KR20060035976A - 핸들러 원격 제어가 가능한 반도체 소자의 검사 시스템 및그 작동방법 - Google Patents
핸들러 원격 제어가 가능한 반도체 소자의 검사 시스템 및그 작동방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (20)
- 반도체 소자를 검사할 수 있는 복수개의 테스터;상기 각각의 테스터와 GPIB 통신케이블을 통해 1:1로 연결되고 원격 제어되는 하나 이상의 핸들러;상기 복수개의 테스터에 연결되어 각각의 테스터로 검사 프로그램, 핸들러 원격제어 프로그램 및 핸들러 상태 점검 프로그램을 다운로드(download)할 수 있는 테스터 서버; 및상기 테스터와 상기 핸들러 사이에서 상기 GPIB 통신 케이블을 통해 송수신되는 통신 데이터로 이루어진 반도체 소자의 검사 시스템에 있어서,상기 통신 데이터는 반도체 소자의 전기적 검사를 위한 기본 통신 데이터, 핸들러 원격 제어를 위한 통신 데이터 및 핸들러 상태 점검을 위한 통신 데이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 핸들러 원격 제어가 가능한 반도체 소자의 검사 시스템.
- 제1항에 있어서,상기 통신 데이터의 핸들러 원격 제어를 위한 통신 데이터는 소크타임(soak time) 설정 데이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 핸들러 원격 제어가 가능한 반도체 소자의 검사 시스템.
- 제1항에 있어서,상기 통신 데이터의 핸들러 원격 제어를 위한 통신 데이터는 재검사(retest)에 대한 설정조건을 포함하는 것을 특징으로 하는 핸들러 원격 제어가 가능한 반도체 소자의 검사 시스템.
- 제1항에 있어서,상기 통신 데이터의 핸들러 원격 제어를 위한 통신 데이터는 검사온도 설정조건을 포함하는 것을 특징으로 하는 핸들러 원격 제어가 가능한 반도체 소자의 검사 시스템.
- 제1항에 있어서,상기 통신 데이터의 핸들러 원격 제어를 위한 통신 데이터는 카테고리 빈(category bin) 설정조건을 포함하는 것을 특징으로 하는 핸들러 원격 제어가 가능한 반도체 소자의 검사 시스템.
- 제1항에 있어서,상기 통신 데이터의 핸들러 원격 제어를 위한 통신 데이터는 로딩 타임(loading time) 설정조건을 포함하는 것을 특징으로 하는 핸들러 원격 제어가 가능한 반도체 소자의 검사 시스템.
- 제1항에 있어서,상기 통신 데이터의 핸들러 원격 제어를 위한 통신 데이터는 잔여 롯트(remnant lot)에 대한 조건을 포함하는 것을 특징으로 하는 핸들러 원격 제어가 가능한 반도체 소자의 검사 시스템.
- 제1항에 있어서,상기 통신 데이터의 핸들러 원격 제어를 위한 통신 데이터는 자동 검사 재시작(auto retest)에 대한 설정조건을 포함하는 것을 특징으로 하는 핸들러 원격 제어가 가능한 반도체 소자의 검사 시스템.
- 제1항에 있어서,상기 통신 데이터의 핸들러 원격 제어를 위한 통신 데이터는 재검사 온/오프(retest on/off)에 대한 설정조건을 포함하는 것을 특징으로 하는 핸들러 원격 제어가 가능한 반도체 소자의 검사 시스템.
- 제1항에 있어서,상기 통신 데이터의 핸들러 상태 점검을 위한 통신 데이터는 핸들러 잼 데이터(jam data)를 포함하는 것을 특징으로 하는 핸들러 원격 제어가 가능한 반도체 소자의 검사 시스템.
- 제1항에 있어서,상기 통신 데이터의 핸들러 상태 점검을 위한 통신 데이터는 핸들러의 에러 및 알람 데이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 핸들러 원격 제어가 가능한 반도체 소자의 검사 시스템.
- 제1항에 있어서,상기 통신 데이터의 핸들러 상태 점검을 위한 통신 데이터는 핸들러의 소팅 데이터(sorting data)를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 핸들러 원격 제어가 가능한 반도체 소자의 검사 시스템.
- 제12항에 있어서,상기 통신 데이터의 핸들러 상태 점검을 위한 통신 데이터는 핸들러의 온도 안정성(temperature stability) 데이터를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 핸들러 원격 제어가 가능한 반도체 소자의 검사 시스템.
- 테스터의 제어 콘솔(console)에서 테스터 서버에 있는 자료를 검색하여 검사하고자 하는 반도체 소자의 롯트 번호를 입력하는 단계;상기 검사하고자 하는 반도체 소자의 롯트에 적합한 검사 프로그램을 테스터 서버에서 테스터로 다운 로드하는 단계;상기 검사하고 하는 반도체 소자의 롯트에 적합한 핸들러 원격제어 프로그램 및 핸들러 상태 점검 프로그램을 테스터 서버에서 테스터로 다운 로드하는 단계;상기 핸들러 원격제어 프로그램으로 핸들러의 동작 조건을 원격으로 설정하는 단계; 및상기 검사 프로그램으로 반도체 소자에 대한 전기적 검사를 수행하면서 상기 핸들러 상태 점검 프로그램으로 핸들러 상태를 점검하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 핸들러 원격 제어가 가능한 반도체 소자의 검사 시스템의 작동방법.
- 제14항에 있어서,상기 핸들러와 테스터에서 핸들러 원격제어 프로그램 및 핸들러 상태 점검 프로그램의 데이터 송수신은 GPIB 통신 케이블을 통해 수행하는 것을 특징으로 하는 핸들러 원격 제어가 가능한 반도체 소자의 검사 시스템의 작동방법.
- 제14항에 있어서,상기 핸들러 원격제어는, 소크타임(soak time)을 설정하는 루틴(routine), 재검사(retest) 조건을 설정하는 루틴, 검사온도를 설정하는 루틴 및 카테고리 빈(category bin)을 설정하는 루틴을 포함하는 것을 특징으로 하는 핸들러 원격 제어가 가능한 반도체 소자의 검사 시스템의 작동방법.
- 제14항에 있어서,상기 핸들러 상태 점검을 위한 데이터가 들어있는 프로그램은 핸들러 잼 데이터를 출력하는 루틴, 핸들러 에러/알람 데이터를 출력하는 루틴, 핸들러 소팅 데이터(sorting data)를 출력하는 루틴 및 핸들러 온도 안정성 데이터를 출력하는 루틴을 포함하는 것을 특징으로 하는 핸들러 원격 제어가 가능한 반도체 소자의 검사 시스템의 작동방법.
- 제17항에 있어서,상기 핸들러 상태 점검을 위한 데이터는 반도체 소자에 대한 전기적 검사가 이루어지는 동안에 주기적으로 점검되는 것을 특징으로 하는 핸들러 원격 제어가 가능한 반도체 소자의 검사 시스템.
- 제17항에 있어서,상기 핸들러 상태 점검을 위한 데이터는 핸들러에서 문제 발생시 비주기적으로 핸들러에서 테스터로 데이터를 송신하는 것을 특징으로 하는 핸들러 원격 제어가 가능한 반도체 소자의 검사 시스템의 작동방법.
- 제14항에 있어서,상기 검사 프로그램으로 반도체 소자에 대한 전기적 검사를 수행하면서 상기 핸들러 상태 점검을 위한 데이터가 들어있는 프로그램으로 핸들러 상태를 점검하는 단계 후에,상기 테스터 서버가 상기 수집된 핸들러 상태 점검 데이터를 이용하여 데이터 베이스를 구축하는 단계를 더 진행하는 것을 특징으로 하는 핸들러 원격 제어가 가능한 반도체 소자의 검사 시스템의 작동방법.
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