KR20060132935A

KR20060132935A - 이중액정수차보정소자 및 그 제조 방법

Info

Publication number: KR20060132935A
Application number: KR1020067018464A
Authority: KR
Inventors: 노부요시 나카가와; 나오코 요시다
Original assignee: 가부시키가이샤 비니도
Priority date: 2004-03-31
Filing date: 2005-03-25
Publication date: 2006-12-22
Also published as: JP4532482B2; KR100803340B1; JPWO2005098479A1; CN100409032C; CN1938606A; WO2005098479A1

Abstract

종래의 소자에 비해, 소형화, 경량화를 꾀할 수 있는 신규한 이중액정수차보정소자를 제공하는 것을 목적으로 한다. 두께 방향으로 적층한 2개의 액정수차보정소자로 구성되고, 상기 액정수차보정소자는, 일방에 공통전극이, 타방에 비전극부위가 형성된 세그먼트전극(21)이 형성된 한 쌍의 기판과, 상기 한 쌍의 기판에 끼워지는 액정을 구비하고, 상기 한 쌍의 기판의 각각에는 두께 방향에 복수의 구멍(30A, 30B, 30C)이 뚫어지는 동시에 상기 구멍에는 상기 공통전극 및 세그먼트 전극 중 어느 하나에 접속되는 단자(31A, 31B, 31C)가 마련되고, 상기 한 쌍의 기판의 일방에는 액정을 주입하기 위한 주입구(60)가 형성되고, 전압의 비인가시에 있어서의 액정의 배향방향이 2개의 액정수차보정소자에서 직교해서 되는 이중액정수차보정소자(1)이다.

이중액정수차보정소자, 중량밸런스, 선형보정

Description

이중액정수차보정소자 및 그 제조 방법{Double liquid-crystal aberration correcting element and its manufacturing method}

본 발명은, 광디스크 장치에 있어서, 광픽업에서의 기록, 재생시에 생성되는 수차를 보정하기 위해 이용되는 액정수차보정소자에 관한 것이다. 특히, 청자색반도체레이저를 광원으로 이용하고, 복수의 기록층을 가지는 대용량의 차세대 광디스크(Blue-ray disc; BD)등에 적절히 이용되고, 왕로, 귀로에서의 수차보정을 행하기 위한 이중액정수차보정소자 및 그 제조 방법의 기술분야에 속하는 것이다.

종래, 정보기록매체로서 CD, DVD 등의 각종 광디스크가 알려져 있다. 이들의 광디스크는, 회전하는 것에 의한 두께 차이나 휘어짐 등에 의해 수차(집광스포트의 일그러짐)를 생성하기 때문에 이 수차를 보정해서 기록, 재생의 정도를 높이는 것이 요구된다.

상기 수차를 보정하는 기술로서, 콜리메이터 렌즈를 액추에이터로 구동시키는 방식과, 액정수차보정소자를 이용하는 방식이 알려져 있다.

전자의 방식은, 액추에이터를 필요로 하기 때문에 광픽업이 복잡해지거나 고정밀도의 보정에는 대응해 나누어지지 않는다는 문제가 있었다.

이에 대하여 액정수차보정소자는, 액정 패널의 전극을 예를 들면 동심원의 링모양으로 형성하고, 이에 의해 광속의 중앙부와 가장자리부에서 다른 위상제어를 행한다. 이 액정수차보정소자는, 광픽업에서 대물렌즈와 함께 동일 광축상에 배치되기 때문에, 양호한 구동을 얻을 수 있도록 소형화, 경량화하는 것이 요망되었다.

그런데, 최근에는, 광원파장의 단파장화나 대물렌즈의 고NA화에 의해 Blu-ray disc(BD)등의 대용량 광디스크가 개발되고 있다. 이 BD는, 장래적으로는 두께방향으로 복수의 기록층을 가지기 때문에, 다른 심도에 레이저의 초점위치를 합할 필요가 있고, 또한, 광원파장이 짧기 때문에, 커버 층 두께의 격차(불균일)나 디스크의 기울기에 대한 허용량이 작아지고, 발생하는 파면수차가 커지는 경향이 있었다. 이 문제에 대처하기 위해, 상기의 소자를 2개 조합하고 왕로와 귀로에서의 수차보정을 행하는 것으로 검출정밀도를 향상시킨 이중액정수차보정소자가 제안되어 있다.

종래 이중액정수차보정소자로서, 예를 들면, 특허문헌1에는 출사광이 광원으로부터 광자기록매체로 향하는 왕로와 광자기록매체로부터 광검출기로 향하는 귀로를 공유하는 광로 중에 2개의 위상보정소자가 설치되어 있고, 이 중의 한 위상보정소자도 투명전극부의 1개의 투명기판을 구비하고 1개의 투명기판간에 액정층이 협지되어 있고, 전압의 인가시에 2개의 위상보정소자의 적어도 1개에 형성된 투명전극은 출사광의 파면수차를 보정할 수 있도록 분할된 분할전극으로 되어 있고 또한 2개의 위상보정소자의 실질적인 리터데이션값이 동일하고 전압의 비인가시에 2개의 위상보정소자를 구성하는 액정층의 액정분자의 배향방향이 서로 직교하고 있는 예가 기재되어 있다.

상기 종래의 소자에서는 특허문헌1의 도 2에 도시된 바와 같이, 소자의 한 쪽 기판을 보다 길게 하고 이 부분에 전극인출부를 형성하고 이 전극인출부와 제어회로를 프렉서블프린트기판 등에 의해 접속시켰다.

이 경우, 글래스기판상의 전극인출부의 부분에 힘이 가해지기 때문에 글래스기판을 얇게 하도록 하면 갈라지고 깨지는 불량을 생성할 우려가 있고 따라서 두께는 강도의 면에서 한계(0.3~0.5㎜정도)가 있다. 그러므로, 2개의 소자를 조합시키는 경우에는 전체가 두꺼워지고 충분한 경량화를 꾀할 수 없었다. 또한, 한쪽의 기판을 길게 형성하기 때문에 그 만큼 소자가 커지고 또한 소자자체의 중량밸런스가 무너지는 것에 의해 고정밀도의 구동이 어렵게 되는 문제가 있었다.

또한, 액정수차보정소자는, 특히 차재용 등의 용도를 고려했을 경우, 보존온도범위로서 -40∼90℃、사용 온도범위로서 -20∼80℃을 달성하는 것이 요구되지만, 온도가 변화되면 액정 및 기판이 확장, 수축하고, 이 때 액정과 기판의 팽창률이 다르기 때문에, 상기 특허문헌1과 같이 기판을 한 쪽으로 길게 형성해서 이에 단자를 집약시킨 경우에는, 전체가 불균일하게 변형되고, 그 결과로, 얻어지는 보정효과에 악영향을 줄 우려가 있었다.

더욱, 종래의 소자를 제조하는 때에는, 크기가 다른 2개의 기판을 대향시켜 이 기판의 측면의 간격으로부터 액정을 주입·봉지하고 있다. 그 때문에 크기가 대략 수㎜ 정도로 가공된 작은 기판의 조합을 차례대로 제작하고, 각각에 대하여 액정의 주입, 밀봉을 행할 필요가 있어, 생산 효율이 나쁘고, 가격도 높은 문제가 있었다. 또한, 측방향에 설치된 전극인출부의 위치에 대하여 액정분자의 배향방향이 상이한 2종류의 소자를 별개로 제작하지 않으면 안되고 효율이 나빴다.

또한, 상술한 바와 같이, 전극인출부가 소자의 옆쪽에 돌출해서 마련되어져 있기 때문에 제품의 검사를 최종적으로 가공된 개개의 소자마다 행할 필요가 있어, 효율이 나쁜 문제도 있었다.

또한, 양호한 보정을 행하기 위해서는, 발생한 수차에 대하여 반대의 위상차를 가하는 것이 이상적이다. 그러나, 예를 들면, 특허문헌2와 같이 전극의 영역을 동심원 모양으로 분할했을 경우에는, 얻을 수 있는 위상차가 계단 모양으로 되어 버리는 문제가 있었다.

그 때문에, 발생하는 수차에 대하여 선형보정을 행할 수 있는 이중액정수차보정소자의 개발이 기대되어 있었다.

특허문헌1 : 일본국 공개특허공보 제2002-319202호(청구항1, 단락0038, 도2)

특허문헌2 : 일본국 공개특허공보 제2002-237077호(청구항1, 단락0014)

여기서 본 발명은, 종래의 소자에 비교해 소형화, 경량화를 꾀할 수 있는 신규한 이중액자수차보정소자를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 광디스크의 두께 차이 등에 의해 발생하는 수차를 선형으로 보정하고, 이에 의해 기록·재생의 정도를 높일 수 있는 이중액정수차보정소자를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 온도변화에 의해 불균일한 변형을 일으키지 않고, 소자의 성능을 유지할 수 있는 이중액정수차보정소자를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 생산 효율이 뛰어나고, 저가격이며, 소자의 검사도 효율적으로 행할 수 있는 이중액정수차보정소자의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명에서는, 두께 방향으로 적층한 2개의 액정수차보정소자로 구성되어, 상기 각각의 액정수차보정소자는, 일방에 공통전극이, 타방에 세그먼트 전극이 형성된 한 쌍의 기판과, 상기 한 쌍의 기판에 끼워져 있던 액정을 구비하고, 상기 한 쌍의 기판의 각각에는 두께 방향으로 복수의 구멍이 뚫어지는 동시에 상기 구멍에는 상기 공통전극 및 세그먼트 전극 중 어느 하나에 접속되는 단자가 마련되고, 상기 한 쌍의 기판의 일방에는 액정을 주입하기 위한 주입구가 형성되고, 전압의 비인가시에 있어서의 액정의 배향방향이 2개의 액정수차보정소자에서 직교해서 되는 이중액정수차보정소자를 제공한다.

상기 구성에 의하면, 공통전극 및 세그먼트 전극에 접속하기 위한 단자 및 액정의 주입구가 구멍을 통해서 기판의 표면상에 배치된다.

또한, 본 발명에서는, 두께 방향으로 적층된 2개의 액정수차보정소자로부터 구성되고, 상기 각각의 액정수차보정소자는 일방에 공통전극이, 타방에 세그먼트 전극이 형성된 한 쌍의 기판과, 상기 한 쌍의 기판에 끼워져 있었던 액정을 구비하고, 상기 세그먼트전극에는 전극재가 존재하지 않는 복수의 비전극부위가 상기 세그먼트전극 상의 위치에 의해 크기 혹은 배치 간격 또는 그 양쪽을 변화시켜서 형성되고, 상기 비전극부위의 내측에서는 전압인가시에 액정이 불균일하게 배향되도록 구성되고, 상기 한 쌍의 기판의 각각에는 두께 방향에 복수의 구멍이 뚫어지는 동시에 상기 구멍에는 상기 공통전극 및 세그먼트 전극 중 어느 하나에 접속되는 단자가 마련되어져, 상기 한 쌍의 기판의 일방에는 액정을 주입하기 위한 주입구가 형성되고, 전압의 비인가시에 있어서의 액정의 배향방향이 2개의 액정수차보정소자에서 직교하여 되는 이중액정수차보정소자를 제공한다.

상기 구성에 의하면, 상기의 작용에 더해서, 복수 형성된 비전극부위의 중심부에서는 전극에 대하여 수직방향에 약한 전계가 형성되어, 비전극부위의 끝부분에서는 전계가 기운 방향으로 형성되기 때문에, 그 전계분포에 따라 액정분자가 불균일하게 배향됨으로써, 비전극부위의 중심으로부터 주변에 걸쳐서 굴절률이 연속적으로 변화되는 렌즈 효과를 얻을 수 있다. 따라서, 그 렌즈 부분에 광속을 통과시킴으로써 소정의 위상차가 주어져 수차가 보정된다.

특히, 비전극부위의 크기 혹은 배치간격을 변화시킴으로써 각각의 영역에서 얻을 수 있는 위상차가 바뀌고, 소자전체로서 수차에 따른 최적의 보정이 행하여진다.

또한, 본 발명은, 상기 기재의 이중액정수차보정소자에 있어서, 기판이 사각형상으로 형성되어, 상기 기판의 광속이 통과하는 원형영역에 따라 액정이 봉지되고, 상기 원형영역 이외의 코너부 부근에 액정의 주입구 및 단자가 설치되는 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의하면, 기판의 코너부 부근이, 구멍을 형성하는 공간으로서 유효하게 이용됨과 동시에, 소자의 중량 밸런스가 개선된다. 또한, 액정이 팽창, 수축하는 경우에 전체가 균일하게 변형한다.

또한, 본 발명은, 상기 기재의 이중액정수차보정소자에 있어서, 적층한 각각의 액정수차보정소자의 공통전극에 접속되는 단자끼리, 일방의 액정수차보정소자의 세그먼트 전극에 접속되는 단자끼리, 및 타방의 액정수차보정소자의 세그먼트전극에 접속되는 단자끼리가 두께 방향으로 서로 접속되어, 이중액정수차보정소자의 외측에 위치하는 1개의 기판에 마련되어진 단자에 각각 집약되는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명은, 상기 기재의 이중액정수차보정소자에 있어서, 적층한 각각의 액정수차보정소자의 공통전극에 접속되는 단자끼리, 일방의 액정수차보정소자의 세그먼트 전극에 접속되는 단자끼리, 및 타방의 액정수차보정소자의 세그먼트 전극에 접속되는 단자끼리가 두께 방향으로 서로 접속되어, 이중액정수차보정소자의 외측에 위치하는 1개의 기판에 마련되어진 단자에 각각 집약되는 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의하면, 소자를 구동시키기 위한 각 단자가, 1개의 기판 상에 집약배치된다.

또한, 본 발명은, 상기 기재의 이중액정수차보정소자에 있어서, 일방의 액정수차보정소자의 세그먼트 전극에 접속되는 단자와, 타방의 액정수차보정소자의 세그먼트 전극에 접속되는 단자가, 사각형상의 기판의 대각으로 위치하는 코너부 부근에 마련되고, 공통전극에 접속되는 단자와 액정의 주입구가 나머지의 코너부 부근에 마련되어지는 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의하면, 소자를 제조할 때의 효율을 고려하고, 각 단자의 위치가 설정된다.

또한, 본 발명은, 상기 기재의 이중액정수차보정소자의 제조 방법에 있어서, 모재로 되는 기판에 대하여, 다수개의 액정수차보정소자에 대응하는 단자 및 주입구를 마련하는 공정, 세그먼트 전극을 형성하는 공정, 상기의 단자, 주입구 및 세그먼트 전극을 형성한 기판에 대해, 대향하는 위치에 단자를 마련함과 동시에 공통전극을 형성한 별개의 기판을 조합시키는 공정, 조합시킨 후에 주입구로부터 액정을 주입하는 공정과, 상기 각 공정을 경과해서 제조되는 다수개의 액정수차보정소자가 배열된 조에 대해 같은 각 공정을 경과해서 얻을 수 있는 별개의 조를 뒤집고 90°회전시킨 뒤에 적층되는 공정과, 개개의 이중액정수차보정소자로 나누는 공정을 가지고 있는 이중액정수차보정소자의 제조 방법이다.

또한, 본 발명은, 상기 기재의 이중액정수차보정소자의 제조 방법에 있어서, 모재로 되는 기판에 대해 다수개의 액정수차보정소자에 대응하는 단자를 마련하는 공정, 세그먼트 전극을 형성하는 공정과, 상기의 단자 및 세그먼트 전극을 형성한 기판에 대하여, 대향하는 위치에 단자와 또한 주입구를 마련함 동시에 공통 전극을 형성한 별개의 기판을 조합시키는 공정과, 조합시킨 후에 주입구로부터 액정을 주입하는 공정과, 상기 각 공정을 경과해서 제조되는 다수개의 액정수차보정소자가 배열한 조에 대하여 동일한 각 공정을 경과해서 얻을 수 있는 별도의 조를 뒤집고 90°회전시킨 뒤에 적층시키는 공정과, 개개의 이중액정수차보정소자로 나누는 공정을 가지게 되는 이중액정수차보정소자의 제조 방법이다.

상기 수단에 의하면, 이중액정수차보정소자의 제조가 최종공정까지 모재로 되는 기판의 상태 그대로 진행된다. 그리고, 액정의 배향방향이 직교하고 있는 왕로· 귀로의 2개의 액정수차보정소자가, 동일한 공정에 의해 제조된다.

또한, 본 발명은, 상기 기재의 제조 방법에 있어서, 기판의 표면에는, 각각의 단자에 공통되어 접속되는 검사용의 배선을 형성하고, 다수개의 액정수차보정소자가 배열한 조에 대하여 별도의 조를 적층시키는 공정 전, 혹은 개개의 이중액정수차보정소자로 나누는 공정 전의 어느 한 쪽 또는 양쪽의 시점에서 상기 배선을 이용하여 검사를 행하는 것을 특징으로 한다.

상기 수단에 의하면, 개개의 소자로 나누기 전의 모재의 상태에서, 소자의 동작확인이 한 번에 행하여진다.

또한, 본 발명은, 상기의 어느 하나에 기재된 제조 방법에 있어서, 다수개의 액정수차보정소자가 배열된 조에 대하여 별개의 조를 적층시킬 때에, 진공중에서, 광속이 통과하는 원형영역을 둘러싸도록 닫힌 상태로 마련된 밀봉재를 통해 적층시키는 것을 특징으로 한다.

상기 수단에 의하면, 2개의 액정수차보정소자의 사이가 진공상태로 되고, 접착제가 존재하지 않기 때문에 높은 광투과율이 유지된다.

또한, 본 발명은, 상기의 어느 하나에 기재된 제조 방법에 있어서, 다수개의 액정수차보정소자가 배열한 조에 대하여 별도의 조를 적층시킬 때에, 대기중에서, 광속이 통과하는 원형영역을 둘러싸도록 일부를 개방한 상태로 마련되어지는 밀봉재와 상기 밀봉재의 내측에 마련되어지는 접착제를 통해 적층시키는 것을 특징으로 한다.

상기 수단에 의하면, 2개의 액정수차보정소자를 적층시키는 공정이, 대기중에서 효율적으로 행해진다. 이 경우, 접착제는, 굴절률이 기판과 가까운 것을 선택하는 것이 바람직하다.

본 발명의 이중액정수차보정소자는, 기판의 표면에 구멍을 뚫고, 그 구멍의 부분을 단자로 하기 때문에 단자를 옆쪽에 마련한 종래의 소자에 비교해 기판에 무리인 힘이 가해지지 않는다. 따라서, 보다 얇은 기판을 채용할 수 있고, 결과적으로 소자의 경량화를 달성할 수 있다.

또한, 기판의 표면에 단자를 배치한 것에 의해, 그 만큼 소자의 소형화를 꾀할 수 있다.

또한, 세그먼트 전극에 복수의 비전극부위를 형성했을 경우에는, 그 비전극부위의 위치에 형성되는 불균일한 전계분포에 따라 액정분자를 배향시키는 것으로 렌즈 효과를 생기게 한다. 이에 따라 광디스크의 두께 차이 등에 의해 발생하는 수차를 선형으로 보정할 수 있다.

또한, 사각형상의 기판의 중앙부에 액정을 원형으로 끼우고, 그 기판의 코너부에 단자 등을 마련했기 때문에, 소자의 중량 밸런스가 뛰어나, 온도변화에 의해 액정이 확장, 수축했을 경우라도 불균일한 변형이 일어나지 않고, 소자의 성능을 유지할 수 있다.

또한, 본 발명의 이중액정수차보정소자의 제조 방법에 의하면, 단자를 형성하는 공정이나, 액정을 주입하는 공정 등이, 모두 개개의 소자로 절분하기 전의 모재의 상태에서 행해지기 때문에, 생산 효율이 향상하고, 가격을 대폭 저감할 수 있다.

또한, 각 소자를 검사할 때에도, 모재의 상태로 행할 수 있기 때문에, 높은 효율을 달성할 수 있다.

또한, 적층시키는 2개의 액정수차보정소자를, 모두 동일한 공정으로 제조할 수 있고, 일방을 뒤집어서 90°회전시키는 것만으로, 액정의 배향방향이 직교한 이중의 소자를 용이하게 제작할 수 있다. 따라서, 생산성은 매우 높고, 안정한 품질을 얻을 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 이중액정수차보정소자의 일실시예를 나타내는 평면도이다.

도 2는 도 1의 A-A단면도이다.

도 3은 도 1의 B-B단면도이다.

도 4는 도 1의 S부분의 확대도이다.

도 5는 전압을 인가했을 때의 액정의 배향상태를 설명하는 도면이다.

도 6은 이중액정수차보정소자의 제조 공정을 보여주는 흐름도이다.

도 7은 2중액정수차보정소자의 제조 공정을 보여주는 흐름도이다.

도 8은 P방향에 있어서의 S103의 상태를 도시한 도면이다.

도 9는 S103의 상태를 나타내는 단자부분의 단면도이다.

도 10은 P방향에 있어서의 S106의 상태를 도시한 도면이다.

도 11은 P방향에 있어서의 S108의 상태를 도시한 도면이다.

도 12는 Q방향에 있어서의 S205의 상태를 도시한 도면이다.

도 13은 R방향에 있어서의 S104의 상태를 도시한 도면이다.

도 14는 S501의 상태를 도시한 도면이다.

도 15는 S305의 상태를 도시한 도면이다.

도 16은 S504의 상태를 도시한 도면이다.

도 17은 S305의 상태의 다른 실시예를 도시한 도면이다.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

1 : 이중액정수차보정소자 1A, 1B : 액정수차보정소자

10, 11 : 기판 101 : 코너부

20 : 공통 전극 21 : 세그먼트 전극

211 : 비전극부위 30A ∼30F : 구멍

31A ∼31F : 단자 40 : 액정

50, 51, 51A : 밀봉재 52 : 접착제

60 : 주입구 61 : 밀봉재

70 : 도통재 80 : 마스크

90 : 배선 100, 110 : 모재가 되는 기판

이하, 본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태에 대해서 상세하게 설명한다.

도 1은, 본 발명에 따른 이중액정수차보정소자의 1실시예에 있어서의 평면도이다. 또한, 도 2는 도 1의 A-A단면도이며, 도 3은 도 1의 B-B단면도를 나타내고 있다. 도 1∼도 3에 나타나 있는 바와 같이, 이중액정수차보정소자(1)는, 동일한 구성으로 되는 2개의 액정수차보정소자(1A, 1B)를, 도통재(70) 및 밀봉재(51)를 거쳐서 두께 방향으로 적층시킴으로써 구성되어 있다. 그리고, 액정수차보정소자(1A)(1B도 같음)는 공통전극(20)이 형성된 기판(10)과, 세그먼트 전극(21)이 형성된 기판(11)으로 액정(40)을 끼우는 것에 의해 개략적으로 구성되어 있다. 또한, 공통전극(20)과 액정(40) 및 세그먼트 전극(21)과 액정(40)과의 사이에 일반적으로 마련되어지는 액정배향막, 투명절연층, 기판(10, 11) 위에 마련되어지는 반사방지막 등은 도면에 나타내는 것을 생략하고 있다. 또한, 액정(40)은 밀봉재(50)에 의해 안쪽에 봉입되어 있다.

이 이중액정수차보정소자(1)는, 액정(40)이 마련되어진 영역 내에 광속을 통과시켜, 이 때에 공통전극(20)과 세그먼트전극(21) 간에 전압을 인가하는 것에 의해 영역내의 위치에 의해 다른 액정(40)의 배향상태, 즉, 위상차를 주고, 이것에 의해 광의 수차를 보정하는 것이다. 이 때, 액정수차보정소자(1A, 1B)는, 전압의 비인가시에 있어서의 액정(40)의 배향방향을 직교시키고 있으므로, 왕로·귀로에서의 수차를 양호하게 보정할 수 있다.

여기에서 세그먼트 전극(21)의 구성에 대해서 상세하게 설명한다.

이 실시예에서는, 도 1의 S부분 확대도인 도 4에 나타나 있는 바와 같이, 세그먼트 전극(21)에, 전극재가 존재하지 않는 복수의 비전극부위(211)가 구멍모양으로 형성되어 있다. 그리고, 복수의 비전극부위(211)는, 세그먼트 전극(21) 상의 위치에 의해 크기 및 배치간격을 연속적으로 변화시키고 있다. 또한, 비전극부위(211)의 수는, 도 4에서는 편의상 적게 도시하고 있지만, 실제로는 다수의 비전 극부위(211)가 보다 미세하게 형성되어 있다. 그리고, 이 실시예에서는, 세그먼트 전극(21)의 반경방향에 따라, 비전극부위(211)의 크기 d1이 큰 지름으로부터 일단 작은 지름이 되고 다시 큰 지름이 되도록, 또한, 배치간격 d2가 넓은 간격으로부터 일단 좁은 간격이 되고 다시 넓은 간격이 되도록 연속적인 패턴을 형성하고 있다.

공통전극(20)과 세그먼트 전극(21)과의 사이에 전압을 인가했을 경우, 비전극부위(211)의 근방에서의 전계E의 상태는 도 5에 나타나게 된다. 즉, 공통전극(20)과 세그먼트 전극(21)이 대향하고 있는 부분 a에서는, 전극에 수직한 방향에 강한 전계가 형성되고, 비전극부위(211)의 중심부인 부분 b에서는, 역시 전극에 수직한 방향으로 약한 전계가 형성된다. 그리고, 비전극부위(211)와 세그먼트 전극(21)의 경계에 가까운 부분 c에서는, 세그먼트 전극(21)에 향해서 전계가 기운 상태로 된다.

그러면, 액정(40)의 유전 이방성이 양일 경우에는, 액정분자가 전계 E에 따라 배향되기 때문에 부분 a에서는 액정분자가 전극에 대하여 수직으로 늘어서고, 부분 b에서는 전계가 약하기 때문에 전극에 평행한 상태 그대로가 되고, 부분 c에서는 비스듬히 배향 하는 것으로 된다. 즉, 비전극부위(211)의 안쪽에 있어서 액정(40)이 불균일한 배향상태로 된다. 이 때, 소자를 통과하는 광(이상광)에 대한 굴절률은, 비전극부위(211)의 중심으로부터 주변으로 향해 연속적으로 작아지는 분포를 형성하기 때문에, 비전극부위(211)의 부분에 있어서는 볼록 렌즈의 효과를 나타내게 된다. 이에 따라 통과하는 광에 위상차를 줄 수 있다.

따라서, 비전극부위(211)의 크기 및 배치 간격을 세그먼트 전극(21) 상의 위 치에 따라 연속적으로 변화시켰을 경우, 각각의 위치에서 얻을 수 있는 위상차는 다르기 때문에 발생하는 수차에 따라 비전극부위(211)의 배치 패턴을 적당하게 설계하는 것으로, 소자전체로서 수차를 선형으로 보정할 수 있다.

또한, 인가하는 전압을 변화시켰을 경우, 그것에 따라 액정분자의 배향상태가 변화한다. 예를 들면, 전압을 크게 했을 경우에는, 비전극부위(211)의 중심에서도 액정분자가 수직으로 배향되기 때문에 역으로 비전극부위(211)의 중심에서 주변에 걸쳐서 굴절률이 크게 되는 오목렌즈효과를 보여주게 된다. 즉, 인가하는 전압에 의해, 소자전체에서 얻을 수 있는 위상차 곡선을 변화시킬 수 있기 때문에, 예를 들면, 재생(RF)파형에 기초하여 보정량을 계산하고, 그 결과에 따라 전압을 제어하는 것으로 발생하는 수차를 실시간으로 보정하는 것도 가능하다.

또한, 도 4의 예에서는, 비전극부위(211)의 크기 및 배치 간격을 반경방향 r에 따라 변화시키고 있다. 이렇게 하면, 비전극부위(211)의 배치패턴에 대응하여 동심원 모양으로 변화되는 위상차 곡선을 얻을 수 있기 때문에, 디스크의 두께 차이에 의해 발생하는 구면수차를 양호하게 보정할 수 있다. 게다가, 비전극부위(211)의 크기 및 배치 간격은 연속적으로 변화시키고 있기 때문에, 세그먼트 전극을 동심원 모양으로 분할한 종래의 수차보정소자와 같이 계단모양의 불연속인 보정이 아니고, 보다 선형인 보정이 가능하게 된다.

게다가, 비전극부위(211)의 배치 간격은, 세그먼트 전극(21) 상을 동심원 모양으로 나눌 때의 각 영역내(예를 들면, 영역M, 영역N)에서 불규칙(랜덤배치)으로 하는 것이 바람직하다. 즉, 도 4에 나타나 있는 바와 같이, 배치 간격 hl과 h2가 약간 다르도록 한다. 이와 같이 하면, 인접하는 비전극부위를 각각 통과하는 빛이 서로 간섭해 합하여 파면이 흐트러지는 것 같은 사태를 방지할 수 있다.

또한, 빛의 파장과 배치 간격과의 관계에서 간섭 효과가 거의 없다고 볼 경우에는 hl과 h2를 동일하게 해서 규칙적으로 배치해도 상관없다.

또한, 비전극부위(211)를 형성하는 방법으로는, 우선 기판(11)상의 전면에 전극재를 형성한 후에, 포토 프로세스에 의해 복수의 비전극부위(211)를 소망의 배치패턴으로 형성하는 방법이 적절히 이용된다. 이와 같이 하면, 연속적으로 변화하는 미세한 배치패턴을 용이하게 만들어 낼 수 있다. 또는, 기판(11)에 세그먼트 전극(21)을 증착, 도금 등을 할 때에 마스크를 통해 행하는 방법을 사용해도 된다.

다음에 기판(10, 11)으로서는 유리기판 등의 투명기판이 이용될 수 있다. 또한, 공통전극(20) 및 세그먼트 전극(21)으로서는 인듐-주석 산화막을 형성한 ITO 등의 투명전극이 적당하게 채용된다.

그리고, 이 실시예에서는 기판(11)의 두께 방향에 구멍(30A, 30B, 30C)과 동일하게 기판(10)에도 구멍(30D, 30E, 30F)이 뚫어져 있다. 각각의 구멍에는 공통전극(20) 및 세그먼트 전극(21)에게 접속하기 위한 단자(31A, 31B, 31C, 31D, 31E, 31F)가 각각 마련되어져 있다. 즉, 단자(31A, 31D)가 액정수차보정소자(1A)의 세그먼트 전극(21)에, 단자(31B, 31E)가 공통전극(20)에, 단자(31C, 31F)가 액정수차보정소자(1B)의 세그먼트 전극(21)에 각각 접속되어 있다. 대향하는 단자간(예를 들면, 단자(31B)와 단자(31E))은, 도통재(70)를 개재시켜서 접속하고 있다. 또한, 각 단자는 구멍의 내주면에 따라 Ni-Au등의 금속을 도금 등을 하여 형성된다.

상기한 바와 같이 각 단자를 기판(10, 11)의 면상에 배치하는 것에 의해, 기판의 측방으로 단자를 집약 배치하고 있었던 종래의 소자에 비해, 소자에 치우친 힘이 더해지지 않고, 갈라지거나 깨지는 등의 불량이 생기기 어려워진다. 따라서, 기판(10, 11)을 보다 얇게 (예를 들어, 0.2㎜)하는 것이 가능해 지고, 소자를 경량화할 수 있다. 구체적으로는, 종래에 비해 40％이상(종래의 단자로부터 면상 배치의 단자로 변경한 효과가 약10％、기판의 두께를 0.3mm에서 0.2mm로 변경한 효과가 약 33％)의 경량화가 된다.

또한, 이 실시예에서는 기판(10, 11)사이에 액정(40)을 주입하기 위한 주입구(60)가 기판(11)의 면상에 형성되어 있다. 주입구(60)의 형상은 원형, 타원형 등이고, 액정(40)을 주입한 후에 밀봉재(61)에 의해 적당히 봉지된다.

특히, 도 1의 예에서는, 단자(31A∼31F) 및 액정의 주입구(60)의 모두가 기판(10, 11)의 면상에 배치되어, 대향하는 단자끼리가 두께 방향으로 서로 접속되어, 상측의 액정수차보정소자(1A)에 마련되어진 구동용의 각 단자에 집약되어 있기 때문에 후술하는 바와 같이 소자의 생산 효율을 향상시킬 수 있다.

또한, 도 1의 예에서는, 구멍(30A∼30F) 및 액정의 주입구(60)를 광속이 통과하는 원형영역(세그먼트전극(21) 및 공통전극(20)이 형성된 영역) 이외의, 사각형상으로 형성된 기판(11)(10) 상의 코너부(101) 부근에 형성되어 있다. 또한, 밀봉재(50)를 대략 원형으로 마련하고, 광속이 통과하는 원형영역 내에 액정(40)을 밀봉하도록 하고 있다. 이렇게 하면, 광속이 통과하지 않는 기판(11)상의 잉여부분을, 단자 등의 위치로 하여 유효하게 이용할 수 있기 때문에, 소자를 보다 소형화 할 수 있다. 또한, 단자 등을 코너부(101)에 배치 하는 것에 의해, 소자의 중량 밸런스를 최적화할 수 있다. 그 결과, 고정밀도인 구동이 가능해 지고, 또한, 온도변화에 의해 액정이 팽창·수축했을 경우에, 기판(11)에 대하여 균등하게 압력이 가해지기 때문에 불균일한 변형이 일어나지 않고, 소자의 성능을 유지할 수 있다.

또한, 종래의 일반적인 액정을 이용하는 소자(액정표시소자 등)에 있어서는, 표시영역의 확대에 따라 액자부분(기판의 잉여부분)을 가능한 한 좁게 하는 것이 요구될 수 있다. 또한, 고분할 구동방식 등에 대응해서 단자수도 증대하는 경향이 있기 때문에, 기판의 코너 부분을 유효히 이용한다고 하는 발상은 없고, 본 발명에 독자적인 것이다.

또한, 복수의 비전극부위(211)의 배치패턴은, 상기 실시예에 한정되지 않는다. 즉, 발생하는 수차 등에 따라, 비전극부위(211)의 크기, 배치간격 또는 그 양쪽을 세그먼트 전극(21)상의 위치에 의해 적당하게 설정할 수 있다. 구체적으로는, 예를 들면, 도 4와는 반대로 비전극부위의 크기를 세그먼트 전극(21) 중심으로부터 주변을 향해서 작은 지름으로부터 큰 지름, 또한 작은 지름으로 연속적으로 변화시키는 들 수 있다. 또한, 크기 및 배치간격을 세그먼트 전극(21)위에서 동심원 모양으로 변화시키는 경우에 한하지 않고, 예를 들면, 세그먼트 전극(21)을 좌우의 영역으로 나누었을 때에, 각각의 영역에서 다른 배치 패턴이 되도록 형성해도 좋다. 이 경우에는, 디스크를 뒤집는 등에 의해 생기는 코마수차를 유효하게 보정 할 수 있다.

또한, 상기 실시예에서는, 복수의 비전극부위(211)의 형상이 원형인 경우에 대해 설명했지만, 이것에 한정되지 않고, 예를 들면, 발생하는 수차의 종류나, 러빙방향 등을 고려하고, 별도의 형상으로 할 수 있다. 구체적으로는, 타원형상, 반원형상 등을 들 수 있다.

또한, 도 1의 예에서는, 세그먼트 전극(21)의 패턴을, 단자(31A)에 직접 접속하도록 형성되어 있지만, 이 외에도, 예를 들면, 닫힌 원형영역으로 이루어지는 각 전극패턴을 형성한 후에, 각각의 전극과 각 단자를 리드선 등으로 접속해도 좋다.

또한, 기판(10, 11)위에 마련한 단자끼리를 두께 방향으로 서로 접속하고, 1번상의 기판상의 단자에 집약시킨 것에 대해서, 상기 실시예에서는 세그먼트전극(21)에 복수의 비전극부위(211)를 형성했을 경우를 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되지 않고, 예를 들면, 세그먼트전극을 동심원 모양으로 복수의 영역에 분할했을 경우에도 마찬가지로 적용 가능하다. 이 경우에도, 기판상에 단자를 배치하는 것에 의해 소자의 소형화, 경량화를 달성할 수 있다. 또는, 세그먼트 전극을 좌우로 분할해도 좋다. 이 경우는 광디스크의 휘어짐 등에 의해 발생하는 코마수차를 양호하게 보정할 수 있다.

이상과 같은 이중액정수차보정소자(1)는, 예를 들면, 레이저광원, 편광자, 1/2파장판, 1/4파장판, 대물렌즈, 수광소자 등과 함께 광픽업을 구성하고, 광디스크장치에 조립해 사용할 수 있다.

특히, 왕로·귀로에 있어서의 수차를 보정할 수 있기 때문에, 차세대BD(Blu-ray Disc)나, 다층 디스크 등의 고밀도 광디스크에도 적합하게 쓸 수 있다.

다음으로, 상기의 도 1의 예에 따른 이중액정수차보정소자(1)의 제조 방법을 도 6~도 17에 근거해 설명한다.

우선, 액정보정소자(1A)에 있어서의 기판(11)의 가공 공정에 대해서 순차적으로 설명한다. 도 8∼도 11은, 도 2의 P방향에서 본 상태를 보여주고 있다.

최초에, 도 6 및 도 8에 보여지는 바와 같이, 모재가 되는 기판(110)에, 다수개의 액정수차보정소자에 대응시킨 구멍(30A, 30B, 30C)과, 액정의 주입구(60)를 소정의 위치에 형성한다 (SlO1). 계속해서, 모재로 되는 기판(110)의 전면에 반사방지막(AR막)을 형성하고(SlO2) 이후, 각각의 구멍에 단자(31A, 31B, 31C)를 마련한다(SlO3). 또한, 후술하는 바와 같이, 단자(31A∼31C)는 기판(110)을 뒤집어 90°회전시킨 경우에 단자끼리가 겹칠 필요가 있기 때문에 모재가 되는 기판(110)은 바람직하게는 정방형이며, 또한 배열하는 다수개의 액정수차보정소자는 종횡에서 같은 수로 형성되어 있다. 또한, 각 단자(예를 들면, 단자(31A))를 마련할 때에는 도 9에 나타나 있는 바와 같이, 구멍(30A)이외의 부분에 마스크(80)를 형성한 이후, 단자(31A)로 되는 금속을 도금 등에 의해 형성한 후, 마스크(80)를 제거 하는 것에 의해 적절하게 실시된다.

계속해서, 도 2의 R방향에서 본 측에 대하여, 후술하는 것과 같은 검사에 이용되는 배선을 형성한 후(S104), 소정의 위치에 전극재를 증착 등에 의해 형성하고(S105), 에칭 등에 의해 패터닝을 행해 세그먼트 전극(21)을 제작한다(SlO6). 이 상태를 도 10에 나타낸다. 또한, 상기의 단자를 준비하는 공정과, 검사로 이용하는 배선을 형성하는 공정은 전후로 해도 좋다.

다음에 P방향의 측에 투명절연층을 필요에 따라 적층시켜, PVA 등의 액정배향막을 형성하고, 러빙을 행한다 (SlO7). 또한, 액정을 봉입하기 위한 밀봉재(50)를, 인쇄 등에 의해 세그먼트 전극(21)의 외측에 마련한다(SlO8). 이 상태를 도 11에 나타낸다.

한편, 대향되는 별도의 기판(기판10측)에 대해서는, 도 2의 Q방향에서 보아 도 12에 나타나 있는 바와 같이, 모재가 되는 기판(100)에 대하여 상기의 기판(110)과 같은 위치에 구멍(30D, 31E, 30F)을 형성해(S201), AR막을 형성하고(S202) 이후, 단자(31D, 31E, 31F)를 마련하고(S203), 전극재의 증착 등을 행해(S204), 패터닝을 행해 공통전극(20)을 형성한다(S205). 또한, 액정배향막을 형성해서 러빙을 행해(S206), 대향되는 기판(110)의 각 단자끼리와 접속하기 위한 도통재를 인쇄 등에 의해 마련한다(S207).

또한, 경우에 따라서는, 주입구(60)를 기판(10)측에 형성하거나, 혹은 밀봉재(50)를 기판(10)측에, 도통재를 기판(11)측에 인쇄하는 것도 가능하다.

그리고, 상기와 같은 단자 등을 형성한 기판(110)과 기판(100)을 대향되게 조합시킨다(S301). 이 공정은, 스페이서를 통해 접착제로 서로 붙이게 하는 등에 의해 행해진다.

계속해서, 주입구(60)로부터 밀봉재(50)의 안쪽에 액정을 주입하고(S302), 봉지재에 의해 봉지한다. 그리고, 모재가 되는 기판(110) 상에 배열한 각 단자를 사용하고, 소자의 동작검사를 행한다(S303). 이 때, 기판(110) 상에는, 도 13에 나타나 있는 바와 같이 미리 배선(90)을 형성하고 있기 때문에(SlO4), 그 배선(90)을 이용해서 전체검사가 한번에 행해진다. 검사의 결과불합격이었던 개소에 관해서는 NG마킹을 행한다(S304).

이상의 각 공정(SlOl∼S303)을 통해, 액정수차보정소자(1A)가 다수개 배열한 조를 얻을 수 있다. 그리고, 이 조에 대하여, 동일한 각 공정(SlOl∼S303)을 통해 제조된 별개의 조(액정수차보정소자(1B)가 배열하고 있다)를 적층시킨다(S501). 이 때, 도 14에 나타나 있는 바와 같이, 별개의 조를 Z방향으로 뒤집고, Ⅹ방향으로 90°회전시킨 상태로 해서, 액정수차보정소자(1A)가 배열하는 조의 기판(100)측과, 액정수차보정소자(1B)가 배열하는 조의 기판(100) 측을 적층시키는 것에 의해, 공통단자끼리 대응하는 세그먼트단자끼리가 조합되고, 또한, 액정의 배향방향이 직교한 상태가 얻어지게 된다.

또한, 조끼리를 적층시킬 때는, 조의 사이에 미리 밀봉재(51) 및 도통재(70)를 인쇄 등을 해 둔다(S305, S401). 이 밀봉재(51) 및 도통재(70)는, 각각 액정수차보정소자(1A) 측에 형성해도 되고, 반대의 액정수차보정소자(1B)측에 마련해도 좋다.

밀봉재(51)는, 도 15에 나타나 있는 바와 같이, 광속이 통과하는 원형영역을 둘러싸도록 닫힌 상태로 마련할 수 있다. 이 경우, 밀봉재(51)의 안쪽에 가두어 진 기체의 팽창에 의해 적층상태가 손상되지 않도록, 조끼리를 적층시키는 작업은 진공중에서 행할 필요가 있다. 밀봉재(51)가 닫힌 상태이고 안쪽이 진공이면, 먼지가 내부로 침입하지 않고, 광투과율을 높게 할 수 있기 때문에 바람직하다.

그리고, 조끼리를 적층시킨 후, 모재가 되는 기판(110) 상에 배열한 각 간자 를 사용하여, 이중액정수차보정소자의 동작 검사를 행한다(S502). 이 때도, 상술한 경우와 같이 기판(110) 상에 형성된 배선(90)을 이용해서 전수검사를 한 번에 행할 수 있다. 검사의 결과 불합격이었던 장소에 관해서는 NG마킹을 행한다(S503).

최후에, 도 16에 나타나 있는 바와 같이, 모재가 되는 기판을, 다이 등을 이용해 개개의 이중액정수차보정소자(1)로 나누고(S504), 단품의 검사공정(S505)을 경과한 후에 출하한다(S507). 또한, 단품의 검사에 있어서 불합격이 된 소자는, 폐기 또는 수리하던지 또는 재생 공정으로 옮겨진다(S506).

또한, 조끼리를 적층시킬 때, 도 15에서 제시한 밀봉재(51)를 대신해, 도 17에 나타난 바와 같이, 광속이 통과하는 원형영역을 둘러싸도록 일부는 열린상태로 마련되는 밀봉재(51A)를 개재시켜도 좋다. 이 경우에는, 밀봉재(51A)의 안쪽에 접착제(52)를 마련해 이 접착제(52)에 의해 조끼리를 접착시킨다. 도 17의 예에서는, 조끼리를 적층시키는 작업을 대기중에서 행할 수 있기 때문에, 생산 효율이 높다는 이점이 있다.

이상과 같은 제조방법에 의하면, 각 단자나 전극의 형성 및 액정의 주입공정 등이 개개의 소자로 절분하기 전의 모재의 상태에서 모두 이루어지기 때문에, 생산 효율이 매우 높고, 가격도 대폭 저감할 수 있다. 또한, 생산규모의 확대에도 용이하게 대응할 수 있다.

특히, 적층된 2개의 액정수차보정소자가, 각각 이루는 것이 아니라 동일한 공정으로 제조되어, 한 쪽을 뒤집어서 90°회전시키는 것만으로 좋기 때문에 전체 의 생산효율은 크게 향상한다.

또한, 액정을 주입·봉지한 후에 행하여지는 검사 공정도, 모재의 상태에서 한번에 행해지기 때문에 산업상 지극히 유용하다.

Claims

두께 방향으로 적층된 2개의 액정수차보정소자로 구성되고, 상기 각각의 액정수차보정소자는, 일방에 공통전극이 타방에 세그먼트 전극이 형성된 한 쌍의 기판과, 상기 한 쌍의 기판에 끼워져 있었던 액정을 구비하고, 상기 한 쌍의 기판의 각각에는 두께방향으로 복수의 구멍이 뚫어지는 동시에 상기 구멍에는 상기 공통전극 및 세그먼트 전극 중 어느 하나에 접속되는 단자가 마련되고, 상기 한 쌍의 기판의 일방에는 액정을 주입하기 위한 주입구가 형성되고, 전압의 비인가시에 있어서의 액정의 배향방향이 2개의 액정수차보정소자에서 직교해서 되는 이중액정수차보정소자.
두께 방향으로 적층한 2개의 액정수차보정소자로 구성되고, 상기 각각의 액정수차보정소자는, 일방에 공통전극이 타방에 세그먼트 전극이 형성된 한 쌍의 기판과, 상기 한 쌍의 기판에 끼워져 있었던 액정을 구비하고, 상기 세그먼트 전극에는, 전극재가 존재하지 않는 복수의 비전극부위가 상기 세그먼트 전극상의 위치에 의해 크기 또는 배치간격 또는 그 양쪽을 변화시켜서 형성되고, 상기 비전극부위의 안쪽에서는 전압인가시에 액정이 불균일하게 배향되도록 구성되고, 상기 한 쌍의 기판의 각각에는 두께방향으로 복수의 구멍이 뚫어지는 동시에 상기 구멍에는 상기 공통전극 및 세그먼트 전극 중 어느 하나에 접속되는 단자가 마련되고, 상기 한 쌍의 기판의 일방에는 액정을 주입하기 위한 주입구가 형성되고, 전압의 비인가시에 있어서의 액정의 배향방향이 2개의 액정수차보정소자에서 직교해서 되는 이중액정수차보정소자.
제2항에 있어서, 기판이 사각형 모양으로 형성되고, 상기 기판의 광속이 통과하는 원형영역에 따라 액정이 밀봉되어, 상기 원형영역 이외의 코너부 부근에, 액정의 주입구 및 단자가 마련되어지는 것을 특징으로 하는 이중액정수차보정소자.
제2항에 있어서, 적층된 각각의 액정수차보정소자의 공통전극에 접속되는 단자끼리, 일방의 액정수차보정소자의 세그먼트전극에 접속되는 단자끼리 및 다른 방면의 액정수차보정소자의 세그먼트 전극에 접속되는 단자끼리가 두께 방향으로 서로 접속되어, 이중액정수차보정소자의 외측에 위치하는 1개의 기판에 마련되어진 단자에 각각 집약되는 것을 특징으로 하는 이중액정수차보정소자.
제3항에 있어서, 적층한 각각의 액정수차보정소자의 공통전극에 접속되는 단자끼리, 일방의 액정수차보정소자의 세그먼트전극에 접속되는 단자끼리 및 타방의 액정수차보정소자의 세그먼트 전극에 접속되는 단자끼리가 두께 방향으로 서로 접속되어, 이중액정수차보정소자의 최외측에 있는 1개의 기판에 마련되어진 단자에 각각 집약되는 것을 특징으로 하는 이중액정수차보정소자.
제5항에 있어서, 일방의 액정수차보정소자의 세그멘트전극에 접속되는 단자 와 타방의 액정수차보정소자의 세그먼트 전극에 접속되는 단자가 사각형상의 기판의 대각에 위치하는 코너부 부근에 마련되고, 공통전극에 접속되는 단자와 액정의 주입구가 나머지의 코너부 부근에 마련되는 것을 특징으로 하는 이중액정수차보정소자.
제6항에 기재된 이중액정수차보정소자의 제조 방법으로서, 모재가 되는 기판에 대해 다수개의 액정수차보정소자에 대응하는 단자 및 주입구를 마련하는 공정, 세그멘트 전극을 형성하는 공정과, 상기의 단자, 주입구 및 세그먼트 전극을 형성한 기판에 대하여, 대향하는 위치에 단자를 마련함과 동시에 공통전극을 형성한 별개의 기판을 조합시키는 공정과, 조합시킨 후에 주입구로부터 액정을 주입하는 공정과, 상기 각 공정을 통해 제조되는 다수개의 액정수차보정소자가 배열한 조에 대하여, 동일한 각 공정을 통해 얻을 수 있는 별개의 조를 뒤집어 90°회전시킨 후에 적층시키는 공정과, 개개의 이중액정수차보정소자로 나누는 공정을 가지는 이중액정수차보정소자의 제조 방법.
제6항에 기재된 이중액정수차보정소자의 제조 방법으로서, 모재가 되는 기판에 대해 다수개의 액정수차보정소자에 대응하는 단자를 마련하는 공정과, 세그멘트 전극을 형성하는 공정과, 상기의 단자 및 세그먼트 전극을 형성한 기판에 대하여, 대향하는 위치에 단자와 주입구를 마련함과 동시에 공통전극을 형성한 별개의 기판을 조합시키는 공정과, 조합시킨 후에 주입구로부터 액정을 주입하는 공정과, 상기 각 공정을 통해 제조되는 다수개의 액정수차보정소자가 배열된 조에 대하여, 동일한 각 공정을 통해 얻을 수 있는 별개의 조를 뒤집어 90°회전시킨 후 적층시키는 공정과, 개개의 이중액정수차보정소자로 나누는 공정을 가지는 이중액정수차보정소자의 제조방법.
제7항 또는 제8항에 있어서, 기판의 표면에는, 각각의 단자에 공통해서 접속되는 검사용의 배선을 형성하고, 다수개의 액정수차보정소자가 배열한 조에 대하여 별도의 조를 적층시키는 공정의 전, 또는 개개의 이중액정수차보정소자로 나누는 공정 전의 어느 한쪽 또는 양쪽의 시점에서 상기 배선을 이용해 검사를 행하는 것을 특징으로 하는 이중액정수차보정소자의 제조 방법.
제7항 또는 제8항에 있어서, 다수개의 액정수차보정소자가 배열한 조에 대하여 별개의 조를 적층시킬 때에, 진공중에서, 광속이 통과하는 원형영역을 둘러싸도록 닫힌 상태로 마련되어지는 밀봉재를 통해 적층시키는 것을 특징으로 하는 이중액정수차보정소자의 제조 방법.
제9항에 있어서, 다수개의 액정수차보정소자가 배열한 조에 대하여 별도의 조를 적층시킬 때에, 진공중에서 광속이 통과하는 원형영역을 둘러싸도록 닫힌 상태로 마련되어지는 밀봉재를 통해 적층시키는 것을 특징으로 하는 이중보정소자의 제조 방법.
제7항 또는 제8항에 있어서, 다수개의 액정수차보정소자가 배열한 조에 대하여 별개의 조를 적층시킬 때에, 대기중에서, 광속이 통과하는 원형영역을 둘러싸도록 일부를 개방한 상태로 마련되어지는 밀봉재와 상기 밀봉재의 안쪽에 마련된 접착제를 통해 적층시키는 것을 특징으로 하는 이중액정수차보정소자의 제조방법.
제9항에 있어서, 다수개의 액정수차보정소자가 배열한 조에 대하여 별개의 조를 적층시킬 때에, 대기중에서, 광속이 통과하는 원형영역을 둘러싸도록 일부를 개방한 상태로 마련되어지는 밀봉재와 상기 밀봉재의 안쪽에 마련되어져 접착제를 통해 적층되는 것을 특징으로 하는 이중액정수차보정소자의 제조 방법.