KR20080015382A

KR20080015382A - 액상물질 공급장치

Info

Publication number: KR20080015382A
Application number: KR1020077003506A
Authority: KR
Inventors: 하치로 나카츠지; 아키라 이즈카; 아키라 카베시타
Original assignee: 마쯔시다덴기산교 가부시키가이샤
Priority date: 2005-06-10
Filing date: 2006-06-08
Publication date: 2008-02-19
Also published as: TW200709856A; US20090008398A1; US7896200B2; EP1888255B1; DE602006011309D1; EP1888255A1; WO2006132428A1

Abstract

본 발명의 목적은 대용량의 용기를 취급하는데 우수한 조작성을 보이는 액상물질 공급장치를 제공하는 것이다. 수직으로 길게 뻗은 용기(30)에 저장되는 액상물질을 공급하기 위한 액상물질 공급장치는, 홀더 본체부(16)의 상측에 제공되는 삽입구를 통해 삽입되는 용기를 유지하기 위한 용기홀더(15)의 바닥부가, 수직 자세나 경사진 자세 중 하나의 자세로 가정될 수 있는 용기홀더(15)를 지지하도록, 베이스 브라켓(14) 상에서 힌지부(19)로 축지지 되고, 용기홀더(15)가 홀더 고정기구(20)에 의해 수직자세로 고정되는 구성을 갖는다. 그 결과 용기홀더(15)는, 심지어 큰 높이 치수를 갖는 대용량의 용기를 취급하는 경우에도 고도의 조작성이 유지될 수 있도록 하는 가운데, 용기 교환작업시 경사진 자세에서 용기 본체부(16)에 장착되고 용기 본체부로부터 제거될 수 있다.

용기, 액상물질, 용기홀더, 경사진 자세, 홀더 고정기구, 용기 교환작업

Description

액상물질 공급장치{Liquid Substance Supplying Device}

본 발명은 수지 접착제(resin adhesive)와 같은 액상물질을 용기에 저장하고 용기로부터 공급하는 액상물질 공급장치에 관한 것이다.

전자부품 장착 분야에서, 수지 접착제는 전자부품을 기판에 고정하는 바와 같은 용도로 광범위하게 사용된다. 수지 접착제와 같은 액상물질은 주사기(syringes) 및 카트리지(cartridges)와 같은 용기에 저장되는 방식으로 취급된다. 이와 같은 액상물질이 기판과 같은 작업물품(workpiece)에 도포하기 위하여 도포장치(application apparatus)에 공급될 때에는, 액상물질이 저장되는 용기들은 배출장치나 도포장치 등에 제공되는 용기홀더에 장착된다(예를 들면, 특허문헌 1 및 2 참조). 이와 같은 용기들에 저장되는 액상물질은 용기들로부터 공압(空壓)에 의해 배출된다. 용기 내의 액상물질이 완전히 소모되었을 때에는, 사용한 용기는 새로운 용기로 교환되기 위하여 용기홀더로부터 제거된다.

[특허 문헌 1] 일본국 특허공개공보 평11-244758호

[특허 문헌 2] 일본국 실용신안등록공보 제2,591,744호

근래 들어, 생산효율을 개선하기 위하여, 전자부품 장착 분야에서 사용되는 생산설비의 가동률(availability factor)을 최대화하는 것이 요구되고 있다. 그 결과, 수지 접착제 도포와 같은 용도로 액상물질이 공급되어야 하는 장치에 더 큰 용량을 갖는 용기를 사용하여, 상기한 바와 같은 용기 교환빈도를 줄일 수 있도록 하는, 경향이 있다. 이와 같이 대용량의 용기가 사용되는 경우에, 용기 크기의 증가는 종래기술과 비교했을 때 장치 내에서 용기 교환작업 등을 위한 더 큰 취급공간을 필요로 하고, 또한 결과적으로 액상물질을 배출하기 위해 필요한 공압력의 증가를 필요로 한다. 이와 같은 이유에 따라, 종래기술에 따른 장치에서보다 밀폐성능과 장착 및 교환작업에 관한 조작성에 더 큰 주의를 기울이는 것이 바람직하다.

그러나, 이상에서 인용한 특허 문헌의 예들을 포함하는 종래기술에 따른 장치는 기본적으로 전통적인 표준 크기의 주사기나 카트리지가 사용된다는 가정에서 구성되었다. 이와 같은 이유에 따라, 종래기술에 따른 이와 같은 장치는 근래 사용되고 있는 대용량의 용기를 사용하기에 적합한 구조를 갖지 못한다. 그러므로, 대용량의 용기를 수용하고 고도의 밀폐성능과 조작성을 갖는 액상물질 공급장치에 대한 요구가 있었던 실정이다.

이와 같은 상황 하에서, 본 발명은 대용량의 용기를 수용하고 고도의 밀폐성능과 조작성을 갖는 액상물질 공급장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명에 따른 액상물질 공급장치는 수직으로 길게 뻗은 용기에 저장되는 액상물질을 공급하기 위한 액상물질 공급장치로서, 자체의 상측에 제공되는 삽입구(insertion hole)를 통해 삽입되는 상기 용기를 유지하기 위한 용기홀더(container holder)와, 상기 용기홀더를 수직 자세 또는 경사진 자세로 지지하기 위한 홀더 지지기구(holder supporting mechanism), 및 상기 용기홀더의 자세를 수직상태로 고정하기 위한 홀더 고정기구(holder fixing mechanism)를 포함한다.

본 발명에 따른 액상물질 공급장치는, 자체의 상단부에 개구부를 갖는 거의 원통형의 용기에 저장되는 액상물질을 공급하기 위한 액상물질 공급장치로서, 홀더 본체부(holder main body)의 상면에 의해 아래로부터 지지되는 상기 상단부에 형성되는 플랜지부(flange portion)를 갖는, 자체의 상측으로부터 삽입되는, 상기 용기를 유지하는 용기홀더; 상기 용기홀더를 수직 자세나 경사진 자세 중 어느 하나의 자세로 지지하기 위한 홀더 지지기구; 상기 용기홀더의 자세를 수직상태로 고정하기 위한 홀더 고정기구; 상기 용기의 내부를 밀폐하기 위하여 상기 용기홀더에 의해 유지되는 상기 용기의 개구부에 삽입되는 제1밀폐부와, 상기 홀더 본체부에 의해 아래로부터 지지되는 상기 플랜지부의 상면에 접촉하고 상기 개구부를 밀폐하기 위하여 상기 상면에 의해 압박되는 제2밀폐부를 갖는 뚜껑; 수직방향으로 회전가능하도록, 상기 용기홀더에 고정되는 제1지지점을 따라 자체의 상단부가 선회하게 되는 레버; 및 수직방향으로 회전가능하도록 상기 제1지지점으로부터 떨어진 상기 레버 상의 위치에 제공되는 제2지지점에 자체의 일단부가 선회하게 되고, 자체의 타단부에 상기 뚜껑에 제공되는 피맞물림부를 맞물게 되는 맞물림부를 갖는 링크부재;를 포함한다. 장치는, 상기 개구부에 상기 제1밀폐부를 삽입하고 상기 제2밀폐부가 상기 플랜지부의 상면을 압박하도록 하기 위하여, 상기 레버가 상기 피맞물림부와 맞물리게 되는 상기 맞물림부와 함께 하방으로 회전하게 되도록 구성된다.

본 발명에 따르면, 뚜껑 개폐기구(lid opening/closing mechanism)가, 레버의 회전으로 용기를 밀폐하기 위하여 뚜껑에 제공되는 피맞물림부와 맞물리게 되는, 맞물림부를 갖는 링크부재를 상승시키기 위하여 제공된다. 따라서, 피맞물림부를 맞물림부와 함께 끌어내리기 위하여 레버를 하방으로 회전시킴에 의해 용기의 내부가 밀폐되고, 피맞물림부를 맞물림부와 함께 밀어올리기 위하여 레버를 상방으로 회전시킴에 의해 뚜껑이 개방되는, 구성이 제공된다. 따라서, 액상물질 공급장치는 대용량의 용기를 수용하고 고도의 밀폐성능과 조작성을 갖도록 제공될 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 도포장치를 도시한 사시도,

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 도포장치의 액상물질 도포기구를 도시한 사시도,

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 도포장치의 탱크 헤드(tank head)를 도시한 정면도,

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 도포장치의 탱크 헤드를 도시한 측면도,

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 도포장치의 탱크 헤드의 작동을 설명하기 위하여 도시한 도면,

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 도포장치의 용기홀더를 도시한 부분 단면도,

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 도포장치의 용기홀더의 뚜껑 구속기구의 구조를 설명하기 위하여 도시한 도면,

도 8a 및 도 8b는 본 발명의 일 실시예에 따른 도포장치의 뚜껑 구속기구의 작동을 설명하기 위하여 도시한 도면,

도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 도포장치의 제어시스템의 구성을 도시한 블럭도,

도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 도포장치의 용기교환작업을 설명하기 위하여 도시한 도면,

도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 도포장치의 용기홀더에서 뚜껑 개폐 작동을 설명하기 위하여 도시한 도면,

도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 도포장치의 용기홀더에서 뚜껑 개폐 작동을 설명하기 위하여 도시한 도면,

도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 도포장치의 용기홀더에서 뚜껑 개폐 작동을 설명하기 위하여 도시한 도면,

도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 도포장치의 용기홀더에서 뚜껑 개폐 작동을 설명하기 위하여 도시한 도면,

도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 도포장치의 용기홀더에서 뚜껑 개폐 작동을 설명하기 위하여 도시한 도면,

도 16은 본 발명의 일 실시예에 따른 도포장치의 용기홀더의 뚜껑 구속기구의 작동을 설명하기 위하여 도시한 도면.

*참조 부호의 설명*

1: 도포장치

5: 도포기구

6: 도포헤드 이동기구

7: 탱크 헤드

9: 도포헤드

11: Y-축 테이블(table)

12: Y-방향 이동부재

15: 용기홀더

16: 홀더 본체부

17: 뚜껑 개폐기구

18: 뚜껑

19: 힌지부

20: 홀더 고정기구

25: 링크로드(link rod)

26: 피맞물림부(portion to be engaged)

27: 레버

30: 용기

30b: 플랜지부

31: 수지 접착제

48: 맞물림 후크(engaging hook)

지금부터 본 발명의 실시예가 도면을 참조하여 설명될 것이다.

우선, 도포장치(1)의 전체적인 구조는 도 1을 참조하여 설명될 것이다. 도 1을 참조하면, 도포장치(1)는 기판 이송기구(3) 및 액상물질 도포기구(5)가 베이스(2) 상에 배치되는 구성을 갖는다. 기판 이송기구(3)는 액상물질인 수지 접착제가 도포 되어야 할 기판을 이송시키고 위치시킨다. 도포기구(5)는 수지 접착제를 분사하기 위한 도포노즐(10)을 갖는 도포헤드(9)가 도포헤드 이동기구(6)에 의해 이동하게 되는 구성을 갖는다.

도포기구(5)는 수지 접착제를 저장하기 위한 용기(30)(도 3 및 도 6 참조)를 갖는 탱크 헤드(7)와 함께 제공되고, 수지 접착제는 탱크 헤드(7)로부터 도포헤드(9)까지 튜브(8)를 통해 공급된다. 커버 개구부(2b)가 도포기구(5)를 둘러싸도록 제공되는 커버 프레임(2a)의 전방측에 제공되고, 도포헤드(9)의 유지보수와 점검 및 용기의 교환 등과 같은 작업이 커버 개구부(2b)를 통해 수행될 수 있도록 한다.

도 2에 도시한 바와 같이, 도포헤드 이동기구(6)는 Y-축 테이블(11)의 바닥면에 부착되는 Y-방향 이동부재(12)에 수직판 형태의 X-축 테이블(13)과 베이스 브라켓(14)을 장착하고, X-축 테이블(13)에 승강 테이블(21)을 부착하여 구성된다. 도포헤드(9)의 부분을 형성하는 분사기구(22)가 승강 테이블(21)에 부착되고, 분사기구(22)는 Y-축 테이블(11), X-축 테이블(13), 및 승강 테이블(21)을 구동함에 의해, Y-방향, X-방향 및 Z-방향의 각 방향으로 도포노즐(10)과 함께 이동하게 된다.

탱크 헤드는 베이스 브라켓(14)에 배치되고, 탱크 헤드(7)는 Y-방향 이동부재(12)를 이동시키기 위하여 Y-축 테이블(11)을 구동함에 의해 Y-방향으로 이동하게 된다. 탱크 헤드(7)는 용기홀더(15)를 갖고, 용기홀더(15)는 홀더 본체부(16)와, 뚜껑(18) 및 뚜껑 개폐기구(17)로 구성된다.

용기홀더(15)는 베이스 브라켓(14)의 하부에 제공되는 힌지부(19)를 회전축으로 하여 지지되고, 용기홀더(15)를 고정하기 위한 홀더 고정기구(20)가 힌지부(19) 상부의 베이스 브라켓(14)에 제공된다. 용기홀더(15)는, 홀더 고정기구(20)와 용기홀더(15)의 고정을 해제함에 따른 지지점(fulcrum)으로서 역할을 수행하는, 힌지부(19)에 대하여 수직 자세로부터 경사지게 될 수 있다.

지금부터, 용기홀더(15)의 구조가 도 3 및 도 4를 참조하여 설명될 것이다. 도 3 및 도 4를 참조하면, 용기(30)를 유지하는 용기홀더(15)는 Y-방향 이동부재(12)의 바닥면에 고정되는 베이스 브라켓(14)의 전방측(도 4의 오른쪽)에 장착된다. 용기(30)는, 자체의 상단부에 개구부(30a)를 갖는, 거의 원통형이며 수직으로 길게 뻗은 주사기이고, 수지 접착제 등과 같은 액상물질은 그 내부에 저장된다(도 6참조).

용기홀더(15)는, 수직의 뒷판(16a) 및 서로 간에 수직으로 배치되는 상부분(16a) 원통부분(16c) 및 바닥부분(16d)으로 대부분이 구성되는 홀더 본체부(16) 와, 홀더 본체부(16)의 상부를 닫는 뚜껑(18), 및 뚜껑(18)을 열고 닫는 뚜껑 개폐기구를 포함한다. 삽입구가, 용기(30)가 상측으로부터 삽입될 수 있도록 하기 위하여, 상부분(16b)에 제공된다. 원통부분(16c) 및 바닥부분(16d)은 삽입되는 용기의 중간부분과 바닥부분을 지지한다.

도 4에 도시한 바와 같이, 힌지부(19)는, 뒷판(16a) 하단부의 후방측(도 4의 좌측)으로 돌출하도록 제공되는 선회판(16f)이 핀(19a)을 통해 베이스 브라켓(14) 하단부의 전방측에 제공되는 선회브라켓(14b)에 축지지되는, 구성을 갖는다. 도 3에 도시한 바와 같이, 핀홀을 갖는 구속판(16e)이 왼쪽으로 연장되도록 뒷판(16a) 상부의 후방측에 제공된다.

수평방향으로 미끄럼 이동할 수 있는 핀(20a)을 지지하기 위한 구속브라켓(14a)이 구속판(16a)의 위치에 대응하도록 베이스 브라켓(14) 상부의 전방측에 제공된다. 핀(20a)은 손잡이(20b)(grip)와 결합되고, 핀(20a)은 손잡이(20b)를 쥐고 조작함에 의해 구속판(16e)의 핀홀에 조립되고 핀홀로부터 제거될 수 있다. 구속브라켓(14a), 핀(20a) 및 손잡이(20b)는 홀더 고정기구(20)를 구성한다.

핀(20a)이 구속판(16e)을 구속하기 위하여 구속판(16e)의 핀홀에 조립된 상태에서, 용기홀더(15)는 힌지부(19) 및 홀더 고정기구(20)에 의해 자체의 상부 및 하부에서 지지되고, 베이스 브라켓(14)에 의해 수직 자세로 유지된다. 용기홀더(15)는, 핀(20a)과 구속판(16e)의 구속을 해제하기 위하여 오른쪽으로 손잡이(20b)를 뽑아냄으로써, 도 5에 도시한 바와 같이 경사진 자세로 힌지부(19)에 대하여 회전하게 된다.

그러므로, 용기홀더(15)의 바닥부분에 결합되는 힌지부(19)는 용기홀더(15)를 수직 자세나 경사진 자세 중 어느 하나로 유지하기 위한 홀더 지지기구(holder supporting mechanism)를 구성한다. 홀더 본체부(16)의 뒷판(16a)에 제공되는 구속판(16e)은, 용기홀더(15)의 상부에 제공되고 홀더 고정기구(20)에 의해 구속되는, 구속부(locking portion)를 구성한다.

도 4에 도시한 바와 같이, 뒷판(16a)을 검출하기 위한 센서(23)가 베이스 브라켓(14)의 오른쪽 표면에 제공된다. 자기로 또는 광학적으로 물체의 존재를 검출하기 위한 근접센서 등이 센서(23)로 사용된다. 센서(23)가 뒷판(16a)을 검출할 때 용기홀더(15)가 수직 자세에 있다는 것이 검출된다. 용기홀더(15)가, 도 5에 도시한 바와 같이, 경사진 자세에 있을 때, 센서(23)는 뒷판(16a)을 검출하지 않고, 그러므로 용기홀더(15)가 경사진 자세에 있다는 것이 검출된다.

도 3에 도시한 바와 같이, 용기는 자체의 상단부에 있는 개구부(30a) 주변으로부터 외측으로 연장되는 플랜지부(30b)를 갖는다. 용기(30)를 홀더 본체부(16)로 유지하기 위하여, 용기(30)는 상부분(16b) 상면의 삽입구로부터 삽입된다. 따라서, 플랜지부(30b)는 상부분(16b)에 의해 아래로부터 지지되도록 상부분(16)의 상면에 접촉한다. 말하자면, 용기홀더(15)는 자체의 상측으로부터 삽입되는 용기(30)를, 용기의 상단부에 형성되는 플랜지부(30b)가 홀더 본체부(16)의 상면에 의해 아래로부터 지지되는 상태로, 유지한다.

이와 같은 상태에서, 용기(30)의 하단부에 제공되는 배출구(30c)가 바닥부분(16d)의 바닥면으로부터 하방으로 돌출한다. 수지 접착제를 도포헤드(9)에 공급 하기 위한 튜브(8)가 배출구(30c)에 연결된다. 용기(30)에 저장되는 수지 접착제(31)는 공압에 의해 아래로 밀리는 피스톤(32)에 의해 배출구(30c)로부터 배출되고, 따라서 수지 접착제는 튜브(8)를 통해 도포헤드(9)에 공급된다.

도 4를 참조하면, 상부분(16a)의 상부에 제공되는 뚜껑(19)은 뚜껑힌지부(18a)에 의해 회전가능하게 지지된다. 뚜껑(18)이 시계방향으로 회전할 때, 뚜껑(18)은 홀더 본체부(16)에 의해 유지되는 용기(30) 상단부의 개구부(30a)를 닫는다. 피맞물림부(26)가 뚜껑힌지부(18a) 반대측의 뚜껑(18) 부분에 제공된다. 링크로드(25)를 통해 뚜껑(18)을 열고 닫기 위한 레버(27)를 갖는 뚜껑 개폐기구(17)가, 상부분(16b)에 수직으로 고정되는, 수직판(24)에 제공된다. 뚜껑 개폐기구(17)는, 링크로드(25)의 일단부에 제공되는 맞물림부가 피맞물림부(26)를 맞물게 함에 의해, 뚜껑(18)을 홀더 본체부(16)에 구속하도록 하는 뚜껑 구속기구(lid locking mechanism)를 구성한다.

도 6은 닫힌 상태의 뚜껑(18)을 도시한다. 용기(30)의 개구부(30a)에 적합한 형상을 갖는 접합돌출부(18d)가 뚜껑(18)의 바닥면으로부터 돌출하도록 제공되고, 제1오링(33)이 접합돌출부(18d)의 외주면에 장착된다. 제2오링(34)이, 방사방향으로 플랜지부(30b)의 위치에 대응하도록, 접합돌출부(18d) 외주 측의 뚜껑(18) 바닥면에 부착된다.

피맞물림부(26)는, 용기(30)의 개구부(30a)에 제1오링(33)과 함께 접합돌출부(18d)를 끼우기 위하여, 링크로드(25)와 맞물린 상태에서 끌어 내려지고, 따라서 제2오링(34)이 플랜지부(30b)의 상면에 접촉함과 더불어 압착된다. 그 결과, 용 기(30)의 내부는 제1오링(33)에 의해 밀폐되고, 용기(30)는 제2오링(34)에 의해 외주위치에서 추가로 밀폐된다. 접합돌출부(18d)와 제1오링(33)은, 용기홀더(15)에 의해 유지되는 용기(30)의 개구부(30a)로 삽입됨에 의해, 용기(30)의 내부를 밀폐하는 제1밀폐부를 구성한다. 제2오링(34)은, 상부분(16b)에 의해 아래로부터 지지되는, 플랜지부(30b)의 상면과 접촉하도록 압착됨에 의해 개구부(30a)를 밀폐하는 제2밀폐부를 구성한다.

말하자면, 본 실시예는 개구부(30a)의 내주면에 접촉함에 의해 씰(seal)을 형성하는 제1오링(33), 및 플랜지부(30b)의 상면에 접촉함에 의해 씰을 형성하는 제2오링(34)이 용기(30)를 밀폐하기 위한 밀폐기구로서 제공된다. 그러므로, 용기(30)에 대한 밀폐특성을 개선하기 위한 2중의 씰을 제공할 수 있는 것이다. 이후에 설명될 것처럼, 제1오링(33) 및 제2오링(34)을 밀폐위치에 위치하도록 하는 것과 이들을 해제하는 것은 뚜껑 개폐기구(17)의 레버(27)를 한번 조작함으로써 수행될 수 있다.

따라서, 압축기체를 밀폐되는 용기(30) 내부에 공급하기 위한 통기구(18c)가, 접합돌출부(18d)의 바닥면으로부터 상방으로 뚜껑을 관통하도록, 뚜껑(18)에 제공된다. 통기구(18c)는 공기관(28)(도 2 참조)과 접속부재(18b)(joint member)를 통해 연결된다. 압축기체는, 공기관(28)을 통해 공압공급원으로부터 공압을 공급함에 따라, 통풍구(18c)를 통해 용기(30)의 내부에 공급된다. 그 결과, 용기(30)에 장착되는 피스톤(32)이, 용기(30)에 저장되는 수지 접착제(31)를 배출구(30c)로부터 배출하도록 하방으로 밀린다.

이어서, 뚜껑 개폐기구(17)의 구체적인 구조가 도 7을 참조하여 설명될 것이다. 도 7을 참조하면, 레버(27)는 자체의 하부에 구비되어 조작시 작업자에 의해 쥐어지게 될 손잡이부(27a)와 함께 제공되는, 길게 뻗은 부재(elongated member)이다. 레버 중간부(27b) 와 레버 베이스부(27c)가 손잡이부(27a) 상부에 제공된다. 실린더 브라켓(24a)이 상부분(16b)에 고정되는 수직판(24)의 전면으로부터 돌출하도록 제공되고, 레버 베이스부(27c)의 상단부가 실린더 브라켓(24a)에 제공되는 제1지지점(35)에서 핀(35a)을 통해 축지지(pivot) 된다. 말하자면, 레버(27)는 자체의 상단부에서 용기홀더(15)에 고정되는 제1지지점(35)에 축지지 되고, 따라서 수직방향으로 회전가능하게 된다.

오려낸 부분들(27d)(27e)(cutouts)이 두 위치에, 즉 레버 중간부(27b) 상의 상부 및 하부 위치에 형성되고, 미끄럼판(8)이 오려낸 부분들(27d)(27e)을 덮도록 장착된다. 미끄럼판(38) 위에 직립하게 되는 미끄럼핀들(39)(40)이, 미끄럼판(38)이 레버 중간부(27b)를 따라 수직방향으로 미끄럼이동 할 수 있도록, 수직방향으로 연장되도록 레버 중간부(27b)에 형성되는 슬릿(27e)(slit)에 미끄럼이동이 가능하게 접속하게 된다. 미끄럼판(38)은 미끄럼핀(40)과 결합되는 스프링(41)에 의해 압박되고, 미끄럼판의 정상위치는 미끄럼핀(39)이 슬릿(27e)의 상단부에 접촉하는 위치이다.

밀어내리는 조작을 위해 사용되는 손가락 맞물림부(38a)가 미끄럼판(38)의 하단부에 제공되고, 미끄럼판(38)은 손가락으로 손가락 맞물림부(38a)를 하방으로 밀어서 스프링(41)의 압박력에 대항하여 아래로 미끄럼이동 하게 되며, 미끄럼 판(38)은 하방으로 미는 힘을 제거하면 정상위치로 복귀하게 된다. 연장부(38c)가 직사각의 오려낸 부분(38b)을 통과하여 상방으로 연장되도록 미끄럼판(38)의 상부에 제공된다. 미끄럼판(38)이 상하로 미끄럼 이동함에 따라, 오려낸 부분(27d) 상부의 정상위치에 위치하는 연장부(38c) 또한 상하로 미끄럼 이동하게 된다.

안내레일(42)이, 레버(27)의 오려낸 부분(27d)과 대응하는 위치의, 수직판(24)에 수직 방향으로 배치된다. 후크(37)(hook)가 안내레일(42)에 미끄럼이동 가능하도록 접속하게 되는 슬라이더(43)(slider)와 결합된다. 상방으로 굽은 구속단부(37a)(locking end portion)가 오려낸 부분(27d)으로부터 돌출하도록 후크(37)의 일단부에 제공되고, 구속단부(37a)는 오려낸 부분(38b) 내에 위치하게 된다. 슬라이더(43)는 스프링에 의해 상방으로 압박되고, 슬라이더(43)의 상한위치는 멈춤턱(44)(stopper)에 의해 제한된다.

슬라이더(43)가 상한위치에 있도록 멈춤턱(44)에 접촉하는 상태에서, 잠금단부(37a)는, 레버(27)가 회전하는 것을 방지하도록, 레버 중간부(27b)를 수평방향에서 구속하기 위하여 오려낸 부분(27d)의 상단부에 위치하게 된다. 연장부(38c)는, 정상위치에서 오려낸 부분(27d)으로부터 돌출하는 구속단부(37a)의 상부에 위치하게 되고, 구속단부(37a)는, 미끄럼판(38)이 하방으로 미끄럼이동 할 때, 연장부(38c)에 의해 하방으로 밀린다. 그 결과, 레버 중간부(27b)는 구속단부(37a)에 의해 구속되는 상태로부터 해방되고, 레버(27)는 회전가능하게 된다.

레버 구속실린더(36)(lever lock cylinder)가, 내부의 로드(36a)가 수평방향으로 놓이는 자세로, 실린더 브라켓(24b)을 통해 수직판(24)에 배치된다. 레버 구 속실린더(36)는 로드(36a)가 레버(27)와 수직인 위치에서 돌출하도록 구동되고, 그로 인해 레버(27)의 자유로운 회전을 방지하도록 로드(36a)가 레버 중간부(27b)의 전방에 위치하게 된다. 레버 구속실린더(36)에 의해 제공되는 구속은 로드(36a)를 들어가게 함에 의해 해제된다.

따라서, 설명한 바와 같이, 레버(27)는, 수동조작으로 해제될 수 있는 후크(37)에 의해 제공되는 수동적인 구속에 더하여, 단지 레버 구속실린더(36)를 구동함에 의해 해제될 수 있는 자동적인 구속으로 확실하게 구속된다. 따라서, 레버(27)의 구속상태는, 심지어 레버(27)의 구속상태가 해제되지 말아야 할 순간에 수동적인 구속이 잘못된 조작으로 해제되는 경우에도, 유지될 수 있다.

제2지지점(46)이 소정 거리(D) 만큼 제1지지점(35)으로부터 하방으로 떨어진 위치의 레버 베이스부(27c)에 제공된다. 제2지지점(46)은 링크로드(25)의 하단부와 결합되는 선회블럭(46b)(pivot block)이 레버 베이스부(27c)에서 핀(46a)으로 축지지되는 구조를 갖는다. 따라서, 링크로드(25)는 자체의 일측단부에서 제2지지점에 수직방향으로 회전가능하도록 축지지 된다. 결합블럭(47)이 링크로드(25)의 상단부에 결합되고, 역방향 'L'자 형상의 맞물림 후크(48)가 결합블럭(47)의 상부에 상방으로 연장되도록 제공된다.

뚜껑(18)으로부터 수평으로 연장되도록 제공되는 피맞물림부(26)는, 두 측판(26a)의 윗부분들이 커버부(26b)로 연결되고, 자체의 양단부가 측판들(26a)에 의해 지지되는 피맞물림핀(26c)이 커버부(26b) 아래에 배치되는, 구조를 갖는다. 맞물림 후크(48)가, 레버(27)와 링크로드(25)가 모두 수직인 상태일 때, 피맞물림 핀(26c)을 맞물게 하고, 그로 인해 개구부(30a)를 밀폐된 상태로 유지하도록 뚜껑(18)이 링크 로드(25)와 레버(27)를 통해 홀더 본체부(16)에 구속된다.

이어서, 레버(27)가 조작될 때 뚜껑(18)을 열고 닫는 뚜껑 개폐기구(17)의 기능에 관하여 도 8a 및 도 8b를 참조하여 설명될 것이다. 도 8a는 뚜껑(18)을 개방하는 작동을 도시한다. 이와 같은 작동에서, 레버(27)는, 피맞물림핀(26c)의 상면이 맞물림 후크(48)의 바닥면과 맞물리게 되는 상태에서, 제1지지점(35)에 대하여 하방(시계방향)으로 회전하게 된다. 이때, 링크로드(25)는 제2지지점(46)을 통해 하방으로 밀리고, 피맞물림부(26)가 링크로드(25)에 의해 끌어 내려진다. 그 결과, 뚜껑(18)은 뚜껑힌지부(18a)에 대하여 회전하게 되고, 접합돌출부(18d)는 제1오링(33)과 함께 개구부(30a)에 삽입되며, 그로 인해 용기(30)의 내부가 밀폐된다.

이 상태에서, 도 8b에 도시한 바와 같이, 레버(27)가 상방으로 회전하게 되면, 레버(27)와 결합되는 링크로드(25)가 상방으로 이동하게 되고, 맞물림 후크(48)가 피맞물림핀(26c)의 상면으로부터 떨어지고, 피맞물림부(26c)를 밀어 올리기 위하여 커버부(26b)의 바닥면에 접촉한다. 따라서, 뚜껑(18)은 뚜껑 힌지부(18a)에 대하여 뚜껑을 개방하는 방향으로 회전하게 되고, 용기(30)의 개구부(30a)에 삽입되는 접합돌출부(18d)가 제1오링(33)과 함께 개구부(30a)로부터 빠져나오게 된다.

말하자면, 상기한 바와 같은 구성에서, 레버(27)는 자체의 상단부에서 용기홀더(15)에 튼튼하게 제공되는 제1지지점(35)에 축지지 되고, 그러므로 수직방향으로 회전가능하게 된다. 링크로드(25)는 자체의 일단부에서, 수직방향으로 회전가능 하게 되도록, 소정 거리(D)만큼 제1지지점(35)으로부터 하방으로 떨어진 위치의 레버(27) 상에 제공되는 제2지지점(46)에 축지지 되고, 자체의 타단부에, 뚜껑(18)에 제공되는 피맞물림부(26)를 맞물게 되는 맞물림부로서의, 맞물림 후크(48)를 갖는 링크부재이다. 맞물림 후크(48)와 피맞물림부(26)는 두 방향에서, 바꿔 말하면 제1오링(33)이 개구부(30a)에 삽입되는 방향과 제1오링(33)이 개구부(30a)로부터 빠져나오게 되는 방향에서 서로 맞물게 되도록 구성된다.

소정 거리(D)는 행정거리(stroke)에 근거하여 설정되며, 행정거리상에서 링크로드(25)가 뚜껑(18)을 열고 닫는 조작이 가능하도록 구동되어야 한다. 링크로드(25)는, 손잡이부(27a)에 가해지는 조작력이 지레 비(leverage)에 따라 증가하도록, 레버(27) 전체길이와 소정 거리(D)에 대한 지레 비를 적절히 설정함으로써, 더 큰 힘으로 상하방으로 구동될 수 있다.

이와 같은 구성의 사용은, 대용량의 용기(30)가 사용되는 때에도, 용기(30)가, 조작성이 우수한 상태에서, 뚜껑(18)으로 밀폐되고 개방될 수 있도록 한다. 구체적으로, 대용량의 용기를 사용하는 것은 밀폐용 오링의 크기 측면에서의 증가를 필요로 하고, 결과적으로 더 큰 힘이 용기의 개구부에 오링을 끼우고 용기의 개구부로부터 오링을 제거하기 위하여 요구된다. 이와 같은 경우에도, 뚜껑(18)은, 본 실시예에서 설명된 바와 같이 레버(27)로 링크로드(25)를 구동하는 기구를 채용함으로써 작은 힘으로 용이하게 열리고 닫힐 수 있게 된다.

제어시스템의 구성이 도 9를 참조하여 설명될 것이다. 도 9를 참조하면, 키보드 또는 마우스와 같은 조작입력유닛(51)(operation/input unit)이 제어유닛(50) 에 연결되고, 기판 이송기구(3), 도포헤드 이동기구(6) 및 도포헤드(9)의 동작이 조작입력유닛(51)으로부터의 데이터 입력과 조작명령에 의해 제어된다. 제어유닛(50)으로부터의 명령에 근거하여, 표시유닛(56)(notification unit)이 영상출력모니터, 표시램프 등을 사용하여 센서(23)에 의해 검출되는 용기홀더(15)의 상태 및 자세와 같은 소정 항목에 대한 정보를 제공한다. 공압이 조정기(54)(55)(regulator)를 통해 용기(30)와 레버 구속 실린더(36)에 각각 공급된다. 밸브(53)가 압력원(53)에서 조정기(54)(55)까지의 공압공급경로 상에 설치되고, 용기(30)와 레버 구속 실린더(36)로의 공압 공급은, 제어유닛(50)에 의해 수행되는, 밸브(53)의 제어를 통해 제어된다.

지금부터, 용기(30)를 교환하기 위한 용기홀더(15)의 이동 동작에 관하여, 도 10을 참조하여, 설명할 것이다. 용기(30) 내의 수지 접착제(31)가, 도포헤드(9)에 수지 접착제를 공급하기 위하여, 용기(30)로부터 수지 접착제(31)를 배출하는 연속적인 작업과정에서 모두 소모되면, 용기 교환작업이 수행된다. 용기 교환작업시에는, 도 10에 도시한 바와 같이, Y-축 테이블(11)이 우선 Y-방향으로 Y-방향 이동부재(12)를 이동시키기 위하여 구동된다.

따라서, 용기홀더(15)가, 자체에 베이스 브라켓(14)을 통해 힌지부(19)가 부착되는 Y-방향 이동부재(12) 및 홀더 고정기구(20)와 함께, 장치가 외부로부터 조작될 수 있는 커버 개구부(3b) 근처의 교환 위치로 이동하게 된다. 이때, 홀더 고정기구(20)는 용기홀더(15)가 힌지부(19)에 대하여 회전하는 것을 허용하도록 해제되고, 그로 인해 용기(30)가, 도 10에 도시한 바와 같이, 경사진 자세에 놓이게 된 다. 이어서, 뚜껑 개폐기구(17)가 홀더 본체부(16)로부터 뚜껑(18)을 해방시키기 위하여 해제되고, 새로운 용기(30)로 교환하기 위하여 사용한 용기(30)를 홀더 본체부(16)로부터 꺼내는 작업이 실행된다.

상기한 바와 같은 구성에서, Y-방향 이동부재(12)는 자체에 부착되는 홀더 고정기구(20) 및 힌지부(19)와 함께 수평방향으로 이동하게 되는 수평 이동부재이다. Y-축 테이블(11)은, 액상물질이 공급되어야 할 때 소정의 작업영역에서 Y-방향 이동부재(12)를 이동시키고, 용기(30)가 교환되어야 할 때 소정의 교환위치로 Y-방향 이동부재(12)를 이동시키는, 수평 이동수단이다.

용기(30)는, 용기홀더(15)가 설명한 바와 같이 교환위치로 이동하고 그곳에서 경사지게 되는 구성을 채용함에 의해, 고도의 조작성으로 용기홀더(15)에 부착되고 용기홀더로부터 제거될 수 있다. 더불어, 장치 내부에서 용기가 부착되고 제거되는 종래기술에 따른 장치와 달리, 용기(30)를 용기홀더(15)에 부착하고 용기홀더로부터 제거하기 위한 공간을 장치 내에 확보할 필요가 없다. 그러므로, 심지어 장치가 높이 치수가 큰 대용량의 용기를 수용하는 경우에도, 장치의 크기가 감소되는 장점이 있다.

지금부터, 상기한 바와 같은 용기 교환작업 도중에 뚜껑(18)을 개방하는 작동에 대한 상세(details)가 도 11 내지 도 15를 참조하여 설명될 것이다. 도 11은, 탱크 헤드(7)가 교환위치까지 밖으로 당겨진 후에, 용기홀더(15)가 홀더 고정기구(20)를 해제함에 의해 경사지게 되는 상태를 도시한다. 구체적으로, 이와 같은 상태에서, 용기(30)는 플랜지부(30b)에서 상부분(16b)에 의해 아래로부터 지지되 고; 접합돌출부(18d)는 제1오링(33)과 함께 용기(30)의 개구부(30a)에 삽입되며; 제2오링(34)은 플랜지부(30b)를 압박하게 된다. 뚜껑(18)은 뚜껑 개폐기구(17)에 의해 구속된다.

뚜껑(18)을 개방하기 위하여, 우선 조작입력유닛(51)이 레버 구속실린더(36)에 의해 제공되는 레버 구속을 해제하기 위하여 조작된다. 구체적으로, 레버 구속실린더(36)는 도평면(the plane of the drawing)의 이면 방향으로 로드(36a)를 들어가게 하도록 구동된다. 이어서, 도 12에 도시한 바와 같이, 레버(27)의 손잡이부(27a)가 쥐어지고, 하방으로 미끄럼판(38)을 미끄럼이동시키는 조작을 수행하기 위하여 손가락과 맞물리게 되는 손가락맞물림부(38a)와 함께, 아래로 밀린다. 따라서, 구속단부(37a)가, 레버 중간부(27b)를 구속하는 위치를 떠나도록, 연장부(38c)에 의해 하방으로 밀리게 되고, 그로 인해 레버(27)가 후크(37)에 의해 제공되는 구속으로부터 해방된다.

그 후, 뚜껑(18)이 개방된다. 구체적으로 손잡이부(27a)가 쥐어지고, 레버(27)가 상방으로 회전하도록 도면의 오른쪽을 향해 당겨진다. 따라서, 레버(27)가 제1지지점(35)에 대하여 회전하고, 이 회전으로 인한 제2지지점(46)의 이동이 링크로드(25)의 상방 이동을 야기한다. 링크로드(25)의 상방 이동의 결과로서, 맞물림 후크(48)가 커버부를 상방으로 밀도록 커버부(26b)에 접촉한다. 따라서, 접합돌출부(28d)가 제1오링(33)과 함께 용기(30)의 개구부(30a)로부터 빠져나오게 되고, 제2오링(34)이 플랜지부(30b)에 대항한 압박으로부터 해방된다.

그 후 레버(27)가 상방으로 더 회전하게 될 때, 도 14에 도시한 바와 같이, 뚜껑(18)이 상부분(16b)으로부터 더 떨어지는 방향으로 이동한다. 맞물림 후크(48)가 피맞물림부(26)와의 맞물림으로부터 해방될 수 있는 위치까지 상승하게 될 때, 도 15에 도시한 바와 같이, 링크로드(25)는, 맞물림 후크(48)와 피맞물림부(26) 사이의 맞물림을 해제하기 위하여, 제2지지점(46)에 대하여 회전하게 된다. 따라서, 뚜껑(18)은 뚜껑 힌지부(18a)에 대하여 자유롭게 회전할 수 있는 상태에 놓인다. 그 다음에, 뚜껑(18)이 상부분(16b)에 거의 직각이 될 때까지, 뚜껑(18)은 상방으로 회전하게 되고, 이 상태에서 용기(30)가 용기(30)에 장착되거나 용기로부터 제거된다. 상기한 바와 같은 실시예에서, 뚜껑(18)에 제공되는 피맞물림부는, 링크로드(25)에 제공되는 맞물림 후크(48)가 아래로부터 접촉하는 커버부(26)를 포함하는 구성을 갖는 피맞물림부(26)로 예시된다. 도 16에 도시한 바와 같은 구성을 갖는 피맞물림부(126)가 선택적으로 사용될 수 있다. 이와 같은 예에서, 피맞물림핀(26c)과 유사한 피맞물림핀(126c)이 측판(26a)의 형상과 유사한 형상을 갖는 측판(126a)에 제공되는, 구성이 채용된다.

피맞물림부(126)가 링크로드(25)에 의해 상방으로 밀릴 때, 도 8b에 도시한 바와 유사한 방식으로 실행되는 밀어올림 작동을 허용하도록, 결합블럭(47)의 상면이 피맞물림핀(126c)의 바닥면에 접촉한다. 말하자면, 이와 같은 예에서, 맞물림 후크(48)와 함께 결합블럭(47)이 피맞물림부(126)를 맞물게 되는 맞물림부로서의 역할을 수행한다.

상기한 바와 같이, 본 실시예에서 도시되는 액상물질 공급장치는, 상측에 제공되는 삽입구를 통해 삽입되는 용기를 수직 자세나 경사진 자세 중 어느 하나의 자세로 유지하기 위한 용기홀더 지지기구와, 탱크 헤드에 용기홀더를 유지하기 위한 구조로서, 용기홀더의 자세를 수직 상태로 고정하기 위한 용기홀더 고정기구를 포함한다. 따라서, 심지어 큰 높이 치수를 갖는 대용량의 용기가 수용되는 경우에도 조작성을 개선하도록, 용기는 용이하게 용기홀더에 장착되고 용기홀더로부터 제거될 수 있다.

용기를 밀폐하기 위해 뚜껑을 열고 닫는 기구로서, 뚜껑을 열고 닫기 위하여 레버에 제공되는 맞물림부가 용기를 밀폐하기 위하여 뚜껑에 제공되는 피맞물림부와 맞물리는 상태에서 용기의 내부를 밀폐하도록 레버가 하방으로 회전하게 되고, 맞물림부로 피맞물림부를 상방으로 밀도록 레버를 상방으로 회전시킴에 의해 뚜껑이 열리는, 구성이 채용된다. 그 결과, 종래기술에서의 뚜껑 개폐 조작시보다 더 큰 힘을 필요로 하는 대용량의 용기를 수용할 때, 뚜껑 개폐 조작에서 고도의 밀폐성능과 고도의 조작성을 보이는 액상물질 공급장치를 제공할 수 있다.

이 출원은, 그 내용이 여기에 온전한 상태에서 참고로 편입된, 둘 다 2005년 6월 10일 출원된 일본국 특허출원번호 제2005-170649호 및 제2005-170650호에 근거하고, 그 우선권의 이익을 주장한다.

본 발명에 따른 액상물질 공급장치는 대용량의 용기를 수용할 때 고도의 밀폐성능과 조작성을 보이는 것을 특징으로 하며, 수지 접착제와 같은 액상물질이 용기로부터 배출됨에 의해 공급되는 용도에 유용하다.

Claims

수직으로 길게 뻗은 용기에 저장되는 액상물질을 공급하기 위한 액상물질 공급장치로서,

자체의 상측에 제공되는 삽입구를 통해 삽입되는 상기 용기를 지지하기 위한 용기홀더;

수직 자세나 경사진 자세 중 어느 하나의 자세로 상기 용기홀더를 지지하기 위한 홀더 지지기구; 및

상기 용기홀더의 자세를 수직상태로 고정하기 위한 홀더 고정기구;를 포함하는 것을 특징으로 하는 액상물질 공급장치.
제 1항에 있어서,

상기 용기홀더는,

상기 삽입구를 갖도록 제공되고, 자체에 삽입되는 상기 용기를 유지하는 홀더 본체부;

상기 홀더 본체부에 의해 유지되는 상기 용기의 상단부의 개구부를 닫는 뚜껑; 및

상기 뚜껑을 상기 홀더 본체부에 뚜껑이 닫힌 상태에서 구속하기 위한 뚜껑 구속기구;를 포함하는 것을 특징으로 하는 액상물질 공급장치.
제 1항에 있어서,

상기 홀더 지지기구는 힌지부인 것을 특징으로 하는 액상물질 공급장치.
제 1항에 있어서,

상기 홀더 지지기구는 상기 용기홀더의 하부에 결합되는 힌지부이고,

상기 홀더 고정기구에 의해 고정되는 구속부가 상기 용기홀더의 상부에 제공되는 것을 특징으로 하는 액상물질 공급장치.
제 4항에 있어서,

상기 힌지부와 상기 홀더 고정기구가 장착되고, 수평방향으로 이동하는 수평 이동부재; 및

상기 액상물질이 공급되어야 할 때 소정의 작업영역으로 상기 수평 이동부재를 이동시키고, 상기 용기가 교환되어야 할 때 소정의 교환위치까지 상기 수평 이동부재를 이동시키는 수평 이동수단;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액상물질 공급장치.
제 2항에 있어서,

상기 뚜껑 구속기구는,

수직방향으로 회전가능하도록, 상기 용기홀더에 고정되는 제1지지점에 자체의 상단부가 축지지 되는 레버; 및

수직방향으로 회전가능하도록 상기 제1지지점으로부터 떨어진 위치의 상기 레버 상에 제공되는 제2지지점에 자체의 일단부가 축지지 되고, 자체의 타단부에 상기 뚜껑에 제공되는 피맞물림부를 맞물게 되는 맞물림부를 갖는 링크부재;를 포함하고,

상기 밀폐부는, 상기 피맞물림부에 상기 맞물림부가 맞물린 상태에서 상기 레버를 하방으로 회전시킴으로써, 상기 용기의 내부를 밀폐하도록 상기 개구부에 삽입되고, 이와 같이 상기 개구부에 삽입된 상기 밀폐부는, 상기 맞물림부가 상기 피맞물림부를 밀어올리도록 상기 레버를 상방으로 회전시킴으로써, 빠져나오게 되는 것을 특징으로 하는 액상물질 공급장치.
제 6항에 있어서,

밀폐되는 상기 용기 내부에 압축기체를 공급하기 위한 통기구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액상물질 공급장치.
제 6항에 있어서,

상기 맞물림부와 상기 피맞물림부는 두 방향에서, 즉 상기 밀폐부가 상기 개구부 내로 삽입되는 방향과 상기 밀폐부가 상기 개구부로부터 빠져나오게 되는 방향에서, 서로 맞물리게 되는 것을 특징으로 하는 액상물질 공급장치.
자체의 상단부에 개구부를 갖는 거의 원통형의 용기 내에 저장되는 액상물질을 공급하기 위한 액상물질 공급장치로서,

홀더 본체부의 상면에 의해 아래로부터 지지되는 상기 상단부에 형성되는 플랜지부를 갖는, 자체의 상측으로부터 삽입되는, 상기 용기를 유지하기 위한 용기홀더;

상기 용기홀더를 수직 자세나 경사진 자세 중 어느 하나의 자세로 지지하기 위한 홀더 지지기구;

상기 용기홀더의 자세를 수직상태로 고정하기 위한 홀더 고정기구;

상기 용기의 내부를 밀폐하기 위하여 상기 용기홀더에 의해 유지되는 상기 용기의 개구부에 삽입되는 제1밀폐부와, 상기 홀더 본체부에 의해 아래로부터 지지되는 상기 플랜지부의 상면에 접촉하고 상기 개구부를 밀폐하기 위하여 상기 상면에 의해 압박되는 제2밀폐부를 갖는 뚜껑;

수직방향으로 회전가능하도록, 상기 용기홀더에 고정되는 제1지지점에 자체 의 상단부가 축지지 되는 레버; 및

수직방향으로 회전가능하도록 상기 제1지지점으로부터 떨어진 상기 레버 상의 위치에 제공되는 제2지지점에 자체의 일단부가 축지지 되고, 자체의 타단부에 상기 뚜껑에 제공되는 피맞물림부를 맞물게 되는 맞물림부를 갖는 링크부재;를 포함하고,

상기 레버는, 상기 개구부에 상기 제1밀폐부를 삽입하고 상기 플랜지부의 상면에 상기 제2밀폐부를 압박하도록 하기 위하여, 상기 피맞물림부에 상기 맞물림부가 맞물린 상태에서 하방으로 회전하게 되는 것을 특징으로 하는 액상물질 공급장치.
제 9항에 있어서,

상기 개구부에 삽입되는 제1밀폐부는, 상기 맞물림부가 상기 피맞물림부를 밀어올리도록, 상기 레버를 상방으로 회전시킴으로써 빠져나오게 되는 것을 특징으로 하는 액상물질 공급장치.
제 9항에 있어서,

상기 제1밀폐부에 의해 밀폐되는 상기 용기의 내부에 압축기체를 공급하기 위한 통기구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액상물질 공급장치.
제 9항에 있어서,

상기 맞물림부와 상기 피맞물림부는, 상기 제1밀폐부가 상기 개구부 내로 삽입되는 방향 및 상기 제1밀폐부가 상기 개구부로부터 빠져나오게 되는 방향인, 두 방향에서 서로 맞물리게 되는 것을 특징으로 하는 액상물질 공급장치.