KR101331839B1 - 나노 실린더 배큠 박스 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 나노 실린더 배큠 박스에 관한 것으로서, 원통 형태로 형성된 나노 실린더를 안전하게 보관 또는 이송하기 위하여 보관 박스 내부를 진공 또는 산화방지 가스로 충진하며, 내부에 안착된 나노 실린더를 진동 및 외부 충격으로 보호할 수 있는 나노 실린더 배큠 박스에 관한 것이다.
본 발명의 나노 실린더 배큠 박스는 나노 실린더를 수납하고, 수납된 나노 실린더를 감합(interlocking)하기 위한 배큠(vacuum) 박스에 있어서, 평판으로 형성되며 상기 나노 실린더를 내부에 위치시키기 위한 케이스 본체와 일방에 개구부를 가지며, 상기 나노 실린더가 밀폐되도록 상기 개구부가 상기 케이스 본체의 상부에 위치하는 케이스 커버와 상기 케이스 본체의 상부면에 위치하여, 상기 나노 실린더와 상기 케이스 본체 사이에서 진동 및 충격을 흡수하기 위한 쇼크 업소바(shock absorber) 부재와 상기 케이스 본체 및 케이스 커버의 결합 시, 내부의 불순가스 배출 또는 청정가스 주입 중 어느 하나 이상을 수행하기 위한 가스 입출 부재 및 상기 케이스 본체 또는 상기 케이스 커버 중 어느 하나 이상에 구비되어 상기 케이스 본체 및 상기 케이스 커버를 체결하기 위한 체결부재를 포함함에 기술적 특징이 있다.

Description

나노 실린더 배큠 박스{Nano cylinder vacuum box}
본 발명은 나노 실린더 배큠 박스에 관한 것으로서, 원통 형태로 형성된 나노 실린더를 안전하게 보관 또는 이송하기 위하여 보관 박스 내부를 진공 또는 산화방지 가스로 충진하며, 내부에 안착된 나노 실린더를 진동 및 외부 충격으로 보호할 수 있는 나노 실린더 배큠 박스에 관한 것이다.
기판에는 미세한 패턴들이 형성되어 있으나, 이러한 미세 패턴에 티끌이나 먼지 등의 이물질이 부착되어 있으면 이물질이 광을 흡수하거나 굴절시킬 수 있기 때문에 전사한 패턴이 변형되거나 edge가 세밀하게 형성되지 않을 뿐만 아니라 제조물의 치수, 품질 및 외관 등에 손상을 가할 수 있는 문제가 있다. 더욱이 마이크로급 또는 나노급 크기의 패턴인 경우에는 손상 정도가 심각해 질 수 있다.
이에 따라 각각의 제조공정에서 사용된 기판은 패턴의 보호를 위해서 다양한 형태의 보호 장치를 통해 보관하고 있다.
그러나, 기판을 사용하여 제조되는 부품들은 점점 축소되고 있으나, 부품을 제조하기 위한 대형 정밀 부재는 웨이퍼를 비롯하여 점점 대형화되고 있는 추세이다. 따라서 정밀 부재 등이 대형화됨에 따라 대형 정밀 부재를 보관하기 위한 보호 장치도 대형화되어야 한다. 따라서, 대형 정밀 부재를 안전하게 보관하고, 이송할 수 있는 보관 및 이송을 위한 보호 장치가 절실히 필요하다.
상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 본 발명은 밀폐되는 케이스 내부에 대형 정밀 부재를 안착하고 내부의 불순가스를 배출함과 동시에 청정가스를 주입하기 위해 대형 정밀 부재 케이스에 가스 입출 장치를 구비함으로써, 케이스 내부에 안착된 대형 정밀 부재의 산화 및 오염을 방지하기 위한 목적이 있다.
또한, 본 발명은 대형 정밀 부재를 내부에 안착한 케이스를 이동하는 경우, 내부의 대형 정밀 부재의 진동 및 충격을 방지하기 위해 케이스 내측면과 대형 정밀 부재 사이에 쇼크 업소바를 구비함으로써, 대형 정밀 부재가 충격 또는 진동으로부터 안전하게 보관 또는 이송될 수 있도록 하기 위한 다른 목적이 있다.
또한, 본 발명은 케이스 내부에 금속 재질의 지지부재를 구비함으로써, 케이스 외부로부터 충격이 가해지는 경우에도 지지부재가 케이스 내부에 대형 정밀 부재를 보호할 수 있도록 하기 위한 또 다른 목적이 있다.
또한, 본 발명은 다수의 대형 정밀 부재를 진동 및 충격으로부터 안전하고 불순물로부터의 손상을 방지하기 위해, 대형 정밀 부재를 다수 보관 및 이송할 수 있도록 케이스를 대형화하기 위한 또 다른 목적이 있다.
본 발명의 상기 목적은 나노 실린더를 수납하고, 수납된 나노 실린더를 감합(interlocking)하기 위한 배큠(vacuum) 박스에 있어서, 평판으로 형성되며 상기 나노 실린더를 내부에 위치시키기 위한 케이스 본체와 일방에 개구부를 가지며, 상기 나노 실린더가 밀폐되도록 상기 개구부가 상기 케이스 본체의 상부에 위치하는 케이스 커버와 상기 케이스 본체의 상부면에 위치하여, 상기 나노 실린더와 상기 케이스 본체 사이에서 진동 및 충격을 흡수하기 위한 쇼크 업소바(shock absorber) 부재와 상기 케이스 본체 및 케이스 커버의 결합 시, 내부의 불순가스 배출 또는 청정가스 주입 중 어느 하나 이상을 수행하기 위한 가스 입출 부재 및 상기 케이스 본체 또는 상기 케이스 커버 중 어느 하나 이상에 구비되어 상기 케이스 본체 및 상기 케이스 커버를 체결하기 위한 체결부재를 포함하여 이루어지는 나노 실린더 배큠 박스에 의해 달성된다.
따라서, 본 발명의 나노 실린더 배큠 박스는 밀폐되는 케이스 내부에 대형 정밀 부재를 안착하고 내부의 불순가스를 배출함과 동시에 청정가스를 주입하기 위해 대형 정밀 부재 케이스에 가스 입출 장치를 구비함으로써, 케이스 내부에 안착된 대형 정밀 부재의 산화 및 오염을 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 대형 정밀 부재를 내부에 안착한 케이스를 이동하는 경우, 내부의 대형 정밀 부재의 진동 및 충격을 방지하기 위해 케이스 내측면과 대형 정밀 부재 사이에 쇼크 업소바를 구비함으로써, 대형 정밀 부재가 충격 또는 진동으로부터 안전하게 보관 또는 이송될 수 있도록 하는 다른 효과가 있다.
또한, 본 발명은 케이스 내부에 금속 재질의 지지부재를 구비함으로써, 케이스 외부로부터 충격이 가해지는 경우에도 지지부재가 케이스 내부에 대형 정밀 부재를 보호할 수 있는 또 다른 효과가 있다.
또한, 본 발명은 대형 정밀 부재를 다수 보관 및 이송할 수 있도록 케이스를 대형화함으로써, 다수의 대형 정밀 부재를 진동 및 충격으로부터 안전하고 불순물로부터의 손상을 방지할 수 있는 또 다른 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 배큠 박스를 나타내는 구성도,
도 2는 본 발명의 배큠 박스를 안전하게 체결하기 위한 가이드 부재를 나타내는 구성도,
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 배큠 박스를 나타내는 구성도,
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 다수의 대형 정밀 부재를 보관할 수 있는 배큠 박스를 나타내는 구성도이다.
본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명에 따른 배큠 박스를 나타내는 구성도이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 대형 정밀 부재인 나노 실린더를 수납하기 위한 배큠 박스는 케이스와 케이스 및 나노 실린더(100)를 고정 및 체결하기 위한 부재 등으로 구성된다.
케이스는 나노 실린더(100)를 안착하기 위한 평판 형태의 케이스 본체(220)와 일방에 개구부를 가지며 케이스 본체(220)에 안착된 나노 실린더(100)가 밀폐되도록 개구부가 케이스 본체(220)의 상부에 위치하는 케이스 커버(210)로 구성된다.
케이스 본체(220)의 재질은 알루미늄, 알루미늄 합금 또는 마그네슘 합금 등으로 구성될 수 있으며, 케이스 커버(210)의 재질은 알루미늄, 알루미늄 합금, 마그네슘 합금, 강화 아크릴 또는 강화 유리 등으로 구성될 수 있다. 또한, 케이스 본체(220) 및 케이스 커버(210)가 알루미늄, 알루미늄 합금 또는 마그네슘 합금으로 형성되는 경우에는 케이스 본체(220) 및 케이스 커버(210)는 주조에 의해 제조되는 것이 바람직하다.
한편, 케이스 본체(220)와 케이스 커버(210)를 결합하는 경우, 상호 접촉면을 밀폐하기 위한 가스킷(미도시)이 구비되는데, 가스킷은 압축 변형이 가능하고 케이스 커버(210)의 개구부와 케이스 본체(220)의 상부면이 접촉하는 곳에 위치하여 밀폐되도록 하는 특징이 있다.
케이스 본체(220)의 상부면과 케이스 커버(210) 내측 상부면에는 나노 실린더(100)를 케이스 내부에서 진동 및 충격으로부터 방지하기 위한 쇼크 업소바 부재(shock absorber)(260)가 구비된다. 쇼크 업소바(260)는 하나 이상으로 구비되어 나노 실린더(100)에 패턴이 인쇄된 부분이 아닌 엔드보스(110) 부분을 고정함으로써, 나노 실린더(100)의 패턴을 보호할 수 있도록 한다.
케이스 커버(210)의 일측면에는 케이스 본체(220)와 케이스 커버(210)가 결합되는 경우, 케이스 내부의 불순가스를 배출하고, 청정가스를 주입하기 위한 가스 입출 부재가 구비되는데, 가스 입출 부재는 청정가스를 주입하기 위한 흡입부재(291)와 불순가스를 배출하기 위한 배출부재(292)로 구성된다. 이때, 케이스 내부로 주입되는 청정가스는 질소 또는 산화방지 가스가 바람직하나, 케이스 내부의 나노 실린더(100)를 산화 또는 오염으로부터 보호하기 위한 가스인 경우에는 어떠한 가스라도 무방하다.
케이스 커버(210) 및 케이스 본체(220)가 밀착되는 외주면에는 케이스 본체(220) 및 케이스 커버(210)를 체결하기 위한 체결부재(250)가 하나 이상 구비될 수 있으며, 체결부재(250)는 리벳 또는 볼트/너트로 구비되는 것이 바람직하며, 케이스 본체(220) 및 케이스 커버(210)를 밀폐되도록 체결할 수 있는 구조이면 어떠한 체결방식이라도 무방하다.
케이스 커버(210)의 내측 상부면에는 케이스 본체(220) 및 케이스 커버(210) 사이의 내부 공간을 지지하기 위해 금속재료로 형성된 지지부재(230)가 하나 이상으로 구비되어 있는데, 외부의 충격으로부터 케이스 본체(220) 및 케이스 커버(210)의 외형이 변형되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 케이스 커버(210)의 외측면 일측에는 케이스 내부의 진공 상태를 측정하기 위한 진공계(270)가 구비되며, 케이스 커버(220)의 외측면 타측에는 케이스 내부의 습도를 측정하기 위한 습도계(280)가 구비된다.
케이스 내부는 배출부재(292)에 연결된 진공펌프(350)가 케이스 내부의 불순가스를 배출함에 따라 케이스 내부의 진공상태를 측정하기 위해서 진공계(270)가 구비될 수 있다. 이때, 케이스 내부에 청정가스를 주입하기 위한 방법으로는 배출부재(292)를 이용하여 케이스 내부의 불순가스를 배출함으로써, 케이스 내부를 진공상태로 만든 이후, 가스 충진부재(310)로부터 흡입부재(291)를 통해 청정가스를 주입하여 케이스 내부를 청정가스로 충진하는 방법이 있다.
또한, 케이스 내부에 청정가스를 주입하기 위한 다른 방법으로는 배출부재(292)를 이용하여 케이스 내부의 불순가스를 배출함과 동시에, 흡입부재(291)를 이용하여 가스 충진부(310)로부터 청정가스를 케이스 내부에 주입함으로 케이스 내부에 청정가스를 충진하는 방법이 있다.
케이스 내부에 청정가스를 충진하는 두 가지 방법 중 어떠한 방법을 사용하여도 무방하다. 한편, 가스 충진부재(310)로부터 주입되는 청정가스는 흡입부재(291)와 가스 충진부재(310) 사이에 위치한 가스유량 제어기(320)를 통해 청정가스의 주입 압력을 조절할 수 있다.
도 2는 본 발명의 배큠 박스를 안전하게 체결하기 위한 가이드 부재를 나타내는 구성도이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 케이스 본체(220)의 상부면 외측에는 케이스 커버(210)의 결합을 안내하기 위한 가이드 부재(410)가 하나 이상 구비된다.
또한, 케이스 커버(210)는 케이스 본체(220)에 구비된 가이드 부재(410)가 삽입될 수 있도록 케이스 커버(210)의 개구부의 측면 중심에 길이 방향으로 가이드 홈(420)이 가이드 부재(410)와 쌍을 이루도록 하나 이상으로 형성되어 있다.
따라서, 케이스 본체(220)에 안착된 나노 실린더(100)를 밀폐하기 위해 케이스 커버(210)를 케이스 본체(220)에 위치시킬 때, 케이스 커버(210)에 의해 나노 실린더(100)에 충격이 가해지거나 접촉됨으로써 나노 실린더(100)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 배큠 박스를 나타내는 구성도이며, 도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 다수의 대형 정밀 부재를 보관할 수 있는 배큠 박스를 나타내는 구성도이다. 도 3에 도시된 케이스는 나노 실린더(100)를 세워서 보관할 수 있는 특징이 있으며, 도 4에 도시된 케이스는 다수의 나노 실린더(101, 102, 103)를 세워서 보관할 수 있도록 구성되는 특징이 있다. 한편, 케이스 일부의 구성은 도 1에 도시된 구성과 동일하다.
한편, 도 3 또는 도 4에 구비된 케이스 커버(210)는 케이스 본체(220)와 일체형으로 형성되거나 분리형으로 형성될 수 있다. 이때, 케이스 커버(210)와 케이스 본체(220)가 일체형으로 형성되는 경우에는 케이스 커버(210)의 일측면에는 나노 실린더(100)가 반입 또는 반출될 수 있도록 나노 실린더(100)의 크기에 대응하는 개구부(미도시)가 형성된다.
개구부의 일측면에는 개구부를 밀폐하기 위한 도어(door) 부재(430)가 구비되며, 도어 부재(430)의 일측은 케이스 커버(210)에 연결되어 회동함으로써, 케이스 커버(210)의 일측면에 구비된 개구부를 밀폐할 수 있도록 형성된다.
또한, 개구부의 타측면에는 도어 부재(430)와 케이스 커버(210)의 밀폐를 유지하기 위한 도어 체결부재(440)가 구비된다. 도어 체결부재(440)는 도어 부재(430)와 케이스 커버(210)를 밀폐하기 위한 구조인 것이 바람직하며, 도어 체결부재(440)는 리벳 등으로 구성되나, 케이스 커버(210) 및 도어 부재(430)를 밀폐하기 위한 체결부재 어느 것이라도 사용할 수 있다.
한편, 도어 부재(430)와 케이스 커버(210)가 접촉되는 면에는 밀폐형 가스켓(미도시)을 포함할 수 있으며, 도어 부재(430)는 케이스 커버(210)와 동일한 재질인 알루미늄, 알루미늄 합금, 마그네슘 합금, 강화 아크릴 또는 강화 유리 등으로 구성될 수 있다.
본 발명은 이상에서 살펴본 바와 같이 바람직한 실시예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상기한 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능할 것이다.
100 : 원통형 실린더 110 : 엔드보스
120 : 중심축 210 : 케이스 커버
220 : 케이스 본체 230 : 지지부재
250 : 제1 체결부재 251 : 제2 체결부재
260 : 쇼크업소버 부재 270 : 진공계
280 : 습도계 291 : 가스 흡입부재
292 : 가스 배출부재 310 : 가스 충진부재
350 : 진공펌프 410 : 가이드 부재
420 : 가이드 홈 430 : 도어(door)부재
440 : 도어 체결부재

Claims (13)

  1. 나노 실린더를 수납하고, 수납된 나노 실린더를 감합(interlocking)하기 위한 배큠(vacuum) 박스에 있어서,
    평판으로 형성되며 상기 나노 실린더를 내부에 위치시키기 위한 케이스 본체;
    일방에 개구부를 가지며, 상기 나노 실린더가 밀폐되도록 상기 개구부가 상기 케이스 본체의 상부에 위치하는 케이스 커버;
    상기 케이스 본체의 상부면에 구비되며, 상기 케이스 커버의 체결 위치를 안내하기 위한 가이드 부재;
    상기 가이드 부재를 삽입하도록 상기 케이스 커버의 측면 중심에 길이 방향으로 형성된 가이드 홈;
    상기 케이스 커버의 내측 상부면에 구비되며, 상기 케이스 본체와 상기 케이스 커버 사이의 공간을 지지하기 위해 금속재료로 형성된 지지부재;
    상기 케이스 본체의 상부면 및 케이스 커버 내측 상부면에 위치하여, 상기 나노 실린더와 상기 케이스 본체 사이에서 진동 및 충격을 흡수하기 위해 하나 이상으로 구비되는 쇼크 업소바(shock absorber) 부재;
    상기 케이스 본체 및 케이스 커버의 결합 시, 내부의 불순가스 배출 또는 청정가스 주입 중 어느 하나 이상을 수행하기 위한 가스 입출 부재; 및
    상기 케이스 본체 또는 상기 케이스 커버 중 어느 하나 이상에 구비되어 상기 케이스 본체 및 상기 케이스 커버를 체결하기 위한 체결부재
    를 포함하여 이루어지는 나노 실린더 배큠 박스.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 케이스 내부의 진공 상태를 측정하기 위해 상기 케이스 커버의 외측면 일측에 구비된 진공계; 및
    상기 케이스 내부의 습도 상태를 측정하기 위해 상기 케이스 커버의 외측면 타측에 구비된 습도계
    를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 나노 실린더 배큠 박스.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 가스 입출 부재는
    상기 케이스 커버에 구비되며, 상기 케이스 내부에 상기 청정가스를 주입하기 위한 흡입부재; 및
    상기 케이스 커버에 구비되며, 상기 케이스 내부의 상기 불순가스를 배출하기 위한 배출부재
    를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 나노 실린더 배큠 박스.
  5. 삭제
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 케이스 본체의 재질은 알루미늄, 알루미늄 합금 또는 마그네슘 합금 중 어느 하나로 구성되며, 상기 케이스 커버의 재질은 알루미늄, 알루미늄 합금, 마그네슘 합금, 강화 아크릴 또는 강화 유리 중 어느 하나로 구성될 수 있는 것을 특징으로 하는 나노 실린더 배큠 박스.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 알루미늄, 알루미늄 합금 또는 마그네슘 합금 중 어느 하나의 재질로 형성되는 상기 케이스 본체 및 상기 케이스 커버는 주조에 의해 제조되는 것을 특징으로 하는 나노 실린더 배큠 박스.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 케이스 본체와 상기 케이스 커버를 결합하는 경우, 상호 접촉면을 밀폐하기 위한 가스킷(gasket)을 더 포함하되, 상기 가스킷은 압축 변형이 가능한 것을 특징으로 하는 나노 실린더 배큠 박스.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 체결부재는 상기 케이스 본체와 상기 케이스 커버를 결합하기 위해 리벳 또는 볼트/너트 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 나노 실린더 배큠 박스.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 청정가스는 질소 또는 산화방지 가스 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 나노 실린더 배큠 박스.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 케이스 커버 및 케이스 본체는 분리형 또는 일체형으로 결합되는 것을 특징으로 하는 나노 실린더 배큠 박스.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 케이스 커버 및 케이스 본체가 일체형으로 결합되는 경우, 상기 케이스 커버의 일측면에는 상기 나노 실린더를 반입 또는 반출할 수 있는 개구부가 형성되어 있으며, 상기 개구부의 일측에는 상기 개구부를 밀폐하기 위한 도어부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 실린더 배큠 박스.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 개구부의 타측에는 상기 도어부재와 상기 케이스 커버를 결합하기 위한 도어 체결부재가 구비되며, 상기 도어 체결부재는 리벳인 것을 특징으로 하는 나노 실린더 배큠 박스.

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