KR20080038019A - Apparatus for and method of manufacturing photosensitive laminated body - Google Patents

Apparatus for and method of manufacturing photosensitive laminated body Download PDF

Info

Publication number
KR20080038019A
KR20080038019A KR1020070106537A KR20070106537A KR20080038019A KR 20080038019 A KR20080038019 A KR 20080038019A KR 1020070106537 A KR1020070106537 A KR 1020070106537A KR 20070106537 A KR20070106537 A KR 20070106537A KR 20080038019 A KR20080038019 A KR 20080038019A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
photosensitive
substrate
distance
manufacturing
protective film
Prior art date
Application number
KR1020070106537A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
마사유키 나카기리
마코토 시미즈
야스히사 와타나베
카즈요시 수에하라
Original Assignee
후지필름 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 후지필름 가부시키가이샤 filed Critical 후지필름 가부시키가이샤
Publication of KR20080038019A publication Critical patent/KR20080038019A/en

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B37/00Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
    • B32B37/14Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the properties of the layers
    • B32B37/16Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the properties of the layers with all layers existing as coherent layers before laminating
    • B32B37/20Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the properties of the layers with all layers existing as coherent layers before laminating involving the assembly of continuous webs only
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B37/00Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
    • B32B37/0046Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by constructional aspects of the apparatus
    • B32B37/0053Constructional details of laminating machines comprising rollers; Constructional features of the rollers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B41/00Arrangements for controlling or monitoring lamination processes; Safety arrangements
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B38/00Ancillary operations in connection with laminating processes
    • B32B38/18Handling of layers or the laminate
    • B32B2038/1891Using a robot for handling the layers

Landscapes

  • Materials For Photolithography (AREA)
  • Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Abstract

A photosensitive laminate manufacturing apparatus and a method are provided to detect the attachment state of a photosensitive material layer for a substrate at high precision easily by detecting the end of the substrate and a processed part of a long photosensitive web attached on the substrate. In a photosensitive laminate manufacturing apparatus(20), long photosensitive webs(22a,22b) formed by laminating a photosensitive material layer and a protection film(30) on a support body in order are delivered. A processed part corresponding to a boundary between the peeled part and the left part is formed on the protection film. The peeled part of the protection film is separated and continuously delivered to a gap of a pair of heated press rollers together with substrates(24) supplied at regular intervals. The left part of the protection film is disposed between the substrates. And then, the exposed photosensitive material layer is attached to the substrate. The photosensitive laminate manufacturing apparatus comprises a detection unit installed at the lower side of the press roller to detect the end of the substrate and the processed part of the long photosensitive web attached on the substrate and a distance calculating unit computing distance between the end of the substrate and the processed part.

Description

감광성 적층체의 제조장치 및 제조방법{APPARATUS FOR AND METHOD OF MANUFACTURING PHOTOSENSITIVE LAMINATED BODY}Apparatus and method for manufacturing photosensitive laminate {APPARATUS FOR AND METHOD OF MANUFACTURING PHOTOSENSITIVE LAMINATED BODY}

본 발명은 기판과, 지지체 상에 감광재료층이 형성된 긴형상 감광성 웹(web)을 한쌍의 압착 롤러 사이에 송출하고, 상기 감광재료층을 상기 기판에 부착함으로써 감광성 적층체를 제조하는 감광성 적층체의 제조장치 및 제조방법에 관한 것이다.The present invention provides a photosensitive laminate which sends a substrate and an elongated photosensitive web having a photosensitive material layer formed on a support between a pair of pressing rollers, and attaches the photosensitive material layer to the substrate to produce a photosensitive laminate. It relates to a manufacturing apparatus and a manufacturing method.

예를 들면 액정 패널용 기판, 프린트 배선용 기판, PDP 패널용 기판에서는 감광성 수지층(감광재료층)을 갖는 감광성 시트체(감광성 웹)를 기판표면에 부착해서 구성되어 있다. 감광성 시트체는 가요성 플라스틱 지지체 상에 감광성 수지층과 보호필름이 순서대로 적층되어 있다.For example, in a liquid crystal panel substrate, a printed wiring board, and a PDP panel substrate, a photosensitive sheet member (photosensitive web) having a photosensitive resin layer (photosensitive material layer) is attached to the substrate surface. As for the photosensitive sheet body, the photosensitive resin layer and the protective film are laminated | stacked in order on the flexible plastic support body.

이러한 종류의 감광성 시트체의 부착에 사용되는 제조장치는 통상 유리기판이나 수지기판 등의 기판을 소정의 간격씩 이간시켜서 반송함과 아울러, 상기 기판에 부착되는 감광성 수지층의 범위에 대응해서 상기 감광성 시트체로부터 보호필름을 박리하는 방식이 채용되어 있다.The manufacturing apparatus used for the attachment of this kind of photosensitive sheet body usually conveys substrates such as glass substrates and resin substrates at predetermined intervals, and at the same time, corresponding to the range of the photosensitive resin layer attached to the substrates. The method of peeling a protective film from a sheet | seat body is employ | adopted.

예를 들면 일본 특허공개 평11-34280호 공보에 개시되어 있는 제조장치에서 는 도 9에 나타내듯이 필름 롤(1)로부터 풀려지는 적층체 필름(감광성 시트체)(1a)은 가이드 롤러(2a, 2b)에 감겨져서 수평의 필름 반송면을 따라 연장되어 있다. 이 가이드 롤러(2b)에는 적층체 필름(1a)의 이송량에 따른 수의 펄스 신호를 출력하는 로터리 인코더(3)가 부착되어 있다.For example, in the manufacturing apparatus disclosed in Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 11-34280, the laminated film (photosensitive sheet member) 1a released from the film roll 1, as shown in Fig. 9, is a guide roller 2a, It is wound around 2b) and extended along the horizontal film conveyance surface. The rotary roller 3 which outputs the pulse signal of the number according to the conveyance amount of the laminated body film 1a is attached to this guide roller 2b.

수평의 필름 반송면을 따라 연장되는 적층체 필름(1a)은 석션 롤러(4)에 감겨짐과 아울러, 상기 가이드 롤러(2b)와 상기 석션 롤러(4) 사이에는 하프 커터(5)와 커버 필름 박리장치(6)가 설치되어 있다.The laminated film 1a extending along the horizontal film conveying surface is wound on the suction roller 4, and between the guide roller 2b and the suction roller 4, the half cutter 5 and the cover film. The peeling apparatus 6 is provided.

하프 커터(5)는 적층체 필름(1a)의 반송방향으로 소정 간격 이간되는 한쌍의 디스크 커터(5a, 5b)를 구비하고 있다. 디스크 커터(5a, 5b)는 적층체 필름(1a)의 필름 폭방향을 따라 이동함으로써 상기 적층체 필름(1a)의 커버 필름(도시 생략)에 있어서의 박리부분과 잔존부분의 2개소의 경계부분을 그 이면측의 감광성 수지층(도시 생략)과 일체로 절단한다.The half cutter 5 is provided with a pair of disk cutters 5a and 5b spaced apart by a predetermined interval in the conveyance direction of the laminate film 1a. The disk cutters 5a and 5b move along the film width direction of the laminate film 1a so that two boundary portions of the peeling portion and the remaining portion of the cover film (not shown) of the laminate film 1a are moved. Is cut | disconnected integrally with the photosensitive resin layer (not shown) of the back surface side.

커버 필름 박리장치(6)는 점착 테이프롤(7)로부터 풀려지는 점착 테이프(7a)를 압압 롤러(8a, 8b)사이에서 커버 필름의 박리부분에 강하게 압착시킨 후, 권취롤(9)에 의해 권취한다. 이것에 의해, 커버 필름의 박리부분은 감광성 수지층으로부터 박리되어서 부착 테이프(7a)와 함께 권취롤(9)에 권취된다.The cover film peeling apparatus 6 strongly presses the adhesive tape 7a released from the adhesive tape roll 7 to the peeling part of the cover film between the pressing rollers 8a, 8b, and then, by the winding roll 9, Wind up. Thereby, the peeling part of a cover film peels from the photosensitive resin layer and is wound up to the winding roll 9 with the adhesive tape 7a.

석션 롤러(4)의 하류에는 기판 반송장치(10)에 의해 소정의 간격으로 반송되는 복수의 기판(11)의 상면에 커버 필름이 박리된 적층체 필름(1a)의 박리부분을 겹쳐서 압착하는 한쌍의 라미네이션 롤러(12a, 12b)가 설치되어 있다. 이 라미네이션 롤러(12a, 12b)의 하류측에는 지지 필름 권취롤(13)이 배치되어 있다. 기판(11) 에 부착되어 있는 투광성 지지필름(도시 생략)은 기판(11)에 감광성 수지층을 잔존시킨 상태에서 커버 필름의 잔존부분과 함께 지지 필름 권취롤(13)에 권취된다.Downstream of the suction roller 4, the pair which presses the peeling part of the laminated | multilayer film 1a which the cover film peeled on the upper surface of the several board | substrate 11 conveyed by the board | substrate conveyance apparatus 10 at predetermined intervals is crimped | bonded. Lamination rollers 12a and 12b are provided. The support film winding roll 13 is arrange | positioned downstream of these lamination rollers 12a and 12b. The translucent support film (not shown) attached to the board | substrate 11 is wound up by the support film winding roll 13 with the remaining part of a cover film in the state which remained the photosensitive resin layer on the board | substrate 11.

그런데, 커버 필름이 박리된 적층체 필름(1a)의 박리부분을 기판(11)의 원하는 범위에 정확하게 부착하기 위해서는 커버 필름의 박리부분과 잔존부분의 경계부분을 기준으로 해서 적층체 필름(1a)을 라미네이션 롤러(12a, 12b) 사이에 고정밀도로 송출할 필요가 있다.By the way, in order to adhere | attach the peeling part of the laminated | multilayer film 1a from which the cover film was peeled off to the desired range of the board | substrate 11, the laminated film 1a based on the boundary part of the peeling part and remaining part of a cover film as a reference | standard. Needs to be sent out between the lamination rollers 12a and 12b with high accuracy.

그러나, 적층체 필름(1a)은 가요성의 지지 필름 상에 감광성 수지층을 형성한 것이며, 텐션을 부여한 상태로 반송되므로, 반송중에 발생된 신장의 영향에 의해 상기 경계부분의 위치가 어긋나 버릴 우려가 있다. 또한 라미네이션 롤러(12a, 12b)는 적층체 필름(1a)과 기판(11)을 가열한 상태에서 붙이기 때문에 특히 라미네이션 롤러(12a, 12b)의 근방에서의 적층체 필름(1a)의 신장이 커져 버린다. However, since the laminated body film 1a formed the photosensitive resin layer on the flexible support film, and conveys it in the state which provided the tension, there exists a possibility that the position of the said boundary part may shift by the influence of the elongation generate | occur | produced during conveyance. have. In addition, since the lamination rollers 12a and 12b are attached while the laminate film 1a and the substrate 11 are heated, the elongation of the laminate film 1a in the vicinity of the lamination rollers 12a and 12b becomes large. .

이 경우, 라미네이션 롤러(12a, 12b) 사이에 있어서, 상기 적층체 필름(1a)의 상기 경계부분의 위치를 검출할 수 있으면, 그 위치를 조정해서 고정밀도의 부착처리를 행하는 것이 가능하다. 그러나, 적층체 필름(1a) 및 기판(11)을 라미네이션 롤러(12a, 12b)로 끼운 채 경계부분의 위치를 검출하는 것은 라미네이션 롤러(12a, 12b)가 검출을 저해하기 때문에 현실적으로는 불가능하다.In this case, if the position of the said boundary part of the said laminated | multilayer film 1a can be detected between lamination rollers 12a and 12b, it is possible to adjust the position and to perform a high precision adhesion process. However, detecting the position of the boundary portion while sandwiching the laminate film 1a and the substrate 11 with the lamination rollers 12a and 12b is practically impossible because the lamination rollers 12a and 12b inhibit the detection.

그 때문에 제조된 감광성 적층체를 샘플링해서 검사하여, 부착위치 정밀도가 저하된 경우, 적층체 필름(1a)의 이송량을 조정하는 등의 처리를 행하게 되어, 제조 효율이 저하됨과 아울러 허용범위로부터 벗어난 감광성 적층체가 제조됨으로써 수율이 저하되는 문제가 지적되고 있다.Therefore, when the manufactured photosensitive laminated body is sampled and inspected, and the attachment position precision falls, processing, such as adjusting the conveyance amount of the laminated body film 1a, is performed, manufacturing efficiency falls, and the photosensitivity which deviated from the tolerance range The problem that a yield falls by manufacturing a laminated body is pointed out.

본 발명은 기판에 대한 감광재료층의 부착상태를 용이하고 또한 고정밀도로 검출하고, 또한 감광재료층의 부착위치를 조정해서 고품질의 감광성 적층체를 효율적으로 제조할 수 있는 감광성 적층체의 제조장치 및 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention provides an apparatus for producing a photosensitive laminate which can easily and accurately detect the state of attachment of the photosensitive material layer to the substrate and can adjust the attachment position of the photosensitive material layer to efficiently produce a high quality photosensitive laminate. It is an object to provide a manufacturing method.

본 발명은 지지체 상에 감광재료층과 보호필름이 순서대로 적층되어서 이루어지는 긴형상 감광성 웹을 송출하고, 상기 보호필름에 박리부분과 잔존부분의 경계위치에 대응하는 가공부위를 형성하고, 상기 보호필름의 상기 박리부분을 박리해서 소정의 간격으로 공급되는 기판과 함께 가열된 한쌍의 압착 롤러 사이에 연속적으로 송출하고, 상기 기판 사이에 상기 보호필름의 상기 잔존부분을 배치함과 아울러 노출된 상기 감광재료층을 상기 기판에 부착함으로써 감광성 적층체를 제조하는 제조장치에 있어서, 상기 압착 롤러의 하류측에 설치되고, 상기 기판의 단부와 상기 기판에 부착된 상기 긴형상 감광성 웹의 상기 가공부위를 검출하는 검출부와, 상기 단부 및 상기 가공부위 사이의 거리를 산출하는 거리 산출부를 구비하는 것을 특징으로 한다.The present invention sends out a long photosensitive web formed by laminating a photosensitive material layer and a protective film in order on a support, and forms a processing part corresponding to a boundary position of a peeling part and a remaining part in the protective film, and the protective film. The photosensitive material exposed while peeling the peeled portions of the film and continuously feeding the pair of pressing rollers heated together with the substrates supplied at predetermined intervals, and disposing the remaining portions of the protective film between the substrates. A manufacturing apparatus for producing a photosensitive laminate by attaching a layer to the substrate, wherein the downstream side of the pressing roller is provided to detect an end portion of the substrate and the processed portion of the elongate photosensitive web attached to the substrate. And a distance calculating part for calculating a distance between the end portion and the processing part.

또한 본 발명은 지지체 상에 감광재료층과 보호필름이 순서대로 적층되어 이루어지는 긴형상 감광성 웹을 송출하고, 상기 보호필름에 박리부분과 잔존부분의 경계위치에 대응하는 가공부위를 형성하고, 상기 보호필름의 상기 박리부분을 박리해서 소정의 간격으로 공급되는 기판과 함께 가열된 한쌍의 압착 롤러 사이에 연속적으로 송출하고, 상기 기판 사이에 상기 보호필름의 상기 잔존부분을 배치함과 아 울러 노출된 상기 감광재료층을 상기 기판에 부착함으로써 감광성 적층체를 제조하는 제조방법에 있어서, 상기 기판의 단부와 상기 기판에 부착된 상기 긴형상 감광성 웹의 상기 가공부위를 검출하는 스텝과, 상기 단부 및 상기 가공부위 사이의 거리를 산출하는 스텝으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.In another aspect, the present invention is to send a long photosensitive web formed by sequentially stacking the photosensitive material layer and the protective film on the support, to form a processing portion corresponding to the boundary position of the peeling portion and the remaining portion in the protective film, the protective The peeled portions of the film are peeled off and continuously sent between the heated pair of pressing rollers together with the substrates supplied at predetermined intervals, and the exposed portions of the protective film are disposed between the substrates. A manufacturing method of manufacturing a photosensitive laminate by attaching a photosensitive material layer to the substrate, the method comprising: detecting an end portion of the substrate and the processed portion of the elongate photosensitive web attached to the substrate; It is characterized by consisting of steps for calculating the distance between the parts.

본 발명에서는 기판의 단부와 그것에 부착된 긴형상 감광성 웹의 가공부위를 검출함으로써 기판에 대한 감광재료층의 부착상태를 용이하고 또한 고정밀도로 검출할 수 있다. 또한 검출된 부착상태에 기초해서 기판에 대한 감광재료층의 부착위치를 조정함으로써 고품질의 감광성 적층체를 효율적으로 제조할 수 있다.In the present invention, by detecting the end portion of the substrate and the processing portion of the elongate photosensitive web attached thereto, the attachment state of the photosensitive material layer to the substrate can be easily and accurately detected. Further, by adjusting the attachment position of the photosensitive material layer to the substrate based on the detected adhesion state, a high quality photosensitive laminate can be efficiently produced.

첨부한 도면과 협동하는 다음의 바람직한 실시형태예의 설명으로부터 상기의 목적, 특징 및 이점이 보다 명백해질 것이다.The above objects, features, and advantages will become more apparent from the following description of the preferred embodiments in cooperation with the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 감광성 적층체의 제조장치(20)의 개략 구성도이며, 이 제조장치(20)는 액정 또는 유기 EL용 컬러필터 등의 제작공정에서 긴형상 감광성 웹(22a, 22b)의 각 감광성 수지층(28)(후술함)을 병렬해서 유리기판(24)에 열전사하는 작업을 행한다. 감광성 웹(22a, 22b)은 각각 소정의 폭치수로 설정되어 있으며, 예를 들면 상기 감광성 웹(22a)이 상기 감광성 웹(22b)보다 폭넓게 구성되어 있다. 1 is a schematic configuration diagram of an apparatus 20 for manufacturing a photosensitive laminate according to a first embodiment of the present invention, wherein the apparatus 20 is an elongated photosensitive web in a manufacturing process such as a color filter for liquid crystal or organic EL. Each photosensitive resin layer 28 (to be described later) in (22a, 22b) is thermally transferred to the glass substrate 24 in parallel. Each of the photosensitive webs 22a and 22b is set to a predetermined width dimension. For example, the photosensitive web 22a is wider than the photosensitive web 22b.

도 2는 제조장치(20)에 사용되는 감광성 웹(22a, 22b)의 단면도이다. 이 감광성 웹(22a, 22b)은 가요성 베이스 필름(지지체)(26)과, 감광성 수지층(감광재료층)(28)과, 보호필름(30)을 적층해서 구성된다.2 is a cross-sectional view of the photosensitive webs 22a and 22b used in the manufacturing apparatus 20. These photosensitive webs 22a and 22b are formed by stacking a flexible base film (support) 26, a photosensitive resin layer (photosensitive material layer) 28, and a protective film 30.

도 1에 나타내듯이, 제조장치(20)는 감광성 웹(22a, 22b)을 롤러형상으로 권취한 2개(2개이상이면 좋음)의 감광성 웹롤(23a, 23b)을 수용하고, 각 감광성 웹롤(23a, 23b)로부터 상기 감광성 웹(22a, 22b)을 동기해서 송출 가능한 제 1 및 제 2 웹 송출기구(32a, 32b)와, 송출된 각 감광성 웹(22a, 22b)의 보호필름(30)에 폭방향으로 절단 가능한 경계위치인 하프컷 부위(가공부위)(34)를 형성하는 제 1 및 제 2 가공기구(36a, 36b)와, 일부에 비접착부(38a)를 갖는 접착 라벨(138)(도 3 참조)을 각 보호필름(30)에 접착시키는 제 1 및 제 2 라벨 접착기구(40a, 40b)를 구비한다. As shown in FIG. 1, the manufacturing apparatus 20 accommodates the two photosensitive web rolls 23a and 23b which wound the photosensitive webs 22a and 22b in roller shape, and each photosensitive web roll ( 23a, 23b to the protective film 30 of the first and second web sending mechanisms 32a, 32b capable of synchronizing the photosensitive webs 22a, 22b and the respective photosensitive webs 22a, 22b. Adhesive labels 138 having first and second processing mechanisms 36a and 36b for forming half cut portions (processing portions) 34 which are boundary positions cut in the width direction, and non-adhesive portions 38a on a portion thereof ( 3 and the first and second label adhesion mechanisms 40a and 40b for adhering each protective film 30 to each protective film 30.

제 1 및 제 2 라벨 접착기구(40a, 40b)의 하류에는 각 감광성 웹(22a, 22b)을 택트 이송으로부터 연속 이송으로 변경하기 위한 제 1 및 제 2 리저버기구(42a, 42b)와, 각 감광성 웹(22a, 22b)으로부터 보호필름(30)을 소정의 길이 간격으로 박리시키는 제 1 및 제 2 박리기구(44a, 44b)와, 유리기판(24)을 소정의 온도로 가열한 상태에서 부착위치로 반송하는 기판 반송기구(45)와, 상기 보호필름(30)의 박리에 의해 노출된 감광성 수지층(28)을 상기 유리기판(24)에 일체적으로 또한 병렬로 부착하는 부착기구(46)가 설치된다.Downstream of the first and second label bonding mechanisms 40a and 40b, the first and second reservoir mechanisms 42a and 42b for changing the respective photosensitive webs 22a and 22b from tact transfer to continuous transfer and each photosensitive Attachment position in the state which heated the glass substrate 24 and the 1st and 2nd peeling mechanism 44a, 44b which peels the protective film 30 from the web 22a, 22b by predetermined length space | interval. The attachment mechanism 46 which integrally and in parallel attaches the board | substrate conveyance mechanism 45 conveyed by this, and the photosensitive resin layer 28 exposed by peeling of the said protective film 30 to the said glass substrate 24 in parallel. Is installed.

부착기구(46)에 있어서의 부착위치의 상류 근방에는 각 감광성 웹(22a, 22b)의 경계위치인 각각의 하프컷 부위(34)를 직접 검출하는 제 1 및 제 2 검출기구(47a, 47b)가 설치된다.Near the upstream of the attachment position in the attachment mechanism 46, the first and second detector mechanisms 47a and 47b for directly detecting the respective half cut portions 34 which are boundary positions of the respective photosensitive webs 22a and 22b. Is installed.

제 1 및 제 2 웹 송출기구(32a, 32b)의 하류 근방에는 대략 사용이 완료된 감광성 웹(22a, 22b)의 후단과, 새롭게 사용되는 감광성 웹(22a, 22b)의 선단을 부 착하는 각각의 부착대(49)가 설치된다. 부착대(49)의 하류에는 감광성 웹롤(23a, 23b)의 권취 어긋남에 의한 폭방향의 어긋남을 제어하기 위해서 필름 단말 위치 검출기(51)가 설치된다. 여기에서, 필름 단말 위치조정은 제 1 및 제 2 웹 송출기구(32a, 32b)를 폭방향으로 이동시켜서 행하지만, 롤러를 조합한 위치 조정기구를 부설해서 행해도 좋다. 또, 제 1 및 제 2 웹 송출기구(32a, 32b)는 감광성 웹롤(23a, 23b)을 장전해서 감광성 웹(22a, 22b)을 풀어내는 풀림축을 2축 또는 3축 등의 다축으로 구성해도 좋다.Downstream of the first and second web delivery mechanisms 32a and 32b, respectively, the rear ends of the photosensitive webs 22a and 22b which have been almost used and the ends of the newly used photosensitive webs 22a and 22b are attached. The mounting table 49 is installed. Downstream of the mounting table 49, a film terminal position detector 51 is provided in order to control the shift in the width direction due to the shift in winding of the photosensitive web rolls 23a and 23b. Here, although film terminal position adjustment is performed by moving the 1st and 2nd web delivery mechanisms 32a and 32b to the width direction, you may provide the position adjustment mechanism which combined the roller. Moreover, the 1st and 2nd web sending mechanism 32a, 32b may comprise the unwinding axis | shaft which loads the photosensitive web rolls 23a, 23b, and unwinds the photosensitive webs 22a, 22b by 2 or 3 axes | shafts. .

제 1 및 제 2 가공기구(36a, 36b)는 제 1 및 제 2 웹 송출기구(32a, 32b)에 수용 권취되어 있는 각 감광성 웹롤(23a, 23b)의 롤 지름을 산출하기 위한 롤러쌍(50)의 하류에 배치된다. 제 1 및 제 2 가공기구(36a, 36b)는 각각 단일의 둥근 칼날(52)을 구비하고, 이 둥근 칼날(52)은 감광성 웹(22a, 22b)의 폭방향으로 주행해서 보호필름(30)의 잔존부분(30b)(도2)을 사이에 둔 소정의 2개소의 위치에 하프컷 부위(34)를 형성한다.The 1st and 2nd processing mechanism 36a, 36b is the roller pair 50 for calculating the roll diameter of each photosensitive web roll 23a, 23b accommodated in the 1st and 2nd web delivery mechanism 32a, 32b. Disposed downstream). Each of the first and second processing mechanisms 36a and 36b has a single round blade 52, which travels in the width direction of the photosensitive webs 22a and 22b to protect the film 30. The half cut portions 34 are formed at two predetermined positions with the remaining portions 30b (FIG. 2) therebetween.

도 2에 나타내듯이, 하프컷 부위(34)는 적어도 보호필름(30)을 절단할 필요가 있고, 실제상, 이 보호필름(30)을 확실하게 절단하기 위해서 감광성 수지층(28) 내지 베이스 필름(26)까지 컷팅되도록 둥근 칼날(52)의 컷팅 깊이가 설정된다. 둥근 칼날(52)은 회전하지 않고 고정된 상태에서, 감광성 웹(22a, 22b)의 폭방향으로 이동해서 하프컷 부위(34)를 형성하는 방식이나, 상기 감광성 웹(22a, 22b) 위를 미끄러지지 않고 회전하면서 상기 폭방향으로 이동해서 상기 하프컷 부위(34)를 형성하는 방식이 채용된다. 이 하프컷 부위(34)는 둥근 칼날(52) 대신에 예를 들면 레이저광이나 초음파를 사용한 컷 방식 외에, 나이프 칼날, 압절 칼날(톰슨 칼날) 등으로 형성하는 방식을 채용해도 좋다.As shown in FIG. 2, the half cut part 34 needs to cut | disconnect at least the protective film 30, In fact, in order to reliably cut | disconnect this protective film 30, the photosensitive resin layer 28-a base film The cutting depth of the round blade 52 is set to be cut up to 26. The round blade 52 is fixed in a state of being rotated without rotation, and moves in the width direction of the photosensitive webs 22a and 22b to form a half cut portion 34, or does not slide on the photosensitive webs 22a and 22b. A method of forming the half cut portion 34 by moving in the width direction while being rotated without using is employed. Instead of the round blade 52, for example, the half cut portion 34 may be formed using a knife blade, a piezoelectric blade (thomson blade), or the like, in addition to a cut method using laser light or ultrasonic waves.

또, 제 1 및 제 2 가공기구(36a, 36b)는 각각 감광성 웹(22a, 22b)의 반송방향(화살표 A방향)으로 잔존부분(30b)의 폭에 대응한 거리(L)만큼 이간해서 2대 설치하고, 보호필름(30)의 잔존부분(30b)(도 2)을 사이에 두고 2개의 하프컷 부위(34)를 동시에 형성해도 좋다.In addition, the first and second processing mechanisms 36a and 36b are separated from each other by the distance L corresponding to the width of the remaining portion 30b in the conveying direction (arrow A direction) of the photosensitive webs 22a and 22b, respectively. The two half cut portions 34 may be formed simultaneously with the remaining portions 30b (FIG. 2) of the protective film 30 interposed therebetween.

하프컷 부위(34)는 예를 들면 양측의 상기 유리기판(24)에 각각 10mm씩 들어간 위치에 설정된다. 유리기판(24) 사이의 하프컷 부위(34)에 의해 끼워진 부분은 후술하는 부착기구(46)에 있어서 감광성 수지층(28)을 상기 유리기판(24)에 테두리형상으로 접착할 때의 마스크로서 기능하는 것이다. The half cut portions 34 are set at positions, for example, each 10 mm into the glass substrates 24 on both sides. The portion sandwiched by the half cut portions 34 between the glass substrates 24 serves as a mask when the photosensitive resin layer 28 is bonded to the glass substrate 24 in an edge shape in the attachment mechanism 46 described later. To function.

제 1 및 제 2 라벨 접착기구(40a, 40b)는 유리기판(24) 사이에 대응해서 보호필름(30)의 잔존부분(30b)을 남기므로 박리측 전방의 박리부분(30aa)과 박리측 후방의 박리부분(30ab)을 연결하는 접착 라벨(38)을 공급한다. 도 2에 나타내듯이, 보호필름(30)은 잔존부분(30b)을 사이에 두고 먼저 박리되는 부분을 전방 박리부분(30aa)으로 하는 한편, 나중에 박리되는 부분을 후방 박리부분(30ab)으로 한다.Since the first and second label adhesive mechanisms 40a and 40b leave the remaining portions 30b of the protective film 30 corresponding to the glass substrates 24, the peeling portions 30aa and the peeling sides rear of the peeling side front. The adhesive label 38 is connected to connect the peeled portion 30ab. As shown in FIG. 2, the protective film 30 makes the part peeled first with the remaining part 30b between the front peeling part 30aa, and the part peeled later becomes the back peeling part 30ab.

도 3에 나타내듯이, 접착 라벨(38)은 가늘고 긴 형상으로 구성되어 있으며, 예를 들면 보호필름(30)과 동일한 수지재로 형성된다. 접착 라벨(38)은 중앙부에 점착제가 도포되지 않은 비접착부(미(微)점착을 포함)(38a)를 가짐과 아울러, 이 비접착부(38a)의 양측, 즉, 상기 접착 라벨(38)의 길이방향 양단부에 전방의 박리부분(30aa)에 접착되는 제 1 접착부(38b)와, 후방의 박리부분(30ab)에 접착되는 제 2 접착부(38c)를 갖는다.As shown in FIG. 3, the adhesive label 38 is comprised in elongate shape, for example, is formed from the same resin material as the protective film 30. As shown in FIG. The adhesive label 38 has a non-adhesive portion (including microadhesion) 38a to which a pressure-sensitive adhesive is not applied, and both sides of the non-adhesive portion 38a, that is, the adhesive label 38 It has a 1st adhesion part 38b adhering to the peeling part 30aa of the front part at the both ends of a longitudinal direction, and the 2nd adhesion part 38c adhering to the peeling part 30ab of the back.

도 1에 나타내듯이, 제 1 및 제 2 라벨 접착기구(40a, 40b)는 각각 최대 7장의 접착 라벨(38)을 소정 간격씩 이간해서 부착 가능한 흡착 패드(54a∼54g)를 구비함과 아울러, 상기 흡착 패드(54a∼54g)에 의한 상기 접착 라벨(38)의 부착위치에는 감광성 웹(22a, 22b)을 하방으로부터 유지하기 위한 받침대(56)가 승강 가능하게 배치된다.As shown in Fig. 1, the first and second label adhesion mechanisms 40a and 40b each include adsorption pads 54a to 54g that can be attached at a distance of up to seven adhesive labels 38 at predetermined intervals. At the attachment position of the adhesive label 38 by the suction pads 54a to 54g, a pedestal 56 for holding the photosensitive webs 22a and 22b from below is provided to be liftable.

제 1 및 제 2 리저버기구(42a, 42b)는 상류측의 감광성 웹(22a, 22b)의 택트 반송과, 하류측의 상기 감광성 웹(22a, 22b)의 연속 반송의 속도차를 흡수하기 위해서, 화살표방향으로 요동가능한 댄서 롤러(60)를 구비한다. 제 2 리저버기구(42b)에는 제 1 및 제 2 웹 송출기구(32a, 32b)로부터 송출되는 각 감광성 웹(22a, 22b)이 부착기구(46)에 이르기까지의 각 반송로 길이를 동일하게 조정하기 위한 댄서 롤러(61)가 설치된다.The first and second reservoir mechanisms 42a and 42b absorb the speed difference between the tact conveyance of the upstream photosensitive webs 22a and 22b and the continuous conveyance of the downstream photosensitive webs 22a and 22b. The dancer roller 60 which can rock in the direction of an arrow is provided. In the 2nd reservoir mechanism 42b, each photosensitive web 22a, 22b sent out from the 1st and 2nd web delivery mechanism 32a, 32b adjusts each conveyance path length to the attachment mechanism 46 equally. The dancer roller 61 for this purpose is provided.

제 1 및 제 2 리저버기구(42a, 42b)의 하류에 배치되는 제 1 및 제 2 박리기구(44a, 44b)는 각각 감광성 웹(22a, 22b)의 송출측의 텐션 변동을 차단하고, 라미네이트시의 텐션을 안정화시키기 위한 석션 드럼(62)을 구비한다. 각 석션 드럼(62)의 근방에는 박리 롤러(63)가 배치됨과 아울러, 이 박리 롤러(63)를 통해 감광성 웹(22a, 22b)으로부터 예각의 박리각으로 박리되는 보호필름(30)은 잔존부분(30b)을 제외하고 각각 보호필름 권취부(64)에 권취된다.The first and second peeling mechanisms 44a and 44b disposed downstream of the first and second reservoir mechanisms 42a and 42b respectively block the tension fluctuations on the outgoing side of the photosensitive webs 22a and 22b, respectively. A suction drum 62 is provided to stabilize the tension of the device. In the vicinity of each suction drum 62, a peeling roller 63 is disposed, and the protective film 30 peeled off at a sharp peeling angle from the photosensitive webs 22a and 22b through the peeling roller 63 remains. Each of the protective film windings 64 is wound except for 30b.

제 1 및 제 2 박리기구(44a, 44b)의 하류측에는 감광성 웹(22a, 22b)에 텐션을 부여할 수 있는 제 1 및 제 2 텐션 제어기구(66a, 66b)가 설치된다. 제 1 및 제 2 텐션 제어기구(66a, 66b)는 각각 실린더(68)를 구비하고, 상기 실린더(68)의 구동 작용하에 각각 텐션 댄서(70)가 요동 변위함으로써 각 텐션 댄서(70)가 슬라이딩 접촉하는 감광성 웹(22a, 22b)의 텐션이 조정 가능하다. 또, 제 1 및 제 2 텐션 제어기구(66a, 66b)는 필요에 따라서 사용되면 되고, 삭제할 수도 있다.On the downstream side of the first and second peeling mechanisms 44a and 44b, first and second tension control mechanisms 66a and 66b are provided which can apply tension to the photosensitive webs 22a and 22b. The first and second tension control mechanisms 66a and 66b have cylinders 68, respectively, and the tension dancers 70 are oscillated and displaced under the driving action of the cylinders 68, respectively, so that each tension dancer 70 slides. The tension of the photosensitive webs 22a and 22b in contact is adjustable. The first and second tension control mechanisms 66a and 66b may be used as necessary, and can be deleted.

제 1 및 제 2 검출기구(47a, 47b)는 감광성 웹(22a, 22b)에 형성된 하프컷 부위(34)를 검출하는 예를 들면 레이저 변위계나 CCD 카메라(72a, 72b)를 갖는다.The first and second detector spheres 47a and 47b have, for example, laser displacement meters and CCD cameras 72a and 72b for detecting the half cut portions 34 formed in the photosensitive webs 22a and 22b.

기판 반송기구(45)는 유리기판(24)을 끼우도록 설치되는 복수 조의 기판 가열부(예를 들면 히터)(74)와, 이 유리기판(24)을 화살표(C) 방향으로 반송하는 반송부(76)를 구비한다. 기판 가열부(74)에서는 유리기판(24)의 온도를 상시 감시하여 이상시에는 반송부(76)의 정지나 경보를 발생함과 아울러, 이상정보를 발신해서 이상한 유리기판(24)을 후공정에서 NG 배출, 품질관리 또는 생산관리 등에 활용할 수 있다. 반송부(76)에는 도면에 나타내지 않은 에어 부상 플레이트가 설치되어 유리기판(24)이 부상되어 화살표(C) 방향으로 반송된다. 유리기판(24)의 반송은 롤러 컨베이어로도 행할 수 있다.The board | substrate conveyance mechanism 45 is a board | substrate heating part (for example, heater) 74 which is installed so that the glass substrate 24 may be fitted, and the conveyance part which conveys this glass substrate 24 to arrow C direction. 76 is provided. The substrate heating unit 74 constantly monitors the temperature of the glass substrate 24, and in the event of abnormality, stops or alarms the conveying unit 76, and transmits abnormality information to transfer the abnormal glass substrate 24 in a later step. It can be used for NG emissions, quality control or production control. The air floating plate not shown in the figure is provided in the conveyance part 76, the glass substrate 24 floats, and is conveyed in the direction of an arrow C. As shown in FIG. The conveyance of the glass substrate 24 can also be performed by a roller conveyor.

유리기판(24)의 온도측정은 기판 가열부(74)내 또는 부착위치 바로 앞에서 행하는 것이 바람직하다. 측정방법으로서는 접촉식(예를 들면 열전대) 외에 비접촉이어도 좋다.The temperature measurement of the glass substrate 24 is preferably performed in the substrate heating portion 74 or just before the attachment position. As a measuring method, in addition to a contact type (for example, a thermocouple), it may be non-contact.

기판 가열부(74)의 상류에는 복수의 유리기판(24)이 수용되는 기판 스토커(71)가 설치된다. 이 기판 스토커(71)에 수용되어 있는 각 유리기판(24)은 로봇(75)의 핸드부(75a)에 설치된 흡착 패드(79)에 흡착되어서 인출되고, 기판 가열 부(74)에 삽입된다.Upstream of the substrate heating unit 74 is provided a substrate stocker 71 in which a plurality of glass substrates 24 are accommodated. Each glass substrate 24 accommodated in the substrate stocker 71 is adsorbed by the adsorption pad 79 provided on the hand portion 75a of the robot 75 and is taken out and inserted into the substrate heating portion 74.

부착기구(46)는 상하에 설치됨과 아울러 소정 온도로 가열되는 고무 롤러(압착 롤러)(80a, 80b)를 구비한다. 고무 롤러(80a, 80b)에는 백업 롤러(82a, 82b)가 슬라이딩 접촉한다. 한쪽의 백업 롤러(82b)는 롤러 클램프부(83)를 구성하는 가압 실린더(84a, 84b)에 의해 고무 롤러(80b)측에 압압된다.The attachment mechanism 46 is provided with the rubber rollers (compression roller) 80a, 80b which are installed up and down and heated to predetermined temperature. The backup rollers 82a and 82b are in sliding contact with the rubber rollers 80a and 80b. One backup roller 82b is pressed against the rubber roller 80b side by the pressurizing cylinders 84a and 84b constituting the roller clamp portion 83.

고무 롤러(80a)의 근방에는 감광성 웹(22a, 22b)이 상기 고무 롤러(80a)에 접촉하는 것을 방지하기 위한 접촉 방지 롤러(86)가 이동 가능하게 설치된다. 부착기구(46)의 상류 근방에는 감광성 웹(22a, 22b)을 미리 소정 온도로 예비 가열하기 위한 예비 가열부(87)가 설치된다. 이 예비 가열부(87)는 예를 들면 적외선 바 히터 등의 가열수단을 구비한다.In the vicinity of the rubber roller 80a, a contact preventing roller 86 for preventing the photosensitive webs 22a and 22b from contacting the rubber roller 80a is provided to be movable. In the upstream vicinity of the attachment mechanism 46, the preheat part 87 for preheating the photosensitive webs 22a and 22b to a predetermined temperature is provided. This preheating part 87 is provided with heating means, such as an infrared bar heater, for example.

유리기판(24)은 부착기구(46)로부터 화살표(C) 방향으로 연장되는 반송로(88)를 통해 반송된다. 이 반송로(88)에는 필름 반송 롤러(90a, 90b) 및 기판 반송 롤러(92)가 설치된다. 고무 롤러(80a, 80b)와 기판 반송 롤러(92)의 간격은 유리기판(24)의 1장분의 길이 이하로 설정되는 것이 바람직하다. 기판 반송 롤러(92)의 하류측 근방에는 반송된 유리기판(24)의 선단부(하류측 단부)를 검지하는 기판선단 검지센서(94)가 설치된다. The glass substrate 24 is conveyed through the conveyance path 88 extended from the attachment mechanism 46 to the arrow C direction. The film conveyance rollers 90a and 90b and the substrate conveyance roller 92 are provided in this conveyance path 88. It is preferable that the space | interval of the rubber rollers 80a and 80b and the board | substrate conveyance roller 92 is set to the length of one sheet or less of the glass substrate 24. FIG. In the vicinity of the downstream side of the substrate conveyance roller 92, a substrate front end detection sensor 94 for detecting the front end (downstream end) of the conveyed glass substrate 24 is provided.

또한 기판선단 검지센서(94)에 근접하는 하류측에는 도 4에 나타내듯이 유리기판(24)의 반송방향 양단부와, 유리기판(24)에 부착된 감광성 수지층(28)에 잔존하는 보호필름(30)의 양단부를 각각 검출하는, 예를 들면 에리어 센서로 이루어지는 3대의 CCD 카메라(96a∼96c)(검출부)가 설치된다. 이들 CCD 카메라(96a∼96c)는 감광성 웹(22a, 22b)의 폭방향으로 소정 간격 이간되어 배치된다. 각 CCD 카메라(96a∼96c)에는 감광성 수지층(28)을 감광하지 않는 파장으로 이루어지는 광을 감광성 웹(22a, 22b)을 통해 CCD 카메라(96a∼96c)에 조사하는 조명광원(98a∼98c)이 대향해서 설치된다.In addition, the protective film 30 remaining on both ends of the conveyance direction of the glass substrate 24 and the photosensitive resin layer 28 attached to the glass substrate 24 is shown downstream on the downstream side of the substrate front detection sensor 94. For example, three CCD cameras 96a to 96c (detection units) made of, for example, an area sensor for detecting both ends of each of the two ends are provided. These CCD cameras 96a to 96c are disposed at predetermined intervals in the width direction of the photosensitive webs 22a and 22b. Illumination light source 98a-98c which irradiates CCD camera 96a-96c through the photosensitive web 22a, 22b to the CCD camera 96a-96c through the photosensitive web 22a, 22b for the light which consists of wavelengths which do not photosensitive photosensitive resin layer 28. It is installed against this.

기판 반송 롤러(92)의 하류에는 냉각기구(123)와 베이스 자동 박리기구(142)가 설치된다. 베이스 자동 박리기구(142)는 소정 간격씩 이간되는 각 유리기판(24)에 부착되어 있는 긴 베이스 필름(26)을 연속해서 박리하는 것이며, 프리 박리부(144)와, 비교적 작은 직경의 박리 롤러(146)와, 권취축(148)과, 자동 부착기(150)를 구비하고 있다. 권취축(148)은 구동시에 토크를 제어해서 베이스 필름(26)에 장력을 부여하는 한편, 예를 들면 박리 롤러(146)에 장력 검출기(도시 생략)를 설치함으로써 장력의 피드백제어를 행하는 것이 바람직하다. 프리 박리부(144)는 유리기판(24) 사이에서 승강 가능한 박리 바(156)를 구비한다.Downstream of the substrate transfer roller 92, a cooling mechanism 123 and a base automatic peeling mechanism 142 are provided. The base automatic peeling mechanism 142 continuously peels the long base film 26 attached to each of the glass substrates 24 spaced at predetermined intervals, and the free peeling portion 144 and the peeling roller having a relatively small diameter. 146, the winding shaft 148, and the automatic attaching machine 150 are provided. It is preferable that the winding shaft 148 controls the torque during driving to impart tension to the base film 26, and performs feedback control of tension by, for example, providing a tension detector (not shown) on the peeling roller 146. Do. The free peeling unit 144 includes a peeling bar 156 that can be lifted and lowered between the glass substrates 24.

베이스 자동 박리기구(142)의 하류에는 유리기판(24)에 실제로 부착된 감광성 수지층(28)의 에리어 위치를 측정하는 측정기(158)가 설치된다. 이 측정기(158)는 예를 들면 감광성 수지층(28)이 부착된 유리기판(24)을 촬영하는 CCD 등의 카메라(160)를 구비한다.Downstream of the base automatic peeling mechanism 142, a measuring device 158 for measuring the area position of the photosensitive resin layer 28 actually attached to the glass substrate 24 is provided. The measuring device 158 includes, for example, a camera 160 such as a CCD for photographing the glass substrate 24 with the photosensitive resin layer 28 attached thereto.

또한 베이스 자동 박리기구(142)의 하류에는 측정기(158)에 의해 감광성 수지층(28)에 에리어 위치가 측정된 복수의 감광성 적층체(106)가 수용되는 감광성 적층체 스토커(132)가 설치된다. 베이스 자동 박리기구(142)에 의해 베이스 필름(26) 및 잔존부분(30b)이 박리된 감광성 적층체(106)는 로봇(134)의 핸드 부(134a)에 형성된 흡착 패드(136)에 흡착되어 인출되고, 감광성 적층체 스토커(133)에 수용된다.Downstream of the base automatic peeling mechanism 142, a photosensitive laminate stocker 132 is provided in which a plurality of photosensitive laminates 106 whose area positions are measured are provided in the photosensitive resin layer 28 by the measuring device 158. . The photosensitive laminated body 106 in which the base film 26 and the remaining part 30b were peeled off by the base automatic peeling mechanism 142 is adsorbed by the adsorption pad 136 formed in the hand part 134a of the robot 134. It is taken out and accommodated in the photosensitive laminated body stocker 133.

또, 이상과 같이 구성되는 제조장치(20)에서는 제 1 및 제 2 웹 송출기구(32a, 32b), 제 1 및 제 2 가공기구(36a, 36b), 제 1 및 제 2 라벨 접착기구(40a, 40b), 제 1 및 제 2 리저버기구(42a, 42b), 제 1 및 제 2 박리기구(44a, 44b), 제 1 및 제 2 텐션 제어기구(66a, 66b) 그리고 제 1 및 제 2 검출기구(47a, 47b)가 부착기구(46)의 상방에 배치되어 있지만, 이것과는 반대로 상기 제 1 및 제 2 웹 송출기구(32a, 32b)로부터 상기 제 1 및 제 2 검출기구(47a, 47b)까지를 상기 부착기구(46)의 하방에 배치하고, 감광성 웹(22a, 22b)의 상하가 반대로 되어 감광성 수지층(28)이 유리기판(24)의 하측에 부착되어도 좋고, 또한 상기 제조장치(20) 전체를 직선형상으로 구성해도 좋다.Moreover, in the manufacturing apparatus 20 comprised as mentioned above, the 1st and 2nd web sending mechanisms 32a and 32b, the 1st and 2nd processing mechanisms 36a and 36b, and the 1st and 2nd label adhesion mechanisms 40a 40b), first and second reservoir mechanisms 42a and 42b, first and second peeling mechanisms 44a and 44b, first and second tension control mechanisms 66a and 66b, and first and second detection Although the mechanisms 47a and 47b are disposed above the attachment mechanism 46, the mechanisms 47a and 47b are opposite to the first and second detector ports 47a and 47b from the first and second web delivery mechanisms 32a and 32b. ) Is disposed below the attachment mechanism 46, and the upper and lower sides of the photosensitive webs 22a and 22b are reversed so that the photosensitive resin layer 28 may be attached to the lower side of the glass substrate 24. (20) You may comprise the whole linear form.

도 1에 나타내듯이, 제조장치(20)는 라미네이트 공정 제어부(100)에 의해 전체가 제어되어 있고, 이 제조장치(20)의 각 기능부 마다 예를 들면 라미네이트 제어부(102), 기판가열 제어부(104) 및 하프컷 제어부(108) 등이 설치되고, 이들이 공정내 네트워크에 의해 서로 접속되어 있다. 또한, 라미네이트 공정 제어부(100)는 공장 네트워크에 접속되어 있으며, 도시하지 않은 공장 CPU로부터의 지시 정보(조건설정이나 생산정보)의 생산관리나 가동관리 등 생산을 위한 정보처리를 행한다.As shown in FIG. 1, the manufacturing apparatus 20 is entirely controlled by the lamination process control part 100, For example, the laminated control part 102 and the board | substrate heating control part for each functional part of this manufacturing apparatus 20. 104, a half cut control unit 108, and the like are provided, and they are connected to each other by an in-process network. Moreover, the lamination process control part 100 is connected to a factory network, and performs the information processing for production, such as production management and operation management of instruction | indication information (condition setting and production information) from the factory CPU which are not shown in figure.

기판가열 제어부(104)는 상류공정으로부터 유리기판(24)을 수용하고, 이 유리기판(24)을 원하는 온도까지 가열해서 부착기구(46)에 공급하는 동작 및 상기 유 리기판(24)의 정보의 핸들링 등을 제어한다. The substrate heating control unit 104 receives the glass substrate 24 from the upstream process, heats the glass substrate 24 to a desired temperature, and supplies the glass substrate 24 to the attachment mechanism 46 and information of the glass substrate 24. Control the handling and so on.

라미네이트 제어부(102)는 공정전체의 마스터로서 각 기능부의 제어를 행하는 것이며, 제 1 및 제 2 검출기구(47a, 47b)에 의해 검출된 감광성 웹(22a, 22b)의 하프컷 부위(34)의 위치정보에 기초해서 부착위치에 있어서의 각 경계위치와 유리기판(24)의 상대위치 및 각 경계위치 끼리의 상대위치를 제어 가능한 제어기구를 구성하고 있다.The laminate control unit 102 controls each functional unit as a master of the whole process, and the half cut portion 34 of the photosensitive webs 22a and 22b detected by the first and second detector ports 47a and 47b. Based on the positional information, a control mechanism capable of controlling each boundary position at the attachment position, the relative position of the glass substrate 24, and the relative position of each boundary position is constituted.

하프컷 제어부(108)는 제 1 및 제 2 가공기구(36a, 36b)를 제어하고, 감광성 웹(22a, 22b)의 소정 위치에 하프컷 부위(34)를 형성한다.The half cut control part 108 controls the 1st and 2nd processing mechanisms 36a and 36b, and forms the half cut part 34 in the predetermined position of the photosensitive webs 22a and 22b.

도 5는 라미네이트 제어부(102) 및 하프컷 제어부(108)에 의한 유리기판(24)에 대한 감광성 수지층(28)의 부착상태를 검출하고, 그 위치를 조정하는 기능의 블록을 나타낸다.FIG. 5 shows a block of a function of detecting the adhesion state of the photosensitive resin layer 28 to the glass substrate 24 by the laminate control unit 102 and the half cut control unit 108 and adjusting its position.

라미네이트 제어부(102) 및 하프컷 제어부(108)는 롤러 이송 펄스에 기초하여 고무 롤러(80a)를 회전 구동하는 롤러 구동 모터(120)를 제어하는 롤러 제어부(123)를 갖는다. 롤러 제어부(123)는 기판선단 검지센서(94)에 의한 유리기판(24)의 선단부의 검지신호와, 레이저 변위계나 CCD 카메라(72a, 72b)에 의한 하프컷 부위(34)의 검지신호에 따라 고무 롤러(80a)의 회전을 제어한다.The laminate control unit 102 and the half cut control unit 108 have a roller control unit 123 that controls the roller drive motor 120 that rotationally drives the rubber roller 80a based on the roller feed pulses. The roller control unit 123 detects the detection signal of the front end portion of the glass substrate 24 by the substrate front detection sensor 94 and the detection signal of the half cut portion 34 by the laser displacement meter or CCD cameras 72a and 72b. The rotation of the rubber roller 80a is controlled.

또한 라미네이트 제어부(102) 및 하프컷 제어부(108)는 CCD 카메라(96a∼96c)에 의해 검출된 유리기판(24) 및 보호필름(30)의 양단부에 기초해서 유리기판(24)에 대한 보호필름(30)의 부착위치를 산출하는 부착위치 산출부(124)와, 상기 부착위치에 따라서 부착상태를 판정하는 부착상태 판정부(126)를 갖는다.In addition, the laminate control unit 102 and the half cut control unit 108 protect the glass substrate 24 based on both ends of the glass substrate 24 and the protective film 30 detected by the CCD cameras 96a to 96c. And an attachment position determining unit 124 for calculating an attachment position of 30, and an attachment state determining unit 126 for determining an attachment state in accordance with the attachment position.

부착상태 판정부(126)는 부착상태의 판정결과에 따라 롤러 이송 펄스 보정부(128) 또는 하프컷 위치 보정부(130)에 보정 데이터를 공급한다. 롤러 이송 펄스 보정부(128)는 보정 데이터에 따라 롤러 제어부(123)에 공급하는 롤러 이송 펄스를 조정한다. 또한 하프컷 위치 보정부(130)는 보정 데이터에 따라 가공기구 제어부(133)에 의한 제 1 및 제 2 가공기구(36a, 36b)의 가공 타이밍을 조정한다.The attachment state determination unit 126 supplies correction data to the roller feed pulse correction unit 128 or the half cut position correction unit 130 according to the determination result of the attachment state. The roller feed pulse correction unit 128 adjusts the roller feed pulses supplied to the roller control unit 123 according to the correction data. In addition, the half cut position correction unit 130 adjusts the processing timing of the first and second processing mechanisms 36a and 36b by the processing mechanism control unit 133 according to the correction data.

제조장치(20)내에는 구획벽(110)을 통해 제 1 클린룸(112a)과 제 2 클린룸(112b)으로 구획된다. 제 1 클린룸(112a)에는 제 1 및 제 2 웹 송출기구(32a, 32b)로부터 제 1 및 제 2 텐션 제어기구(66a, 66b)까지가 수용됨과 아울러, 제 2 클린룸(112b)에는 제 1 및 제 2 검출기구(47a, 47b) 이후가 수용된다. 제 1 클린룸(112a)과 제 2 클린룸(112b)은 관통부(114)를 통해 연통된다.The manufacturing apparatus 20 is partitioned into the first clean room 112a and the second clean room 112b through the partition wall 110. The first clean room 112a accommodates the first and second web tension mechanisms 32a and 32b to the first and second tension control mechanisms 66a and 66b, and the second clean room 112b includes a first clean room 112b. After the first and second detector ports 47a and 47b are accommodated. The first clean room 112a and the second clean room 112b communicate with each other through the through part 114.

이상과 같이 구성되는 제조장치(20)의 동작에 대해서 본 발명에 따른 제조방법에 관련해서 이하에 설명한다.The operation of the manufacturing apparatus 20 configured as described above will be described below with respect to the manufacturing method according to the present invention.

우선, 제 1 및 제 2 웹 송출기구(32a, 32b)에 부착되어 있는 각 감광성 웹롤(23a, 23b)로부터 감광성 웹(22a, 22b)이 송출된다. 감광성 웹(22a, 22b)은 제 1 및 제 2 가공기구(36a, 36b)에 반송된다.First, the photosensitive webs 22a and 22b are sent out from the photosensitive web rolls 23a and 23b attached to the first and second web sending mechanisms 32a and 32b. The photosensitive webs 22a and 22b are conveyed to the first and second processing mechanisms 36a and 36b.

제 1 및 제 2 가공기구(36a, 36b)에서는 둥근 칼날(52)이 감광성 웹(22a, 22b)의 폭방향으로 이동하고, 상기 감광성 웹(22a, 22b)을 보호필름(30)으로부터 감광성 수지층(28) 내지 베이스 필름(26)까지 컷팅해서 하프컷 부위(34)를 형성한다.(도 2 참조). 또한, 감광성 웹(22a, 22b)은 보호필름(30)의 잔존부분(30b)의 폭(L)(도 2)에 대응해서 화살표(A) 방향으로 반송된 후에 정지되고, 둥근 칼날(52) 의 주행 작용하에 하프컷 부위(34)가 형성된다. 이것에 의해, 감광성 웹(22a, 22b)에는 잔존부분(30b)을 사이에 두고 전방의 박리부분(30aa)과 후방의 박리부분(30ab)이 형성된다.In the first and second processing mechanisms 36a and 36b, the round blade 52 moves in the width direction of the photosensitive webs 22a and 22b, and the photosensitive webs 22a and 22b are moved from the protective film 30 to the photosensitive number. The half cut portion 34 is formed by cutting to the base layers 28 to the base film 26 (see Fig. 2). Further, the photosensitive webs 22a and 22b are stopped after being conveyed in the direction of the arrow A corresponding to the width L (Fig. 2) of the remaining portion 30b of the protective film 30, and the round blade 52 The half cut portion 34 is formed under the traveling action of. As a result, the front peeling part 30aa and the rear peeling part 30ab are formed in the photosensitive webs 22a and 22b with the remaining part 30b interposed therebetween.

또, 잔존부분(30b)의 폭(L)은 감광성 웹(22a, 22b)이 신장되지 않는 것을 전제로 하고, 부착기구(46)의 고무 롤러(80a, 80b) 사이에 공급되는 유리기판(24) 사이의 거리를 기준으로 해서 설정되어 있는 것으로 한다.In addition, the width L of the remaining portion 30b is based on the assumption that the photosensitive webs 22a and 22b do not extend, and the glass substrate 24 supplied between the rubber rollers 80a and 80b of the attachment mechanism 46 is provided. It is assumed that it is set based on the distance between them.

계속해서, 각 감광성 웹(22a, 22b)은 제 1 및 제 2 라벨 접착기구(40a, 40b)에 반송되어서, 보호필름(30)의 소정의 부착부위가 받침대(56) 상에 배치된다. 제 1 및 제 2 라벨 접착기구(40a, 40b)에서는 소정 매수의 접착 라벨(38)이 흡착패드(54b∼54g)에 의해 흡착 유지되고, 각 접착 라벨(38)이 보호필름(30)의 잔존부분(30b)에 걸쳐져 전방의 박리부분(30aa)과 후방의 박리부분(30ab)에 일체적으로 접착된다(도 3 참조).Subsequently, each photosensitive web 22a, 22b is conveyed to the 1st and 2nd label adhesion mechanism 40a, 40b, and the predetermined attachment part of the protective film 30 is arrange | positioned on the base 56. As shown in FIG. In the first and second label bonding mechanisms 40a and 40b, a predetermined number of adhesive labels 38 are adsorbed and held by the suction pads 54b to 54g, and each adhesive label 38 remains in the protective film 30. Over the part 30b, it adheres integrally to the front peeling part 30aa and the rear peeling part 30ab (refer FIG. 3).

예를 들면 7장의 접착 라벨(38)이 접착된 감광성 웹(22a, 22b)은 도 1에 나타내듯이, 제 1 및 제 2 리저버기구(42a, 42b)를 통해 송출측의 텐션 변동을 방지한 후, 제 1 및 제 2 박리기구(44a, 44b)에 연속적으로 반송된다. 제 1 및 제 2 박리기구(44a, 44b)에서는 감광성 웹(22a, 22b)의 베이스 필름(26)이 석션 드럼(62)에 흡착 유지됨과 아울러, 보호필름(30)이 잔존부분(30b)을 남기고 상기 감광성 웹(22a, 22b)으로부터 박리된다. 이 보호필름(30)은 박리 롤러(63)를 통해 박리되고 보호필름 권취부(64)에 권취된다.For example, the photosensitive webs 22a and 22b to which the seven adhesive labels 38 are adhered are prevented from being tensioned on the feeding side through the first and second reservoir mechanisms 42a and 42b, as shown in FIG. It is conveyed to the 1st and 2nd peeling mechanism 44a, 44b continuously. In the first and second peeling mechanisms 44a and 44b, the base film 26 of the photosensitive webs 22a and 22b is adsorbed and held on the suction drum 62, and the protective film 30 removes the remaining portion 30b. Leaving and peeling from the photosensitive webs 22a and 22b. The protective film 30 is peeled off through the peeling roller 63 and wound around the protective film winding 64.

제 1 및 제 2 박리기구(44a, 44b)의 작용하에 보호필름(30)이 잔존부분(30b) 을 남기고 베이스 필름(26)으로부터 박리된 후 감광성 웹(22a, 22b)은 제 1 및 제 2텐션 제어기구(66a, 66b)에 의해 텐션조정이 행해지고, 또한, 제 1 및 제 2 검출기구(47a, 47b)의 레이저 변위계나 CCD 카메라(72a, 72b)에 의해 하프컷 부위(34)의 검출이 행해진다.Under the action of the first and second peeling mechanisms 44a and 44b, after the protective film 30 is peeled off from the base film 26 leaving the remaining portion 30b, the photosensitive webs 22a and 22b are formed into the first and second portions. Tension adjustment is performed by the tension control mechanisms 66a and 66b, and the half cut portion 34 is detected by the laser displacement meters and the CCD cameras 72a and 72b of the first and second detector ports 47a and 47b. This is done.

이 경우, 감광성 웹(22a, 22b)이 신장되지 않는 것을 전제로 해서, 레이저 변위계나 CCD 카메라(72a, 72b)가 후방의 박리부분(30ab)측의 하프컷 부위(34)(도 2)를 검출했을 때, 고무 롤러(80a, 80b) 사이의 소정 위치에 선행하는 전방의 박리부분(30aa)측의 하프컷 부위(34)가 배치되도록 제 1 및 제 2 검출기구(47a, 47b)와 부착기구(46) 사이의 반송로의 길이가 설정되어 있는 것으로 한다.In this case, assuming that the photosensitive webs 22a and 22b do not extend, the laser displacement meter and the CCD cameras 72a and 72b move the half cut portion 34 (FIG. 2) on the rear side of the peeling portion 30ab. When it detects, it attaches with the 1st and 2nd detector opening 47a, 47b so that the half cut part 34 of the front peeling part 30aa side which precedes a predetermined position between the rubber rollers 80a, 80b may be arrange | positioned. It is assumed that the length of the conveyance path between the mechanisms 46 is set.

그래서, 레이저 변위계나 CCD 카메라(72a, 72b)가 후방의 박리부분(30ab)측의 하프컷 부위(34)를 검지한 후, 감광성 웹(22a, 22b)을 보호필름(30)의 잔존부분(30b)의 폭에 대응한 거리(L)만큼 반송해서 정지시키는 한편, 유리기판(24)을 기판 반송기구(45)의 작용하에 미리 가열된 상태에서 부착위치에 반송한다. 유리기판(24)은 병렬되어 있는 감광성 웹(22a, 22b)의 감광성 수지층(28)의 부착부분에 대응해서 고무 롤러(80a, 80b) 사이에 일단 배치된다.Thus, after the laser displacement meters and the CCD cameras 72a and 72b detect the half cut portion 34 on the side of the peeling portion 30ab on the rear side, the photosensitive webs 22a and 22b are formed on the remaining portions of the protective film 30 ( While conveying and stopping by the distance L corresponding to the width | variety of 30b), the glass substrate 24 is conveyed to an attachment position in the state heated beforehand under the action of the board | substrate conveyance mechanism 45. FIG. The glass substrate 24 is disposed once between the rubber rollers 80a and 80b corresponding to the attachment portion of the photosensitive resin layer 28 of the photosensitive webs 22a and 22b in parallel.

이어서, 백업 롤러(82b) 및 고무 롤러(80b)를 상승시킴으로써, 고무 롤러(80a, 80b) 사이에 유리기판(24)이 소정의 프레스 압력으로 끼워넣어진다. 롤러 제어부(123)(도 5)는 롤러 이송 펄스에 기초하여 롤러 구동 모터(120)를 구동하고, 고무 롤러(80a)의 회전 작용하에 감광성 웹(22a, 22b) 및 유리기판(24)을 화살표(C)방향으로 반송한다. 이 결과, 병렬되어 있는 각 감광성 수지층(28)이 유리기 판(24)에 전사(라미네이트)된다. 이 경우, 감광성 웹(22a, 22b)에 신장이 없는 것으로 하면, 감광성 웹(22a, 22b)의 감광성 수지층(28)이 후방의 박리부분(30ab)측의 하프컷 부위(34)로부터 유리기판(24)의 소정 부위에 정확하게 전사되게 된다.Then, by raising the backup roller 82b and the rubber roller 80b, the glass substrate 24 is sandwiched between the rubber rollers 80a and 80b at a predetermined press pressure. The roller controller 123 (FIG. 5) drives the roller drive motor 120 based on the roller feed pulses, and arrows the photosensitive webs 22a, 22b and the glass substrate 24 under the rotational action of the rubber roller 80a. It conveys in the direction (C). As a result, each parallel photosensitive resin layer 28 is transferred (laminated) to the glass substrate 24. In this case, assuming that the photosensitive webs 22a and 22b have no elongation, the photosensitive resin layer 28 of the photosensitive webs 22a and 22b is separated from the half cut portion 34 on the side of the peeling portion 30ab on the rear side. It is accurately transferred to a predetermined portion of (24).

또, 라미네이트 조건으로서는 속도가 1.0m/min∼10.0m/min, 고무 롤러(80a, 80b)의 온도가 80℃∼140℃, 상기 고무 롤러(80a, 80b)의 고무 경도가 40℃∼90℃, 상기 고무 롤러(80a, 80b)의 프레스압(선압)이 50N/cm∼400N/cm이다.Moreover, as lamination conditions, the speed is 1.0 m / min-10.0 m / min, the temperature of the rubber rollers 80a, 80b is 80 degreeC-140 degreeC, and the rubber hardness of the said rubber rollers 80a, 80b is 40 degreeC-90 degreeC The press pressure (linear pressure) of the rubber rollers 80a and 80b is 50 N / cm to 400 N / cm.

기판선단 검지센서(94)가 유리기판(24)의 선단을 검지하고, 고무 롤러(80a, 80b)를 통해 유리기판(24)에 감광성 웹(22a, 22b)의 1장분의 라미네이트가 종료되면, 상기 고무 롤러(80a)의 회전이 정지되는 한편, 상기 감광성 웹(22a, 22b)이 라미네이트된 상기 유리기판(24)(이하, 부착기판(24a)이라고도 함)이 기판 반송 롤러(92)에 의해 클램프된다. 이 때, 후술하는 바와 같이, 선행하는 유리기판(24)의 후단부 및 감광성 수지층(28)의 후단부의 위치가 CCD 카메라(96a∼96c)를 이용해서 검출된다.When the substrate tip detection sensor 94 detects the tip of the glass substrate 24 and the lamination of one sheet of the photosensitive webs 22a and 22b is finished on the glass substrate 24 through the rubber rollers 80a and 80b, While the rotation of the rubber roller 80a is stopped, the glass substrate 24 (hereinafter also referred to as the attachment substrate 24a) on which the photosensitive webs 22a and 22b are laminated is moved by the substrate transfer roller 92. Clamped. At this time, as will be described later, positions of the rear end of the preceding glass substrate 24 and the rear end of the photosensitive resin layer 28 are detected using the CCD cameras 96a to 96c.

그리고, 고무 롤러(80b)가 고무 롤러(80a)로부터 이간되는 방향으로 퇴피해서 클램프가 해제됨과 아울러, 기판 반송 롤러(92)의 회전이 개시되고, 부착기판(24a)이 화살표(C) 방향으로 보호필름(30)의 잔존부분(30b)의 폭에 대응되는 거리(L)만큼 반송되고, 보호필름(30)의 후방의 하프컷 부위(34)가 고무 롤러(80a)의 하방 부근의 소정 위치로 이동한다. 이 때, 후술하는 바와 같이, 라미네이트가 완료된 유리기판(24)의 선단부 및 감광성 수지층(28)의 선단부의 위치가 CCD 카메라(96a∼96c)를 이용하여 검출된다.Then, the rubber roller 80b is evacuated in the direction away from the rubber roller 80a, the clamp is released, the rotation of the substrate transfer roller 92 is started, and the attachment substrate 24a is moved in the direction of the arrow C. It is conveyed by the distance L corresponding to the width | variety of the remaining part 30b of the protective film 30, and the half cut part 34 of the back of the protective film 30 is a predetermined position near the lower part of the rubber roller 80a. Go to. At this time, as will be described later, the positions of the front end of the laminated glass substrate 24 and the front end of the photosensitive resin layer 28 are detected using the CCD cameras 96a to 96c.

한편, 기판 반송기구(45)를 통해 다음의 유리기판(24)이 부착위치를 향해서 반송된다. 이상의 동작이 반복됨으로써 부착기판(24a)이 연속적으로 제조된다.On the other hand, the next glass substrate 24 is conveyed toward the attachment position via the substrate conveyance mechanism 45. By repeating the above operation, the attachment substrate 24a is continuously manufactured.

그 때, 부착기판(24a)은 도 4에 나타내듯이, 각각의 단부끼리가 잔존부분(30b)에 의해 덮여져 있다. 따라서, 감광성 수지층(28)이 유리기판(24)에 전사될 때, 고무 롤러(80a, 80b)가 상기 감광성 수지층(28)에 의해 더러워지는 일이 없다.At that time, as shown in FIG. 4, the end portions of the attachment substrate 24a are covered by the remaining portions 30b. Therefore, when the photosensitive resin layer 28 is transferred to the glass substrate 24, the rubber rollers 80a and 80b are not polluted by the photosensitive resin layer 28. As shown in FIG.

부착기구(46)에 의해 라미네이트된 부착기판(24a)은 냉각기구(122)를 통해 냉각된 후, 프리 박리부(144)에 이송된다. 이 프리 박리부(144)에서는 박리 바(156)가 유리기판(24) 사이에 들어가서 상승되고, 이것에 의해, 유리기판(24) 사이의 보호필름(30)이 들어올려져 인접하는 유리기판(24)의 후단 및 선단으로부터 박리된다.The attachment substrate 24a laminated by the attachment mechanism 46 is cooled through the cooling mechanism 122 and then transferred to the free peeling part 144. In this free peeling part 144, the peeling bar 156 enters and rises between the glass substrates 24, and by this, the protective film 30 between the glass substrates 24 is lifted, and the adjacent glass substrates 24 are lifted. Peeled from the rear end and the front end).

이어서, 베이스 자동 박리기구(142)에서는 권취축(148)의 회전 작용하에 부착기판(24a)으로부터 베이스 필름(26)이 연속해서 권취된다. 또한, 트러블 정지에서의 분리나 불량품 분리시의 절단후, 새롭게 라미네이트 처리가 개시된 부착기판(24a)의 베이스 필름(26)의 선단과, 권취축(148)에 권취되어 있는 베이스 필름(26)의 후단은 자동 부착기(150)를 통해 자동적으로 부착된다.Subsequently, in the base automatic peeling mechanism 142, the base film 26 is continuously wound from the attachment substrate 24a under the rotational action of the winding shaft 148. Further, after the separation at the trouble stop or the separation at the defective part, the front end of the base film 26 of the mounting substrate 24a where the lamination treatment is newly started, and the base film 26 wound on the winding shaft 148 The rear end is automatically attached via the auto attacher 150.

베이스 필름(26)이 박리된 부착기판(24a)은 측정기(158)에 대응되는 검사 스테이션에 배치된다. 이 검사 스테이션에서는 유리기판(24)이 위치 결정이 고정된 상태에서 4대의 카메라(160)에 의해 유리기판(24)과 감광성 수지층(28)의 화상을 입력한다. 그리고, 화상처리가 실시됨으로써 부착위치가 연산된다.The attachment substrate 24a on which the base film 26 has been peeled off is disposed at an inspection station corresponding to the measuring device 158. In this inspection station, the glass substrate 24 inputs the image of the glass substrate 24 and the photosensitive resin layer 28 with the four cameras 160 in the fixed position. Then, the attachment position is calculated by performing image processing.

감광성 수지층(28)의 부착위치가 확인된 부착기판(24a)은 로봇(134)에 의해 인출되고, 감광성 적층체(106)로서 감광성 적층체 스토커(132)에 수용된다.The attachment substrate 24a whose attachment position of the photosensitive resin layer 28 was confirmed is taken out by the robot 134, and is accommodated in the photosensitive laminated body stocker 132 as the photosensitive laminated body 106. As shown in FIG.

그런데, 이상의 설명에서는, 제 1 및 제 2 웹 송출기구(32a, 32b)로부터 송출된 감광성 웹(22a, 22b)이 신장되지 않고 부착기구(46)에 공급되는 것을 전제로 하고 있지만, 실제로는, 가요성을 갖는 감광성 웹(22a, 22b)이 텐션이나 열의 영향을 받아서 소정량 신장되어 버리므로, 유리기판(24)의 소정 위치에 감광성 수지층(28)이 고정밀도로 전사되지 않는 것이 우려된다.By the way, in the above description, it is assumed that the photosensitive webs 22a and 22b sent out from the 1st and 2nd web sending mechanisms 32a and 32b are supplied to the attachment mechanism 46, without extending | stretching, In fact, Since the flexible photosensitive webs 22a and 22b are stretched by a predetermined amount under the influence of tension or heat, there is a concern that the photosensitive resin layer 28 is not accurately transferred to a predetermined position of the glass substrate 24.

그래서, 도 5∼도 7에 기초해서 유리기판(24)에 대한 감광성 수지층(28)의 부착위치의 보정방법에 대해서 설명한다.5-7, the correction method of the attachment position of the photosensitive resin layer 28 with respect to the glass substrate 24 is demonstrated.

우선, 1장분의 라미네이트가 완료되고, 기판선단 검지센서(94)가 유리기판(24)의 선단부를 검지하면(스텝S1), 롤러 제어부(123)는 롤러 구동 모터(120)를 제어해서 고무 롤러(80a)의 회전을 정지시킨다. 이것에 의해, 감광성 웹(22a, 22b)의 반송이 정지된다(스텝S2).First, when the lamination for one sheet is completed and the substrate front end detection sensor 94 detects the front end of the glass substrate 24 (step S1), the roller control unit 123 controls the roller drive motor 120 to control the rubber roller. The rotation of 80a is stopped. Thereby, conveyance of the photosensitive webs 22a and 22b is stopped (step S2).

이어서, 조명 광원(98a∼98c)으로부터의 조명광이 유리기판(24) 및 감광성 수지층(28)의 후단부에 조사되고, 이들을 투과한 조명광을 CCD 카메라(96a∼96c)에 의해 수광함으로써, 상기 후단부에 있어서의 부착상태를 나타내는 화상정보가 검출된다(스텝S3). CCD 카메라(96a∼96c)에 의해 검출된 상기 화상정보는 부착위치 산출부(124)에 공급되고, 소정의 화상처리가 실시됨으로써 후단부의 부착위치가 산출된다(스텝S4).Subsequently, the illumination light from the illumination light sources 98a to 98c is irradiated to the rear ends of the glass substrate 24 and the photosensitive resin layer 28, and the illumination light transmitted therethrough is received by the CCD cameras 96a to 96c. Image information indicating the attachment state at the rear end is detected (step S3). The image information detected by the CCD cameras 96a to 96c is supplied to the attachment position calculation unit 124, and the attachment position of the rear end is calculated by performing predetermined image processing (step S4).

이 경우, 부착위치 산출부(124)는 도 7의 (A)에 나타내듯이, CCD 카메라(96a∼96c)에 의해 취득한 화상정보에 기초해서 유리기판(24)의 후단부와, 그것에 부착 된 감광성 웹(22a, 22b)에 있어서의 감광성 수지층(28)후단부 사이의 거리(EB1, EB2 및 EA1, EA2)를 산출한다. 또한 부착위치 산출부(124)는 유리기판(24)의 측부와 감광성 웹(22a, 22b) 사이 및 감광성 웹(22a, 22b) 사이의 거리(EB3, EA3, EA4)를 산출한다.In this case, the attachment position calculation unit 124 shows the rear end of the glass substrate 24 and the photosensitive property attached thereto based on the image information acquired by the CCD cameras 96a to 96c, as shown in Fig. 7A. The distances EB1, EB2 and EA1, EA2 between the rear ends of the photosensitive resin layers 28 in the webs 22a and 22b are calculated. The attachment position calculation unit 124 also calculates the distances EB3, EA3, EA4 between the side of the glass substrate 24, the photosensitive webs 22a, 22b, and the photosensitive webs 22a, 22b.

다음에 감광성 웹(22a, 22b)을 보호필름(30)의 잔존부분(30b)의 폭에 대응되는 거리(L)만큼 반송하는 기판간 이송을 행해 반송을 정지시킨 후(스텝S5), 다시, CCD 카메라(96a∼96c)를 이용하여 유리기판(24) 및 감광성 수지층(28)의 선단부에 있어서의 부착상태를 나타내는 화상정보를 검출하고(스텝S6), 부착위치 산출부(124)에 있어서 선단부의 부착위치를 산출한다(스텝S7).Next, after performing transfer between board | substrates which conveys the photosensitive webs 22a and 22b by the distance L corresponding to the width | variety of the width | variety of the remaining part 30b of the protective film 30, and stopping conveyance (step S5), The CCD cameras 96a to 96c are used to detect image information indicating the adhered state at the distal end of the glass substrate 24 and the photosensitive resin layer 28 (step S6). The attachment position of the tip portion is calculated (step S7).

이 경우, 부착위치 산출부(124)는 도 7의 (B)에 나타내듯이, 유리기판(24)의 선단부와, 그것에 부착된 감광성 웹(22a, 22b)에 있어서의 감광성 수지층(28)의 선단부 사이의 거리(FB1, FB2 및 FA1, FA2)를 산출한다. 또한 부착위치 산출부(124)는 유리기판(24)의 측부와 감광성 웹(22a, 22b) 사이 및 감광성 웹(22a, 22b) 사이의 거리(FB3, FA3, FA4)를 산출한다.In this case, as shown in FIG. 7B, the attachment position calculating unit 124 is formed of the tip of the glass substrate 24 and the photosensitive resin layer 28 in the photosensitive webs 22a and 22b attached thereto. The distances FB1, FB2 and FA1, FA2 between the tip portions are calculated. The attachment position calculation unit 124 also calculates the distances FB3, FA3, FA4 between the side of the glass substrate 24, the photosensitive webs 22a, 22b, and the photosensitive webs 22a, 22b.

부착상태 판정부(126)는 부착위치 산출부(124)에 의해 산출된 각 부착위치에 기초해서 유리기판(24)에 대한 감광성 수지층(28)의 부착상태를 판정한다(스텝S8).The adhesion state determination unit 126 determines the attachment state of the photosensitive resin layer 28 to the glass substrate 24 based on each attachment position calculated by the attachment position calculation unit 124 (step S8).

예를 들면 산출된 각 거리(EB1, EB2, EA1, EA2, FB1, FB2, FA1, FA2)가 모두 허용범위내이면, 위치 어긋남이 없는 것이라고 판정하고(스텝S9), 위치 어긋남의 보정을 행하지 않고 부착처리를 계속한다.For example, if the calculated distances EB1, EB2, EA1, EA2, FB1, FB2, FA1, FA2 are all within the allowable range, it is determined that there is no position shift (step S9), and the position shift is not corrected. Continue the attachment process.

한편, 각 거리(EB1, EB2, EA1, EA2, FB1, FB2, FA1, FA2) 중 어느 하나가 허 용범위를 초과하고 있지만, 유리기판(24)과 감광성 웹(2252a, 22b)의 상대적인 위치 관계를 조정함으로써 허용범위내로 할 수 있는 경우, 부착상태 판정부(126)는 유리기판(24) 및 감광성 웹(22a, 22b) 사이의 위치 어긋남으로 판정하고(스텝S10), 기판간 이송을 행하는 롤러 이송 펄스를 보정하는 보정 데이터를 롤러 이송 펄스 보정부(128)에 공급한다. 롤러 이송 펄스 보정부(128)는 상기 보정 데이터에 따라 롤러 이송 펄스를 보정하고, 롤러 제어부(123)에 공급한다. 롤러 제어부(123)는 감광성 웹(22a, 22b)의 잔존부분(30b)의 폭(L)에 대응되는 거리를 상기 보정 데이터에 따른 양만큼 보정하고, 감광성 웹(22a, 22b)을 반송한다(스텝S11). 이 결과, 유리기판(24)의 양단부와 감광성 수지층(28)의 양단부 사이의 위치 어긋남을 허용범위내로 할 수 있다.On the other hand, although any one of the distances (EB1, EB2, EA1, EA2, FB1, FB2, FA1, FA2) exceeds the allowable range, the relative positional relationship between the glass substrate 24 and the photosensitive web 2225a, 22b When it is possible to make it within the allowable range by adjusting, the attachment state determining unit 126 determines the positional shift between the glass substrate 24 and the photosensitive webs 22a and 22b (step S10), and the roller for conveying between the substrates. Correction data for correcting the feed pulse is supplied to the roller feed pulse correction unit 128. The roller feed pulse correction unit 128 corrects the roller feed pulses according to the correction data, and supplies them to the roller control unit 123. The roller control unit 123 corrects the distance corresponding to the width L of the remaining portion 30b of the photosensitive webs 22a and 22b by the amount according to the correction data, and conveys the photosensitive webs 22a and 22b ( Step S11). As a result, the position shift between the both ends of the glass substrate 24 and the both ends of the photosensitive resin layer 28 can be made into the tolerance range.

또한 각 거리(EB1, EB2, EA1, EA2, FB1, FB2, FA1, FA2) 중 어느 하나가 허용범위를 초과하고 있고, 유리기판(24)과 감광성 웹(22a, 22b)의 상대적인 위치 관계를 조정해도, 위치 어긋남을 허용범위내로 보정할 수 없는 경우, 감광성 웹(22a, 22b)이 허용 이상으로 신장되거나 또는 감광성 웹(22a, 22b) 사이의 특성의 차이가 큰 것이 상정된다. 이 경우, 부착상태 판정부(126)는 하프컷 부위(34)의 위치를 보정하는 보정 데이터를 하프컷 위치 보정부(130)에 공급한다. 하프컷 위치 보정부(130)는 가공기구 제어부(133)에 보정 데이터에 따라서 보정된 가공 위치 데이터를 공급하고, 가공기구 제어부(133)는 보정된 가공 위치 데이터에 따른 위치에 하프컷 부위(34)를 형성한다(스텝S12).In addition, any one of the distances (EB1, EB2, EA1, EA2, FB1, FB2, FA1, FA2) exceeds the allowable range, and adjusts the relative positional relationship between the glass substrate 24 and the photosensitive webs 22a and 22b. Even if the misalignment cannot be corrected within the allowable range, it is assumed that the photosensitive webs 22a and 22b are stretched more than the allowable or the difference in characteristics between the photosensitive webs 22a and 22b is large. In this case, the attachment state determination unit 126 supplies correction data for correcting the position of the half cut portion 34 to the half cut position correction unit 130. The half cut position correction unit 130 supplies the machining position data corrected according to the correction data to the machining tool control unit 133, and the machining tool control unit 133 has a half cut portion 34 at a position corresponding to the corrected machining position data. ) Is formed (step S12).

또, 부착기판(24a)의 측부와 감광성 웹(22a, 22b)의 측부의 거리(EB3, EA4) 및 감광성 웹(22a, 22b) 사이의 거리(EA3)가 허용범위를 초과되고 있는 경우에는 예를 들면 각 감광성 웹(22a, 22b)을 공급하는 반송계 또는 감광성 웹(22a, 22b)을 이들 거리의 보정 데이터에 따라서 반송방향과 직교하는 방향으로 이동시킴으로써 조정하는 것이 가능하다.In addition, when the distance EB3 between the side part of the attachment board | substrate 24a and the side parts of the photosensitive webs 22a and 22b, and the distance EA3 between the photosensitive webs 22a and 22b exceed the permissible range, it is an example. For example, it is possible to adjust the conveyance system or photosensitive web 22a, 22b which supplies each photosensitive web 22a, 22b by moving to the direction orthogonal to a conveyance direction according to the correction data of these distances.

이상과 같이 해서, 유리기판(24)에 대한 감광성 수지층(28)의 부착위치를 조정함으로써 고품질의 부착기판(24a)을 제조할 수 있다.As described above, the adhesion substrate 24a of high quality can be produced by adjusting the attachment position of the photosensitive resin layer 28 to the glass substrate 24.

또, 제 1 실시형태에서는 2개의 감광성 웹롤(23a, 23b)을 사용하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 1개의 감광성 웹 롤러나, 3개이상의 감광성 웹롤러를 채용해도 좋다. 또한 이하에 설명하는 제 2 실시형태에 있어서도 마찬가지이다.Moreover, although the 1st photosensitive web roller 23a, 23b is used in 1st Embodiment, it is not limited to this, You may employ | adopt one photosensitive web roller and three or more photosensitive web rollers. The same applies to the second embodiment described below.

도 8은 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 제조장치(300)의 개략 구성도이다. 또, 제 1 실시형태에 따른 제조장치(20)와 동일한 구성요소에는 동일한 참조 부호를 붙이고, 그 상세한 설명은 생략한다.8 is a schematic configuration diagram of a manufacturing apparatus 300 according to a second embodiment of the present invention. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same component as the manufacturing apparatus 20 which concerns on 1st Embodiment, and the detailed description is abbreviate | omitted.

제조장치(300)는 부착기구(46)의 하류에 배치되고, 각 유리기판(24) 사이의 감광성 웹(22a, 22b)을 일체적으로 절단 가능한 기판간 웹 절단기구(48)를 구비한다.The manufacturing apparatus 300 is provided downstream of the attachment mechanism 46, and is provided with the board-to-board web cutting tool 48 which can integrally cut the photosensitive webs 22a and 22b between each glass substrate 24. As shown in FIG.

이렇게 구성되는 제조장치(300)에서는 상기 제 1 실시형태와 마찬가지로 부착기구(46)에 의해 라미네이트된 부착기판(24a)은 화살표(C) 방향으로 반송된다. 그리고, 부착기판(24a) 사이가 기판간 웹 절단기구(48)에 대응되는 위치에 이르면, 이 기판간 웹 절단기구(48)는 상기 부착기판(24a)과 동일한 반송속도로 화살표(C) 방향으로 이동하면서 상기 부착기판(24a) 사이에서 2개의 감광성 웹(22a, 22b)을 일체적으로 절단한다.In the manufacturing apparatus 300 comprised in this way, like the said 1st Embodiment, the adhesion board 24a laminated by the attachment mechanism 46 is conveyed in the arrow C direction. Then, when the attachment substrate 24a reaches a position corresponding to the inter-substrate web cutting tool 48, the inter-substrate web cutting tool 48 is in the direction of the arrow C at the same conveyance speed as the attaching substrate 24a. The two photosensitive webs 22a and 22b are integrally cut between the attachment substrates 24a while moving to.

이 절단후에 기판간 웹 절단기구(48)는 소정의 대기위치로 되돌려지는 한편, 부착기판(24a)에서는 베이스 필름(26) 및 잔존부분(30b)이 순차적으로 박리(매엽박리)되어서 감광성 적층체(106)가 제조된다.After this cutting, the inter-substrate web cutting mechanism 48 is returned to a predetermined standby position, while the base film 26 and the remaining portion 30b are sequentially peeled off (leaf peeling) on the attaching substrate 24a so that the photosensitive laminate is 106 is manufactured.

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 제조장치의 개략 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram of a manufacturing apparatus according to a first embodiment of the present invention.

도 2는 상기 제조장치에 사용되는 긴형상 감광성 웹의 단면도이다.2 is a cross-sectional view of an elongate photosensitive web used in the manufacturing apparatus.

도 3은 상기 긴형상 감광성 웹에 접착 라벨이 접착된 상태의 설명도이다.It is explanatory drawing of the state which the adhesive label adhere | attached on the said elongate photosensitive web.

도 4는 부착기구 및 그 하류측에 설치되는 부착상태를 검출하는 검출부의 설명도이다.4 is an explanatory view of a detector for detecting an attachment mechanism and an attachment state provided on a downstream side thereof.

도 5는 부착상태를 검출해서 위치조정을 행하는 기능의 블럭도이다.Fig. 5 is a block diagram of a function of detecting the attachment state and adjusting the position.

도 6은 부착상태를 검출해서 보정하는 처리의 플로우챠트이다.6 is a flowchart of a process for detecting and correcting an attachment state.

도 7은 유리기판에 부착된 2장의 감광성 웹의 부착상태의 설명도이다.FIG. 7 is an explanatory view of an attached state of two photosensitive webs attached to a glass substrate. FIG.

도 8은 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 제조장치의 개략 구성도이다.8 is a schematic configuration diagram of a manufacturing apparatus according to a second embodiment of the present invention.

도 9는 종래기술의 제조장치의 개략 구성도이다.9 is a schematic configuration diagram of a manufacturing apparatus of the prior art.

Claims (13)

지지체 상에 감광재료층과 보호필름이 순서대로 적층되어 이루어지는 긴형상 감광성 웹을 송출하고, 상기 보호필름에 박리부분과 잔존부분의 경계위치에 대응하는 가공부위를 형성하고, 상기 보호필름의 상기 박리부분을 박리해서 소정의 간격으로 공급되는 기판과 함께 가열된 한쌍의 압착 롤러 사이에 연속적으로 송출하고, 상기 기판 사이에 상기 보호필름의 상기 잔존부분을 배치함과 아울러 노출된 상기 감광재료층을 상기 기판에 부착함으로써 감광성 적층체를 제조하는 제조장치에 있어서:Sending a long photosensitive web formed by sequentially stacking a photosensitive material layer and a protective film on a support, forming a processing part corresponding to the boundary position of the peeling part and the remaining part in the protective film, the peeling of the protective film The portion is peeled off and continuously sent between the heated pair of pressing rollers together with the substrates supplied at predetermined intervals, and the remaining portion of the protective film is disposed between the substrates and the exposed photosensitive material layer is exposed. In the manufacturing apparatus which manufactures a photosensitive laminated body by sticking to a board | substrate: 상기 압착 롤러의 하류측에 설치되고, 상기 기판의 단부와 상기 기판에 부착된 상기 긴형상 감광성 웹의 상기 가공부위를 검출하는 검출부; 및A detection unit provided on a downstream side of the crimping roller and detecting an end portion of the substrate and the processed portion of the elongate photosensitive web attached to the substrate; And 상기 단부 및 상기 가공부위 사이의 거리를 산출하는 거리 산출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조장치.And a distance calculating part for calculating a distance between the end portion and the processed part. 제 1 항에 있어서, 상기 거리 산출부는 상기 기판의 상류측 단부 및 상기 가공부위 사이의 거리와, 상기 기판의 하류측 단부 및 상기 가공부위 사이의 거리를 산출하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조장치.The photosensitive laminate of claim 1, wherein the distance calculator calculates a distance between an upstream end portion of the substrate and the processed portion and a distance between a downstream end portion of the substrate and the processed portion. Device. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 거리에 기초해서 상기 기판에 대한 상기 감광재료층의 부착위치를 조정하는 조정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 감광 성 적층체의 제조장치.The apparatus for manufacturing a photosensitive laminate according to claim 1 or 2, further comprising an adjusting unit for adjusting an attachment position of the photosensitive material layer to the substrate based on the distance. 제 3 항에 있어서, 상기 조정부는 상기 거리에 기초해서 상기 기판에 대한 상기 긴형상 감광성 웹의 이송량을 조정하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조장치.4. The apparatus for manufacturing a photosensitive laminate according to claim 3, wherein the adjustment unit adjusts a conveyance amount of the elongate photosensitive web to the substrate based on the distance. 제 3 항에 있어서, 상기 조정부는 상기 거리에 기초해서 상기 가공부위의 가공위치를 조정하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조장치.4. The apparatus for manufacturing a photosensitive laminate according to claim 3, wherein the adjustment unit adjusts a machining position of the machining portion based on the distance. 제 1 항에 있어서, 상기 검출부는 상기 긴형상 감광성 웹을 투과하는 광의 광량에 기초해서 상기 기판의 단부 및 상기 가공부위를 검출하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조장치.The apparatus for manufacturing a photosensitive laminate according to claim 1, wherein the detection unit detects an end portion and the processed portion of the substrate based on an amount of light passing through the elongate photosensitive web. 제 1 항에 있어서, 상기 기판에는 복수매의 긴형상 감광성 웹의 감광재료층이 병렬로 부착되는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조장치.The apparatus for manufacturing a photosensitive laminate according to claim 1, wherein a plurality of photosensitive material layers of an elongate photosensitive web are attached to the substrate in parallel. 제 7 항에 있어서, 상기 검출부는 상기 각 긴형상 감광성 웹의 상기 각 가공부위를 검출하는 복수의 상기 검출부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조장치.8. The apparatus for manufacturing a photosensitive laminate according to claim 7, wherein the detection unit comprises a plurality of detection units for detecting the respective machining portions of the elongate photosensitive webs. 지지체 상에 감광재료층과 보호필름이 순서대로 적층되어 이루어지는 긴형상 감광성 웹을 송출하고, 상기 보호필름에 박리부분과 잔존부분의 경계위치에 대응하는 가공부위를 형성하고, 상기 보호필름의 상기 박리부분을 박리해서 소정의 간격으로 공급되는 기판과 함께 가열된 한쌍의 압착 롤러 사이에 연속적으로 송출하고, 상기 기판간에 상기 보호필름의 상기 잔존부분을 배치함과 아울러 노출된 상기 감광재료층을 상기 기판에 부착함으로써 감광성 적층체를 제조하는 제조방법에 있어서:Sending a long photosensitive web formed by sequentially stacking a photosensitive material layer and a protective film on a support, forming a processing part corresponding to the boundary position of the peeling part and the remaining part in the protective film, the peeling of the protective film The part is peeled off and continuously sent between the heated pair of pressing rollers together with the substrates supplied at predetermined intervals, the remaining portion of the protective film is disposed between the substrates, and the exposed photosensitive material layer is exposed to the substrate. In the production method for producing a photosensitive laminate by adhering to: 상기 기판의 단부와 상기 기판에 부착된 상기 긴형상 감광성 웹의 상기 가공부위를 검출하는 스텝; 및Detecting an end portion of the substrate and the processed portion of the elongate photosensitive web attached to the substrate; And 상기 단부 및 상기 가공부위 사이의 거리를 산출하는 스텝으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조방법.And a step of calculating a distance between the end portion and the processed portion. 제 9 항에 있어서, 상기 거리에 기초해서 상기 기판에 대한 상기 감광재료층의 부착위치를 조정하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조방법.The manufacturing method of the photosensitive laminated body of Claim 9 which adjusts the attachment position of the said photosensitive material layer with respect to the said board | substrate based on the said distance. 제 10 항에 있어서, 상기 거리에 기초해서 상기 기판에 대한 상기 긴형상 감광성 웹의 이송량을 조정함으로써 상기 감광재료층의 부착위치를 조정하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조방법.The manufacturing method of the photosensitive laminated body of Claim 10 which adjusts the attachment position of the said photosensitive material layer by adjusting the conveyance amount of the said elongate photosensitive web with respect to the said board | substrate based on the said distance. 제 10 항에 있어서, 상기 거리에 기초해서 상기 가공부위의 가공위치를 조정 함으로써 상기 감광재료층의 부착위치를 조정하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조방법.The manufacturing method of the photosensitive laminated body of Claim 10 which adjusts the attachment position of the said photosensitive material layer by adjusting the machining position of the said process part based on the said distance. 제 9 항에 있어서, 상기 기판에는 복수매의 상기 긴형상 감광성 웹이 병렬로 부착되는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조방법.The method of manufacturing a photosensitive laminate according to claim 9, wherein a plurality of said elongate photosensitive webs are attached to said substrate in parallel.
KR1020070106537A 2006-10-27 2007-10-23 Apparatus for and method of manufacturing photosensitive laminated body KR20080038019A (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2006-00293134 2006-10-27
JP2006293134A JP4769165B2 (en) 2006-10-27 2006-10-27 Photosensitive laminate manufacturing apparatus and manufacturing method

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20080038019A true KR20080038019A (en) 2008-05-02

Family

ID=39443299

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020070106537A KR20080038019A (en) 2006-10-27 2007-10-23 Apparatus for and method of manufacturing photosensitive laminated body

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP4769165B2 (en)
KR (1) KR20080038019A (en)
CN (1) CN101219592B (en)
TW (1) TW200831291A (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101278034B1 (en) * 2011-08-09 2013-06-24 (주)피엔티 Apparatus for laminating films automatically
KR101301568B1 (en) * 2012-08-21 2013-09-10 주식회사 마이크로원 A multiple-stage frame connecting apparatus of dust collecting filter
KR101303603B1 (en) * 2011-08-10 2013-09-11 (주)피엔티 Apparatus for laminating films automatically
KR101951193B1 (en) * 2018-08-28 2019-02-22 김종관 Multi-Rows Film Laminating Apparatus

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2327547A1 (en) 2009-11-27 2011-06-01 Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO Apparatus and method for laminating a first and a second sheet
EP2327546A1 (en) 2009-11-27 2011-06-01 Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO Method and apparatus for laminating a first and a second sheet
JP5481300B2 (en) * 2010-07-29 2014-04-23 住友化学株式会社 Polarizing plate cutting method and polarizing plate cut by the method
US9595398B2 (en) 2013-08-30 2017-03-14 Corning Incorporated Low resistance ultracapacitor electrode and manufacturing method thereof
JP6305884B2 (en) * 2014-09-09 2018-04-04 株式会社日立プラントメカニクス Film laminating apparatus and operation method thereof
KR20170138834A (en) * 2016-06-08 2017-12-18 코닝 인코포레이티드 Apparatus for laminating
KR101898005B1 (en) * 2016-10-19 2018-09-12 박재현 Sheet Laminating Apparatus
CN112974122A (en) * 2021-04-09 2021-06-18 江苏源美竹木业有限责任公司 Glue coating roller, back glue type floor glue coating system and glue coating method

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01134280A (en) * 1987-11-19 1989-05-26 Nec Corp Gate array
JP3316093B2 (en) * 1993-08-10 2002-08-19 富士写真フイルム株式会社 Photosensitive laminated material and method for producing the same
JPH10109811A (en) * 1996-09-30 1998-04-28 Asahi Glass Co Ltd Method for sticking hologram film
JP2000085011A (en) * 1998-07-16 2000-03-28 Somar Corp Film laminating apparatus
JP2004345354A (en) * 2003-04-24 2004-12-09 Mitsui Chemicals Inc Method and apparatus for laminating film
JP4456426B2 (en) * 2004-07-06 2010-04-28 富士フイルム株式会社 Detection device

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101278034B1 (en) * 2011-08-09 2013-06-24 (주)피엔티 Apparatus for laminating films automatically
KR101303603B1 (en) * 2011-08-10 2013-09-11 (주)피엔티 Apparatus for laminating films automatically
KR101301568B1 (en) * 2012-08-21 2013-09-10 주식회사 마이크로원 A multiple-stage frame connecting apparatus of dust collecting filter
KR101951193B1 (en) * 2018-08-28 2019-02-22 김종관 Multi-Rows Film Laminating Apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
JP4769165B2 (en) 2011-09-07
CN101219592B (en) 2012-09-26
CN101219592A (en) 2008-07-16
TW200831291A (en) 2008-08-01
JP2008110492A (en) 2008-05-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20080038019A (en) Apparatus for and method of manufacturing photosensitive laminated body
KR20080059045A (en) Apparatus for and method of manufacturing photosensitive laminated body
KR20080088433A (en) Method of applying elongate web
KR20080080003A (en) Apparatus for and method of manufacturing photosensitive laminated body
JP4674142B2 (en) Photosensitive laminate manufacturing apparatus and manufacturing method
KR20080080001A (en) Apparatus for and method of manufacturing photosensitive laminated body
KR20080038030A (en) Apparatus for and method of peeling photosensitive web
KR20080080002A (en) Apparatus for and method of manufacturing photosensitive laminated body
JP4898388B2 (en) Photosensitive laminate manufacturing apparatus and manufacturing method
KR100832837B1 (en) Method of manufacturing photosensitive laminated body and apparatus therefor
JP4516460B2 (en) Photosensitive laminate manufacturing apparatus and manufacturing method
KR20070041503A (en) Apparatus for and method of manufacturing photosensitive laminated body
JP2008149642A (en) Apparatus and method for manufacture of photosensitive laminate
JP2011194605A (en) Device and method for manufacturing photosensitive laminated body
JP2009229700A (en) Sticking position inspecting device of photosensitive layered product
JP2009226883A (en) Manufacturing device and manufacturing process of photosensitive laminated body
JP2008137193A (en) Sticking device for photosensitive web
JP2009226884A (en) Manufacturing apparatus for photosensitive laminate
JP2009172965A (en) Apparatus and method for peeling off photosensitive web
JP2008110487A (en) Method and apparatus for manufacturing photosensitive laminate
JP2008110490A (en) Method and apparatus for manufacturing photosensitive laminate
JP2008105361A (en) Manufacturing apparatus and manufacturing method for photo-sensitive laminated body
KR20080038029A (en) Apparatus for prepeeling photosensitive web
JP2008105355A (en) Pasting apparatus for photo-sensitive web
KR20080038064A (en) Substrate heating method

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Withdrawal due to no request for examination