KR20080084610A - 유기 ｅｌ 발광 장치 및 그 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 증착 마스크를 이용하여 유기 EL 발광층을 분할 도포하는 조작을 하지 않고, 복수로 분할한 발광 세그먼트를 직렬 접속시킨 유기 EL 발광 장치를 효율적으로 제조하는 것을 목적으로 한다. 인접하는 발광 세그먼트(a, b, c)의 경계부에서의 제1 전극(2b, 2c) 상에, 도체부(5)가 각각 형성되고, 각 제 1전극(2a∼2c) 상에 유기 EL 발광층(3a∼3c)과 제2 전극(4a∼4c)이 각각 적층된다. 상기 도체부(5)는 인접하는 발광 세그먼트에서의 상기 제1 전극과 상기 제2 전극을 전기적으로 접속하는 기능을 하고, 이 결과, 각 발광 세그먼트가 직렬로 접속된 구성이 된다.

Description

유기 ＥＬ 발광 소자 및 그 제조 방법{ORGANIC EL LIGHT EMITTING DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}

본 발명은 비교적 넓은 면적을 갖는 면발광원으로서 유기 EL(일렉트로루미네선스) 소자를 이용한 유기 EL 발광 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.

유기 EL 소자는 직류의 저전압에 의해 구동됨으로써 높은 발광 효율을 가지고, 경량 또한 박형화가 가능하므로, 일부 휴대형 기기 등에서의 플랫 패널 디스플레이(FPD)에 이용되고 있고, 또한 이 소자를 면발광원으로서, 예를 들면, 액정 표시 소자의 백라이트로서 이용하는 형태의 것도 제공되고 있다.

한편, 유기 EL 소자는 EL 발광층에 이용되는 소재의 선택에 의해, R(적), G(녹), B(청)의 각 발광색을 얻을 수 있고, 따라서 상기한 각 발광색을 단독으로, 또는 이종 이상의 발광색을 조합시킴으로써, 백색 혹은 이것에 가까운 발광색을 얻는 것도 가능해진다. 그 때문에, 유기 EL 소자를 비교적 넓은 면적을 갖는 면발광원(발광 패널)으로서 구성 하는 것으로, 예를 들면, 선전 광고용의 발광 포스터, 전식(電飾, electric spectaculars), 사인용 광원 외, 실내나 차내 등을 조명하는 고효율적인 광원으로서 이용할 수 있다.

상기한 유기 EL 소자는, 대향하는 전극 사이에 직류 전압이 인가되는 것으로, 음극측으로부터 주입된 전자와, 양극측으로부터 주입된 홀이 발광층 내에서 재결합하여, 그 에너지가 형광 물질을 여기하여 발광하도록 이루어진다. 이 때문에, 상기한 발광층으로부터의 발광을 외부로 취출할 필요가 있고, 따라서 적어도 한쪽의 전극에는 투명 전극이 이용된다. 이 투명 전극으로서는, 통상에서는 산화인듐주석(ITO) 등이 이용된다.

그리고, 기본적으로는 투명한 기판 상에 상기한 ITO에 의한 투명 전극이 성막되고, 그 위에 예를 들면, 홀 수송층, 유기 발광층, 전자 주입층으로 이루어진 EL 발광층이 형성되고, 이 위에 금속 전극이 적층된 구성이 된다. 이 적층 구성에 서, 일반적으로 상기 투명 전극이 양극을 구성하고, 또한, 금속 전극이 음극을 구성하여 양쪽 전극 간에 직류 전압이 인가되도록 이루어진다.

그런데, 투명 전극을 구성하는 상기한 ITO는, 그 전기 저항률이 1×10^-4Ω㎝ 정도이며, 통상의 금속 재료와 비교하여 그 전기 저항률이 1∼2자릿수 높은 것이 된다. 따라서, 상기한 바와 같이 EL 소자를 넓은 면적을 갖는 면발광원으로서 구성한 경우, 투명 전극에서의 전압 강하가 영향을 주어, 발광 휘도에 불균일(휘도 경사)이 발생한다.

즉, 유기 EL 소자에서의 발광 휘도는 소자의 단위 면적에 주입된 전류량에 거의 비례한다고 일컬어지고 있다. 따라서, 투명 전극에 대한 급전점으로부터 멀어 질수록, 상기 ITO에 의한 전압 강하의 영향을 크게 받게 되어, 투명 전극에 대한 급전점으로부터 멀어 질수록 휘도가 어두워진다고 하는 문제를 초래시킨다.

상기한 문제를 극복하기 위해 ITO로 대표되는 투명 전극에서, 그 전기 저항률을 낮게 한 소재가 몇 가지 제안되어 있으나, 그 전기 저항률을 자릿수 차이로 낮게 하기까지에는 이르지 않는다. 따라서, 예를 들면 조명 등에 이용하는데 적합한 넓은 면적의 면발광원으로서 유기 EL 소자를 구성한 경우에는, 상기한 바와 같이 발광 휘도에 불균일(휘도 경사)이 발생한다는 과제가 여전히 남게 된다.

따라서, 넓은 면적의 유기 EL 소자를 복수로 분할하여 소면적의 발광 세그먼트로 하고, 각 발광 세그먼트를 전기적으로 직렬로 접속하는 것으로, 상기한 투명 전극의 전압 강하에 의한 휘도 불균일의 발생을 억제한 구성의 유기 EL 발광 장치가 일본특허공개 2000-29404호 공보(특허문헌 1) 및 일본특허공개 2004-234868호 공보(특허문헌 2) 등에 개시되어 있다.

도 9는, 상기 특허문헌 1 및 2에 개시되어 있는 유기 EL 발광 장치의 기본 구성을 도시한 것이며, 이 예에서는 3개로 분할한 발광 세그먼트를 포함한 유기 EL 발광 장치의 적층 구조예를 모식적으로 도시하고 있다.

도 9에 있어서, 부호 1은 예를 들면, 유리 등의 투명한 소재에 의해 형성된 기판을 도시하고 있고, 이 기판(1)의 상면에는 제1 전극으로서의, 예를 들면 ITO에 의한 투명 전극이 형성되어 있다. 이 투명 전극은, 예를 들면, 증착 등의 수단에 의해 ITO를 기판(1) 상에 성막한 후, 예를 들면 포토리소그래피법을 이용함으로써 도 9에 2a, 2b, 2c로서 도시한 바와 같이 증착막을 3개로 분할(패터닝)한 구성으로 되어 있다.

또한, 3개로 분할된 상기 투명 전극(2a, 2b, 2c) 상에는, 유기 EL 발광층(3 a, 3b, 3c)이 상기 투명 전극(2a, 2b, 2c)에 중첩되도록 하여, 각각 3개로 분할된 상태로, 예를 들면 증착 수단에 의해 성막된다. 또한, 상기한 유기 EL 발광층(3a, 3b, 3c) 상에는, 제2 전극으로서의 금속제의 대향 전극(4a, 4b, 4c)이 각각 3개로 분할된 상태로, 예를 들면 증착 수단에 의해 형성된다.

이에 따라, 상기한 투명 전극(2a), 유기 EL 발광층(3a) 및 대향 전극(4a)이 제1 발광 세그먼트(a)를 형성하고, 동일하게 투명 전극(2b), 유기 EL 발광층(3b) 및 대향 전극(4b)이 제2 발광 세그먼트(b)를 형성한다. 마찬가지로, 투명 전극(2c), 유기 EL 발광층(3c) 및 대향 전극(4c)이 제3 발광 세그먼트(c)를 형성한다.

이 경우, 제1 발광 세그먼트(a)를 형성하는 대향 전극(4a)의 단부는, 제2 발광 세그먼트(b)를 형성하는 투명 전극(2b)의 단부에 대해 중첩부(d1)를 통해 전기적으로 도통되고, 또한, 제2 발광 세그먼트(b)를 형성하는 대향 전극(4b)의 단부는, 제3 발광 세그먼트(c)를 형성하는 투명 전극(2c)의 단부에 중첩부(d2)를 통해 전기적으로 도통되도록 성막된다. 이에 따라 상기한 제1∼제3 발광 세그먼트는 전기적으로 직렬로 접속된 구성이 된다.

그리고, 상기한 제1 발광 세그먼트를 형성하는 투명 전극(2a)과, 제3 발광 세그먼트를 형성하는 대향 전극(4c) 사이에는, 발광 구동원으로서 기능하는 직류 전원(E)이 접속된다. 즉, 도 9에 도시하는 구성에서는, 직류 전원(E)의 양극 단자(+)가 투명 전극(2a)에, 또한, 직류 전원(E)의 음극 단자(-)가 대향 전극(4c)에 접속되어 있고, 이에 따라 직렬 접속된 제1∼제3 발광 세그먼트에는, 직류 전원(E)으로부터 발광 구동 전류가 공급된다.

상기한 구성에 의하면, 넓은 면적의 유기 EL 소자를 복수(도면의 예에서는 3개)로 분할하여 직렬 접속되어 있기 때문에, 예를 들면, ITO로 대표되는 투명 전극의 높은 전기 저항률의 영향을 받아, 휘도 불균일이 발생하는 정도를 효과적으로 저감시킬 수 있다.

그런데, 도 9에 도시한 바와 같이 복수의 발광 세그먼트(a∼c)를 포함하고, 각 세그먼트를 직렬 접속한 구성의 유기 EL 발광 장치에서는, 각 발광 세그먼트를 구성하는 유기 EL 발광층(3a, 3b, 3c) 및 대향 전극(4a, 4b, 4c)을 각각 증착 마스크를 이용하여 성막 영역 마다에 분할 도포하는(증착 마스크를 이용하여 성막 영역 마다에 증착하는) 조작이 필요해 진다.

즉, 유기 EL 발광층(3a, 3b, 3c)을 성막할 때에는, 증착 마스크를 이용하여 유기 EL 발광층(3a, 3b)이 상기한 중첩부(d1, d2)를 커버하지 않도록 성막할 필요가 있다. 상기 유기 EL 발광층(3a, 3b)이 중첩부(d1, d2)를 커버한 경우에는, 대향 전극(4a, 4b)의 단부를, 인접하는 투명 전극(2b, 2c)의 단부에 전기적으로 도통시킬 수 없고, 따라서 각 발광 세그먼트를 직렬 접속시키는 것이 불가능해 진다.

한편, 각 유기 EL 발광층 상에 대향 전극(4a, 4b, 4c)을 성막할 때에는, 증착 마스크를 이용하여 대향 전극(4a, 4b, 4c)이 확실하게 분리되고, 상기한 중첩부(d1, d2)에서 인접하는 투명 전극(2b, 2c)의 단부에 대향 전극(4a, 4b)의 단부가 확실하게 중첩되도록 성막시킬 필요가 있다. 이 경우, 상기한 중첩부(d1, d2)는 비 발광부분이 되므로, 그 폭은 매우 좁게 형성시키는 것이 요구되어, 바람직하게는 0.5㎜ 이하로 이루어진다.

그런데, 상기한 바와 같이 증착 마스크를 이용하여 성막 영역 마다에 분할 도포하는 조작을 실행한 경우, 증착 가스의 돌아 들어감(infiltration)에 의해 증착 패턴의 정밀도가 악화된다는 문제를 안고 있다. 즉 상기 패턴 정밀도가 악화된 경우에는, 발광의 균일성이 손상되거나, 투명 전극과 대향 전극이 쇼트하는 문제도 발생한다.

또한, 상기한 바와 같이 비교적 대면적에서의 증착 마스크에 의한 분할 도포 조작은 마스크의 왜곡이 커지게 되고, 이에 따라 증착 정밀도가 더욱 악화된다. 또한, 증착 마스크를 기판에 밀착시키기 위해 자석 등을 이용하여도, 개구가 넓어 증착 영역을 구획하는 좁은 폭의 스트라이프(상기한 0.5㎜ 이하의 스트라이프)가 꼬여 버리는 등의 문제가 발생하여 필요한 증착 정밀도를 얻기 곤란해진다.

본 발명은 상기한 기술적인 문제점에 착안하여 이루어진 것으로, 특히, 유기 EL 발광층을 증착 마스크를 이용하여 분할 도포하는 조작을 생략하는 것으로, 복수로 분할한 발광 세그먼트를 직렬 접속시킨 구성의 유기 EL 발광 장치를 효율적으로 제조하는 것이 가능한 유기 EL 발광 장치 및 그 제조 방법을 제공하는 것을 과제로 하는 것이다.

상기한 과제를 해결하기 위해 이루어진 본 발명에 따른 유기 EL 발광 장치는, 제1 전극, 유기 EL 발광층 및 제2 전극으로 이루어진 복수의 발광 세그먼트가 기판 상에 형성되고, 상기 각 발광 세그먼트가 직렬로 접속된 구성의 유기 EL 발광 장치로서, 인접하는 발광 세그먼트의 경계부에서의 상기 제1 전극 상에, 적어도 하나의 도체부가 형성되고, 상기 각 제1 전극 상에 상기 유기 EL 발광층과 상기 제2 전극이 각각 적층됨으로써, 상기 도체부를 통해 인접하는 발광 세그먼트에서의 상기 제1 전극과 상기제2 전극이 전기적으로 접속된 구성으로 되어 있는 점에 특징이 있다.

이 경우, 상기 기판의 법선 방향에서의 상기 도체부의 높이가, 상기 유기 EL 발광층보다도 높게 형성되어 있는 것이 바람직하다. 이에 더하여, 상기 기판의 법선　방향의 면에서 절단한 상기 도체부의 단면 형상은 바람직하게는 직사각형 혹은 역사다리꼴 형상으로 형성된다.

또한, 상기 도체부 중 하나의 바람직한 형태에서는, 상기 도체부에서의 정상부에는, P-V 값으로 10㎚∼10㎛의 요철이 형성된 구성이 된다. 이것을 실현하는 하 나의 수단으로서 상기 도체부에는 도전성 페이스트가 이용되고, 상기 도전성 페이스트에 포함되는 금속 입자의 입자 지름이 1㎚∼10㎛으로 선정된다.

또한, 상기한 구성의 유기 EL 발광 장치에서의 바람직한 형태에서는, 상기 도체부는 인접하는 발광 세그먼트의 경계부에서, 상기 경계부를 따라 연속하는 격벽(隔璧) 형상으로 형성된 구성이 된다.

또한, 상기한 구성의 유기 EL 발광 장치에서의 다른 바람직한 형태에서는, 각 발광 세그먼트의 도체부에 각각 인접하도록 하여 격벽 형상의 세퍼레이터가 발광 세그먼트의 경계부를 따라 더 형성되고, 상기 제2 전극의 형성시에서, 제2 전극을 발광 세그먼트 마다에 전기적으로 분리하는 절연 갭부를 상기 세퍼레이터의 근원 부분에 형성한 구성이 된다.

이 경우, 상기 세퍼레이터의 상부에는 상기 기판 면에 평행한 방향으로 돌출된 오버행부가 형성되어 있는 것이 바람직하다.

한편, 상기한 과제를 해결하기 위해 이루어진 본 발명에 따른 유기 EL 발광 장치의 제1 제조 방법은, 제1 전극, 유기 EL 발광층 및 제2 전극으로 이루어진 복수의 발광 세그먼트가 기판 상에 형성되고, 상기 각 발광 세그먼트가 직렬로 접속된 구성의 유기 EL 발광 장치의 제조 방법으로서, 상기 각 발광 세그먼트 마다의 상기 제1 전극을 각각 분리한 상태로 상기 기판 상에 형성하는 패터닝 공정과, 상기 기판 상의 인접하는 발광 세그먼트의 경계부에서, 상기 제1 전극 상에 적어도 하나의 도체부를, 후속 공정에서 형성되는 유기 EL 발광층보다도 높게 형성하는 공정과, 상기 제1 전극 상에 상기 유기 EL 발광층을 형성하는 공정과, 상기 유기 EL 발광층 상에 상기 제2 전극을 형성하는 공정을 실행함으로써, 인접하는 발광 세그먼트 사이에서의 상기 제1 전극과 상기 제2 전극이 상기 도체부를 통해 전기적으로 접속한 구성을 얻도록 이루어진다.

또한, 상기한 과제를 해결하기 위해 이루어진 본 발명에 따른 유기 EL 발광 장치의 제2 제조 방법은, 제1 전극, 유기 EL 발광층 및 제2 전극으로 이루어진 복수의 발광 세그먼트가 기판 상에 형성되고, 상기 각 발광 세그먼트가 직렬로 접속된 구성의 유기 EL 발광 장치의 제조 방법으로서, 상기 각 발광 세그먼트 마다의 제1 전극을 각각 분리한 상태로 상기 기판 상에 형성하는 패터닝 공정과, 상기 기판상의 인접하는 발광 세그먼트의 경계부를 따라 장척 형상의 격벽부를 형성하는 공정과, 상기 기판의 법선 방향에 대해 소정 각도를 갖고 유기 EL 발광 재료를 사방(斜方, oblique) 증착하는 것으로, 상기 제1 전극 상에 상기 유기 EL 발광층을 형성하는 공정과, 상기 소정의 각도보다도 작은 각도를 가지고 제2 전극 재료를 상기 유기 EL 발광층 상에 증착하는 것으로, 상기 유기 EL 발광층 상에 상기 제2 전극을 형성하는 공정을 실행함으로써, 인접하는 발광 세그먼트 사이에서의 상기 제1 전극의 단부에 대해 상기 제2 전극의 단부를 전기적으로 접속한 구성을 얻도록 이루어진다.

이 경우, 인라인식 증착 장치를 이용하여, 상기 유기 EL 발광 재료를 사방 증착하는 것이 바람직하다.

상기한 구성의 유기 EL 발광 장치 및 상기 제1 제조 방법에 의하면, 유기 EL 발광층은 발광 세그먼트의 경계부에 관계없이 제1 전극을 덮도록 하여 성막할 수 있다. 즉, 유기 EL 발광층은 상기한 종래와 같이 증착 마스크를 이용하여 성막 영역 마다에 분할 도포하는 조작을 실행할 필요는 없다. 그리고, 유기 EL 발광층 상에 제2 전극을 성막하는 것으로, 상기 제2 전극은 인접하는 발광 세그먼트의 제1 전극 상에 형성된 도체부를 통해 상기 제1 전극에 접속할 수 있고, 이에 따라 발광 세그먼트가 직렬 접속된 구성의 유기 EL 발광 장치를 얻을 수 있다.

이에 더하여, 각 발광 세그먼트의 도체부에 각각 인접하도록 하여 격벽 형상의 세퍼레이터를 발광 세그먼트의 경계부를 따라 형성한 구성으로 함으로써, 제2 전극은 발광 세그먼트의 경계부에 관계없이 유기 EL 발광층을 덮도록 하여 성막할 수 있다. 즉, 상기한 격벽 형상의 세퍼레이터를 미리 형성함으로써, 제2 전극의 성막시에서, 제2 전극을 발광 세그먼트 마다에 전기적으로 분리하는 절연갭부를 세퍼레이터의 근원 부분에 형성할 수 있다.

이에 의하면, 제2 전극도 상기한 종래와 같이 증착 마스크를 이용하여 성막 영역 마다에 분할 도포하는 조작을 실행할 필요는 없고, 증착 마스크를 이용하지 않는 상기한 유기 EL 발광층의 성막 조작과 서로 작용하여, 그 생산성을 훨씬 향상시킬 수 있다.

한편, 본 발명에 따른 상기한 제2 제조 방법에 의하면, 제1 전극의 성막 후에 발광 세그먼트의 경계부를 따라 장척 형상의 격벽부를 형성하고, 기판의 법선 방향에 대해 소정의 각도를 가지고 유기 EL 발광 재료를 사방 증착하는 공정이 실행된다. 이에 따라, 상기 격벽부와 사방 증착의 작용에 의해 EL 발광 재료를 발광 세그먼트에 따라 분리한 상태로 성막할 수 있다.

그리고, 상기 유기 EL 발광층 상에 상기 제2 전극을 형성하는 공정을 실행함으로써, 인접하는 발광 세그먼트 사이에서의 상기 제1 전극의 단부에 대하여 상기 제2 전극의 단부가 중첩되도록 성막할 수 있고, 이에 따라 발광 세그먼트가 전기적으로 직렬 접속된 구성의 유기 EL 발광 장치를 얻을 수 있다.

이하, 본 발명에 따른 유기 EL 발광 장치에 관해서, 도면에 도시하는 실시 형태에 기초하여 설명한다. 도 1∼도 4는 그 제1 실시 형태를 도시한 것이고, 도 1은 3개로 분할한 발광 세그먼트를 구비한 유기 EL 발광 장치의 적층 구조예를 상면으로부터 본 상태에서 도시한 모식도이다. 또한, 도 2는 도 1에 도시한 A-A선으로부터 화살표 방향으로 본 단면도이며, 도 3a∼도 3f는 도 1 및 도 2에 도시하는 EL 발광 장치의 제조(성막) 공정의 일례를 순서대로 단면도로 도시한 것이다. 또한, 도 4는 도 3f에서의 쇄선 B로 둘러싸인 부분을 확대하여 도시한 일부 확대 단면도이다. 또, 이하에 설명하는 각 도면에서, 이미 설명한 도 9에 도시한 각 부와 동일한 기능을 하는 부분을 동일 부호로 나타내고 있고, 따라서 그 상세한 설명은 적절히 생략한다.

이 실시 형태에 의한 유기 EL 발광 장치는 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 각 발광 세그먼트(a, b, c)의 경계부에서의 제1 전극(2b, 2c) 상에, 각각 도체부(5)가 형성된다. 이 도체부(5)는 일례로서 각 발광 세그먼트(a, b, c)의 경계부에서, 상기 경계부를 따라 연속하도록 하여 격벽 형상으로 형성되어 있다. 이에 더하여, 이 실시 형태에서는, 각 발광 세그먼트(a, b, c) 사이에 절연층(6)이 형성되 고, 이 절연층(6) 상에, 상기 도체부(5)에 각각 인접하도록 하여 격벽 형상의 세퍼레이터(7)가 절연층(6) 상을 따라 더 형성된다.

상기한 바와 같이 도체부(5) 및 격벽 형상의 세퍼레이터(7)가 형성된 상태로, 유기 EL 발광층이 전체 면에 걸쳐 성막된다. 이 때, 상기 도체부(5) 및 세퍼레이터(7)의 존재에 의해 유기 EL 발광층은 각 발광 세그먼트(a, b, c)에 대응하여 각각 부호 3a, 3b, 3c로 도시한 바와 같이 3개로 분리된다.

또한, 유기 EL 발광층 상에, 제2 전극으로서의 금속제의 대향 전극이 전체 면에 걸쳐 성막된다. 이 때, 상기 세퍼레이터(7)의 존재에 의해 대향 전극은 각 발광 세그먼트(a, b, c)에 대응하여 각각 부호 4a, 4b, 4c로 도시한 바와 같이 3개로 분리되고, 후에 상세히 설명하는 바와 같이, 각 대향 전극(4a, 4b, 4c)는 서로 절연된 상태로 성막된다.

또한, 상기 대향 전극(4a, 4b, 4c)의 성막에 따라, 발광 세그먼트(a)를 구성하는 대향 전극(4a)은 인접하는 발광 세그먼트(b)를 구성하는 제1 전극으로서의 투명 전극(2b)에 대해 도체부(5)를 통해 전기적으로 접속된다. 마찬가지로 발광 세그먼트(b)를 구성하는 대향 전극(4b)은 인접하는 발광 세그먼트(c)를 구성하는 제1 전극으로서의 투명 전극(2c)에 대하여 도체부(5)를 통해 전기적으로 접속된다. 이에 따라 발광 세그먼트(a, b, c)가 직렬 접속된 유기 EL 발광 장치를 얻을 수 있다.

그리고, 상기한 제1 발광 세그먼트를 구성하는 투명 전극(2a)과, 제3 발광 세그먼트를 구성하는 대향 전극(4c) 사이에는, 발광 구동원으로서 기능하는 직류 전원(E)이 접속된다. 즉, 도 1에 도시하는 구성에서는, 직류 전원(E)의 양극 단자(+)가 투명 전극(2a)에, 또한 직류 전원(E)의 음극 단자(-)가 대향 전극(4c)에 접속되어 있고, 이에 따라 직렬 접속된 제1∼제3 발광 세그먼트에는, 직류 전원(E)으로부터 발광 구동 전류가 공급된다.

상기 도 1 및 도 2에 도시한 구성의 유기 EL 발광 장치를 얻기 위한 제조(성막) 방법에 관해, 도 3a∼도 3f에 기초하여 설명한다. 우선, 도 3a는 유리 등의 투명한 소재에 의해 형성된 기판(1) 상에 제1 전극으로서 기능하는 투명 전극(2a, 2b, 2c)을 형성한 상태를 도시하고 있다. 이 투명 전극(2a, 2b, 2c)은 스퍼터링법이나 이온 플레이팅법, 증착법 등의 통상 이용되는 방법으로 기판(1) 상에 성막하는 것으로 형성할 수 있다.

이 투명 전극(2a, 2b, 2c)은 이미 설명한 바와 같이, ITO를 적합하게 이용할 수 있으나, 산화인듐아연, 산화아연 등의 금속 산화물을 이용할 수도 있다. 그리고, 그 막 두께는 투명성 및 도전성의 확보를 위해, 80nm∼400㎚으로 설정되고, 보다 바람직하게는 100nm∼200㎚으로 설정된다. 그리고, 상기 투명 전극은, 기판(1) 상의 전체 면에 걸쳐 성막한 후에, 예를 들면, 포토리소그래피법을 이용함으로써 도 3a에 2a, 2b, 2c로 도시한 바와 같이 3개로 패터닝한 구성으로 할 수도 있다.

계속해서, 도 3b에 도시한 바와 같이 도체부(5)가 형성된다. 이 도체부(5)는 상기한 바와 같이, 인접하는 발광 세그먼트(a, b, c)의 경계부에서의 상기 투명 전극(2b, 2c) 상에, 상기 경계부를 따라 연속하도록 하여 격벽 형상으로 형성된다. 또, 상기 도체부(5)는 반드시 연속한 격벽 형상으로 형성시킬 필요는 없고, 적어도 하나의 도체부를, 예를 들면 스폿 형상으로 형성시킴으로써도, 이것을 통해 발광 세그먼트(a, b, c)를 직렬 접속시킬 수 있다. 그러나, 도체부(5)는 실시 형태와 같이 경계부를 따라 연속된 격벽 형상으로 형성하는 것이, 제1 전극 재료인 ITO의 높은 전기 저항율을 효과적으로 보상하는 것이 가능해진다.

상기한 도체부(5)를 형성시키는데 있어, 에칭법, 진공 증착법, 포토리소그래피법, 인쇄법 등을 이용할 수 있고, 이 도체부(5)에 이용하는 재료로서는, ITO, 알루미늄, 포토 은페이스트, 은페이스트, 카본페이스트 등을 들 수 있다. 또한, 상기 도체부(5)의 기판(1)의 법선 방향에서의 높이는, 후에 성막되는 유기 EL 발광층보다도 높게 형성되어 있는 것이 바람직하고, 3㎛ 정도가 최적이다.

또한, 상기 도체부(5)는 기판(1)의 법선 방향의 면에서 절단한 단면 형상이 도면에 도시한 바와 같이 직사각형 혹은 근원 부분보다도 머리 부분의 폭이 크게 형성된 역사다리꼴 형상으로 구성되어 있는 것이 바람직하다. 또, ITO, 알루미늄은 일체 형성 후에 에칭하여 도체부를 형성하여도 좋다. 도전 페이스트(포토 은페이스트)에서는 포토리소그래피(네가티브 타입)를 이용하면 단면 형상을 역사다리꼴 형상으로 하는 것이 가능하다.

또한, 상기 도체부(5)는 그 단면 형상을 역사다리꼴 형상으로 함으로써 후술하는 유기 EL 발광층을 성막하는 경우에, 절연성의 유기 재료가 도체부(5)의 측벽에 부착되는 정도를 낮게 할 수 있다. 이에 따라, 후술하는 바와 같이 배면 전극을 더 성막했을 때에, 도체부(5)에 대한 배면 전극의 전기적인 도통을 양호하게 할 수 있다.

도 3c는, 각 발광 세그먼트(a, b, c)의 사이에 절연층(6)을 형성한 상태를 도시하는 것이다. 이 절연층(6)은 도 3c에 도시한 바와 같이, 각 투명 전극의 사이 및 상기 도체부(5)를 중심으로 하여, 그 양측에서 도체부(5)를 따라 형성된다. 상기 절연층(6)으로서는 예를 들면 고분자 폴리이미드를 이용할 수 있고, 이 고분자 폴리이미드를 코팅하여 노광 및 현상을 함으로써, 도 3c에 도시하는 패턴에 따른 절연층(6)을 형성할 수 있다.

도 3d는, 격벽 형상의 세퍼레이터(7)를 형성하는 공정을 도시하고 있고, 이 세퍼레이터(7)는 상기 각 도체부(5)에 각각 인접하도록 하여, 절연층(6) 상을 따라 형성되어 있다. 그리고, 상기 각 세퍼레이터(7)의 상부는, 도 4에 확대하여 도시한 바와 같이 상기 기판(1)의 면에 평행한 방향으로 돌출되는 오버행부(7a)가 형성되고, 이에 따라 그 단면 형상은 거의 역등변 사다리꼴이 되도록 형성되어 있다.

상기한 바와 같이 그 단면 형상이 역등변 사다리꼴이 되는 세퍼레이터(7)를 형성하는 하나의 바람직한 제법은 다음과 같다. 즉, 고의로 UV 광의 투과성을 낮게 한 네가티브형 포토레지스트를 코팅하여 프리베이크한다. 이 때의 막 두께는 2㎛ 정도로 설정된다. 그리고, 광투과 슬릿을 구비한 마스크를 통해, 세퍼레이터(7)를 형성시키는 위치에 대하여 UV 광을 투사하여 노광한다. 이 때, 상기한 포토레지스트는 UV 광의 투과율이 낮으므로, 깊이 방향에서 현상액에 대한 용해성의 차가 생긴다.

따라서, 상기한 포토레지스트가 프리베이크된 기판(1)에 알칼리 현상액을 스프레이 샤워함으로써 현상 진행성의 차에 의해 도 4에 도시한 바와 같이 오버행 부(7a)를 포함하는 세퍼레이터(7)가 상기한 절연층(6) 상을 따라 돌출되어 형성된다. 이렇게, 세퍼레이터(7)의 단면 형상이 거의 역등변 사다리꼴로 이루어짐으로써, 후술하는 제2 전극으로서의 대향 전극의 성막시에, 대향 전극을 발광 세그먼트 마다에 전기적으로 분리하는 절연갭부(7b)(도 4에 도시함)를 세퍼레이터(7)의 근원 부분에 형성할 수 있다.

도 3e는 유기 EL 발광층을 더 성막한 상태를 도시한다. 이 경우, 유기 EL 발광층을 전체 면에 걸쳐 성막 하는 것으로, 상기 도체부(5) 및 세퍼레이터(7)의 존재에 의해 유기 EL 발광층은 각 발광 세그먼트(a, b, c)에 대응하여 각각 부호 3a, 3b, 3c로 도시한 바와 같이 3개로 분리된다. 상기 유기 EL 발광층은, 기본적으로는 홀 수송층, 유기 발광층, 전자 주입층의 각 층으로 구성되나, 이에 더하여 홀 주입층, 전자 주입층이 포함되는 경우도 있다. 이들 각 층의 형성도, 진공 증착법 등의 통상 이용되는 성막 수단을 채용할 수 있다.

그리고, 상기 각 층의 막 두께도, 각 층 끼리의 적용성이나 구해진 전체 막두께를 고려하여 적절하게 상황에 따라 정해지나, 3개로 분리되는 유기 EL 발광층(3a, 3b, 3c)의 각각의 기판(1)의 법선 방향의 높이는, 이미 설명한 도체부(5) 및 세퍼레이터(7)의 높이보다도 낮아지도록 설정된다.

계속해서, 도 3f에 도시한 바와 같이 상기한 유기 EL 발광층(3a, 3b, 3c) 상에, 제2 전극으로서의 대향 전극이 전면에 걸쳐 더 성막된다. 이 때, 상기한 세퍼레이터(7)의 존재에 의해 대향 전극은 각 발광 세그먼트(a, b, c)에 대응하여, 각각 부호 4a, 4b, 4c로 도시한 바와 같이 3개로 분리된 상태로 성막된다.

상기 대향 전극(4a, 4b, 4c)은 일함수가 작은 금속, 합금, 도전성 화합물에 의해 구성된다. 예를 들면, 알루미늄, 알루미늄-리튬 합금, 마그네슘-은 합금 등이 이용된다. 그리고, 상기 대향 전극의 막 두께는 10nm ∼500㎚ 정도로 설정되고, 바람직하게는 50nm ∼ 200㎚로 이루어진다. 또한, 상기 대향 전극에서도, 스퍼터링법이나 이온 플레이팅법, 증착법 등의 통상 이용되는 방법에 의해 성막할 수 있다.

이 경우, 대향 전극의, 예를 들면 증착에 의한 성막에 의해 도 4에 도시한 바와 같이 대향 전극은 유기 EL 발광층(3a, 3b, 3c) 상 뿐만아니라, 상기한 도체부(5) 및 세퍼레이터(7)의 상면에 성막된 유기 재료 상에도 더 성막된다. 여기서, 상기 세퍼레이터(7)는 이미 설명한 바와 같이, 그 단면 형상이 오버행부(7a)를 포함하는 역등변 사다리꼴로 이루어져 있으므로, 대향 전극의 성막시에 세퍼레이터(7)의 근원 부분에는 대향 전극의 재료가 성막되는 것이 저지된다.

이 결과, 세퍼레이터(7)의 근원 부분에는 도 4에 도시한 바와 같이 절연갭부(7b)를 형성시킬 수 있고, 이에 따라 상기 대향 전극은, 부호 4a, 4b, 4c로 도시한 바와 같이, 전기적으로 분리된 형태로 성막된다. 한편, 대향 전극의 성막시에, 도 3f 및 도 4에 도시한 바와 같이 대향 전극(4a)이 도체부(5)에 접속되고, 이 도체부(5)를 통해 대향 전극(4a)이 투명 전극(2b)에 접속된다. 마찬가지로 대향 전극(4b)은 도체부(5)를 통해 투명 전극(2c)에 접속되고, 이 결과, 각 발광 세그먼트(a, b, c)는 직렬 접속된 구성이 된다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 유기 EL 발광 장치에 의하면, 인접하는 발광 세그먼트의 경계부에서의 제1 전극으로서의 투명 전극 상에 미리 도체부 를 형성 하는 것으로, 종래와 같이 유기 EL 발광층을 증착 마스크를 이용하여 분할 도포하는 조작을 하지 않고, 발광 세그먼트를 직렬 접속시킨 구성의 유기 EL 발광 장치를 제공할 수 있다.

이에 더하여, 상기 도체부에 각각 인접하도록 하여 격벽 형상의 세퍼레이터를 발광 세그먼트의 경계부를 따라 형성한 구성으로 하는 것으로, 종래와 같이 제2 전극으로서의 대향 전극을 증착 마스크를 이용하여 분할 도포하는 조작을 하지 않고, 대향 전극을 각 발광 세그먼트에 대응하여 전기적으로 분리한 상태로 성막할 수 있다.

따라서, 상기한 구성의 유기 EL 발광 장치를 채용함으로써, 복수로 분할한 발광 세그먼트를 직렬 접속시킨 구성의 유기 EL 발광 장치를 효율적으로 제조하는 것이 가능해진다.

또한, 도 3a∼도 3f에 기초하여 설명한 유기 EL 발광 장치의 제조(성막) 공정에서는, 제1 전극으로서의 투명 전극의 패터닝 후에 도체부(5)를 형성하고, 그 후에 절연층(6) 및 세퍼레이터(7)를 형성하도록 하고 있지만, 이것은 투명 전극의 패터닝 후에 절연층(6) 및 세퍼레이터(7)를 먼저 형성하고, 그 후에 도체부(5)를 형성하는 제조 공정을 채용할 수도 있다.

이상과 같이 하여 형성된 유기 EL 발광 장치에 있어서, 상기 도체부와 대향 전극과의 사이의 전기적인 접속이 충분하지는 않은 경우에는, 패널 성형 후의 후처리로서 이하의 방법을 채용하여 양자의 접속을 확보하는 것이 가능하다. 그 하나는, 전극 사이에 역바이어스를 인가하는 수단, 또 다른 하나로서, 투명 전극측 혹 은 대향 전극측으로부터 도체부에 레이저 조사를 하는 수단(레이저 리페어법(laser repair method), 또 다른 하나로서, 도체부에 대해 대향 전극측으로부터 물리적인 압력을 가하는 수단 등을 채용할 수 있다.

다음으로 도 5는, 본 발명에 따른 유기 EL 발광 장치의 다른 바람직한 구성예를 도시한 것이며, 이 도 5에서는 이미 설명한 도 4에 도시한 각 부와 동일한 기능을 하는 부분을 동일 부호로 도시하고 있다. 따라서, 그 상세한 설명은 생략한다.

도 5에 도시하는 예는, 도체부(5)의 소재로서 표면이 거친 도전성 페이스트를 이용하고, 예를 들면 스크린 인쇄에 의해 도체부를 형성한 예를 도시하고 있다. 이 경우, 상기 도체부(5)에서의 정상부에는, P-V 값으로 10㎚∼10㎛의 요철이 형성되어 있는 것이 바람직하다. 도체부(5)에 상기한 요철을 형성시킴으로써, 상기 도전 페이스트와 제2 전극과의 접촉이 확실하게 되어, 양자의 전기적인 접속을 확실하게 이룰 수 있다.

이 경우, P-V 값으로 10㎚ 미만의 요철로서는, 상기 유기층이 절연층으로서 존재하기 때문에, 도전 페이스트와 제2 전극과의 확실한 접속을 기대할 수 없게 된다. 또한 P-V 값으로 10㎛를 넘는 요철로서는, 필요 부위에 유기층이 성막되지 않을 우려가 생긴다.

상기한 바와 같이 도체부(5)에서의 정상부에, P-V 값으로 10㎚∼10㎛의 요철을 형성시키는 경우에는, 도전성 페이스트에 포함되는 금속 입자의 입자 지름으로서, 1㎚∼10㎛의 범위로 선정한 것을 이용하는 것으로, 바람직한 결과를 얻을 수 있다.

다음으로 도 6은 본 발명에 따른 유기 EL 발광 장치의 다른 바람직한 제조 방법에 관해 설명하는 것이며, 이 도 6에 도시하는 구성에서는, 이미 설명한 도 4에 도시한 각 부와 동일한 기능을 하는 부분을 동일 부호로 도시하고 있다. 따라서, 그 상세한 설명은 생략한다.

이 도 6에 도시하는 유기 EL 발광 장치에서는, 기판(1) 상의 인접하는 발광 세그먼트의 경계부를 따라 장척 형상의 격벽부(8)가 형성된다. 도 6에 도시하는 예는 이미 설명한 세퍼레이터(7)와 마찬가지로 단면 형상이 거의 역사다리꼴로 형성되어 있지만, 이 격벽부(8)는 단면 형상이 직사각형 혹은 사다리꼴 형상으로 형성된 것이어도 좋다.

그리고, 상기 격벽부(8)를 형성한 상태에서 유기 EL 발광 재료를 사방 증착하는 것으로, 발광 세그먼트의 경계부에서의 유기 EL 발광층의 성막 위치를 제어하도록 이루어진다. 즉, 도 6에 도시하는 예에서는, 유기 EL 발광 재료는 파선의 화살표 e로 도시하는 태양에서, 기판(1)에 대하여 사방 증착이 실행된다. 이 때 기판(1)의 법선 방향에 대한 사방 증착의 각도는 θ1이다.

상기한 형태에 의해 유기 EL 발광 재료를 사방 증착하는 것으로, 유기 EL 발광층(3a, 3b, 3c)이 투명 전극(2a, 2b, 2c)에 중첩되도록 성막된다. 이 때, 상기 격벽부(8)의 그림자가 되는 부분에는, 유기 EL 발광 재료는 증착되지 않는다. 계속해서, 상기 각도 θ1 보다도, 작은 각도인 θ2를 가지고 제2 전극 재료를 상기유기 EL 발광층 상에 증착하도록 이루어진다. 즉, 제2 전극 재료는 파선의 화살표 f로 도시하는 태양에서, 기판(1)에 대하여 사방 증착된다.

이에 따라, 대향 전극(4a, 4b)은 인접하는 발광 세그먼트에서의 투명 전극(2b, 2c)의 단부에 접합하여 전기적으로 도통된다. 한편, 상기 격벽부(8)의 그림자가 되는 부분에는, 대향 전극의 전극 재료는 증착되지 않고, 절연갭부(9)가 형성된다. 따라서 대향 전극은, 상기 절연갭부(9)에 의해 발광 세그먼트 마다에 전기적으로 분리된 형태로 성막된다.

따라서, 상기한 사방 증착을 채용함으로써도, 복수로 분할한 발광 세그먼트를 직렬 접속시킨 구성의 유기 EL 발광 장치를 효율적으로 제조하는 것이 가능해진다.

상기한 바와 같이 사방 증착을 하는 경우에, 예를 들면 클러스터형의 기판 회전 증착 기구에서는, 각도 제한을 둔 경우, 증착 불균일이 발생하여, 대면적의 기판으로의 대응이 곤란하므로, 인라인형 증착 장치를 이용하는 것이 바람직하다.

도 7 및 도 8은, 상기 도 6에 도시한 사방 증착에 의한 EL 발광 장치의 제법에서 적합하게 채용할 수 있는 인라인형 증착 장치의 일례를 모식적으로 도시한 것이다. 또, 도 7은 인라인형 증착 장치와 이에 따라 증착을 받는 기판의 반송 관계를 도시한 것이며, 도 8은 도 7에 도시한 인라인형 증착 장치를 D-D 선으로부터 화살표 방향으로 본 단면도로 도시하고 있다.

이 인라인형 증착 장치(11)는 그 외곽이 직방체 형상으로 형성되고, 그 상단부에는 직사각형 형상의 노즐 개구(12)가 형성되어 있다. 이 증착 장치(11)의 바닥부는 도시하지 않고 있으나, 증착 재료가 수용되는 증발실(도가니)을 구성하고 있 고, 도시하지 않는 히터에 의해 가열된다. 증착 재료는 가열을 받아 기화 또는 승화되어, 그 증기가 노즐 개구(12)로부터 토출된다.

이 경우, 직사각형 형상의 노즐 개구(12) 내에는, 노즐 개구의 길이 방향의 한 쪽을 향해, 연직 방향에 대해 소정의 각도(상기 θ1 혹은 θ2)를 가지고, 증기를 토출시키는 복수의 안내판(13)이 배치되어 있다. 한편, 기판(1)은 노즐 개구(12)의 바로 위를 노즐 개구의 길이 방향에 직교하는 방향으로 일정한 속도를 가지고 화살표(E) 방향으로 반송된다.

이 경우, 상기 기판(1)에는 반송 방향(E)에 평행하도록 하여 발광 세그먼트 (a, b, c)가 구획되어 있고, 발광 세그먼트의 경계부에 형성된 도 6에 도시하는 격벽부(8)의 작용에 의해, 상기한 바와 같이 유기 EL 발광 재료 및 대향 전극 재료의 증착 영역을 제어할 수 있다.

또한, 이상 설명한 실시 형태에서는, 기판(1) 측의 제1 전극을 투명 전극으로 한 바텀 에미션 타입의 발광 장치를 예로 하고 있지만, 본 발명은 제2 전극을 투명 전극으로 한 톱 에미션 타입의 발광 장치에 대해서도 마찬가지로 채용할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 유기 EL 발광 장치의 적층 구조예를 상면으로부터 본 상태에서 도시한 모식도이다.

도 2는 도 1에 도시한 A-A선으로부터 화살표 방향으로 본 상태의 단면도이다.

도 3a는 도 1에 도시한 발광 장치의 제조 공정에서, 제1 전극을 패터닝한 상태를 도시하는 단면도이다.

도 3b는 도 3a에 이어, 도체부를 형성한 상태를 도시하는 단면도이다.

도 3c는 도 3b에 이어, 절연층을 형성한 상태를 도시하는 단면도이다.

도 3d는 도 3c에 이어, 세퍼레이터를 형성한 상태를 도시하는 단면도이다.

도 3e는 도 3d에 이어, 유기 EL 발광층을 적층한 상태를 도시하는 단면도이다.

도 3f는 도 3e에 이어, 제2 전극을 성막한 상태를 도시하는 단면도이다.

도 4는 도 3f에서의 쇄선B로 둘러싸인 부분을 확대하여 도시한 일부 확대 단면도이다.

도 5는 본 발명에 따른 유기 EL 발광 장치의 다른 바람직한 구성예를 도시한 부분 확대 단면도이다.

도 6은 본 발명에 따른 유기 EL 발광 장치의 다른 바람직한 제조 방법에 관해 설명하는 부분 확대 단면도이다.

도 7은 도 6에 도시한 구성의 EL 발광 장치를 제조하는데 적합한 인라인식 증착 장치의 일례를 도시한 모식도이다.

도 8은 도 7에서의 D-D선으로부터 화살표 방향으로 본 상태의 단면도이다.

도 9는 종래의 유기 EL 발광 장치의 적층 구조예를 상면에서 본 상태에서 도시한 모식도이다.

Claims (16)

1. 제1 전극, 유기 EL 발광층 및 제2 전극으로 이루어진 복수의 발광 세그먼트가 기판 상에 형성되고, 상기 각 발광 세그먼트가 직렬로 접속된 구성의 유기 EL 발광 장치로서,

   인접하는 발광 세그먼트의 경계부에서의 상기 제1 전극 상에, 적어도 하나의 도체부가 형성되고, 상기 각 제1 전극 상에 상기 유기 EL 발광층과 상기 제2 전극이 각각 적층됨으로써, 상기 도체부를 통해 인접하는 발광 세그먼트에서의 상기 제1 전극과 상기 제2 전극이 전기적으로 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 EL 발광 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 기판의 법선 방향에서의 상기 도체부의 높이는, 상기 유기 EL 발광층보다도 높게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 EL 발광 장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 기판의 법선 방향의 면에서 절단한 상기 도체부의 단면 형상은 직사각형 혹은 역사다리꼴로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 EL 발광 장치.
4. 제2항에 있어서, 상기 기판의 법선 방향의 면에서 절단한 상기 도체부의 단면 형상은, 직사각형 혹은 역사다리꼴로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 EL 발광 장치.
5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 도체부에서의 정상부에는, P-V 값으로 10㎚~10㎛의 요철이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 EL 발광 장치.
6. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 도체부는 도전성 페이스트에 의해 형성되고, 상기 도전성 페이스트에 포함되는 금속 입자의 입자 지름은 1㎚~10㎛로 선정되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 EL 발광 장치.
7. 제5항에 있어서, 상기 도체부는 도전성 페이스트에 의해 형성되고, 상기 도전성 페이스트에 포함되는 금속 입자의 입자 지름은, 1㎚~10㎛로 선정되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 EL 발광 장치.
8. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 도체부는 인접하는 발광 세그먼트의 경계부에서, 상기 경계부를 따라 연속되는 격벽(隔璧) 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 EL 발광 장치.
9. 제5항에 있어서, 상기 도체부는, 인접하는 발광 세그먼트의 경계부에서, 상기 경계부를 따라 연속되는 격벽 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 EL 발광 장치.
10. 제6항에 있어서, 상기 도체부는, 인접하는 발광 세그먼트의 경계부에서, 상기 경계부를 따라 연속되는 격벽 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 EL 발광 장치.
11. 제7항에 있어서, 상기 도체부는, 인접하는 발광 세그먼트의 경계부에서, 상기 경계부를 따라 연속되는 격벽 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 EL 발광 장치.
12. 제1항에 있어서, 상기 각 발광 세그먼트의 도체부에 각각 인접하도록 하여 격벽 형상의 세퍼레이터가 발광 세그먼트의 경계부를 따라 더 형성되고, 상기 세퍼레이터에 의해 상기 제2 전극의 형성시에, 제2 전극을 발광 세그먼트 마다에 전기적으로 분리하는 절연갭부를 세퍼레이터의 근원 부분에 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 발광 장치.
13. 제12항에 있어서, 상기 세퍼레이터의 상부에는 상기 기판의 면에 평행한 방향으로 돌출되는 오버행부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 EL 발광 장치.
14. 제1 전극, 유기 EL 발광층 및 제2 전극으로 이루어진 복수의 발광 세그먼트가 기판 상에 형성되고, 상기 각 발광 세그먼트가 직렬로 접속된 구성의 유기 EL 발광 장치의 제조 방법으로서,

    상기 각 발광 세그먼트 마다의 상기 제1 전극을 각각 분리한 상태로 상기 기판 상에 형성하는 패터닝 공정과,

    상기 기판 상의 인접하는 발광 세그먼트의 경계부에서, 상기 제1 전극 상에 적어도 하나의 도체부를, 후속 공정에서 형성되는 유기 EL 발광층보다도 높게 형성하는 공정과,

    상기 제1 전극 상에 상기 유기 EL 발광층을 형성하는 공정과,

    상기 유기 EL 발광층 상에 상기 제2 전극을 형성하는 공정

    을 실행함으로써, 인접하는 발광 세그먼트 사이에서의 상기 제1 전극과 상기 제2 전극이 상기 도체부를 통해 전기적으로 접속한 구성을 얻는 것을 특징으로 하는 유기 EL 발광 장치의 제조 방법.
15. 제1 전극, 유기 EL 발광층 및 제2 전극으로 이루어진 복수의 발광 세그먼트가 기판 상에 형성되고, 상기 각 발광 세그먼트가 직렬로 접속된 구성의 유기 EL 발광 장치의 제조 방법으로서,

    상기 각 발광 세그먼트 마다의 제1 전극을 각각 분리한 상태로 상기 기판 상에 형성하는 패터닝 공정과,

    상기 기판 상의 인접하는 발광 세그먼트의 경계부를 따라 장척 형상의 격벽 부를 형성하는 공정과,

    상기 기판의 법선 방향에 대해 소정의 각도를 가지고 유기 EL 발광 재료를 사방(斜方) 증착하는 것으로, 상기 제1 전극 상에 상기 유기 EL 발광층을 형성하는 공정과,

    상기 소정의 각도보다도 작은 각도를 가지고 제2 전극 재료를 상기 유기 EL 발광층 상에 증착하는 것으로, 상기 유기 EL 발광층 상에 상기 제2 전극을 형성하는 공정

    을 실행함으로써, 인접하는 발광 세그먼트 사이에서의 상기 제1 전극의 단부(端部)에 대해 상기 제2 전극의 단부를 전기적으로 접속한 구성을 얻는 것을 특징으로 하는 유기 EL 발광 장치의 제조 방법.
16. 제15항에 있어서, 인라인식 증착 장치를 이용하여, 상기 유기 EL 발광 재료를 사방 증착하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 발광 장치의 제조 방법.

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