KR20080088374A - Apparatus for and method manufacturing photosensitive laminated body - Google Patents

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KR20080088374A
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아키히코 하세
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후지필름 가부시키가이샤
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Abstract

A photosensitive laminate manufacturing apparatus and a method are provided to contain a base material effectively without enlarging a base material receiving part. A photosensitive laminate manufacturing apparatus(20) for producing a photosensitive laminate(92) by bonding a photosensitive material layer formed on a base material(26), on a substrate(24) and then, separating the base material is composed of a pair of loading racks(100a,100b) disposed opposite to each other to load the separated base material on the loading surface; loading rack moving units moving a pair of loading racks to separate the loading racks; loading rack inclining units inclining the adjacent ends of a pair of loading racks toward the lower side; and a base material receiving part(102) disposed at the lower part of a pair of loading racks to receive the base material falling from a gap between the loading racks separated by the loading rack moving units.

Description

감광성 적층체 제조 장치 및 제조 방법{APPARATUS FOR AND METHOD MANUFACTURING PHOTOSENSITIVE LAMINATED BODY}Photosensitive laminated body manufacturing apparatus and manufacturing method {APPARATUS FOR AND METHOD MANUFACTURING PHOTOSENSITIVE LAMINATED BODY}

본 발명은 지지체 상에 형성된 감광 재료층을 기판에 접착한 후, 상기 지지체를 박리해서 감광성 적층체를 제조하는 감광성 적층체 제조 장치 및 제조 방법에 관한 것이다.This invention relates to the photosensitive laminated body manufacturing apparatus and manufacturing method which adhere | attach the photosensitive material layer formed on the support body to a board | substrate, and then peel off the said support body and manufacture a photosensitive laminated body.

예를 들면, 액정 패널용 기판, 프린트 배선용 기판, PDP용 기판은 감광성 수지층(감광 재료층)을 갖는 감광성 시트체[감광성 웹(Photosensitive web)]를 기판 표면에 접착해서 구성된다. 감광성 시트체는, 예를 들면 가요성 플라스틱 지지체 상에 감광성 수지층과 보호 필름이 순서대로 적층되어 있다.For example, the board | substrate for liquid crystal panels, the board for printed wirings, and the board | substrate for PDP are comprised by bonding the photosensitive sheet body (photosensitive web) which has a photosensitive resin layer (photosensitive material layer) to the board | substrate surface. As for the photosensitive sheet body, the photosensitive resin layer and the protective film are laminated | stacked in order on the flexible plastic support body, for example.

이 종류의 감광성 시트체의 접착에 사용되는 제조 장치는, 통상 유리 기판이나 수지 기판 등의 기판을 소정의 간격씩 이간시켜서 라미네이션 롤러 사이에 반송함과 아울러, 상기 기판에 접착되는 감광성 수지층의 범위에 대응하는 보호 필름을 박리한 감광성 시트체를 상기 라미네이션 롤러 사이에 반송하는 방식이 채용되어 있다.The manufacturing apparatus used for adhesion | attachment of this kind of photosensitive sheet | seat normally conveys between lamination rollers, separating board | substrates, such as a glass substrate and a resin substrate at predetermined intervals, and is a range of the photosensitive resin layer adhere | attached to the said board | substrate. The method of conveying the photosensitive sheet body which peeled the protective film corresponding to the said lamination rollers is employ | adopted.

예를 들면, 일본 특허 제3316093호 공보에 개시되어 있는 제조 장치에서는 도 9에 나타내는 바와 같이 롤(1)로부터 감광성 시트체(2)를 풀어내서 하프 커터 장치(3)에 공급하고, 감광성 시트체(2)를 구성하는 지지체 상에 적층되어 있는 보호 필름 및 감광성 수지층을 소정의 간격으로 절단한다. 이어서, 보호 필름 제거부(4)에 상기 감광성 시트체(2)를 공급하고, 기판(5)의 접착 범위에 대응하는 보호 필름을 점착 테이프 등을 이용하여 박리한 후 열압착 롤러(6a, 6b) 사이에 공급한다. 한편, 열압착 롤러(6a, 6b) 사이에는 가열된 기판(5)이 반입되고, 보호 필름이 박리됨으로써 노출된 감광성 수지층을 통해 감광성 시트체(2)가 기판(5)의 하면부에 가열 압착된다. 감광성 시트체(2)가 가열 압착된 기판(5)은 열압착 롤러(6a, 6b)로부터 반출된 후 분리 장치(7)에 공급되고, 기판(5) 사이의 감광성 시트체(2)가 절단되어서 감광성 적층체(8)가 제조된다.For example, in the manufacturing apparatus disclosed in Unexamined-Japanese-Patent No. 3316093, as shown in FIG. 9, the photosensitive sheet body 2 is unwound from the roll 1, and it supplies to the half cutter apparatus 3, and the photosensitive sheet body The protective film and the photosensitive resin layer laminated | stacked on the support body which comprise (2) are cut | disconnected at predetermined spaces. Subsequently, the said photosensitive sheet | seat body 2 is supplied to the protective film removal part 4, and after peeling off the protective film corresponding to the adhesion range of the board | substrate 5 using an adhesive tape etc., thermocompression roller 6a, 6b Supply between). On the other hand, the heated board | substrate 5 is carried in between the thermocompression rollers 6a and 6b, and the photosensitive sheet body 2 is heated to the lower surface part of the board | substrate 5 through the photosensitive resin layer exposed by peeling a protective film. Squeezed. The board | substrate 5 by which the photosensitive sheet | seat 2 was heat-squeezed is carried out from the thermocompression roller 6a, 6b, and is supplied to the separator 7, and the photosensitive sheet | seat 2 between the board | substrates 5 is cut | disconnected. Thus, the photosensitive laminated body 8 is manufactured.

그런데, 이렇게 해서 분리된 감광성 적층체(8)에는 지지체가 잔존하고 있어 이 지지체를 기판(5)으로부터 박리시키는 처리가 행해진다. 박리된 지지체는 지지체 수용부에 수용된 후 폐기된다.By the way, the support body remains in the photosensitive laminated body 8 separated in this way, and the process which peels this support body from the board | substrate 5 is performed. The peeled support is accommodated in the support receiving portion and then discarded.

도 10 및 도 11은 지지체의 일반적인 박리 수용 기구의 설명도이다. 감광성 적층체(8)에 잔존하는 지지체(9)는 척(10)에 의해 파지되어서 기판(5)으로부터 박리된 후, 하부에 대기하는 지지체 수용부(11)에 낙하시켜서 수용한다.FIG.10 and FIG.11 is explanatory drawing of the general peeling accommodation mechanism of a support body. The support 9 remaining on the photosensitive laminate 8 is gripped by the chuck 10 and peeled off from the substrate 5, and then dropped onto the support accommodating portion 11 waiting at the bottom to be accommodated.

이 경우, 감광성 적층체(8)를 효율적으로 제조하기 위해서는 지지체(9)를 기판(5)으로부터 연속적으로 박리하고, 지지체 수용부(11)에 다수매의 지지체(9)를 적층 수용한 후 그들을 통합해서 폐기하는 것이 필요하다. 따라서, 지지체 수용부(11)는 다수의 지지체(9)를 수용할 수 있도록 깊게 형성되게 된다.In this case, in order to efficiently manufacture the photosensitive laminated body 8, the support body 9 is peeled continuously from the board | substrate 5, and the several support body 9 is laminated | stacked and received in the support body accommodating part 11, and they are It is necessary to dispose of it integrally. Therefore, the support accommodating part 11 is to be deeply formed to accommodate a plurality of the support (9).

그러나, 지지체 수용부(11)가 깊어지면 지지체(9)의 낙하 거리가 길어져버린다. 이 경우, 지지체(9)는 얇은 가요성 플라스틱으로 형성되어 있음과 아울러, 척(10)에 의해 파지되어 있지 않은 단부가 자유단이므로, 지지체 수용부(11)에 수용될 때 도 11에 나타내는 바와 같이 일부가 접혀 구부러져 버려 지지체 수용부(11)에 다수의 지지체(9)를 수용할 수 없게 되어 버린다.However, when the support body accommodating part 11 deepens, the fall distance of the support body 9 becomes long. In this case, since the support body 9 is formed of thin flexible plastic and the end part which is not gripped by the chuck 10 is a free end, when it is accommodated in the support container accommodating part 11, as shown in FIG. As a result, a part of the support body 11 is folded and bent, and the support body 11 can not accommodate the plurality of support bodies 9.

본 발명은 기판으로부터 박리된 지지체를 지지체 수용부에 효율적으로 수용하고, 이것에 의해 감광성 적층체를 효율적으로 제조할 수 있는 감광성 적층체 제조 장치 및 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of this invention is to provide the photosensitive laminated body manufacturing apparatus and manufacturing method which can accommodate the support body peeled from a board | substrate efficiently in a support body accommodating part, and can manufacture a photosensitive laminated body efficiently by this.

또한, 본 발명은 지지체 수용부를 대형화하지 않고 지지체를 효과적으로 수용할 수 있는 감광성 적층체 제조 장치 및 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.Moreover, an object of this invention is to provide the photosensitive laminated body manufacturing apparatus and manufacturing method which can accommodate a support body effectively, without enlarging a support body accommodating part.

본 발명은 지지체 상에 형성된 감광 재료층을 기판에 접착한 후, 상기 지지체를 박리해서 감광성 적층체를 제조하는 감광성 적층체 제조 장치에 있어서, In the photosensitive laminated body manufacturing apparatus which adhere | attaches the photosensitive material layer formed on the support body to a board | substrate, and peels the said support body, and manufactures a photosensitive laminated body,

대향해서 배치되고, 적재면에 박리된 상기 지지체가 적재되는 한쌍의 적재대와, 상기 한쌍의 적재대를 이간하도록 이동시키는 적재대 이동 수단과, A pair of mounting tables which are disposed to face each other, on which the support body separated on the mounting surface is mounted, a mounting table moving means for moving the pair of mounting tables so as to be spaced apart;

상기 한쌍의 적재대의 근접하는 각 단부측을 하측 방향으로 경사지게 하는 적재대 경사 수단과, A loading table inclination means for inclining each end side adjacent to the pair of loading tables in a downward direction;

상기 한쌍의 적재대의 하부에 배치되고, 상기 적재대 이동 수단에 의해 이간된 상기 한쌍의 적재대 사이로부터 낙하된 상기 지지체를 수용하는 지지체 수용부를 구비하는 것을 특징으로 한다.And a support accommodating portion disposed below the pair of mounting tables and accommodating the support dropped from between the pair of mounting tables spaced apart by the mounting table moving means.

또한, 본 발명은 지지체 상에 형성된 감광 재료층을 기판에 접착한 후, 상기 지지체를 박리해서 감광성 적층체를 제조하는 감광성 적층체 제조 방법에 있어서,Moreover, in this invention, after attaching the photosensitive material layer formed on the support body to a board | substrate, the said support body is peeled off and a photosensitive laminated body manufacturing method is produced,

대향해서 배치된 한쌍의 적재대의 적재면에 박리된 상기 지지체를 적재하는 스텝과, A step of stacking the support body peeled off on a stacking surface of a pair of mounting tables disposed to face each other,

상기 지지체가 적재된 상기 한쌍의 적재대를 이간시킴과 아울러, 상기 한쌍의 적재대의 근접하는 각 단부측을 하측 방향으로 경사지게 하는 스텝과, Separating the pair of mounting tables on which the support is mounted, and inclining each end side adjacent to the pair of mounting tables in a downward direction;

상기 한쌍의 적재대의 하부에 배치된 지지체 수용부에 이간된 상기 한쌍의 적재대 사이로부터 상기 지지체를 낙하시켜서 수용하는 스텝으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.It characterized in that it comprises a step of dropping the support from between the pair of mounting table spaced apart from the support receiving portion disposed in the lower portion of the pair of mounting table.

본 발명에서는 기판으로부터 박리된 지지체를 일단 한쌍의 적재대에 적재한 후, 상기 한쌍의 적재대를 이간시킴과 아울러, 하측 방향으로 경사지게 해서 지지체 수용부에 낙하 수용함으로써 지지체가 접혀 구부러지는 일 없이 다수의 지지체를 지지체 수용부에 효율적으로 수용시킬 수 있다. 이 결과, 지지체 수용부로부터 지지체를 폐기하는 처리 횟수가 적어져서 감광성 적층체를 효율적으로 제조할 수 있다. 또, 지지체를 효율적으로 수용할 수 있으므로 지지체 수용부를 소형으로 구성할 수 있다.In the present invention, the support which is peeled off from the substrate is once loaded on a pair of mounting stages, and the pair of mounting stages are separated, and the support members are folded and accommodated in the support accommodating portion to be inclined downward so that the support members are not folded and bent. Can be accommodated efficiently in a support accommodating part. As a result, the number of treatments for disposing of the support from the support accommodating portion is reduced, so that the photosensitive laminate can be efficiently produced. Moreover, since a support body can be accommodated efficiently, a support body accommodating part can be comprised small.

첨부된 도면과 협동하는 다음의 바람직한 실시형태예의 설명으로부터 상기의 목적, 특징 및 이점이 보다 명확해질 것이다.The above objects, features, and advantages will become more apparent from the following description of the preferred embodiments in conjunction with the accompanying drawings.

도 1은 본 실시형태에 따른 감광성 적층체 제조 장치인 라미네이트 장치(20)의 개략 구성도이며, 이 라미네이트 장치(20)는 액정 또는 유기 EL용 컬러 필터 등의 제작 공정에서 소정의 폭 치수로 이루어지는 긴 형상의 감광성 웹(22)의 감광성 수지층(28)(후술함)을 유리 기판(24)에 열전사(라미네이트)하는 작업을 행한다.FIG. 1: is a schematic block diagram of the lamination apparatus 20 which is the photosensitive laminated body manufacturing apparatus which concerns on this embodiment, and this lamination apparatus 20 consists of predetermined | prescribed width dimension in manufacturing processes, such as a color filter for liquid crystals or organic EL. An operation of thermally transferring (laminating) the photosensitive resin layer 28 (to be described later) of the elongate photosensitive web 22 to the glass substrate 24 is performed.

도 2는 라미네이트 장치(20)에 사용되는 긴 형상의 감광성 웹(22)의 단면도 이다. 이 긴 형상의 감광성 웹(22)은 가요성 베이스 필름(지지체)(26)과 감광성 수지층(감광 재료층)(28)과 보호 필름(30)을 적층해서 구성된다.2 is a cross-sectional view of an elongate photosensitive web 22 used in the lamination apparatus 20. This elongate photosensitive web 22 is comprised by laminating | stacking the flexible base film (support) 26, the photosensitive resin layer (photosensitive material layer) 28, and the protective film 30. As shown in FIG.

도 1에 나타내는 바와 같이, 라미네이트 장치(20)는 긴 형상의 감광성 웹(22)을 롤형상으로 권회한 감광성 웹 롤(23)을 수용하고, 감광성 웹 롤(23)로부터 상기 긴 형상의 감광성 웹(22)을 송출할 수 있는 웹 송출 기구(32)와, 송출된 긴 형상의 감광성 웹(22)의 보호 필름(30) 및 감광성 수지층(28)의 폭 방향으로 절단 가능한 2개소의 경계 부분인 하프컷 부위(34a, 34b)(도 2 참조)를 형성하는 가공 기구(36)와, 일부에 비접착부(38a)를 갖는 접착 라벨(38)(도 3 참조)을 보호 필름(30)에 접착시키는 라벨 접착 기구(40)를 구비한다.As shown in FIG. 1, the lamination apparatus 20 accommodates the photosensitive web roll 23 which wound the elongate photosensitive web 22 in roll shape, and the said elongate photosensitive web from the photosensitive web roll 23 is shown. Two boundary parts which can be cut | disconnected in the width direction of the web delivery mechanism 32 which can send out 22, the protective film 30 of the elongate photosensitive web 22, and the photosensitive resin layer 28. The processing mechanism 36 which forms the in-half cut site | parts 34a and 34b (refer FIG. 2), and the adhesive label 38 (refer FIG. 3) which has a non-adhesive part 38a in a part to the protective film 30 It is provided with a label adhesion mechanism 40 to adhere.

라벨 접착 기구(40)의 하류에는 긴 형상의 감광성 웹(22)을 택트(tact) 이송에서 연속 이송으로 변경하기 위한 리저버(reserver) 기구(42)와, 긴 형상의 감광성 웹(22)으로부터 보호 필름(30)을 소정의 길이 간격으로 박리시키는 박리 기구(44)와, 유리 기판(24)을 소정의 온도로 가열한 상태에서 접착 위치에 공급하는 기판 공급 기구(45)와, 상기 보호 필름(30)의 박리에 의해 노출된 감광성 수지층(28)을 상기 유리 기판(24)에 일체적으로 접착하는 접착 기구(46)가 배치된다.Downstream of the label adhesive mechanism 40 is a protector mechanism 42 for changing the elongated photosensitive web 22 from tact transfer to continuous transfer and from the elongated photosensitive web 22. The peeling mechanism 44 which peels the film 30 by predetermined length space | interval, the board | substrate supply mechanism 45 which supplies to the bonding position in the state which heated the glass substrate 24 to predetermined temperature, and the said protective film ( The adhesion mechanism 46 which integrally adheres the photosensitive resin layer 28 exposed by peeling of 30 to the said glass substrate 24 is arrange | positioned.

접착 기구(46)에 있어서의 접착 위치의 상류 근방에는 하프컷 부위(34a, 34b)를 포함하는 긴 형상의 감광성 웹(22)의 화상을 촬영하는 촬영부(47)가 배치된다. 라미네이트 장치(20)는 촬영부(47)에 의해 촬영된 하프컷 부위(34a, 34b)의 화상에 기초하여 접착 기구(46)에 대한 하프컷 부위(34a, 34b)의 위치 어긋남량을 산출하고, 긴 형상의 감광성 웹(22)의 이송량의 보정을 행한다.In the vicinity of the bonding position in the bonding mechanism 46, a photographing unit 47 for photographing an image of the elongated photosensitive web 22 including the half cut portions 34a and 34b is disposed. The lamination apparatus 20 calculates the position shift amount of the half cut parts 34a and 34b with respect to the bonding mechanism 46 based on the image of the half cut parts 34a and 34b photographed by the imaging part 47, Then, the feed amount of the elongate photosensitive web 22 is corrected.

웹 송출 기구(32)의 하류 근방에는 대략 사용이 끝난 긴 형상의 감광성 웹(22)의 후단과, 새롭게 사용되는 긴 형상의 감광성 웹(22)의 선단을 접착하는 접착대(49)가 배치된다. 접착대(49)의 하류에는 감광성 웹 롤(23)의 어긋나게 감김에 의한 폭 방향의 어긋남을 제어하기 위해 필름 단말 위치 검출기(51)가 배치된다. 여기서, 필름 단말 위치 조정은 웹 송출 기구(32)를 폭 방향으로 이동시켜서 행하지만, 롤러를 조합한 위치 조정 기구를 부설해서 행해도 된다.In the vicinity of the downstream web delivery mechanism 32, a bonding table 49 is disposed to bond the rear end of the substantially long elongate photosensitive web 22 to the end of the newly used elongate photosensitive web 22. . Downstream of the bonding table 49, a film terminal position detector 51 is disposed to control the shift in the width direction due to the shift of the photosensitive web roll 23. Here, although film terminal position adjustment is performed by moving the web delivery mechanism 32 to the width direction, you may provide the position adjustment mechanism which combined the roller.

가공 기구(36)는 웹 송출 기구(32)에 수용 권회되어 있는 감광성 웹 롤(23)의 롤 지름을 산출하기 위한 롤러쌍(50)의 하류에 배치된다. 가공 기구(36)는 거리(M)만큼 이간된 한쌍의 둥근 날(52a, 52b)을 구비한다. 둥근 날(52a, 52b)은 긴 형상의 감광성 웹(22)의 폭 방향으로 주행해서 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)을 사이에 둔 소정의 2개소의 위치에 하프컷 부위(34a, 34b)를 형성한다(도 2 참조).The processing mechanism 36 is disposed downstream of the roller pair 50 for calculating the roll diameter of the photosensitive web roll 23 accommodated and wound in the web delivery mechanism 32. The processing mechanism 36 has a pair of round blades 52a and 52b spaced apart by the distance M. As shown in FIG. The round blades 52a and 52b travel in the width direction of the elongate photosensitive web 22 and have half cut portions 34a at two predetermined positions between the remaining portions B of the protective film 30. 34b) (see Figure 2).

도 2에 나타내는 바와 같이, 하프컷 부위(34a, 34b)는 적어도 보호 필름(30) 및 감광성 수지층(28)을 절단할 필요가 있고, 실제상 가요성 베이스 필름(26)까지 커팅하도록 둥근 날(52a, 52b)의 커팅 깊이가 설정된다. 둥근 날(52a, 52b)은 회전하지 않고 고정된 상태에서 긴 형상의 감광성 웹(22)의 폭 방향으로 이동해서 하프컷 부위(34a, 34b)를 형성하는 방식이나, 상기 긴 형상의 감광성 웹(22) 위를 미끄러지지 않고 회전하면서 상기 폭 방향으로 이동해서 상기 하프컷 부위(34a, 34b)를 형성하는 방식이 채용된다. 이 하프컷 부위(34a, 34b)는 둥근 날(52a, 52b)에 대체해서, 예를 들면 레이저광이나 초음파를 사용한 컷 방식 외에 나이프 날, 작두 날(톰슨 날) 등으로 형성하는 방식을 채용해도 된다.As shown in FIG. 2, the half cut portions 34a and 34b need to cut at least the protective film 30 and the photosensitive resin layer 28, and are actually rounded so as to cut to the flexible base film 26. The cutting depths of 52a and 52b are set. The round blades 52a and 52b move in the width direction of the elongate photosensitive web 22 in a fixed state without being rotated to form half cut portions 34a and 34b, or the elongate photosensitive web ( 22) A method of forming the half cut portions 34a and 34b by moving in the width direction while rotating without slipping is adopted. The half cut portions 34a and 34b may be replaced with the round blades 52a and 52b, for example, by using a method of forming a knife blade, a small blade (thomson blade), or the like, in addition to a cut method using laser light or ultrasonic waves. do.

하프컷 부위(34a, 34b)는 감광성 수지층(28)을 유리 기판(24)에 접착했을 때, 예를 들면 상기 유리 기판(24)의 양 단부로부터 각각 10㎜씩 내측으로 들어간 위치로 되도록 설정된다. 또, 유리 기판(24) 사이의 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)은 후술하는 접착 기구(46)에 있어서 감광성 수지층(28)을 상기 유리 기판(24)에 액자형상으로 접착할 때의 마스크로서 기능하는 것이다.The half cut portions 34a and 34b are set so as to be in a position of 10 mm inward from each end of the glass substrate 24 when the photosensitive resin layer 28 is attached to the glass substrate 24, for example. do. Moreover, when the remaining part B of the protective film 30 between the glass substrates 24 adhere | attaches the photosensitive resin layer 28 to the said glass substrate 24 in a frame shape in the bonding mechanism 46 mentioned later. It functions as a mask of.

라벨 접착 기구(40)는 유리 기판(24) 사이에 대응해서 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)을 남기므로, 하프컷 부위(34b)측의 박리 부분(A)과 하프컷 부위(34a)측의 박리 부분(A)을 연결하는 접착 라벨(38)을 공급한다.Since the label adhesion mechanism 40 leaves the remaining part B of the protective film 30 correspondingly between the glass substrates 24, the peeling part A and the half cut part 34a by the half cut part 34b side are left. The adhesive label 38 which connects the peeling part A of the side) is supplied.

도 3에 나타내는 바와 같이, 접착 라벨(38)은 직사각형으로 구성되어 있고, 예를 들면 보호 필름(30)과 동일한 수지재로 형성된다. 접착 라벨(38)은 중앙부에 점착제가 도포되지 않은 비접착부(미세 점착을 포함)(38a)를 가짐과 아울러, 이 비접착부(38a)의 양측, 즉 상기 접착 라벨(38)의 길이 방향 양 단부에 전방의 박리 부분(A)에 접착되는 제 1 접착부(38b)와, 후방의 박리 부분(A)에 접착되는 제 2 접착부(38c)를 갖는다.As shown in FIG. 3, the adhesive label 38 is comprised in the rectangle and is formed with the same resin material as the protective film 30, for example. The adhesive label 38 has a non-adhesive portion (including microadhesion) 38a on which a pressure-sensitive adhesive is not applied, and both sides of the non-adhesive portion 38a, that is, both ends of the adhesive label 38 in the longitudinal direction. 1st adhesion part 38b adhering to the peeling part A of the front, and 2nd adhesion part 38c adhering to the peeling part A of the back.

도 1에 나타내는 바와 같이, 라벨 접착 기구(40)는 최대 7장의 접착 라벨(38)을 소정 간격씩 이간해서 접착할 수 있는 흡착 패드(54a~54g)를 구비함과 아울러, 상기 흡착 패드(54a~54g)에 의한 상기 접착 라벨(38)의 접착 위치에는 긴 형상의 감광성 웹(22)을 하방으로부터 유지하기 위한 받침대(56)가 승강 가능하게 배치된다.As shown in FIG. 1, the label adhesion mechanism 40 is equipped with the adsorption pads 54a-54g which can adhere | attach up to 7 adhesive labels 38 by predetermined space | interval, and the said adsorption pad 54a At a bonding position of the adhesive label 38 by ˜54 g), a pedestal 56 for holding the elongated photosensitive web 22 from below is provided to be liftable.

리저버 기구(42)는 상류측의 긴 형상의 감광성 웹(22)의 택트 반송과, 하류 측의 상기 긴 형상의 감광성 웹(22)의 연속 반송의 속도차를 흡수하기 위해 화살표 방향으로 요동 가능한 댄서 롤러(60)를 구비한다.The reservoir mechanism 42 is a dancer capable of swinging in the direction of the arrow to absorb the speed difference between the tact conveyance of the upstream elongate photosensitive web 22 and the continuous conveyance of the elongate photosensitive web 22 downstream. The roller 60 is provided.

리저버 기구(42)의 하류에 배치되는 박리 기구(44)는 긴 형상의 감광성 웹(22)의 송출측 텐션 변동을 차단하고, 라미네이트시의 텐션을 안정화시키기 위한 석션 드럼(62)을 구비한다. 석션 드럼(62)의 근방에는 박리 롤러(63)가 배치됨과 아울러, 이 박리 롤러(63)를 통해 긴 형상의 감광성 웹(22)으로부터 예각의 박리각으로 박리되는 보호 필름(30)은 잔존 부분(B)을 제외하고 보호 필름 권취부(64)에 감긴다.The peeling mechanism 44 disposed downstream of the reservoir mechanism 42 is provided with a suction drum 62 for blocking the tension-side tension fluctuation of the elongate photosensitive web 22 and stabilizing the tension during lamination. The peeling roller 63 is arrange | positioned in the vicinity of the suction drum 62, and the protective film 30 which peels at an acute peeling angle from the elongate photosensitive web 22 through this peeling roller 63 is a residual part. It winds up on the protective film winding part 64 except (B).

박리 기구(44)의 하류측에는 긴 형상의 감광성 웹(22)에 텐션을 부여할 수 있는 텐션 제어 기구(66)가 배치된다. 텐션 제어 기구(66)는 실린더(68)의 구동 작용하에 텐션 댄서(70)가 요동 변위함으로써 긴 형상의 감광성 웹(22)의 텐션을 조정할 수 있다. 또, 텐션 제어 기구(66)는 필요에 따라 사용하면 되고, 삭제할 수도 있다.On the downstream side of the peeling mechanism 44, a tension control mechanism 66 capable of applying tension to the elongate photosensitive web 22 is disposed. The tension control mechanism 66 can adjust the tension of the elongate photosensitive web 22 by the oscillating displacement of the tension dancer 70 under the driving action of the cylinder 68. In addition, the tension control mechanism 66 may be used as necessary and can be deleted.

기판 공급 기구(45)는 유리 기판(24)을 파지하도록 배치되는 기판 가열부(예를 들면 히터)(74)와, 이 유리 기판(24)을 화살표Y 방향으로 반송하는 반송부(76)를 구비한다. 기판 가열부(74)에서는 유리 기판(24)의 온도를 항상 감시하고, 이상시에는 반송부(76)의 정지나 경보를 발생시킴과 아울러, 이상 정보를 발신해서 이상의 유리 기판(24)을 후공정에서 NG 배출, 품질 관리 또는 생산 관리 등에 활용할 수 있다. 반송부(76)에는 도시 생략된 에어 부상 플레이트가 배치되고, 유리 기판(24)이 부상되어서 화살표Y 방향으로 반송된다. 유리 기판(24)의 반송은 롤러 컨 베이어에서도 행할 수 있다.The board | substrate supply mechanism 45 carries the board | substrate heating part (for example, heater) 74 arrange | positioned so that the glass substrate 24 may be hold | maintained, and the conveyance part 76 which conveys this glass substrate 24 in the arrow Y direction. Equipped. The substrate heating unit 74 constantly monitors the temperature of the glass substrate 24, and in the event of abnormality, stops or alarms the conveying unit 76, and transmits abnormality information to carry out the abnormal glass substrate 24 in a later step. Can be used for NG emissions, quality control or production control. The air floating plate which is not shown in figure is arrange | positioned at the conveyance part 76, and the glass substrate 24 floats and is conveyed in the arrow Y direction. The conveyance of the glass substrate 24 can also be performed by a roller conveyor.

유리 기판(24)의 온도 측정은 기판 가열부(74) 내 또는 접착 위치 바로 앞에서 행하는 것이 바람직하다. 측정 방법으로서는 접촉식(예를 들면 열전대) 외, 비접촉식이여도 된다.It is preferable to perform temperature measurement of the glass substrate 24 in the board | substrate heating part 74 or just before an adhesion position. As a measuring method, a contact type (for example, a thermocouple) and a non-contact type may be sufficient.

접착 기구(46)는 상하에 배치됨과 아울러, 소정 온도로 가열되는 고무 롤러(압착 롤러)(80a, 80b)를 구비한다. 고무 롤러(80a, 80b)에는 백업 롤러(82a, 82b)가 슬라이딩 접촉한다. 한쪽의 백업 롤러(82b)는 롤러 클램프부(83)를 구성하는 가압 실린더(84)에 의해 고무 롤러(80b)측으로 가압된다.The adhesion mechanism 46 is provided with the rubber rollers (compression roller) 80a, 80b arrange | positioned up and down and heated to predetermined temperature. The backup rollers 82a and 82b are in sliding contact with the rubber rollers 80a and 80b. One backup roller 82b is pressed toward the rubber roller 80b by the pressure cylinder 84 which comprises the roller clamp part 83. As shown in FIG.

유리 기판(24)은 접착 기구(46)로부터 화살표Y 방향으로 연장되는 반송로를 구성하는 복수의 기판 반송 롤러(90a~90f)에 의해 반송된다. 기판 반송 롤러(90b, 90c) 사이에는 유리 기판(24) 사이의 긴 형상의 감광성 웹(22)을 절단함으로써 유리 기판(24)에 감광 재료층이 부착된 감광성 적층체(92)를 분리하는 커터 기구(94)가 배치된다. 이 경우, 분리된 감광성 적층체(92)는 도 4에 나타내는 바와 같이 유리 기판(24) 상에 감광성 수지층(28)을 통해 가요성 베이스 필름(26)이 접착되어 있다. 또, 유리 기판(24)의 앞뒤에는 보호 필름(30)의 잔존 부분(B), 감광성 수지층(28) 및 가요성 베이스 필름(26)의 일부가 돌출된다.The glass substrate 24 is conveyed by the some board | substrate conveyance roller 90a-90f which comprises the conveyance path extended from the bonding mechanism 46 in the arrow Y direction. Cutter which separates the photosensitive laminated body 92 with the photosensitive material layer attached to the glass substrate 24 by cutting the elongate photosensitive web 22 between the glass substrates 24 between the board | substrate conveyance rollers 90b and 90c. The instrument 94 is disposed. In this case, in the separated photosensitive laminated body 92, the flexible base film 26 is adhere | attached on the glass substrate 24 through the photosensitive resin layer 28. As shown in FIG. In addition, a part of the remaining portion B of the protective film 30, the photosensitive resin layer 28, and the flexible base film 26 protrude from the front and back of the glass substrate 24.

또한, 기판 반송 롤러(90e, 90f)의 측부에는 감광성 적층체(92)로부터 가요성 베이스 필름(26)을 박리해서 폐각하는 박리 폐각 기구(96)가 배치된다. 도 5 및 도 6은 박리 폐각 기구(96)의 구성도이다.Moreover, the peeling closing mechanism 96 which peels and closes the flexible base film 26 from the photosensitive laminated body 92 is arrange | positioned at the side part of board | substrate conveyance roller 90e, 90f. 5 and 6 are block diagrams of the peeling closure mechanism 96.

박리 폐각 기구(96)는 유리 기판(24)에 감광성 수지층(28)을 남긴 상태에서 가요성 베이스 필름(26)의 일단부를 파지하고, 가요성 베이스 필름(26)을 감광성 적층체(92)로부터 화살표X 방향으로 박리하는 척(98a, 98b)과, 감광성 적층체(92)의 측부에 배치되고, 박리된 가요성 베이스 필름(26)이 적재되는 한쌍의 적재대(100a, 100b)와, 적재대(100a, 100b)의 하부에 배치되고, 박리된 다수의 가요성 베이스 필름(26)을 적층 상태에서 수용하는 베이스 필름 수용부(102)(지지체 수용부)를 구비한다.The peeling closing mechanism 96 grips one end of the flexible base film 26 in a state in which the photosensitive resin layer 28 is left on the glass substrate 24, and the flexible base film 26 is photosensitive laminated body 92. A pair of mounting tables 100a and 100b disposed on the side of the photosensitive laminate 92 and the chucks 98a and 98b to be peeled off in the direction of arrow X, from which the peeled flexible base film 26 is mounted, The base film accommodating part 102 (support body accommodating part) arrange | positioned under the mounting bases 100a and 100b, and accommodates the several peeled flexible base film 26 in a laminated state is provided.

각 적재대(100a, 100b)는 감광성 적층체(92)의 반송 방향인 화살표Y 방향에 대향해서 배치되고, 가요성 베이스 필름(26)의 적재면을 서로 근접하는 화살표Y1, Y2 방향으로 이동시키는 벨트 컨베이어(104a~104d 및 106a~106d)(적재면 이동 수단)를 갖는다. 상기 각 적재면은 벨트 컨베이어(104a~104d 및 106a~106d)의 이간하는 각 일단부에 장착된 모터(108a, 108b)에 의해 이동한다. 이들 벨트 컨베이어(104a~104d 및 106a~106d)는 가이드 레일(110a, 110b 및 110c, 110d)을 따라 화살표Y1, Y2 방향으로 이동 가능한 이동 프레임(112a, 112b)(적재대 이동 수단)에 상기 각 일단부가 축지지된다. 또, 가이드 레일(110a, 110b 및 110c, 110d)은 지지 프레임(114a, 114b)에 고정된다. 지지 프레임(114a, 114b)과, 벨트 컨베이어(104a~104d 및 106a~106d)의 근접하는 각 타단부는 상기 각 타단부측을 수평 상태로부터 화살표θ 방향으로 경사지게 하는 경사 실린더(116a, 116b 및 116c, 116d)(적재대 경사 수단)에 의해 연결된다.Each of the mounting tables 100a and 100b is disposed opposite to the arrow Y direction, which is the conveying direction of the photosensitive laminate 92, and moves the mounting surfaces of the flexible base film 26 in the directions of arrows Y1 and Y2 adjacent to each other. Belt conveyors 104a to 104d and 106a to 106d (loading surface moving means). Each said loading surface is moved by the motors 108a and 108b attached to each end of the belt conveyors 104a-104d and 106a-106d, which are spaced apart. These belt conveyors 104a-104d and 106a-106d are each formed on moving frames 112a and 112b (loading table moving means) which are movable in the directions of arrows Y1 and Y2 along the guide rails 110a, 110b and 110c and 110d. One end is axially supported. In addition, the guide rails 110a, 110b and 110c, 110d are fixed to the support frames 114a and 114b. The inclined cylinders 116a, 116b and 116c which incline each other end of the support frames 114a and 114b and the belt conveyors 104a-104d and 106a-106d to incline said other end side from the horizontal state to the arrow (theta) direction. 116d) (loading stand tilting means).

적재대(100a, 100b)의 하부에 배치되는 베이스 필름 수용부(102)는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 화살표Z 방향으로 승강하는 저면부(118)와, 저면부(118)를 승 강시키는 승강 실린더(120)(저면 하강 수단)와, 베이스 필름 수용부(102)의 개구부에 대향해서 배치되고, 수용된 가요성 베이스 필름(26)의 수용 상태를 검지하는 수용 상태 검지 수단을 구성하는 발광 소자(122) 및 수광 소자(124)를 구비한다. 이 경우, 저면부(118)는, 도 7에 나타내는 바와 같이, 가요성 베이스 필름(26)의 박리 방향인 화살표X 방향에 대하여 경사진 상태로 설정되어 있다.The base film accommodating part 102 arrange | positioned under the mounting stand 100a, 100b raises and lowers the bottom part 118 and the bottom part 118 which raise and lower in the arrow Z direction, as shown in FIG. The light emitting element which is arrange | positioned facing the lifting cylinder 120 (bottom lowering means) and the opening part of the base film accommodating part 102, and comprises the accommodating state detection means which detects the accommodating state of the accommodated flexible base film 26. 122 and the light receiving element 124 are provided. In this case, the bottom part 118 is set to the state which inclined with respect to the arrow X direction which is the peeling direction of the flexible base film 26, as shown in FIG.

또한, 이상과 같이 구성되는 라미네이트 장치(20)에서는 웹 송출 기구(32), 가공 기구(36), 라벨 접착 기구(40), 리저버 기구(42), 박리 기구(44), 텐션 제어 기구(66) 및 촬영부(47)가 접착 기구(46)의 상방에 배치되어 있지만, 이와는 반대로 상기 웹 송출 기구(32)로부터 상기 촬영부(47)까지를 상기 접착 기구(46)의 하방에 배치하며, 긴 형상의 감광성 웹(22)의 상하가 반대로 되어서 감광성 수지층(28)을 유리 기판(24)의 하측에 접착하는 구성이여도 되고, 또한 긴 형상의 감광성 웹(22)의 반송로를 직선형상으로 구성해도 된다.Moreover, in the lamination apparatus 20 comprised as mentioned above, the web delivery mechanism 32, the processing mechanism 36, the label adhesion mechanism 40, the reservoir mechanism 42, the peeling mechanism 44, and the tension control mechanism 66 ) And the photographing section 47 are arranged above the bonding mechanism 46, but on the contrary, are arranged from the web sending mechanism 32 to the photographing section 47 below the bonding mechanism 46, The upper and lower sides of the elongate photosensitive web 22 may be reversed to attach the photosensitive resin layer 28 to the lower side of the glass substrate 24, and the conveyance path of the elongate photosensitive web 22 may be straight. You may comprise with.

라미네이트 장치(20) 내는 칸막이벽(126)을 통해 제 1 클린룸(128a)과 제 2 클린룸(128b)으로 칸막이된다. 제 1 클린룸(128a)에는 웹 송출 기구(32)로부터 텐션 제어 기구(66)까지가 수용되고, 제 2 클린룸(128b)에는 촬영부(47) 이후의 기구가 수용된다. 제 1 클린룸(128a)과 제 2 클린룸(128b)은 관통부(130)를 통해 연통된다.The inside of the lamination apparatus 20 is partitioned into the first clean room 128a and the second clean room 128b through the partition wall 126. From the web delivery mechanism 32 to the tension control mechanism 66 is accommodated in the 1st clean room 128a, and the mechanism after the imaging | photography part 47 is accommodated in the 2nd clean room 128b. The first clean room 128a and the second clean room 128b communicate with each other through the through part 130.

다음에, 이상과 같이 구성되는 라미네이트 장치(20)의 동작에 대해서 본 발명에 따른 제조 방법과의 관련에서 설명한다.Next, operation | movement of the lamination apparatus 20 comprised as mentioned above is demonstrated in connection with the manufacturing method which concerns on this invention.

우선, 웹 송출 기구(32)에 부착되어 있는 감광성 웹 롤(23)로부터 긴 형상의 감광성 웹(22)이 송출된다. 긴 형상의 감광성 웹(22)은 가공 기구(36)에 반송된다.First, the elongate photosensitive web 22 is sent out from the photosensitive web roll 23 attached to the web delivery mechanism 32. The elongate photosensitive web 22 is conveyed to the processing mechanism 36.

가공 기구(36)에서는 둥근 날(52a, 52b)이 긴 형상의 감광성 웹(22)의 폭 방향으로 이동해서 상기 긴 형상의 감광성 웹(22)을 보호 필름(30)으로부터 감광성 수지층(28) 내지 가요성 베이스 필름(26)까지 커팅하고, 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)의 폭(M)만큼 이간되는 하프컷 부위(34a, 34b)를 형성한다(도 2 참조). 이것에 의해, 긴 형상의 감광성 웹(22)에는 잔존 부분(B)을 사이에 두고 전방의 박리 부분(A)과 후방의 박리 부분(A)이 형성된다(도 2 참조).In the processing mechanism 36, the round blades 52a and 52b move in the width direction of the elongate photosensitive web 22 to move the elongate photosensitive web 22 from the protective film 30 to the photosensitive resin layer 28. To cut to the flexible base film 26, and form half cut portions 34a and 34b spaced apart by the width M of the remaining portion B of the protective film 30 (see FIG. 2). Thereby, the peeling part A of the front and the peeling part A of the back are formed in the elongate photosensitive web 22 with the remaining part B interposed (refer FIG. 2).

또한, 잔존 부분(B)의 폭(M)은 긴 형상의 감광성 웹(22)이 연장되지 않는 것을 전제로 해서 접착 기구(46)의 고무 롤러(80a, 80b) 사이에 공급되는 유리 기판(24) 사이의 거리를 기준으로 해서 설정된다. 또, 폭(M)으로 형성되는 1세트의 하프컷 부위(34a, 34b)는 유리 기판(24)에 접착되는 감광성 수지층(28)의 기준 길이의 간격으로 긴 형상의 감광성 웹(22)에 형성된다.In addition, the width M of the remaining portion B is a glass substrate 24 supplied between the rubber rollers 80a and 80b of the bonding mechanism 46 on the premise that the elongated photosensitive web 22 does not extend. It is set based on the distance between them. Moreover, the one set of half cut parts 34a and 34b formed in the width | variety M is formed in the elongate photosensitive web 22 by the space | interval of the reference length of the photosensitive resin layer 28 adhere | attached to the glass substrate 24. Moreover, as shown in FIG. Is formed.

이어서, 긴 형상의 감광성 웹(22)은 라벨 접착 기구(40)에 반송되어서 보호 필름(30)의 소정의 접착 부위가 받침대(56) 상에 배치된다. 라벨 접착 기구(40)에서는 소정 매수의 접착 라벨(38)이 흡착 패드(54b~54g)에 의해 흡착 유지되고, 각 접착 라벨(38)이 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)을 걸쳐서 전방의 박리 부분(A)과 후방의 박리 부분(A)에 일체적으로 접착된다(도 3 참조).Subsequently, the elongate photosensitive web 22 is conveyed to the label bonding mechanism 40 so that a predetermined bonding portion of the protective film 30 is disposed on the pedestal 56. In the label adhesive mechanism 40, a predetermined number of adhesive labels 38 are adsorbed and held by the adsorption pads 54b to 54g, and each adhesive label 38 extends forward over the remaining portion B of the protective film 30. It adhere | attaches integrally to the peeling part A and back peeling part A of (refer FIG. 3).

예를 들면, 7장의 접착 라벨(38)이 접착된 긴 형상의 감광성 웹(22)은, 도 1에 나타내는 바와 같이, 리저버 기구(42)를 통해 송출측의 텐션 변동을 방지한 후, 박리 기구(44)에 연속적으로 반송된다. 박리 기구(44)에서는 긴 형상의 감광성 웹(22)의 가요성 베이스 필름(26)이 석션 드럼(62)에 흡착 유지됨과 아울러, 보호 필름(30)이 잔존 부분(B)을 남기고 상기 긴 형상의 감광성 웹(22)으로부터 박리된다. 이 보호 필름(30)은 박리 롤러(63)를 통해 박리되어서 보호 필름 권취부(64)에 감긴다(도 1 참조).For example, the elongate photosensitive web 22 to which the seven adhesive labels 38 are adhered is peeled off after preventing the tension fluctuation on the sending side through the reservoir mechanism 42, as shown in FIG. It is conveyed to 44 continuously. In the peeling mechanism 44, the flexible base film 26 of the elongate photosensitive web 22 is adsorbed and held on the suction drum 62, and the protective film 30 leaves the remaining portion B. Is peeled off from the photosensitive web 22. This protective film 30 is peeled off through the peeling roller 63 and wound around the protective film winding part 64 (refer FIG. 1).

박리 기구(44)의 작용하에 보호 필름(30)이 잔존 부분(B)을 남기고 가요성 베이스 필름(26)으로부터 박리된 후, 긴 형상의 감광성 웹(22)은 텐션 제어 기구(66)에 의해 텐션 조정이 행해지고, 이어서 촬영부(47)에 있어서 소정의 촬영 타이밍에서 하프컷 부위(34a, 34b)를 포함하는 긴 형상의 감광성 웹(22)의 화상이 촬영된다.Under the action of the peeling mechanism 44, after the protective film 30 is peeled off from the flexible base film 26 leaving the remaining portion B, the elongated photosensitive web 22 is removed by the tension control mechanism 66. Tension adjustment is performed, and then the imaging part 47 image | photographs the image of the elongate photosensitive web 22 containing the half cut parts 34a and 34b at a predetermined | prescribed imaging timing.

촬영부(47)를 통과한 긴 형상의 감광성 웹(22)은 접착 기구(46)에 반송됨으로써 유리 기판(24)에 대한 감광성 수지층(28)의 전사 처리(라미네이트)가 행해진다. 이 경우, 촬영부(47)에 의해 촬영된 하프컷 부위(34a, 34b)의 화상에 기초하여 접착 기구(46)에 있어서의 하프컷 부위(34a, 34b)의 위치가 조정된다.The elongate photosensitive web 22 which passed the imaging part 47 is conveyed to the bonding mechanism 46, and the transfer process (lamination) of the photosensitive resin layer 28 with respect to the glass substrate 24 is performed. In this case, the positions of the half cut portions 34a and 34b in the bonding mechanism 46 are adjusted based on the images of the half cut portions 34a and 34b picked up by the imaging unit 47.

접착 기구(46)에서는 당초 고무 롤러(80a, 80b)가 이간된 상태로 설정되어 있고, 고무 롤러(80a, 80b) 사이의 소정 위치에 긴 형상의 감광성 웹(22)의 하프컷 부위(34a)가 위치 결정된 상태에 있어서 긴 형상의 감광성 웹(22)의 반송이 일단 정지된다. 이 상태에 있어서, 기판 공급 기구(45)를 구성하는 기판 가열부(74)에 의해 소정 온도로 가열된 유리 기판(24)의 선단부가 반송부(76)에 의해 고무 롤러(80a, 80b) 사이에 반입되면 가압 실린더(84)의 작용하에 백업 롤러(82b) 및 고무 롤러(80b)가 상승하고, 고무 롤러(80a, 80b) 사이에 유리 기판(24) 및 긴 형상 의 감광성 웹(22)이 소정의 프레스 압력으로 끼워넣어진다. 또, 고무 롤러(80a, 80b)는 소정의 라미네이트 온도로 가열되어 있다.In the bonding mechanism 46, initially the rubber rollers 80a and 80b are set to the spaced apart state, and the half cut part 34a of the elongate photosensitive web 22 in the predetermined position between the rubber rollers 80a and 80b. The conveyance of the elongate photosensitive web 22 is stopped once in the state where is located. In this state, the distal end portion of the glass substrate 24 heated to the predetermined temperature by the substrate heating unit 74 constituting the substrate supply mechanism 45 is provided between the rubber rollers 80a and 80b by the transfer unit 76. The back-up roller 82b and the rubber roller 80b are raised under the action of the pressurizing cylinder 84, and the glass substrate 24 and the elongate photosensitive web 22 are interposed between the rubber rollers 80a and 80b. It is embedded at a predetermined press pressure. Moreover, the rubber rollers 80a and 80b are heated by predetermined | prescribed lamination temperature.

이어서, 고무 롤러(80a, 80b)가 회전하고, 유리 기판(24) 및 긴 형상의 감광성 웹(22)이 화살표Y 방향으로 반송된다. 이 결과, 감광성 수지층(28)이 가열 용융되어서 유리 기판(24)에 전사(라미네이트)된다.Next, the rubber rollers 80a and 80b rotate, and the glass substrate 24 and the elongate photosensitive web 22 are conveyed in the arrow Y direction. As a result, the photosensitive resin layer 28 is melted by heating and transferred (laminated) to the glass substrate 24.

또한, 라미네이트 조건으로서는 속도가 1.0m/min~10.0m/min, 고무 롤러(80a, 80b)의 온도가 80℃~140℃, 상기 고무 롤러(80a, 80b)의 고무 경도가 40도~90도, 상기 고무 롤러(80a, 80b)의 프레스압(선압)이 50N/㎝~400N/㎝이다.Moreover, as lamination conditions, the speed is 1.0 m / min-10.0 m / min, the temperature of the rubber rollers 80a, 80b is 80 degreeC-140 degreeC, and the rubber hardness of the said rubber rollers 80a, 80b is 40 degree-90 degree The press pressures (linear pressure) of the rubber rollers 80a and 80b are 50 N / cm to 400 N / cm.

유리 기판(24)에 대하여 긴 형상의 감광성 웹(22)의 1장분의 라미네이트가 종료되면 고무 롤러(80a, 80b)의 회전이 정지되는 한편, 긴 형상의 감광성 웹(22)이 라미네이트된 유리 기판(24)의 선단부가 기판 반송 롤러(90a)에 의해 클램핑된다. 이 때, 고무 롤러(80a, 80b) 사이의 소정 위치에는 하프컷 부위(34b)가 배치된다.When the lamination of one sheet of the elongate photosensitive web 22 with respect to the glass substrate 24 is completed, the rotation of the rubber rollers 80a and 80b is stopped, while the elongated photosensitive web 22 is laminated to the glass substrate. The tip end portion 24 is clamped by the substrate transfer roller 90a. At this time, the half cut part 34b is arrange | positioned in the predetermined position between the rubber rollers 80a and 80b.

그리고, 고무 롤러(80b)가 고무 롤러(80a)로부터 이간되는 방향으로 퇴피해서 클램프가 해제됨과 아울러, 기판 반송 롤러(90a)의 회전이 저속으로 다시 개시되어 긴 형상의 감광성 웹(22)이 유리 기판(24)에 라미네이트된 감광성 적층체가 화살표Y 방향으로 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)의 폭(M)에 대응하는 거리만큼 반송되고, 다음의 하프컷 부위(34a)가 고무 롤러(80a)의 하방 부근의 소정 위치에 반송된 후 고무 롤러(80a, 80b)의 회전이 정지된다. 또, 긴 형상의 감광성 웹(22)을 하프컷 부위(34a, 34b) 사이만큼 반송하는 처리를 이하에 있어서 「기판간 이송」 이라고 한다.Then, the rubber roller 80b is evacuated in the direction away from the rubber roller 80a, the clamp is released, and the rotation of the substrate transfer roller 90a is started again at a low speed so that the elongated photosensitive web 22 is glass. The photosensitive laminated body laminated to the board | substrate 24 is conveyed by the distance corresponding to the width | variety M of the remaining part B of the protective film 30 in the arrow Y direction, and the next half cut part 34a is a rubber roller ( The rotation of the rubber rollers 80a and 80b is stopped after being conveyed to the predetermined position near 80a). In addition, the process which conveys the elongate photosensitive web 22 only between half cut parts 34a and 34b is called "inter-board feed" below.

한편, 상기의 상태에 있어서 기판 공급 기구(45)를 통해 다음 유리 기판(24)이 접착 위치를 향해서 반송된다. 이상의 동작이 반복됨으로써, 유리 기판(24)에 감광성 수지층(28)이 접착된 감광성 적층체(92)가 연속적으로 제조된다.On the other hand, the next glass substrate 24 is conveyed toward the bonding position through the board | substrate supply mechanism 45 in said state. By repeating the above operation, the photosensitive laminated body 92 with the photosensitive resin layer 28 adhere | attached on the glass substrate 24 is manufactured continuously.

그 때, 감광성 적층체는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 각각의 단부끼리가 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)에 의해 덮어져 있다. 따라서, 감광성 수지층(28)이 유리 기판(24)에 전사될 때, 고무 롤러(80a, 80b)가 상기 감광성 수지층(28)에 의해 더러워지는 일이 없다.In that case, as shown in FIG. 4, each edge part is covered by the remaining part B of the protective film 30 as shown in FIG. Therefore, when the photosensitive resin layer 28 is transferred to the glass substrate 24, the rubber rollers 80a and 80b do not become polluted by the said photosensitive resin layer 28. FIG.

접착 기구(46)에 의해 제조된 감광성 적층체(92)는 접착 기구(46)에서 긴 형상의 감광성 웹(22)이 기판간 이송된 후, 일단 정지 상태에 있을 때 기판 반송 롤러(90b, 90c) 사이에 배치되어 있는 커터 기구(94)에 의해 유리 기판(24) 사이의 긴 형상의 감광성 웹(22)이 절단됨으로써 분리된다.The photosensitive laminate 92 produced by the bonding mechanism 46 is a substrate conveying roller 90b, 90c when the elongated photosensitive web 22 is transferred between the substrates in the bonding mechanism 46 and then once in a stationary state. The elongated photosensitive web 22 between the glass substrates 24 is cut | disconnected by the cutter mechanism 94 arrange | positioned between), and is isolate | separated.

이어서, 분리된 감광성 적층체(92)는 박리 폐각 기구(96)에 반송되어 가요성 베이스 필름(26)의 박리 폐각 처리가 행해진다. Subsequently, the separated photosensitive laminated body 92 is conveyed to the peeling closure mechanism 96, and the peeling closure process of the flexible base film 26 is performed.

박리 폐각 기구(96)에서는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 감광성 적층체(92)의 반송 방향(화살표Y 방향)의 양 단부에서 돌출되는 가요성 베이스 필름(26)의 단부가 척(98a, 98b)에 의해 파지된 후, 척(98a, 98b)이 화살표X 방향으로 이동함으로써 감광성 수지층(28)을 유리 기판(24)에 남긴 상태에서 가요성 베이스 필름(26)이 유리 기판(24)측으로부터 박리된다. 또, 가요성 베이스 필름(26)이 박리된 감광성 적층체(92)는 다음 처리 공정에 공급된다.In the peeling closure mechanism 96, as shown in FIG. 5, the edge part of the flexible base film 26 which protrudes from the both ends of the conveyance direction (arrow Y direction) of the photosensitive laminated body 92 is chuck 98a, 98b. ), The flexible base film 26 is on the glass substrate 24 side with the chucks 98a and 98b moving in the direction of the arrow X, leaving the photosensitive resin layer 28 on the glass substrate 24. Peeling off. Moreover, the photosensitive laminated body 92 from which the flexible base film 26 was peeled off is supplied to the next process.

유리 기판(24)으로부터 박리된 가요성 베이스 필름(26)은 측부에 대기하는 적재대(100a, 100b)를 구성하는 벨트 컨베이어(104a~104d 및 106a~100b) 상에 적재된다. 또한, 가요성 베이스 필름(26)이 적재될 때 벨트 컨베이어(104a~104d 및 106a~106d)는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 적재면이 수평 상태로 설정되고, 또한 서로 근접한 상태로 설정되어 있다. 따라서, 가요성 베이스 필름(26)은 절곡되는 일이 없는 평면의 상태로 적재면에 적재된다.The flexible base film 26 peeled from the glass substrate 24 is mounted on the belt conveyors 104a-104d and 106a-100b which comprise the mounting tables 100a, 100b waiting to the side part. In addition, when the flexible base film 26 is loaded, as shown in FIG. 6, as for the belt conveyor 104a-104d and 106a-106d, the loading surface is set to the horizontal state, and is set to the state adjacent to each other. . Therefore, the flexible base film 26 is mounted on the mounting surface in a flat state without bending.

이어서, 모터(108a, 108b)가 구동됨으로써 한쪽의 벨트 컨베이어(104a~104d)의 적재면이 화살표Y1로 이동함과 아울러, 다른 쪽의 벨트 컨베이어(106a~106d)의 적재면이 화살표Y2 방향으로 이동한다. 또, 한쪽의 이동 프레임(112a)이 가이드 레일(110a, 110b)을 따라 화살표Y2 방향으로 이동함과 아울러, 다른 쪽의 이동 프레임(112b)이 가이드 레일(110c, 110d)을 따라 화살표Y1 방향으로 이동한다. 또한, 경사 실린더(116a, 116b 및 116c, 116d)가 구동되어 벨트 컨베이어(104a~104d 및 106a~106d)의 근접하는 단부측이 화살표θ 방향으로 경사진다.Subsequently, the motors 108a and 108b are driven to move the stacking surfaces of one belt conveyor 104a to 104d to arrow Y1, and the stacking surfaces of the other belt conveyors 106a to 106d in the direction of arrow Y2. Move. In addition, one movement frame 112a moves along the guide rails 110a and 110b in the direction of arrow Y2, while the other movement frame 112b moves along the guide rails 110c and 110d in the direction of arrow Y1. Move. Incidentally, the inclined cylinders 116a, 116b and 116c, 116d are driven to incline end sides of the belt conveyors 104a to 104d and 106a to 106d in the direction of the arrow θ.

이 경우, 가요성 베이스 필름(26)의 적재면이 대칭적인 화살표Y1, Y2 방향으로 이동함과 아울러, 벨트 컨베이어(104a~104d 및 106a~106d)가 화살표Y1, Y2 방향으로 이간됨으로써, 적재된 가요성 베이스 필름(26)이 박리 폐각 기구(96)의 중앙 부분에 유지된 상태에서, 이간된 벨트 컨베이어(104a~104d 및 106a~106d) 사이로부터 하측 방향으로 만곡한 상태로 된다. 또, 벨트 컨베이어(104a~104d 및 106a~106d)의 근접하는 단부측이 화살표θ 방향으로 경사지므로, 가요성 베이스 필름(26)은 벨트 컨베이어(104a~104d 및 106a~106d) 사이로부터 하측 방향으로 낙하 를 개시한다. 이 때의 상태를 도 8에 나타낸다.In this case, the stacking surface of the flexible base film 26 moves in the symmetrical arrows Y1 and Y2 directions, and the belt conveyors 104a to 104d and 106a to 106d are spaced apart in the arrows Y1 and Y2 directions, thereby loading the surface. In the state where the flexible base film 26 is hold | maintained at the center part of the peeling closing mechanism 96, it will be in the state curved downward from between the separated belt conveyors 104a-104d and 106a-106d. In addition, since the adjacent end sides of the belt conveyors 104a to 104d and 106a to 106d are inclined in the direction of the arrow θ, the flexible base film 26 is downward from the belt conveyors 104a to 104d and 106a to 106d. Start falling. The state at this time is shown in FIG.

벨트 컨베이어(104a~104d 및 106a~106d) 사이가 소정 거리 이간됨과 아울러 소정의 경사 각도로 되면, 가요성 베이스 필름(26)이 낙하해서 하부에 대기하는 베이스 필름 수용부(102)에 수용된다. 이 경우, 가요성 베이스 필름(26)은 박리되는 방향인 화살표X 방향과 직교하는 방향으로 만곡한 상태에서 베이스 필름 수용부(102)측으로 하강한다. 따라서, 가요성 베이스 필름(26)은 박리 방향(화살표X 방향)에 대하여 만곡되기 어려운 강도가 부여되고, 그 상태에서 베이스 필름 수용부(102)의 저면부(118) 상에 적재된다. 또, 가요성 베이스 필름(26)은 베이스 필름 수용부(102)측으로 하강하는 동안 벨트 컨베이어(104a~104d 및 106a~106d)에 의해 지지된 상태에서 가요성 베이스 필름(26)의 적재면과 베이스 필름 수용부(102)의 거리가 단축되므로 안정적인 자세로 저면부(118) 상에 적재된다.When the belt conveyors 104a to 104d and 106a to 106d are separated from each other by a predetermined distance and have a predetermined inclination angle, the flexible base film 26 falls and is accommodated in the base film accommodating portion 102 waiting at the bottom. In this case, the flexible base film 26 is lowered to the base film accommodating part 102 side in the state curved in the direction orthogonal to the arrow X direction which is the peeling direction. Therefore, the flexible base film 26 is provided with the strength which is hard to be bent with respect to the peeling direction (arrow X direction), and is mounted on the bottom part 118 of the base film accommodating part 102 in that state. Moreover, the loading surface and base of the flexible base film 26 are supported by the belt conveyors 104a-104d and 106a-106d while the flexible base film 26 descends to the base film receiving portion 102 side. Since the distance of the film accommodating part 102 is shortened, it is loaded on the bottom part 118 in a stable posture.

이상과 같이 해서, 베이스 필름 수용부(102) 내에 복수의 감광성 수지층(28)을 적층 수용한 경우, 최상부에 적층되어 있는 감광성 수지층(28)과 벨트 컨베이어(104a~104d 및 106a~106d)의 적재면의 거리가 작아진다. 그래서, 베이스 필름 수용부(102)에 배치된 발광 소자(122) 및 수광 소자(124)에 의해 최상부의 감광성 수지층(28)을 검지했을 때, 승강 실린더(120)를 구동해서 저면부(118)를 화살표Z 방향으로 소정 거리 하강시킴으로써 최상부의 감광성 수지층(28)과 적재면의 거리를 일정하게 유지하여 항상 안정적인 상태에서 가요성 베이스 필름(26)을 베이스 필름 수용부(102)에 수용할 수 있다.As described above, when the plurality of photosensitive resin layers 28 are laminated and accommodated in the base film accommodating portion 102, the photosensitive resin layers 28 and the belt conveyors 104a to 104d and 106a to 106d stacked on the uppermost portion. The distance of the loading surface becomes small. Therefore, when the uppermost photosensitive resin layer 28 is detected by the light emitting element 122 and the light receiving element 124 disposed in the base film accommodating portion 102, the lifting cylinder 120 is driven to form the bottom portion 118. By lowering a predetermined distance in the direction of arrow Z, the distance between the uppermost photosensitive resin layer 28 and the loading surface is kept constant so that the flexible base film 26 can be accommodated in the base film accommodating portion 102 in a stable state at all times. Can be.

또한, 상술한 실시형태에서는 1개의 감광성 웹 롤(23)로부터 공급되는 긴 형 상의 감광성 웹(22)을 유리 기판(24)에 접착함으로써 소위 1장이 부착된 감광성 적층체를 제조하도록 구성하고 있지만, 예를 들면 2개의 감광성 웹 롤이나, 3개 이상의 감광성 웹 롤로부터 긴 형상의 감광성 웹(22)을 공급해서 유리 기판(24)에 접착하여, 소위 2장, 3장 등이 부착된 감광성 적층체를 제조하도록 구성해도 된다.Moreover, in the above-mentioned embodiment, although the long photosensitive web 22 supplied from one photosensitive web roll 23 is adhere | attached on the glass substrate 24, it is comprised so that a so-called 1 photosensitive laminated body may be manufactured. For example, an elongate photosensitive web 22 is supplied from two photosensitive web rolls or three or more photosensitive web rolls and adhered to the glass substrate 24, so that two, three, or the like photosensitive laminates are attached. It may be configured to produce.

도 1은 본 실시형태에 따른 라미네이트 장치의 개략 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram of a lamination apparatus according to the present embodiment.

도 2는 라미네이트 장치에 사용되는 긴 형상의 감광성 웹의 단면도이다.2 is a cross-sectional view of an elongate photosensitive web for use in a laminate apparatus.

도 3은 긴 형상의 감광성 웹에 접착 라벨이 접착된 상태의 설명도이다.3 is an explanatory view of a state in which an adhesive label is adhered to an elongated photosensitive web.

도 4는 분리된 감광성 적층체의 단면도이다.4 is a cross-sectional view of the separated photosensitive laminate.

도 5는 가요성 베이스 필름의 박리 폐각 기구의 구성 사시도이다.It is a perspective view of the structure of the peeling closing mechanism of a flexible base film.

도 6은 가요성 베이스 필름의 박리 폐각 기구의 측면 일부 단면도이다.6 is a partial cross-sectional side view of the peeling closure mechanism of the flexible base film.

도 7은 베이스 필름 수용부의 단면도이다.7 is a cross-sectional view of the base film container.

도 8은 가요성 베이스 필름의 박리 폐각 기구의 동작 설명도이다.8 is an explanatory view of the operation of the peeling closing mechanism of the flexible base film.

도 9는 종래 기술에 따른 제조 장치의 개략 구성도이다.9 is a schematic configuration diagram of a manufacturing apparatus according to the prior art.

도 10은 종래 기술에 따른 지지체의 박리 수용 기구의 사시 설명도이다.10 is a perspective explanatory view of a peeling receiving mechanism of a support according to the prior art.

도 11은 종래 기술에 따른 지지체의 박리 수용 기구의 단면 설명도이다.It is sectional explanatory drawing of the peeling accommodation mechanism of a support body which concerns on a prior art.

Claims (10)

지지체(26) 상에 형성된 감광 재료층(28)을 기판(24)에 접착한 후, 상기 지지체(26)를 박리해서 감광성 적층체(92)를 제조하는 감광성 적층체 제조 장치에 있어서: In the photosensitive laminated body manufacturing apparatus which adheres the photosensitive material layer 28 formed on the support body 26 to the board | substrate 24, and peels the said support body 26 and manufactures the photosensitive laminated body 92: 대향해서 배치되고, 적재면에 박리된 상기 지지체(26)가 적재되는 한쌍의 적재대(100a, l00b); A pair of mounting tables (100a, l00b) which are disposed to face each other and on which the support body (26) separated on the mounting surface is mounted; 상기 한쌍의 적재대(100a, 100b)를 이간하도록 이동시키는 적재대 이동 수단(112a, 112b); Loading table moving means (112a, 112b) for moving the pair of mounting tables (100a, 100b) apart; 상기 한쌍의 적재대(100a, 100b)의 근접하는 각 단부측을 하측 방향으로 경사지게 하는 적재대 경사 수단(116a~116d); 및 Loading table inclination means (116a to 116d) for inclining each end side of the pair of mounting tables (100a, 100b) in a downward direction; And 상기 한쌍의 적재대(100a, 100b)의 하부에 배치되고, 상기 적재대 이동 수단(112a, 112b)에 의해 이간된 상기 한쌍의 적재대(100a, 100b) 사이로부터 낙하된 상기 지지체(26)를 수용하는 지지체 수용부(102)를 구비하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체 제조 장치.The support 26 disposed below the pair of mounting tables 100a and 100b and dropped from between the pair of mounting tables 100a and 100b separated by the mounting table moving means 112a and 112b. The support body accommodating part 102 which accommodates is provided, The photosensitive laminated body manufacturing apparatus characterized by the above-mentioned. 제 1 항에 있어서, 상기 지지체(26)의 단부를 파지하고, 상기 한쌍의 적재대(100a, 100b)의 적재면을 따라서 상기 지지체(26)를 박리하는 지지체 박리 수단(98a, 98b)을 갖는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체 제조 장치.2. The support of claim 1, further comprising: support stripping means (98a, 98b) for gripping an end of the support (26), and for peeling the support (26) along the mounting surfaces of the pair of mounting tables (100a, 100b). The photosensitive laminated body manufacturing apparatus characterized by the above-mentioned. 제 1 항에 있어서, 상기 한쌍의 적재대(100a, 100b)는 상기 적재면을 근접하는 방향으로 이동시키는 적재면 이동 수단(104a~104d, 106a~106d)을 갖는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체 제조 장치.The photosensitive laminate according to claim 1, wherein the pair of mounting tables (100a, 100b) have mounting surface moving means (104a to 104d, 106a to 106d) for moving the mounting surface in a direction approaching the loading surface. Device. 제 1 항에 있어서, 상기 지지체 수용부(102)는 상기 지지체(26)가 적층되는 저면이 상기 한쌍의 적재대(100a, 100b)가 이간하는 방향과 직교하는 방향에 대하여 경사져서 구성되는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체 제조 장치.According to claim 1, wherein the support receiving portion 102 is characterized in that the bottom surface on which the support 26 is stacked is inclined with respect to the direction orthogonal to the direction in which the pair of mounting table (100a, 100b) is separated. The photosensitive laminated body manufacturing apparatus made into. 제 1 항에 있어서, 상기 지지체 수용부(102)는 수용된 상기 지지체(26)의 수용 상태를 검지하는 수용 상태 검지 수단(122, 124); 및The apparatus of claim 1, wherein the support accommodating part (102) comprises: accommodating state detecting means (122, 124) for detecting an accommodating state of the supported support (26); And 상기 수용 상태 검지 수단(122, 124)에 의해 검지된 상기 수용 상태에 따라 상기 지지체(26)가 적층되는 저면을 하강시키는 저면 하강 수단(120)을 구비하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체 제조 장치.And a bottom lowering means (120) for lowering a bottom on which the support (26) is stacked in accordance with the accommodation state detected by the reception state detection means (122, 124). 제 5 항에 있어서, 상기 수용 상태 검지 수단(122, 124)은 상기 지지체 수용부(102)의 개구부에 배치되는 발광 소자(122) 및 수광 소자(124)로 구성되고, 상기 발광 소자(122) 및 상기 수광 소자(124) 사이의 상기 지지체(26)의 유무에 따라 상기 지지체(26)의 수용 상태를 검지하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체 제조 장치.6. The light emitting element 122 according to claim 5, wherein the accommodating state detecting means (122, 124) comprises a light emitting element (122) and a light receiving element (124) disposed in an opening of the support accommodating portion (102). And a state of receiving the support (26) according to the presence or absence of the support (26) between the light receiving elements (124). 지지체(26) 상에 형성된 감광 재료층(28)을 기판(24)에 접착한 후, 상기 지지체(26)를 박리해서 감광성 적층체(92)를 제조하는 감광성 적층체 제조 방법에 있어서: In the photosensitive laminated body manufacturing method which adheres the photosensitive material layer 28 formed on the support body 26 to the board | substrate 24, and peels the said support body 26 and manufactures the photosensitive laminated body 92: 대향해서 배치된 한쌍의 적재대(100a, 100b)의 적재면에 박리된 상기 지지체(26)를 적재하는 스텝;Stacking said support body (26) peeled on a mounting surface of a pair of mounting tables (100a, 100b) disposed to face each other; 상기 지지체(26)가 적재된 상기 한쌍의 적재대(100a, 100b)를 이간시킴과 아울러, 상기 한쌍의 적재대(100a, 100b)의 근접하는 각 단부측을 하측 방향으로 경사지게 하는 스텝; 및Separating the pair of mounting tables (100a, 100b) on which the support (26) is mounted, and inclining each end side adjacent to the pair of mounting tables (100a, 100b) in a downward direction; And 상기 한쌍의 적재대(100a, 100b)의 하부에 배치된 지지체 수용부(102)에 이간된 상기 한쌍의 적재대(100a, 100b) 사이로부터 상기 지지체(26)를 낙하시켜서 수용하는 스텝으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체 제조 방법.And a step of dropping and holding the support body 26 from between the pair of mounting pedestals 100a and 100b spaced apart from the support receiving portion 102 disposed below the pair of mounting pedestals 100a and 100b. The photosensitive laminated body manufacturing method characterized by the above-mentioned. 제 7 항에 있어서, 상기 지지체(26)는 상기 한쌍의 적재대(100a, 100b)의 적재면을 따라 박리되어서 적재되는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체 제조 방법.8. The method of manufacturing a photosensitive laminate according to claim 7, wherein the support (26) is peeled off and loaded along the mounting surfaces of the pair of mounting tables (100a, 100b). 제 7 항에 있어서, 상기 지지체(26)가 적재된 상기 한쌍의 적재대(100a, 100b)를 이간시킴과 아울러, 상기 한쌍의 적재대(100a, 100b)의 상기 적재면을 근접하는 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체 제조 방법.The method according to claim 7, wherein the pair of mounting tables (100a, 100b) on which the support (26) is mounted is separated, and the mounting surfaces of the pair of mounting tables (100a, 100b) are moved in a direction of approaching each other. The photosensitive laminated body manufacturing method characterized by the above-mentioned. 제 7 항에 있어서, 상기 지지체 수용부(102)에 수용된 상기 지지체(26)의 수 용 상태를 검지하는 스텝; 및8. The method of claim 7, further comprising the steps of: detecting a receiving state of the support (26) accommodated in the support receiving portion (102); And 상기 수용 상태에 따라 상기 지지체(26)가 적층되는 상기 지지체 수용부(102)의 저면을 하강시키는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체 제조 방법.And a step of lowering the bottom of the support accommodating portion (102) on which the support (26) is stacked according to the accommodating state.
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