KR20080059045A - Apparatus for and method of manufacturing photosensitive laminated body - Google Patents

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KR20080059045A
KR20080059045A KR1020070129714A KR20070129714A KR20080059045A KR 20080059045 A KR20080059045 A KR 20080059045A KR 1020070129714 A KR1020070129714 A KR 1020070129714A KR 20070129714 A KR20070129714 A KR 20070129714A KR 20080059045 A KR20080059045 A KR 20080059045A
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photosensitive
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material layer
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KR1020070129714A
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마사유키 나카기리
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후지필름 가부시키가이샤
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Abstract

A photosensitive laminate manufacturing apparatus and a method are provided to attach a long photosensitive web to the desirable spot of a substrate according to the position of a detected processed part, at high precision. A photosensitive laminate manufacturing apparatus has position detecting units(47a,47b) disposed at a predetermined part of a long photosensitive web carrying path formed between a processing part(36a,36b) forming a processed part(34) and a press roller(80a,80b), in order to detect the position of the processed part for reference position. The position detecting unit is composed of: light sources(69a,69b) irradiating the light of a wavelength that does not sensitize a photosensitive material layer, on long photosensitive webs(22a,22b); detecting parts(72a,72b) having a detection region extended in at least a carrying direction of the long photosensitive webs and detecting the processed part on the basis of the light passing through the long photosensitive webs or reflected by the long photosensitive web; and a calculating unit computing the position of the processed part sensed by the detecting units, for reference position.

Description

감광성 적층체의 제조 장치 및 제조 방법{APPARATUS FOR AND METHOD OF MANUFACTURING PHOTOSENSITIVE LAMINATED BODY}The manufacturing apparatus and manufacturing method of a photosensitive laminated body {APPARATUS FOR AND METHOD OF MANUFACTURING PHOTOSENSITIVE LAMINATED BODY}

본 발명은 기판과 지지체상에 감광 재료층이 형성된 긴 감광성 웹을 한 쌍의 압착 롤러 사이에 송출하여 상기 감광 재료층을 상기 기판에 부착함으로써 감광성 적층체를 제조하는 감광성 적층체의 제조 장치 및 제조 방법에 관한 것이다.The present invention provides an apparatus and a manufacturing apparatus for a photosensitive laminate which manufactures a photosensitive laminate by sending a long photosensitive web having a photosensitive material layer formed on a substrate and a support between a pair of pressing rollers and attaching the photosensitive material layer to the substrate. It is about a method.

예를 들면 액정 패널용 기판, 프린트 배선용 기판, PDP용 기판에는 감광성 수지층(감광 재료층)을 갖는 감광성 시트체(감광성 웹)가 기판 표면에 부착되어 구성되어 있다. 감광성 시트체는 가요성 플라스틱 지지체상에 감광성 수지층과 보호 필름이 순차적으로 적층되어 있다.For example, the photosensitive sheet body (photosensitive web) which has a photosensitive resin layer (photosensitive material layer) is attached to the board | substrate surface to the board | substrate for liquid crystal panels, the board for printed wirings, and the board | substrate for PDP. As for the photosensitive sheet body, the photosensitive resin layer and the protective film are laminated | stacked sequentially on the flexible plastic support body.

이런 종류의 감광성 시트체의 부착에 사용되는 제조 장치는 보통 유리 기판이나 수지 기판 등의 기판을 소정 간격씩 이간시켜서 반송하는 것과 아울러 상기 기판에 부착된 감광성 수지층의 범위에 대응해서 상기 감광성 시트체로부터 보호 필름을 박리하는 방식이 채용되어 있다.The manufacturing apparatus used for the attachment of this kind of photosensitive sheet body is usually carried out by transferring a substrate such as a glass substrate or a resin substrate at predetermined intervals, and in response to the range of the photosensitive resin layer attached to the substrate. The method of peeling off a protective film is employ | adopted.

예를 들면 일본 특허공개 평 11-34280호 공보에 개시되어 있는 제조 장치에서는 도 9에 나타내는 바와 같이 필름 롤(1)로부터 풀려진 적층체 필름(감광성 시 트체)(1a)은 가이드 롤러(2a,2b)에 감겨져서 수평의 필름 반송면에 따라 연장되어 있다. 이 가이드 롤러(2b)에는 적층체 필름(1a)의 송출량에 따른 수의 펄스 신호를 출력하는 로터리 엔코더(3)가 부착되어 있다.For example, in the manufacturing apparatus disclosed in Unexamined-Japanese-Patent No. 11-34280, as shown in FIG. 9, the laminated | multilayer film (photosensitive sheet | seat) 1a unwound from the film roll 1 is guide roller 2a, It is wound around 2b) and extended along the horizontal film conveyance surface. The rotary roller 3 which outputs the pulse signal of the number according to the feeding amount of the laminated body film 1a is attached to this guide roller 2b.

수평의 필름 반송면에 따라 연장되는 적층체 필름(1a)은 석션 롤러(4)에 감겨진 것과 아울러 상기 가이드 롤러(2b)와 상기 석션 롤러(4) 사이에는 하프 커터 장치(5)와 커버 필름 박리 장치(6)가 설치되어 있다.The laminated film 1a extending along the horizontal film conveying surface is wound around the suction roller 4 and the half cutter device 5 and the cover film between the guide roller 2b and the suction roller 4. The peeling apparatus 6 is provided.

하프 커터 장치(5)는 적층체 필름(1a)의 반송 방향으로 소정 간격 이간하는 1쌍의 디스크 커터(5a,5b)를 구비하고 있다. 디스크 커터(5a,5b)는 적층체 필름(1a)의 필름 폭 방향에 따라 이동함으로써 상기 적층체 필름(1a)의 커버 필름(도시생략)에 있어서의 박리 부분과 잔존 부분의 2개소의 경계 부분을 그 이면측의 감광성 수지층(도시생략)과 일체로 절단한다.The half cutter apparatus 5 is equipped with one pair of disk cutters 5a and 5b which spaced apart a predetermined space | interval in the conveyance direction of the laminated body film 1a. The disk cutters 5a and 5b move along the film width direction of the laminate film 1a so that two boundary portions of the peeling portion and the remaining portion in the cover film (not shown) of the laminate film 1a are shown. Is cut | disconnected integrally with the photosensitive resin layer (not shown) of the back surface side.

커버 필름 박리 장치(6)는 점착 테이프 롤(7)로부터 풀리는 점착 테이프(7a)를 압압 롤러(8a,8b) 사이에서 커버 필름의 박리 부분에 강하게 압착시킨 후, 와인딩 롤(winding roll)(9)에 의해 와인딩한다. 이것에 의해 커버 필름의 박리 부분은 감광성 수지층으로부터 박리되서 점착 테이프(7a)와 함께 와인딩 롤(9)에 와인딩된다.The cover film peeling apparatus 6 strongly presses the adhesive tape 7a released from the adhesive tape roll 7 to the peeling part of the cover film between the pressing rollers 8a and 8b, and then a winding roll 9 Winding by). Thereby, the peeling part of a cover film is peeled from the photosensitive resin layer, and is wound to the winding roll 9 with the adhesive tape 7a.

석션 롤러(4)의 하류에는 기판 반송 장치(10)에 의해 소정의 간격으로 반송되는 복수의 기판(11) 윗면에 커버 필름이 박리된 적층체 필름(1a)의 박리 부분을 겹쳐서 압착하는 1쌍의 라미네이션 롤러(12a,12b)가 배치되어 있다. 이 라미네이션 롤러(12a,12b)의 하류측에는 지지 필름 와인딩 롤(13)이 배치되어 있다. 기판(11) 에 부착되어 있는 투광성 지지 필름(도시생략)은 기판(11)에 감광성 수지층을 잔존시킨 상태로 커버 필름의 잔존 부분과 함께 지지 필름 와인딩 롤(13)에 와인딩된다.Downstream of the suction roller 4, a pair of crimping | compression-bonding the peeling part of the laminated | multilayer film 1a which the cover film peeled on the upper surface of the some board | substrate 11 conveyed by the board | substrate conveying apparatus 10 at predetermined intervals is crimped | bonded. Lamination rollers 12a and 12b are arranged. The support film winding roll 13 is arrange | positioned downstream of these lamination rollers 12a and 12b. The translucent support film (not shown) attached to the board | substrate 11 is wound by the support film winding roll 13 with the remaining part of a cover film in the state which remained the photosensitive resin layer on the board | substrate 11.

그런데, 커버 필름이 박리된 적층체 필름(1a)의 박리 부분을 기판(11)의 원하는 범위에 정확하게 부착하기 위해서는 커버 필름의 박리 부분과 잔존 부분의 경계부분을 기준으로 해서 적층체 필름(1a)을 라미네이션 롤러(12a,12b) 사이에 고정밀도로 송출할 필요가 있다.By the way, in order to adhere | attach the peeling part of the laminated | multilayer film 1a with which the cover film was peeled off to the desired range of the board | substrate 11 correctly, the laminated | multilayer film 1a based on the boundary part of the peeling part and remaining part of a cover film as a reference | standard. Needs to be sent out between the lamination rollers 12a and 12b with high accuracy.

그러나, 적층체 필름(1a)은 가요성의 지지 필름상에 감광성 수지층을 형성한 것이며, 텐션을 부여한 상태로 반송되기 때문에 반송 중에 발생한 연장의 영향에 의해 상기 경계 부분의 위치가 어긋나버릴 우려가 있다. 또한, 라미네이션 롤러(12a,12b)는 적층체 필름(1a)과 기판(11)을 가열한 상태에서 부착하기 때문에 특히 라미네이션 롤러(12a,12b)의 근방에서 적층체 필름(1a)의 연장이 커져 버린다.However, since the laminated body film 1a formed the photosensitive resin layer on the flexible support film, and is conveyed in the state which provided the tension, there exists a possibility that the position of the said boundary part may shift by the influence of the extension which generate | occur | produced during conveyance. . In addition, since the lamination rollers 12a and 12b are attached while the laminate film 1a and the substrate 11 are heated, the extension of the laminate film 1a becomes particularly large in the vicinity of the lamination rollers 12a and 12b. Throw it away.

이 경우, 라미네이션 롤러(12a,12b) 사이에 있어서 상기 적층체 필름(1a)의 상기 경계 부분의 위치를 검출할 수 있다면 그 위치를 조정해서 고정밀도의 부착 처리를 행할 수 있다. 그러나, 적층체 필름(1a) 및 기판(11)을 라미네이션 롤러(12a,12b)로 끼운 채 경계 부분의 위치를 검출하는 것은 라미네이션 롤러(12a,12b)가 검출을 저해하기 때문에 현실적으로는 불가능하다.In this case, if the position of the said boundary part of the said laminated body film 1a can be detected between lamination rollers 12a and 12b, the position can be adjusted and a high precision adhesion process can be performed. However, detecting the position of the boundary portion while sandwiching the laminate film 1a and the substrate 11 with the lamination rollers 12a and 12b is practically impossible because the lamination rollers 12a and 12b inhibit the detection.

그래서, 석션 롤러(4)와 라미네이션 롤러(12a,12b) 사이의 소정 부위에 상기경계 부분을 검출하는 센서를 배치하고, 이 센서가 경계 부분을 검출했을 시점으로부터의 적층체 필름(1a)의 송출량을 제어하도록 한 제조 장치가 본 출원인에 의해 제안되어 있다(일본 특허공개 2006-297889호 공보 참조).Therefore, the sensor which detects the said boundary part is arrange | positioned in the predetermined site | part between the suction roller 4 and the lamination rollers 12a, 12b, and the delivery amount of the laminated | multilayer film 1a from the time when this sensor detected the boundary part. The manufacturing apparatus which controlled this is proposed by this applicant (refer Unexamined-Japanese-Patent No. 2006-297889).

이 경우, 상기 센서와 상기 라미네이션 롤러(12a,12b) 사이의 거리, 및 이 사이에 있어서의 적층체 필름(1a)의 연장율을 알면, 라미네이션(12a,12b) 사이에 경계 부분을 고정밀도로 설정할 수 있다.In this case, knowing the distance between the sensor and the lamination rollers 12a and 12b and the elongation of the laminate film 1a therebetween, the boundary between the laminations 12a and 12b is set with high accuracy. Can be.

그러나, 상기 센서는 경계 부분을 검출할 수는 있지만, 그 경계 부분이 원하는 위치로부터 어느 정도 어긋나 있는지까지 검출할 수 있는 것은 아니다.However, although the sensor can detect the boundary portion, it is not able to detect how far the boundary portion deviates from the desired position.

본 발명의 일반적인 목적은 긴 감광성 웹에 형성된 가공 부위의 기준 위치에 대한 위치를 간이한 구성으로 고정밀도로 검출해서 고품질의 감광성 적층체를 제조할 수 있는 감광성 적층체의 제조 장치 및 제조 방법을 제공하는 것에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION A general object of the present invention is to provide a manufacturing apparatus and a manufacturing method of a photosensitive laminate which can produce a high-quality photosensitive laminate by detecting a position with respect to a reference position of a processing site formed on a long photosensitive web with high accuracy. Is in.

본 발명의 주된 목적은 검출한 가공 부위의 위치에 따라 기판의 원하는 위치에 긴 감광성 웹을 고정밀도로 부착할 수 있는 감광성 적층체의 제조 장치 및 제조 방법을 제공하는 것에 있다.The main object of this invention is to provide the manufacturing apparatus and manufacturing method of the photosensitive laminated body which can adhere a long photosensitive web with high precision to the desired position of a board | substrate according to the position of the process site which detected.

본 발명은 지지체상에 감광 재료층과 보호 필름이 순서대로적층되어 이루어지는 긴 감광성 웹을 송출하고, 상기 보호 필름의 박리 부분과 잔존 부분의 경계 위치에 대응하는 가공 부위를 상기 보호 필름으로부터 상기 감광 재료층에 이르는 부분에 형성하고, 상기 보호 필름의 상기 박리 부분을 박리하고, 소정의 간격으로 공급되는 기판과 함께 가열된 1쌍의 압착 롤러 사이에 연속적으로 송출하고, 상기 기판 사이에 상기 보호 필름의 상기 잔존 부분을 배치하는 동시에 노출된 상기 감광 재료층을 상기 기판에 부착함으로써 감광성 적층체를 제조하는 감광성 적층체의 제조 장치에 있어서,This invention sends out the long photosensitive web which a photosensitive material layer and a protective film are laminated | stacked on the support body in order, and processes the process part corresponding to the boundary position of the peeling part and the remainder part of the said protective film from the said photosensitive material. It forms in the part which reaches a layer, peels the said peeling part of the said protective film, and it is sent continuously between a pair of crimping rollers heated with the board | substrate supplied at predetermined intervals, and between the said board | substrate In the manufacturing apparatus of the photosensitive laminated body which manufactures a photosensitive laminated body by arrange | positioning the said residual part and attaching the exposed photosensitive material layer to the said board | substrate,

상기 가공 부위를 형성하는 가공부와 상기 압착 롤러 사이에 있어서의 상기 긴 감광성 웹의 반송로 중의 소정 부위에 배치되어 기준 위치에 대한 상기 가공 부위의 위치를 검출하는 위치 검출 수단을 구비하고,It is provided with the position detection means which is arrange | positioned in the predetermined part of the conveyance path of the said long photosensitive web between the process part which forms the said process part, and the said crimping roller, and detects the position of the said process part with respect to a reference position,

상기 위치 검출 수단은,The position detecting means,

상기 감광 재료층을 감광하지 않는 파장으로 이루어지는 조명광을 상기 긴 감광성 웹에 조사하는 광원과,A light source for irradiating the elongate photosensitive web with illumination light having a wavelength not exposing the photosensitive material layer;

상기 긴 감광성 웹의 적어도 반송 방향으로 연장되는 검출 영역을 갖고, 상기 긴 감광성 웹을 투과하거나 또는, 상기 긴 감광성 웹에 의해 반사된 상기 조명광에 의거하여 상기 가공 부위를 검출하는 검출부와,A detection section having a detection region extending in at least a conveying direction of the elongate photosensitive web and detecting the processing site based on the illumination light transmitted through the elongate photosensitive web or reflected by the elongate photosensitive web;

상기 검출부에 의해 검출된 상기 가공 부위의 상기 기준 위치에 대한 위치를 산출하는 산출부를 구비하는 것을 특징으로 한다.And a calculation unit for calculating a position with respect to the reference position of the processing site detected by the detection unit.

또한, 본 발명은 지지체상에 감광 재료층과 보호 필름이 순서대로 적층되어 이루어지는 긴 감광성 웹을 송출하고, 상기 보호 필름의 박리 부분과 잔존 부분의 경계 위치에 대응하는 가공 부위를 상기 보호 필름으로부터 상기 감광 재료층에 이르는 부분에 형성하고, 상기 보호 필름의 상기 박리 부분을 박리하며, 소정의 간격으로 공급되는 기판과 함께 가열된 1쌍의 압착 롤러 사이에 연속적으로 송출하고, 상기 기판 사이에 상기 보호 필름의 상기 잔존 부분을 배치함과 아울러, 노출된 상기 감광 재료층을 상기 기판에 부착함으로써 감광성 적층체를 제조하는 감광성 적층체의 제조 방법에 있어서,Moreover, this invention sends out the elongate photosensitive web which a photosensitive material layer and a protective film are laminated | stacked in order on the support body, and processes the process part corresponding to the boundary position of the peeling part and the remainder part of the said protective film from the said protective film. It forms in the part which reaches the photosensitive material layer, the said peeling part of the said protective film is peeled off, it is sent continuously between a pair of crimping rollers heated with the board | substrate supplied at predetermined intervals, and the said protection between said board | substrates. In the manufacturing method of the photosensitive laminated body which arrange | positions the said residual part of a film and manufactures a photosensitive laminated body by attaching the exposed said photosensitive material layer to the said board | substrate,

상기 감광 재료층을 감광하지 않는 파장으로 이루어지는 조명광을 상기 긴 감광성 웹에 조사하고, 상기 긴 감광성 웹을 투과하거나 또는 상기 긴 감광성 웹에 의해 반사된 상기 조명광을 상기 긴 감광성 웹의 반송 방향으로 연장하는 검출 영역을 갖는 검출부에 의해 검출하는 단계와,Irradiating the long photosensitive web with illumination light having a wavelength that does not photosensitive the layer of photosensitive material, and extending the illumination light transmitted through the long photosensitive web or reflected by the long photosensitive web in the conveying direction of the long photosensitive web. Detecting by a detection unit having a detection region,

상기 검출부에 의해 검출된 상기 가공 부위의 위치를 소정의 기준 위치에 대한 위치로서 산출하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다.And calculating a position of the machining portion detected by the detection unit as a position with respect to a predetermined reference position.

본 발명에서는 긴 감광성 웹의 반송 방향으로 연장되는 검출 영역을 갖는 검출부를 이용하여 긴 감광성 웹에 형성된 가공 부위의 기준 위치에 대한 위치를 간이한 구성으로 고정밀도로 검출할 수 있다. 이 경우, 예를 들면 검출된 가공 부위의 위치에 따라 긴 감광성 웹의 반송량이나 가공 부위의 형성 위치를 조정하고, 기판의 원하는 위치에 감광 재료층이 부착된 고품질의 감광성 적층체를 제조할 수 있다.In this invention, the position with respect to the reference position of the process site | part formed in the long photosensitive web can be detected with high precision using the detection part which has a detection area extended in the conveyance direction of a long photosensitive web. In this case, the conveyance amount of a long photosensitive web or the formation position of a process site | part can be adjusted according to the position of the process site | part detected, for example, and the high quality photosensitive laminated body with a photosensitive material layer adhered to the desired position of a board | substrate can be manufactured. have.

첨부한 도면과 협동하는 다음의 적합한 실시형태 예의 설명으로부터 상기의 목적, 특징 및 이점이 보다 분명해질 것이다.The above objects, features and advantages will become more apparent from the description of the following preferred embodiment examples, which cooperate with the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 감광성 적층체의 제조 장치(20)의 개략구성도이고, 이 제조 장치(20)는 액정 또는 유기EL용 컬러필터 등의 제작 공정으로 긴 감광성 웹(22a,22b)의 각 감광성 수지층(28)(후술한다)을 병렬해서 유리 기판(24)에 열전사하는 작업을 행한다. 감광성 웹(22a,22b)은 각각 소정의 폭 치수로 설정되어 있다.1 is a schematic configuration diagram of an apparatus 20 for manufacturing a photosensitive laminate according to a first embodiment of the present invention. The apparatus 20 is a long photosensitive web (such as a liquid crystal or a color filter for an organic EL). Each photosensitive resin layer 28 (to be described later) in 22a and 22b is thermally transferred to the glass substrate 24 in parallel. The photosensitive webs 22a and 22b are set to predetermined width dimensions, respectively.

도 2는 제조 장치(20)에 사용되는 감광성 웹(22a,22b)의 단면도이다. 이 감광성 웹(22a,22b)은 가요성 베이스 필름(지지체)(26)과, 감광성 수지층(감광 재료층)(28)과, 보호 필름(30)을 적층해서 구성된다.2 is a cross-sectional view of the photosensitive webs 22a and 22b used in the manufacturing apparatus 20. This photosensitive web 22a, 22b is comprised by laminating | stacking the flexible base film (support) 26, the photosensitive resin layer (photosensitive material layer) 28, and the protective film 30. As shown in FIG.

도 1 에 나타내는 바와 같이 제조 장치(20)는 감광성 웹(22a,22b)을 롤 모양으로 권회한 2개(2개 이상이면 좋다)의 감광성 웹 롤(23a,23b)을 수용하고, 각 감광성 웹 롤(23a,23b)로부터 상기 감광성 웹(22a,22b)을 동기해서 송출할 수 있는 제 1 및 제 2 웹 송출 기구(32a,32b)와, 송출된 각 감광성 웹(22a,22b)의 보호 필름(30) 및 감광성 수지층(28)에 폭 방향으로 절단할 수 있는 경계 위치인 하프 커트 부위(가공 부위)(34)를 형성하는 제 1 및 제 2 가공 기구(36a,36b)와, 일부에 비접착부(38a)를 갖는 접착 라벨(38)(도 3 참조)을 각 보호 필름(30)에 접착시키는 제 1 및 제 2 라벨 접착 기구(40a,40b)를 구비한다.As shown in FIG. 1, the manufacturing apparatus 20 accommodates the 2 photosensitive web rolls 23a and 23b which wound the photosensitive webs 22a and 22b in roll shape, and each photosensitive web roll is sufficient. First and second web delivery mechanisms 32a and 32b capable of synchronously feeding the photosensitive webs 22a and 22b from the rolls 23a and 23b, and protective films of the respective photosensitive webs 22a and 22b. 1st and 2nd processing mechanisms 36a and 36b which form the half cut site | part (processing site | part) 34 which is a boundary position which can cut | disconnect to the 30 and the photosensitive resin layer 28 in the width direction, and a part First and second label adhering mechanisms 40a and 40b are provided for adhering the adhesive label 38 (see FIG. 3) having the non-adhesive portion 38a to each protective film 30.

제 1 및 제 2 라벨 접착 기구(40a,40b)의 하류에는 각 감광성 웹(22a,22b)을 택트 송출로부터 연속 송출로 변경하기 위한 제 1 및 제 2 리저버 기구(42a,42b)와, 각 감광성 웹(22a,22b)으로부터 보호 필름(30)을 소정의 길이 간격으로 박리시키는 제 1 및 제 2 박리 기구(44a,44b)와, 유리 기판(24)을 소정의 온도에서 가열한 상태로 부착 위치에 반송하는 기판 반송 기구(45)와, 상기 보호 필름(30)의 박리에 의해 노출된 감광성 수지층(28)을 상기 유리 기판(24)에 일체적 또한 병렬로 부착하는 부착 기구(46)가 배치된다.Downstream of the first and second label adhesive mechanisms 40a and 40b, the first and second reservoir mechanisms 42a and 42b for changing the respective photosensitive webs 22a and 22b from tact delivery to continuous delivery, and each photosensitive Attachment position in the state which heated the glass substrate 24 and the 1st and 2nd peeling mechanism 44a, 44b which peels the protective film 30 from the web 22a, 22b by a predetermined length space | interval. The attachment mechanism 46 which attaches the board | substrate conveyance mechanism 45 to convey to the photosensitive resin layer 28 exposed by peeling of the said protective film 30 integrally and in parallel to the said glass substrate 24 is Is placed.

부착 기구(46)에 있어서의 부착 위치의 상류 근방에는 각 감광성 웹(22a,22b)의 경계 위치인 각각의 하프 커트 부위(34)의 위치를 검출하는 제 1 및 제 2 검출 기구(위치 검출 수단)(47a,47b)가 배치된다.1st and 2nd detection mechanisms (position detection means) which detect the position of each half cut part 34 which is a boundary position of each photosensitive web 22a, 22b in the upstream vicinity of the attachment position in the attachment mechanism 46. ) 47a, 47b are disposed.

제 1 및 제 2 웹 송출 기구(32a,32b)의 하류 근방에는 대략 사용이 완료된 감광성 웹(22a,22b)의 후단과, 새롭게 사용되는 감광성 웹(22a,22b)의 선단을 부착하는 각각의 부착대(49)가 배치된다. 부착대(49)의 하류에는 감광성 웹 롤(23a,23b)이 어긋나게 감아지는 것에 의한 폭 방향의 어긋남을 제어하기 위해 필름 단말 위치 검출기(51)가 배치된다. 여기서, 필름 단말 위치 조정은 제 1 및 제 2 웹 송출 기구(32a,32b)를 폭 방향으로 이동시켜서 행하지만, 롤러를 조합시킨 위치 조정 기구를 부설해서 행해도 좋다. 또한, 제 1 및 제 2 웹 송출 기구(32a,32b)는 감광성 웹 롤(23a,23b)을 장전해서 감광성 웹(22a,22b)을 풀어내는 풀림축을 2축 또는 3축 등의 다축으로 구성해도 좋다. In the vicinity of the downstream of the first and second web delivery mechanisms 32a and 32b, the respective attachments for attaching the rear ends of the photosensitive webs 22a and 22b which have been substantially used and the ends of the photosensitive webs 22a and 22b newly used are attached. Stand 49 is arranged. Downstream of the mounting table 49, a film terminal position detector 51 is disposed to control the shift in the width direction due to the photosensitive web rolls 23a and 23b being wound off. Here, although film terminal position adjustment is performed by moving the 1st and 2nd web delivery mechanisms 32a and 32b to a width direction, you may install the position adjustment mechanism which combined the roller. Moreover, even if the 1st and 2nd web sending mechanism 32a, 32b loads the photosensitive web roll 23a, 23b, and the unwinding axis which unwinds the photosensitive web 22a, 22b is comprised by multi-axis, such as 2 or 3 axes, good.

제 1 및 제 2 가공 기구(36a,36b)는 제 1 및 제 2 웹 송출 기구(32a,32b)에 수용 권회되어 있는 각 감광성 웹 롤(23a,23b)의 롤 지름을 산출하기 위한 1쌍의 롤러(50) 하류에 배치된다. 제 1 및 제 2 가공 기구(36a,36b)는 각각 단일의 둥근 날(52)을 구비하고, 이 둥근 날(52)은 감광성 웹(22a,22b)의 폭 방향으로 주행해서 보호 필름(30)의 잔존 부분(30b)(도 2)을 사이에 둔 소정의 2군데의 위치에 하프 커트 부위(34)를 형성한다.The 1st and 2nd processing mechanism 36a, 36b is a pair of pair for calculating the roll diameter of each photosensitive web roll 23a, 23b accommodated in the 1st and 2nd web delivery mechanism 32a, 32b. The roller 50 is disposed downstream. Each of the first and second processing mechanisms 36a and 36b includes a single round blade 52, which travels in the width direction of the photosensitive webs 22a and 22b to protect the protective film 30. The half cut portions 34 are formed at two predetermined positions with the remaining portions 30b (FIG. 2) in between.

도 2에 나타내는 바와 같이 하프 커트 부위(34)는 적어도 보호 필름(30) 및 감광성 수지층(28)을 절단할 필요가 있고, 실제상 베이스 필름(26)까지 잘리도록 둥근 날(52)의 절개 깊이가 설정된다. 둥근 날(52)은 회전하지 않고 고정된 상태로 감광성 웹(22a,22b)의 폭 방향으로 이동해서 하프 커터 부위(34)를 형성하는 방식이나, 상기 감광성 웹(22a,22b)상을 미끄러지지 않고 회전하면서 상기 폭 방향으로 이동해서 상기 하프 커트 부위(34)를 형성하는 방식이 채용된다. 이 하프 커트 부위(34)는 둥근 날(52)에 대체해서 예를 들면 레이저광이나 초음파를 사용한 커트 방식 외 나이프날, 작두날(톰슨날) 등으로 형성하는 방식을 채용해도 좋다.As shown in FIG. 2, the half cut part 34 needs to cut | disconnect at least the protective film 30 and the photosensitive resin layer 28, and it cut | disconnects the round blade 52 so that it may actually be cut to the base film 26. As shown in FIG. The depth is set. The round blade 52 moves in the width direction of the photosensitive webs 22a and 22b in a fixed state without being rotated to form the half cutter portion 34, or does not slide on the photosensitive webs 22a and 22b. The method of moving in the width direction and forming the half cut portion 34 while rotating is employed. Instead of the round blade 52, this half cut part 34 may employ | adopt the method of forming by a knife blade, a small blade (thomson blade), etc. other than the cut system using a laser beam or an ultrasonic wave, for example.

또한, 제 1 및 제 2 가공 기구(36a,36b)는 각각 감광성 웹(22a,22b)의 반송 방향(화살표(A) 방향)으로 잔존 부분(30b)의 폭에 대응한 거리만큼 이간해서 2대 설치하고, 보호 필름(30)의 잔존 부분(30b)(도 2)을 사이에 두고 2개의 하프 커트 부위(34)를 동시에 형성해도 좋다.Further, the first and second processing mechanisms 36a and 36b are spaced apart from each other by a distance corresponding to the width of the remaining portion 30b in the conveyance direction (arrow A direction) of the photosensitive webs 22a and 22b, respectively. It may be provided, and two half cut portions 34 may be formed at the same time with the remaining portion 30b (FIG. 2) of the protective film 30 interposed therebetween.

하프 커트 부위(34)는 감광성 수지층(28)을 유리 기판(24)에 부착했을 때, 예를 들면 상기 유리 기판(24)의 양단부로부터 각각 10mm씩 내측으로 들어간 위치로 되도록 설정된다. 또한, 유리 기판(24) 사이의 보호 필름(30)의 잔존 부분(30b)은 후술하는 부착 기구(46)에 있어서 감광성 수지층(28)을 상기 유리 기판(24)에 액자 모양으로 부착할 때의 마스크로서 기능하는 것이다.The half cut part 34 is set so that when the photosensitive resin layer 28 is affixed on the glass substrate 24, it may be set to the position which entered 10 mm inward from each both ends of the said glass substrate 24, for example. In addition, when the remaining part 30b of the protective film 30 between the glass substrates 24 attaches the photosensitive resin layer 28 to the said glass substrate 24 in a frame shape in the attachment mechanism 46 mentioned later, It functions as a mask of.

제 1 및 제 2 라벨 접착 기구(40a,40b)는 유리 기판(24) 사이에 대응해서 보호 필름(30)의 잔존 부분(30b)을 남기므로, 박리측 전방의 박리 부분(30aa)과 박리측 후방의 박리 부분(30ab)을 연결하는 접착 라벨(38)을 공급한다. 도 2에 나타내는 바와 같이 보호 필름(30)은 잔존 부분(30b)을 사이에 두고, 먼저 박리되는 부분을 전방의 박리 부분(30aa)이라고 하는 한편, 후에 박리되는 부분을 후방의 박리 부분(30ab)이라고 한다.Since the 1st and 2nd label adhesion mechanism 40a, 40b leaves the remaining part 30b of the protective film 30 correspondingly between the glass substrates 24, the peeling part 30aa of the peeling side front, and the peeling side The adhesive label 38 which connects the back peeling part 30ab is supplied. As shown in FIG. 2, the protective film 30 has the remaining part 30b in between, and the part peeled first is called the front peeling part 30aa, and the part peeled after is called the rear peeling part 30ab. It is called.

도 3에 나타내는 바와 같이 접착 라벨(38)은 직사각형 모양으로 구성되어 있고, 예를 들면 보호 필름(30)과 동일한 수지재로 형성된다. 접착 라벨(38)은 중앙부에 점착제가 도포되지 않은 비접착부(미점착을 포함한다)(38a)를 갖는 것과 아울러 이 비접착부(38a)의 양측, 즉 상기 접착 라벨(38)의 길이 방향 양단부에 전방의 박리 부분(30aa)에 접착되는 제 1 접착부(38b)와 후방의 박리 부분(30ab)에 접착되는 제 2 접착부(38c)를 갖는다.As shown in FIG. 3, the adhesive label 38 is comprised in rectangular shape, for example, is formed with the same resin material as the protective film 30. As shown in FIG. The adhesive label 38 has a non-adhesive portion (including non-adhesive) 38a to which a pressure-sensitive adhesive is not applied at the center, and on both sides of the non-adhesive portion 38a, that is, at both ends in the longitudinal direction of the adhesive label 38. It has the 1st adhesion part 38b adhering to the front peeling part 30aa, and the 2nd adhesion part 38c adhering to the back peeling part 30ab.

도 1 에 나타내는 바와 같이 제 1 및 제 2 라벨 접착 기구(40a,40b)는 각각 최대 7장의 접착 라벨(38)을 소정 간격씩 이간해서 부착할 수 있는 흡착 패드(54a~54g)를 구비함과 아울러, 상기 흡착 패드(54a~54g)에 의한 상기 접착 라벨(38)의 부착 위치에는 감광성 웹(22a,22b)을 하방으로부터 유지하기 위한 받침대(56)가 승강 가능하게 배치된다.As shown in FIG. 1, the first and second label adhesion mechanisms 40a and 40b each include adsorption pads 54a to 54g to which a maximum of seven adhesive labels 38 can be attached at predetermined intervals. In addition, at the attachment position of the adhesive label 38 by the suction pads 54a to 54g, a pedestal 56 for holding the photosensitive webs 22a and 22b from below is provided to be liftable.

제 1 및 제 2 리저버 기구(42a,42b)는 상류측의 감광성 웹(22a,22b)의 택트 반송과, 하류측의 상기 감광성 웹(22a,22b)의 연속 반송의 속도차를 흡수하기 위해 화살표 방향으로 요동 가능한 댄서 롤러(60)를 구비한다. 제 2 리저버 기구(42b)에는 제 1 및 제 2 웹 송출 기구(32a,32b)로부터 송출되는 각 감광성 웹(22a,22b)이 부착 기구(46)에 이르기까지의 각 반송로 길이를 동일하게 조정하기 위한 댄서 롤러(61)가 배치된다.The first and second reservoir mechanisms 42a and 42b are arrows for absorbing the speed difference between the tact conveyance of the upstream photosensitive webs 22a and 22b and the continuous conveyance of the downstream photosensitive webs 22a and 22b. The dancer roller 60 which can rock in the direction is provided. In the 2nd reservoir mechanism 42b, each photosensitive web 22a, 22b sent out from the 1st and 2nd web delivery mechanism 32a, 32b adjusts each conveyance path length to the attachment mechanism 46 equally. The dancer roller 61 for carrying out is arrange | positioned.

제 1 및 제 2 리저버 기구(42a,42b)의 하류에 배치되는 제 1 및 제 2 박리 기구(44a,44b)는 각각 감광성 웹(22a,22b)의 송출측의 텐션 변동을 차단하고, 라미네이트시의 텐션을 안정화시키기 위한 석션 드럼(62)을 구비한다. 각 석션 드럼(62)의 근방에는 박리 롤러(63)가 배치됨과 아울러, 이 박리 롤러(63)를 통해서 감광성 웹(22a,22b)으로부터 예각의 박리각으로 박리되는 보호 필름(30)은 잔존 부분(30b)을 제외하고 각각 보호 필름 와인딩부(64)에 와인딩된다.The first and second peeling mechanisms 44a and 44b disposed downstream of the first and second reservoir mechanisms 42a and 42b respectively block the tension fluctuations on the outgoing side of the photosensitive webs 22a and 22b, respectively. A suction drum 62 is provided to stabilize the tension of the device. The peeling roller 63 is arrange | positioned in the vicinity of each suction drum 62, and the protective film 30 peeled at the acute peeling angle from the photosensitive webs 22a and 22b through this peeling roller 63 is a residual part. Each of the protective film windings 64 is wound except for 30b.

제 1 및 제 2 박리 기구(44a,44b)의 하류측에는 감광성 웹(22a,22b)에 텐션을 부여할 수 있는 제 1 및 제 2 텐션 제어 기구(66a,66b)가 배치된다. 제 1 및 제 2 텐션 제어 기구(66a,66b)는 각각 실린더(68)를 구비하고, 상기 실린더(68)의 구동 작용하에 각각 텐션 댄서(70)가 요동 변위함으로써 각 텐션 댄서(70)가 미끄럼 접촉하는 감광성 웹(22a,22b)의 텐션을 조정할 수 있다. 또한, 제 1 및 제 2 텐션 제어 기구(66a,66b)는 필요에 따라서 사용하면 좋고, 삭제할 수도 있다.On the downstream side of the first and second peeling mechanisms 44a and 44b, first and second tension control mechanisms 66a and 66b, which can apply tension to the photosensitive webs 22a and 22b, are disposed. The first and second tension control mechanisms 66a and 66b have cylinders 68, respectively, and the tension dancers 70 are slid and displaced under the driving action of the cylinders 68, respectively. The tension of the photosensitive webs 22a and 22b in contact can be adjusted. In addition, the 1st and 2nd tension control mechanism 66a, 66b may be used as needed, and can also be deleted.

하프 커트 부위(34)의 위치를 검출하는 제 1 및 제 2 검출 기구(47a,47b)는 도 4에 나타내는 바와 같이 반송 롤러(73)와 반송 롤러(71a,71b) 사이의 긴 감광성 웹(22a,22b)이 직선상으로 이루어지는 부분에 배치되어 있고, 도 5에 나타내는 바와 같이 긴 감광성 웹(22a,22b)의 반송 방향으로 연장하는 검출 영역을 갖는 이차원 센서인 예를 들면 CCD카메라(검출부)(72a,72b)와, 감광성 웹(22a,22b)을 통해서 CCD카메라(72a,72b)에 대향 배치되어 조명광을 긴 감광성 웹(22a,22b)에 조사하는 이차원 광원(69a,69b)을 구비한다.The 1st and 2nd detection mechanism 47a, 47b which detects the position of the half cut part 34 is the long photosensitive web 22a between the conveyance roller 73 and the conveyance rollers 71a, 71b as shown in FIG. For example, a CCD camera (detection part) which is arrange | positioned in the linear part and has a detection area which extends in the conveyance direction of the long photosensitive web 22a, 22b as shown in FIG. 72a and 72b, and two-dimensional light sources 69a and 69b which are disposed opposite the CCD cameras 72a and 72b via the photosensitive webs 22a and 22b and irradiate the long photosensitive webs 22a and 22b with illumination light.

CCD카메라(72a,72b)는 상기 검출 영역을 형성하는 복수의 검출 화소를 갖는다. CCD카메라(72a,72b)는 긴 감광성 웹(22a,22b)의 반송 방향에 대한 하프 커트 부위(34)의 위치를 검출할 수 있는 것이면 좋고, 따라서 복수의 검출 화소가 상기 반송 방향으로 배열된 일차원 센서로 구성할 수도 있다. 또한, 이차원 광원(69a,69b)으로부터 출력되는 조명광은 감광성 수지층(28)을 감광하지 않는 파장으로 이루어지는 광, 예를 들면 적색광으로 한다.The CCD cameras 72a and 72b have a plurality of detection pixels forming the detection area. The CCD cameras 72a and 72b should be capable of detecting the position of the half cut portion 34 with respect to the conveying direction of the long photosensitive webs 22a and 22b, so that a plurality of detection pixels are arranged in the conveying direction. It can also be configured as a sensor. In addition, the illumination light output from the two-dimensional light sources 69a and 69b is made of light having a wavelength at which the photosensitive resin layer 28 is not exposed, for example, red light.

CCD카메라(72a,72b)의 검출 영역의 기준 위치에는 부착 기구(46)를 구성하는 고무 롤러(80a,80b)의 위치를 기준으로 해서 위치 결정된 기준편(67a,67b)이 배치된다. 구체적으로는 도 4에 나타내는 바와 같이 예를 들면 유리 기판(24)에 부착된 선행하는 감광성 수지층(28) 후단부의 하프 커터 부위(34)가 고무 롤러(80a,80b)의 중심선상에 위치하고 있을 때, 상기 후단부의 하프 커트 부위(34)로부터 후행하는 다음의 감광성 수지층(28) 후단부의 하프 커트 부위(34)까지의 기준 길이(L)로 되는 위치에 각 기준편(67a,67b)이 배치된다. 이 경우, 기준 길이(L)는 유리 기판(24)에 부착되는 감광성 수지층(28)의 설계상의 길이이다.Reference pieces 67a and 67b positioned on the basis of the positions of the rubber rollers 80a and 80b constituting the attachment mechanism 46 are arranged at the reference positions of the detection regions of the CCD cameras 72a and 72b. Specifically, as shown in FIG. 4, for example, the half cutter portion 34 at the rear end of the preceding photosensitive resin layer 28 attached to the glass substrate 24 is positioned on the center lines of the rubber rollers 80a and 80b. When each reference piece 67a, 67b becomes a reference length L from the half cut part 34 of the rear end to the half cut part 34 of the rear end of the next photosensitive resin layer 28 which follows. Is placed. In this case, the reference length L is the design length of the photosensitive resin layer 28 attached to the glass substrate 24.

또한, 제 1 및 제 2 검출 기구(47a,47b)는 긴 감광성 웹(22a,22b)의 반송로에 따라 도 5에 나타내는 화살표 방향으로 이동할 수 있게 구성함으로써 다른 기준 길이(L)에 대응해서 기준편(67a,67b)의 위치를 조정할 수 있다. 또한, 하프 커트 부위(34)의 기준 위치를 나타내는 기준편(67a,67b)의 위치를 CCD카메라(72a,72b)의 검출 영역내에서 기준 길이(L)에 대응해서 조정할 수 있게 해도 좋다. 또한, 기준편(67a,67b)을 사용하는 대신에 CCD카메라(72a,72b)를 구성하는 검출 화소를 특정해 그 검출 화소의 위치를 기준 위치로 해도 좋다.Further, the first and second detection mechanisms 47a and 47b are configured to be movable in the direction of the arrow shown in FIG. 5 along the conveyance paths of the long photosensitive webs 22a and 22b, so as to correspond to other reference lengths L. The positions of the pieces 67a and 67b can be adjusted. In addition, you may make it possible to adjust the position of the reference piece 67a, 67b which shows the reference position of the half cut part 34 corresponding to the reference length L in the detection area of CCD camera 72a, 72b. Instead of using the reference pieces 67a and 67b, detection pixels constituting the CCD cameras 72a and 72b may be specified and the positions of the detection pixels may be referred to as reference positions.

기판 반송 기구(45)는 유리 기판(24)을 끼우도록 배치되는 복수조의 기판 가열부(예를 들면 히터)(74)와, 이 유리 기판(24)을 화살표(C) 방향으로 반송하는 반송부(76)를 구비한다. 기판 가열부(74)에서는 유리 기판(24)의 온도를 상시 감시하고, 이상시에는 반송부(76)의 정지나 경보를 발생시킴과 아울러, 이상 정보를 발신해서 이상한 유리 기판(24)을 후공정에서 NG배출, 품질 관리 또는 생산 관리 등에 활용할 수 있다. 반송부(76)에는 도시하지 않은 에어 부상 플레이트가 배치되고, 유리 기판(24)이 부상되서 화살표(C) 방향으로 반송된다. 유리 기판(24)의 반송은 롤러 컨베이어에서도 행할 수 있다.The board | substrate conveyance mechanism 45 is a conveyance part which conveys the several board | substrate heating part (for example, heater) 74 arrange | positioned so that the glass substrate 24 may be fitted, and this glass substrate 24 in the arrow C direction. 76 is provided. The substrate heating unit 74 constantly monitors the temperature of the glass substrate 24, and in the case of abnormality, stops or alarms the conveying unit 76, and transmits abnormal information to post-process the abnormal glass substrate 24. Can be used for NG emissions, quality control or production control. The air floating plate which is not shown in figure is arrange | positioned at the conveyance part 76, and the glass substrate 24 floats and is conveyed in the arrow C direction. The conveyance of the glass substrate 24 can also be performed by a roller conveyor.

유리 기판(24)의 온도 측정은 기판 가열부(74)내 또는 부착 위치 바로 앞에서 행하는 것이 바람직하다. 측정 방법으로서는 접촉식(예를 들면 열전대) 외 비접 촉식이라도 좋다.It is preferable to perform temperature measurement of the glass substrate 24 in the board | substrate heating part 74 or just before an attachment position. As a measuring method, a contact type (for example, a thermocouple) other than a non-contact type may be sufficient.

기판 가열부(74)의 상류에는 복수의 유리 기판(24)이 수용되는 기판 스토커(71)가 형성된다. 이 기판 스토커(71)에 수용되어 있는 각 유리 기판(24)은 로봇(75)의 핸드부(75a)에 설치된 흡착 패드(79)에 흡착되어 꺼내져 기판 가열부(74)에 삽입된다.The substrate stocker 71 in which the plurality of glass substrates 24 are accommodated is formed upstream of the substrate heating unit 74. Each glass substrate 24 accommodated in this substrate stocker 71 is adsorbed by the suction pad 79 provided in the hand part 75a of the robot 75, is taken out, and is inserted in the substrate heating part 74. As shown in FIG.

부착 기구(46)는 상하로 배치됨과 아울러, 소정 온도로 가열되는 고무 롤러(압착 롤러)(80a,80b)를 구비한다. 고무 롤러(80a,80b)에는 백업 롤러(82a,82b)가 미끄럼 접촉된다. 한쪽의 백업 롤러(82b)는 롤러 클램프부(83)를 구성하는 가압 실린더(84a,84b)에 의해 고무 롤러(80b)측에 압압된다.The attachment mechanism 46 is provided up and down, and is provided with the rubber rollers (compression roller) 80a, 80b heated to predetermined temperature. The backup rollers 82a and 82b are in sliding contact with the rubber rollers 80a and 80b. One backup roller 82b is pressed against the rubber roller 80b side by the pressurizing cylinders 84a and 84b constituting the roller clamp portion 83.

고무 롤러(80a)의 근방에는 감광성 웹(22a,22b)이 상기 고무 롤러(80a)에 접촉하는 것을 방지하기 위한 접촉 방지 롤러(86)가 이동 가능하게 설치된다. 부착 기구(46)의 상류 근방에는 감광성 웹(22a,22b)을 미리 소정 온도에서 예비 가열하기 위한 예비 가열부(87)가 배치된다. 이 예비 가열부(87)는 예를 들면 적외선 바 히터 등의 가열 수단을 구비한다.In the vicinity of the rubber roller 80a, a contact preventing roller 86 for preventing the photosensitive webs 22a and 22b from contacting the rubber roller 80a is provided to be movable. In the upstream vicinity of the attachment mechanism 46, the preheat part 87 for preheating the photosensitive webs 22a and 22b at a predetermined temperature is arranged. This preliminary heating part 87 is provided with heating means, such as an infrared bar heater, for example.

유리 기판(24)은 부착 기구(46)로부터 화살표(C) 방향으로 연장되는 반송로(88)를 통해서 반송된다. 이 반송로(88)에는 필름 반송 롤러(90a,90b) 및 기판 반송 롤러(92)가 배치된다. 고무 롤러(80a,80b)와 기판 반송 롤러(92)의 간격은 유리 기판(24) 1장분의 길이 이하로 설정되는 것이 바람직하다. 기판 반송 롤러(92)의 하류측 근방에는 반송된 유리 기판(24)의 선단부를 검지하는 기판 선단 검지 센서(94)가 배치된다. 기판 선단 검지 센서(94)는 유리 기판(24)에 부착된 감광성 수 지층(28)의 후단부인 하프 커트 부위(34)가 부착 기구(46)의 고무 롤러(80a,80b) 사이에 배치되었을 때 유리 기판(24)의 선단부를 검지하는 위치에 배치된다.The glass substrate 24 is conveyed through the conveyance path 88 extended from the attachment mechanism 46 to the arrow C direction. The film conveyance rollers 90a and 90b and the substrate conveyance roller 92 are arrange | positioned at this conveyance path 88. As shown in FIG. It is preferable that the space | interval of the rubber rollers 80a and 80b and the board | substrate conveyance roller 92 is set to below the length of one piece of glass substrate 24. In the vicinity of the downstream side of the board | substrate conveyance roller 92, the board | substrate front end detection sensor 94 which detects the front end of the conveyed glass substrate 24 is arrange | positioned. The substrate tip detection sensor 94 has a half cut portion 34, which is a rear end portion of the photosensitive resin layer 28 attached to the glass substrate 24, disposed between the rubber rollers 80a and 80b of the attachment mechanism 46. It is arrange | positioned in the position which detects the front end part of the glass substrate 24.

또한, 기판 반송 롤러(92)의 하류에는 냉각 기구(122)와 베이스 자동 박리 기구(142)가 설치된다. 베이스 자동 박리 기구(142)는 소정 간격씩 이간하는 각 유리 기판(24)에 부착되어 있는 긴 베이스 필름(26)을 연속해서 박리하는 것이고, 프리 박리부(144)와 비교적 작은 지름인 박리 롤러(146)와, 와인딩 축(148)과, 자동부착 축(150)을 구비하고 있다. 와인딩 축(148)은 구동시에 토크 제어해서 베이스 필름(26)에 장력을 부여하는 한편, 예를 들면 박리 롤러(146)에 장력 검출기(도시생략)를 설치함으로써, 장력의 피드백 제어를 행하는 것이 바람직하다. 프리 박리부(144)는 유리 기판(24) 사이에서 승강 가능한 박리바(156)를 구비한다.Further, a cooling mechanism 122 and a base automatic peeling mechanism 142 are provided downstream of the substrate transfer roller 92. The base automatic peeling mechanism 142 continuously peels the long base film 26 attached to each glass substrate 24 spaced at predetermined intervals, and the peeling roller having a relatively small diameter with the free peeling portion 144 ( 146, a winding shaft 148, and an automatic mounting shaft 150 are provided. The winding shaft 148 is torque-controlled at the time of driving to impart tension to the base film 26, and for example, it is preferable to perform feedback control of tension by providing a tension detector (not shown) on the peeling roller 146. Do. The free peeling part 144 is provided with the peeling bar 156 which can be raised and lowered between the glass substrates 24.

베이스 자동 박리 기구(142)의 하류에는 유리 기판(24)에 실제로 부착된 감광성 수지층(28)의 에어리어 위치를 측정하는 측정기(158)가 배치된다. 이 측정기(158)는 예를 들면 감광성 수지층(28)이 부착된 유리 기판(24)을 촬영하는 CCD 등의 카메라(160)를 구비한다.Downstream of the base automatic peeling mechanism 142 is a measuring device 158 for measuring the area position of the photosensitive resin layer 28 actually attached to the glass substrate 24. The measuring device 158 includes a camera 160 such as a CCD for photographing the glass substrate 24 with the photosensitive resin layer 28 attached thereto.

또한, 베이스 자동 박리 기구(142)의 하류에는 측정기(158)에 의해 감광성 수지층(28)에 에어리어 위치가 측정된 복수의 감광성 적층체(106)가 수용되는 감광성 적층체 스토커(132)가 설치된다. 베이스 자동 박리 기구(142)로 베이스 필름(26) 및 잔존 부분(30b)이 박리된 감광성 적층체(106)는 로봇(134)의 핸드부(134a)에 설치된 흡착 패드(136)에 흡착되어 꺼내져 감광성 적층체 스토커(132)에 수용된다.Further, downstream of the base automatic peeling mechanism 142, a photosensitive laminate stocker 132 in which a plurality of photosensitive laminates 106 whose area positions are measured is provided in the photosensitive resin layer 28 by a measuring instrument 158. do. The photosensitive laminated body 106 in which the base film 26 and the remaining part 30b were peeled off by the base automatic peeling mechanism 142 is absorbed by the adsorption pad 136 installed in the hand part 134a of the robot 134, and is taken out. It is accommodated in the photosensitive laminate stocker (132).

또한, 이상과 같이 구성되는 제조 장치(20)에서는 제 1 및 제 2 웹 송출 기구(32a,32b), 제 1 및 제 2 가공 기구(36a,36b), 제 1 및 제 2 라벨 접착 기구(40a,40b), 제 1 및 제 2 리저버 기구(42a,42b), 제 1 및 제 2 박리 기구(44a,44b), 제 1 및 제 2 텐션 제어 기구(66a,66b)및 제 1 및 제 2 검출 기구(47a,47b)가 부착 기구(46)의 상방에 배치되어 있지만, 이것과는 반대로 상기 제 1 및 제 2 웹 송출 기구(32a,32b)로부터 상기 제 1 및 제 2 검출 기구(47a,47b)까지를 상기 부착 기구(46)의 하방에 배치하고, 감광성 웹(22a,22b)의 상하가 반대로 되서 감광성 수지층(28)이 유리 기판(24)의 하측에 부착되어도 좋고, 또, 상기 제조 장치(20) 전체를 직선상으로 구성해도 좋다.Moreover, in the manufacturing apparatus 20 comprised as mentioned above, the 1st and 2nd web sending mechanism 32a, 32b, the 1st and 2nd processing mechanisms 36a, 36b, and the 1st and 2nd label adhesion mechanism 40a 40b), first and second reservoir mechanisms 42a and 42b, first and second peeling mechanisms 44a and 44b, first and second tension control mechanisms 66a and 66b, and first and second detection Although the mechanisms 47a and 47b are disposed above the attachment mechanism 46, the first and second detection mechanisms 47a and 47b are reversed from the first and second web delivery mechanisms 32a and 32b. ) May be disposed below the attachment mechanism 46, and the upper and lower sides of the photosensitive webs 22a and 22b may be reversed to attach the photosensitive resin layer 28 to the lower side of the glass substrate 24. You may comprise the whole apparatus 20 in linear form.

도 1에 나타내는 바와 같이 제조 장치(20)는 라미네이트 공정 제어부(100)에 의해 전체가 제어되어 있고, 이 제조 장치(20)의 각 기능부마다 예를 들면 라미네이트 제어부(102), 기판 가열 제어부(104) 및 하프 커트 제어부(108) 등이 설치되고, 이들이 공정내 네트워크에 의해 상호 접속되어 있다. 또한, 라미네이트 공정 제어부(100)는 공장 네트워크에 접속되어 있고, 도시하지 않은 공장 CPU로부터의 지시 정보(조건 설정이나 생산 정보)의 생산 관리나 가동 관리 등, 생산을 위한 정보 처리를 행한다.As shown in FIG. 1, the whole manufacturing apparatus 20 is controlled by the lamination process control part 100, For example, for each functional part of this manufacturing apparatus 20, the laminate control part 102 and the board | substrate heating control part ( 104, a half cut control unit 108, and the like are provided, and they are interconnected by an in-process network. Moreover, the lamination process control part 100 is connected to a factory network, and performs information processing for production, such as production management and operation management of instruction | indication information (condition setting and production information) from the factory CPU which are not shown in figure.

기판 가열 제어부(104)는 상류 공정으로부터 유리 기판(24)을 받아들여, 이 유리 기판(24)을 원하는 온도까지 가열해서 부착 기구(46)에 공급하는 동작 및 상기 유리 기판(24)의 정보 핸들링 등을 제어한다.The substrate heating control part 104 receives the glass substrate 24 from an upstream process, heats this glass substrate 24 to a desired temperature, and supplies it to the attachment mechanism 46, and the information handling of the glass substrate 24. And so on.

라미네이트 제어부(102)는 공정 전체의 마스터로서 각 기구부의 제어를 행하 는 것이며 제 1 및 제 2 검출 기구(47a,47b)에 의해 검출된 감광성 웹(22a,22b)의 하프 커트 부위(34)의 위치 정보에 의거하여 부착 위치에 있어서의 각 경계 위치와 유리 기판(24)의 상대 위치 및 각 경계 위치끼리의 상대 위치를 제어할 수 있는 제어 기구를 구성하고 있다.The laminate control unit 102 controls each mechanism unit as the master of the whole process, and the half cut portion 34 of the photosensitive webs 22a and 22b detected by the first and second detection mechanisms 47a and 47b. Based on the positional information, a control mechanism capable of controlling the relative position of each boundary position and the glass substrate 24 and the relative position of each boundary position in the attachment position is configured.

하프 커트 제어부(108)는 제 1 및 제 2 가공 기구(36a,36b)를 제어하고, 감광성 웹(22a,22b)의 소정 위치에 하프 커트 부위(34)를 형성한다.The half cut control part 108 controls the 1st and 2nd processing mechanisms 36a and 36b, and forms the half cut part 34 in the predetermined position of the photosensitive webs 22a and 22b.

도 6은 라미네이트 공정 제어부(100), 라미네이트 제어부(102) 및 하프 커트 제어부(108)에 의한 하프 커트 부위(34)의 위치 어긋남을 보정하는 기구의 구성 블록을 나타낸다.FIG. 6: shows the structural block of the mechanism which correct | amends the positional shift of the half cut part 34 by the lamination process control part 100, the lamination control part 102, and the half cut control part 108. As shown in FIG.

이 경우, 라미네이트 공정 제어부(100)는 유리 기판(24)의 선단부가 기판 선단 검지 센서(94)에 의해 검지되었을 때, CCD카메라(72a,72b)에 의해 촬영한 검출 영역의 화상에 의거하여 기준편(67a,67b)의 선단부의 기준 위치에 대한 각 감광성 웹(22a,22b)의 하프 커트 부위(34)의 위치 어긋남량(△La,△Lb 및 △Ma,△Mb)을 산출하는 위치 어긋남량 산출부(산출부)(120)를 갖는다. 또한, 위치 어긋남량(△La,△Lb)은 유리 기판(24)에 부착된 감광성 수지층(28)의 후단부에 배치되는 하프 커트 부위(34)의 위치 어긋남량이고, 위치 어긋남량(△Ma,△Mb)은 유리 기판(24)에 부착된 감광성 수지층(28) 전단부에 배치되는 하프 커트 부위(34)의 위치 어긋남량이다.In this case, the lamination process control part 100 is based on the image of the detection area | region image | photographed by CCD camera 72a, 72b, when the tip part of the glass substrate 24 is detected by the board | substrate tip detection sensor 94. Position shift that calculates positional shift amounts? La,? Lb and? Ma,? Mb of the half cut portions 34 of the photosensitive webs 22a, 22b with respect to the reference positions of the tip portions of the pieces 67a, 67b. It has a quantity calculation unit (calculation unit) 120. In addition, the position shift amount (DELTA) La, (DELTA) Lb is a position shift amount of the half cut part 34 arrange | positioned at the rear end of the photosensitive resin layer 28 attached to the glass substrate 24, and a position shift amount ((triangle | delta) L Ma and (DELTA) Mb are displacement amounts of the half cut part 34 arrange | positioned at the front end part of the photosensitive resin layer 28 attached to the glass substrate 24. As shown in FIG.

라미네이트 제어부(102)는 위치 어긋남량 산출부(120)에 의해 산출된 하프 커트 부위(34)의 위치 어긋남량(△La,△Lb 및 △Ma,△Mb)에 의거하여 유리 기 판(24)에 부착되는 감광성 수지층(28)의 송출량을 제어하는 라미네이트 제어 펄스를 보정하고, 또한 유리 기판(24) 사이에서의 보호 필름(30) 잔존 부분(30b)의 송출량을 제어하는 기판간 송출 제어 펄스를 보정하는 제어 펄스 보정부(123)와, 보정된 라미네이트 제어 펄스 또는 기판간 송출 제어 펄스에 따라서 고무 롤러(80a)를 회전시키는 롤러 구동 모터(124)를 제어하는 롤러 제어부(126)를 갖는다.The laminate control unit 102 uses the glass substrate 24 on the basis of the positional displacement amounts ΔLa, ΔLb, and ΔMa, ΔMb of the half cut portion 34 calculated by the positional displacement amount calculation unit 120. The inter-substrate delivery control pulse which corrects the lamination control pulse which controls the delivery amount of the photosensitive resin layer 28 adhering to it, and also controls the delivery amount of the protective film 30 remaining part 30b between the glass substrates 24. And a roller control unit 126 for controlling the roller drive motor 124 for rotating the rubber roller 80a in accordance with the corrected laminate control pulse or inter-substrate delivery control pulse.

하프 커터 제어부(108)는 위치 어긋남량 산출부(120)에 의해 산출된 하프 커트 부위(34)의 위치 어긋남량(△La,△Lb 또는 △Ma,△Mb)이 소정의 허용량을 초과하고 있을 때, 상기 위치 어긋남량(△La,△Lb 또는 △Ma,△Mb)에 의거하여 제 1 및 제 2 가공 기구(36a,36b)에 의한 하프 커트 부위(34)의 위치를 보정하는 하프 커트 위치 보정부(128)를 갖는다.The half cutter control unit 108 may determine that the position shift amount? La,? Lb or? Ma,? Mb of the half cut portion 34 calculated by the position shift amount calculation unit 120 exceeds a predetermined allowable amount. At this time, the half cut position which corrects the position of the half cut part 34 by the 1st and 2nd processing mechanisms 36a and 36b based on the said position shift amount (DELTA) La, (DELTA) L, or (DELTA) Ma and (DELTA) Mb. It has a correction unit 128.

제조 장치(20)내는 칸막이벽(110)을 통해서 제 1 클린 룸(112a)과 제 2 클린 룸(112b)으로 구획된다. 제 1 클린 룸(112a)에는 제 1 및 제 2 웹 송출 기구(32a,32b)부터 제 1 및 제 2 텐션 제어 기구(66a,66b)까지가 수용됨과 아울러, 제 2 클린 룸(112b)에는 제 1 및 제 2 검출 기구(47a,47b) 이후가 수용된다. 제 1 클린 룸(112a)과 제 2 클린 룸(112b)은 관통부(114)를 통해서 연통된다.The manufacturing apparatus 20 is partitioned into the first clean room 112a and the second clean room 112b through the partition wall 110. The first clean room 112a accommodates the first and second web delivery mechanisms 32a and 32b to the first and second tension control mechanisms 66a and 66b, and the second clean room 112b includes a first clean room 112b. After the first and second detection mechanisms 47a and 47b are accommodated. The first clean room 112a and the second clean room 112b communicate with each other through the through part 114.

이상과 같이 구성된 제조 장치(20)의 동작에 대해서 본 발명에 따른 제조 방법과 관련해서 이하에 설명한다.The operation of the manufacturing apparatus 20 configured as described above will be described below with respect to the manufacturing method according to the present invention.

우선, 제 1 및 제 2 웹 송출 기구(32a,32b)에 부착되어 있는 각 감광성 웹 롤(23a,23b)로부터 감광성 웹(22a,22b)이 송출된다. 감광성 웹(22a,22b)은 제 1 및 제 2 가공 기구(36a,36b)에 반송된다.First, the photosensitive webs 22a and 22b are sent out from the photosensitive web rolls 23a and 23b attached to the first and second web delivery mechanisms 32a and 32b. The photosensitive webs 22a and 22b are conveyed to the first and second processing mechanisms 36a and 36b.

제 1 및 제 2 가공 기구(36a,36b)에서는 둥근 날(52)이 감광성 웹(22a,22b)의 폭 방향으로 이동하여 상기 감광성 웹(22a,22b)을 보호 필름(30)으로부터 감광성 수지층(28) 내지 베이스 필름(26)까지 잘라서 하프 커트 부위(34)를 형성한다(도 2 참조). 또한, 감광성 웹(22a,22b)은 보호 필름(30) 잔존 부분(30b)의 폭(M)에 대응해서 화살표(A) 방향으로 반송된 후에 정지되어, 둥근 날(52)의 주행 작용하에 하프 커트 부위(34)가 형성된다. 이에 따라 감광성 웹(22a,22b)에는 잔존 부분(30b)을 사이에 두고 전방의 박리 부분(30aa)과 후방의 박리 부분(30ab)이 형성된다(도 2 참조).In the first and second processing mechanisms 36a and 36b, the round blade 52 moves in the width direction of the photosensitive webs 22a and 22b to move the photosensitive webs 22a and 22b from the protective film 30 to the photosensitive resin layer. Half cut portions 34 are formed by cutting from 28 to base film 26 (see Fig. 2). In addition, the photosensitive webs 22a and 22b are stopped after being conveyed in the direction of the arrow A corresponding to the width M of the remaining portion 30b of the protective film 30, and are half under the running action of the round blade 52. The cut portion 34 is formed. Accordingly, the front peeling part 30aa and the rear peeling part 30ab are formed in the photosensitive webs 22a and 22b with the remaining part 30b interposed therebetween (see FIG. 2).

또한, 잔존 부분(30b)의 폭(M)은 감광성 웹(22a,22b)이 연장되지 않는 것을 전제로 해서 부착 기구(46)의 고무 롤러(80a,80b) 사이에 공급되는 유리 기판(24) 사이의 거리를 기준으로 해서 설정되는 것으로 한다. 또한, 폭(M)으로 형성되는 1쌍의 하프 커트 부위(34)는 유리 기판(24)에 부착되는 감광성 수지층(28)의 기준 길이(L) 간격으로 긴 감광성 웹(22a,22b)에 형성된다.In addition, the width M of the remaining portion 30b is provided with the glass substrate 24 supplied between the rubber rollers 80a and 80b of the attachment mechanism 46 on the premise that the photosensitive webs 22a and 22b do not extend. It shall be set based on the distance between them. Further, the pair of half cut portions 34 formed in the width M are formed on the long photosensitive webs 22a and 22b at intervals of the reference length L of the photosensitive resin layer 28 attached to the glass substrate 24. Is formed.

이어서, 각 감광성 웹(22a,22b)은 제 1 및 제 2 라벨 접착 기구(40a,40b)에 반송되어서, 보호 필름(30)의 소정의 부착 부위가 받침대(56)상에 배치된다. 제 1 및 제 2 라벨 접착 기구(40a,40b)에서는 소정 매수의 접착 라벨(38)이 흡착 패드(54b~54g)에 의해 흡착 유지되어, 각 접착 라벨(38)이 보호 필름(30)의 잔존 부분(30b)에 걸쳐져 전방의 박리 부분(30aa)과 후방의 박리부분(30ab)에 일체적으로 접착된다(도 3 참조).Subsequently, each photosensitive web 22a, 22b is conveyed to the 1st and 2nd label adhesion mechanism 40a, 40b, and the predetermined | prescribed attachment site of the protective film 30 is arrange | positioned on the base 56. As shown in FIG. In the first and second label adhesive mechanisms 40a and 40b, a predetermined number of adhesive labels 38 are adsorbed and held by the adsorption pads 54b to 54g, and each adhesive label 38 remains in the protective film 30. Over the part 30b, it adheres integrally to the front peeling part 30aa and the rear peeling part 30ab (refer FIG. 3).

예를 들면, 7장의 접착 라벨(38)이 접착된 감광성 웹(22a,22b)은 도 1에 나 타내는 바와 같이 제 1 및 제 2 리저버 기구(42a,42b)를 통해서 송출측의 텐션 변동을 막은 후, 제 1 및 제 2 박리 기구(44a,44b)에 연속적으로 반송된다. 제 1 및 제 2 박리 기구(44a,44b)에서는 감광성 웹(22a,22b)의 베이스 필름(26)이 석션 드럼(62)에 흡착 지지됨과 아울러, 보호 필름(30)이 잔존 부분(30b)을 남기고 상기 감광성 웹(22a,22b)으로부터 박리된다. 이 보호필름(30)은 박리 롤러(63)를 통해서 박리되어 보호 필름 와인딩부(64)에 와인딩된다.(도 1 참조).For example, the photosensitive webs 22a and 22b to which the seven adhesive labels 38 are adhered prevent the tension variation on the sending side through the first and second reservoir mechanisms 42a and 42b as shown in FIG. Then, it is conveyed continuously to the 1st and 2nd peeling mechanism 44a, 44b. In the first and second peeling mechanisms 44a and 44b, the base film 26 of the photosensitive webs 22a and 22b is adsorbed and supported by the suction drum 62, and the protective film 30 provides the remaining portion 30b. Leaving and peeling from the photosensitive webs 22a and 22b. This protective film 30 is peeled off through the peeling roller 63 and is wound on the protective film winding part 64 (refer FIG. 1).

제 1 및 제 2 박리 기구(44a,44b)의 작용하에 보호 필름(30)이 잔존 부분(30b)을 남기고 베이스 필름(26)으로부터 박리된 후, 감광성 웹(22a,22b)은 제 1 및 제 2 텐션 제어 기구(66a,66b)에 의해 텐션 조정이 행해지고, 이어서 제 1 및 제 2 검출 기구(47a,47b)에 있어서 하프 커트 부위(34)의 검출이 행해진다.Under the action of the first and second peeling mechanisms 44a and 44b, after the protective film 30 is peeled off from the base film 26 leaving the remaining portion 30b, the photosensitive webs 22a and 22b are first and secondly formed. Tension adjustment is performed by the two tension control mechanisms 66a and 66b, and then the half cut portion 34 is detected by the first and second detection mechanisms 47a and 47b.

제 1 및 제 2 검출 기구(47a,47b)를 구성하는 이차원 광원(69a,69b)으로부터 적색광인 조명광이 긴 감광성 웹(22a,22b)에 조사되어 그 투과광이 CCD카메라(72a,72b)에 유도됨으로써 하프 커트 부위(34)를 포함하는 긴 감광성 웹(22a,22b)의 화상과, 기준 위치에 배치된 기준편(67a,67b)의 화상이 촬상된다. 또한, 하프 커트 부위(34)는 긴 감광성 웹(22a,22b)으로부터 감광성 수지층(28)을 제거한 상태로 형성되어 있기 때문에, 휘도가 높은 하프 커트 부위(34)의 화상이 얻어진다. 위치 어긋남량 산출부(120)는 촬상된 화상에 의거하여 기준편(67a,67b)의 선단부에 대한 하프 커트 부위(34)의 위치 어긋남량(△La,△Lb)을 산출한다.Illumination light, which is red light, is irradiated from the two-dimensional light sources 69a and 69b constituting the first and second detection mechanisms 47a and 47b to the long photosensitive webs 22a and 22b, and the transmitted light is guided to the CCD cameras 72a and 72b. As a result, images of the long photosensitive webs 22a and 22b including the half cut portions 34 and images of the reference pieces 67a and 67b disposed at the reference position are picked up. In addition, since the half cut part 34 is formed in the state which removed the photosensitive resin layer 28 from the long photosensitive webs 22a and 22b, the image of the half cut part 34 with high luminance is obtained. The position shift amount calculation unit 120 calculates the position shift amounts? La and? Lb of the half cut portions 34 with respect to the tip portions of the reference pieces 67a and 67b based on the picked-up image.

이 경우, 도 2에 나타내는 박리 부분(30aa)측의 하프 커트 부위(34)와 기준편(67a,67b)의 선단부가 일치해서 위치 어긋남량(△La,△Lb)이 0이고, 고무 롤 러(80a,80b) 사이의 소정 위치에 선행하는 박리 부분(30ab)측의 하프 커트 부위(34)가 배치되도록 제 1 및 제 2 검출 기구(47a,47b)와 부착 기구(46) 사이의 기준 길이(L)가 설정되어 있는 것으로 한다.In this case, the half cut part 34 on the peeling part 30aa side shown in FIG. 2 and the front-end | tip part of the reference piece 67a, 67b match, and the position shift amount ((DELTA) La, (DELTA) Lb) is 0, and a rubber roller is used. Reference length between the first and second detection mechanisms 47a and 47b and the attachment mechanism 46 such that the half cut portion 34 on the peeling portion 30ab side preceding the predetermined position between the 80a and 80b is disposed. It is assumed that (L) is set.

그래서, 상기의 상태로부터 감광성 웹(22a,22b)을 보호 필름(30)의 잔존 부분(30b)의 폭(M)에 대응시킨 거리만큼 반송해서 정지시키는 한편, 유리 기판(24)을 기판 반송 기구(45)의 작용하에 미리 가열된 상태로 부착 위치에 반송한다. 유리 기판(24)은 병렬되어 있는 감광성 웹(22a,22b)의 감광성 수지층(28)의 부착 부분에 대응해서 고무 롤러(80a,80b) 사이에 일단 배치된다.Therefore, from the above state, the photosensitive webs 22a and 22b are conveyed and stopped by the distance corresponding to the width M of the remaining portion 30b of the protective film 30, and the glass substrate 24 is transported. It conveys to an attachment position in the state heated beforehand under the effect of (45). The glass substrate 24 is once arrange | positioned between the rubber rollers 80a and 80b corresponding to the attachment part of the photosensitive resin layer 28 of the photosensitive webs 22a and 22b which are parallel.

이어서, 백업 롤러(82b) 및 고무 롤러(80b)를 상승시킴으로써 고무 롤러(80a,80b) 사이에 유리 기판(24)이 소정의 프레스 압력으로 끼워진다. 롤러 제어부(126)(도 6)는 제어 펄스 보정부(123)로부터 공급되는 보정되어 있지 않은 기준 길이(L)에 대응한 라미네이트 제어 펄스에 의거하여 롤러 구동 모터(124)를 구동해 고무 롤러(80a)의 회전 작용하에 감광성 웹(22a,22b) 및 유리 기판(24)을 화살표(C) 방향으로 반송한다. 이 결과, 병렬되어 있는 각 감광성 수지층(28)이 가열 용융되어서 유리 기판(24)에 전사(라미네이트)된다. 이 경우, 감광성 웹(22a,22b)에 연장이 없으면, 감광성 웹(22a,22b)의 감광성 수지층(28)이 후방의 박리 부분(30ab)측의 하프 커트 부위(34)로부터 유리 기판(24)의 소정 부위에 정확하게 전사되게 된다.Then, the glass substrate 24 is sandwiched between the rubber rollers 80a and 80b at a predetermined press pressure by raising the backup roller 82b and the rubber roller 80b. The roller control unit 126 (FIG. 6) drives the roller drive motor 124 on the basis of the laminate control pulses corresponding to the uncorrected reference length L supplied from the control pulse correction unit 123 to form a rubber roller ( The photosensitive webs 22a and 22b and the glass substrate 24 are conveyed in the direction of an arrow C under the rotational action of 80a. As a result, each photosensitive resin layer 28 in parallel is melted by heat, and is transferred (laminated) to the glass substrate 24. In this case, if there is no extension in the photosensitive webs 22a and 22b, the photosensitive resin layer 28 of the photosensitive webs 22a and 22b will be moved from the half cut portion 34 on the back peeling part 30ab side to the glass substrate 24. It is accurately transferred to a predetermined portion of the).

또한, 라미네이트 조건으로서는 속도가 1.0m/min~10.0m/min, 고무 롤러(80a,80b)의 온도가 80℃~150℃, 상기 고무 롤러(80a,80b)의 고무 경도가 40 도~90도, 상기 고무 롤러(80a,80b)의 프레스압(선압)이 50N/cm~400N/cm이다.In addition, as lamination conditions, the speed is 1.0 m / min-10.0 m / min, the temperature of the rubber rollers 80a, 80b is 80 degreeC-150 degreeC, and the rubber hardness of the said rubber rollers 80a, 80b is 40 degrees-90 degrees. The press pressure (linear pressure) of the rubber rollers 80a and 80b is 50 N / cm to 400 N / cm.

기판 선단 검지 센서(94)가 유리 기판(24)의 선단을 검지해 고무 롤러(80a,80b)를 통해서 유리 기판(24)에 감광성 웹(22a,22b)의 1장분의 라미네이트가 종료되면, 상기 고무 롤러(80a)의 회전이 정지되는 한편, 상기 감광성 웹(22a,22b)이 라미네이트된 상기 유리 기판(24)(이하, 부착 기판(24a)이라고도 한다.)이 기판 반송 롤러(92)에 의해 클램프된다.When the substrate tip detection sensor 94 detects the tip of the glass substrate 24 and the lamination of one sheet of the photosensitive webs 22a and 22b is finished on the glass substrate 24 through the rubber rollers 80a and 80b, While the rotation of the rubber roller 80a is stopped, the glass substrate 24 (hereinafter also referred to as the attachment substrate 24a) on which the photosensitive webs 22a and 22b are laminated is formed by the substrate conveying roller 92. Clamped.

그리고, 고무 롤러(80b)가 고무 롤러(80a)로부터 이간하는 방향으로 퇴피해서 클램프가 해제됨과 아울러, 기판 반송 롤러(92)의 회전이 개시되어 부착 기판(24a)이 화살표(C) 방향으로 보호 필름(30)의 잔존 부분(30b) 폭(M)에 대응하는 거리만큼 반송되어, 보호 필름(30) 후방의 박리 부분(30ab)측의 하프 커트 부위(34)가 고무 롤러(80a)의 하방 부근의 소정 위치로 이동한다. 한편, 기판 반송 기구(45)를 통해서 다음의 유리 기판(24)이 부착 위치를 향해서 반송된다. 이상의 동작이 반복됨으로써 부착 기판(24a)이 연속적으로 제조된다.Then, the rubber roller 80b retracts in the direction away from the rubber roller 80a, the clamp is released, and the rotation of the substrate transfer roller 92 is started to protect the attached substrate 24a in the direction indicated by the arrow C. It is conveyed by the distance corresponding to the width | variety M of the residual part 30b of the film 30, and the half cut part 34 of the peeling part 30ab side of the protective film 30 back is lower than the rubber roller 80a. Move to a predetermined position in the vicinity. On the other hand, the next glass substrate 24 is conveyed toward an attachment position through the board | substrate conveyance mechanism 45. As shown in FIG. By repeating the above operation, the attachment substrate 24a is continuously manufactured.

그때, 부착 기판(24a)은 도 4에 나타내는 바와 같이 각각의 단부끼리가 잔존 부분(30b)에 의해 덮여져 있다. 따라서, 감광성 수지층(28)이 유리 기판(24)에 전사될 때, 고무 롤러(80a,80b)가 상기 감광성 수지층(28)에 의해 더러워지는 일이 없다.In that case, as shown in FIG. 4, each edge part is covered with the remaining part 30b as shown in FIG. Therefore, when the photosensitive resin layer 28 is transferred to the glass substrate 24, the rubber rollers 80a and 80b do not become dirty by the said photosensitive resin layer 28. FIG.

부착 기구(46)로 라미네이트된 부착 기판(24a)은 냉각 기구(122)를 통해서 냉각된 후, 프리 박리부(144)에 이송된다. 이 프리 박리부(144)에서는 박리 바(156)가 유리 기판(24) 사이에 임시로 들어가 상승하고, 이것에 의해 유리 기 판(24) 사이의 보호 필름(30)이 들어 올려져, 인접하는 유리 기판(24)의 후단 및 선단으로부터 박리된다.The attachment substrate 24a laminated by the attachment mechanism 46 is cooled through the cooling mechanism 122, and then transferred to the free peeling part 144. In this free peeling part 144, the peeling bar 156 temporarily enters and rises between the glass substrates 24, and by this, the protective film 30 between the glass substrates 24 is lifted, and it adjoins, It peels from the rear end and the front end of the glass substrate 24. FIG.

이어서, 베이스 자동 박리 기구(142)에서는 와인딩 축(148)의 회전 작용하에 부착 기판(24a)으로부터 베이스 필름(26)이 연속해서 와인딩된다. 또한, 트러블 정지에서의 분리나, 불량품 분리시의 절단 후, 새롭게 라미네이트 처리가 개시된 부착 기판(24a)의 베이스 필름(26) 선단과, 와인딩 축(148)에 와인딩되어 있는 베이스 필름(26)의 후단은 자동 부착기(150)를 통해서 자동적으로 부착된다.Subsequently, in the base automatic peeling mechanism 142, the base film 26 is continuously wound from the attachment substrate 24a under the rotational action of the winding shaft 148. In addition, after the separation at the trouble stop or the cutting at the time of defective product separation, the base film 26 tip of the base film 26 of the attached substrate 24a where the lamination treatment is newly started and the base film 26 wound on the winding shaft 148 The rear end is automatically attached through the automatic attacher 150.

베이스 필름(26)이 박리된 부착 기판(24a)은 측정기(158)에 대응하는 검사 스테이션에 배치된다. 이 검사 스테이션에서는 유리 기판(24)이 위치 결정, 고정된 상태로 4대의 카메라(160)에 의해 유리 기판(24)과 감광성 수지층(28)의 화상을 받아들인다. 그리고, 화상 처리가 실시됨으로써 부착 위치가 연산된다.The attachment substrate 24a from which the base film 26 has been peeled off is disposed at the inspection station corresponding to the measuring device 158. In this inspection station, the images of the glass substrate 24 and the photosensitive resin layer 28 are received by the four cameras 160 in the state where the glass substrate 24 was positioned and fixed. The attachment position is calculated by performing image processing.

감광성 수지층(28)의 부착 위치가 확인된 부착 기판(24a)은 로봇(134)에 의해 꺼내져, 감광성 적층체(106)로서 감광성 적층체 스토커(132)에 수용된다.The attachment substrate 24a whose attachment position of the photosensitive resin layer 28 was confirmed is taken out by the robot 134, and is accommodated in the photosensitive laminated body stocker 132 as the photosensitive laminated body 106. As shown in FIG.

그런데, 이상의 설명에서는 제 1 및 제 2 웹 송출 기구(32a,32b)로부터 송출되는 감광성 웹(22a,22b)이 연장되는 일 없이 정확하게 부착 기구(46)에 공급되는 것을 전제로 하고 있지만, 실제로는 가요성을 갖는 감광성 웹(22a,22b)이 텐션이나 열의 영향을 받아서 소정량 연장되어 버리기 때문에, 유리 기판(24)의 소정 위치에 감광성 수지층(28)이 고정밀도로 전사되지 않는 일이 염려된다.By the way, in the above description, it is assumed that the photosensitive webs 22a and 22b sent out from the 1st and 2nd web sending mechanisms 32a and 32b are supplied to the attachment mechanism 46 correctly, without extending, but actually Since the flexible photosensitive webs 22a and 22b are extended by a predetermined amount under the influence of tension or heat, the photosensitive resin layer 28 may not be transferred to the predetermined position of the glass substrate 24 with high precision. .

거기서, 제 1 및 제 2 검출 기구(47a,47b)를 구성하는 CCD카메라(72a,72b)는 기판 선단 검지 센서(94)가 유리 기판(24)의 선단을 검지해서 감광성 웹(22a,22b) 및 유리 기판(24)의 반송이 정지되었을 때, 박리 부분(30aa)측의 하프 커트 부위(34) 및 기준편(67a,67b)을 포함하는 화상을 촬상하고, 그 화상을 위치 어긋남량 산출부(120)에 공급한다. 위치 어긋남량 산출부(120)는 공급된 화상에 의거하여 기준 위치인 기준편(67a,67b)의 선단부에 대한 하프 커트 부위(34)의 위치 어긋남량(△La,△Lb)을 산출한다.In the CCD cameras 72a and 72b constituting the first and second detection mechanisms 47a and 47b, the substrate tip detection sensor 94 detects the tip of the glass substrate 24 so that the photosensitive webs 22a and 22b are used. And when conveyance of the glass substrate 24 is stopped, the image containing the half cut part 34 and the reference piece 67a, 67b by the peeling part 30aa side is picked up, and the image is a position shift amount calculation part. Supply to 120. The position shift amount calculation unit 120 calculates the position shift amounts ΔLa and ΔLb of the half cut portions 34 with respect to the front end portions of the reference pieces 67a and 67b which are reference positions based on the supplied image.

이 경우, 위치 어긋남량(△La,△Lb)의 부호를 기준편(67a,67b)에 대하여 감광성 웹(22a,22b)이 공급되는 상류측을 +, 하류측을 -라고 하면, 예를 들면 위치 어긋남량(△La,△Lb)이 +일 때는 유리 기판(24)에 부착되는 감광성 수지층(28)이 기준 길이(L)보다 위치 어긋남량(△La,△Lb)만큼 연장되어 있고, -일 때는 기준 길이(L)보다 짧아져 있다고 판정할 수 있다.In this case, if the upstream side to which the photosensitive webs 22a and 22b are supplied to the reference piece 67a, 67b is + and the downstream side is-, for example, the code | symbol of position shift amount (DELTA) La, (DELTA) Lb, When the position shift amounts ΔLa and ΔLb are +, the photosensitive resin layer 28 attached to the glass substrate 24 is extended by the position shift amounts ΔLa and ΔLb than the reference length L, When it is-, it can be determined that it is shorter than the reference length (L).

산출된 위치 어긋남량(△La,△Lb)이 소정의 허용량 이내일 때, 위치 어긋남량 산출부(120)는 위치 어긋남량(△La,△Lb)을 제어 펄스 보정부(123)에 공급해 감광성 웹(22a,22b)의 라미네이트 제어 펄스를 위치 어긋남량(△La,△Lb)에 따라서 보정한다.When the calculated position shift amounts? La and? Lb are within a predetermined allowable amount, the position shift amount calculation unit 120 supplies the position shift amounts? La and? Lb to the control pulse correction unit 123 to provide photosensitivity. The lamination control pulses of the webs 22a and 22b are corrected according to the positional shift amounts? La and? Lb.

다음에, 제 1 및 제 2 검출 기구(47a,47b)를 구성하는 CCD카메라(72a,72b)는 긴 감광성 웹(22a,22b)이 고무 롤러(80a)의 회전 작용하에 보호 필름(30)의 잔존 부분(30b) 폭(M)에 대응한 거리만큼 반송되어 정지되었을 때, 박리 부분(30ab)측의 하프 커트 부위(34) 및 기준편(67a,67b)을 포함하는 화상을 촬상해 그 화상을 위치 어긋남량 산출부(120)에 공급한다. 위치 어긋남량 산출부(120)는 공급된 화상에 의거하여 기준 위치인 기준편(67a,67b)의 선단부에 대한 하프 커트 부위(34)의 위치 어긋남량(△Ma,△Mb)을 산출한다.Next, the CCD cameras 72a and 72b constituting the first and second detection mechanisms 47a and 47b have the long photosensitive webs 22a and 22b of the protective film 30 under the rotational action of the rubber roller 80a. When conveyed and stopped by the distance corresponding to the remaining portion 30b width M, the image including the half cut portion 34 and the reference pieces 67a and 67b on the peeling portion 30ab side is picked up and imaged. Is supplied to the position shift amount calculator 120. The position shift amount calculation unit 120 calculates the position shift amounts DELTA Ma and DELTA Mb of the half cut portions 34 with respect to the distal end portions of the reference pieces 67a and 67b which are the reference positions based on the supplied image.

이 경우, 박리 부분(30ab)측의 하프 커트 부위(34)의 위치 어긋남량(△Ma,△Mb)에 의거하여 보호 필름(30)의 잔존 부분(30b) 폭(M)의 변동량을 검출할 수 있다.In this case, based on the position shift amount (DELTA) Ma, (DELTA) Mb of the half cut part 34 of the peeling part 30ab side, the amount of change of the width | variety M of the residual part 30b of the protective film 30 can be detected. Can be.

산출된 위치 어긋남량(△Ma,△Mb)이 소정의 허용량 이내일 때, 위치 어긋남량 산출부(120)는 위치 어긋남량(△Ma,△Mb)을 제어 펄스 보정부(123)에 공급해 긴 감광성 웹(22a,22b)의 기판간 송출 제어 펄스를 위치 어긋남량(△Ma,△Mb)에 따라서 보정한다.When the calculated position shift amounts? Ma and? Mb are within a predetermined allowable amount, the position shift amount calculation unit 120 supplies the position shift amounts? Ma and? Mb to the control pulse correction unit 123 to provide a long position. The inter-substrate sending control pulses of the photosensitive webs 22a and 22b are corrected according to the positional shift amounts ΔMa and ΔMb.

이후, 롤러 제어부(126)는 보정된 라미네이트 제어 펄스와, 보정된 기판간 빈 공간 제어 펄스에 따라서 롤러 구동 모터(124)를 구동하고, 긴 감광성 웹(22a,22b)을 반송 제어한다.Thereafter, the roller control unit 126 drives the roller drive motor 124 in accordance with the corrected laminate control pulse and the corrected interspace substrate control pulse, and conveys and controls the long photosensitive webs 22a and 22b.

한편, 위치 어긋남량 산출부(120)에 의해 산출된 위치 어긋남량(△La,△Lb 또는△Ma,△Mb)이 소정의 허용량을 초과하고 있을 때에는 제 1 및 제 2 가공 기구(36a,36b)에 의한 하프 커트 부위(34)의 가공 위치를 보정함으로써 대응한다. 이 경우, 하프 커트 위치 보정부(128)는 위치 어긋남량(△La,△Lb 또는 △Ma,△Mb)에 의거해 하프 커트 부위(34)의 가공 위치를 변경하여 감광성 웹(22a,22b)에 하프 커트 부위(34)를 형성한다.On the other hand, when the position shift amount? La,? Lb or? Ma,? Mb calculated by the position shift amount calculation unit 120 exceeds a predetermined allowable amount, the first and second processing mechanisms 36a and 36b. This corresponds by correcting the machining position of the half cut portion 34 by (). In this case, the half cut position correction unit 128 changes the machining position of the half cut portion 34 based on the positional shift amount ΔLa, ΔLb or ΔMa, ΔMb, thereby causing the photosensitive webs 22a and 22b to be changed. A half cut portion 34 is formed in the groove.

또한, 제 1 실시형태에서는 2개의 감광성 웹 롤(23a,23b)을 사용하고 있지만 이것에 한정되는 것은 아니고, 1개의 감광성 웹 롤러나, 3개 이상의 감광성 웹 롤러를 채용해도 좋다. 또한, 이하에 설명하는 제 2 실시형태에 있어서도 마찬가지이 다.In addition, although the 1st embodiment uses two photosensitive web rolls 23a and 23b, it is not limited to this, You may employ | adopt one photosensitive web roller and three or more photosensitive web rollers. The same is true in the second embodiment described below.

도 7은 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 감광성 적층체 제조 장치(300)의 개략구성도이다. 또한, 제 1 실시형태에 따른 감광성 적층체 제조 장치(20)와 동일한 구성 요소에는 동일한 참조 부호를 첨부하고, 그 상세한 설명은 생략한다.7 is a schematic configuration diagram of a photosensitive laminate manufacturing apparatus 300 according to a second embodiment of the present invention. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same component as the photosensitive laminated body manufacturing apparatus 20 which concerns on 1st Embodiment, and the detailed description is abbreviate | omitted.

제조 장치(300)는 부착 기구(46)의 하류에 배치되어, 각 유리 기판(24) 사이The manufacturing apparatus 300 is arrange | positioned downstream of the attachment mechanism 46, and between each glass substrate 24

의 감광성 웹(22a,22b)을 일체적으로 절단할 수 있는 기판간 웹 절단 기구(48)를 구비한다.The inter-substrate web cutting mechanism 48 which can cut | disconnect integrally the photosensitive web 22a, 22b is provided.

이렇게 구성되는 제조 장치(300)에서는 상기의 제 1 실시형태와 마찬가지로 부착 기구(46)로 라미네이트된 부착 기판(24a)은 화살표(C) 방향으로 반송된다. 그리고, 부착 기판(24a) 사이가 기판간 웹 절단 기구(48)에 대응하는 위치에 이르면, 이 기판간 웹 절단 기구(48)는 상기 부착 기판(24a)과 동일한 반송 속도로 화살표(C) 방향으로 이동하면서, 상기 부착 기판(24a) 사이에서 2개의 감광성 웹(22a,22b)을 일체적으로 절단한다.In the manufacturing apparatus 300 comprised in this way, similarly to 1st Embodiment mentioned above, the adhesion board | substrate 24a laminated by the attachment mechanism 46 is conveyed in the arrow C direction. Then, when the attachment substrate 24a reaches a position corresponding to the inter-substrate web cutting mechanism 48, the inter-substrate web cutting mechanism 48 is in the direction of the arrow C at the same conveyance speed as the attachment substrate 24a. While moving to, the two photosensitive webs 22a and 22b are integrally cut between the attachment substrates 24a.

이 절단 후에 기판간 웹 절단 기구(48)는 소정의 대기 위치로 되돌려지는 한편, 부착 기판(24a)에서는 베이스 필름(26) 및 잔존 부분(30b)이 순차적으로 박리(매엽 박리)되서 감광성 적층체(106)가 제조된다.After this cutting, the inter-substrate web cutting mechanism 48 is returned to a predetermined standby position, while in the attached substrate 24a, the base film 26 and the remaining portion 30b are sequentially peeled off (sheet peeling) so that the photosensitive laminate is 106 is manufactured.

또한, 상술한 각 실시형태에서는 감광성 웹(22a,22b)을 투과한 조명광을 CCD카메라(72a,72b)에 의해 수광함으로써 하프 커트 부위(34)를 검출하도록 하고 있지만, 도 8에 나타내는 바와 같이 구성된 검출 기구(162a,162b)를 이용하여 감광성 웹(22a,22b)에 의해 반사된 조명광에 의거해 하프 커트 부위(34)를 검출하도록 해 도 좋다.In addition, although the half cut part 34 is detected by receiving the illumination light which permeate | transmitted the photosensitive web 22a, 22b by CCD camera 72a, 72b in each embodiment mentioned above, it is comprised as shown in FIG. The half cut portions 34 may be detected based on the illumination light reflected by the photosensitive webs 22a and 22b using the detection mechanisms 162a and 162b.

즉, 광원(164a,164b)으로부터 출력된 조명광은 하프미러(166a,166b)에 의해 반사되서 감광성 웹(22a,22b)에 도입된 후, 감광성 웹(22a,22b)에 의해 반사되어 하프미러(166a,166b)를 투과해서 CCD카메라(72a,72b)에 도입된다. 이 경우, 하프 커트 부위(34)에 의해 반사된 조명광은 감광성 웹(22a,22b)의 다른 부위에 의해 반사된 조명광보다 크게 산란되기 때문에 주위보다 광량이 적은 스트라이프상의 화상으로서 검출할 수 있다. 또한, 광원(164a,164b) 및 하프미러(166a,166b)는 동축 낙사 조명 광학계를 구성한다.That is, the illumination light output from the light sources 164a and 164b is reflected by the half mirrors 166a and 166b, introduced into the photosensitive webs 22a and 22b, and then reflected by the photosensitive webs 22a and 22b and thus the half mirror ( 166a and 166b are introduced into the CCD cameras 72a and 72b. In this case, since the illumination light reflected by the half cut part 34 is scattered larger than the illumination light reflected by other parts of the photosensitive webs 22a and 22b, it can be detected as an image of a stripe with a smaller amount of light than the surroundings. In addition, the light sources 164a and 164b and the half mirrors 166a and 166b constitute a coaxial fall illumination optical system.

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 제조 장치의 개략구성도이다.1 is a schematic configuration diagram of a manufacturing apparatus according to a first embodiment of the present invention.

도 2는 상기 제조 장치에 사용되는 긴 감광성 웹의 단면도이다.2 is a cross-sectional view of an elongate photosensitive web used in the manufacturing apparatus.

도 3은 상기 긴 감광성 웹에 접착 라벨이 접착된 상태의 설명도이다.It is explanatory drawing of the state which the adhesive label adhere | attached on the said long photosensitive web.

도 4는 하프 커트 부위의 위치를 검출하는 제 1 및 제 2 검출 기구의 구성, 및 제 1 및 제 2 검출 기구와 부착 기구의 배치 관계의 설명도이다.It is explanatory drawing of the structure of the 1st and 2nd detection mechanism which detects the position of a half cut site | part, and the arrangement relationship of a 1st and 2nd detection mechanism and an attachment mechanism.

도 5는 제 1 및 제 2 검출 기구에 의해 하프 커트 부위를 검출하는 상태의 설명도이다.It is explanatory drawing of the state which detects a half cut site | part by the 1st and 2nd detection mechanism.

도 6은 하프 커트 부위의 위치 어긋남을 검출해서 보정하기 위한 회로 구성 블록도이다.6 is a circuit configuration block diagram for detecting and correcting a positional shift of a half cut portion.

도 7은 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 제조 장치의 개략구성도이다.7 is a schematic configuration diagram of a manufacturing apparatus according to a second embodiment of the present invention.

도 8은 제 1 및 제 2 검출 기구의 다른 구성의 설명도이다.8 is an explanatory diagram of another configuration of the first and second detection mechanisms.

도 9는 일본 특허공개 평 11-34280호 공보의 제조 장치의 개략구성도이다.9 is a schematic configuration diagram of a manufacturing apparatus of Japanese Patent Laid-Open No. 11-34280.

Claims (12)

지지체(26)상에 감광 재료층(28)과 보호 필름(30)이 순서대로 적층되어 이루어지는 긴 감광성 웹(22a,22b)을 송출하고, 상기 보호 필름(30)의 박리 부분(30aa,30ab)과 잔존 부분(30b)의 경계 위치에 대응하는 가공 부위(34)를 상기 보호 필름(30)으로부터 상기 감광 재료층(28)에 이르는 부분에 형성하고, 상기 보호 필름(30)의 상기 박리 부분(30aa,30ab)을 박리하고, 소정의 간격으로 공급되는 기판(24)과 함께 가열된 1쌍의 압착 롤러(80a, 80b) 사이에 연속적으로 송출하고, 상기 기판(24) 사이에 상기 보호 필름(30)의 상기 잔존 부분(30b)을 배치함과 아울러, 노출된 상기 감광 재료층(28)을 상기 기판(24)에 부착함으로써 감광성 적층체(106)를 제조하는 감광성 적층체의 제조 장치에 있어서:The long photosensitive webs 22a and 22b formed by sequentially stacking the photosensitive material layer 28 and the protective film 30 on the support 26 are sent out, and the peeling portions 30aa and 30ab of the protective film 30 are sent out. And the processing part 34 corresponding to the boundary position of the residual part 30b is formed in the part from the said protective film 30 to the said photosensitive material layer 28, and the said peeling part of the said protective film 30 ( 30aa, 30ab are peeled off, and are continuously sent between the pair of pressing rollers 80a, 80b heated together with the substrate 24 supplied at predetermined intervals, and the protective film ( In the manufacturing apparatus of the photosensitive laminated body which arrange | positions the said remaining part 30b of 30), and attaches the exposed said photosensitive material layer 28 to the said board | substrate 24, the photosensitive laminated body 106 is manufactured. : 상기 가공 부위(34)를 형성하는 가공부(36a,36b)와 상기 압착 롤러(80a,80b) 사이에 있어서의 상기 긴 감광성 웹(22a,22b)의 반송로중 소정 부위에 배치되어 기준 위치에 대한 상기 가공 부위(34)의 위치를 검출하는 위치 검출 수단(47a,47b)을 구비하고;It is arrange | positioned at the predetermined part of the conveyance paths of the said long photosensitive web 22a, 22b between the process part 36a, 36b which forms the said process part 34, and the said crimping rollers 80a, 80b. Position detecting means (47a, 47b) for detecting the position of the machining portion (34) with respect to the position; 상기 위치 검출 수단(47a, 47b)은 상기 감광 재료층(28)을 감광하지 않는 파장으로 이루어지는 조명광을 상기 긴 감광성 웹(22a,22b)에 조사하는 광원(69a,69b); The position detecting means (47a, 47b) includes: light sources (69a, 69b) for irradiating the elongate photosensitive web (22a, 22b) with illumination light having a wavelength that does not expose the photosensitive material layer (28); 상기 긴 감광성 웹(22a, 22b)의 적어도 반송 방향으로 연장되는 검출 영역을 갖고, 상기 긴 감광성 웹(22a, 22b)을 투과하거나 또는 상기 긴 감광성 웹(22a,22b)에 의해 반사된 상기 조명광에 의거하여 상기 가공 부위(34)를 검출하는 검출부(72a,72b); 및To the illumination light having a detection region extending in at least the conveying direction of the elongate photosensitive webs 22a and 22b and passing through the elongate photosensitive webs 22a and 22b or reflected by the elongate photosensitive webs 22a and 22b. Detection units (72a, 72b) for detecting the machining site (34) based on the detection unit; And 상기 검출부(72a,72b)에 의해 검출된 상기 가공 부위(34)의 상기 기준 위치 에 대한 위치를 산출하는 산출부(120)를 구비하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.And a calculating section (120) for calculating a position with respect to the reference position of the machining portion (34) detected by the detecting sections (72a, 72b). 제 1 항에 있어서, 상기 검출부(72a,72b)는 상기 검출 영역을 구성하는 복수의 검출 화소를 갖는 이차원 센서로 이루어지는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.2. The apparatus for manufacturing a photosensitive laminate according to claim 1, wherein the detectors (72a, 72b) comprise a two-dimensional sensor having a plurality of detection pixels constituting the detection area. 제 1 항에 있어서, 상기 검출부(72a,72b)는 상기 검출 영역을 구성하는 복수의 검출 화소를 갖는 일차원 센서로 이루어지는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.The apparatus for manufacturing a photosensitive laminate according to claim 1, wherein the detectors (72a, 72b) comprise a one-dimensional sensor having a plurality of detection pixels constituting the detection area. 제 1 항에 있어서, 상기 검출 영역의 소정 위치를 상기 기준 위치로 설정하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.The manufacturing apparatus of the photosensitive laminated body of Claim 1 which sets the predetermined position of the said detection area to the said reference position. 제 1 항에 있어서, 상기 검출부(72a,72b)와 상기 긴 감광성 웹(22a,22b) 사이에 상기 기준 위치를 규정하는 기준편(67a,67b)을 설치하고, 상기 검출부(72a,72b)는 상기 가공 부위(34) 및 상기 기준편(67a,67b)을 검출하는 것을 특징 으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.A reference piece (67a, 67b) for defining the reference position between the detection section (72a, 72b) and the elongate photosensitive web (22a, 22b), the detection section (72a, 72b) The processing part (34) and the said reference piece (67a, 67b) are detected, The manufacturing apparatus of the photosensitive laminated body characterized by the above-mentioned. 제 1 항에 있어서, 상기 위치 검출 수단(47a,47b)은 상기 압착 롤러(80a,80b)의 위치를 기준으로 해서 설정한 상기 기준 위치에 대한 상기 가공 부위(34)의 위치를 검출하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.2. The position detecting means (47a, 47b) according to claim 1, wherein the position detecting means (47a, 47b) detects the position of the processing portion (34) with respect to the reference position set on the basis of the position of the pressing rollers (80a, 80b). The manufacturing apparatus of the photosensitive laminated body made into. 제 1 항에 있어서, 상기 압착 룰러(80a,80b)의 위치를 기준으로 하는 부위에 설치되어 상기 감광 재료층(28)이 부착된 상기 기판(24)의 반송 방향 단부를 검지하는 기판 검지 센서(94)를 구비하고;The substrate detecting sensor according to claim 1, wherein the substrate detecting sensor is installed at a position based on the positions of the crimping rulers 80a and 80b to detect an end portion of the substrate 24 to which the photosensitive material layer 28 is attached. 94); 상기 위치 검출 수단(47a,47b)은 상기 기판 검지 센서(94)가 상기 기판(24)의 반송 방향 단부를 검지했을 때, 상기 기준 위치에 대한 상기 가공 부위(34)의 위치를 검출하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.The position detecting means 47a and 47b detect the position of the processing part 34 with respect to the reference position when the substrate detecting sensor 94 detects an end portion in the conveying direction of the substrate 24. The manufacturing apparatus of the photosensitive laminated body made into. 제 1 항에 있어서, 상기 산출부(120)에 의해 산출된 상기 기준 위치에 대한 상기 가공 부위(34)의 위치인 위치 어긋남량에 따라 상기 압착 룰러(80a,80b)를 제어하고, 상기 기판(24)에 대한 상기 감광 재료층(28)의 부착 타이밍을 보정하는 부착 타이밍 보정부(123)를 구비하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.The method according to claim 1, wherein the crimping rulers (80a, 80b) are controlled in accordance with the positional shift amount that is the position of the machining portion 34 with respect to the reference position calculated by the calculation unit 120, the substrate ( And an attachment timing correction unit (123) for correcting the attachment timing of the photosensitive material layer (28) with respect to (24). 제 1 항에 있어서, 상기 산출부(120)에 의해 산출된 상기 기준 위치에 대한 상기 가공 부위(34)의 위치인 위치 어긋남량에 따라서 상기 가공부(36a,36b)를 제어하고, 상기 긴 감광성 웹(22a,22b)에 대한 상기 가공 부위(34)의 가공 위치를 보정하는 가공 위치 보정부(128)를 구비하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.The said photosensitive part of Claim 1 controls the said process part 36a, 36b according to the position shift amount which is the position of the said process part 34 with respect to the said reference position calculated by the said calculation part 120, And a machining position correcting unit (128) for correcting the machining position of the machining part (34) with respect to the webs (22a, 22b). 지지체(26)상에 감광 재료층(28)과 보호 필름(30)이 순서대로 적층되어 이루어지는 긴 감광성 웹(22a,22b)을 송출하고, 상기 보호 필름(30)의 박리 부분(30aa,30ab)과 잔존 부분(30b)의 경계 위치에 대응하는 가공 부위(34)를 상기 보호 필름(30)으로부터 상기 감광 재료층(28)에 이르는 부분에 형성하고, 상기 보호 필름(30)의 상기 박리 부분(30aa,30ab)을 박리하고, 소정 간격으로 공급되는 기판(24)과 함께 가열된 1쌍의 압착 롤러(80a,80b) 사이에 연속적으로 송출하고, 상기 기판(24) 사이에 상기 보호 필름(30)의 상기 잔존 부분(30b)을 배치함과 아울러 노출된 상기 감광 재료층(28)을 상기 기판(24)에 부착함으로써 감광성 적층체(106)를 제조하는 감광성 적층체의 제조 방법에 있어서:The long photosensitive webs 22a and 22b formed by sequentially stacking the photosensitive material layer 28 and the protective film 30 on the support 26 are sent out, and the peeling portions 30aa and 30ab of the protective film 30 are sent out. And the processing part 34 corresponding to the boundary position of the residual part 30b is formed in the part from the said protective film 30 to the said photosensitive material layer 28, and the said peeling part of the said protective film 30 ( 30aa, 30ab are peeled off, and are continuously sent between the pair of pressing rollers 80a, 80b heated together with the substrates 24 supplied at predetermined intervals, and the protective film 30 is interposed between the substrates 24. In the method of manufacturing a photosensitive laminate, the photosensitive laminate 106 is produced by arranging the remaining portion 30b of () and attaching the exposed photosensitive material layer 28 to the substrate 24. 상기 감광 재료층(28)을 감광하지 않는 파장으로 이루어지는 조명광을 상기 긴 감광성 웹(22a,22b)에 조사하고, 상기 긴 감광성 웹(22a,22b)을 투과하거나 또는 상기 긴 감광성 웹(22a,22b)에 의해 반사된 상기 조명광을 상기 긴 감광성 웹(22a,22b)의 반송 방향으로 연장되는 검출 영역을 갖는 검출부(47a,47b)에 의해 검출하는 단계; 및Illuminating the long photosensitive webs 22a and 22b to illuminate the long photosensitive webs 22a and 22b with illumination light having a wavelength that does not photosensitive the photosensitive material layer 28, or the long photosensitive webs 22a and 22b. Detecting the illumination light reflected by the detector (47a, 47b) having a detection area extending in the conveying direction of the elongate photosensitive web (22a, 22b); And 상기 검출부(47a,47b)에 의해 검출된 상기 가공 부위(34)의 위치를 소정의 기준 위치에 대한 위치로서 산출하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 방법.And calculating the position of the machining portion (34) detected by the detectors (47a, 47b) as a position relative to a predetermined reference position. 제 10 항에 있어서, 상기 검출 영역의 소정 위치를 상기 기준 위치로 설정하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 방법.The manufacturing method of the photosensitive laminated body of Claim 10 which sets the predetermined position of the said detection area to the said reference position. 제 10 항에 있어서, 상기 압착 롤러(80a,80b)의 위치를 기준으로 해서 설정한 상기 기준 위치에 대한 상기 가공 부위(34)의 위치를 검출하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 방법.The manufacturing method of the photosensitive laminated body of Claim 10 which detects the position of the said process site | part 34 with respect to the said reference position set based on the position of the said press roller (80a, 80b).
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