KR20080108093A - 도포액 공급 장치 - Google Patents

Abstract

도포액을 일시적으로 저류(貯留)한 후에 펌프에 공급하는 경우에, 기포, 및 고화, 겔화한 도포액의 발생을 방지한다. 도포액을 일시적으로 저류하고, 도포 장치에 압송(壓送)하는 도포액 일시 저류 탱크(41)가, 서로 내경이 다르고, 또한 상하 방향으로 일체적으로 형성된 원통형 부분(41a, 41b)과, 최하부 중앙에 하향으로 설치된 도포액 토출구멍(412a)과, 상단의 원통형 부분(41a)의 측면 최하부에 설치된 도포액 유입구멍(411a)을 포함하고 있다.

Description

도포액 공급 장치{COATING LIQUID FEEDING UNIT}

본 발명은, 액정 컬러 필터 제조 공정의 도포 장치 등의 매엽체(枚葉體) 도포 장치, 연속 필름용 코터, 그 외의 도포 장치에 대해서 도포액을 공급하기 위한 도포액 공급 장치에 관한 것이다.

종래부터, 도포 장치에서는, 도포액의 도포 장치에 대한 안정적 공급을 행하기 위해, 도포 장치 앞에 버퍼 탱크를 설치하고, 도포액 공급 장치로부터 송액(送液)된 도포액을 버퍼 탱크에 일시적으로 저류(貯留)하여 도포액 중의 기포 등을 제거하고, 그 후, 도포 장치에 대해 도포액을 공급하는 방법이 채택되고 있었다(특허 문헌 1 참조). 이 버퍼 탱크로서는, 도포액의 유출구 및 유입구를 가진 원통 형상의 용기를 사용하고 있었다.

여기서, 유입구는, 원통 형상의 용기의 상부로서, 버퍼 탱크 내의 액면(液面)보다 상부에 설치된 것, 또는 버퍼 탱크의 상부에 설치되고, 그로부터 배관에 의해서 액면 아래로 인도하는 것이며,

또, 유출구는, 원통 형상의 용기의 하부에 설치된 것, 또는 원통 형상의 용기의 상부에 설치되고, 그로부터 탱크 저면으로 배관하여 액면 아래로 인도하는 것이며,

이것들을 조합하여 버퍼 탱크의 형상이 결정되고 있었다.

이 버퍼 탱크 내를 이용함으로써, 유입시에 도포액에 포함되어 있던 기포는 액면으로 부상하는 것을 이용하여, 도포액 중의 기포를 제거할 수 있다.

도 4는 종래의 도포액 공급 장치에 포함되는 버퍼 탱크를 나타내는 개략 평면도, 도 5는 그 개략 종단면도이다.

이 버퍼 탱크(41)는, 원통 형상의 주체부의 하부를, 하방이 점차 축소되는 형상으로 형성되어 있다. 그리고, 상부의 측벽에 유입구멍(411)을 버퍼 탱크(41)의 중심을 향하도록 설치하고, 하부 중앙에 유출구멍(412)을 설치하고 있다. 또, 유입구멍(411)보다 약간 하방으로 액면 센서(413)를 설치하고 있다.

이 구성의 도포액 공급 장치에서는, 도포액은 도포액 공급캔(도시 생략)으로부터 압축 공기 등에 의해서 유입구멍(411)을 통해 버퍼 탱크(41) 내로 공급된다. 그리고, 버퍼 탱크(41) 내의 도포액은 도시하지 않은 기구에 의해 액면에 불활성 가스(예를 들면 N₂)로 압력을 가함으로써 유출구멍(412)으로부터 토출되고, 도시하지 않은 펌프에 공급된다. 이 펌프가, 도포액을 도시하지 않은 도포 장치에 공급한다.

또, 액면 센서(413)에 의해 버퍼 탱크(41) 내의 도포액 양의 감소가 검지되면, 도시하지 않은 제어 장치로부터 도포액 보급 신호를 내고, 도포액 공급캔으로부터 버퍼 탱크(41)로 도포액을 공급시킨다.

[특허 문헌 1：일본국 특허 제3414572호 공보]

(발명이 해결하고자 하는 과제)

상기한 종래의 도포액 공급 장치에서는, 버퍼 탱크 내에 도포액을 공급할 때에, 버퍼 탱크 내의 액면을 유동시킴으로써, 기포가 발생한다. 또, 버퍼 탱크로의 공급시에 도포액에 이미 기포가 혼입되어 있던 경우, 그것이 유출구 근처까지 흘러들어 그대로 버퍼 탱크 외로 송출되어 버린다. 종래의 버퍼 탱크로 이것을 막기 위해서는 탱크 용적을 크게 하지 않으면 안되고, 쓸데없이 액을 낭비해 버린다. 또한, 종래의 버퍼 탱크에서는 도포액의 체류부가 생겨버리고, 이것이 도포액의 고화, 겔화를 촉진시켜 버린다. 그리고, 도포액에 포함되는 기포, 또는 고화, 겔화한 도포액은 도포 품질을 현저하게 저하시키게 된다고 하는 문제가 있었다.

또, 도 4, 도 5의 버퍼 탱크에서는, 이하의 2개의 문제가 있다.

첫째로, 도포액 중에는 일반적으로 말해서 가스가 용해되어 있는 경우가 많고, 배관 내에서는 압력에 의해 기포가 되는 것이 저지되고 있어도, 버퍼 탱크에 유입함과 동시에 압력차에 의해 기포가 되어 버릴 가능성이 있다. 이 경우에는, 도 4와 같이 유입구멍이 버퍼 탱크의 중심을 향하고 있으므로 기포를 포함한 채로의 도포액을 펌프에 보낼 가능성이 높아진다. 이 앞의 유로에 필터 등을 설치하는 것을 생각할 수 있지만, 최종적으로 도포 불량을 일으킬 가능성은 높아질 뿐만 아니라, 필터의 교환이라고 하는 추가 작업이 필요하게 된다.

둘째로, 유입구멍이 버퍼 탱크의 중심을 향하고 있으므로, 양 사이드에 액의 흐름이 나빠지는 개소가 발생하기 쉽고, 체류한 도포액은 자연스럽게 응고하고, 이른바 겔을 발생시킬 가능성이 생긴다. 발생한 겔은 버퍼 탱크의 저부에 모이고, 결국은 유출구멍을 통해 펌프로 흘러가게 된다. 겔은 필터로 제거 가능하기는 하지만, 필터의 수명을 짧게 하고, 경우에 따라서는 빠져나가 도포 품질에 문제를 일으킬 가능성도 있다.

본 발명은 상기의 문제점을 감안하여 이루어진 것이며, 기포, 및 고화, 겔화한 도포액의 발생을 방지할 수 있는 도포액 공급 장치를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

(과제를 해결하기 위한 수단)

상기의 목적을 달성하기 위한, 본 발명의 도포액 공급 장치는, 도포액을 매엽체 또는 연속 필름에 도포하여 도포액 막을 형성하는 도포 장치에 대해서 도포액을 공급하기 위한 것으로서, 도포액을 일시적으로 저류하고, 도포 장치에 압송(壓送)하는 도포액 일시 저류 탱크를 포함하고, 그 도포액 일시 저류 탱크는, 서로 내경이 다르고, 또한 상하 방향으로 일체적으로 형성된 원통형 부분과, 최하부 중앙에 하향으로 설치된 도포액 토출구멍과, 상단의 원통형 부분의 측면 최하부에 설치된 도포액 유입구멍을 포함하는 것이다.

이 경우에 있어서, 상단의 원통형 부분의 내경이 하단의 원통형 부분의 내경보다 크고, 또한 상단의 원통형 부분과 하단의 원통형 부분의 경계 위치가, 도포액 일시 저류 탱크의 최하부로부터 액면 상한까지의 높이의 대략 1/2인 것이 바람직하다.

이 경우에 있어서, 하단의 원통형 부분의 내경이 상단의 원통형 부분의 내경의 약 50~70％이며, 상단의 원통형 부분의 최하부에, 적어도 도포액 유입구멍의 내경과 같은 폭의 수평부를 가지고 있는 것이 바람직하다.

또, 상기 도포액 유입구멍이, 상단의 원통형 부분에 대해서 접선 방향으로 도포액을 유입시키는 것인 것이 바람직하다.

또, 도포액의 액면이 도포액 유입구멍보다 상방에 위치하도록 도포액의 액면을 제어하는 액면 제어 장치를 더 포함하는 것이 바람직하다.

(발명의 효과)

본 발명의 도포액 공급 장치에 의하면, 도포액 유입구멍을 도포액 토출구멍으로부터 충분히 떨어진 위치에 설치하고, 게다가, 서로 내경이 다르고, 또한 상하 방향으로 일체적으로 형성된 원통형 부분을 가지고 있으므로, 기포 등을 포함하는 도포액이 직접 도포액 토출구멍으로 인도된다는 결함을 방지할 수 있다.

그리고, 상단의 원통형 부분의 내경이 하단의 원통형 부분의 내경보다 크고, 또한 상단의 원통형 부분과 하단의 원통형 부분의 경계 위치가, 도포액 일시 저류 탱크의 최하부로부터 액면 상한까지의 높이의 대략 1/2인 경우에는, 기포 등을 포함하는 도포액이 직접 도포액 토출구멍으로 인도된다는 결함을 확실히 방지할 수 있다. 이 경우에 있어서, 하단의 원통형 부분의 내경이 상단의 원통형 부분의 내경의 약 50~70％이며, 상단의 원통형 부분의 최하부에, 적어도 도포액 유입구멍의 내경과 같은 폭의 수평부를 가지고 있으면, 유입한 도포액이 직접 하단의 원통형 부분으로 인도되는 것을 확실히 방지할 수 있다.

또, 상기 도포액 유입구멍이, 상단의 원통형 부분에 대해서 접선 방향으로 도포액을 유입시키는 것인 경우에는, 도포액 일시 저류 탱크 내에 유입하는 도포액에 선회류(旋回流)를 발생시키고, 도포액 일시 저류 탱크 내의 도포액의 체류를 해소함과 함께 도포액을 교반(攪拌)할 수 있고, 도포액의 고화, 겔화를 미연에 방지할 수 있다.

또, 도포액의 액면이 도포액 유입구멍보다 상방에 위치하도록 도포액의 액면을 제어하는 액면 제어 장치를 더 포함하는 경우에는, 유입하는 도포액이 도포액 일시 저류 탱크 내의 도포액의 액면을 쳐서, 기포 등이 발생한다는 결함의 발생을 방지할 수 있다. 그리고, 결함을 일으키는 일 없이, 도포액 일시 저류 탱크를 소형화할 수 있고, 도포액 공급 장치의 비용을 억제할 수 있다.

도 1은 본 발명의 도포액 공급 장치를 짜 넣은 액정용 유리 기판 도포 장치를 나타내는 개략도이다.

도 2는 본 발명의 도포액 공급 장치의 주요부인 도포액 일시 저류 탱크의 개략 평면도이다.

도 3은 그 개략 종단면도이다.

도 4는 종래의 버퍼 탱크의 개략 평면도이다.

도 5는 그 개략 종단면도이다.

＜도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명＞

6:도포액 토출 장치

41:도포액 일시 저류 탱크

41a:상단의 원통형 부분

41b:하단의 원통형 부분

411a:도포액 유입구멍

411b:수평부

412a:도포액 토출구멍

이하, 첨부 도면을 참조하여, 본 발명의 도포액 공급 장치의 실시의 형태를 상세하게 설명한다.

도 1은, 본 발명의 도포액 공급 장치를 짜 넣은 액정용 유리 기판 도포 장치를 나타내는 개략도이다.

액정용 유리 기판 도포 장치에는, 박막 트랜지스터｛Thin Film Transistor(TFT)｝를 형성하기 위한 도포 장치와 컬러 필터를 형성하기 위한 도포 장치가 존재하지만, 본 발명의 도포액 공급 장치는 그 어느 쪽에도 실시할 수 있기 때문에, 도 1의 장치는 특별히 용도를 특정하지 않는 상태로 나타내어져 있다.

도 1에 나타내는 액정용 유리 기판 도포 장치(1)는, 장치 베이스(2), 제어 장치(3), 도포액 일시 저류 탱크(41), 기판 유지용 스테이지(5), 도포액 토출 장치(6), 구동 장치(7), 도포액 이송 펌프(8), 진공 펌프(9), 도포액 공급캔(10), 압력 센서(42), 제1 개폐 밸브(11) 및 제2 개폐 밸브(12) 등으로 구성되고, 도포 장치(1)의 횡측(도 1에 있어서 액정용 유리 기판 도포 장치(1)의 좌측 또는 우측)에 배치된 도시하지 않은 반송(搬送)용 로봇으로부터 받은 유리 기판(31)에 대해서 레 지스트액 등의 도포액을 도포한다.

장치 베이스(2)는, 액정용 유리 기판 도포 장치(1)의 각 구성부를 지지하는 받침대로서 기능하는 것이다.

제어 장치(3)는, 액정용 유리 기판 도포 장치(1)가 소정의 도포 동작을 행하도록, 액정용 유리 기판 도포 장치(1)에 있어서의 각 구성부의 동작을, 미리 짜 넣어진 프로그램에 의해 제어 가능하게 하는 것이다.

도포액 일시 저류 탱크(41)는, 소정량의 도포액(예를 들면, 복수매의 유리 기판(31)에 도포할 수 있는 양의 도포액)을 일시적으로 저류하기 위한 조(槽)이며, 배관을 통해 각각 도포액 공급캔(10), 에어블리딩(air bleeding) 밸브(도시 생략) 및 제1 개폐 밸브(11)에 접속된다.

기판 유지용 스테이지(5)는, 도포 대상이 되는 유리 기판(31)을, 충분한 평면도를 확보하여 재치(載置) 가능한 재치면을 가지는 것이며, 충분한 정밀도 및 강성을 유지하기 위해서, 화강암(granite)으로 구성되어 있다. 그리고, 그 표면에는 유리 기판(31)을 흡착 유지하기 위한 다수의 소경(小徑) 관통구멍이 뚫려있음과 함께, 유리 기판(31)의 수취시 또는 인도시에 그 유리 기판(31)을 승강시키기 위한 복수개의 리프트 핀이 표면으로부터 출몰 가능하게 설치되어 있다. 또, 유리 기판(31)을 위치 맞춤하기 위한 얼라인먼트 장치(도시 생략)가 설치되어 있다.

도포액 토출 장치(6)는, 길이 방향으로, 도포액을 삼출(渗出)시키기 위한 슬릿 형상 토출 수단(이후 구금(口金)이라고 한다)(621)을 유지하고 양단의 주행 장치(61)에 의해 갠트리(gantry)를 이루고, 구동 장치(71)에 의해 도면 중 X방향으로 구금(621)을 이동 가능함과 함께, 구동 장치(72)에 의해 도면 중 Z방향으로 구금(621)을 이동 가능하다. 구동 장치(71)는 도 1의 예에서는 리니어 모터이지만, 볼나사 구동의 것으로 하는 것도 가능하다.

구동 장치(7)는, 구동 장치(71), 구동 장치(72) 등으로 이루어지고, 도포액 토출 장치(6)를 도면 중 X, Z의 각각의 방향으로 직선 구동 가능하게 하는 것이다.

도포액 이송 펌프(8)는, 도시하지 않은 실린더, 플랜저, 막형상 봉지(封止) 부재 및 진공 펌프(9)와 접속되는 플랜저 구동부를 구비하고, 세워 설치한 상태, 즉 실린더의 축선을 연직축에 평행하게 한 상태로 사용된다. 그리고, 제1 개폐 밸브(11) 및 제2 개폐 밸브(12)와 접속되어 있다.

도포액 공급캔(10)은, 강성 재료로 제조된 외부 케이스와, 가요성 재료로 제조된 내부 주머니를 포함하고, 외부 케이스와 내부 주머니의 간극에 압축 공기를 공급함으로써, 내부 주머니에 봉입된 도포액을 도출할 수 있다.

압력 센서(42)는, 도포액 공급캔(10)과 도포액 일시 저류 탱크(41)를 접속하는 배관(43)의 소정 위치에 설치되어 있다.

다음에, 상기 구성의 액정용 유리 기판 도포 장치(1)의 동작을 설명한다.

유리 기판(31)은 도시하지 않은 반송용 로봇에 의해 반송되고, 도시하지 않은 상하 이동 가능한 리프트 핀에 의해 반송용 로봇으로부터 수취되고, 기판 유지용 스테이지(5)에 설치된다.

기판 유지용 스테이지 상의 유리 기판(31)은 도시하지 않은 얼라인먼트 장치에 의해 위치 맞춤되고, 기판 유지용 스테이지(5) 하부로부터 이것도 도시하지 않 은 흡착 장치에 의해 소경 관통구멍을 통해 진공 흡착함으로써 기판 유지용 스테이지(5) 상에 고정된다.

다음에 도포액 공급캔(10)으로부터의 도포액은, 외부 케이스와 내부 주머니의 간극에 압축 공기를 공급함으로써 도출로, 및 배관(43)을 거쳐 도포액 일시 저류 탱크(41)에 보내진다. 도포액은 일단 도포액 일시 저류 탱크(41)에 저류된 후, 도포액 이송 펌프(8)에 보내진다.

도포액 토출 장치(6)는 길이 방향으로 구금(621)을 유지하고, 양단의 주행 장치에 의해 겐트리를 이루고, 구동 장치(71)에 의해 도 1 중 X방향으로 이동된다. 또, 구동 장치(72)에 의해 도 1 중 Z방향으로 이동된다.

구체적으로는, 예를 들면, 기판 유지용 스테이지(5)에 유리 기판(31)이 고정되면, 도포액 토출 장치(6)는 (도 1 중의 2기의 도포액 토출 장치(6) 중 어느 것을 사용하는가에 따라) 도 1 중 X1방향 또는 X2방향으로 이동하고, 일단 유리 기판(31)의 단면 근방에서 정지하고, 구동 장치(72)에 의해 구금(621)을 이동시킴으로써 유리 기판(31)에 접근시켜 프리 토출을 행하고, 도포액 비드를 유리 기판(31) 상에 형성하고 나서 다시 이동을 재개하고, 유리 기판(31)에 도포액을 도포하여 도막을 형성한다.

도포 종료 후는, 구동 장치(72)에 의해 구금(621)을 유리 기판(31)으로부터 떨어진 퇴피 위치에 이동시키고, 구동 장치(71)에 의해 도포액 토출 장치(6)를 도포 방향과 역방향으로 이동시키고, 유리 기판(31)에 대한 도포액의 도포를 종료한다.

그 후, 도포액 토출 장치(6)는 구금(621)의 슬릿부가 청소 및 초기화되고, 다음의 도포를 위한 스탠바이 상태가 된다.

한편, 유리 기판(31)은, 소경 관통구멍에 N₂ 등의 가스를 보급함으로써 기판 유지용 스테이지(5)로의 흡착이 해제되고, 리프트 핀에 의해 스테이지(5)로부터 상방으로 들어 올려진다. 그 후, 유리 기판(31)은 상술의 반송용 로봇과는 다른 반송용 로봇(이것도 도시 생략)에 의해 리프트 핀으로부터 집어 올려지고, 감압 건조 등의 다음 공정(도시 생략)에 반송된다.

이상이 유리 기판(31)에 대해서 도포액을 도포하는 동작의 1 사이클이다.

다음에, 본 발명의 도포액 공급 장치의 주요부를 설명한다.

도 2는 본 발명의 도포액 공급 장치의 주요부인 도포액 일시 저류 탱크(41)의 개략 평면도, 도 3은 그 개략 종단면도이다.

도포액 일시 저류 탱크(41)는, 서로 내경이 다르고, 또한 상하 방향으로 일체적으로 형성된 원통형 부분(41a, 41b)과, 최하부 중앙에 하향으로 설치된 도포액 토출구멍(412a)과, 상단의 원통형 부분(41a)의 측면 최하부에 설치된 도포액 유입구멍(411a)을 포함하고 있다.

그리고, 상단의 원통형 부분(41a)의 내경(D1)이 하단의 원통형 부분(41b)의 내경(D2)보다 크고, 또한 상단의 원통형 부분(41a)과 하단의 원통형 부분(41b)의 경계 위치가, 도포액 일시 저류 탱크(41)의 최하부로부터 액면 상한까지의 높이(H) 의 대략 1/2인 것이 바람직하다. 이 경우에 있어서, 하단의 원통형 부분(41b)의 내경(D2)이 상단의 원통형 부분(41a)의 내경(D1)의 약 50~70％이며, 상단의 원통형 부분(41a)의 최하부에, 적어도 도포액 유입구멍(411a)의 내경과 같은 폭의 수평부(411b)를 가지고 있는 것이 바람직하다. 이 경우에는, 상단의 원통형 부분(41a)의 용적을 하단의 원통형 부분(41b)의 용적의 2~4배로 설정하여, 도포액 일시 저류 탱크(41)의 하부로부터 도포액 이송 펌프(8)에 안정적으로 도포액을 공급할 수 있다. 또, 적어도 도포액 유입구멍(411a)의 내경과 같은 폭의 수평부(411b)에 의해서, 도포액이 유입 후에 바로 하단의 원통형 부분(41b)으로 인도되는 것(기포를 포함하고 있을 가능성이 높은 도포액이 하단의 원통형 부분(41b)으로 인도되는 것)을 방지할 수 있다.

또, 상단의 원통형 부분(41a)의 최하부의 외주부가 소정 곡률의 R인 것이 바람직하고, 도포액 굄이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 또, 상기 도포액 유입구멍(411a)이, 상단의 원통형 부분(41a)에 대해서 접선 방향으로 도포액을 유입시키는 것인 것이 바람직하고, 유입한 도포액을 상단의 원통형 부분(41a)의 내면을 따라서 선회하도록 이동시킬 수 있고, 상단의 원통형 부분(41a)의 내면의 저항을 작게 할 수 있고, 도포액의 체류가 생기지 않도록 할 수 있다. 또, 상단의 원통형 부분(41a)에 있어서 도포액이 이동하는 시간을 길게 할 수 있고, 이 결과, 도포액에 포함되는 가스가 새어나오기 위한 시간을 길게 할 수 있고, 나아가서는, 유입한 도포액이 하단의 원통형 부분(41b)으로 인도되기까지, 거의 확실히 기포를 제거할 수 있다.

또한, 도포액 일시 저류 탱크(41)의 내면은, 액 저항을 최소로 하기 위해서, 용접 흔적의 제거, 표면 처리에 의한 평활화 등을 행하는 것이 바람직하다.

또한, 상단의 원통형 부분(41a)의, 도포액 유입구멍(411a)의 장착 위치보다 상방의 소정 위치에 대응시켜 액면 센서(413a)를 설치하고 있다. 이 액면 센서(413a)는, 플로트 등을 이용한 직접 방식의 것이어도 되고, 또는 정전 센서나 광학 센서를 이용한 간접 방식의 것이어도 되지만, 발포나 응축의 문제 등을 고려하면 간접 방식의 것인 것이 바람직하다. 정전 센서를 이용하는 경우에는, 도포액 일시 저류 탱크(41) 내의 도포액의 양에 의해서 정전 용량이 변화하는 것을 이용하고 있고, 도포액 일시 저류 탱크(41)의 재질이 수지 등의 비금속인 경우에 적합하다. 또, 광학식 센서를 이용하는 경우에는, 상단의 원통형 부분(41a)에 창을 열어 액의 유무를 보는 방법이나 직접 액면을 레이저 반사 등으로 보는 방법 등을 이용하고 있고, 도포액 일시 저류 탱크(41)의 재질은 전혀 제약을 받지 않는다. 단, 도포액에 적셔지지 않는 재질인 것이 필요하다. 따라서, 금속제의 경우에는, 스테인리스 스틸제인 것이 바람직하지만, 도포액에 대해서 부식성을 나타내는 경우에는, 내식성의 표면 처리를 실시한 것이어도 된다.

그리고, 액면 센서(413a)에 의해서, 액면이 미리 설정한 소정 레벨보다 낮은 것이 검출된 경우에, 도시하지 않은 제어 장치에 의해서, 도포액 공급캔(10)으로부터의 도포액의 공급을 행하게 하여, 액면을 항상 도포액 유입구멍(411a)보다 상방에 위치시킨다.

크게 나누면, 액정용 유리 기판 도포 장치에는, 기판 유지용 스테이지(5)가 고정되고, 도포액 토출 장치(6)가 수평으로 이동하는 형식의 것(도 1 참조)과, 도 포액 토출 장치(6)가 고정되고, 기판 유지용 스테이지(5)가 수평 이동하는 형식의 것이 있지만, 본 발명의 도포액 공급 장치는 어느 쪽의 형식의 것에도 적용 가능하다.

또, 상기 실시 형태에서는 액정용 유리 기판 도포 장치에 적용되는 것에 대해 설명했지만, 필름 상에 도막(塗膜)을 형성하는 자기 테이프용 등의 필름 코터를 비롯하여, 일반적으로 도포액을 도포하여 도막을 형성하는 장치이면 모든 장치에 적용 가능하다.

도포액을 일시적으로 저류하고, 도포 장치에 압송하는 도포액 일시 저류 탱크(41)로서, 서로 내경이 다르고, 또한 상하 방향으로 일체적으로 형성된 원통형 부분(41a, 41b)과, 최하부 중앙에 하향으로 설치된 도포액 토출구멍(412a)과, 상단의 원통형 부분(41a)의 측면 최하부에 설치된 도포액 유입구멍(411a)을 포함하는 것을 채용함으로써, 도포액을 일시적으로 저류한 후에 펌프에 공급하는 경우에, 기포, 및 고화, 겔화한 도포액의 발생을 방지한다.

Claims (5)

1. 도포액을 매엽체(枚葉體) 또는 연속 필름에 도포하여 도포액 막을 형성하는 도포 장치(6)에 대해서 도포액을 공급하기 위한 도포액 공급 장치에 있어서,

   그 도포액 공급 장치가, 도포액을 일시적으로 저류(貯留)하고, 도포 장치에 압송(壓送)하는 도포액 일시 저류 탱크(41)를 포함하고,

   그 도포액 일시 저류 탱크(41)는, 서로 내경이 다르고, 또한 상하 방향으로 일체적으로 형성된 원통형 부분(41a, 41b)과, 최하부 중앙에 하향으로 설치된 도포액 토출구멍(412a)과, 상단의 원통형 부분(41a)의 측면 최하부에 설치된 도포액 유입구멍(411a)을 포함하는 것을 특징으로 하는, 도포액 공급 장치.
2. 청구항 1에 있어서,

   상단의 원통형 부분(41a)의 내경이 하단의 원통형 부분(41b)의 내경보다 크고, 또한 상단의 원통형 부분(41a)과 하단의 원통형 부분(41b)의 경계 위치가, 도포액 일시 저류 탱크(41)의 최하부로부터 액면 상한까지의 높이의 대략 1/2인, 도포액 공급 장치.
3. 청구항 2에 있어서,

   하단의 원통형 부분(41b)의 내경이 상단의 원통형 부분(41a)의 내경의 약 50~70％이며, 상단의 원통형 부분(41a)의 최하부에, 적어도 도포액 유입구멍(411a) 의 내경과 같은 폭의 수평부(411b)를 가지고 있는, 도포액 공급 장치.
4. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,

   도포액 유입구멍(411a)은, 상단의 원통형 부분(41a)에 대해서 접선 방향으로 도포액을 유입시키는 것인, 도포액 공급 장치.
5. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,

   도포액의 액면이 도포액 유입구멍(41a)보다 상방에 위치하도록 도포액의 액면을 제어하는 액면 제어 장치를 더 포함하는, 도포액 공급 장치.

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