KR20090010905A - Method of applying laminated film - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 적어도 제 1 수지층 상에 제 2 수지층이 적층된 적층체 필름을, 상기 제 2 수지층측에서 적층방향의 일부를 남기고 하프컷 처리하고, 적어도 상기 제 2 수지층을 부분적으로 남기고 상기 적층체 필름으로부터 박리시킴으로써 상기 제 1 수지층을 노정시키며, 노정되는 상기 제 1 수지층을 기판에 접합시킴으로써 상기 적층체 필름을 상기 기판에 부착하는 적층체 필름의 부착 방법에 관한 것이다.The present invention is a half-cut treatment of a laminate film having a second resin layer laminated on at least a first resin layer, leaving a part of the stacking direction on the second resin layer side, leaving at least the second resin layer partially. The present invention relates to a method for attaching a laminate film in which the first resin layer is exposed by peeling from the laminate film, and the laminate film is attached to the substrate by bonding the exposed first resin layer to a substrate.
예를 들면, 액정 패널용 기판, 프린트 배선용 기판, PDP 패널용 기판에서는, 감광 재료(감광성 수지)층을 갖는 감광성 시트체(감광성 웨브)를 기판 표면에 부착하여 구성되어 있다. 감광성 시트체는, 기본적으로는 가요성 플라스틱 지지체 상에 감광 재료층과 보호 필름이 이 순서로 적층되어 있다.For example, in the board | substrate for liquid crystal panels, the board | substrate for printed wirings, and the board | substrate for PDP panels, the photosensitive sheet body (photosensitive web) which has a photosensitive material (photosensitive resin) layer is attached to the board | substrate surface, and is comprised. The photosensitive sheet body is basically laminated with a photosensitive material layer and a protective film on this flexible plastic support.
상기 감광성 시트체는, 통상 롤상으로 권회된 상태로 취급되고 있고, 이 롤 상의 감광성 시트체(이하, 감광성 시트 롤이라고도 함)가 부착 장치에 장전되어 있다. 이 부착 장치에서는, 통상 유리 기판이나 수지 기판 등의 기판이 소정의 간격씩 이간하여 반송됨과 아울러, 감광성 시트 롤로부터 되감겨진 감광성 시트체는 상 기 기판에 부착되는 감광 재료층의 범위에 대응해서 보호 필름이 박리된 후, 상기 기판에 가열 전사(드라이 라미네이트)되어 있다.The said photosensitive sheet body is handled in the state wound normally in roll shape, and the photosensitive sheet body (henceforth a photosensitive sheet roll) on this roll is loaded in the attachment apparatus. In this attachment apparatus, substrates, such as a glass substrate and a resin substrate, are normally conveyed at predetermined intervals, and the photosensitive sheet body rewound from the photosensitive sheet roll respond | corresponds to the range of the photosensitive material layer adhered to the said board | substrate. After the protective film is peeled off, heat transfer (dry lamination) is performed on the substrate.
그런데, 감광성 시트 롤에서는 소정 길이의 감광성 시트체를 권회할 필요가 있다. 이 때문에, 실제 상, 복수의 감광성 시트체를 접합해서 원하는 전체 길이를 확보한 상태에서, 상기 복수의 감광성 시트체를 연속해서 롤상으로 권회하는 작업이 행해지고 있다. 그 때, 감광성 시트체의 단부끼리는 접합 테이프 부재에 의해 서로 접합되어 있지만, 이 접합 부분은 기판에 부착할 수 없어 폐기되고 있다.By the way, in the photosensitive sheet roll, it is necessary to wind the photosensitive sheet body of a predetermined length. For this reason, the operation | movement which continuously wound the said photosensitive sheet body in roll shape is performed in the state which bonded several photosensitive sheet bodies and secured desired total length. At that time, the ends of the photosensitive sheet body are bonded to each other by the bonding tape member, but this bonding portion cannot be attached to the substrate and is discarded.
또한, 감광성 시트체에는, 예를 들면 점 결함 부분 등의 불량 부분이 존재하고 있는 경우가 있다. 이 불량 부분은 상기 접합 부분과 마찬가지로, 기판에 부착할 수 없어 폐기되고 있다.Moreover, the defective part, such as a point defect part, may exist in the photosensitive sheet body, for example. This defective part cannot be attached to a board | substrate similarly to the said junction part, and is discarded.
따라서, 부착 장치에서는 접합 부분이나 불량 부분 등의 감광성 시트의 불량개소를 검출하고, 불량 개소가 라미네이트되는 일 없이 폐기되는 것이 요망되고 있다. 이 때문에, 예를 들면 일본 특허공개 2005-212488호 공보에 개시되어 있는 필름 라미네이트 방법과 그 장치가 알려져 있다.Therefore, in the attachment apparatus, it is desired to detect the defective part of the photosensitive sheet | seats, such as a junction part and a defective part, and to discard it, without making a defective point laminate. For this reason, the film lamination method and the apparatus which are disclosed by Unexamined-Japanese-Patent No. 2005-212488, for example are known.
이 종래 기술은, 일정한 간격을 가지고 반주로 상을 반송되어 오는 각 기판과, 필름 공급 롤로부터 풀려진 필름이, 상기 반주로에 설치되어 있는 라미네이트 롤러 사이를 통과함으로써 각 기판 표면 상에 필름을 부착하는 방법에 관한 것이다.This prior art attaches a film on the surface of each board | substrate by passing between each board | substrate which conveys an image to accompaniment at regular intervals, and the film unrolled from the film supply roll passes between the lamination rollers provided in the said accompaniment path. It is about how to.
그리고, 기판으로의 필름 라미네이트 전에 필름의 상태를 감시하고, 필름에 불량 개소를 포함하는지의 여부를 판단하고, 불량 개소가 있다고 판단했을 때에는 필름의 상기 불량 개소를 포함하는 영역을 폐기하고, 양호 영역을 기판에 부착하도록 한 필름 라미네이트 방법에 있어서, 장치 내에 필름을 기판에 부착한 라미네이트 완료 기판이 없는 상태에서, 부착하는 필름에 대해서 필름 불량 판단으로 불량 개소 있음으로 판단했을 때에는, 상기 라미네이트 롤러를 대피시켜서 필름과의 접촉을 피한 상태로 해서 불량 개소를 포함하는 필름을 송출하고, 상기 필름을 송출하는 동안에 필름의 상태를 감시함과 아울러 상기 불량 개소를 포함하는 영역의 필름 폐기 처리를 행하고, 다음에 부착하는 필름 상태의 확인 처리로 되돌아와서 상기 필름 불량 판단으로 진행하는 것을 특징으로 하고 있다.And the state of a film is monitored before film lamination to a board | substrate, it is judged whether the film contains a defective point, and when it judges that there is a defective point, the area | region containing the said defective point of a film is discarded, and a favorable area In the film lamination method for attaching a film to a substrate, the laminate roller is evacuated when it is determined that there is a defective point in the film defect judgment with respect to the film to be attached in a state where there is no laminated finished substrate having the film attached to the substrate in the apparatus. The film containing the defective part is sent out in the state which avoided contact with a film, while monitoring the state of a film while sending out the said film, the film disposal process of the area | region containing the said defective part is performed, and then It returns to confirmation process of the film state to stick, and judges the said film defect To continue to be characterized.
그런데, 부착 장치에서는 기판에 부착되는 감광 재료층의 범위에 대응해서 보호 필름을 박리하기 위해서, 감광성 시트체는 라미네이트 위치에 반송되기 전에 미리 상기 보호 필름을 소정의 위치에서 절단할 필요가 있다. 여기에서, 감광성 시트체에는 적층방향의 일부를 남기고 적어도 보호 필름이 절단되는, 즉 하프컷 처리가 실시되어 있다.By the way, in the attachment apparatus, in order to peel a protective film corresponding to the range of the photosensitive material layer adhering to a board | substrate, it is necessary to cut | disconnect the said protective film in a predetermined position before conveying to a laminated position. Here, the photosensitive sheet body is cut | disconnected at least the protective film, ie, the half cut process, leaving a part of lamination direction.
그 때, 감광성 시트체의 접합 부분에는 접합 테이프 부재, 예를 들면 알루미늄 증착 테이프 등이 접합되어 있다. 또한 감광성 시트체에는 점 결함 부분 등에 대응해서 금속제의 마킹 부재가 부착되어 있다. 이 때문에, 접합 테이프 부재나 마킹 부재에 하프컷용의 커터가 접촉하면, 이 커터가 손상되어 칼날 수명이 짧아질 우려가 있다.In that case, the bonding tape member, for example, aluminum vapor deposition tape etc., is bonded to the junction part of the photosensitive sheet body. Moreover, the metal marking member is affixed on the photosensitive sheet body corresponding to a point defect part. For this reason, when the cutter for half cut | contact | contacts a joining tape member or marking member, this cutter may be damaged and a blade life may be shortened.
또한, 하프컷이 행하여졌다고 해도, 보호 필름을 박리할 때, 특히, 접합 테이프 부재가 확실하게 박리되지 않고, 박리 불량이 야기된다고 하는 문제가 있다. 그러나, 상기 종래 기술에서는 이러한 종류의 문제를 해결할 수 없다.Moreover, even if half cut is performed, when peeling a protective film, there exists a problem that especially a bonding tape member does not peel reliably and a peeling defect is caused. However, the above-described prior art cannot solve this kind of problem.
본 발명은 이러한 종류의 문제를 해결하는 것이며, 간단한 공정으로 적층체 필름의 불량 개소가 하프컷되는 것을 가급적 저지할 수 있고, 고품질이며 또한 효율적인 라미네이트 처리를 수행할 수 있는 적층체 필름의 부착 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves this kind of problem, and provides a method of attaching a laminate film that can prevent a defective part of the laminate film from being half cut in a simple step, and can perform a high quality and efficient lamination process. It aims to provide.
본 발명은, 적어도 제 1 수지층 상에 제 2 수지층이 적층된 적층체 필름을, 상기 제 2 수지층측에서 적층방향의 일부를 남기고 하프컷 처리하고, 적어도 상기 제 2 수지층을 부분적으로 남기고 상기 적층체 필름으로부터 박리시킴으로써 상기 제 1 수지층을 노정시키며, 노정되는 상기 제 1 수지층을 기판에 접합시킴으로써 상기 적층체 필름을 상기 기판에 부착하는 적층체 필름의 부착 방법에 관한 것이다.This invention is a half-cut process of the laminated body film in which the 2nd resin layer was laminated | stacked on the at least 1st resin layer, leaving a part of lamination direction on the said 2nd resin layer side, and at least the said 2nd resin layer partially The present invention relates to a method for attaching a laminate film, wherein the first resin layer is exposed by peeling from the laminate film, and the laminate film is attached to the substrate by bonding the exposed first resin layer to a substrate.
이 적층체 필름의 부착 방법에서는 하프컷 위치로부터 상류측에 또한 상기 적층체 필름의 1장분의 부착 길이 이하의 위치에 배치되는 센서를 통하여 상기 적층체 필름의 불량 개소를 검출하는 공정과, 상기 불량 개소가 검출되었을 때에 상기 적층체 필름에 대한 적어도 다음회의 하프컷 처리를 정지함과 아울러 상기 적층체 필름을 하류측에 반송하는 공정과, 상기 하프컷 처리가 정지된 부위를 상기 기판에 부착하지 않고 폐기하는 공정을 갖고 있다.In the method for attaching the laminate film, a step of detecting a defective point of the laminate film through a sensor disposed upstream from the half cut position and at a position equal to or less than the attachment length of one sheet of the laminate film, and the defect Stopping at least the next half cut process with respect to the said laminated body film when a location was detected, conveying the said laminated body film to the downstream side, and the site | part in which the said half cut process was stopped was not attached to the said board | substrate. It has a process of discarding.
본 발명에서는 센서가 하프컷 위치로부터 상류측이며 또한 적층체 필름의 1장분의 부착 길이 이하의 위치에 배치되어 있다. 이 때문에, 센서에 의해 적층체 필름의 불량 개소가 검출된 직후에 상기 적층체 필름에 대한 다음회의 하프컷 처리 를 정지하는 것만으로, 상기 불량 개소 자체 및 상기 불량 개소를 포함하는 1장분의 상기 적층체 필름이 하프컷되는 것을 가급적 저지할 수 있다.In this invention, a sensor is arrange | positioned upstream from a half cut position, and is located in the position below the attachment length of one sheet of laminated body film. For this reason, the next half cut process with respect to the said laminated | multilayer film is stopped only after the defective point of a laminated | multilayer film is detected by a sensor, and the said one piece lamination | stacking containing the said defective point itself and the said defective point is carried out. The sieve film can be prevented from being half cut as much as possible.
이것에 의해, 간단한 공정으로 적층체 필름의 불량 개소가 라미네이트되는 것을 확실하게 저지함과 아울러, 상기 불량 개소에 하프컷용의 커터가 접촉되는 일이 없다. 따라서, 커터의 손상을 가급적 방지할 수 있고, 칼날 수명이 길어져 경제적이다. 또한, 제 2 수지층을 적층체 필름으로부터 양호하게 박리시킬 수 있고, 상기 적층체 필름을 기판에 대하여 효율적이며 또한 고품질로 부착하는 것이 가능하게 된다.This reliably prevents the defective part of the laminate film from being laminated in a simple step, and the cutter for half cut does not come into contact with the defective part. Therefore, damage to the cutter can be prevented as much as possible, and the blade life is extended and economical. Moreover, a 2nd resin layer can be peeled favorably from a laminated film, and it becomes possible to adhere | attach the said laminated | multilayer film with respect to a board | substrate efficiently and with high quality.
첨부한 도면과 협동하는 다음의 바람직한 실시형태예의 설명으로부터, 상기 목적, 특징 및 이점이 보다 명확해질 것이다.From the description of the following preferred embodiments, which cooperate with the accompanying drawings, the above objects, features and advantages will become more apparent.
도 1에 나타내는 바와 같이, 제조 시스템(20)은 액정 또는 유기 EL용 컬러필터 등의 제작 공정에서, 소정의 폭치수로 이루어지는 장척상 감광성 웨브(22)의 감광성 수지층(28)(후술함)을 유리 기판(24)에 열전사(라미네이트)하는 작업을 행한다.As shown in FIG. 1, the
도 2는 제조 시스템(20)에 사용되는 장척상 감광성 웨브(22)의 단면도이다. 이 장척상 감광성 웨브(22)는 가요성 베이스 필름(지지체)(26)과, 감광성 수지층(감광 재료층)(28)과, 보호 필름(30)을 적층하고 있다.2 is a cross-sectional view of the long
도 1에 나타내는 바와 같이, 제조 시스템(20)은 장척상 감광성 웨브(22)를 롤상으로 권회한 감광성 웨브 롤(23)을 수용하고, 상기 감광성 웨브 롤(23)로부터 상기 장척상 감광성 웨브(22)를 송출할 수 있는 웨브 송출 기구(32)와, 송출된 상기 장척상 감광성 웨브(22)에 보호 필름(30) 및 감광성 수지층(28)의 폭방향으로 절단 가능한 2개소의 경계 부분인 하프컷 부위(34a, 34b)(도 2 참조)를 형성하는 가공 기구(36)와, 일부에 비접착부(38a)를 갖는 접착 라벨(38)(도 3 참조)을 상기보호 필름(30)에 접착시키는 라벨 접착 기구(40)를 구비한다.As shown in FIG. 1, the
라벨 접착 기구(40)의 하류에는 장척상 감광성 웨브(22)를 택트 송출로부터 연속 송출로 변경하기 위한 리저버 기구(42)와, 상기 장척상 감광성 웨브(22)로부터 보호 필름(30)을 소정의 길이 간격으로 박리시키는 박리 기구(44)가 설치된다.Downstream of the label
박리 기구(44)의 하류에는 유리 기판(24)을 소정의 온도로 가열한 상태에서 부착 위치에 공급하는 기판 공급 기구(45)와, 보호 필름(30)의 박리에 의해 노출된 감광성 수지층(28)을 상기 유리 기판(24)에 일체적으로 부착하는 부착 기구(46)와, 기판간 웨브 절단 기구(48)가 설치된다.Downstream of the
웨브 송출 기구(32)의 하류 근방에는, 대략 사용이 끝난 장척상 감광성 웨브(22)의 후단과, 새롭게 사용되는 장척상 감광성 웨브(22)의 선단을 부착하는 부착대(49)가 설치된다. 부착대(49)의 하류에는 감광성 웨브 롤(23)의 권취 어긋남에 의한 폭방향의 어긋남을 제어하기 위해서 필름 단말 위치 검출기(53)가 설치된다.In the downstream vicinity of the
가공 기구(36)는 웨브 송출 기구(32)에 수용 권회되어 있는 감광성 웨브 롤(23)의 롤 지름을 산출하기 위한 롤러쌍(50)의 하류에 배치된다. 가공 기구(36)는 거리 M(도 2 참조)만큼 이간한 한쌍의 둥근 날(52a, 52b)을 구비한다. 둥근 날(52a, 52b)은 장척상 감광성 웨브(22)의 폭방향으로 주행하고, 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)을 사이에 둔 소정의 2개소의 위치에 하프컷 부위(34a, 34b)를 형성한다(도 2 참조).The
하프컷 부위(34a, 34b)는, 적어도 보호 필름(30) 및 감광성 수지층(28)을 절단할 필요가 있고, 실제상, 가요성 베이스 필름(26)까지 컷팅하도록 둥근 날(52a, 52b)의 컷팅 깊이가 설정된다. 둥근 날(52a, 52b)은 회전하지 않고 고정된 상태에서 장척상 감광성 웨브(22)의 폭방향으로 이동해서 하프컷 부위(34a, 34b)를 형성하는 방식이나, 상기 장척상 감광성 웨브(22) 상을 미끄러지는 일 없이 회전하면서 상기 폭방향으로 이동해서 상기 하프컷 부위(34a, 34b)를 형성하는 방식 등이 채용된다.The half cut
하프컷 부위(34a, 34b)는 감광성 수지층(28)을 유리 기판(24)에 부착하였을 때, 예를 들면, 상기 유리 기판(24)의 양단부에서 각각 5mm씩 내측에 들어간 위치가 되도록 설정된다. 또한, 유리 기판(24) 사이의 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)은, 후술하는 부착 기구(46)에 있어서 감광성 수지층(28)을 상기 유리 기판(24)에 액자 테두리상으로 부착할 때의 마스크로서 기능하는 것이다.The half cut
라벨 접착 기구(40)는 유리 기판(24) 사이에 대응해서 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)을 남기기 위해서, 하프컷 부위(34b)측의 박리 부분(A)과 하프컷 부위(34a)측의 박리 부분(A)을 연결하는 접착 라벨(38)을 공급한다.The peeling part A and the half cut
도 3에 나타내는 바와 같이, 접착 라벨(38)은 직사각형상으로 구성되어 있고, 예를 들면 보호 필름(30)과 동일한 수지재로 형성된다. 접착 라벨(38)은 중앙부에 점착제가 도포되지 않는 비접착부(미점착(微粘着)을 포함함)(38a)를 가짐과 아울러, 이 비접착부(38a)의 양측, 즉 상기 접착 라벨(38)의 길이 방향 양단부에 전방의 박리 부분(A)에 접착되는 제 1 접착부(38b)와, 후방의 박리 부분(A)에 접착되는 제 2 접착부(38c)를 갖는다.As shown in FIG. 3, the
도 1에 나타내는 바와 같이, 라벨 접착 기구(40)는 최대 7장의 접착 라벨(38)을 소정 간격씩 이간해서 부착할 수 있는 흡착 패드(54a∼54g)를 구비함과 아울러, 상기 흡착 패드(54a∼54g)에 의한 상기 접착 라벨(38)의 부착 위치에는 장척상 감광성 웨브(22)를 하방으로부터 유지하기 위한 받침대(56)가 승강 가능하도록 배치된다.As shown in FIG. 1, the
리저버 기구(42)는 상류측의 장척상 감광성 웨브(22)의 택트 반송과, 하류측의 상기 장척상 감광성 웨브(22)의 연속 반송의 속도차를 흡수하기 위해서, 화살표방향으로 요동 가능한 댄서(dancer) 롤러(60)를 구비한다.The
리저버 기구(42)의 하류에 배치되는 박리 기구(44)는 장척상 감광성 웨브(22)의 송출측의 텐션 변동을 차단하고, 라미네이트 시의 텐션을 안정화시키기 위한 석션 드럼(62)을 구비한다. 석션 드럼(62)의 근방에는 박리 롤러(63)가 배치됨과 아울러, 이 박리 롤러(63)를 통해서 장척상 감광성 웨브(22)로부터 예각의 박리각으로 박리되는 보호 필름(30)은, 잔존 부분(B)을 제외하고 보호 필름 권취부(64)에 권취된다.The
박리 기구(44)의 하류측에는 장척상 감광성 웨브(22)에 텐션을 부여할 수 있는 텐션 제어 기구(66)가 설치된다. 텐션 제어 기구(66)는 실린더(68)의 구동 작용 하에 텐션 댄서(70)가 요동 변위함으로써 장척상 감광성 웨브(22)의 텐션을 조정할 수 있다. 또한, 텐션 제어 기구(66)는 필요에 따라서 사용하면 되고, 삭제할 수도 있다.On the downstream side of the
기판 공급 기구(45)는 유리 기판(24)을 끼워 지지하도록 설치되는 기판 가열부(예를 들면 히터)(74)와, 상기 유리 기판(24)을 화살표 Y방향으로 반송하는 복수의 롤러를 갖는 반송부(76)를 구비한다.The board |
부착 기구(46)는 장척상 감광성 웨브(22)와 유리 기판(24)을 끼워 지지해서 라미네이트하는 라미네이트 롤러쌍(80)을 구비한다. 이 라미네이트 롤러쌍(80)은 구동측 고무 롤러(80a)와, 회전 가능하고 또한 상기 구동측 고무 롤러(80a)에 대하여 진퇴하는 종동측 고무 롤러(80b)를 갖는다. 구동측 고무 롤러(80a) 및 종동측 고무 롤러(80b)에는 백업 롤러(84a, 84b)가 미끄럼 접촉함과 아울러, 상기 백업 롤러(84b)는 롤러 클램프부(86)를 통해서 종동측 고무 롤러(80b)에 압박된다.The
유리 기판(24)은 부착 기구(46)로부터 화살표 Y방향으로 연장되는 반송로(90)를 통해서 반송된다. 이 반송로(90)에는 필름 반송 롤러(92a, 92b) 및 기판 반송 롤러(94)가 설치된다. 구동측 고무 롤러(80a) 및 종동측 고무 롤러(80b)와 기판 반송 롤러(94)의 간격은, 유리 기판(24) 1장분의 길이 이하로 설정되는 것이 바람직하다.The
제조 시스템(20)에서는 웨브 송출 기구(32), 가공 기구(36), 라벨 접착 기구(40), 리저버 기구(42), 박리 기구(44) 및 텐션 제어 기구(66)가 부착 기구(46)의 상방에 배치되어 있지만, 이것과는 반대로, 상기 웨브 송출 기구(32)로부터 상기 텐션 제어 기구(66)까지를 상기 부착 기구(46)의 하방에 배치하여, 장척상 감광 성 웨브(22)의 상하가 반대로 되어서 감광성 수지층(28)을 유리 기판(24)의 하측에 부착하는 구성이어도 좋고, 또한 장척상 감광성 웨브(22)의 반송로를 직선상으로 구성해도 좋다.In the
제조 시스템(20) 내는 분리벽(96)을 통해서 제 1 클린룸(98a)과 제 2 클린룸(98b)으로 칸막이된다. 제 1 클린룸(98a)과 제 2 클린룸(98b)은 관통부(100)를 통해서 연통된다. 제조 시스템(20)은 제어부(102)를 통해서 제어된다.The interior of the
가공 기구(36)의 상류측에는 장척상 감광성 웨브(22)의 하프컷 위치로부터 이 장척상 감광성 웨브(22)의 1장분의 부착 길이 이하의 위치에 광전 센서(104)가 배치된다. 장척상 감광성 웨브(22)의 1장분의 부착 길이란, 도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 각 박리 부분(A)의 반송 방향(화살표 X방향)의 길이를 말한다.The
광전 센서(104)는 장척상 감광성 웨브(22)의 가요성 베이스 필름(26)측을 향해서 배치된다. 광전 센서(104)는 반사형 센서이며, 적어도 1개, 이하에 설명하는 장척상 감광성 웨브(22)의 접합 단부끼리의 접합 부위 및 마킹 부위를 포함하는 불량 개소에 대응하는 위치에 배치된다.The
장척상 감광성 웨브(22)는 웨브상으로 권회되어서 감광성 웨브 롤(23)로서 취급되고 있고, 이 감광성 웨브 롤(23)에서는 소정의 웨브 길이를 확보하기 위해서, 예를 들면 복수개의 장척상 감광성 웨브(22)끼리가 접합 테이프(106)를 통해서 접합되어 있다(도 4 참조).The long
장척상 감광성 웨브(22)에는, 예를 들면 점 결함 부분(107)이 존재하고 있으면, 이 점 결함 부분(107)을 나타내기 위해서 상기 장척상 감광성 웨브(22)의 소정 의 위치에 마킹 부재(108)(이하, 단지 불량 개소라고도 함)가 설치된다. 광전 센서(104)는 접합 테이프(106) 및 마킹 부재(108)의 위치에 대응하여 1 또는 2 이상 배치된다.In the long
도 1에 나타내는 바와 같이, 제조 시스템(20)에서는 가공 기구(36)를 구성하는 한쌍의 둥근 날(52a, 52b)의 중간위치로부터 라벨 접착 기구(40)에 의한 라벨 접착 위치까지의 거리가 장척상 감광성 웨브(22)의 대략 1장분의 부착 길이에 대응하고, 상기 라벨 접착 위치로부터 박리 기구(44)의 보호 필름 박리위치까지의 거리가 마찬가지로 상기 장척상 감광성 웨브(22)의 대략 1장분의 부착 길이에 대응하며, 상기 보호 필름 박리 위치로부터 부착 기구(46)의 라미네이트 위치까지의 거리가 상기 장척상 감광성 웨브(22)의 대략 1장분의 부착 길이에 대응하고, 또한 상기 부착 기구(46)의 라미네이트 위치로부터 절단 기구(48)까지의 거리가 상기 장척상 감광성 웨브(22)의 대략 1장분의 부착 길이에 대응한다.As shown in FIG. 1, in the
이 제조 시스템(20)의 동작에 대해서, 본 실시형태에 따른 부착 방법과의 관련에 의해 설명한다.The operation of this
우선, 웨브 송출 기구(32)에 부착되어 있는 감광성 웨브 롤(23)로부터 장척상 감광성 웨브(22)가 송출된다. 장척상 감광성 웨브(22)는 가공 기구(36)에 반송된다.First, the elongate
가공 기구(36)에서는 둥근 날(52a, 52b)이 장척상 감광성 웨브(22)의 폭방향 으로 이동하고, 상기 장척상 감광성 웨브(22)를 보호 필름(30)으로부터 감광성 수지층(28) 내지 가용성 베이스 필름(26)까지 컷팅한다. 이에 따라, 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)의 폭 M만큼 이간하는 하프컷 부위(34a, 34b)가 형성되고, 장척상 감광성 웨브(22)에는 상기 잔존 부분(B)을 사이에 두고 전방의 박리 부분(A)과 후방의 박리 부분(A)이 형성된다(도 2 참조).In the
이어서, 장척상 감광성 웨브(22)는 라벨 접착 기구(40)에 반송되어서, 보호 필름(30)의 소정의 부착 부위가 받침대(56) 상에 배치된다. 라벨 접착 기구(40)에서는 소정 매수의 접착 라벨(38)이 흡착 패드(54a∼54g)에 의해 흡착되어 유지된다. 그리고, 각 접착 라벨(38)은 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)을 타고 넘어 전방의 박리 부분(A)과 후방의 박리 부분(A)에 일체적으로 접착된다(도 3 참조).Next, the elongate
예를 들면, 7장의 접착 라벨(38)이 접착된 장척상 감광성 웨브(22)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 리저버 기구(42)를 통해서 송출측의 텐션 변동을 막은 후 박리 기구(44)에 연속적으로 반송된다. 박리 기구(44)에서는 장척상 감광성 웨브(22)의 가요성 베이스 필름(26)이 석션 드럼(62)에 흡착 유지됨과 아울러, 보호 필름(30)이 잔존 부분(B)을 남기고 상기 장척상 감광성 웨브(22)로부터 박리된다. 이 보호 필름(30)은 박리 롤러(63)를 통해서 박리되어서 보호 필름 권취부(64)에 권취된다(도 1 참조).For example, the long-length
박리 기구(44)의 작용 하에 보호 필름(30)이 잔존 부분(B)을 남기고 가요성 베이스 필름(26)으로부터 박리된 후, 장척상 감광성 웨브(22)는 텐션 제어 기구(66)에 의해 텐션 조정이 행하여진다.Under the action of the
이어서, 장척상 감광성 웨브(22)는 부착 기구(46)에 반송됨으로써 유리 기판(24)에 대한 감광성 수지층(28)의 열전사 처리(라미네이트)가 행하여진다. 부착 기구(46)에서는 미리 구동측 고무 롤러(80a) 및 종동측 고무 롤러(80b)가 이간한 상태로 설정되어 있다. 그리고, 구동측 고무 롤러(80a) 및 종동측 고무 롤러(80b)사이의 소정 위치에, 장척상 감광성 웨브(22)의 하프컷 부위(34a)가 위치 결정된 상태에서 상기 장척상 감광성 웨브(22)의 반송이 일단 정지된다.Next, the long-length
이 상태에서, 백업 롤러(84b) 및 종동측 고무 롤러(80b)가 상승하고, 구동측 고무 롤러(80a) 및 종동측 고무 롤러(80b) 사이에는 유리 기판(24)이 소정의 프레스 압력으로 끼워넣어진다. 또한, 구동측 고무 롤러(80a)가 회전함으로써 유리 기판(24)에는 감광성 수지층(28)이 가열 용융에 의해 열전사(라미네이트)된다.In this state, the
또한, 라미네이트 조건으로서는, 속도가 1.0m/min∼10.0m/min , 구동측 고무 롤러(80a) 및 종동측 고무 롤러(80b)의 온도가 80℃∼150℃, 상기 구동측 고무 롤러(80a) 및 상기 종동측 고무 롤러(80b)의 고무 경도가 40도∼90도, 상기 구동측 고무 롤러(80a) 및 상기 종동측 고무 롤러(80b)의 프레스압(선압)이 50N/㎝∼400N/㎝이다.Moreover, as lamination conditions, the speed is 1.0 m / min-10.0 m / min, the temperature of the drive
유리 기판(24)에 대하여 장척상 감광성 웨브(22)의 1장분의 라미네이트가 종료되면, 구동측 고무 롤러(80a) 및 종동측 고무 롤러(80b)의 회전이 정지된다. 한편, 도 1에 나타내는 바와 같이, 장척상 감광성 웨브(22)가 라미네이트된 유리 기판(24)인 감광성 적층체(110)의 선단부는 기판 반송 롤러(94)에 의해 클램프된다. 이 때, 구동측 고무 롤러(80a) 및 종동측 고무 롤러(80b) 사이의 소정 위치에는 하프컷 부위(34b)가 배치된다.When the lamination for one sheet of the long-length
그리고, 종동측 고무 롤러(80b)는 구동측 고무 롤러(80a)로부터 이간하는 방 향으로 퇴피해서 클램프가 해제된다. 이 때문에, 백업 롤러(84b) 및 종동측 고무 롤러(80b)가 하강해서 클램프의 해제가 행하여진다.Then, the driven
이어서, 기판 반송 롤러(94)의 회전이 저속으로 다시 개시된다. 감광성 적층체(110)는 화살표 Y방향으로 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)의 폭 M에 대응하는 거리만큼 반송된다(기판간 송출). 다음의 하프컷 부위(34a)가 구동측 고무 롤러(80a)의 하방 부근의 소정 위치에 반송된 후, 구동측 고무 롤러(80a)의 회전이 정지된다.Subsequently, the rotation of the
한편, 상기 상태에 있어서 기판 공급 기구(45)를 통해서 다음의 유리 기판(24)이 부착 위치를 향해서 반송된다. 이상의 동작이 반복됨으로써 감광성 적층체(110)가 연속적으로 제조된다.On the other hand, the
상기 라미네이트 처리는, 도 5에 나타내는 타이밍 챠트를 따라 행하여지고 있고, 가공 기구(36)에 의한 하프컷 처리는 기판간 송출 처리시에 동기해서 행하여지고 있다.The lamination process is performed along the timing chart shown in FIG. 5, and the half cut process by the
부착 기구(46)에서 라미네이트된 감광성 적층체(110)는 절단 기구(48)에 의해 유리 기판(24) 사이의 장척상 감광성 웨브(22)가 절단됨으로써 분리된다. 분리된 감광성 적층체(110)에는 가요성 베이스 필름(26)이 장착되어 있고, 이 가요성 베이스 필름(26)이 유리 기판(24) 사이의 보호 필름(30)과 함께 박리된 후, 다음 처리 공정에 공급된다.The
그런데, 감광성 웨브 롤(23)은 복수개의 장척상 감광성 웨브(22)의 단부끼리를 접합 테이프(106)에 의해 접합한 상태에서 권회함과 아울러, 상기 장척상 감광 성 웨브(22)의 점 결함 부분(107) 등의 존재를 나타내는 마킹 부재(108)가 상기 장척상 감광성 웨브(22)에 부착되어 있다(도 4 참조). 이에 따라, 감광성 웨브 롤(23)로부터 장척상 감광성 웨브(22)가 되감아지면, 접합 테이프(106) 또는 마킹 부재(108)가 가공 기구(36)측에 송출된다. By the way, the
도 5에 나타내는 바와 같이, 가공 기구(36)는 부착 기구(46)에 의한 라미네이트 처리간의 기판간 송출시에, 장척상 감광성 웨브(22)에 하프컷 부위(34a, 34b)를 형성하고 있다. 그리고, 부착 기구(46)에서 장척상 감광성 웨브(22)의 1장분의 라미네이트 처리가 행하여지고 있는 사이, 광전 센서(104)에 의해 접합 테이프(106) 또는 마킹 부재(108)가 검출되면, 다음회의 기판간 송출시에 가공 기구(36)에 의한 하프컷 처리가 정지된다(동작 없슴). 또한, 다음회의 라미네이트 처리가 행하여진 후, 기판간 송출 동작에 동기해서 하프컷 처리가 재개되어, 장척상 감광성 웨브(22)에 하프컷 부위(34a, 34b)가 형성된다.As shown in FIG. 5, the
이 경우, 본 실시형태에서는 광전 센서(104)는 가공 기구(36)에 의한 하프컷 위치로부터 상류측에 또한 장척상 감광성 웨브(22)의 1장분의 부착 길이 이하의 위치에 배치되어 있다. 이 때문에, 광전 센서(104)에 의해 불량 개소인 접합 테이프(106) 또는 마킹 부재(108)가 검출된 직후에 상기 장척상 감광성 웨브(22)에 대한 하프컷 처리가 정지되면, 상기 접합 테이프(106)나 상기 마킹 부재(108)에는 가공 기구(36)를 구성하는 둥근 날(52a, 52b)에 의한 하프컷 처리가 이루어지는 일은 없다.In this case, in this embodiment, the
특히, 접합 테이프(106)나 마킹 부재(108)는 알루미늄 증착 테이프 등이 사 용되고 있다. 따라서, 둥근 날(52a, 52b)은 접합 테이프(106)나 마킹 부재(108)에 접촉해서 파손되는 것을 확실하게 저지할 수 있다.In particular, an aluminum vapor deposition tape or the like is used for the
한편, 접합 테이프(106)를 사이에 두고 접합되는 장척상 감광성 웨브(22) 사이에 접착 라벨(38)이 접착되면, 박리 기구(44)에 의한 보호 필름(30)의 박리 처리가 양호하게 수행되지 않고, 상기 보호 필름(30)의 박리 불량이 야기될 우려가 있다. 접합 테이프(106)에 의한 접착력은 접착 라벨(38)의 접착력에 비해서 매우 크기 때문이다. 이 때문에, 접합 테이프(106)나 마킹 부재(108)의 존재가 확인된 직후에 하프컷 처리가 정지됨으로써, 보호 필름(30)의 박리작업이 확실하게 수행된다.On the other hand, when the
여기에서, 하프컷 처리가 정지되기 때문에 장척상 감광성 웨브(22)는 실질적으로 2장분의 부착 길이에 기판간 송출의 길이를 더한 길이만큼, 보호 필름(30)이 박리된다.Here, since the half-cut process is stopped, the long-length
그 때, 도 6에 나타내는 바와 같이, 부착 기구(46)와 박리 기구(44) 사이에 1장째의 감광성 웨브(22a1)가 배치되고, 상기 박리 기구(44)와 라벨 접착 기구(40) 사이에 2장째의 감광성 웨브(22a2)가 배치되며, 상기 라벨 접착 기구(40)와 가공 기구(36) 사이에 3장째의 감광성 웨브(22a3)가 배치되고, 또한 상기 가공 기구(36)의 상류측에 4장째의 감광성 웨브(22a4)가 배치되어 있다. 그리고, 3장째의 감광성 웨브(22a3)와 4장째의 감광성 웨브(22a4)는 하프컷 부위(34a, 34b)가 형성되지 않고, 실질적으로 2장분의 길이를 갖는 단일의 감광성 웨브를 구성하고 있다.6, the 1st photosensitive web 22a1 is arrange | positioned between the
그래서, 1장째의 감광성 웨브(22a1)가 부착 기구(46)에 있어서 유리 기 판(24)에 라미네이트된 후 절단 기구(48)에 의해 절단됨과 아울러, 2장째의 감광성 웨브(22a2)는 상기 부착 기구(46)에 있어서 유리 기판(24)에 라미네이트 처리된다.Thus, the first photosensitive web 22a1 is laminated on the
다음에, 3장째의 감광성 웨브(22a3)가 부착 기구(46)에 반송되면, 유리 기판(24)의 송출을 정지하고 이 3장째의 감광성 웨브(22a3)를 절단 기구(48)측에 송출한다. 또한, 4장째의 감광성 웨브(22a4)는, 마찬가지로 부착 기구(46)에서 라미네이트 처리되는 일이 없고 절단 기구(48)측으로 송출된다. 한편, 이 4장째의 감광성 웨브(22a4)에 연속하고, 하프컷 부위(34a, 34b)가 형성된 5장째의 감광성 웨브(22a5)는, 부착 기구(46)에 있어서 유리 기판(24)에 라미네이트 처리가 재개된다.Next, when the 3rd photosensitive web 22a3 is conveyed to the
또한, 절단 기구(48)에서는 4장째의 감광성 웨브(22a4)의 반송 방향 후단부와, 새롭게 라미네이트 처리된 5장째의 감광성 웨브(22a5) 사이가 절단되어, 3장째의 감광성 웨브(22a3) 및 4장째의 감광성 웨브(22a4)가 폐기 처리된다.Moreover, in the
이에 따라, 본 실시형태에서는 간단한 공정으로 장척상 감광성 웨브(22)의 불량 개소가 유리 기판(24)에 라미네이트 처리되는 것을 확실하게 저지함과 아울러, 상기 불량 개소에 가공 기구(36)를 구성하는 둥근 날(52a, 52b)이 접촉할 일이 없다. 따라서, 둥근 날(52a, 52b)의 손상을 방지해서 칼날 수명이 길어져서 경제적이다.Accordingly, in the present embodiment, the defective portion of the long-length
또한, 박리 기구(44)에 있어서 보호 필름(30)을 장척상 감광성 웨브(22)로부터 양호하게 박리시킬 수 있고, 상기 장척상 감광성 웨브(22)에 의한 라미네이트 처리가 효율적이며 또한 고품질로 행하여진다.Moreover, in the
또한, 본 실시형태에서는 접합 테이프(106)나 마킹 부재(108)가 광전 센서(104)에 의해 검출된 직후에 하프컷 처리를 정지하는 한편, 다음회의 기판간 송출 동작시에 하프컷 처리가 재개되고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 라미네이트 불량의 발생을 가급적 저지하기 위해서, 다음회의 기판간 송출시에도 하프컷 처리를 정지할 수 있다.In addition, in this embodiment, the half-cut process is stopped immediately after the
또한, 도 6에 나타내는 바와 같이, 1장째의 감광성 웨브(22a1) 및 2장째의 감광성 웨브(22a2)에 대하여 부착 기구(46)에서 라미네이트 처리가 행하여지고 있지만, 이 1장째의 감광성 웨브(22a1)∼4장째의 감광성 웨브(22a4)에 대하여 라미네이트 처리를 정지하고, 절단 기구(48)에 의해 절단한 후, 이들을 폐기해도 좋다.6, although the lamination process is performed with respect to the 1st photosensitive web 22a1 and the 2nd photosensitive web 22a2 in the
또한 본 실시형태에서는 접합 테이프(106) 및 마킹 부재(108)를 검출하기 위해서 반사형의 광전 센서(104)를 사용하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면, 금속 검출 센서(도시 생략)를 사용해도 좋다. 접합 테이프(106) 및 마킹 부재(108)에는 금속이 함유되어 있기 때문이다.In addition, although the reflective
도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 적층체 필름의 부착 방법에 적용되는 감광성 적층체의 제조 시스템의 개략 구성도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a schematic block diagram of the manufacturing system of the photosensitive laminated body applied to the attachment method of the laminated | multilayer film which concerns on embodiment of this invention.
도 2는 상기 제조 시스템에 사용되는 장척상 감광성 웨브의 단면도이다.2 is a cross-sectional view of a long photosensitive web for use in the manufacturing system.
도 3은 상기 장척상 감광성 웨브에 접착 라벨이 접착된 상태의 설명도이다.It is explanatory drawing of the state which the adhesive label adhere | attached on the said elongate photosensitive web.
도 4는 상기 장척상 감광성 웨브에 접합 테이프 및 마킹 부재가 부착된 상태의 보호 필름측의 설명도이다.It is explanatory drawing of the protective film side of the state in which the bonding tape and the marking member were affixed on the said elongate photosensitive web.
도 5는 상기 부착 방법을 설명하는 타이밍 챠트이다.5 is a timing chart illustrating the attachment method.
도 6은 상기 부착 방법의 설명도이다.It is explanatory drawing of the said attachment method.
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