KR20050122090A - 분리형 진공 챔버 - Google Patents

분리형 진공 챔버 Download PDF

Info

Publication number
KR20050122090A
KR20050122090A KR1020040047243A KR20040047243A KR20050122090A KR 20050122090 A KR20050122090 A KR 20050122090A KR 1020040047243 A KR1020040047243 A KR 1020040047243A KR 20040047243 A KR20040047243 A KR 20040047243A KR 20050122090 A KR20050122090 A KR 20050122090A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
plate
lower plate
chamber
protrusion
vacuum chamber
Prior art date
Application number
KR1020040047243A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100710599B1 (ko
Inventor
이영종
최준영
조생현
Original Assignee
주식회사 에이디피엔지니어링
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 에이디피엔지니어링 filed Critical 주식회사 에이디피엔지니어링
Priority to KR1020040047243A priority Critical patent/KR100710599B1/ko
Priority to TW094105324A priority patent/TWI274978B/zh
Priority to US11/064,270 priority patent/US20050183824A1/en
Priority to CN2007101384511A priority patent/CN101101863B/zh
Priority to CNB2005100087491A priority patent/CN100401338C/zh
Publication of KR20050122090A publication Critical patent/KR20050122090A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100710599B1 publication Critical patent/KR100710599B1/ko
Priority to US12/358,752 priority patent/US8506711B2/en

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32431—Constructional details of the reactor
    • H01J37/32458—Vessel
    • H01J37/32513—Sealing means, e.g. sealing between different parts of the vessel
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32431—Constructional details of the reactor
    • H01J37/32798—Further details of plasma apparatus not provided for in groups H01J37/3244 - H01J37/32788; special provisions for cleaning or maintenance of the apparatus
    • H01J37/3288—Maintenance
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
    • H01L21/6719—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the construction of the processing chambers, e.g. modular processing chambers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

본 발명은 평판 디스플레이 패널 제조 장치의 분리형 진공 챔버에 관한 것으로, 특히 밀봉 부재를 벽판과 상부판 및 하부판 사이에 설치하지 않고, 상기 벽판에 돌출부를 형성시키고 상기 돌출부와 상기 상부판 및 하부판에 이중의 밀봉부재를 설치하여 소모성의 상기 밀봉 부재를 간편하게 교체하는데 적당하도록 한 분리형 진공 챔버에 관한 것이다.
본 발명의 분리형 진공 챔버는, 평판 디스플레이 패널 제조 장치의 분리형 진공 챔버에 있어서, 상기 챔버의 상부를 이루는 상부판과, 상기 상부판과 대면하여 챔버의 하부를 이루는 하부판과, 상기 상부판 및 하부판에 양 끝단이 결합되어 내부 밀폐 공간을 형성하되, 상기 하부판에 연결되는 끝단에만 상기 하부판과 소정의 단차를 만들기 위하여 챔버 내측 둘레 방향을 따라 돌출 형성된 돌출부를 갖는 벽판과, 상기 챔버 내측 둘레 방향을 따라 상기 하부판에 연결되는 상기 벽판의 끝단에 형성된 돌출부 상부 및 상기 하부판에 배치되는 커버부재와, 상기 돌출부 상부 및 상기 하부판과 상기 커버부재 사이에 개재되어 내부를 외부와 차단하는 밀봉 부재를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

Description

분리형 진공 챔버{vacuum chamber}
본 발명은 평판 디스플레이 패널 제조 장치의 분리형 진공 챔버에 관한 것으로, 특히 밀봉 부재를 벽판과 상부판 및 하부판 사이에 설치하지 않고, 상기 벽판에 돌출부를 형성시키고 상기 돌출부와 상기 상부판 및 하부판에 이중의 밀봉부재를 설치하여 소모성의 상기 밀봉 부재를 간편하게 교체하는데 적당하도록 한 분리형 진공 챔버에 관한 것이다.
평판 디스플레이 패널을 제조함에 있어 기판이 대면적 또는 대형화됨에 따라, 상기 기판을 처리하는 진공 챔버도 초대형으로 제작될 필요성이 있다. 그런데 상기 진공 챔버를 일체형 구조로 제작하기에는 원자재 생산과 제작상의 문제점으로 인하여 어려움이 있다. 따라서, 상기 진공 챔버는 유지 보수의 용이성을 확보하기 위하여 분리된 구조물을 결합하여 완성되는 것이 일반적이다.
이하, 종래의 평판 디스플레이 패널 제조 장치의 진공 챔버에 관한 구조와, 상기 구조에 의하여 발생되는 관련된 문제점을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 1은 종래 진공 챔버의 정면도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 진공 챔버(10)는, 챔버(10)의 상부를 이루는 상부판(12)과, 상기 상부판과 대면하여 챔버의 하부를 이루는 하부판(11)과, 상기 상부판 및 하부판에 양 끝단이 결합되는 벽판(13)과, 상기 벽판의 끝단과 하부판 사이와 상기 벽판의 끝단과 상기 상부판 사이에 설치되는 밀봉 부재(14, 15)를 포함하여 이루어져 있다.
한편, 상기와 같은 구조를 가지는 종래의 진공 챔버(10)에서 상기 벽판(13)과 상부판(12) 그리고 상기 벽판(13)과 하부판(11) 사이의 결합은 용접에 의하거나 볼트 또는 스크류와 같은 접합 부재를 이용한다.
도 2는 종래 진공 챔버의 분리 사시도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 상기 종래의 진공 챔버(10)를 제작하기 위해서는 챔버의 하부를 이루는 하부판(11)을 위치시키고, 상기 하부판(11)의 외곽을 따라 밀봉 부재인 오링(O-Ring)(14)을 올려 놓는다. 상기 오링(O-Ring)(14)을 상기 하부판(11) 위에 올려 놓기 위하여 상기 하부판(11)에는 상기 오링(O-Ring)(14)의 외형과 일치하는 틀이 상기 오링(O-Ring)(14)이 올려지는 위치에 형성되는 것이 바람직하다.
상기 밀봉 부재인 오링(O-Ring)(14)이 상기 하부판(11) 위에 설치되면 상기 벽판(13)을 상기 하부판(11) 위에 설치한다. 즉, 상기 하부판(11)의 외곽을 따라 소정의 면이 접촉될 수 있도록 형성된 벽판(13)을 상기 하부판(11) 위에 올려 놓는다. 한편, 상기 하부판(11)과 접촉되는 상기 벽판(13)의 끝단 하부면에는 상기 하부판(11)과 동일하게 상기 오링(O-Ring)(14)의 외형과 일치하는 틀이 형성되는 것이 바람직하다.
상기 하부판(11) 위에 상기 벽판(13)이 설치되면, 상기 벽판(13)의 끝단 상부면에 밀봉 부재인 또다른 오링(O-Ring)(15)을 올려 놓는다. 상기 벽판(13)의 끝단 상부면에도 상기 오링(O-Ring)(15)의 외형과 일치하는 틀이 형성되어 있고, 이 틀 안에 상기 오링(O-Ring)(15)을 올려 놓는다.
그런 후, 상기 상부판(12)을 상기 벽판(13)의 끝단 상부면에 올려 놓는다. 상기 벽판(13)의 끝단 상부면과 접촉하는 상기 상부판(12)의 면에도 상기 오링(O-Ring)(15)의 외형과 일치하는 틀링 형성되어 있다.
상기와 같이 하부판(11), 벽판(13), 상부판(12)의 구조물과 밀봉 부재인 오링(O-Ring)(14, 15)을 결합하여 진공 챔버의 구조를 형성시킨 후 상기 벽판(13)과 하부판(11) 그리고 상기 벽판(13)과 상부판(12)을 용접이나 볼트 또는 스크류와 같은 접합 부재를 이용하여 견고하게 결합한다.
이상과 같은 구조를 가지는 종래의 진공 챔버에 의하면 다음과 같은 문제점이 발생한다.
상기 밀봉 부재는 상기 벽판과 하부판 사이 또는 상기 벽판과 상부판 사이에 설치되므로, 상기 판들 사이에 형성되는 미세한 틈을 통하여 상기 오링(O-Ring)과 같은 밀봉 부재가 플라즈마 가스에 노출되므로 수명이 단축되는 문제점이 있다.
또한, 상기 밀봉 부재인 오링의 교체가 요구되는 경우에는, 상기 진공 챔버를 이루는 구조물인 상기 벽판과 하부판 또는 상기 벽판과 상부판을 분리해야 하는 문제점이 발생한다.
한편, 기판의 대형화 또는 대면적화 되는 추세에 따라 챔버의 크기도 초대형으로 변화된다. 따라서 상기와 같이 챔버의 구조물을 분리하기 위해서는 많은 인력과 비용 그리고 시간이 소요되고, 유지보수에 어려움이 있다.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 진공 챔버에 설치하는 밀봉 부재를 벽판과 상부판 또는 하부판 사이에 설치하는 것을 개선하여 상기 밀봉 부재를 진공 챔버 내측에 배치될 수 있도록 설치함으로써, 상기 밀봉 부재를 쉽게 분리하여 교체가 가능한 구조를 가지는 분리형 진공 챔버를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 제안된 본 발명인 분리형 진공 챔버를 이루는 구성수단은, 평판 디스플레이 패널 제조 장치의 분리형 진공 챔버에 있어서, 상기 챔버의 상부를 이루는 상부판과, 상기 상부판과 대면하여 챔버의 하부를 이루는 하부판과, 상기 상부판 및 하부판에 양 끝단이 결합되어 내부 밀폐 공간을 형성하되, 상기 하부판에 연결되는 끝단에만 상기 하부판과 소정의 단차를 만들기 위하여 챔버 내측 둘레 방향을 따라 돌출 형성된 돌출부를 갖는 벽판과, 상기 챔버 내측 둘레 방향을 따라 상기 하부판에 연결되는 상기 벽판의 끝단에 형성된 돌출부 상부 및 상기 하부판에 배치되는 커버부재와, 상기 돌출부 상부 및 상기 하부판과 상기 커버부재 사이에 개재되어 내부를 외부와 차단하는 밀봉 부재를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다. 즉, 벽판의 끝단 중에 하부판에 접촉 결합되는 끝단에만 돌출부를 형성하여 하부판과 단차를 형성하고, 그 위에 밀봉부재와 커버 부재를 설치하는 구조이다. 따라서, 상부판과 결합되는 벽판의 끝단은 종래와 같이 상부판과 벽판의 접촉 결합 부위에 밀봉부재가 형성된다.
또 다른 분리형 진공 챔버의 구성수단은, 평판 디스플레이 패널 제조 장치의 분리형 진공 챔버에 있어서, 상기 챔버의 상부를 이루는 상부판과, 상기 상부판과 대면하여 챔버의 하부를 이루는 하부판과, 상기 상부판 및 하부판에 양 끝단이 결합되어 내부 밀폐 공간을 형성하되, 상기 상부판에 연결되는 끝단에만 상기 상부판과 소정의 단차를 만들기 위하여 챔버 내측 둘레 방향을 따라 돌출 형성된 돌출부를 갖는 벽판과, 상기 챔버 내측 둘레 방향을 따라 상기 상부판에 연결되는 상기 벽판의 끝단에 형성된 돌출부 상부 및 상기 상부판에 배치되는 커버부재와, 상기 돌출부 상부 및 상기 상부판과 상기 커버부재 사이에 개재되어 내부를 외부와 차단하는 밀봉 부재를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다. 즉, 이경우에는 벽판의 끝단 중에 상부판에 접촉 결합되는 끝단에만 돌출부를 형성하여 상부판과 단차를 형성하고, 그 위에 밀봉부재와 커버 부재를 설치하는 구조이다. 따라서, 하부판과 결합되는 벽판의 끝단은 종래와 같이 하부판과 벽판의 접촉 결합 부위에 밀봉 부재가 형성된다.
한편, 상기 돌출부가 상기 하부판과 결합되는 상기 벽판의 끝단에 더 형성되어 상기 하부판과 소정의 단차를 마련하고, 그 위에 상기 밀봉부재와 커버 부재를 설치하는 것을 특징으로 한다. 즉, 벽판의 양 끝단에 모두 돌출부를 형성하여 상부판 및 하부판 모두에 단차를 형성하고, 그 위에 밀봉부재와 커버 부재를 설치하는 구조이다.
또한, 상기 밀봉 부재는, 오링(O-Ring)으로 하되, 상기 돌출부에 위치하는 오링(O-Ring)과 상기 상부판 또는 하부판에 위치하는 오링(O-Ring)이 결합되거나 분리되어 설치되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 돌출부에 위치하는 오링(O-Ring)은, 상기 돌출부의 상면 또는 측면에 설치되는 것을 특징으로 한다. 다만, 설치 용이성에 있어서 돌출부 상면에 설치하는 것이 유리하다.
또한, 상기 벽판과 상부판에 접촉되어 설치되는 커버 부재는 접합부재에 의하여 상기 상부판에 결합되고, 상기 벽판과 하부판에 접촉되어 설치되는 커버 부재는 하중에 의하여 결합되거나 접합 부재에 의하여 결합되는 것을 특징으로 한다. 그러나, 오링의 보호를 위하여 접합 부재에 의하여 견고하게 결합하는 것이 바람직하다.
이하, 상기와 같은 구성수단으로 이루어져 있는 본 발명인 분리형 진공 챔버에 관한 작용과 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명인 평판 디스플레이 패널 제조 장치의 분리형 진공 챔버의 정면도이고, 도 4a 및 도 4b는 도 3의 "A" 부분에 대한 확대도이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명인 분리형 진공 챔버(100)는, 상기 챔버(100)의 상부와 하부를 이루기 위하여 서로 대면하고 있는 상부판(110)과 하부판(120), 상기 상부판(110) 및 하부판(120)에 양 끝단이 결합되는 벽판(130)을 구조물로 하여 이루어져 있다. 한편, 도 3 및 도 4a 및 도 4b에는 상기 벽판(130)의 양 끝단 모두에 돌출부가 형성되어 상기 상부판과 하부판 모두에 대하여 단차를 형성시키고, 그 위에 밀봉 부재와 커버부재를 설치한 구조이나, 본 발명은 상기 돌출부가 상기 벽판의 일 끝단에만 형성되는 경우와 양 끝단에 형성되는 경우의 모두를 제안하는 것이다.
한편, 도 4a에 도시된 바와 같이, 상기 벽판(130)의 끝단에는 상기 상부판(110)에 대해서만 또는 상기 하부판(120)에 대해서만 또는 상기 상부판 및 하부판 모두에 대하여 소정의 단차를 만들기 위하여 챔버(100) 내측 둘레 방향을 따라 돌출 형성된 돌출부(135)가 형성되어 있다. 상기 돌출부(135)는 상기 하부판(120) 또는 상기 상부판(110) 또는 상기 상부판 및 하부판에 접촉되는 접촉면(135a) 및 상면(135b) 그리고 측면(135c) 등의 세면을 형성한다.
그리고, 도 3 및 도 4a에 도시된 바와 같이, 상기 챔버(100) 내부를 외부와 차단하여 챔버 내부의 진공 상태를 효과적으로 유지하기 위하여 상기 돌출부(135)와 상기 돌출부(135) 근처의 상기 하부판(120)에만 또는 상기 상부판(110)에만 또는 상기 상부판 및 하부판 모두의 소정의 위치에 밀봉 부재(140, 140a)가 설치되고, 상기 밀봉 부재(140, 140a) 위에 상기 밀봉 부재(140, 140a)를 덮어 씌우면서 상기 돌출부(135)를 포함한 벽판(130), 상부판(110) 또는 하부판(120) 또는 상부판 및 하부판과 접촉되어 커버 부재(150)가 설치된다.
상기 커버 부재(150)는 상기 밀봉 부재(140, 140a)를 보호하고, 챔버 내의 플라즈마 가스에 대한 노출을 최소화시킬 수 있다. 따라서, 상기 커버 부재(150)는 상기 밀봉 부재(140, 140a)를 덮어 씌우되, 상기 벽판(130)과 상부판(110) 또는 하부판(120)에 최대한 밀착되어 결합되어 설치되는 것이 바람직하다. 상기 하부판(120)과 결합하는 커버 부재(150)는 그 하중에 의하여 상기 하부판(120)과 결합할 수 있으나, 더 강한 결합을 위하여 스크류 또는 볼트와 같은 접합 부재를 이용하여 결합하는 것이 더 바람직하다. 한편, 상기 상부판(110)과 결합하는 커버 부재는 하중에 의하여 자유 낙하되는 것을 방지하기 위하여 도 3에 도시된 바와 같이 반드시 스크류 또는 볼트와 같은 접합 부재를 이용하여 결합한다.
상기 도 3 및 도 4a에 도시된 밀봉 부재(140, 140a)는 일반적인 진공 챔버에서와 같이 오링(O-Ring)(140, 140a)을 사용한다. 그러나, 본 발명에서의 오링(O-Ring)(140, 140a)은 상기 벽판(130) 끝단에 형성되는 돌출부(135)와 하부판(120)(상기 벽판 끝단에 형성되는 돌출부(135)와 상부판(110))에 각각 설치되는 오링(O-Ring)(140, 140a)이 쌍으로 이루어져 설치된다. 즉 상기 돌출부(135)에 위치하는 오링(O-Ring)(140, 140a)과 상기 하부판(120) 또는 상부판(110)에 위치하는 오링(O-Ring)(140, 140a)이 서로 한쌍이 되어 설치된다.
그런데, 상기 돌출부(135)와 하부판(120) 또는 상부판(110)에 설치되는 한쌍의 오링(O-Ring)(140, 140a)은 서로 분리될 수도 있고, 서로 결합될 수도 있다. 즉, 도 4a에 도시된 바와 같이, 돌출부(135)의 상면(135b)에 설치되는 오링(O-Ring)(140a)과 상기 돌출부(135)의 측면(135c)에 인접하여 상기 하부판(120) 위에 설치되는 오링(O-Ring)은 서로 각각 분리되어 설치될 수도 있고, 도 4b에 도시된 바와 같이, 돌출부(135)의 상면(135b)에 설치되는 오링(O-Ring)(140b)과 상기 돌출부(135)의 측면(135c)에 인접하여 상기 하부판(120) 위에 설치되는 오링(O-Ring)(140b)은 서로 결합된 상태로 설치될 수 있다. 상기 도 4b에 도시된 결합형의 오링(O-Ring)(140b)을 사용하는 경우, 챔버 내의 진공 상태를 더 효율적으로 유지할 수 있다.
한편, 상기 밀봉 부재로서 한 쌍의 오링(O-Ring)(140, 140a, 140b)은 도 3 및 도 4a 그리고 4b에 도시된 바와 같이, 상기 돌출부(135)의 상면(135b)과 하부판(120) 또는 상기 돌출부(135)의 상면(135b)과 상부판(110)에 분리 또는 결합되어 한쌍으로 설치되지만, 챔버 제조자의 의도에 따라 상기 돌출부(135)에 위치하는 오링은 상기 돌출부(135)의 상면(135b)에 설치되지 않고 상기 돌출부(135)의 측면(135c)에 설치될 수 있다.
이상에서 설명한 분리형 진공 챔버(100)를 제작하기 위해서는 챔버(100)의 하부를 이루는 하부판(120)을 위치시키고, 상기 하부판(120)의 외곽을 따라 밀봉 부재인 오링(O-Ring)(140)을 올려 놓는다. 상기 오링(O-Ring)(140)을 상기 하부판(120) 위에 올려 놓기 위하여 상기 하부판(120)에는 상기 오링(O-Ring)(140)의 외형과 일치하는 틀이 상기 오링(O-Ring)(140)이 올려지는 위치에 형성되는 것이 바람직하다.
상기 밀봉 부재인 오링(O-Ring)(140)이 상기 하부판(120) 위에 설치되면 상기 하부판(120)과 소정의 단차를 만들기 위하여 도 4a에 도시된 바와 같이 끝단에 돌출부(135)가 형성된 벽판(130)을 상기 하부판(120) 위에 설치한다. 즉, 상기 하부판(120)의 외곽을 따라 상기 벽판(130)의 끝단에 형성된 돌출부(135)의 접촉면(135a)이 하부판(120)에 접촉될 수 있도록 상기 벽판(130)을 상기 하부판(120) 위에 올려 놓는다. 한편, 종래와 달리 본 발명은 하부판(120)과 벽판(130) 하부면 사이에 오링(O-Ring)이 위치하지 않으므로, 상기 하부판(120)과 접촉되는 상기 벽판(130)의 끝단 하부면에는 오링(O-Ring)의 외형과 일치하는 틀이 형성될 필요가 없다.
상기 하부판(120) 위에 상기 벽판(130)이 설치되면, 도 4a에 도시된 바와 같이 상기 벽판(130)의 끝단에 형성된 돌출부(135)의 상면(135b)에 밀봉 부재인 또다른 오링(O-Ring)(143)을 올려 놓는다. 상기 벽판(130)의 끝단에 형성된 돌출부(135)의 상면(135b)에도 상기 오링(O-Ring)(143)의 외형과 일치하는 틀이 형성되어 있고, 이 틀 안에 상기 오링(O-Ring)(143)을 올려 놓는다.
그런 후, 상기 하부판(120) 상면과 상기 돌출부(135)의 상면(135b)에 위치하는 오링(O-Ring)(140)을 덮어 씌우고, 상기 벽판(130)과 상기 하부판(120)에 접촉 결합하는 커버 부재(150)를 설치한다. 상기 커버 부재(150) 하부면의 형상은 상기 단차를 만드는 돌출부(135)와 접촉하여 결합할 수 있는 형상을 가지되, 상기 돌출부(135) 상면(135b)에 설치되는 오링(140)과 상기 하부판(120)의 상면에 설치되는 오링(140)을 수용할 수 있는 틀을 가지는 형상이다. 한편, 상기 커버 부재(150)를 설치한 후, 상기 커버 부재(150)의 이동을 방지하고 상기 오링(140)을 보호하는 동시에 상기 커버 부재(150)와 상기 하부판(120)의 견고한 결합을 위하여 볼트 또는 스크류와 같은 접합 부재를 이용하여 상기 하부판(120)과 상기 커버 부재(150)를 결합한다.
상기와 같은 구조에 의하여 챔버의 하부쪽이 완성되고, 챔버의 상부쪽은 상기 챔버 하부쪽 구조와 동일한 구조로 형성시킨다. 즉, 상기 벽판(130) 위에 상부판(110)을 올려 놓고, 오링(140)을 설치한 다음 커버 부재(150)를 설치한다.
상기와 같은 구성 및 작용 그리고 바람직한 실시예를 가지는 본 발명인 분리형 진공 챔버에 의하면, 벽판의 끝단에 형성되는 돌출부 상에 챔버 내부의 진공 상태를 유지하기 위하여 설치되는 밀봉 부재를 위치시키고, 상기 밀봉 부재를 커버 부재에 의하여 덮어 씌움으로써, 밀봉 부재의 수명이 연장되는 장점이 있다.
또한, 상기 밀봉 부재를 교체하고자 하는 경우에, 챔버를 이루는 벽판, 상부판, 하부판을 분리하지 않고 커버 부재만을 분리하여 상기 밀봉 부재를 교체할 수 있으므로 챔버의 유지 보수가 용이하다.
도 1은 종래 진공 챔버의 정면도이다.
도 2는 종래 진공 챔버의 분리 사시도이다.
도 3은 본 발명인 분리형 진공 챔버의 정면도이다.
도 4a 및 도 4b는 도 3의 "A"부분에 대한 확대도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
10, 100 : 진공 챔버 11, 120 : 하부판
12, 110 : 상부판 13, 130 : 벽판
15, 140 : 밀봉 부재 135 : 돌출부
150 : 커버 부재

Claims (7)

  1. 평판 디스플레이 패널 제조 장치의 분리형 진공 챔버에 있어서,
    상기 챔버의 상부를 이루는 상부판과;
    상기 상부판과 대면하여 챔버의 하부를 이루는 하부판과;
    상기 상부판 및 하부판에 양 끝단이 결합되어 내부 밀폐 공간을 형성하되, 상기 하부판에 연결되는 끝단에만 상기 하부판과 소정의 단차를 만들기 위하여 챔버 내측 둘레 방향을 따라 돌출 형성된 돌출부를 갖는 벽판과;
    상기 챔버 내측 둘레 방향을 따라 상기 하부판에 연결되는 상기 벽판의 끝단에 형성된 돌출부 상부 및 상기 하부판에 배치되는 커버부재와;
    상기 돌출부 상부 및 상기 하부판과 상기 커버부재 사이에 개재되어 내부를 외부와 차단하는 밀봉 부재를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 분리형 진공 챔버.
  2. 평판 디스플레이 패널 제조 장치의 분리형 진공 챔버에 있어서,
    상기 챔버의 상부를 이루는 상부판과;
    상기 상부판과 대면하여 챔버의 하부를 이루는 하부판과;
    상기 상부판 및 하부판에 양 끝단이 결합되어 내부 밀폐 공간을 형성하되, 상기 상부판에 연결되는 끝단에만 상기 상부판과 소정의 단차를 만들기 위하여 챔버 내측 둘레 방향을 따라 돌출 형성된 돌출부를 갖는 벽판과;
    상기 챔버 내측 둘레 방향을 따라 상기 상부판에 연결되는 상기 벽판의 끝단에 형성된 돌출부 상부 및 상기 상부판에 배치되는 커버부재와;
    상기 돌출부 상부 및 상기 상부판과 상기 커버부재 사이에 개재되어 내부를 외부와 차단하는 밀봉 부재를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 분리형 진공 챔버.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 돌출부가 상기 하부판과 결합되는 상기 벽판의 끝단에 더 형성되어 상기 하부판과 소정의 단차를 마련하고, 그 위에 상기 밀봉 부재와 커버부재를 더 설치하는 것을 특징으로 하는 분리형 진공 챔버.
  4. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 밀봉 부재는, 오링(O-Ring)으로 하되, 상기 돌출부에 위치하는 오링(O-Ring)과 상기 상부판 또는 하부판에 위치하는 오링(O-Ring)이 결합되거나 분리되어 설치되는 것을 특징으로 하는 분리형 진공 챔버.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 돌출부에 위치하는 오링(O-Ring)은, 상기 돌출부의 상면 또는 측면에 설치되는 것을 특징으로 하는 분리형 진공 챔버.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 벽판과 하부판에 접촉되어 설치되는 커버 부재는 하중에 의하여 결합되거나 접합 부재에 의하여 결합되는 것을 특징으로 하는 분리형 진공 챔버.
  7. 청구항 2에 있어서,
    상기 벽판과 상부판에 접촉되어 설치되는 커버 부재는 접합부재에 의하여 상기 상부판과 벽판에 결합되는 것을 특징으로 하는 분리형 진공 챔버.
KR1020040047243A 2004-02-25 2004-06-23 분리형 진공 챔버 KR100710599B1 (ko)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040047243A KR100710599B1 (ko) 2004-06-23 2004-06-23 분리형 진공 챔버
TW094105324A TWI274978B (en) 2004-02-25 2005-02-23 Apparatus for manufacturing flat-panel display
US11/064,270 US20050183824A1 (en) 2004-02-25 2005-02-23 Apparatus for manufacturing flat-panel display
CN2007101384511A CN101101863B (zh) 2004-02-25 2005-02-25 用于制造平板显示器的设备
CNB2005100087491A CN100401338C (zh) 2004-02-25 2005-02-25 用于制造平板显示器的设备
US12/358,752 US8506711B2 (en) 2004-02-25 2009-01-23 Apparatus for manufacturing flat-panel display

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040047243A KR100710599B1 (ko) 2004-06-23 2004-06-23 분리형 진공 챔버

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20050122090A true KR20050122090A (ko) 2005-12-28
KR100710599B1 KR100710599B1 (ko) 2007-04-24

Family

ID=37294045

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020040047243A KR100710599B1 (ko) 2004-02-25 2004-06-23 분리형 진공 챔버

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100710599B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100752242B1 (ko) * 2007-02-05 2007-08-27 에이스하이텍 주식회사 반도체 플라즈마발생 아크챔버의 슬릿 구조
KR101226793B1 (ko) * 2011-02-18 2013-01-25 (주)엔에스 조립식 진공챔버

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3005566B1 (ja) * 1998-12-14 2000-01-31 山口日本電気株式会社 真空装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100752242B1 (ko) * 2007-02-05 2007-08-27 에이스하이텍 주식회사 반도체 플라즈마발생 아크챔버의 슬릿 구조
KR101226793B1 (ko) * 2011-02-18 2013-01-25 (주)엔에스 조립식 진공챔버

Also Published As

Publication number Publication date
KR100710599B1 (ko) 2007-04-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102592857B (zh) 嵌入式开关
KR100710599B1 (ko) 분리형 진공 챔버
CN107305988A (zh) 连接器和带连接器的单元
JP4258803B2 (ja) 真空チャンバ組立体
WO2020087228A1 (zh) 一种可穿戴设备
KR101195125B1 (ko) 조립형 진공챔버
CN210490984U (zh) 一种全屏防摔组装式手机套
KR20120095071A (ko) 조립식 진공챔버
KR20070082056A (ko) 기판의 진공처리장치용 이송챔버
JP4587784B2 (ja) 真空チャンバ
EP3553627A1 (en) Display, electronic device and teach pendant for robot
CN114288725A (zh) 互锁稳定的过滤器组件
KR20070082055A (ko) 기판 진공처리용 로드락 챔버
JP4205966B2 (ja) 密封装置
CN210826350U (zh) 一种操作简单的盲板安装结构
CN107888159A (zh) 一种高密封性石英晶体谐振器
JP6970761B2 (ja) 上蓋アセンブリとそれを備えた調理器具
JPH07220552A (ja) 支持体上に密閉して固定される切換スイッチノブ
JP2004337446A (ja) 液体容器の底部絶縁構造
JP2004025366A (ja) グローブボックス用パネル
CN112229579B (zh) 半成品防水检查装置
KR20210037136A (ko) 도어용 카세트 유닛
TW200848904A (en) Optical engine for projection display device
CN210748714U (zh) 烹饪器具
WO2006022348A1 (ja) 切換えスイッチのシール構造

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E90F Notification of reason for final refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130418

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140417

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150417

Year of fee payment: 9

LAPS Lapse due to unpaid annual fee