KR20060134809A - 감광성 조성물 및 블랙 매트릭스 - Google Patents
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Abstract
Description
노광량 (mJ/cm2) | 패턴의 직진성 | 패턴 박리 | 잔류 | ||||||
45 | 50 | 60 | 70 | 45 | 50 | 60 | 70 | ||
실시예 1 | 양호 | 양호 | 양호 | 양호 | 없음 | 없음 | 없음 | 없음 | 없음 |
실시예 2 | 양호 | 양호 | 양호 | 양호 | 없음 | 없음 | 없음 | 없음 | 없음 |
실시예 3 | 양호 | 양호 | 양호 | 양호 | 없음 | 없음 | 없음 | 없음 | 없음 |
실시예 4 | 양호 | 양호 | 양호 | 양호 | 없음 | 없음 | 없음 | 없음 | 없음 |
실시예 5 | 양호 | 양호 | 양호 | 양호 | 없음 | 없음 | 없음 | 없음 | 없음 |
비교예 1 | 불량 | 불량 | 양호 | 양호 | 있음 | 있음 | 없음 | 없음 | 없음 |
비교예 2 | 불량 | 불량 | 양호 | 양호 | 있음 | 있음 | 없음 | 없음 | 없음 |
비교예 3 | 불량 | 불량 | 양호 | 양호 | 있음 | 있음 | 없음 | 없음 | 없음 |
비교예 4 | 불량 | 불량 | 양호 | 양호 | 있음 | 있음 | 없음 | 없음 | 없음 |
Claims (6)
- 광중합성 화합물과, 광중합 개시제와, 차광재료를 함유하고,상기 광중합 개시제로서,(a) 화학식 1로 나타내어지는 화합물;화학식 1(상기 식에서, X는 화학식 2 또는 화학식 3으로 나타내어지는 기이고, R1은 페닐기, 탄소수 1~20의 알킬기, -CN, -NO2 및 탄소수 1~4의 할로알킬기로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 어느 1종의 기이며, R2는 탄소수 2~12의 아실기 또는 탄소수 4~6의 알케노일기이다)화학식 2(상기 식에서, R3~R7은 각각 독립하여, 수소원자, 할로겐원자, 탄소수 1~12의 알킬기, 페닐기 또는 C6H5S-로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 어느 1종의 기이다)화학식 3(상기 식에서, R8, R9는 각각 독립하여 수소원자, 할로겐원자, 탄소수 1~12의 알킬기 또는 페닐기로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 어느 1종의 기이다)및, (b) 질소원자를 가지는 복소환을 포함하며, 이 복소환에 메르캅토기가 결합되어 있는 화합물을 함유하는 것을 특징으로 하는 감광성 조성물.
- 제 1 항에 있어서,상기 차광재료로서 카본블랙 또는 티탄 블랙 중 적어도 어느 하나를 함유하는 것을 특징으로 하는 감광성 조성물.
- 제 1 항에 있어서,상기 감광성 조성물의 막두께 1㎛당 OD값이 3.5 이상인 것을 특징으로 하는 감광성 조성물.
- 제 1 항에 기재된 감광성 조성물로 형성된 블랙 매트릭스.
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