KR20080101863A - 박판수납용기 - Google Patents

박판수납용기 Download PDF

Info

Publication number
KR20080101863A
KR20080101863A KR1020087012345A KR20087012345A KR20080101863A KR 20080101863 A KR20080101863 A KR 20080101863A KR 1020087012345 A KR1020087012345 A KR 1020087012345A KR 20087012345 A KR20087012345 A KR 20087012345A KR 20080101863 A KR20080101863 A KR 20080101863A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
tray
container
tray housing
thin plate
storage container
Prior art date
Application number
KR1020087012345A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101354029B1 (ko
Inventor
유키히로 효부
Original Assignee
미라이얼 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 미라이얼 가부시키가이샤 filed Critical 미라이얼 가부시키가이샤
Publication of KR20080101863A publication Critical patent/KR20080101863A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101354029B1 publication Critical patent/KR101354029B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67369—Closed carriers characterised by shock absorbing elements, e.g. retainers or cushions
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D85/00—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D85/00—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
    • B65D85/54—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles of special shape not otherwise provided for
    • B65D85/544—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles of special shape not otherwise provided for for gramophone records
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67376—Closed carriers characterised by sealing arrangements
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67383—Closed carriers characterised by substrate supports

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)

Abstract

서로 착탈 가능한 복수 매의 재치 트레이를 적층하고 각 재치 트레이의 사이의 공간에 반도체 웨이퍼를 각각 협지하여 수납하는 트레이 수납체와, 이 트레이 수납체를 내부에 수납하는 외부수납용기로 이루어지는 박판수납용기이다. 각 재치 트레이의 대향하는 양 측단에 외부기계장치의 처리암이 결합하여 파지하는 한 쌍의 파지부를 형성한다. 외부수납용기는, 용기 본체와, 뚜껑과, 이들 뚜껑과 용기 본체의 사이에 설치되어 내부를 씰 하는 씰재와, 상기 트레이 수납체를 지지하는 한 쌍의 트레이 수납체 지지부와, 상기 용기 본체 내에 수납된 상기 트레이 수납체를 저면측과 뚜껑측으로부터 협지하여 지지하는 트레이 수납체 가압구를 구비한다.

Description

박판수납용기{THIN BOARD CONTAINER}
본 발명은, 반도체 웨이퍼(半導體 wafer), 자기기록 매체 디스크(磁氣記錄 媒體 disk), 광기록 매체 디스크(光記錄 媒體 disk), 액정용 글라스 기판(液晶用 glass 基板), 플렉시블 표시장치용 필름 기판(flexible 表示裝置用 film 基板) 등의 박판(薄板)을 수납하는 박판수납용기(薄板收納容器)에 관한 것이다.
최근에 반도체 웨이퍼 등의 전자 디바이스용의 박판은, 대형화(大型化), 박형화(薄型化) 하고 있다. 이 때문에 박판이 파손되기 쉽다. 이러한 박판을 수납하여 보관, 반송하기 위한 용기로서는, 인용문헌1에 기재된 다단식 수납 카세트가 알려져 있다. 이 다단식 수납 카세트는, 두께가 20∼100μm의 매우 얇은 웨이퍼의 외주면에 치핑(chipping)을 발생시키지 않고 또한 패드에 대한 흡착 미스(吸着 miss) 없이 반출할 수 있는 수납 카세트이다. 이 수납 카세트는, 복수의 수납선반을 지주(支柱)에 의하여 동일한 간격으로 나란하게 다단으로 적층한 수납 카세트이다.
그러나 이러한 다단식 수납 카세트에서는, 매우 얇은 웨이퍼의 가장자리부를 그 하측으로부터 지지할 뿐이고, 매우 얇은 웨이퍼를 확실하게 고정하는 수단은 특별히 설치되어 있지 않다. 이 때문에 다단식 수납 카세트를 기울이면, 매우 얇은 웨이퍼가 쉽게 어긋나서 파손될 우려가 있기 때문에, 신중하게 반송할 필요가 있으므로 반송시의 작업성이 나쁘다. 또한 내부를 밀봉하여 매우 얇은 웨이퍼를 외부환경으로부터 격리할 수 있는 구조로는 되어 있지 않다. 이 때문에 매우 얇은 웨이퍼를 씰(seal)하여 외부환경으로부터 격리하는 것도, 안전하게 지지하는 것도 불가능하다.
이 때문에 본 발명자는 이미 반도체 웨이퍼 등의 박판을 외부환경으로부터 격리하여 안전하게 지지하여 반송할 수 있는 박판수납용기를 제안하였다. 이 박판수납용기의 예를 도8에 나타낸다. 박판수납용기1은, 도면에 나타나 있는 바와 같이 주로, 복수 매의 재치 트레이2로 구성되어 있다. 재치 트레이2는 서로 착탈 가능한 구조로 되어 있어, 박판을 재치한 복수 매의 재치 트레이2를 적층시킨 상태에서 서로 결합시켜 박판수납용기1을 구성하고 있다.
특허문헌1 : 일본국 공개특허 특개2004-273867호 공보
[해결하고자 하는 과제]
그러나, 전술한 바와 같은 구성의 박판수납용기1에서는, 공장 내 등에서의 사용의 경우에는 특히 문제가 안되지만, 반송하는 경우에는 씰 기능 및 내충격성(耐衝擊性)의 점에서 문제가 된다.
복수 매의 재치 트레이2를 적층시킨 상태에서 서로 결합시켜서 박판수납용기1을 구성하고 있기 때문에, 외부로부터 충격을 받으면 각 재치 트레이2가 다소 어긋나거나, 각 재치 트레이2의 사이의 씰 기능이 저하되거나 할 가능성이 있다.
[과제해결수단]
본 발명은, 상기의 점을 감안하여 이루어진 것으로서, 씰 기능 및 내충격성을 향상시켜서 박판을 안전하게 수납하여 반송할 수 있도록 개량한 것이다.
본 발명에 관한 박판수납용기는, 서로 착탈 가능한 복수 매의 재치 트레이를 적층한 상태에서 서로 결합하여 구성되고 각 재치 트레이의 사이의 공간에 박판을 각각 협지하여 수납하는 트레이 수납체와, 당해 트레이 수납체를 내부에 수납하는 외부수납용기를 구비하도록 구성된 것을 특징으로 한다.
이 구성에 의하여, 트레이 수납체의 각 재치 트레이의 사이의 공간에 박판을 수납하여 외부수납용기 내에 수납한다. 이에 따라 박판을 이중 구조로 수납한다.
상기 트레이 수납체의 각 재치 트레이의 대향하는 양 측단에, 외부기계장치의 처리암이 결합하여 파지하는 한 쌍의 파지부가 형성되고, 상기 외부수납용기는, 개구를 일단에 구비하고 자루 모양으로 형성된 용기 본체와, 당해 용기 본체의 상기 개구를 막는 뚜껑과, 당해 뚜껑과 상기 용기 본체의 사이에 설치되어 상기 용기 본체 내를 외부 분위기로부터 기밀하게 격리시키는 씰재와, 상기 용기 본체 내의 대향하는 2개의 내측면에 각각 설치되어 상기 트레이 수납체를 지지하는 한 쌍의 트레이 수납체 지지부를 구비하도록 구성하는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하여, 상기 트레이 수납체 내에 박판이 수납된 상태에서, 당해 트레이 수납체가 상기 외부수납용기 내에 수납된다. 이 때에, 한 쌍의 상기 트레이 수납체 지지부가 당해 트레이 수납체를 지지한다. 당해 트레이 수납체를 내부에 수납하여 지지한 상기 외부수납용기 내는 상기 씰재에 의하여 밀봉(密封)된다.
상기 트레이 수납체는, 서로 결합된 각 재치 트레이의 사이의 상기 박판을 수납하는 공간을 기밀하게 유지하는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하여, 상기 박판은, 상기 트레이 수납체와 상기 외부수납용기에 의하여 2중으로 씰 되어, 외부환경으로부터 격리된다.
상기 트레이 수납체는, 서로 결합되는 복수의 재치 트레이와, 인접하는 각 재치 트레이의 사이를 서로 독립적으로 결합시키거나 그 결합을 해제하는 결합·해제수단과, 상기 각 재치 트레이에 각각 형성되고 인접하는 2개의 상기 재치 트레이가 협동하여 상기 박판을 지지할 때에 당해 박판이 재치되는 재치부를 구비하도록 구성하는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하여, 상기 재치부에 상기 박판을 재치한 상태에서 인접하는 2개의 상기 재치 트레이를 상기 결합·해제수단에 의하여 서로 결합시켜 상기 박판을 지지한다.
상기 트레이 수납체는, 외부기계장치 측에 결합하기 위한 기계적 인터페이스를 구비하는 하나 또는 한 쌍의 베이스 트레이와, 당해 베이스 트레이의 일측면에 또는 각 베이스 트레이의 사이에 삽입되어서 서로 결합되는 하나 또는 복수의 재치 트레이와, 당해 각 재치 트레이의 사이나 상기 베이스 트레이와 재치 트레이의 사이를 서로 독립적으로 결합시키거나 그 결합을 해제하는 결합·해제수단과, 상기 각 재치 트레이에 각각 형성되고 인접하는 2개의 상기 재치 트레이 또는 당해 재치 트레이와 상기 베이스 트레이가 협동하여 상기 박판을 지지할 때에 당해 박판이 재치되는 재치부를 구비하도록 구성하는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하여, 상기 재치부에 상기 박판을 재치한 상태에서 인접하는 2개의 상기 재치 트레이 또는 당해 재치 트레이와 상기 베이스 트레이를 상기 결합·해제수단으로 서로 결합시켜 상기 박판을 지지한다. 상기 재치 트레이와 상기 베이스 트레이로 구성된 트레이 수납체는, 상기 베이스 트레이가 상기 기계적 인터페이스를 통하여 상기 외부기계장치 측에 결합되어 당해 외부기계장치 측에 상기 트레이 수납체가 지지된다.
상기 재치 트레이의 상기 재치부의 주위에는, 2개의 상기 재치 트레이 또는 당해 재치 트레이와 상기 베이스 트레이가 서로 결합된 상태에서, 상기 재치부에 수납된 상기 박판을 외부환경으로부터 기밀하게 격리시키는 씰재를 설치하는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하여, 씰재는, 상기 재치부에 수납된 상기 박판을 그 주위로부터 씰하여 외부환경으로부터 기밀하게 격리한다. 이에 따라 상기 박판을 청정하게 유지할 수 있다.
상기 외부수납용기의 용기 본체 내의 저면과, 상기 뚜껑에 있어서 상기 용기 본체측 면에는, 상기 뚜껑을 상기 용기 본체에 부착했을 때에, 상기 용기 본체 내에 수납된 상기 트레이 수납체를, 상기 용기 본체의 저면측과 상기 뚜껑에 있어서 상기 용기 본체측으로부터 협지하여 지지하는 트레이 수납체 가압구를 각각 설치하고, 상기 용기 본체 내에 수납된 상기 트레이 수납체의 각 재치 트레이에 있어서 용기 본체 바닥측의 단부 및 상기 뚜껑측의 단부에는, 상기 트레이 수납체 가압구에 결합되는 결합부를 설치하는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하여, 상기 외부수납용기의 용기 본체 내에 삽입된 상기 트레이 수납체에 대하여, 상기 용기 본체 내의 저면의 트레이 수납체 가압구와, 상기 뚜껑에 있어서 상기 용기 본체 측의 트레이 수납체 가압구가 재치 트레이의 결합부에 결합하여 상기 트레이 수납체를 지지한다.
상기 트레이 수납체 가압구와 결합부는, 서로 결합하는 오목부 및 볼록부를 구비하고 또한 이들 오목부 및 볼록부의 상호 접촉면은 쐐기 모양으로 경사져 형성되는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하여, 상기 트레이 수납체 가압구와 결합부의 오목부 및 볼록부가 서로 결합함으로써 이들 오목부 및 볼록부의 쐐기 모양으로 경사진 접촉면이 서로 접촉한다. 이 상태에서, 오목부 및 볼록부가 서로 깊게 결합해 가면서, 쐐기 모양으로 경사진 접촉면에서 위치정합이 보정되고, 상기 트레이 수납체가 상기 트레이 수납체 가압구에 지지된다.
상기 용기 본체와 상기 뚜껑의 사이에는, 당해 뚜껑을 상기 용기 본체에 부착하여 상기 트레이 수납체 가압구와 결합부를 서로 결합시킨 상태에서, 상기 뚜껑을 상기 용기 본체 측으로 압입하여 고정시키고 또한 상기 트레이 수납체 가압구와 결합부를 서로 깊게 결합시키는 래치 기구를 구비하는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하여, 상기 뚜껑을 상기 용기 본체에 부착하여 상기 트레이 수납체 가압구와 결합부를 서로 결합시킨 상태에서, 래치 기구에 의하여 상기 뚜껑을 상기 용기 본체 측으로 압입하여 고정시키면, 상기 트레이 수납체 가압구와 결합부를 서로 깊게 결합시킨다.
상기 트레이 수납체 가압구를 탄성체로 구성하여 상기 트레이 수납체를 탄성적으로 지지하는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하여, 상기 트레이 수납체 가압구가 상기 트레이 수납체를 탄성적으로 지지하기 때문에, 외부로부터의 진동이나 충격에 대하여 상기 트레이 수납체 가압구가 그 진동이나 충격을 흡수하여 상기 박판에 진동 등이 전달되는 것을 방지한다.
상기 트레이 수납체가 상기 용기 본체 내에 수납되고 상기 트레이 수납체 지지부에 의하여 지지된 상태에서, 상기 트레이 수납체와 상기 용기 본체의 사이에, 상기 외부기계장치의 처리암이 삽입되는 공간과, 당해 처리암에 의하여 지지된 상기 트레이 수납체를 들어 올릴 수 있는 공간을 형성하는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하여, 상기 트레이 수납체가 상기 트레이 수납체 지지부에 의하여 지지된 상태에서, 상기 외부기계장치의 처리암이 삽입되어 상기 트레이 수납체에 결합된다. 계속하여 상기 처리암에 의하여 지지된 상기 트레이 수납체를 들어 올려서 외부로 옮긴다.
상기 용기 본체 내에 수납된 상기 트레이 수납체를 지지하는 상기 트레이 수납체 지지부를 슬라이드 가능하게 또는 회전 가능하게 지지하고 또한 당해 트레이 수납체 지지부가 열린 상태에서 당해 트레이 수납체 지지부와 상기 트레이 수납체의 사이에 상기 외부기계장치의 처리암이 삽입되는 공간을 형성하는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하여, 상기 트레이 수납체 지지부가 열린 상태에서, 상기 외부기계장치의 처리암을, 상기 트레이 수납체 지지부와 상기 트레이 수납체의 사이에 삽입하고 상기 트레이 수납체의 상기 각 재치 트레이를 임의의 위치에서 결합을 해제하여 분리하여 내부의 박판을 출납한다.
상기 외부수납용기의 용기 본체에는, 반송 로봇의 반송암에 의하여 파지되는 파지기구를 설치하는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하여, 상기 반송 로봇의 반송암이 상기 파지기구를 파지하여 상기 외부수납용기를 들어 올려 반송한다.
상기 외부수납용기의 상기 용기 본체와 상기 뚜껑의 사이에는, 당해 뚜껑을 상기 용기 본체에 부착할 때에 안내함과 아울러 상기 뚜껑을 상기 용기 본체에 대하여 어긋나지 않도록 지지하는 도어 가이드를 설치하는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하여, 상기 뚜껑이 상기 도어 가이드에 의하여 안내되어 상기 용기 본체에 부착됨과 아울러 상기 뚜껑을 상기 용기 본체에 대하여 어긋나지 않도록 지지한다.
상기 외부수납용기의 상기 용기 본체에는, 상기 외부수납용기를 들어 올리기 위한 핸들을 설치하는 것이 바람직하다. 이 핸들은 양손으로 취급할 경우가 많기 때문에, 외부수납용기의 외측에 1쌍 설치된다.
이 구성에 의하여, 작업자가 핸들을 잡고 외부수납용기를 들어 올려 반송한다.
상기 외부수납용기의 일부 또는 전부를 비대전성 재료 또는 도전 재료로 형성하는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하여, 상기 외부수납용기의 대전에 의한 진애의 부착 등을 방지할 수 있다.
상기 트레이 수납체 중에서 적어도 재치 트레이를 비대전성 재료 또는 도전 재료로 형성하는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하여, 상기 재치 트레이 등의 대전에 의한 진애의 부착 등을 방지할 수 있다.
상기 트레이 수납체 또는 외부수납용기의 어느 일방 또는 양방에 투명창을 형성하는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하여, 상기 투명창으로부터 내부의 상태를 확인한다.
[발명의 효과]
이상에서 상세하게 설명한 바와 같이, 본 발명의 재치 트레이 및 박판수납용기에 의하면 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
각 재치 트레이의 사이의 공간에 박판을 수납한 트레이 수납체를 외부수납용기 내에 수납하여 박판을 이중 구조로 수납하기 때문에, 박판을 안전하고 또한 확실하게 수납하여 지지할 수 있다.
상기 박판이 수납된 상기 트레이 수납체를 상기 외부수납용기 내에 수납하고 한 쌍의 트레이 수납체 지지부로 상기 재치 트레이의 파지부를 파지하여 상기 트레이 수납체를 지지하기 때문에, 상기 외부수납용기 내에 수납된 상기 트레이 수납체를 확실하게 지지할 수 있다. 그 결과, 외부로부터의 진동이나 충격에 대하여 상기 박판을 안전하고 또한 확실하게 지지할 수 있다. 또한 상기 외부수납용기 내를 씰재로 밀봉하기 때문에, 내부를 청정한 상태로 유지할 수 있다.
상기 트레이 수납체에 있어서 서로 결합된 각 재치 트레이 사이의 상기 박판을 수납하는 공간을 기밀하게 유지하기 때문에, 상기 박판을 상기 트레이 수납체와 상기 외부수납용기로 2중으로 씰 할 수 있어서 씰 기능을 대폭적으로 향상시킬 수 있다.
상기 재치부에 상기 박판을 재치한 상태에서 이웃하는 2개의 상기 재치 트레이를 상기 결합·해제수단으로 서로 결합시켜 상기 박판을 지지하기 때문에, 복수 개 적층된 상기 재치 트레이의 임의의 위치에서 상기 결합·해제수단을 해제하여 상기 박판을 출납할 수 있다.
상기 재치부에 상기 박판을 재치한 상태에서 인접하는 2개의 상기 재치 트레이 또는 당해 재치 트레이와 상기 베이스 트레이를 상기 결합·해제수단에 의하여 서로 결합시켜 상기 박판을 지지하기 때문에, 복수 개 적층된 상기 재치 트레이 및 상기 베이스 트레이의 임의의 위치에서 상기 결합·해제수단을 해제하여 상기 박판을 출납할 수 있다. 또한 상기 재치 트레이와 상기 베이스 트레이로 구성된 트레이 수납체에서는, 상기 베이스 트레이가 상기 기계적 인터페이스를 통하여 상기 외부기계장치 측에 결합되어 당해 외부기계장치 측에 의하여 상기 트레이 수납체가 지지되기 때문에, 상기 트레이 수납체를 상기 외부기계장치에 대하여 용이하고 또한 확실하게 출납할 수 있다.
상기 재치 트레이의 상기 재치부의 주위에 씰재를 설치하여, 2개의 상기 재치 트레이 또는 당해 재치 트레이와 상기 베이스 트레이가 서로 결합된 상태에서 상기 재치부에 수납된 상기 박판을 외부환경으로부터 기밀하게 격리하기 때문에, 상기 박판을 청정하게 유지할 수 있다. 또한 상기 외부수납용기 측의 씰과 더불어 상기 박판을 2중으로 씰 할 수 있다.
상기 외부수납용기의 용기 본체 내에 삽입된 상기 트레이 수납체에 대하여, 상기 용기 본체 내의 저면의 트레이 수납체 가압구와, 상기 뚜껑에 있어서 상기 용기 본체측 면의 트레이 수납체 가압구가 각 재치 트레이의 결합부에 결합하여 상기 트레이 수납체를 지지하기 때문에, 상기 트레이 수납체를 상기 외부수납용기 내에서 안정적으로 지지할 수 있다.
상기 트레이 수납체 가압구 및 결합부의 오목부 및 볼록부의 상호 접촉면을 쐐기 모양으로 경사지게 형성하고, 이들 오목부 및 볼록부가 서로 결합하여 깊게 결합해 감으로써 상기 접촉면에 의하여 위치정합이 보정되어서, 상기 트레이 수납체가 상기 트레이 수납체 가압구에 의하여 지지되기 때문에 상기 트레이 수납체를 상기 외부수납용기 내의 정확한 위치에서 안정적으로 지지할 수 있다.
상기 뚜껑을 상기 용기 본체에 부착하여 상기 트레이 수납체 가압구와 결합부를 서로 결합시킨 상태에서, 래치 기구에 의하여 상기 뚜껑을 상기 용기 본체 측으로 압입하여 고정시켜 상기 트레이 수납체 가압구와 결합부를 서로 깊게 결합시키기 때문에, 상기 트레이 수납체를 상기 외부수납용기 내의 정확한 위치에서 안정적으로 지지할 수 있다.
상기 트레이 수납체가 상기 용기 본체 내에 수납되어 상기 트레이 수납체 지지부에 의하여 지지된 상태에서, 상기 트레이 수납체와 상기 용기 본체의 사이에, 상기 외부기계장치의 처리암이 삽입되는 공간과, 당해 처리암에 의하여 지지된 상기 트레이 수납체의 들어 올리기를 허용하는 공간을 형성하였기 때문에, 상기 외부기계장치의 처리암을 상기 공간에 삽입하여 상기 트레이 수납체에 결합시켜서 당해 트레이 수납체를 들어 올려서 외부로 옮길 수 있어, 트레이 수납체의 출납의 자동화가 용이하게 된다.
상기 트레이 수납체 지지부가 열린 상태에서, 상기 외부기계장치의 처리암을, 상기 트레이 수납체 지지부와 상기 트레이 수납체의 사이에 삽입하여 상기 트레이 수납체의 상기 각 재치 트레이를 임의의 위치에서 결합을 해제하여 분리하여 내부의 박판을 출납하기 때문에, 상기 트레이 수납체를 상기 외부기계장치에 수납한 상태에서 상기 박판의 출납이 가능하게 된다.
상기 반송 로봇의 반송암이 상기 파지기구를 파지하여 상기 외부수납용기를 들어 올려서 반송하기 때문에, 자동화된 공장에서 그대로 사용할 수 있다.
상기 뚜껑이 상기 도어 가이드에 의하여 안내되어 상기 용기 본체에 부착됨과 아울러 상기 뚜껑을 상기 용기 본체에 대하여 어긋나지 않도록 지지하기 때문에, 상기 뚜껑을 상기 용기 본체에 용이하고 또한 정확하게 부착함과 아울러 외부로부터의 진동이나 충격에 대하여도, 뚜껑의 어긋남을 억제하여 안정되게 지지할 수 있다.
작업자가 핸들을 들어 외부수납용기를 들어 올리기 때문에, 작업자에 의한 반송이 용이하게 된다.
상기 외부수납용기의 대전에 의한 진애의 부착 등을 방지할 수 있기 때문에 상기 박판을 청정하게 유지할 수 있다.
상기 재치 트레이 등의 대전에 의한 진애의 부착 등을 방지할 수 있기 때문에 상기 박판을 청정하게 유지할 수 있다.
상기 투명창으로부터 내부의 상태를 확인하는 것이 가능하기 때문에 작업자가 빈 용기 등을 잘못 반송하는 경우가 없어진다.
도1은, 본 발명의 실시예에 관한 박판수납용기를 나타내는 사시도이다.
도2는, 본 발명의 실시예에 관한 트레이 수납체를 나타내는 측면도이다.
도3은, 본 발명의 실시예에 관련되는 박판수납용기의 트레이 수납체 지지부의 일례를 나타내는 개략적인 구성도이다.
도4는, 본 발명의 실시예에 관련되는 박판수납용기의 트레이 수납체 지지부의 다른 예를 나타내는 개략적인 구성도이다.
도5는, 본 발명의 실시예에 관련되는 박판수납용기의 트레이 수납체 지지부의 일례를 나타내는 개략적인 단면도이다.
도6은, 본 발명의 실시예에 관련되는 박판수납용기의 트레이 수납체 지지부의 다른 예를 나타내는 개략적인 단면도이다.
도7은, 본 발명의 실시예에 관한 박판수납용기의 트레이 수납체를 출납하는 동작을 나타내는 모식도이다.
도8은, 종래의 박판수납용기를 나타내는 사시도이다.
도9는, 본 발명의 실시예에 관련되는 박판수납용기의 트레이 수납체 지지부의 슬라이드 기구를 나타내는 개략적인 구성도이다.
도10은, 본 발명의 실시예에 관련되는 박판수납용기의 트레이 수납체 지지부의 슬라이드 기구의 다른 예를 나타내는 개략적인 구성도이다.
도11은, 본 발명의 실시예에 관한 박판수납용기의 트레이 수납체 가압구를 나타내는 사시도이다.
도12는, 본 발명의 실시예에 관한 박판수납용기의 트레이 수납체 가압구의 다른 예를 나타내는 사시도이다.
도13은, 본 발명의 실시예에 관한 박판수납용기의 래치 기구의 예를 나타내는 사시도이다.
도14는, 본 발명의 실시예에 관한 박판수납용기의 도어 가이드의 용기 본체 측을 나타내는 사시도이다.
도15는, 본 발명의 실시예에 관한 박판수납용기의 도어 가이드의 뚜껑 측을 나타내는 사시도이다.
도16은, 본 발명의 실시예에 관한 박판수납용기의 반도체 웨이퍼W의 출납의 일례를 나타내는 모식도이다.
***도면의 주요부분에 대한 부호의 설명***
11 : 박판수납용기 12 : 트레이 수납체
13 : 외부수납용기 15 : 베이스 트레이
15A : 상측 베이스 트레이 15B : 하측 베이스 트레이
16 : 재치 트레이 17 : 결합·해제수단
18 : 제1재치부 19 : 제2재치부
20 : 파지부 20A : 플랜지부
21 : 결합부 22 : 흡기로
22A : 제1흡기로 22B : 제2흡기로
23 : 씰 지지 홈 24 : 씰재
26 : 탈착조작구멍 31 : 용기 본체
31A, 31B, 31C, 31D : 측벽부 31E : 저판부
31F : 개구 31G : 뚜껑 수용부
31H : 피결합부 32 : 뚜껑
32A : 키 구멍 33 : 씰재
34 : 트레이 수납체 지지부 34A : 하측 플랜지부
35 : 트레이 수납체 가압구 36 : 파지기구
41 : 래치 기구 42 : 결합부재
43 : 구동부 44 : 캠기구
45 : 지지 커버 46 : 커버 프레서
47 : 선단 결합부 51 : 가이드 레일
52 : 슬라이더 53 : 가이드 지주
54 : 슬라이더 61 : 베이스 판부
62 : 탄성 지지부 63 : 만곡 결합부
64 : V자홈 67 : 도어 가이드
68 : 지지편 69 : 접촉편
70 : 볼록부.
이하에 본 발명의 실시예를 첨부된 도면에 의거하여 설명한다. 본 발명의 박판수납용기는, 반도체 웨이퍼, 자기기록 매체 디스크, 광기록 매체 디스크, 액정용 글라스 기판, 플렉시블 표시장치용 필름 기판 등의 전자 디바이스용의 박판을 수납하여 반송, 보관, 처리공정(제조 라인 등)에 있어서의 사용에 제공하기 위한 용기이다. 본 실시예에서는 반도체 웨이퍼를 수납하는 박판수납용기를 예로 들어 설명한다. 이 때문에 후술하는 재치 트레이는 대략 원형 모양으로 구성되어 있다. 또, 액정용 글라스 기판 등의 사각형 판재의 경우에는 재치 트레이도 사각형 모양으로 구성된다.
박판수납용기11은, 도1에 나타나 있는 바와 같이, 주로 트레이 수납체12와, 외부수납용기13으로 구성되어 있다.
트레이 수납체12는, 반도체 웨이퍼W를 직접 수납하기 위한 용기이다. 이 트레이 수납체12는, 서로 착탈 가능한 복수 매의 후술하는 재치 트레이 16을 적층한 상태로 서로 결합하여 구성되고, 각 재치 트레이16의 사이의 공간에 반도체 웨이퍼W를 각각 협지(挾持)하여 수납하도록 되어 있다. 이 트레이 수납체12는 도1∼3에 나타나 있는 바와 같이 주로, 한 쌍의 베이스 트레이15와, 각 베이스 트레이15의 사이에 삽입되는 하나 또는 복수의 재치 트레이16과, 각 재치 트레이16의 사이나 베이스 트레이15와 재치 트레이16의 사이를 서로 결합시키거나 그 결합을 해제하는 결합·해제수단17로 구성되어 있다. 도1과 3에 있어서는, 베이스 트레이15의 기재를 생략하여 개략적으로 표현하고 있다.
베이스 트레이15는, 하나 또는 복수 매 적층된 재치 트레이16의 상하의 단부(端部)에 각각 설치되어서 그 상단면 및 하단면을 보호함과 아울러 트레이 수납체12의 출납용이나 처리용의 외부기계장치(도면에는 나타내지 않는다)와 결합하기 위한 트레이이다. 베이스 트레이15는 상측 베이스 트레이15A와 하측 베이스 트레이15B로 구성되어 있다. 각 베이스 트레이15A, 15B는, 재치 트레이16에 맞추어 대략 원반 모양으로 형성되어 있다. 하측 베이스 트레이15B에는 또는 상측 베이스 트레이15A 및 하측 베이스 트레이15B에는, 외부기계장치 측에 결합하기 위한 기계적 인터페이스가 설치되어 있다. 이 기계적 인터페이스는, 키네마틱핀(kinematic pin; 도면에는 나타내지 않는다)과 결합하여 트레이 수납체12의 위치결정을 하기 위한 핀홈이나, 외부의 기계장치 측의 반송암과 결합하는 훅 구멍 등의 결합수단 등이다. 이 기계적 인터페이스로서는 사용태양에 따라 필요한 기능이 부가된다.
상측 베이스 트레이15A의 하측면은, 필요에 따라 후술하는 재치 트레이16의 하측면의 제2재치부19와 동일하게 형성된다. 하측 베이스 트레이15B의 상측면은, 필요에 따라 후술하는 재치 트레이16의 상측면의 제1재치부18과 동일한 제1재치부가 형성된다. 씰 지지 홈도 마찬가지로 형성된다.
상측 베이스 트레이15A 또는 하측 베이스 트레이15B의 어느 일방 또는 양방에는, 베이스 트레이15의 정보를 관리하기 위한 바코드(bar code), 무선 태그(無線tag) 또는 인포패드(info pad)의 어느 일부 또는 전부가 설치된다. 이에 따라 다양한 정보를, 바코드, 무선 태그 및 인포패드의 어느 일부에 의하여 관리하거나, 각각으로 나누어 관리하거나 한다.
또, 베이스 트레이15가 1장일 때에는, 베이스 트레이15는 재치 트레이16의 일측면에 부착되어 재치 트레이16을 그 일측면에서 지지한다.
재치 트레이16은, 각 베이스 트레이15의 사이에 삽입되어 반도체 웨이퍼W를 수납하여 지지하기 위한 트레이이다. 재치 트레이16은, 후술하는 파지부20 부분이 직선으로 잘려진 대략 원반 모양으로 형성되어 있다. 재치 트레이16은, 임의의 매수를 적층할 수 있다. 반도체 웨이퍼W의 매수에 대응하는 매수의 재치 트레이16을 적층하여 베이스 트레이15와 함께 트레이 수납체12를 구성한다.
재치 트레이16은, 제1재치부18과, 제2재치부19와, 결합·해제수단17과, 파지부20과, 결합부21과, 흡기로22를 구비하도록 구성되어 있다.
제1재치부18은 반도체 웨이퍼W를 재치하기 위한 부분이다. 제1재치부18 은, 재치 트레이16의 상측면에 반도체 웨이퍼W의 크기 및 형상에 맞추어 오목하게 형성되어 있다. 반도체 웨이퍼W는 원형이기 때문에 제1재치부18은 그에　따라 원형으로 형성되어 있다.
제1재치부18의 외주 테두리에는 씰 지지 홈23이 형성되어 있다. 이 씰 지지 홈23은 씰재24를 지지하기 위한 홈이다. 씰 지지 홈23은, 제1재치부18의 외주 테두리에 고리 모양으로 형성되어 있다. 이에 따라 제1재치부18과 제2재치부19와 씰재24와 트레이 본체의 벽부로 수납공간이 구성되어 있다. 씰재24는, 씰 지지 홈23에 결합된 상태에서 2개의 재치 트레이16이 적층되고 각 재치 트레이16이 서로 결합되었을 때에 형성되는 수납공간을 에워싸도록 설치되어, 이 수납공간을 외부환경으로부터 격리하여 기밀(氣密)하게 유지하도록 되어 있다. 이 수납공간은, 적어도 1장의 반도체 웨이퍼W를 수납할 수 있는 크기로 설정되어 있다. 수납공간은, 용도에 따라 2장 이상의 반도체 웨이퍼W를 동시에 수납하는 경우도 있다. 이 경우에 수납공간은, 2장 적층 또는 그 이상 포갠 반도체 웨이퍼W의 두께에 따른 치수로 설정된다.
제2재치부19는, 다른 재치 트레이16의 제1재치부18과 결합하여 외부환경과 격리된 상기 수납공간을 형성하고 또한 당해 수납공간 내에서 반도체 웨이퍼W를 협지하여 상하를 반대로 했을 때에 반도체 웨이퍼W를 재치하여 지지하기 위한 부분이다. 제2재치부19는, 제1재치부18에 재치된 반도체 웨이퍼W를, 그 상측으로부터 덮어서 이루어지는 상기 수납공간 내에 수납하여 지지한다. 제2재치부19는, 제1재치부18과 동일한 치수로 형성되어 있 다.
제1재치부18 및 제2재치부19의 표면에는, 내부에 수납된 반도체 웨이퍼W를 그 양측으로부터 가압하여 지지하기 위한 재치 볼록부(도면에는 나타내지 않는다)가 형성되어 있다. 이 재치 볼록부는, 반도체 웨이퍼W와 최소면적으로 접촉하여 반도체 웨이퍼W의 전체면을 균등하게 가압하기 위하여, 그물코 모양(network-like)으로 형성되어 있다. 이에 따라 제1재치부18과 제2재치부19의 사이의 수납공간에서 매우 얇은 반도체 웨이퍼W를 협지하여 확실하게 지지하도록 되어 있다.
제2재치부19의 외주 테두리에는 씰 수용 홈25가 형성되어 있다. 이 씰 수용 홈25는, 제1재치부18 측의 씰 지지 홈23에 의하여 지지된 씰재24가 밀착하여 상기 수납공간 내의 기밀성(氣密性)을 향상시키기 위한 부분이다.
결합·해제수단17은, 인접하는 각 재치 트레이16의 사이를 서로 결합·결합해제 하기 위한 수단이다. 이 결합·해제수단17에 의하여 복수 매 적층된 재치 트레이16을, 임의의 위치에서 결합을 해제하여 열고, 그 내부의 반도체 웨이퍼W를 꺼내거나 또는 그 부분에 반도체 웨이퍼W를 수납하여 서로 결합하도록 되어 있다. 이 결합·해제수단17로서는 공지의 기구를 사용할 수 있다. 예를 들면 훅(도면에는 나타내지 않는다)과, 이 훅에 걸려 서로 결합하는 훅 결합기구(도면에는 나타내지 않는다)와, 이 훅 결합기구를 조작하여 결합을 해제하는 조작키(도면에는 나타내지 않는다)를 삽입하는 탈착조작구멍26으로 구성된다. 또 이 결합·해제수단17로서는, 인접하는 각 재치 트레이16의 사이를 서로 결합·해제 할 수 있는 것이면 좋아 공지의 모든 구조의 결합·해제수단을 사용할 수 있다.
탈착조작구멍26은, 훅 결합기구를 착탈 조작하는 상기 조작키를 삽입하기 위한 구멍이다. 이 탈착조작구멍26은 재치 트레이16의 외측면을 향하여 형성되어 있다. 조작키는, 재치 트레이16의 외측면으로부터 탈착조작구멍26 내로 삽입되어서, 내부의 훅 결합기구와 훅을 분리하여 결합·해제수단17의 고정을 해제시키게 되어 있다.
이에 따라 결합·해제수단17은, 베이스 트레이15 및 재치 트레이16이 적층되면, 각 재치 트레이16의 사이나 베이스 트레이15와 재치 트레이16의 사이를 서로 고정하여 트레이 수납체12를 구성한다. 또한 조작키를 임의의 위치의 탈착조작구멍26에 삽입하여 결합·해제수단17의 고정을 해제함으로써, 베이스 트레이15 및 재치 트레이16을 임의의 위치에서 분리하고 다시 결합할 수 있도록 되어 있다.
파지부20은, 외부기계장치의 처리암이 결합하여 파지하기 위한 부분이다. 파지부20은, 도1 및 도3에 나타나 있는 바와 같이, 재치 트레이16에 있어서 대향하는 양 측단(도1에서 좌우 측단부)에 각각 형성되어 있다. 파지부20은, 그 종단면(縱斷面) 형상이 플랜지 모양으로 형성되어 있다. 즉 파지부20의 종단면 형상은, 그 일측부(도3에서 상부)가 좌우방향의 외측으로 돌출된 플랜지부20A를 구비하도록 구성되어 있다. 이 플랜지부20A가, 후술하는 트레이 수납체 지지부34에 결합되어 지지된다.
결합부21은, 후술하는 트레이 수납체 가압구35에 결합되는 부분이다. 이 결합부21은, 상기 재치 트레이16에 있어서, 당해 재치 트레이16이 상기 외부수납용기13 내에 수납된 상태에서 후술하는 상기 용기 본체31의 바닥측 단부 및 뚜껑측 단부(상기 재치 트레이16의 각 파지부20과 직교하는 양쪽 측단부)에 형성되어 있다. 결합부21은, 후술하는 트레이 수납체 가압구35와 결합하는 볼록부 또는 오목부를 구비한다. 여기에서는, 결합부21이 볼록부, 트레이 수납체 가압구35가 오목부로 되어 있다. 또한 그 역이라도 좋다. 즉 결합부21이 오목부, 트레이 수납체 가압구35가 볼록부라도 좋다.
볼록부인 결합부21은, 그 원호 모양의 가장자리부의 단면 형상이 쐐기 모양으로 경사져 형성되어 있다. 이에 따라 결합부21은, 후술하는 트레이 수납체 가압구35의 오목부의 경사면과 슬라이딩 하면서 접촉하여 서로 깊게 결합함으로써 일방향(一方向)(도1에서 상하방향)의 위치결정이 이루어지도록 되어 있다. 또한 결합부21은, 원호 모양이고 또한 볼록한 모양으로 만곡(彎曲)되어 있기 때문에, 원호 모양이고 또한 오목한 모양으로 만곡된 트레이 수납체 가압구35와 결합함으로써 타방향(도1에서 좌우방향)의 위치결정이 이루어지도록 되어 있다. 이에 따라 트레이 수납체12가 외부수납용기13 내에서 2개의 트레이 수납체 가압구35에 의하여 설정위치에서 안정되게 지지되도록 되어 있다.
흡기로22는, 상기 반도체 웨이퍼W가 수납되는 상기 수납공간 내를 흡인(吸引)하기 위한 통로이다. 흡기로22는, 제1흡기로22A와, 제2흡기로22B로 구성되어 있다. 제1흡기로22A는, 재치 트레이16의 제1재치부18 측과 외부환경이 통하도록 형성되어 있다. 제2흡기로22B는, 재치 트레이16의 제2재치부19 측과 외부환경이 통하도록 형성되어 있다. 각 흡기로22는, 외부 흡인장치(도면에는 나타내지 않는다)의 흡인관(도면에는 나타내지 않는다)에 접속되어서, 상기 수납공간 내부가 흡인된다.
흡기로22에는, 필요에 따라 필터나 캡을 부착한다. 필터는, 상기 수납공간 내를 청정하게 유지하기 위한 부재이다. 이 필터로서는, 사용태양에 따른 성능의 필터를 사용한다. 캡은, 상기 수납공간 내를 밀봉하여 내부를 청정하게 유지하거나, 마이너스압 상태를 유지하거나 하기 위한 부재이다.
상기 구성의 재치 트레이16은, 비대전성(非帶電性) 또는 도전성(導電性)의 고분자 재료나 도전 재료로 형성되어 있다. 또한 필요에 따라 재치 트레이16의 제1재치부18 및 제2재치부19의 부분이 외부로부터 보이도록 투명한 고분자 재료로 형성된다.
재치 트레이16의 구체적인 재료로서는, 폴리카보네이트계 수지(polycarbonate系 樹脂), 폴리부틸렌테레프탈레이트계 수지(polybutyleneterephthalate系 樹脂), 폴리메타크릴산메틸계 수지(Polymethylmethacrylate系 樹脂), 시클로올레핀계 수지(cycloolefin系 樹脂), 폴리프로필렌계 수지(polypropylene系 樹脂) 등의 열가소성 고분자 재료(熱可塑性 高分子 材料)나 불소계 수지(弗素系樹脂) 등을 사용할 수 있다. 이들의 고분자에 카본파이버(carbon fiber)나 금속 파우더(金屬 powder) 등의 도전 재료를 혼합하거나 계면활성제(界面活性劑) 등을 혼합하거나 함으로써, 도전성이나 비대전성을 부여할 수 있다.
투명한 재료로서는, 폴리카보네이트계 수지, 폴리메타크릴산메틸계 수지, 시클로올레핀계 수지, 폴리에틸렌계 수지 등이 있다.
재치 트레이16에는, 무선 태그(도면에는 나타내지 않는다)가 설치되어 있다. 무선 태그는, 재치 트레이16의 관리정보 또는 수납되어 있는 반도체 웨이퍼W의 관리정보 또는 그 양방의 관리정보가 기록되어 있다. 무선 태그는, 읽기 전용의 태그이어도 좋고, 읽고 쓰기가 가능한 태그이어도 좋다. 용도에 따른 기능을 선택하면 좋다. 또한 무선 태그의 설치위치는 재치 트레이16의 상측 표면이어도 좋고, 외측면이어도 좋고, 하측면이어도 좋다. 무선 태그에 대하여 읽고 쓰기를 하는 외부장치와의 사이에서 송수신 할 수 있는 위치이면 좋다. 또 무선 태그 대신에, 상기와 동일한 정보를 기록한 바코드나 인포패드를 설치하여도 좋다. 또한 이들 중의 어느 일부 또는 전부를 설치하여도 좋다. 관리하는 정보에 따라 적당하게 설정한다.
외부수납용기13은, 트레이 수납체12를 내부에 수납하기 위한 용기이다. 외부수납용기13은, 개구31F를 일단에 구비하고 자루 모양으로 형성된 용기 본체31과, 당해 용기 본체31의 상기 개구31F를 막는 뚜껑32와, 당해 뚜껑32와 상기 용기 본체31의 사이에 설치되어 상기 용기 본체31 내를 외부 분위기(外部 雰圍氣)로부터 기밀하게 격리하는 씰재33과, 상기 용기 본체31 내 의 대향하는 2개의 내측면에 각각 설치되고 상기 트레이 수납체12의 모든 재치 트레이16의 파지부20 또는 일부의 재치 트레이16의 파지부20을 파지하여 상기 트레이 수납체12를 지지하는 한 쌍의 트레이 수납체 지지부34와, 상기 트레이 수납체12를 상기 용기 본체31의 저면 측과 상기 뚜껑32에 있어서 상기 용기 본체31 측으로부터 협지하여 지지하는 트레이 수납체 가압구35와, 공장 내의 반송 로봇(도면에는 나타내지 않는다)의 반송암에 의하여 파지되어 외부수납용기13을 들어 올리게 하는 파지기구36과, 작업자가 손으로 잡음으로써 상기 외부수납용기13을 들어 올리기 위한 핸들(도면에는 나타내지 않는다)로 구성되어 있다.
용기 본체31은, 전체가 대략 입방체 모양으로 형성되어 있다. 이 용기 본체31은, 4장의 측벽부31A, 31B, 31C, 31D와 저판부31E로 구성되고, 그 상부에 개구31F가 형성되어 있다. 이 용기 본체31은, 반도체 웨이퍼W의 제조 라인 등에 있어서 웨이퍼 반송장치(도면에는 나타내지 않는다)와 대향하여 설치되는 때에는 횡렬로 배치된다. 이렇게 눕힌 상태(도1의 상태)에서 바닥이 되는 측벽부31B의 외측에는, 키네마틱핀에 결합하는 홈 등의 위치결정수단(도면에는 나타내지 않는다)이 형성되어 있다.
용기 본체31의 각 측벽부31A, 31B, 31C, 31D의 단부(개구31F측 부분)에는, 뚜껑32가 결합하기 위한 뚜껑 수용부31G가 형성되어 있다. 뚜껑 수용부31G의 네 구석에는, 후술하는 뚜껑32의 래치 기구41이 결합하여 뚜껑32를 용기 본체31 측에 고정하기 위한 오목부인 피결합부31H가 형성되어 있다.
뚜껑32는, 용기 본체31의 상기 개구31F를 막기 위한 부재이다. 뚜껑32는, 도1과 5에 나타나 있는 바와 같이 대략 평판 모양으로 형성되고, 용기 본체31의 뚜껑 수용부31G에 결합된다. 뚜껑32와 용기 본체31의 사이에는, 뚜껑32를 용기 본체31에 고정하기 위한 래치 기구41이 설치되어 있다. 뚜껑32의 외측 표면에는 래치 기구41을 조작하는 키(도면에는 나타내지 않는다)를 삽입하기 위한 키 구멍32A가 2개 형성되어 있다.
이 래치 기구41은, 뚜껑32를 상기 용기 본체31에 부착하여 상기 트레이 수납체 가압구35와 결합부21을 서로 결합시킨 상태에서, 상기 뚜껑32를 상기 용기 본체31 측으로 압입하여 고정시킴과 아울러 상기 트레이 수납체 가압구35와 결합부21을 서로 깊게 결합시키기 위한 기구이다. 이 래치 기구41은 도13에 나타나 있는 바와 같이 주로, 결합부재42와, 구동부43과, 캠기구44와, 지지 커버45와, 커버 프레서46으로 구성되어 있다.
결합부재42는, 뚜껑32가 용기 본체31의 뚜껑 수용부31G에 장착된 상태에서, 용기 본체31 측으로 신장하여 뚜껑 수용부31G의 피결합부31H에 결합하기 위한 부재이다.
구동부43은, 결합부재42에 연결되어 결합부재42를 출몰시키기 위한 부재이다. 이 구동부43은, 뚜껑32 내에 회전 가능하게 부착되어 있다.
캠기구44는, 구동부43에 의하여 신장된 결합부재42의 선단 결합부47이 뚜껑 수용부31G의 피결합부31H에 결합된 상태에서, 그 피결합부31H의 상면에 접촉하여 뚜껑32를 용기 본체31 측으로 밀어서 고정시키기 위한 부재이다.
지지 커버45는, 결합부재42와 구동부43을 지지하기 위한 부재이다. 커버 프레서46은, 지지 커버45를 뚜껑32 측에 고정시키기 위한 부재이다.
구동부43에 의하여 신장된 결합부재42의 선단 결합부47을 상기 캠기구44에 의하여 밀어 올려서 피결합부31H의 상면에 접촉시킴과 아울러 기단부를 밀어 내림으로써 지렛대의 원리에 의하여 뚜껑32를 용기 본체31 측으로 밀어 내려서 고정시키도록 되어 있다. 이에 따라 상기 트레이 수납체 가압구35와 결합부21이 서로 깊게 결합하도록 되어 있다.
씰재33은, 뚜껑32와 용기 본체31의 사이에 설치되어 있다. 이 씰재33은, 구체적으로는 도5에 나타나 있는 바와 같이 용기 본체31 내를 외부 분위기로부터 기밀하게 격리하기 위한 부재이다. 씰재33은, 그 기단부가 뚜껑32의 내측면(용기 본체31 측면)에 형성된 결합홈32B에 결합되어서 지지되고, 선단부가 용기 본체31의 뚜껑 수용부31G와 그 전체 테두리에 걸쳐서 접촉하여 용기 본체31 내를 밀봉하도록 되어 있다.
트레이 수납체 지지부34는, 상기 트레이 수납체12를 지지하기 위한 부재이다. 트레이 수납체 지지부34는, 도1과 3에 나타나 있는 바와 같이 용기 본체31 내의 대향하는 2개의 내측면에 각각 설치되고, 상기 트레이 수납체12의 모든 재치 트레이16의 파지부20 또는 일부의 재치 트레이16의 파지부20을 파지하여 상기 트레이 수납체12를 지지한다. 트레이 수납체 지지부34는, 전체 형상이 대략 평판모양으로 구성되어 있다. 구체적으로는, 파지부20의 플랜지부20A를 그 하측으로부터 지지하는 하측 플랜지부34A를 평판 모양의 기판에 다수 구비하도록 구성되어 있다. 이 트레이 수납체 지지부34는, 용기 본체31의 측벽부31C, 31D에 부착되어 슬라이드 가능하게 있다. 구체적으로는, 2개의 트레이 수납체 지지부34가 서로 근접하여 도3(A)에 나타나 있는 바와 같이 하측 플랜지부34A가 파지부20의 플랜지부20A에 결합하여 트레이 수납체12를 지지한 상태로부터, 서로 이간하여 도3(B)에 나타나 있는 바와 같이 하측 플랜지부34A가 파지부20의 플랜지부20A로부터 떨어져서 대기한 상태까지, 트레이 수납체 지지부34가 슬라이드 할 수 있도록 설치되어 있다. 또, 하측 플랜지부34A의 매수는, 트레이 수납체12를 지지할 수 있는 매수이면 좋고, 반드시 파지부20의 모든 플랜지부20A에 결합할 수 있는 매수로 할 필요는 없다.
상기 트레이 수납체12가 상기 용기 본체31 내에 수납되고 상기 트레이 수납체 지지부34에 의하여 지지된 상태에서, 상기 트레이 수납체12와 상기 용기 본체31의 사이(도1에서 상하방향의 상기 트레이 수납체12와 상기 용기 본체31의 사이)에는, 상기 외부기계장치의 처리암이 삽입되는 공간과, 당해 처리암에 의하여 지지된 상기 트레이 수납체12를 들어 올릴 수 있는 공간이 형성되어 있다. 이들 공간에 의하여 상기 트레이 수납체12가 상기 트레이 수납체 지지부에 의하여 지지된 상태에서, 상기 외부기계장치의 처리암이 상기 공간으로 삽입되고 상기 트레이 수납체12에 결합되어, 당해 처리암에 의하여 지지된 트레이 수납체12를 들어 올려서 외부로 옮기게 되어 있다.
또한 트레이 수납체 지지부34가 열린 상태에서 당해 트레이 수납체 지지부34와 상기 트레이 수납체12의 사이에 상기 외부기계장치의 처리암이 삽입되는 공간이 형성되어 있다. 이 공간에 의하여 상기 트레이 수납체 지지부34가 열린 상태에서, 상기 외부기계장치의 처리암을 상기 트레이 수납체 지지부와 상기 트레이 수납체12의 사이에 삽입시켜 상기 트레이 수납체12의 상기 각 재치 트레이16을 임의의 위치에서 결합을 해제하여 분리하고, 내부의 박판을 출납하도록 되어 있다.
여기에서 트레이 수납체 지지부34의 다른 예를 도4에 나타낸다. 트레이 수납체 지지부34는, 도면에 나타나 있는 바와 같이, 하측 플랜지부34A 대신에, 파지부20의 플랜지부20A에 결합되는 V자홈34B를 형성하여 구성되어 있다. 또 다른 예를 도6에 나타낸다. 여기에서는, 트레이 수납체 지지부34를, 2개의 평판 모양이 아니라 4개의 사각형 막대 모양체로 구성하고 있다. 이 4개의 사각형 막대 모양체로 이루어지는 트레이 수납체 지지부34는 회전 가능하게 지지되어서, 도6(A)의 상태에서 트레이 수납체12를 지지하고, 도6(B)의 상태로 회전하여 트레이 수납체12의 지지를 해제하도록 되어 있다. 트레이 수납체 지지부34는, 파지부20의 플랜지부20A에 결합되어 트레이 수납체12를 지지할 수 있는 구조이면, 다른 구조이어도 좋다.
이 트레이 수납체 지지부34의 슬라이드를 지지하는 슬라이드 기구로서는, 공지의 기구를 사용할 수 있다. 예를 들면 슬라이드 기구를, 도9에 나타나 있는 바와 같이 가이드 레일51과 슬라이더52로 구성하더라도 좋다. 가이드 레일51은, 용기 본체31의 측벽부31A, 31B에 부착된다. 슬라이더52는, 가이드 레일51에 의하여 지지되어 슬라이드 가능하게 됨과 아울러 트레이 수납체 지지부34의 단부에 고정된다. 이에 따라 각 트레이 수납체 지지부34는, 가이드 레일51과 슬라이더52에 의하여 지지되면서 서로 근접(近接)하거나 이간(離間)한다.
또한 슬라이드 기구를, 도10에 나타나 있는 바와 같이 가이드 지주53과 슬라이더54로 구성하더라도 좋다. 가이드 지주53은, 용기 본체31의 측벽부31C, 31D에 부착되어 회전 가능한 것이다. 가이드 지주53의 외주면에는 나사산이 형성되어 있다. 슬라이더54는, 가이드 지주53에 나사 결합되어 슬라이드 가능하게 지지되고 또한 트레이 수납체 지지부34의 단부에 고정된다. 이에 따라 각 가이드 지주53을 회전시킴으로써, 각 트레이 수납체 지지부34는 슬라이더54에 의하여 지지되면서 서로 근접하거나 이간한다.
트레이 수납체 가압구35는, 트레이 수납체12를 협지하여 지지하기 위한 부재이다. 이 트레이 수납체 가압구35는, 도5에 나타나 있는 바와 같이 상기 외부수납용기13의 용기 본체31 내의 저면과, 상기 뚜껑32에 있어서 상기 용기 본체31 측의 면에 각각 설치되어 있다. 이 트레이 수납체 가압구35는, 상기 뚜껑32를 상기 용기 본체31에 부착했을 때에, 상기 용기 본체31 내에 수납된 상기 트레이 수납체12를, 상기 용기 본체31의 저면 측과 상기 뚜껑32에 있어서 상기 용기 본체31 측으로부터 협지하여 지지한다.
트레이 수납체 가압구35는, 도5와 11에 나타나 있는 바와 같이 베이 스 판부61과, 탄성 지지부62와, 만곡 결합부63으로 구성되어 있다. 베이스 판부61은, 탄성 지지부62 및 만곡 결합부63을 지지하기 위한 기판이다. 베이스 판부61은, 용기 본체31 내의 저면 및 상기 뚜껑32에 있어서 상기 용기 본체31 측의 면에 직접 부착된다. 탄성 지지부62는 팬터그래프(pantagraph) 모양으로 접어 구부려서 형성되어, 만곡 결합부63을 탄성적으로 지지하도록 되어 있다. 만곡 결합부63은, 트레이 수납체12의 결합부21에 맞도록 오목한 모양으로 만곡하여 형성되어 있다. 만곡 결합부63에는, 쐐기 모양의 볼록부인 결합부21에 결합되고 단면이 V자 형상의 V자홈64가 형성되어 있다. 이에 따라 결합부21 및 V자홈64의 각 접촉면은 쐐기 모양으로 경사져 형성되어 있다. 이 결합부21과 V자홈64가 서로 접촉하여 슬라이딩 하면서 안까지 서로 결합함으로써, 만곡면과 경사면에 의하여 상하좌우의 위치결정이 되면서 지지하도록 되어 있다. 이 V자홈64의 수는, 트레이 수납체12의 결합부21과 같거나 또는 그 이상의 수이어도 좋고, 결합부21보다도 적은 수이어도 좋다. 트레이 수납체12를 확실하게 지지할 수 있는 수의 V자홈64를 형성한다. 또, 여기에서는 탄성 지지부62와 만곡 결합부63을 띠 모양의 부재로 하여 구성하고, 설정된 개수를 베이스 판부61에 일체로 설치하는 구성으로 하였지만, 도12에 나타나 있는 바와 같이 판 모양으로 구성하더라도 좋다.
이렇게 함으로써, 용기 본체31 내의 저면측과 상기 뚜껑32에 있어서 상기 용기 본체31 측의 2개의 트레이 수납체 가압구35의 만곡 결합부63의 V 자홈64가 트레이 수납체12의 각 결합부21에 각각 결합함으로써, 트레이 수납체12를 외부수납용기13에 대하여 전후, 좌우 및 상하의 위치결정을 하면서 탄성적으로 지지하도록 되어 있다. 이 트레이 수납체 가압구35는, 탄성 지지부62가 탄성을 구비하는 합성수지 등의 재료로 형성되어 있다. 만곡 결합부63은 트레이 수납체12의 각 결합부21에 견고하게 결합하도록, 경질의 합성수지 등의 재료에 의하여 성형되는 것이 바람직하다. 베이스 판부61은, 탄성 지지부62와 만곡 결합부63을 지지할 수 있는 재료이면 된다. 또, 탄성 지지부62와 만곡 결합부63을 경질의 합성수지 등으로 견고하게 지지하여도 좋다. 박판수납용기11의 반송 중에 진동이나 충격이 박판수납용기11에 가해질 우려가 많은 경우에는, 탄성 지지부62 및 만곡 결합부63 등에 탄성을 갖게 하여 트레이 수납체12를 탄성적으로 지지하여 외부로부터의 진동 등을 트레이 수납체 가압구35에 의하여 흡수하도록 한다. 진동 등이 적은 경우에는, 탄성 지지부62 및 만곡 결합부63 등을 경질의 재료로 구성하여 트레이 수납체12를 견고하게 지지한다. 사용태양에 따라 경질의 재료와 탄성 재료를 선택하여 사용할 수 있다.
상기 외부수납용기13의 상기 용기 본체31과 상기 뚜껑32의 사이에는, 도14와 15에 나타나 있는 바와 같이 뚜껑32를 용기 본체31에 부착할 때에 안내함과 아울러 뚜껑32를 용기 본체31에 대하여 어긋나지 않도록 지지하는 도어 가이드67이 설치되어 있다. 이 도어 가이드67은 지지편68과 접촉편69로 구성되어 있다.
지지편68은 상기 뚜껑32를 지지하기 위한 부재이다. 지지편68은, 상기 용기 본체31의 뚜껑 수용부31G의 4개의 변에 각각 설치되어 있다. 또한 지지편68은, 뚜껑 수용부31G의 4개의 변 중에서 적어도 상기 용기 본체31을 눕힌 상태에서의 하측의 변에 설치되어 있는 것이 바람직하다.
지지편68은 쐐기 모양으로 형성되어 있다. 지지편68의 겉의 중앙에는 그 전체 길이에 걸쳐서 볼록부70이 형성되어 있다. 이 볼록부70은 접촉편69에 직접 접촉하여 지지하기 위한 부분이다.
접촉편69는, 상기 지지편68에 접촉하여 상기 뚜껑32를 지지하기 위한 부재이다. 접촉편69는, 상기 뚜껑32의 가장자리 중에서 상기 지지편68과 대향하는 네 구석의 위치에 설치되어 있다. 이 접촉편69는 용기 본체31의 지지편68에 접촉하여 뚜껑32를 지지한다. 접촉편69는, 뚜껑32의 모서리 부분을 덮도록 만곡하여 형성되어 있다.
또 도어 가이드67은, 지지편68 또는 접촉편69의 어느 일방에만 설치되도록 하여도 좋다.
상기 외부수납용기13은 그 일부 또는 전부가 비대전성 재료 또는 도전 재료로 형성되어 있다. 또한 외부수납용기의 일부에 투명창을 형성하더라도 좋다. 이 투명창은 내부의 트레이 수납체12를 확인하기 위한 창(윈도우)이다. 이 투명창은, 트레이 수납체12의 재치 트레이16의 투명창에 맞는 위치에 설치하여도 좋다. 이에 따라 외부수납용기13의 투명창에 의하여 외부수납용기13 내에 트레이 수납체12가 있는지 아닌지를 확인함과 아울러 외 부수납용기13의 투명창과 재치 트레이16의 투명창을 통하여 반도체 웨이퍼W를 확인할 수 있다.
횡으로 배치된 상태의 용기 본체31의 천장부가 되는 측벽부31A의 외측에는, 도1에 나타나 있는 바와 같이 파지기구36이 착탈할 수 있도록 부착되어 있다. 상기 외부수납용기의 용기 본체31은 반송 로봇의 반송암에 의하여 파지되어서 소정의 위치로 반송된다.
횡으로 배치된 상태의 용기 본체31의 횡벽부가 되는 측벽부31C, 31D의 외측에는, 운반용의 핸들(도면에는 나타내지 않는다)이 착탈할 수 있도록 부착된다. 작업자는 이 핸들을 잡고 외부수납용기를 들어 올리도록 되어 있다. 이 핸들은, 용도에 따라 적당하게 설치되거나 설치되지 않거나 한다. 또, 핸들은 일체로 설치되는 경우도 있다. 파지기구36도 일체로 설치되는 경우도 있다.
[작용]
이상과 같이 구성된 박판수납용기11은 다음과 같이 사용된다.
우선, 지지할 반도체 웨이퍼W의 매수에 맞춘 매수의 재치 트레이16이 적층된다. 각 재치 트레이16에는 그 제1재치부18에 각 반도체 웨이퍼W가 재치되고, 각 재치 트레이16 및 각 반도체 웨이퍼W의 다양한 정보가 각각의 무선 태그 등에 기록된다. 이들 재치 트레이16 등은 적층되고 결합·해제수단17에 의하여 서로 결합되어 트레이 수납체12가 구성된다.
이 트레이 수납체12는, 외부수납용기13의 용기 본체31 내에 삽입되어 트레이 수납체 지지부34에 의하여 양측으로부터 지지된다. 또한 용기 본체31의 뚜껑 수용부31G에 뚜껑32가 자동 또는 수동으로 부착되고, 래치 기구41이 뚜껑32를 용기 본체31 측에 고정시킨다. 이에 따라 2개의 트레이 수납체 가압구35가 트레이 수납체12의 결합부21에 결합하여, 트레이 수납체12를 용기 본체31 내에서 그 전후, 좌우 및 상하로 정확하게 위치결정 하여 지지한다. 이 때에, 트레이 수납체12는, 트레이 수납체 지지부34에 대하여는 약간 뜬 상태로 지지된다. 이에 따라 접촉 면적이 작아져서 마찰에 의한 먼지의 발생이 억제된다. 또, 2개의 트레이 수납체 가압구35에 의하여 트레이 수납체12를 지지한 상태에서, 트레이 수납체 지지부34에 파지부20의 플랜지부20A가 접촉하여 지지된 상태가 되도록 설정하더라도 좋다. 외부로부터의 진동이나 충격을 방지하는 경우에는 뜬 상태로 한다. 견고하게 지지하는 경우에는 접촉시킨다.
또한 이 트레이 수납체12를 외부수납용기13 내에 수납할 때에는, 베이스 트레이15는 없어도 좋다. 출납 시의 지지를 위하여, 하측의 베이스 트레이15 만을 설치하여도 좋다.
이 상태에서, 박판수납용기11을 공장 등으로 반송한다. 박판수납용기11은, 종으로 배치되든지, 횡으로 배치되든지 임의의 방향으로 재치할 수 있다. 복수의 박판수납용기11이 적층되는 경우도 있다. 공장 등에서는 박판수납용기11 내의 반도체 웨이퍼W를 꺼낸다. 이 때에, 트레이 수납체12를 외부수납용기13으로부터 꺼내는 경우에는 도7(A)의 상태에서 도7(B)과 같이 반송암72를 삽입하여 도7(C)과 같이 반송암72를 트레이 수납체12에 결합시켜서 지지한다. 이 상태에서, 도7(D)과 같이 트레이 수납체 지지부34를 열어서 대기상태로 한다. 계속하여 반송암72를 빼내어 트레이 수납체12를 꺼낸다. 꺼낸 트레이 수납체12는, 각 재치 트레이16이 임의의 위치에서 분리되어 내부의 반도체 웨이퍼W가 꺼내진다.
또한 트레이 수납체12를 외부수납용기13의 용기 본체31 내에서 여는 경우에는, 도16에 나타나 있는 바와 같이 반송암72에 의하여 트레이 수납체12를 지지한 상태에서 개폐용의 암73을 삽입하고, 조작키를 탈착조작구멍26에 삽입하여 트레이 수납체12의 각 재치 트레이16을 임의의 위치에서 분리하여 내부의 반도체 웨이퍼W를 꺼낸다. 처리종료 후에 반도체 웨이퍼W를 되돌린 후에는, 열린 재치 트레이16을 닫고 결합·해제수단17에 의하여 서로 결합시킨다.
또, 반도체 웨이퍼W 만을 출납하는 경우 이외에, 재치 트레이16에 반도체 웨이퍼W를 재치한 상태에서 재치 트레이16 별로 출납하는 경우도 있다.
[효과]
상기와 같은 구성, 효과에 따라, 박판수납용기11은 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
각 재치 트레이16의 사이의 공간에 반도체 웨이퍼W를 수납한 트레이 수납체12를 외부수납용기13 내에 수납함으로써 반도체 웨이퍼W를 이중구조로 수납하기 때문에, 반도체 웨이퍼W를 안전하고 또한 확실하게 수납하여 지지할 수 있다.
상기 반도체 웨이퍼W가 수납된 상기 트레이 수납체12를 외부수납용기13 내에 수납하여 한 쌍의 트레이 수납체 지지부34에 의하여 재치 트레이16의 파지부20을 파지하여 트레이 수납체12를 지지하기 때문에, 외부수납용기13 내에 수납된 트레이 수납체12를 확실하게 지지할 수 있다. 또한 전후, 좌우 및 상하의 위치결정을 한 상태로 지지할 수 있다. 그 결과, 외부로부터의 진동이나 충격에 대하여, 이 진동 등을 트레이 수납체 지지부34로 흡수하면서 상기 반도체 웨이퍼W를 안전하고 또한 확실하게 지지할 수 있다. 또한 외부수납용기13 내를 씰재33으로 밀봉하기 때문에, 내부를 청정한 상태로 유지할 수 있다.
상기 트레이 수납체12에 있어서 서로 결합된 각 재치 트레이16 사이의 상기 반도체 웨이퍼W를 수납하는 공간을 기밀하게 지지하기 때문에, 상기 반도체 웨이퍼W를 트레이 수납체12와 외부수납용기13으로 2중으로 씰 할 수 있어 씰 기능을 대폭적으로 향상시킬 수 있다. 그 결과, 가령 외부수납용기13의 씰 기능이 저하되었을 경우에도, 반도체 웨이퍼W를 청정한 상태로 유지할 수 있다.
재치부18에 반도체 웨이퍼W를 재치한 상태에서 인접하는 2개의 상기 재치 트레이16을 결합·해제수단17에 의하여 서로 결합시켜서 상기 반도체 웨이퍼W를 지지하기 때문에, 복수개 적층한 재치 트레이16의 임의의 위치에 서 결합·해제수단17을 해제하여 반도체 웨이퍼W를 출납할 수 있다. 그 결과, 출납작업의 작업성이 향상된다.
상기 재치부18에 반도체 웨이퍼W를 재치한 상태에서 인접하는 2개의 재치 트레이16 또는 당해 재치 트레이16과 상기 베이스 트레이15를 결합·해제수단17에 의하여 서로 결합시켜서 반도체 웨이퍼W를 지지하기 때문에, 복수개 적층한 재치 트레이16 및 베이스 트레이15의 임의의 위치에서 결합·해제수단17을 해제하여 반도체 웨이퍼W를 출납할 수 있다. 또한 재치 트레이16과 베이스 트레이15로 구성된 트레이 수납체12에서는, 베이스 트레이15가 상기 기계적 인터페이스를 통하여 상기 외부기계장치 측에 결합하여 당해 외부기계장치 측에 의하여 트레이 수납체12가 지지되기 때문에, 트레이 수납체12를 상기 외부기계장치에 대하여 용이하고 또한 확실하게 출납할 수 있다.
재치 트레이16의 재치부18의 주위에 씰재24를 설치하여, 2개의 재치 트레이16 또는 재치 트레이16과 베이스 트레이15를 서로 결합한 상태에서 상기 재치부18에 수납된 반도체 웨이퍼W를 외부환경으로부터 기밀하게 격리하기 때문에, 반도체 웨이퍼W를 청정하게 유지할 수 있다. 또한 외부수납용기13의 씰과 더불어 반도체 웨이퍼W를 2중으로 씰 할 수 있다. 그 결과, 어느 일방의 씰 기능이 저하되어도 다른 일방의 씰에 의하여 반도체 웨이퍼W를 청정하게 유지할 수 있다.
외부수납용기13의 용기 본체31 내에 삽입된 트레이 수납체12에 대하여, 상기 용기 본체31 내의 저면의 트레이 수납체 가압구35와, 상기 뚜껑32에 있어서 상기 용기 본체31 측 면의 트레이 수납체 가압구35가, 각 재치 트레이16의 결합부21에 결합하여 트레이 수납체12를 지지하기 때문에, 트레이 수납체12를 외부수납용기13 내에 안정적으로 또한 확실하게 지지할 수 있다.
상기 트레이 수납체 가압구35 및 결합부21의 오목부 및 볼록부의 상호 접촉면을 쐐기 모양으로 경사지게 형성하고 이들 오목부 및 볼록부가 서로 깊게 결합함으로써, 상기 접촉면에서 위치정합 보정이 이루어져 트레이 수납체12가 트레이 수납체 가압구35에 의하여 지지되기 때문에, 트레이 수납체12를 외부수납용기13 내의 정확한 위치에서 안정적으로 지지할 수 있다.
상기 뚜껑32를 상기 용기 본체31에 부착하여 상기 트레이 수납체 가압구35와 결합부21을 서로 결합시킨 상태에서, 래치 기구41에 의하여 상기 뚜껑32를 상기 용기 본체31 측으로 압입하여 고정시켜 상기 트레이 수납체 가압구35와 결합부21을 서로 깊게 결합시키기 때문에, 상기 트레이 수납체12를 상기 외부수납용기13 내의 정확한 위치에서 안정적으로 지지할 수 있다.
상기 트레이 수납체12가 상기 용기 본체31 내에 수납되고 상기 트레이 수납체 지지부34에 의하여 지지된 상태에서, 상기 트레이 수납체12와 상기 용기 본체31의 사이에, 상기 외부기계장치의 처리암이 삽입되는 공간과, 당해 처리암에 의하여 지지된 상기 트레이 수납체를 들어 올릴 수 있는 공간을 형성하였기 때문에, 상기 외부기계장치의 처리암을 상기 공간에 삽입하여 상기 트레이 수납체12에 결합시켜서 당해 트레이 수납체12를 들어 올려 외부로 옮길 수 있어, 트레이 수납체12의 출납의 자동화가 용이하게 된다. 그 결과, 자동제어의 제조 라인에도 용이하게 사용할 수 있다.
상기 트레이 수납체 지지부34가 열린 상태에서, 상기 외부기계장치의 처리암을 상기 트레이 수납체 지지부34와 상기 트레이 수납체12의 사이에 삽입하여 상기 트레이 수납체12의 상기 각 재치 트레이16을 임의의 위치에서 결합 해제함으로써 분리하여 내부의 반도체 웨이퍼W를 출납하기 때문에, 상기 트레이 수납체12를 상기 외부수납용기13에 수납한 상태에서 상기 반도체 웨이퍼W의 출납이 가능하게 된다. 그 결과, 자동화된 공장의 기존의 제조 라인에도 그대로 사용할 수 있다.
반송 로봇의 반송암이 상기 파지기구36을 파지하여 외부수납용기13을 들어 올려서 반송하기 때문에, 자동화된 공장에서 그대로 사용할 수 있다.
상기 뚜껑32가 상기 도어 가이드67에 의하여 안내되어 상기 용기 본체31에 부착됨과 아울러 상기 뚜껑32가 상기 용기 본체31에 대하여 어긋나지 않도록 지지되기 때문에, 상기 뚜껑32를 상기 용기 본체31에 용이하고 또한 정확하게 부착함과 아울러 외부로부터의 진동이나 충격에 대하여도 뚜껑32의 어긋남을 억제하여 안정되게 지지할 수 있다. 그 결과, 내부의 반도체 웨이퍼W를 보호하고 또한 뚜껑32의 어긋남에 의한 내부의 기밀성의 저하를 방지할 수 있다.
외부수납용기13에 핸들을 설치하기 때문에, 작업자가 핸들을 들어 용이하게 외부수납용기13을 들어올릴 수 있어 작업자에 의한 반송이 용이하게 된다. 또한 외부수납용기13의 대전(帶電)에 의한 진애(塵埃)의 부착 등을 방지할 수 있기 때문에 반도체 웨이퍼W를 청정하게 유지할 수 있다. 재치 트레이16 등의 대전에 의한 진애의 부착 등을 방지할 수 있기 때문에 반도체 웨이퍼W를 청정하게 유지할 수 있다.
외부수납용기13 등에 투명창을 설치하여 내부의 상태를 확인하는 것이 가능하기 때문에, 작업자가 빈 용기 등을 잘못하여 반송하는 일이 없어진다.
[변형예]
상기 실시예에서는 베이스 트레이15를 상하로 2개 설치하였지만, 하측 1개만 설치하여도 좋다. 또한 상측 1개만 설치하여도 좋다. 트레이 수납체12를 하측으로부터 지지하는 경우에는 베이스 트레이15를 하측에 설치한다. 트레이 수납체12를 상측으로부터 지지하는 경우에는 베이스 트레이15를 하측에 설치한다.
상기 실시예에서는 결합부21 등을 V자 모양으로 뾰족하게 한 쐐기 모양으로 형성하였지만, 단면이 사다리꼴 등 다른 형상으로 하여도 좋다. 서로 결합하여 위치결정 할 수 있는 형상이면 좋다. 즉 서로 결합했을 때에 위치결정 방향으로 힘의 균형이 잡히는 위치가 오직 하나 존재하면 좋다.
재치 트레이16이나 외부수납용기13은, 부분적으로 다른 재료로 구성하더라도 좋다. 예를 들면 비대전성 재료 또는 도전 재료와, 투명한 재료를 적절하게 사용하여도 좋다. 이에 따라 반도체 웨이퍼W의 표면에 먼지가 흡착되는 것을 방지할 수 있어, 반도체 웨이퍼W를 청정하게 유지할 수 있다. 또한 이 반도체 웨이퍼W를 청정하게 유지하는 기능을 유지한 상태로 재치 트레이16 등을 다양한 재료로 구성할 수 있다. 그 결과, 재치 트레이16 측에 기본적인 기능인 반도체 웨이퍼W를 청정하게 유지하는 기능을 갖게 한 상태에서, 탄성 지지부62 측에 다양한 기능을 갖게 할 수 있고, 재치 트레이16을 다양한 기능을 갖춘 트레이로 할 수 있으므로, 그 기능에 따른 다양한 용도로 사용할 수 있다.
외부수납용기13에는, 필요에 따라 호흡 밸브나 필터를 설치하여도 좋다. 반송시에 기압의 변동이 큰 경우에는, 외부수납용기13에 호흡 밸브나 필터를 설치한다.
상기 실시예에서는 트레이 수납체12와 외부수납용기13을 2중으로 씰 하는 구성으로 하였지만, 어느 일방 만을 씰 하더라도 좋다. 특히, 트레이 수납체12에 씰을 설치하지 않을 경우가 있다. 요구되는 씰 성능에 따라 설정한다.
상기 실시예의 박판수납용기11은 반송과 공장 내에서의 양방에 사용될 수 있다.
상기 실시예에서는 뚜껑32에도 트레이 수납체 가압구35를 설치하였지만, 뚜껑32 측은, 뚜껑32의 하측면을 결합부21에 맞추어 오목하게 형성하더라도 좋다.

Claims (18)

  1. 서로 착탈(着脫) 가능한 복수 매의 재치 트레이(載置 tray)를 적층(積層)한 상태에서 서로 결합하여 구성되고, 각 재치 트레이의 사이의 공간에 박판(薄板)을 각각 협지(挾持)하여 수납(收納)하는 트레이 수납체(tray 收納體)와,
    당해 트레이 수납체를 내부에 수납하는 외부수납용기(外部收納容器)를
    구비하도록 구성된 것을 특징으로 하는 박판수납용기(薄板收納容器).
  2. 제1항에 있어서,
    상기 트레이 수납체의 각 재치 트레이의 대향하는 양 측단에, 외부기계장치의 처리암(處理arm)이 결합하여 파지(把持)하는 한 쌍의 파지부(把持部)가 형성되고,
    상기 외부수납용기가,
    개구(開口)를 일단(一端)에 구비하고 자루 모양으로 형성된 용기 본체와,
    당해 용기 본체의 상기 개구를 막는 뚜껑과,
    당해 뚜껑과 상기 용기 본체의 사이에 설치되어서 상기 용기 본체 내를 외부 분위기(外部雰圍氣)로부터 기밀(氣密)하게 격리(隔離)시키는 씰 재(seal材)와,
    상기 용기 본체 내의 대향하는 2개의 내측면에 각각 설치되어 상기 트레이 수납체를 지지하는 한 쌍의 트레이 수납체 지지부를
    구비하도록 구성된 것을 특징으로 하는 박판수납용기.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 트레이 수납체가, 서로 결합된 각 재치 트레이의 사이의 상기 박판을 수납하는 공간을 기밀하게 유지하는 것을 특징으로 하는 박판수납용기.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 트레이 수납체가,
    서로 결합되는 복수의 재치 트레이와,
    인접하는 각 재치 트레이의 사이를 서로 독립적으로 결합시키거나 그 결합을 해제하는 결합·해제수단과,
    상기 각 재치 트레이에 각각 형성되고, 인접하는 2개의 상기 재치 트레이가 협동하여 상기 박판을 지지할 때에 당해 박판이 재치되는 재치부를
    구비하도록 구성된 것을 특징으로 하는 박판수납용기.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 트레이 수납체가,
    외부기계장치 측에 결합하기 위한 기계적 인터페이스를 구비하는 하나 또는 한 쌍의 베이스 트레이(base tray)와,
    당해 베이스 트레이의 일측면에 또는 각 베이스 트레이의 사이에 삽입되어서 서로 결합되는 하나 또는 복수의 재치 트레이와,
    당해 각 재치 트레이의 사이나 상기 베이스 트레이와 재치 트레이의 사이를 서로 독립적으로 결합시키거나 그 결합을 해제하는 결합·해제수단과,
    상기 각 재치 트레이에 각각 형성되고, 인접하는 2개의 상기 재치 트레이 또는 당해 재치 트레이와 상기 베이스 트레이가 협동하여 상기 박판을 지지할 때에 당해 박판이 재치되는 재치부를
    구비하도록 구성된 것을 특징으로 하는 박판수납용기.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 재치 트레이의 상기 재치부의 주위에, 2개의 상기 재치 트레이 또는 당해 재치 트레이와 상기 베이스 트레이를 서로 결합한 상태에서 상기 재치부에 수납된 상기 박판을 외부환경으로부터 기밀하게 격리시키는 씰재를 설치한 것을 특징으로 하는 박판수납용기.
  7. 제2항에 있어서,
    상기 외부수납용기의 용기 본체 내의 저면과 상기 뚜껑에 있어서 상기 용기 본체측 면에, 상기 뚜껑을 상기 용기 본체에 부착했을 때에, 상기 용기 본체 내에 수납된 상기 트레이 수납체를, 상기 용기 본체의 저면측과 상기 뚜껑의 상기 용기 본체측으로부터 협지하여 지지하는 트레이 수납체 가압구(tray 收納體 加壓具)를 각각 설치하고,
    상기 용기 본체 내에 수납된 상기 트레이 수납체의 각 재치 트레이에 있어서 상기 용기 본체 바닥측의 단부 및 상기 뚜껑측의 단부에, 상기 트레이 수납체 가압구에 결합하는 결합부를 설치한 것을 특징으로 하는 박판수납용기.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 트레이 수납체 가압구와 결합부가, 서로 결합하는 오목부 및 볼록부를 구비하고 또한 이들 오목부 및 볼록부의 상호 접촉면이 쐐기 모양 으로 경사져 형성된 것을 특징으로 하는 박판수납용기.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 용기 본체와 상기 뚜껑의 사이에, 당해 뚜껑을 상기 용기 본체에 부착하여 상기 트레이 수납체 가압구와 결합부를 서로 결합시킨 상태에서, 상기 뚜껑을 상기 용기 본체측에 압입(壓入)하여 고정시키고 또한 상기 트레이 수납체 가압구와 결합부를 서로 깊게 결합시키는 래치 기구(latch機構)를 구비하는 것을 특징으로 하는 박판수납용기.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 트레이 수납체 가압구가 탄성체로 구성되어, 상기 트레이 수납체를 탄성적으로 지지하는 것을 특징으로 하는 박판수납용기.
  11. 제7항에 있어서,
    상기 트레이 수납체가 상기 용기 본체 내에 수납되고 상기 트레이 수납체 지지부에 의하여 지지된 상태에서, 상기 트레이 수납체와 상기 용기 본체의 사이에, 상기 외부기계장치의 처리암이 삽입되는 공간과, 당해 처 리암에 의하여 지지된 상기 트레이 수납체를 들어 올릴 수 있는 공간을 형성한 것을 특징으로 하는 박판수납용기.
  12. 제7항에 있어서,
    상기 용기 본체 내에 수납된 상기 트레이 수납체를 지지하는 상기 트레이 수납체 지지부가 슬라이드 가능하게 또는 회전 가능하게 지지됨과 아울러 당해 트레이 수납체 지지부가 열린 상태에서 당해 트레이 수납체 지지부와 상기 트레이 수납체의 사이에 상기 외부기계장치의 처리암이 삽입되는 공간을 형성한 것을 특징으로 하는 박판수납용기.
  13. 제2항에 있어서,
    상기 외부수납용기의 용기 본체에, 반송 로봇의 반송암에 의하여 파지되는 파지기구를 설치한 것을 특징으로 하는 박판수납용기.
  14. 제2항에 있어서,
    상기 외부수납용기의 상기 용기 본체와 상기 뚜껑의 사이에, 당해 뚜껑을 상기 용기 본체에 부착할 때에 안내함과 아울러 상기 뚜껑을 상기 용기 본체에 대하여 어긋나지 않도록 지지하는 도어 가이드를 설치한 것을 특징으로 하는 박판수납용기.
  15. 제2항에 있어서,
    상기 외부수납용기의 상기 용기 본체에, 상기 외부수납용기를 들어 올리기 위한 한 쌍의 핸들을 설치한 것을 특징으로 하는 박판수납용기.
  16. 제1항에 있어서,
    상기 외부수납용기의 일부 또는 전부가 비대전성 재료(非帶電性 材料) 또는 도전 재료(導電材料)로 형성된 것을 특징으로 하는 박판수납용기.
  17. 제1항에 있어서,
    상기 트레이 수납체 중에서, 적어도 재치 트레이가 비대전성 재료 또는 도전 재료로 형성된 것을 특징으로 하는 박판수납용기.
  18. 제1항에 있어서,
    상기 트레이 수납체 또는 외부수납용기의 어느 일방 또는 양방에 투명창이 형성된 것을 특징으로 하는 박판수납용기.
KR1020087012345A 2006-02-15 2007-02-13 박판수납용기 KR101354029B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006038445A JP5025962B2 (ja) 2006-02-15 2006-02-15 薄板収納容器
JPJP-P-2006-00038445 2006-02-15
PCT/JP2007/052528 WO2007094324A1 (ja) 2006-02-15 2007-02-13 薄板収納容器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20080101863A true KR20080101863A (ko) 2008-11-21
KR101354029B1 KR101354029B1 (ko) 2014-01-23

Family

ID=38371504

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020087012345A KR101354029B1 (ko) 2006-02-15 2007-02-13 박판수납용기

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP5025962B2 (ko)
KR (1) KR101354029B1 (ko)
TW (1) TWI382948B (ko)
WO (1) WO2007094324A1 (ko)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101331839B1 (ko) * 2011-11-23 2013-11-21 (주)뉴옵틱스 나노 실린더 배큠 박스
KR20230000651A (ko) * 2021-06-25 2023-01-03 (주)이엠씨 대전 방지용 필터 모듈을 구비하는 웨이퍼 캐리어용 고정 리브
KR20230000650A (ko) * 2021-06-25 2023-01-03 (주)이엠씨 대전 방지 소재로 형성되는 필터 모듈을 갖는 웨이퍼 캐리어용 고정 리브
KR20230000652A (ko) * 2021-06-25 2023-01-03 (주)이엠씨 정전 방지 소재로 형성되는 필터 모듈을 구비하는 웨이퍼 캐리어용 고정 리브

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4852020B2 (ja) * 2007-11-13 2012-01-11 信越ポリマー株式会社 緩衝体及び梱包体
JP5160298B2 (ja) * 2008-05-08 2013-03-13 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
JP2009283537A (ja) * 2008-05-20 2009-12-03 Shin Etsu Polymer Co Ltd 基板収納容器
JP5532796B2 (ja) * 2009-09-29 2014-06-25 凸版印刷株式会社 ガラス基板収納用トレイ
US20130277268A1 (en) * 2010-10-20 2013-10-24 Entegris, Inc. Front opening wafer container with door deflection minimization
DE102011118276A1 (de) * 2010-11-11 2012-08-23 Zimmermann & Schilp Handhabungstechnik Gmbh Belade- und Entladeverfahren für eine Prozesskassette
KR101408669B1 (ko) 2012-10-30 2014-07-02 주식회사 삼에스코리아 박판 수납용기
KR102154303B1 (ko) * 2013-08-22 2020-09-09 미라이얼 가부시키가이샤 기판수납용기
TWI579215B (zh) 2016-10-07 2017-04-21 家登精密工業股份有限公司 垂直固定機構傳送盒及使用其之傳送方法
EP3336615B1 (fr) * 2016-12-15 2019-07-31 Nivarox-FAR S.A. Conditionnement d'appliques d'horlogerie
JP6877317B2 (ja) * 2017-11-10 2021-05-26 三菱電機株式会社 ウエハ容器
KR102075351B1 (ko) * 2019-11-04 2020-02-10 이주철 차량의 제어 기판용 박스 지그
US20210300635A1 (en) * 2020-03-24 2021-09-30 Gudeng Precision Industrial Co., Ltd Container system
JP2022076873A (ja) * 2020-11-10 2022-05-20 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
KR102498995B1 (ko) * 2020-11-30 2023-02-13 주식회사 삼에스코리아 패널 수납용기의 트레이 결합구조
KR102446066B1 (ko) * 2021-04-22 2022-09-23 주식회사 삼에스코리아 패널 수납용기에 설치되는 트레이

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63138984A (ja) * 1986-11-27 1988-06-10 松下電子工業株式会社 半導体装置搬送用パレツト
JP2564303B2 (ja) * 1987-05-08 1996-12-18 株式会社日立製作所 ウエハキャリア治具
JP2584668B2 (ja) * 1989-03-09 1997-02-26 富士通株式会社 半導体装置の製造方法
JPH0974131A (ja) * 1995-09-05 1997-03-18 Sony Corp ウエハ輸送用ケース及びウエハ輸送方法
JPH0974231A (ja) * 1995-09-07 1997-03-18 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 超伝導三端子素子
JP2910684B2 (ja) * 1996-07-31 1999-06-23 日本電気株式会社 ウエハー容器
JPH1126566A (ja) * 1997-06-30 1999-01-29 Komatsu Ltd 半導体ウェハ包装容器
JP2004059116A (ja) * 2002-07-31 2004-02-26 Sharp Corp ディスプレイ用基板収納用トレイ及びディスプレイ用基板の取り出し機構並びにディスプレイ用基板の取り出し方法
US6877194B2 (en) * 2003-07-14 2005-04-12 Peak Plastic & Metal Products (International) Ltd. Open frame tray clip
US7316325B2 (en) * 2003-11-07 2008-01-08 Entegris, Inc. Substrate container
JP4667769B2 (ja) * 2004-06-11 2011-04-13 信越ポリマー株式会社 基板収納容器

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101331839B1 (ko) * 2011-11-23 2013-11-21 (주)뉴옵틱스 나노 실린더 배큠 박스
KR20230000651A (ko) * 2021-06-25 2023-01-03 (주)이엠씨 대전 방지용 필터 모듈을 구비하는 웨이퍼 캐리어용 고정 리브
KR20230000650A (ko) * 2021-06-25 2023-01-03 (주)이엠씨 대전 방지 소재로 형성되는 필터 모듈을 갖는 웨이퍼 캐리어용 고정 리브
KR20230000652A (ko) * 2021-06-25 2023-01-03 (주)이엠씨 정전 방지 소재로 형성되는 필터 모듈을 구비하는 웨이퍼 캐리어용 고정 리브

Also Published As

Publication number Publication date
JP2007220823A (ja) 2007-08-30
JP5025962B2 (ja) 2012-09-12
TW200736128A (en) 2007-10-01
KR101354029B1 (ko) 2014-01-23
TWI382948B (zh) 2013-01-21
WO2007094324A1 (ja) 2007-08-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101354029B1 (ko) 박판수납용기
KR101325043B1 (ko) 재치 트레이 및 박판지지용기
US20100276324A1 (en) Thin Plate Container
TWI387043B (zh) 薄板保持容器及薄板保持容器用處理裝置
JP4146718B2 (ja) 薄板支持容器
JP3998354B2 (ja) 輸送容器及びその蓋体の開閉方法並びにその蓋体の開閉装置
JP4644035B2 (ja) 枚葉収納容器
JP2000012646A (ja) キャリヤポッド用のアダプタ装置
US20060243612A1 (en) Single thin plate storage container
KR100460309B1 (ko) 박판지지용기
JP4728840B2 (ja) 薄板保持容器
JP2007142192A (ja) 薄板体収納容器
JP4693488B2 (ja) 固定キャリア
JP2007123685A (ja) 薄板体収納容器
JP2005289436A (ja) ガラス基板搬送用ボックス
JP2007153390A (ja) 薄板保持容器
JP4688567B2 (ja) 固定キャリア
CN218827019U (zh) 一种单片晶圆盒
JP2012164748A (ja) ウェーハ保護治具及びウェーハの取り扱い方法
JP3926265B2 (ja) ガラス基板搬送用ボックス
KR20020009186A (ko) 웨이퍼의 백-엔드 공정에 사용되는 웨이퍼 캐리어

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee