JP2007084200A - Separating device and separating method for laminated body - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、少なくとも第1及び第2層体が積層された積層体から、前記第2層体を少なくとも部分的に剥離する積層体の剥離装置及び剥離方法に関する。 The present invention relates to a laminate peeling apparatus and a peeling method for peeling at least partially the second layer body from a laminate in which at least a first layer body and a second layer body are laminated.
例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、PDPパネル用基板では、感光材料(感光性樹脂)層を有する感光性シート体(積層体)を基板表面に貼り付けて構成されている。感光性シート体は、可撓性プラスチック支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層されている。 For example, a liquid crystal panel substrate, a printed wiring substrate, and a PDP panel substrate are configured by attaching a photosensitive sheet (laminated body) having a photosensitive material (photosensitive resin) layer to the substrate surface. In the photosensitive sheet body, a photosensitive material layer and a protective film are sequentially laminated on a flexible plastic support.
そこで、この種の感光性シート体の貼り付けに使用される貼り付け装置は、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させて搬送するとともに、前記基板に貼り付けられる感光材料層の範囲に対応して、前記感光性シート体から保護フイルムを剥離する方式が採用されている。 In view of this, a pasting apparatus used for pasting this type of photosensitive sheet body usually transports substrates such as a glass substrate and a resin substrate spaced apart from each other by a predetermined interval, and also a photosensitive unit pasted on the substrate. In accordance with the range of the material layer, a method of peeling the protective film from the photosensitive sheet body is adopted.
例えば、特許文献1に開示されているフイルム張付方法及び装置では、図7に示すように、フイルムロール1から繰り出される積層体フイルム1aは、ガイドロール2a、2bに巻き付けられて水平のフイルム搬送面に沿って延在されている。このガイドロール2bには、積層体フイルム1aの送り量に応じた数のパルス信号を出力するロータリエンコーダ3が取り付けられている。
For example, in the film sticking method and apparatus disclosed in Patent Document 1, as shown in FIG. 7, the laminated
水平のフイルム搬送面に沿って延在する積層体フイルム1aは、サクションロール4に巻き掛けられるとともに、前記ガイドロール2bと前記サクションロール4との間には、ハーフカッタ5とカバーフイルム剥離装置6とが設けられている。
A
ハーフカッタ5は、一対のディスクカッタ5a、5bを備えている。ディスクカッタ5a、5bは、積層体フイルム1aのフイルム幅方向に沿って移動することにより、前記積層体フイルム1aのカバーフイルム(図示せず)をその裏側の感光性樹脂層(図示せず)と一体に切断する。
The
カバーフイルム剥離装置6は、粘着テープロール7から繰り出される粘着テープ7aを押圧ロール8a、8b間でカバーフイルムに強く圧着させた後、巻き取りロール9によって巻き取る。これにより、カバーフイルムは、感光性樹脂層から剥離されて粘着テープ7aと共に巻き取りロール9に巻き取られる。
The cover film peeling apparatus 6 winds the adhesive tape 7 a fed out from the
サクションロール4の下流には、基板搬送装置10によって、順次、間欠的に搬送される複数の基板11の上面に、積層体フイルム1aを重ねて圧着するラミネーションロール12a、12bが配設されている。このラミネーションロール12a、12bの下流側には、支持フイルム巻き取りロール13が配置されている。基板11に貼り付けられている透光性支持フイルム(図示せず)は、支持フイルム巻き取りロール13に巻き取られる。
Downstream of the suction roll 4,
この場合、特許文献1では、ハーフカッタ5が積層体フイルム1aの切断を開始したタイミングで、ロータリエンンコーダ3から発生されるパルスの計数が開始される。そして、ロータリエンコーダ3の発生するパルスの計数値が、積層体フイルム1aの切断線の特定点に至る数値になると、そのタイミングで基板搬送装置10が駆動される。従って、基板11は、積層体フイルム1aと同期してラミネーションロール12a、12b間に送り込まれる。これにより、積層体フイルム1aと基板11との貼り付け位置合わせがなされる、としている。
In this case, in Patent Document 1, counting of pulses generated from the
ところで、上記のカバーフイルム剥離装置6では、粘着テープ7aが押圧ロール8a、8b間でカバーフイルムに圧着された後、巻き取りロール9によって巻き取られている。
By the way, in said cover film peeling apparatus 6, after the adhesive tape 7a is crimped | bonded to the cover film between the
その際、積層体フイルム1aは、ローラ対である押圧ロール8b上でカバーフイルムが感光性樹脂層から剥離されるため、この積層体フイルム1aにテンション変動が惹起し易い。これにより、積層体フイルム1aが蛇行したり、前記積層体フイルム1aに皺等が発生したり、感光性樹脂層が剥離したりするという問題がある。
At that time, since the cover film is peeled off from the photosensitive resin layer on the
本発明はこの種の問題を解決するものであり、簡単な構成及び工程で、積層体にテンション変動が発生することがなく、第2層体を前記積層体から良好に剥離させることが可能な積層体の剥離装置及び剥離方法を提供することを目的とする。 The present invention solves this type of problem, and with a simple configuration and process, there is no fluctuation in tension in the laminate, and the second layer can be satisfactorily peeled from the laminate. It aims at providing the peeling apparatus and peeling method of a laminated body.
本発明は、少なくとも第1及び第2層体が積層された積層体から、前記第2層体を少なくとも部分的に剥離する積層体の剥離装置及び剥離方法である。剥離装置は、サクションローラと剥離ローラとを備えている。 The present invention is a laminate peeling apparatus and a peeling method for peeling at least partially the second layer body from a laminate in which at least a first layer body and a second layer body are laminated. The peeling device includes a suction roller and a peeling roller.
そこで、サクションローラと剥離ローラとで積層体を挟持した状態で、前記サクションローラにより前記積層体を第1層体側から吸着して搬送するとともに、前記剥離ローラの外周面に第2層体を巻き付けて該第2層体に所定のテンションを付与することにより、前記第2層体を前記積層体から少なくとも部分的に剥離させている。 Therefore, while the laminated body is sandwiched between the suction roller and the peeling roller, the laminated body is sucked and conveyed from the first layer body side by the suction roller, and the second layer body is wound around the outer peripheral surface of the peeling roller. Thus, by applying a predetermined tension to the second layer body, the second layer body is at least partially separated from the laminated body.
また、剥離ローラは、導電性ゴムローラで構成されるとともに、ゴム硬度が20度〜90度の範囲内に設定されることが好ましい。さらに、剥離ローラは、サクションローラの外周面に保持された積層体に対して50N/cm以下の線圧で押し付けられることが好ましい。 The peeling roller is preferably composed of a conductive rubber roller, and the rubber hardness is preferably set in the range of 20 degrees to 90 degrees. Furthermore, the peeling roller is preferably pressed against the laminated body held on the outer peripheral surface of the suction roller with a linear pressure of 50 N / cm or less.
さらにまた、積層体は、少なくとも支持体上に第1層体である感光材料層と、第2層体である保護フイルムとが積層された長尺状感光性ウエブであることが好ましい。 Furthermore, the laminate is preferably a long photosensitive web in which a photosensitive material layer as a first layer and a protective film as a second layer are laminated on at least a support.
本発明では、積層体が第1層体側からサクションローラに吸着保持されているため、第2層体が剥離される際に前記積層体にテンション変動が発生することを確実に阻止することができる。これにより、積層体に蛇行や不要な剥がれ等が惹起することがなく、簡単な構成及び工程で、第2層体を積層体から良好に剥離させることが可能になる。 In the present invention, since the laminated body is sucked and held by the suction roller from the first layer body side, it is possible to reliably prevent the tension fluctuation from occurring in the laminated body when the second layer body is peeled off. . Thereby, meandering or unnecessary peeling or the like does not occur in the laminated body, and the second layer body can be satisfactorily peeled from the laminated body with a simple configuration and process.
しかも、サクションローラと剥離ローラとは、積層体を挟んで互いに直線上に接している。従って、第2層体を積層体から容易且つ確実に剥離することができる。 In addition, the suction roller and the peeling roller are in contact with each other on a straight line with the laminated body interposed therebetween. Therefore, the second layer body can be easily and reliably peeled from the laminated body.
図1は、本発明の実施形態に係る積層体の剥離装置を組み込む積層体基板の製造装置20の概略構成図である。この製造装置20は、液晶又は有機EL用カラーフィルタ等の製作工程で、長尺状感光性ウエブ(感光性積層体フイルム)22の感光性樹脂層29(後述する)をガラス基板24に熱転写する作業を行う。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a laminate
図2は、製造装置20に使用される感光性ウエブ22の断面図である。この感光性ウエブ22は、可撓性ベースフイルム(支持層)26、クッション層(熱可塑性樹脂層)27、中間層(酸素遮断膜)28、感光性樹脂層(第1層体)29及び保護フイルム(第2層体)30を積層して構成される。なお、感光性ウエブ22は、ベースフイルム26、感光性樹脂層29及び保護フイルム30により構成されていてもよい。
FIG. 2 is a cross-sectional view of the
ベースフイルム26は、ポリエチレンテレフタレート(PET)で形成され、クッション層27は、エチレンと酸化ビニル共重合体で形成され、中間層28は、ポリビニルアルコールで形成され、感光性樹脂層29は、アルカリ可溶性バインダとモノマーと光重合開始材と着色剤を含む着色感光性樹脂組成物で形成され、保護フイルム30は、ポリエチレンあるいはポリプロピレン等で形成される。
The
図1に示すように、製造装置20は、感光性ウエブ22をロール状に巻回した感光性ウエブロール22aを収容し、この感光性ウエブロール22aから前記感光性ウエブ22を送り出すウエブ送り出し機構32と、送り出された前記感光性ウエブ22の保護フイルム30に、幅方向に切断可能なハーフカット部位34を形成するハーフカット機構36と、一部に非接着部38aを有する接着ラベル38(図3参照)を保護フイルム30に接着させるラベル接着機構40とを備える。なお、ハーフカット機構36は、矢印A方向に所定の間隔だけ離間して2セット配設され、同時に2個所のハーフカット部位34を形成してもよい。
As shown in FIG. 1, the
ラベル接着機構40の下流には、感光性ウエブ22をタクト送りから連続送りに変更するためのリザーバ機構42と、前記感光性ウエブ22から保護フイルム30を所定の長さ間隔で剥離させる本実施形態に係る剥離装置44と、ガラス基板24を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に搬送する加熱機構45と、前記保護フイルム30の剥離により露出した感光性樹脂層29を前記ガラス基板24に貼り付ける貼り付け機構46とが配設される。なお、貼り付け機構46によりガラス基板24に感光性ウエブ22が貼り付けられた被処理物を、以下、単に基板24aという。
Downstream of the label adhering mechanism 40, a reservoir mechanism 42 for changing the
貼り付け機構46における貼り付け位置の上流近傍には、感光性ウエブ22の境界位置であるハーフカット部位34を直接検出する検出機構47が配設されるとともに、前記貼り付け機構46の下流には、各ガラス基板24間の前記感光性ウエブ22を切断する基板間ウエブ切断機構48が配設される。この基板間ウエブ切断機構48の上流には、運転開始時及び運転終了時に使用されるウエブ切断機構48aが設けられる。
A
ウエブ送り出し機構32の下流近傍には、略使用済みの感光性ウエブ22の後端と、新たに使用される感光性ウエブ22の先端とを接合させる接合台49が配設される。この接合台49の下流には、感光性ウエブロール22aの巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端位置検出器51が配設される。
In the vicinity of the downstream side of the
ハーフカット機構36は、ウエブ送り出し機構32に収容巻回されている感光性ウエブロール22aのロール径を算出するためのローラ対50の下流に配置される。ハーフカット機構36は、感光性ウエブ22の搬送方向(矢印A方向)に直交する方向に進退自在なスライド台52を備える。このスライド台52には、回転丸刃(カッタ)54が固着されるとともに、前記回転丸刃54に対向する位置には、感光性ウエブ22を挟んでカット受台56が配設される。
The half-cut mechanism 36 is disposed downstream of the roller pair 50 for calculating the roll diameter of the
図2に示すように、ハーフカット部位34は、少なくとも保護フイルム30を切断する必要があり、実際上、この保護フイルム30を確実に切断するために感光性樹脂層29乃至中間層28まで切り込むように、回転丸刃54の切り込み深さが設定される。ハーフカット部位34は、回転丸刃54に代替して、例えば、固定丸刃や超音波を用いたカット方式の他、ナイフ刃、後述する帯状押し切り刃(トムソン刃)等で形成する方式を採用してもよい。なお、押し切り刃は、垂直方向の押し切り構成の他、斜め方向の押し切り構成を含む。
As shown in FIG. 2, the half-
ハーフカット部位34は、ガラス基板24の間隔を設定するものであり、例えば、両側の前記ガラス基板24にそれぞれ10mmずつ入り込んだ位置に設定される。ガラス基板24間のハーフカット部位34で挟まれた部分は、後述する貼り付け機構46において感光性樹脂層29を前記ガラス基板24に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。
The half-
ラベル接着機構40は、ガラス基板24間に対応して保護フイルム30の残存部分30bを残すため、剥離側前方の剥離部分30aaと剥離側後方の剥離部分30abとを連結する接着ラベル38を供給する。図2に示すように、保護フイルム30は、残存部分30bを挟んで、先に剥離される部分を前方の剥離部分30aaとする一方、後に剥離される部分を後方の剥離部分30abとする。
The label bonding mechanism 40 supplies an
図3に示すように、接着ラベル38は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム30と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル38は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部(微粘着を含む)38aを有するとともに、この非接着部38aの両側、すなわち、前記接着ラベル38の長手方向両端部に、前方の剥離部分30aaに接着される第1接着部38bと、後方の剥離部分30abに接着される第2接着部38cとを有する。
As shown in FIG. 3, the
図1に示すように、ラベル接着機構40は、最大5枚の接着ラベル38を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド58a〜58eを備えるとともに、前記吸着パッド58a〜58eによる前記接着ラベル38の貼り付け位置には、感光性ウエブ22を下方から保持するための受台59が昇降自在に配置される。
As shown in FIG. 1, the label adhering mechanism 40 includes adsorbing
リザーバ機構42は、上流側の感光性ウエブ22のタクト搬送と、下流側の前記感光性ウエブ22の連続搬送との速度差を吸収するが、さらにテンション変動を防ぐために、揺動自在な2連のローラ60で構成されるダンサー61を備えることが好ましい。なお、ローラ60は、リザーブ量に応じて1連又は3連以上であってもよい。
The reservoir mechanism 42 absorbs the difference in speed between the tact conveyance of the upstream
図1及び図4に示すように、剥離装置44は、リザーバ機構42の下流に配置されるとともに、サクションドラム(サクションローラ)62と、感光性ウエブ22を挟んでこのサクションドラム62の外周面と直線上に接する剥離ローラ64とを備える。剥離ローラ64を介して感光性ウエブ22から鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム30は、残存部分30bを除いて保護フイルム巻き取り軸66に巻き取られる。サクションドラム62と剥離ローラ64とのロール間隔hは、感光性ウエブ22の厚さtと略同一寸法に設定され、これらの間に隙間が発生しないように構成される。
As shown in FIGS. 1 and 4, the peeling
図5に示すように、サクションドラム62は、固定筒体68と可動筒体70とを有し、前記固定筒体68には、所定の角度範囲にわたって開口部72が形成される。この固定筒体68内は、図示しない負圧発生器に連通して吸引される。可動筒体70は、外周面に多数の小孔74が貫通形成され、固定筒体68の開口部72が配置される領域内で感光性ウエブ22を吸着することができる。
As shown in FIG. 5, the
図1に示すように、保護フイルム巻き取り軸66は、保護フイルム30に所定のテンションを付与するためにトルクモータ75に連結される。なお、トルクモータ75に代えて、例えば、サーボモータによるトルク制御を行ったり、保護フイルム巻き取り軸66の巻き取り速度をサクションドラム62の回転速度と同期して制御したり、パウダーブレーキを組み合わせたり、あるいは、スリップトルクシャフト等のトルク制御を行ったりしてもよい。
As shown in FIG. 1, the protective film take-up shaft 66 is connected to a torque motor 75 in order to apply a predetermined tension to the
サクションドラム62は、例えば、直径が150mmに設定される一方、剥離ローラ64は、直径が30mm〜150mmの範囲内に設定される。剥離ローラ64は、導電性ゴムローラ、例えば、シリコーンローラで構成されるとともに、ゴム厚が5mmで且つゴム硬度が20度〜90度の範囲内に設定される。この剥離ローラ64は、図示しないシリンダや電動アクチュエータを介しサクションドラム62の外周面に保持された感光性ウエブ22に対して50N/cm以下の線圧で押し付けられる。
For example, the
剥離装置44の下流側には、感光性ウエブ22にテンションを付与可能なテンション制御機構76が配設される。テンション制御機構76は、シリンダ78を備え、このシリンダ78の駆動作用下に、テンションダンサー80が揺動変位することにより、このテンションダンサー80が摺接する感光性ウエブ22のテンションが調整可能である。なお、テンション制御機構76は、必要に応じて使用すればよく、削除することもできる。
A
検出機構47は、レーザセンサやフォトセンサ等の光電センサ82を備えており、前記光電センサ82は、ハーフカット部位34の楔状の溝形状部や、保護フイルム30の厚さによる段差、あるいは、これらの組み合わせによる変化を直接検出し、この検出信号を境界位置信号とする。光電センサ82は、バックアップローラ83に対向して配置される。なお、光電センサ82に代えて、非接触変位計やCCDカメラ等の画像検査手段等を用いてもよい。
The
検出機構47により検出されるハーフカット部位34の位置データは、リアルタイムで統計処理及びグラフ化が可能であり、ばらつき異常や偏りの発生時に警報を出すことができる。
The position data of the half-cut
また、ハーフカット部位34を直接検出するのではなく、このハーフカット部位34に対応してハーフカット機構36の近傍で孔部や切り欠きを形成したり、レーザ加工やアクアジェット加工による孔開けや切り込みを設けたり、インクジェットやプリンタ等によるマーキングを設けたりしてマーク部を形成し、このマーク部を検出して境界位置信号としてもよい。
Further, instead of directly detecting the half-
加熱機構45は、ガラス基板24を矢印C方向に搬送するための搬送機構84を備え、この搬送機構84は、矢印C方向に配列される複数の樹脂製円板状搬送ローラ86を有する。搬送機構84の矢印C方向上流側には、ガラス基板24を受け取る受け取り部88が設けられる。受け取り部88の下流側には、複数の加熱炉90が配列される。
The
加熱機構45では、ガラス基板24の温度を常時監視し、異常時には、搬送ローラ86の停止や警報を発生するとともに、異常情報を発信して異常なガラス基板24を後工程でNG排出、品質管理又は生産管理等に活用することができる。また、搬送機構84では、図示しないエア浮上プレートが配設され、ガラス基板24が浮上されて矢印C方向に搬送される構成を採用してもよい。
The
加熱機構45の上流には、複数のガラス基板24が収容される基板ストッカー100が設けられる。基板ストッカー100には、投入及び取り出し口以外の3方の側面に、除塵用ファンユニット(又はダクトユニット)102が付設される。ファンユニット102は、基板ストッカー100内に除電クリーンエアの吹き出しを行う。基板ストッカー100に収容されている各ガラス基板24は、ロボット104のハンド部104aに設けられた吸着パッド106に吸着されて取り出され、受け取り部88に搬入される。
A
貼り付け機構46は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるラミネート用ゴムローラ110a、110bを備える。ゴムローラ110a、110bには、バックアップローラ112a、112bが摺接するとともに、前記バックアップローラ112bは、ローラクランプ部114を介してゴムローラ110b側に押圧される。
The affixing mechanism 46 is provided with
ゴムローラ110aの近傍には、感光性ウエブ22が前記ゴムローラ110aに接触することを防止するための接触防止ローラ116が移動可能に配設される。貼り付け機構46の上流近傍には、感光性ウエブ22を予め所定温度に予備加熱するための予備加熱部117が配設される。この予備加熱部117は、例えば、赤外線バーヒータ等の加熱手段を備える。
In the vicinity of the rubber roller 110a, a
貼り付け機構46と基板間ウエブ切断機構48との間には、フイルム搬送ローラ118aと基板搬送ローラ118bとが配設される。基板間ウエブ切断機構48の下流側には、冷却機構120が配置されるとともに、この冷却機構120の下流側には、ベース剥離機構122が配置される。冷却機構120は、基板間ウエブ切断機構48を介して基板24a間の感光性ウエブ22が切断された後、この基板24aに冷風を供給して冷却処理を施す。具体的には、冷風温度が10℃で、風量が1.0〜2.0m/minに設定される。なお、冷却機構120を使用することがなく、後述する感光性積層体ストッカー136で自然冷却してもよい。
A
冷却機構120の下流に配置されるベース剥離機構122は、基板24aを下方から吸着する複数の吸着パッド124を備え、この吸着パッド124に前記基板24aが吸着保持された状態で、ロボットハンド126を介してベースフイルム26及び残存部分30bを剥離する。吸着パッド124の上流、下流及び両側方には、基板24aのラミネート部分全体に4方向の側面から除電クリーンエアを噴射する除電ブロー(図示せず)が配設されている。なお、剥離は、除塵のためテーブルを垂直にして、あるいは傾斜させて、又は裏返にして行ってもよい。
The
ベース剥離機構122の下流には、複数の積層体基板130が収容される感光性積層体ストッカー136が設けられる。ベース剥離機構122で基板24aからベースフイルム26及び残存部分30bが剥離された積層体基板130は、ロボット132のハンド部132aに設けられた吸着パッド134に吸着されて取り出され、感光性積層体ストッカー136に収容される。
A photosensitive laminate stocker 136 that accommodates a plurality of
感光性積層体ストッカー136には、投入及び取り出し口以外の3方の側面に、除塵用ファンユニット(又はダクトユニット)102が付設される。ファンユニット102は、感光性積層体ストッカー136内に除電クリーンエアの吹き出しを行う。
The photosensitive laminate stocker 136 is provided with a dust removal fan unit (or duct unit) 102 on three side surfaces other than the inlet and outlet ports. The
製造装置20では、ウエブ送り出し機構32、ハーフカット機構36、ラベル接着機構40、リザーバ機構42、剥離装置44、テンション制御機構76及び検出機構47が、貼り付け機構46の上方に配置されているが、これとは逆に、前記ウエブ送り出し機構32から前記検出機構47を前記貼り付け機構46の下方に配置し、感光性ウエブ22の上下が逆になって感光性樹脂層29がガラス基板24の下側に貼り付けされてもよく、また、前記製造装置20全体を直線上に構成してもよい。
In the
製造装置20は、ラミネート工程制御部140を介して全体制御されており、この製造装置20の各機能部毎に、例えば、ラミネート制御部142、基板加熱制御部144及びベース剥離制御部146等が設けられ、これらが工程内ネットワークにより繋がっている。
The
ラミネート工程制御部140は、工場ネットワークに繋がっており、図示しない工場CPUからの指示情報(条件設定や生産情報)の生産管理や稼動管理等、生産のための情報処理を行う。
The laminating
ラミネート制御部142は、工程全体のマスターとして各機能部の制御を行うものであり、検出機構47により検出された感光性ウエブ22のハーフカット部位34の位置情報に基づいて、例えば、加熱機構45を制御する制御機構を構成している。
The
ベース剥離制御部146は、貼り付け機構46から供給される基板24aからベースフイルム26を剥離し、さらに下流工程に積層体基板130を排出する動作の制御を行うとともに、前記基板24a及び前記積層体基板130の情報をハンドリング制御する。
The base
製造装置20内は、仕切り壁150を介して第1クリーンルーム152aと第2クリーンルーム152bとに仕切られる。第1クリーンルーム152aには、ウエブ送り出し機構32からテンション制御機構76までが収容されるとともに、第2クリーンルーム152bには、検出機構47以降が収容される。第1クリーンルーム152aと第2クリーンルーム152bとは、貫通部154を介して連通する。
The inside of the
このように構成される製造装置20の動作について、本実施形態に係る剥離方法との関連で以下に説明する。
The operation of the
先ず、図1に示すように、ウエブ送り出し機構32に取り付けられている感光性ウエブロール22aから感光性ウエブ22が繰り出され、この感光性ウエブ22は、ハーフカット機構36に送られる。
First, as shown in FIG. 1, the
ハーフカット機構36では、スライド台52が感光性ウエブ22の幅方向(搬送方向に直交する方向)に移動する。このため、回転丸刃54は、感光性ウエブ22のハーフカット部位34に所望の深さまで切り込んだ状態で、移動しながら回転する。これにより、感光性ウエブ22には、保護フイルム30から所望の深さに切り込んだハーフカット部位34が形成される(図2参照)。
In the half-cut mechanism 36, the slide base 52 moves in the width direction of the photosensitive web 22 (direction orthogonal to the transport direction). For this reason, the
ハーフカット処理された感光性ウエブ22は、図1に示すように、保護フイルム30の残存部分30bの寸法に対応して矢印A方向に搬送された後、一旦停止されて回転丸刃54の走行作用下に次なるハーフカット部位34が形成される。このため、感光性ウエブ22には、残存部分30bを挟んで前方の剥離部分30aaと後方の剥離部分30abとが設けられる(図2参照)。
As shown in FIG. 1, the half-cut
さらに、感光性ウエブ22は、ラベル接着機構40に搬送されて、保護フイルム30の所定の貼り付け部位が受台59上に配置される。ラベル接着機構40では、所定枚数の接着ラベル38が吸着パッド58a〜58eにより吸着保持され、各接着ラベル38が保護フイルム30の残存部分30bを跨いで、前方の剥離部分30aaと後方の剥離部分30abとに一体的に接着される(図3参照)。
Further, the
例えば、5本の接着ラベル38が接着された感光性ウエブ22は、図1に示すように、リザーバ機構42を介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、剥離装置44に連続的に搬送される。
For example, as shown in FIG. 1, the
剥離装置44では、感光性ウエブ22がサクションドラム62と剥離ローラ64とに挟持されて、前記感光性ウエブ22のベースフイルム26が前記サクションドラム62に吸着保持されている。この状態で、サクションドラム62が回転されるとともに、保護フイルム30には、トルクモータ75を介して所定のテンションが付与されている。
In the
従って、保護フイルム30は、残存部分30bを残して感光性ウエブ22から剥離され、剥離ローラ64を介して保護フイルム巻き取り軸66に巻き取られる。なお、剥離部位には、除電エアを吹き付けることが好ましい。
Therefore, the
この場合、本実施形態では、感光性ウエブ22は、サクションドラム62の吸着作用下に強固に保持されており、この感光性ウエブ22から保護フイルム30を剥離する時の衝撃が、下流の前記感光性ウエブ22に作用することはない。これにより、貼り付け機構46に剥離の衝撃が伝わることがなく、ガラス基板24のラミネート部分にスジ状の不良個所等が発生することを良好に阻止することができる。
In this case, in the present embodiment, the
しかも、図4に示すように、サクションドラム62と剥離ローラ64とは、感光性ウエブ22を挟んで互いに直線上に接している(ロール間隔h=厚さt)。このため、感光性ウエブ22から保護フイルム30のみを容易且つ確実に剥離することが可能になる。
Moreover, as shown in FIG. 4, the
すなわち、ロール間隔hを種々変更して感光性ウエブ22から保護フイルム30を剥離する実験を行ったところ、図6に示す結果が得られた。ここで、剥がれ評価とは、感光性ウエブ22から保護フイルム30を剥離する際に、感光性樹脂層29又はクッション層27の剥がれが発生したか否かの評価である。感光性樹脂層29及びクッション層27の剥がれがないときに「○」、前記感光性樹脂層29又は前記クッション層27の剥がれがわずかにあるときに「△」、さらに前記感光性樹脂層29又は前記クッション層27に顕著な剥がれがあるときに「×」でそれぞれ表している。
That is, when the experiment was performed to peel the
これにより、サクションドラム62と剥離ローラ64との間に、感光性ウエブ22の厚さt以上の隙間があると、すなわち、ロール間隔h=厚さt+n(n=1以上)であると、感光性ウエブ22から保護フイルム30を剥離する際に、感光性樹脂層29又はクッション層27の剥がれが発生してしまう。
As a result, if there is a gap larger than the thickness t of the
これに対して、サクションドラム62と剥離ローラ64との間に感光性ウエブ22が密着する本実施形態では、すなわち、ロール間隔h=厚さtでは、感光性樹脂層29及びクッション層27の剥がれが全くなく、保護フイルム30の剥離処理が高精度且つ良好に遂行されるという効果が得られる。
In contrast, in the present embodiment in which the
さらに、本実施形態では、剥離ローラ64は、導電性ゴムローラで構成されている。このため、感光性ウエブ22に接着ラベル38が接着されて厚さが変動しても、剥離ローラ64が容易に変形して前記厚さの変動を吸収することができる。従って、接着ラベル38の形状が感光性樹脂層29に転写されることがなく、しかもサクションドラム62と剥離ローラ64との間隔の調整が不要になり、メンテナンス性が良好に向上するという利点がある。
Further, in the present embodiment, the peeling
さらにまた、剥離ローラ64のゴム硬度が20度〜90度の範囲内に設定されるとともに、サクションドラム62の外周面に保持された感光性ウエブ22に対して50N/cm以下の線圧で押し付けられている。これにより、感光性樹脂層29に押し跡やスジ等が発生することがなく、前記感光性樹脂層29を良好に維持して保護フイルム30の剥離処理が効率的に遂行可能になる。
Furthermore, the rubber hardness of the peeling
上記のように、剥離装置44の作用下に、保護フイルム30が残存部分30bを残してベースフイルム26から剥離された後、感光性ウエブ22は、テンション制御機構76によってテンション調整が行われ、さらに検出機構47で光電センサ82によりハーフカット部位34の検出が行われる。
As described above, after the
感光性ウエブ22は、ハーフカット部位34の検出情報に基づいて、フイルム搬送ローラ118aの回転作用下に、貼り付け機構46に定量搬送される。その際、接触防止ローラ116が上方に待機するとともに、ゴムローラ110bが下方に配置されている。
The
一方、加熱機構45では、貼り付け機構46におけるラミネート温度に対応して各加熱炉90内の加熱温度が設定されている。そこで、ロボット104は、基板ストッカー100に収容されているガラス基板24を把持し、このガラス基板24を受け取り部88に搬入する。ガラス基板24は、搬送機構84を構成する搬送ローラ86の回転作用下に、受け取り部88から各加熱炉90に、順次、タクト搬送される。
On the other hand, in the
矢印C方向後段に配置されている加熱炉90では、ガラス基板24が所定の停止位置に正確に停止されるとともに、このガラス基板24は、感光性ウエブ22の感光性樹脂層29の貼り付け部分に対応してゴムローラ110a、110b間に一旦配置される。
In the
この状態で、ローラクランプ部114を介してバックアップローラ112b及びゴムローラ110bを上昇させることにより、ゴムローラ110a、110b間にガラス基板24が所定のプレス圧力で挟み込まれる。さらに、ゴムローラ110aの回転作用下に、このガラス基板24には、感光性樹脂層29が加熱溶融により転写(ラミネート)される。
In this state, by raising the backup roller 112b and the
ここで、ラミネート条件としては、速度が1.0m/min〜10.0m/min、ゴムローラ110a、110bの温度が80℃〜140℃、前記ゴムローラ110a、110bのゴム硬度が40度〜90度、該ゴムローラ110a、110bのプレス圧(線圧)が50N/cm〜400N/cmである。
Here, as the lamination conditions, the speed is 1.0 m / min to 10.0 m / min, the temperature of the
ガラス基板24に感光性ウエブ22が貼り付けられた基板24aは、矢印C方向に定量搬送され、冷却機構120を通って冷却された後、ベース剥離機構122に移送される。このベース剥離機構122では、吸着パッド124に基板24aが吸着保持された状態で、ロボットハンド126を介してベースフイルム26及び残存部分30bが剥離され、積層体基板130が得られる。
The
その際、吸着パッド124の上流、下流及び両側方には、基板24aのラミネート部分全体に4方向の側面から除電クリーンエアが噴射されている。なお、積層体基板130は、ロボット132のハンド部132aに保持されて感光性積層体ストッカー136に所定の数だけ収容される。
At that time, neutralizing clean air is sprayed from the side surfaces in the four directions to the entire laminate portion of the
20…製造装置 22…感光性ウエブ
22a…感光性ウエブロール 24…ガラス基板
26…ベースフイルム 27…クッション層
29…感光性樹脂層 30…保護フイルム
32…ウエブ送り出し機構 34…ハーフカット部位
36…ハーフカット機構 40…ラベル接着機構
42…リザーバ機構 44…剥離装置
45…加熱機構 46…貼り付け機構
47…検出機構 48…基板間ウエブ切断機構
54…回転丸刃 62…サクションドラム
64…剥離ローラ 66…保護フイルム巻き取り軸
75…トルクモータ 76…テンション制御機構
84…搬送機構 110a、110b…ゴムローラ
120…冷却機構 122…ベース剥離機構
140…ラミネート工程制御部 142…ラミネート制御部
144…基板加熱制御部 146…ベース剥離制御部
DESCRIPTION OF
Claims (8)
前記積層体を前記第1層体側から吸着して搬送するためのサクションローラと、
前記積層体を挟んで前記サクションローラの外周面と直線上に接するとともに、前記第2層体を少なくとも部分的に前記積層体から剥離させるための剥離ローラと、
を備えることを特徴とする積層体の剥離装置。 A laminate peeling apparatus for peeling at least partially the second layer body from a laminate in which at least the first and second layer bodies are laminated,
A suction roller for adsorbing and transporting the laminate from the first layer side;
A peeling roller for contacting the outer circumferential surface of the suction roller in a straight line with the laminate interposed therebetween, and for peeling the second layer at least partially from the laminate,
The peeling apparatus of the laminated body characterized by comprising.
ゴム硬度が20度〜90度の範囲内に設定されることを特徴とする積層体の剥離装置。 The peeling apparatus according to claim 1, wherein the peeling roller is composed of a conductive rubber roller,
A laminate peeling apparatus, wherein the rubber hardness is set in a range of 20 to 90 degrees.
サクションローラと剥離ローラとで前記積層体を挟持した状態で、前記サクションローラにより前記積層体を前記第1層体側から吸着して搬送するとともに、
前記剥離ローラの外周面に前記第2層体を巻き付けて該第2層体に所定のテンションを付与することにより、前記第2層体を前記積層体から少なくとも部分的に剥離させることを特徴とする積層体の剥離方法。 A laminate peeling method for at least partially peeling the second layer body from a laminate in which at least the first and second layer bodies are laminated,
In a state where the laminate is sandwiched between a suction roller and a peeling roller, the laminate is sucked and conveyed from the first layer body side by the suction roller, and
Wrapping the second layer body around the outer peripheral surface of the peeling roller and applying a predetermined tension to the second layer body, the second layer body is at least partially peeled from the laminate. To peel off the laminate.
ゴム硬度が20度〜90度の範囲内に設定されることを特徴とする積層体の剥離方法。 The peeling method according to claim 5, wherein the peeling roller is composed of a conductive rubber roller,
A method for peeling a laminate, wherein the rubber hardness is set in a range of 20 to 90 degrees.
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015131721A (en) * | 2014-01-15 | 2015-07-23 | 日東電工株式会社 | Method of producing elongated glass |
JP2016147737A (en) * | 2015-02-12 | 2016-08-18 | 富士フイルム株式会社 | Peeling method of lamination film, and production method of functional film |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI396612B (en) * | 2010-12-30 | 2013-05-21 | Au Optronics Corp | Peeling equipment and peeling method for thin workpiece |
CN102794977B (en) * | 2012-08-21 | 2014-09-17 | 中国科学院化学研究所 | Circuit board delamination method |
WO2015002030A1 (en) * | 2013-07-01 | 2015-01-08 | 旭硝子株式会社 | Separation origin production device and method |
KR101443119B1 (en) * | 2013-12-05 | 2014-09-30 | 엠에스티코리아(주) | apparatus for rewinding firm to be processed |
JP5982431B2 (en) * | 2014-06-27 | 2016-08-31 | 株式会社岩崎製作所 | Film peeling and winding method and apparatus |
JP6916641B2 (en) * | 2017-03-15 | 2021-08-11 | 株式会社Screenホールディングス | Base material processing equipment and base material processing method |
CN114449778B (en) * | 2022-04-11 | 2022-06-10 | 四川英创力电子科技股份有限公司 | Printed circuit board tears sticky tape device |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62275971A (en) * | 1986-05-23 | 1987-11-30 | Kanzaki Paper Mfg Co Ltd | Device for cutting one of laminating layers of adhesive paper in longitudinal direction |
US4789415A (en) * | 1983-01-24 | 1988-12-06 | Faasse Jr Adrian L | Pharmaceutical packaging machine |
JPH0619098A (en) * | 1992-03-27 | 1994-01-28 | Eastman Kodak Co | Interlayer exfoliation apparatus for photographic printing material |
JPH08179512A (en) * | 1994-12-27 | 1996-07-12 | Fuji Photo Film Co Ltd | Method for laminating photosensitive layer |
JPH0912215A (en) * | 1995-06-28 | 1997-01-14 | Fuji Photo Film Co Ltd | Film separator and method of separating film locally from long laminated sheet |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000015354A1 (en) * | 1998-09-11 | 2000-03-23 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | Device and method for lamination |
TWI341788B (en) * | 2004-07-06 | 2011-05-11 | Fujifilm Corp | Apparatus for and method of manufacturing photosensitive laminated body |
-
2005
- 2005-09-21 JP JP2005273111A patent/JP2007084200A/en active Pending
-
2006
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- 2006-09-12 KR KR1020087006796A patent/KR20080050425A/en not_active Application Discontinuation
- 2006-09-20 TW TW095134711A patent/TW200728063A/en unknown
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4789415A (en) * | 1983-01-24 | 1988-12-06 | Faasse Jr Adrian L | Pharmaceutical packaging machine |
JPS62275971A (en) * | 1986-05-23 | 1987-11-30 | Kanzaki Paper Mfg Co Ltd | Device for cutting one of laminating layers of adhesive paper in longitudinal direction |
JPH0619098A (en) * | 1992-03-27 | 1994-01-28 | Eastman Kodak Co | Interlayer exfoliation apparatus for photographic printing material |
JPH08179512A (en) * | 1994-12-27 | 1996-07-12 | Fuji Photo Film Co Ltd | Method for laminating photosensitive layer |
JPH0912215A (en) * | 1995-06-28 | 1997-01-14 | Fuji Photo Film Co Ltd | Film separator and method of separating film locally from long laminated sheet |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015131721A (en) * | 2014-01-15 | 2015-07-23 | 日東電工株式会社 | Method of producing elongated glass |
JP2016147737A (en) * | 2015-02-12 | 2016-08-18 | 富士フイルム株式会社 | Peeling method of lamination film, and production method of functional film |
KR20160099474A (en) | 2015-02-12 | 2016-08-22 | 후지필름 가부시키가이샤 | Method for peeling off laminate film and method for manufacturing functional film |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20080050425A (en) | 2008-06-05 |
WO2007034762A1 (en) | 2007-03-29 |
TW200728063A (en) | 2007-08-01 |
CN101267943A (en) | 2008-09-17 |
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