JPH0610677Y2 - 洗浄物移動機 - Google Patents
洗浄物移動機Info
- Publication number
- JPH0610677Y2 JPH0610677Y2 JP1988103471U JP10347188U JPH0610677Y2 JP H0610677 Y2 JPH0610677 Y2 JP H0610677Y2 JP 1988103471 U JP1988103471 U JP 1988103471U JP 10347188 U JP10347188 U JP 10347188U JP H0610677 Y2 JPH0610677 Y2 JP H0610677Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- guide groove
- cleaning
- fork
- swing shaft
- frame
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Description
【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、洗浄物、例えば半導体ウエファの製造工程に
於ける電子部品等を複数の液槽で移動しながら洗浄する
洗浄物移動機に関するものである。
於ける電子部品等を複数の液槽で移動しながら洗浄する
洗浄物移動機に関するものである。
［従来の技術］ 従来、例えば半導体ウエファの製造工程に於ける電子部
品等の洗浄技術は、一つの手段として、ベルトコンベア
システムにより搬送された複数個の薬液処理槽や洗浄槽
に画一的に電子部品等の洗浄物を浸漬し又は引上げて洗
浄工程を完了した。また別の手段として、電子部品等の
洗浄物を特定した場所にある薬液処理槽や洗浄槽まで運
搬し、人為的又は機械的方式で該薬液処理槽及び洗浄槽
に該洗浄物を浸漬し又は引上げて洗浄工程を完了した。
品等の洗浄技術は、一つの手段として、ベルトコンベア
システムにより搬送された複数個の薬液処理槽や洗浄槽
に画一的に電子部品等の洗浄物を浸漬し又は引上げて洗
浄工程を完了した。また別の手段として、電子部品等の
洗浄物を特定した場所にある薬液処理槽や洗浄槽まで運
搬し、人為的又は機械的方式で該薬液処理槽及び洗浄槽
に該洗浄物を浸漬し又は引上げて洗浄工程を完了した。
［考案が解決しようとする課題］ 従来の技術は、例えば、薬液処理槽や洗浄槽をベルトコ
ンベアシステムにより搬送して洗浄物を洗浄する工程は
大掛りであり、又、工程が画一的であるところから、不
経済であると共に合理的ではなかった。
ンベアシステムにより搬送して洗浄物を洗浄する工程は
大掛りであり、又、工程が画一的であるところから、不
経済であると共に合理的ではなかった。
また、従来の洗浄機に於いて、洗浄物を洗浄槽に浸漬す
る時間や洗浄槽から引上げる時間がそれぞれ定速かつ定
時間であり、洗浄作業の合理化及び洗浄の円滑化が図れ
なかった。
る時間や洗浄槽から引上げる時間がそれぞれ定速かつ定
時間であり、洗浄作業の合理化及び洗浄の円滑化が図れ
なかった。
本考案は、叙上の問題点を解消すべく案出したものであ
り、以下の手段を採るものである。
り、以下の手段を採るものである。
［課題を解決するための手段］ 本考案は馬蹄形のガイド溝を配備したフレームと、該馬
蹄形のガイド溝の円弧略中心位置より下方位置に軸着し
た駆動軸に揺動自在に結合したフォークと、該フォーク
に係合し、フォークの動きによって前記馬蹄形のガイド
溝内を摺動する揺動軸と、揺動自在の平行四辺形でなる
と共に前記揺動軸に直結しかつ洗浄物を把持するホルダ
ーを備えたコネクチングロッドと、該コネクチングロッ
ドの一辺を前記フレームに対して平行移動規定すると共
に該フレームに配置したスライダーとで構成した洗浄物
移動機の技術である。
蹄形のガイド溝の円弧略中心位置より下方位置に軸着し
た駆動軸に揺動自在に結合したフォークと、該フォーク
に係合し、フォークの動きによって前記馬蹄形のガイド
溝内を摺動する揺動軸と、揺動自在の平行四辺形でなる
と共に前記揺動軸に直結しかつ洗浄物を把持するホルダ
ーを備えたコネクチングロッドと、該コネクチングロッ
ドの一辺を前記フレームに対して平行移動規定すると共
に該フレームに配置したスライダーとで構成した洗浄物
移動機の技術である。
かかる技術を構成することにより、本考案は初期の目的
を達成せんとするものである。
を達成せんとするものである。
［作用］ 本考案は、叙上した構成を有するので、次の作用を奏す
る。すなわち、先ず、本機は、駆動軸をガイド溝の円弧
略中心位置より下方位置に軸着した場合は該ガイド溝の
左右の下端付近に於いてスライドする揺動軸を比較的低
速度でスライド移動せしめると共に、該ガイド溝の頂点
付近に於いてスライドする揺動軸を比較的高速度でスラ
イド移動せしめる特有な作用を有する。
る。すなわち、先ず、本機は、駆動軸をガイド溝の円弧
略中心位置より下方位置に軸着した場合は該ガイド溝の
左右の下端付近に於いてスライドする揺動軸を比較的低
速度でスライド移動せしめると共に、該ガイド溝の頂点
付近に於いてスライドする揺動軸を比較的高速度でスラ
イド移動せしめる特有な作用を有する。
次に、本機は、駆動軸をガイド溝の円弧略中心位置より
左方位置に軸着した場合は該ガイド溝の左方の下端から
頂点までをスライドする揺動軸を比較的低速度でスライ
ド移動せしめると共に、該ガイド溝の頂点から右方の下
端までをスライドする揺動軸を比較的高速度でスライド
移動せしめる特有な作用を有する。
左方位置に軸着した場合は該ガイド溝の左方の下端から
頂点までをスライドする揺動軸を比較的低速度でスライ
ド移動せしめると共に、該ガイド溝の頂点から右方の下
端までをスライドする揺動軸を比較的高速度でスライド
移動せしめる特有な作用を有する。
次に、本機は、平行四辺形でなるコネクチングロッドの
上方の一辺が揺動軸の移動に伴い常にフレームに対して
平行間隔を有して平行移動し、該コネクチングロッドの
下方の一辺に吊下げた洗浄物を上下移動させる特異な作
用を有する。
上方の一辺が揺動軸の移動に伴い常にフレームに対して
平行間隔を有して平行移動し、該コネクチングロッドの
下方の一辺に吊下げた洗浄物を上下移動させる特異な作
用を有する。
［実施例］ 第１図は本考案に係る洗浄物移動機の概要を示す一実施
例の正面図である。以下、本考案の一実施例につき番号
を付して詳細に説明する。
例の正面図である。以下、本考案の一実施例につき番号
を付して詳細に説明する。
１はフレームであり、枠体で構成している。２はガイド
溝であり、例えば馬蹄形であり、該フレーム１に穿設し
ている。３はフォークであり、支点部3aは駆動軸４に回
動自在に軸着している。該フォーク３の先端部3bはＵ字
状溝3cを形成している。５は揺動軸であり、前記フォー
ク３のＵ字状溝3c間に介在し、前記駆動軸４が回転する
ことにより、前記ガイド溝２の左下端から頂上を経て右
下端までスライドするものである。前記駆動軸４はガイ
ド溝２の中心位置ｐから距離ｌの下方位置に於けるフレ
ーム１に軸着している。６はコネクチングロッドであ
り、平行四辺形の枠体で構成されている。該コネクチン
グロッド６は上端辺6a、下端辺6b、右辺6c及び左辺6dと
の連結構成で成立している。そして、各辺は連結ボルト
6eで回動自在に接続し、第１図に示す一点鎖線のよう
に、該コネクチングロッド６がガイド溝２の左下端から
頂上を経て右下端まで移動するが、その際上端辺6aと下
端辺6bが平行であると共に前記フレーム１の上辺に対し
ても平行に保持されて移動する。該コネクチングロッド
６の上端辺6aは前記揺動軸５に結合しており、該揺動軸
５の移動に連動して、コネクチングロッド６が上下移動
する。７はスライダーであり、フレーム１に固定されて
おり、前記コネクチングロッド６の下端辺6bと結合し、
該下端辺6bが上下動するときガイドとしての機能を有す
る。すなわち、該下端辺6bはスライダー７をスライドし
ながら上下動する。８はホルダーであり、該コネクチン
グロッド６の下端辺6bの両端に連結している。該ホルダ
ー８は洗浄物９を把持するものである。
溝であり、例えば馬蹄形であり、該フレーム１に穿設し
ている。３はフォークであり、支点部3aは駆動軸４に回
動自在に軸着している。該フォーク３の先端部3bはＵ字
状溝3cを形成している。５は揺動軸であり、前記フォー
ク３のＵ字状溝3c間に介在し、前記駆動軸４が回転する
ことにより、前記ガイド溝２の左下端から頂上を経て右
下端までスライドするものである。前記駆動軸４はガイ
ド溝２の中心位置ｐから距離ｌの下方位置に於けるフレ
ーム１に軸着している。６はコネクチングロッドであ
り、平行四辺形の枠体で構成されている。該コネクチン
グロッド６は上端辺6a、下端辺6b、右辺6c及び左辺6dと
の連結構成で成立している。そして、各辺は連結ボルト
6eで回動自在に接続し、第１図に示す一点鎖線のよう
に、該コネクチングロッド６がガイド溝２の左下端から
頂上を経て右下端まで移動するが、その際上端辺6aと下
端辺6bが平行であると共に前記フレーム１の上辺に対し
ても平行に保持されて移動する。該コネクチングロッド
６の上端辺6aは前記揺動軸５に結合しており、該揺動軸
５の移動に連動して、コネクチングロッド６が上下移動
する。７はスライダーであり、フレーム１に固定されて
おり、前記コネクチングロッド６の下端辺6bと結合し、
該下端辺6bが上下動するときガイドとしての機能を有す
る。すなわち、該下端辺6bはスライダー７をスライドし
ながら上下動する。８はホルダーであり、該コネクチン
グロッド６の下端辺6bの両端に連結している。該ホルダ
ー８は洗浄物９を把持するものである。
第２図(a)及び第２図(b)は、本考案に係る洗浄物移動機
を実際使用する場合の洗浄液等の液槽との配置関係を示
す一実施例図である。これについて説明すれば、10は工
場等、例えば、半導体ウエファの製造工場に敷設された
レールである。該レール10上に洗浄物移動機Ａが載置し
ている。従って、フレーム１の下面にローラ11を回転自
在に固定し、このローラ11がレール10上にガイドされて
任意の場所に移動する。12ａ〜12ｄは各液槽であり、所
望数配置されている。液槽12ａ〜12ｄは洗浄液や薬液等
各種用途に応じた液体を充填している。13ａ〜13ｄは受
信機能を持つセンサドクであり、前記各液槽12ａ〜12ｄ
の相互間や近傍部位に適宜、所望数配置されており、前
記洗浄物移動機Ａの略下面部に設けた発信機能を有する
センサ14からの信号を取入れ、交信し、該洗浄物移動機
Ａの誘導を司どる。第２図(b)に於いて、15aは第１モー
タであり、例えば、モータ軸をベルト等で駆動軸４に接
続し、洗浄物の上下動を図る。15bは第２モータであ
り、例えば、洗浄物移動機Ａのローラ11に動力を伝達
し、移動を図る。この両モータ15a,15bは洗浄物移動機
Ａに搭載している。16はマイクロコンピュータであり、
該洗浄物移動機Ａの頭脳に属するもので、例えば、セン
サ14とセンサドク13a〜13dとの交信作用を図り、又、該
第１、第２モータ15a,15bの作動を図って、半導体ウエ
ファの製造工程に於ける洗浄物の洗浄工程を円滑に進行
すべき、該洗浄物移動機Ａをコントロールするものであ
る。図中、12eは液槽である。17は揺動軸５及び駆動軸
４の水平位置を保持する機構である。
を実際使用する場合の洗浄液等の液槽との配置関係を示
す一実施例図である。これについて説明すれば、10は工
場等、例えば、半導体ウエファの製造工場に敷設された
レールである。該レール10上に洗浄物移動機Ａが載置し
ている。従って、フレーム１の下面にローラ11を回転自
在に固定し、このローラ11がレール10上にガイドされて
任意の場所に移動する。12ａ〜12ｄは各液槽であり、所
望数配置されている。液槽12ａ〜12ｄは洗浄液や薬液等
各種用途に応じた液体を充填している。13ａ〜13ｄは受
信機能を持つセンサドクであり、前記各液槽12ａ〜12ｄ
の相互間や近傍部位に適宜、所望数配置されており、前
記洗浄物移動機Ａの略下面部に設けた発信機能を有する
センサ14からの信号を取入れ、交信し、該洗浄物移動機
Ａの誘導を司どる。第２図(b)に於いて、15aは第１モー
タであり、例えば、モータ軸をベルト等で駆動軸４に接
続し、洗浄物の上下動を図る。15bは第２モータであ
り、例えば、洗浄物移動機Ａのローラ11に動力を伝達
し、移動を図る。この両モータ15a,15bは洗浄物移動機
Ａに搭載している。16はマイクロコンピュータであり、
該洗浄物移動機Ａの頭脳に属するもので、例えば、セン
サ14とセンサドク13a〜13dとの交信作用を図り、又、該
第１、第２モータ15a,15bの作動を図って、半導体ウエ
ファの製造工程に於ける洗浄物の洗浄工程を円滑に進行
すべき、該洗浄物移動機Ａをコントロールするものであ
る。図中、12eは液槽である。17は揺動軸５及び駆動軸
４の水平位置を保持する機構である。
本考案は叙上した構成を有するので、次の動作を行な
う。
う。
洗浄物移動機Ａに搭載したセンサ14から信号を発信し
て、センサドク13aがこれを受信する。而して、該第２
モータ15bが駆動し、該洗浄物移動機Ａがレール10上を
移動し、液槽12a及び12bの近傍に位置する。而して、第
３図に示すように、液槽12aの薬液Q1内に浸漬している
洗浄物９を引上げて、更に液槽12bの薬液Q2内に浸漬す
る手順を説明し、本考案の装置の基本的動作を明らかに
する。
て、センサドク13aがこれを受信する。而して、該第２
モータ15bが駆動し、該洗浄物移動機Ａがレール10上を
移動し、液槽12a及び12bの近傍に位置する。而して、第
３図に示すように、液槽12aの薬液Q1内に浸漬している
洗浄物９を引上げて、更に液槽12bの薬液Q2内に浸漬す
る手順を説明し、本考案の装置の基本的動作を明らかに
する。
洗浄物９は、第１図及び第２図(a),(b)に示すように、
ホルダー８により把持された状態で、液槽12aの薬液Q1
内に浸漬している。第２モータ15bを駆動し、駆動軸４
が例えば右回転する。そして、フォーク３がこれに連動
する。従って、ガイド溝２の左下端に位置した揺動軸５
が該フォーク３によりスライドしながら上昇する。コネ
クチングロッド６に吊下げられた洗浄物９は、該駆動軸
４と揺動軸５との距離の相関関係により平均速度で上昇
することになる。洗浄物９の上面位置h1からh2までは薬
液Q1内に該洗浄物９が浸漬しており、薬液の飛散等の問
題がないので、上昇速度の高低は厳密に限定要求されな
い。而して、駆動軸５は更に右回転し、揺動軸５はフォ
ーク３の動きによってガイド溝を更にスライドしながら
上昇する。このとき、駆動軸４と揺動軸５との短い距離
の相関関係により、洗浄物９は極めて低速度で上昇し得
る。これは、第３図に示すように、洗浄物９の上面位置
h2からh3の範囲に於ける上昇速度であり、洗浄物９が薬
液Q1から空中に移動するときであり、極めて低速度に上
昇するので、薬液Q1が飛散することがない。次に、更に
駆動軸４が右回転し、揺動軸５はフォーク３の動きによ
ってガイド溝２を更にスライドしながら上昇する。そし
て、該揺動軸５はガイド溝２の頂点部まで上昇する。こ
のとき、駆動軸４と揺動軸５とは、揺動軸５がスライド
上昇するに従って長い距離の相関関係となり、上昇速度
が高速度となる。これは第３図に示すように、洗浄物９
の上面位置h3からh4の範囲に於ける上昇速度であり、該
洗浄物９は空中に於いて移動するときであり、高速度が
望ましい。特に、半導体ウエファの製造工程に於いては
品質の確保上重要である。次に、更に駆動軸４が右回転
し、揺動軸４はフォーク３の動きによってガイド溝２の
頂点部から下降する。このときの洗浄物９の下降速度は
前記と同様、高速度であるが、その相違点は下降するに
従って速度が低下することである。而して、第３図に示
すように、洗浄物９の上面位置h4からh3までの範囲に於
ける下降速度である。更に駆動軸４が右回転し、揺動軸
５はフォーク３の動きによってガイド溝２をスライドし
ながら下降する。このとき、駆動軸４と揺動軸５とは短
かい距離の相関関係となり、洗浄物９は極めて低速度で
下降し得る。これは第３図に示すように、洗浄物９の上
面位置h3からh2の範囲に於ける下降速度であり、洗浄物
９が空中から液槽12bの薬液Q2に浸漬し得るときであ
り、極めて低速度に下降し、該薬液Q2が飛散することが
ない。更に駆動軸４が右回転し、揺動軸５はフォーク３
の動きによってガイド溝２をスライドしながら下降し、
該揺動軸５を右下端まで下降完了させる。このときに於
ける駆動軸４と揺動軸５との距離の相関関係により平均
速度で下降することになる。これは第３図に示すよう
に、洗浄物９は上面位置h2からh1の範囲に於いての下降
速度がコントロールされる。該洗浄物９は薬液Q2内に浸
漬しており、液体の飛散等の問題がなく、下降速度の高
低は厳密に限定要求されない。
ホルダー８により把持された状態で、液槽12aの薬液Q1
内に浸漬している。第２モータ15bを駆動し、駆動軸４
が例えば右回転する。そして、フォーク３がこれに連動
する。従って、ガイド溝２の左下端に位置した揺動軸５
が該フォーク３によりスライドしながら上昇する。コネ
クチングロッド６に吊下げられた洗浄物９は、該駆動軸
４と揺動軸５との距離の相関関係により平均速度で上昇
することになる。洗浄物９の上面位置h1からh2までは薬
液Q1内に該洗浄物９が浸漬しており、薬液の飛散等の問
題がないので、上昇速度の高低は厳密に限定要求されな
い。而して、駆動軸５は更に右回転し、揺動軸５はフォ
ーク３の動きによってガイド溝を更にスライドしながら
上昇する。このとき、駆動軸４と揺動軸５との短い距離
の相関関係により、洗浄物９は極めて低速度で上昇し得
る。これは、第３図に示すように、洗浄物９の上面位置
h2からh3の範囲に於ける上昇速度であり、洗浄物９が薬
液Q1から空中に移動するときであり、極めて低速度に上
昇するので、薬液Q1が飛散することがない。次に、更に
駆動軸４が右回転し、揺動軸５はフォーク３の動きによ
ってガイド溝２を更にスライドしながら上昇する。そし
て、該揺動軸５はガイド溝２の頂点部まで上昇する。こ
のとき、駆動軸４と揺動軸５とは、揺動軸５がスライド
上昇するに従って長い距離の相関関係となり、上昇速度
が高速度となる。これは第３図に示すように、洗浄物９
の上面位置h3からh4の範囲に於ける上昇速度であり、該
洗浄物９は空中に於いて移動するときであり、高速度が
望ましい。特に、半導体ウエファの製造工程に於いては
品質の確保上重要である。次に、更に駆動軸４が右回転
し、揺動軸４はフォーク３の動きによってガイド溝２の
頂点部から下降する。このときの洗浄物９の下降速度は
前記と同様、高速度であるが、その相違点は下降するに
従って速度が低下することである。而して、第３図に示
すように、洗浄物９の上面位置h4からh3までの範囲に於
ける下降速度である。更に駆動軸４が右回転し、揺動軸
５はフォーク３の動きによってガイド溝２をスライドし
ながら下降する。このとき、駆動軸４と揺動軸５とは短
かい距離の相関関係となり、洗浄物９は極めて低速度で
下降し得る。これは第３図に示すように、洗浄物９の上
面位置h3からh2の範囲に於ける下降速度であり、洗浄物
９が空中から液槽12bの薬液Q2に浸漬し得るときであ
り、極めて低速度に下降し、該薬液Q2が飛散することが
ない。更に駆動軸４が右回転し、揺動軸５はフォーク３
の動きによってガイド溝２をスライドしながら下降し、
該揺動軸５を右下端まで下降完了させる。このときに於
ける駆動軸４と揺動軸５との距離の相関関係により平均
速度で下降することになる。これは第３図に示すよう
に、洗浄物９は上面位置h2からh1の範囲に於いての下降
速度がコントロールされる。該洗浄物９は薬液Q2内に浸
漬しており、液体の飛散等の問題がなく、下降速度の高
低は厳密に限定要求されない。
以上の説明から明らかなように、特に洗浄物９が薬液Q1
から空中へ移動するとき、又、空中から薬液Q2に浸漬す
るとき、上昇又は下降速度を極めて低速度とし、更に洗
浄物９が空中間を移動するときは極めて高速度としたこ
とに特徴がある。
から空中へ移動するとき、又、空中から薬液Q2に浸漬す
るとき、上昇又は下降速度を極めて低速度とし、更に洗
浄物９が空中間を移動するときは極めて高速度としたこ
とに特徴がある。
上記説明は駆動軸４がガイド溝２の中心位置ｐから距離
ｌまで下方位置にある場合であるが、他の実施例として
は該駆動軸４を更に、左、右にずらして設定することに
より、揺動軸５の上昇及び下降速度を任意に可変するこ
とができるものである。
ｌまで下方位置にある場合であるが、他の実施例として
は該駆動軸４を更に、左、右にずらして設定することに
より、揺動軸５の上昇及び下降速度を任意に可変するこ
とができるものである。
また、上昇したように、揺動軸５がガイド溝２の左下端
から頂上まで、頂上から右下端までそれぞれ上昇及び下
降するが、そのとき、スライダー７によって、コネクチ
ングロッド６の右辺6c及び左辺6dは左右に平行を維持し
ながら揺動するが、下端辺6bは常に上下動するのみで
左、右に揺動することはない。又、該下端辺6bと上端辺
6aは常に平行に保持されている。
から頂上まで、頂上から右下端までそれぞれ上昇及び下
降するが、そのとき、スライダー７によって、コネクチ
ングロッド６の右辺6c及び左辺6dは左右に平行を維持し
ながら揺動するが、下端辺6bは常に上下動するのみで
左、右に揺動することはない。又、該下端辺6bと上端辺
6aは常に平行に保持されている。
また、上述の説明に於いて、洗浄物９が薬液Q1,2間を浸
漬することの実施例であるが、本考案はこれに限定され
るものではなく、各種の洗浄液、薬液等、液体相互間に
於ける洗浄物の浸漬工程に適用できるものである。
漬することの実施例であるが、本考案はこれに限定され
るものではなく、各種の洗浄液、薬液等、液体相互間に
於ける洗浄物の浸漬工程に適用できるものである。
［考案の効果］ 本考案は馬蹄形のガイド溝を配備したフレームと、該馬
蹄形のガイド溝の円弧略中心位置より下方位置に軸着し
た駆動軸に揺動自在に結合したフォークと、該フォーク
に係合し、フォークの動きによって前記馬蹄形のガイド
溝内を摺動する揺動軸と、揺動自在の平行四辺形でなる
と共に前記揺動軸に直結しかつ洗浄物を把持するホルダ
ーを備えたコネクチングロッドと、該コネクチングロッ
ドの一辺を前記フレームに対して平行移動規定すると共
に該フレームに配置したスライダーとでなる洗浄物移動
機を特徴とするので次の特有な効果を示現できる。
蹄形のガイド溝の円弧略中心位置より下方位置に軸着し
た駆動軸に揺動自在に結合したフォークと、該フォーク
に係合し、フォークの動きによって前記馬蹄形のガイド
溝内を摺動する揺動軸と、揺動自在の平行四辺形でなる
と共に前記揺動軸に直結しかつ洗浄物を把持するホルダ
ーを備えたコネクチングロッドと、該コネクチングロッ
ドの一辺を前記フレームに対して平行移動規定すると共
に該フレームに配置したスライダーとでなる洗浄物移動
機を特徴とするので次の特有な効果を示現できる。
すなわち、 (1)駆動軸を馬蹄形のガイド溝の円弧略中心位置より下
方位置に軸着ししたので揺動軸が馬蹄形のガイド溝に左
右下端付近位置、馬蹄形のガイド溝の頂点付近位置と左
右下端付近位置との中間付近位置、及び馬蹄形のガイド
溝の頂点部付近位置のそれぞれにあるときにおけるコネ
クチングロッドの上昇又は下降速度、すなわち洗浄物の
引上げ又は引降し速度を変化させることができ、合理的
な工程で洗浄物を移動できる。具体的には揺動軸がガ
イド溝左下端付近位置、すなわち例えば、洗浄物が薬液
内に浸漬しているとき平均速度で上昇する。揺動軸が
ガイド溝の中間付近位置、すなわち洗浄物が薬液内から
空中に移動するとき、極めて低速度で上昇し、薬液が飛
散することがない。揺動軸がガイド溝の頂点部付近位
置、すなわち洗浄物が高速度で上昇する。
方位置に軸着ししたので揺動軸が馬蹄形のガイド溝に左
右下端付近位置、馬蹄形のガイド溝の頂点付近位置と左
右下端付近位置との中間付近位置、及び馬蹄形のガイド
溝の頂点部付近位置のそれぞれにあるときにおけるコネ
クチングロッドの上昇又は下降速度、すなわち洗浄物の
引上げ又は引降し速度を変化させることができ、合理的
な工程で洗浄物を移動できる。具体的には揺動軸がガ
イド溝左下端付近位置、すなわち例えば、洗浄物が薬液
内に浸漬しているとき平均速度で上昇する。揺動軸が
ガイド溝の中間付近位置、すなわち洗浄物が薬液内から
空中に移動するとき、極めて低速度で上昇し、薬液が飛
散することがない。揺動軸がガイド溝の頂点部付近位
置、すなわち洗浄物が高速度で上昇する。
また、揺動軸を下降させるときも上記と同様の作用、効
果がある。
果がある。
(2)コネクチングロッドの一辺をフレームに対して平行
移動規定するスライダーを該フレームに配置したので、
洗浄物が横揺れすることなく、横揺れに基づく洗浄物の
落下事故もなく、安定した動作で円滑に洗浄工程を完了
させることができる。
移動規定するスライダーを該フレームに配置したので、
洗浄物が横揺れすることなく、横揺れに基づく洗浄物の
落下事故もなく、安定した動作で円滑に洗浄工程を完了
させることができる。
第１図は本考案に係る洗浄物移動機を説明するための一
実施例を示す正面図である。 第２図(a)は工場等に於ける実際に使用する場合の洗浄
物移動機及び液槽との位置関係を示す説明図の一例であ
る。 第２図(b)は第２図(a)の側面かみた状態を示す側面図で
ある。 第３図は液槽相互間を洗浄物が移動する状態の一例を示
す側面図である。 １…フレーム、２…ガイド溝、３…フォーク、４…駆動
軸、５…揺動軸、６…コネクチングロッド、７…スライ
ダー、８…ホルダー、９…洗浄物、12ａ〜12ｅ…液槽、
Ａ…洗浄物移動機
実施例を示す正面図である。 第２図(a)は工場等に於ける実際に使用する場合の洗浄
物移動機及び液槽との位置関係を示す説明図の一例であ
る。 第２図(b)は第２図(a)の側面かみた状態を示す側面図で
ある。 第３図は液槽相互間を洗浄物が移動する状態の一例を示
す側面図である。 １…フレーム、２…ガイド溝、３…フォーク、４…駆動
軸、５…揺動軸、６…コネクチングロッド、７…スライ
ダー、８…ホルダー、９…洗浄物、12ａ〜12ｅ…液槽、
Ａ…洗浄物移動機
Claims (1)
- 【請求項１】馬蹄形のガイド溝を配備したフレームと、
該馬蹄形のガイド溝の円弧略中心位置より下方位置に軸
着した駆動軸に揺動自在に結合したフォークと、該フォ
ークに係合し、フォークの動きによって前記馬蹄形のガ
イド溝内を摺動する揺動軸と、揺動自在の平行四辺形で
なると共に前記揺動軸に直結しかつ洗浄物を把持するホ
ルダーを備えたコネクチングロッドと、該コネクチング
ロッドの一辺を前記フレームに対して平行移動規定する
と共に該フレームに配置したスライダーとでなることを
特徴とする洗浄物移動機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988103471U JPH0610677Y2 (ja) | 1988-08-03 | 1988-08-03 | 洗浄物移動機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988103471U JPH0610677Y2 (ja) | 1988-08-03 | 1988-08-03 | 洗浄物移動機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0224538U JPH0224538U (ja) | 1990-02-19 |
| JPH0610677Y2 true JPH0610677Y2 (ja) | 1994-03-16 |
Family
ID=31334335
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988103471U Expired - Lifetime JPH0610677Y2 (ja) | 1988-08-03 | 1988-08-03 | 洗浄物移動機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0610677Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4644565B2 (ja) * | 2004-09-01 | 2011-03-02 | 三洋電機株式会社 | 洗浄装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6157282A (ja) * | 1984-08-30 | 1986-03-24 | ソニツク・フエロ−株式会社 | 洗浄装置 |
| JPH0249720Y2 (ja) * | 1986-05-08 | 1990-12-27 |
-
1988
- 1988-08-03 JP JP1988103471U patent/JPH0610677Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0224538U (ja) | 1990-02-19 |
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