JP2007145497A - Peeling method and peeling device of laminated body - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、支持層と少なくとも1層の樹脂層とが積層された積層体を、前記樹脂層側が基板に向かうようにして前記基板に接着した後、前記支持層を前記樹脂層から剥離する積層体の剥離方法及び剥離装置に関する。 In the present invention, a laminate in which a support layer and at least one resin layer are laminated is bonded to the substrate such that the resin layer side faces the substrate, and then the support layer is peeled off from the resin layer. The present invention relates to a body peeling method and a peeling apparatus.
例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、PDPパネル用基板では、感光性樹脂(感光材料)層を有する感光性シート体(多層ウエブ)を基板表面に貼り付けて構成されている。感光性シート体は、可撓性プラスチック支持体上に感光性樹脂層と保護フイルムとが、順次、積層されている。 For example, in a liquid crystal panel substrate, a printed wiring substrate, and a PDP panel substrate, a photosensitive sheet body (multilayer web) having a photosensitive resin (photosensitive material) layer is attached to the substrate surface. In the photosensitive sheet body, a photosensitive resin layer and a protective film are sequentially laminated on a flexible plastic support.
そこで、この種の感光性シート体の貼り付けに使用される貼付装置は、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させて搬送するとともに、前記感光性シート体から保護フイルムを剥離した後、前記基板に感光性樹脂層を貼り付ける方式が採用されている。 Therefore, a pasting apparatus used for pasting this type of photosensitive sheet body usually transports a substrate such as a glass substrate or a resin substrate spaced apart by a predetermined distance, and also protects the protective film from the photosensitive sheet body. After peeling off, a method of sticking a photosensitive resin layer to the substrate is employed.
例えば、特許文献1に開示されているフイルムの剥離方法及び剥離装置では、図18に示すように、ガス基板1を吸着して移動する基板吸着ハンド2と、前記ガラス基板1に貼り付けられているフイルムFを挟持して剥離する第1クランパ3と、前記第1クランパ3を、図18中、左右に移動させるシリンダ4と、このシリンダ4を前後方向に移動させる水平ガイド5a、及び上下方向に移動させる垂直ガイド5bと、剥離した前記フイルムFを挟持する第2クランパ6と、前記剥離された前記フイルムFを水平方向に押し広げるフイルムプッシャ7とを備えている。
For example, in the film peeling method and peeling apparatus disclosed in
そこで、先ず、基板吸着ハンド2が、図中、二点鎖線で示す水平姿勢に配置されてガラス基板1が載せられると、この基板吸着ハンド2は、前記ガラス基板1を吸着して起立する。
Therefore, first, when the
次いで、第1クランパ3は、ガラス基板1から外部に突出するフイルムFの一部を把持し、前記第1クランパ3がシリンダ4を介して任意の方向に移動する。このため、フイルムFは、ガラス基板1のコーナ部から剥離される。
Next, the
さらに、第1クランパ3は、水平ガイド5a及び垂直ガイド5bの案内作用下に矢印方向に移動して、ガラス基板1からフイルムFを剥離した後、このフイルムFが第2クランパ6に受け渡される。その際、剥離されたフイルムFは、フイルムプッシャ7を介して水平方向に押し広げられ、各フイルムFが重ね合わされて収容される。
Further, the
しかしながら、上記の特許文献1では、ガラス基板1からフイルムFを剥離するために、個別の剥離ステージが必要であるとともに、前記ガラス基板1をこの剥離ステージに配置されている基板吸着ハンド2に移送する作業が行われている。これにより、剥離作業のために相当に大きなスペースを設けなければならないという問題がある。
However, in
しかも、剥離装置全体が大型化しており、特に基板サイズの大サイズ化に伴って前記剥離装置全体の設置スペースが大幅に拡大するとともに、コストが高騰するという問題がある。 In addition, the entire peeling apparatus is enlarged, and there is a problem that the installation space of the entire peeling apparatus is greatly expanded and the cost is increased as the substrate size is increased.
本発明はこの種の問題を解決するものであり、簡単な工程及び構成で、支持層を樹脂層から良好且つ確実に剥離することができるとともに、省スペース化を容易に図ることが可能な積層体の剥離方法及び剥離装置を提供することを目的とする。 The present invention solves this type of problem, and with a simple process and configuration, the support layer can be satisfactorily and reliably peeled off from the resin layer, and a laminate that can easily save space. An object is to provide a body peeling method and a peeling apparatus.
本発明は、支持層と少なくとも1層の樹脂層とが積層された積層体を、前記樹脂層側が基板に向かうようにして前記基板に接着した後、前記支持層を前記樹脂層から剥離する積層体の剥離方法及び剥離装置である。 In the present invention, a laminate in which a support layer and at least one resin layer are laminated is bonded to the substrate such that the resin layer side faces the substrate, and then the support layer is peeled off from the resin layer. A body peeling method and a peeling apparatus.
先ず、支持層が、基板への貼り付け時の面状態を維持して保持されるとともに、基板が保持される。この状態で、基板と支持層とが相対的に離間されることにより、前記支持層が前記基板から剥離される。 First, the support layer is held while maintaining the surface state when affixed to the substrate, and the substrate is held. In this state, the support layer is separated from the substrate by relatively separating the substrate and the support layer.
また、基板が支持層に対して相対的に傾斜されることにより、前記支持層が前記基板から剥離されることが好ましい。 Moreover, it is preferable that the said support layer is peeled from the said board | substrate by inclining relatively with respect to a support layer.
さらに、支持層が基板から剥離される方向は、前記支持層が前記基板に貼り付けられる方向と交差することが好ましい。 Furthermore, it is preferable that the direction in which the support layer is peeled from the substrate intersects the direction in which the support layer is attached to the substrate.
さらにまた、支持層が基板から剥離される方向は、前記支持層が前記基板に貼り付けられる方向と一致することが好ましい。 Furthermore, it is preferable that the direction in which the support layer is peeled from the substrate coincides with the direction in which the support layer is attached to the substrate.
また、積層体は、多層ウエブであり、前記積層体には、基板が所定の間隔ずつ離間して接合されるとともに、支持層は、各基板から連続的に剥離されることが好ましい。 Further, the laminate is preferably a multilayer web, and the substrate is preferably bonded to the laminate at a predetermined interval, and the support layer is continuously peeled from each substrate.
さらに、積層体は、多層ウエブであり、前記積層体には、基板が所定の間隔ずつ離間して接合されるとともに、前記積層体が前記基板間に対応して切断された後、支持層が各基板から剥離されることが好ましい。 Furthermore, the laminate is a multilayer web, and substrates are bonded to the laminate at predetermined intervals, and a support layer is formed after the laminate is cut correspondingly between the substrates. It is preferable to peel from each substrate.
さらにまた、本発明に係る剥離装置では、基板保持機構は、基板を吸着する吸着ボックスを備えるとともに、移動機構は、前記吸着ボックスを傾斜させることにより、支持層を前記基板から剥離するアクチュエータを備えることが好ましい。 Furthermore, in the peeling apparatus according to the present invention, the substrate holding mechanism includes a suction box that sucks the substrate, and the moving mechanism includes an actuator that peels the support layer from the substrate by tilting the suction box. It is preferable.
また、基板保持機構は、基板を吸着する複数の吸着盤を備え、移動機構は、前記複数の吸着盤を個別に進退させることにより、支持層を前記基板から剥離するアクチュエータを備えることが好ましい。 Further, it is preferable that the substrate holding mechanism includes a plurality of suction plates for sucking the substrate, and the moving mechanism includes an actuator for peeling the support layer from the substrate by moving the plurality of suction plates individually.
本発明では、支持層は、基板への貼り付け時の面状態を維持して保持されるため、この支持層が可撓性を有するフイルム状(薄膜状)であっても、前記支持層は、平面状に強固且つ確実に保持されており、前記支持層を前記基板から容易且つ確実に剥離することができる。 In the present invention, since the support layer is maintained while maintaining the surface state at the time of attachment to the substrate, even if the support layer is a flexible film (thin film), the support layer is The support layer is firmly and securely held in a flat shape, and the support layer can be easily and reliably peeled from the substrate.
しかも、支持層及び基板は、それぞれ個別に保持された状態で、互いに離間して剥離処理が行われるため、剥離方向に制約されることがない。さらに、基板に剥離動作を付与することにより、支持層が連続していても、基板毎に切断されていても、良好な剥離処理が確実に遂行可能になる。 In addition, since the peeling process is performed while the support layer and the substrate are held separately, they are not restricted in the peeling direction. Further, by applying a peeling operation to the substrate, it is possible to reliably perform a good peeling process regardless of whether the support layer is continuous or cut for each substrate.
図1は、本発明の第1の実施形態に係る積層体の剥離装置が組み込まれる製造装置20の概略構成図である。この製造装置20は、液晶又は有機EL用カラーフィルタ等の製作工程で、長尺状感光性ウエブ(長尺状ウエブ)22の感光性樹脂層29(後述する)をガラス基板24に熱転写する作業を行う。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a
図2は、製造装置20に使用される感光性ウエブ22の断面図である。この感光性ウエブ22は、可撓性ベースフイルム(支持層)26、クッション層(熱可塑性樹脂層)27、中間層(酸素遮断膜)28、感光性樹脂層29及び保護フイルム30を積層して構成される。なお、感光性ウエブ22は、ベースフイルム26、感光性樹脂層29及び保護フイルム30により構成されていてもよい。
FIG. 2 is a cross-sectional view of the
ベースフイルム26は、ポリエチレンテレフタレート(PET)で形成され、クッション層27は、エチレンと酸化ビニル共重合体で形成され、中間層28は、ポリビニルアルコールで形成され、感光性樹脂層29は、アルカリ可溶性バインダとモノマーと光重合開始材と着色剤を含む着色感光性樹脂組成物で形成され、保護フイルム30は、ポリエチレンあるいはポリプロピレン等で形成される。
The
図1に示すように、製造装置20は、感光性ウエブ22をロール状に巻回した感光性ウエブロール22aを収容し、この感光性ウエブロール22aから前記感光性ウエブ22を送り出すウエブ送り出し機構32と、送り出された前記感光性ウエブ22の保護フイルム30に、幅方向に切断可能なハーフカット部位34を形成するハーフカット機構36と、一部に非接着部38aを有する接着ラベル38(図3参照)を保護フイルム30に接着させるラベル接着機構40とを備える。なお、ハーフカット機構36は、矢印A方向に所定の間隔だけ離間して2セット配設され、同時に2個所のハーフカット部位34を形成してもよい。
As shown in FIG. 1, the
ラベル接着機構40の下流には、感光性ウエブ22をタクト送りから略連続送りに変更するためのリザーバ機構42と、前記感光性ウエブ22から保護フイルム30を所定の長さ間隔で剥離させる保護フイルム剥離機構44と、ガラス基板24を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に搬送する加熱機構45と、前記保護フイルム30の剥離により露出した感光性樹脂層29を前記ガラス基板24に貼り付ける貼り付け機構46とが配設される。なお、貼り付け機構46によりガラス基板24に感光性ウエブ22が貼り付けられた積層体を、以下、貼り付け基板24aという。
Downstream of the
貼り付け機構46における貼り付け位置の上流近傍には、感光性ウエブ22の境界位置であるハーフカット部位34を直接検出する検出機構47が配設されるとともに、前記貼り付け機構46の下流には、各ガラス基板24間の前記感光性ウエブ22を切断する基板間ウエブ切断機構48が配設される。この基板間ウエブ切断機構48の上流には、運転開始時及び運転終了時に使用されるウエブ切断機構48aが設けられる。
A
ウエブ送り出し機構32の下流近傍には、略使用済みの感光性ウエブ22の後端と、新たに使用される感光性ウエブ22の先端とを接合させる接合台49が配設される。この接合台49の下流には、感光性ウエブロール22aの巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端位置検出器51が配設される。
In the vicinity of the downstream side of the
ハーフカット機構36は、ウエブ送り出し機構32に収容巻回されている感光性ウエブロール22aのロール径を算出するためのローラ対50の下流に配置される。ハーフカット機構36は、感光性ウエブ22の搬送方向(矢印A方向)に直交する方向に進退自在なスライド台52を備える。このスライド台52には、回転丸刃(カッタ)54が固着されるとともに、前記回転丸刃54に対向する位置には、感光性ウエブ22を挟んでカット受台56が配設される。
The half-
図2に示すように、ハーフカット部位34は、少なくとも保護フイルム30を切断する必要があり、実際上、この保護フイルム30を確実に切断するために感光性樹脂層29乃至中間層28まで切り込むように、回転丸刃54の切り込み深さが設定される。ハーフカット部位34は、回転丸刃54に代替して、例えば、固定丸刃や超音波を用いたカット方式の他、ナイフ刃、後述する帯状押し切り刃(トムソン刃)等で形成する方式を採用してもよい。なお、押し切り刃は、垂直方向の押し切り構成の他、斜め方向の押し切り構成を含む。
As shown in FIG. 2, the half-
ハーフカット部位34は、ガラス基板24の間隔を設定するものであり、例えば、両側の前記ガラス基板24にそれぞれ10mmずつ入り込んだ位置に設定される。ガラス基板24間のハーフカット部位34で挟まれた部分は、後述する貼り付け機構46において感光性樹脂層29を前記ガラス基板24に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。
The half-
ラベル接着機構40は、ガラス基板24間に対応して保護フイルム30の残存部分30bを残すため、剥離側前方の剥離部分30aaと剥離側後方の剥離部分30abとを連結する接着ラベル38を供給する。図2に示すように、保護フイルム30は、残存部分30bを挟んで、先に剥離される部分を前方の剥離部分30aaとする一方、後に剥離される部分を後方の剥離部分30abとする。
The
図3に示すように、接着ラベル38は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム30と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル38は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部(微粘着を含む)38aを有するとともに、この非接着部38aの両側、すなわち、前記接着ラベル38の長手方向両端部に、前方の剥離部分30aaに接着される第1接着部38bと、後方の剥離部分30abに接着される第2接着部38cとを有する。
As shown in FIG. 3, the
図1に示すように、ラベル接着機構40は、最大5枚の接着ラベル38を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド58a〜58eを備えるとともに、前記吸着パッド58a〜58eによる前記接着ラベル38の貼り付け位置には、感光性ウエブ22を下方から保持するための受台59が昇降自在に配置される。
As shown in FIG. 1, the
リザーバ機構42は、上流側の感光性ウエブ22のタクト搬送と、下流側の前記感光性ウエブ22の連続搬送との速度差を吸収するが、さらにテンション変動を防ぐために、揺動自在な2連のローラ60で構成されるダンサー61を備えることが好ましい。なお、ローラ60は、リザーブ量に応じて1連又は3連以上であってもよい。
The
保護フイルム剥離機構44は、リザーバ機構42の下流に配置されるとともに、サクションドラム62と、感光性ウエブ22を挟んでこのサクションドラム62に接する剥離ローラ64とを備える。剥離ローラ64を介して感光性ウエブ22から鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム30は、残存部分30bを除いて保護フイルム巻き取り軸66に巻き取られる。保護フイルム巻き取り軸66は、保護フイルム30に所定のテンションを付与するために、例えば、トルクモータ68に連結される。
The protective film peeling mechanism 44 is disposed downstream of the
保護フイルム剥離機構44の下流側には、感光性ウエブ22にテンションを付与可能なテンション制御機構76が配設される。テンション制御機構76は、シリンダ78を備え、このシリンダ78の駆動作用下に、テンションピックアップローラ80が揺動変位することにより、このテンションピックアップローラ80が摺接する感光性ウエブ22のテンションが調整可能である。なお、テンション制御機構76は、必要に応じて使用すればよく、削除することもできる。
A
検出機構47は、レーザセンサやフォトセンサ等の光電センサ82を備えており、前記光電センサ82は、ハーフカット部位34の楔状の溝形状部や、保護フイルム30の厚さによる段差、あるいは、これらの組み合わせによる変化を直接検出し、この検出信号を境界位置信号とする。光電センサ82は、バックアップローラ83に対向して配置される。なお、光電センサ82に代えて、非接触変位計やCCDカメラ等の画像検査手段等を用いてもよい。
The
検出機構47により検出されるハーフカット部位34の位置データは、リアルタイムで統計処理及びグラフ化が可能であり、ばらつき異常や偏りの発生時に警報を出すことができる。
The position data of the half-cut
また、ハーフカット部位34を直接検出するのではなく、このハーフカット部位34に対応してハーフカット機構36の近傍で孔部や切り欠きを形成したり、レーザ加工やアクアジェット加工による孔開けや切り込みを設けたり、インクジェットやプリンタ等によるマーキングを設けたりしてマーク部を形成し、このマーク部を検出して境界位置信号としてもよい。
Further, instead of directly detecting the half-
加熱機構45は、ガラス基板24を矢印C方向に搬送するための搬送機構84を備え、この搬送機構84は、矢印C方向に配列される複数の樹脂製円板状搬送ローラ86を有する。搬送機構84の矢印C方向上流側には、ガラス基板24を受け取る受け取り部88が設けられる。受け取り部88の下流側には、複数の加熱炉90が配列される。
The
加熱機構45では、ガラス基板24の温度を常時監視し、異常時には、搬送ローラ86の停止や警報を発生するとともに、異常情報を発信して異常なガラス基板24を後工程でNG排出、品質管理又は生産管理等に活用することができる。また、搬送機構84では、図示しないエア浮上プレートが配設され、ガラス基板24が浮上されて矢印C方向に搬送される構成を採用してもよい。
The
加熱機構45の上流には、複数のガラス基板24が収容される基板ストッカー100が設けられる。基板ストッカー100には、投入及び取り出し口以外の3方の側面に、除塵用ファンユニット(又はダクトユニット)102が付設される。ファンユニット102は、基板ストッカー100内に除電クリーンエアの吹き出しを行う。基板ストッカー100に収容されている各ガラス基板24は、ロボット104のハンド部104aに設けられた吸着パッド106に吸着されて取り出され、受け取り部88に搬入される。
A
貼り付け機構46は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるラミネート用ゴムローラ110a、110bを備える。ゴムローラ110a、110bには、バックアップローラ112a、112bが摺接するとともに、前記バックアップローラ112bは、ローラクランプ部114を介してゴムローラ110b側に押圧される。
The
ゴムローラ110aの近傍には、感光性ウエブ22が前記ゴムローラ110aに接触することを防止するための接触防止ローラ116が配設される。この接触防止ローラ116は、図示しないアクチュエータを介して移動可能である。
In the vicinity of the
貼り付け機構46と基板間ウエブ切断機構48との間には、フイルム搬送ローラ118aと基板搬送ローラ118bとが配設される。基板間ウエブ切断機構48の下流側には、複数のローラ119aが配列される搬送系119に沿って冷却機構120が配置されるとともに、この冷却機構120の下流側には、本発明に係る剥離装置122が配置される。
A
冷却機構120は、基板間ウエブ切断機構48を介して貼り付け基板24a間の感光性ウエブ22が切断された後、この貼り付け基板24aに冷風を供給して冷却処理を施す。具体的には、冷風温度が10℃で、風速が1.0〜2.0m/minに設定される。なお、冷却機構120を使用することがなく、後述する感光性積層体ストッカー156で自然冷却してもよい。
After the
剥離装置122は、ベースフイルム26をガラス基板24への貼り付け時の面状態を維持して保持するベース保持機構(支持層保持機構)124と、前記ガラス基板24を保持する基板保持機構126と、前記ガラス基板24を前記ベースフイルム26から相対的に離間させることにより、前記ベースフイルム26を前記ガラス基板24から剥離するための移動機構128とを備える。
The
ベース保持機構124は、昇降自在な吸着ボックス130を備えており、この吸着ボックス130の底部には、ガラス基板24に貼り付けられているベースフイルム26の略全面にわたって吸着する矩形状の吸着面130aが設けられる。この吸着面130aには、図示しないが多数の細孔からなる吸引孔が形成されており、前記吸引孔は、負圧発生源に連通してベースフイルム26を吸着保持可能に構成される。
The
基板保持機構126は、図4及び図5に示すように、略矩形状の吸着ボックス132を備え、この吸着ボックス132の上部には、多数の細孔からなる吸引孔134を設ける吸着面132aが、溝部135を介し矢印C方向に所定の幅寸法を有して分割形成される。吸引孔134は、吸引管137を介して図示しない負圧発生源に連通しており、ガラス基板24を吸着保持可能に構成される(図5参照)。なお、基板保持機構126は、吸着ボックス132による吸着保持方式の他、静電吸着方式や非接触エア浮上方式等を採用することができる。
As shown in FIGS. 4 and 5, the
吸着面132a間には、溝部135内で昇降可能な昇降ローラ136が配設される。各昇降ローラ136の両側に延在する軸138には、シリンダ140から上方に延在するロッド140aが連結される。昇降ローラ136は、シリンダ140の作用下に上昇位置に配置される際、搬送系119を構成するローラ119aと同一位置に配置される一方、下降時には、吸着面132a間の溝部135に収容されて、この吸着面132aより下方に配置される。
An elevating
昇降ローラ136は、ゴムローラ、金属ローラ又は樹脂ローラで構成され、矢印D方向に連続するローラ形状を有してもよく、あるいは、前記矢印D方向に所定間隔ずつ離間するリング状のローラ形状を有してもよい。
The elevating
移動機構128は、図4及び図5に示すように、吸着ボックス132の底部四隅に自在継手142を介して連結されるシリンダ144を備える。各シリンダ144から上方に延在するロッド144aは、自在継手142に接続される。なお、シリンダ144に代えて、リニアモータやラック・ピニオン、ボールねじ又はカム機構等、種々のアクチュエータが使用可能である。
As shown in FIGS. 4 and 5, the moving
図1に示すように、剥離装置122の近傍には、ガラス基板24から剥離されたベースフイルム26を把持して所定の排出トレイ(図示せず)等に排出するためのロボットハンド146が配設される。
As shown in FIG. 1, a
剥離装置122の下流には、複数の積層体基板150が収容される感光性積層体ストッカー156が設けられる。剥離装置122で貼り付け基板24aからベースフイルム26及び残存部分30bが剥離された積層体基板150は、ロボット152のハンド部152aに設けられた吸着パッド154に吸着されて取り出され、感光性積層体ストッカー156に収容される。
A
感光性積層体ストッカー156には、投入及び取り出し口以外の3方の側面に、除塵用ファンユニット(又はダクトユニット)102が付設される。ファンユニット102は、感光性積層体ストッカー156内に除電クリーンエアの吹き出しを行う。
The
製造装置20では、ウエブ送り出し機構32、ハーフカット機構36、ラベル接着機構40、リザーバ機構42、保護フイルム剥離機構44、テンション制御機構76及び検出機構47が、貼り付け機構46の上方に配置されているが、これとは逆に、前記ウエブ送り出し機構32から前記検出機構47を前記貼り付け機構46の下方に配置し、感光性ウエブ22の上下が逆になって感光性樹脂層29がガラス基板24の下側に貼り付けされてもよく、また、前記製造装置20全体を直線上に構成してもよい。
In the
製造装置20は、ラミネート工程制御部160を介して全体制御されており、この製造装置20の各機能部毎に、例えば、ラミネート制御部162、基板加熱制御部164及びベース剥離制御部166等が設けられ、これらが工程内ネットワークにより繋がっている。
The
ラミネート工程制御部160は、工場ネットワークに繋がっており、図示しない工場CPUからの指示情報(条件設定や生産情報)の生産管理や稼動管理等、生産のための情報処理を行う。
The laminating
ラミネート制御部162は、工程全体のマスターとして各機能部の制御を行うものであり、検出機構47により検出された感光性ウエブ22のハーフカット部位34の位置情報に基づいて、例えば、加熱機構45を制御する制御機構を構成している。
The
ベース剥離制御部166は、貼り付け機構46から供給される貼り付け基板24aからベースフイルム26を剥離し、さらに下流工程に積層体基板150を排出する動作の制御を行うとともに、前記貼り付け基板24a及び前記積層体基板150の情報をハンドリング制御する。
The base
製造装置20内は、仕切り壁170を介して第1クリーンルーム172aと第2クリーンルーム172bとに仕切られる。第1クリーンルーム172aには、ウエブ送り出し機構32からテンション制御機構76までが収容されるとともに、第2クリーンルーム172bには、検出機構47以降が収容される。第1クリーンルーム172aと第2クリーンルーム172bとは、貫通部174を介して連通する。
The inside of the
このように構成される製造装置20の動作について、第1の実施形態に係る剥離方法との関連で以下に説明する。
The operation of the
先ず、図1に示すように、ウエブ送り出し機構32に取り付けられている感光性ウエブロール22aから感光性ウエブ22が繰り出され、この感光性ウエブ22は、ハーフカット機構36に送られる。
First, as shown in FIG. 1, the
ハーフカット機構36では、スライド台52が感光性ウエブ22の幅方向(搬送方向に直交する方向)に移動する。このため、回転丸刃54は、感光性ウエブ22のハーフカット部位34に所望の深さまで切り込んだ状態で、移動しながら回転する。これにより、感光性ウエブ22には、保護フイルム30から所望の深さに切り込んだハーフカット部位34が形成される(図2参照)。
In the half-
ハーフカット処理された感光性ウエブ22は、図1に示すように、保護フイルム30の残存部分30bの寸法に対応して矢印A方向に搬送された後、一旦停止されて回転丸刃54の走行作用下に次なるハーフカット部位34が形成される。このため、感光性ウエブ22には、残存部分30bを挟んで前方の剥離部分30aaと後方の剥離部分30abとが設けられる(図2参照)。
As shown in FIG. 1, the half-cut
さらに、感光性ウエブ22は、ラベル接着機構40に搬送されて、保護フイルム30の所定の貼り付け部位が受台59上に配置される。ラベル接着機構40では、所定枚数の接着ラベル38が吸着パッド58a〜58eにより吸着保持され、各接着ラベル38が保護フイルム30の残存部分30bを跨いで、前方の剥離部分30aaと後方の剥離部分30abとに一体的に接着される(図3参照)。
Further, the
例えば、5本の接着ラベル38が接着された感光性ウエブ22は、図1に示すように、リザーバ機構42を介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、保護フイルム剥離機構44に連続的に搬送される。
For example, the
保護フイルム剥離機構44では、感光性ウエブ22がサクションドラム62と剥離ローラ64とに挟持されて、前記感光性ウエブ22のベースフイルム26が前記サクションドラム62に吸着保持されている。この状態で、サクションドラム62が回転されるとともに、保護フイルム30には、トルクモータ68を介して所定のトルクが付与されている。
In the protective film peeling mechanism 44, the
従って、保護フイルム30は、残存部分30bを残して感光性ウエブ22から剥離され、剥離ローラ64を介して保護フイルム巻き取り軸66に巻き取られる。なお、剥離部位には、除電エアを吹き付けることが好ましい。
Therefore, the
保護フイルム剥離機構44の作用下に、保護フイルム30が残存部分30bを残してベースフイルム26から剥離された後、感光性ウエブ22は、テンション制御機構76によってテンション調整が行われ、さらに検出機構47で光電センサ82によりハーフカット部位34の検出が行われる。
Under the action of the protective film peeling mechanism 44, after the
感光性ウエブ22は、ハーフカット部位34の検出情報に基づいて、運転開始時にはフイルム搬送ローラ118aの回転作用下に、その後は貼り付け基板24aを挟持する基板搬送ローラ118bの回転作用下に、貼り付け機構46に定量搬送される。その際、接触防止ローラ116が上方に待機するとともに、ゴムローラ110bが下方に配置されている。
Based on the detection information of the half-
一方、加熱機構45では、貼り付け機構46におけるラミネート温度に対応して各加熱炉90内の加熱温度が設定されている。そこで、ロボット104は、基板ストッカー100に収容されているガラス基板24を把持し、このガラス基板24を受け取り部88に搬入する。ガラス基板24は、搬送機構84を構成する搬送ローラ86の回転作用下に、受け取り部88から各加熱炉90に、順次、タクト搬送される。
On the other hand, in the
矢印C方向後段に配置されている加熱炉90では、ガラス基板24が所定の停止位置に正確に停止されるとともに、このガラス基板24は、感光性ウエブ22の感光性樹脂層29の貼り付け部分に対応してゴムローラ110a、110b間に一旦配置される(図6参照)。
In the
この状態で、ローラクランプ部114を介してバックアップローラ112b及びゴムローラ110bを上昇させることにより、ゴムローラ110a、110b間にガラス基板24が所定のプレス圧力で挟み込まれる。さらに、ゴムローラ110aの回転作用下に、このガラス基板24には、感光性樹脂層29が加熱溶融により転写(ラミネート)される。
In this state, by raising the
ここで、ラミネート条件としては、速度が1.0m/min〜10.0m/min、ゴムローラ110a、110bの温度が80℃〜140℃、前記ゴムローラ110a、110bのゴム硬度が40度〜90度、該ゴムローラ110a、110bのプレス圧(線圧)が50N/cm〜400N/cmである。
Here, as the lamination conditions, the speed is 1.0 m / min to 10.0 m / min, the temperature of the
図7に示すように、ゴムローラ110a、110bを介してガラス基板24に感光性ウエブ22の1枚分のラミネートが終了すると、前記ゴムローラ110aの回転が停止される。一方、ガラス基板24に感光性ウエブ22がラミネートされた貼り付け基板24aは、基板搬送ローラ118bによりクランプされる。そして、ゴムローラ110bは、ゴムローラ110aから離間する方向に退避してクランプが解除される。
As shown in FIG. 7, when the lamination of one
これにより、一枚分のラミネート処理が終了し、次なるラミネート処理が開始されるまでの時間の中で、加熱機構45を介して所定の温度に加熱されたガラス基板24が、ゴムローラ110a、110b間に搬送されて配置されるとともに、前記ゴムローラ110aに摺接する感光性ウエブ22の微動送りが行われる。
Thereby, the
図1に示すように、ガラス基板24に感光性ウエブ22が貼り付けられた貼り付け基板24aは、矢印C方向に定量搬送される。そして、各ガラス基板24間の感光性ウエブ22が、基板間ウエブ切断機構48を介して切断された貼り付け基板24aは、冷却機構120を通って冷却された後、剥離装置122に移送される。
As shown in FIG. 1, affixed
この剥離装置122では、図5に示すように、ベース保持機構124を構成する吸着ボックス130は、予め上昇して配置される一方、基板保持機構126を構成する各昇降ローラ136は、上昇位置に配置されて搬送系119を構成するローラ119aと同一高さ位置に配置されている。このため、搬送系119を介して矢印C方向に搬送される貼り付け基板24aは、各昇降ローラ136の案内作用下に、ベース保持機構124と基板保持機構126との間に搬送されて停止される。
In the
次いで、各シリンダ140の作用下に、昇降ローラ136が下降して前記昇降ローラ136が吸着面132aの下方に配置されるとともに、前記吸着面132aに形成されている吸引孔134から吸引が行われ、前記吸着面132a上にガラス基板24が吸着保持される。
Next, under the action of each
一方、ベース保持機構124では、吸着ボックス130が下降して矩形状の吸着面130aがベースフイルム26に接触した状態で、この吸着面130aに設けられている複数の吸引孔(図示せず)から吸引が行われ、前記吸着面130aに前記ベースフイルム26の略全面が吸着保持される(図8参照)。
On the other hand, in the
これにより、ベースフイルム26は、ガラス基板24に貼り付けられた際の面状態を維持して吸着ボックス130に吸着保持されるとともに、前記ガラス基板24は、吸着ボックス132に吸着保持される。この状態で、移動機構128を駆動制御することによって、ガラス基板24には、種々の異なる方向に剥離動作が付与可能である。
Thus, the
例えば、図9に示すように、4つのシリンダ144の中、矢印C方向先端側の2つのシリンダ144が下方向に駆動されると、前記シリンダ144が連結される吸着ボックス132の矢印C方向先端側が下方に傾動する。このため、吸着ボックス132に吸着保持されているガラス基板24には、矢印C方向先端側から剥離動作が付与され、このガラス基板24の矢印C方向先端がベースフイルム26から剥離を開始する。
For example, as shown in FIG. 9, when two
そして、ガラス基板24がベースフイルム26の面から所定の角度θ(例えば、10°)まで傾斜することにより、ガラス基板24とベースフイルム26とは、矢印C方向後端部のみが貼り付いている。従って、矢印C方向後端側の2つのシリンダ144が下方に駆動されることにより、吸着ボックス132の後端が下降して、ガラス基板24は、前記ベースフイルム26から完全に剥離される(図10参照)。
Then, when the
なお、第1の実施形態では、上記のように、矢印C方向先端側のシリンダ144を駆動して吸着ボックス132を所定の傾斜角度θ°だけ傾斜させた後、矢印C方向後端側のシリンダ144を駆動して、前記吸着ボックス132を水平方向に傾動させているが、これに限定されるものではない。例えば、吸着ボックス132の矢印C方向先端側を所定の傾斜角度θだけ傾斜させた後、全てのシリンダ144を駆動することにより、この傾斜角度θ°を維持したまま前記吸着ボックス132を下降させてもよい。
In the first embodiment, as described above, the
また、第1の実施形態では、ガラス基板24の矢印C方向先端側から剥離動作を開始しているが、この矢印C方向に直交する矢印D方向の一端側から前記ガラス基板24の剥離動作を開始してもよい。さらにまた、図11に示すように、ガラス基板24の1の角部を下方に傾動させることにより、この1の角部からベースフイルム26と前記ガラス基板24との剥離動作を開始してもよい。
Moreover, in 1st Embodiment, although peeling operation | movement is started from the arrow C direction front end side of the
上記のように、ガラス基板24がベースフイルム26から剥離された後、吸着ボックス130が上昇するとともに、このベースフイルム26は、ロボットハンド146に受け渡されて図示しない排出トレイ等に排出される。また、基板保持機構126では、シリンダ144が駆動されて吸着ボックス132が上昇した後、吸引孔134からの吸引が停止されてガラス基板24の吸着保持が解除される一方、シリンダ140の駆動作用下に、昇降ローラ136が上昇する。
As described above, after the
このため、ベースフイルム26及び残存部分30bが剥離された積層体基板150は、昇降ローラ136上に支持され、ロボット152のハンド部152aに保持されて感光性積層体ストッカー156に収容される。
Therefore, the
この場合、第1の実施形態では、可撓性を有するベースフイルム26がベース保持機構124を構成する吸着ボックス130の略矩形状の吸着面130aに吸着保持されるため、このベースフイルム26は、ガラス基板24への貼り付け時の面状態を維持して保持されている。
In this case, in the first embodiment, since the
従って、ベースフイルム26は、平面状に強固且つ確実に保持されており、ガラス基板24を吸着保持する吸着ボックス132が、移動機構128の作用下に前記ベースフイルム26から離間するだけで、前記ガラス基板24と前記ベースフイルム26との剥離動作が容易且つ確実に遂行されるという効果が得られる。
Accordingly, the
特に、薄膜状で剛性の低いベースフイルム26であっても、このベースフイルム26の略全面を強固に吸着保持することによって、前記ベースフイルム26に剥離時の破損等が惹起することがなく、良好な剥離処理が効率的に遂行される。
In particular, even if the
しかも、ベースフイルム26及びガラス基板24は、それぞれ吸着ボックス130、132に吸着保持された状態で、前記吸着ボックス132の移動作用下に剥離処理が遂行される。従って、ガラス基板24とベースフイルム26との剥離方向に制約がなく、種々の方向から確実な剥離処理が遂行されるという利点がある。
In addition, the
なお、第1の実施形態では、吸着ボックス132に移動機構128が設けられているが、吸着ボックス130側に前記移動機構128を設けて、ベースフイルム26をガラス基板24から剥離させるように構成してもよい。また、吸着ボックス130、132は、それぞれの吸着面130a、132aを弾性変形可能なゴム等の可撓体で構成することにより、特に、剥離時のガラス基板24の破損等が可及的に阻止されるという効果が得られる。
In the first embodiment, the moving
図12は、本発明の第2の実施形態に係る積層体の剥離装置が組み込まれる製造装置180の概略構成図である。
FIG. 12 is a schematic configuration diagram of a
製造装置180は、トラブル停止時のウエブ切断や不良品を排出するための分離等の作業以外には、通常、基板間ウエブ切断機構48を用いておらず、冷却機構120の下流に、プレ剥離部182と、ベース自動剥離装置184とが設けられる。
The
プレ剥離部182は、ニップローラ186a、186bと、剥離バー188とを備える。ニップローラ186a、186bは、ガラス基板24の搬送方向に進退可能であるとともに、上側のローラが昇降自在である。剥離バー188は、ガラス基板24間で昇降可能である。
The
ベース自動剥離装置184は、各ガラス基板24が所定間隔ずつ離間して接合されている長尺なベースフイルム26を連続して剥離するものであり、比較的小径な剥離ローラ190と、巻き取り軸192と、自動接合機194とを備えている。
The automatic
なお、剥離ローラ190又はその直前でフイルム面を30℃〜120℃程度まで再加熱することにより、剥離時の感光性樹脂層(色材層)29の剥がれが阻止されて、高品質なラミネート面を得ることができる。この場合の加熱方法は、剥離ローラ190を温水ローラ等の加熱ローラとして構成し、あるいは、バーヒータやIRヒータを付設してもよい。
The film surface is reheated to about 30 ° C. to 120 ° C. just before the peeling
ベース自動剥離装置184の下流には、ガラス基板24に実際に接合された感光性樹脂層29のエリア位置を測定する測定器196が配設される。この測定器196は、例えば、CCD等のカメラ198を備え、感光性樹脂層29が接合されたガラス基板24の四隅を撮影するために4台の前記カメラ198が配設される。また、四隅に代えて縦及び横方向に少なくとも2台ずつ配設してもよい。
A measuring
このように構成される第2の実施形態では、貼り付け機構46でラミネートされた貼り付け基板24aは、冷却機構120を通って冷却された後、プレ剥離部182に移送される。このプレ剥離部182では、ニップローラ186a、186bが隣接するガラス基板24の後端と先端とを挟持した状態で、前記ニップローラ186aが前記ガラス基板24と同速度で矢印C方向に移動する一方、前記ニップローラ186bの矢印C方向への移動速度が減速される。
In the second embodiment configured as described above, the pasted
従って、ニップローラ186a、186b間でガラス基板24間の感光性ウエブ22が撓み、剥離バー188が上昇することにより、保護フイルム30を隣接するガラス基板24の後端及び先端から剥離することができる。
Therefore, the
次いで、ベース自動剥離装置184では、上記の剥離装置122と同様に、ベース保持機構124及び基板保持機構126の作用下に、貼り付け基板24aからベースフイルム26が剥離されるとともに、巻き取り軸192の回転作用下に、前記ベースフイルム26が連続して巻き取られる。
Next, in the automatic
さらに、トラブル停止での切り離しや、不良品分離時の切断の後、新たにラミネート処理が開始された貼り付け基板24aのベースフイルム26の先端と、巻き取り軸192に巻き取られているベースフイルム26の後端とは、自動接合機194を介して自動的に接合される。
Further, after separation when trouble stops or separation when defective products are separated, the
ベースフイルム26が剥離されたガラス基板24は、測定器196に対応する検査ステーションに配置される。この検査ステーションでは、ガラス基板24が位置決め固定された状態で、4台のカメラ198によりガラス基板24と感光性樹脂層29の画像を取り込む。そして、画像処理が施されることにより、貼り付け位置が演算される。
The
このように、第2の実施形態では、ラミネート後に貼り付け基板24a間の感光性ウエブ22を切断することがなく、巻き取り軸192の回転作用下に、前記貼り付け基板24aからベースフイルム26を連続して巻き取ることができる。さらに、剥離したベースフイルム26の処理作業も容易である。
Thus, in the second embodiment, the
これにより、第2の実施形態では、積層体基板150の製造作業全体が自動的且つ効率的に遂行されるとともに、構成が一層簡素化するという効果が得られる。
Thereby, in 2nd Embodiment, the whole manufacturing operation of the laminated body board |
図13は、本発明の第3の実施形態に係るベース自動剥離装置200の概略構成説明図であり、図14は、前記ベース自動剥離装置200の概略斜視説明図である。なお、第2の実施形態に係るベース自動剥離装置184と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。
FIG. 13 is a schematic configuration explanatory view of a base
ベース自動剥離装置200は、ベースフイルム26を保持するベース保持機構124と、ガラス基板24を保持する基板保持機構202と、移動機構204とを備える。ベース保持機構124を構成する吸着ボックス130は、昇降自在で且つ感光性ウエブ22に同期して矢印C方向に進退可能である。
The automatic
基板保持機構202は、図13及び図14に示すように、複数の吸着盤206を備える。吸着盤206は、感光性ウエブ22の搬送方向(矢印C方向)及び矢印D方向にそれぞれ所定の数だけ配設される一方、前記矢印C方向に対しては、搬送コンベアを構成する昇降ローラ208間(中間位置)に配置される。各吸着盤206は、移動機構204を構成するアクチュエータ、例えば、シリンダ210に連結されて昇降自在であるとともに、基板保持機構202全体は、感光性ウエブ22に同期して矢印C方向に進退可能である。
As shown in FIGS. 13 and 14, the
昇降ローラ208は、矢印D方向に所定間隔ずつ離間するリング状のローラ形状を有するとともに、図示しないアクチュエータに連結された昇降板212を介して一体的に昇降可能である。
The elevating
このように構成される第3の実施形態では、ベース保持機構124を構成する吸着ボックス130が下降して前記吸着ボックス130の吸着面130aにベースフイルム26の略全面が吸着保持される。上記の吸着面130aによる吸着動作と略同時に、基板保持機構202を構成する各吸着盤206は、シリンダ210の駆動作用下に上昇してガラス基板24を吸着保持する。
In the third embodiment configured as described above, the
次いで、搬送コンベアを構成する各昇降ローラ208は、昇降板212を介して一体的に下降すると同時に、基板保持機構202を構成する所定の吸着盤206aが下降する(図15参照)。吸着盤206aは、例えば、ガラス基板24の1の角部に対応して配置されている。このため、吸着盤206aが下降することにより、ガラス基板24の1の角部から剥離動作が付与され、この1の角部がベースフイルム26から剥離を開始する。
Next, each lifting
その際、ベース自動剥離装置200によるガラス基板24の剥離開始前に、プレ剥離部182(図12参照)を介して前記ガラス基板24の1の角部あるいは角部近傍のベースフイルム26を押し下げ又は押し上げて、前記ガラス基板24と前記ベースフイルム26の一部を予め剥離しておくことが好ましい。また、ガラス基板24からベースフイルム26を剥離する際には、除電風を吹き付けることが好ましい。
At that time, before starting the peeling of the
そこで、図16に示すように、吸着盤206aが配置されている矢印D方向の一端側に配列されている複数の吸着盤206が下降する。このため、ガラス基板24は、吸着盤206aによってベースフイルム26から剥離された1の角部を含む1の側端部が、前記ベースフイルム26からの剥離を開始する。
Therefore, as shown in FIG. 16, the plurality of
さらに、各吸着盤206が選択的に駆動制御されることにより、ガラス基板24は、最初に剥離された1の側端部から斜め下方向に傾斜してベースフイルム26から剥離される。そして、ガラス基板24がベースフイルム26に対して所定の角度θ°だけ傾斜する位置に至る際、前記ガラス基板24は、前記ベースフイルム26から剥離される(図17参照)。
Further, by selectively driving and controlling each
なお、図15〜図17に示す剥離動作時には、ベースフイルム26は、矢印C方向に微速送りが行われている場合がある。その際には、吸着ボックス130及び基板保持機構202は、ベースフイルム26に同期して矢印C方向に微速送りが行われる。
In the peeling operation shown in FIGS. 15 to 17, the
また、第3の実施形態では、ガラス基板24は、矢印D方向一端側の1の側端部側から剥離動作が行われているが、これに限定されるものではない。例えば、吸着盤206aが最初に下降された後、この吸着盤206aの対角位置に配置される吸着盤206に向かって、順次、剥離動作を行うことにより、前記ガラス基板24を対角方向に向かって下方向に傾斜動作を付与してもよい。
Moreover, in 3rd Embodiment, although the peeling operation | movement is performed from the 1 side edge part side of the arrow direction D, the
上記のように、ガラス基板24がベースフイルム26から剥離されると、このガラス基板24は、各吸着盤206による吸着保持が解除されるとともに、搬送コンベアを構成する昇降ローラ208を介して、あるいは、図示しない押し上げ機構を介して上昇する。このため、ガラス基板24は、搬送系119を構成するローラ119aよりも少し高さの低い排出側のローラ(図示せず)に合わせて配置された後、矢印C方向又は矢印D方向に高速で搬出される。
As described above, when the
このように、第3の実施形態では、基板保持機構202は、矢印C方向及び矢印D方向に複数ずつ配置される多数の吸着盤206を備えるとともに、各吸着盤206は、移動機構204を介して個別に進退可能である。このため、吸着盤206を選択的に昇降駆動させるだけで、ガラス基板24は、ベースフイルム26に対して搬送方向(ラミネート方向)に直交する方向から平行する方向まで、種々の角度位置から剥離動作を付与することができる。
As described above, in the third embodiment, the
これにより、ガラス基板24をベースフイルム26から容易且つ確実に剥離することができ、剥離作業全体の効率化が図られる等、上記の第1及び第2の実施形態と同様の効果が得られる。
As a result, the
しかも、ガラス基板24の剥離開始時には、例えば、1つの吸着盤206aのみを、先ず、下降動作させる。このため、ガラス基板24は、1の角部から該ガラス基板24が割れない程度に屈曲しながらベースフイルム26から剥離することができ、剥離処理が一層確実に遂行されるという利点がある。
Moreover, at the start of peeling of the
なお、第1〜第3の実施形態では、単一の長尺状感光性ウエブ22の感光性樹脂層29をガラス基板24に熱転写する製造装置20について説明したが、これに限定されるものではない。図示しないが、例えば、2つ以上の長尺状感光性ウエブの各感光性樹脂層を並列して同一のガラス基板に熱転写する製造装置であっても、同様である。
In the first to third embodiments, the
20、180…製造装置 22…感光性ウエブ
22a…感光性ウエブロール 24…ガラス基板
26…ベースフイルム 27…クッション層
29…感光性樹脂層 30…保護フイルム
32…ウエブ送り出し機構 34…ハーフカット部位
36…ハーフカット機構 40…ラベル接着機構
42…リザーバ機構 44…保護フイルム剥離機構
45…加熱機構 46…貼り付け機構
47…検出機構 48…基板間ウエブ切断機構
54…回転丸刃 62…サクションドラム
64、190…剥離ローラ 66…保護フイルム巻き取り軸
78、140、144、210…シリンダ
76…テンション制御機構 84…搬送機構
110a、110b…ゴムローラ 116…接触防止ローラ
118b…基板搬送ローラ 120…冷却機構
122…剥離装置 124…ベース保持機構
126、202…基板保持機構 128、204…移動機構
130、132…吸着ボックス 130a、132a…吸着面
136、208…昇降ローラ 160…ラミネート工程制御部
162…ラミネート制御部 164…基板加熱制御部
166…ベース剥離制御部 182…プレ剥離部
184、200…ベース自動剥離装置 188…剥離バー
206、206a…吸着盤
DESCRIPTION OF
Claims (9)
前記支持層を、前記基板への貼り付け時の面状態を維持して保持する工程と、
前記基板を保持するとともに、前記基板と面状態が維持されている前記支持層とを相対的に離間させることにより、前記支持層を前記基板から剥離する工程と、
を有することを特徴とする積層体の剥離方法。 A laminate peeling method in which a laminate in which a support layer and at least one resin layer are laminated is bonded to the substrate such that the resin layer side faces the substrate, and then the support layer is peeled from the resin layer. Because
Maintaining the support layer while maintaining the surface state when affixed to the substrate;
Holding the substrate and separating the support layer from the substrate by relatively separating the substrate and the support layer whose surface state is maintained;
A method for peeling a laminate, characterized by comprising:
前記積層体には、前記基板が所定の間隔ずつ離間して接合されるとともに、
前記支持層は、各基板から連続的に剥離されることを特徴とする積層体の剥離方法。 The peeling method according to claim 1, wherein the laminate is a multilayer web.
The substrate is bonded to the laminate at a predetermined interval, and
The method for peeling a laminate, wherein the support layer is continuously peeled from each substrate.
前記積層体には、前記基板が所定の間隔ずつ離間して接合されるとともに、
前記積層体が前記基板間に対応して切断された後、前記支持層が各基板から剥離されることを特徴とする積層体の剥離方法。 The peeling method according to claim 1, wherein the laminate is a multilayer web.
The substrate is bonded to the laminate at a predetermined interval, and
After the laminated body is cut correspondingly between the substrates, the support layer is peeled from each substrate.
前記支持層を、前記基板への貼り付け時の面状態を維持して保持する支持層保持機構と、
前記基板を保持する基板保持機構と、
前記基板と前記支持層とを相対的に離間させることにより、前記支持層を前記基板から剥離する移動機構と、
を備えることを特徴とする積層体の剥離装置。 A laminate peeling device for peeling a support layer from the resin layer after adhering the laminate in which the support layer and at least one resin layer are laminated to the substrate with the resin layer side facing the substrate Because
A support layer holding mechanism that holds the support layer while maintaining the surface state at the time of attachment to the substrate;
A substrate holding mechanism for holding the substrate;
A moving mechanism for separating the support layer from the substrate by relatively separating the substrate and the support layer;
The peeling apparatus of the laminated body characterized by comprising.
前記移動機構は、前記吸着ボックスを傾斜させることにより、前記支持層を前記基板から剥離するアクチュエータを備えることを特徴とする積層体の剥離装置。 The peeling apparatus according to claim 7, wherein the substrate holding mechanism includes a suction box that sucks the substrate,
The said peeling mechanism is equipped with the actuator which peels the said support layer from the said board | substrate by inclining the said adsorption | suction box, The peeling apparatus of the laminated body characterized by the above-mentioned.
前記移動機構は、前記複数の吸着盤を個別に進退させることにより、前記支持層を前記基板から剥離するアクチュエータを備えることを特徴とする積層体の剥離装置。 The peeling apparatus according to claim 7, wherein the substrate holding mechanism includes a plurality of suction disks that suck the substrate.
The said peeling mechanism is equipped with the actuator which peels the said support layer from the said board | substrate by advancing and retreating these adsorption | suction board separately, The peeling apparatus of the laminated body characterized by the above-mentioned.
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2010058869A (en) * | 2008-09-01 | 2010-03-18 | Fujifilm Corp | Film separation device and method |
JP2012240808A (en) * | 2011-05-20 | 2012-12-10 | Lintec Corp | Separation device and separation method |
JP2014103230A (en) * | 2012-11-20 | 2014-06-05 | Toray Eng Co Ltd | Levitation transfer thermal treatment device |
-
2005
- 2005-11-28 JP JP2005342099A patent/JP2007145497A/en active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010058869A (en) * | 2008-09-01 | 2010-03-18 | Fujifilm Corp | Film separation device and method |
JP2012240808A (en) * | 2011-05-20 | 2012-12-10 | Lintec Corp | Separation device and separation method |
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