JPS6157282A - 洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 開示技術は、ガラス製品等を精度高く洗浄する洗浄装置
の技術分野に属する。

而して、この発明は超音波等によってガラス製品、集積
回路用基板等を緒言洗浄するための洗浄装置であって、
フレームのワーク搬入側と搬出側との間に複数の洗浄槽
が配設されると共に例えば、各洗浄槽内に浸積されるワ
ーク受は体が設けられ、上記各ワーク受は体と上記フレ
ームのワーク搬出入側との間に、ワークを各ワーク受は
体に搬送する搬送体が設けられている洗浄装置に関する
発明であり、特に、洗浄４ｒ！Ｉに沿って移動する搬送
体がワークに対する係止部を有する旋回アームを備え、
該旋回アームがその基部を搬送体の横ガイドに沿ってス
ライド自在に支持されると共にその一部に搬送体の縦ガ
イドに係合する係合体を有している洗浄装置に係る発明
である。

〈従来技術〉 一般に、光学用のレンズや集積回路のウェハ等のワーク
は極めて高い洗浄度を維持しなければならないことから
仕上げの際に洗浄を行なう場合が多く、超音波洗浄によ
ることが望ましい。

周知の如く、従来より上述の洗浄装置としては、ワーク
搬入側と搬出側との間にフレームに支持された複数の洗
浄（ｆ！ｉが設けられは洗浄Ｊｆｉ内にワーク受は体が
吊下され浸漬されている態様のものがあった。

〈発明が解決しようとする問題点〉 ざりながら、上述従来技術に基づく洗浄装置にあっては
、フレームのワーク搬出入側と各洗浄４ｆｌに浸漬され
るワーク受は体との間に搬送体が設けられ、該搬送体が
各洗浄槽に沿って移動自在にされ、該搬送体に設けられ
た旋回アームによりワークの受り渡しが行なわれていた
ため、該旋回アームの先端の軌跡が円弧を描くことから
、ワーク受は体笠に接触する可能性があり、これを避け
るために、余分にスペースを確保すると装置が大型とな
り、搬送ストロークが延び洗浄タイムが長くなるという
欠点があった。

これに対処するに、旋回アームの先端の軌跡が直線的に
なるように旋回アームを回動させる装置を設けると極め
て構造が複雑になるという難点があり、コストアップに
つながる不利点があった。

この発明の目的は上述従来技術に基づく洗浄装置の問題
点を解決すべき技術的課題とし、ワークを確実に搬送、
受は渡ししながら１．効率良く洗浄が行なえるようにし
、各種産業におりる仕上げ工程利用分すににれだ洗浄装
置を提供Ｕんとするものである。

く問題点を解決するための手段・作用〉上述目的に沿い
先述特許請求の範囲を要旨とするこの発明の構成はＩｙ
＋述問題点を解決するために、フレームのワーク搬入側
と搬出側との間に配設された複数の洗浄（ａに対してワ
ークを供給する場合には、上記フレームのワーク搬出入
側と上記洗浄槽内に浸偵されるワーク受は体との間に設
【プられた搬送体の旋回アームによって供給されｌｃワ
ークを各洗浄（ａのワーク受は体に順次供給させて、各
洗槽で超音波洗浄を行ない、洗浄済ワークは上記旋回ア
ームによりフレームのワーク搬出側へ搬送され、この間
、各洗浄槽の位置へ移送される搬送体の旋回アームはそ
の基部搬送体の横ガイドに沿ってスライド自在にされ、
更に、該旋回アームの　　　　□一部に形成された係合
体が搬送体の縦ガイドに係合されてるため、該旋回アー
ムの先端が円弧を描くことなく直線的に上下動するよう
にした技術的手段をＸＭＵたものである。

〈実施例−構成〉 次に、この発明の１実施例を図面に基づいて説明すれば
以下の通りである。

第１〜３図に示すのは、この発明の要旨を成ず洗）９装
置１であり、フレーム２の搬入側と搬出側には各々ベル
トコンベア３．４が接続されている。

尚、５は制御盤である。

上記ベル１〜コンベア３．４の間には、クリーンクンク
ロからポンプ７を介して送給される洗浄液が収容された
複数の洗浄槽８．８・・・が配設され、所定の洗（９槽
８には、フレーム２の上部に設けられた超音波発振器９
に接続された振動子１０が付設されている。

尚、各洗浄槽８の間にはフレーム２の上部に設けられた
クリーンユニット１１から送給される濾過された清浄な
エアーを吸引するダクト１２が形成され、又、フレーム
２の搬出側寄りの洗浄槽８とベルトコンベア４との闇に
は、ベーパ洗浄槽１３が介設されている。

上記各洗浄槽８の上部には、第２図に示す様に、フレー
ム２に付設されたブラケット１４を介して図示しない駆
動装置ａにより昇降する揺動バー１５が設けられ、該揺
動バー１５には各洗浄槽８に対応する位置に洗浄槽８の
内部に浸漬される略り字状のワーク受は休１６が吊下さ
れている。

そして、上記揺動バー１５の俊方には立壁１７を隔てて
該揺動バー１５に沿うレール１８が敷設され、該レール
１８に設置された搬送体１９がフレーム２に付設された
うツク２０にビニオン２１を噛合させ、レール１８上を
移動するようになっており、該搬送体１９に枢支された
旋回アーム２２が上記立壁１７に形成された長孔２３か
ら延出され、前記ベルトコンベア３．４間でワーク２４
の搬出入を行なうようになってい　　　　′る。

第４〜７図に示す様に、上記搬送体１９は箱型のケーシ
ング２５の下面に前記レール１８を転動する車輪２Ｇを
右し、前記ビニオン２１を回転さぼる移動モータ２７が
内装され、該移動モータ２７の上方には前記洗浄（ａ８
．８の長手方向に一対の横ガイドとしてのガイドバー２
８に沿ってスライド自在に支持された旋回アーム２２の
駆動装置ｎ２９が設けられている。

該駆動装置２９は上記ガイドバー２８に沿ってスライド
する口字状の本体３０の内部に基部としての駆動＠１１
３１とその上方に位置する従動＠２とが各々ケーシング
２５、及び、前記立壁１７を貫通して回転自在に支持さ
れ、上記駆動＠１１３１に取り付けられたスプロケット
３３と上記本体３０の上部に設置されたモー９３４のス
プロケット３５との間にチェーン３６が巻装されている
。

そして、上記駆動’１１＋１３１と従動＠３２の先端に
各々駆動アーム３１と従動アーム３８とが平行リンクを
成して先端側をブラケット３９で一体化され、該ブラケ
ット３９に係止部としてのフック４０が枢支された昇降
アーム４１が支持されている。

また、上記駆動アーム３７と従動アーム３８の先端側の
ケーシング２５に内部には、上記駆動アーム３１と従動
アーム３８に対応して各々係合体としてのガイドアーム
４２．４３が上記ケーシング２５に立設された４ｉｔガ
イド４４にその先９；１：のローラ４５を係合さＵた状
態で、旋回自在にされ、該ガイドアーム４２．４３が各
々上記駆動アーム３７と従動アーム３８と同一長で、且
つ、駆動軸３１と従動軸３２の各々の軸を含む平面内に
取り付けられている。

尚、上記駆動アーム３７と従りＪアーム３８、及び、昇
降アーム４１とでｈた回アーム２２が１苦成され、又、
前記移動モータ２７、モータ３４、及び、ポンプ７、超
音波発振器９、クリーンエアー１〜１１、ベルトコンベ
ア３．４は各々前述した制御盤５を介して図示しない制
御装置に接続されている。

又、上記フレーム２の立壁１７に設けられた長孔１７に
は、洗浄槽８．８・・・にダストが入らないように遮断
用のシール帯が巻取自在に張設されている。

〈実施例−作用〉 上述桶成において、予めクリーンタンク６の洗浄液をポ
ンプ７により図示しないフィルタにて罐過して各洗浄槽
８．８・・・に送給すると共にクリーンユニット１１か
らクリーンエアーを洗浄ＪＨａ、８に向けて送給させて
おく。

ウェハ等が収納されたパケット状のワーク２４がフレー
ム２の搬入側のベルトコンベア３の搬入端に位置すると
図示しない制御装置を介して前記搬送体１９の移動モー
タ２７が駆動し、該搬送体１９はラック２０どビニオン
２１によりレー・ル１８上を移動し、上記ワーク２４の
ベルトコンベア３寄りの位置で停止する。

・次いで、モータ３４が駆動し、スプロケット３３．３
５、チェーン３６を介して駆動軸３１が回転すると駆動
アーム３７と従動アーム３８とがブラケット３９により
一体とされた旋回アーム２２が旋回し、昇降アーム４１
に支持されたフック４０が下降する。

ところで、この際上記駆動ｑｑｌ１３１に一体固定され
旋回アーム２２と一体的に旋回するガイドアーム４２．
４３がケーシング２５に立設された紺ガイド４４にその
先端のローラ４５を係合させているため、駆動軸３１が
回転するとガイドバー２８に支持された駆動装置２９は
第６図左側へ矢印で示す方向にスライドする。

したがって、上記フック４０．４０は円弧状の軌跡を描
くことなく直線的に下降し、ワーク２４に接触すること
なく、第６図の鎖線で示す上死点位置で停止する。

すると、前記移動モータ２７により搬送体１９がわずか
にレール１８上を移動しく以下駆動という。）上記フッ
ク４０．４０がワーク２４の下側に位置するとモータ３
４を介して旋回アーム２２が前述とは逆方向に旋回する
ノこめ垂直方向に上昇するフック４０．４０によってワ
ーク２４はスムーズに上昇し、旋回アーム２２の上死点
位置で停止Ｊ゛る。

そして、旋回アーム２２のフック４０．４０により吊下
されたワーク２４は、移動モータ２７によりレール１８
上を移動する搬送体１９により、最も搬入側に近い洗浄
（ｆｉ　Ｑの上部に移送され、旋回アーム２２により洗
浄槽８の内部のワーク受は体１Ｇに載置され、搬送体１
９が駆動した後、旋回アーム２２が再度上死点位置まで
旋回すると超音波発振器９がＯＮとなり振動子１０によ
り超音波洗浄が開始される。

この間、旋回アーム２２の先９ｉ（のフック４０．４０
は前述同様に垂直方向に上昇するため洗浄槽８の内壁や
ワーク２４に接触することがなく接触によりダストが発
生して洗浄度を低下させることもない。

そして、ワーク２４を所定時間洗浄した後、上記搬送体
１９どその旋回アーム２２により次段洗浄１ｔ！！８に
前述と同様に移送し、搬入側のベルトコンベア３から搬
入される後続のワーク２４を再び最も搬入側に近い洗浄
槽８に供給させる。

このＪ：うにして順次供給されるワーク２４を複数の洗
浄槽８．８・・・で揺動バー１５を介して上下動させな
がら効率良く洗浄し、搬出側に配設されたベーパ洗浄槽
１３で最終洗浄を行ない搬出側のベルトコンベア４から
搬出させる。

ところで、上述工程を経て洗浄されたワーク２４は、搬
送体１９が立壁１７により隔絶されているためｌＩＱ送
休１体の移送により洗浄槽８．８・・・が汚染されるこ
とはなく、さらに、旋回アーム２２に支持されたフック
４０．４０が垂直方向に上下動するため洗浄槽８．８・
・・をはじめとする各部をコンパクトにでき、装置全体
が大型化することによって生ずる汚染源の増加を防止す
ることができる。

く他の実施例〉 尚、この発明の実施態様は上述１実施例に限られるもの
でないことは勿論であり、例えば、縦ガイドに沿って旋
回するガイドバーの長さは短かくしても良く、又、旋回
アームに突起を設けてガイド溝に係合させても良く、搬
送体をチェーンとスプロケットによって移動させても良
い等種々の態様が採用可能である。

〈発明の効果〉 以上、この発明によれば、基本的に洗浄液自体の洗浄度
を維持することは勿論のこと、外部の雰囲気をも洗浄な
状態にｉｔ持しなければならない超音波洗浄において、
唯一の汚染録となるワークの搬出入の際の旋回アームの
軌跡を最り１口となるようにして洗ｉ′ｒＪ槽をできる
だけクリーンな状態にすることができ、仕上げ工程どし
ての精密部品等の信頼性を極めて高くすることができる
優れた効果が奏される。

ツ また、搬送体が洗浄槽に沿って移動自在にされると共に
ワークに対する係止部を有する旋回アームを備えている
ことにより、ワークを上下動させる装置の如く大きな駆
動ストロークが必要なく、無駄のない作動を実現させる
ことができるという優れた効果が奏される。

更に、旋回アームがその基部を搬送体の横ガイドに沿っ
てスライド自在に支持されると共にその一部に搬送体の
縦ガイドに係合する係合体を有していることにより、縦
ガイドに規制された旋回アームの係止部は垂直方向に上
Ｆ動して洗浄（告内壁に接触して洗浄度を低下させるよ
うなこともなく、その結果、その分だけスペースが削減
でき洗浄４ｇを含む装置全体をコンパクト化することが
可能どなる優れた効果が秦される。

加えて、１１１１造が簡単であるため故障も少なく低コ
ストで製作できるという利点もある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の要旨を成す洗浄（四の全体正面図
、第２図は同側面図、第３図は同平面図、第４図はＵｆ
２送体の側断面図、第５図は同正断面図、第６図は同正
面図、第７図は同′平面図である。 ２・・・フレーム、　２４・・・ワーク、８・・・洗浄
槽、　１９・・・搬送体、４０・・・係止部、　２２・
・・旋回アーム、３１・・・基部、　２８・・・横ガイ
ド、４４・・・縦ガイド、　４２．４３・・・係合体出
願人　ソニック・フェロ−株式会社 ！ 一一旨一一−− 第６　口

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. フレームのワーク搬入側と搬出側との間にフレームに支
   持された複数の洗浄槽が配設され各洗浄槽とフレームの
   ワーク搬出入側との間にワークを各洗浄槽に搬送する搬
   送体が設けられている洗浄装置において、該搬送体が各
   洗浄槽に沿って移動自在にされると共にワークに対する
   係止部を有する旋回アームを備え、該旋回アームがその
   基部を搬送体の横ガイドに沿つてスライド自在に支持さ
   れると共にその一部に搬送体の縦ガイドに係合する係合
   体を有していることを特徴とする洗浄装置。