KR20070097357A

KR20070097357A - 박리 시트

Info

Publication number: KR20070097357A
Application number: KR1020070029949A
Authority: KR
Inventors: 타쿠오 니시다; 소우 미야타; 토시오 스기사키
Original assignee: 린텍 가부시키가이샤
Priority date: 2006-03-28
Filing date: 2007-03-27
Publication date: 2007-10-04
Also published as: US20070231567A1; TWI454381B; TW200744845A; KR101361459B1; US7718265B2; JP4970822B2; JP2007262207A

Abstract

비실리콘계로서, 점착제층과의 박리성이 양호한 한편, 대기 환경에 좌우되지 않고 안정한 대전 방지 성능을 가지며, 대전 방지제 유래의 이온성 물질의 블리드 아웃 (bleed out)이 없는 박리 시트를 제공한다.

기재 상에 폴리우레탄계 수지와 0.1 ~ 45중량%의 리튬염계 대전 방지제를 함유하는 언더코트층과, 고무계 박리제액을 도공·건조함으로써 형성한 고무계 박리제층을 순차적으로 설치한 박리 시트이다.

Description

박리 시트{RELEASE SHEET}

본 발명은 박리 시트에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 본 발명은 비실리콘계로서, 점착제층과의 박리성이 양호한 한편, 뛰어난 대전 방지 성능을 가지고, 또한 대전 방지제 유래의 금속 이온이나 이온성 무기물 (이하 「이온성 물질」이라고 말하는 일이 있다.)의 블리드 아웃 (bleed out)이 없기 때문에 정밀 전자기기에 관련하는 용도에 매우 적합하게 이용되는 박리 시트에 관한 것이다.

근래, 점착 시트는 세라믹 콘덴서, 하드 디스크 드라이브, 반도체 장치 등의 정밀 전자기기의 제조 공정의 여러 단계, 형식으로 사용되고 있다.

이와 같은 정밀 전자기기의 제조 공정에서 사용되는 점착 시트에 있어서는, 실리콘계 점착제는 함유하는 저분자량의 실리콘 화합물에 의해 전자 부품이 트러블을 일으킬 우려가 있기 때문에, 일반적으로 비실리콘계 점착제, 예를 들면, 아크릴계 점착제, 폴리에스테르계 점착제, 우레탄계 점착제 등이 이용된다.

이 비실리콘계의 점착 시트는 사용시까지 점착제층을 보호하기 위해서는 기재 상에 박리제층을 설치하여 이루어지는 박리 시트가 적층되어 있다.

박리 시트의 박리제층에는 일반적 용도에는 실리콘계 박리제가 종종 이용되 지만, 전자 부품 등에 사용했을 경우 점착제층으로 이행한 실리콘에 의해 전자 부품 등이 트러블을 일으킬 가능성이 있다.

따라서, 상기 용도에 이용되는 박리 시트의 박리제층에는 비실리콘계 박리제로서 알려져 있는 알키드계 수지 (예를 들면, 일본국 특개소 57-49685호 공보 참조)나 장쇄 알킬계 수지 (예를 들면, 일본국 특개 2002-249757호 공보 참조)를 사용하는 것이 시도되고 있다.

그렇지만, 이들 수지를 박리제층에 이용했을 경우 점착제층과의 박리력이 높아 점착제층과 박리제층이 박리하지 않는 경우가 있다는 문제가 생긴다.

이 때문에 점착제층과의 박리성이 양호한 한편, 박리제층과 기재의 밀착성이 뛰어난 비실리콘계 박리 시트로서, 박리제층에 고무계 수지로서 알려진 폴리부타디엔을 이용하고, 언더코트층에 폴리우레탄을 이용한 것이 제안되고 있다 (예를 들면, 일본국 특개 2005-199586호 공보 참조).

그렇지만, 이들 재료는 모두 높은 절연성을 가지기 때문에 박리시 일어나는 박리 대전이나 롤의 조출 (繰出, deliver)시에 발생하는 조출 대전 (delivering charge)을 억제하지 못하고, 쓰레기나 먼지 등이 부착하는 등의 트러블이 발생한다는 문제가 있다.

이 문제를 해결하기 위해서, 박리제층에 대전 방지제를 함유시키는 방법도 제안되고 있지만 (예를 들면, 일본국 특개평 10-86289호 공보 참조), 이 방법에서는 대전 방지제 중의 이온성 물질이 블리드 아웃하여 중박리화(重剝離化) 나 도공면의 백탁화, 혹은 점착제를 통과해 반도체 장치 등의 내부 장치의 부식을 일으킨 다는 문제를 가진다.

본 발명은 이와 같은 상황하에서, 비실리콘계로서, 점착제층과의 박리성이 양호한 한편, 뛰어난 대전 방지 성능을 가지고, 또한 대전 방지제 유래의 이온성 물질의 블리드 아웃이 없는 박리 시트를 제공하는 것을 목적으로 하는 것이다.

본 발명자들은 상기 목적을 달성하기 위해서 열심히 연구를 거듭한 결과, 기재 상에 폴리우레탄계 수지와 특정량의 리튬염계 대전 방지제를 포함하는 언더코트층을 설치하고, 그 언더코트층 상에 고무계 수지로 이루어지는 박리제층을 형성함으로써, 그 목적을 달성할 수 있는 것을 알아냈다. 본 발명은 이러한 지견에 근거해 완성한 것이다.

즉, 본 발명은 이하의 박리 시트를 제공하는 것이다.

(1) 기재 상에 폴리우레탄계 수지와 0.1 ~ 45중량%의 리튬염계 대전 방지제를 함유하는 언더코트층과, 박리제액을 도공·건조함으로써 형성한 고무계 박리제층을 순차적으로 설치한 것을 특징으로 하는 박리 시트.

(2) 박리제액을 도공·건조하고, 활성 에너지선을 조사함으로써 경화시켜 고무계 박리제층을 형성한 (1) 의 박리 시트.

(3) 활성 에너지선이 자외선인 (2) 의 박리 시트.

(4) 언더코트층의 두께가 0.05 ~ 2㎛ 인 (1) ~ (3) 중 어느 하나의 박리 시트.

(5) 고무계 박리제층의 두께가 0.05 ~ 0.5㎛ 인 (1) ~ (4) 중 어느 하나의 박리 시트.

발명을 실시하기 위한 바람직한 형태

본 발명의 박리 시트는 기재 상에 폴리우레탄계 수지와 리튬염계 대전 방지제를 포함하는 언더코트층과, 고무계 박리제층을 순차적으로 설치한 것이다.

본 발명의 박리 시트에서의 기재로는, 특별히 제한은 없고, 종래 박리 시트의 기재로서 알려져 있는 공지의 기재 중에서, 적절히 선택하여 이용할 수 있다. 그러한 기재로는, 예를 들면 글라신지 (glassine paper), 코트지 (coated paper), 캐스트 코트지 (cast-coated paper), 린트 프리지 (lint-free paper) 등의 종이 기재, 이들 종이 기재에 폴리에틸렌 등의 열가소성 수지를 라미네이트 한 라미네이트지, 혹은 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리부틸렌 테레프탈레이트, 폴리에틸렌 나프탈레이트 등의 폴리에스테르 필름, 폴리프로필렌이나 폴리메틸펜텐 등의 폴리올레핀 필름, 폴리카보네이트 필름, 아세트산 셀룰로오스계 필름 등의 플라스틱 필름이나, 이것들을 포함하는 적층 시트 등을 들 수 있다. 이 기재의 두께로는 특별히 제한은 없지만, 통상 10 ~ 150㎛ 가 바람직하다.

기재로서 플라스틱 필름을 이용하는 경우에는, 플라스틱 필름과 언더코트층과의 밀착성을 향상시키는 등의 목적으로, 소망에 따라 상기 플라스틱 필름의 언더코트층이 설치되는 측의 면에 산화법이나 요철화법 등의 물리적 또는 화학적 표면 처리를 실시할 수 있다. 상기 산화법으로는 예를 들면, 코로나 방전 처리, 크롬산 처리, 화염 처리, 열풍 처리, 오존·자외선 조사 처리 등을 들 수 있고, 또 요철화 법으로는, 예를 들면 샌드블라스트법 (sand blast method), 용매 처리법 등을 들 수 있다. 이들 표면 처리법은 기재의 종류에 따라 적절히 선택되지만, 일반적으로는 코로나 방전 처리법이 효과 및 조작성 등의 면에서 바람직하게 이용된다. 또, 프라이머 처리 (primer treatment)를 실시할 수도 있다.

본 발명의 박리 시트에 있어서, 언더코트층을 형성하기 위한 재료에는 박리제액에 사용하는 용매에 대해서 내용매성 (불용해임) 및 뛰어난 고무 탄성을 가지는 것으로부터, 폴리우레탄계 수지를 이용한다. 폴리우레탄계 수지로는 폴리에스테르폴리올, 폴리에테르폴리올 등의 장쇄 폴리올과, TDI (톨릴렌디이소시아네이트), MDI (디페닐메탄디이소시아네이트), HDI (헥사메틸렌디이소시아네이트) 등의 디이소시아네이트와 저분자 다가 알코올, 방향족 디아민 등의 사슬 연장제로 이루어지는 화합물을 첨가한 구성을 들 수 있다.

본 발명은 리튬염계 대전 방지제를 언더코트층에 함유시키는 것을 특징으로 하는 것이다. 본 발명에서 이용되는 리튬염계 대전 방지제로는 카르복실산 리튬염인 지방족 모노카르복실산 리튬염, 폴리옥시에틸렌알킬에테르 카르복실산 리튬염, N-아실사르코신산 리튬염, N-아실글루타민산 리튬염 등이나, 술폰산 리튬염인 디알킬술포숙신산 리튬염, 알칸술폰산 리튬염, 알파올레핀술폰산 리튬염, 직쇄 알킬벤젠술폰산 리튬염, 알킬벤젠술폰산 리튬염, 알킬나프탈렌술폰산 리튬염, 황산에스테르 리튬염인 알킬황산에스테르 리튬염, 인산에스테르 리튬염인 알킬인산에스테르 리튬염, 폴리옥시에틸렌알킬에테르인산 리튬염, 폴리옥시에틸렌알킬페닐에테르인산 리튬염, 질화 리튬염 및 리튬 비스(트리플루오로메탄술포닐)이미드, 리튬(트리플루 오로메탄술포닐)메티드를 들 수 있지만, 후술하는 바와 같이, 박리제층의 평활성이 뛰어나고, 언더코트층의 수지와 화학적으로 결합함으로써, 대전 방지제 중의 이온성 물질이 블리드 아웃하는 것을 억제한 박리 시트를 얻기 위해서는 특히 리튬 비스(트리플루오로메탄술포닐)이미드가 매우 적합하게 이용된다.

언더코트층 중의 리튬염계 대전 방지제의 함유량은 0.1 ~ 45중량%이며, 2 ~ 30중량%로 하는 것이 바람직하다. 0.1중량% 이상으로 함으로써, 대전 방지성이 발현하고, 또 45중량% 이하로 함으로써, 박리제층 표면으로의 이온성 물질의 블리드 아웃이나, 중박리화 및 도공면의 백탁화를 회피할 수 있다.

언더코트층은 상기와 같은 재료와 이소시아네이트 화합물, 예를 들면 TDI (톨릴렌디이소시아네이트)나 MDI (디페닐메탄디이소시아네이트)를 용매에 용해시킨 언더코트액을 도공, 건조시킴으로써 형성할 수 있다. 나아가 필요에 따라, 도공, 건조 후에 활성 에너지선을 조사해 경화함으로써, 내용매성의 향상, 기재와의 밀착성을 향상시킬 수 있다.

이때 이용되는 용매로는 언더코트 성분에 대한 용해성이 양호한 공지의 용매 중에서 적절히 선택하여 이용할 수 있다. 이와 같은 용매로는 예를 들면, 톨루엔, 크실렌, 메탄올, 에탄올, 이소부탄올, n-부탄올, 아세톤, 메틸에틸케톤, 테트라히드로퓨란, 헵탄, 시클로헥산 등의 유기용매 및 물 등을 들 수 있다. 이것들은 1종을 단독으로 이용해도 되고, 2종 이상을 조합해 이용해도 된다.

언더코트액은 도공의 편리성에서 이들 용매를 사용하여 고형분 농도가 0.1 ~ 15중량%의 범위가 되도록 조제하는 것이 바람직하다.

언더코트액의 상기 기재 상에 대한 도공은, 예를 들면 바 코트법, 리버스 롤 코트법, 나이프 코트법, 롤 나이프 코트법, 그라비아 코트법, 에어 닥터 코트법, 닥터 블레이드 코트법 등 종래 공지의 도공 방법에 의해 실시할 수 있다.

언더코트액을 상기 기재 상에 도공하고, 40 ~ 160℃ 정도의 온도에서 30초 ~ 2분간 정도 시간 가열하고, 건조시킴으로써, 언더코트층을 형성한다.

건조시의 언더코트층의 두께는 0.05 ~ 2㎛ 로 하는 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 0.1 ~ 1.2㎛ 이다. 0.05㎛ 이상으로 함으로써 안정된 박리력을 얻을 수 있고, 2㎛ 이하로 함으로써 양호한 상태의 면을 얻을 수 있다.

본 발명의 박리 시트에 있어서는, 상기 언더코트층을 설치한 기재에 고무계 박리제액을 도공해 건조하고, 아울러 필요에 따라 활성 에너지선을 조사함으로써 경화시켜 박리제층을 형성한다.

고무계 박리제로는 합성고무 예를 들면, 부타디엔계, 스티렌부타디엔계, 클로로프렌계, 부틸계, 에틸렌·프로필렌계, 아크릴계 고무 등을 들 수 있지만, 특히 폴리부타디엔이 매우 적합하게 이용된다.

본 발명에 있어서 박리제층을 형성하는 경우에는 산화 방지제를 함유시키는 것이 바람직하다. 산화 방지제로는 특별히 제한은 없고, 공지의 포스페이트계 산화 방지제, 유기 유황계 산화 방지제, 힌더드 페놀계 산화 방지제들 중에서 어느 것이든 적절히 선택하여 이용할 수 있다.

이들 산화 방지제는 1종을 단독으로 이용해도 되고, 2종 이상을 조합해 이용해도 된다. 또, 그 사용량은 고무계 박리제의 열화에 의한 중박리화를 억제한다 관 점에서는 고무계 박리제의 고형분 100 중량부에 대해 0.1 중량부 이상이 바람직하고, 박리제와 박리 시트 기재의 밀착성을 충분히 유지하는 관점에서는 고무계 박리제의 고형분 100 중량부에 대해 20 중량부 이하가 바람직하다.

본 발명에서의 고무계 박리제액은 고무계 박리제 및 필요에 따라서 더 배합되는 산화 방지제 등의 다른 성분을 용매에 용해시킨 것이다.

이때 이용되는 용매로는 배합 성분에 대한 용해성이 양호한 공지의 용매중에서 적절히 선택하여 이용할 수 있다. 이와 같은 용매로는 언더코트액에 사용 할 수 있는 것으로서 예시한 것과 같은 용매를 들 수 있다. 이것들은 1종을 단독으로 이용해도 되고, 2종 이상을 조합해 이용해도 된다.

고무계 박리제액은 도공의 편리성에서 이들 용매를 사용하여 고형분 농도가 0.5 ~ 15중량%의 범위가 되도록 조제하는 것이 바람직하다. 고무계 박리제액의 상기 언더코트층 상에 대한 도공은 언더코트액의 도공의 경우와 마찬가지로 종래 공지의 도공 방법에 의해 수행할 수 있다.

이 고무계 박리제액을 경화한 후의 고무계 박리제층의 두께가 0.05 ~ 0.5㎛, 바람직하게는 0.07 ~ 0.2㎛ 가 되도록 도공량을 조절한다.

언더코트층에 리튬염계 대전 방지제를 함유시키도록 하고, 고무계 박리제층의 두께를 0.05㎛ 이상으로 함으로써, 박리제층 표면에 대한 대전 방지제 유래의 이온성 물질의 블리드 아웃 및 중박리화가 억제되어 박리 물성이나 면 상태에 영향을 주지 않게 된다. 덧붙여 리튬염계 대전 방지제를 이용하는 경우에는, 젖음성 및 평활성이 뛰어난 언더코트층을 얻을 수 있으므로, 박리제층의 평활성이 뛰어난 박 리 시트를 제공할 수 있다.

또, 고무계 박리제층의 두께를 0.5㎛ 이하로 함으로써, 고무계 박리제층과 박리 시트 기재 배면의 블로킹을 방지할 수 있다.

상기 언더코트층을 도공한 기재 상에 고무계 박리제액을 도공하고, 40 ~ 160℃ 정도의 온도에서 30초 ~ 1분간 정도 시간 가열하고, 건조시킨 후, 나아가 필요에 따라 활성 에너지선을 조사하여 고무계 박리제액을 가교시키고, 경화시켜 박리제층을 형성한다.

이용되는 활성 에너지선으로는 전자선이나 자외선을 들 수 있지만, 기재에 부여되는 데미지 (열화)가 적은 점에서, 자외선이 바람직하다.

자외선 조사에 사용하는 자외선 램프로는 종래 공지의 고압 수은 램프, 메탈 할라이드 램프, 하이파워 메탈 할라이드 램프, 무전극 램프 등을 사용할 수 있지만, 폴리부타디엔의 경화성의 점에서 무전극 램프가 가장 적합하다.

자외선의 조사량은 박리 시트 기재와 박리제층의 고밀착성을 얻는다는 관점 및 경박리를 얻는다는 관점에서는 30 ~ 300mJ/㎠ 의 범위가 바람직하다.

자외선 조사에 의한 가교는 광중합 개시제나 광증감제를 박리제액에 첨가해 이용하면, 더욱 효율적으로 수행할 수 있다.

광중합 개시제의 구체예로는 2,2-디메톡시-1,2-디페닐에탄-1-온, 1-히드록시-시클로헥실-페닐-케톤, 2-히드록시-2-메틸-1-페닐-프로판-1-온, 1-[4-(2-히드록시에톡시)페닐]-2-히드록시-2-메틸-1-프로판-1-온, 2-메틸-[4-(메틸티오)페닐]-2-모르포리노프로판-1-온, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르포리노페닐)부타논-1, 비 스(2,4,6-트리메틸벤조일)페닐포스핀옥사이드, 올리고[2-히드록시-2-메틸-1-[4-(1-메틸비닐)페닐]프로파논 등을 들 수 있다.

광증감제의 구체예로는 벤조페논, P,P'-디메톡시벤조페논, P,P'-디클로로벤조페논, P,P'-디메틸벤조페논, 아세토페논, 아세토나프톤 등의 방향족 케톤류가 좋은 결과를 주고, 그 외 테레프탈알데히드 등의 방향족 알데히드, 메틸안트라퀴논 등의 퀴논계 방향족 화합물도 사용할 수 있다.

본 발명의 박리 시트에 적용되는 점착제로는 특별히 제한은 없고, 예를 들면 아크릴계 점착제, 폴리에스테르계 점착제, 우레탄계 점착제 등의 종래 공지의 점착제 중에서 적절히 선택할 수 있다.

본 발명의 박리 시트는 언더코트층에 리튬염계 대전 방지제를 포함시킴으로써, 대기 환경 (수분)에 좌우되지 않고 안정된 대전 방지 성능을 가지며, 박리 물성이나 면 상태에 영향을 주지 않는다. 또한, 리튬염계 대전 방지제를 포함하고 있는 언더코트층은 젖음성 및 평활성이 뛰어나기 때문에 박리제층의 평활성이 뛰어난 한편, 박리제층 표면에 대한 대전 방지제 유래의 이온성 물질의 블리드 아웃이 억제된 박리 시트를 제공하는 것이 가능하다.

다음에, 본 발명을 실시예에 의해 더욱 상세하게 설명하지만, 본 발명은 이들 예에 의해 전혀 한정되는 것은 아니다.

덧붙여 실시예 및 비교예에 있어서, 다음의 방법에 의해 표면 저항률, 박리력, Li/C 량의 측정 및 면 상태의 평가를 실시했다.

(1) 표면 저항률의 측정 :

대전 방지 성능을 확인하기 위해 표면 저항률을 측정했다. 즉, JIS 규격 (JIS K6911)에 준거하여, 100㎜ × 100㎜ 의 샘플을 23℃, 상대 습도 50% 조건하 24시간 조습 후, 샘플 표면의 저항값을 측정하여, 10¹⁴Q/sq 이하를 양호로 했다.

(2) 박리력의 측정

시험 대상인 박리 시트의 박리제층 면에 아크릴계 점착제 (Lintec Corporation제, 상품명 : PL Shin)를 도공 (건조 후의 도공량 : 24g/㎡)하여 폴리에틸렌 테레프탈레이트 필름 (이하 「PET 필름」으로 약기한다. Toray Industries, Inc제, 상품명 : Lumirror E20 #50, 두께 50㎛)과 첩합하고, 2㎏ 롤러로 1 왕복시켜 점착 시트를 제작했다. 상기 점착 시트를 온도 23℃, 상대 습도 50%의 조건하에 1 일간 방치한 후에 박리력을 측정했다. 측정은 만능 인장 시험기 (ORIENTEC Co.,Ltd.제 : TENSILON UTM-4-100)를 이용하여, 온도 23℃, 상대습도 50%의 조건하에서 점착 시트의 기재측을 180°방향으로 300㎜/분의 속도로 박리시킴으로써 수행했다.

덧붙여 박리력이 1000mN/20㎜ 를 넘는 것은 실질적으로 중박리화를 일으켜 사용 불가이다.

(3) Li량 (원자%) 의 측정 :

박리 시트에서의 대전 방지제 유래의 이온성 물질의 블리드 아웃의 상황을 확인하기 위해, 시험 대상인 박리 시트의 박리제층 표면의 원소 분석을 X선 광전자 분광법 (XPS)에 의해, 아래와 같은 조건으로 측정했다.

측정 장치 : ULVAC-PHI. Inc.제 Quantera SXM

X선광 : AlKα (1486.6 eV)

출력 각도 (output angle) : 45도

측정 원소 : 리튬 (Li) 및 탄소 (C)

덧붙여 Li량은 Li/(Li+C) 의 값에 100을 곱해, 「원자%」로 표시하였다. Li량이 검출되면 블리드 아웃으로 하고 있다.

(4) 면 상태의 평가 :

박리 시트의 박리제층 표면을 육안으로 관찰해 다음과 같이 평가했다.

○ : 백탁하고 있지 않는 것,

× : 백탁하고 있는 것

실시예 1

두께 38㎛ 의 PET 필름 (미츠비시화학 폴리에스테르필름사제, 상품명 : PET 38-T100) 상에 언더코트층으로서 폴리에스테르폴리올 (대일본 잉크 화학공업사제, 상품명 : Crisvon 5150S, 고형분 : 50중량%) 100 중량부 및 이소시아네이트 화합물 (대일본 잉크 화학공업사제, 상품명 : Crisvon NX) 5 중량부를 메틸에틸케톤 용매로 고형분 농도 1중량%로 희석한 용액에 리튬염계의 대전 방지제〔Sanko Chemical Co., Ltd.제, 상품명 : Sankonol 0862-20R, 리튬 비스(트리플루오로메탄술포닐)이미드]를 전체 고형분 중의 대전 방지제 함유량이 10중량%가 되도록 첨가해 건조 후의 막 두께가 0.15㎛가 되도록 도포하고, 100℃에서 1 분간 건조시켜 폴리우레탄계 수지의 언더코트층을 형성시켰다.

언더코트층 상에 폴리부타디엔 (일본 제온제, 상품명 : Nipol BR1241 고형분 5중량%) 100 중량부에 힌더드 페놀계 산화 방지제 (Ciba Specialty Chemicals사제, 상품명 : Irganox HP2251) 1 중량부를 첨가하고, 톨루엔 용매로 고형분 농도 0.5중량%로 희석한 박리제 용액을 도포해 100℃ 에서 30 초간 건조시켰다.

그 다음에, 무전극 램프인 퓨전 H 밸브 240 w/㎝ 가 1등 부착된 벨트 컨베이어식 자외선 조사 장치에 의해, 컨베이어 속도 40m/분의 조건 (자외선 조사 조건 : 100 mJ/㎠)으로 도공층에 자외선 조사를 실시하고, 경화시켜 막 두께가 0.1㎛인 박리제층을 가지는 박리 시트를 얻었다.

표면 저항률, 박리력, Li량의 측정 및 면 상태의 평가 결과를 표 1 에 나타낸다.

실시예 2

실시예 1 에 있어서, 리튬염계의 대전 방지제 (Sanko Chemical Co.,Ltd.제, 상품명 : Sankonol 0862-20R)를 전체 고형분 중의 대전 방지제 함유량이 3중량%가 되도록 첨가한 것 이외에는 실시예 1 과 동일하게 하여 박리 시트를 얻었다. 측정·평가 결과를 표 1 에 나타낸다.

실시예 3

실시예 1 에 있어서, 리튬염계의 대전 방지제 (Sanko Chemical Co.,Ltd.제, 상품명 : Sankonol 0862-20R)를 전체 고형분 중의 대전 방지제 함유량이 20중량%가 되도록 첨가한 것 이외에는 실시예 1 과 동일하게 하여 박리 시트를 얻었다. 측정·평가 결과를 표 1 에 나타낸다.

실시예 4

실시예 1 에 있어서, 언더코트층의 건조 후의 막 두께를 1㎛ 로 한 것 이외에는 실시예 1 과 동일하게 하여 박리 시트를 얻었다. 측정·평가 결과를 표 1 에 나타낸다.

비교예 1

실시예 1 에 있어서, 리튬염계의 대전 방지제 (Sanko Chemical Co.,Ltd.제, 상품명 : Sankonol 0862-20R)를 첨가하지 않은 것 이외에는 실시예 1 과 동일하게 하여 박리 시트를 얻었다. 측정·평가 결과를 표 1 에 나타낸다.

비교예 2

실시예 1 에 있어서, 언더코트층으로서 폴리스티렌 (Aldrich제, 상품명 : 331651-25G) 100 중량부를 톨루엔 용매로 고형분 농도 0.5중량%로 희석한 용액을 건조 후의 막 두께가 0.1㎛가 되도록 도포하고, 100℃에서 30초간 건조시킨 것을 사용했다. 측정·평가 결과를 표 1 에 나타낸다.

비교예 3

실시예 1 에 있어서, 박리제 용액을 막 두께가 0.02㎛ 가 되도록 한 것 이외에는 실시예 1 과 동일하게 하여 박리 시트를 얻었다. 측정·평가 결과를 표 1 에 나타낸다.

비교예 4

실시예 1 에 있어서, 리튬염계의 대전 방지제 (Sanko Chemical Co.,Ltd.제, 상품명 : Sankonol 0862-20R)를 전체 고형분 중의 대전 방지제 함유량이 50중량%가 되도록 첨가한 것 이외에는 실시예 1 과 동일하게 하여 박리 시트를 얻었다. 측정·평가 결과를 표 1 에 나타낸다.

	실시예1	실시예2	실시예3	실시예4	비교예1	비교예2	비교예3	비교예4
(박리시트)
언더코트층의재료
폴리우레탄	○	○	○	○	○		○	○
폴리스티렌						○
언더코트층의두께(㎛)	0.15	0.15	0.15	1.0	0.15	0.15	0.15	0.15
대전방지제 함유량 (중량%)	10	3	20	10	0.0	10	10	50
박리제층의두께 (㎛)	0.1	0.1	0.1	0.1	0.1	0.1	0.02	0.1
(측정· 평가결과)
(1)표면저항률 (Ω/sq)
언더코트층	2.37×10¹²	9.15×10¹³	6.61×10¹¹	1.89×10¹³	5.23×10¹⁶	1.11×10¹²	1.02×10¹²	3.24×10¹¹
박리제층	2.28×10¹²	9.69×10¹³	6.97×10¹¹	1.63×10¹³	3.46×10¹⁶	3.12×10¹²	1.12×10¹²	3.75×10¹¹
(2)박리력 (mN/20㎜)	83	88	89	92	87	6000	9000	8600
(3)Li량 (원자%)	0.0	0.0	0.0	0.0	0.0	0.6	0.0	0.1
(4)면상태	○	○	○	○	○	×	○	×

본 발명의 박리 시트는 상기와 같은 구성으로 함으로써, 점착제층과의 박리성이 양호하고, 또한 뛰어난 대전 방지 성능을 가진다. 또, 상기 박리 시트는 박리 제층 표면에 대한 대전 방지제 유래의 이온성 물질의 블리드 아웃이 억제되어, 중박리화나 도공면의 백탁화, 혹은 점착제를 통과하여 반도체 장치 등의 내부 장치의 부식을 일으키는 등의 박리 물성이나 면 상태에 대한 영향을 주지 않는 것이다.

Claims

기재 상에 폴리우레탄계 수지와 0.1 ~ 45중량%의 리튬염계 대전 방지제를 함유하는 언더코트층과, 박리제액을 도공·건조함으로써 형성한 고무계 박리제층을 순차적으로 설치한 것을 특징으로 하는 박리 시트.
제 1 항에 있어서,

상기 박리제액을 도공·건조하고, 활성 에너지선을 조사함으로써 경화시켜 고무계 박리제층을 형성한 박리 시트.
제 2 항에 있어서,

상기 활성 에너지선이 자외선인 박리 시트.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 언더코트층의 두께가 0.05 ~ 2㎛ 인 박리 시트.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 고무계 박리제층의 두께가 0.05 ~ 0.5㎛ 인 박리 시트.