JP2008216295A - Apparatus and method for manufacturing photosensitive laminate - Google Patents

Apparatus and method for manufacturing photosensitive laminate Download PDF

Info

Publication number
JP2008216295A
JP2008216295A JP2007049507A JP2007049507A JP2008216295A JP 2008216295 A JP2008216295 A JP 2008216295A JP 2007049507 A JP2007049507 A JP 2007049507A JP 2007049507 A JP2007049507 A JP 2007049507A JP 2008216295 A JP2008216295 A JP 2008216295A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
photosensitive
cutting
substrate
web
protective film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2007049507A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshiyuki Ishii
義行 石井
Akihiko Hase
明彦 長谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Corp
Original Assignee
Fujifilm Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujifilm Corp filed Critical Fujifilm Corp
Priority to JP2007049507A priority Critical patent/JP2008216295A/en
Priority to KR1020080013192A priority patent/KR20080080001A/en
Priority to CNA200810080893XA priority patent/CN101254677A/en
Priority to TW097106724A priority patent/TW200843955A/en
Publication of JP2008216295A publication Critical patent/JP2008216295A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B37/00Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
    • B32B37/14Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the properties of the layers
    • B32B37/16Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the properties of the layers with all layers existing as coherent layers before laminating
    • B32B37/20Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the properties of the layers with all layers existing as coherent layers before laminating involving the assembly of continuous webs only
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B37/00Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
    • B32B37/14Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the properties of the layers
    • B32B37/15Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the properties of the layers with at least one layer being manufactured and immediately laminated before reaching its stable state, e.g. in which a layer is extruded and laminated while in semi-molten state
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B41/00Arrangements for controlling or monitoring lamination processes; Safety arrangements
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B37/00Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
    • B32B37/08Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the cooling method

Landscapes

  • Materials For Photolithography (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an apparatus and method for manufacturing photosensitive laminates in which positions of substrates on which a long photosensitive web has been stuck are measured with a high degree of accuracy so that interference of the substrates with a cutting member for cutting between the substrates can be reliably avoided, and by which the amount of the long photosensitive web discarded without contributing to the manufacture of photosensitive laminates can be reduced. <P>SOLUTION: A photosensitive laminate is obtained by sticking a long photosensitive web 22 on glass substrates 24 in a sticking mechanism, when a tip corner part 96 of each glass substrate 24 reaches a photographing area 98 of a photographing section 94, an image including the corner part 96 and a reference chip 99 is photographed, and on the basis of the image information, a displacement amount ΔK of the corner part 96 relative to the reference chip 99 is calculated. When the calculated displacement amount ΔK is not acceptable, cutting with a cutter mechanism is stopped or the cutting position is changed, whereby interference of the cutter mechanism with the glass substrate 24 can be avoided. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、基板と、支持体上に感光材料層が設けられた長尺状感光性ウエブとを一対の圧着ローラ間に送り出し、前記感光材料層を前記基板に貼り付けることで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造装置及び製造方法に関する。   The present invention provides a photosensitive laminate by feeding a substrate and a long photosensitive web provided with a photosensitive material layer on a support between a pair of pressure rollers, and affixing the photosensitive material layer to the substrate. The present invention relates to a manufacturing apparatus and a manufacturing method for a photosensitive laminate.

例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、PDPパネル用基板は、感光性樹脂層(感光材料層)を有する感光性シート体(感光性ウエブ)を基板表面に貼り付けて構成される。感光性シート体は、例えば、可撓性プラスチック支持体上に感光性樹脂層と保護フイルムとが順に積層されている。   For example, a liquid crystal panel substrate, a printed wiring substrate, and a PDP panel substrate are configured by attaching a photosensitive sheet (photosensitive web) having a photosensitive resin layer (photosensitive material layer) to the substrate surface. In the photosensitive sheet body, for example, a photosensitive resin layer and a protective film are sequentially laminated on a flexible plastic support.

この種の感光性シート体の貼り付けに使用される製造装置は、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させてラミネーションローラ間に搬送するとともに、前記基板に貼り付けられる感光性樹脂層の範囲に対応する保護フイルムを剥離した感光性シート体を前記ラミネーションローラ間に搬送する方式が採用されている。   A manufacturing apparatus used for adhering this type of photosensitive sheet body is usually attached to the substrate while a substrate such as a glass substrate or a resin substrate is transported between the lamination rollers at a predetermined interval. A method is adopted in which a photosensitive sheet body from which a protective film corresponding to the range of the photosensitive resin layer is peeled is conveyed between the lamination rollers.

例えば、特許文献1に開示されている製造装置では、図7に示すように、ロール1から感光性シート体2を繰り出してハーフカッタ装置3に供給し、感光性シート体2を構成する支持体上に積層されている保護フイルム及び感光性樹脂層を所定の間隔で切断する。次いで、保護フイルム除去部4に前記感光性シート体2を供給し、基板5の貼り付け範囲に対応する保護フイルムを粘着テープ等を用いて剥離した後、熱圧着ローラ6a、6b間に供給する。一方、熱圧着ローラ6a、6b間には、加熱された基板5が搬入され、保護フイルムが剥離されることで露出した感光性樹脂層を介して感光性シート体2が基板5の下面部に加熱圧着される。感光性シート体2が加熱圧着された基板5は、熱圧着ローラ6a、6bから搬出された後、分離装置7に供給され、基板5間の感光性シート体2が切断されることで感光性積層体が製造される。   For example, in the manufacturing apparatus disclosed in Patent Document 1, as shown in FIG. 7, the photosensitive sheet body 2 is unwound from the roll 1 and supplied to the half cutter apparatus 3, thereby supporting the photosensitive sheet body 2. The protective film and the photosensitive resin layer laminated on the top are cut at a predetermined interval. Next, the photosensitive sheet body 2 is supplied to the protective film removing unit 4, and the protective film corresponding to the attachment range of the substrate 5 is peeled off using an adhesive tape or the like, and then supplied between the thermocompression rollers 6a and 6b. . On the other hand, the heated substrate 5 is carried between the thermocompression rollers 6a and 6b, and the photosensitive sheet 2 is placed on the lower surface portion of the substrate 5 through the photosensitive resin layer exposed by peeling off the protective film. It is thermocompression bonded. The substrate 5 on which the photosensitive sheet body 2 has been heat-pressed is unloaded from the thermo-compression rollers 6a and 6b, and then supplied to the separating device 7, where the photosensitive sheet body 2 between the substrates 5 is cut to make it photosensitive. A laminate is produced.

特許第3316093号公報Japanese Patent No. 3316093

ところで、感光性シート体2は、可撓性の支持体の上に感光性樹脂層及び保護フイルムを積層して形成したものであり、テンションを付与した状態で搬送されるため、感光性シート体2に延びが発生する。特に、熱圧着ローラ6a、6bは、感光性シート体2を加熱して基板5に貼り付けるため、熱圧着ローラ6a、6bの近傍での延びが大きい。   By the way, the photosensitive sheet 2 is formed by laminating a photosensitive resin layer and a protective film on a flexible support, and is transported in a tensioned state. 2 extends. In particular, the thermocompression rollers 6a and 6b heat the photosensitive sheet body 2 and affix it to the substrate 5, so that the extension in the vicinity of the thermocompression rollers 6a and 6b is large.

この場合、感光性シート体2に対する基板5の位置を調整し、基板5の所定範囲に保護フイルムが剥離された感光性樹脂層を正確に位置決めして貼り付ける必要がある。しかしながら、このような調整処理を行うと、分離装置7に供給される基板5の位置がばらつくため、分離装置7と基板5とが干渉して、基板5が破損してしまうおそれがある。   In this case, it is necessary to adjust the position of the substrate 5 with respect to the photosensitive sheet body 2 and accurately position and affix the photosensitive resin layer from which the protective film is peeled off to a predetermined range of the substrate 5. However, when such an adjustment process is performed, the position of the substrate 5 supplied to the separation device 7 varies, and the separation device 7 and the substrate 5 may interfere with each other and the substrate 5 may be damaged.

このような事態を回避するためには、分離装置7の近傍に基板検知センサを配置し、分離装置7に対する基板5の位置を検知するように構成することが考えられる。   In order to avoid such a situation, it is conceivable that a substrate detection sensor is arranged in the vicinity of the separation device 7 and the position of the substrate 5 with respect to the separation device 7 is detected.

しかしながら、基板検知センサの設置スペースを確保するため、基板5間の距離を大きく設定すると、感光性積層体の製造に寄与しない基板5間の感光性シート体2の範囲が増加し、極めて不経済である。従って、基板5間の距離は、できる限り狭く設定する必要がある。   However, if the distance between the substrates 5 is set large in order to secure the installation space for the substrate detection sensor, the range of the photosensitive sheet body 2 between the substrates 5 that does not contribute to the production of the photosensitive laminate is increased, which is extremely uneconomical. It is. Therefore, it is necessary to set the distance between the substrates 5 as narrow as possible.

本発明は、長尺状感光性ウエブが貼り付けられた基板の位置を高精度に計測して、基板と、基板間を切断する切断部との干渉を確実に回避することができるとともに、感光性積層体の製造に寄与することなく廃棄される長尺状感光性ウエブの量を減少させることのできる感光性積層体の製造装置及び製造方法を提供することを目的とする。   The present invention measures the position of the substrate on which the long photosensitive web is attached with high accuracy, and can reliably avoid interference between the substrate and a cutting portion that cuts between the substrates. It is an object of the present invention to provide an apparatus and a method for manufacturing a photosensitive laminate that can reduce the amount of a long photosensitive web that is discarded without contributing to the manufacture of the photosensitive laminate.

本発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を、前記保護フイルムから前記感光材料層に至る部分に形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離した後、所定の間隔で供給される基板とともに前記長尺状感光性ウエブを加熱された一対の圧着ローラ間に連続的に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置するとともに、露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付け、次いで、前記基板間で前記長尺状感光性ウエブを切断して分離することで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造装置において、
前記長尺状感光性ウエブを切断する切断部から前記感光性積層体の搬送方向下流側に所定距離離間した位置に配設され、前記感光性積層体を構成する前記基板のコーナ部の位置を計測する計測部と、
前記計測部によって計測された前記コーナ部の位置に基づき、前記切断部を制御する制御部と、
を備えることを特徴とする。
The present invention feeds a long photosensitive web in which a photosensitive material layer and a protective film are sequentially laminated on a support, and a processing site corresponding to a boundary position between a peeled portion and a remaining portion of the protective film, A pair of pressure bonding is formed in a portion extending from the protective film to the photosensitive material layer, and after peeling off the peeling portion of the protective film, the long photosensitive web is heated together with the substrate supplied at a predetermined interval. It is continuously fed between rollers, the remaining portion of the protective film is disposed between the substrates, and the exposed photosensitive material layer is attached to the substrates, and then the elongated photosensitive web is placed between the substrates. In the photosensitive laminate manufacturing apparatus for manufacturing a photosensitive laminate by cutting and separating
The corner portion of the substrate constituting the photosensitive laminate is disposed at a position spaced apart from the cutting portion for cutting the long photosensitive web by a predetermined distance on the downstream side in the transport direction of the photosensitive laminate. A measuring unit to measure,
Based on the position of the corner measured by the measuring unit, a control unit that controls the cutting unit;
It is characterized by providing.

また、本発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を、前記保護フイルムから前記感光材料層に至る部分に形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離した後、所定の間隔で供給される基板とともに前記長尺状感光性ウエブを加熱された一対の圧着ローラ間に連続的に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置するとともに、露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付け、次いで、前記基板間で前記長尺状感光性ウエブを切断して分離することで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造方法において、
前記長尺状感光性ウエブを切断する切断部から前記感光性積層体の搬送方向下流側に所定距離離間した位置に配設され、前記感光性積層体を構成する前記基板のコーナ部の位置を計測するステップと、
前記計測部によって計測された前記コーナ部の位置に基づき、前記切断部を制御するステップと、
からなることを特徴とする。
The present invention also provides a processing portion corresponding to a boundary position between a peeled portion and a remaining portion of the protective film by feeding a long photosensitive web in which a photosensitive material layer and a protective film are sequentially laminated on a support. Is formed in a portion extending from the protective film to the photosensitive material layer, and after peeling off the peeled portion of the protective film, the pair of heated photosensitive webs are heated together with the substrate supplied at a predetermined interval. The protective film is continuously fed out between the pressure-bonding rollers, the remaining portion of the protective film is disposed between the substrates, the exposed photosensitive material layer is attached to the substrates, and then the long photosensitive film is disposed between the substrates. In the manufacturing method of the photosensitive laminated body which manufactures a photosensitive laminated body by cut | disconnecting and separating a photosensitive web,
The corner portion of the substrate constituting the photosensitive laminate is disposed at a position spaced apart from the cutting portion for cutting the long photosensitive web by a predetermined distance on the downstream side in the transport direction of the photosensitive laminate. Measuring step,
Controlling the cutting portion based on the position of the corner portion measured by the measuring portion;
It is characterized by comprising.

本発明では、基板間の長尺状感光性ウエブを切断する切断部の下流側の所定位置において、基板のコーナ部の位置を計測し、その計測結果に基づき、切断部の所定位置に基板間の長尺状感光性ウエブが配置されているか否かを判定し、その判定結果に基づいて切断部を制御することにより、基板と切断部との干渉を回避することができる。   In the present invention, the position of the corner portion of the substrate is measured at a predetermined position on the downstream side of the cutting portion that cuts the long photosensitive web between the substrates, and based on the measurement result, the inter-substrate position is determined at the predetermined position of the cutting portion. It is possible to avoid interference between the substrate and the cutting portion by determining whether or not the long photosensitive web is disposed and controlling the cutting portion based on the determination result.

また、切断部の下流側に計測部を配置して基板の位置を計測するため、切断部に計測部の配置スペースを確保する必要がない。従って、切断部における基板間距離を可能な限り小さく設定することができ、これにより、感光性積層体の製造に寄与することなく廃棄される長尺状感光性ウエブの量を減少させることができる。   Further, since the measurement unit is arranged on the downstream side of the cutting unit and the position of the substrate is measured, it is not necessary to secure the arrangement space of the measurement unit in the cutting unit. Accordingly, the distance between the substrates at the cut portion can be set as small as possible, and thereby the amount of the long photosensitive web that is discarded without contributing to the production of the photosensitive laminate can be reduced. .

図1は、本実施形態に係る感光性積層体の製造装置20の概略構成図であり、この製造装置20は、液晶又は有機EL用カラーフィルタ等の製作工程で、所定の幅寸法からなる長尺状感光性ウエブ22の感光性樹脂層28(後述する)をガラス基板24に熱転写(ラミネート)する作業を行う。   FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a photosensitive laminate manufacturing apparatus 20 according to the present embodiment. This manufacturing apparatus 20 is a length having a predetermined width dimension in a manufacturing process of a liquid crystal or an organic EL color filter or the like. An operation of thermally transferring (laminating) a photosensitive resin layer 28 (described later) of the long photosensitive web 22 to the glass substrate 24 is performed.

図2は、製造装置20に使用される長尺状感光性ウエブ22の断面図である。この長尺状感光性ウエブ22は、可撓性ベースフイルム(支持体)26と、感光性樹脂層(感光材料層)28と、保護フイルム30とを積層して構成される。   FIG. 2 is a cross-sectional view of the long photosensitive web 22 used in the manufacturing apparatus 20. The long photosensitive web 22 is formed by laminating a flexible base film (support) 26, a photosensitive resin layer (photosensitive material layer) 28, and a protective film 30.

図1に示すように、製造装置20は、長尺状感光性ウエブ22をロール状に巻回した感光性ウエブロール23を収容し、感光性ウエブロール23から前記長尺状感光性ウエブ22を送り出し可能なウエブ送り出し機構32と、送り出された長尺状感光性ウエブ22の保護フイルム30及び感光性樹脂層28の幅方向に切断可能な2個所の境界部分であるハーフカット部位(加工部位)34a、34b(図2参照)を形成する加工機構36(加工部)と、一部に非接着部38aを有する接着ラベル38(図3参照)を保護フイルム30に接着させるラベル接着機構40とを備える。   As shown in FIG. 1, the manufacturing apparatus 20 accommodates a photosensitive web roll 23 in which a long photosensitive web 22 is wound into a roll, and the long photosensitive web 22 is removed from the photosensitive web roll 23. A web feed mechanism 32 that can be fed out, a protective film 30 of the long photosensitive web 22 that has been fed out, and a half cut site (processed site) that is a boundary between two portions that can be cut in the width direction of the photosensitive resin layer 28. A processing mechanism 36 (processing portion) for forming 34a and 34b (see FIG. 2), and a label bonding mechanism 40 for bonding an adhesive label 38 (see FIG. 3) having a non-bonding portion 38a in part to the protective film 30. Prepare.

ラベル接着機構40の下流には、長尺状感光性ウエブ22をタクト送りから連続送りに変更するためのリザーバ機構42と、長尺状感光性ウエブ22から保護フイルム30を所定の長さ間隔で剥離させる剥離機構44と、ガラス基板24を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に供給する基板供給機構45と、前記保護フイルム30の剥離により露出した感光性樹脂層28を前記ガラス基板24に一体的に貼り付ける貼り付け機構46とが配設される。   Downstream of the label adhering mechanism 40, a reservoir mechanism 42 for changing the long photosensitive web 22 from tact feed to continuous feed, and a protective film 30 from the long photosensitive web 22 at predetermined length intervals. A peeling mechanism 44 for peeling off, a substrate supply mechanism 45 for supplying the glass substrate 24 to a bonding position in a state where the glass substrate 24 is heated to a predetermined temperature, and the photosensitive resin layer 28 exposed by peeling off the protective film 30 are included in the glass substrate 24. An affixing mechanism 46 for affixing to and from is provided.

貼り付け機構46における貼り付け位置の上流近傍には、ハーフカット部位34a、34bを含む長尺状感光性ウエブ22の画像を撮影する撮影部47が配設される。製造装置20は、撮影部47によって撮影されたハーフカット部位34a、34bの画像に基づき、貼り付け機構46に対するハーフカット部位34a、34bの位置ずれ量を算出し、長尺状感光性ウエブ22の送り量の補正を行う。   In the vicinity of the upstream of the attaching position in the attaching mechanism 46, an imaging unit 47 for taking an image of the long photosensitive web 22 including the half cut portions 34a and 34b is disposed. The manufacturing apparatus 20 calculates the amount of positional deviation of the half-cut portions 34a and 34b with respect to the pasting mechanism 46 based on the images of the half-cut portions 34a and 34b photographed by the photographing unit 47, and the long photosensitive web 22 Correct the feed amount.

ウエブ送り出し機構32の下流近傍には、略使用済みの長尺状感光性ウエブ22の後端と、新たに使用される長尺状感光性ウエブ22の先端とを貼り付ける貼り付け台49が配設される。貼り付け台49の下流には、感光性ウエブロール23の巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端末位置検出器51が配設される。ここで、フイルム端末位置調整は、ウエブ送り出し機構32を幅方向に移動させて行うが、ローラを組み合わせた位置調整機構を付設して行ってもよい。   In the vicinity of the downstream side of the web delivery mechanism 32, an affixing table 49 is provided to attach the rear end of the substantially used long photosensitive web 22 and the front end of the newly used long photosensitive web 22. Established. A film terminal position detector 51 is disposed downstream of the attachment table 49 in order to control the shift in the width direction due to the winding shift of the photosensitive web roll 23. Here, the film terminal position adjustment is performed by moving the web feed mechanism 32 in the width direction, but may be performed by attaching a position adjustment mechanism combined with a roller.

加工機構36は、ウエブ送り出し機構32に収容巻回されている感光性ウエブロール23のロール径を算出するためのローラ対50の下流に配置される。加工機構36は、距離Mだけ離間した一対の丸刃52a、52bを備える。丸刃52a、52bは、長尺状感光性ウエブ22の幅方向に走行して、保護フイルム30の残存部分Bを挟んだ所定の2個所の位置にハーフカット部位34a、34bを形成する(図2参照)。   The processing mechanism 36 is disposed downstream of the roller pair 50 for calculating the roll diameter of the photosensitive web roll 23 accommodated and wound in the web feed mechanism 32. The processing mechanism 36 includes a pair of round blades 52a and 52b separated by a distance M. The round blades 52a and 52b run in the width direction of the long photosensitive web 22 to form half-cut portions 34a and 34b at two predetermined positions sandwiching the remaining portion B of the protective film 30 (see FIG. 2).

図2に示すように、ハーフカット部位34a、34bは、少なくとも保護フイルム30及び感光性樹脂層28を切断する必要があり、実際上、可撓性ベースフイルム26まで切り込むように丸刃52a、52bの切り込み深さが設定される。丸刃52a、52bは、回転することなく固定された状態で、長尺状感光性ウエブ22の幅方向に移動してハーフカット部位34a、34bを形成する方式や、前記長尺状感光性ウエブ22上を滑ることなく回転しながら前記幅方向に移動して前記ハーフカット部位34a、34bを形成する方式が採用される。このハーフカット部位34a、34bは、丸刃52a、52bに代替して、例えば、レーザ光や超音波を用いたカット方式の他、ナイフ刃、押し切り刃(トムソン刃)等で形成する方式を採用してもよい。   As shown in FIG. 2, the half-cut portions 34a and 34b are required to cut at least the protective film 30 and the photosensitive resin layer 28. In practice, the round blades 52a and 52b are cut so as to cut to the flexible base film 26. The depth of cut is set. The round blades 52a and 52b are fixed without rotating, and move in the width direction of the long photosensitive web 22 to form the half-cut portions 34a and 34b, or the long photosensitive web. A method of moving in the width direction while rotating without sliding on 22 to form the half-cut portions 34a and 34b is adopted. In place of the round blades 52a and 52b, for example, the half-cut portions 34a and 34b employ a method of forming with a knife blade, a push cutting blade (Thomson blade) or the like in addition to a cutting method using laser light or ultrasonic waves. May be.

ハーフカット部位34a、34bは、感光性樹脂層28をガラス基板24に貼り付けた際、例えば、前記ガラス基板24の両端部からそれぞれ10mmずつ内側に入り込んだ位置となるように設定される。なお、ガラス基板24間の保護フイルム30の残存部分Bは、後述する貼り付け機構46において感光性樹脂層28を前記ガラス基板24に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。   When the photosensitive resin layer 28 is attached to the glass substrate 24, the half-cut portions 34a and 34b are set, for example, so as to be in a position that enters into the inside by 10 mm from both ends of the glass substrate 24, respectively. The remaining portion B of the protective film 30 between the glass substrates 24 functions as a mask when the photosensitive resin layer 28 is attached to the glass substrate 24 in a frame shape in the attaching mechanism 46 described later.

ラベル接着機構40は、ガラス基板24間に対応して保護フイルム30の残存部分Bを残すため、ハーフカット部位34b側の剥離部分Aとハーフカット部位34a側の剥離部分Aとを連結する接着ラベル38を供給する。   Since the label adhesion mechanism 40 leaves the remaining part B of the protective film 30 correspondingly between the glass substrates 24, an adhesive label that connects the peeling part A on the half-cut part 34b side and the peeling part A on the half-cut part 34a side. 38 is supplied.

図3に示すように、接着ラベル38は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム30と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル38は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部(微粘着を含む)38aを有するとともに、この非接着部38aの両側、すなわち、前記接着ラベル38の長手方向両端部に、前方の剥離部分Aに接着される第1接着部38bと、後方の剥離部分Aに接着される第2接着部38cとを有する。   As shown in FIG. 3, the adhesive label 38 is formed in a strip shape, and is formed of, for example, the same resin material as the protective film 30. The adhesive label 38 has a non-adhesive portion (including a slight adhesion) 38a to which a pressure-sensitive adhesive is not applied at the center, and the front side of the non-adhesive portion 38a, that is, both ends in the longitudinal direction of the adhesive label 38 It has the 1st adhesion part 38b adhered to exfoliation part A, and the 2nd adhesion part 38c adhered to back exfoliation part A.

図1に示すように、ラベル接着機構40は、最大7枚の接着ラベル38を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド54a〜54gを備えるとともに、前記吸着パッド54a〜54gによる前記接着ラベル38の貼り付け位置には、長尺状感光性ウエブ22を下方から保持するための受け台56が昇降自在に配置される。   As shown in FIG. 1, the label bonding mechanism 40 includes suction pads 54 a to 54 g to which a maximum of seven adhesive labels 38 can be pasted at predetermined intervals, and the adhesive labels by the suction pads 54 a to 54 g. A pedestal 56 for holding the elongate photosensitive web 22 from below is disposed at the attachment position 38 so as to be movable up and down.

リザーバ機構42は、上流側の長尺状感光性ウエブ22のタクト搬送と、下流側の前記長尺状感光性ウエブ22の連続搬送との速度差を吸収するために、矢印方向に揺動自在なダンサーローラ60を備える。   The reservoir mechanism 42 is swingable in the direction of the arrow in order to absorb the speed difference between the tact conveyance of the long photosensitive web 22 on the upstream side and the continuous conveyance of the long photosensitive web 22 on the downstream side. The dancer roller 60 is provided.

リザーバ機構42の下流に配置される剥離機構44は、長尺状感光性ウエブ22の送り出し側のテンション変動を遮断し、ラミネート時のテンションを安定化させるためのサクションドラム62を備える。サクションドラム62の近傍には、剥離ローラ63が配置されるとともに、この剥離ローラ63を介して長尺状感光性ウエブ22から鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム30は、残存部分Bを除いて保護フイルム巻き取り部64に巻き取られる。   The peeling mechanism 44 disposed downstream of the reservoir mechanism 42 includes a suction drum 62 that blocks tension fluctuation on the delivery side of the long photosensitive web 22 and stabilizes the tension during lamination. A peeling roller 63 is disposed in the vicinity of the suction drum 62, and the protective film 30 peeled off from the long photosensitive web 22 with an acute peeling angle via the peeling roller 63 except for the remaining portion B. Then, the film is wound around the protective film winding section 64.

剥離機構44の下流側には、長尺状感光性ウエブ22にテンションを付与可能なテンション制御機構66が配設される。テンション制御機構66は、シリンダ68の駆動作用下にテンションダンサー70が揺動変位することにより、長尺状感光性ウエブ22のテンションが調整可能である。なお、テンション制御機構66は、必要に応じて使用すればよく、削除することもできる。   A tension control mechanism 66 that can apply tension to the long photosensitive web 22 is disposed on the downstream side of the peeling mechanism 44. The tension control mechanism 66 can adjust the tension of the long photosensitive web 22 when the tension dancer 70 swings and displaces under the driving action of the cylinder 68. The tension control mechanism 66 may be used as necessary and can be deleted.

基板供給機構45は、ガラス基板24を挟持するように配設される基板加熱部(例えば、ヒータ)74と、このガラス基板24を矢印Y方向に搬送する搬送部76と、ガラス基板24の後端部の停止位置を検出する停止位置検出センサ78とを備える。基板加熱部74では、ガラス基板24の温度を常時監視し、異常時には、搬送部76の停止や警報を発生するとともに、異常情報を発信して異常なガラス基板24を後工程でNG排出、品質管理又は生産管理等に活用することができる。搬送部76には、図示しないエア浮上プレートが配設され、ガラス基板24が浮上されて矢印Y方向に搬送される。ガラス基板24の搬送は、ローラコンベアでも行える。   The substrate supply mechanism 45 includes a substrate heating unit (for example, a heater) 74 disposed so as to sandwich the glass substrate 24, a transport unit 76 that transports the glass substrate 24 in the arrow Y direction, and the rear of the glass substrate 24. And a stop position detection sensor 78 for detecting the stop position of the end portion. The substrate heating unit 74 constantly monitors the temperature of the glass substrate 24. When an abnormality occurs, the conveyance unit 76 is stopped or alarmed, and abnormal information is transmitted to cause the abnormal glass substrate 24 to be discharged NG in the subsequent process. It can be used for management or production management. An air levitation plate (not shown) is disposed in the conveyance unit 76, and the glass substrate 24 is levitated and conveyed in the arrow Y direction. The glass substrate 24 can be transported by a roller conveyor.

ガラス基板24の温度測定は、基板加熱部74内又は貼り付け位置直前で行うことが好ましい。測定方法としては、接触式(例えば、熱電対)の他、非接触式であってもよい。   The temperature measurement of the glass substrate 24 is preferably performed in the substrate heating unit 74 or immediately before the attachment position. The measuring method may be a contact type (for example, thermocouple) or a non-contact type.

貼り付け機構46は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるゴムローラ(圧着ローラ)80a、80bを備える。ゴムローラ80a、80bには、バックアップローラ82a、82bが摺接する。一方のバックアップローラ82bは、ローラクランプ部83を構成する加圧シリンダ84によりゴムローラ80b側に押圧される。   The affixing mechanism 46 includes rubber rollers (compression rollers) 80a and 80b that are arranged vertically and heated to a predetermined temperature. Backup rollers 82a and 82b are in sliding contact with the rubber rollers 80a and 80b. One backup roller 82 b is pressed toward the rubber roller 80 b by a pressure cylinder 84 that constitutes a roller clamp portion 83.

ガラス基板24は、貼り付け機構46から矢印Y方向に延在する搬送路を構成する複数の基板搬送ローラ90a〜90dによって搬送される。基板搬送ローラ90b、90c間には、ガラス基板24間の長尺状感光性ウエブ22を切断することで、ガラス基板24に感光材料層が貼り付けられた感光性積層体を分離するカッタ機構48(切断部)が配設される。   The glass substrate 24 is transported by a plurality of substrate transport rollers 90a to 90d constituting a transport path extending in the arrow Y direction from the pasting mechanism 46. A cutter mechanism 48 is provided between the substrate transport rollers 90b and 90c to cut the long photosensitive web 22 between the glass substrates 24 to separate the photosensitive laminate having the photosensitive material layer attached to the glass substrate 24. (Cutting part) is disposed.

また、基板搬送ローラ90dの下流側の所定位置には、長尺状感光性ウエブ22が貼り付けられたガラス基板24の端部の画像を撮影する撮影部94が配設される。撮影部94は、図4及び図5に示すように、二次元光源95と、二次元光源95から出力され、ガラス基板24の端部であるコーナ部96を透過した照明光を受光し、前記コーナ部96の画像を撮影するCCDカメラ97と、CCDカメラ97の撮影域98の一部に配置され、撮影域98の画像におけるコーナ部96の位置を計測するための基準片99とを備えて構成される。   In addition, a photographing unit 94 for photographing an image of the end of the glass substrate 24 on which the long photosensitive web 22 is attached is disposed at a predetermined position on the downstream side of the substrate transport roller 90d. As shown in FIGS. 4 and 5, the imaging unit 94 receives the illumination light output from the two-dimensional light source 95 and the two-dimensional light source 95 and transmitted through the corner unit 96 that is the end of the glass substrate 24. A CCD camera 97 that captures an image of the corner section 96 and a reference piece 99 that is disposed in a part of the imaging area 98 of the CCD camera 97 and that measures the position of the corner section 96 in the image of the imaging area 98 are provided. Composed.

ここで、距離Lは、カッタ機構48と基準片99との間の距離を表す。また、ガラス基板24の搬送方向と直交する方向の幅は、長尺状感光性ウエブ22の幅よりも広く設定されており、ガラス基板24のコーナ部96が長尺状感光性ウエブ22に重ならない状態で撮影域98に配置される。さらに、CCDカメラ97によって撮影されるコーナ部96は、ガラス基板24の他の3つのコーナ部と異なり、ガラス基板24の搬送方向に対して傾斜する形状に形成される。   Here, the distance L represents the distance between the cutter mechanism 48 and the reference piece 99. The width in the direction orthogonal to the conveying direction of the glass substrate 24 is set wider than the width of the long photosensitive web 22, and the corner portion 96 of the glass substrate 24 overlaps the long photosensitive web 22. It is arranged in the photographing area 98 in such a state that it does not become. Further, unlike the other three corner portions of the glass substrate 24, the corner portion 96 photographed by the CCD camera 97 is formed in a shape that is inclined with respect to the conveyance direction of the glass substrate 24.

なお、以上のように構成される製造装置20では、ウエブ送り出し機構32、加工機構36、ラベル接着機構40、リザーバ機構42、剥離機構44、テンション制御機構66並びに撮影部47が、貼り付け機構46の上方に配置されているが、これとは逆に、前記ウエブ送り出し機構32から前記撮影部47までを前記貼り付け機構46の下方に配置し、長尺状感光性ウエブ22の上下が逆になって感光性樹脂層28をガラス基板24の下側に貼り付ける構成であってもよく、また、長尺状感光性ウエブ22の搬送路を直線状に構成してもよい。   In the manufacturing apparatus 20 configured as described above, the web feed mechanism 32, the processing mechanism 36, the label adhesion mechanism 40, the reservoir mechanism 42, the peeling mechanism 44, the tension control mechanism 66, and the photographing unit 47 are included in the pasting mechanism 46. However, on the contrary, the web feeding mechanism 32 to the photographing unit 47 are arranged below the pasting mechanism 46, and the long photosensitive web 22 is turned upside down. Thus, the photosensitive resin layer 28 may be attached to the lower side of the glass substrate 24, or the conveying path of the long photosensitive web 22 may be configured linearly.

製造装置20内は、仕切り壁110を介して第1クリーンルーム112aと第2クリーンルーム112bとに仕切られる。第1クリーンルーム112aには、ウエブ送り出し機構32からテンション制御機構66までが収容され、第2クリーンルーム112bには、撮影部47以降の機構が収容される。第1クリーンルーム112aと第2クリーンルーム112bとは、貫通部114を介して連通する。   The inside of the manufacturing apparatus 20 is partitioned into a first clean room 112a and a second clean room 112b through a partition wall 110. The first clean room 112a accommodates the web feed mechanism 32 to the tension control mechanism 66, and the second clean room 112b accommodates the mechanism after the photographing unit 47. The first clean room 112a and the second clean room 112b communicate with each other through the penetration part 114.

図6は、製造装置20の制御回路ブロック図を示す。製造装置20の制御回路は、撮影部94を構成するCCDカメラ97によって撮影した画像を処理する画像処理部126と、処理された画像情報に基づき、基準片99のエッジ部に対するコーナ部96の位置ずれ量ΔKを算出する位置ずれ量算出部128と、位置ずれ量算出部128で算出されたコーナ部96の位置ずれ量ΔKに基づき、カッタ機構48の動作を制御するカッタ制御部130とを備える。カッタ制御部130は、コーナ部96の位置ずれ量ΔKが許容範囲内であるか否かを判定し、その判定結果を表示部132に表示させる一方、前記位置ずれ量ΔKが許容範囲内にない場合、カッタ機構48による長尺状感光性ウエブ22の切断処理を禁止し、あるいは、切断位置を変更する制御を行う。   FIG. 6 shows a control circuit block diagram of the manufacturing apparatus 20. The control circuit of the manufacturing apparatus 20 includes an image processing unit 126 that processes an image captured by the CCD camera 97 that constitutes the imaging unit 94, and the position of the corner unit 96 with respect to the edge portion of the reference piece 99 based on the processed image information. A displacement amount calculation unit 128 that calculates the displacement amount ΔK, and a cutter control unit 130 that controls the operation of the cutter mechanism 48 based on the displacement amount ΔK of the corner portion 96 calculated by the displacement amount calculation unit 128 are provided. . The cutter control unit 130 determines whether or not the positional deviation amount ΔK of the corner portion 96 is within an allowable range, and displays the determination result on the display unit 132, while the positional deviation amount ΔK is not within the allowable range. In this case, the cutting process of the long photosensitive web 22 by the cutter mechanism 48 is prohibited, or control for changing the cutting position is performed.

次に、以上のように構成される製造装置20の動作について、本発明に係る製造方法との関連で説明する。   Next, operation | movement of the manufacturing apparatus 20 comprised as mentioned above is demonstrated in relation to the manufacturing method which concerns on this invention.

先ず、ウエブ送り出し機構32に取り付けられている感光性ウエブロール23から長尺状感光性ウエブ22が送り出される。長尺状感光性ウエブ22は、加工機構36に搬送される。   First, the long photosensitive web 22 is fed from the photosensitive web roll 23 attached to the web feed mechanism 32. The long photosensitive web 22 is conveyed to the processing mechanism 36.

加工機構36では、丸刃52a、52bが長尺状感光性ウエブ22の幅方向に移動して、前記長尺状感光性ウエブ22を保護フイルム30から感光性樹脂層28乃至可撓性ベースフイルム26まで切り込み、保護フイルム30の残存部分Bの幅Mだけ離間するハーフカット部位34a、34bを形成する(図2参照)。これにより、長尺状感光性ウエブ22には、残存部分Bを挟んで前方の剥離部分Aと後方の剥離部分Aとが設けられる(図2参照)。   In the processing mechanism 36, the round blades 52a and 52b move in the width direction of the long photosensitive web 22, and the long photosensitive web 22 is moved from the protective film 30 to the photosensitive resin layer 28 to the flexible base film. Cut to 26 to form half-cut portions 34a and 34b separated by the width M of the remaining portion B of the protective film 30 (see FIG. 2). As a result, the long photosensitive web 22 is provided with a front peeling portion A and a rear peeling portion A across the remaining portion B (see FIG. 2).

なお、残存部分Bの幅Mは、長尺状感光性ウエブ22が延びないことを前提として、貼り付け機構46のゴムローラ80a、80b間に供給されるガラス基板24間の距離を基準として設定される。また、幅Mで形成される一組のハーフカット部位34a、34bは、ガラス基板24に貼り付けられる感光性樹脂層28の基準長さの間隔で長尺状感光性ウエブ22に形成される。   The width M of the remaining portion B is set on the basis of the distance between the glass substrates 24 supplied between the rubber rollers 80a and 80b of the attaching mechanism 46 on the assumption that the long photosensitive web 22 does not extend. The A pair of half-cut portions 34 a and 34 b formed with a width M are formed on the long photosensitive web 22 at intervals of a reference length of the photosensitive resin layer 28 attached to the glass substrate 24.

次いで、長尺状感光性ウエブ22は、ラベル接着機構40に搬送されて、保護フイルム30の所定の貼り付け部位が受け台56上に配置される。ラベル接着機構40では、所定枚数の接着ラベル38が吸着パッド54b〜54gにより吸着保持され、各接着ラベル38が保護フイルム30の残存部分Bを跨いで、前方の剥離部分Aと後方の剥離部分Aとに一体的に接着される(図3参照)。   Next, the long photosensitive web 22 is conveyed to the label adhering mechanism 40, and a predetermined application portion of the protective film 30 is arranged on the cradle 56. In the label adhering mechanism 40, a predetermined number of adhesive labels 38 are adsorbed and held by the adsorbing pads 54b to 54g, and each adhering label 38 straddles the remaining portion B of the protective film 30, and the front peeling portion A and the rear peeling portion A. Are integrally bonded to each other (see FIG. 3).

例えば、7枚の接着ラベル38が接着された長尺状感光性ウエブ22は、図1に示すように、リザーバ機構42を介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、剥離機構44に連続的に搬送される。剥離機構44では、長尺状感光性ウエブ22の可撓性ベースフイルム26がサクションドラム62に吸着保持されるとともに、保護フイルム30が残存部分Bを残して前記長尺状感光性ウエブ22から剥離される。この保護フイルム30は、剥離ローラ63を介して剥離されて保護フイルム巻き取り部64に巻き取られる(図1参照)。   For example, as shown in FIG. 1, the long photosensitive web 22 to which seven adhesive labels 38 are bonded is continuously connected to the peeling mechanism 44 after the tension on the delivery side is prevented via the reservoir mechanism 42. To be transported. In the peeling mechanism 44, the flexible base film 26 of the long photosensitive web 22 is sucked and held by the suction drum 62, and the protective film 30 is peeled off from the long photosensitive web 22 leaving the remaining portion B. Is done. The protective film 30 is peeled off via the peeling roller 63 and wound around the protective film take-up portion 64 (see FIG. 1).

剥離機構44の作用下に、保護フイルム30が残存部分Bを残して可撓性ベースフイルム26から剥離された後、長尺状感光性ウエブ22は、テンション制御機構66によってテンション調整が行われ、次いで、撮影部47において、所定の撮影タイミングでハーフカット部位34a、34bを含む長尺状感光性ウエブ22の画像が撮影される。   Under the action of the peeling mechanism 44, after the protective film 30 is peeled off from the flexible base film 26 leaving the remaining portion B, the tension of the long photosensitive web 22 is adjusted by the tension control mechanism 66, Next, in the photographing unit 47, an image of the long photosensitive web 22 including the half cut portions 34a and 34b is photographed at a predetermined photographing timing.

撮影部47を通過した長尺状感光性ウエブ22は、貼り付け機構46に搬送されることで、ガラス基板24に対する感光性樹脂層28の転写処理(ラミネート)が行われる。この場合、撮影部47によって撮影されたハーフカット部位34a、34bの画像に基づき、貼り付け機構46におけるハーフカット部位34a、34bの位置が調整される。   The long photosensitive web 22 that has passed through the photographing section 47 is conveyed to the attaching mechanism 46, whereby the photosensitive resin layer 28 is transferred (laminated) to the glass substrate 24. In this case, the positions of the half cut portions 34a and 34b in the attaching mechanism 46 are adjusted based on the images of the half cut portions 34a and 34b photographed by the photographing unit 47.

貼り付け機構46では、当初、ゴムローラ80a、80bが離間した状態に設定されており、ゴムローラ80a、80b間の所定位置に長尺状感光性ウエブ22のハーフカット部位34aが位置決めされた状態において、長尺状感光性ウエブ22の搬送が一旦停止される。この状態において、基板供給機構45を構成する基板加熱部74によって所定温度に加熱されたガラス基板24の先端部が搬送部76によってゴムローラ80a、80b間に搬入されると、加圧シリンダ84の作用下にバックアップローラ82b及びゴムローラ80bが上昇し、ゴムローラ80a、80b間にガラス基板24及び長尺状感光性ウエブ22が所定のプレス圧力で挟み込まれる。なお、ゴムローラ80a、80bは、所定のラミネート温度に加熱されている。   In the pasting mechanism 46, the rubber rollers 80a and 80b are initially set in a separated state, and the half-cut portion 34a of the long photosensitive web 22 is positioned at a predetermined position between the rubber rollers 80a and 80b. The conveyance of the long photosensitive web 22 is temporarily stopped. In this state, when the tip of the glass substrate 24 heated to a predetermined temperature by the substrate heating unit 74 constituting the substrate supply mechanism 45 is carried between the rubber rollers 80a and 80b by the transport unit 76, the action of the pressure cylinder 84 is achieved. The backup roller 82b and the rubber roller 80b are raised below, and the glass substrate 24 and the long photosensitive web 22 are sandwiched between the rubber rollers 80a and 80b with a predetermined pressing pressure. The rubber rollers 80a and 80b are heated to a predetermined laminating temperature.

次いで、ゴムローラ80a、80bが回転し、ガラス基板24及び長尺状感光性ウエブ22が矢印Y方向に搬送される。この結果、感光性樹脂層28が加熱溶融されてガラス基板24に転写(ラミネート)される。   Next, the rubber rollers 80a and 80b rotate, and the glass substrate 24 and the long photosensitive web 22 are conveyed in the arrow Y direction. As a result, the photosensitive resin layer 28 is heated and melted and transferred (laminated) to the glass substrate 24.

なお、ラミネート条件としては、速度が1.0m/min〜10.0m/min、ゴムローラ80a、80bの温度が80℃〜140℃、前記ゴムローラ80a、80bのゴム硬度が40度〜90度、該ゴムローラ80a、80bのプレス圧(線圧)が50N/cm〜400N/cmである。   The laminating conditions include a speed of 1.0 m / min to 10.0 m / min, a temperature of the rubber rollers 80a and 80b of 80 ° C to 140 ° C, a rubber hardness of the rubber rollers 80a and 80b of 40 ° to 90 °, The pressing pressure (linear pressure) of the rubber rollers 80a and 80b is 50 N / cm to 400 N / cm.

ガラス基板24に対して長尺状感光性ウエブ22の一枚分のラミネートが終了すると、ゴムローラ80a、80bの回転が停止される一方、長尺状感光性ウエブ22がラミネートされたガラス基板24の先端部が基板搬送ローラ90aによりクランプされる。このとき、ゴムローラ80a、80b間の所定位置には、ハーフカット部位34bが配置される。   When the lamination of one sheet of the long photosensitive web 22 is completed on the glass substrate 24, the rotation of the rubber rollers 80a and 80b is stopped, while the glass substrate 24 on which the long photosensitive web 22 is laminated is stopped. The leading end is clamped by the substrate transport roller 90a. At this time, a half-cut portion 34b is disposed at a predetermined position between the rubber rollers 80a and 80b.

そして、ゴムローラ80bが、ゴムローラ80aから離間する方向に退避してクランプが解除されるとともに、基板搬送ローラ90aの回転が低速で再び開始され、長尺状感光性ウエブ22がガラス基板24にラミネートされた感光性積層体が矢印Y方向に保護フイルム30の残存部分Bの幅Mに対応する距離だけ搬送され、次のハーフカット部位34aがゴムローラ80aの下方付近の所定位置に搬送された後、ゴムローラ80a、80bの回転が停止される。なお、長尺状感光性ウエブ22をハーフカット部位34a、34b間だけ搬送する処理を、以下において「基板間送り」という。   Then, the rubber roller 80b is retracted in a direction away from the rubber roller 80a to release the clamp, and the rotation of the substrate transport roller 90a is started again at a low speed, and the long photosensitive web 22 is laminated on the glass substrate 24. After the photosensitive laminate is transported in the direction of arrow Y by a distance corresponding to the width M of the remaining portion B of the protective film 30, the next half-cut portion 34a is transported to a predetermined position near the lower portion of the rubber roller 80a, and then the rubber roller The rotation of 80a and 80b is stopped. In addition, the process which conveys the elongate photosensitive web 22 only between the half cut site | parts 34a and 34b is called "inter-substrate feeding" below.

一方、前記の状態において、基板供給機構45を介して次なるガラス基板24が貼り付け位置に向かって搬送される。以上の動作が繰り返されることにより、感光性積層体が連続的に製造される。   On the other hand, in the above state, the next glass substrate 24 is conveyed toward the attaching position via the substrate supply mechanism 45. By repeating the above operation, the photosensitive laminate is continuously manufactured.

その際、感光性積層体は、図4に示すように、それぞれの端部同士が保護フイルム30の残存部分Bによって覆われている。従って、感光性樹脂層28がガラス基板24に転写される際、ゴムローラ80a、80bが前記感光性樹脂層28により汚れることがない。   At that time, as shown in FIG. 4, the ends of the photosensitive laminate are covered with the remaining portion B of the protective film 30. Therefore, when the photosensitive resin layer 28 is transferred to the glass substrate 24, the rubber rollers 80a and 80b are not soiled by the photosensitive resin layer 28.

貼り付け機構46によって製造された感光性積層体は、貼り付け機構46で長尺状感光性ウエブ22が基板間送りされた後、一旦停止状態にあるとき、基板搬送ローラ90b、90c間に配設されているカッタ機構48によってガラス基板24間の長尺状感光性ウエブ22が切断されることで分離される。   The photosensitive laminate manufactured by the attaching mechanism 46 is disposed between the substrate transport rollers 90b and 90c when the long photosensitive web 22 is temporarily stopped after the long photosensitive web 22 is fed between the substrates by the attaching mechanism 46. The long photosensitive web 22 between the glass substrates 24 is cut and separated by the cutter mechanism 48 provided.

ここで、長尺状感光性ウエブ22は、所定のテンションが付与された状態で供給されるとともに、貼り付け機構46において加熱されてガラス基板24に貼り付けられるため、延びが発生することになる。この場合、長尺状感光性ウエブ22の延び量によっては、カッタ機構48の所定の切断位置にガラス基板24間の長尺状感光性ウエブ22が配置されない事態の生じるおそれがある。   Here, the long photosensitive web 22 is supplied in a state where a predetermined tension is applied, and is heated and pasted on the glass substrate 24 by the pasting mechanism 46, so that the elongation occurs. . In this case, depending on the extension amount of the long photosensitive web 22, there is a possibility that the long photosensitive web 22 between the glass substrates 24 is not disposed at a predetermined cutting position of the cutter mechanism 48.

そこで、カッタ制御部130は、カッタ機構48の下流側の所定位置に配置された撮影部94により計測されたガラス基板24の位置に基づき、カッタ機構48を制御することで、ガラス基板24とカッタ機構48との干渉を回避する。   Therefore, the cutter control unit 130 controls the cutter mechanism 48 based on the position of the glass substrate 24 measured by the photographing unit 94 disposed at a predetermined position on the downstream side of the cutter mechanism 48, so that the glass substrate 24 and the cutter are connected. Interference with the mechanism 48 is avoided.

カッタ機構48の下流側に配設された撮影部94を構成するCCDカメラ97は、二次元光源95からの照明光をガラス基板24を介して受光することで、ガラス基板24のコーナ部96の画像を撮影する。この場合、撮影域98の画像には、コーナ部96の画像とともに、基準片99の画像が含まれている。ガラス基板24は、図5に示すように、長尺状感光性ウエブ22よりも幅広に設定されているため、長尺状感光性ウエブ22によって妨げられることなく、コーナ部96の画像を確実に撮影することができる。   The CCD camera 97 constituting the photographing unit 94 disposed on the downstream side of the cutter mechanism 48 receives the illumination light from the two-dimensional light source 95 through the glass substrate 24, so that the corner portion 96 of the glass substrate 24 Take a picture. In this case, the image of the shooting area 98 includes the image of the reference piece 99 together with the image of the corner portion 96. As shown in FIG. 5, the glass substrate 24 is set wider than the long photosensitive web 22, so that the image of the corner portion 96 can be reliably obtained without being obstructed by the long photosensitive web 22. You can shoot.

CCDカメラ97によって撮影された画像は、画像情報として画像処理部126に送信され、所定の画像処理が施されることにより、コーナ部96及び基準片99の位置情報が取得される。この場合、撮影されるコーナ部96は、ガラス基板24の搬送方向に対して傾斜する形状に形成されているため、長尺状感光性ウエブ22と混同することなく、コーナ部96の位置情報を確実に取得することができる。取得された位置情報は、位置ずれ量算出部128に送信され、基準片99に対するコーナ部96の位置ずれ量ΔKが算出される。   An image photographed by the CCD camera 97 is transmitted as image information to the image processing unit 126, and is subjected to predetermined image processing, whereby position information of the corner unit 96 and the reference piece 99 is acquired. In this case, since the corner portion 96 to be photographed is formed in a shape that is inclined with respect to the conveyance direction of the glass substrate 24, the position information of the corner portion 96 is not confused with the long photosensitive web 22. It can be acquired with certainty. The acquired position information is transmitted to the displacement amount calculation unit 128, and the displacement amount ΔK of the corner portion 96 with respect to the reference piece 99 is calculated.

カッタ制御部130は、算出されたコーナ部96の位置ずれ量ΔKが許容範囲内にあるか否かを判定する。この場合、図4に示すように、カッタ機構48と基準片99との距離Lが一定に固定されているため、算出された位置ずれ量ΔKに従い、ガラス基板24の後端部とカッタ機構48と位置関係を求め、ガラス基板24とカッタ機構48とが干渉するか否かを判定することができる。   The cutter control unit 130 determines whether or not the calculated positional deviation amount ΔK of the corner unit 96 is within an allowable range. In this case, as shown in FIG. 4, since the distance L between the cutter mechanism 48 and the reference piece 99 is fixed, the rear end portion of the glass substrate 24 and the cutter mechanism 48 according to the calculated displacement amount ΔK. It is possible to determine whether the glass substrate 24 and the cutter mechanism 48 interfere with each other.

カッタ制御部130は、判定結果を表示部132に表示するとともに、干渉するおそれがあると判定された場合、カッタ機構48を制御して長尺状感光性ウエブ22の切断処理を禁止させる制御を行う。これにより、ガラス基板24が破損する事態を事前に回避することができる。また、位置ずれ量算出部128によって算出された位置ずれ量ΔKに基づき、カッタ機構48がガラス基板24に干渉しない切断位置を設定して切断処理を行うようにすれば、製造装置20による感光性積層体の製造処理を中断することなく継続させることができる。   The cutter control unit 130 displays the determination result on the display unit 132 and, when it is determined that there is a possibility of interference, controls the cutter mechanism 48 to prohibit cutting processing of the long photosensitive web 22. Do. Thereby, the situation where the glass substrate 24 is damaged can be avoided in advance. In addition, if the cutting mechanism 48 sets a cutting position at which the cutter mechanism 48 does not interfere with the glass substrate 24 based on the positional deviation amount ΔK calculated by the positional deviation amount calculation unit 128, the photosensitivity by the manufacturing apparatus 20 is achieved. The manufacturing process of the laminate can be continued without interruption.

一方、カッタ機構48によって分離された感光性積層体には、可撓性ベースフイルム26が装着されており、この可撓性ベースフイルム26がガラス基板24間の保護フイルム30とともに剥離された後、次の処理工程に供給される。   On the other hand, a flexible base film 26 is attached to the photosensitive laminate separated by the cutter mechanism 48, and after the flexible base film 26 is peeled off together with the protective film 30 between the glass substrates 24, It is supplied to the next processing step.

なお、上述した実施形態では、1本の感光性ウエブロール23から供給される長尺状感光性ウエブ22をガラス基板24に貼り付けることにより、いわゆる、一丁張りの感光性積層体を製造するように構成しているが、例えば、2本の感光性ウエブロールや、3本以上の感光性ウエブロールから長尺状感光性ウエブ22を供給してガラス基板24に貼り付け、いわゆる、2丁張り、3丁張り等の感光性積層体を製造するように構成してもよい。   In the above-described embodiment, a long photosensitive web 22 supplied from a single photosensitive web roll 23 is attached to a glass substrate 24 to produce a so-called single-ply photosensitive laminate. For example, the long photosensitive web 22 is supplied from two photosensitive web rolls or three or more photosensitive web rolls, and is attached to the glass substrate 24. You may comprise so that photosensitive laminated bodies, such as tension | tensile_strength and three-clad tension, may be manufactured.

本実施形態に係る製造装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the manufacturing apparatus which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る製造装置に使用される長尺状感光性ウエブの断面図である。It is sectional drawing of the elongate photosensitive web used for the manufacturing apparatus which concerns on this embodiment. 長尺状感光性ウエブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。It is explanatory drawing of the state by which the adhesive label was adhere | attached on the elongate photosensitive web. カッタ機構及び撮影部の配置関係説明図である。It is explanatory drawing of the arrangement | positioning relationship of a cutter mechanism and an imaging part. 撮影部による撮影域の説明図である。It is explanatory drawing of the imaging | photography area by an imaging | photography part. 撮影部によって取得した画像情報に基づいてカッタ機構を制御する回路構成ブロック図である。It is a circuit block diagram which controls a cutter mechanism based on the image information acquired by the imaging part. 従来技術に係る製造装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the manufacturing apparatus which concerns on a prior art.

符号の説明Explanation of symbols

20…製造装置
22…長尺状感光性ウエブ
24…ガラス基板
26…可撓性ベースフイルム
28…感光性樹脂層
30…保護フイルム
34a、34b…ハーフカット部位
36…加工機構
45…基板供給機構
46…貼り付け機構
47、94…撮影部
48…カッタ機構
80a、80b…ゴムローラ
95…二次元光源
96…コーナ部
97…CCDカメラ
126…画像処理部
128…位置ずれ量算出部
130…カッタ制御部
132…表示部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 20 ... Manufacturing apparatus 22 ... Elongate photosensitive web 24 ... Glass substrate 26 ... Flexible base film 28 ... Photosensitive resin layer 30 ... Protective film 34a, 34b ... Half cut part 36 ... Processing mechanism 45 ... Substrate supply mechanism 46 ... Pasting mechanisms 47 and 94 ... Shooting section 48 ... Cutter mechanisms 80a and 80b ... Rubber roller 95 ... Two-dimensional light source 96 ... Corner section 97 ... CCD camera 126 ... Image processing section 128 ... Position shift amount calculation section 130 ... Cutter control section 132 ... Display section

Claims (10)

支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を、前記保護フイルムから前記感光材料層に至る部分に形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離した後、所定の間隔で供給される基板とともに前記長尺状感光性ウエブを加熱された一対の圧着ローラ間に連続的に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置するとともに、露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付け、次いで、前記基板間で前記長尺状感光性ウエブを切断して分離することで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造装置において、
前記長尺状感光性ウエブを切断する切断部から前記感光性積層体の搬送方向下流側に所定距離離間した位置に配設され、前記感光性積層体を構成する前記基板のコーナ部の位置を計測する計測部と、
前記計測部によって計測された前記コーナ部の位置に基づき、前記切断部を制御する制御部と、
を備えることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
A long photosensitive web in which a photosensitive material layer and a protective film are sequentially laminated on a support is fed out, and a processing site corresponding to a boundary position between a peeled portion and a remaining portion of the protective film is removed from the protective film. Formed in the portion reaching the photosensitive material layer, and after peeling off the peeling portion of the protective film, the long photosensitive web together with a substrate supplied at a predetermined interval is continuously between a pair of heated pressure rollers. The remaining portion of the protective film is disposed between the substrates, the exposed photosensitive material layer is attached to the substrates, and then the long photosensitive web is cut between the substrates. In the manufacturing apparatus of the photosensitive laminate that produces the photosensitive laminate by separating,
The corner portion of the substrate constituting the photosensitive laminate is disposed at a position spaced apart from the cutting portion for cutting the long photosensitive web by a predetermined distance on the downstream side in the transport direction of the photosensitive laminate. A measuring unit to measure,
Based on the position of the corner measured by the measuring unit, a control unit that controls the cutting unit;
An apparatus for producing a photosensitive laminate, comprising:
請求項1記載の製造装置において、
前記基板の前記搬送方向と直交する方向に対する幅は、前記長尺状感光性ウエブの前記搬送方向と直交する方向に対する幅よりも広く設定されることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
The manufacturing apparatus according to claim 1,
The width | variety with respect to the direction orthogonal to the said conveyance direction of the said board | substrate is set wider than the width | variety with respect to the direction orthogonal to the said conveyance direction of the said elongate photosensitive web, The manufacturing apparatus of the photosensitive laminated body characterized by the above-mentioned.
請求項2記載の製造装置において、
前記計測部によって位置が計測される前記コーナ部は、前記搬送方向に対して傾斜する形状からなることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
The manufacturing apparatus according to claim 2, wherein
The apparatus for manufacturing a photosensitive laminate, wherein the corner portion whose position is measured by the measuring portion has a shape inclined with respect to the transport direction.
請求項1記載の製造装置において、
前記制御部は、前記コーナ部の位置に基づき、前記切断部と前記基板との干渉の有無を判定し、前記判定の結果に基づいて前記切断部を制御することを特徴とする感光性積層体の製造装置。
The manufacturing apparatus according to claim 1,
The said control part determines the presence or absence of interference with the said cutting part and the said board | substrate based on the position of the said corner part, and controls the said cutting part based on the result of the said determination, The photosensitive laminated body characterized by the above-mentioned Manufacturing equipment.
請求項4記載の製造装置において、
前記制御部は、前記切断部と前記基板とが干渉すると判定したとき、前記切断部による前記長尺状感光性ウエブの切断処理を禁止させる制御を行うことを特徴とする感光性積層体の製造装置。
The manufacturing apparatus according to claim 4, wherein
When the control unit determines that the cutting unit and the substrate interfere with each other, the control unit performs control for prohibiting the cutting process of the long photosensitive web by the cutting unit. apparatus.
請求項4記載の製造装置において、
前記制御部は、前記切断部と前記基板とが干渉すると判定したとき、前記切断部による前記長尺状感光性ウエブの切断位置を変更する制御を行うことを特徴とする感光性積層体の製造装置。
The manufacturing apparatus according to claim 4, wherein
When the control unit determines that the cutting unit and the substrate interfere with each other, the control unit performs control to change a cutting position of the long photosensitive web by the cutting unit. apparatus.
支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を、前記保護フイルムから前記感光材料層に至る部分に形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離した後、所定の間隔で供給される基板とともに前記長尺状感光性ウエブを加熱された一対の圧着ローラ間に連続的に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置するとともに、露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付け、次いで、前記基板間で前記長尺状感光性ウエブを切断して分離することで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造方法において、
前記長尺状感光性ウエブを切断する切断部から前記感光性積層体の搬送方向下流側に所定距離離間した位置に配設され、前記感光性積層体を構成する前記基板のコーナ部の位置を計測するステップと、
前記計測部によって計測された前記コーナ部の位置に基づき、前記切断部を制御するステップと、
からなることを特徴とする感光性積層体の製造方法。
A long photosensitive web in which a photosensitive material layer and a protective film are sequentially laminated on a support is fed out, and a processing site corresponding to a boundary position between a peeled portion and a remaining portion of the protective film is removed from the protective film. Formed in the portion reaching the photosensitive material layer, and after peeling off the peeling portion of the protective film, the long photosensitive web together with a substrate supplied at a predetermined interval is continuously between a pair of heated pressure rollers. The remaining portion of the protective film is disposed between the substrates, the exposed photosensitive material layer is attached to the substrates, and then the long photosensitive web is cut between the substrates. In the method for producing a photosensitive laminate by producing a photosensitive laminate by separating,
The corner portion of the substrate constituting the photosensitive laminate is disposed at a position spaced apart from the cutting portion for cutting the long photosensitive web by a predetermined distance on the downstream side in the transport direction of the photosensitive laminate. Measuring step,
Controlling the cutting portion based on the position of the corner portion measured by the measuring portion;
The manufacturing method of the photosensitive laminated body characterized by comprising.
請求項7記載の製造方法において、
計測された前記コーナ部の位置に基づき、前記切断部と前記基板との干渉の有無を判定し、前記判定の結果に基づいて前記切断部を制御することを特徴とする感光性積層体の製造方法。
In the manufacturing method of Claim 7,
Production of a photosensitive laminate, wherein the presence or absence of interference between the cut portion and the substrate is determined based on the measured position of the corner portion, and the cut portion is controlled based on the result of the determination. Method.
請求項8記載の製造方法において、
前記切断部と前記基板とが干渉すると判定したとき、前記切断部による前記長尺状感光性ウエブの切断処理を禁止させる制御を行うことを特徴とする感光性積層体の製造方法。
The manufacturing method according to claim 8, wherein
A method for producing a photosensitive laminate, comprising: controlling the cutting of the long photosensitive web by the cutting unit when it is determined that the cutting unit and the substrate interfere with each other.
請求項8記載の製造方法において、
前記切断部と前記基板とが干渉すると判定したとき、前記切断部による前記長尺状感光性ウエブの切断位置を変更する制御を行うことを特徴とする感光性積層体の製造方法。
The manufacturing method according to claim 8, wherein
When it determines with the said cutting part and the said board | substrate interfering, control which changes the cutting position of the said elongate photosensitive web by the said cutting part is performed, The manufacturing method of the photosensitive laminated body characterized by the above-mentioned.
JP2007049507A 2007-02-28 2007-02-28 Apparatus and method for manufacturing photosensitive laminate Pending JP2008216295A (en)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007049507A JP2008216295A (en) 2007-02-28 2007-02-28 Apparatus and method for manufacturing photosensitive laminate
KR1020080013192A KR20080080001A (en) 2007-02-28 2008-02-13 Apparatus for and method of manufacturing photosensitive laminated body
CNA200810080893XA CN101254677A (en) 2007-02-28 2008-02-26 Manufacturing installation of light sensitivity stacking body and production method thereof
TW097106724A TW200843955A (en) 2007-02-28 2008-02-27 Apparatus for and method of manufacturing photosensitive laminated body

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007049507A JP2008216295A (en) 2007-02-28 2007-02-28 Apparatus and method for manufacturing photosensitive laminate

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2008216295A true JP2008216295A (en) 2008-09-18

Family

ID=39836458

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007049507A Pending JP2008216295A (en) 2007-02-28 2007-02-28 Apparatus and method for manufacturing photosensitive laminate

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP2008216295A (en)
KR (1) KR20080080001A (en)
CN (1) CN101254677A (en)
TW (1) TW200843955A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9340451B2 (en) 2013-02-28 2016-05-17 Corning Incorporated Machining of fusion-drawn glass laminate structures containing a photomachinable layer

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100129203A (en) * 2009-05-29 2010-12-08 후지필름 가부시키가이샤 Method of cutting laminated body
JP2011199056A (en) * 2010-03-19 2011-10-06 Hitachi High-Technologies Corp Assembling device for fpd module
TW201237983A (en) * 2011-03-11 2012-09-16 Lan Teh Industry Co Ltd Hot cutting device for semiconductor process
KR102240570B1 (en) 2014-05-13 2021-04-15 삼성전자주식회사 Method and apparatus for generating spanning tree,method and apparatus for stereo matching,method and apparatus for up-sampling,and method and apparatus for generating reference pixel
CN105197659A (en) * 2015-08-26 2015-12-30 蚌埠市高德机械自动化科技有限公司 Automatic cloth ironing machine of filter element plate of filter
KR20170138834A (en) * 2016-06-08 2017-12-18 코닝 인코포레이티드 Apparatus for laminating

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9340451B2 (en) 2013-02-28 2016-05-17 Corning Incorporated Machining of fusion-drawn glass laminate structures containing a photomachinable layer
US10227256B2 (en) 2013-02-28 2019-03-12 Corning Incorporated Machining of fusion-drawn glass laminate structures containing a photomachinable layer
US11028010B2 (en) 2013-02-28 2021-06-08 Corning Incorporated Machining of fusion-drawn glass laminate structures containing a photomachinable layer

Also Published As

Publication number Publication date
KR20080080001A (en) 2008-09-02
CN101254677A (en) 2008-09-03
TW200843955A (en) 2008-11-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4769165B2 (en) Photosensitive laminate manufacturing apparatus and manufacturing method
JP2008216295A (en) Apparatus and method for manufacturing photosensitive laminate
JP2008238763A (en) Method for sticking lengthy web
JP2008155465A (en) Apparatus and method for manufacturing photosensitive laminated body
JP2008213150A (en) Apparatus and method for producing photosensitive laminate
KR101410335B1 (en) Method of applying laminated film
JP2008213149A (en) Apparatus and method for producing photosensitive laminate
JP4674142B2 (en) Photosensitive laminate manufacturing apparatus and manufacturing method
JP2007083666A (en) Web pasting method
JP2008110488A (en) Method and apparatus for peeling photosensitive web
JP4898388B2 (en) Photosensitive laminate manufacturing apparatus and manufacturing method
JP2009083943A (en) Device and method for manufacturing photosensitive layered product
JP4975500B2 (en) Photosensitive laminate manufacturing apparatus and manufacturing method
JP2008149642A (en) Apparatus and method for manufacture of photosensitive laminate
JP2008132776A (en) Manufacturing apparatus of photosensitive laminate
JP2011194605A (en) Device and method for manufacturing photosensitive laminated body
JP2009229700A (en) Sticking position inspecting device of photosensitive layered product
JP2008110491A (en) Sticking device
JP2008110818A (en) Photosensitive web supply device and supply method
JP2009226883A (en) Manufacturing device and manufacturing process of photosensitive laminated body
JP2006256268A (en) Manufacturing apparatus and manufacturing method for photosensitive layered product
JP2009226884A (en) Manufacturing apparatus for photosensitive laminate
JP2009172965A (en) Apparatus and method for peeling off photosensitive web
JP2008105361A (en) Manufacturing apparatus and manufacturing method for photo-sensitive laminated body
JP2008110487A (en) Method and apparatus for manufacturing photosensitive laminate