KR20080079197A - 유로 블록 및 그 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

유체제어기구와 접속되는 유로가 형성되는 유로 블록(10)에 있어서, 복수의 제1 접속면 개구부(11d)가 형성된 제1 블록 부재(11)와, 제1 접속면 개구부(11d)와 대응하는 제2 접속면 개구부(12d)가 형성되는 제2 블록 부재(12)와, 제1 접속면 개구부(11d)의 주위에 형성되는 제1 유로 말단 접속면(17a)과 제2 접속면 개구부(12d)의 주위에 형성되는 제2 유로 말단 접속면(17b)과, 제1 블록 부재(11)의 제1 블록 하면(11b)과 제2 블록 부재의 제2 블록 상면(12a)을 맞추어, 제1 유로 말단 접속면(17a)과 제2 유로 말단 접속면(17b)을 맞닿게 하며, 제1 블록 부재(11) 및 제2 블록 부재(12)를 압압하면서 가열하는 것으로, 제1 유로 말단 접속면(17a)과 제2 유로 말단 접속면(17b)이 확산 접합하여 형성되는 유로 말단 접속부(17)를 구비한다.

Description

유로 블록 및 그 제조 방법{PASSAGE BLOCK AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}
본 발명은 프로세스 가스 공급 유닛 등에 사용되는, 복잡한 유로를 구비한 유로 블록 및 그 제조방법에 관한 발명이다.
반도체 제조 공정에 이용되는 프로세스 가스 공급 유닛에는, 내식성이 높은 스테인리스 블록에 유로를 형성한 유로 블록이 이용되고 있다.
종래의 유로 블록은 그 유로를 기계 가공하여 유로를 형성하고 있지만, 이 방법에서 형성하는 유로는 단순한 형상의 것이 많다. 기계가공을 하는 경우, 엔드밀(end mill)이나 드릴 등의 공구(cutting tool)가 들어갈 공간이 필요하여, 필연적으로 직선을 조합시킨 형상이 되기 때문이다.
복잡한 형상의 유로를 유로 블록에 형성한 경우, 복수의 블록으로 분할하여 가공을 하고, 그 후 용접이나 볼트에 의해 결합하는 수법을 취할 필요가 있었다.
복잡한 유로의 일례로서, 유로 블록에 U자 유로를 형성하는 경우가 있다. 이 경우, 일본공개특허 2003-097752호 공보에 도시된 것과 같은 복잡한 순서에 의해 유로를 형성하고 있었다.
도 24에, U자 유로를 형성하는 과정의 유로 블록의 입체 사시도를 도시한다. 이를 제1 공정으로 한다. 또한, 도 25에 유로 블록을 가공하는 제2 공정의 단면도를, 도 26에 유로 블록을 가공하는 제3 공정의 단면도를, 도 27에 유로 블록을 가공하는 제4 공정의 단면도를 도시한다.
유로 블록(201)에는 U자 유로가 설치되며, 이하에서 도 24 내지 도 27에 도시된 가공 공정을 설명한다.
제1 공정에서는, 도 24에 도시한 것처럼, 블록 본체(211)의 상면에 제1 개구 통로(221)를 개방함과 동시에, 측면에서 보조 통로(223)와 연통로(222)를 제1 개구 통로(221)의 하단에 연통하도록 개방한다. 이때, 측면에는 다음 공정을 용이하게 하기 위해 큰 지름의 개구부(225)를 마련한다.
제2 공정에서는, 도 25에 도시한 것처럼, 연통로(222)에 얇은 원반형상의 폐색 부재(block member; 224)를 삽입한다.
제3 공정에서는, 도 26에 도시한 것처럼, 보조 통로(223)에 폐색 부재(224)를 용접한다. 용접하는 것으로, 용접부(W)가 형성된다.
제4 공정에서는, 도 27에 도시한 것처럼, 폐색 부재(224) 및 용접부(W)의 일부를 깎아냄에 따라 제2 개구 통로(226)를 마련한다.
이와 같이 유로 블록(201)을 형성하면, 제1 공정에서 연통로(222) 및 보조 통로(223)를 열 때의 연통로(222)의 길이는, 공구에 의한 가공 한계로 제한되어 버리는 문제가 있다.
즉, 연통로(222)와 같은 통로를 여는 경우에는 블록 본체(211)의 측면에서 드릴(drill) 공구를 사용하여 깊은 구멍을 형성하지만, 구멍이 깊어지면, 가공시의 냉각 효율이 떨어지고, 인화되기 쉬워지는 등, 일정 이상의 깊은 구멍을 마련하는 것은 어렵다. 이와 같이, 가공 공구에 의한 유로의 형상의 제한이 있어, 복잡한 유로를 유로 블록(201)에 형성하는 것은 곤란하다.
이와 같은 문제를 해결하기 위해, 일본공개특허 2006-84002호 공보에 나타난 방법도 개시되어 있다.
일본공개특허 2006-84002호 공보에는 유로 블록의 발명이 개시되어 있고, 블록 본체와 뚜껑 부재(lid member)를 이용하여, 블록 본체에 유로가 될 구멍을 절삭 가공한 후, 뚜껑을 용접하는 것으로 복잡한 유로를 형성한 유로 블록이 제공되어 있다.
도 28에, 일본공개특허 2006-84002호 공보의 유로블록의 사시도를 도시한다.
유로 블록(101)은, 블록 본체(111)와 뚜껑 부재(112)로 구성되며, 블록 본체(111)에는 관통공(121)과 구멍(122)이 형성되고, 구멍(122)에 평행하게 뚜껑 부재(112)를 끼워넣는 뚜껑 부재 수용 구멍(122a)이 형성되어 있다. 뚜껑 부재(112)는 타원형 플레이트(oval plate) 재질로, 블록 본체(111)의 뚜껑 부재 수용 구멍(122a)에 끼워 넣어지고 용접되어서, 유로를 형성한다.
블록 본체(111)에 형성하는 구멍(122)은 절삭 공구로 형성되기 때문에, 비교적 자유도가 높은 유로를 형성할 수 있다.
그러나 일본공개특허 2006-84002호 공보에 개시된 기술에서는 복잡한 유로를 형성하기 용이하지만, 유로의 도중에 체류부(fluid stagnation)가 발생해 버리는 문제가 있었다.
반도체 제조 공정에서 이용되는 프로세스 가스 공급 유닛에는, 결정화되기 쉬운 부식성의 가스가 흐르는 경우도 있다. 그러나 일본공개특허 2006-84002호 공보에 개시된 것처럼, 블록 본체(111)의 유로 형성 부분의 주위에 뚜껑 부재(112)를 끼워 넣는 뚜껑 부재 수용 구멍(122a)을 마련하고, 뚜껑 부재(112)와 블록 본체(111)를 용접하면, 뚜껑 부재(112)가 유로의 일부를 형성한다. 그러나, 블록 본체(111)와 뚜껑 부재(112)의 연결 부분은 각이 되어 버린다. 유로의 곡선의 외주부에 이와 같은 각이 생기면, 유체가 체류하기 쉬운 문제가 있다.
이와 같은 체류부를 생기면, 유로 내를 흐르는 유체를 전환하거나 유로 내를 청소하기 위해 퍼지하거나 할 때에, 체류부에서 유체가 체류하여, 유체를 치환하는 것을 방해하게 된다. 또한, 공급 유체가 결정화되기 쉬운 가스인 경우에, 체류부에서 결정화될 우려가 있다.
또한, 체류부에서 유체가 결정화되면, 퍼지 가스를 이용하여 유로 내를 퍼지할 때에도, 유체의 체류부에서 퍼지 가스의 흐름을 약화시켜서, 결정을 날려 버리는 것이 용이하지 않는다.
유체에 부식성이 있는 경우에는, 결정화되면 유체의 순도가 높아지기 때문에, 블록 유체(111)나 뚜껑 부재(112)를 부식하기 쉽게 되는 등의 문제도 고려할 수 있다. 특히, 접합 불량 등으로 블록 본체(111)와 뚜껑 부재(112)의 사이에 간극이 생기게 되면, 다시 퍼지가 곤란하게 되므로, 바람직하지 않다.
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것이며, 체류부가 생기기 어려운 복잡한 유로를 형성가능한 유로 블록을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일 태양에 의하면, 유체를 제어하는 유체제어기구와 접속하고, 유체제어기구와 접속된 유로가 형성되는 유로 블록(passage block)에 있어서, 제1 블록 하면에 복수의 제1 접속면 개구부(first-coupling-face aperture)가 형성된 제1 블록 부재와, 제2 블록 상면에 제1 접속면 개구부와 대응하는 제2 접속면 개구부가 형성된 제2 블록 부재와, 제1 접속면 개구부의 주위에 형성된 제1 유로 말단 접속면(passage-end contact section)과, 제2 접속면 개구부의 주위에 형성된 제2 유로 말단 접속면과, 제1 블록 부재의 제1 블록 하면과 제2 블록 부재의 제2 블록 상면을 맞추고, 제1 유로 말단 접속면과 제2 유로 말단 접속면을 맞닿게 하며, 제1 블록 부재 및 제2 블록 부재에 제1 블록 하면 및 제2 블록 상면의 방향으로 압압하면서 가열하는 것으로, 제1 유로 말단 접속면과 제2 유로 말단 접속면이 확산 접합하여 형성하는 유로 말단 접합부를 구비하는 것을 특징으로 하는 유로 블록을 특징으로 한다.
따라서, 제1 유로 말단 접속면과 제2 유로 말단 접속면이 확산 접합하여 형성하는 유로 말단 접합부를 구비하기 때문에, 제1 블록 부재와 제2 블록 부재에 각각 기계가공 등의 수단에 의해 유로를 형성하고, 이것을 접합하는 것으로 복잡한 유로를 가지는 유로 블록을 제공할 수 있다.
또한, 확산 접합은 면과 면을 맞닿게 하고, 가압, 가열하는 것으로 접합할 수 있다. 이때, 제1 블록 부재와 제2 블록 부재를 접합하여 유로를 형성하기 위해서는, 제1 접합면과 제2 접합면이 간극 없이 접합하여 누출이 일어나지 않도록 형성될 필요가 있다. 이때, 제1 유로 말단 접속면과 제2 유로 말단 접속면이 맞닿게 하여 확산 접합하기 때문에, 제1 접합면과 제2 접속면의 전면을 접합하는 경우보다도 맞닿는 면적이 좁아지고, 가공 정확도를 상승시킬 수 있기 때문에, 누출의 발생을 방지할 수 있다.
또한, 확산 접합에 의해 제1 블록 부재와 제2 블록 부재를 접합하기 때문에, 일본공개특허 2006-84002호 공보와 같이 유로마다 뚜껑 부재를 준비할 필요가 없다. 그리고 예를 들면 U자 유로를 형성하기 위해서, 제1 블록 부재 쪽에 관통공, 제2 블록 부재 쪽에 직선 유로를 형성하면, 제2 블록 부재 쪽의 직선 유로를 기계가공에 의해 단부를 둥글게 가공하는 것으로, 접합 후의 유로는 U자형으로 유로의 곡선의 외주부도 각으로 되지 않는다.
이와 같이, 복수의 블록의 유로 주위 맞닿은 면을 확산 접합하는 것으로서, 유로에 체류부가 생기기 어려운 유로 블록을 제공할 수 있다.
또한, 상기 유로 블록에 있어서, 제1 접속면 개구부에 형성되는 제1 유로 말단 접속면과, 제2 접속면 개구부에 형성되는 제2 유로 말단 접속면을, 각각 돌출시켜서 접합 오목부를 마련했기 때문에, 확산 접합할 때에 필요한 마무리 가공 면적을 감소할 수 있고, 필요한 면 정확도를 용이하게 확보할 수 있다. 마무리 가공 면 적이 커지면, 가공 에러가 발생하여 접합 불량이 발생할 우려가 있지만, 접합을 위한 마무리 가공 면적을 감소하는 것으로, 그 확률을 줄일 수 있다.
또한, 접합 면적의 감소에 의해 가공에 필요한 힘도 줄일 수 있고, 가압설비의 축소에 공헌할 수 있다.
또한, 상기의 어느 유로 블록에 있어서, 제1 접속면 개구부 또는 제2 접속면 개구부의 개구 면적은, 하류 쪽이 상류 쪽보다도 좁기 때문에, 제1 접속면 개구부 및 제2 접속면 개구부의 가공 치수 공차를 흡수할 수 있다.
유로 블록의 부품으로서 제1 유로 블록 부재 및 제2 블록 부재를 각각 가공하면, 치수 공차가 발생한다. 이와 같은 치수 공차는, 제1 접속면 개구부와 제2 접속면 개구부의 접합시에 유로 내에서 단차를 만드는 요인이 된다. 필요한 유로의 지름을 확보하고자 하는 경우, 개구 면적이 좁은 하류 쪽의 유로의 지름을 최저 유로 지름으로 하면, 치수 공차가 발생해도 상류 쪽의 유로의 지름을 치수 공차에 대응한 지름으로 하는 것으로, 필요한 유로의 지름을 확보할 수 있다.
또한, 단차 중, 유로에 대하여 급속하게 확대되는 부분은 유체의 체류부가 되는 문제가 있다. 반도체 제조 공정에서 사용되는 가스 공급 집적 유닛에 이용되는 유로 블록에서는, 결정화되기 쉬운 부식성의 가스가 흐르는 경우도 있고, 결정화로 인해 농축되어 유로 블록을 부식해 버리는 것도 고려할 수 있다. 따라서, 가능한 한 이런 체류부를 배제할 필요가 있다.
상류 쪽의 개구 면적보다도, 하류 쪽의 개구 면적이 좁다면, 질소 가스 등으로 퍼지하는 것으로 단차 부분에 결정이 생겼다고 해도 배제할 수 있기 때문에, 이 점이 있다.
또한, 상기의 유로 블록에 있어서, 제1 접속면 개구부와 제2 접속면 개구부를 접속하는 개스킷(gasket)을, 제1 블록 부재와 제2 블록 부재와의 사이에 끼워, 제1 유로 말단 접속면과 제2 유로 말단 접속면을, 개스킷을 이용하여 맞닿게 하고, 확산 접합하는 것으로, 유로 말단 접속부를 형성하므로, 개스킷의 접합면과, 제1 유로 말단 접속면과 제2 유로 말단 접속면의 부근을 마무리 가공하는 것으로, 확산 접합이 가능하다. 따라서, 마무리 면적을 줄일 수 있다. 또한, 가공시에 필요한 압력을 줄일 수 있기 때문에, 가압 설비의 축소에 공헌할 수 있다.
또한, 상기의 유로 블록에 있어서, 개스킷은 그 안쪽에 형성되는 유로의 상류 쪽의 개구 면적이, 하류 쪽의 개구 면적보다도 좁기 때문에, 제1 접합면 개구부의 면적보다 개스킷 위쪽 개구 면적이 좁고, 개스킷 아래쪽 개구 면적의 면적보다도 제2 접속면 개구부 면적을 좁게 하는 것이 가능하며, 각각의 접속 부분에서는 항상 상류 쪽이 하류 쪽보다 개구 면적이 커져서, 유로 중의 체류부가 생기지 않도록 하는 것이 가능하다.
또한, 본 발명의 다른 태양에 의하면, 유체를 제어하는 유체제어기구와 접속하고, 유체제어기구와 접속되는 유로가 형성되는 유로 블록의 제조방법에 있어서, 제1 접속면에 복수의 제1 접속면 개구부가 형성된 제1 블록 부재의, 제1 접속면 개구부의 주위에 형성된 제1 유로 말단 접속면과, 제2 접속면에 제1 접속면 개구부에 대응하는 제2 접속면 개구부가 형성된 제2 블록 부재의, 제2 접속면 개구부의 주위에 형성된 제2 유로 말단 접속면을 맞닿게 하고, 제1 블록 부재와 제2 블록 부재를 블록 압압 수단에 의해 압압하고, 제1 블록 부재와 제2 블록 부재를 가열 수단에 의해 가열하는 것으로, 제1 유로 말단 접속면과 제2 유로 말단 접속면이 확산 접합되어, 유로가 형성되는 것을 특징으로 하는 유로 블록의 제조방법을 특징으로 한다.
따라서, 제1 블록 부재와 제2 블록 부재를 유로 주위 맞닿는 면에서 확산 접합하는 것으로, 복잡한 유로를 체류부가 되기 어려운 상태로 유로 블록을 형성하는 제조방법을 제공하는 것이 가능하다.
또한, 상기의 유로 블록의 제조방법에 있어서, 제1 접속면 개구부와 제2 접속면 개구부를 접속하는 개스킷을, 제1 블록 부재와 제2 블록 부재의 사이에 끼우고, 개스킷을 유지하는 개스킷 유지 부재를 이용하여, 개스킷의 위치를 결정하고 확산 접합하기 때문에, 개스킷의 위치 결정을 용이하게 할 수 있고, 접합에 있어서 어긋남이 없는 유로를 형성할 수 있다.
본 발명에 의하면 체류부가 생기기 어려운 복잡한 유로를 형성가능한 유로 블록을 제공할 수 있다.
본 발명의 한 실시의 형태인 유로 블록에 관하여, 도면을 참조하면서 상세히 설명한다.
[제1 실시예]
먼저, 본 발명의 제1 실시예의 구성에 관하여 설명한다.
도 1에 제1 실시예의 유로 블록의 단면도를 도시한다.
유로 블록(10)은 반도체 제조 공정에 사용되는 가스 집적 유닛에 이용되고 있고, 상면에는 가스 등을 제어하기 위한 도시하지 않은 유체제어기구가 설치 가능하며, 가스 집적 유닛에 사용된다.
유로 블록(10)에는 개스킷용 카운터 보어(counter bore; 10a)와 직선 유로(10b), U자 유로(10c)가 복수 형성되어 있다. 개스킷용 카운터 보어(10a)에 도시하지 않은 패킹이 마련되어 유체제어기구가 접속된다. 유로 블록(10)은 도 1에 도시된 유로 블록(10) 상부와 하부를 연결하는 부분인 유로 말단 접속부(17)에서 확산 접합되어 형성되어 있다.
도 2에, 도 1의 유로 블록(10)을 구성하는 제1 블록 부재(11)의 상면도를 도시한다. 또한, 도 3에, 제1 블록 부재(11)의 단면도를 도시한다.
도 4에, 도 1의 유로 블록(10)을 구성하는 제2 블록 부재(12)의 상면도를 도시한다. 도한, 도 5에, 제2 블록 부재(12)의 단면도를 도시한다.
도 6에, 도 1의 유로 블록(10)을 구성하는 제1 블록 부재(11)와 제2 블록 부재(12)를 접속하는 개스킷(18)의 상면도를 도시한다. 또한, 도 7에 개스킷(18)의 단면도를 도시한다.
유로 블록(10)은 제1 블록 부재(11)와 제2 블록 부재(12)로 구성되며, 제1 블록 부재(11)와 제2 블록 부재(12)를 개스킷(18)에 의해 접속하고 있다.
제1 블록 부재(11)에는 제1 블록 상면(11a)과, 제1 블록 하면(제1 접속면; 11b)을 구비하고 있다. 또한, 직선 유로(10b) 및 U자 유로(10c)의 일부를 형성하는 유로 상부(11c)가 복수 마련되어 있다. 제1 실시예에서는, 10개의 유로 상부(11c)가 마련되어 있다. 또한, 각 유로 상부(11c)는, 제1 블록 하면(11b)으로 개구하는 제1 접속면 개구부(11d)를 가진다. 또한, 도 2에 도시한 것처럼 제1 블록 부재(11)의 네 모서리에는 제1 위치결정핀용 구멍(15a)이 설치되어 있다.
제2 블록 부재(12)에는, 제2 블록 상면(제2 접속면; 12a)과, 제2 블록 하면(12b)을 구비하고 있다. 또한, 직선 유로(10b) 및 U자 유로(10c)의 일부를 구성하는 유로 하부(12c)가 복수 설치되어 있다. 제1 실시예에서는, 수직 유로 2개와, 수평 유로 4개가 설치되어 있다. 또한, 각 유로 하부(12c)는 제2 블록 상면(12a)으로 개구하는 제2 접속면 개구부(12d)를 가진다. 또한, 도 4에 도시한 것처럼 제2 블록 부재(12)의 네 모서리에는 제2 위치결정핀용 구멍(15b)이 설치된다.
이들 제1 블록 부재(11) 및 제2 블록 부재(12)는 SUS316L 등의 스테인리스 재료로, 기계가공에 의해 형성되어 있다. 가스 집적 유닛에는 부식성이 높은 가스를 사용하는 경우도 있어서, 사용 용도에 맞게 고-내식성의 재료를 사용하는 것이 바람직하다.
개스킷(18)은 수㎜ 정도의 두께의 원통 형상 또는 타원 원통 형상으로 형성되어 있다.
개스킷(18)의 재질은 제1 블록 부재(11) 및 제2 블록 부재(12)와 동일하게 SUS316L 또는 하스텔로이®(HASTELLOY®) 등의 고-내부식성 재료이어도 좋다. 개스킷(18)의 두께는 개스킷 두께(A)로 한다. 개스킷(18)의 단면을 설명의 편의상 개스 킷 단면(18a)이라 한다.
이들, 제1 블록 부재(11), 제2 블록 부재(12), 개스킷(18)을 접합함으로써, 도 1에 도시한 것과 같은 유로 블록(10)을 형성한다.
확산 접합을 행하기 위해서는, 각각의 접속면, 제1 블록 부재(11)의 제1 블록 하면(11b)과 개스킷(18)의 개스킷 단면(18a) 및 개스킷 단면(18a)과 제2 블록 상면(12a)이, 개스킷 단면(18a)의 전면에서 균등하게 맞닿을 필요가 있다.
따라서, 제1 블록 하면(11b)의 제1 접속면 개구부(11d) 주위과, 제2 블록 하면(12b)의 제2 접속면 개구부(12d) 주위, 그리고 개스킷 단면(18a)은 각각 랩 연마(lap-grinding) 등에 의해 표면 조도(surface roughness)가 좋게 형성되며, 평면도(flatness)도 확보되어 있는 것으로 한다.
다음으로, 제1 실시예의 유로 블록(10)의 구성에 관하여 설명한다.
도 8에, 제1 실시예의 유로 블록(10)의 조립에 사용하는 리테이너(20)의 상면도를 도시한다. 또한, 도 9에, 리테이너(20)의 단면도를 도시한다.
도 10에서, 유로 블록(10)을 접합할 때에, 제1 블록 부재(11), 제2 블록 부재(12) 및 개스킷(18)을 조립한 상태의 단면도를 도시한다.
개스킷 유지 부재인 리테이너(20)는, 중앙부에서 2 분할 가능하게 구성되어 있고, 리테이너(20)의 두께는 도 9에 도시한 것처럼 리테이너 두께(B)이며, 개스킷 두께(A)에 비해 얇게 설정되어 있다. 리테이너(20)의 재질은, 개스킷(18)이 유지될 수 있을 정도의 경도와, 확산 접합시의 열에 견딜 수 있는 내열성이 있으면 뮈든지 좋지만, 여기서는 제1 블록 부재(11) 등과 동일한 재질로 한다.
리테이너(20)의 중앙부에는 개스킷 유지부(20a)가 구비되어 있다. 또한, 리테이너(20)의 네 모서리에는 제3 위치결정핀용 구멍(15c)이 구비되어 있다.
위치결정 지그(positioning jig; 30)는 그 네 모서리에 위치결정핀(31)을 구비하고 있다.
유로 블록(10)을 조립할 때에 있어서, 먼저 위치결정 지그(30)에 제2 블록 부재(12)를 세팅한다. 제2 블록 부재(12)의 네 모서리에 마련된 제2 위치결정핀용 구멍(15b)이 위치결정 지그(30)의 위치결정핀(31)과 일치하도록 배치한다.
그 후, 리테이너(20)를 마찬가지로 리테이너(20)에 구비된 제3 위치결정핀용 구멍(15c)에 위치결정 지그(30)의 위치결정핀(31)이 일치하도록 배치한다. 그리고, 리테이너(20)의 개스킷 유지부(20a)에 대응하는 개스킷(18)을 배치하며, 최후에 제1 블록 부재(11)를 제1 블록 부재(11)의 네 모서리에 구비된 제1 위치결정핀용 구멍(15a)이 위치결정 지그(30)의 위치결정핀(31)과 일치하도록 배치한다.
이와 같이 위치결정 지그(30)의 위치결정핀(31)과 제1 위치결정핀용 구멍(15a), 제2 위치결정핀용 구멍(15b), 제3 위치결정핀용 구멍(15c)이 일치하도록 제1 블록 부재(11), 제2 블록 부재(12) 및 리테이너(20)를 배치하면, 개스킷(18)은 리테이너(20)에 따라 위치결정이 되며, 제1 블록 부재(11) 및 제2 블록 부재(12)도 적절한 위치에 배치된다.
도 11에 제1 블록 부재(11), 제2 블록 부재(12) 및 개스킷(18)의 각각의 접합 상태에 관한 부분 분해 사시도를 도시한다.
제1 블록 부재(11) 및 제2 블록 부재(12)가 개스킷(18)을 이용하여 확산 접 합되는 것으로, 제1 블록 부재(11)에 구비된 유로 상부(11c)와 제2 블록 부재(12)에 구비된 유로 하부(12c)가 개스킷(18)을 이용하여 접합되어, 도 1에 도시된 직선 유로(10b) 및 U자 유로(10c)를 형성한다.
이때에, 제1 블록 부재(11)에 형성되는 제1 접속면 개구부(11d)의 주위의 제1 유로 말단 접속면(17a)과 제2 블록 부재(12)에 형성된 제2 접속면 개구부(12d)의 주위의 제2 유로 말단 접속면(17b)과, 개스킷(18)의 양 단면인 개스킷 단면(18a)이 각각 맞닿는 것으로, 제1 블록 부재(11), 제2 블록 부재(12) 및 개스킷(18)은 각각 면으로 접촉한다.
이후, 도시하지 않은 가열로에 유로 블록(10)을 넣어, 가열 장치에 의해 상하에서 가압하면서 가열한다. 가압력은 수십 ㎏/㎠ 정도 필요하다. 유로 블록(10)을 가압하면서 가열하는 것으로, 제1 유로 말단 접속면(17a) 및 제2 유로 말단 접속면(17b)와 개스킷 단면(18a)의 맞닿는 부분에서 확산 접합하여, 제1 블록 부재(11), 제2 블록 부재(12) 및 개스킷(18)이 일체의 유로 블록(10)을 형성한다.
가열로에서 유로 블록(10)을 꺼낸 후, 유로 블록(10)에서 위치결정 지그(30)를 분리하고, 다시 리테이너(20)를 제거한다. 리테이너(20)는 2 분할 가능한 구조이기 때문에, 위치결정 지그(30)를 분리하면 용이하게 제거할 수 있다.
이와 같이 형성된 유로 블록(10)은 개스킷(18)의 주위에 간극이 형성된 상태로, 개스킷 단면(18a)과 제1 유로 말단 접속면(17a) 및 제2 유로 말단 접속면(17b)이 확산 접합하는 것으로 유로의 주위가 접합되어 유로 말단 접속부(17)를 형성한다. 이 간극은 수지 등을 충진하여 묻어 버려도 좋고, 예를 들면 히터 부재(heater member) 등을 설치할 장소로서 사용하여도 좋다.
다음으로, 제1 실시예의 유로 블록(10)의 효과에 대해 설명한다.
먼저, 제1의 효과로서 제1 블록 부재(11)와 제2 블록 부재(12)를 개스킷(18)을 이용하여 접합하는 구성으로, 유로 블록(10)에 복잡한 유로를 형성할 수 있는 점을 들 수 있다.
제2 블록 부재(12)에 형성되는 유로 하부(12c)는, 예를 들면 엔드밀(end mill)과 같은 공작 기계를 이용하여 홈(groove) 형상으로 길게 형성할 수 있다.
통상, 일본공개특허 2003-097752호 공보에 도시된 방법과 같은 방법으로, 유로 블록(10)을 스테인리스의 블록제에 기계 가공으로 유로를 형성하려면, U자 유로(10c)와 같은 형상의 유로는 전술한 대로 가공 공구의 제한 때문에 유로의 깊이에 제한이 생긴다.
그러나 제1 실시예의 유로 블록(10)이면, 유로 블록(10)을 구성하는 제2 블록 부재(12)의 제2 블록 상면(12a) 쪽에서, 엔드밀 등의 공구에 의해 유로 하부(12c)를 절삭 가공하는 것으로, 필요한 길이의 U자 유로(10c)를 형성할 수 있게 된다. 또한, 유로 블록(10)에 마련된 유로와 같이 직선형의 복수의 U자 유로(10c)를 나란히 설치하는 것도, 일본공개특허 2003-097752호 공보의 방법으로는 매우 곤란하지만, 제1 실시예의 방법이면 용이하게 형성할 수 있다.
따라서, 유로 블록(10)에 구성되는 직선 유로(10b) 및 U자 유로(10c)는 비교적 자유로운 레이아웃으로 구성할 수 있다.
다음으로, 제1 블록 부재(11) 및 제2 블록 부재(12)를 확산 접합하는 방식을 대용하면, 유로 블록(10)을 3 분할 이상하지 않으면 기계가공을 행하는 것이 불가능한 복잡한 유로의 형성도, 일본공개특허 2006-84002호 공보와 같이 용접할 필요가 없기 때문에 가능하다.
다음으로, 제2의 효과로서, 체류부가 적은 유로를 형성하는 것이 가능한 점을 들 수 있다.
제1 실시예의 유로는, 도 1에 도시된 것처럼 U자 유로(10c)에 있어서도, 각부(10d)는 R 가공이 이루어진다. 따라서, 유로 내에 체류부가 극히 적은 유로를 구성하는 것이 가능하다. 한편, 일본공개특허 2006-84002호 공보에 개시된 방법에서는, 도 28에 도시한 것처럼, U자 유로의 각부는 직각이 된다. 또한, 일본공개특허 2003-097752호 공보에 개시된 방법에서도 도 27에 도시된 것처럼, U자 유로의 각부의 일부가 포켓(pocket)이 되어, 어느 것도 체류부가 될 우려가 있다.
유로 내에서 체류부가 생기면, 예를 들면 유로 블록(10)을 구비한 가스 집적 유닛으로, 유체를 유통한 후, 유체를 전환하여 다른 유체를 흐르게 한 경우, 체류부에 유체의 치환이 일어나기 어렵게 되므로, 가스의 전환 등을 행한 경우에, 미량의 가스가 잔류하여 혼입되는 것이 예상되며, 이는 바람직하지 않다. 또한, 결정화되기 쉬운 가스가 흐르면, 체류부에서 결정화되기 쉽고, 체류부에서 결정화되면 퍼지하는 것도 어렵다.
제1 실시예의 방법을 이용하는 것으로, 체류부가 적은 유로 블록(10)을 제공할 수 있기 때문에, 사용 유체의 결정화나 가스의 혼입 등의 발생 요인이 감소할 수 있다.
또한, 제3의 효과로서, 제1 블록 부재(11)와 제2 블록 부재(12)는, 개스킷(18)을 이용하여 확산 접합되기 때문에, 랩 연마하는 면적이 작아도 괜찮은 장점이 있다.
면 끼리 확산접합하기 위해서는, 면 끼리 맞닿게 할 필요가 있고, 극력 맞닿은 면 끼리의 사이에 간극을 만들지 않도록 하지 않으면 안 된다. 확산 접합은 고온고압하에서 결정 입계(grain boundary)를 따라 각 계면(interface)에서 원자가 확산하고 일체화하는 현상을 이용함으로써 접합 계면끼리 밀착하는 방법이기 때문이다.
따라서, 간극 부분에서는 원자의 교환이 일어나지 않아, 접합하는 것이 가능하지 않다. 이 때문에, 제1 블록 부재(11)의 제1 유로 말단 접속면(17a)과, 개스킷(18)의 개스킷 단면(18a), 및 제2 블록 부재(12)의 제2 유로 말단 접속면(17b)과 개스킷(18)의 개스킷 단면(18a)은, 각각 접합시에 밀착할 필요가 있다.
면 끼리의 밀착성을 담보하기 위해, 제1 유로 말단 접속면(17a), 제2 유로 말단 접속면(17b) 및 개스킷 단면(18a)은, 통상 절삭 가공 후에 랩 연마 가공이 행해진다.
그러나, 랩 연마는 연마액(grinding solution)을 이용하여 공구를 가공면에 맞닿게 하고, 공구를 움직이게 하여 완성하는 방법을 취하므로, 가공시 시간이 드는 외에, 면적이 넓어지면 평면도 등의 가공 정확도를 확보하는 것이 어려워진다.
따라서, 제1 블록 부재(11)와 제2 블록 부재(12)를 직접 맞닿게 하는 경우보다도, 개스킷(18)을 이용하여 제1 블록 부재(11)와 제2 블록 부재(12)를 접합시키 고, 유로를 형성함에 있어 가장 접합이 필요한 부분인 유로 말단 접속부(17)에서 확산 접합하는 것이 바람직하다.
결국, 랩 연마가 필요한 부분은, 개스킷 단면(18a)과 제1 유로 말단 접속면(17a) 및 제2 유로 말단 접속면(17b)이기 때문에, 전면을 균일하게 가공하는 경우보다도 가공시간이 짧아도 괜찮고, 동시에 가공 정확도를 향상하는 것이 용이하게 되는 이점이 있다.
또한, 제4의 효과로서, 제1 블록 부재(11)와 제2 블록 부재(12)는, 유로 말단 접속부(17)에서 접합되므로, 제1 블록 부재(11)와 제2 블록 부재(12)를 누르는 힘이 적어도 괜찮다. 따라서, 가압 장치의 크기를 작게 하는 것도 가능하다.
접합 면적의 감소에 의해, 가압에 필요한 힘을 적게 할 수 있다. 가압력을 작게 할 수 있으면, 가압 장치도 작아질 수 있다. 일반적으로 가압을 발생시키기 위해서는, 유압 기구 등을 사용할 필요가 있지만, 어떤 방식으로 하여도 가압력에 비례하여 설비가 커진다. 설비가 커지면, 초기 비용 및 운영 비용도 증가하기 때문에, 극력 작게 할 방법이 바람직하다.
[제2 실시예]
제2 실시예는 제1 실시예와 그 구성에 있어서 유사하지만, 제1 블록 부재(11) 및 제2 블록 부재(12)의 접속 구성이 다르므로, 이하에서 설명한다.
도 12에, 제2 실시예의 유로 블록(10)을 접합할 때에, 제1 블록 부재(11)와 제2 블록 부재(12)를 조립할 때의 부분 분해 사시도를 도시한다.
제1 블록 부재(11)의 제1 블록 하면(11b)에는, 제1 접속 오목부(11e)가 형성되어 있다. 제1 접속 오목부(11e)의 단면에는 제1 유로 말단 접속면(17a)이 형성되어 있다.
제2 블록 부재(12)의 제2 블록 상면(12a)에는, 제2 접속 오목부(12e)가 형성되어 있다. 제2 접속 오목부(12e)의 단면에는 제2 유로 말단 접속면(17b)이 형성되어 있다.
제2 실시예에서는 제1 실시예와 같이 개스킷(18)을 이용하지 않고, 제1 블록 부재(11) 및 제2 블록 부재(12)에 접속 오목부를 마련하여, 제1 접속 오목부(11e) 및 제2 접속 오목부(12e)를 맞닿게 하고, 그 맞닿은 면인 제1 유로 말단 접속면(17a) 및 제 2 유로 말단 접속면(17b)에서 확산접합을 하는 구성을 취한다.
제2 실시예는 이와 같은 구성이기 때문에, 이하에 나타난 것과 같은 작용효과를 나타낸다.
먼저 제1 이점에, 확산접합할 때에 제1 블록 부재(11) 및 제2 블록 부재(12)를 직접 맞닿게 하기 때문에, 제1 실시예와 비교하여 부품 점수의 감소를 도모할 수 있는 점을 들 수 있다.
제1 실시예에서는, 접합 부분에 개스킷(18)을 이용하고 있지만, 제2 실시예에서는, 제1 접속 오목부(11e) 및 제2 접속 오목부(12e)를 마련한 것으로, 개스킷(18)을 필요로 하지 않고 확산 접합을 행할 수 있다. 따라서 부품 점수를 감소할 수 있어, 비용 절감에 공헌한다. 이와 같은 부품점수의 감소는, 간단하게 개스킷(18)의 제조비의 절감 외에, 조립 공정을 줄일 수 있는 장점이 있기 때문에, 비 용 절감 효과가 크다.
또한, 이에 부수하여 제2 실시예에서는 제1 실시예에 필요한 개스킷(18)을 유지하기 위한 리테이너(20)도 불필요하다. 제1 실시예에서는 리테이너(20)는 위치결정 지그로서의 역할이 끝나면 최종적으로 제거되기 때문에, 복수 회 사용가능하다. 그러나, 리테이너(20)의 제작 비용이나 유지 관리 등에도 비용이 들기 때문에, 리테이너(20)를 사용하지 않는 것에 의한 비용적인 장점도 많다.
다만, 개스킷(18)을 이용하지 않는 것으로, 제1 블록 부재(11) 및 제2 블록 부재(12)에 제1 접속 오목부(11e) 및 제2 접속 오목부(12e)를 형성할 필요가 있기 때문에, 제1 블록 부재(11) 및 제2 블록 부재(12)의 가공 비용은 약간 오른다.
제2 이점으로, 확산 접합하는 계면이 감소하기 때문에, 불량률의 감소로 연결될 수 있는 점을 들 수 있다.
전술한 것처럼 확산 접합이 양호하게 행해지기 위해서는 제1 유로 말단 접속면(17a) 및 제2 유로 말단 접속면(17b)이 간극 없이 맞닿아 있는 상태일 필요가 있다. 이와 같은 맞닿은 면이 제1 실시 형태와 비교하여 반감하므로, 확산 접합이 필요한 부분이 작아지기 때문에, 불량률의 저하를 기대할 수 있다.
[제3 실시예]
제3 실시예는, 제1 실시예의 구성과 거의 동일하다. 다만, 제1 접속면 개구부(11d) 및 제2 접속면 개구부(12d)에 관한 구성이 다르다. 이에 대하여 이하에서 설명한다.
도 13 내지 도 15에, 제1 접속면 개구부(11d)와 제2 접속면 개구부(12d)가 같은 개구 면적의 경우에, 엇갈림(displacement)이 생기는 태양을 표현한 부분 단면도를 도시한다. 이 중, 도 13에는 제1 블록 하면(11b)과 제2 블록 상면(12a)이 맞닿기 전의 상태를 도시한다. 도 14에는 제1 블록 하면(11b)과 제2 블록 상면(12a)이 맞닿은 상태를 도시한다. 도 15에는 도 14에 도시하는 X1 부분의 부분 확대도를 도시한다.
도 16 내지 도 18에, 제3 실시예의 제1 접속면 개구부(11d)와 제2 접속면 개구부(12d)가 접속되는 부분의 도면을 도시한다. 이 중, 도 16에는, 제1 블록 하면(11b)과 제2 블록 상면(12a)이 맞닿기 전의 상태를 도시한다. 도 17에는 제1 블록 하면(11b)과 제2 블록 상면(12a)이 맞닿은 상태를 도시한다. 도 18에는 도 17의 X2 부분의 부분 확대도를 도시한다.
제3 실시예의 제1 블록 부재(11)에 마련된 제1 접속면 개구부(11d)는, 지름이 제1 개구 지름(d1)으로서 형성되어 있다. 한편, 제2 블록 부재(12)에 마련된 제2 접속면 개구부(12d)는, 지름이 제2 개구 지름(d2)으로서 형성되어 있다. 제1 개구 지름(d1)은 제2 개구 지름(d2)보다도 크게 형성되어 있다. 제1 개구 지름(d1)과 제2 개구 지름(d2)의 차이는 조립 공차 및 제작상의 치수 공차를 포함한 정도로 하고 있다.
또한, 제3 실시예에서는 설명의 편의상, 개스킷(18)을 제외하고 설명하고 있지만, 개스킷(18)을 이용한 구성을 적용하여도 좋다. 제1 블록 부재(11) 및 제2 블록 부재(12)에 제1 접속 오목부(11e) 및 제2 접속 오목부(12e)를 마련하여도 좋다.
제3 실시예는 상기와 같이 구성되기 때문에 이하와 같은 작용 효과를 나타낸다.
제1 개구 지름(d1)과 제2 개구 지름(d2)이 같은 지름인 경우, 도 13 내지 도 15에 도시된 것처럼, 단차 부분(C)가 생긴다. 제품의 치수 공차나 조립 공차를 고려하면, 이와 같은 단차 부분(C)이 생기는 것은 피할 수 없다.
이때에, 도 15에 도시한 것과 같은 유체의 흐름의 상류 쪽인 제1 블록 하면(11b)의 사공간(dead space)이 되는 단차 부분(C)이 생기면, 유체가 체류할 요인이 된다. 이와 같은 체류부가 유로 내에 생기면, 예를 들면 유로 블록(10)을 유통하는 유체가 결정화되기 쉬운 유체인 경우, 체류부에서 결정화되어 버린다. 또한, 유로 블록(10)의 직선 유로(10b) 및 U자 유로(10c)는, 정기적으로 불활성 가스 등으로 퍼지되지만, 유로 내에 체류부가 생기면, 퍼지하는 것이 곤란하기 때문에 결정화되는 것을 배제하는 것이 어려워진다.
그러나, 제3 실시예의 구성과 같이, 제1 개구 지름(d1)보다 제2 개구 지름(d2)의 쪽이 작으면, 도 17에 도시한 것처럼, 제1 블록 부재(11)와 제2 블록 부재(12)가 어긋나서 조립되어도 단차 부분(C)은 상류 쪽에서 제2 블록 상면(12a)이 보이는 상태로 된다. 따라서, 단차 부분(C)은 상류 쪽에서의 유체의 흐름에 항상 노출되어, 결정이 생기기 어렵다. 또한, 퍼지한 때에도 유체가 체류하지 않기 때문에, 유체의 치환이 용이하게 행해진다.
이와 같이, 상류 쪽인 제1 개구 지름(d1)보다, 하류 쪽인 제2 개구 지름(d2)을 작게 하여, 유로 내에 체류부를 만들지 않고, 유체의 치환이 용이하게 행해지 고, 결정화되기 쉬운 유체를 사용한 경우에도, 결정화를 방지할 수 있다.
[제4 실시예]
제4 실시예는 제1 실시예의 구성과 거의 동일하다. 다만, 개스킷(18)의 내부 형상에 관한 구성이 다르다. 이에 대해 이하에서 설명한다.
도 19 내지 도 21에는, 제4 실시예의 개스킷(18)을 이용하여 제1 블록 부재(11)와 제2 블록 부재(12)를 접합하는 태양을 도시하고 있다. 도 19에는, 제1 블록 부재(11), 제2 블록 부재(12) 및 개스킷(28)이 각각 맞닿기 전의 상태를 도시한다. 도 20에는, 제1 블록 부재(11), 제2 블록 부재(12) 및 개스킷(28)이 맞닿아 있는 상태를 도시한다. 도 21에는, 도 20의 X3 부분의 부분 확대도를 도시한다.
제4 실시예의 개스킷(28)은 도 19 내지 도 21에 도시한 것처럼, 제1 블록 하면(11b)에 면하는 상류 쪽의 단면(28a)의 개구부 지름이 제1 접속면 개구부(11d)의 제1 개구 지름(d1)에 비해 좁고, 제2 블록 상면(12a)에 면한 하류 쪽의 단면(28a)의 개구부 지름이 제2 접속면 개구부(12d)의 제2 개구 지름(d2)에 비해 넓다. 그리고, 개스킷 내부 유로(28b)는 개스킷(28)의 상면쪽 개구에서 하류쪽 개구에 접속하도록 곡선으로 접속되어 있다. 엄밀히 말하면, 개스킷(28)의 하류쪽 개구부에서, 상류쪽 개구에서 하류쪽 개구에 걸쳐 유로가 확대되도록 구 형상으로 가공되어 있다.
제4 실시예의 유로 블록(10)은 이와 같이 구성되므로, 이하와 같은 작용효과를 나타낸다.
제4 실시예에서는 개스킷(28)을 이용한 경우에, 제3 실시예와 동등한 효과를 얻을 수 있도록 구성되어 있다. 즉, 개스킷(28)의 상류쪽 개구의 지름이 상류쪽인 제1 접속면 개구부(11d)의 제1 개구 지름(d1)보다도 작고, 개스킷(28)의 하류쪽 개구의 지름이 하류쪽인 제2 접속면 개구부(12d)의 제2 개구 지름(d2)보다도 크게 구성되어 있는 것으로, 단차 부분(C)이 유체가 체류하는 부분이 되지 않도록 구성되어 있다.
따라서, 유로 블록(10)의 유로 내에서 유체가 체류하지 않고, 유체를 전환하여 유로를 흐르게 할 때의 유체의 치환이 용이하게 되고, 유체가 결정화되기 쉬운 것이어도, 단차 부분(C)을 정기적으로 퍼지하면, 결정화를 방지하는 것을 기대할 수 있다.
[제5 실시예]
제5 실시예는, 제1 실시예의 구성과 거의 동일하다. 다만, 제1 블록 부재(11) 및 제2 블록 부재(12) 이외에 블록 부재를 접합하는 것과, 개스킷(18)의 형태에 관해 구성이 다르다. 이하에서 설명한다.
도 22에는 복수의 블록 부재로 된 유로 블록(10)을 제1 실시예의 개스킷(18)을 그대로 사용하여 접합한 경우의 단면도를 도시한다. 또한, 도 23에는 제5 실시예의 개스킷(38)을 이용하여 복수의 블록 부재를 접합한 경우의 단면도를 도시한다.
제5 실시예의 유로 블록(10)은 제1 블록 부재(11)와 제2 블록 부재(12)에 가 하여, 제3 블록 부재(13)와 제4 블록 부재(14)를 접합하여 구성된다.
이때 이용한 개스킷(38)이, 도 23에 도시한 것처럼 계단식 원통형의 형상을 하고 있다. 그리고, 개스킷(38)은 제2 블록 부재(12) 및 제3 블록 부재(13)를 관통하여, 제1 블록 부재(11)와 제4 블록 부재(14)에 맞닿은 구조로 되어 있다. 제2 블록 부재(12) 및 제3 블록 부재(13)로 열리는 관통공은 개스킷(38)의 외경과 끼워 맞춰지도록 형성되어 있다.
제5 실시예의 유로 블록(10)은 상술한 것과 같이 구성되므로, 이하와 같은 작용효과를 나타낸다.
유로 블록(10)을 제1 블록 부재(11) 내지 제4 블록 부재(14)와 같이 복수의 블록 부재를 접합하는 것으로 구성하는 경우, 개스킷(18)을 각각 마련하면, 제1 유로 말단 접속면(17a) 등의 유로 말단 접속면과 개스킷 단면(18a)으로의 확산 접합면이 더해져, 접합 불량에 의한 유출이 발생할 가능성이 증가할 우려가 있다.
그러나 개스킷(38)을 도 23에 도시한 것처럼 제1 블록 부재(11)와 제4 블록 부재(14)의 표면에 각각 맞닿도록 구성하는 것으로, 확산 접합이 필요한 부분이 감소하므로, 접합 불량에 의한 누출이 발생할 가능성을 줄어들고, 가공의 수고를 줄일 수 있다. 개스킷 단면(38a)과 제1 블록 부재(11) 및 제4 블록 부재(14)의 유로 말단 접속면과의 접합면에서는, 랩 연마 등을 하여 면 끼리 간극 없이 밀착할 필요가 있다. 그러나 제2 블록 부재(12) 및 제3 블록 부재(13)가 개스킷(38)과 맞닿은 부분은, 개스킷 내부 유로(38b)가 유로가 되므로, 끼워 맞추는 정확도를 확보할 정도의 가공도 좋다.
따라서, 가공 비용을 절감할 수 있고, 접합 불량에 의한 누출의 우려가 줄어들 수 있다. 또한, 부품 점수의 감소에 의한 비용 절감 효과도 전망할 수 있다.
또한, 유로 블록(10)에 형성하는 유로 전체에 적용할 수 있는 것은 아니지만, 부분적으로 이와 같은 개스킷(38)을 이용하여 확산 접합하면, 비용적인 장점이 있다고 생각된다.
또한, 본 발명의 실시형태에 관하여 설명하지만, 본 발명은 상기 실시의 형태에 한정되는 것은 아니며, 다양한 응용이 가능하다.
예를 들면, 제1 실시예 내지 제5 실시예에서 도시한 유로의 형상 및 레이아웃은 한 예이며, 설계상 필요한 유로 구성으로 하는 것을 방해하지 않는다.
또한, 제1 실시예 내지 제5 실시예를 각각 조합하는 것도 방해하지 않는다.
또한, 제1 실시예 내지 제5 실시예에 도시한 재료는, 예시이므로, 다른 재료를 이용하여도 좋다.
본 발명의 바람직한 실시형태를 설명해 왔지만, 그들에 한정되는 것은 아니며, 청구항에 기재한 발명의 범위를 벗어나지 않는 한, 본 발명을 다양하게 변경, 수정가능한 것은 이해될 것이다.
첨부된 도면은 본 명세서의 일부를 구성하고, 본 발명의 실시형태를 도시하는 것이며, 하기의 기호와 함께 본 발명의 목적, 효과 및 구성을 설명하기 위해 이용된다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예의 유로 블록의 단면도를 도시하고 있다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예의 제1 블록 부재의 상면도를 도시하고 있다.
도 3은 제1 실시예의 제1 블록 부재의 단면도를 도시하고 있다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예의 제2 블록 부재의 상면도를 도시하고 있다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예의 제2 블록 부재의 단면도를 도시하고 있다.
도 6은 본 발명의 제1 실시예의 개스킷의 상면도를 도시하고 있다.
도 7은 본 발명의 제1 실시예의 개스킷의 단면도를 도시하고 있다.
도 8은 본 발명의 제1 실시예의 리테이너(retainer)의 상면도를 도시하고 있다.
도 9는 본 발명의 제1 실시예의 리테이너의 단면도를 도시하고 있다.
도 10은 본 발명의 제1 실시예의 제1 블록 부재, 제2 블록 부재 및 개스킷을 조립한 상태의 단면도를 도시하고 있다.
도 11은 본 발명의 제1 실시예의 제1 블록 부재, 제2 블록 부재 및 개스킷을 조립한 상태의 부분 분해 사시도를 도시하고 있다.
도 12는 본 발명의 제2 실시예의 제1 블록 부재, 제2 블록 부재를 조립할 때의 부분 분해 사시도를 도시하고 있다.
도 13은 본 발명의 제3 실시예의 대비예로서, 확산 접합시의 제1 블록 하면과 제2 블록 상면이 맞닿기 전의 상태를 도시하고 있다.
도 14는 본 발명의 제3 실시예의 대비예로서, 확산 접합시의 제1 블록 하면과 제2 블록 상면이 맞닿은 상태를 도시하고 있다.
도 15는 본 발명의 제3 실시예의 대비예로서, 확산 접합시의 단차 부분을 표시한 확대도를 도시하고 있다.
도 16은 본 발명의 제3 실시예의 확산 접합시의 제1 블록 하면과 제2 블록 상면이 맞닿기 전의 상태를 도시하고 있다.
도 17은 본 발명의 제3 실시예의 확산 접합시의 제1 블록 하면과 제2 블록 상면이 맞닿은 상태를 도시하고 있다.
도 18은 본 발명의 제3 실시예의 확산 접합시의 단차 부분을 표시한 확대도를 도시하고 있다.
도 19는 본 발명의 제4 실시예의 확산 접합시의 제1 블록 부재, 제2 블록 부재 및 개스킷이 각각 맞닿기 전의 상태를 도시하고 있다.
도 20은 본 발명의 제4 실시예의 제1 블록 부재, 제2 블록 부재 및 개스킷이 맞닿고 있는 상태를 도시하고 있다.
도 21은 본 발명의 제4 실시예의 확산 접합시의 단차 부분을 표시한 확대도를 도시하고 있다.
도 22는 본 발명의 제5 실시예의 대비예로서, 복수의 블록 부재로 된 유로 블록의 단면도를 도시하고 있다.
도 23은 본 발명의 제5 실시예의 복수 블록 부재로 된 유로 블록에 관통형의 개스킷을 사용하여 확산 접합한 경우의 단면도를 도시하고 있다.
도 24의 종래 기술은 일본공개특허 2003-097752호 공보의 U자 유로를 형성하는 제1 공정의 유로 블록의 입체 사시도를 도시하고 있다.
도 25의 종래 기술은 일본공개특허 2003-097752호 공보의 유로 블록을 가공하는 제2 공정의 단면도를 도시하고 있다.
도 26의 종래 기술은 일본공개특허 2003-097752호 공보의 유로 블록을 가공하는 제3 공정의 단면도를 도시하고 있다.
도 27의 종래 기술은 일본공개특허 2003-097752호 공보의 유로 블록을 가공하는 제4 공정의 단면도를 도시하고 있다.
도 28의 종래 기술은 일본공개특허 2006-84002호 공보의 유로 블록의 사시도를 도시하고 있다.

Claims (8)

  1. 유체를 제어할 유체제어기구와 접속되며, 상기 유체제어기구와 접속되는 유로(10b, 10c)가 형성되는 유로 블록(10)에 있어서,
    제1 접속면(11b)을 가지며, 거기로 개구하는 복수의 제1 접속면 개구부(11d)가 형성된 제1 블록 부재(11)와,
    제2 접속면(12a)을 가지며, 거기로 개구하고, 상기 제1 접속면 개구부(11d)와 대응하는 제2 접속면 개구부(12d)가 형성된 제2 블록 부재(12)와,
    상기 제1 접속면 개구부(11d)의 주위에 형성된 제1 유로 말단 접속면(17a)와, 상기 제2 접속면 개구부(12d)의 주위에 형성된 제2 유로 말단 접속면(17b)를 가지며, 상기 제1 블록 부재(11)의 상기 제1 접속면(11b)와 상기 제2 블록 부재(12)의 상기 제2 접속면을 맞추고, 상기 제1 유로 말단 접속면(17a)과 상기 제2 유로 말단 접속면(17b)를 맞닿게 하며, 상기 제1 블록 부재(11) 및 상기 제2 블록 부재(120에 상기 제1 접속면(11b) 및 상기 제2 접속면(12a)에 수직의 방향으로 압압되면서 가열하는 것으로, 상기 제1 유로 말단 접속면(17a)과 상기 제2 유로 말단 접속면(17b)가 확산 접합하여 형성하는 유로 말단 접속부(17)를 구비하는 것을 특징으로 하는 유로 블록(10).
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 접속면 개구부(11d)의 주위에 상기 제1 접속면(11b)에서 돌출하여 형성되고, 상기 제1 유로 말단 접속면(17a)를 가지는 제1 접합 오목부(11e)와,
    상기 제2 접속 개구부(12d)의 주위에 상기 제2 접속면(12a)에서 돌출하여 형성되며, 상기 제2 유로 말단 접속면(17b)를 가지는 제2 접합 오목부(12e)를 구비하는 것을 특징으로 하는 유로 블록(10).
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 접속면 개구부(11d) 및 상기 제2 접속면 개구부(12d)의 한쪽이 상류 쪽에, 다른 한쪽이 하류 쪽에 위치하며, 하류 쪽의 개구 면적이 상류 쪽의 개구 면적보다 좁은 개구 면적을 가지는 것을 특징으로 하는 유로 블록(10).
  4. 제2항에 있어서,
    상기 제1 접속면 개구부(11d) 또는 제2 접속면 개구부(12d)의 개구 면적은, 하류 쪽이 상류 쪽보다도 좁은 것을 특징으로 하는 유로 블록(10).
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1 접속면 개구부(11d)와 상기 제2 접속면 개구부(12d)를 접속하며, 상기 제1 블록 부재와 상기 제2 블록 부재(12)와의 사이에 끼워진 개스킷을 포함하고,
    상기 제1 유로 말단 접속면(17a)와 상기 제2 유로 말단 접속면(17b)을 상기 개스킷(18)을 이용하여 맞닿게 하여, 확산 접합하는 것으로, 상기 유로 말단 접속 부(17)를 형성하는 것을 특징으로 하는 유로 블록(10).
  6. 제5항에 있어서,
    상기 개스킷(18)은, 그 안쪽에 형성되는 유로의 상류 쪽의 개구 면적이 하류 쪽의 개구 면적보다도 좁은 것을 특징으로 하는 유로 블록(10).
  7. 유체를 제어하는 유체제어기구와 접속하며, 상기 유체제어기구와 접속되는 유로(10b, 10c)가 형성되는 유로 블록(10)의 제조 방법에 있어서,
    제1 접속면(11b)에 복수의 제1 접속면 개구부(11d)가 형성된 제1 블록 부재(11)의 상기 제1 접속면 개구부(11d)의 주위에 형성된 제1 유로 말단 접속면(17a)과,
    제2 접속면(12a)에 상기 제1 접속면 개구부(11d)에 대응하는 제2 접속면 개구부(12d)가 형성된 제2 블록 부재(12)의, 상기 제2 접속면 개구부(12d)의 주위에 형성된 제2 유로 말단 접속면(17b)을 맞닿게 하고,
    상기 제1 블록 부재(11)와 상기 제2 블록 부재(12)를 블록 압압 수단에 의해 압압하며,
    상기 제1 블록 부재(11)와 상기 제2 블록 부재(12)를 가열 수단에 의해 가열하는 것으로,
    상기 제1 유로 말단 접속면(17a)과 상기 제2 유로 말단 접속면(17b)이 확산 접합되어, 상기 유로(10c)가 형성되는 것을 특징으로 하는 유로 블록(10)의 제조 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제1 접속면 개구부(11d)와 상기 제2 접속면 개구부(12d)를 접속하는 개스킷을 상기 제1 블록 부재(11)와 상기 제2 블록 부재(12)의 사이에 끼워넣고,
    상기 개스킷(18)을 유지하는 개스킷 유지 부재(20)를 이용하여, 상기 개스킷(18)의 위치결정을 행하고, 확산 접합하는 것을 특징으로 하는 유로 블록(10)의 제조 방법.
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Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010144541A2 (en) * 2009-06-10 2010-12-16 Vistadeltek, Llc Extreme flow rate and/or high temperature fluid delivery substrates
JP5234695B2 (ja) * 2009-11-12 2013-07-10 Ｃｋｄ株式会社 液体集積ユニット
JP6346551B2 (ja) * 2013-12-05 2018-06-20 Ckd株式会社 流路ブロック及び流体供給制御装置
TWI646278B (zh) * 2013-12-05 2019-01-01 Ｃｋｄ股份有限公司 Piping joint, fluid supply control device, and piping connection structure
US10221721B2 (en) 2015-06-19 2019-03-05 Hamilton Sundstrand Corporation Hydraulic line routing plate
CN109564885A (zh) 2016-04-04 2019-04-02 艾科系统公司 液体输送系统
KR20190122233A (ko) * 2017-03-28 2019-10-29 가부시키가이샤 후지킨 이음매 블록 및 이것을 사용한 유체제어장치
JP6979004B2 (ja) * 2018-11-23 2021-12-08 Ckd株式会社 流体供給ユニット、流体供給集積ユニット、及び、流路ブロック
WO2020217665A1 (ja) * 2019-04-26 2020-10-29 株式会社フジキン 流路形成ブロック及び流路形成ブロックを備えた流体制御装置
TW202219405A (zh) * 2020-05-12 2022-05-16 美商艾克爾系統公司 構件組件及其密封保持器以及將構件安裝入控制流量的裝置的方法
US11624450B2 (en) * 2021-04-29 2023-04-11 Applied Materials, Inc. Fluid delivery mounting panel and system

Family Cites Families (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2871887A (en) * 1955-04-26 1959-02-03 Monarch Machine Tool Co Manifolding
US3213883A (en) * 1962-09-13 1965-10-26 Carls William Two-piece multiple valve manifold
US3407834A (en) * 1966-08-05 1968-10-29 Karl A. Brandenberg Fluid logic circuit mechanism
DE1917727C3 (de) * 1969-04-05 1974-08-01 Samson Apparatebau Ag, 6000 Frankfurt Leitungssystem für hydraulisch oder pneumatisch arbeitende Schalt-, Steuer- oder Regeleinrichtungen
US3530568A (en) * 1969-04-24 1970-09-29 United Aircraft Corp Diffusion welding of the nickel-base superalloys
US3631881A (en) * 1969-10-06 1972-01-04 Foxboro Co Pneumatic interconnection board
US3760844A (en) * 1971-07-19 1973-09-25 Westinghouse Air Brake Co Circuit module for fluid distribution
US3765441A (en) * 1972-03-22 1973-10-16 Sun Oil Co Pennsylvania Fluid manifolding arrangement
JPS4942389U (ko) * 1972-07-19 1974-04-13
US4449426A (en) * 1977-08-15 1984-05-22 Younger Gilbert W Laminated separator plate means for recalibrating automatic transmissions
JPS6282471U (ko) * 1985-11-12 1987-05-26
JPH01245979A (ja) * 1988-03-25 1989-10-02 Hitachi Ltd 部材接合方法および部材加工装置
JPH02292005A (ja) * 1989-05-01 1990-12-03 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 金型の製作方法
JP2536200B2 (ja) * 1989-12-11 1996-09-18 三菱マテリアル株式会社 金属焼結材の接合方法と、金属焼結材製プ―リおよびその製造方法
FR2661214B1 (fr) * 1990-04-19 1992-07-03 Snecma Plaque de raccordement electrohydraulique pour regulateur de turbomachine.
JP3171409B2 (ja) * 1992-08-25 2001-05-28 株式会社黒木工業所 冷却孔付き銅製部品の製造方法
JPH0835506A (ja) * 1994-07-26 1996-02-06 Nitsukooshi Prod Kk 流体素子または流体制御器と、その製造方法
US5567868A (en) * 1995-01-23 1996-10-22 Hewlett-Packard Company Planar manifold assembly
JPH09220658A (ja) * 1996-02-15 1997-08-26 Daido Steel Co Ltd マニホールドの製造方法
JP3122386B2 (ja) * 1996-07-16 2001-01-09 シーケーディ株式会社 ガスケット保持具
JP3816194B2 (ja) * 1996-11-22 2006-08-30 ファナック株式会社 冷却装置、光源装置、面発光装置、およびその製造方法
US6729353B2 (en) * 1999-09-01 2004-05-04 Asml Us, Inc. Modular fluid delivery apparatus
US6234191B1 (en) * 1999-10-19 2001-05-22 Bryan J. Clarke Railroad car brake manifold
JP3578398B2 (ja) 2000-06-22 2004-10-20 古河スカイ株式会社 成膜用ガス分散プレート及びその製造方法
JP3626085B2 (ja) * 2000-09-26 2005-03-02 オリジン電気株式会社 プロジェクション同士突き合わせ拡散接合方法及び溶接物品
JP4737891B2 (ja) * 2001-09-04 2011-08-03 三菱重工業株式会社 ロジックプレート
EP1372864B1 (en) * 2001-02-28 2006-10-18 Porter Instrument Company, Inc. Manifolded fluid delivery system
US6612153B2 (en) * 2001-06-05 2003-09-02 Agilent Technologies, Inc. Planar manifold with integrated heated injector inlet and unheated pneumatics
CN100422569C (zh) * 2002-11-26 2008-10-01 斯瓦戈洛克公司 模块化表面安装的流体系统
JP2004300953A (ja) * 2003-03-28 2004-10-28 Sanden Corp 圧縮機用ピストンの製造方法
EP1716624B1 (de) * 2004-02-20 2009-01-28 Electrovac AG Verfahren zum herstellen von plattenstapeln, insbesondere von aus plattenstapeln bestehenden kühlern oder kühlerelementen
JP2006010030A (ja) * 2004-06-29 2006-01-12 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 屈曲型通路内蔵台座
JP2006181627A (ja) * 2004-12-28 2006-07-13 Origin Electric Co Ltd 鉄系材料とアルミニウム系材料との拡散接合方法

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