KR20080080002A - Apparatus for and method of manufacturing photosensitive laminated body - Google Patents

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KR20080080002A
KR20080080002A KR1020080013195A KR20080013195A KR20080080002A KR 20080080002 A KR20080080002 A KR 20080080002A KR 1020080013195 A KR1020080013195 A KR 1020080013195A KR 20080013195 A KR20080013195 A KR 20080013195A KR 20080080002 A KR20080080002 A KR 20080080002A
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photosensitive material
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KR1020080013195A
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요시유키 이시이
아키히코 하세
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후지필름 가부시키가이샤
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Abstract

A photosensitive laminate manufacturing apparatus and a method are provided to test the quality of a photosensitive laminate by calculating the attachment position of a photosensitive material layer for a substrate by photographing an image including the end portions of the substrate and the photosensitive material layer according to the detection timing. In a photosensitive laminate manufacturing apparatus(20), an end portion detecting unit(106) detects the end portion of a substrate(24) forming a photosensitive laminate(24b) or the end portion of a photosensitive material layer attached to the substrate. Photographing units(108a,108b) photograph an image including the end portions of the substrate and the photosensitive material layer according to the detection timing of the end portion of the substrate or the photosensitive material layer. An attachment position calculating unit processes an image captured by the photographing units and computes the attachment position of the photosensitive material layer.

Description

감광성 적층체의 제조 장치 및 제조 방법{APPARATUS FOR AND METHOD OF MANUFACTURING PHOTOSENSITIVE LAMINATED BODY}The manufacturing apparatus and manufacturing method of a photosensitive laminated body {APPARATUS FOR AND METHOD OF MANUFACTURING PHOTOSENSITIVE LAMINATED BODY}

본 발명은 기판과, 지지체 상에 감광 재료층이 형성된 긴 형상 감광성 웹을 한쌍의 압착 롤러 사이에 송출하고, 상기 감광 재료층을 상기 기판에 부착함으로써 감광성 적층체를 제조하는 감광성 적층체의 제조 장치 및 제조 방법에 관한 것이다.The present invention provides an apparatus for producing a photosensitive laminate, which sends a substrate and an elongated photosensitive web having a photosensitive material layer formed on a support between a pair of pressing rollers, and attaches the photosensitive material layer to the substrate to produce a photosensitive laminate. And to a manufacturing method.

예를 들면, 액정 패널용 기판, 프린트 배선용 기판, PDP용 기판은 감광성 수지층(감광 재료층)을 갖는 감광성 시트체(감광성 웹)를 기판 표면에 부착해서 구성된다. 감광성 시트체는 예를 들면, 가요성 플라스틱 지지체 상에 감광성 수지층과 보호 필름이 순차적으로 적층되어 있다.For example, the board | substrate for liquid crystal panels, the board for printed wirings, and the board | substrate for PDP are comprised by attaching the photosensitive sheet body (photosensitive web) which has a photosensitive resin layer (photosensitive material layer) to a board | substrate surface. As for the photosensitive sheet body, the photosensitive resin layer and the protective film are laminated | stacked sequentially on the flexible plastic support body, for example.

이러한 종류의 감광성 시트체의 부착에 사용되는 제조 장치는 통상, 유리 기판이나 수지 기판 등의 기판을 소정의 간격씩 이간시켜서 라미네이션 롤러 사이에 반송함과 아울러, 상기 기판에 부착되는 감광성 수지층의 범위에 대응하는 보호 필름을 박리한 감광성 시트체를 상기 라미네이션 롤러 사이에 반송하는 방식이 채용되고 있다.The manufacturing apparatus used for the attachment of this kind of photosensitive sheet body usually conveys a substrate, such as a glass substrate or a resin substrate, at predetermined intervals and conveys them between lamination rollers, and also a range of the photosensitive resin layer adhered to the substrate. The system which conveys the photosensitive sheet body which peeled the protective film corresponding to the said lamination rollers is employ | adopted.

예를 들면, 일본 특허 제 3316093 호 공보에 개시되어 있는 제조 장치에서는, 도 9에 나타내는 바와 같이, 롤(1)로부터 감광성 시트체(2)를 풀어서 하프 커터 장치(3)에 공급하고, 감광성 시트체(2)를 구성하는 지지체 상에 적층되어 있는 보호 필름 및 감광성 수지층을 소정의 간격으로 절단한다. 이어서, 보호 필름 제거부(4)에 상기 감광성 시트체(2)를 공급하고, 기판(5)의 부착 범위에 대응하는 보호 필름을 점착 테이프 등을 이용해서 박리한 후, 열압착 롤러(6a, 6b) 사이에 공급한다. 한편, 열압착 롤러(6a, 6b) 사이에는 가열된 기판(5)이 반입되어 보호 필름이 박리됨으로써 노출된 감광성 수지층을 통해 감광성 시트체(2)가 기판(5)의 하면부에 가열 압착된다. 감광성 시트체(2)가 가열 압착된 기판(5)은 열압착 롤러(6a, 6b)로부터 반출된 후, 분리 장치(7)에 공급되어 기판(5) 사이의 감광성 시트체(2)가 절단됨으로써 감광성 적층체가 제조된다.For example, in the manufacturing apparatus disclosed by Unexamined-Japanese-Patent No. 3316093, as shown in FIG. 9, the photosensitive sheet | seat 2 is unwound from the roll 1, and it supplies to the half cutter apparatus 3, and the photosensitive sheet The protective film and the photosensitive resin layer laminated | stacked on the support body which comprise the sieve 2 are cut | disconnected at predetermined spaces. Subsequently, after supplying the said photosensitive sheet | seat 2 to the protective film removal part 4, and peeling the protective film corresponding to the attachment range of the board | substrate 5 using an adhesive tape etc., the thermocompression roller 6a, 6b). On the other hand, between the thermocompression rollers 6a and 6b, the heated substrate 5 is carried in and the protective film is peeled off, so that the photosensitive sheet body 2 is heat-compressed to the lower surface portion of the substrate 5 through the photosensitive resin layer exposed. do. The board | substrate 5 to which the photosensitive sheet | seat 2 was heat-squeezed is carried out from the thermocompression roller 6a, 6b, and is supplied to the separator 7, and the photosensitive sheet | seat 2 between the board | substrates 5 is cut | disconnected. As a result, a photosensitive laminate is produced.

그런데 감광성 시트체(2)는 가요성의 지지체 상에 감광성 수지층 및 보호 필름을 적층해서 형성한 것이며, 텐션을 부여한 상태로 반송되기 때문에 감광성 시트체(2)에 연장이 발생된다. 특히, 열압착 롤러(6a, 6b)는 감광성 시트체(2)를 가열해서 기판(5)에 부착하기 때문에 열압착 롤러(6a, 6b)의 근방에서의 연장이 크다. 따라서, 감광성 시트체(2)에 대한 기판(5)의 위치를 조정해서 기판(5)의 소정 범위에 보호 필름이 박리된 감광성 수지층을 정확하게 위치 결정해서 부착할 필요가 있다.By the way, the photosensitive sheet body 2 is formed by laminating | stacking the photosensitive resin layer and the protective film on a flexible support body, and since it is conveyed in the state which provided the tension, extension is produced in the photosensitive sheet body 2. In particular, since the thermocompression rollers 6a and 6b heat the photosensitive sheet body 2 and adhere to the substrate 5, the extension in the vicinity of the thermocompression rollers 6a and 6b is large. Therefore, it is necessary to adjust the position of the board | substrate 5 with respect to the photosensitive sheet body 2, and to correctly position and attach the photosensitive resin layer with which the protective film peeled in the predetermined range of the board | substrate 5.

또한, 제조된 감광성 적층체는 기판(5)의 소정의 위치에 감광성 시트체(2)가 부착되어 있는지의 여부를 검사할 필요가 있다. 이 경우, 예를 들면, 도 10에 나타 내는 바와 같이, 기판(5)의 전후의 측단부와 감광성 시트체(2)의 측단부의 거리(L1f, L1b)를 측정함과 아울러, 기판(5)의 전단부 및 후단부와 감광성 시트체(2)에 형성된 하프컷부(Hf, Hb)의 거리(L2f, L2b)를 측정하고, 이들 거리(L1f, L1b 및 L2f, L2b)가 허용 범위 내에 있는지의 여부를 판정함으로써 감광성 적층체의 품질 보증을 행하고 있다.In addition, the manufactured photosensitive laminated body needs to test whether the photosensitive sheet | seat body 2 is affixed in the predetermined position of the board | substrate 5. As shown in FIG. In this case, for example, as shown in FIG. 10, while measuring the distances L1f and L1b of the front and rear side ends of the substrate 5 and the side ends of the photosensitive sheet body 2, the substrate 5 is measured. The distances L2f and L2b of the front and rear ends and half-cut portions Hf and Hb formed on the photosensitive sheet body 2, and the distances L1f, L1b and L2f and L2b are within the allowable range. Quality assurance of the photosensitive laminated body is performed by determining whether or not.

그러나 종래의 검사 방법에서는 기판(5)에 대한 감광성 시트체(2)의 부착 위치를 사람이 계측하고 있었기 때문에 계측에 엄청난 시간을 요할 뿐만 아니라 계측 미스를 야기할 우려가 있어 제조된 모든 감광성 적층체를 효율적이고 또한 확실하게 검사하는 것이 매우 곤란했다.However, in the conventional inspection method, since a person measures the attachment position of the photosensitive sheet body 2 to the board | substrate 5, not only does it require a tremendous time for measurement but it may cause a measurement miss, and all the photosensitive laminated bodies manufactured It was very difficult to check efficiently and reliably.

본 발명은 기판에 부착된 감광 재료층의 위치를 효율적이고 또한 고정밀도로 계측해서 제조된 감광성 적층체의 품질 보증을 행할 수 있는 감광성 적층체의 제조 장치 및 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of this invention is to provide the manufacturing apparatus and manufacturing method of the photosensitive laminated body which can perform quality assurance of the photosensitive laminated body manufactured by measuring the position of the photosensitive material layer adhering to a board | substrate efficiently and accurately.

본 발명은 지지체 상에 감광 재료층과 보호 필름이 순차적으로 적층되어 이루어지는 긴 형상 감광성 웹을 송출하고, 상기 보호 필름의 박리 부분과 잔존 부분의 경계 위치에 대응하는 가공 부위를 상기 보호 필름으로부터 상기 감광 재료층에 이르는 부분에 형성하고, 상기 보호 필름의 상기 박리 부분을 박리한 후, 소정의 간격으로 공급되는 기판과 함께 상기 긴 형상 감광성 웹을 가열된 한쌍의 압착 롤러 사이에 연속적으로 송출하고, 상기 기판 사이에 상기 보호 필름의 상기 잔존 부분을 배치함과 아울러, 노출된 상기 감광 재료층을 상기 기판에 부착하고, 이어서, 상기 보호 필름으로부터 상기 지지체를 박리함으로써 감광성 적층체를 제조하는 감광성 적층체의 제조 장치에 있어서, This invention sends out the elongate photosensitive web by which the photosensitive material layer and a protective film are laminated | stacked sequentially on the support body, and the process site | part corresponding to the boundary position of the peeling part and the remainder part of the said protective film is made from the said protective film. It forms in the part which reaches the material layer, and after peeling the said peeling part of the said protective film, the said elongate photosensitive web is continuously sent between a pair of heated crimping rollers with the board | substrate supplied at predetermined intervals, and The photosensitive laminated body of which the photosensitive laminated body is manufactured by arrange | positioning the said residual part of the said protective film between a board | substrate, attaching the exposed photosensitive material layer to the said board | substrate, and then peeling the said support body from the said protective film. In the manufacturing apparatus,

상기 감광성 적층체를 구성하는 상기 기판의 기판 단부, 또는 상기 기판에 부착된 상기 감광 재료층의 감광 재료층 단부를 검출하는 단부 검출부와, An end detector for detecting a substrate end of the substrate constituting the photosensitive laminate or an end of a photosensitive material layer of the photosensitive material layer attached to the substrate;

상기 단부 검출부에 의한 상기 기판 단부 또는 상기 감광 재료층 단부의 검출 타이밍에 따라서 상기 기판 단부 및 상기 감광 재료층 단부를 포함하는 화상을 촬영하는 촬영부와, A photographing unit for photographing an image including the substrate end and the photosensitive material layer end in accordance with the detection timing of the substrate end or the photosensitive material layer end by the end detecting unit;

상기 촬영부에 의해 촬영된 상기 화상을 처리하고, 상기 기판에 대한 상기 감광 재료층의 부착 위치를 산출하는 부착 위치 산출부를 구비하는 것을 특징으로 한다.And an attachment position calculation unit for processing the image photographed by the imaging unit and calculating an attachment position of the photosensitive material layer to the substrate.

또한, 본 발명은 지지체 상에 감광 재료층과 보호 필름이 순차적으로 적층되어 이루어지는 긴 형상 감광성 웹을 송출하고, 상기 보호 필름의 박리 부분과 잔존 부분의 경계 위치에 대응하는 가공 부위를 상기 보호 필름으로부터 상기 감광 재료층에 이르는 부분에 형성하고, 상기 보호 필름의 상기 박리 부분을 박리한 후, 소정의 간격으로 공급되는 기판과 함께 상기 긴 형상 감광성 웹을 가열된 한쌍의 압착 롤러 사이에 연속적으로 송출하고, 상기 기판 사이에 상기 보호 필름의 상기 잔존 부분을 배치함과 아울러, 노출된 상기 감광 재료층을 상기 기판에 부착하고, 이어서, 상기 보호 필름으로부터 상기 지지체를 박리함으로써 감광성 적층체를 제조하는 감광성 적층체의 제조 방법에 있어서, Moreover, this invention sends out the elongate photosensitive web by which the photosensitive material layer and a protective film are laminated | stacked sequentially on the support body, and the process site | part corresponding to the boundary position of the peeling part and the remainder part of the said protective film from the said protective film It forms in the part which reaches the said photosensitive material layer, and after peeling the said peeling part of the said protective film, the said elongate photosensitive web is continuously sent between a pair of heated crimping rollers with the board | substrate supplied at predetermined intervals, A photosensitive lamination for producing a photosensitive laminate by disposing the remaining portion of the protective film between the substrates, attaching the exposed photosensitive material layer to the substrate, and then peeling the support from the protective film. In the manufacturing method of the sieve,

상기 감광성 적층체를 구성하는 상기 기판의 기판 단부, 또는 상기 기판에 부착된 상기 감광 재료층의 감광 재료층 단부를 검출하는 스텝과, Detecting a substrate end of the substrate constituting the photosensitive laminate or a photosensitive material layer end of the photosensitive material layer attached to the substrate;

상기 기판 단부 또는 상기 감광 재료층 단부의 검출 타이밍에 따라서 상기 기판 단부 및 상기 감광 재료층 단부를 포함하는 화상을 촬영하는 스텝과, Photographing an image including the substrate end and the photosensitive material layer end in accordance with the detection timing of the substrate end or the photosensitive material layer end;

촬영된 상기 화상을 처리하고, 상기 기판에 대한 상기 감광 재료층의 부착 위치를 산출하는 스텝으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.And processing the photographed image and calculating the attachment position of the photosensitive material layer to the substrate.

본 발명에서는 기판 단부 또는 기판에 부착된 감광 재료층의 단부를 검출하고, 그 검출 타이밍에 따라서 기판 단부 및 감광 재료층 단부를 포함하는 화상을 촬영해서 감광 재료층의 기판에 대한 부착 위치를 산출함으로써 제조된 감광성 적층체의 품질 검사를 용이하고 또한 정확하게 행할 수 있다. 또한, 품질 검사의 결 과를 표시함으로써 불량품이 출하되어 버리는 사태를 사전에 회피하는 것이 가능해진다.In the present invention, by detecting the end of the substrate or the end of the photosensitive material layer attached to the substrate, and taking an image including the substrate end and the photosensitive material layer end in accordance with the detection timing to calculate the attachment position to the substrate of the photosensitive material layer Quality inspection of the manufactured photosensitive laminated body can be performed easily and correctly. In addition, by displaying the result of the quality inspection, it is possible to avoid the situation where the defective product is shipped.

첨부한 도면과 협동하는 다음의 바람직한 실시형태예의 설명으로부터 상기의 목적, 특징 및 이점이 보다 명백해질 것이다.The above objects, features, and advantages will become more apparent from the following description of the preferred embodiments in cooperation with the accompanying drawings.

도 1은 본 실시형태에 따른 감광성 적층체의 제조 장치(20)의 개략 구성도이며, 이 제조 장치(20)는 액정 또는 유기 EL용 컬러 필터 등의 제작 공정에서 소정의 폭 치수로 이루어지는 긴 형상 감광성 웹(22)의 감광성 수지층(28)(후술함)을 유리 기판(24)에 열전사(라미네이트)하는 작업을 행한다.FIG. 1: is a schematic block diagram of the manufacturing apparatus 20 of the photosensitive laminated body which concerns on this embodiment, and this manufacturing apparatus 20 is an elongate shape formed by predetermined width dimension in manufacturing processes, such as a liquid crystal or a color filter for organic EL. The operation of thermally transferring (laminating) the photosensitive resin layer 28 (to be described later) of the photosensitive web 22 to the glass substrate 24 is performed.

도 2는 제조 장치(20)에 사용되는 긴 형상 감광성 웹(22)의 단면도이다. 이 긴 형상 감광성 웹(22)은 가요성 베이스 필름(지지체)(26)과, 감광성 수지층(감광 재료층)(28)과, 보호 필름(30)을 적층해서 구성된다.2 is a cross-sectional view of the elongate photosensitive web 22 used in the manufacturing apparatus 20. This elongate photosensitive web 22 is comprised by laminating | stacking the flexible base film (support) 26, the photosensitive resin layer (photosensitive material layer) 28, and the protective film 30. As shown in FIG.

도 1에 나타내는 바와 같이, 제조 장치(20)는 긴 형상 감광성 웹(22)을 롤 형상으로 권취한 감광성 웹롤(23)을 수용하고, 감광성 웹롤(23)로부터 상기 긴 형상 감광성 웹(22)을 송출할 수 있는 웹 송출 기구(32)와, 송출된 긴 형상 감광성 웹(22)의 보호 필름(30) 및 감광성 수지층(28)의 폭 방향으로 절단할 수 있는 2개소의 경계 부분인 하프컷 부위(가공 부위)(34a, 34b)(도 2 참조)를 형성하는 가공 기구(36)(가공부)와, 일부에 비접착부(38a)를 갖는 접착 라벨(38)(도 3 참조)을 보호 필름(30)에 접착시키는 라벨 접착 기구(40)를 구비한다.As shown in FIG. 1, the manufacturing apparatus 20 accommodates the photosensitive web roll 23 which wound the elongate photosensitive web 22 in roll shape, and removes the said elongate photosensitive web 22 from the photosensitive web roll 23. As shown in FIG. Half cut which is two boundary parts which can be cut | disconnected in the width direction of the web sending mechanism 32 which can be sent out, the protective film 30 of the elongate photosensitive web 22, and the photosensitive resin layer 28 which were sent out Protects the processing mechanism 36 (processing part) which forms the site | part (processing part) 34a, 34b (refer FIG. 2), and the adhesive label 38 (refer FIG. 3) which has a non-adhesive part 38a in a part. The label adhesion mechanism 40 which adheres to the film 30 is provided.

라벨 접착 기구(40)의 하류에는 긴 형상 감광성 웹(22)을 택트(tact) 이송으 로부터 연속 이송으로 변경하기 위한 리저버(reserver) 기구(42)와, 긴 형상 감광성 웹(22)으로부터 보호 필름(30)을 소정의 길이 간격으로 박리시키는 박리 기구(44)와, 유리 기판(24)을 소정의 온도로 가열한 상태로 부착 위치에 공급하는 기판 공급 기구(45)와, 상기 보호 필름(30)의 박리에 의해 노출된 감광성 수지층(28)을 상기 유리 기판(24)에 일체적으로 부착하는 부착 기구(46)가 배치된다.Downstream of the label adhesive mechanism 40 is a reservoir mechanism 42 for changing the elongate photosensitive web 22 from tact transfer to continuous feed, and a protective film from the elongate photosensitive web 22. The peeling mechanism 44 which peels the 30 at predetermined length space | intervals, the board | substrate supply mechanism 45 which supplies to the attachment position in the state which heated the glass substrate 24 to predetermined temperature, and the said protective film 30 The attachment mechanism 46 which integrally attaches the photosensitive resin layer 28 exposed by peeling of the to the said glass substrate 24 is arrange | positioned.

부착 기구(46)에 있어서의 부착 위치의 상류 근방에는 하프컷 부위(34a, 34b)를 포함하는 긴 형상 감광성 웹(22)의 화상을 촬영하는 촬영부(47)가 배치된다. 제조 장치(20)는 촬영부(47)에 의해 촬영된 하프컷 부위(34a, 34b)의 화상에 기초해서 부착 기구(46)에 대한 하프컷 부위(34a, 34b)의 위치 어긋남량을 산출하여 긴 형상 감광성 웹(22)의 이송량의 보정을 행한다.In the vicinity of the attachment position in the attachment mechanism 46, a photographing unit 47 for photographing an image of the elongated photosensitive web 22 including the half cut portions 34a and 34b is disposed. The manufacturing apparatus 20 calculates the position shift amount of the half cut parts 34a and 34b with respect to the attachment mechanism 46 based on the image of the half cut parts 34a and 34b photographed by the imaging part 47, The feed amount of the elongate photosensitive web 22 is corrected.

웹 송출 기구(32)의 하류 근방에는 대략 사용이 완료된 긴 형상 감광성 웹(22)의 후단과, 새롭게 사용되는 긴 형상 감광성 웹(22)의 선단을 부착하는 부착대(49)가 배치된다. 부착대(49)의 하류에는 감광성 웹롤(23)의 권취 어긋남에 의한 폭 방향의 어긋남을 제어하기 위해서 필름 단말 위치 검출기(51)가 배치된다. 여기에서, 필름 단말 위치 조정은 웹 송출 기구(32)를 폭 방향으로 이동시켜서 행하지만 롤러를 조합한 위치 조정 기구를 부설해서 행해도 좋다.In the downstream vicinity of the web delivery mechanism 32, a mounting table 49 is attached to the rear end of the elongated photosensitive web 22, which has been substantially used, and the tip of the elongated photosensitive web 22 to be used. Downstream of the mounting table 49, a film terminal position detector 51 is disposed in order to control the shift in the width direction due to the shift in winding of the photosensitive web roll 23. Here, although film terminal position adjustment is performed by moving the web delivery mechanism 32 to the width direction, you may install and install the position adjustment mechanism which combined the roller.

가공 기구(36)는 웹 송출 기구(32)에 수용 권취되어 있는 감광성 웹롤(23)의 롤 직경을 산출하기 위한 롤러쌍(50)의 하류에 배치된다. 가공 기구(36)는 거리(M)만큼 이간된 한쌍의 둥근날(52a, 52b)을 구비한다. 둥근날(52a, 52b)은 긴 형상 감광성 웹(22)의 폭 방향으로 주행해서 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)을 사이에 둔 소정의 2개소의 위치에 하프컷 부위(34a, 34b)를 형성한다(도 2 참조).The processing mechanism 36 is disposed downstream of the roller pair 50 for calculating the roll diameter of the photosensitive web roll 23 accommodated in the web delivery mechanism 32. The processing mechanism 36 has a pair of round blades 52a and 52b spaced apart by the distance M. FIG. The round blades 52a and 52b travel in the width direction of the elongate photosensitive web 22 and are half-cut portions 34a and 34b at two predetermined positions between the remaining portions B of the protective film 30. ) (See FIG. 2).

도 2에 나타내는 바와 같이, 하프컷 부위(34a, 34b)는 적어도 보호 필름(30) 및 감광성 수지층(28)을 절단할 필요가 있고, 실제상, 가요성 베이스 필름(26)까지 절개되도록 둥근날(52a, 52b)의 절개 깊이가 설정된다. 둥근날(52a, 52b)은 회전하는 일 없이 고정된 상태로 긴 형상 감광성 웹(22)의 폭 방향으로 이동해서 하프컷 부위(34a, 34b)를 형성하는 방식이나 상기 긴 형상 감광성 웹(22) 상을 미끄러지는 일 없이 회전하면서 상기 폭 방향으로 이동해서 상기 하프컷 부위(34a, 34b)를 형성하는 방식이 채용된다. 이 하프컷 부위(34a, 34b)는 둥근날(52a, 52b)을 대체해서 예를 들면, 레이저광이나 초음파를 이용한 컷팅 방식 외에 나이프날, 눌러 자르는 날(톰슨날) 등으로 형성하는 방식을 채용해도 좋다.As shown in FIG. 2, the half cut portions 34a and 34b need to cut at least the protective film 30 and the photosensitive resin layer 28, and are actually rounded to be cut to the flexible base film 26. The cutting depths of the blades 52a and 52b are set. The round blades 52a and 52b move in the width direction of the elongate photosensitive web 22 in a fixed state without being rotated to form half cut portions 34a and 34b or the elongate photosensitive web 22. A method of forming the half cut portions 34a and 34b by moving in the width direction while rotating the image without slipping is adopted. The half cut portions 34a and 34b replace the round blades 52a and 52b and employ a method of forming a knife blade, a cutting blade (thomson blade), or the like, in addition to a cutting method using laser light or ultrasonic waves, for example. You may also

하프컷 부위(34a, 34b)는 감광성 수지층(28)을 유리 기판(24)에 부착했을 때, 예를 들면, 상기 유리 기판(24)의 양 단부로부터 각각 10㎜씩 내측으로 들어간 위치로 되도록 설정된다. 또한, 유리 기판(24) 사이의 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)은 후술하는 부착 기구(46)에 있어서 감광성 수지층(28)을 상기 유리 기판(24)에 액자 형상으로 부착할 때의 마스크로서 기능하는 것이다.When the half cut portions 34a and 34b are attached to the glass substrate 24 with the photosensitive resin layer 28, for example, the half cut portions 34a and 34b are positioned to enter inwards from each end of the glass substrate 24 by 10 mm, respectively. Is set. In addition, when the remaining part B of the protective film 30 between the glass substrates 24 attaches the photosensitive resin layer 28 to the said glass substrate 24 in a frame shape in the attachment mechanism 46 mentioned later, It functions as a mask of.

라벨 접착 기구(40)는 유리 기판(24) 사이에 대응해서 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)을 남기기 때문에 하프컷 부위(34b)측의 박리 부분(A)과 하프컷 부위(34a)측의 박리 부분(A)을 연결하는 접착 라벨(38)을 공급한다.Since the label adhesive mechanism 40 leaves the remaining part B of the protective film 30 corresponding to the glass substrate 24, the peeling part A and the half cut part 34a on the half cut part 34b side are left. The adhesive label 38 which connects the peeling part A of the side is supplied.

도 3에 나타내는 바와 같이, 접착 라벨(38)은 좁고 긴 형상으로 구성되어 있고, 예를 들면, 보호 필름(30)과 동일한 수지재로 형성된다. 접착 라벨(38)은 중앙 부에 점착제가 도포되지 않은 비접착부(미세 점착을 포함함)(38a)를 가짐과 아울러, 이 비접착부(38a)의 양 측, 즉, 상기 접착 라벨(38)의 길이 방향 양 단부에 전방의 박리 부분(A)에 접착되는 제 1 접착부(38b)와, 후방의 박리 부분(A)에 접착되는 제 2 접착부(38c)를 갖는다.As shown in FIG. 3, the adhesive label 38 is comprised by the narrow elongate shape, for example, is formed with the same resin material as the protective film 30. As shown in FIG. The adhesive label 38 has a non-adhesive portion (including microadhesion) 38a on which a pressure-sensitive adhesive is not applied, and both sides of the non-adhesive portion 38a, that is, the adhesive label 38 of the adhesive portion 38a. It has the 1st adhesion part 38b adhering to the peeling part A of the front, and the 2nd adhesion part 38c adhering to the back peeling part A at the both ends of a longitudinal direction.

도 1에 나타내는 바와 같이, 라벨 접착 기구(40)는 최대 7장의 접착 라벨(38)을 소정 간격씩 이간해서 부착할 수 있는 흡착 패드(54a~54g)를 구비함과 아울러, 상기 흡착 패드(54a~54g)에 의한 상기 접착 라벨(38)의 부착 위치에는 긴 형상 감광성 웹(22)을 하방으로부터 유지하기 위한 수용대(56)가 승강 가능하게 배치된다.As shown in FIG. 1, the label sticking mechanism 40 is equipped with the adsorption pads 54a-54g which can attach up to 7 adhesive labels 38 spaced at predetermined intervals, and is the said adsorption pad 54a. At the attachment position of the adhesive label 38 by ˜54 g), a receiving table 56 for holding the elongate photosensitive web 22 from below is provided to be liftable.

리저버 기구(42)는 상류측의 긴 형상 감광성 웹(22)의 택트 반송과, 하류측의 상기 긴 형상 감광성 웹(22)의 연속 반송의 속도차를 흡수하기 위해서 화살표 방향으로 요동 가능한 댄서 롤러(60)를 구비한다.The reservoir mechanism 42 is a dancer roller capable of swinging in the direction of an arrow so as to absorb the speed difference between the tact conveyance of the upstream elongate photosensitive web 22 and the continuous conveyance of the elongate photosensitive web 22 downstream. 60).

리저버 기구(42)의 하류에 배치되는 박리 기구(44)는 긴 형상 감광성 웹(22)의 송출측의 텐션 변동을 차단하여 라미네이트시의 텐션을 안정화시키기 위한 석션 드럼(62)을 구비한다. 석션 드럼(62)의 근방에는 박리 롤러(63)가 배치됨과 아울러, 이 박리 롤러(63)를 통해 긴 형상 감광성 웹(22)으로부터 예각의 박리각으로 박리되는 보호 필름(30)은 잔존 부분(B)을 제외하고 보호 필름 권취부(64)에 권취된다.The peeling mechanism 44 disposed downstream of the reservoir mechanism 42 is provided with a suction drum 62 for blocking tension fluctuations on the delivery side of the elongate photosensitive web 22 and stabilizing tension during lamination. The peeling roller 63 is arrange | positioned in the vicinity of the suction drum 62, and the protective film 30 peeled off from the elongate photosensitive web 22 at an acute peeling angle via this peeling roller 63 is the remaining part ( Except for B), the film is wound around the protective film winding 64.

박리 기구(44)의 하류측에는 긴 형상 감광성 웹(22)에 텐션을 부여할 수 있는 텐션 제어 기구(66)가 배치된다. 텐션 제어 기구(66)는 실린더(68)의 구동 작용 하에 텐션 댄서(70)가 요동 변위됨으로써 긴 형상 감광성 웹(22)의 텐션을 조정할 수 있다. 또한, 텐션 제어 기구(66)는 필요에 따라서 사용하면 좋고, 삭제할 수도 있다.On the downstream side of the peeling mechanism 44, a tension control mechanism 66 capable of applying tension to the elongate photosensitive web 22 is disposed. The tension control mechanism 66 can adjust the tension of the elongate photosensitive web 22 by the swing of the tension dancer 70 under the driving action of the cylinder 68. In addition, the tension control mechanism 66 may be used as needed and can be deleted.

기판 공급 기구(45)는 유리 기판(24)을 끼우도록 배치되는 기판 가열부(예를 들면, 히터)(74)와, 이 유리 기판(24)을 화살표(Y) 방향으로 반송하는 반송부(76)와, 유리 기판(24)의 후단부의 정지 위치를 검출하는 정지 위치 검출 센서(78)를 구비한다. 기판 가열부(74)에서는 유리 기판(24)의 온도를 상시 감시하여 이상시에는 반송부(76)의 정지나 경보를 발생시킴과 아울러, 이상 정보를 발신해서 이상 유리 기판(24)을 후공정에서 NG 배출, 품질 관리 또는 생산 관리 등에 활용할 수 있다. 반송부(76)에는 도시하지 않은 에어 부상 플레이트가 배치되어 유리 기판(24)이 부상되어 화살표(Y) 방향으로 반송된다. 유리 기판(24)의 반송은 롤러 컨베이어로도 행할 수 있다.The board | substrate supply mechanism 45 is a board | substrate heating part (for example, heater) 74 arrange | positioned so that the glass substrate 24 may be fitted, and the conveyance part which conveys this glass substrate 24 to arrow Y direction ( 76 and a stop position detection sensor 78 that detects a stop position of the rear end of the glass substrate 24. The substrate heating unit 74 constantly monitors the temperature of the glass substrate 24, and in the event of an abnormality, stops or alarms the conveying unit 76, and transmits abnormality information to transfer the abnormal glass substrate 24 in a later step. It can be used for NG emissions, quality control or production control. The air floating plate which is not shown in figure is arrange | positioned at the conveyance part 76, and the glass substrate 24 floats and is conveyed in the arrow Y direction. The conveyance of the glass substrate 24 can also be performed with a roller conveyor.

유리 기판(24)의 온도 측정은 기판 가열부(74) 내 또는 부착 위치 바로 앞에서 행하는 것이 바람직하다. 측정 방법으로서는 접촉식(예를 들면, 열전대) 외에 비접촉식이어도 좋다.It is preferable to perform temperature measurement of the glass substrate 24 in the board | substrate heating part 74 or just before an attachment position. As a measuring method, in addition to a contact type (for example, a thermocouple), a non-contact type may be sufficient.

부착 기구(46)는 상하에 배치됨과 아울러, 소정 온도로 가열되는 고무 롤러(압착 롤러)(80a, 80b)를 구비한다. 고무 롤러(80a, 80b)에는 백업 롤러(82a, 82b)가 슬라이딩 접촉한다. 한쪽의 백업 롤러(82b)는 롤러 클램프부(83)를 구성하는 가압 실린더(84)에 의해 고무 롤러(80b)측에 가압된다.The attachment mechanism 46 is provided above and below, and is provided with the rubber roller (compression roller) 80a, 80b heated to predetermined temperature. The backup rollers 82a and 82b are in sliding contact with the rubber rollers 80a and 80b. One backup roller 82b is pressed by the pressure cylinder 84 which comprises the roller clamp part 83 to the rubber roller 80b side.

유리 기판(24)은 부착 기구(46)로부터 화살표(Y) 방향으로 연장되는 반송로 를 구성하는 복수의 기판 반송 롤러(90a~90d)에 의해 반송된다. 기판 반송 롤러(90b, 90c) 사이에는 유리 기판(24) 사이의 긴 형상 감광성 웹(22)을 절단함으로써 유리 기판(24)에 감광 재료층이 부착된 감광성 적층체(24a)를 분리하는 커터 기구(48)가 배치된다.The glass substrate 24 is conveyed by the some board | substrate conveyance roller 90a-90d which comprises the conveyance path extended from the attachment mechanism 46 to the arrow Y direction. Cutter mechanism which separates the photosensitive laminated body 24a with the photosensitive material layer attached to the glass substrate 24 by cutting the elongate photosensitive web 22 between the glass substrates 24 between the board | substrate conveyance rollers 90b and 90c. 48 is disposed.

기판 반송 롤러(90d)의 하류측에는 복수의 감광성 적층체(24a)를 적층한 상태로 스톡(stock)하는 스토커(94)가 배치되어 있고, 이 스토커(94)에는 커터 기구(48)에 의해 분리된 감광성 적층체(24a)가 로봇(96)에 의해 이송 적재된다. 스토커(94)에 인접해서 감광성 적층체(24a)에 잔존하는 가요성 베이스 필름(26)을 박리하는 박리부(98)가 배치된다. 박리부(98)는 박리 롤러(100)를 갖고, 박리 롤러(100)를 통해 박리된 가요성 베이스 필름(26)이 권취 롤러(102)에 의해 권취된다.On the downstream side of the substrate conveying roller 90d, a stocker 94 which stocks a plurality of photosensitive laminates 24a in a stacked state is arranged, and the stocker 94 is separated by a cutter mechanism 48. The obtained photosensitive laminated body 24a is conveyed and loaded by the robot 96. The peeling part 98 which peels the flexible base film 26 which remain | survives in the photosensitive laminated body 24a adjacent to the stocker 94 is arrange | positioned. The peeling part 98 has the peeling roller 100, and the flexible base film 26 peeled through the peeling roller 100 is wound up by the winding roller 102. As shown in FIG.

박리부(98)에 계속해서 가요성 베이스 필름(26)이 박리된 감광성 적층체(24b)를 구성하는 유리 기판(24)에 대한 감광성 수지층(28)의 부착 위치를 검출하는 검출부(104)가 배치된다. 검출부(104)는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 반송되는 유리 기판(24)의 전단부 및 후단부 또는 유리 기판(24)에 부착된 감광성 수지층(28)의 전단부 및 후단부를 검출하는 포토 센서(106)(단부 검출부)와, 유리 기판(24)의 단부 화상 및 감광성 수지층(28)의 단부 화상을 촬영하는 CCD 카메라(108a, 108b)(촬영부)를 구비한다. 이 경우, CCD 카메라(108a, 108b)는, 도 5 및 도 6에 나타내는 바와 같이, 유리 기판(24)의 단부와 감광성 수지층(28)의 단부가 동시에 촬영되도록 각 촬영 영역(109a, 109b)이 설정된다.The detection part 104 which detects the attachment position of the photosensitive resin layer 28 with respect to the glass substrate 24 which comprises the photosensitive laminated body 24b which the flexible base film 26 peeled after the peeling part 98. Is placed. As shown in FIG. 4, the detection part 104 detects the front end part and the back end part of the glass substrate 24 conveyed, or the front end part and the rear end part of the photosensitive resin layer 28 attached to the glass substrate 24. As shown in FIG. The sensor 106 (end detection part) and CCD cameras 108a and 108b (photographing part) which image the end image of the glass substrate 24 and the end image of the photosensitive resin layer 28 are provided. In this case, the CCD cameras 108a and 108b are photographed regions 109a and 109b such that the ends of the glass substrate 24 and the ends of the photosensitive resin layer 28 are simultaneously photographed as shown in FIGS. 5 and 6. Is set.

또한, 이상과 같이 구성되는 제조 장치(20)에서는 웹 송출 기구(32), 가공 기구(36), 라벨 접착 기구(40), 리저버 기구(42), 박리 기구(44), 텐션 제어 기구(66) 및 촬영부(47)가 부착 기구(46)의 상방에 배치되어 있지만 이것과는 반대로 상기 웹 송출 기구(32)로부터 상기 촬영부(47)까지를 상기 부착 기구(46)의 하방에 배치하고, 긴 형상 감광성 웹(22)의 상하가 반대로 되어 감광성 수지층(28)을 유리 기판(24)의 하측에 부착하는 구성이어도 좋고, 또한, 긴 형상 감광성 웹(22)의 반송로를 직선 형상으로 구성해도 좋다.Moreover, in the manufacturing apparatus 20 comprised as mentioned above, the web delivery mechanism 32, the processing mechanism 36, the label adhesion mechanism 40, the reservoir mechanism 42, the peeling mechanism 44, and the tension control mechanism 66 ) And the photographing section 47 are arranged above the attachment mechanism 46, but on the contrary, the web delivery mechanism 32 to the photographing section 47 is disposed below the attachment mechanism 46. The up-and-down of the elongate photosensitive web 22 may be reversed, and the structure which attaches the photosensitive resin layer 28 to the lower side of the glass substrate 24 may be sufficient, and the conveyance path of the elongate photosensitive web 22 may be linear. You may comprise.

제조 장치(20) 내측은 구획벽(110)을 통해 제 1 클린룸(112a)과 제 2 클린룸(112b)으로 구획된다. 제 1 클린룸(112a)에는 웹 송출 기구(32)로부터 텐션 제어 기구(66)까지가 수용되고, 제 2 클린룸(112b)에는 촬영부(47) 이후의 기구가 수용된다. 제 1 클린룸(112a)과 제 2 클린룸(112b)은 관통부(114)를 통해 연통된다.The inside of the manufacturing apparatus 20 is partitioned into the 1st clean room 112a and the 2nd clean room 112b through the partition wall 110. As shown in FIG. From the web delivery mechanism 32 to the tension control mechanism 66 is accommodated in the 1st clean room 112a, and the mechanism after the imaging | photography part 47 is accommodated in the 2nd clean room 112b. The first clean room 112a and the second clean room 112b communicate with each other through the through part 114.

도 7은 검출부(104)의 제어 회로 블록을 나타낸다. 검출부(104)는 포토 센서(106)가 유리 기판(24) 또는 감광성 수지층(28)의 단부를 검출한 검출 타이밍에 따라서 CCD 카메라(108a, 108b)가 촬영한 화상을 처리하는 화상 처리부(120)와, 처리된 화상 정보에 기초해서 유리 기판(24)에 대한 감광성 수지층(28)의 부착 위치를 산출하는 부착 위치 산출부(122)와, 산출된 부착 위치가 적정 위치인지의 여부를 판정하는 판정부(124)와, 판정부(124)에 의한 판정 결과를 표시하는 표시부(126)를 구비한다.7 shows a control circuit block of the detector 104. The detection unit 104 is an image processing unit 120 that processes an image captured by the CCD cameras 108a and 108b according to a detection timing at which the photo sensor 106 detects an end of the glass substrate 24 or the photosensitive resin layer 28. And the attachment position calculation part 122 which calculates the attachment position of the photosensitive resin layer 28 with respect to the glass substrate 24 based on the processed image information, and determines whether the calculated attachment position is an appropriate position. The determination unit 124 and the display unit 126 for displaying the determination result by the determination unit 124 are provided.

다음에 이상과 같이 구성되는 제조 장치(20)의 동작에 대해서 본 발명에 따른 제조 방법과의 관련에 의해 설명한다.Next, operation | movement of the manufacturing apparatus 20 comprised as mentioned above is demonstrated by association with the manufacturing method which concerns on this invention.

우선, 웹 송출 기구(32)에 부착되어 있는 감광성 웹롤(23)로부터 긴 형상 감광성 웹(22)이 송출된다. 긴 형상 감광성 웹(22)은 가공 기구(36)에 반송된다.First, the elongate photosensitive web 22 is sent out from the photosensitive web roll 23 attached to the web delivery mechanism 32. The elongate photosensitive web 22 is conveyed to the processing mechanism 36.

가공 기구(36)에서는 둥근날(52a, 52b)이 긴 형상 감광성 웹(22)의 폭 방향으로 이동해서 상기 긴 형상 감광성 웹(22)을 보호 필름(30)으로부터 감광성 수지층(28) 내지 가요성 베이스 필름(26)까지 절개하여 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)의 폭(M)만큼 이간되는 하프컷 부위(34a, 34b)를 형성한다(도 2 참조). 이것에 의해 긴 형상 감광성 웹(22)에는 잔존 부분(B)을 사이에 두고 전방의 박리 부분(A)과 후방의 박리 부분(A)이 형성된다(도 2 참조).In the processing mechanism 36, the round blades 52a and 52b move in the width direction of the elongate photosensitive web 22 to move the elongate photosensitive web 22 from the protective film 30 to the photosensitive resin layer 28 to the flexible. The cut to the base film 26 is formed to form half cut portions 34a and 34b spaced apart by the width M of the remaining portion B of the protective film 30 (see FIG. 2). Thereby, in the elongate photosensitive web 22, the peeling part A of the front and the peeling part A of the back are formed with the remaining part B interposed (refer FIG. 2).

또한, 잔존 부분(B)의 폭(M)은 긴 형상 감광성 웹(22)이 연장되지 않는 것을 전제로 하고, 부착 기구(46)의 고무 롤러(80a, 80b) 사이에 공급되는 유리 기판(24) 사이의 거리를 기준으로 해서 설정된다. 또한, 폭(M)으로 형성되는 1세트의 하프컷 부위(34a, 34b)는 유리 기판(24)에 부착되는 감광성 수지층(28)의 기준 길이의 간격으로 긴 형상 감광성 웹(22)에 형성된다.In addition, the width M of the remaining portion B is a premise that the elongate photosensitive web 22 does not extend, and the glass substrate 24 supplied between the rubber rollers 80a and 80b of the attachment mechanism 46. It is set based on the distance between them. Further, one set of half cut portions 34a and 34b formed in the width M is formed in the elongated photosensitive web 22 at intervals of the reference length of the photosensitive resin layer 28 attached to the glass substrate 24. do.

이어서, 긴 형상 감광성 웹(22)은 라벨 접착 기구(40)에 반송되어 보호 필름(30)의 소정의 부착 부위가 수용대(56) 상에 배치된다. 라벨 접착 기구(40)에서는 소정 매수의 접착 라벨(38)이 흡착 패드(54b~54g)에 의해 흡착 유지되어 각 접착 라벨(38)이 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)에 걸쳐 전방의 박리 부분(A)과 후방의 박리 부분(A)에 일체적으로 접착된다(도 3 참조).Subsequently, the elongate photosensitive web 22 is conveyed to the label adhesive mechanism 40 so that the predetermined attachment part of the protective film 30 is arrange | positioned on the receiving stand 56. In the label adhesive mechanism 40, a predetermined number of adhesive labels 38 are adsorbed and held by the adsorption pads 54b to 54g, so that each adhesive label 38 is placed forward over the remaining portion B of the protective film 30. It adheres integrally to the peeling part A and the peeling part A of the back (refer FIG. 3).

예를 들면, 7장의 접착 라벨(38)이 접착된 긴 형상 감광성 웹(22)은, 도 1에 나타내는 바와 같이, 리저버 기구(42)를 통해 송출측의 텐션 변동을 방지한 후, 박 리 기구(44)에 연속적으로 반송된다. 박리 기구(44)에서는 긴 형상 감광성 웹(22)의 가요성 베이스 필름(26)이 석션 드럼(62)에 흡착 유지됨과 아울러, 보호 필름(30)이 잔존 부분(B)을 남기고 상기 긴 형상 감광성 웹(22)으로부터 박리된다. 이 보호 필름(30)은 박리 롤러(63)를 통해 박리되어 보호 필름 권취부(64)에 권취된다(도 1 참조).For example, the elongate photosensitive web 22 to which the seven adhesive labels 38 are adhered is peeled off after preventing the tension fluctuation of the sending side via the reservoir mechanism 42, as shown in FIG. It is conveyed to 44 continuously. In the peeling mechanism 44, the flexible base film 26 of the elongate photosensitive web 22 is adsorbed and held on the suction drum 62, and the protective film 30 leaves the remaining portion B, and the elongated photosensitive It peels off the web 22. This protective film 30 is peeled off through the peeling roller 63 and wound up by the protective film winding part 64 (refer FIG. 1).

박리 기구(44)의 작용하에 보호 필름(30)이 잔존 부분(B)을 남기고 가요성 베이스 필름(26)으로부터 박리된 후, 긴 형상 감광성 웹(22)은 텐션 제어 기구(66)에 의해 텐션 조정이 행해지고, 이어서, 촬영부(47)에 있어서 소정의 촬영 타이밍에서 하프컷 부위(34a, 34b)를 포함하는 긴 형상 감광성 웹(22)의 화상이 촬영된다.Under the action of the peeling mechanism 44, after the protective film 30 is peeled off from the flexible base film 26 leaving the remaining portion B, the elongated photosensitive web 22 is tensioned by the tension control mechanism 66. Adjustment is performed, and then the image | photograph of the elongate photosensitive web 22 containing the half cut parts 34a and 34b is image | photographed in the imaging | photography part 47 at predetermined | prescribed imaging timing.

촬영부(47)를 통과한 긴 형상 감광성 웹(22)은 부착 기구(46)에 반송됨으로써 유리 기판(24)에 대한 감광성 수지층(28)의 전사 처리(라미네이트)가 행해진다. 이 경우, 촬영부(47)에 의해 촬영된 하프컷 부위(34a, 34b)의 화상에 기초해서 부착 기구(46)에 있어서의 하프컷 부위(34a, 34b)의 위치가 조정된다.The elongate photosensitive web 22 which passed the imaging part 47 is conveyed to the attachment mechanism 46, and the transfer process (lamination) of the photosensitive resin layer 28 with respect to the glass substrate 24 is performed. In this case, the positions of the half cut portions 34a and 34b in the attachment mechanism 46 are adjusted based on the images of the half cut portions 34a and 34b picked up by the imaging unit 47.

부착 기구(46)에서는 당초, 고무 롤러(80a, 80b)가 이간된 상태로 설정되어 있고, 고무 롤러(80a, 80b) 사이의 소정 위치에 긴 형상 감광성 웹(22)의 하프컷 부위(34a)가 위치 결정된 상태에 있어서 긴 형상 감광성 웹(22)의 반송이 일단 정지된다. 이 상태에 있어서 기판 공급 기구(45)를 구성하는 기판 가열부(74)에 의해 소정 온도로 가열된 유리 기판(24)의 선단부가 반송부(76)에 의해 고무 롤러(80a, 80b) 사이에 반입되면 가압 실린더(84)의 작용하에 백업 롤러(82b) 및 고무 롤 러(80b)가 상승하고, 고무 롤러(80a, 80b) 사이에 유리 기판(24) 및 긴 형상 감광성 웹(22)이 소정의 프레스 압력으로 끼워 넣어진다. 또한, 고무 롤러(80a, 80b)는 소정의 라미네이트 온도로 가열되어 있다.In the attachment mechanism 46, initially, the rubber rollers 80a and 80b are set in the spaced apart state, and the half cut part 34a of the long shape photosensitive web 22 is located in the predetermined position between the rubber rollers 80a and 80b. The conveyance of the elongate photosensitive web 22 is stopped once in the state where is located. In this state, the tip end portion of the glass substrate 24 heated to a predetermined temperature by the substrate heating unit 74 constituting the substrate supply mechanism 45 is provided between the rubber rollers 80a and 80b by the transfer unit 76. When brought in, the backup roller 82b and the rubber roller 80b are raised under the action of the pressurizing cylinder 84, and the glass substrate 24 and the elongate photosensitive web 22 are predetermined between the rubber rollers 80a and 80b. Is pressed into the press pressure. In addition, the rubber rollers 80a and 80b are heated by predetermined | prescribed lamination temperature.

이어서, 고무 롤러(80a, 80b)가 회전하여 유리 기판(24) 및 긴 형상 감광성 웹(22)이 화살표(Y) 방향으로 반송된다. 이 결과, 감광성 수지층(28)이 가열 용융되어 유리 기판(24)에 전사(라미네이트)된다.Next, the rubber rollers 80a and 80b rotate, and the glass substrate 24 and the elongate photosensitive web 22 are conveyed in the arrow Y direction. As a result, the photosensitive resin layer 28 is melted by heating and transferred (laminated) to the glass substrate 24.

또한, 라미네이트 조건으로서는 속도가 1.0m/min~10.0m/min, 고무 롤러(80a, 80b)의 온도가 80℃~150℃, 상기 고무 롤러(80a, 80b)의 고무 경도가 40도~90도, 상기 고무 롤러(80a, 80b)의 프레스압(선압)이 50N/㎝~400N/㎝이다.In addition, as lamination conditions, the speed is 1.0 m / min-10.0 m / min, the temperature of the rubber rollers 80a, 80b is 80 degreeC-150 degreeC, and the rubber hardness of the said rubber rollers 80a, 80b is 40 degree-90 degree The press pressures (linear pressure) of the rubber rollers 80a and 80b are 50 N / cm to 400 N / cm.

유리 기판(24)에 대해서 긴 형상 감광성 웹(22)의 1매분의 라미네이트가 종료되면 고무 롤러(80a, 80b)의 회전이 정지되는 한편, 긴 형상 감광성 웹(22)이 라미네이트된 유리 기판(24)의 선단부가 기판 반송 롤러(90a)에 의해 클램핑된다. 이 때, 고무 롤러(80a, 80b) 사이의 소정 위치에는 하프컷 부위(34b)가 배치된다.When the lamination of one sheet of the elongate photosensitive web 22 with respect to the glass substrate 24 is completed, the rotation of the rubber rollers 80a and 80b is stopped, while the elongated photosensitive web 22 is laminated to the glass substrate 24. ) Is clamped by the substrate transfer roller 90a. At this time, the half cut part 34b is arrange | positioned in the predetermined position between the rubber rollers 80a and 80b.

그리고, 고무 롤러(80b)가 고무 롤러(80a)로부터 이간되는 방향으로 퇴피해서 클램프가 해제됨과 아울러, 기판 반송 롤러(90a)의 회전이 저속으로 다시 개시되어 긴 형상 감광성 웹(22)이 유리 기판(24)에 라미네이트된 감광성 적층체가 화살표(Y) 방향으로 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)의 폭(M)에 대응하는 거리만큼 반송되고, 다음의 하프컷 부위(34a)가 고무 롤러(80a)의 하방 부근의 소정 위치에 반송된 후, 고무 롤러(80a, 80b)의 회전이 정지된다. 또한, 긴 형상 감광성 웹(22)을 하프컷 부위(34a, 34b) 사이만큼 반송하는 처리를 이하에 있어서 「기판간 이송」 이라고 한다.Then, the rubber roller 80b is retracted in the direction away from the rubber roller 80a, the clamp is released, and the rotation of the substrate transfer roller 90a is started again at a low speed so that the elongated photosensitive web 22 is formed on the glass substrate. The photosensitive laminated body laminated to (24) is conveyed by the distance corresponding to the width | variety M of the remaining part B of the protective film 30 in the arrow Y direction, and the next half cut part 34a is a rubber roller. After being conveyed to the predetermined position below 80a, rotation of the rubber rollers 80a and 80b is stopped. In addition, the process which conveys the elongate photosensitive web 22 only between half cut parts 34a and 34b is called "inter-board feed" below.

한편, 상기 상태에 있어서 기판 공급 기구(45)를 통해 다음 유리 기판(24)이 부착 위치를 향해서 반송된다. 이상의 동작이 반복됨으로써 감광성 적층체가 연속적으로 제조된다.On the other hand, the next glass substrate 24 is conveyed toward the attachment position through the substrate supply mechanism 45 in the said state. By repeating the above operations, the photosensitive laminate is continuously produced.

그 때, 감광성 적층체는 각각의 단부가 도 2에 나타내는 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)에 의해 덮여 있다. 따라서, 감광성 수지층(28)이 유리 기판(24)에 전사될 때, 고무 롤러(80a, 80b)가 상기 감광성 수지층(28)에 의해 더러워지는 일이 없다.In that case, the photosensitive laminated body is covered by the remaining part B of the protective film 30 which each edge part shows in FIG. Therefore, when the photosensitive resin layer 28 is transferred to the glass substrate 24, the rubber rollers 80a and 80b do not become polluted by the said photosensitive resin layer 28. FIG.

부착 기구(46)에 의해 감광성 수지층(28)이 부착된 유리 기판(24)은 부착 기구(46)에 의해 긴 형상 감광성 웹(22)이 기판간 이송된 후, 일단 정지 상태에 있을 때, 기판 반송 롤러(90b, 90c) 사이에 배치되어 있는 커터 기구(48)에 의해 유리 기판(24) 사이의 긴 형상 감광성 웹(22)이 절단되어 감광성 적층체(24a)로 된다. 또한, 이 감광성 적층체(24a)에는 보호 필름(30)이 잔존하고 있다.When the glass substrate 24 to which the photosensitive resin layer 28 is attached by the attachment mechanism 46 is once in a stopped state after the elongate photosensitive web 22 is transferred between boards by the attachment mechanism 46, The elongate photosensitive web 22 between the glass substrates 24 is cut | disconnected by the cutter mechanism 48 arrange | positioned between board | substrate conveyance rollers 90b and 90c, and it becomes the photosensitive laminated body 24a. In addition, the protective film 30 remains in this photosensitive laminated body 24a.

분리된 감광성 적층체(24a)는 로봇(96)에 의해 일단 스토커(94)에 적층된다. 이어서, 스토커(94)에 적층된 감광성 적층체(24a)는 박리부(98)에 이송된 후, 박리 롤러(100)를 통해 보호 필름(30)이 감광성 적층체(24a)로부터 박리됨으로써 유리 기판(24)에 감광성 수지층(28)만이 부착된 감광성 적층체(24b)가 제조된다. 또한, 감광성 적층체(24a)로부터 박리된 보호 필름(30)은 권취 롤러(102)에 의해 권취된다.The separated photosensitive laminate 24a is once laminated to the stocker 94 by the robot 96. Subsequently, after the photosensitive laminated body 24a laminated | stacked on the stocker 94 is transferred to the peeling part 98, the protective film 30 is peeled from the photosensitive laminated body 24a through the peeling roller 100, and a glass substrate is carried out. The photosensitive laminated body 24b with only the photosensitive resin layer 28 attached to 24 is manufactured. In addition, the protective film 30 peeled from the photosensitive laminated body 24a is wound up by the winding roller 102. FIG.

여기에서, 긴 형상 감광성 웹(22)은 소정의 텐션이 부여된 상태로 공급됨과 아울러, 부착 기구(46)에 있어서 가열되어 유리 기판(24)에 부착되기 때문에 연장이 발생되게 된다. 이 경우, 긴 형상 감광성 웹(22)의 연장량에 따라서는 유리 기판(24)에 대한 감광성 수지층(28)의 부착 위치가 부적절해질 우려가 있다.Here, since the elongate photosensitive web 22 is supplied in the state in which the predetermined tension was given, since the elongate photosensitive web 22 is heated in the attachment mechanism 46 and affixed to the glass substrate 24, extension | stretching will generate | occur | produce. In this case, the attachment position of the photosensitive resin layer 28 to the glass substrate 24 may become inappropriate depending on the extension amount of the elongate photosensitive web 22.

그래서 박리부(98)의 하류측에 배치된 검출부(104)는 감광성 적층체(24b)에 있어서의 감광성 수지층(28)의 부착 위치의 검출을 행한다.Therefore, the detection part 104 arrange | positioned downstream of the peeling part 98 detects the attachment position of the photosensitive resin layer 28 in the photosensitive laminated body 24b.

우선, 도 4에 나타내는 바와 같이 검출부(104)를 구성하는 포토 센서(106)가 반송되는 유리 기판(24)의 전단부 또는 유리 기판(24)에 부착된 감광성 수지층(28)의 전단부를 검출하면 단부 검출 신호를 CCD 카메라(108a, 108b)에 출력한다. CCD 카메라(108a, 108b)는 상기 단부 검출 신호에 따라 유리 기판(24)의 촬영 영역(109a, 109b)의 화상을 촬영한다. 이 경우, 촬영 영역(109a, 109b)에는 유리 기판(24)의 전단 코너 부분 및 감광성 수지층(28)의 전단 코너 부분의 화상이 포함되어 있다.First, as shown in FIG. 4, the front end part of the glass substrate 24 with which the photo sensor 106 which comprises the detection part 104 is conveyed, or the front end part of the photosensitive resin layer 28 attached to the glass substrate 24 is detected. The lower surface end detection signal is output to the CCD cameras 108a and 108b. The CCD cameras 108a and 108b capture images of the imaging regions 109a and 109b of the glass substrate 24 in accordance with the end detection signal. In this case, the imaging area | region 109a, 109b contains the image of the front-end corner part of the glass substrate 24, and the front-end corner part of the photosensitive resin layer 28. As shown in FIG.

화상 처리부(120)는 CCD 카메라(108a, 108b)에 의해 촬영된 화상을 처리하고, 유리 기판(24)의 전단 코너 부분 및 감광성 수지층(28)의 전단 코너 부분을 특정한다. 부착 위치 산출부(122)는 특정된 각 코너 부분의 위치의 정보에 기초해서 전단부에 있어서의 유리 기판(24)의 측부와 감광성 수지층(28)의 측부의 거리(L1f) 및 유리 기판(24)의 전단부와 감광성 수지층(28)의 전단부의 거리(L2f)를 산출한다(도 5 참조). 판정부(124)는 산출된 거리(L1f, L2f)를 미리 설정한 허용 거리와 비교해서 거리(L1f, L2f)가 허용 범위 내에 있는지의 여부를 판정한다. 판정 결과는 표시부(126)에 표시됨으로써 상기 감광성 적층체(24b)의 전단측에 있어서의 감 광성 수지층(28)의 부착 상태를 작업자에게 통지할 수 있다.The image processing unit 120 processes the image photographed by the CCD cameras 108a and 108b, and specifies the front end corner portion of the glass substrate 24 and the front end corner portion of the photosensitive resin layer 28. The adhesion position calculation part 122 is the distance L1f of the side part of the glass substrate 24 and the side part of the photosensitive resin layer 28 in the front-end part based on the information of the position of each corner part identified, and the glass substrate ( The distance L2f of the front end of the front part 24 and the front end of the photosensitive resin layer 28 is calculated (see FIG. 5). The determination unit 124 compares the calculated distances L1f and L2f with a preset allowable distance to determine whether the distances L1f and L2f are within the allowable range. The determination result is displayed on the display part 126, and can inform an operator of the attachment state of the photosensitive resin layer 28 in the front end side of the said photosensitive laminated body 24b.

마찬가지로 해서 포토 센서(106)가 유리 기판(24)의 후단부 또는 유리 기판(24)에 부착된 감광성 수지층(28)의 후단부를 검출한 타이밍에서 CCD 카메라(108a, 108b)에 의해 화상이 촬영되어 후단부에 있어서의 유리 기판(24)과 감광성 수지층(28)의 거리(L1b, L2b)가 산출되고, 그 산출 결과에 기초한 판정 결과가 표시부(126)에 표시된다(도 6 참조).Similarly, images are captured by the CCD cameras 108a and 108b at the timing when the photo sensor 106 detects the rear end of the glass substrate 24 or the rear end of the photosensitive resin layer 28 attached to the glass substrate 24. As a result, the distances L1b and L2b of the glass substrate 24 and the photosensitive resin layer 28 in the rear end portion are calculated, and the determination result based on the calculation result is displayed on the display portion 126 (see FIG. 6).

이상과 같이 해서 유리 기판(24)에 대한 감광성 수지층(28)의 부착 상태가 자동적으로 검출되고, 그 판정 결과가 표시부(126)에 표시된다. 따라서, 작업자는 표시된 판정 결과에 기초해서 제조 장치(20)에 의해 제조된 모든 감광성 적층체(24b)의 품질 검사를 행할 수 있다.As mentioned above, the adhesion state of the photosensitive resin layer 28 with respect to the glass substrate 24 is detected automatically, and the determination result is displayed on the display part 126. As shown in FIG. Therefore, an operator can perform quality inspection of all the photosensitive laminated bodies 24b manufactured by the manufacturing apparatus 20 based on the displayed determination result.

도 8은 다른 실시형태인 제조 장치(200)의 개략 구성도이다. 또한, 도 1에 나타내는 제조 장치(20)와 동일한 구성 요소에는 동일한 참조 부호를 붙여 그 설명을 생략한다.8 is a schematic configuration diagram of a manufacturing apparatus 200 according to another embodiment. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the component same as the manufacturing apparatus 20 shown in FIG. 1, and the description is abbreviate | omitted.

제조 장치(200)에서는 부착 기구(46)에 의해 긴 형상 감광성 웹(22)이 부착된 유리 기판(24)이 분단되는 일 없이 냉각부(202)에 반송되어 냉각된 후, 박리부(204)에 공급된다. 박리부(204)에서는 푸셔(pusher)(206)에 의해 유리 기판(24) 사이의 긴 형상 감광성 웹(22)이 상방향으로 밀어 올려짐으로써 보호 필름(30)의 박리가 용이한 상태로 된 후, 보호 필름(30)이 감광성 수지층(28)으로부터 박리되고, 권취 롤러(208)에 의해 권취된다. 이것에 의해 유리 기판(24) 사이가 분리되어 감광성 적층체(24b)가 제조된다. 제조된 감광성 적층체(24b)는 제조 장치(20)의 경 우와 마찬가지로 검출부(104)에 의해 유리 기판(24) 및 감광성 수지층(28)의 단부의 위치가 검출되어 부착 위치의 산출 및 판정 처리가 행해진다.In the manufacturing apparatus 200, after the glass substrate 24 with the elongate photosensitive web 22 attached by the attachment mechanism 46 was conveyed to the cooling part 202, and cooled, the peeling part 204 is carried out. Supplied to. In the peeling part 204, after the elongate photosensitive web 22 between the glass substrates 24 is pushed upward by the pusher 206, peeling of the protective film 30 becomes easy, The protective film 30 is peeled off from the photosensitive resin layer 28 and wound up by the winding roller 208. Thereby, between glass substrates 24 is isolate | separated, and the photosensitive laminated body 24b is manufactured. In the manufactured photosensitive laminated body 24b, the position of the edge part of the glass substrate 24 and the photosensitive resin layer 28 is detected by the detection part 104 similarly to the manufacturing apparatus 20, and calculation and determination process of an attachment position are carried out. Is performed.

또한, 상술한 실시형태에서는 1개의 감광성 웹롤(23)로부터 공급되는 긴 형상 감광성 웹(22)을 유리 기판(24)에 부착함으로써 소위, 1개 부착된 감광성 적층체(24b)를 제조하도록 구성되어 있지만, 예를 들면, 2개의 감광성 웹롤이나 3개 이상의 감광성 웹롤로부터 긴 형상 감광성 웹(22)을 공급해서 유리 기판(24)에 부착하여 소위, 2개 부착, 3개 부착 등의 감광성 적층체(24b)를 제조하도록 구성해도 좋다.Moreover, in the above-mentioned embodiment, it is comprised so that the so-called attached photosensitive laminated body 24b may be manufactured by attaching the elongate photosensitive web 22 supplied from one photosensitive web roll 23 to the glass substrate 24. FIG. However, for example, a photosensitive laminate such as a so-called two attachment or three attachment is supplied by supplying the elongate photosensitive web 22 from two photosensitive web rolls or three or more photosensitive web rolls and attaching the glass substrate 24 to the glass substrate 24. You may comprise so that 24b) may be manufactured.

도 1은 본 실시형태에 따른 제조 장치의 개략 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram of a manufacturing apparatus according to the present embodiment.

도 2는 본 실시형태에 따른 제조 장치에 사용되는 긴 형상 감광성 웹의 단면도이다.2 is a cross-sectional view of an elongate photosensitive web used in the manufacturing apparatus according to the present embodiment.

도 3은 긴 형상 감광성 웹에 접착 라벨이 접착된 상태의 설명도이다.3 is an explanatory view of a state in which an adhesive label is adhered to an elongate photosensitive web.

도 4는 단부 검출부 및 촬영부의 배치 관계 설명도이다.4 is an explanatory view of the arrangement relationship between the edge detector and the imaging unit.

도 5는 기판 및 감광 재료층 전단부의 촬영 상태의 설명도이다.5 is an explanatory view of a photographing state of a substrate and a front end portion of the photosensitive material layer.

도 6은 기판 및 감광 재료층 후단부의 촬영 상태의 설명도이다.6 is an explanatory view of a photographing state of the rear end of the substrate and the photosensitive material layer.

도 7은 검출부의 제어 회로 블록도이다.7 is a control circuit block diagram of the detector.

도 8은 다른 실시 형태에 따른 제조 장치의 개략 구성도이다.8 is a schematic configuration diagram of a manufacturing apparatus according to another embodiment.

도 9는 종래 기술에 따른 제조 장치의 개략 구성도이다.9 is a schematic configuration diagram of a manufacturing apparatus according to the prior art.

도 10은 기판 및 감광성 시트체의 위치 관계의 설명도이다.It is explanatory drawing of the positional relationship of a board | substrate and the photosensitive sheet body.

Claims (8)

지지체(26) 상에 감광 재료층(28)과 보호 필름(30)이 순차적으로 적층되어 이루어지는 긴 형상 감광성 웹(22)을 송출하고, 상기 보호 필름(30)의 박리 부분과 잔존 부분의 경계 위치에 대응하는 가공 부위(34a, 34b)를 상기 보호 필름(30)으로부터 상기 감광 재료층(28)에 이르는 부분에 형성하고, 상기 보호 필름(30)의 상기박리 부분을 박리한 후, 소정의 간격으로 공급되는 기판(24)과 함께 상기 긴 형상 감광성 웹(22)을 가열된 한쌍의 압착 롤러(80a, 80b) 사이에 연속적으로 송출하고, 상기 기판(24) 사이에 상기 보호 필름(30)의 상기 잔존 부분을 배치함과 아울러, 노출된 상기 감광 재료층(28)을 상기 기판(24)에 부착하고, 이어서, 상기 보호 필름(30)으로부터 상기 지지체(26)를 박리함으로써 감광성 적층체(24b)를 제조하는 감광성 적층체의 제조 장치에 있어서:The elongate photosensitive web 22 in which the photosensitive material layer 28 and the protective film 30 are sequentially laminated on the support body 26 is sent out, and the boundary position of the peeling part and the remainder part of the said protective film 30 is carried out. Process portions 34a and 34b corresponding to the formed portions from the protective film 30 to the photosensitive material layer 28 are formed, and the peeled portions of the protective film 30 are peeled off. The elongate photosensitive web 22 is continuously sent between the heated pair of pressing rollers 80a and 80b together with the substrate 24 supplied to the substrate 24, and the protective film 30 is interposed between the substrate 24. In addition to disposing the remaining portion, the exposed photosensitive material layer 28 is attached to the substrate 24, and then the support 26 is peeled off from the protective film 30. In the manufacturing apparatus of the photosensitive laminated body which manufactures (): 상기 감광성 적층체(24b)를 구성하는 상기 기판(24)의 기판 단부, 또는 상기 기판(24)에 부착된 상기 감광 재료층(28)의 감광 재료층 단부를 검출하는 단부 검출부(106); An end detector (106) for detecting a substrate end of the substrate (24) constituting the photosensitive laminate (24b), or an end of the photosensitive material layer of the photosensitive material layer (28) attached to the substrate (24); 상기 단부 검출부(106)에 의한 상기 기판 단부 또는 상기 감광 재료층 단부의 검출 타이밍에 따라서 상기 기판 단부 및 상기 감광 재료층 단부를 포함하는 화상을 촬영하는 촬영부(108a, 108b); 및Photographing units (108a, 108b) for capturing an image including the substrate end and the photosensitive material layer end in accordance with the detection timing of the substrate end or the photosensitive material layer end by the end detecting unit (106); And 상기 촬영부(108a, 108b)에 의해 촬영된 상기 화상을 처리하고, 상기 기판(24)에 대한 상기 감광 재료층(28)의 부착 위치를 산출하는 부착 위치 산출 부(122)를 구비하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.And an attachment position calculation unit 122 for processing the image photographed by the imaging units 108a and 108b and calculating an attachment position of the photosensitive material layer 28 to the substrate 24. The manufacturing apparatus of the photosensitive laminated body made into. 제 1 항에 있어서, 상기 촬영부(108a, 108b)는 반송되는 상기 감광성 적층체(24b)에 있어서의 상기 기판(24)의 반송 방향의 전후 양 단부와, 상기 기판(24)에 부착된 상기 감광 재료층(28)의 반송 방향의 전후 양 단부의 양쪽의 화상을 촬영하고; The said photographing part 108a, 108b is the front-back both ends of the conveyance direction of the said board | substrate 24 in the said photosensitive laminated body 24b conveyed, and the said attached to the said board | substrate 24. Photographing both sides of the front and rear ends of the photosensitive material layer 28 in the conveying direction; 상기 부착 위치 산출부(122)는 상기 촬영부(108a, 108b)에 의해 촬영된 상기 화상을 처리하고, 상기 기판(24)에 대한 상기 감광 재료층(28)의 전후의 부착 위치를 산출하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.The attachment position calculation unit 122 processes the image photographed by the imaging units 108a and 108b and calculates attachment positions before and after the photosensitive material layer 28 with respect to the substrate 24. The manufacturing apparatus of the photosensitive laminated body characterized by the above-mentioned. 제 2 항에 있어서, 상기 촬영부(108a, 108b)는 상기 기판(24) 및 상기 감광 재료층(28)의 반송 방향과 직교하는 양 측부의 화상을 촬영하고;3. The photographing apparatus according to claim 2, wherein the photographing sections (108a, 108b) photograph images of both sides orthogonal to the conveying directions of the substrate (24) and the photosensitive material layer (28); 상기 부착 위치 산출부(122)는 상기 기판(24)에 대한 상기 감광 재료층(28)의 양 측부의 부착 위치를 산출하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.The attachment position calculation unit (122) calculates the attachment position of both side portions of the photosensitive material layer (28) to the substrate (24). 제 1 항에 있어서, 상기 부착 위치 산출부에 의해 산출된 상기 부착 위치의 양부(良否)를 판정하는 판정부(124); 및2. The apparatus according to claim 1, further comprising: a determination unit (124) for determining whether the attachment position is calculated by the attachment position calculation unit; And 상기 판정부에 의한 판정 결과를 표시하는 표시부(126)를 구비하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.And a display portion (126) for displaying the determination result by the determination portion. 지지체(26) 상에 감광 재료층(28)과 보호 필름(30)이 순차적으로 적층되어 이루어지는 긴 형상 감광성 웹(22)을 송출하고, 상기 보호 필름(30)의 박리 부분과 잔존 부분의 경계 위치에 대응하는 가공 부위(34a, 34b)를 상기 보호 필름(30)으로부터 상기 감광 재료층(28)에 이르는 부분에 형성하고, 상기 보호 필름(30)의 상기박리 부분을 박리한 후, 소정의 간격으로 공급되는 기판(24)과 함께 상기 긴 형상 감광성 웹(22)을 가열된 한쌍의 압착 롤러(80a, 80b) 사이에 연속적으로 송출하고, 상기 기판(24) 사이에 상기 보호 필름(30)의 상기 잔존 부분을 배치함과 아울러, 노출된 상기 감광 재료층(28)을 상기 기판(24)에 부착하고, 이어서, 상기 보호 필름(30)으로부터 상기 지지체(26)를 박리함으로써 감광성 적층체(24b)를 제조하는 감광성 적층체의 제조 방법에 있어서:The elongate photosensitive web 22 in which the photosensitive material layer 28 and the protective film 30 are sequentially laminated on the support body 26 is sent out, and the boundary position of the peeling part and the remainder part of the said protective film 30 is carried out. Process portions 34a and 34b corresponding to the formed portions from the protective film 30 to the photosensitive material layer 28 are formed, and the peeled portions of the protective film 30 are peeled off. The elongate photosensitive web 22 is continuously sent between the heated pair of pressing rollers 80a and 80b together with the substrate 24 supplied to the substrate 24, and the protective film 30 is interposed between the substrate 24. In addition to disposing the remaining portion, the exposed photosensitive material layer 28 is attached to the substrate 24, and then the support 26 is peeled off from the protective film 30. In the manufacturing method of the photosensitive laminated body which manufactures (): 상기 감광성 적층체(24b)를 구성하는 상기 기판(24)의 기판 단부, 또는 상기 기판(24)에 부착된 상기 감광 재료층(28)의 감광 재료층 단부를 검출하는 스텝;Detecting a substrate end of the substrate (24) constituting the photosensitive laminate (24b) or an end of the photosensitive material layer of the photosensitive material layer (28) attached to the substrate (24); 상기 기판 단부 또는 상기 감광 재료층 단부의 검출 타이밍에 따라서 상기 기판 단부 및 상기 감광 재료층 단부를 포함하는 화상을 촬영하는 스텝; 및Photographing an image including the substrate end and the photosensitive material layer end in accordance with the detection timing of the substrate end or the photosensitive material layer end; And 촬영된 상기 화상을 처리하고, 상기 기판에 대한 상기 감광 재료층의 부착 위치를 산출하는 스텝으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 방법.And a step of processing the photographed image and calculating the attachment position of the photosensitive material layer to the substrate. 제 5 항에 있어서, 상기 화상을 촬영하는 스텝에서는 반송되는 상기 감광성 적층체(24b)에 있어서의 상기 기판(24)의 반송 방향의 전후 양 단부와, 상기 기판(24)에 부착된 상기 감광 재료층(28)의 반송 방향의 전후 양 단부의 양쪽의 화상을 촬영하고;The said photosensitive material attached to the said board | substrate of the conveyance direction of the board | substrate 24 of the said board | substrate 24 in the said photosensitive laminated body 24b conveyed at the step of photographing the said image, The said photosensitive material of Claim 5 Photographing both sides of the front and rear ends of the conveyance direction of the layer 28; 상기 부착 위치를 산출하는 스텝에서는 촬영된 상기 화상을 처리하고, 상기 기판(24)에 대한 상기 감광 재료층(28)의 전후의 부착 위치를 산출하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 방법.In the step of calculating the attachment position, the photographed image is processed and the attachment position before and after the photosensitive material layer (28) to the substrate (24) is calculated. 제 6 항에 있어서, 상기 화상을 촬영하는 스텝에서는 상기 기판(24) 및 상기 감광 재료층(28)의 반송 방향과 직교하는 양 측부의 화상을 촬영하고;7. The method of claim 6, wherein in the step of photographing the image, images of both sides perpendicular to the conveyance directions of the substrate (24) and the photosensitive material layer (28) are photographed; 상기 부착 위치를 산출하는 스텝에서는 상기 기판(24)에 대한 상기 감광 재료층(28)의 양 측부의 부착 위치를 산출하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 방법.In the step of calculating the attachment position, the attachment position of both side portions of the photosensitive material layer (28) to the substrate (24) is calculated. 제 5 항에 있어서, 산출된 상기 부착 위치의 양부를 판정하는 스텝; 및The method of claim 5, further comprising: determining whether the calculated attachment position is determined; And 상기 판정 결과를 표시하는 스텝으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 방법.The manufacturing method of the photosensitive laminated body which consists of a step of displaying the said determination result.
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