KR20070073982A - 반도체 디바이스를 테스트하기 위한 시스템 및 방법 - Google Patents
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- 반도체 디바이스 테스터로써,반도체 디바이스를 테스트하기 위한 DC 테스트 신호를 생성하도록 구성된 PMU 스테이지;상기 반도체 디바이스를 테스트하기 위한 AC 테스트 신호를 생성하도록 구성된 PE 스테이지; 및제1모드에서, 상기 반도체 디바이스에 일 버전의 상기 DC 테스트 신호를 제공하고, 제2모드에서, 상기 반도체 디바이스에 일 버전의 상기 AC 테스트 신호를 제공하도록 구성된 구동회로를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 테스터.
- 제 1 항에 있어서, 상기 구동회로로부터 상기 반도체 디바이스에 일 버전의 상기 테스트 신호들을 제공하도록 구성된 출력 스테이지를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 테스터.
- 제 1 항에 있어서, 상기 구동회로에 의해 제공되는 일 버전의 상기 DC 테스트 신호는 상기 PMU 스테이지에 의해 생성된 상기 DC 테스트 신호의 일 증폭된 버전인 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 테스터.
- 제 1 항에 있어서, 상기 구동회로에 의해 제공되는 일 버전의 상기 AC 테스트 신호는 상기 PE 스테이지에 의해 생성된 상기 AC 테스트 신호의 일 증폭된 버전인 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 테스터.
- 제 2 항에 있어서, 상기 PMU 스테이지는 상기 출력 스테이지에 제2DC 테스트 신호를 제공하기 위한 스위치를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 테스터.
- 제 5 항에 있어서, 상기 제2DC 테스트 신호는 비교적 낮은 전류인 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 테스터.
- 제 1 항에 있어서, 상기 출력 스테이지는 저항을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 테스터.
- 제 1 항에 있어서, 상기 DC 테스트 신호는 비교적 높은 전류인 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 테스터.
- 제 1 항에 있어서, 상기 DC 테스트 신호는 대략 50 밀리암페어의 전류를 가진 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 테스터.
- 반도체 디바이스 테스터로써,반도체 디바이스를 테스트하기 위한 DC 테스트 신호를 생성하도록 구성된 PMU 스테이지;상기 반도체 디바이스를 테스트하기 위한 AC 테스트 신호를 생성하도록 구성된 PE 스테이지; 및상기 피시험 반도체 디바이스에 상기 DC 테스트 신호 및 상기 AC 테스트 신호를 제공하도록 구성된 출력 스테이지를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 테스터.
- 제 10 항에 있어서, 상기 출력 스테이지에 일 버전의 상기 AC 테스트 신호를 제공하도록 구성된 구동회로를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 테스터.
- 제 10 항에 있어서, 상기 출력 스테이지에 상기 DC 테스트 신호를 제공하도록 구성된 스위치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 테스터.
- 제 10 항에 있어서, 상기 출력 스테이지는 저항을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 테스터.
- 제 10 항에 있어서, 상기 반도체 디바이스는 메모리 디바이스인 것을 특징 으로 하는 반도체 디바이스 테스터.
- 반도체 디바이스 테스터로써,집적회로로써,피시험 반도체 디바이스에 AC 테스트 신호를 제공하도록 구성된 PE 스테이지, 및상기 피시험 반도체 디바이스에 DC 테스트 신호를 제공하도록 구성된 PMU 스테이지를 포함하는 집적회로를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 테스터.
- 제 15 항에 있어서, 상기 PE 스테이지 및 상기 PMU 스테이지에 연결되고, 상기 피시험 반도체 디바이스에 상기 AC 테스트 신호 및 상기 DC 테스트 신호를 제공하도록 구성된 출력 스테이지를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 테스터.
- 제 15 항에 있어서, 상기 PE 스테이지 및 상기 PMU 스테이지에 연결되고, 상기 AC 테스트 신호 및 상기 DC 테스트 신호를 수신하도록 구성된 구동회로를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 테스터.
- 제 17 항에 있어서, 상기 구동회로에 연결되고, 상기 피시험 반도체 디바이 스에 상기 AC 테스트 신호의 증폭된 버전 및 상기 DC 테스트 신호의 증폭된 버전을 제공하도록 구성된 출력 스테이지를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 테스터.
- 제 17 항에 있어서, 상기 DC 테스트 신호의 증폭된 버전은 비교적 높은 전류를 가진 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 테스터.
- 제 16 항에 있어서, 상기 출력 스테이지는 50 옴의 저항을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 테스터.
- 반도체 디바이스에 테스트 신호를 제공하는 방법으로써,PMU 스테이지로 DC 테스트 신호를 생성하는 단계;PE 스테이지로부터의 AC 테스트 신호를 증폭하도록 구성된 구동회로로 상기 DC 테스트 신호를 증폭하는 단계;상기 증폭된 DC 테스트 신호를 출력 스테이지를 통해 상기 반도체 디바이스로 전송하는 단계를 포함하고, 상기 출력 스테이지는 상기 PE 스테이지로부터 상기 반도체 디바이스에 증폭된 AC 테스트 신호를 제공하도록 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스에 테스트 신호를 제공하는 방법.
- 제 21 항에 있어서, 증폭된 DC 테스트 신호를 출력 스테이지를 통해 상기 반도체 디바이스로 전송하는 단계는 상기 증폭된 DC 테스트 신호를 저항을 통해 패싱하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스에 테스트 신호를 제공하는 방법.
- 제 21 항에 있어서,스위치를 통해 제2DC 테스트 신호를 패싱하는 단계;상기 제2DC 테스트 신호를 상기 출력 스테이지를 통해 상기 피시험 반도체 디바이스에 전송하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스에 테스트 신호를 제공하는 방법.
- 제 23 항에 있어서, 상기 스위치를 통해 상기 DC 테스트 신호를 패싱하는 단계는 상기 스위치를 닫힌 포지션에 두는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스에 테스트 신호를 제공하는 방법.
- 반도체 디바이스 테스터로써,집적회로로써,피시험 반도체 디바이스에 AC 테스트 신호를 제공하도록 구성된 PE 스테이지,상기 피시험 반도체 디바이스에 DC 테스트 신호를 제공하도록 구성된 PMU 스테이지, 및상기 PE 스테이지 및 상기 PMU 스테이지에 연결되고, 상기 피시험 반도체 디바이스에 상기 AC 테스트 신호 및 상기 DC 테스트 신호를 제공하도록 구성된 출력 스테이지를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 테스터.
- 제 25 항에 있어서, 상기 PE 스테이지는 상기 피시험 반도체 디바이스에 PMU 전류 테스트 신호를 제공하도록 구성되어 있고, 상기 피시험 반도체 디바이스로부터의 응답을 센싱하도록 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 테스터.
- 제 25 항에 있어서,상기 반도체 디바이스를 테스트하기 위한 DC 테스트 신호를 제공하도록 구성된 PMU 구동회로; 및상기 PMU 구동회로의 출력에서 DC 테스트 신호를 센싱하고, 상기 DC 테스트 신호의 보상을 위해 상기 PMU 구동회로의 입력에 상기 센싱된 DC 테스트 신호를 제공하도록 구성된 피드백 회로를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 테스터.
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