KR20060134809A - 감광성 조성물 및 블랙 매트릭스 - Google Patents

감광성 조성물 및 블랙 매트릭스 Download PDF

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KR20060134809A
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도쿄 오카 고교 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 직선성이 높고, 박리나 잔류가 없는 양호한 블랙 매트릭스 패턴을 용이하게 형성할 수 있도록 한다. 감광성 조성물에 있어서, 광중합 개시제는 하기 화학식 1로 나타내는 화합물과, 질소원자를 가지는 복소환을 포함하며, 이 복소환에 메르캅토기가 결합되어 있는 화합물을 함유한다. 이 화합물들을 함유함으로써, 감광성 조성물은 광에 대한 감도가 높아져, 패턴의 현상 마진이 높아진다. 따라서, 감광성 조성물이 차광재료를 함유하는 경우에도, 직선성이 좋고, 박리나 잔류가 없는 패턴을 쉽게 형성할 수 있다.
화학식 1
Figure 112006042659130-PAT00001
감광성 조성물, 광중합 개시제, 복소환

Description

감광성 조성물 및 블랙 매트릭스{Photosensitive Composition and Black Matrix}
본 발명은 액정 디스플레이 패널의 블랙 매트릭스를 형성하기 위한 감광성 조성물, 및 블랙 매트릭스에 관한 것이다.
컬러 액정 디스플레이 등의 각종 다색 표시체에 구비되는 컬러 필터에는, 표시 컨트라스트나 발색 효과를 높이기 위하여, R, G, B의 착색층 사이의 경계부분에 블랙 매트릭스가 설치되어 있다. 이 블랙 매트릭스는 종래에는 크롬 박막을 포토 에칭함으로써 형성되었다. 크롬 박막으로 이루어지는 블랙 매트릭스는 칫수 정밀도가 높고, 신뢰성도 높다. 하지만, 크롬 박막을 형성하기 위해서는, 증착이나 스퍼터라는 진공 막제조 공정이 필요하여, 기판의 대형화는 기계의 대형화를 동반하기 때문에, 기판의 대형화에 대한 대응이 어려웠다.
크롬 박막을 대신할 것으로서, 예를 들어 감광성 수지성분과 차광재료를 포함하는 감광성 조성물을 기판 위에 도포 건조하고, 포토리소그래피에 의해 원하는 패턴을 형성하는 기술이 개발되고 있다(예를 들어, 일본특허공개 평11-84125호 공보 2, 4 페이지 참조).
블랙 매트릭스에 높은 차광성을 부여하기 위해서는, 감광성 조성물 안의 차광재료의 함유량을 높일 필요가 있다. 상기 일본특허공개 평11-84125호에 기재된 발명의 경우, 차광재료의 함유량을 높이면 광학 농도가 높아지고, 그 결과 광경화시에 광이 막의 깊숙이까지 도달하지 않아, 광경화가 충분히 진행되지 않는 경우가 있었다. 그 결과, 현상 마진이 좁아져 패턴의 직진성이 낮아지거나, 기판으로부터의 패턴 박리 또는 기판상의 잔류가 발생하거나, 흑색 패턴으로서의 블랙 매트릭스 패턴을 양호하게 얻는 것이 어려운 경우가 있었다.
본 발명의 목적은 액정 디스플레이의 컬러 필터에 있어서, 직선성이 좋고, 박리나 잔류가 없는 양호한 블랙 매트릭스 패턴을 용이하게 형성할 수 있도록 하는데 있다.
본 발명의 감광성 조성물은 액정 디스플레이의 블랙 매트릭스를 형성하기 위한 감광성 조성물로서,
광중합성 화합물과, 광중합 개시제와, 차광재료를 함유하고,
상기 광중합 개시제로서,
(a) 화학식 1로 나타내어지는 화합물;
Figure 112006042659130-PAT00002
(상기 식에서, X는 화학식 2 또는 화학식 3으로 나타내어지는 기이고, R1은 페닐기, 탄소수 1~20의 알킬기, -CN, -NO2 및 탄소수 1~4의 할로알킬기로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 어느 1종의 기이며, R2는 탄소수 2~12의 아실기 또는 탄소수 4~6의 알케노일기이다)
Figure 112006042659130-PAT00003
(상기 식에서, R3~R7은 각각 독립하여, 수소원자, 할로겐원자, 탄소수 1~12의 알킬기, 페닐기 또는 C6H5S-로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 어느 1종의 기이다)
Figure 112006042659130-PAT00004
(상기 식에서, R8, R9는 각각 독립하여 수소원자, 할로겐원자, 탄소수 1~12의 알킬기 또는 페닐기로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 어느 1종의 기이다)
및, (b) 질소원자를 가지는 복소환을 포함하며, 이 복소환에 메르캅토기가 결합되어 있는 화합물(이하, 화학물(b)라고 함)을 함유한다.
여기서, (a) 화학식 1로 나타내어지는 화합물은, 광에 대한 감수성이 강하여, 약간의 조사량으로도 활성화하는 화합물이다. 따라서, 경화성 조성물이 차광재료로서 흑색안료를 함유하고 있고, 기판에 도포되어 있는 막의 깊숙이에 도달하는 광의 조사량이 소량인 경우에도, 광중합성 화합물을 중합시킬 수 있다. 더욱이, (b) 질소원자를 가지는 복소환을 포함하며, 이 복소환에 메르캅토기가 결합되어 있는 화합물을 함유함으로써, 감광성 조성물의 감도를 높일 수 있다. 이에 의해, 패턴부분의 현상 마진을 높일 수 있다.
이와 같이 하여, 감광성 조성물의 감도를 높여, 패턴 부분의 현상 마진을 높임으로써, 흑색 안료의 함유량을 늘려도 감광성 조성물은 광조사에 의해 효율적으 로 경화한다. 따라서, 차광성이 높은 동시에, 직선성이 높아, 박리나 잔류가 없는 양호한 블랙 매트릭스 패턴을 기판 위에 형성할 수 있다.
이에 의해 컨트라스트가 높고, R, G, B의 발색이 아름다운 컬러 필터를 가지는 액정 디스플레이 패널을 용이하게 제공할 수 있다.
이하, 본 발명에 따른 감광성 조성물에 대하여 설명한다.
본 발명에 따른 감광성 조성물은, 액정 디스플레이 패널의 글라스 기판 위에 블랙 매트릭스를 형성하는데 사용되며, 광중합성 화합물, 광중합 개시제, 및 차광재료를 함유한다.
감광성 조성물은 광중합 개시제로서 (a) 화학식 1로 나타내어지는 화합물;
화학식 1
Figure 112006042659130-PAT00005
(상기 식에서, X는 화학식 2 또는 화학식 3으로 나타내어지는 기이고, R1은 페닐기, 탄소수 1~20의 알킬기, -CN, -NO2 및 탄소수 1~4의 할로알킬기로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 어느 1종의 기이며, R2는 탄소수 2~12의 아실기 또는 탄소수 4~6의 알케노일기이다)
화학식 2
Figure 112006042659130-PAT00006
(상기 식에서, R3~R7은 각각 독립하여, 수소원자, 할로겐원자, 탄소수 1~12의 알킬기, 페닐기 또는 C6H5S-로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 어느 1종의 기이다)
화학식 3
Figure 112006042659130-PAT00007
(상기 식에서, R8, R9는 각각 독립하여 수소원자, 할로겐원자, 탄소수 1~12의 알킬기 또는 페닐기로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 어느 1종의 기이다)
및, (b) 질소원자를 가지는 복소환을 포함하며, 이 복소환에 메르캅토기가 결합되어 있는 화합물을 함유한다.
(a) 화학식 1로 나타내어지는 화합물은, 일본특허공개 2000-80068호 공보에 기재된 방법에 의해 얻어지는 화합물이다. 상기 화합물은 광에 대한 감수성이 다른 기존의 광중합 개시제에 비하여 매우 높아, 아주 적은 조사량의 광에 의해 효율적으로 활성화하여 광중합성 화합물을 경화시킬 수 있다. 이와 함께, (b) 질소원자를 가지는 복소환을 포함하며, 이 복소환에 메르캅토기가 결합되어 있는 화합물을 함유함으로써, 감도를 더욱 높일 수 있어, 현상 마진을 향상시킬 수 있다.
따라서, 블랙 매트릭스 패턴을 직선성이 높고, 박리나 잔류가 없는 양호한 형태로 할 수 있기 때문에, 표시 컨트라스트가 높고, R, G, B의 발색이 아름다운 컬러 필터를 제공할 수 있다.
더욱이, 상기 화학식 1에서, R1이 메틸이고, R2가 아세틸기이며, X가 화학식 3으로 나타내어지는 동시에, R8이 에틸기이고, R9가 메틸기인, 화학식 4로 나타내어지는 에타논(ethanone), 1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카르바졸-3-일]-, 1-(O-아세틸옥심)이, 광에 대한 감도가 더욱 높아, 보다 바람직하다.
Figure 112006042659130-PAT00008
상기 (b) 질소원자를 가지는 복소환을 포함하며, 이 복소환에 메르캅토기가 결합되어 있는 화합물로서는, 하기 화학식 5로 나타내어지는 화합물을 들 수 있다.
Figure 112006042659130-PAT00009
(상기 식에서 -Z-는, -O-, -S-, 및 -NH-로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 어느 1종을 나타내며, 고리 B는 치환기를 가지고 있어도 좋은 벤젠고리를 나타낸다).
구체적으로는, 2-메르캅토벤즈이미다졸, 2-메르캅토벤조티아졸, 및 2-메르캅토벤조옥사졸 등을 들 수 있다. 또한, 상기 치환기로서는 할로겐원자, CN, 알킬기, 시클로알킬기, 아릴기, 아랄킬기 또는 복소환기를 들 수 있다. 이들 알킬기, 시클로알킬기, 아릴기, 아랄킬기는, 할로겐, 복소환으로 치환되어 있어도 좋고, 이 중 알킬기 및 아랄킬기의 알킬렌 부분은, 불포화 결합, 에테르 결합, 티오에테르 결합, 에스테르 결합에 의해 중단되어 있어도 좋으며, 다른 치환기 혹은 고리 B와 함께 고리를 형성하고 있어도 좋다.
그 밖에, 화학식 1로 나타내어지는 화합물 이외의 광중합 개시제를 조합하여도 좋다.
화학식 1로 나타내어지는 화합물 이외의 광중합 개시제로서는, 2,2'-비스(o- 클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸(이하, B-CIM(일본 호도가야 케미컬사 제품)), 2,2'-비스(o-브로모페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸, 2,2'-비스(o,p-디클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸, 2,2'-비스(o-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라(m-메톡시페닐)비이미다졸, 2,2'-비스(o,o'-디클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸, 2,2'-비스(o-니트로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸, 2,2'-비스(o-메틸페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸 등의 헥사아릴비이미다졸이나, 아세토페논, 2,2-디에톡시아세토페논, p-디메틸아세토페논, p-디메틸아미노프로피오페논, 디클로로아세토페논, 트리클로로아세토페논, p-tert-부틸아세토페논 등의 아세토페논류나, 벤조페논, 2-클로로벤조페논, p,p'-비스디메틸아미노벤조페논, p,p'-비스디에틸아미노벤조페논(이하, EAB-F(일본 호도가야 케미컬사 제품)) 등의 벤조페논류나, 벤질, 벤조인, 벤조인메틸에테르, 벤조인이소프로필에테르, 벤조인이소부틸에테르 등의 벤조인 에테르류나, 벤질디메틸케탈, 티오크산텐(thioxanthen), 2-클로로티오크산텐, 2,4-디에틸티오크산텐, 2-메틸티오크산텐, 2-이소프로필티오크산텐 등의 황산 화합물이나, 2-에틸안트라퀴논, 옥타메틸안트라퀴논, 1,2-벤즈안트라퀴논, 2,3-디페닐안트라퀴논 등의 안트라퀴논류나, 아조비스이소부티로니트릴, 벤조일퍼옥사이드, 쿠멘퍼옥사이드 등의 유기과산화물이나, p-메톡시트리아진 등의 트리아진 화합물이나, 2,4,6-트리스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-메틸-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-[2-(5-메틸푸란-2-일)에테닐]-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-[2-(푸란-2-일)에테닐]-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-[2-(4-디에틸아미노-2-메틸페닐)에테닐]-4,6-비 스(트리클로로메틸)-s-트라아진, 2-[2-(3,4-디메톡시페닐)에테닐]-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(4-메톡시페닐)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(4-에톡시스티릴)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(4-n-부톡시페닐)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진 등의 할로메틸기를 가지는 트리아진 화합물을 적용할 수 있다.
더욱이, 화학식 1로 나타내어지는 화합물 이외의 광중합 개시제로서는 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모노폴리노페닐)-부탄-1온 등의 아미노케톤 화합물을 사용할 수 있다. 본 발명에서는 트리아진 화합물, 및 아미노케톤 화합물이 바람직하게 사용된다.
상기 화합물 중에서, 화학식 1로 나타내어지며, X가 화학식 2로 나타내어지는 광중합 개시제와 조합되는 광중합 개시제로서는 트리아진 화합물이 바람직하며, 화학식 6, 화학식 7, 화학식 8(R10, R11은 각각 독립하여 탄소수 1~3의 알킬기를 나타낸다)로 나타내어지는 트리아진 화합물이 특히 바람직하다. 한편, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부탄-1온도 화학식 1로 나타내어지며, X가 화학식 2로 나타내어지는 광중합 개시제와 조합하는 광중합 개시제로서 효과적이다.
Figure 112006042659130-PAT00010
Figure 112006042659130-PAT00011
Figure 112006042659130-PAT00012
상기 화합물 중에서, 화학식 1로 나타내어지며, X가 화학식 3으로 나타내어지는 광중합 개시제와 조합되는 광중합 개시제로서는 상술한 트리아진 화합물도 좋지만, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부탄-1온을 사용하는 것이 바람직하다.
감광성 조성물이 광중합 개시제로서 상술한 적어도 2종의 화합물을 함유함으로써, 매우 소량의 광의 조사에 의해 효율적으로 활성화할 수 있다. 이는 전자 밴드 스펙트럼이 다른 화합물이 공존함으로써 광중합 개시제가 높은 감도를 가지는 광의 실질(net) 파장영역을 넓히거나, 혹은 적어도 2종의 화합물이 상호 작용하기 때문이다.
이렇게 하여 감광성 조성물의 감도나 현상 마진을 더욱 높임으로써, 블랙 매트릭스 패턴을 직선성이 높고, 박리나 잔류가 없는 양호한 형태로 하는 것이 더욱 용이해진다.
여기서, 화학식 1로 나타내어지는 화합물과, 화학식 1로 나타내어지는 화합물 이외의 화합물(특히, 트리아진 화합물, 및 아미노케톤 화합물)의 배합비율은, 중량비로 10:90~90:10인 것이 바람직하며, 특히 20:80~80:20인 것이 바람직하다. 화학식 1로 나타내어지는 화합물과, 화학식 1로 나타내어지는 화합물 이외의 화합물의 배합비율을 상술한 범위내로 함으로써, 두 화합물이 효과적으로 상호 작용하여, 감광성 조성물의 감도, 현상 마진을 더욱 향상시킬 수 있다.
광중합성 화합물은 자외선 등의 광의 조사를 받아 중합하여, 경화하는 물질이다. 광중합성 화합물로서는, 에틸렌성 이중결합을 가지는 화합물이 바람직하며, 구체적으로는, 아크릴산, 메타크릴산, 푸마르산, 말레산, 푸마르산 모노메틸, 푸마르산 모노에틸, 2-히드록시에틸아크릴레이트, 2-히드록시에틸메타크릴레이트, 에틸렌글리콜모노메틸에테르아크릴레이트, 에틸렌글리콜모노메틸에테르메타크릴레이트, 에틸렌글리콜모노에틸에테르아크릴레이트, 에틸렌글리콜모노에틸에테르메타크릴레 이트, 글리세롤아크릴레이트, 글리세롤메타크릴레이트, 아크릴산아미드, 메타크릴산아미드, 아크릴로니트릴, 메타크릴로니트릴, 메틸아크릴레이트, 메틸메타크릴레이트, 에틸아크릴레이트, 에틸메타크릴레이트, 이소부틸아크릴레이트, 이소부틸메타크릴레이트, 2-에틸헥실아크릴레이트, 2-에틸헥실메타크릴레이트, 벤질아크릴레이트, 벤질메타크릴레이트, 에틸렌글리콜디아크릴레이트, 에틸렌글리콜디메타크릴레이트, 디에틸렌글리콜디아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜디아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜디메타크릴레이트, 테트라에틸렌글리콜디아크릴레이트, 테트라에틸렌글리콜디메타크릴레이트, 부틸렌글리콜디메타크릴레이트, 프로필렌글리콜디아크릴레이트, 프로필렌글리콜디메타크릴레이트, 트리메틸롤프로판트리아크릴레이트, 트리메틸롤프로판트리메타크릴레이트, 테트라메틸롤프로판테트라아크릴레이트, 테트라메틸롤프로판테트라메타크릴레이트, 펜타에리스리톨트리아크릴레이트, 펜타에리스리톨트리메타크릴레이트, 펜타에리스리톨테트라아크릴레이트, 펜타에리스리톨테트라메타크릴레이트, 디펜타에리스리톨펜타아크릴레이트, 디펜타에리스리톨펜타메타크릴레이트, 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트(DPHA), 디펜타에리스리톨헥사메타크릴레이트, 1,6-헥산디올디아크릴레이트, 1,6-헥산디올디메타크릴레이트, 카르드에폭시디아크릴레이트 등의 모노머, 올리고머류; 다가 알코올류와 1염기산 또는 다염기산을 축합하여 얻어지는 폴리에스테르 프리폴리머에 (메타)아크릴산을 반응하여 얻어지는 폴리에스테르(메타)아크릴레이트, 폴리올기와 2개의 이소시아네이트기를 가지는 화합물을 반응시킨 후, (메타)아크릴산을 반응하여 얻어지는 폴리우레탄(메타)아크릴레이트; 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 비 스페놀 S형 에폭시 수지, 페놀 또는 크레졸노볼락형 에폭시 수지, 레졸형 에폭시수지, 트리페놀메탄형 에폭시 수지, 폴리카르복시산 폴리글리시딜에스테르, 폴리올폴리글리시딜에스테르, 지방족 또는 지환식 에폭시 수지, 아민에폭시 수지, 디히드록시벤젠형 에폭시 수지 등의 에폭시 수지와 (메타)아크릴산을 반응하여 얻어지는 에폭시(메타)아크릴레이트 수지 등을 들 수 있다. 더욱이 상기 에폭시(메타)아크릴레이트 수지에 다염기산 무수물을 반응시킨 수지도 바람직하게 사용할 수 있다.
또한, 광중합성 화합물로서는 하기 화학식 9로 나타내어지는 화합물도 적용할 수 있다. 하기 화학식 9로 나타내어지는 화합물은 그 자체가 광경화성이 높다는 점에서 바람직한 화합물이다.
Figure 112006042659130-PAT00013
여기서, 화학식 9로 나타내어지는 화합물의 X는 하기 화학식 10으로 나타내어지는 기(基)이다.
Figure 112006042659130-PAT00014
또한, 화학식 9로 나타내어지는 화합물의 Y는 예를 들어, 무수 말레산, 무수 호박산, 무수 이타콘산, 무수 프탈산, 무수 테트라히드로프탈산, 무수 헥사히드로프탈산, 무수 메틸엔도메틸렌테트라히드로프탈산, 무수 클로렌드산(chlorendic acid), 메틸테트라히드로 무수프탈산, 무수 글루타르산이라는 디카르복시산 무수물로부터 카르복시산 무수물기(-CO-O-CO-)를 제거한 잔기이다.
또한, 화학식 9로 나타내어지는 화합물의 Z는 예를 들어, 무수 피로멜리트산, 벤조페논테트라카르복시산 이무수물, 비페닐테트라카르복시산 이무수물, 비페닐에테르테트라카르복시산 이무수물 등의 테트라카르복시산 이무수물로부터 2개의 카르복시산 무수물기를 제거한 잔기이다.
상기 광중합성 화합물은 상기 화합물과 광중합 개시제의 합계 100 중량부에 대하여 60~99.9 중량부의 범위로 함유된다. 함유량이 60 중량부 미만이면 충분한 내열성, 내약품성을 기대할 수 없고, 또한, 99.9 중량부를 넘으면 도막형성능력이 떨어지고, 광경화 불능을 일으키는 경우가 있다.
차광재료로서는 카본블랙이나 티탄 블랙을 바람직하게 사용할 수 있다. 그 밖에, Cu, Fe, Mn, Cr, Co, NI, V, Zn, Se, Mg, Ca, Sr, Ba, Pd, Ag, Cd, In, Sn, Sb, Hg, Pb, BI, SI 및 Al 등의 각종 금속산화물, 복합산화물, 금속황화물, 금속황산연 또는 금속탄산염 등의 무기안료도 사용할 수 있다.
카본블랙으로서는 채널 블랙, 퍼니스 블랙(furnace black), 써말 블랙(thermal black), 램프 블랙(lamp black) 등 공지의 카본블랙을 사용할 수 있는데, 특히 채널 블랙은 차광성이 뛰어나 바람직하게 사용할 수 있다. 또한, 수지피 복 카본블랙을 사용할 수도 있다. 구체적으로는, 카본블랙과 카본블랙 표면에 존재하는 카르복실기, 히드록실기, 카르보닐기와 반응성을 가지는 수지를 혼합하고, 50~380도에서 가열하여 얻은 수지피복 카본블랙이나, 물-유기용제 혼합계 또는 물-계면활성제 혼합계에 에틸렌성 모노머를 분산하고, 중합개시제의 존재하에서 라디컬 중합 또는 라디컬 공중합시켜 얻은 수지피복 카본블랙 등을 들 수 있다. 이 수지피복 카본블랙은 수지피복이 없는 카복블랙에 비하여 도전성이 낮기 때문에, 액정 디스플레이 등의 컬러필터로서 사용한 경우에 전류의 누출이 적어, 신뢰성이 높은 저소비전력의 디스플레이를 형성할 수 있다.
차광재료로서, 상기 무기안료에 보조안료로서 유기안료를 더하여도 좋다. 유기안료는 무기안료의 보색을 나타내는 것을 적절히 선택하여 더함으로써 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다. 예를 들어, 카본블랙은 붉은 기가 도는 흑색을 나타낸다. 따라서, 카본블랙에 보조안료로서 적색의 보색인 청색을 나타내는 유기안료를 더함으로써 카본블랙의 붉은 기가 없어져, 전체적으로 바람직한 흑색을 나타낸다.
유기안료는 무기안료와 유기안료의 총합 100 중량부에 대하여, 유기안료를 10~80 중량부의 범위에서 사용하면 바람직하고, 보다 바람직하게는 유기안료가 20~60 중량부이고, 가장 바람직하게는 유기안료가 20~40 중량부이다.
상기 무기안료 및 유기안료는 안료를 분산제를 사용하여 적당한 농도로 분산시킨 용액을 사용할 수 있다. 예를 들어, 무기안료로서는 일본 미쿠니 컬러사 제품인 카본 분산액 CF 블랙(카본 농도 20% 함유), 미쿠니 컬러사 제품인 카본 분산액 CF 블랙(고저항 카본 24% 함유), 미쿠니 컬러사 제품인 티탄 블랙 분산액 CF 블랙 (흑티탄 안료 20% 함유)을 들 수 있다. 또한, 유기안료로서는 예를 들어, 미쿠니 컬러사 제품인 블루 안료 분산액 CF 블루(블루 안료 20% 함유), 미쿠니 컬러사 제품인 바이올렛 분산액(바이올렛 안료 10% 함유) 등을 들 수 있다.
또한, 분산제로서는 폴리에틸렌이민계, 우레탄 수지계, 아크릴 수지계의 고분자 분산제가 바람직하게 사용된다.
본 발명에 따른 감광성 조성물은 광중합성 화합물, 광중합 개시제, 및 차광재료의 총합 100 중량부 안에, 광중합성 화합물을 20~60 중량부, 광중합 개시제를 0.5~30 중량부, 차광재료를 10~75 중량부의 범위에서 함유하면 좋다.
한편, 상기 조성비에 있어서, 차광재료는 카본블랙이나 티탄블랙이라는 무기안료만으로 구성하여도 좋고, 보조안료인 유기안료를 포함하여도 좋다. 또한, 이하에서 차광재료라고 하는 경우에는 모두 마찬가지이다.
상기에서 차광재료를 상기 총합 100 중량부 중에 10 중량부 이상으로 함으로써, 형성한 흑색 패턴의 충분한 차광성능을 얻을 수 있다.
한편, 차광재료의 조성비를 75 중량부 이상으로 함으로써, 소정 파장의 광선을 조사할 때에 경화부족을 일으키는 것을 억제할 수 있다.
또한, 차광재료의 농도는, 후술하는 바와 같이 본 발명의 감광성 조성물을 사용하여 블랙 매트릭스를 막형성할 때, 본 발명의 감광성 조성물의 막두께 1㎛당 OD(Optical Density)값이 3.5 이상, 바람직하게는 4.0 이상이 되도록 조정하는 것이 바람직하다.
감광성 조성물의 막두께 1㎛ 당 OD 값이 3.5 이상이면, 액정 디스플레이의 블랙 매트릭스에 사용한 경우에 충분한 표시 컨트라스트를 얻을 수 있으며, 크롬 박막의 대체로서 필요한 성능을 얻을 수 있다.
또한, 본 발명의 감광성 조성물을 사용하여 블랙 매트릭스 패턴을 형성할 때에는, 후술하는 바와 같이, 기판 위에 본 발명의 감광성 조성물을 도포, 건조하여 막을 형성한다. 이 때의 도포성의 개선, 광경화후의 물성의 개선을 위하여, 상기 성분에 더하여 결합제로서 고분자 바인더를 더욱 함유하여도 좋다. 결합제는 상용성, 피막형성성, 현상성, 접착성 등 개선 목적에 따라 적절히 선택하면 좋다.
상기 고분자 바인더로서는 구체적으로 아크릴산, 메타크릴산, 메틸아크릴레이트, 메틸메타크릴레이트, 에틸아크릴레이트, 에틸메타크릴레이트, 프로필아크릴레이트, 프로필메타크릴레이트, 이소프로필아크릴레이트, 이소프로필메타크릴레이트, n-부틸아크릴레이트, n-부틸메타크릴레이트, tert-부틸아크릴레이트, tert-부틸메타크릴레이트, 2-히드록시에틸아크릴레이트, 2-히드록시에틸메타크릴레이트, 2-히드록시프로필아릴레이트, 2-히드록시프로필메타크릴레이트, 벤질아크릴레이트, 벤질메타크릴레이트, 페녹시아크릴레이트, 페녹시메타크릴레이트, 이소보르닐아크릴레이트, 이소보르닐메타크릴레이트, 글리시딜메타크릴레이트, 스틸렌, 아크릴아미드, 메타아크릴아미드, 아크릴노니트릴, 메타크릴노니트릴 등으로부터 선택된 단량체를 공중합시킴으로써 얻어진 것이나, 측쇄에 카르복실기를 가지는 산성 셀루로오스 변성물, 폴리에틸렌옥시드, 폴리비닐피롤리든, 아크릴노니트릴, 염화비닐, 염화비닐리덴과의 공중합체, 염화 비닐리덴, 염소화 폴리오레핀, 또는 염화비닐과 초산비닐과의 공중합체, 폴리초산비닐, 아크릴노니트릴과 스틸렌과의 공중합체, 아크 릴노니트릴과 스틸렌, 부타디엔과의 공중합체, 폴리비닐알킬에테르, 폴리비닐알킬케톤, 폴리스틸렌, 폴리아미드, 폴리우레탄, 폴리에틸렌테레프탈레이트 이소프탈레이트, 아세틸셀룰오로스 및 폴리비닐부티랄 등을 들 수 있다. 특히 알칼리성 수용액에서의 현상성을 개선하기 위하여, 아크릴산, 메타크릴산 등의 카르복실기를 가지는 단량체를 공중합 성분으로서 사용하는 것이 좋다. 상기 아크릴산, 메타크릴산 등은 공중합 성분중 5~40 중량%의 범위가 바람직하다. 또한, 카르복시메틸셀룰로오스, 카르복시에틸셀룰로오스, 카르복시프로필셀룰로오스나, 히드록시메틸셀룰로오스, 히드록시에틸셀룰로오스, 히드록시프로필셀룰로오스의 히드록실기에 다염기산 무수물을 반응시킨 셀룰로오스 수지도 바람직하게 사용할 수 있다.
고분자 바인더는 광중합성 화합물, 에틸렌성 화합물, 광중합 개시제, 흑색안료의 총합 100 중량부에 대하여, 400 중량부 이하, 바람직하게는 200 중량부 이하의 범위에서 함유할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 감광성 조성물은 희석을 위한 용제나, 열중합 금지제, 소포제, 계면활성제 등을 첨가하여도 좋다.
여기서, 감광성 조성물에 첨가할 수 있는 용제로는, 벤젠, 톨루엔, 크실렌, 메틸에틸케톤, 아세톤, 메틸이소부틸케톤, 시클로헥사논, 메탄올, 에탄올, 프로판올, 부탄올, 헥산올, 시클로헥산올, 에틸렌글리콜, 디에틸렌글리콜, 글리세린, 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜디에틸에테르, 3-메톡시부틸아세테이트(MBA), 3-메틸-3-메톡시부틸아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르프로피오네이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르프로피오네이트, 탄산메틸, 탄산에틸, 탄산프로필, 탄산부틸 등을 들 수 있다. 그 중에서도 3-메톡시부틸아세테이트는 광중합성 화합물, 광중합 개시제에 대하여 뛰어난 용해성을 나타내는 동시에, 흑색 안료 등의 불용성 성분의 분산성을 양호하게 한다는 점에서 바람직하다. 상기 용제는 광중합성 화합물, 광중합 개시제 및 차광재료의 합계 100 중량부에 대하여, 50~500 중량부의 범위에서 사용할 수 있다.
또한, 열중합 금지제로서는 히드로퀴논, 히드로퀴논모노에틸에테르 등이, 소포제로서는 실리콘계, 불소계 화합물이, 계면활성제로서는 아니온계, 카티온계, 노니온계 등의 종래 공지의 각종 열중합 금지제가, 더욱이 소포제로서는 계면활성제를 첨가할 수 있다.
이어서, 본 발명에 따른 감광성 조성물의 실시예에 대하여 설명한다.
(수지합성예 1)
먼저, 일본특허공개 2001-354735호 공보에 기재된 방법에 따라 화학식 9로 나타내어지는 화합물 1을 합성하였다.
즉, 500ml 입구가 4개인 플라스크 안에 비스페놀플루오렌형 에폭시수지 235g(에폭시 당량 235)과 테트라메틸암모늄클로라이드 110mg, 2,6-디-tert부틸-4-메틸페놀 100mg 및 아크릴산 72.0g을 넣고, 이것에 25ml/min의 속도로 공기를 불어넣으면서 90~100℃에서 가열용해하였다. 이어서, 용액이 백탁한 상태 그대로 서서 히 승온시켜, 120℃로 가열하여 완전용해시켰다. 여기서, 용액은 차례로 투명 점조(粘稠)가 되었지만, 그대로 교반을 계속하였다. 그 동안, 산가를 측정하여 1.0mgKOH/g 미만이 될 때까지 가열교반을 계속하였다. 산가가 목표에 도달할 때까지 12시간이 필요하였다. 그리고 실온까지 냉각하여, 무색투명으로 고체형상의 하기 화학식 11로 나타내어지는 비스페놀플루오렌형 에폭시 아크릴레이트를 얻었다.
Figure 112006042659130-PAT00015
이어서, 이와 같이 하여 얻어진 상기 비스페놀플루오렌형 에폭시 아크릴레이트 307.0g에 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트(PGMEA) 600g을 더하여 용해한 후, 벤조페논테트라카르복시산 이무수물 80.5g 및 브롬화테트라에틸암모늄 1g을 혼합하고, 서서히 승온하여 110~115℃에서 4시간 반응시켰다. 산무수물기의 소실을 확인한 후, 1,2,3,6-테트라히드로무수프탈산 38.0g을 혼합하고, 90℃에서 6시간 반응시켜, 상기 화학식 9로 나타내는 화합물 1을 얻었다. 산무수물기의 소실은 IR 스펙트럼에 의해 확인하였다.
여기서, 화합물 1은 화학식 9로 나타내는 화합물에 있어서, X는 화학식 10으로 나타내어지는 기이며, Y는 1,2,3,6-테트라히드로무수프탈산 이무수물로부터 산무수물기 (-CO-O-CO-)를 제거한 잔기, Z는 3,3',4,4'-벤조페논테트라카르복시산 사(四)무수물로부터 산무수물을 제거한 잔기인 동시에, Y/Z 몰비는 50.0/50.0이다.
이 화합물 1을 주된 광중합성 화합물로 하여, 본 발명의 감광성 조성물을 조제하였다.
(수지합성예 2)
먼저, 에틸렌성 불포화 결합을 가지는 광중합성 화합물로서, 화합물 2를 합성하였다. 화합물 2는 500ml 입구가 4개인 플라스크 안에 PGMEA 400g과, 메타크릴산 75g과, 벤질메타크릴레이트 210g, 2-히드록시에틸메타크릴레이트 15g, 아조비스이소부티로니트릴 5g을 넣고, 이것에 질소를 불어넣으면서 65~70℃로 유지하여 3시간 교반반응시킴으로써 얻어졌다.
(실시예 1~5, 비교예 1~4)
본 실시예 및 비교예에 따른 감광성 조성물의 성분을 표 1에 나타낸다.
Figure 112006042659130-PAT00016
*1: 55% 고형분으로 조정되어 있다.
*2: 에타논, 1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카르바졸-3-일]-, 1-[O-아세틸옥심), 일본 치바스페셜티 케미컬사 제품
*3: 카본 농도 20%, 일본 미쿠니 컬러사 제품
*4: 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부탄-1온, 치바가이기사 제품
*5: 고저항카본 24% 함유, 일본 미쿠니 컬러사 제품
*6: 블루 안료 20% 함유
*7: 바이올렛 안료 10% 함유
*8: 흑티탄안료 20% 함유, 일본 미쿠니 컬러사 제품
*9: 55% 고형분으로 조정되어 있다.
실시예 1~5 및 비교예 1~4에 대하여, 상기 성분으로 이루어지는 혼합물을 교반기로 2시간 혼합하고, 5㎛ 멤브레인 필터로 여과하여 감광성 조성물을 얻었다.
얻어진 감광성 조성물을 두께 1mm의 청정한 표면을 가지는 글라스 기판 위에 스핀코터(TR 25000: 도교오카 가부시키가이샤 제품)를 사용하여 건조 막두께가 1.2㎛가 되도록 도포하고, 90℃에서 2분간 건조하여 감광성 조성물의 막(감광층)을 형성하였다. 이어서 이 막에 네가티브 마스크를 통하여 자외선을 선택적으로 조사하였다. 노광량은 45, 50, 60, 70mJ의 4단계로 하였다. 그 후, 0.5 중량% 탄산나트륨 수용액으로 25℃, 60초간 스프레이 현상함으로써, 선폭 10㎛의 라인을 포함하는 블랙 매트릭스 패턴을 형성하였다. 그 후, 220℃, 30min 순환식 오븐에서 포스트 베이크하였다. 작성된 각 블랙 매트릭스의 막두께는 1.0㎛였다.
또한, 작성된 각 블랙 매트릭스의 OD값을 OD 측정장치 D-200II(그레타그막베스(GretagMacbeth)사 제품)로 측정하였더니 OD값은 4.0이었다.
상술한 바와 같이 하여 얻어진 실시예 1~5 및 비교예 1~4의 매트릭스의 패터닝 평가(패턴의 직진성, 박리, 잔류) 결과를 표 2에 나타낸다.
노광량 (mJ/cm2) 패턴의 직진성 패턴 박리 잔류
45 50 60 70 45 50 60 70
실시예 1 양호 양호 양호 양호 없음 없음 없음 없음 없음
실시예 2 양호 양호 양호 양호 없음 없음 없음 없음 없음
실시예 3 양호 양호 양호 양호 없음 없음 없음 없음 없음
실시예 4 양호 양호 양호 양호 없음 없음 없음 없음 없음
실시예 5 양호 양호 양호 양호 없음 없음 없음 없음 없음
비교예 1 불량 불량 양호 양호 있음 있음 없음 없음 없음
비교예 2 불량 불량 양호 양호 있음 있음 없음 없음 없음
비교예 3 불량 불량 양호 양호 있음 있음 없음 없음 없음
비교예 4 불량 불량 양호 양호 있음 있음 없음 없음 없음
판정 결과, 실시예 1~5에서 얻어진 패턴은 직선성이 뛰어나고, 안료 잔류나 기판과의 박리가 확인되지 않았다. 또한, OD값이 4.0 이상인 것에 대해서도, 감도가 높고, 양호한 패턴을 형성하는 것을 알 수 있다. 한편, 비교예 1~4는 저노광량에서는 패턴 박리가 많고, 직진성도 좋지 못하였다.
본 발명에 따르면, 광에 대한 감수성이 뛰어난 광중합 개시제를 감광성 조성물에 적용함으로써, 직선성이 뛰어나고, 박리나 잔류가 없으며, 표시 컨트라스트가 뛰어난 양호한 블랙 매트릭스 패턴을 기판 위에 용이하게 형성할 수 있다. 따라서, 액정 디스플레이용 컬러필터를 컨트라스트가 높고, R, G, B의 발색이 아름다운 형 태로 용이하게 제공할 수 있다.

Claims (6)

  1. 광중합성 화합물과, 광중합 개시제와, 차광재료를 함유하고,
    상기 광중합 개시제로서,
    (a) 화학식 1로 나타내어지는 화합물;
    화학식 1
    Figure 112006042659130-PAT00017
    (상기 식에서, X는 화학식 2 또는 화학식 3으로 나타내어지는 기이고, R1은 페닐기, 탄소수 1~20의 알킬기, -CN, -NO2 및 탄소수 1~4의 할로알킬기로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 어느 1종의 기이며, R2는 탄소수 2~12의 아실기 또는 탄소수 4~6의 알케노일기이다)
    화학식 2
    Figure 112006042659130-PAT00018
    (상기 식에서, R3~R7은 각각 독립하여, 수소원자, 할로겐원자, 탄소수 1~12의 알킬기, 페닐기 또는 C6H5S-로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 어느 1종의 기이다)
    화학식 3
    Figure 112006042659130-PAT00019
    (상기 식에서, R8, R9는 각각 독립하여 수소원자, 할로겐원자, 탄소수 1~12의 알킬기 또는 페닐기로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 어느 1종의 기이다)
    및, (b) 질소원자를 가지는 복소환을 포함하며, 이 복소환에 메르캅토기가 결합되어 있는 화합물을 함유하는 것을 특징으로 하는 감광성 조성물.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 화합물(b)는 화학식 5로 나타내어지는 화합물인 것을 특징으로 하는 감광성 조성물:
    화학식 5
    Figure 112006042659130-PAT00020
    (상기 식에서 -Z-는, -O-, -S-, 및 -NH-로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 어느 1종을 나타내며, 고리 B는 치환기를 가지고 있어도 좋은 벤젠고리를 나타낸다).
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 광중합 개시제로서 함유되는 상기 화학식 1로 나타내어지는 화합물의 1종이, 화학식 4로 나타내어지는 에타논, 1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카르바졸-3-일]-, 1-(O-아세틸옥심)인 것을 특징으로 하는 감광성 조성물:
    화학식 4
    Figure 112006042659130-PAT00021
    .
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 차광재료로서 카본블랙 또는 티탄 블랙 중 적어도 어느 하나를 함유하는 것을 특징으로 하는 감광성 조성물.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 감광성 조성물의 막두께 1㎛당 OD값이 3.5 이상인 것을 특징으로 하는 감광성 조성물.
  6. 제 1 항에 기재된 감광성 조성물로 형성된 블랙 매트릭스.
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Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008059670A1 (fr) * 2006-11-15 2008-05-22 Taiyo Ink Mfg. Co., Ltd. Composition de résine photodurcissable/thermodurcissable, object durci et plaque de câblage imprimée
WO2008059935A1 (fr) * 2006-11-15 2008-05-22 Taiyo Ink Mfg. Co., Ltd. Composition de résine photodurcissable/thermodurcissable, produit durci et planche de câblage imprimé
JP5003200B2 (ja) * 2007-02-26 2012-08-15 Jsr株式会社 着色層形成用感放射線性組成物、カラーフィルタおよびカラー液晶表示素子
JP4985767B2 (ja) * 2007-05-11 2012-07-25 日立化成工業株式会社 感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法
WO2008140017A1 (ja) * 2007-05-11 2008-11-20 Hitachi Chemical Company, Ltd. 感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法
CN101681097A (zh) * 2007-05-29 2010-03-24 旭硝子株式会社 感光性组合物、间隔壁、黑色矩阵
CN101349865B (zh) * 2007-07-17 2012-10-03 富士胶片株式会社 感光性组合物、可固化组合物、滤色器和制备滤色器的方法
JP2009237294A (ja) * 2008-03-27 2009-10-15 The Inctec Inc ブラックマトリクス形成用感光性樹脂組成物
JP5192876B2 (ja) * 2008-03-28 2013-05-08 富士フイルム株式会社 感光性樹脂組成物、遮光性カラーフィルター及びその製造方法、並びに、固体撮像素子
JP5173528B2 (ja) * 2008-03-28 2013-04-03 富士フイルム株式会社 感光性樹脂組成物、遮光性カラーフィルター及びその製造方法、並びに、固体撮像素子
JP5528677B2 (ja) 2008-03-31 2014-06-25 富士フイルム株式会社 重合性組成物、固体撮像素子用遮光性カラーフィルタ、固体撮像素子および固体撮像素子用遮光性カラーフィルタの製造方法
JP5189395B2 (ja) * 2008-03-31 2013-04-24 富士フイルム株式会社 感光性樹脂組成物、遮光性カラーフィルター及びその製造方法、並びに、固体撮像素子
JP5268415B2 (ja) * 2008-04-28 2013-08-21 富士フイルム株式会社 重合性組成物及びそれを用いた固体撮像素子用遮光性カラーフィルタ並びに固体撮像素子
JP5546801B2 (ja) * 2008-06-10 2014-07-09 富士フイルム株式会社 紫外光レーザー露光用感光性樹脂組成物、パターン形成方法、その方法を用いて製造したカラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法および液晶表示装置
JP5340198B2 (ja) * 2009-02-26 2013-11-13 富士フイルム株式会社 分散組成物
JP5657267B2 (ja) * 2009-04-16 2015-01-21 富士フイルム株式会社 カラーフィルタ用重合性組成物、カラーフィルタ、及び固体撮像素子
TWI519899B (zh) * 2009-07-07 2016-02-01 富士軟片股份有限公司 遮光薄膜用著色組成物、遮光圖案、其形成方法、固態影像感應裝置及其製造方法
KR101068622B1 (ko) * 2009-12-22 2011-09-28 주식회사 엘지화학 기판접착력이 향상된 고차광성 블랙매트릭스 조성물
CN102436142B (zh) 2010-09-29 2013-11-06 第一毛织株式会社 黑色光敏树脂组合物以及使用其的光阻层
JP6375236B2 (ja) * 2014-02-04 2018-08-15 新日鉄住金化学株式会社 遮光膜用感光性組成物、及びその硬化物

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0755925B2 (ja) 1986-02-28 1995-06-14 旭化成工業株式会社 新規なオキシムエステル化合物及びその合成法
JPS62286961A (ja) 1986-06-05 1987-12-12 Asahi Chem Ind Co Ltd 新規なオキシムエステル化合物及びその製造方法
NL1016815C2 (nl) * 1999-12-15 2002-05-14 Ciba Sc Holding Ag Oximester-fotoinitiatoren.
ATE446322T1 (de) * 2001-06-11 2009-11-15 Basf Se Oxim ester photoinitiatoren mit kombinierter struktur
JP2004240241A (ja) * 2003-02-07 2004-08-26 Jsr Corp 感光性樹脂組成物、表示パネル用スペーサーおよび表示パネル
JP4442292B2 (ja) * 2003-06-10 2010-03-31 三菱化学株式会社 光重合性組成物、カラーフィルター及び液晶表示装置

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