including the die parts 311a1 and 311a2 directly influences the precision of the electroforming part 306. Therefore, it is preferable that the shaping | molding part N finishes with high precision as possible according to the various precision requested | required of the electroforming part 306.

(Z2) 마스킹 공정(Z2) masking process

마스킹 공정에서는, 도 23(B)에 나타내는 바와 같이, 마스터(311)의 외표면 중 성형부(N)를 제외하고 마스킹이 실시되어 마스킹부(312)가 형성된다. 마스킹부(312)를 형성하는 피복재로서는 후술하는 전기 주조 가공을 고려하면 절연성 및 전해질 용액에 대한 내식성을 갖는 재료가 적합하게 사용 가능하다.In the masking step, as shown in FIG. 23B, masking is performed except for the molding portion N of the outer surface of the master 311, so that the masking portion 312 is formed. As the coating material for forming the masking portion 312, a material having insulation and corrosion resistance to an electrolyte solution can be suitably used in consideration of the electroforming process described later.

(Z3) 전기 주조 가공 공정(Z3) electroforming machining process

전기 주조 가공은 Ni나 Cu 등의 금속이온을 함유한 전해질 용액에 마스터(311)를 침지시킨 후, 마스터(311)에 통전하여 마스터(311)의 성형부(N)에 목적 하는 금속을 석출(전해 석출)시킴으로써 행해진다. 전해질 용액에는 카본이나 불소계 입자 등의 슬라이딩재, 또는 사카린 등의 응력 완화재를 필요에 따라 함유시켜도 좋다. 전착 금속의 종류는 베어링면에 요구되는 경도, 피로 강도 등의 물리적 성질이나, 화학적 성질에 따라 적절하게 선택된다.In electroforming, the master 311 is immersed in an electrolyte solution containing metal ions such as Ni and Cu, and then energized through the master 311 to deposit the desired metal in the forming portion N of the master 311 ( Electrolytic precipitation). The electrolyte solution may contain a sliding material such as carbon or fluorine particles or a stress relaxation material such as saccharin as necessary. The type of electrodeposited metal is appropriately selected according to physical properties and chemical properties such as hardness and fatigue strength required for the bearing surface.

전기 주조 가공이 종료되면, 도 23(C)에 나타내는 바와 같이, 마스터(311)의 성형부(N)에 전기 주조부(306)를 피착한 전기 주조 부재(313)가 형성된다. 이 때, 전기 주조부(306)의 내주면에는 다이부(311a1,311a2)의 형상이 전사되고, 도 22에 나타내는 복수개의 동압 홈(308a,309a)이 축방향으로 이격해서 형성된다. 또한, 전기 주조부(306)의 두께는 지나치게 두꺼우면 마스터(311)로부터의 박리성이 저하되고, 반대로 지나치게 얇으면 전기 주조부(306)의 내구성 저하로 이어지므로, 요구되는 베어링 성능이나 베어링 사이즈, 또한 용도 등에 따라 최적의 두께, 예컨대, 10㎛~200㎛ 정도의 두께로 형성된다.When electroforming is complete | finished, as shown to FIG. 23C, the electroforming member 313 which deposited the electroforming part 306 is formed in the shaping | molding part N of the master 311. FIG. At this time, the shape of the die parts 311a1 and 311a2 is transferred to the inner circumferential surface of the electroforming part 306, and a plurality of dynamic pressure grooves 308a and 309a shown in FIG. 22 are formed to be spaced apart in the axial direction. In addition, if the thickness of the electroforming part 306 is too thick, the peelability from the master 311 falls, and if too thin, the electroforming part 306 leads to a decrease in durability of the electroforming part 306, so that required bearing performance and bearing size are required. Moreover, it is formed in the thickness of about 10 micrometers-about 200 micrometers depending on an application etc., for example.

또한, 전기 주조부(306)는 이상에서 서술한 전해 도금(전기 도금)에 준한 방법 외에 무전해 도금(화학 도금)에 준한 방법으로 형성할 수도 있다. 무전해 도금에 준한 방법을 채용할 경우, 마스터(311)의 도전성이나 마스킹부(312)의 절연성은 불필요하게 되는 대신에 마스킹부(312)는 내식성을 갖는 것으로 형성하는 것이 바람직하다.Moreover, the electroforming part 306 can also be formed by the method according to the electroless plating (chemical plating) other than the method according to the electroplating (electroplating) mentioned above. When employing a method according to electroless plating, the conductivity of the master 311 and the insulation of the masking portion 312 are not necessary, but the masking portion 312 is preferably formed to have corrosion resistance.

(Z4) 삽입 성형 공정(Z4) insert molding process

도시는 생략하지만, 삽입 성형 공정에서는 전기 주조 부재(313)를 삽입 부품으로 하여 소정의 금형에 배치한 후, 용융 재료 예컨대 용융 수지를 이용하여 삽입 성형이 행해진다. 수지의 사출 후, 수지를 고화시켜 다이 개방을 행하면, 도 24에 나타내는 바와 같이, 마스터(311) 및 전기 주조부(306)로 이루어지는 전기 주조 부재(313)와, 피복부(307)가 일체로 된 성형품이 얻어진다.Although not shown in the figure, in the insert molding step, the electroforming member 313 is used as an insert component and then placed in a predetermined mold, and then insert molding is performed using a molten material such as molten resin. After injection of the resin, the resin is solidified and the die is opened. As shown in FIG. 24, the electroforming member 313 including the master 311 and the electroforming unit 306 and the coating unit 307 are integrally formed. Molded articles are obtained.

피복부(307)를 수지로 형성할 경우, 그 베이스 수지로서는 결정성 수지ㆍ비결정성 수지를 막론하고 사용 가능하다. 결정성 수지로서는 예컨대 액정 폴리머(LCP), 폴리페닐렌술피드(PPS), 폴리에테르에테르케톤(PEEK), 폴리아세탈(POM), 폴리아미드(PA) 등이, 또한, 비결정성 수지로서는 예컨대 폴리페닐설폰(PPSU), 폴리에테르설폰(PES), 폴리에테르이미드(PEI), 폴리아미드이미드(PAI) 등이 사용 가능하다. 예시한 상기 베이스 수지에는 필요에 따라 강화재(섬유상, 분말상 등의 형태는 상관 없음)나 윤활제, 도전재 등의 각종 충전재를 1종 또는 2종 이상 첨가할 수도 있다.When the coating part 307 is formed from resin, it can be used as a base resin irrespective of crystalline resin and amorphous resin. Examples of the crystalline resins include liquid crystal polymers (LCP), polyphenylene sulfides (PPS), polyether ether ketones (PEEK), polyacetals (POM), polyamides (PA), and the like. Sulfone (PPSU), polyethersulfone (PES), polyetherimide (PEI), polyamideimide (PAI) and the like can be used. The said base resin illustrated can also add 1 type (s) or 2 or more types of fillers, such as a reinforcing material (fiber form, powder form, etc.), a lubricating agent, and an electrically conductive material as needed.

또한, 피복부(307)는 수지 이외의 용융 재료 예컨대 마그네슘 합금이나 알루미늄 합금 등의 저융점 금속도 사용 가능하다. 이 외에 금속분과 바인더의 혼합물로 사출 성형한 후, 탈지ㆍ소결하는 소위 MIM 성형을 채용할 수도 있고, 또한, 세라믹과 바인더의 혼합물을 이용한 소위 CIM 성형도 사용 가능하다.In addition, the coating part 307 can also use molten materials other than resin, for example, low melting metals, such as a magnesium alloy and an aluminum alloy. In addition, so-called MIM molding may be employed by injection molding with a mixture of a metal powder and a binder, followed by degreasing and sintering, and so-called CIM molding using a mixture of a ceramic and a binder can also be used.

여기서, 전기 주조 가공의 특성상, 마스터(311)로의 석출 개시면 즉 전기 주조부(306)의 내면은 마스터(311)(성형부(N))의 표면 정밀도가 고정밀도로 전사된 치밀한 면이 되는 한편, 석출 종료측의 면 즉 전기 주조부(306)의 외표면은 조면으로 형성된다. 그 때문에, 피복부(307)의 성형시에는 용융 수지가 전기 주조부(306) 표면의 미소한 요철에 들어가고, 소위 앵커 효과에 의해 전기 주조부(306)와 피복 부(307)의 결합력은 강고한 것으로 된다.Here, in view of the characteristics of electroforming, the start surface of precipitation to the master 311, that is, the inner surface of the electroforming unit 306 becomes a dense surface on which the surface precision of the master 311 (molding unit N) is transferred with high accuracy. The surface on the precipitation end side, that is, the outer surface of the electroforming unit 306 is formed into a rough surface. Therefore, at the time of shaping | molding of the coating | coated part 307, molten resin enters the micro unevenness | corrugation of the surface of the electroforming part 306, and the coupling force of the electroforming part 306 and the coating part 307 is strong by the so-called anchor effect. It becomes one.

(Z5) 분리 공정(Z5) separation process

상기와 같이 해서 형성된 전기 주조 부재(313)는 분리 공정으로 이송되고, 전기 주조부(306) 및 피복부(307)가 일체화된 베어링 부재(305)와, 마스터(311)로 분리된다. 이 분리 공정에서는 예컨대 마스터(311) 또는 베어링 부재(305)에 충격을 가함으로써 전기 주조부(306)의 내주면을 약간 확경시켜 마스터(311)의 표면으로부터 전기 주조부(306)를 박리시킨다. 이것에 의해, 마스터(311)가 베어링 부재(305)로부터 분리 가능하게 되고, 마스터(311)를 잡아빼면 완성품으로서의 베어링 부재(305)가 얻어진다. 또한, 전기 주조부(306)의 박리수단으로서는 상기 수단 이외에도 예컨대 전기 주조부(306)와 마스터(311)를 가열(또는 냉각)하고, 양자간에 열팽창량차를 발생시키는 것에 의한 방법, 또는 양 수단(충격과 가열)을 병용하는 방법 등이 사용 가능하다.The electroforming member 313 formed as described above is transferred to a separation step, and is separated into a bearing member 305 in which the electroforming unit 306 and the covering unit 307 are integrated with the master 311. In this separation process, for example, the inner circumferential surface of the electroforming unit 306 is slightly enlarged by applying an impact to the master 311 or the bearing member 305 to separate the electroforming unit 306 from the surface of the master 311. Thereby, the master 311 becomes separable from the bearing member 305, and when the master 311 is pulled out, the bearing member 305 as a finished product is obtained. As the peeling means of the electroforming unit 306, in addition to the above means, for example, a method or both means by heating (or cooling) the electroforming unit 306 and the master 311 and generating a thermal expansion difference therebetween ( Impact and heating) may be used in combination.

또한, 베어링 부재(305)는 바닥이 있는 통형상으로 형성됨과 아울러, 내주면(305a)이 개구측을 향해서 점차 축경된 테이퍼 형상으로 형성되기 때문에, 베어링 부재(305)로부터의 마스터(311)의 분리는 소위 무리하게 빼내어지게 된다. 그러나, 특히 본 구성예와 같이 베어링 부재(305)의 내주면(305a)에 동압 홈(308a,309a)을 형성하고 있을 경우에 마스터(311)를 무리하게 빼내면, 동압 홈(308a,309a)의 손상, 나아가서는 베어링 성능 저하를 초래할 우려가 있다. 이것에 대하여 본 구성예에서는, 상술한 바와 같이, 베어링 부재(305)의 레이디얼 베어링면(308,309)을 포함하는 내주면(305a)의 경사(ε/L)를 ε/L≤1/500 정도의 미소 한 값으로 설정하고 있으므로, 무리하게 빼내는 정도는 미소한 것으로 된다. 또한, 베어링 부재(305)를 구성하는 전기 주조부(306)는 매우 얇은 두께로 형성됨과 아울러 전기 주조부(306)와 피복부(307)는 강고하게 고착되어 있기 때문에, 마스터(311)를 잡아뺄 때에 전기 주조부(306)는 탄성이 우수한 수지제의 피복부(307)의 변형에 추종해서 변형된다. 이상의 것으로부터, 마스터(311)의 분리에 의한 동압 홈(308a,309a)의 손상을 효과적으로 방지할 수 있다.In addition, since the bearing member 305 is formed in a cylindrical shape with a bottom, and the inner circumferential surface 305a is formed in a tapered shape which is gradually reduced toward the opening side, separation of the master 311 from the bearing member 305 is performed. Is called out by force. However, in particular, in the case where the dynamic grooves 308a and 309a are formed in the inner circumferential surface 305a of the bearing member 305 as in the present configuration example, the master 311 is forcibly pulled out of the dynamic pressure grooves 308a and 309a. There is a risk of damaging and further deteriorating bearing performance. On the other hand, in this structural example, as mentioned above, the inclination (epsilon / L) of the inner peripheral surface 305a containing the radial bearing surfaces 308 and 309 of the bearing member 305 is set to about [epsilon] / L <= 1/500. Since the value is set to a small value, the degree of pulling out by force is very small. In addition, since the electroforming part 306 constituting the bearing member 305 is formed with a very thin thickness, and the electroforming part 306 and the cover part 307 are firmly fixed, the master 311 is held. When removing, the electroforming part 306 deforms in accordance with the deformation of the coating part 307 made of resin excellent in elasticity. From the above, damage to the dynamic pressure grooves 308a and 309a due to separation of the master 311 can be effectively prevented.

상술한 바와 같이 형성된 베어링 부재(305)의 내주에 잡아뺀 마스터(311)와는 별도로 준비한 축부재(303)(회전체(302))를 삽입하고, 베어링 부재(305)의 내부 공간에 유체로서의 윤활유를 충만시킴으로써 도 21에 나타내는 유체 베어링 장치(301)가 완성된다. 한편, 분리된 마스터(311)는 반복 전기 주조 가공에 이용할 수 있으므로, 고정밀도의 베어링 부재(305)를 안정되게 또한 저비용으로 양산할 수 있다. 윤활유를 충만한 상태에서 시일 공간(S3)의 윤활유에는 모세관력에 의한 인입력이 작용한다. 이것에 의해 윤활유는 항상 시일 간극(S3)의 범위 내에 유지된다.A lubricating oil as a fluid is inserted into the inner space of the bearing member 305 by inserting the shaft member 303 (rotator 302) prepared separately from the master 311 pulled out on the inner circumference of the bearing member 305 formed as described above. The fluid bearing device 301 shown in FIG. 21 is completed by filling with. On the other hand, since the separated master 311 can be used for repeated electroforming, the high precision bearing member 305 can be mass produced stably and at low cost. When the lubricant is filled, the phosphorus input by the capillary force acts on the lubricant in the seal space S3. As a result, the lubricating oil is always kept within the range of the seal gap S3.

상기 구성의 유체 베어링 장치(301)에 있어서 축부재(303)(회전체(302))가 회전하면, 베어링 부재(305)의 내주면(305a)의 상하 2개소에 이격 형성된 레이디얼 베어링면(308,309)은 각각 축부재(303)의 외주면(303a)과 레이디얼 베어링 간극(Cr1,Cr2)을 통해서 대향한다. 그리고 축부재(303)의 회전에 따라 레이디얼 베어링 간극(Cr1,Cr2)에 윤활유의 동압이 발생하고, 그 압력에 의해 레이디얼 베어링 간극(Cr1,Cr2)에 형성되는 윤활유막의 오일막 강성이 높아져 축부재(303)가 레이디 얼 방향으로 회전 가능하게 비접촉 지지된다. 이것에 의해, 축부재(303)를 갖는 회전체(302)를 레이디얼 방향으로 회전 가능하게 비접촉 지지하는 제 1 레이디얼 베어링부(R31)와 제 2 레이디얼 베어링부(R32)가 형성된다. 또한, 이것과 동시에, 축부재(303)의 하단면(303b)과 베어링 부재(305)의 내저면(305b) 사이에는 축부재(303)를 갖는 회전체(302)를 스러스트 방향으로 회전 가능하게 지지하는 스러스트 베어링부(T3)가 형성된다.When the shaft member 303 (rotator 302) rotates in the fluid bearing device 301 having the above-described configuration, radial bearing surfaces 308 and 309 spaced apart from two upper and lower portions of the inner circumferential surface 305a of the bearing member 305. Are respectively opposed to the outer circumferential surface 303a of the shaft member 303 through the radial bearing gaps Cr1 and Cr2. As the shaft member 303 rotates, the dynamic pressure of the lubricating oil is generated in the radial bearing gaps Cr1 and Cr2, and the oil film stiffness of the lubricating oil film formed in the radial bearing gaps Cr1 and Cr2 is increased. The shaft member 303 is rotatably supported in a radial direction without contact. As a result, the first radial bearing portion R31 and the second radial bearing portion R32 are formed to rotatably support the rotating body 302 having the shaft member 303 in the radial direction. At the same time, between the lower end surface 303b of the shaft member 303 and the inner bottom surface 305b of the bearing member 305, the rotor 302 having the shaft member 303 is rotatable in the thrust direction. The supporting thrust bearing part T3 is formed.

일반적으로, 레이디얼 베어링 간극에 형성되는 오일막의 강성(베어링 강성)은 그 간극 폭이 작아짐에 따라 높아진다. 그 때문에, 레이디얼 베어링 간극의 간극 폭을 축방향 상방을 향해서 점점 감소시킨 상기 구성에서는 레이디얼 베어링 간극 중 간극 폭이 작은 협폭부(D1)에 있어서의 오일막 강성이 간극 폭이 큰 광폭부(D2)에 있어서의 오일막 강성보다 높게 된다. 본 구성예에서는 회전체(302)의 무게 중심(G)이 베어링 부재(305)의 축방향 중심보다 상측에 위치하고 있으므로, 회전체(302)의 무게 중심(G)에 가까운 영역에서 베어링 강성을 높일 수 있는 한편, 무게 중심(G)으로부터 떨어진 영역에서는 베어링 강성을 낮게 할 수 있다. 이것에 의해, 축부재(303)를 갖는 회전체(302)가 정밀도 좋게 회전하기 위해 필요로 되는 베어링 강성의 확보와 저토크화를 동시에 달성할 수 있다. 또한, 본 구성예에서는 상기 레이디얼 베어링 간극을 축방향으로 이격한 2개소에 형성하고 있으므로, 레이디얼 베어링부(R31,R32)의 베어링 중심은 베어링 부재(305)의 축방향 중심보다 상측에 위치하게 된다. 따라서, 레이디얼 베어링부의 베어링 중심과 회전체(302)의 무게 중심(G)의 이간 거리를 단축시킬 수 있고, 모멘트 하중에 대한 부하 능력(모 멘트 강성)이 우수한 구조로 된다.In general, the rigidity (bearing rigidity) of the oil film formed in the radial bearing gap increases as the gap width decreases. Therefore, in the above structure in which the gap width of the radial bearing gap is gradually reduced toward the axial direction, the oil film stiffness in the narrow width portion D1 having the smaller gap width among the radial bearing gaps is a wide part having a large gap width ( It becomes higher than the oil film rigidity in D2). In this configuration example, since the center of gravity G of the rotating body 302 is located above the axial center of the bearing member 305, the bearing rigidity is increased in the region close to the center of gravity G of the rotating body 302. On the other hand, it is possible to lower the bearing stiffness in the region away from the center of gravity (G). As a result, it is possible to attain the reduction of the bearing rigidity and the low torque required for the rotating body 302 having the shaft member 303 to rotate with high accuracy. In addition, in this structural example, since the said radial bearing clearance gap is formed in two places axially spaced, the bearing center of radial bearing parts R31 and R32 is located above the axial center of the bearing member 305. Done. Therefore, the distance between the bearing center of a radial bearing part and the center of gravity G of the rotating body 302 can be shortened, and it becomes a structure excellent in the load capacity (moment rigidity) with respect to a moment load.

또한, 상술한 레이디얼 베어링 간극(Cr1 또는 Cr2)의 협폭부(D1)와 광폭부(D2) 사이에 있어서의 반경 간극의 감소량(ε)과, 양 부분간의 축방향 이간 거리(레이디얼 베어링 간극의 축방향 길이)(L)의 비(경사)(ε/L)는 1/1000≤ε/L≤1/500으로 하는 것이 바람직하다. 경사(ε/L)의 값이 1/1000보다 작으면, 베어링 강성의 향상 효과, 및 토크 저감 효과를 충분하게 얻는 것이 어려워진다. 한편, 1/500보다 크면, 광폭부(D2)의 값이 과대하게 되어 베어링 강성이 부족해져 회전 정밀도가 악화될 우려가 있다. 또한, 상술한 베어링 부재(305)의 성형시에 있어서는 무리하게 빼내어지는 정도가 커져 레이디얼 베어링면(308,309)의 손상을 초래할 우려가 있기 때문이다. Further, the reduction amount ε of the radial gap between the narrow portion D1 and the wide portion D2 of the radial bearing gap Cr1 or Cr2 described above, and the axial separation distance between the two portions (radial bearing gap) It is preferable that ratio (tilt) ((epsilon / L)) of the axial length of (L) of (1) is 1/1000 <= (epsilon) / L <= 1/500. When the value of the inclination? / L is smaller than 1/1000, it is difficult to sufficiently obtain the effect of improving the bearing rigidity and the effect of reducing the torque. On the other hand, when larger than 1/500, the value of the wide part D2 will become excessive, bearing rigidity may run out, and rotation precision may deteriorate. In addition, when the above-mentioned bearing member 305 is molded, the degree of excessive removal is increased, which may cause damage to the radial bearing surfaces 308 and 309.

또한, 레이디얼 베어링 간극(Cr1)의 최소의 직경 간극(협폭부(D1)에 있어서의 내경 치수)(δ)은 축부재(303)의 축 지름(d)에 대해서 그 비(δ/d)가 1/1000≤δ/d≤1/250이 되도록 각 부재를 형성하는 것이 바람직하고, 그 이유를 다음에 서술한다. 우선, 비(δ/d)의 하한값 1/1000은 마스터(311)나 축부재(303)의 외주면, 및 전기 주조부(306) 내주면의 진원도ㆍ원통도 등으로부터 도출할 수 있다. 즉 직경 간극(δ)이 축부재(303)의 외주면(303a)이나 베어링 부재(305)의 내주면(305a)의 진원도ㆍ원통도보다 작아지면, 축부재(303)와 베어링 부재(305) 사이에서 접촉이 생겨 소정의 성능을 확보하는 것이 어려워진다. 이들 각종 정밀도를 한층 높이는 것도 가능하지만, 고정밀도화함에 따라 비용 상승을 피할 수 없는 것으로 된다. 따라서, 기능면 및 비용면의 밸런스를 고려하면, 비(δ/d)는 1/1000 이상으로 하는 것이 바람직하다. 한편, 비(δ/d)의 상한값 1/250은 회전 정밀도나 모멘트 강성의 관점으로부터 도출할 수 있다. 즉, 레이디얼 베어링 간극의 최소의 직경 간극(δ)이 커지면, 소망하는 베어링 강성, 모멘트 강성을 확보할 수 없게 되고, 회전 정밀도의 악화나 축부재(303)와 베어링 부재(305)의 접촉 등의 문제가 생긴다. 따라서, 비(δ/d)는 1/250 이하로 하는 것이 바람직하다.Moreover, the minimum diameter gap (inner diameter dimension in narrow part D1) (delta) of radial bearing clearance Cr1 is the ratio (delta / d) with respect to the shaft diameter d of the shaft member 303. It is preferable to form each member so that is 1/1000 <= delta / d <= 1/250, and the reason is described next. First, the lower limit 1/1000 of the ratio δ / d can be derived from the roundness, cylinder degree, etc. of the outer circumferential surface of the master 311 or the shaft member 303 and the inner circumferential surface of the electroforming unit 306. That is, when the diameter gap δ becomes smaller than the roundness and the cylindricality of the outer circumferential surface 303a of the shaft member 303 or the inner circumferential surface 305a of the bearing member 305, between the shaft member 303 and the bearing member 305 Contact occurs and it becomes difficult to secure predetermined performance. Although these various precisions can be made higher, cost increase is inevitable as it becomes higher precision. Therefore, in consideration of the balance between the functional and cost aspects, the ratio δ / d is preferably set to 1/1000 or more. In addition, the upper limit 1/250 of ratio (delta / d) can be derived from a rotation precision or a moment rigidity viewpoint. In other words, when the minimum diameter gap δ of the radial bearing gap becomes large, desired bearing rigidity and moment rigidity cannot be secured, resulting in deterioration of rotational accuracy, contact between the shaft member 303 and the bearing member 305, and the like. Problem occurs. Therefore, it is preferable to make ratio (delta / d) into 1/250 or less.

또한 본 구성예에서는 베어링 부재(305)의 내주면(305a)의 레이디얼 베어링면(308,309)이 되는 영역, 및 축부재(303)의 하단면(303b)과 슬라이딩 접촉하는 내저면(305b)(스러스트 베어링면)이 석출 금속으로 이루어지는 전기 주조부(306)에 형성된다. 전기 주조 가공의 특성상, 전기 주조부(306) 중 마스터(311)로의 석출 개시면이 되는 내면 정밀도는 마스터(311)의 표면 형상이 고정밀도로 전사된 치밀면으로 형성된다. 따라서, 마스터(311)의 외표면 중 특히 전기 주조부(306)를 형성하는 성형부(N)를 고정밀도로 형성해 두면, 별단의 마무리 가공 등을 행하는 일 없이 동압 홈(308a,309a)을 포함한 베어링 부재(305)의 내주면(305a), 및 내저면(305b)의 정밀도가 용이하게 높아져 레이디얼 베어링 간극(Cr1,Cr2)의 폭 정밀도를 고정밀도로 관리하는 것이 가능하게 된다. 또한 레이디얼 베어링면(308,309) 및 스러스트 베어링면이 금속면이 되므로, 레이디얼 베어링부(R31,R32)에서는 온도 변화나 마모 등에 의한 특성 변화를 억제할 수 있고, 또한 스러스트 베어링부(T3)에서는 내마모성을 높일 수 있다. 이상의 것으로부터, 유체 베어링 장치(301)에 진동이나 충격이 부하된 경우에 있어서의 회전체(302)의 흔들림량의 증대나, 공진에 따른 회전 성능의 저하를 억제하여 높은 회전 성능을 유지하는 것이 가능하게 된다.Moreover, in this structural example, the area | region used as the radial bearing surfaces 308 and 309 of the inner peripheral surface 305a of the bearing member 305, and the inner bottom surface 305b (thrust) which are in sliding contact with the lower surface 303b of the shaft member 303 Bearing surface) is formed in the electroforming portion 306 made of a precipitated metal. In view of the characteristics of the electroforming, the inner surface precision that is the precipitation start surface of the master 311 in the electroforming unit 306 is formed as a dense surface on which the surface shape of the master 311 is transferred with high accuracy. Therefore, if the molded part N which forms the electroforming part 306 is formed with high precision among the outer surface of the master 311, the bearing containing the dynamic pressure grooves 308a and 309a, without performing a separate finishing etc. The precision of the inner peripheral surface 305a and the inner bottom surface 305b of the member 305 becomes high easily, and it becomes possible to manage the width precision of radial bearing clearance Cr1 and Cr2 with high precision. In addition, since the radial bearing surfaces 308 and 309 and the thrust bearing surfaces become metal surfaces, the radial bearing portions R31 and R32 can suppress characteristic changes due to temperature changes and abrasion, and in the thrust bearing portions T3, It can increase wear resistance. In view of the above, it is possible to suppress the increase in the amount of shaking of the rotating body 302 when the fluid bearing device 301 is loaded with vibrations or shocks, and to reduce the deterioration of the rotational performance due to resonance and to maintain high rotational performance. It becomes possible.

이상, 본 발명의 제 4 실시형태에 따른 유체 베어링 장치의 일구성예에 대해서 설명을 행했지만, 상술한 본 발명의 구성은 상기 형태의 유체 베어링 장치(301)에 한정되지 않고, 다른 형태의 유체 베어링 장치에도 바람직하게 이용할 수 있다. 이하 그 구성예를 도면에 기초하여 설명하지만, 설명의 간략화를 위해서 상기 형태에 준하는 부재, 및 부위에 대해서는 동일한 참조 번호를 붙여 중복 설명을 생략한다.As mentioned above, although one structural example of the fluid bearing apparatus which concerns on 4th Embodiment of this invention was demonstrated, the structure of this invention mentioned above is not limited to the fluid bearing apparatus 301 of the said form, The fluid of another form is mentioned. It can also use suitably for a bearing apparatus. Hereinafter, although the structural example is demonstrated based on drawing, the same reference number is attached | subjected about the member and site | part which correspond to the said form for simplicity of description, and the duplicate description is abbreviate | omitted.

도 25는 본 발명의 제 4 실시형태에 따른 유체 베어링 장치의 제 2 구성예를 나타내는 것이다. 동 도면에 나타내는 유체 베어링 장치(321)가 도 21에 나타내는 유체 베어링 장치(301)와 다른 점은 주로 회전체(302)를 구성하는 허브(304)가 베어링 부재(305)의 하방에 설치되고, 회전체(302)의 무게 중심(G)이 베어링 부재(305)의 하방에 위치하는 점, 및 이것에 대응하여 베어링 부재(305)의 내경 치수가 축방향 하방을 향해서 점점 감소하도록 형성되어 있는 점이다. 또한, 도시는 생략하고 있지만, 베어링 부재(305)의 양단 개구부에는 도 21에 나타내는 형태와 마찬가지로 시일 공간을 형성할 수도 있다.25 shows a second configuration example of the fluid bearing device according to the fourth embodiment of the present invention. The difference between the fluid bearing device 321 shown in FIG. 21 and the fluid bearing device 301 shown in FIG. 21 is that the hub 304 constituting the rotating body 302 is mainly provided below the bearing member 305, The center of gravity G of the rotating body 302 is located below the bearing member 305, and correspondingly, the inner diameter dimension of the bearing member 305 is formed to gradually decrease toward the axially downward direction. to be. In addition, although illustration is abbreviate | omitted, the sealing space can also be formed in the opening part of the both ends of the bearing member 305 similarly to the form shown in FIG.

도 26은 본 발명의 제 4 실시형태에 따른 유체 베어링 장치의 제 3 구성예를 나타내는 것이다. 동 도면에 나타내는 유체 베어링 장치(331)에서는 베어링 부재(305)의 내주면이 도 21 및 도 25에 나타내는 내경 치수를 축방향의 어느 한쪽으로 점점 감소시킨 테이퍼 형상이 아니라, 축방향으로 상대적으로 작은 지름의 제 1 내주면(305d)과, 이 제 1 내주면(305d)보다 큰 지름의 제 2 내주면(305e)으로 구획되어 있다. 제 1 내주면(305d)의 일부 또는 전체부 축방향 영역에는 레이디얼 베어 링면(308)이 형성되고, 제 2 내주면(305e)의 일부 또는 전체부 축방향 영역에는 레이디얼 베어링면(309)이 형성되어 있다. 즉 이 구성예에서는 상측의 레이디얼 베어링면(308)과 축부재(303)의 외주면(303a) 사이에 형성되는 레이디얼 베어링 간극(Cr1)의 전체가 협폭부(D1)로 되고, 하측의 레이디얼 베어링면(309)과 축부재(303)의 외주면(303a) 사이에 형성되는 레이디얼 베어링 간극(Cr2)의 전체가 광폭부(D2)로 된다.Fig. 26 shows a third configuration example of the fluid bearing device according to the fourth embodiment of the present invention. In the fluid bearing device 331 shown in the figure, the inner peripheral surface of the bearing member 305 is not a tapered shape in which the inner diameter dimension shown in FIGS. 21 and 25 is gradually reduced to either of the axial directions, but a relatively small diameter in the axial direction. Is divided into a first inner circumferential surface 305d and a second inner circumferential surface 305e having a larger diameter than the first inner circumferential surface 305d. A radial bearing surface 308 is formed in a portion or the whole axial region of the first inner circumferential surface 305d, and a radial bearing surface 309 is formed in a portion or the whole axial region of the second inner peripheral surface 305e. It is. That is, in this structural example, the whole radial bearing clearance Cr1 formed between the upper radial bearing surface 308 and the outer peripheral surface 303a of the shaft member 303 becomes narrow part D1, and the lower lady The whole radial bearing clearance Cr2 formed between the ear bearing surface 309 and the outer peripheral surface 303a of the shaft member 303 becomes the wide part D2.

도 27은 본 발명의 제 4 실시형태에 따른 유체 베어링 장치의 제 4 구성예를 나타내는 것이다. 동 도면에 나타내는 유체 베어링 장치(341)는 주로 베어링 부재(345)가 레이디얼 베어링면(308,309)을 갖는 본체부(345a), 및 본체부(345a)의 상방으로 돌출시켜 형성되고, 축부재(303)의 외주면(303a)과의 사이에 시일 공간(S3)과 윤활유 저류부(346)를 형성하는 대략 반구 형상의 돌출부(345b)로 구획되어 있는 점에서 도 21에 나타내는 유체 베어링 장치(301)와 구성이 다르다. 본체부(345a)를 구성하는 측부는 그 전체가 축방향 상방을 향해서 내경 치수가 점점 감소되어 있다.27 shows a fourth configuration example of the fluid bearing device according to the fourth embodiment of the present invention. The fluid bearing device 341 shown in the drawing mainly includes a main body portion 345a having radial bearing surfaces 308 and 309 protruding upward from the main body portion 345a, and a shaft member ( The fluid bearing device 301 shown in FIG. 21 in that it is partitioned by the substantially hemispherical protrusion part 345b which forms the seal space S3 and the lubricating oil storage part 346 between the outer peripheral surface 303a of 303. And configuration is different. As for the side part which comprises the main-body part 345a, the inside diameter dimension is gradually reduced as the whole is axially upward.

도시는 생략하지만, 이 베어링 부재(345)는 예컨대 이하와 같이 해서 형성할 수 있다. 우선, 상술한 베어링 부재(305)의 성형 순서에 준하여 본체부(345a)의 측부 및 돌출부(345b)를 축선에 대하여 평행한 상태에서 다이 성형하고, 마스터와 분리한다. 이어서, 완성품으로서의 본체부(345a) 및 돌출부(345b)의 형상에 모방한 금형을 가열한 상태에서 상기 베어링 부재(345)의 외경측으로부터 압박력을 부가하고, 본체부(345a)의 측부와 돌출부(345b)를 내경 방향으로 변형시켜 일종의 소성 변형 상태로 한다. 그리고, 그 금형을 개방하면 동 도면에 나타내는 베어링 부재(345)가 얻어진다.Although illustration is abbreviate | omitted, this bearing member 345 can be formed as follows, for example. First, according to the forming procedure of the bearing member 305 mentioned above, the side part and the protrusion part 345b of the main-body part 345a are die-formed in parallel with an axis line, and it isolate | separates from a master. Subsequently, a pressing force is applied from the outer diameter side of the bearing member 345 in a state in which the mold imitated in the shapes of the main body 345a and the protruding portion 345b as a finished product is applied, and the side portion and the protruding portion ( 345b) is deformed in the inner diameter direction to form a kind of plastic deformation state. And when the mold is opened, the bearing member 345 shown in the same figure is obtained.

이상에서는 축부재(303)를 축방향 전장에 걸쳐서 지름이 일정하게 형성함과 아울러, 베어링 부재(305)의 내경 치수를 축방향으로 다른 지름으로 함으로써 레이디얼 베어링 간극의 간극 폭을 축방향으로 다르게 하는 구성에 대해서 설명을 행했지만, 이상에서 나타내는 어느 구성예에 있어서도 베어링 부재(305)의 내주면(305a)을 축방향 전장에 걸쳐서 지름이 일정하게 형성함과 아울러, 축부재(303)를 축방향으로 다른 지름으로 함으로써 레이디얼 베어링 간극의 간극 폭을 축방향으로 다르게 할 수도 있다.In the above, the diameter of the radial bearing clearance is different in the axial direction by forming the shaft member 303 with a constant diameter over the entire axial length and by making the inner diameter dimension of the bearing member 305 different in the axial direction. Although the structure mentioned above was demonstrated, in all the structural examples shown above, while the inner peripheral surface 305a of the bearing member 305 formed constant diameter over the axial length, the axial member 303 was axially formed. By using a different diameter, the gap width of the radial bearing gap can be changed in the axial direction.

이상에서는 레이디얼 베어링부(R31,R32)로서 헤링본 형상이나 스파이럴 형상의 동압 홈에 의해 유체 동압을 발생시키는 구성을 예시하고 있지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 레이디얼 베어링부(R31,R32)의 한쪽 또는 양쪽을 소위 다원호 베어링이나 스텝 베어링으로 구성할 수도 있다. 이들 베어링은 동압 발생부로서 복수개의 원호면, 축방향 홈을 예컨대 베어링 부재(305)의 레이디얼 베어링면(308,309)에 형성함으로써 얻을 수 있다. 이들 동압 발생부의 형성 방법은 동압 홈(308a,309a)을 형성하는 경우의 각 공정에 준하므로 상세한 설명은 생략한다.As mentioned above, although the structure which generate | occur | produces fluid dynamic pressure by the herringbone-shaped or spiral-shaped dynamic pressure groove as radial bearing part R31, R32 is illustrated, this invention is not limited to this. For example, one or both of the radial bearing portions R31 and R32 may be constituted by so-called multi-circular arc bearings or step bearings. These bearings can be obtained by forming a plurality of circular arc surfaces and axial grooves in the radial bearing surfaces 308 and 309 of the bearing member 305 as dynamic pressure generating units. Since the formation method of these dynamic pressure generation parts follows each process at the time of forming dynamic pressure groove 308a, 309a, detailed description is abbreviate | omitted.

도 28은 레이디얼 베어링부(R31,R32)의 한쪽 또는 양쪽을 다원호 베어링으로 구성했을 경우의 일례를 나타내고 있다. 이 예에서는 베어링 부재(305)의 내주면의 레이디얼 베어링면(308,309)이 되는 영역이 3개의 원호면(351)으로 구성되어 있다 (소위 3원호 베어링). 3개의 원호면(351)의 곡률 중심은 각각 베어링 부재(305)(축부재(303))의 축중심(O)으로부터 등거리 오프셋되어 있다. 3개의 원호면(351)으로 구획되는 각 영역에 있어서 레이디얼 베어링 간극은 원주방향의 양방향에 대해서 각각 쐐기 형상으로 점차 축소된 쐐기 형상 간극(Cr3)이다. 그 때문에, 베어링 부재(305)와 축부재(303)가 상대 회전하면, 그 상대 회전의 방향에 따라 레이디얼 베어링 간극 내의 윤활유가 쐐기 형상 간극(Cr3)의 최소 간극측으로 압입되어 그 압력이 상승된다. 이러한 윤활유의 동압 작용에 의해 베어링 부재(305)와 축부재(303)가 비접촉 지지된다. 또한, 3개의 원호면(351) 상호간의 경계부에 분리 홈이라고 칭해지는 한층 깊은 축방향 홈을 형성해도 좋다.FIG. 28 shows an example in the case where one or both of the radial bearing portions R31 and R32 are constituted by a circular arc bearing. In this example, the area | region used as the radial bearing surface 308, 309 of the inner peripheral surface of the bearing member 305 is comprised by the three circular arc surface 351 (so-called three circular arc bearing). The centers of curvature of the three circular arc surfaces 351 are respectively equidistantly offset from the axis center O of the bearing member 305 (shaft member 303). In each area partitioned by three circular arc surfaces 351, the radial bearing gap is a wedge-shaped gap Cr3 gradually reduced to a wedge shape in both circumferential directions. Therefore, when the bearing member 305 and the shaft member 303 rotate relatively, the lubricating oil in a radial bearing clearance is press-fitted to the minimum clearance side of the wedge-shaped clearance Cr3 according to the direction of the relative rotation, and the pressure rises. . By the dynamic pressure action of the lubricating oil, the bearing member 305 and the shaft member 303 are non-contactedly supported. In addition, a deeper axial groove called a separation groove may be formed at the boundary between the three circular arc surfaces 351.

도 29는 레이디얼 베어링부(R31,R32)의 한쪽 또는 양쪽을 다원호 베어링으로 구성했을 경우의 다른 예를 나타내고 있다. 이 예에 있어서도 베어링 부재(305)의 내주면의 레이디얼 베어링면(308,309)이 되는 영역이 3개의 원호면(351)으로 구성되어 있지만(소위 3원호 베어링), 3개의 원호면(351)으로 구획되는 각 영역에 있어서 레이디얼 베어링 간극은 원주방향의 일방향에 대해서 각각 쐐기 형상으로 점차 축소된 쐐기 형상 간극(Cr3)이다. 이와 같은 구성의 다원호 베어링은 테이퍼 베어링이라고 칭해지는 일도 있다. 또한, 3개의 원호면(351) 상호간의 경계부에 분리 홈(352)이라고 칭해지는 한층 깊은 축방향 홈이 형성되어 있다. 그 때문에, 베어링 부재(305)와 축부재(303)가 소정 방향으로 상대 회전하면, 레이디얼 베어링 간극 내의 윤활유가 쐐기 형상 간극(Cr3)의 최소 간극측으로 압입되어 그 압력이 상승된다. 이러한 윤활유의 동압 작용에 의해 베어링 부재(305)와 축부재(303)가 비접촉 지지된다.Fig. 29 shows another example in the case where one or both of the radial bearing portions R31 and R32 are constituted by a multi-arc circular bearing. Also in this example, although the area | region used as the radial bearing surface 308,309 of the inner peripheral surface of the bearing member 305 is comprised by three circular arc surfaces 351 (so-called three circular arc bearings), it divides into three circular arc surfaces 351. In each of the regions, the radial bearing gap is a wedge-shaped gap Cr3 gradually reduced to a wedge shape with respect to one direction in the circumferential direction. The multi-arc bearing of such a structure may be called a tapered bearing. Further, a deeper axial groove called a separating groove 352 is formed at the boundary between the three circular arc surfaces 351. Therefore, when the bearing member 305 and the shaft member 303 rotate relatively in the predetermined direction, the lubricating oil in the radial bearing clearance is press-fitted to the minimum clearance side of the wedge-shaped clearance Cr3, and the pressure rises. By the dynamic pressure action of the lubricating oil, the bearing member 305 and the shaft member 303 are non-contactedly supported.

도 30은 레이디얼 베어링부(R31,R32)의 한쪽 또는 양쪽을 다원호 베어링으로 구성했을 경우의 다른 예를 나타내고 있다. 이 예에서는 도 29에 나타내는 구성에 있어서 3개의 원호면(351)의 최소 간극측의 소정 영역(θ)이 각각 베어링 부재(305)(축부재(303))의 축중심(O)을 곡률 중심으로 하는 동심의 원호면으로 구성되어 있다. 따라서, 각 소정 영역(θ)에 있어서 레이디얼 베어링 간극(최소 간극)은 일정해진다. 이와 같은 구성의 다원호 베어링은 테이퍼ㆍ플랫 베어링이라고 칭해지는 일도 있다.Fig. 30 shows another example in the case where one or both of the radial bearing portions R31 and R32 are constituted by a multi-arc bearing. In this example, in the structure shown in FIG. 29, predetermined area | region (theta) of the minimum clearance side of the three circular arc surfaces 351 respectively centers the axial center O of the bearing member 305 (shaft member 303) with a curvature center. It consists of concentric circular arc surfaces. Therefore, radial bearing clearance (minimum clearance) becomes constant in each predetermined area | region (theta). The multi-arc bearing of such a structure may be called a tapered flat bearing.

도 31은 레이디얼 베어링부(R31,R32)의 한쪽 또는 양쪽을 스텝 베어링으로 구성했을 경우의 일례를 나타내고 있다. 이 예에서는 베어링 부재(305)(전기 주조부(306))의 내주면의 레이디얼 베어링면(308,309)이 되는 영역에 복수개의 축방향 홈 형상의 동압 홈(353)이 원주방향 소정 간격으로 형성되어 있다. 31 shows an example in the case where one or both of the radial bearing portions R31 and R32 are constituted by step bearings. In this example, a plurality of axial groove-like dynamic pressure grooves 353 are formed at predetermined intervals in the circumferential direction in an area that becomes the radial bearing surfaces 308 and 309 of the inner circumferential surface of the bearing member 305 (electric casting portion 306). have.

이상에서는 레이디얼 베어링부(R31,R32)와 같이, 레이디얼 베어링부를 축방향으로 2개소 이격해서 설치한 구성으로 했지만, 베어링 부재(305)의 내주면의 상하 영역에 걸쳐서 3개소 이상의 레이디얼 베어링부를 설치한 구성으로 하여도 좋다. 또한, 도 28~도 30에서 나타낸 다원호 베어링은 소위 3원호 베어링이지만, 이것에 한정되지 않고, 소위 4원호 베어링, 5원호 베어링, 또한 6원호 이상의 수의 원호면으로 구성된 다원호 베어링을 채용해도 좋다.As described above, the radial bearing parts are provided in two axial directions such as the radial bearing parts R31 and R32, but three or more radial bearing parts are disposed over the upper and lower regions of the inner circumferential surface of the bearing member 305. It is good also as an installed structure. In addition, although the multi-arc bearing shown in FIGS. 28-30 is what is called a 3 circular arc bearing, it is not limited to this, Even if it employ | adopts what is called a 4 circular arc bearing, a 5 circular arc bearing, and the circular arc surface which consists of 6 or more circular arc surfaces. good.

또한, 이상에서는 베어링 부재(305)를 구성하는 전기 주조부(306)의 레이디얼 베어링면(308,309)에 동압 발생부를 형성했을 경우를 예시했지만, 이 레이디얼 베어링면(308,309)과 대향하는 축부재(303)의 외주면(303a)에 동압 발생부를 형성해도 된다. 이 경우, 전기 주조부(306)의 레이디얼 베어링면(308,309)이 되는 영역은 요철이 없는 원통면 형상으로 형성된다.In addition, although the case where the dynamic pressure generating part was formed in the radial bearing surfaces 308 and 309 of the electroforming part 306 which comprises the bearing member 305 was illustrated, the shaft member which opposes this radial bearing surface 308 and 309 is illustrated. The dynamic pressure generating portion may be formed on the outer circumferential surface 303a of 303. In this case, the area | regions which become the radial bearing surfaces 308 and 309 of the electroforming part 306 are formed in the cylindrical surface shape without an unevenness | corrugation.

또한, 이상에서는 베어링 부재(305)를 구성하는 전기 주조부(306)의 레이디얼 베어링면(308,309) 또는 축부재(303)의 외주면(303a)에 동압 발생부를 형성하고, 그 동압 발생부에서 레이디얼 베어링 간극에 유체 동압을 발생시켜 레이디얼 베어링부(R31,R32)를 동압 베어링으로 구성하는 경우에 대해서 설명을 행했지만, 전기 주조부(306)의 레이디얼 베어링면(308,309)을 요철이 없는 원통면 형상으로 형성함과 아울러 축부재(303)의 외주면(303a)을 요철이 없는 단면 진원 형상으로 형성함으로써 레이디얼 베어링부(R31,R32)를 원통형 베어링으로 구성할 수도 있다(도시 생략).In addition, the dynamic pressure generating part is formed in the radial bearing surface 308, 309 of the electroforming part 306 which comprises the bearing member 305, or the outer peripheral surface 303a of the shaft member 303, and the lady is produced by the dynamic pressure generating part. Although a case was described in which fluid dynamic pressure was generated in the radial bearing gap to configure the radial bearing portions R31 and R32 as dynamic pressure bearings, the radial bearing surfaces 308 and 309 of the electroforming portion 306 were uneven. The radial bearing portions R31 and R32 can also be configured as cylindrical bearings by forming the cylindrical surface shape and forming the outer circumferential surface 303a of the shaft member 303 into a circular cross-sectional shape without irregularities (not shown).

또한, 이상에서는, 스러스트 베어링부(T3)를 피벗 베어링으로 구성하는 형태를 예시했지만, 예컨대, 축부재(303)의 하단을 평탄면으로 하고, 이 평탄면 또는 이것에 대향하는 베어링 부재의 끝면에 스파이럴 형상이나 헤링본 형상으로 배열된 복수개의 동압 홈 등을 형성함으로써 스러스트 베어링부를 동압 베어링으로 구성할 수도 있다(도시 생략).Moreover, although the form which comprises the thrust bearing part T3 with the pivot bearing was demonstrated above, for example, the lower end of the shaft member 303 is made into the flat surface, and this flat surface or the end surface of the bearing member which opposes this is shown. A thrust bearing part can also be comprised by a dynamic pressure bearing by forming several dynamic pressure groove | channel etc. arrange | positioned in a spiral shape or a herringbone shape (not shown).

또한 이상에서는 유체 베어링 장치의 내부 공간에 충전하는 윤활 유체로서 윤활유를 사용했지만, 유체막을 형성할 수 있는 다른 유체, 예컨대, 윤활 그리스나 자성 유체, 또는 공기 등의 기체 등을 사용할 수도 있다.In addition, although lubricating oil was used as a lubricating fluid to fill the internal space of a fluid bearing apparatus above, the other fluid which can form a fluid film | membrane, for example, lubricating grease, a magnetic fluid, gas, such as air, can also be used.

상술한 유체 베어링 장치는 높은 회전 정밀도를 자랑하는 것이므로, 높은 회 전 성능이 요구되는 각종 모터, 예컨대 HDD 등의 디스크 장치의 스핀들 모터나 퍼스널 컴퓨터의 팬 모터용 베어링으로서 적합하게 사용할 수 있다.Since the above-mentioned fluid bearing device is proud of high rotational accuracy, it can be suitably used as a bearing for spindle motors of various motors, for example, disk devices such as HDDs, and fan motors of personal computers that require high rotational performance.

Claims (8)

레이디얼 베어링면을 갖는 베어링 슬리브와, 상기 베어링 부재의 내주에 삽입되는 축부재와, 상기 베어링 부재의 레이디얼 베어링면과 상기 축부재의 외주면 사이의 레이디얼 베어링 간극에 생기는 유체의 동압 작용에 의해 상기 축부재를 레이디얼 방향으로 비접촉 지지하는 레이디얼 베어링부를 구비한 유체 베어링 장치에 있어서:The bearing sleeve has a radial bearing surface, the shaft member inserted into the inner circumference of the bearing member, and the dynamic pressure action of the fluid generated in the radial bearing gap between the radial bearing surface of the bearing member and the outer circumferential surface of the shaft member. A fluid bearing device having a radial bearing portion for non-contacting support of the shaft member in a radial direction: 상기 베어링 슬리브는 축방향으로 복수개 배치되고;The bearing sleeve is arranged in plural in the axial direction; 또한 각 베어링 슬리브는 서로 축방향 길이를 다르게 해서 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 베어링 장치.And the bearing sleeves are formed with different axial lengths from each other. 제 1 항에 있어서, 인접하는 2개의 베어링 슬리브 중 적어도 어느 한쪽의 내주면에 상기 레이디얼 베어링면보다 다른쪽의 베어링 슬리브측에 위치하며 상기 레이디얼 베어링면과 동일한 직경의 볼록부를 형성한 것을 특징으로 하는 유체 베어링 장치.The convex portion according to claim 1, wherein a convex portion having the same diameter as that of the radial bearing surface is formed on an inner circumferential surface of at least one of the two adjacent bearing sleeves on a bearing sleeve side that is different from the radial bearing surface. Fluid bearing device. 제 1 항에 있어서, 상기 축부재는 외경측으로 돌출한 돌출부를 갖고, 그 돌출부의 끝면과 상기 베어링 슬리브의 끝면 사이에 스러스트 베어링 간극에 생기는 유체의 동압 작용에 의해 상기 축부재를 스러스트 방향으로 비접촉 지지하는 스러스트 베어링부가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 베어링 장치.2. The shaft member according to claim 1, wherein the shaft member has a protrusion protruding to the outer diameter side, and the shaft member is non-contacted in the thrust direction by the dynamic pressure action of the fluid generated in the thrust bearing clearance between the end face of the protrusion and the end face of the bearing sleeve. And a thrust bearing portion to be provided. 제 3 항에 있어서, 상기 돌출부의 외주측에 시일 공간이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 베어링 장치.4. The fluid bearing device according to claim 3, wherein a seal space is formed on an outer circumferential side of the protruding portion. 베어링 부재와, 그 베어링 부재의 내주에 삽입되는 축부재를 갖는 회전체와, 상기 베어링 부재와 상기 회전체 사이에 형성되는 제 1 및 제 2 스러스트 베어링 간극과, 상기 제 1 스러스트 베어링 간극에 유체 동압을 발생시키는 제 1 동압 홈 영역과, 상기 제 2 스러스트 베어링 간극에 유체 동압을 발생시키는 제 2 동압 홈 영역을 구비한 유체 베어링 장치에 있어서:Fluid dynamic pressure in the rotating body having a bearing member, a shaft member inserted into the inner circumference of the bearing member, first and second thrust bearing gaps formed between the bearing member and the rotating body, and the first thrust bearing gaps. In a fluid bearing device having a first dynamic pressure groove region for generating a second dynamic pressure groove region for generating a fluid dynamic pressure in the second thrust bearing gap: 상기 베어링 부재는 축방향으로 배열된 2개의 베어링 슬리브를 갖고;The bearing member has two bearing sleeves arranged axially; 상기 2개의 베어링 슬리브는 모두 양단면에 상기 제 1 동압 홈 영역과 상기 제 2 동압 홈 영역을 갖는 것이며, 또한 한쪽의 베어링 슬리브의 상기 제 1 동압 홈 영역을 상기 제 1 스러스트 베어링 간극에 면하게 하고, 다른쪽의 베어링 슬리브의 상기 제 2 동압 홈 영역을 상기 제 2 스러스트 베어링 간극에 면하게 한 것을 특징으로 하는 유체 베어링 장치.The two bearing sleeves each have the first dynamic pressure groove region and the second dynamic pressure groove region at both end faces, and the first dynamic pressure groove region of one bearing sleeve faces the first thrust bearing gap, And the second dynamic pressure groove region of the other bearing sleeve faces the second thrust bearing clearance. 제 5 항에 있어서, 상기 제 1 동압 홈 영역과 상기 제 2 동압 홈 영역을 다른 형상으로 형성한 것을 특징으로 하는 유체 베어링 장치.6. The fluid bearing device according to claim 5, wherein the first dynamic pressure groove region and the second dynamic pressure groove region are formed in different shapes. 제 5 항에 있어서, 상기 2개의 베어링 슬리브 사이에 스페이서 부재를 끼워 장착한 것을 특징으로 하는 유체 베어링 장치.6. A fluid bearing device according to claim 5, wherein a spacer member is sandwiched between said two bearing sleeves. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 기재된 유체 베어링 장치, 회전자 자석, 및 고정자 코일을 갖는 것을 특징으로 하는 모터.A motor having the fluid bearing device according to any one of claims 1 to 7, a rotor magnet, and a stator coil.
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