KR20080088374A - Apparatus for and method manufacturing photosensitive laminated body - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 지지체 상에 형성된 감광 재료층을 기판에 접착한 후, 상기 지지체를 박리해서 감광성 적층체를 제조하는 감광성 적층체 제조 장치 및 제조 방법에 관한 것이다.This invention relates to the photosensitive laminated body manufacturing apparatus and manufacturing method which adhere | attach the photosensitive material layer formed on the support body to a board | substrate, and then peel off the said support body and manufacture a photosensitive laminated body.
예를 들면, 액정 패널용 기판, 프린트 배선용 기판, PDP용 기판은 감광성 수지층(감광 재료층)을 갖는 감광성 시트체[감광성 웹(Photosensitive web)]를 기판 표면에 접착해서 구성된다. 감광성 시트체는, 예를 들면 가요성 플라스틱 지지체 상에 감광성 수지층과 보호 필름이 순서대로 적층되어 있다.For example, the board | substrate for liquid crystal panels, the board for printed wirings, and the board | substrate for PDP are comprised by bonding the photosensitive sheet body (photosensitive web) which has a photosensitive resin layer (photosensitive material layer) to the board | substrate surface. As for the photosensitive sheet body, the photosensitive resin layer and the protective film are laminated | stacked in order on the flexible plastic support body, for example.
이 종류의 감광성 시트체의 접착에 사용되는 제조 장치는, 통상 유리 기판이나 수지 기판 등의 기판을 소정의 간격씩 이간시켜서 라미네이션 롤러 사이에 반송함과 아울러, 상기 기판에 접착되는 감광성 수지층의 범위에 대응하는 보호 필름을 박리한 감광성 시트체를 상기 라미네이션 롤러 사이에 반송하는 방식이 채용되어 있다.The manufacturing apparatus used for adhesion | attachment of this kind of photosensitive sheet | seat normally conveys between lamination rollers, separating board | substrates, such as a glass substrate and a resin substrate at predetermined intervals, and is a range of the photosensitive resin layer adhere | attached to the said board | substrate. The method of conveying the photosensitive sheet body which peeled the protective film corresponding to the said lamination rollers is employ | adopted.
예를 들면, 일본 특허 제3316093호 공보에 개시되어 있는 제조 장치에서는 도 9에 나타내는 바와 같이 롤(1)로부터 감광성 시트체(2)를 풀어내서 하프 커터 장치(3)에 공급하고, 감광성 시트체(2)를 구성하는 지지체 상에 적층되어 있는 보호 필름 및 감광성 수지층을 소정의 간격으로 절단한다. 이어서, 보호 필름 제거부(4)에 상기 감광성 시트체(2)를 공급하고, 기판(5)의 접착 범위에 대응하는 보호 필름을 점착 테이프 등을 이용하여 박리한 후 열압착 롤러(6a, 6b) 사이에 공급한다. 한편, 열압착 롤러(6a, 6b) 사이에는 가열된 기판(5)이 반입되고, 보호 필름이 박리됨으로써 노출된 감광성 수지층을 통해 감광성 시트체(2)가 기판(5)의 하면부에 가열 압착된다. 감광성 시트체(2)가 가열 압착된 기판(5)은 열압착 롤러(6a, 6b)로부터 반출된 후 분리 장치(7)에 공급되고, 기판(5) 사이의 감광성 시트체(2)가 절단되어서 감광성 적층체(8)가 제조된다.For example, in the manufacturing apparatus disclosed in Unexamined-Japanese-Patent No. 3316093, as shown in FIG. 9, the photosensitive sheet body 2 is unwound from the roll 1, and it supplies to the
그런데, 이렇게 해서 분리된 감광성 적층체(8)에는 지지체가 잔존하고 있어 이 지지체를 기판(5)으로부터 박리시키는 처리가 행해진다. 박리된 지지체는 지지체 수용부에 수용된 후 폐기된다.By the way, the support body remains in the photosensitive laminated
도 10 및 도 11은 지지체의 일반적인 박리 수용 기구의 설명도이다. 감광성 적층체(8)에 잔존하는 지지체(9)는 척(10)에 의해 파지되어서 기판(5)으로부터 박리된 후, 하부에 대기하는 지지체 수용부(11)에 낙하시켜서 수용한다.FIG.10 and FIG.11 is explanatory drawing of the general peeling accommodation mechanism of a support body. The
이 경우, 감광성 적층체(8)를 효율적으로 제조하기 위해서는 지지체(9)를 기판(5)으로부터 연속적으로 박리하고, 지지체 수용부(11)에 다수매의 지지체(9)를 적층 수용한 후 그들을 통합해서 폐기하는 것이 필요하다. 따라서, 지지체 수용부(11)는 다수의 지지체(9)를 수용할 수 있도록 깊게 형성되게 된다.In this case, in order to efficiently manufacture the photosensitive laminated
그러나, 지지체 수용부(11)가 깊어지면 지지체(9)의 낙하 거리가 길어져버린다. 이 경우, 지지체(9)는 얇은 가요성 플라스틱으로 형성되어 있음과 아울러, 척(10)에 의해 파지되어 있지 않은 단부가 자유단이므로, 지지체 수용부(11)에 수용될 때 도 11에 나타내는 바와 같이 일부가 접혀 구부러져 버려 지지체 수용부(11)에 다수의 지지체(9)를 수용할 수 없게 되어 버린다.However, when the support
본 발명은 기판으로부터 박리된 지지체를 지지체 수용부에 효율적으로 수용하고, 이것에 의해 감광성 적층체를 효율적으로 제조할 수 있는 감광성 적층체 제조 장치 및 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of this invention is to provide the photosensitive laminated body manufacturing apparatus and manufacturing method which can accommodate the support body peeled from a board | substrate efficiently in a support body accommodating part, and can manufacture a photosensitive laminated body efficiently by this.
또한, 본 발명은 지지체 수용부를 대형화하지 않고 지지체를 효과적으로 수용할 수 있는 감광성 적층체 제조 장치 및 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.Moreover, an object of this invention is to provide the photosensitive laminated body manufacturing apparatus and manufacturing method which can accommodate a support body effectively, without enlarging a support body accommodating part.
본 발명은 지지체 상에 형성된 감광 재료층을 기판에 접착한 후, 상기 지지체를 박리해서 감광성 적층체를 제조하는 감광성 적층체 제조 장치에 있어서, In the photosensitive laminated body manufacturing apparatus which adhere | attaches the photosensitive material layer formed on the support body to a board | substrate, and peels the said support body, and manufactures a photosensitive laminated body,
대향해서 배치되고, 적재면에 박리된 상기 지지체가 적재되는 한쌍의 적재대와, 상기 한쌍의 적재대를 이간하도록 이동시키는 적재대 이동 수단과, A pair of mounting tables which are disposed to face each other, on which the support body separated on the mounting surface is mounted, a mounting table moving means for moving the pair of mounting tables so as to be spaced apart;
상기 한쌍의 적재대의 근접하는 각 단부측을 하측 방향으로 경사지게 하는 적재대 경사 수단과, A loading table inclination means for inclining each end side adjacent to the pair of loading tables in a downward direction;
상기 한쌍의 적재대의 하부에 배치되고, 상기 적재대 이동 수단에 의해 이간된 상기 한쌍의 적재대 사이로부터 낙하된 상기 지지체를 수용하는 지지체 수용부를 구비하는 것을 특징으로 한다.And a support accommodating portion disposed below the pair of mounting tables and accommodating the support dropped from between the pair of mounting tables spaced apart by the mounting table moving means.
또한, 본 발명은 지지체 상에 형성된 감광 재료층을 기판에 접착한 후, 상기 지지체를 박리해서 감광성 적층체를 제조하는 감광성 적층체 제조 방법에 있어서,Moreover, in this invention, after attaching the photosensitive material layer formed on the support body to a board | substrate, the said support body is peeled off and a photosensitive laminated body manufacturing method is produced,
대향해서 배치된 한쌍의 적재대의 적재면에 박리된 상기 지지체를 적재하는 스텝과, A step of stacking the support body peeled off on a stacking surface of a pair of mounting tables disposed to face each other,
상기 지지체가 적재된 상기 한쌍의 적재대를 이간시킴과 아울러, 상기 한쌍의 적재대의 근접하는 각 단부측을 하측 방향으로 경사지게 하는 스텝과, Separating the pair of mounting tables on which the support is mounted, and inclining each end side adjacent to the pair of mounting tables in a downward direction;
상기 한쌍의 적재대의 하부에 배치된 지지체 수용부에 이간된 상기 한쌍의 적재대 사이로부터 상기 지지체를 낙하시켜서 수용하는 스텝으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.It characterized in that it comprises a step of dropping the support from between the pair of mounting table spaced apart from the support receiving portion disposed in the lower portion of the pair of mounting table.
본 발명에서는 기판으로부터 박리된 지지체를 일단 한쌍의 적재대에 적재한 후, 상기 한쌍의 적재대를 이간시킴과 아울러, 하측 방향으로 경사지게 해서 지지체 수용부에 낙하 수용함으로써 지지체가 접혀 구부러지는 일 없이 다수의 지지체를 지지체 수용부에 효율적으로 수용시킬 수 있다. 이 결과, 지지체 수용부로부터 지지체를 폐기하는 처리 횟수가 적어져서 감광성 적층체를 효율적으로 제조할 수 있다. 또, 지지체를 효율적으로 수용할 수 있으므로 지지체 수용부를 소형으로 구성할 수 있다.In the present invention, the support which is peeled off from the substrate is once loaded on a pair of mounting stages, and the pair of mounting stages are separated, and the support members are folded and accommodated in the support accommodating portion to be inclined downward so that the support members are not folded and bent. Can be accommodated efficiently in a support accommodating part. As a result, the number of treatments for disposing of the support from the support accommodating portion is reduced, so that the photosensitive laminate can be efficiently produced. Moreover, since a support body can be accommodated efficiently, a support body accommodating part can be comprised small.
첨부된 도면과 협동하는 다음의 바람직한 실시형태예의 설명으로부터 상기의 목적, 특징 및 이점이 보다 명확해질 것이다.The above objects, features, and advantages will become more apparent from the following description of the preferred embodiments in conjunction with the accompanying drawings.
도 1은 본 실시형태에 따른 감광성 적층체 제조 장치인 라미네이트 장치(20)의 개략 구성도이며, 이 라미네이트 장치(20)는 액정 또는 유기 EL용 컬러 필터 등의 제작 공정에서 소정의 폭 치수로 이루어지는 긴 형상의 감광성 웹(22)의 감광성 수지층(28)(후술함)을 유리 기판(24)에 열전사(라미네이트)하는 작업을 행한다.FIG. 1: is a schematic block diagram of the lamination apparatus 20 which is the photosensitive laminated body manufacturing apparatus which concerns on this embodiment, and this lamination apparatus 20 consists of predetermined | prescribed width dimension in manufacturing processes, such as a color filter for liquid crystals or organic EL. An operation of thermally transferring (laminating) the photosensitive resin layer 28 (to be described later) of the elongate
도 2는 라미네이트 장치(20)에 사용되는 긴 형상의 감광성 웹(22)의 단면도 이다. 이 긴 형상의 감광성 웹(22)은 가요성 베이스 필름(지지체)(26)과 감광성 수지층(감광 재료층)(28)과 보호 필름(30)을 적층해서 구성된다.2 is a cross-sectional view of an elongate
도 1에 나타내는 바와 같이, 라미네이트 장치(20)는 긴 형상의 감광성 웹(22)을 롤형상으로 권회한 감광성 웹 롤(23)을 수용하고, 감광성 웹 롤(23)로부터 상기 긴 형상의 감광성 웹(22)을 송출할 수 있는 웹 송출 기구(32)와, 송출된 긴 형상의 감광성 웹(22)의 보호 필름(30) 및 감광성 수지층(28)의 폭 방향으로 절단 가능한 2개소의 경계 부분인 하프컷 부위(34a, 34b)(도 2 참조)를 형성하는 가공 기구(36)와, 일부에 비접착부(38a)를 갖는 접착 라벨(38)(도 3 참조)을 보호 필름(30)에 접착시키는 라벨 접착 기구(40)를 구비한다.As shown in FIG. 1, the lamination apparatus 20 accommodates the photosensitive web roll 23 which wound the elongate
라벨 접착 기구(40)의 하류에는 긴 형상의 감광성 웹(22)을 택트(tact) 이송에서 연속 이송으로 변경하기 위한 리저버(reserver) 기구(42)와, 긴 형상의 감광성 웹(22)으로부터 보호 필름(30)을 소정의 길이 간격으로 박리시키는 박리 기구(44)와, 유리 기판(24)을 소정의 온도로 가열한 상태에서 접착 위치에 공급하는 기판 공급 기구(45)와, 상기 보호 필름(30)의 박리에 의해 노출된 감광성 수지층(28)을 상기 유리 기판(24)에 일체적으로 접착하는 접착 기구(46)가 배치된다.Downstream of the label
접착 기구(46)에 있어서의 접착 위치의 상류 근방에는 하프컷 부위(34a, 34b)를 포함하는 긴 형상의 감광성 웹(22)의 화상을 촬영하는 촬영부(47)가 배치된다. 라미네이트 장치(20)는 촬영부(47)에 의해 촬영된 하프컷 부위(34a, 34b)의 화상에 기초하여 접착 기구(46)에 대한 하프컷 부위(34a, 34b)의 위치 어긋남량을 산출하고, 긴 형상의 감광성 웹(22)의 이송량의 보정을 행한다.In the vicinity of the bonding position in the
웹 송출 기구(32)의 하류 근방에는 대략 사용이 끝난 긴 형상의 감광성 웹(22)의 후단과, 새롭게 사용되는 긴 형상의 감광성 웹(22)의 선단을 접착하는 접착대(49)가 배치된다. 접착대(49)의 하류에는 감광성 웹 롤(23)의 어긋나게 감김에 의한 폭 방향의 어긋남을 제어하기 위해 필름 단말 위치 검출기(51)가 배치된다. 여기서, 필름 단말 위치 조정은 웹 송출 기구(32)를 폭 방향으로 이동시켜서 행하지만, 롤러를 조합한 위치 조정 기구를 부설해서 행해도 된다.In the vicinity of the downstream web delivery mechanism 32, a bonding table 49 is disposed to bond the rear end of the substantially long elongate
가공 기구(36)는 웹 송출 기구(32)에 수용 권회되어 있는 감광성 웹 롤(23)의 롤 지름을 산출하기 위한 롤러쌍(50)의 하류에 배치된다. 가공 기구(36)는 거리(M)만큼 이간된 한쌍의 둥근 날(52a, 52b)을 구비한다. 둥근 날(52a, 52b)은 긴 형상의 감광성 웹(22)의 폭 방향으로 주행해서 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)을 사이에 둔 소정의 2개소의 위치에 하프컷 부위(34a, 34b)를 형성한다(도 2 참조).The
도 2에 나타내는 바와 같이, 하프컷 부위(34a, 34b)는 적어도 보호 필름(30) 및 감광성 수지층(28)을 절단할 필요가 있고, 실제상 가요성 베이스 필름(26)까지 커팅하도록 둥근 날(52a, 52b)의 커팅 깊이가 설정된다. 둥근 날(52a, 52b)은 회전하지 않고 고정된 상태에서 긴 형상의 감광성 웹(22)의 폭 방향으로 이동해서 하프컷 부위(34a, 34b)를 형성하는 방식이나, 상기 긴 형상의 감광성 웹(22) 위를 미끄러지지 않고 회전하면서 상기 폭 방향으로 이동해서 상기 하프컷 부위(34a, 34b)를 형성하는 방식이 채용된다. 이 하프컷 부위(34a, 34b)는 둥근 날(52a, 52b)에 대체해서, 예를 들면 레이저광이나 초음파를 사용한 컷 방식 외에 나이프 날, 작두 날(톰슨 날) 등으로 형성하는 방식을 채용해도 된다.As shown in FIG. 2, the half cut
하프컷 부위(34a, 34b)는 감광성 수지층(28)을 유리 기판(24)에 접착했을 때, 예를 들면 상기 유리 기판(24)의 양 단부로부터 각각 10㎜씩 내측으로 들어간 위치로 되도록 설정된다. 또, 유리 기판(24) 사이의 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)은 후술하는 접착 기구(46)에 있어서 감광성 수지층(28)을 상기 유리 기판(24)에 액자형상으로 접착할 때의 마스크로서 기능하는 것이다.The half cut
라벨 접착 기구(40)는 유리 기판(24) 사이에 대응해서 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)을 남기므로, 하프컷 부위(34b)측의 박리 부분(A)과 하프컷 부위(34a)측의 박리 부분(A)을 연결하는 접착 라벨(38)을 공급한다.Since the
도 3에 나타내는 바와 같이, 접착 라벨(38)은 직사각형으로 구성되어 있고, 예를 들면 보호 필름(30)과 동일한 수지재로 형성된다. 접착 라벨(38)은 중앙부에 점착제가 도포되지 않은 비접착부(미세 점착을 포함)(38a)를 가짐과 아울러, 이 비접착부(38a)의 양측, 즉 상기 접착 라벨(38)의 길이 방향 양 단부에 전방의 박리 부분(A)에 접착되는 제 1 접착부(38b)와, 후방의 박리 부분(A)에 접착되는 제 2 접착부(38c)를 갖는다.As shown in FIG. 3, the
도 1에 나타내는 바와 같이, 라벨 접착 기구(40)는 최대 7장의 접착 라벨(38)을 소정 간격씩 이간해서 접착할 수 있는 흡착 패드(54a~54g)를 구비함과 아울러, 상기 흡착 패드(54a~54g)에 의한 상기 접착 라벨(38)의 접착 위치에는 긴 형상의 감광성 웹(22)을 하방으로부터 유지하기 위한 받침대(56)가 승강 가능하게 배치된다.As shown in FIG. 1, the
리저버 기구(42)는 상류측의 긴 형상의 감광성 웹(22)의 택트 반송과, 하류 측의 상기 긴 형상의 감광성 웹(22)의 연속 반송의 속도차를 흡수하기 위해 화살표 방향으로 요동 가능한 댄서 롤러(60)를 구비한다.The
리저버 기구(42)의 하류에 배치되는 박리 기구(44)는 긴 형상의 감광성 웹(22)의 송출측 텐션 변동을 차단하고, 라미네이트시의 텐션을 안정화시키기 위한 석션 드럼(62)을 구비한다. 석션 드럼(62)의 근방에는 박리 롤러(63)가 배치됨과 아울러, 이 박리 롤러(63)를 통해 긴 형상의 감광성 웹(22)으로부터 예각의 박리각으로 박리되는 보호 필름(30)은 잔존 부분(B)을 제외하고 보호 필름 권취부(64)에 감긴다.The
박리 기구(44)의 하류측에는 긴 형상의 감광성 웹(22)에 텐션을 부여할 수 있는 텐션 제어 기구(66)가 배치된다. 텐션 제어 기구(66)는 실린더(68)의 구동 작용하에 텐션 댄서(70)가 요동 변위함으로써 긴 형상의 감광성 웹(22)의 텐션을 조정할 수 있다. 또, 텐션 제어 기구(66)는 필요에 따라 사용하면 되고, 삭제할 수도 있다.On the downstream side of the
기판 공급 기구(45)는 유리 기판(24)을 파지하도록 배치되는 기판 가열부(예를 들면 히터)(74)와, 이 유리 기판(24)을 화살표Y 방향으로 반송하는 반송부(76)를 구비한다. 기판 가열부(74)에서는 유리 기판(24)의 온도를 항상 감시하고, 이상시에는 반송부(76)의 정지나 경보를 발생시킴과 아울러, 이상 정보를 발신해서 이상의 유리 기판(24)을 후공정에서 NG 배출, 품질 관리 또는 생산 관리 등에 활용할 수 있다. 반송부(76)에는 도시 생략된 에어 부상 플레이트가 배치되고, 유리 기판(24)이 부상되어서 화살표Y 방향으로 반송된다. 유리 기판(24)의 반송은 롤러 컨 베이어에서도 행할 수 있다.The board |
유리 기판(24)의 온도 측정은 기판 가열부(74) 내 또는 접착 위치 바로 앞에서 행하는 것이 바람직하다. 측정 방법으로서는 접촉식(예를 들면 열전대) 외, 비접촉식이여도 된다.It is preferable to perform temperature measurement of the
접착 기구(46)는 상하에 배치됨과 아울러, 소정 온도로 가열되는 고무 롤러(압착 롤러)(80a, 80b)를 구비한다. 고무 롤러(80a, 80b)에는 백업 롤러(82a, 82b)가 슬라이딩 접촉한다. 한쪽의 백업 롤러(82b)는 롤러 클램프부(83)를 구성하는 가압 실린더(84)에 의해 고무 롤러(80b)측으로 가압된다.The
유리 기판(24)은 접착 기구(46)로부터 화살표Y 방향으로 연장되는 반송로를 구성하는 복수의 기판 반송 롤러(90a~90f)에 의해 반송된다. 기판 반송 롤러(90b, 90c) 사이에는 유리 기판(24) 사이의 긴 형상의 감광성 웹(22)을 절단함으로써 유리 기판(24)에 감광 재료층이 부착된 감광성 적층체(92)를 분리하는 커터 기구(94)가 배치된다. 이 경우, 분리된 감광성 적층체(92)는 도 4에 나타내는 바와 같이 유리 기판(24) 상에 감광성 수지층(28)을 통해 가요성 베이스 필름(26)이 접착되어 있다. 또, 유리 기판(24)의 앞뒤에는 보호 필름(30)의 잔존 부분(B), 감광성 수지층(28) 및 가요성 베이스 필름(26)의 일부가 돌출된다.The
또한, 기판 반송 롤러(90e, 90f)의 측부에는 감광성 적층체(92)로부터 가요성 베이스 필름(26)을 박리해서 폐각하는 박리 폐각 기구(96)가 배치된다. 도 5 및 도 6은 박리 폐각 기구(96)의 구성도이다.Moreover, the peeling
박리 폐각 기구(96)는 유리 기판(24)에 감광성 수지층(28)을 남긴 상태에서 가요성 베이스 필름(26)의 일단부를 파지하고, 가요성 베이스 필름(26)을 감광성 적층체(92)로부터 화살표X 방향으로 박리하는 척(98a, 98b)과, 감광성 적층체(92)의 측부에 배치되고, 박리된 가요성 베이스 필름(26)이 적재되는 한쌍의 적재대(100a, 100b)와, 적재대(100a, 100b)의 하부에 배치되고, 박리된 다수의 가요성 베이스 필름(26)을 적층 상태에서 수용하는 베이스 필름 수용부(102)(지지체 수용부)를 구비한다.The peeling
각 적재대(100a, 100b)는 감광성 적층체(92)의 반송 방향인 화살표Y 방향에 대향해서 배치되고, 가요성 베이스 필름(26)의 적재면을 서로 근접하는 화살표Y1, Y2 방향으로 이동시키는 벨트 컨베이어(104a~104d 및 106a~106d)(적재면 이동 수단)를 갖는다. 상기 각 적재면은 벨트 컨베이어(104a~104d 및 106a~106d)의 이간하는 각 일단부에 장착된 모터(108a, 108b)에 의해 이동한다. 이들 벨트 컨베이어(104a~104d 및 106a~106d)는 가이드 레일(110a, 110b 및 110c, 110d)을 따라 화살표Y1, Y2 방향으로 이동 가능한 이동 프레임(112a, 112b)(적재대 이동 수단)에 상기 각 일단부가 축지지된다. 또, 가이드 레일(110a, 110b 및 110c, 110d)은 지지 프레임(114a, 114b)에 고정된다. 지지 프레임(114a, 114b)과, 벨트 컨베이어(104a~104d 및 106a~106d)의 근접하는 각 타단부는 상기 각 타단부측을 수평 상태로부터 화살표θ 방향으로 경사지게 하는 경사 실린더(116a, 116b 및 116c, 116d)(적재대 경사 수단)에 의해 연결된다.Each of the mounting tables 100a and 100b is disposed opposite to the arrow Y direction, which is the conveying direction of the
적재대(100a, 100b)의 하부에 배치되는 베이스 필름 수용부(102)는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 화살표Z 방향으로 승강하는 저면부(118)와, 저면부(118)를 승 강시키는 승강 실린더(120)(저면 하강 수단)와, 베이스 필름 수용부(102)의 개구부에 대향해서 배치되고, 수용된 가요성 베이스 필름(26)의 수용 상태를 검지하는 수용 상태 검지 수단을 구성하는 발광 소자(122) 및 수광 소자(124)를 구비한다. 이 경우, 저면부(118)는, 도 7에 나타내는 바와 같이, 가요성 베이스 필름(26)의 박리 방향인 화살표X 방향에 대하여 경사진 상태로 설정되어 있다.The base
또한, 이상과 같이 구성되는 라미네이트 장치(20)에서는 웹 송출 기구(32), 가공 기구(36), 라벨 접착 기구(40), 리저버 기구(42), 박리 기구(44), 텐션 제어 기구(66) 및 촬영부(47)가 접착 기구(46)의 상방에 배치되어 있지만, 이와는 반대로 상기 웹 송출 기구(32)로부터 상기 촬영부(47)까지를 상기 접착 기구(46)의 하방에 배치하며, 긴 형상의 감광성 웹(22)의 상하가 반대로 되어서 감광성 수지층(28)을 유리 기판(24)의 하측에 접착하는 구성이여도 되고, 또한 긴 형상의 감광성 웹(22)의 반송로를 직선형상으로 구성해도 된다.Moreover, in the lamination apparatus 20 comprised as mentioned above, the web delivery mechanism 32, the
라미네이트 장치(20) 내는 칸막이벽(126)을 통해 제 1 클린룸(128a)과 제 2 클린룸(128b)으로 칸막이된다. 제 1 클린룸(128a)에는 웹 송출 기구(32)로부터 텐션 제어 기구(66)까지가 수용되고, 제 2 클린룸(128b)에는 촬영부(47) 이후의 기구가 수용된다. 제 1 클린룸(128a)과 제 2 클린룸(128b)은 관통부(130)를 통해 연통된다.The inside of the lamination apparatus 20 is partitioned into the first
다음에, 이상과 같이 구성되는 라미네이트 장치(20)의 동작에 대해서 본 발명에 따른 제조 방법과의 관련에서 설명한다.Next, operation | movement of the lamination apparatus 20 comprised as mentioned above is demonstrated in connection with the manufacturing method which concerns on this invention.
우선, 웹 송출 기구(32)에 부착되어 있는 감광성 웹 롤(23)로부터 긴 형상의 감광성 웹(22)이 송출된다. 긴 형상의 감광성 웹(22)은 가공 기구(36)에 반송된다.First, the elongate
가공 기구(36)에서는 둥근 날(52a, 52b)이 긴 형상의 감광성 웹(22)의 폭 방향으로 이동해서 상기 긴 형상의 감광성 웹(22)을 보호 필름(30)으로부터 감광성 수지층(28) 내지 가요성 베이스 필름(26)까지 커팅하고, 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)의 폭(M)만큼 이간되는 하프컷 부위(34a, 34b)를 형성한다(도 2 참조). 이것에 의해, 긴 형상의 감광성 웹(22)에는 잔존 부분(B)을 사이에 두고 전방의 박리 부분(A)과 후방의 박리 부분(A)이 형성된다(도 2 참조).In the
또한, 잔존 부분(B)의 폭(M)은 긴 형상의 감광성 웹(22)이 연장되지 않는 것을 전제로 해서 접착 기구(46)의 고무 롤러(80a, 80b) 사이에 공급되는 유리 기판(24) 사이의 거리를 기준으로 해서 설정된다. 또, 폭(M)으로 형성되는 1세트의 하프컷 부위(34a, 34b)는 유리 기판(24)에 접착되는 감광성 수지층(28)의 기준 길이의 간격으로 긴 형상의 감광성 웹(22)에 형성된다.In addition, the width M of the remaining portion B is a
이어서, 긴 형상의 감광성 웹(22)은 라벨 접착 기구(40)에 반송되어서 보호 필름(30)의 소정의 접착 부위가 받침대(56) 상에 배치된다. 라벨 접착 기구(40)에서는 소정 매수의 접착 라벨(38)이 흡착 패드(54b~54g)에 의해 흡착 유지되고, 각 접착 라벨(38)이 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)을 걸쳐서 전방의 박리 부분(A)과 후방의 박리 부분(A)에 일체적으로 접착된다(도 3 참조).Subsequently, the elongate
예를 들면, 7장의 접착 라벨(38)이 접착된 긴 형상의 감광성 웹(22)은, 도 1에 나타내는 바와 같이, 리저버 기구(42)를 통해 송출측의 텐션 변동을 방지한 후, 박리 기구(44)에 연속적으로 반송된다. 박리 기구(44)에서는 긴 형상의 감광성 웹(22)의 가요성 베이스 필름(26)이 석션 드럼(62)에 흡착 유지됨과 아울러, 보호 필름(30)이 잔존 부분(B)을 남기고 상기 긴 형상의 감광성 웹(22)으로부터 박리된다. 이 보호 필름(30)은 박리 롤러(63)를 통해 박리되어서 보호 필름 권취부(64)에 감긴다(도 1 참조).For example, the elongate
박리 기구(44)의 작용하에 보호 필름(30)이 잔존 부분(B)을 남기고 가요성 베이스 필름(26)으로부터 박리된 후, 긴 형상의 감광성 웹(22)은 텐션 제어 기구(66)에 의해 텐션 조정이 행해지고, 이어서 촬영부(47)에 있어서 소정의 촬영 타이밍에서 하프컷 부위(34a, 34b)를 포함하는 긴 형상의 감광성 웹(22)의 화상이 촬영된다.Under the action of the
촬영부(47)를 통과한 긴 형상의 감광성 웹(22)은 접착 기구(46)에 반송됨으로써 유리 기판(24)에 대한 감광성 수지층(28)의 전사 처리(라미네이트)가 행해진다. 이 경우, 촬영부(47)에 의해 촬영된 하프컷 부위(34a, 34b)의 화상에 기초하여 접착 기구(46)에 있어서의 하프컷 부위(34a, 34b)의 위치가 조정된다.The elongate
접착 기구(46)에서는 당초 고무 롤러(80a, 80b)가 이간된 상태로 설정되어 있고, 고무 롤러(80a, 80b) 사이의 소정 위치에 긴 형상의 감광성 웹(22)의 하프컷 부위(34a)가 위치 결정된 상태에 있어서 긴 형상의 감광성 웹(22)의 반송이 일단 정지된다. 이 상태에 있어서, 기판 공급 기구(45)를 구성하는 기판 가열부(74)에 의해 소정 온도로 가열된 유리 기판(24)의 선단부가 반송부(76)에 의해 고무 롤러(80a, 80b) 사이에 반입되면 가압 실린더(84)의 작용하에 백업 롤러(82b) 및 고무 롤러(80b)가 상승하고, 고무 롤러(80a, 80b) 사이에 유리 기판(24) 및 긴 형상 의 감광성 웹(22)이 소정의 프레스 압력으로 끼워넣어진다. 또, 고무 롤러(80a, 80b)는 소정의 라미네이트 온도로 가열되어 있다.In the
이어서, 고무 롤러(80a, 80b)가 회전하고, 유리 기판(24) 및 긴 형상의 감광성 웹(22)이 화살표Y 방향으로 반송된다. 이 결과, 감광성 수지층(28)이 가열 용융되어서 유리 기판(24)에 전사(라미네이트)된다.Next, the
또한, 라미네이트 조건으로서는 속도가 1.0m/min~10.0m/min, 고무 롤러(80a, 80b)의 온도가 80℃~140℃, 상기 고무 롤러(80a, 80b)의 고무 경도가 40도~90도, 상기 고무 롤러(80a, 80b)의 프레스압(선압)이 50N/㎝~400N/㎝이다.Moreover, as lamination conditions, the speed is 1.0 m / min-10.0 m / min, the temperature of the
유리 기판(24)에 대하여 긴 형상의 감광성 웹(22)의 1장분의 라미네이트가 종료되면 고무 롤러(80a, 80b)의 회전이 정지되는 한편, 긴 형상의 감광성 웹(22)이 라미네이트된 유리 기판(24)의 선단부가 기판 반송 롤러(90a)에 의해 클램핑된다. 이 때, 고무 롤러(80a, 80b) 사이의 소정 위치에는 하프컷 부위(34b)가 배치된다.When the lamination of one sheet of the elongate
그리고, 고무 롤러(80b)가 고무 롤러(80a)로부터 이간되는 방향으로 퇴피해서 클램프가 해제됨과 아울러, 기판 반송 롤러(90a)의 회전이 저속으로 다시 개시되어 긴 형상의 감광성 웹(22)이 유리 기판(24)에 라미네이트된 감광성 적층체가 화살표Y 방향으로 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)의 폭(M)에 대응하는 거리만큼 반송되고, 다음의 하프컷 부위(34a)가 고무 롤러(80a)의 하방 부근의 소정 위치에 반송된 후 고무 롤러(80a, 80b)의 회전이 정지된다. 또, 긴 형상의 감광성 웹(22)을 하프컷 부위(34a, 34b) 사이만큼 반송하는 처리를 이하에 있어서 「기판간 이송」 이라고 한다.Then, the
한편, 상기의 상태에 있어서 기판 공급 기구(45)를 통해 다음 유리 기판(24)이 접착 위치를 향해서 반송된다. 이상의 동작이 반복됨으로써, 유리 기판(24)에 감광성 수지층(28)이 접착된 감광성 적층체(92)가 연속적으로 제조된다.On the other hand, the
그 때, 감광성 적층체는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 각각의 단부끼리가 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)에 의해 덮어져 있다. 따라서, 감광성 수지층(28)이 유리 기판(24)에 전사될 때, 고무 롤러(80a, 80b)가 상기 감광성 수지층(28)에 의해 더러워지는 일이 없다.In that case, as shown in FIG. 4, each edge part is covered by the remaining part B of the
접착 기구(46)에 의해 제조된 감광성 적층체(92)는 접착 기구(46)에서 긴 형상의 감광성 웹(22)이 기판간 이송된 후, 일단 정지 상태에 있을 때 기판 반송 롤러(90b, 90c) 사이에 배치되어 있는 커터 기구(94)에 의해 유리 기판(24) 사이의 긴 형상의 감광성 웹(22)이 절단됨으로써 분리된다.The
이어서, 분리된 감광성 적층체(92)는 박리 폐각 기구(96)에 반송되어 가요성 베이스 필름(26)의 박리 폐각 처리가 행해진다. Subsequently, the separated photosensitive
박리 폐각 기구(96)에서는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 감광성 적층체(92)의 반송 방향(화살표Y 방향)의 양 단부에서 돌출되는 가요성 베이스 필름(26)의 단부가 척(98a, 98b)에 의해 파지된 후, 척(98a, 98b)이 화살표X 방향으로 이동함으로써 감광성 수지층(28)을 유리 기판(24)에 남긴 상태에서 가요성 베이스 필름(26)이 유리 기판(24)측으로부터 박리된다. 또, 가요성 베이스 필름(26)이 박리된 감광성 적층체(92)는 다음 처리 공정에 공급된다.In the
유리 기판(24)으로부터 박리된 가요성 베이스 필름(26)은 측부에 대기하는 적재대(100a, 100b)를 구성하는 벨트 컨베이어(104a~104d 및 106a~100b) 상에 적재된다. 또한, 가요성 베이스 필름(26)이 적재될 때 벨트 컨베이어(104a~104d 및 106a~106d)는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 적재면이 수평 상태로 설정되고, 또한 서로 근접한 상태로 설정되어 있다. 따라서, 가요성 베이스 필름(26)은 절곡되는 일이 없는 평면의 상태로 적재면에 적재된다.The
이어서, 모터(108a, 108b)가 구동됨으로써 한쪽의 벨트 컨베이어(104a~104d)의 적재면이 화살표Y1로 이동함과 아울러, 다른 쪽의 벨트 컨베이어(106a~106d)의 적재면이 화살표Y2 방향으로 이동한다. 또, 한쪽의 이동 프레임(112a)이 가이드 레일(110a, 110b)을 따라 화살표Y2 방향으로 이동함과 아울러, 다른 쪽의 이동 프레임(112b)이 가이드 레일(110c, 110d)을 따라 화살표Y1 방향으로 이동한다. 또한, 경사 실린더(116a, 116b 및 116c, 116d)가 구동되어 벨트 컨베이어(104a~104d 및 106a~106d)의 근접하는 단부측이 화살표θ 방향으로 경사진다.Subsequently, the
이 경우, 가요성 베이스 필름(26)의 적재면이 대칭적인 화살표Y1, Y2 방향으로 이동함과 아울러, 벨트 컨베이어(104a~104d 및 106a~106d)가 화살표Y1, Y2 방향으로 이간됨으로써, 적재된 가요성 베이스 필름(26)이 박리 폐각 기구(96)의 중앙 부분에 유지된 상태에서, 이간된 벨트 컨베이어(104a~104d 및 106a~106d) 사이로부터 하측 방향으로 만곡한 상태로 된다. 또, 벨트 컨베이어(104a~104d 및 106a~106d)의 근접하는 단부측이 화살표θ 방향으로 경사지므로, 가요성 베이스 필름(26)은 벨트 컨베이어(104a~104d 및 106a~106d) 사이로부터 하측 방향으로 낙하 를 개시한다. 이 때의 상태를 도 8에 나타낸다.In this case, the stacking surface of the
벨트 컨베이어(104a~104d 및 106a~106d) 사이가 소정 거리 이간됨과 아울러 소정의 경사 각도로 되면, 가요성 베이스 필름(26)이 낙하해서 하부에 대기하는 베이스 필름 수용부(102)에 수용된다. 이 경우, 가요성 베이스 필름(26)은 박리되는 방향인 화살표X 방향과 직교하는 방향으로 만곡한 상태에서 베이스 필름 수용부(102)측으로 하강한다. 따라서, 가요성 베이스 필름(26)은 박리 방향(화살표X 방향)에 대하여 만곡되기 어려운 강도가 부여되고, 그 상태에서 베이스 필름 수용부(102)의 저면부(118) 상에 적재된다. 또, 가요성 베이스 필름(26)은 베이스 필름 수용부(102)측으로 하강하는 동안 벨트 컨베이어(104a~104d 및 106a~106d)에 의해 지지된 상태에서 가요성 베이스 필름(26)의 적재면과 베이스 필름 수용부(102)의 거리가 단축되므로 안정적인 자세로 저면부(118) 상에 적재된다.When the
이상과 같이 해서, 베이스 필름 수용부(102) 내에 복수의 감광성 수지층(28)을 적층 수용한 경우, 최상부에 적층되어 있는 감광성 수지층(28)과 벨트 컨베이어(104a~104d 및 106a~106d)의 적재면의 거리가 작아진다. 그래서, 베이스 필름 수용부(102)에 배치된 발광 소자(122) 및 수광 소자(124)에 의해 최상부의 감광성 수지층(28)을 검지했을 때, 승강 실린더(120)를 구동해서 저면부(118)를 화살표Z 방향으로 소정 거리 하강시킴으로써 최상부의 감광성 수지층(28)과 적재면의 거리를 일정하게 유지하여 항상 안정적인 상태에서 가요성 베이스 필름(26)을 베이스 필름 수용부(102)에 수용할 수 있다.As described above, when the plurality of photosensitive resin layers 28 are laminated and accommodated in the base
또한, 상술한 실시형태에서는 1개의 감광성 웹 롤(23)로부터 공급되는 긴 형 상의 감광성 웹(22)을 유리 기판(24)에 접착함으로써 소위 1장이 부착된 감광성 적층체를 제조하도록 구성하고 있지만, 예를 들면 2개의 감광성 웹 롤이나, 3개 이상의 감광성 웹 롤로부터 긴 형상의 감광성 웹(22)을 공급해서 유리 기판(24)에 접착하여, 소위 2장, 3장 등이 부착된 감광성 적층체를 제조하도록 구성해도 된다.Moreover, in the above-mentioned embodiment, although the long
도 1은 본 실시형태에 따른 라미네이트 장치의 개략 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram of a lamination apparatus according to the present embodiment.
도 2는 라미네이트 장치에 사용되는 긴 형상의 감광성 웹의 단면도이다.2 is a cross-sectional view of an elongate photosensitive web for use in a laminate apparatus.
도 3은 긴 형상의 감광성 웹에 접착 라벨이 접착된 상태의 설명도이다.3 is an explanatory view of a state in which an adhesive label is adhered to an elongated photosensitive web.
도 4는 분리된 감광성 적층체의 단면도이다.4 is a cross-sectional view of the separated photosensitive laminate.
도 5는 가요성 베이스 필름의 박리 폐각 기구의 구성 사시도이다.It is a perspective view of the structure of the peeling closing mechanism of a flexible base film.
도 6은 가요성 베이스 필름의 박리 폐각 기구의 측면 일부 단면도이다.6 is a partial cross-sectional side view of the peeling closure mechanism of the flexible base film.
도 7은 베이스 필름 수용부의 단면도이다.7 is a cross-sectional view of the base film container.
도 8은 가요성 베이스 필름의 박리 폐각 기구의 동작 설명도이다.8 is an explanatory view of the operation of the peeling closing mechanism of the flexible base film.
도 9는 종래 기술에 따른 제조 장치의 개략 구성도이다.9 is a schematic configuration diagram of a manufacturing apparatus according to the prior art.
도 10은 종래 기술에 따른 지지체의 박리 수용 기구의 사시 설명도이다.10 is a perspective explanatory view of a peeling receiving mechanism of a support according to the prior art.
도 11은 종래 기술에 따른 지지체의 박리 수용 기구의 단면 설명도이다.It is sectional explanatory drawing of the peeling accommodation mechanism of a support body which concerns on a prior art.
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E701 | Decision to grant or registration of patent right |