KR20080079764A - 컨베이어장치 - Google Patents

Abstract

본 발명의 컨베이어장치는 소정폭으로 피반송물의 반송방향으로 신장하는 좌우 한 쌍의 간극부를 한정하는 케이스, 피반송물을 담지하여 반송할 수 있도록 좌우 한 쌍의 간극부의 근방에 또는 인접하는 영역에 배치되어 케이스에 지지된 반송체, 반송체를 구동할 수 있도록 케이스의 내부공간에 배치된 구동기구, 내부공간을 흡인하는 흡인수단을 포함한다. 이에 따르면, 흡인수단에 의해 케이스 내의 내부공간이 흡인되면, 간극부를 통하여 외부로부터 내부공간으로 유입하는 기류가 발생하고, 간극부의 하방근방에 배치된 반송체의 근방 등에서 발생한 마모가루, 먼지 등은 이 기류를 타고 흡입되어, 외부로 비산하는 것이 방지된다.

컨베이어, 케이스, 커버, 반도체장치, 팔레트, 무단벨트, 반송 프레임, 반송물, 내부공간, 가이드부재, 간극부, 흡인구, 환경오염, 모터, 전달벨트

Description

컨베이어장치 {Conveyer Apparatus}

도 1은 본 발명에 관한 컨베이어장치의 일 실시예를 도시하는 정면도이다.

도 2는 도 1에 도시하는 컨베이어장치의 평면도이다.

도 3은 도 1에 도시하는 컨베이어장치의 반송방향에서의 부분단면도이다.

도 4는 도 1에 도시하는 컨베이어장치의 반송방향에서 직각인 방향에서의 단면도이다.

도 5는 도 1에 도시하는 컨베이어장치의 프레임구조를 분해하여 도시한 분해단면도이다.

도 6은 피반송물로서 팔레트의 변형예를 도시하는 반송방향에 직각인 방향에서의 컨베이어장치의 단면도이다.

도 7은 본 발명에 관한 컨베이어장치의 다른 실시예를 도시하는 것이고, 반송방향에서의 부분단면도이다.

도 8은 도 7에 도시하는 컨베이어장치의 반송방향에 직각인 방향에서의 단면도이다.

도 9는 본 발명에 관한 컨베이어장치의 또 다른 실시예를 도시하는 평면도이다.

도 10은 도 9에 도시하는 컨베이어장치의 반송방향에 직각인 방향에서의 단 면도이다.

도 11은 도 9와 도 10에 도시하는 컨베이어장치의 변형예를 도시하는 단면도이다.

도 12는 본 발명에 관한 컨베이어장치의 또 다른 실시예를 도시하는 평면도이다.

도 13은 도 12에 도시하는 컨베이어장치의 반송방향의 직각인 방향에서의 단면도이다.

도 14는 도 12 및 도 13에 도시하는 컨베이어장치의 변형예를 도시하는 단면도이다.

* 도면의 주요 부호*

S : 내부공간 G : 간극부

X : 전후방향(반송방향) Y : 좌우방향

Z : 상하방향 W : 워크(피반송물)

P, P' : 팔레트(피반송물) P1 : 담지부

P2 : 다리부 P3, P3' : 기부

10, 10', 10'', 10''', 110 : 하측케이스

11, 11', 11'', 11''', 111 : 좌우 한쌍의 반송 프레임

12, 12', 12'', 12''', 112 : 좌우 한쌍의 반송 프레임

11a, 12a : 종벽부 11b, 12b : 상단 플랜지부

11c, 11c', 11c'', 11c''', 111c : 상측지지부

12c, 12c', 12c'', 12c''', 112c : 상측지지부

11d, 11d', 12d, 12d' : 하측지지부 11e''', 12e''' : 원형 구멍

13 : 면형상 프레임 13a : 흡인구

13b : 삽입구멍 14 : 절단벽

15 : 패드 20, 20', 20'', 120, 120' : 상측커버

21, 21', 21'', 21''', 22, 22', 22'', 22''', 121, 122 : 테두리부

126' : 가이드부 23 : 오목부

24 : 지주 25 : 가이드부재

30, 30' : 무단벨트(반송체) 31, 31' : 상측벨트

32, 32' : 하측벨트 40, 40' : 구동기구

41 : 구동풀리 41' : 구동스프로켓

42 : 모터 43 : 전달벨트

50 : 배기덕트(배기수단) 50a : 흡인통로

60 : 흡인기(배기수단) 130 : 배속체인(롤러체인, 반송체)

131 : 상측체인 132 : 하측 체인

230 : 복수의 롤러 (반송체)

본 발명은 전자부품 혹은 기계부품 등의 워크를 반송하는 컨베이어장치에 관한 것이며, 특히, 반도체 제조라인 등의 클린환경하에서, 반도체에 관련하는 전자부품, 예를 들면 반도체용의 기판 등을 수용하는 전용의 용기(FOUP) 등을 직접 혹은 팔레트에 담지하여 반송하는 것에 적당한 컨베이어장치에 관한 것이다.

종래의 반도체 제조라인에서는, 반도체용의 기판(웨이퍼)을 각각의 처리공정(처리장치)으로 반송할 때에, 복수의 기판을 전용의 용기(FOUP)에 수용하고, 이 용기를 컨베이어장치에 의해 반송하는 수법이 알려져 있다. 이 용기는, 내부를 클린 환경으로 유지할 수 있도록 밀폐되어 있다. 한편, 용기가 반송되는 환경은 반도체의 제조라인 내에 있기 때문에, 컨베이어장치도 클린화의 대응이 요구된다.

이러한 반도체 제조라인에 적용되는 종래의 컨베이어장치로서는 구동프레임 및 지지프레임으로 이루어지는 좌우 한 쌍의 반송 프레임, 좌우 한 쌍의 반송 프레임을 연결하는 연결부재, 구동프레임에 배치된 복수의 휠, 복수의 휠을 연동시켜 회전구동하는 무단벨트, 무단벨트를 회전구동하는 모터 등으로 이루어지는 구동기구, 휠의 상방부를 노출시킨 상태에서 구동기구를 둘러쌀 수 있도록 반송 프레임에 설치된 하우징 등을 설치한 것이 알려져 있다(예를 들면, 일본 특표 2003-524544 호 공보).

그러나, 이 컨베이어장치에서는, 좌우 한 쌍의 반송 프레임은 각각 독립하여 형성된 후에 연결부재로 결합되므로, 부품수가 많고, 그 외에도 좌우의 반송 프레임의 평행도를 확보할 수 있도록, 높은 정도로 조립할 필요가 있으며, 시간의 경과에 동반하여 좌우방향의 평행도 혹은 수평도의 저하를 조정할 필요가 있고, 고코스트화를 초래한다는 문제가 있다. 또한, 구동기구는 하우징에 의해 둘러쌓여 있지만, 접동부분 등에서 발생한 마모가루, 먼지 등이 하우징으로부터 외부로 비산하여, 반도체 제조라인의 환경을 오염시킬 우려가 있고, 또한, 하우징으로 둘러쌓여 있지 않은 지지프레임측에서도, 접동에 의해 발생한 마모가루 등이 직접비산하여 반도체 제조라인의 환경을 오염시킬 우려가 있다.

그리고, 이들 분진 등의 비산을 방지할 수 있도록, 이 장치에 대해서, 마모가루, 먼지 등을 적극적으로 흡인하는 흡인수단을 설치하려고 하여도, 좌우의 반송 프레임이 각각 독립되어 있기 때문에, 별도로 흡인수단을 설치하지 않으면 안되므로, 고코스트화를 초래하게 된다.

또한, 종래의 다른 컨베이어장치로서는 좌우 한 쌍의 반송 프레임, 좌우 한 쌍의 반송 프레임을 연결하는 연결부재, 좌우 한 쌍의 반송 프레임에 각각의 양단이 회전이 자유롭게 지지되고 반송방향으로 배열된 복수의 롤러, 복수의 롤러의 일단측에 구동력을 미치도록 일방의 반송 프레임에 배치된 구동축, 구동전달벨트 등으로 이루어지는 구동기구, 구동기구를 수용할 수 있도록 일방의 반송 프레임 측에 설치된 밀폐케이스, 밀폐케이스 내에 발생한 먼지를 배기하는 덕트, 집진필터, 팬 등으로 이루어지는 배기수단 등을 구비한 것이 알려져 있다(예를 들면, 일본 특허 공개 평 11-171336 호 공보).

그러나, 이 컨베이어장치에서는 복수의 롤러는 완전히 노출된 상태로 배치되어, 복수의 롤러의 타단을 지지하는 타방의 반송 프레임에 설치된 베어링도 노출된 상태에 있고, 이들의 영역으로부터 발생한 마모가루 혹은 먼지 등이 직접 비산하여 반도체 제조라인의 환경을 오염시킬 우려가 있다.

본 발명은 상술한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 것은 구조의 간결화, 각 기구의 집약화, 장치 전체로서 소형화, 저코스트화, 생산성의 향상 등을 기도하면서, 반송동작에서 발생한 마모가루, 먼지 등이 비산하는 것을 방지할 수 있고, 또한, 케이스를 한정하는 좌우 한 쌍의 반송 프레임의 평행도 및 수평도를 용이하게 확보할 수 있고, 조립이 용이하고, 특히, 반도체 제조라인 등의 클린환경하에서 사용되는 것에 적합한 컨베이어장치를 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하는 본 발명의 컨베이어장치는 소정폭으로써 피반송물의 반송방향으로 신장하는 좌우 한 쌍의 간극부를 한정하는 케이스와, 피반송물을 담지하여 반송할 수 있도록 좌우 한 쌍의 간극부의 근방 또는 인접하는 영역에 배치되어 케이스에 지지된 반송체와 반송체를 구동할 수 있도록 케이스의 내부공간에 배치된 구동기구와 내구공간을 흡인하는 흡인수단을 포함한다.

이 구성에 따르면, 구동기구에 의해 반송체가 구동되면, 반송체에 담지된 피반송물은 케이스로 한정되는 소정의 반송방향으로 반송된다. 여기서, 간극부는 소정폭(즉, 공기씰이 생길 수 있도록 가능한한 좁은 폭)으로 형성되어 있고, 흡인수단에 의해 케이스 내의 내부공간이 흡인되면 간극부를 통하여 외부로부터 내부공간 으로 흘러들어오는 기류가 발생한다. 따라서, 반송체의 근방(혹은 구동기구 등의 접동영역)에서 발생한 마모가루, 먼지 등은 이 기류를 타고 흡인수단에 의해 흡인되어, 외부로 비산하는 것이 방지된다. 그 결과, 이 컨베이어장치가 클린환경 하에서 사용되어도, 그 환경을 오염시키지 않고 요구되는 클린도를 유지할 수가 있다.

상기 구성에서, 반송체는 케이스의 내부공간에서 좌우 한 쌍의 간극부의 하방근방에 배치되고, 피반송물은 좌우 한 쌍의 간극부를 통하여 내부공간 내에 삽입되어 반송체 상에 담지되는 다리부와, 다리부에 지지되고 케이스의 외측 상방에 위치 설정되어 워크를 담지하는 담지부를 가진 팔레트인 구성을 채용할 수 있다.

이 구성에 따르면, 워크를 담지부에 담지한 팔레트는 그 다리부가 좌우 한 쌍의 간극부를 통하여 간극부의 하방근방(내부공간)에 위치하는 좌우의 반송체에 안정된 상태로 담지되어서 반송된다. 이에 의해, 원활하게 안정된 반송이 행해지고, 간극부를 통하여 외부로부터 내부공간으로 흘러들어오는 하강기류에 의해 반송체 주위에서 발생한 마모가루, 먼지 등은 이 하강기류를 타고 흡인수단에 의해 흡입되어 외부로 비산하는 것이 방지된다.

상기 구성에서, 팔레트는 좌우 한 쌍의 간극부에 대해서, 다리부의 삽입 및 이탈이 자유롭게 형성되어 있는 구성을 채용할 수 있다.

이 구성에 따르면, 간극부를 통하여 팔레트의 다리부를 삽입 및 이탈할 수 있도록, 이 컨베이어장치(반송체)에 대한 팔레트의 부착 및 분해를 용이하게 행할 수 있다.

상기 구성에서, 케이스는 반송방향으로 신장하는 좌우 한 쌍의 반송 프레임 및 한 쌍의 반송 프레임의 하방을 연결하는 면형상 프레임을 포함하는 하측케이스와 면형상 프레임의 상방으로부터 대향하여 내부공간을 폐쇄적으로 한정하며 한 쌍의 반송 프레임에 좌우방향의 내측으로부터 대향하여 좌우 한 쌍의 간극부를 한정하는 상측커버를 포함하는 구성을 채용할 수 있다.

이 구성에 따르면, 하측케이스의 좌우 한 쌍의 반송 프레임과 상측커버에 의해 좌우 한 쌍의 간극부 및 내부공간이 한정되기 때문에, 상측커버(의 좌우의 테두리부)와 좌우 한 쌍의 반송 프레임과 간극을 적절히 조정하므로써, 소정폭의 간극부를 용이하게 한정할 수 있다.

상기 구성에서, 좌우 한 쌍의 반송 프레임 및 면형상 프레임이 일체적으로 성형되어 있는 구성을 채용할 수 있다.

이 구성에 따르면, 좌우 한 쌍의 반송 프레임 및 면형상 프레임이 일체적으로 성형되어 있기 때문에, 조립작업이 불필요하게 되고, 또한, 일체 성형에 의해 좌우 프레임의 평행도 및 수평도가 높은 정도로 확보되기 때문에, 평행도 및 수평도를 조정하는 작업이 불필요하게 되고, 제조코스트 및 관리코스트를 절감할 수 있다.

상기 구성에서, 상측커버는 하측케이스에 대해서 착탈이 자유롭게 형성되어 있는 구성을 채용할 수 있다.

이 구성에 따르면, 정기적인 메인티넌스를 행할 때, 상측커버를 분해하므로써 용이하게 점검작업 혹은 청소작업을 행할 수가 있다.

상기 구성에서, 반송체는 반송방향(전후방향)으로 장설되어 내부공간내에 배 치된 무단벨트이고, 무단벨트의 상측에 위치하는 상측벨트는 간극부에 대하여 하방으로부터 대향하도록 배치되어 있는 구성을 채용할 수가 있다.

이 구성에 따르면, 무단벨트 전체가 하측케이스 및 상측커버에 의해 한정되는 내부공간에 수용되어 있고, 피반송체는 상방의 간극부를 통하여 상측벨트에 담지된 상태로 전후방향으로 반송된다. 따라서, 간극부를 비접촉으로 통과하는 다리부를 가진 팔레트 등을 거쳐서 워크(예를 들면, 전자부품 혹은 전자부품을 수용한 용기 등)를 반송하는 것에 적합하고, 또한, 반송체(무단벨트) 및 구동기구가 전부 내부공간에 수용되어 있기 때문에, 발생한 마모가루 혹은 먼지 등이 외부로 비산하는 것을 보다 확실하게 방지할 수 있다.

상기 구성에서, 반송체는 반송방향(전후방향)으로 장설되어 내부공간 내에 배치된 복수의 롤러를 가진 롤러체인이고, 롤러체인의 상측에 위치하는 상측체인은 간극부에 대하여 하방으로부터 대향하도록 배치되어 있는 구성을 채용할 수 있다.

이 구성에 따르면, 롤러체인 전체가 하측케이스 및 상측커버에 의해 한정되는 내부공간에 수용되어 있고, 피반송체는 상방의 간극부를 통과하여 상측체인(의 복수의 롤러)에 담지된 상태로 전후방향으로 반송된다.

따라서, 간극부를 비접촉으로 통과하는 다리부를 가진 팔레트 등을 거쳐서 워크(예를 들면, 전자부품 혹은 전자부품을 수용한 용기 등)를 반송하기에 적합하고, 또한, 반송체(롤러 체인) 및 구동기구가 전부 내부공간에 수용되어 있기 때문에, 발생한 마모가루 혹은 먼지 등이 외부로 비산하는 것을 보다 확실하게 방지할 수 있다.

또한, 반송체가 전동하는 롤러체인이기 때문에, 접동하는 경우에 비하여 마모가루 등의 발생을 억제할 수 있고, 간극부에서 생기는 흡인작용과 더불어 효과적으로 먼지 등의 발생을 방지할 수 있다.

또한, 롤러체인으로서 배속체인을 이용하는 경우에는 구동기구에 의해 체인이 반송되는 속도로 롤러의 회전속도가 더해진 속도로 피반송물이 반송되기 때문에, 요구되는 클린도를 유지하면서도, 보다 고속의 반송이 가능하게 된다.

상기 구성에서, 반송체는 반송방향(전후방향)으로 장설된 무단벨트이고, 무단벨트의 상측에 위치하는 상측벨트는 간극부의 근방에 배치되어 있는 구성을 채용할 수 있다.

이 구성에 따르면, 무단벨트의 상측벨트가 노출된 상태에서 간극부의 근방에 배치되어, 하측벨트가 하측케이스 및 상측커버에 의해 한정되는 내부공간에 수용되어 있고, 피반송물은 노출된 상측벨트에 담지된 상태로 전후방향으로 반송된다. 따라서, 상측벨트를 내부에 수용하여 팔레트 등을 거쳐서 워크를 반송하는 경우에 비하여, 워크를 담지하는 상측벨트를 노출시키는 만큼 반송높이를 낮출 수 있고, 장치를 소형화할 수 있다. 또한, 무단벨트(상측벨트)는 간극부의 근방에 배치되어 있기 때문에, 상측벨트의 근방에서 발생한 마모가루, 먼지 등은 간극부에서 생기는 기류를 타고 내부공간으로 유입되어, 마모가루 혹은 먼지 등이 비산하는 것을 억제 내지 방지할 수 있다.

상기 구성에서, 반송체는 간극부의 영역에서 비접촉으로 배치된 복수의 롤러이고, 복수의 롤러 상방부가 피반송물을 담지하도록 간극부로부터 외측으로 돌출하 여 있는 구성을 채용할 수 있다.

이 구성에 따르면, 복수의 롤러는 간극부의 영역에 비접촉으로 또한 그 상방부가 외측으로 돌출하도록 배치되기 때문에, 피반송물은 노출된 롤러의 상방부에 담지된 상태로 전후방향으로 반송되고 롤러와 간극부를 한정하는 케이스와의 간극에는 내부를 향하는 기류가 생긴다. 따라서, 롤러를 완전히 수용하고 팔레트 등을 거쳐서 워크를 반송하는 경우에 비하여, 워크를 담지하는 롤러의 상방부를 노출시키는 만큼 반송높이를 낮출 수 있고, 장치를 소형화할 수 있다. 롤러의 주위에서 내부를 향하는 기류에 의해 내부공간 내에서 발생한 마모가루 혹은 먼지 등이 외부로 비산하는 것을 확실히 방지할 수 있다.

상기 구성에서, 흡인수단은 케이스의 좌우방향 약 중앙의 하측에서 반송방향(전후방향)으로 배열되어 설치된 복수의 흡인구, 이들 복수의 흡인구에 연통된 흡인통로를 포함하는 구성을 채용할 수 있다.

이 구성에 따르면, 케이스에 의해 한정되는 내부공간을 흡인할 때, 흡인구가 케이스의 하측에 설치되고, 이 흡인구에 대하여 흡인통로가 연통되어 있기 때문에, 간극부로부터 하강하는 기류를 적극적으로 발생시킬 수가 있다.

상기 구성에서, 흡인수단은 하측케이스의 좌우방향 약 중앙에서 반송방향(전후방향)으로 배열되어 설치된 복수의 흡인구, 복수의 흡인구에 연통된 흡인통로를 포함하는 구성을 채용할 수 있다.

이 구성에 따르면, 하측케이스 및 상측커버에 의해 한정되는 내부공간을 흡인할 때, 흡인구가 하측케이스에 설치되어, 이 흡인구에 대하여 흡인통로가 연통되 어 있기 때문에, 상측커버를 분해하여도, 하향으로 흡인되는 기류를 발생시킬 수 있다. 이에 의해, 상측커버를 분해하여 메인티넌스를 행하는 경우에도, 흡인수단을 작동시키므로써, 마모가루, 먼지 등의 비산을 방지할 수 있다. 또한, 복수의 흡인구가 하측케이스의 약 중앙에서 배열되어 설치되어 있기 때문에, 웅덩이가 생기도록 하는 영역이 발생하는 것을 방지하여, 전체로서 구석구석까지 효율 좋게 흡인할 수 있다. 또한, 흡인력을 발생하는 팬 등의 흡인기를 하나 설치하는 것으로 충분하므로, 흡인수단을 간소화 및 저코스트화할 수 있다.

상기 구성에서, 케이스에는 피반송물의 일부를 결합시켜서 반송방향(전후방향)으로 안내하는 가이드부가 설치되어 있는 구성을 채용할 수 있다.

이 구성에 따르면, 반송체(예를 들면, 무단 벨트의 상측 벨트, 롤러의 상방부 등)가 노출된 상태에서, 피반송물을 담지하여 반송하는 경우에, 피반송물의 일부(예를 들면, 팔레트로부터 하방으로 돌출하여 형성된 피가이드부)를 케이스의 가이드부로 안내하므로써, 피반송물을 좌우방향으로 어긋나지 않게 전후방향으로 확실하게 반송할 수 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 컨베이어장치에 따르면, 구조의 간략화, 각기구의 집약화, 장치 전체로서 소형화, 저코스트화, 생산성의 향상 등을 달성하면서, 반송동작에서 발생한 마모가루, 먼지 등이 비산하는 것을 방지할 수 있고, 또한, 케이스를 한정하는 좌우 한 쌍의 반송 프레임의 평행도 및 수평도를 용이하게 확보할 수 있고, 조립을 용이하게 행할 수 있다.

이하, 본 발명의 최적의 실시형태에 대해서 첨부도면을 참조하여 설명한다.

본 발명에 따른 컨베이어장치는, 도 1 내지 도 5에 도시하는 바와 같이, 케이스의 일부를 이루는 하측케이스(10), 하측케이스(10)에 연결되며 케이스의 일부를 이루는 상측커버(20), 하측케이스(10) 및 상측커버(20)에 의해 한정되는 내부공간(S)에 수용된 반송체로서의 무단벨트(30), 무단벨트(30)를 구동하는 구동기구(40), 내부공간(S)을 흡인할 수 있도록 하측케이스(10)에 접속된 흡인수단으로서의 배기덕트(50) 및 흡인기(60) 등을 구비하고 있다.

또한, 본 발명에 따른 컨베이어장치는 반도체용의 기판을 수용한 용기(FOUP) 등의 워크(W) 및 워크(W)를 담지한 팔레트(P)를 피반송물로서 반송하도록 되어 있다. 여기서, 팔레트(P)는, 도 1 내지 도 3에 도시하는 바와 같이, 워크(W)를 담지하는 평면형의 담지부(P1), 담지부(P1)의 좌우양단으로부터 하방으로 연장하는 다리부(P2), 다리부(P2)의 하단에 결합되어 무단벨트(30)에 담지되는 평판형의 기부(P3) 등을 구비하고 있다. 기부(P3)는 다리부(P2)의 일부로서 일체적으로 형성되어도 된다.

하측케이스(10)는 전후방향(X)으로 신장하는 좌우 한 쌍의 반송 프레임(11, 12), 한 쌍의 반송 프레임(11, 12)의 하방을 연결하는 면형상 프레임(13) 등을 구비하고 있다. 한 쌍의 반송 프레임(11, 12) 및 면형상 프레임(13)은 알루미늄재료를 사용하여 인발성형에 의해 일체적으로 형성되어 있다.

또한, 하측케이스(10)의 반송방향(전후방향)(X)의 단부에는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 필요에 따라서 구분벽(14)이 설치되어 있다. 구분벽(14)은 이 컨베이어장치가 직선적으로 배열되어 사용되는 경우에, 그 단부를 폐쇄하는 것이고, 이 컨베이어장치가 닫힌 루프를 형성하도록 환상으로 배열하여 사용되는 경우에는 불필요하다.

즉, 하측케이스(10)는 일체성형되기 때문에, 반송 프레임(11), 반송 프레임(12), 면형상 프레임(13)을 각각 별도로 성형한 후에 조립되는 경우에 비하여 조립작업이 불필요해지고, 또한, 성형용의 형틀의 정도가 높기 때문에, 반송 프레임(11, 12)의 상호의 평행도 및 수평도가 높은 정도로 확보된다. 이에 의해, 부품수가 삭감되어, 평행도 및 수평도를 내기 위한 조정작업이 불필요하게 되어 코스트를 절감할 수 있다.

좌우 한 쌍의 반송 프레임(11, 12)은, 도 4 및 도 5에 도시하는 바와 같이, 중심선(L)에 대하여 대칭적인 형상을 이루고, 각각 종벽부(11a, 12a), 상단플랜지부(11b, 12b), 종벽부(11a, 12a)의 내측의 도중으로부터 돌출하여 형성된 상측지지부(11c, 12b), 종벽부(11a, 12a)의 하단으로부터 내측으로 신장하도록 형성된 하측지지부(11d, 12d) 등을 구비하고 있다.

이들 종벽부(11a, 12a), 상단플랜지부(11b, 12b), 상측지지부(11c, 12c), 및 하측지지부(11d, 12d)는, 각각 내부가 공동을 이루도록 형성되어 있고, 굽힘강성 즉 기계적 강도가 높게 되어 있다. 또한, 이 공동은 단면이 사각형 혹은 삼각형을 이루며 인발성형을 행하는 방향(전후방향)(X)으로 신장하도록 형성되어 있다.

면형상 프레임(13)에는, 도 3 내지 도 5에 도시하는 바와 같이, 좌우방향(Y)의 중앙에서 전후방향(X)으로 배열된 복수의 흡인구(13a)가 상하방향(Z)으로 관통하도록 후가공에 의해 형성되어 있다. 또한, 면형상 프레임(13)의 내부공간(S)을 한정하는 상면에는 후술하는 상측커버(20)의 지주(24)를 삽입하는 복수의 삽입공(13b)이 형성되어 있다.

여기서, 상측지지부(11c, 12c) 및 하측지지부(11d, 12d)의 상면에는, 도 3 내지 도 4에 도시하는 바와 같이, 무단벨트(30)를 접동이 자유롭게 지지할 수 있도록, 접동저항이 적고 내마모성이 우수한 패드(15)가 설치되어 있다.

상측커버(20)는, 도 4 및 도 5에 도시하는 바와 같이, 좌우 한 쌍의 반송 프레임(11, 12)의 상단플랜지(11b, 12b)에 대하여 좌우방향(Y)의 내측으로부터 대향하는 테두리부(21, 22), 하측케이스(10)의 면형상 프레임(13)과 상하방향(Z)에서 대향하는 오목부(23), 오목부(23)의 하면에 결합된 중공형상의 복수의 지주(24) 등을 구비하고 있다. 양 테두리부(21, 22) 및 오목부(23)는 알루미늄 재료를 사용하여 인발성형에 의해 일체적으로 형성되어 있고, 반송방향(전후방향)(X)에 면형상으로 신장하고 좌우방향(Y)에서의 단면이 하측으로 오목한 오목면 형상을 이루도록 형성되어 있다. 그래서, 이 오목부(23)의 하면에 대하여 지주(24)가 결합되고, 또한, 양 테두리부(21, 22)에 대하여 전후방향(X)으로 신장하는 가이드부재(25)가 착탈가능하게 부착되어 있다.

여기서는 상측커버(20)가 오목형상으로 형성되어 있기 때문에, 하측케이스(10)와 협동하여 한정하는 내부공간(S)을 필요최소한으로 형성할 수 있고, 불필요한 공간을 삭제하여 기류의 흐름을 강하게 할 수 있고, 마모가루, 먼지 등의 흡인(배출) 효율을 높일 수 있다.

가이드부재(25)는 수지재료 등에 의해 형성되어 있고, 도 2 및 도 4에 도시 하는 바와 같이, 좌우 한 쌍의 반송 프레임(11, 12)의 상측플랜지(11b, 12b)와 협동하여(즉, 케이스가), 반송방향(전후방향)(X)으로 신장하면서 좌우방향(Y)으로 소정폭을 이루는 좌우 한 쌍의 간극부(G)를 한정하도록 되어 있다.

즉, 가이드부재(25)는 하측케이스(10)에 상측커버(20)를 조립한 상태에서, 그 부착 위치(즉 삽입깊이)를 조정할 수 있도록 하므로써, 간극부(G)의 폭치수를 적절히 조정할 수 있다. 또한, 가이드부재(25)는 무단벨트(30)(후술하는 상측벨트 (31))에 담지되어 반송되는 피반송물의 일부로서 팔레트(P)의 다리부(P2)를 좌우로 어긋나 사행하는 것을 규제하면서 전후방향(반송방향)(X)으로 확실하게 안내하도록 되어 있다.

그리고, 상측커버(20)는, 도 5에 도시하는 바와 같이, 지주(24)가 삽입공(13b)에 삽입되므로써, 하측케이스(10)에 대하여 착탈이 자유롭게 결합되도록 되어 있다. 이와 같이, 상측커버(20)가 하측케이스(10)에 대하여 착탈이 자유롭게 형성되므로써, 정기적인 메인티넌스를 행할 때에, 상측커버(20)를 분해하는 것으로 용이하게 점검작업 혹은 청소를 행할 수 있다.

반송체로서의 무단벨트(30)는, 도 3 및 도 4에 도시하는 바와 같이, 내부공간(S)에 완전히 수용되며 간극부(G)의 하방근방에 위치하도록 배치되어, 후술하는 구동풀리(41) 및 피동풀리(도시하지 않음)에 의해 반송방향(전후방향)(X)으로 장설되어 있다. 그리고, 상측벨트(31)가 반송 프레임(11, 12)의 상측지지부(11c, 12c) (패드(15))에 접동이 자유롭게 지지되면서 하방으로부터 간극부(G)에 대향하도록 배치되어, 간극부(G)를 통과하여 들어갈 수 있는 팔레트(P)의 다리부(P2)(및 기부 (P3))를 담지하여 보내기 주행하도록 되어 있다. 또한, 하측벨트(32)가 반송 프레임(11, 12)의 하측지지부(11d, 12d) (패드(15))에 접동이 자유롭게 지지되어 복귀 주행하도록 되어있다.

구동기구(40)는, 도 1 및 도 3에 도시하는 바와 같이, 하측케이스(10) 및 상측커버(20)에 의해 한정되는 내부공간(S) 내에 배치되며 하측케이스(10)에 지지되어 있고, 좌우의 무단벨트(30)에 구동력을 미칠 수 있도록 샤프트(41a)를 거쳐서 일체적으로 연결된 좌우 한 쌍의 구동풀리(41), 모터(42), 모터(42)와 구동풀리(41)와의 사이에 개재하는 전달벨트(43) 등을 구비하고 있다.

즉, 모터(42)가 회전하면, 전달벨트(43)를 거쳐서 구동풀리(41)가 회전하고, 무단벨트(30)가 회전하여 워크(W)를 담지한 팔레트(P)를 전후방향(X)으로 반송하도록 되어 있다.

또한, 샤프트(41a)를 이용하지 않고, 좌우의 구동풀리(41)를 각각의 모터(42)로 구동하도록 해도 된다.

배기덕트(50)는, 도 1, 도 3 내지 도 5에 도시하는 바와 같이, 하측케이스(10)에 설치된 복수의 흡인구(13a)에 각각 연통하고 그 하류측이 하나의 흡인통로(50a)를 한정하여, 흡인기(60)에 접속되어 있다.

흡인기(60)로서는 내부공간(S)의 흡인을 행하여, 간극부(G)에서 외측으로부터 내부를 향하는 기류를 생기게 하는 것이라면, 팬, 펌프, 그 외의 기구를 채용할 수 있다.

이어서, 본 발명에 따른 컨베이어 장치의 동작에 대하여 설명하면, 모터(24) 가 회전하고, 전달벨트(43) 및 구동풀리(41)를 거쳐서, 무단벨트(30)가 주행하면, 상측벨트(31)에 담지된 피반송물(팔레트(P) 및 워크(W))은 좌우 한 쌍의 반송 프레임(11, 12)을 따라서 전후방향(X)으로 반송된다.

여기서, 이 반송동작 중에, 흡인기(60)가 작동하여, 하측케이스(10)와 상측커버(20)에 의해 한정되는 내부공간(S)의 공기를 흡인하면, 도 4에서 화살표로 표시된 바와 같이, 각각의 간극부(G)를 통하여 외부로부터 내부공간으로 흘러들어오는 하강기류가 발생하여, 공기씰을 형성할 수 있다. 따라서, 팔레트(P)를 담지하는 무단벨트(3)와의 접촉영역 혹은 구동기구(40) 등의 접동영역에서 발생한 마모가루, 먼지 등은 이 하강기류를 타고 흡인구(13a)로부터 흡인통로(50a)를 거쳐서, 반도체 제조라인의 외부에 설치된 소정의 배기구로 배출되게 되어, 컨베이어장치로부터 외부로 비산하는 것이 방지된다. 그 결과, 본 발명에 따른 컨베이어장치가 클린환경하에서 사용되어도, 그 환경을 오염시키지 않고 요구되는 클린도를 유지할 수 있다.

여기서는, 특히, 무단벨트(30) 및 구동기구(40)의 전부가 내부공간(S)에 수용되고, 또한, 무단벨트(30)가 간극부(G)의 하방근방에 배치되어 있기 때문에, 간극부(G)를 통하여 유입되는 하강기류가 무단벨트(30)의 영역을 적극적으로 흐르므로써, 발생한 마모가루 혹은 먼지 등이 외부로 비산하는 것을 확실히 방지할 수 있다.

또한, 흡인구(13a)가 하측케이스(10)의 약 중앙에서 복수 배열되어 설치되어 있기 때문에, 내부공간(S)에서 웅덩이를 생기도록 하는 영역이 발생하는 것을 방지 할 수 있고, 전체로서 구석구석까지 효율 좋게 흡인할 수 있고, 또한, 흡입력을 발생하는 팬 등의 흡인기(60)를 하나 설치하는 것으로 충분하기 때문에, 장치를 간소화 및 저코스트화할 수 있다.

또한, 흡인구(13a)가 하측케이스(10)에 설치되어, 이 흡인구(13a)에 대하여 흡인통로(50a)가 연통되어 있기 때문에, 가령 상측커버(20)를 분리해도, 하향으로 흡인되는 기류를 발생시킬 수 있다.

따라서, 반송동작을 정지하여, 상측커버(20)를 분해하여 메인티넌스를 행하는 경우에도, 흡인기(60)를 작동시키는 것으로 마모가루, 먼지 등의 비산을 방지할 수 있다. 또한, 메인티넌스에서는, 하측케이스(10)가 일체적으로 성형되기 때문에, 좌우의 반송 프레임(11, 12)의 평행도 및 수평도를 조정할 필요가 없으며, 메인티넌스작업을 간소화할 수 있다.

그 결과, 본 발명에 따른 컨베이어장치가 클린환경하에서 사용되어도, 그 환경을 오염시키지 않고 요구되는 클린도를 유지할 수 있다.

도 6은 상기 컨베이어장치에 적용된 피반송물로서의 팔레트(P)의 일부를 변경한 실시예를 도시하는 것이다.

이 실시예에서, 팔레트(P)는, 도 6에 도시하는 바와 같이, 워크(W)를 담지하는 평면형상의 담지부(P1), 담지부(P1)의 좌우양단으로부터 하방으로 연장하고 간극부(G)를 통하여 내부공간(S)으로 들어가는 다리부(P2), 다리부(P2)에 결합되어 무단벨트(30)에 담지되는 약 동일폭의 기부(P3') 등을 구비하고 있다.

여기서는 기부(P3')는 간극부(G)보다도 좁은 폭으로 형성되어, 다리부 (P2)(및 기부(P3'))가 각각의 간극부(G)에 대하여 삽입 및 이탈이 자유롭게 형성되어 있다. 따라서, 간극부(G)를 통하여 팔레트(P)의 다리부(P2)를 삽입 및 이탈할 수 있기 때문에, 이 컨베이어장치(반송체)에 대한 팔레트(P)의 부착 및 분리를 용이하게 행할 수 있다.

도 7 및 도 8은 본 발명에 관한 컨베이어장치의 다른 실시예를 도시하는 것이고, 반송체로서 롤러체인 즉 배속체인(130)을 채용하고, 반송 프레임의 일부를 변경한 이외에는 상술한 실시예와 동일한 구성이며, 따라서, 동일한 구성에 대해서는 동일의 부호를 붙여 그 설명을 생략한다.

즉, 이 컨베이어장치에서는, 도 7 및 도 8에 도시하는 바와 같이, 하측케이스(10') 및 상측커버(20)에 의해 한정되는 내부공간(S) 내에, 배속체인(130) 및 그의 구동기구(40')가 배치되어 있다.

배속체인(130)은 상호 연결되는 복수의 프레임(130a), 플레이트(130a)를 연결하는 복수의 핀(130b), 핀(130b)에 회전이 자유롭게 지지된 작은 직경의 복수의 롤러(130c), 롤러(130c)와 동축으로 배치된 큰 직경의 복수의 롤러(130d)에 의해 형성되어 있다. 여기서, 큰 직경의 롤러(130d)는 작은 직경의 롤러(130c)와 마찰력에 의해 일체적으로 회전하도록 형성되어 있고, 롤러(130d)에 대하여 소정의 레벨을 넘는 부하가 더해지면, 롤러(130d)가 정지한 체로 롤러(130c)만이 회전하도록 되어 있다.

배속체인(130)은, 도 7 및 도 8에 도시하는 바와 같이, 내부공간(S)에 완전히 수용되고 간극부(G)의 하방근방에 위치하도록 배치되어, 후술하는 구동스프로 켓(41') 및 피동스프로켓(도시하지 않음)에 의해 반송방향(전후방향)(X)으로 장설되어 있다.

그리고, 상측체인(131)의 롤러(130c)가 반송 프레임(11', 12')의 상측지지부(11c', 12c')에 전동이 자유롭게 지지되고, 롤러(130d)가 하방으로부터 간극부(G)에 대향하도록 배치되어 간극부(G)를 통과하여 삽입되어 온 팔레트(P)의 다리부(P2)(및 기부(P3))를 담지하여 보내기 주행하도록 되어 있다. 또한, 하측체인(132)의 롤러(130c')가 반송 프레임(11',12')의 하측지지부(11d', 12d')에 전동이 자유롭게 지지되고, 롤러(130d)도 일체로 되어 복귀 주행하도록 되어 있다.

구동기구(40')는, 도 7 및 도 8에 도시하는 바와 같이, 내부공간(S) 내에 배치되어 하측케이스(10)에 지지되어 있고, 좌우의 배속체인(130)에 구동력을 미칠 수 있도록 샤프트(41a)를 거쳐서 일체적으로 연결된 좌우 한 쌍의 구동스프로켓(41'), 모터(42), 전달벨트(43) 등을 구비하고 있다.

따라서, 모터(42)가 회전하면, 전달벨트(43)를 거쳐서 구동 스프로켓(41')이 회전하고, 배속체인(130)이 회전주행하고, 상측체인(131)의 롤러(130d)는 전동하면서 담지한 피반송물(워크(W)를 담지한 팔레트(P))를 전후방향(X)으로 반송하도록 되어있다. 여기서, 구동기구(40')에 의해 배속체인(130)이 반송되는 속도에 롤러(130d)의 회전속도가 더해진 속도로 피반송물(워크(W)을 담지한 팔레트(P))이 반송되기 때문에, 보다 고속으로의 반송이 가능해 진다.

이 실시예에서도, 배속체인(130) 및 구동기구(40')의 전부가 내부공간(S)에 수용되고, 또한, 배속체인(130)이 간극부(G)의 하방근방에 배치되어 있기 때문에, 간극부(G)를 통하여 유입되는 하강기류가 배속체인(130)의 영역을 적극적으로 흐르므로써, 발생한 마모가루 혹은 먼지 등이 외부로 비산하는 것을 보다 확실하게 방지할 수 있다.

또한, 도 7 및 도 8에 도시하는 실시예에서도, 상술한 도 6에 도시하는 바와 같은 기부(P3')의 폭이 좁은 팔레트(P)를 적용해도 된다.

도 9 및 도 10은 본 발명에 관한 컨베이어장치의 또 다른 실시형태를 도시하는 것이고, 하측케이스(10'') 및 상측커버(20''), 무단벨트(30')의 배치 등을 변경한 이외에는, 상술한 도 1 내지 도 5에 도시하는 실시예와 동일하다. 따라서, 동일의 구성에 대해서는 동일의 부호를 붙여서 설명을 생략한다.

이 컨베이어장치에서는, 도 9 및 도 10에 도시하는 바와 같이, 하측케이스(10'')가 반송방향(전후방향)(X)으로 신장하는 좌우 한 쌍의 반송 프레임(11'', 12''), 한 쌍의 반송 프레임(11'', 12'')의 하방을 연결하는 면형상 프레임(13) 등을 구비하고 있다. 좌우 한 쌍의 반송 프레임(11'', 12'')은, 도 9 및 도 10에 도시하는 바와 같이, 중심선(L)에 대하여 대칭적인 형상을 이루고, 각각 종벽부(11a, 12a), 상측지지부(11c'', 12c''), 하측지지부(11d, 12d) 등을 구비하고 있다.

상측커버(20'')는, 도 9 및 도 10에 도시하는 바와 같이, 내부가 공동으로 이루어지도록 형성되어 있고, 굽힘강성 즉 기계적인 강도가 높게 되어 있다. 또한, 이 공동은 단면이 사각형 혹은 삼각형을 이루고, 인발성형을 행하는 방향(전후방향)(X)으로 신장하도록 형성되어 있다.

이 상측커버(20'')는 좌우 한 쌍의 반송 프레임(11'', 12'')의 상측 지지 부(11c'', 12c'')에 대하여 좌우방향(Y)의 내측으로부터 대향하는 지지부(21'', 22''), 오목부(23), 지주(24) 등을 구비하고 있다.

그리고, 상측커버(20'')가 하측케이스(10'')에 결합되면, 도 9에 도시하는 바와 같이, 상측지지부(11c'')와 지지부(21'')의 사이 및 상측지지부(12c'')와 지지부(22'')의 사이에 피반송물(워크(W))의 반송방향(X)으로 신장하는 소정폭의 간극부(G)가 한정되도록 되어 있다.

무단벨트(30')는, 도 9 및 도 10에 도시하는 바와 같이, 상측을 보내기 주행하는 상측벨트(31')가 외부로 노출한 상태로 상측지지부(11c'', 12c'') 및 지지부(21'', 2'')에 접동이 자유롭게 지지되고, 즉, 간극부(G)에 상방으로부터 인접(접촉)하도록 배치되어 있고, 하측을 되돌아 주행하는 하측벨트(32')가 내부공간(S) 내에서 하측지지부(11d, 12d)에 접동이 자유롭게 지지되어 있다.

이 실시예에 따르면, 피반송물로서의 워크(W)는 노출된 상측벨트(31')에 담지된 상태로 전후방향(X)으로 반송된다. 따라서, 상측벨트(31')를 노출시켜서 직접워크(W)를 담지하므로써, 상술한 도 4에 도시하는 실시예와 같이 상측벨트(31)를 내부에 수용하여 다리부(P2)를 거쳐서 담지하는 경우에 비하여, 다리부(P2)의 높이만큼 반송 높이를 낮출 수 있고, 장치를 소형화할 수 있다.

또한, 무단벨트(30')(상측벨트 (31'))는 간극부(G)를 폐쇄하도록 인접한 상태에 있고, 마모가루, 먼지 등이 이 영역으로부터 외부로 비산하는 것을 방지할 수 있다. 한 편, 워크(W)를 담지하고 있지 않은 (하중을 받지 않는) 영역에서는 무단벨트(30')와 간극부(G)를 한정하는 상측지지부(11c'', 12c'') 및 지지부(21'', 22'') 사이의 미소간극을 생기게 하는 경우가 있지만, 흡인기(60)에 의해 내부공간(S)을 향하여 하강기류가 생기고 있기 때문에, 내부공간(S)내에서 발생한 마모가루 혹은 먼지 등이 외부로 비산하는 것을 확실하게 방지할 수 있다.

도 11은, 도 9 및 도 10에 도시하는 컨베이어장치의 하측케이스 및 상측커버의 일부를 변경한 것이다. 또한, 피반송물로서는 워크(W) 및 팔레트(P')가 적용되고, 팔레트(P')는 담지부(P1), 피가이드부로서의 다리부(P2)를 구비하고 있다.

즉, 이 컨베이어장치에서는, 도 11에 도시하는 바와 같이, 하측케이스(10''')가 반송방향(전후방향)(X)으로 신장하는 좌우 한 쌍의 반송 프레임(11''', 12'''), 한 쌍의 반송 프레임(11''', 12''')의 하방을 연결하는 면형상 프레임(13) 등을 구비하고 있다.

좌우 한 쌍의 반송 프레임(11''', 12''')은 중심선(L)에 대하여 대칭적인 형상을 이루고, 각각 종벽부(11a, 12a), 상측지지부(11c''', 12c'''), 하측지지부(11d, 12d), 상측지지부(11c''', 12c''')의 약 중앙에서 반송방향(전후방향)(X)으로 배열된 복수의 원형구멍(11e''', 12e''') 등을 구비하고 있다.

상측커버(20'')는 좌우 한 쌍의 반송 프레임(11''', 12''')의 상측지지부(11c''', 12c''')에 대하여 좌우방향(Y)의 내측으로부터 대향하여 간극부(G)를 한정하는 테두리부(21''', 22'''), 오목부(23), 지주(24) 등을 구비하고 있다.

그리고, 좌우 한 쌍의 반송 프레임(11''', 12''')의 상측지지부(11c''', 12c''')의 내측면이, 팔레트(P')(피반송물의 일부)의 다리부(P2)를 결합시켜서 반송방향(전후방향)(X)으로 안내하는 좌우 한 쌍의 가이드부로서 기능하도록 되어 있 다.

이것에 따르면, 워크(W)를 담지한 팔레트(P')를 무단벨트(30')의 상측벨트(31')에 올려서 반송하는 경우에, 가이드부로서의 좌우의 상측지지부(11c''', 12c''')의 내측면이 다리부(P2)를 안내하기 때문에, 피반송물(워크(W) 및 팔레트(P'))은 좌우방향(Y)으로 어긋나지 않고 전후방향(X)으로 확실하게 반송되고, 간극부(G)로부터 내부공간(S)으로 유입하는 공기흐름을 생기기 하기 때문에, 발생한 마모가루, 먼지 등의 비산을 방지할 수 있다. 또한, 상측벨트(13')의 접동에 의해 발생한 마모가루 등은 원형구멍(11e''', 12e''')을 통하여 내부공간(S)으로 흡입되어, 외부로의 비산을 방지할 수 있다.

상기 도 9 내지 도 11에 도시하는 실시예에서는, 무단벨트(30')를 반송 프레임(11'', 11''', 12'', 12''')으로 직접지지하고 있지만, 상술한 바와 같이 패드(15)를 거쳐서 지지해도 된다.

도 12 및 도 13은 본 발명에 관한 컨베이어장치의 또 다른 실시예를 도시하는 것이고, 하측케이스(110) 및 상측커버(120)를 변경하고, 반송체로서 연동하는 복수의 롤러(230)를 채용한 이외에는 상술한 도 9 및 도 10에 도시하는 실시예와 기본적으로 동일하다. 따라서, 동일한 구성에 대해서는, 동일의 부호를 붙여서 그 설명을 생략한다.

이 컨베이어장치에서는, 도 12 및 도 13에 도시하는 바와 같이, 하측케이스(110)가 반송방향(전후방향)(X)으로 신장하는 좌우 한 쌍의 반송 프레임(111, 112), 한 쌍의 반송 프레임(111, 112)의 하방을 연결하는 면형상 프레임(13) 등을 구비하고 있다.

좌우 한 쌍의 반송 프레임(111, 112)은, 도 12 및 도 13에 도시하는 바와 같이, 중심선(L)에 대하여 대칭적인 형상을 이루고, 각각 종벽부(11a, 12a), 상단 플랜지부(111c, 112c) 등을 구비하고 있다.

상측커버(120)는, 도 12 및 도 13에 도시하는 바와 같이, 좌우 한 쌍의 반송 프레임(111, 112)의 상단플랜지부(111c, 112c)에 대하여 좌우방향(Y)의 내측으로부터 대향하는 테두리부(121, 122), 오목부(23), 지주(24) 등을 구비하고 있다.

그리고, 상측커버(120)가 하측케이스(110)에 결합되면, 도 12에 도시하는 바와 같이, 상단플랜지(111c)와 테두리부(121)의 사이 및 상단 플랜지부(112c)와 테두리부(122)의 사이에, 소정폭을 이루는 좌우 한 쌍의 간극부(G)가 한정되도록 되어 있다.

복수의 롤러(230)는, 도 12 및 도 13에 도시하는 바와 같이, 좌우 한 쌍의 반송 프레임(111, 112)의 상단플랜지부(111c, 112c)의 내측벽에 설치된 지축에 대하여 회전이 자유롭게 지지되고, 반송방향(전후방향)(X)으로 배열되고 각각의 간극부(G)의 영역에 비접촉으로 배치되어 있다. 그리고, 복수의 롤러(230)의 상방부가 피반송물로서의 워크(W)를 담지하도록 간극부(G)로부터 외측(상방)으로 돌출되어 있다.

여기서, 복수의 롤러(230)는 서로 연동하도록 각각의 롤러(230)와 동축으로 일체적으로 회전하도록 또한 롤러(230) 보다도 작은 직경으로 형성된 풀리 혹은 스프로켓(도시하지 않음)에 체인 혹은 벨트 등(도시하지 않음)이 장설되어, 하나의 롤러(230)가 상술하는 구동기구(40, 40') 등에 의해 회전구동력을 부여하므로써, 모든 롤러(230)가 회전하도록 되어 있다.

이 실시예에 따르면, 복수의 롤러(230)가 간극부(G)의 영역에서 비접촉하고 또한 그 상방부가 외측으로 돌출하도록 배치되어 있기 때문에, 워크(W)는 노출된 롤러(230)의 상방부에 담지된 상태로 전후방향(X)으로 반송되고, 또한, 롤러(230)의 주위에 형성되는 간극에서는 내부로 향하는 기류가 생성된다.

즉, 이 컨베이어장치에 따르면 롤러(230)를 완전히 수용하는 경우에 비하여 롤러(230)의 상방부를 노출시키는 만큼 반송높이를 낮출 수 있고, 장치를 소형화할 수 있다. 또한, 롤러(230)의 주위에서는 흡인기(60)에 의해 내부로 향하는 기류가 생기기 때문에, 내부공간(S) 내에서 발생한 마모가루 혹은 먼지 등이 외부로 비산하는 것을 확실히 방지할 수 있다.

도 14는, 도 12 및 도 13에 도시하는 컨베이어장치의 상측커버의 일부를 변경한 것이다. 또한, 피반송물로서는 워크(W) 및 팔레트(P')가 적용된다. 즉, 이 컨베이어장치에서는, 도 14에 도시하는 바와 같이, 상측커버(120')에 대하여, 팔레트(P')(피반송물의 일부)의 다리부(P2)를 결합시켜 반송방향(전후방향)(X)으로 안내하는 좌우 한 쌍의 가이드부(126')가 일체적으로 설치되어 있다.

이에 따르면, 워크(W)를 담지한 팔레트(P')를 롤러(230)로 반송하는 경우에, 상측커버(120')의 가이드부(126')가 다리부(P2)를 안내하기 때문에, 피반송물(워크(W) 및 팔레트(P'))은 좌우방향(Y)으로 어긋나지 않고 전후방향(X)으로 확실하게 반송된다.

상기 실시예에서는, 좌우 한 쌍의 간극부를 한정하는 케이스가 하측케이스(10, 10', 10'', 10''', 110)와 상측커버(20, 20'', 20''', 120, 120')에 의해 형성되는 경우에 대해서 도시했지만, 이것에 한정되는 것은 아니며, 한 쌍의 간극부 및 내부공간을 한정하도록 금속판 등을 성형하여 일체적으로 형성해도 된다.

상기 실시예에서는, 케이스 내를 흡입하는 흡인수단으로서 좌우 한 쌍의 간극부(G)에 대하여, 케이스의 약 중앙에 복수의 흡인구(13a) 및 흡인통로(50a)를 설치한 경우를 도시했지만, 이것에 한정되는 것은 아니며, 좌우의 간극부(G)에 대응하여 각각에 복수의 흡인구 및 흡인통로를 설치해도 되며, 또한, 좌우의 간극부(G)에 대응하도록 케이스의 내부공간를 중앙에서 구분하여 2 개의 내부공간을 형성하고, 각각의 내부공간을 흡인하도록 상기 흡인수단(복수의 흡인구 및 흡인통로)을 설치해도 된다.

상기 실시예에서는, 단일의 컨베이어장치에 대해서 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니며, 상술한 컨베이어장치를 하나의 유닛으로서 복수 배열하여 사용할 수 있고, 반도체제조라인 등에서, 사행하도록 접속하여 사용할 수도 있고, 혹은 폐루프의 반송로를 형성하도록 환형으로 배열하여 사용할 수도 있다.

상기 실시예에서는, 반송체로서의 롤러체인으로서, 배속체인을 도시했지만, 이것에 한정되는 것은 아니며, 증배(배속)기구를 채용하지 않는 통상의 롤러체인을 채용해도 된다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 컨베이어장치는 클린한 환경하에서 피반송물을 반송할 필요가 있는 분야라면, 반도체 제조 분야는 물론, 그 외의 전자 부품 등의 제조라인, 혹은 정밀기계 등의 제조라인 등의 분야에서도 유용하다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 컨베이어장치에 따르면, 구조의 간략화, 각 기구의 집약화, 장치 전체로서 소형화, 저코스트화, 생산성의 향상 등을 달성하면서, 반송동작에서 발생한 마모가루, 먼지 등이 비산하는 것을 방지할 수 있고, 또한, 케이스를 한정하는 좌우 한 쌍의 반송 프레임의 평행도 및 수평도를 용이하게 확보할 수 있고, 조립을 용이하게 행할 수 있다.

Claims (13)

1. 피반송물의 반송방향에서 소정폭으로 신장하는 좌우 한 쌍의 간극부를 한정하는 케이스와,

   피반송물을 담지하여 반송할 수 있도록, 상기 좌우 한 쌍의 간극부의 근방에 또는 인접하는 영역에 배치되어 상기 케이스에 지지된 반송체와,

   상기 반송체를 구동할 수 있도록 상기 케이스의 내부공간에 배치된 구동기구와,

   상기 내부공간을 흡인하는 흡인수단을 포함하는 컨베이어장치.
2. 청구항 1에 있어서,

   상기 반송체는 상기 케이스의 내부공간에서 상기 좌우 한 쌍의 간극부의 하방근방에 배치되어,

   상기 피반송물은 상기 좌우 한 쌍의 간극부를 통하여 상기 내부공간 내에 삽입되어 상기 반송체 상에 담지되는 다리부와 상기 다리부에 지지되고 상기 케이스의 외측 상방에 위치설정되어 워크를 담지하는 담지부를 가진 팔레트인 것을 특징으로 하는 컨베이어장치.
3. 청구항 2에 있어서,

   상기 팔레트는 상기 좌우 한 쌍의 간극부에 대해서, 상기 다리부를 삽입 및 이탈이 자유롭게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 컨베이어장치.
4. 청구항 1에 있어서,

   상기 케이스는 상기 반송방향으로 신장하는 좌우 한 쌍의 반송 프레임 및 상기 한 쌍의 반송 프레임의 하방을 연결하는 면형상 프레임을 포함하는 하측케이스와, 상기 면형상 프레임의 상방으로부터 대향하여 상기 내부공간을 폐쇄적으로 한정하며 상기 한 쌍의 반송 프레임에 좌우방향의 내측으로부터 대향하여 상기 좌우 한 쌍의 간극부를 한정하는 상측커버를 포함하는 것을 특징으로 하는 컨베이어장치.
5. 청구항 4에 있어서,

   상기 좌우 한 쌍의 반송 프레임 및 면형상 프레임은 일체적으로 성형되어 있는 것을 특징으로 하는 컨베이어장치.
6. 청구항 4에 있어서,

   상기 상측커버는 상기 하측케이스에 대해서 착탈이 자유롭게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 컨베이어장치.
7. 청구항 1에 있어서,

   상기 반송체는 상기 반송방향으로 장설되어 상기 내부공간 내에 배치된 무단 벨트이고,

   상기 무단벨트의 상측에 위치하는 상측벨트는 상기 간극부에 대하여 하방으로부터 대향하도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 컨베이어장치.
8. 청구항 1에 있어서,

   상기 반송체는 상기 반송방향으로 장설되어 상기 내부공간 내에 배치된 복수의 롤러를 가진 롤러체인이고,

   상기 롤러체인의 상측에 위치하는 상측체인은 상기 간극부에 대하여 하방으로부터 대향하도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 컨베이어장치.
9. 청구항 1에 있어서,

   상기 반송체는 상기 반송방향으로 장설된 무단벨트이고,

   상기 무단벨트의 상측에 위치하는 상측벨트는 상기 간극부의 근방에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 컨베이어장치.
10. 청구항 1에 있어서,

    상기 반송체는 상기 간극부의 영역에서 비접촉으로 배치된 복수의 롤러이고,

    상기 복수의 롤러의 상방부가 피반송물을 담지하도록 상기 간극부로부터 외측으로 돌출하고 있는 것을 특징으로 하는 컨베이어장치.
11. 청구항 1에 있어서,

    상기 흡인수단은 상기 케이스의 좌우방향 약 중앙의 하측에서 상기 반송방향으로 배열되어 설치된 복수의 흡인구, 상기 복수의 흡인구에 연통된 흡인통로를 포함하는 것을 특징으로 하는 컨베이어장치.
12. 청구항 4에 있어서,

    상기 흡인수단은 상기 하측케이스의 좌우방향 약 중앙에서 상기 반송방향으로 배열되어 설치된 복수의 흡인구, 상기 복수의 흡인구에 연통된 흡인통로를 포함하는 것을 특징으로 하는 컨베이어장치.
13. 청구항 1에 있어서,

    상기 케이스에는 피반송물의 일부를 결합시켜서 반송방향으로 안내하는 가이드부가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 컨베이어장치.

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