JPH11344528A - Icテストシステム及びその通信方法 - Google Patents

Icテストシステム及びその通信方法

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Publication number
JPH11344528A
JPH11344528A JP10149962A JP14996298A JPH11344528A JP H11344528 A JPH11344528 A JP H11344528A JP 10149962 A JP10149962 A JP 10149962A JP 14996298 A JP14996298 A JP 14996298A JP H11344528 A JPH11344528 A JP H11344528A
Authority
JP
Japan
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handler
test
tester
stations
communication
Prior art date
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Application number
JP10149962A
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English (en)
Inventor
Kazutaka Hara
一隆 原
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Ando Electric Co Ltd
Original Assignee
Ando Electric Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明の課題はICハンドラステーション間
でデータ通信を行って同期をとることにより、ICテス
タとのデータ通信時間を短縮すると共に、同時テスト実
行用待ち時間を省略可能とするICテストシステムを提
供することである。 【解決手段】 マスタハンドラ2とスレーブハンドラ3
は、通信ケーブル6により接続されるため、お互いの状
態を通知し合う同期信号送信処理を行うことで相互の状
態を確認できる。このため、マスタハンドラ2は、スレ
ーブハンドラ3の状態に応じたGPIBインターフェイ
スの通信プロトコルにてICテスタ1とデータ通信を行
うことができる。また同様に、スレーブハンドラ3は、
マスタハンドラ2の状態に応じたGPIBインターフェ
イスの通信プロトコルにてICテスタ1とデータ通信を
行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ICテストシステ
ムに係り、詳細には、ICテスタとICハンドラステー
ション及び各機器を接続する接続ケーブルから構成され
るICテストシステム、及びその機器間の通信方法に関
する。
【0002】
【従来の技術】従来のICテストシステムの通信手法の
一例を図により説明する。図9に従来のICテストシス
テム20の模式図を示す。ICテストシステム20は、
ICテスタ21と、ICハンドラステーション22〜2
3と、前記ICテスタ21と前記ICハンドラステーシ
ョン22〜23をそれぞれ接続するGPIBケーブル2
4及び25から構成され、IC32個を同時に測定する
ことが可能である。
【0003】各機器間の通信方法には、コンピュータと
各種計測機器や周辺装置とを接続して制御することに広
く使われているIEEE(Institute of Electrical an
d Electronic Engineers)488規格のGPIB(Gene
ral Purpose Interface Bus)が用いられている。ま
た、ICテスタ21は、ICのテストを行う他、GPI
BのGPIBコントローラ(Controller)の機能を有
し、トーカ(talker)に対する送信権の制御を含む、バ
スの制御やICハンドラステーション22〜23とのデ
ータの送受信、及びコマンド送信を行う。ICハンドラ
ステーション22〜23は、ICをICトレーからIC
ソケットへ供給し、テスト後は、ICをICソケットか
らICトレーへ分類及び収容する他、GPIBのトーカ
及びリスナ(listener)の機能を有し、GPIBケーブ
ル24及び25を通じて、GPIBコントローラである
ICテスタ21とデータの送受信を行う。従ってICハ
ンドラステーション22とICハンドラステーション2
3間のデータ送受信は直接行うことはできず、ICテス
タ21を介して行われる。
【0004】このICテストシステム20に適用したG
PIBインターフェイスの通信プロトコルを図10に示
す。
【0005】図10を時系列順に説明する。ICハンド
ラステーション22は、ICソケットに被測定ICのセ
ットが完了したならば、ICテスタ21にテスト開始準
備完了サービスリクエスト「SRQ(100)o(オク
タル)」を送信する(ステップS901)。
【0006】「SRQ(100)o」を受信したICテ
スタ21は、シリアルポールを行い、ICハンドラステ
ーション22であることを認識し、ICハンドラステー
ション22に対して測定箇所情報を要求する"O"コマン
ドを送信する(ステップS902)。
【0007】"O"コマンドを受信したICハンドラステ
ーション22は、ICテスタ21からトーカ指定された
後に測定箇所情報を送信する(ステップS903)。
【0008】測定箇所情報を受信したICテスタ21
は、通信の誤り訂正のため受信した測定箇所情報を"E"
コマンドとして受信した内容をそのまま返信(エコーバ
ック)する(ステップS904)。
【0009】測定箇所情報のエコーバックを受信したI
Cハンドラステーション22は、その内容が先に送信し
た測定箇所情報と一致するか確認し、一致した場合には
測定開始要求サービスリクエスト「SRQ(101)
o」を送信する(ステップS905)。
【0010】次に、並列測定の場合はICハンドラステ
ーション23と、ICテスタ21間で、同様な通信処理
を行う(ステップS906〜ステップS910)。
【0011】ICハンドラステーション22及び23か
ら測定開始要求を受信したICテスタ21は、被測定I
Cのテストを実施する(ステップS911)。
【0012】テストが終了するとICテスタ21は、I
Cハンドラステーション22に対してテスト結果情報で
ある"C"コマンドを送信する(ステップS912)。
【0013】"C"コマンドを受信したICハンドラステ
ーション22は、通信の誤り訂正のため受信したテスト
結果情報をICテスタ21に送信するためのテスト結果
情報エコーバック要求サービスリクエスト「SRQ(1
20)o」を送信する(ステップS913)。
【0014】「SRQ(120)o」を受信したICテ
スタ21は、シリアルポールを行い、送信元であるIC
ハンドラステーション22に対してトーカを指定して、
測定結果情報エコーバック情報を取得する(ステップS
914)。
【0015】そして、ICテスタ21は、その内容が先
に送信した測定結果情報と一致するか確認し、一致した
場合にはインデックスコマンドである"Q"コマンドを送
信する(ステップS915)。
【0016】次に、ICテスタ21は、ICハンドラス
テーション23に対しても同様な通信処理を行う(ステ
ップS916〜ステップS919)。
【0017】従って、ICテストを開始するまでには、
ICテスタ21とそれぞれのICハンドラステーション
22〜23との間で、それぞれ5回のデータ送受信(2
往復半)を行うため、合計10回(2往復半×2)のデ
ータ通信時間が必要である。また、テスト結果を受信し
てインデックス動作を始めるまでには、合計8回(2往
復×2)のデータ通信時間が必要である。
【0018】次に、従来の2台のICハンドラステーシ
ョンでの並列測定の手順を図11のフローチャートを用
いて説明する。
【0019】ICテスタ21は、先に準備が整ったIC
ハンドラステーションからテストを開始するための情報
を受け取ると、もう一方のICハンドラステーションか
らもテスト開始要求が送信されたか判断し、両ICハン
ドラステーションのテスト開始が可能か判断(ステップ
S930)する。そして、2台のICハンドラステーシ
ョンからテスト開始要求が送信されるまで予め設定した
「パラレルウェイト時間」の間待機(ステップS93
1)し、ステップS930を繰り返す。
【0020】ICテスタ21は、「パラレルウェイト時
間」内に両方のICハンドラステーションからテスト開
始要求を受信した場合は、テストを開始するための情報
を前記通信プロトコルにより受け取って、両ICハンド
ラステーションに対応する両方のテスト用ヘッドを始動
して(ステップS934)、テストを開始する(ステッ
プS933)。
【0021】また、「パラレルウェイト時間」内に両方
のICハンドラステーションからテスト開始要求を受信
できなかった場合は、テスト開始要求を送信した片方の
ICハンドラステーションに対応するテスト用ヘッドを
始動して(ステップS932)、テストを開始する(ス
テップS933)。
【0022】しかし、JAM等何らかのアラーム中や、
試料が無くなった場合等で、「パラレルウェイト時間」
内に両方のICハンドラステーションからテスト開始要
求が送信されない場合も有り得る。その場合でも、片方
のICハンドラステーションのテスト開始準備は完了し
ているが、「パラレルウェイト時間」分だけ時間を消費
して片側のテストを実施していた。
【0023】
【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
ICテストシステムは、ICハンドラステーション間で
直接データ通信が行えなかったため、それぞれのICハ
ンドラステーション毎に、ICテスタと、テスト開始か
らテスト終了に係るデータ通信を各々行っており、デー
タ通信に大くの時間を要していた。また、ICテスタ
は、複数のICハンドラステーションに対して同時にテ
ストを実行するために、「パラレルウェイト時間」とい
う同時テスト実行用待ち時間を設定して同期をとってい
たため、ICハンドラステーション側の待ち時間が長く
なり、ICテストを開始するまでの待機時間を長引かせ
ていた。
【0024】本発明の課題はICハンドラステーション
間でデータ通信を行って同期をとることにより、ICテ
スタとのデータ通信時間を短縮すると共に、同時テスト
実行用待ち時間を省略可能とするICテストシステムを
提供することである。
【0025】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
被測定ICをテストするICテスタと、該ICテスタと
の間を所定の通信ケーブルを介して接続されて、ICテ
ストに関わる各種信号を所定の通信プロトコルにより該
ICテスタと送受信しながら、該ICテスタに前記被測
定ICをセットする複数のICハンドラステーション
と、から構成されたICテストシステムにおいて、前記
複数のICハンドラステーション間を所定の通信ケーブ
ルにより接続し、前記各ICハンドラステーションは、
自己のICテストに関わる準備状態を示す準備状態信号
を前記通信ケーブルを介して他のICハンドラステーシ
ョンに送信するとともに、当該他のICハンドラステー
ションから送信される準備状態信号を前記通信ケーブル
を介して受信する通信手段と、この通信手段により送信
された自己の準備状態信号と、前記他のICハンドラス
テーションから受信された他の準備状態信号とに基づい
て、自己と当該他の各ICハンドラステーションにおけ
る前記ICテストに関わる準備状態を、ICハンドラス
テーション相互間で確認する準備状態確認手段と、を備
え、前記通信手段は、前記準備状態確認手段によりIC
ハンドラステーション相互間で前記ICテストに関わる
自己あるいは他の準備状態が完了したことが確認される
と、当該準備完了状態を示す準備完了状態信号を前記I
Cテスタと接続された通信ケーブルを介して前記通信プ
ロトコルにより当該ICテスタに送信することを特徴と
している。
【0026】この請求項1記載の発明によれば、被測定
ICをテストするICテスタと、該ICテスタとの間を
所定の通信ケーブルを介して接続されて、ICテストに
関わる各種信号を所定の通信プロトコルにより該ICテ
スタと送受信しながら、該ICテスタに前記被測定IC
をセットする複数のICハンドラステーションと、から
構成されたICテストシステムにおいて、前記複数のI
Cハンドラステーション間は所定の通信ケーブルにより
接続され、前記各ICハンドラステーションは、通信手
段が、自己のICテストに関わる準備状態を示す準備状
態信号を前記通信ケーブルを介して他のICハンドラス
テーションに送信するとともに、当該他のICハンドラ
ステーションから送信される準備状態信号を前記通信ケ
ーブルを介して受信し、準備状態確認手段が、この通信
手段により送信された自己の準備状態信号と、前記他の
ICハンドラステーションから受信された他の準備状態
信号とに基づいて、自己と当該他の各ICハンドラステ
ーションにおける前記ICテストに関わる準備状態を、
ICハンドラステーション相互間で確認する。
【0027】また、前記通信手段は、前記準備状態確認
手段によりICハンドラステーション相互間で前記IC
テストに関わる自己あるいは他の準備状態が完了したこ
とが確認されると、当該準備完了状態を示す準備完了状
態信号を前記ICテスタと接続された通信ケーブルを介
して前記通信プロトコルにより当該ICテスタに送信す
る。
【0028】したがって、複数のICハンドラステーシ
ョン間は所定の通信ケーブルにより接続されているた
め、ICハンドラステーション相互間で、ICテストに
関わる自己あるいは他の準備状態を確認できる。また、
前記複数のICハンドラステーション全ての準備状態の
完了を確認し、ICテスタに準備完了状態を示す準備完
了状態信号をICテスタに送信することにより、ICテ
ストが実施される。このため、ICテスタは、全てのI
Cハンドラステーションの準備状態の完了を確認する必
要がなく、前記準備完了状態信号の受信後、直ちにIC
テストを実施できるため、ICテストに伴うデータ通信
時間を短縮することができる。
【0029】請求項2記載の発明は、請求項1記載のI
Cテストシステムにおいて、前記準備状態確認手段は、
前記準備状態信号に基づいて前記準備状態が完了したI
Cハンドラステーションを特定し、前記通信手段は、こ
の特定されたICハンドラステーションとの間で前記I
Cテストを開始するように前記通信プロトコルに基づく
テスト開始要求信号を前記ICテスタに送信することを
特徴としている。
【0030】また、請求項2記載の発明のように、請求
項1記載のICテストシステムにおいて、前記準備状態
確認手段は、前記準備状態信号に基づいて前記準備状態
が完了したICハンドラステーションを特定し、前記通
信手段は、この特定されたICハンドラステーションと
の間で前記ICテストを開始するように前記通信プロト
コルに基づくテスト開始要求信号を前記ICテスタに送
信することとしてもよい。
【0031】この請求項2記載の発明によれば、請求項
1記載の発明の効果に加えて、準備状態が完了したIC
ハンドラステーションが特定され、この特定されたIC
ハンドラステーションとの間でICテストを開始するよ
うにテスト開始要求信号がICテスタに送信されるた
め、準備状態が完了していないICハンドラステーショ
ンの準備完了を待つための待ち時間が必要なく、ICテ
ストに伴うデータ通信時間を更に短縮することができ
る。
【0032】請求項3記載の発明は、被測定ICをテス
トするICテスタと、該ICテスタに前記被測定ICを
セットする複数のICハンドラステーションとの間を所
定の通信ケーブルを介して接続し、該各ICハンドラス
テーション間を所定の通信ケーブルを介して接続したI
Cテストシステムにおいて、該ICテスタと該各ICハ
ンドラステーションとの間、及び該各ICハンドラステ
ーション間でICテストに関わる各種信号を所定の通信
プロトコルにより送受信するICテストシステムの通信
方法において、前記ICハンドラステーション相互間で
前記ICテストに関わる準備状態を示す準備状態信号を
当該ICハンドラステーション相互間に接続された前記
通信ケーブルを介して前記通信プロトコルにより送受信
する第1の通信ステップと、この第1の通信ステップに
より前記ICハンドラステーション相互間で前記ICテ
ストに関わる準備状態が完了したことが確認されると、
特定のICハンドラステーションから当該準備完了状態
を示す準備完了状態信号を前記ICテスタと接続された
通信ケーブルを介して前記通信プロトコルにより当該I
Cテスタに送信する第2の通信ステップと、を実行する
ことを特徴としている。
【0033】この請求項3記載の発明によれば、第1の
通信ステップは、前記ICハンドラステーション相互間
で前記ICテストに関わる準備状態を示す準備状態信号
を当該ICハンドラステーション相互間に接続された前
記通信ケーブルを介して前記通信プロトコルにより送受
信し、第2の通信ステップは、この第1の通信ステップ
により前記ICハンドラステーション相互間で前記IC
テストに関わる準備状態が完了したことが確認される
と、特定のICハンドラステーションから当該準備完了
状態を示す準備完了状態信号を前記ICテスタと接続さ
れた通信ケーブルを介して前記通信プロトコルにより当
該ICテスタに送信する。
【0034】したがって、ICハンドラステーション相
互間で、ICテストに関わる自己あるいは他の準備状態
を確認でき、また、ICテスタと各ICハンドラステー
ション間のデータ通信は、特定のICハンドラステーシ
ョンからの準備完了状態信号だけであるため、ICテス
タは、全てのICハンドラステーションの準備状態の完
了を確認する必要がなく、前記準備完了状態信号の受信
後、直ちにICテストを実施できるため、ICテストに
伴うデータ通信時間を短縮することができる。
【0035】請求項4記載の発明は、被測定ICをテス
トするICテスタと、該ICテスタに前記被測定ICを
セットする複数のICハンドラステーションとの間を所
定の通信ケーブルを介して接続し、該各ICハンドラス
テーション間を所定の通信ケーブルを介して接続したI
Cテストシステムにおいて、該ICテスタと該各ICハ
ンドラステーションとの間、及び該各ICハンドラステ
ーション間でICテストに関わる各種信号を所定の通信
プロトコルにより送受信するICテストシステムの通信
方法において、前記ICハンドラステーション相互間で
前記ICテストに関わる準備状態を示す準備状態信号を
当該ICハンドラステーション相互間に接続された前記
通信ケーブルを介して前記通信プロトコルにより送受信
する第1の通信ステップと、この第1の通信ステップに
より前記ICテストに関わる準備状態が完了した前記I
Cハンドラステーションが特定されると、この特定され
たICハンドラステーションから前記ICテストの開始
を要求するテスト開始要求信号を前記ICテスタと接続
された通信ケーブルを介して前記通信プロトコルにより
当該ICテスタに送信する第2の通信ステップと、を実
行することを特徴としている。
【0036】この請求項4記載の発明によれば、第1の
通信ステップは、前記ICハンドラステーション相互間
で前記ICテストに関わる準備状態を示す準備状態信号
を当該ICハンドラステーション相互間に接続された前
記通信ケーブルを介して前記通信プロトコルにより送受
信し、第2の通信ステップは、この第1の通信ステップ
により前記ICテストに関わる準備状態が完了した前記
ICハンドラステーションが特定されると、この特定さ
れたICハンドラステーションから前記ICテストの開
始を要求するテスト開始要求信号を前記ICテスタと接
続された通信ケーブルを介して前記通信プロトコルによ
り当該ICテスタに送信する。
【0037】したがって、準備状態が完了したICハン
ドラステーションが特定され、この特定されたICハン
ドラステーションとの間でICテストを開始するように
テスト開始要求信号がICテスタに送信されるため、準
備状態が完了していないICハンドラステーションの準
備完了を待つための待ち時間が必要なく、ICテストに
伴うデータ通信時間を短縮する通信方法を提供すること
ができる。
【0038】
【発明の実施の形態】以下、図1〜図8を参照して本発
明を適用したICテストシステムの実施の形態を詳細に
説明する。
【0039】まず構成を説明する。
【0040】本発明を適用したICテストシステム10
の構成を図1に示す。ICテストシステム10は、IC
テスタ1が各ICハンドラステーション2、3により供
給される被測定用ICを順次テストするシステムであ
り、ICテスタ1と、ICハンドラステーション2、3
と、前記ICテスタ1と前記ICハンドラステーション
2、3をそれぞれ接続するGPIBケーブル4及び5
と、前記ICハンドラステーション2と3とを接続する
信号ケーブル6と、から構成される。また、各機器間の
通信方法には、IEEE488規格のGPIBを用いて
おり、GPIBインターフェイスの通信プロトコルに
は、後述する基本GPIBインターフェイスと、高速G
PIBインターフェイスと、片側GPIBインターフェ
イスを用いている。
【0041】ICテスタ1は、ICのテストを行う他、
GPIBのGPIBコントローラの機能を有し、トーカ
に対する送信権の制御を含む、バスの制御やICハンド
ラステーション2、3とのデータの送受信、及びコマン
ド送信を行う。
【0042】ICハンドラステーション2、3は、図示
しないICトレーから図示しないICソケットへICを
供給し、ICテスタ1によるテスト完了後は、このIC
をICソケットからICトレーへ分類及び収容する他、
GPIBのトーカ及びリスナの機能を有し、GPIBケ
ーブル4及び5を通じて、GPIBコントローラである
ICテスタ1とデータの送受信を行う。
【0043】また、ICハンドラステーション2と3
は、信号ケーブル6により接続され、後述するICハン
ドラステーション2及び3自身のそれぞれの状態を示す
信号をお互いに送信し、相互の状態を確認する。ICハ
ンドラステーション2と、ICハンドラステーション3
との混同を避けるため、以降、ICハンドラステーショ
ン2をマスタハンドラ2と呼び、ICハンドラステーシ
ョン3をスレーブハンドラ3と呼ぶこととする。
【0044】次に、図2に信号ケーブル6の信号線の構
成を示し、各信号線を説明する。信号ケーブル6は32
本の信号線により構成され、マスタハンドラ2とスレー
ブハンドラ3を接続している。32本の信号線は、信号
線3001〜3016がマスタハンドラ2からスレーブ
ハンドラ3への通信用で、信号線3017〜3032が
スレーブハンドラ3からマスタハンドラ2への通信用に
使用される。
【0045】まず信号線3001〜3016を説明す
る。マスタハンドラ2は、マスタハンドラ2の状態が停
止中であれば、信号線3001に、信号レベルを"アク
ティブ"とする「停止中」の信号を送信する。同様に、
マスタハンドラ2は、ICの試料が無い状態であれば信
号線3002に、信号レベルを"アクティブ"とする「試
料無し中」の信号を送信し、テスト開始準備が完了して
いれば信号線3003に、信号レベルを"アクティブ"と
する「テスト開始準備完了」の信号を送信し、テスト終
了時であれば信号線3004に、信号レベルを"アクテ
ィブ"とする「テスト終了」の信号を送信し、ICテス
ト動作をスレーブハンドラ3と同期を取らずにマスタハ
ンドラ2のみで行いたい場合には、信号線3005に、
信号レベルを"アクティブ"とする「独立動作要求」の信
号を送信する。また、信号線3006〜3016は予備
とし、本実施の形態では使用しない。
【0046】次に信号線3017〜3032を説明す
る。スレーブハンドラ3は、スレーブハンドラ3のIC
テスト状態が停止中であれば信号線3017に、信号レ
ベルを"アクティブ"とする「停止中」の信号を送信す
る。同様に、スレーブハンドラ3は、ICの試料が無い
状態であれば信号線3018に、信号レベルを"アクテ
ィブ"とする「試料無し中」の信号を送信し、テスト開
始準備が完了していれば信号線3019に、信号レベル
を"アクティブ"とする「テスト開始準備完了」の信号を
送信し、テスト終了時であれば信号線3020に、信号
レベルを"アクティブ"とする「テスト終了」の信号を送
信し、ICテスト動作をマスタハンドラ2と同期を取ら
ずにスレーブハンドラ3のみで行いたい場合には、信号
線3021に、信号レベルを"アクティブ"とする「独立
動作要求」の信号を送信する。また、信号線3022〜
3032は予備とし、本実施の形態では使用しない。
【0047】次に動作を説明する。
【0048】図3に、ICテストシステム10に適用し
た基本GPIBインターフェイスの通信プロトコルを示
す。なお、後述するが、ICテストの最初の1回目は、
必ずこの基本GPIBインターフェイスを用いてデータ
通信を行う。
【0049】図3を時系列順に説明する。マスタハンド
ラ2は、ICソケットに被測定ICのセットが完了した
ならば、ICテスタ1にテスト開始準備完了サービスリ
クエスト「SRQ(100)o」を送信する(ステップ
S201)。
【0050】「SRQ(100)o」を受信したICテ
スタ1は、シリアルポールを行い、マスタハンドラ2で
あることを認識し、マスタハンドラ2に対して測定箇所
情報を要求する"O"コマンドを送信する(ステップS2
02)。
【0051】"O"コマンドを受信したマスタハンドラ2
は、ICテスタ1からトーカ指定された後に測定箇所情
報を送信する(ステップS203)。
【0052】測定箇所情報を受信したICテスタ1は、
通信の誤り訂正のため受信した測定箇所情報を"E"コマ
ンドとして受信した内容をそのまま返信(エコーバッ
ク)する(ステップS204)。
【0053】測定箇所情報のエコーバックを受信したマ
スタハンドラ2は、その内容が先に送信した測定箇所情
報と一致するか確認し、一致した場合には測定開始要求
サービスリクエスト「SRQ(101)o」を送信する
(ステップS205)。
【0054】次に、並列測定の場合はスレーブハンドラ
3と、ICテスタ1間で、同様な通信処理を行う(ステ
ップS206〜ステップS210)。
【0055】マスタハンドラ2及びスレーブハンドラ3
から測定開始要求を受信したICテスタ1は、被測定I
Cのテストを実施する(ステップS211)。
【0056】テストが終了するとICテスタ1は、マス
タハンドラ2に対してテスト結果情報である"C"コマン
ドを送信する(ステップS212)。
【0057】"C"コマンドを受信したマスタハンドラ2
は、通信の誤り訂正のため受信したテスト結果情報をI
Cテスタ1に送信するためのテスト結果情報エコーバッ
ク要求サービスリクエスト「SRQ(120)o」を送
信する(ステップS213)。
【0058】「SRQ(120)o」を受信したICテ
スタ1は、シリアルポールを行い、送信元であるマスタ
ハンドラ2に対してトーカを指定して、測定結果情報エ
コーバック情報を取得する(ステップS214)。
【0059】そして、ICテスタ1は、その内容が先に
送信した測定結果情報と一致するか確認し、一致した場
合にはインデックスコマンドである"Q"コマンドを送信
する(ステップS215)。
【0060】次に、ICテスタ1は、スレーブハンドラ
3に対しても同様な通信処理を行う(ステップS216
〜ステップS219)。
【0061】以上の通り、基本GPIBインターフェイ
スの通信プロトコルは従来のGPIBインターフェイス
の通信プロトコルと同一である。また、ICテストの最
初の1回目を、この基本GPIBインターフェイスを用
いてデータ通信した後は、マスタハンドラ2とスレーブ
ハンドラ3の間で、後述する同期信号送信処理を行い、
マスタハンドラ2及びスレーブハンドラ3が後述する通
信プロトコル選択処理を行って、当該GPIBインター
フェイスの通信プロトコルにてデータ通信を行い、IC
テストを実施する。
【0062】次に、このマスタハンドラ2とスレーブハ
ンドラ3で行う同期信号送信処理のフローチャートを図
4に示し、その動作を説明する。また、この同期信号の
送信は、マスタハンドラ2及びスレーブハンドラ3共に
同じ動作であるため、マスタハンドラ2について説明
し、スレーブハンドラ3についての説明は省略する。
【0063】まず、マスタハンドラ2は、マスタハンド
ラ2が停止中の場合(ステップS301)、信号ケーブ
ル6の当該「停止中」信号を"アクティブ"にする(ステ
ップS302)。マスタハンドラ2は、停止中でなくI
Cの試料が無い状態であれば(ステップS303)、当
該「試料無し中」信号を"アクティブ"にする(ステップ
S304)。次に、マスタハンドラ2はICソケットに
被測定用ICのセットが完了し(ステップS305)、
ICソケットが前回のICテストと同一場所であれば
(ステップS306)、当該「テスト開始準備完了」信
号を"アクティブ"にする(ステップS307)。被測定
用ICのセットが完了していなければ(ステップS30
5)、ステップS301に戻り、またICソケットが前
回のICテストと同一場所でなければ(ステップS30
6)、当該「独立動作要求」信号を"アクティブ"にする
(ステップS308)。
【0064】さらに、マスタハンドラ2は、ステップS
307及びステップS308の後、ICテストが終了す
るまで待機し(ステップS309)、ICテストが終了
すると、当該「テスト終了」信号を"アクティブ"にし
(ステップS310)、ステップS301に戻る。
【0065】また、この同期信号送信処理を終了する場
合は、停止中であるステップS301の状態か、もしく
はIC全てのテストを終了し、試料が無くなったステッ
プS302のどちらかの状態で終了する。
【0066】次に、図5に、マスタハンドラ2による通
信プロトコル選択処理のフローチャートを示し、このフ
ローチャートについて説明する。マスタハンドラ2は、
ICテストを開始する最初の1回目のみ、前記基本GP
IBインターフェイスを用いてICテスタ1とデータ通
信を行うが、2回目以降は、このフローチャートに従っ
てICテスタ1とデータ通信を行う。また、この通信プ
ロトコル選択処理は、IC1つずつをテストする度にマ
スタハンドラ2が実行し、2回目以降の全ての被測定用
ICに適用する。
【0067】まず、マスタハンドラ2は、被測定用IC
のテスト開始準備完了後、信号ケーブル6の当該「テス
ト開始準備完了」信号を"アクティブ"にし、スレーブハ
ンドラ3に同期を取ってICテストを実施する準備が整
った旨の信号を送信し(ステップS401)、スレーブ
ハンドラ3の状態を信号ケーブル6の当該信号線により
以下の通り確認する。
【0068】マスタハンドラ2は、スレーブハンドラ3
の当該「テスト開始準備完了」信号が"アクティブ"であ
るか確認し(ステップS402)、"アクティブ"であれ
ば、後述する高速GPIBインターフェイスにてICテ
スタ1とデータ通信を行って、ICテスタ1はテストを
実施する(ステップS403)。当該「テスト開始準備
完了」信号が"アクティブ"でなければ、スレーブハンド
ラ3の当該「独立動作要求」信号が"アクティブ"である
か確認し(ステップS404)、"アクティブ"であれ
ば、基本GPIBインターフェイスにてICテスタ1と
データ通信を行って、ICテスタ1はテストを実施する
(ステップS405)。
【0069】また、マスタハンドラ2は、スレーブハン
ドラ3の当該「独立動作要求」信号が"アクティブ"でな
ければ、スレーブハンドラ3の当該「停止中」信号が"
アクティブ"であるか確認し(ステップS406)、"ア
クティブ"であれば、後述する片側GPIBインターフ
ェイスにてICテスタ1とデータ通信を行って、ICテ
スタ1はテストを実施する(ステップS407)。当該
「停止中」信号が"アクティブ"でなければ、スレーブハ
ンドラ3の当該「試料無し中」信号が"アクティブ"であ
るか確認し(ステップS408)、"アクティブ"であれ
ば、片側GPIBインターフェイスにてICテスタ1と
データ通信を行って、ICテスタ1はテストを実施する
(ステップS409)。
【0070】また、マスタハンドラ2は、スレーブハン
ドラ3の当該「試料無し中」信号が"アクティブ"でなけ
れば、予め設定した「パラレルウェイト時間」内である
か確認し(ステップS410)、「パラレルウェイト時
間」内であればステップS402に戻る。「パラレルウ
ェイト時間」を越えた場合は、マスタハンドラ2は、基
本GPIBインターフェイスにてICテスタ1とデータ
通信を行って、ICテスタ1はテストを実施する(ステ
ップS411)。
【0071】マスターハンドラ2は、以上の処理を全て
のICに対して、繰り返し行うことにより、当該GPI
Bインターフェイスの通信プロトコルにてICテスタ1
とのデータ通信を行い、全てのICのテストが実施され
る。
【0072】次に、図6に、スレーブハンドラ3による
通信プロトコル選択処理のフローチャートを示し、この
フローチャートについて説明する。スレーブハンドラ3
は、ICテストを開始する最初の1回目のみ、前記基本
GPIBインターフェイスを用いてICテスタ1とデー
タ通信を行うが、2回目以降は、このフローチャートに
従ってICテスタ1とデータ通信を行う。また、この通
信プロトコル選択処理は、IC1つずつをテストする度
にスレーブハンドラ3が実行し、2回目以降の全ての被
測定用ICに適用する。
【0073】まず、スレーブハンドラ3は、被測定用I
Cのテスト開始準備完了後、信号ケーブル6の当該「テ
スト開始準備完了」信号を"アクティブ"にし、マスタハ
ンドラ2に同期を取ってICテストを実施する準備が整
った旨の信号を送信し(ステップS501)、マスタハ
ンドラ2の状態を信号ケーブル6の当該信号線により以
下の通り確認する。
【0074】スレーブハンドラ3は、マスタハンドラ2
の当該「テスト開始準備完了」信号が"アクティブ"であ
るか確認し(ステップS502)、"アクティブ"であれ
ば、マスタハンドラ2が高速GPIBインターフェイス
にてICテスタ1とデータ通信を行って、テストが実施
されると判断し、スレーブハンドラ3は特に何も行わな
い(ステップS503)。
【0075】次に、スレーブハンドラ3は、マスタハン
ドラ2の当該「テスト開始準備完了」信号が"アクティ
ブ"でなければ、マスタハンドラ2の当該「独立動作要
求」信号が"アクティブ"であるか確認し(ステップS5
04)、"アクティブ"であれば、基本GPIBインター
フェイスにてICテスタ1とデータ通信を行って、IC
テスタ1はテストを実施する(ステップS505)。
【0076】また、スレーブハンドラ3は、マスタハン
ドラ2の当該「独立動作要求」信号が"アクティブ"でな
ければ、マスタハンドラ2の当該「停止中」信号が"ア
クティブ"であるか確認し(ステップS506)、"アク
ティブ"であれば、後述する片側GPIBインターフェ
イスにてICテスタ1とデータ通信を行って、ICテス
タ1はテストを実施する(ステップS507)。当該
「停止中」信号が"アクティブ"でなければ、マスタハン
ドラ2の当該「試料無し中」信号が"アクティブ"である
か確認し(ステップS508)、"アクティブ"であれ
ば、片側GPIBインターフェイスにてICテスタ1と
データ通信を行って、ICテスタ1はテストを実施する
(ステップS509)。
【0077】また、スレーブハンドラ3は、マスタハン
ドラ2の当該「試料無し中」信号が"アクティブ"でなけ
れば、予め設定した「パラレルウェイト時間」内である
か確認し(ステップS510)、「パラレルウェイト時
間」内であればステップS502に戻る。「パラレルウ
ェイト時間」を越えた場合は、スレーブハンドラ3は、
基本GPIBインターフェイスにてICテスタ1とデー
タ通信を行って、ICテスタ1はテストを実施する(ス
テップS511)。
【0078】スレーブハンドラ3は、以上の処理を全て
のICに対して、繰り返し行うことにより、当該GPI
Bインターフェイスの通信プロトコルにてICテスタ1
とのデータ通信を行い、全てのICのテストが実施され
る。
【0079】次に、図7に高速GPIBインターフェイ
スの通信プロトコルを示し、時系列順に説明する。この
高速GPIBインターフェイスは、マスタハンドラ2と
スレーブハンドラ3が共にICテスト開始可能である場
合に行われるデータ通信である。
【0080】まず、マスタハンドラ2は、ICテスタ1
に高速テスト開始準備完了サービスリクエスト「SRQ
(102)o」を送信する(ステップS601)。
【0081】「SRQ(102)o」を受信したICテ
スタ1は、直ちにテストを開始する(ステップS60
2)。テストを実施するICソケットは、マスタハンド
ラ2及びスレーブハンドラ3共に同一場所である。
【0082】ICテスタ1は、テスト終了後、マスタハ
ンドラ2に高速テスト完了"F"コマンドを送信する(ス
テップS603)。マスタハンドラ2は"F"コマンドを
受信すると、スレーブハンドラ3にテスト終了した旨、
信号ケーブル6の当該「テスト終了」信号を"アクティ
ブ"にして通知し、マスタハンドラ2及びスレーブハン
ドラ3共に、直ちに、次のICテスト用のインデックス
動作を行う。
【0083】ICテスタ1は、"F"コマンド送信後、マ
スタハンドラ2の高速ICテスト結果情報"G"コマンド
をマスタハンドラ2に送信する(ステップS604)と
共に、スレーブハンドラ3の高速ICテスト結果情報"
G"コマンドをスレーブハンドラ3に送信する(ステッ
プS605)。
【0084】この"G"コマンドにはパリティ符号(CR
C値)が付加されているため、エコーバックを行う必要
はない。また、この"G"コマンドはマスタハンドラ2及
びスレーブハンドラ3のインデックス動作中に通信完了
できれば良く、インデックス動作には数秒間必要である
ため、インデックス動作中に"G"コマンドの送信から受
信に係る処理は十分に行うことができる。
【0085】次に、図8に片側GPIBインターフェイ
スの通信プロトコルを示し、時系列順に説明する。この
片側GPIBインターフェイスは、マスタハンドラ2、
あるいはスレーブハンドラ3のどちらか一方に対するI
Cテストを実施する時に使用され、それぞれの処理は同
一であるため、ここではマスタハンドラ2について説明
し、スレーブハンドラ3についての説明を省略する。
【0086】まず、マスタハンドラ2は、ICテスタ1
にテスト開始準備完了サービスリクエスト「SRQ(1
00)o」を送信する(ステップS701)。
【0087】「SRQ(100)o」を受信したICテ
スタ1は、シリアルポールを行い、マスタハンドラ2で
あることを認識し、マスタハンドラ2に対して測定箇所
情報を要求する"O"コマンドを送信する(ステップS7
02)。
【0088】"O"コマンドを受信したマスタハンドラ2
は、ICテスタ1からトーカ指定された後に測定箇所情
報を送信する(ステップS703)。
【0089】測定箇所情報を受信したICテスタ1は、
通信の誤り訂正のため受信した測定箇所情報を"E"コマ
ンドとして受信した内容をエコーバックする(ステップ
S704)。
【0090】測定箇所情報のエコーバックを受信したマ
スタハンドラ2は、その内容が先に送信した測定箇所情
報と一致するか確認し、一致した場合には片側測定開始
要求サービスリクエスト「SRQ(103)o」を送信
する(ステップS705)。
【0091】そして、「SRQ(103)o」を受信し
たICテスタ1は、マスタハンドラ2のICテストを直
ちに実施する(ステップ706)。テストが終了すると
ICテスタ1は、マスタハンドラ2に対してテスト結果
情報である"C"コマンドを送信する(ステップS70
7)。
【0092】"C"コマンドを受信したマスタハンドラ2
は、テスト結果情報エコーバック要求サービスリクエス
ト「SRQ(120)o」を送信する(ステップS70
8)。
【0093】「SRQ(120)o」を受信したICテ
スタ1は、シリアルポールを行い、送信元であるマスタ
ハンドラ2に対してトーカを指定して、測定結果情報エ
コーバック情報を取得する(ステップS709)。
【0094】そして、ICテスタ1は、その内容が先に
送信した測定結果情報と一致するか確認し、一致した場
合にはインデックスコマンドである"Q"コマンドを送信
し(ステップS710)、これを受信したマスタハンド
ラ2は、直ちに次のICテスト用のインデックス動作を
行う。
【0095】以上のように、図1に示した本実施の形態
のICテストシステム1において、マスタハンドラ2と
スレーブハンドラ3は、通信ケーブル6により接続され
るため、お互いの状態を通知し合う同期信号送信処理を
行うことで、相互の状態を確認できる。このため、マス
タハンドラ2は、スレーブハンドラ3の状態に応じたG
PIBインターフェイスの通信プロトコルを選択でき、
当該通信プロトコルにてICテスタ1とデータ通信を行
うことで、ICテスタ1はICのテストを実行すること
ができる。また同様に、スレーブハンドラ3は、マスタ
ハンドラ2の状態に応じたGPIBインターフェイスの
通信プロトコルを選択でき、当該通信プロトコルにてI
Cテスタ1とデータ通信を行うことで、ICテスタ1は
ICのテストを実行することができる。
【0096】従って、マスタハンドラ2とスレーブハン
ドラ3のそれぞの状態に応じたデータ通信が可能とな
り、同期を取って、ICテストを即時同時に実行するこ
とが可能である他、同時実行できない状態であれば、一
方のみでICテストを実行することができ、パラレルウ
ェイト時間という同時テスト実行用待ち時間を省略する
ことができる。
【0097】また、このGPIBインターフェイスの通
信プロトコルの内、高速GPIBインターフェイスで
は、ICテストを開始するまでのデータ通信回数は、I
Cテスタ1とマスタハンドラ2との間で行う1回のみで
あり、従来の通信プロトコルの10回から大幅な削減を
実現できる。また、テスト結果を受信してインデックス
動作を始めるまでのデータ通信回数は、ICテスタ1と
マスタハンドラ2との間で行う2回と、ICテスタ1と
スレーブハンドラ3との間で行う1回との合計3回であ
り、従来の通信プロトコルの8回から大幅な削減を実現
できる。また、通信時間で考えた場合は、従来約2秒程
度要していたデータ通信が、本発明を適用することによ
り、約0.2秒程度に短縮することが可能である。
【0098】また、片側GPIBインターフェイスは、
マスタハンドラ2あるいはスレーブハンドラ3のどちら
か一方でICテストを行う通信プロトコルであるが、同
時テスト実行用待ち時間であるパラレルウェイト時間が
必要でないため、従来約10秒程度要していたこの待ち
時間を省略することができる。
【0099】なお、本発明は上記実施の形態の内容に限
定されるものではなく、ICハンドラステーションを3
台以上としても良く、その場合は相互のICハンドラス
テーション間を通信ケーブルで接続する、あるいは、同
一LANに接続し、相互のICハンドラステーションの
状態を確認できるようにすることで、複数台のICハン
ドラステーションに対応することが可能である。
【0100】また、基本GPIBインターフェイスおよ
び片側GPIBインターフェイスのテスト結果情報"C"
コマンドを、パリティ符号(CRC値)が付加されてい
る高速テスト結果情報"G"コマンドとし、エコーバック
を省略することとしても良く、その場合は、ICテスタ
1との通信時間をより短縮させることができる。
【0101】
【発明の効果】請求項1記載の発明によれば、複数のI
Cハンドラステーション間は所定の通信ケーブルにより
接続されているため、ICハンドラステーション相互間
で、ICテストに関わる自己あるいは他の準備状態を確
認できる。また、前記複数のICハンドラステーション
全ての準備状態の完了を確認し、ICテスタに準備完了
状態を示す準備完了状態信号をICテスタに送信するこ
とにより、ICテストが実施される。このため、ICテ
スタは、全てのICハンドラステーションの準備状態の
完了を確認する必要がなく、前記準備完了状態信号の受
信後、直ちにICテストを実施できるため、ICテスト
に伴うデータ通信時間を短縮することができる。
【0102】請求項2記載の発明によれば、請求項1記
載の発明の効果に加えて、準備状態が完了したICハン
ドラステーションが特定され、この特定されたICハン
ドラステーションとの間でICテストを開始するように
テスト開始要求信号がICテスタに送信されるため、準
備状態が完了していないICハンドラステーションの準
備完了を待つための待ち時間が必要なく、ICテストに
伴うデータ通信時間を更に短縮することができる。
【0103】請求項3記載の発明によれば、ICハンド
ラステーション相互間で、ICテストに関わる自己ある
いは他の準備状態を確認でき、また、ICテスタと各I
Cハンドラステーション間のデータ通信は、特定のIC
ハンドラステーションからの準備完了状態信号だけであ
るため、ICテスタは、全てのICハンドラステーショ
ンの準備状態の完了を確認する必要がなく、前記準備完
了状態信号の受信後、直ちにICテストを実施できるた
め、ICテストに伴うデータ通信時間を短縮することが
できる。
【0104】請求項4記載の発明によれば、準備状態が
完了したICハンドラステーションが特定され、この特
定されたICハンドラステーションとの間でICテスト
を開始するようにテスト開始要求信号がICテスタに送
信されるため、準備状態が完了していないICハンドラ
ステーションの準備完了を待つための待ち時間が必要な
く、ICテストに伴うデータ通信時間を短縮する通信方
法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用した本実施の形態のICテストシ
ステム10の構成を示す図。
【図2】信号ケーブル6の信号線の構成を示す図。
【図3】基本GPIBインターフェイスの通信プロトコ
ルを示す図。
【図4】マスタハンドラ2及びスレーブハンドラ3によ
り実行される同期信号送信処理を示すフローチャート。
【図5】マスタハンドラ2により実行される通信プロト
コル選択処理を示すフローチャート。
【図6】スレーブハンドラ3により実行される通信プロ
トコル選択処理を示すフローチャート。
【図7】高速GPIBインターフェイスの通信プロトコ
ルを示す図。
【図8】片側GPIBインターフェイスの通信プロトコ
ルを示す図。
【図9】従来のICテストシステム20の構成を示す
図。
【図10】従来のICテストシステム20に用いられる
GPIBインターフェイスの通信プロトコルを示す図。
【図11】従来のICテストシステム20のICテスト
手順を示すフローチャート。
【符号の説明】
1 ICテスタ 2 ICハンドラステーション(マスタハンド
ラ) 3 ICハンドラステーション(スレーブハンド
ラ) 4、5 GPIBケーブル 6 信号ケーブル 3001〜3032 信号線 10 ICテストシステム

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】被測定ICをテストするICテスタと、該
    ICテスタとの間を所定の通信ケーブルを介して接続さ
    れて、ICテストに関わる各種信号を所定の通信プロト
    コルにより該ICテスタと送受信しながら、該ICテス
    タに前記被測定ICをセットする複数のICハンドラス
    テーションと、から構成されたICテストシステムにお
    いて、 前記複数のICハンドラステーション間を所定の通信ケ
    ーブルにより接続し、 前記各ICハンドラステーションは、 自己のICテストに関わる準備状態を示す準備状態信号
    を前記通信ケーブルを介して他のICハンドラステーシ
    ョンに送信するとともに、当該他のICハンドラステー
    ションから送信される準備状態信号を前記通信ケーブル
    を介して受信する通信手段と、 この通信手段により送信された自己の準備状態信号と、
    前記他のICハンドラステーションから受信された他の
    準備状態信号とに基づいて、自己と当該他の各ICハン
    ドラステーションにおける前記ICテストに関わる準備
    状態を、ICハンドラステーション相互間で確認する準
    備状態確認手段と、を備え、 前記通信手段は、前記準備状態確認手段によりICハン
    ドラステーション相互間で前記ICテストに関わる自己
    あるいは他の準備状態が完了したことが確認されると、
    当該準備完了状態を示す準備完了状態信号を前記ICテ
    スタと接続された通信ケーブルを介して前記通信プロト
    コルにより当該ICテスタに送信することを特徴とする
    ICテストシステム。
  2. 【請求項2】前記準備状態確認手段は、前記準備状態信
    号に基づいて前記準備状態が完了したICハンドラステ
    ーションを特定し、 前記通信手段は、この特定されたICハンドラステーシ
    ョンとの間で前記ICテストを開始するように前記通信
    プロトコルに基づくテスト開始要求信号を前記ICテス
    タに送信することを特徴とする請求項1記載のICテス
    トシステム。
  3. 【請求項3】被測定ICをテストするICテスタと、該
    ICテスタに前記被測定ICをセットする複数のICハ
    ンドラステーションとの間を所定の通信ケーブルを介し
    て接続し、該各ICハンドラステーション間を所定の通
    信ケーブルを介して接続したICテストシステムにおい
    て、該ICテスタと該各ICハンドラステーションとの
    間、及び該各ICハンドラステーション間でICテスト
    に関わる各種信号を所定の通信プロトコルにより送受信
    するICテストシステムの通信方法において、 前記ICハンドラステーション相互間で前記ICテスト
    に関わる準備状態を示す準備状態信号を当該ICハンド
    ラステーション相互間に接続された前記通信ケーブルを
    介して前記通信プロトコルにより送受信する第1の通信
    ステップと、 この第1の通信ステップにより前記ICハンドラステー
    ション相互間で前記ICテストに関わる準備状態が完了
    したことが確認されると、特定のICハンドラステーシ
    ョンから当該準備完了状態を示す準備完了状態信号を前
    記ICテスタと接続された通信ケーブルを介して前記通
    信プロトコルにより当該ICテスタに送信する第2の通
    信ステップと、 を実行することを特徴とするICテストシステムにおけ
    る通信方法。
  4. 【請求項4】被測定ICをテストするICテスタと、該
    ICテスタに前記被測定ICをセットする複数のICハ
    ンドラステーションとの間を所定の通信ケーブルを介し
    て接続し、該各ICハンドラステーション間を所定の通
    信ケーブルを介して接続したICテストシステムにおい
    て、該ICテスタと該各ICハンドラステーションとの
    間、及び該各ICハンドラステーション間でICテスト
    に関わる各種信号を所定の通信プロトコルにより送受信
    するICテストシステムの通信方法において、 前記ICハンドラステーション相互間で前記ICテスト
    に関わる準備状態を示す準備状態信号を当該ICハンド
    ラステーション相互間に接続された前記通信ケーブルを
    介して前記通信プロトコルにより送受信する第1の通信
    ステップと、 この第1の通信ステップにより前記ICテストに関わる
    準備状態が完了した前記ICハンドラステーションが特
    定されると、この特定されたICハンドラステーション
    から前記ICテストの開始を要求するテスト開始要求信
    号を前記ICテスタと接続された通信ケーブルを介して
    前記通信プロトコルにより当該ICテスタに送信する第
    2の通信ステップと、 を実行することを特徴とするICテストシステムにおけ
    る通信方法。
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