KR20080061282A - 기판처리장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (14)
- 기판을 제1축과 수직인 상태로 파지하는 제1파지기구와,기판을 상기 제1축과 수직인 상태로 파지하는 제2파지기구와,상기 제1 및 제2파지기구를 상기 제1축의 방향으로 겹쳐지도록 지지하는 지지부재(支持部材)와,상기 지지부재를 상기 제1 및 제2파지기구와 함께 상기 제1축과 대략 수직인 제2축의 주위로 일체적으로 회전시키는 회전장치를 갖추는, 반전장치(反轉裝置).
- 제1항에 있어서,상기 제1 및 제2파지기구는, 상기 제1축에 수직인 일면(一面) 및 다른 면을 가지는 공통의 반전파지부재를 포함하고,상기 제1파지기구는,상기 공통의 반전파지부재의 상기 일면에 설치되어 기판의 바깥둘레부를 지지하는 복수의 제1지지부와,상기 공통의 반전파지부재의 상기 일면에 대향하도록 설치된 제1반전파지부재와,상기 공통의 반전파지부재에 대향하는 상기 제1반전파지부재의 면에 설치되어 기판의 바깥둘레부를 지지하는 복수의 제2지지부와,상기 제1반전파지부재와 상기 공통의 반전파지부재가 상기 제1축의 방향에 있어서 서로 이간한 상태와 상기 제1반전파지부재와 상기 공통의 반전파지부재가 서로 근접한 상태로 선택적으로 이행하도록 상기 제1반전파지부재 및 상기 공통의 반전파지부재의 적어도 한쪽을 이동시키는 제1구동기구를 포함하고,상기 제2파지기구는,상기 공통의 반전파지부재의 상기 다른 면에 설치되어, 기판의 바깥둘레부를 지지하는 복수의 제3지지부와,상기 공통의 반전파지부재의 상기 다른 면에 대향하도록 설치된 제2의 반전파지부재와,상기 공통의 반전파지부재에 대향하는 상기 제2반전파지부재의 면에 설치되어 기판의 바깥둘레부를 지지하는 복수의 제4지지부와,상기 제2반전파지부재와 상기 공통의 반전파지부재가 상기 제1축의 방향에 있어서 서로 이간한 상태와 상기 제2반전파지부재와 상기 공통의 반전파지부재가 서로 근접한 상태로 선택적으로 이행하도록 상기 제2반전파지부재 및 상기 공통의 반전파지부재의 적어도 한쪽을 이동시키는 제2구동기구를 포함한, 반전장치.
- 제2항에 있어서,상기 제1 및 제2파지기구는, 반송장치의 제1 및 제2반송파지부에 의해 반입되는 기판을 각각 파지하고,상기 제1파지기구에 의한 기판의 파지위치와 상기 제2파지기구에 의한 기판의 파지위치와의 사이의 거리가 상기 반송장치의 상기 제1반송파지부에 의한 기판 의 파지위치와 상기 제2반송파지부에 의한 기판의 파지위치와의 사이의 거리와 대략 동일한, 반전장치.
- 제3항에 있어서,상기 공통의 반전파지부재, 상기 제1반전파지부재 및 상기 제2반전파지부재는, 상기 반송장치의 상기 제1 및 제2반송파지부가 상기 제1축의 방향으로 통과할 수 있는 노치영역을 가지는, 반전장치.
- 표면 및 이면을 가지는 기판에 처리를 실시하는 기판처리장치로서,기판의 상기 표면과 상기 이면을 반전시키는 반전장치와,제1 및 제2반송파지부를 가지며, 상기 반전장치에 대해서 기판을 반입 및 반출하는 반송장치를 갖추며,상기 반전장치는,기판을 제1축과 수직인 상태로 파지하는 제1파지기구와,기판을 상기 제1축과 수직인 상태로 파지하는 제2파지기구와,상기 제1 및 제2파지기구를 상기 제1축의 방향과 겹쳐지도록 지지하는 지지부재와,상기 지지부재를 상기 제1 및 제2파지기구와 함께 상기 제1축과 대략 수직인 제2축의 주위에서 일체적으로 회전시키는 회전장치를 갖추는, 기판처리장치.
- 제5항에 있어서,상기 제1파지기구에 의한 기판의 파지위치와 상기 제2파지기구에 의한 기판의 파지위치와의 사이의 거리가 상기 반송장치의 상기 제1반송파지부에 의한 기판의 파지위치와 상기 제2반송파지부에 의한 기판의 파지위치와의 사이의 거리에 대략 동일한, 기판처리장치.
- 제5항에 있어서,상기 제1 및 제2파지기구는, 상기 제1축에 수직인 일면 및 다른 면 을 가지는 공통의 반전파지부재를 포함하고,상기 제1파지기구는,상기 공통의 반전파지부재의 상기 일면에 설치되어 기판의 바깥둘레부를 지지하는 복수의 제1지지부와,상기 공통의 반전파지부재의 상기 일면에 대향하도록 설치된 제1의 반전파 지부재와,상기 공통의 반전파지부재에 대향하는 상기 제1반전파지부재의 면에 설치되어 기판의 바깥둘레부를 지지하는 복수의 제2지지부와,상기 제1반전파지부재와 상기 공통의 반전파지부재가 상기 제1축의 방향에 있어서 서로 이간한 상태와 상기 제1반전파지부재와 상기 공통의 반전파지부재가 서로 근접한 상태로 선택적으로 이행하도록 상기 제1반전파지부재 및 상기 공통의 반전파지부재의 적어도 한쪽을 이동시키는 제1구동기구를 포함하고,상기 제2파지기구는,상기 공통의 반전파지부재의 상기 다른 면에 설치되어 기판의 바깥둘레부를 지지하는 복수의 제3지지부와,상기 공통의 반전파지부재의 상기 다른 면에 대향하도록 설치된 제2반전파지부재와,상기 공통의 반전파지부재에 대향하는 상기 제2반전파지부재의 면에 설치되어, 기판의 바깥둘레부를 지지하는 복수의 제4지지부와,상기 제2반전파지부재와 상기 공통의 반전파지부재가 상기 제1축의 방향에 있어서 서로 이간한 상태와 상기 제2반전파지부재와 상기 공통의 반전파지부재가 서로 근접한 상태로 선택적으로 이행하도록 상기 제2반전파지부재 및 상기 공통의 반전파지부재의 적어도 한쪽을 이동시키는 제2구동기구를 포함한, 기판처리장치.
- 제7항에 있어서,상기 공통의 반전파지부재, 상기 제1반전파지부재 및 상기 제2반전파지부재는, 상기 반송장치의 상기 제1 및 제2반송파지부가 상기 제1축의 방향으로 통과할 수 있는 노치영역을 가지는, 기판처리장치.
- 제8항에 있어서,상기 반송장치는, 상기 제1 및 제2반송파지부를 진퇴시키는 진퇴기구(進退機構)를 포함하고,상기 제1 및 제2반송파지부의 각각은, 진퇴방향으로 뻗는 복수의 파지부분을 가지며,상기 공통의 반전파지부재, 상기 제1반전파지부재 및 상기 제2반전파지부재의 노치영역은, 상기 제1 및 제2반송파지부의 상기 복수의 파지부분이 통과할 수 있는 복수의 노치부분을 포함한, 기판처리장치.
- 제7항에 있어서,상기 복수의 제1지지부의 선단과 상기 복수의 제4지지부의 선단과의 사이의 거리 및 상기 복수의 제2지지부의 선단과 상기 복수의 제3지지부의 선단과의 사이의 거리가 상기 반송장치의 상기 제1반송파지부에 의한 기판의 파지위치와 상기 제2반송파지부에 의한 기판의 파지위치와의 사이의 거리와 대략 동일하게 설정된, 기판처리장치.
- 제7항에 있어서,상기 공통의 반전파지부재는 상기 지지부재에 고정되고,상기 제1구동기구는, 상기 제1반전파지부재와 상기 공통의 반전파지부재가 서로 이간한 상태와 상기 제1반전파지부재와 상기 공통의 반전파지부재가 서로 근접한 상태로 선택적으로 이행하도록 상기 제1반전파지부재를 상기 공통의 반전파지부재에 상대적으로 이동시키고,상기 제2구동기구는, 상기 제2반전파지부재와 상기 공통의 반전파지부재가 서로 이간한 상태와 상기 제2반전파지부재와 상기 공통의 반전파지부재가 서로 근접한 상태로 선택적으로 이행하도록 상기 제2반전파지부재를 상기 공통의 반전파지부재에 상대적으로 이동시키는, 기판처리장치.
- 제7항에 있어서,상기 공통의 반전파지부재는, 상기 제1반전파지부재에 대향하도록 설치된 제3반전파지부재와,상기 제2반전파지부재에 대향하도록 설치된 제4반전파지부재를 포함하고,상기 복수의 제1지지부는, 상기 제1반전파지부재에 대향하는 상기 제 3반전파지부재의 면에 설치되고,상기 복수의 제3지지부는, 상기 제2반전파지부재에 대향하는 상기 제4반전파지부재의 면에 설치되며,상기 제1구동기구는, 상기 제1반전파지부재와 상기 제 3반전파지부재가 서로 이간한 상태와 상기 제1반전파지부재와 상기 제 3반전파지부재가 서로 근접한 상태로 선택적으로 이행하도록 상기 제1반전파지부재 및 상기 제 3반전파지부재의 적어도 한쪽을 이동시키고,상기 제2구동기구는, 상기 제2반전파지부재와 상기 제4반전파지부재가 서로 이간한 상태와 상기 제2반전파지부재와 상기 제4반전파지부재가 서로 근접한 상태로 선택적으로 이행하도록 상기 제2반전파지부재 및 상기 제4반전파지부재의 적어도 한쪽을 이동시키는, 기판처리장치.
- 제5항에 있어서,기판의 이면을 세정하는 제1세정처리부를 더 갖추고,상기 반송장치는, 상기 반전장치와 상기 제1세정처리부와의 사이에서 기판을 반송하는, 기판처리장치.
- 제13항에 있어서,기판의 표면을 세정하는 제2세정처리부를 더 갖추고,상기 반송장치는, 상기 반전장치, 상기 제1세정처리부 및 상기 제2세정처리부의 사이에서 기판을 반송하는, 기판처리장치.
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