KR20060050912A

KR20060050912A - 세정 장치

Info

Publication number: KR20060050912A
Application number: KR1020050081165A
Authority: KR
Inventors: 요시따까 기노무라; 데루오 히라오까; 고지로 오오까와
Original assignee: 산요덴키가부시키가이샤; 가부시끼가이샤 기가 테크; 오오까와 코포레이션 리미티드
Priority date: 2004-09-01
Filing date: 2005-09-01
Publication date: 2006-05-19
Also published as: KR100661408B1; TW200617196A; JP4644565B2; JP2006100264A; CN1746331A; CN100567553C; TWI298746B

Abstract

본 발명은, 금속 박막으로 이루어지는 마스크에 부착한 유기 EL용 유기 재료를 제거하는 것이 가능한 세정 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 이를 위해, 본 발명의 세정 장치는, 마스크(10)를 소정의 세정액에 의해 세정 처리하는 제1 및 제2 세정조(21, 22)와, 상기 세정조(21, 22)의 세정액을 진공 증류하는 진공 증류기(30)와, 진공 증류된 세정액을 실온으로 냉각하는 제1 냉각기(31)와, 제1 냉각기(31)에 의해 냉각된 세정액을 제2 세정조(22)로 환류시키는 제1 환류관(101)과, 마스크(10)를 소정의 린스액에 의해 린스 처리하는 제1 및 제2 린스조(51, 52)와, 상기 린스조(51, 52)의 린스액을 상압 하에서 증류하는 상압 증류기(60)와, 상압 증류된 린스액을 실온으로 냉각하는 제2 냉각기(61)와, 제2 냉각기(61)에 의해 냉각된 린스액을 제2 린스조(52)로 환류시키는 제2 환류관(102)을 구비한다.

유기 재료, 마스크, 금속 프레임, 걸림부, 교반기

Description

세정 장치{CLEANING APPARATUS}

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 세정 장치의 세정계를 설명하는 도면.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 세정 장치의 세정계를 설명하는 도면.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 세정 장치의 세정계를 설명하는 도면.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 세정 장치의 반송계를 설명하는 단면도.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 세정 장치의 반송계를 설명하는 단면도.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 세정 장치의 반송계를 설명하는 단면도.

도 7은 본 발명의 실시예에 따른 세정 장치의 반송계를 설명하는 단면도.

도 8은 본 발명의 실시예에 따른 세정 장치의 반송계를 설명하는 단면도.

도 9는 본 발명의 실시예에 따른 세정 장치의 반송계를 설명하는 사시도.

도 10은 본 발명의 실시예에 따른 세정 장치의 반송계를 설명하는 사시도.

도 11은 본 발명의 실시예에 따른 세정 장치의 반송계를 설명하는 단면도.

도 12는 본 발명의 실시예에 따른 세정 장치의 반송계를 설명하는 단면도.

도 13은 본 발명의 실시예에 따른 세정 장치의 반송계를 설명하는 단면도.

도 14는 본 발명의 실시예에 따른 세정 장치의 반송계를 설명하는 단면도.

도 15는 종래예에 따른 유기 EL용 마스크를 설명하는 상면도.

도 16은 도 15의 X-X선을 따른 단면도.

도 17은 도 15의 Y-Y선을 따른 단면도.

도 18은 유기 재료가 증착된 마스크의 단면도.

〈도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명〉

1 : 유기 재료

1a : 오버 행

10 : 마스크

11 : 구멍

12 : 금속 프레임

13 : 걸림부

21 : 제1 세정조

22 : 제2 세정조

21a, 22a : 제1 초음파 진동기

21b, 22b : 제1 교반기

21c, 22c : 제1 온도 센서

21d, 22d : 제1 액내 캐리어

30 : 진공 증류기

31 : 제1 냉각기

40 : 제1 온도 조정기

51 : 제1 린스조

52 : 제2 린스조

51a, 52a : 제2 초음파 진동기

51b, 52b : 제2 교반기

51c, 52c : 제2 온도 센서

51d, 52d : 제2 액내 캐리어

54 : 회수조

55 : 제3 냉각기

60 : 상압 증류기

61 : 제2 냉각기

70 : 제2 온도 조정기

80 : 물 분리조

90 : 분리기

91 : 풀조

91f : 상한 센서

91e : 하한 센서

101 : 제1 환류관

102 : 제2 환류관

200 : 스테이지

210 : 카세트

220 : 제1 이동 탑재 장치

230 : 제2 이동 탑재 장치

240 : 반송 장치

241 : 유지 지그

242 : 갈고리부

[특허 문헌 1] 일본 특개 제2004-103269호 공보

본 발명은, 세정 장치에 관한 것으로, 특히, 유기 EL용 유기 재료의 증착 공정에서, 금속 박막으로 이루어지는 마스크에 부착한 유기 재료를 제거하는 세정 장치에 관한 것이다.

최근, 유기 일렉트로루미네센스(Electro Luminescence : 이하, 「유기 EL」이라 함) 소자를 이용한 유기 EL 표시 장치가, CRT나 LCD에 대체되는 표시 장치로서 주목받고 있으며, 예를 들면, 그 유기 EL 소자를 구동시키는 구동용 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor : 이하 이하 「TFT」라 함)를 구비한 유기 EL 표시 장치의 연구 개발도 진행되고 있다.

유기 EL 소자는, 예를 들면, ITO로 이루어지는 양극, MTDATA(4, 4-bis(3-methylphenylphenylamino) biphenyl) 등의 제1 홀 수송층 및 TPD(4, 4, 4-tris(3-methylphenylphenylamino) triphenylanine) 등의 제2 홀 수송층으로 이루어지는 홀 수송층, 퀴나크리돈(Quinacridone) 유도체를 포함하는 Bebq₂(10-벤조〔h〕 퀴놀리놀 베릴륨착체)로 이루어지는 발광층, Bebq₂로 이루어지는 전자 수송층, 및 알루미늄 합금 등으로 이루어지는 음극이, 이 순서로 적층 형성된 구조를 갖는다.

이러한 유기 EL 소자는, 유기 EL 소자를 구동시키는 구동용 TFT를 통해 전류가 공급됨으로써 발광한다. 즉, 양극으로부터 주입된 홀과, 음극으로부터 주입된 전자가 발광층의 내부에서 재결합하고, 발광층을 형성하는 유기 분자를 여기하여 여기자가 발생한다. 이 여기자가 방사하여 비활성화되는 과정에서 발광층으로부터 광이 방사되고, 이 광이, 투명한 양극 및 글래스 기판 등의 절연성 기판을 통해 외부로 방출되어 발광한다.

전술한 유기 EL 소자의 각 층 중, 홀 수송층, 발광층, 전자 수송층의 형성에 이용되는 유기 재료는, 내용제성이 낮으며, 수분에도 약하다는 특성이 있다. 그 때문에, 반도체 프로세스에서의 포토리소그래피 기술을 이용할 수 없다. 따라서, 예를 들면 금속 박막으로 이루어지는 마스크(소위 샤도우 마스크)를 이용한 증착법에 의해, 상기 유기 재료를, 구동용 TFT를 구비한 절연성 기판 상에 선택적으로 증착하여, 유기 EL 소자의 홀 수송층, 발광층, 전자 수송층 및 음극의 패턴 형성을 행하고 있었다.

그와 같은 유기 재료의 증착 시에 이용하는 마스크의 일례를, 도 15 내지 도 17에 도시한다. 도 15는, 종래예에 따른 유기 EL용 마스크를 설명하는 상면도이다. 또한, 도 16은, 도 15의 X-X선을 따른 단면도이며, 도 17은, 도 15의 Y-Y선을 따른 단면도이다. 도 15 내지 도 17에 도시한 바와 같이, 마스크(10)는, 예를 들면 가로 세로 각각 수 ㎛ 정도의 복수의 미세한 구멍(11)을 갖는 예를 들면 니켈(Ni) 및 철(Fe) 등의 금속 박막으로 이루어진다. 이들 구멍(11)을 통해, 상기 유기 재료가 절연성 기판 상에 선택적으로 증착된다. 또한, 상기 금속 박막으로 이루어지는 마스크(10)는, 예를 들면 니켈(Ni) 및 철(Fe)로 이루어지는 금속 프레임(12)에 고정되어 있으며, 상기 마스크(10)의 모서리가, 상기 금속 프레임(12)에 의해 지지되어 있다. 또한, 금속 프레임(12)의 모서리에는, 상기 금속 프레임(12)을 유지하기 위한 복수의 걸림부(13)가 형성되어 있다. 이하, 금속 프레임(12)에 고정된 마스크(10)를, 「마스크(10)」로서 약칭한다.

또한, 관련되는 기술 문헌으로서는, 예를 들면 상기 특허 문헌 1을 들 수 있다.

유기 EL 소자가, 컬러 표시에 대응하여, 3원색의 적색, 녹색, 청색의 각 발광층을 갖는 경우, 유기 재료의 증착 공정은, 일반적으로, 각 색용의 마스크를 반복하여 이용하여 행해진다. 그 때문에, 반복되는 증착의 횟수가 많아짐에 따라, 마스크(10)의 표면에는 유기 재료가 몇개의 층으로도 적층하도록 하여 부착한다. 즉, 도 18에 도시한 유기 재료가 증착된 마스크의 단면도에 도시한 바와 같이 유기 재료(1)는, 마스크(10)의 표면 상뿐만 아니라, 본래이었다면 유기 재료(1)를 통과시킬 복수의 구멍(11)을 막도록 하여, 구멍(11)의 주연에 오버 행(1a)을 형성한다.

이와 같이, 마스크(10)의 구멍(11)이 유기 재료로 이루어지는 오버 행에 의 해 좁혀지기 때문에, 상기 유기 재료의 절연성 기판에의 증착에서의 정밀도가 저하된다는 문제가 발생하고 있었다.

전술한 문제에 대한 대처로서는, 동일한 마스크를 복수회 이용하지 않고, 소정의 증착 횟수마다 사용 종료된 마스크를 폐기하고, 미사용한 마스크로 변환하는 방법이 있다. 그러나, 이 방법을 이용한 경우, 상기 유기 EL용 유기 재료의 증착에 이용되는 미사용한 마스크는 비싸기 때문에, 코스트가 증대된다는 문제가 발생하고 있었다.

따라서, 본 발명은, 금속 박막으로 이루어지는 마스크에 부착한 유기 EL용 유기 재료를 제거하는 것이 가능한 세정 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 세정 장치는, 전술한 문제를 감안하여 이루어진 것으로, 금속 박막으로 이루어지는 마스크에 부착한 유기 EL용 유기 재료를 제거하는 세정 장치로서, 이하의 특징을 갖는 것이다.

즉, 본 발명의 세정 장치는, 마스크를 소정의 세정액에 의해 세정 처리하는 세정조와, 마스크를 소정의 린스액에 의해 린스 처리하는 린스조와, 중력을 기인으로 하는 응력에 의해 마스크의 금속 박막에 손상을 발생시키지 않도록, 수평 이외의 소정의 각도를 갖고 상기 마스크를 유지하고, 상기 소정의 각도를 갖고 유지된 상기 마스크를 세정조 및 린스조로 반송하는 반송 장치를 구비하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 세정 장치의 상기 반송 장치는, 처음에 수평의 상태로 마스 크를 유지한 후, 상기 마스크를 유지한 채로, 수직 방향으로 세우고, 상기 소정의 각도를 갖고 상기 마스크를 유지하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 세정 장치의 상기 반송 장치는, 상기 반송 장치에 재치된 마스크의 모서리의 일부를 압착하도록 슬라이드하는 유지 지그와, 유지 지그의 압착에 의한 마스크의 다른쪽 모서리의 어긋남을 억지하는 갈고리부를 구비하며, 마스크의 모서리를 유지 지그 및 갈고리부에 의해 끼움으로써, 상기 마스크를 유지하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 세정 장치의 상기 반송 장치는, 수직 방향으로부터 수평 방향으로의 이동 방향의 전환, 혹은 수평 방향으로부터 수직 방향으로의 이동 방향의 전환을, 원호형으로 근사한 곡선 형상의 소정의 궤적을 갖고 연속적으로 행하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 세정 장치의 상기 세정조 및 린스조는, 상기 각 조 내에 가동식의 액내 캐리어를 구비하며, 세정액 혹은 린스액의 액면보다도 상방으로 상승된 액내 캐리어에, 반송 장치에 의해 반송된 마스크가 대기 중에서 옮겨지며, 마스크가 재치된 액내 캐리어가, 상기 마스크와 같이 세정액 내 혹은 린스액 내에 침지되는 것을 특징으로 한다.

〈실시예〉

다음으로, 본 발명의 실시예에 따른 세정 장치에 대하여 설명한다. 또한, 피세정체인 마스크는, 도 15 내지 도 17에 도시한 종래의 증착 공정에서 이용되는 것과 마찬가지의 마스크(10)인 것으로 한다. 즉, 상기 마스크는, 유기 재료가 형 성되는 소정의 패턴을 따라, 가로 세로 각각 수 ㎛ 정도의 구멍(11)이 형성된 금속 박막으로 이루어진다. 금속 박막은, 예를 들면 니켈(Ni) 및 철(Fe) 등으로 이루어진다. 또한, 상기 마스크의 모서리에는, 예를 들면 니켈(Ni) 및 철(Fe)로 이루어지는 금속 프레임(12)이 고정되어 있다. 상기 금속 프레임(12)은, 걸림부(13)를 갖고 있다. 이하, 금속 프레임(12)에 고정된 마스크(10)를, 「마스크(10)」로 약칭한다.

본 실시예에 따른 세정 장치는, 유기 EL용 유기 재료를, 구동용 TFT가 형성된 절연성 기판에 증착하는 증착 공정에서, 증착에 이용되는 금속 박막으로 이루어지는 마스크(10)에 부착한 상기 유기 재료를 제거하는 것이다. 본 실시예에 따른 세정 장치의 전체의 구성은, 마스크(10)에 부착한 유기 EL용 유기 재료를 제거하기 위한 세정계와, 마스크(10)를 반송하기 위한 반송계로 대별된다.

먼저, 본 실시예에 따른 세정 장치의 세정계의 구성에 대하여, 도면을 참조하여 설명한다. 도 1은, 본 실시예에 따른 세정 장치의 세정계를 설명하는 도면이다. 또한, 도 1에서는, 반송계에 관한 구성 요소는 생략되어 있다.

도 1에 도시한 바와 같이 본 실시예에 따른 세정 장치의 세정계는, 마스크(10)를 소정의 세정액에 의해 세정 처리하는 제1 및 제2 세정조(21, 22)와, 제1 및 제2 세정조(21, 22)에 의해 세정 처리된 마스크(10)를 소정의 린스액에 의해 린스 처리하는 제1 및 제2 린스조(51, 52)를 구비하고 있다.

또한, 상기 소정의 세정액은, 예를 들면 탄화 수소(HC)계의 세정액인 것으로 한다. 또한, 상기 소정의 린스액은, 상기 세정액보다도 낮은 비점(沸點)을 갖는 불소(F)를 포함하는 용매이며, 예를 들면 하이드로플루오로에테르(HFE; Hydrofluoroether)인 것으로 한다. 상기 린스액의 비중은, 수분에 비해 큰 것이다. 또한, 표면 장력이 큰 상기 세정액을, 표면 장력이 작은 상기 린스액으로 린스함으로써, 보다 미세한 곳까지 린스가 들어가, 세정액을 확실하게 포착하는 효과가 있다.

다음으로, 본 실시예에 따른 세정 장치의 세정계 중 제1 및 제2 세정조(21, 22)에 따른 구성에 대하여 설명한다.

이 세정 장치는, 제1 세정조(21)에, 상기 제1 세정조(21)로부터 오버플로우된 세정액을 저장하는 오버플로우조(23)를 구비하고 있다. 또한, 이 세정 장치는, 세정 처리에 의해 마스크(10)로부터 제거된 유기 재료를 포함하는 세정액으로부터, 소위 진공 증류에 의해 세정액만을 추출하기 위한 진공 증류기(30)를 구비하고 있다. 유기 재료를 포함하는 세정액은, 제1 세정조(21)로부터 오버플로우조(23)로 오버플로우하고, 상기 오버플로우조(23)로부터 진공 증류기(30)에 유입된다. 진공 증류기(30)의 저부에 침전한 유기 재료는, 냉각 용기(30r)에 의해 냉각되어 외부로 배출된다.

전술한 세정액의 증류에서는, 상기 세정액을 진공 상태에서 가열하여 증류한다. 이에 따라, 상기 세정액의 155℃ 정도의 비점을 저하시켜서, 증류 시의 가열 온도를 극력 저하시킬 수 있다.

또한, 이 세정 장치는, 진공 증류기(30)에 의해 진공 증류된 세정액을 실온으로 냉각하는 제1 냉각기(31)를 구비하고 있다. 제1 냉각기(31)에 의해 실온으로 냉각된 세정액은, 제1 환류관(101)을 통해 제2 세정조(22)로 환류된다.

또한, 본원에서, 실온은, 「10℃∼40℃」, 바람직하게는 「20℃∼30℃」, 더욱 바람직하게는 약 25℃이다.

전술한 바와 같은 세정액의 진공 증류, 냉각, 및 환류에 의해, 마스크(10)의 세정 처리를, 실온에서 행하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 마스크(10)에, 열을 기인으로 한 응력에 의한 스트레스나 손상이 발생되는 것을 극력 억지하는 것이 가능하게 된다.

또한, 전술한 제1 및 제2 세정조(21, 22)는, 마스크(10)의 표면에 세정액이 확실하게 미치도록 상기 세정액을 진동시키기 위한 제1 초음파 진동기(도시 생략)를 구비하고 있다. 또한, 그 제1 초음파 진동기의 진동에 의한 세정액의 온도의 상승에 대처하기 위해, 제1 및 제2 세정조(21, 22)는, 세정액의 온도를 실온으로 미세 조정하기 위한 제1 온도 조정기(40)를 구비하고 있다.

여기서, 제1 온도 조정기(40)는, 제1 열교환기(40h) 및 펌프(42)를 구비하고 있으며, 상기 제1 열교환기(40h)에 의해 제1 및 제2 세정조(21, 22)의 세정액을 냉각한다. 그리고, 제1 온도 조정기(40)는, 상기 제1 열교환기(40h)에 의해 냉각된 세정액을, 펌프(42)를 통해 제1 및 제2 세정조(21, 22)에 유입시킬지의 여부에 따라, 상기 각 조의 세정액의 온도를 실온으로 미세 조정한다.

또한, 세정액은, 순환시켜 필터에 의해 여과하고 있다. 또한, 도 1에 도시한 바와 같이 그 순환의 경로, 즉 세정조(21), 제1 온도 조정기(40), 펌프(42), 세정조(21)의 경로에 필터를 설치하여도 되지만, 그 필터는, 그 경로와는 별도의 경 로로서, 그 경로에 병설한 경로, 즉, 세정조(21), 필터, 펌프(42), 세정조(21)의 경로를 설치하여도 된다.

전술한 바와 같이, 제1 온도 조정기(40)에 의해, 제1 및 제2 세정조(21, 22)의 세정액의 온도를 미세 조정하는 것이 가능하게 된다.

다음으로, 본 실시예에 따른 세정 장치의 세정계 중, 제1 및 제2 린스조(51, 52)에 따른 구성에 대하여 설명한다.

이 세정 장치는, 제1 린스조(51)에, 상기 제1 린스조(51)로부터 오버플로우된 린스액을 저장하는 오버플로우조(53)를 구비하고 있다.

또한, 이 세정 장치는 마스크(10)를 통해 제1 린스조(51)에 들어가는 제2 세정조(22)의 미량의 세정액이나 미량의 유기 재료 등의 불순물을 포함하는 린스액으로부터, 상압 하에서의 상압 증류에 의해 상기 불순물을 제거하기 위한 상압 증류기(60)를 구비하고 있다. 린스액은, 제1 린스조(51)로부터 오버플로우조(53)로 오버플로우되며, 상기 오버플로우조(53)로부터 상압 증류기(60)에 유입된다.

전술한 린스액의 비점은 예를 들면 60℃ 정도이면, 약 160℃ 정도의 비점을 갖는 세정액의 증류와 같이, 상기 비점을 내리기 위한 진공 증류를 행할 필요가 없다. 그 때문에, 상압 증류기(60)로 상압(대기압) 하에 의한 상압 증류가 행해진다. 증류 시에 증발된 린스액은, 이것을 액화시키는 온도의 트랩 코일(60t)에 의해 액화된다.

또한, 이 세정 장치는, 상압 증류기(60)에 의해 상압 증류된 린스액을 실온으로 냉각하는 제2 냉각기(61)를 구비하고 있다. 제2 냉각기(61)에 의해 실온으로 냉각된 린스액은, 제2 환류관(102)을 통해 제2 린스조(52)로 환류한다.

여기서, 제2 냉각기와 제2 환류관(102) 사이에는, 물 분리조(80)가 구비되어 있다. 이 물 분리조(80)는, 상압 증류를 거쳐 수분을 포함한 린스액을, 수분과 린스액으로 분리하는 것이다. 린스액은, 수분의 분리 후, 제2 환류관(102)을 통해 제2 린스조(52)로 환류한다.

또한, 이 세정 장치는, 제1 린스조(51) 혹은 제2 린스조(52)로부터 증발한 린스액을 회수하는 회수조(54)를 구비하고 있다. 예를 들면, 회수조(54) 내의 온도는, 제2 린스조(52)의 증기압과 회수조(54) 내의 증기압의 비가 150:1∼10:1로 되는 온도로 설정하면 된다. 회수조(54)는, 제3 냉각기(55)를 구비하고 있다. 이 제3 냉각기(55)가 회수조(54)를 예를 들면 영하 25℃ 정도까지 냉각함으로써, 회수조(54)의 증기압이 제1 린스조(51) 혹은 제2 린스조(52)의 증기압보다도 대략 100분의 1 정도로 낮아져서, 증발한 린스액이 회수조(54)에 유입된다. 회수조(54)에 유입된 린스액은 물 분리조(80)에 유입되며, 포함되어 있는 수분의 분리 후, 제2 환류관(102)을 통해 제2 린스조(52)로 환류된다.

전술한 바와 같은 린스액의 상압 증류, 냉각, 및 환류에 의해, 마스크(10)의 린스 처리를, 실온에서 행하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 마스크(10)에, 열을 기인으로 한 응력에 의한 스트레스나 손상이 발생되는 것을 극력 억지하는 것이 가능하게 된다.

또한, 전술한 세정 장치에서는, 세정액에 침지한 마스크(10)를 린스액에 침지하기 때문에, 미량의 세정액이 마스크(10)를 통해 제1 린스조(51)의 린스액으로 옮겨져서, 상기 린스액과 혼합된다. 따라서, 이 세정 장치는, 세정액을 함유하는 린스액을, 세정액과 린스액으로 분리하는 분리기(90)를 구비하고 있다. 이 분리기(90)는, 세정액을 함유하는 린스액을 증발시킨 후에, 상기 증발한 린스액만을 냉각기 등에 의해 냉각함으로써 액화하여 회수한다. 이와 같이 분리된 린스액은, 물 분리조(80)에 유입되며, 포함되어 있는 수분의 분리 후, 제2 환류관(102)을 통해 제2 린스조(52)로 환류한다.

또한, 이 세정 장치는, 분리기(90)에 의해 분리된 세정액, 및 상압 증류기(60)으로부터 유입하는 상압 증류되기 전의 린스액(세정액을 함유함)을 축적하여 다시 분리기(90)에 유입시키는 풀조(91)를 구비하고 있다.

여기서, 풀조(91)는, 유입하여 축적되는 세정액 및 린스액의 액면의 상한을 검출하는 상한 센서(91f)와, 상기 액면의 하한을 검출하는 하한 센서(91e)를 구비하고 있다. 그리고, 밸브(60b)의 개폐에 의해, 상압 증류기(60)로부터의 린스액을, 상한 센서(91f)가 액면을 검출할 때까지 풀조(91)에 유입시켜 상기 유입을 정지한 후, 그 세정액을 포함하는 린스액을 분리기(90)에 유입시켜서, 세정액과 린스액의 분리를 행한다.

상기 린스액의 분리기(90)에의 유입은, 풀조(91) 내의 린스액의 액면이 하한 센서(91e)에 의해 검출된 시점에서 정지되며, 재차, 상압 증류기(60)로부터의 린스액을, 상한 센서(91f)가 액면을 검출할 때까지 풀조(91)에 유입시키고 상기 유입을 정지한다. 그리고, 세정액을 포함하는 린스액을 분리기(90)에 유입시킨다. 이러한 세정액과 린스액의 분리를 반복하는 횟수가 증가함에 따라, 풀조(91) 내에 축적 되는 린스액은, 분리기(90)로부터 유입하여 풀조(91) 내에서 축적하는 세정액을 많이 포함하게 된다. 그 때문에, 상기 세정액을 함유하는 린스액이 분리기(90)에서 증발되어 분리되는 속도가 늦어진다.

따라서, 풀조(91) 내에서, 하한 센서(91e)의 검출 결과에 의해, 분리기(90)에 의한 분리 개시 시점으로부터 린스액의 액면이 하한에 도달하기까지의 시간이 계측되며, 상기 도달 시간이 소정의 시간보다도 길어진 경우, 상기 풀조 내의 린스액에 포함되는 세정액은 포화 상태라고 간주되고, 분리기(90)에 의한 분리가 종료된다. 분리기(90)에 의한 분리가 종료된 후, 풀조(91) 내의 분리된 세정액은, 진공 증류기(30)에 유입된다.

전술한 바와 같은 처리에 의해, 린스액에 포함되는 세정액을 분리하여, 린스액만을 재이용할 수 있다.

또한, 전술한 제1 및 제2 린스조(51, 52)는, 마스크(10)의 표면에 린스액이 확실하게 미치도록 상기 린스액을 진동시키기 위한 제2 초음파 진동기(도시 생략)를 구비하고 있다. 또한, 그 제2 초음파 진동기의 진동에 의한 린스액의 온도의 상승에 대처하기 위해, 제1 및 제2 린스조(51, 52)는, 린스액의 온도를 실온으로 미세 조정하기 위한 제2 온도 조정기(70)를 구비하고 있다.

여기서, 제2 온도 조정기(70)는, 제2 열교환기(70h) 및 펌프(72)를 구비하고 있으며, 상기 제2 열교환기(70h)에 의해 제1 및 제2 린스조(51, 52)의 린스액을 냉각한다. 그리고, 제2 온도 조정기(70)는, 상기 제2 열교환기(70h)에 의해 냉각된 린스 세정액을, 펌프(72)를 통해 제1 및 제2 린스조(51, 52)에 유입시킬지의 여부 에 따라, 상기 각 조의 린스액의 온도를 실온으로 미세 조정한다.

전술한 바와 같이, 제2 온도 조정기(70)에 의해, 제1 및 제2 린스조(51, 52)의 린스액의 온도를 미세 조정하는 것이 가능하게 된다.

다음으로, 제1 및 제2 세정조(21, 22), 및 제1 및 제2 린스조(51, 52)의 각 조 내의 상세한 구성에 대하여 설명한다. 도 2는, 제1 및 제2 세정조(21, 22)를 설명하는 단면도이다. 또한, 도 3은, 제1 및 제2 린스조(51, 52), 및 회수조(54)를 설명하는 단면도이다. 또한, 도 2 및 도 3에서는, 오버플로우조(23, 53)의 도시는 생략되어 있다.

도 2에 도시한 바와 같이, 제1 및 제2 세정조(21, 22)는, 각각, 제1 초음파 진동기(21a, 22a), 제1 교반기(21b, 22b), 제1 온도 센서(21c, 22c), 및 가동식의 제1 액내 캐리어(21d, 22d)를 구비하고 있다. 여기서, 제1 초음파 진동기(21a, 22a)는, 마스크(10)의 표면에 세정액이 확실하게 미치도록 마스크에 대하여 정면으로 대향하도록 상기 세정액에 진동을 부여하면 되는데, 마스크를 복수매씩 세정하는 소위 배치식의 경우보다도, 마스크를 1매씩 세정하는 소위 매엽식인 경우쪽이, 그 제1 초음파 진동기(21a, 22a)의 효과는 크다. 또한, 제1 교반기(21b, 22b)는, 제1 및 제2 세정조(21, 22) 내에서 세정액을 유동시키도록 상기 세정액을 교반하는 것이다.

또한, 제1 온도 센서(21c, 22c)는, 제1 온도 조정기(40)에 의한 제1 및 제2 세정조(21, 22) 내의 세정액의 온도 조정 시에, 참조 온도로서, 상기 세정액의 온도를 검출하는 것이다. 또한, 제1 액내 캐리어(21d, 22d)는, 마스크(10)를 세정 처리할 때에 상기 마스크(10)를 유지하여 세정액에 침지하는 기능을 갖는다. 또한, 이 제1 액내 캐리어(21d, 22d)는, 마스크(10)의 표면에 린스액이 확실하게 미치도록 마스크(10) 전체를 수직 방향으로 진동시키는 요동 기능을 갖고 있는 것이 바람직하다.

전술한 바와 같이, 제1 및 제2 세정조(21, 22)에서는, 제1 초음파 진동기(21a, 22a)에 의한 세정액의 진동, 제1 교반기(21b, 22b)에 의한 세정액의 교반, 및 제1 액내 캐리어(21d, 22d)에 의한 마스크(10)의 요동에 의해, 상기 세정액에 의한 마스크(10)의 세정 처리가 확실하게 행해지도록 된다.

마찬가지로, 도 3에 도시한 바와 같이 제1 및 제2 린스조(51, 52)는, 각각, 제2 초음파 진동기(51a, 52a), 제2 교반기(51b, 52b), 제2 온도 센서(51c, 52c), 및 가동식의 제2 액내 캐리어(51d, 52d)를 구비하고 있다. 여기서, 제2 초음파 진동기(51a, 52a)는, 마스크(10)의 표면에 린스액이 확실하게 미치도록 상기 린스액에 진동을 부여하는 진동기이다. 또한, 제2 교반기(51b, 52b)는, 제1 및 제2 린스조(51, 52) 내에서 린스액을 유동시키도록 상기 린스액을 교반하는 것이다.

또한, 제2 온도 센서(51c, 52c)는, 제2 온도 조정기(70)에 의한 제1 및 제2 린스조(51, 52) 내의 린스액의 온도 조정 시에, 참조 온도로서, 상기 린스액의 온도를 검출하는 것이다. 또한, 제2 액내 캐리어(51d, 52d)는, 마스크(10)를 린스 처리할 때에 상기 마스크(10)를 유지하여 린스액에 침지하는 기능을 갖는다. 또한, 이 제2 액내 캐리어(51d)는, 마스크(10)의 표면에 린스액이 확실하게 미치도록 마스크(10) 전체를 수직 방향으로 진동시키는 요동 기능을 갖고 있는 것이 바람직 하다.

또한, 제2 린스조(52)와 도통하는 회수조(54)는, 제3 냉각기(55) 및 제3 온도 센서(54c)를 구비하고 있다. 제3 냉각기(55)는, 제3 온도 센서(54c)의 검출 결과에 따라, 회수조(54)를, 제1 및 제2 린스조(51, 52)보다도 낮은 온도로 냉각한다. 상기 냉각 온도는, 상술한 바와 같이, 예를 들면 영하 25℃ 정도이다. 회수조(54)에 유도된 증발한 린스액은, 소위 트랩 코일(54t)에 의해 액화되어, 상기 회수조(54)에 회수된다.

또한, 제1 및 제2 린스조(51, 52)의 린스액의 액면보다 상방에는, 제3 및 제4 온도 조정기(57, 58), 및 2개의 제4 온도 센서(50c)가 구비되어 있다. 제3 온도 조정기(57)는, 제1 및 제2 린스조(51, 52)의 린스액의 액면의 상방의 온도를 예를 들면 영하 10℃ 정도로 냉각함으로써, 증발한 린스액이 제1 및 제2 린스조(51, 52)의 외부로 확산하는 것을 억지하는 제1 공기층(59a)을 형성한다. 또한, 제4 온도 조정기(58)는, 제1 공기층(59a)의 상방의 온도를, 실온보다 약간 높은 온도로 조정하여, 제1 및 제2 린스조(51, 52)의 외부의 대기가 상기 조 내에 유입하는 것을 억지하는 제2 공기층(59b)을 형성한다.

여기서, 제3 및 제4 온도 조정기(57, 58)에 의한 상기 온도의 조정은, 2개의 제4 온도 센서(50c)에 의한 온도의 검출 결과에 따라 행해지는 것이 바람직하다. 또한, 제3 및 제4 온도 조정기(57, 58)에 의한 상기 온도의 조정이, 사전에 설정한 소정의 온도로 조정되는 경우, 2개의 제4 온도 센서(50c) 중 어느 하나혹은 전체는, 생략되어도 된다.

전술한 바와 같이, 제1 및 제2 린스조(51, 52)에서는, 제2 초음파 진동기(51a, 52a)에 의한 린스액의 진동, 제2 교반기(51b, 52b)에 의한 린스액의 교반, 및 제2 액내 캐리어(51d, 52d)에 의한 마스크(10)의 요동에 의해, 상기 린스액에 의한 마스크(10)의 린스 처리가 확실하게 행해지게 된다.

또한, 제1 및 제2 린스조(51, 52)의 린스액의 액면보다, 상방에, 제3 및 제4 온도 조정기(57, 58)를 구비하고 있기 때문에, 제1 및 제2 린스조(51, 52)에서 증발된 린스액을 대기 중에 확산시키지 않고, 회수조(54)에 의해 회수할 수 있다.

다음으로, 본 실시예에 따른 세정 장치의 세정계에서의 세정액의 흐름에 대하여 설명한다. 제1 세정조(21), 계속해서 제2 세정조(22)에 마스크(10)가 침지되어 세정 처리가 행해지면, 마스크(10)로부터 제거된 유기 재료가 세정액에 섞인다. 그리고, 제1 환류관(101)을 통해 환류한 세정액이 제2 세정조(22)에 유입되면, 제1 및 제2 세정조(21, 22)의 세정액이 제1 오버플로우조(23)로 오버플로우된다. 오버플로우한 세정액은 진공 증류기(30)에 유입된다. 여기서, 진공 증류기(30) 내는 예를 들면 0.8 기압 정도로 감압되며, 예를 들면 120℃ 정도로 가열되어, 세정액의 진공 증류가 행해진다. 진공 증류기(30)의 저부에 침전된 유기 재료는, 냉각 용기(30r)에 의해 냉각되어 정기적으로 외부로 배출한다.

이 세정액의 비점은 예를 들면 160℃ 정도인데, 상기 세정액을 진공 상태에서 가열하여 증류함으로써, 상기 비점을 저하시켜서, 증류 시의 가열 온도를 예를 들면 120℃ 정도로 저하시킬 수 있다. 또한, 상기 증류는 진공 증류이기 때문에, 증류의 과정에서 세정액에 수분이 포함되지 않는다.

진공 증류되어 유기 재료가 제거된 세정액은, 제1 냉각기(31)에 의해 실온으로 냉각되어, 제1 환류관(101)을 통해 제2 세정조(22)로 환류된다.

또한, 제1 및 제2 세정조(21, 22)의 세정액의 일부는, 제1 온도 조정기(40)에 구비된 제1 열교환기(40h)에 의해 냉각되어, 상기 냉각된 세정액이, 펌프(42)를 통해 제2 세정조(22)에 적절하게 유입된다.

다음으로, 본 실시예에 따른 세정 장치의 세정계에서의 린스액의 흐름에 대하여 설명한다. 제1 린스조(51), 계속해서 제2 린스조(52)에 마스크(10)가 침지되어 린스 처리가 행해지면, 마스크(10)로부터 제거된 세정액이 린스액에 섞인다. 제2 환류관(102)을 통해 환류한 린스액이 제2 린스조(52)에 유입되면, 제1 및 제2 린스조(51, 52)의 린스액이 제2 오버플로우조(53)로 오버플로우된다.

이 오버플로우된 린스액은 상압 증류기(60)로 유입한다. 여기서, 린스액의 비점은 예를 들면 60℃이기 때문에, 예를 들면 160℃ 정도의 비점을 갖는 세정액의 증류와 같이, 상기 비점을 내리기 위한 진공 증류를 행할 필요가 없다. 따라서, 상압 증류기(60) 내는 예를 들면 상압(대기압) 하에서, 상기 비점을 초과하는 예를 들면 65℃ 정도로 가열되어, 린스액의 상압 증류가 행해진다.

이 상압 증류에 의해, 린스액에 포함되는 유기 재료(세정액이 부착된 마스크(10)를 통해 운반됨) 등의 불순물이 제거된다. 상압 증류된 린스액은, 상압 증류되는 과정에서 수분이 혼합되어 있는데, 그 수분보다도 큰 비중을 이용하여, 수분과 린스액으로 분리된다. 이 린스액은, 제2 냉각기(62)에 의해 실온으로 냉각되어, 물 분리조(80)에 유입된다.

물 분리조(80)에서 더욱 수분이 제거된 린스액은, 제2 환류관(102)을 통해 제2 린스조(52)로 환류된다.

또한, 상압 증류기(60)에 유입되었지만 상압 증류되어 있지 않은 린스액의 일부, 즉 미량의 세정액(마스크(10)를 통해 린스액에 섞임)을 포함하는 린스액은, 밸브(60b)의 개폐에 따라, 풀조(91)에 유입된다. 린스액이 풀조(91)에 유입하여 상기 풀조(91)의 상한을 채운 후, 밸브(60b)는 폐쇄되고, 린스액의 유입이 정지된다. 그리고, 풀조(91) 내의 린스액은, 분리기(90)에 유입되어, 린스액과 세정액의 분리가 개시된다.

풀조(91) 내의 린스액의 액면이 하한 센서(91e)에 의해 검출된 경우, 다시 밸브(60b)가 개방되어 상압 증류기(60)로부터 풀조(91)에 린스액이 유입된다.

분리기(90)에 의해 분리된 린스액은, 그 수분보다도 큰 비중을 이용하여, 물 분리조(80)에서 수분을 제거한 후, 제2 환류관(102)을 통해 제2 린스조(52)로 환류된다. 또한, 분리기(90)에 의해 분리된 세정액은, 풀조(91)에 유입된다.

이러한 세정액과 린스액의 분리를 반복하여 감에 따라, 풀조(91) 내에 축적되는 린스액은, 분리기(90)에 의해 유입되어 풀조(91) 내에서 축적하는 세정액을 많이 포함하도록 된다. 그 때문에, 상기 세정액을 함유하는 린스액이 분리기(90)로 증발하여 분리되는 속도가 늦어진다.

따라서, 풀조(91)의 린스액의 액면에 대한 하한 센서(91e)의 검출 결과에 따라, 분리기(90)에 의한 분리 개시 시점으로부터 린스액의 액면이 하한에 도달하기까지의 시간이 계측되며, 상기 도달 시간이 소정의 시간보다도 길어진 경우, 상기 풀조(91) 내의 린스액에 포함되는 세정액은 포화 상태라고 간주되고, 분리기(90)에 의한 분리가 종료된다. 그리고, 그때까지는 폐쇄하고 있었던 밸브(91b)가 개방되고, 풀조(91) 내의 분리된 세정액은, 진공 증류기(30)에 유입된다.

또한, 제1 및 제2 린스조(51, 52)로부터 증발한 린스액은, 제3 냉각기(55)에 의해, 제1 및 제2 린스조(51, 52)보다도 낮은 예를 들면 영하 25℃ 정도로 냉각된 회수조(54)에 유도되고, 회수된다. 회수조(54)에 회수된 린스액은, 물 분리조(80)에 유입하고, 그 1.5 정도의 비중을 이용하여 수분이 제거되고, 제2 환류관(102)을 통해 제2 린스조(52)로 환류된다.

다음으로, 본 실시예에 따른 세정 장치의 반송계에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 도 4 내지 도 8, 및 도 11 내지 도 14는, 본 실시예에 따른 세정 장치의 반송계를 설명하는 단면도이다. 또한, 도 9 및 도 10은, 본 실시예에 따른 세정 장치의 반송계를 설명하는 사시도이다. 또한, 도 4 내지 도 14에서는, 세정계에 관한 구성 요소에 대해서는, 반송계의 설명에 필요한 일부의 구성 요소만을 도시하고 있다.

도 4 내지 도 14에 도시한 바와 같이, 본 실시예에 따른 세정 장치의 반송계는, 스테이지(200) 상에 설치되며 복수의 마스크(10)를 수평 방향으로 저장한 카세트(210)와, 카세트(210)로부터 1개의 마스크(10)를 취출하는 제1 아암(221)을 갖는 제1 이동 탑재 장치(220)와, 마스크(10)를 잡는 제2 아암을 갖는 제2 이동 탑재 장치(230)와, 제1 및 제2 세정조(21, 22)나 제1 및 제2 린스조(51, 52)에 마스크(10)를 반송하는 반송 장치(240)를 구비하고 있다. 여기서, 반송 장치(240)는, 마스크 (10)를 반송할 때에, 마스크(10)의 한 변을 유지하기 위한 갈고리부(242)를 갖고 있다.

다음으로, 본 실시예에 따른 세정 장치의 반송계의 동작에 대하여 설명한다. 먼저, 도 4에 도시한 바와 같이, 제1 이동 탑재 장치(220)의 제1 아암(221)이 신축하여, 카세트(210)로부터 하나의 마스크(10)를 취출한다. 다음으로, 도 5에 도시한 바와 같이, 제1 이동 탑재 장치(220)는, 제1 아암(221)을 하강시켜 마스크(10)를 스테이지(200)의 소정의 위치에 재치한다. 다음으로, 도 6에 도시한 바와 같이, 제2 이동 탑재 장치(230)가, 제2 아암(231)에 의해 마스크(10)를 붙잡고, 또한 도 7에 도시한 바와 같이 마스크(10)를 반송 장치(240) 상에 재치한다.

그리고, 도 8에 도시한 바와 같이 마스크(10)가 재치된 반송 장치(240)는, 수직 방향으로 90° 정도 회전하여 수직인 상태에 이를 때까지 세워진다. 또한, 반송 장치(240) 상에 재치된 마스크(10)도 동시에, 수직 방향으로 90° 정도 회전하여 세워진다. 이 때의 반송 장치(240) 및 그것에 재치된 마스크(10)의 형태를 나타내면, 도 9의 사시도와 같이 된다.

이와 같이, 반송 장치(240) 및 마스크(10)가 수직인 상태로 되기 때문에, 마스크(10)를 구성하는 금속 박막에 응력(금속 박막에 대한 중력을 기인으로 하는 응력이나 액에 의한 요동을 기인으로 하는 응력)이 가해져서 금속 피로나 손상이 발생되는 것을 극력 회피하는 것이 가능하게 된다. 또한, 마스크(10)를 수직 방향으로 세움으로써, 액체 분리가 잘 된다는 효과도 있다.

또한, 상기 반송 장치(240)와 마스크(10)가 회전할 때의 각도는, 반드시 90 도 정도일 필요는 없다. 즉, 중력을 기인으로 하는 응력에 의해 마스크(10)를 구성하는 금속 박막에 금속 피로나 손상이 극력 발생하지 않는 각도이면, 반송 장치(240) 및 마스크(10)는, 수평 및 수직 이외의 각도에 이르도록 하여 회전하여도 된다.

또한, 도 10의 사시도에 도시한 바와 같이, 반송 장치(240)에 미리 구비되어 있는 유지 지그(241)가, 마스크(10)의 걸림부(13)와 감합되도록 하여 상기 마스크(10)의 걸림부(13)에 압착된다. 이에 따라, 마스크(10)는, 그 금속 박막의 표면에 손상을 주지 않고, 반송 장치(240)의 유지 지그(241)와 갈고리부(242)에 의해 끼워져서 유지된다.

이와 같이 하여 반송 장치(240) 상에 유지된 마스크(10)는, 반송 장치(240)와 함께, 세정 장치의 세정계, 즉, 제1 및 제2 세정조(21, 22)(및 제1 및 제2 린스조(51, 52))에 반송된다. 여기서, 상기 반송 시에는, 반송 장치(240)는, 도 11의 단면도에 도시한 바와 같이, 수직 방향 및 수평 방향의 이동을 연속적으로 행함으로써, 도 11의 궤적(1 및 8)과 같이, 원호형으로 근사된 곡선 형상의 소정의 궤적을 따라 이동한다. 또한, 도 11의 A, B, C는 세정액 혹은 린스액의 액면보다 상방에서의 수직 방향의 위치(높이)를 나타내고 있다.

그와 같은 소정의 궤적을 갖는 반송 장치(240)의 이동에 의해, 상기 이동이 수직 방향으로부터 수평 방향으로, 혹은 수평 방향으로부터 수직 방향으로 절환될 때의 충격에 의한 응력에 의해 금속 박막으로 이루어지는 마스크(10)에 금속 피로나 손상이 발생되는 것을 극력 회피할 수 있다.

또한, 반송 장치(240)는, 소정의 속도를 따라 이동한다. 이 소정의 속도는, 반송 장치(240)가 이동할 때의 풍압이나 충격에 의한 응력에 의해, 금속 박막으로 이루어지는 마스크(10)에 금속 피로나 손상이 발생되지 않을 정도의 속도인 것으로 한다. 혹은, 상기 소정의 속도는, 반송 장치(240)가 이동할 때에 발생하는 기류의 흐트러짐에 의해, 제1 및 제2 린스조(51, 52) 내의 린스액의 증발을 재촉하지 않는 것 같은 소정의 속도인 것으로 한다.

다음으로, 도 12에 도시한 바와 같이 마스크(10)를 재치한 반송 장치(240)가, 제1 세정조(21) 상에 반송된다. 그리고, 도 13에 도시한 바와 같이 제1 세정조(21) 내에 구비되어 있는 제1 액내 캐리어(21d)가 세정액의 액면보다 상방으로 상승한다. 그리고, 제1 액내 캐리어(21d)가 반송 장치(240)와 동일한 위치까지 상승한 후, 혹은 반송 장치(240)가 세정액의 액면의 상방으로 상승한 액내 캐리어(21d)와 동일한 위치까지 이동한 후, 반송 장치(240)의 유지 지그(241)의 압착이 해제되어, 마스크(10)가 액내 캐리어(21d)로 옮겨진다.

그 후, 도 14에 도시한 바와 같이, 마스크(10)가 재치된 제1 액내 캐리어(21d)가, 세정액 내로 하강하여, 마스크(10)가 세정액에 침지된다. 또한, 마스크(10)를 세정액 내에서 취출할 때는, 도 14, 도 13, 도 12에 나타낸 과정을, 이 순으로 거치는 것으로 한다. 그리고, 도 12 내지 도 14에 도시한 제1 세정조(21)일 때와 같이, 마스크(10)를 재치한 반송 장치(240)가, 제2 세정조(22) 상에 반송된다. 그리고, 마스크(10)가 제1 액내 캐리어(21d)를 통해 세정액 내에 침지된 후, 취출된다.

전술한 바와 같이, 제1 및 제2 세정조(21, 22)의 세정액에 마스크(10)를 침지할 때, 반송 장치(240)를 세정액에 침지하지 않고, 세정 처리를 행할 수 있다. 즉, 반송 장치(240)에 세정액이 부착하는 것을 극력 회피할 수 있다. 그 때문에, 제1 및 제2 세정조(21, 22)의 세정액이, 반송 장치(240)를 통해 제1 및 제2 린스조(51, 52)의 린스액으로 운반되는 것을 극력 회피할 수 있다.

다음으로, 도 12 내지 도 14에 도시한 제1 세정조(21)일 때와 같이, 마스크(10)를 재치한 반송 장치(240)가, 제1 린스조(51) 상에 반송된다. 그리고, 마스크(10)가 제2 액내 캐리어(51d)를 통해 린스액 내에 침지된 후, 취출된다. 또한, 마스크(10)를 재치한 반송 장치(240)가, 제2 린스조(52) 상에 반송된다. 그리고, 마스크(10)가 제2 액내 캐리어(52d)를 통해 린스액 내에 침지된 후, 취출된다.

전술한 바와 같이, 제1 및 제2 린스조(51, 52)의 린스액에 마스크(10)를 침지할 때, 반송 장치(240)를 린스액에 침지하지 않고, 린스 처리를 행할 수 있다. 즉, 반송 장치(240)에 린스액이 부착하는 것을 극력 회피할 수 있다. 그 때문에, 다시 세정 처리를 행할 때, 반송 장치(240)에 린스액이 부착하여, 상기 린스액이 제1 및 제2 세정조(21, 22)의 세정액에 운반되는 것을 극력 회피할 수 있다.

또한, 전술한 반송 장치(240)는, 마스크(10)를 세정액 혹은 린스액에 침지하는 경우, 도 11의 궤적 1 내지 궤적 4를 따라 이동하는 것이 바람직하다. 즉, 먼저, 반송 장치(240)는, 궤적 1을 따라 A로부터 B의 높이로 이동하여 일시 정지한다. 그 정지 시에는, 급격하게 정지하는 것은 아니며, 마스크에 전술한 응력이 걸리지 않도록 서서히 감속하면서 정지시키도록 한다. 그리고, 액내 캐리어(21d, 22d, 51d, 52d)(도시 생략)가 B의 높이로 상승한 후, 반송 장치(240)는, 액내 캐리어(21d 122d, 51d, 52d)에 마스크(10)를 교환하면서, B로부터 C의 높이로 이동한다. 그 후, 반송 장치(240)는, 액내 캐리어(21d, 22d, 51d, 52d)를 떨어지게 하여 궤적(3)에 따라 수평 방향으로 이동한다. 또한, 반송 장치(240)는, A의 높이로 되돌아가도록 하여, 궤적(4)에 따라, 수직 방향으로 이동한다.

또한, 전술한 반송 장치(240)는, 마스크(10)를 세정액 혹은 린스액의 액내로부터 취출하는 경우, 도 11의 궤적 5 내지 궤적 8을 따라 이동하는 것이 바람직하다. 즉, 먼저, 반송 장치(240)는, 궤적 5를 따라 A로부터 C의 높이로 이동한다. 다음으로, 액내 캐리어(21d, 22d, 51d, 52d)에 근접하도록 하여, 궤적(6)에 따라 수평 방향으로 이동한다. 그 후, 반송 장치(240)는, 궤적(7)에 따라, C로부터 B의 높이로 이동하여 일시 정지한다. 그 후, 반송 장치(240)는, B의 높이로 상승하고 있는 액내 캐리어(21d, 22d, 51d, 52d)로부터 마스크(10)를 들어올리도록 하여 옮기면서, 궤적(8)에 따라, B로부터 A의 높이로 이동한다. 이 때에도, 반송 장치(240)가 급격히 위 방향으로 이동하지 않도록, 서서히 이동 속도를 증가시키는 것이 바람직하다. 그와 같이 함으로써, 반송 장치(240)는, 마스크에 전술한 응력을 걸지 않고 이동할 수 있다.

여기서, 반송 장치(240)는 1개의 마스크(10)를, 제1 및 제2 세정조(21, 22) 혹은 제1 및 제2 린스조(51, 52) 중 어느 1개의 조에 반송한 후, 상기 반송이 완료된 마스크(10)와는 상이한 다른 마스크(10)를, 그 밖의 조에 반송하여도 된다.

마지막으로, 마스크(10)를 재치한 반송 장치(240)가, 도 1에 도시한 진공 건 조기(99)에 반송되어 건조된다.

전술한 바와 같이, 도 11에 도시하는 궤적(1 및 8)에서 원호를 이루도록 이동시키는 것, 또한, 궤적 1에서는, 이동 속도(아래 방향)를 서서히 감속하는 것, 또한 궤적(8)에서는, 이동 속도(위 방향)를 서서히 증가시키도록 함으로써, 마스크(10)에 걸리는 응력을 감소시킬 수 있다. 또한, 마스크(10)를 반송하지 않을 때의 반송 장치(240)의 움직임은, 액조의 측벽이나 액내 캐리어와 부딪치지 않도록 하면 되어, 원호형이어도 되며, 또한, 급격하게 이동하여도 된다.

또한, 전술한 실시예에서는, 세정액 및 린스액을, 탄화 수소계의 세정액 및 불소계의 린스액으로 하였으나, 본 발명은 이것에 한정되지는 않는다. 즉, 상기 세정액 및 린스액은, 마스크(10)에 대하여 세정 처리(유기 EL용 유기 재료의 제거) 및 린스 처리를 행하는 것이 가능하며, 탄화 수소계의 세정액 및 불소계의 린스액과 마찬가지의 비점, 및 수분에 대한 비중을 갖는 것이면, 상기 이외의 세정액 및 린스액이어도 된다.

본 발명의 세정 장치에 따르면, 유기 EL용 유기 재료의 증착 공정에서, 증착에 이용하는 마스크에 부착한 유기 재료를, 적절하게 제거할 수 있다.

따라서, 동일한 마스크를 반복하여 이용하여도, 마스크의 구멍의 주연에 상기 유기 재료로 이루어지는 오버 행이 형성되지 않게 되기 때문에, 구멍이 좁혀지지 않게 된다. 결과적으로, 유기 재료의 증착의 정밀도가 저하되는 것을 극력 억지할 수 있다.

또한, 유기 재료의 증착 공정에서, 동일한 마스크를 이용할 수 있기 때문에, 종래의 증착 공정에서 볼 수 있었던 바와 같은, 미사용한 마스크로의 교환에 의한 코스트의 증대를 극력 회피하는 것이 가능하게 된다. 또한, 사용 종료된 마스크의 폐기가 불필요해지기 때문에, 상기 폐기에 따른 환경 오염을 극력 억지하는 것이 가능하게 된다.

또한, 본 발명의 세정 장치에 따르면, 유기 재료의 제거에 따른 마스크의 반송 시, 반송 장치가, 수평 이외의 소정의 각도를 갖고 마스크를 유지하고, 상기 소정의 각도를 갖고 유지된 상기 마스크를 세정조 및 린스조로 반송한다. 그 때문에, 마스크의 금속 박막에 손상을 발생시키지 않고 상기 마스크에 부착된 유기 재료를 제거할 수 있다.

또한, 상기 반송 장치는, 마스크의 반송 시, 수직 방향 및 수평 방향의 이동을 연속적으로 행함으로써, 원호형으로 근사한 곡선 형상의 소정의 궤적을 갖고 이동한다. 그 때문에, 상기 이동이 수직 방향으로부터 수평 방향으로, 혹은 수평 방향으로부터 수직 방향으로 절환될 때의 충격에 의한 응력에 의해 금속 박막으로 이루어지는 마스크에 금속 피로나 손상이 발생되는 것을 극력 회피할 수 있다.

Claims

금속 박막으로 이루어지는 마스크에 부착한 유기 EL용 유기 재료를 제거하는 세정 장치로서,

상기 마스크를 소정의 세정액에 의해 세정 처리하는 세정조와,

상기 마스크를 소정의 린스액에 의해 린스 처리하는 린스조와,

중력을 기인으로 하는 응력에 의해 상기 마스크의 상기 금속 박막에 손상을 발생시키지 않도록, 수평 이외의 소정의 각도를 갖고 상기 마스크를 유지하고, 상기 소정의 각도를 갖고 유지된 상기 마스크를 상기 세정조 및 상기 린스조로 반송하는 반송 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 세정 장치.
제1항에 있어서,

상기 반송 장치는,

처음에 수평의 상태에서 상기 마스크를 유지한 후, 상기 마스크를 유지한 채로, 수직 방향으로 세우고, 상기 소정의 각도를 갖고 상기 마스크를 유지하는 것을 특징으로 하는 세정 장치.
제2항에 있어서,

상기 반송 장치는,

상기 반송 장치에 재치된 상기 마스크의 모서리의 일부를 압착하도록 슬라이 드하는 유지 지그와, 상기 유지 지그의 압착에 의한 상기 마스크의 다른쪽 모서리의 어긋남을 억지하는 갈고리부

를 구비하며,

상기 마스크의 모서리를 상기 유지 지그 및 상기 갈고리부에 의해 끼움으로써, 상기 마스크를 유지하는 것을 특징으로 하는 세정 장치.
제1항에 있어서,

상기 반송 장치는,

수직 방향으로부터 수평 방향으로의 이동 방향의 전환, 혹은 수평 방향으로부터 수직 방향으로의 이동 방향의 전환을, 원호형으로 근사한 곡선 형상의 소정의 궤적을 갖고 연속적으로 행하는 것을 특징으로 하는 세정 장치.
제1항에 있어서,

상기 세정조 및 상기 린스조는, 상기 각 조 내에 가동식의 액내 캐리어를 구비하며,

상기 세정액 혹은 상기 린스액의 액면보다도 상방으로 상승된 상기 액내 캐리어에, 상기 반송 장치에 의해 반송된 상기 마스크가 대기 중에서 옮겨지며,

상기 마스크가 재치된 상기 액내 캐리어가, 상기 마스크와 함께 상기 세정액 내 혹은 상기 린스 내에 침지되는 것을 특징으로 하는 세정 장치.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 소정의 린스액은, 불소를 포함하는 용매인 것을 특징으로 하는 세정 장치.