KR20050112059A - 패널 클리닝 장치 및 방법 - Google Patents

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KR20050112059A
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모리까와가나메
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니혼 미크로 코팅 가부시끼 가이샤
아이엠티 가부시끼가이샤
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Abstract

본 발명의 과제는 흡착흔을 형성하지 않고, 패널을 반송하면서 클리닝할 수 있는 패널 클리닝 장치 및 방법을 제공하는 것이다.
입력측의 닙 롤러(41)로 패널(12)을 보유 지지하고, 벨트(31)로 패널(12)을 지지하면서 패널(12)을 반송한다. 패널을 더욱 반송하여 출력측의 닙 롤러(42)로 패널을 보유 지지한다. 이들 닙 롤러(41, 42) 사이의 간격은 패널(12)의 길이보다도 짧은 거리에 있다. 벨트(31)에 지지된 패널(12)이 화살표 X방향으로 똑바르게 반송되도록 롤러(32, 33)와, 닙 롤러(41, 42)가 배열된다. 하나의 태양에서는 콘택트 롤러(21)를 거쳐서 클리닝 테이프(22)를 패널의 표면에 압박하면서 클리닝 헤드(20)를 패널(12)의 폭 방향에 따라 왕복 이동시킨다. 클리닝 헤드(20)를 화살표 R방향으로 회전시킬 수 있다.

Description

패널 클리닝 장치 및 방법 {APPARATUS AND METHOD OF PANEL CLEANING}
본 발명은 액정 표시 장치의 액정 패널과 같이 표면에 높은 청정성이 요구되는 패널을 클리닝하기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다.
액정 패널은 컬러 필터나 투명 전극을 설치한 2매의 유리 기판 사이에 액정을 봉입한 것이고, 액정을 봉입할 때에 사용한 수지의 잔존물 등 제조 중에 발생한 이물질이 불량품을 발생시키는 주된 원인이 되고 있으므로, 액정 패널의 표면에 부착되어 있는 이물질을 제거하는 클리닝이 행해지고 있다.
이와 같은 패널의 클리닝은 클리닝 헤드를 사용하여 행해지고 있다. 클리닝 헤드는 헤드의 하단부에 콘택트 롤러를 배열한 것이고, 이 콘택트 롤러를 거쳐서 헤드 내부에 수용하고 있는 클리닝 테이프나 클리닝 벨트가 패널의 표면에 압박된다.
패널은 패널과 거의 동일한 두께의 프레임재를 사용하고, 또한 패널의 이면을 진공 흡착하여 일정한 위치에 고정되어 있다(예를 들어, 특허 문헌 1 및 2를 참조). 그리고, 이 패널의 클리닝은 콘택트 롤러의 중앙을 통과하고 또한 패널의 표면에 수직인 축에 관하여 클리닝 헤드를 회전시키면서 이 콘택트 롤러를 거쳐서 클리닝 테이프나 클리닝 벨트를 패널의 표면에 압박함으로써 행해진다.
또한, 2개의 클리닝 헤드를 상하에 배열하고, 이들 클리닝 헤드의 콘택트 롤러로 반송되고 있는 패널을 협지하면서 상측의 콘택트 롤러를 패널 반송 방향과 수직인 방향으로 왕복 이동시켜 패널의 양면이 동시에 클리닝되어 있다(예를 들어, 특허 문헌 3을 참조).
[특허 문헌 1]
일본 특허 공개 평 11-19859호 공보
[특허 문헌 2]
일본 특허 공개 2001-198753호 공보
[특허 문헌 3]
일본 특허 공개 2001-62696호 공보
그러나, 클리닝 중 패널을 일정한 위치에 고정시키기 위해, 패널의 이면을 진공 흡착하고 있으므로, 패널의 이면에 흡착흔이 형성되고, 이 흡착흔을 쉽게 지울 수 없게 되는 문제가 있다.
또한, 상하에 배열한 2개의 클리닝 헤드의 콘택트 롤러로 반송되고 있는 패널을 협지하면서 양면을 동시에 클리닝하는 경우, 패널이 일정한 높이로 유지되어 반송되고 있으므로, 이 패널을 협지하는 2개의 콘택트 롤러의 높이를 일정하게 유지시킬 필요가 있지만, 이들 2개의 콘택트 롤러의 높이를 위치 맞춤하여 일정한 높이에 고정밀도로 유지시키는 것이 어렵고, 이로 인해 클리닝 중에 패널이 만곡되거나, 파괴되는 문제가 생긴다.
따라서, 본 발명의 목적은 흡착흔을 형성하지 않고, 패널을 반송하면서 클리닝할 수 있는 패널 클리닝 장치 및 방법을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 흡착흔을 형성하지 않고, 패널을 반송하면서 패널의 양면을 클리닝할 수 있는 패널 클리닝 장치 및 방법을 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하는 본 발명의 패널 클리닝 장치는 패널을 반송하면서 이 패널의 표면 및 이면 중 어느 한 쪽면을 클리닝하기 위한 클리닝 유닛을 구비한 클리닝 섹션을 갖는다.
클리닝 유닛은 패널을 반송하는 반송 수단 및 패널의 한 쪽면을 클리닝하는 클리닝 수단으로 구성된다.
반송 수단은 클리닝 중에 패널을 보유 지지하는 패널 보유 지지 수단 및 클리닝 중에 패널을 반송하는 벨트 컨베이어로 구성된다.
패널 보유 지지 수단은 클리닝 섹션에 패널을 입력하는 측에 배열되어 패널을 그 표면측과 이면측으로부터 협지하여 보유 지지하는 적어도 한 쌍의 롤러로 구성되는 입력측의 닙 롤러 및 클리닝 섹션으로부터 패널을 출력하는 측에 입력측의 닙 롤러와 평행하게 배열되어 패널을 그 표면측과 이면측으로부터 협지하여 보유 지지하는 적어도 한 쌍의 롤러로 구성되는 출력측의 닙 롤러로 구성된다.
입력측의 닙 롤러와 출력측의 닙 롤러 사이의 간격이 패널의 길이보다도 짧은 거리에 있고, 이에 의해 클리닝 중 패널이 입력측 및 출력측의 닙 롤러 중 적어도 한 쪽의 닙 롤러에 의해 보유 지지된다.
벨트 컨베이어는 입력측의 닙 롤러와 출력측의 닙 롤러 사이에 배열된다. 벨트 컨베이어는 클리닝 섹션에 패널을 입력하는 측에 입력측의 닙 롤러와 평행하게 배열한 입력측의 롤러, 클리닝 섹션으로부터 패널을 출력하는 측에 입력측의 롤러와 평행하게 배열한 출력측의 롤러, 이들의 입력측 및 출력측의 롤러에 권취된 벨트 및 벨트를 구동하는 수단으로 구성된다. 또한, 벨트 컨베이어는 이들 입력측 및 출력측의 롤러에 권취된 벨트를 인장시키는 텐션 롤러로 구성될 수 있다.
벨트는 패널의 한 쪽면과 반대측의 다른 쪽면으로부터 패널을 지지한다. 그리고, 이 벨트에 지지된 패널이 똑바로 반송되도록 벨트 컨베이어의 입력측 및 출력측의 롤러와, 패널 보유 지지 수단의 입력측 및 출력측의 닙 롤러가 배열된다.
본 발명의 하나의 태양에 있어서, 클리닝 수단은 클리닝 테이프 또는 클리닝 벨트를 패널의 한 쪽면에 압박하기 위한 콘택트 롤러 및 이 콘택트 롤러를 거쳐서 클리닝 테이프 또는 클리닝 벨트를 주행시키는 수단으로 구성되는 클리닝 헤드를 갖고, 이 콘택트 롤러는 패널의 폭보다 긴 길이에 있고, 클리닝 테이프 또는 클리닝 벨트는 패널의 폭보다도 넓은 폭에 있다. 또한, 이 태양에 있어서, 클리닝 수단은 패널의 한 쪽면에 수직인 축의 방향에 따라 클리닝 헤드를 왕복 이동시키는 수단 및 패널의 폭 방향에 따라 클리닝 헤드를 왕복 이동시키는 수단으로 구성된다.
또한, 본 발명의 다른 태양에서는 클리닝 테이프 또는 클리닝 벨트를 패널의 한 쪽면에 압박하기 위한 콘택트 롤러 및 이 콘택트 롤러를 거쳐서 클리닝 테이프 또는 클리닝 벨트를 주행시키는 수단으로 구성되는 클리닝 헤드를 갖고, 이 콘택트 롤러는 입력측의 닙 롤러와 출력측의 닙 롤러 사이의 간격보다도 짧은 길이에 있다. 또한, 이 태양에 있어서, 클리닝 수단은 패널의 한 쪽면에 수직인 축의 방향에 따라 클리닝 헤드를 왕복 이동시키는 수단, 패널의 폭 방향에 따라 클리닝 헤드를 왕복 이동시키는 수단 및 콘택트 롤러의 중앙을 통과하고 패널의 한 쪽면에 수직인 축에 관하여 클리닝 헤드를 회전시키는 수단으로 구성된다.
또한, 본 발명의 그 밖의 태양에 있어서, 클리닝 수단은 표면에 클리닝 헤드를 접착하여 이 클리닝 헤드를 패널의 한 쪽면에 압박하는 콘택트 디스크 및 콘택트 디스크의 중심을 통과하고 패널의 한 쪽면에 수직인 축에 관하여 콘택트 디스크를 회전시키기 위한 수단으로 구성되는 클리닝 헤드를 갖고 이 콘택트 디스크의 직경은 입력측의 닙 롤러와 출력측의 닙 롤러 사이의 간격보다도 짧은 길이에 있다. 또한, 이 태양에 있어서, 클리닝 수단은 패널의 한 쪽면에 수직인 축의 방향에 따라 클리닝 헤드를 왕복 이동시키는 수단 및 패널의 폭 방향에 따라 클리닝 헤드를 왕복 이동시키는 수단으로 또한 구성된다.
본 발명의 패널 클리닝 방법은 상기 본 발명의 패널 클리닝 장치를 사용하여 패널을 반송하면서 패널의 표면 및 이면 중 어느 한 쪽면을 클리닝하는 것이다.
이 패널의 반송은 벨트를 구동하고, 계속해서 패널 보유 지지 수단의 입력측의 닙 롤러로 패널을 보유 지지하고, 벨트로 패널의 다른 쪽면으로부터 패널을 지지하면서 패널을 반송한다. 그리고, 이 패널을 패널 보유 지지 수단의 출력측의 닙 롤러로 보유 지지시키고, 또한 패널을 반송한다.
상기한 본 발명의 하나의 태양(패널의 폭보다도 긴 길이에 있는 콘택트 롤러와, 패널의 폭보다도 넓은 폭에 있는 클리닝 테이프 또는 클리닝 벨트를 사용함)에서는 패널이 상기와 같이 반송되어 있을 때, 패널의 한 쪽면에 수직인 축의 방향에 따라 클리닝 헤드를 이동하고, 이 패널의 한 쪽면에 콘택트 롤러를 거쳐서 클리닝 테이프 또는 클리닝 벨트를 압박하여 패널의 폭 방향에 따라 클리닝 헤드를 왕복 이동시킴으로써 패널의 한 쪽면이 클리닝된다.
상기한 본 발명의 다른 태양(입력측의 닙 롤러와 출력측의 닙 롤러 사이의 간격보다도 짧은 길이에 있는 콘택트 롤러와, 클리닝 테이프 또는 클리닝 벨트를 사용함)에서는 패널이 상기와 같이 반송되어 있을 때, 콘택트 롤러의 중앙을 통과하고 또한 패널의 한 쪽면에 수직인 축에 관하여 클리닝 헤드를 회전시키면서 패널의 한 쪽면에 수직인 축의 방향에 따라 클리닝 헤드를 이동하고, 패널의 한 쪽면에 콘택트 롤러를 거쳐서 클리닝 테이프 또는 클리닝 벨트를 압박하고, 패널의 폭 방향에 따라 클리닝 헤드를 왕복 이동시킴으로써 패널의 한 쪽면이 클리닝된다.
상기한 본 발명의 그 밖의 태양(직경이 입력측의 닙 롤러와 출력측의 닙 롤러 사이의 간격보다도 짧은 길이에 있는 콘택트 디스크와, 클리닝 헤드를 사용함)에서는 패널이 상기와 같이 반송되어 있을 때, 콘택트 디스크를 회전시키면서 패널의 한 쪽면에 수직인 축의 방향에 따라 클리닝 디스크를 클리닝 헤드와 함께 이동하여 패널의 한 쪽면에 콘택트 디스크의 표면에 접착한 클리닝 헤드를 압박하고, 패널의 폭 방향에 따라 클리닝 디스크를 클리닝 헤드와 함께 왕복 이동시킴으로써 패널의 한 쪽면이 클리닝된다.
도1 내지 도5에 본 발명에 따른 패널 클리닝 장치를 도시한다. 도시한 패널 클리닝 장치(10)는 패널(12)의 표면을 클리닝하기 위한 클리닝 유닛(50)을 구비한 클리닝 섹션(11)을 갖고 패널(12)을 클리닝 섹션(11)에 입력하여 패널(12)을 화살표 X방향으로 반송하면서 패널(12)의 표면을 클리닝하고, 이 패널(12)을 클리닝 섹션(11)으로부터 출력하는 것이다.
나타낸 예에서는 대표적으로 패널(12)의 표면을 클리닝하지만, 클리닝 유닛(50)을 도6에 도시하는 클리닝 유닛(50')과 같이 패널(12)의 이면을 클리닝하도록 배열할 수 있다. 또한, 패널(12)은 그 표면을 수평 방향의 상향 또는 하향으로 하여 반송해도 좋고, 또한 수직 방향의 횡방향으로 하여 반송[패널(12)은 세운 상태에서 반송]할 수 있다.
클리닝 유닛(50)은 패널(12)을 화살표 X로 나타내는 방향으로 반송하는 반송 수단 및 패널(12)의 표면을 클리닝하는 클리닝 수단으로 구성된다.
반송 수단은 클리닝 중에 패널(12)을 보유 지지하는 패널 보유 지지 수단(40) 및 클리닝 중에 패널(12)을 반송하는 벨트 컨베이어(30)로 구성된다.
패널 보유 지지 수단(40)은 클리닝 섹션(11)에 패널(12)을 입력하는 측에 배열되어 패널(12)을 그 표면측과 이면측으로부터 협지하여 보유 지지하는 한 쌍의 롤러(41a, 41b)로 구성되는 입력측의 닙 롤러(41) 및 클리닝 섹션(11)으로부터 패널(12)을 출력하는 측에 입력측의 닙 롤러(41)와 평행하게 배열되어 패널(12)을 그 표면측과 이면측으로부터 협지하여 보유 지지하는 한 쌍의 롤러(42a, 42b)로 구성되는 출력측의 닙 롤러(42)로 구성된다. 이들 닙 롤러(41, 42)는 각각 나타낸 예에서는 한 쌍의 롤러(41a, 41b, 42a, 42b)에 의해 구성되어 있지만, 2쌍 이상의 롤러로 구성할 수 있다.
입력측의 닙 롤러(41)와 출력측의 닙 롤러(42) 사이의 간격이 패널(12)의 길이보다도 짧은 거리에 있고, 이에 의해 클리닝 중 패널이 입력측 및 출력측의 닙 롤러 중 적어도 한 쪽의 닙 롤러에 의해 보유 지지된다. 또한, 이에 의해 패널(12)을 세운 상태에서 반송하여 클리닝해도 패널(12)이 낙하되지 않는다.
벨트 컨베이어(30)는 도시한 바와 같이 입력측의 닙 롤러(41)와 출력측의 닙 롤러(42) 사이에 배열된다.
패널(12)은 모터 등에 의해 구동되는 복수의 롤러를 늘어서게 한 이미 공지된 수단(예를 들어, 상기한 특허 문헌 2를 참조)에 의해 클리닝 섹션(11)에 입력되어 패널(12)이 닙 롤러(41)에 보유 지지된다.
벨트 컨베이어(30)는 클리닝 섹션(11)에 패널(12)을 입력하는 측에 입력측의 닙 롤러(41)와 평행하게 배열한 입력측의 롤러(32), 클리닝 섹션(11)으로부터 패널(12)을 출력하는 측에 입력측의 롤러(32)와 평행하게 배열한 출력측의 롤러(33), 이들 롤러(32, 33)에 권취된 벨트(31) 및 벨트(31)를 화살표 T방향으로 구동하는 벨트 구동 수단(도시하지 않음)으로 구성된다. 벨트(31)의 인장과 롤러(32, 33)로의 착탈은 입력측과 출력측의 롤러(32, 33) 중 적어도 한 쪽 롤러를 화살표 X방향(또는 이 방향과 반대의 방향)으로 이동할 수 있도록 구성하여 이 롤러를 이동시킴으로써 행할 수 있다.
벨트 컨베이어(30)는 벨트(31)를 인장시키는 텐션 롤러(34)로 또한 구성된다. 텐션 롤러(34)는 화살표 S로 나타내는 방향으로 이동시킬 수 있다. 이 텐션 롤러(34)를 화살표 S방향으로 이동시킴으로써 롤러(32, 33)에 권취된 벨트(31)의 인장력을 조절할 수 있다. 또한, 이에 의해 벨트(31)의 착탈도 행할 수 있다.
적절하게 모터(도시하지 않음)가 출력측의 롤러(33)에 연결되어 이 모터를 구동함으로써 롤러(33)가 회전하여 벨트(31)가 화살표 T방향으로 구동된다.
벨트(31)는 패널(12)의 이면으로부터 패널(12)을 지지하면서 화살표 X로 나타내는 방향으로 패널(12)을 반송한다.
입력측의 닙 롤러(41)는 패널(12)을 보유 지지하면서 패널(12)을 벨트(31) 상에 화살표 X방향으로 똑바르게 입력할 수 있도록 배열되고, 출력측의 닙 롤러(42)는 벨트(31)에 의해 화살표 X방향으로 반송되고 있는 패널(12)을 보유 지지하면서 패널(12)을 벨트(31)로부터 화살표 X방향으로 똑바르게 출력할 수 있도록 배열된다.
벨트(31)는 고무로 이루어진다. 그리고, 패널(12)을 지지하는 벨트(31)의 표면은 평탄할 수 있지만, 도1의 (b)에 도시한 바와 같이, 벨트(31)에는 그 길이 방향으로 패널의 폭 또는 이 폭보다 약간 넓고 또한 패널의 두께 또는 이 두께보다도 약간 얕은 홈(31a)을 형성하여 클리닝 중에 벨트(31) 상에서 패널(12)이 쉽게 어긋나지 않도록 할 수 있다. 이와 같은 홈(31a)에 패널(12)을 지지시킴으로써 패널(12)을 수직 방향으로 세워 반송해도 클리닝 중에 패널(12)이 쉽게 낙하되지 않아 패널(12)의 반송 경로를 일정하게 유지할 수 있다.
클리닝 수단은 상기한 반송 수단(30, 40)에 의해 화살표 X로 나타내는 방향으로 반송되고 있는 패널(12)의 표면을 클리닝하기 위한 것이다.
클리닝 수단은 도1의 (a)에 도시한 바와 같이 클리닝 테이프(22)를 패널(12)의 표면에 압박하는 콘택트 롤러(21) 및 이 콘택트 롤러(21)를 거쳐서 클리닝 테이프(22)를 주행시키는 수단으로 구성되는 클리닝 헤드(20)를 갖는다.
이 클리닝 헤드(20)는 도시한 바와 같이 미사용 클리닝 테이프(22)를 권취하고 있는 테이프 롤러(25)를 하우징 내에 카트리지식으로 수용하고, 클리닝 테이프(22)는 이 테이프 롤러(25)로부터 송출되어 콘택트 롤러(21)를 거쳐서 권취 롤러(26)로 권취된다. 클리닝 테이프(22)의 송출과 권취는 테이프 롤러(25)와 권취 롤러(26)에 연결한 모터(도시하지 않음)에 의해 행해지고, 이에 의해 클리닝 테이프(22)가 콘택트 롤러(21)를 거쳐서 주행한다. 도시한 클리닝 헤드(20)에서는 항상 미사용 클리닝 테이프를 패널(12)의 표면에 압박하여 클리닝할 수 있다. 클리닝 테이프(22)로서 합성 섬유제의 직포 또는 부직포 혹은 발포체로 이루어지는 테이프가 사용된다.
변형적으로 클리닝 테이프(22)를 사용하는 클리닝 헤드(20) 대신에, 도2의 (a)에 도시한 바와 같이 클리닝 중 모터 등의 수단에 의해 구동되는 클리닝 벨트(23)를 사용하는 클리닝 헤드(20)를 사용할 수 있다. 이 경우, 클리닝 헤드(20)를 보다 소형화, 경량화할 수 있다. 클리닝 벨트(23)로서 합성 섬유제의 직포 또는 부직포 혹은 발포체로 이루어지는 벨트(예를 들어, 일본 특허 공개 2004-98218을 참조)가 사용된다.
또한, 상기한 클리닝 테이프(22)나 클리닝 벨트(23)를 사용하는 클리닝 헤드(20) 대신에, 표면에 클리닝 패드(28)를 접착하여 이 클리닝 패드(28)를 패널(12)의 표면에 압박하는 콘택트 디스크(27) 및 콘택트 디스크(27)의 중심을 통과하고 또한 패널의 표면에 수직인 부호 24로 나타내는 축(회전축)에 관하여 콘택트 디스크(27)를 화살표 r방향으로 회전시키기 위한 모터(29)로 구성되는 클리닝 헤드(20)를 사용할 수 있다. 이 경우, 클리닝 헤드(20)를 보다 소형화, 경량화할 수 있다.
본 발명의 하나의 태양을 도3에 나타낸다. 나타낸 태양에서, 패널(12)의 표면의 클리닝은 도1의 (a) 또는 도2의 (a)에 도시하는 클리닝 헤드(20)를 사용하여 행해지고, 콘택트 롤러(21)의 길이는 패널(12)의 폭보다도 긴 길이에 있고, 클리닝 테이프(22) 또는 클리닝 벨트(23)는 패널(12)의 폭보다도 넓은 폭에 있다.
본 태양에서는 벨트(31)에 의해 화살표 X방향으로 반송되고 있는 패널(12)의 표면에 콘택트 롤러(21)를 거쳐서 클리닝 테이프(22) 또는 클리닝 벨트(23)를 압박하면서 클리닝 헤드(20)를 패널(12)의 폭 방향(화살표 Y방향)에 따라 왕복 이동시키고, 이에 의해 패널(12)의 표면이 클리닝된다.
이 Y방향의 왕복 이동은 예를 들어 클리닝 헤드(20)를 부착한 보유 지지대(도시하지 않음)를 패널(12)의 폭 방향(화살표 Y방향)으로 신장되는 가이드 레일 상에 활동 가능하게 태우고, 이 보유 지지대를 크랭크 샤프트 기구에 의해 왕복 이동시키는 이미 공지된 수단(도시하지 않음)에 의해 행할 수 있다(예를 들어, 특허 문헌 3을 참조).
또한, 클리닝 테이프(22) 또는 클리닝 벨트(23)는 클리닝 헤드(20)를 화살표 Z방향[패널(12)의 표면에 수직인 방향]으로 왕복 이동시킴으로써 패널(12)의 표면에 압박된다. 이 왕복 이동은 서보 모터와 볼 나사 등을 조합하여 사용하고, 클리닝 헤드(20)를 상기한 Y방향 왕복 이동 수단과 일체적으로 화살표 Z방향으로 왕복 이동시키는 이미 공지된 수단(도시하지 않음)에 의해 행할 수 있다(예를 들어, 특허 문헌 1을 참조).
본 발명의 다른 태양을 도4에 나타낸다. 나타낸 태양에서, 패널(12)의 표면의 클리닝은 도1의 (a) 또는 도2의 (a)에 도시하는 클리닝 헤드(20)를 사용하여 행해지고, 콘택트 롤러(21)는 닙 롤러(41, 42) 사이의 간격보다도 짧은 길이에 있다.
본 태양에서는 벨트(31)에 의해 화살표 X방향으로 반송되고 있는 패널(12)의 표면에 콘택트 롤러(21)를 거쳐서 클리닝 테이프(22) 또는 클리닝 벨트(23)를 압박하여 닙 롤러(41, 42) 사이에서 콘택트 롤러(21)의 중앙을 통과하고 또한 패널(12)의 표면에 수직인 부호 24로 나타내는 축(회전축)에 관하여 클리닝 헤드(20)를 화살표 R방향으로 회전시키면서 클리닝 헤드(20)를 패널(12)의 폭 방향(화살표 Y방향)에 따라 왕복 이동시키고, 이에 의해 패널(12)의 표면이 클리닝된다.
이 클리닝 헤드(20)의 회전은 예를 들어 모터를 부착한 보유 지지대에 클리닝 헤드(20)를 회전 가능하게 부착하고, 벨트 등을 사용하여 이 모터에 클리닝 헤드(20)를 연결한 이미 공지된 수단(도시하지 않음)에 의해 행할 수 있다(예를 들어, 특허 문헌 1을 참조).
클리닝 헤드(20)의 회전축(24)은 롤러(32, 33) 사이의 중앙에 위치하고, 클리닝 헤드(20)는 이들 롤러(32, 33) 사이에서 패널(12)의 폭 방향(도2에 화살표 Y로 나타내는 방향)으로 왕복 이동할 수 있다.
이 Y방향의 왕복 이동은 상기한 Y방향의 왕복 이동과 마찬가지로, 예를 들어 패널(12)의 폭 방향(화살표 Y방향)으로 신장되는 가이드 레일 상에 상기한 보유 지지대[클리닝 헤드(20)가 회전 가능하게 부착되어 있음]를 활동 가능하게 태우고, 이 보유 지지대를 크랭크 샤프트 기구나 서보 모터와 나사 등을 사용함으로써 왕복 이동시키는 이미 공지된 수단(도시하지 않음)에 의해 행할 수 있다(예를 들어, 특허 문헌 3 및 일본 특허 공개 2003-117796의 단락 0030, 0031에 기재된 "일방향 이동 수단"을 참조).
클리닝 테이프(22) 또는 클리닝 벨트(23)는 클리닝 헤드(20)를 화살표 Z방향[패널(12)의 표면에 수직인 방향]으로 왕복 이동시킴으로써 패널(12)의 표면에 압박된다. 이 왕복 이동은 서보 모터와 볼 나사 등을 조합하여 사용하고, 클리닝 헤드(20)를 상기한 헤드 회전 수단이나 Y방향 왕복 이동 수단과 일체적으로 화살표 Z방향으로 왕복 이동시키는 이미 공지된 수단(도시하지 않음)에 의해 행할 수 있다(예를 들어, 특허 문헌 1을 참조).
도5에 본 발명의 그 밖의 태양을 나타낸다. 나타낸 태양에서, 패널(12)의 표면의 클리닝은 도2의 (b)에 도시하는 클리닝 헤드(20)를 사용하여 행해지고, 콘택트 디스크(27)의 직경은 입력측의 닙 롤러(41)와 출력측의 닙 롤러(42) 사이의 간격보다도 짧은 길이에 있다.
본 태양에서는 벨트(31)에 의해 화살표 X방향으로 반송되고 있는 패널(12)의 표면에 콘택트 디스크(27)를 거쳐서 클리닝 패드(28)를 압박하여 콘택트 디스크(27)의 중심을 통과하고 또한 패널(12)의 표면에 수직인 화살표(24)로 나타내는 축(회전축)에 관하여 콘택트 디스크(27)를 화살표 R방향으로 회전시키면서 패널(12)의 폭 방향에 따라 클리닝 디스크(27)를 클리닝 헤드(20)와 함께 화살표 Y방향으로 왕복 이동시키고, 이에 의해 패널(12)의 표면이 클리닝된다.
이 클리닝 디스크(27)는 클리닝 헤드(20)의 모터(29)에 연결되어 있고, 이 모터(29)를 구동하면 화살표 R방향으로 회전한다.
클리닝 디스크(27)의 회전축(24)은 롤러(32, 33) 사이의 중앙에 위치하고, 클리닝 디스크(27)는 클리닝 헤드(20)와 일체가 되어 이들 롤러(32, 33) 사이에서 패널(12)의 폭 방향(도51에 화살표 Y로 나타내는 방향)으로 왕복 이동할 수 있다.
이 Y방향의 왕복 이동은 상기한 Y방향의 왕복 이동과 마찬가지로, 예를 들어 패널(12)의 폭 방향(화살표 Y방향)으로 신장되는 가이드 레일 상에 클리닝 헤드(20)를 부착하고 있는 보유 지지대를 활동 가능하게 태우고, 이 보유 지지대를 크랭크 샤프트 기구나 서보 모터와 나사 등을 사용함으로써 왕복 이동시키는 이미 공지된 수단(도시하지 않음)에 의해 행할 수 있다.
클리닝 패드(28)는 클리닝 헤드(20)를 화살표 Z방향[패널(12)의 표면에 수직인 방향]으로 왕복 이동시킴으로써 콘택트 디스크(27)를 거쳐서 패널(12)의 표면에 압박된다. 이 왕복 이동은 서보 모터와 볼 나사 등을 조합하여 사용하고, 클리닝 헤드(20)를 상기한 Y방향 왕복 이동 수단과 일체적으로 화살표 Z방향으로 왕복 이동시키는 이미 공지된 수단(도시하지 않음)에 의해 행할 수 있다.
클리닝 패드(28)로서, 합성 섬유제의 직포 또는 부직포 혹은 발포체로 이루어지는 패드가 사용된다.
도6에 본 발명에 따라 패널의 양면을 클리닝하는 패널 클리닝 장치(10)를 도시한다. 도시한 패널 클리닝 장치(10)는 패널의 표면을 클리닝하는 클리닝 섹션(11)과, 패널의 이면을 클리닝하는 클리닝 섹션(11')을 갖는다.
클리닝 섹션(11')에 구비되는 클리닝 유닛(50')은 클리닝 섹션(11)에 구비되는 클리닝 유닛(50)과 실질적으로 동일한 구성에 있다. 즉, 클리닝 유닛(50')을 구성하는 클리닝 헤드(20'), 벨트 컨베이어(30'), 패널 보유 지지 수단(40')은 각각 클리닝 유닛(50)을 구성하는 클리닝 헤드(20), 벨트 컨베이어(30), 패널 보유 지지 수단(40)과 실질적으로 동일한 구성에 있고, 클리닝 섹션(11')에서는 이들 구성 성분(20, 30, 40)을 패널(12)의 똑바른 반송 경로에 관하여 선대칭이 되도록 배열하였을 뿐이다.
나타낸 예에서는 클리닝 섹션(11)에서 패널(12)을 화살표 X방향으로 반송하면서 그 표면을 클리닝하고, 또한 반송하여 표면의 클리닝을 종료시킨 패널(12)을 클리닝 섹션(11)으로부터 출력한다. 이에 계속해서, 클리닝 섹션(11')에 입력되고, 클리닝 섹션(11')에서 클리닝 유닛(50')에 의해 화살표 X방향으로 패널을 반송하면서 그 이면이 클리닝되고, 또한 반송하여 클리닝 섹션(11')으로부터 출력된다[여기서, 클리닝 섹션(11')에서 화살표 X방향으로 반송되고 있는 부호 12'로 나타내는 패널은 클리닝 섹션(11)에서 그 표면이 이미 클리닝되고, 클리닝 섹션(11')에서 그 이면이 클리닝되어 있는 것임). 이에 의해, 패널(12)의 양면이 클리닝된다.
이와 같이, 2개의 클리닝 유닛(50, 50')을 사용하여 한 쪽 클리닝 유닛(50)을 패널(12)의 표면을 클리닝하도록 배열하고, 다른 쪽 클리닝 유닛(50')을 패널(12)의 이면을 클리닝하도록 배열하여 패널(12)을 한 쪽면씩 클리닝함으로써 패널(12)을 반송하면서 패널(12)의 양면이 클리닝된다.
또한, 도6에 나타내는 예에서, 도1의 (a) 및 도2의 (a)에 도시하는 클리닝 헤드(20, 20')가 도시되어 있지만, 이 클리닝 헤드 대신에 도2의 (b)에 도시하는 클리닝 헤드(20)를 사용할 수 있다. 또한, 이들 도1의 (a), 도1의 (a) 및 도2의 (b)에 도시하는 클리닝 헤드를 조합하여 배열할 수 있다.
클리닝 중 패널을 진공 흡착시키는 일 없이, 패널을 벨트 컨베이어에 의해 반송되므로, 패널에 흡착흔을 형성하지 않고, 패널을 반송하면서 패널을 클리닝할 수 있다. 또한, 패널이 벨트에 지지되므로(즉, 패널의 한 쪽면과 반대측의 다른 쪽면이 벨트의 면에 의해 지지됨), 클리닝 중에 패널이 만곡되거나, 파괴되는 일이 없다.
2개의 클리닝 유닛을 사용하여 한 쪽 클리닝 유닛을 패널의 한 쪽면을 클리닝하도록 배열하고, 다른 쪽 클리닝 유닛을 패널의 다른 쪽면을 클리닝하도록 배열하여 패널을 한 쪽면씩 클리닝함으로써 흡착흔을 형성하지 않고, 패널을 반송하면서 패널의 양면을 클리닝할 수 있다.
도1의 (a)는 본 발명에 따른 패널 클리닝 장치의 측면도이고, 도1의 (b)는 벨트의 단면의 일예를 나타내는 도면.
도2의 (a) 및 도2의 (b)는 클리닝 헤드의 변형예를 나타내는 도면.
도3은 본 발명의 하나의 태양에 따른 패널 클리닝 장치의 평면도.
도4는 본 발명의 다른 태양에 따른 패널 클리닝 장치의 평면도.
도5는 본 발명의 그 밖의 태양에 따른 패널 클리닝 장치의 평면도.
도6은 본 발명에 따라 패널의 양면을 클리닝하는 패턴 클리닝 장치의 일예를 나타내는 도면.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10 : 패널 클리닝 장치
11, 11' : 클리닝 섹션
12, 12' : 패널
20, 20' : 클리닝 헤드
21 : 콘택트 롤러
22 : 클리닝 테이프
23 : 클리닝 벨트
24 : 회전축
25 : 테이프 롤러
26 : 권취 롤러
27 : 콘택트 디스크
28 : 클리닝 패드
29 : 모터
30, 30' : 벨트 컨베이어
31 : 벨트
32 : 입력측의 롤러
33 : 출력측의 롤러
34 : 텐션 롤러
40, 40' : 패널 보유 지지 수단
41, 42 : 닙 롤러
41a, 41b, 42a, 42b : 롤러
50, 50' : 클리닝 유닛
R : 헤드 회전 방향
r : 콘택트 디스크 회전 방향
S : 텐션 롤러 이동 방향
T : 벨트 구동 방향
X : 패널 반송 방향
Y : 패널의 폭의 방향
Z : 패널의 표면에 수직인 축의 방향

Claims (6)

  1. 패널을 반송하면서 패널의 표면 및 이면 중 어느 한 쪽면을 클리닝하기 위한 클리닝 유닛을 구비한 클리닝 섹션을 갖는 패널 클리닝 장치이며,
    상기 클리닝 유닛이,
    패널을 반송하는 반송 수단 및
    상기 패널의 한 쪽면을 클리닝하는 클리닝 수단으로 이루어지고,
    상기 반송 수단이,
    (1) 클리닝 중에 패널을 보유 지지하는 패널 보유 지지 수단이며,
    상기 클리닝 섹션에 상기 패널을 입력하는 측에 배열되어 패널을 그 표면측과 이면측으로부터 협지하여 보유 지지하는 적어도 한 쌍의 롤러로 이루어지는 입력측의 닙 롤러와,
    상기 클리닝 섹션으로부터 상기 패널을 출력하는 측에 상기 입력측의 닙 롤러와 평행하게 배열되어 패널을 그 표면측과 이면측으로부터 협지하여 보유 지지하는 적어도 한 쌍의 롤러로 이루어지는 출력측의 닙 롤러로 이루어지고,
    상기 입력측의 닙 롤러와 상기 출력측의 닙 롤러 사이의 간격이 상기 패널의 길이보다도 짧은 거리에 있고, 클리닝 중 상기 패널이 상기 입력측 및 출력측의 닙 롤러 중 적어도 한 쪽 닙 롤러에 의해 보유 지지되는 패널 보유 지지 수단과,
    (2) 상기 입력측의 닙 롤러와 상기 출력측의 닙 롤러 사이에 배열되어 클리닝 중에 상기 패널을 반송하는 벨트 컨베이어이며,
    상기 클리닝 섹션에 상기 패널을 입력하는 측에 상기 입력측의 닙 롤러와 평행하게 배열한 입력측의 롤러,
    상기 클리닝 섹션으로부터 상기 패널을 출력하는 측에 상기 입력측의 롤러와 평행하게 배열한 출력측의 롤러,
    상기 입력측의 롤러와 상기 출력측의 롤러에 권취된 벨트 및 상기 벨트를 구동하는 수단으로 이루어지고,
    상기 벨트가 상기 패널의 한 쪽면과 반대측의 다른 쪽면으로부터 상기 패널을 지지하고, 상기 벨트에 지지된 상기 패널이 똑바르게 반송되도록 상기 벨트 컨베이어의 상기 입력측 및 출력측의 롤러와, 상기 패널 보유 지지 수단의 상기 입력측 및 출력측의 닙 롤러가 배열되는 벨트 컨베이어로 이루어지는 패널 클리닝 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 벨트 컨베이어가 상기 입력측의 롤러와 상기 출력측의 롤러에 권취된 상기 벨트를 인장시키는 텐션 롤러로 또한 이루어지는 패널 클리닝 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 클리닝 수단이,
    (1) 클리닝 테이프 또는 클리닝 벨트를 상기 패널의 한 쪽면에 압박하는 콘택트 롤러 및 이 콘택트 롤러를 거쳐서 상기 클리닝 테이프 또는 클리닝 벨트를 주행시키는 수단으로 이루어지는 클리닝 헤드이며,
    상기 콘택트 롤러가 상기 패널의 폭보다도 긴 길이에 있고, 상기 클리닝 테이프 또는 클리닝 벨트가 상기 패널의 폭보다도 넓은 폭에 있는 클리닝 헤드,
    (2) 상기 패널의 한 쪽면에 수직인 축의 방향에 따라 상기 클리닝 헤드를 왕복 이동시키는 수단 및
    (3) 상기 패널의 폭 방향에 따라 상기 클리닝 헤드를 왕복 이동시키는 수단으로 이루어지는 패널 클리닝 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 클리닝 수단이,
    (1) 클리닝 테이프 또는 클리닝 벨트를 상기 패널의 한 쪽면에 압박하는 콘택트 롤러 및 이 콘택트 롤러를 거쳐서 상기 클리닝 테이프 또는 클리닝 벨트를 주행시키는 수단으로 이루어지는 클리닝 헤드이며,
    상기 콘택트 롤러가 상기 입력측의 닙 롤러와 상기 출력측의 닙 롤러 사이의 간격보다도 짧은 길이에 있는 클리닝 헤드,
    (2) 상기 패널의 한 쪽면에 수직인 축의 방향에 따라 상기 클리닝 헤드를 왕복 이동시키는 수단,
    (3) 상기 패널의 폭 방향에 따라 상기 클리닝 헤드를 왕복 이동시키는 수단 및
    (4) 상기 콘택트 롤러의 중앙을 통과하고 또한 상기 패널의 한 쪽면에 수직인 축에 관하여 상기 클리닝 헤드를 회전시키는 수단으로 이루어지는 패널 클리닝 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 클리닝 수단이,
    (1) 표면에 클리닝 헤드를 접착하고, 이 클리닝 헤드를 상기 패널의 한 쪽면에 압박하는 콘택트 디스크 및 상기 콘택트 디스크의 중심을 통과하고 또한 상기 패널의 한 쪽면에 수직인 축으로 관하여 상기 콘택트 디스크를 회전시키기 위한 수단으로 이루어지는 클리닝 헤드이며,
    상기 콘택트 디스크의 직경이 상기 입력측의 닙 롤러와 상기 출력측의 닙 롤러 사이의 간격보다도 짧은 길이에 있는 클리닝 헤드,
    (2) 상기 패널의 한 쪽면에 수직인 축의 방향에 따라 상기 클리닝 헤드를 왕복 이동시키는 수단 및
    (3) 상기 패널의 폭 방향에 따라 상기 클리닝 헤드를 왕복 이동시키는 수단으로 이루어지는 패널 클리닝 장치.
  6. 청구항 1의 패널 클리닝 장치를 사용하는 패널 클리닝 방법이며,
    패널을 반송하는 반송 공정 및
    상기 패널의 표면 및 이면 중 어느 한 쪽면을 클리닝하는 클리닝 공정으로 이루어지고,
    상기 반송 공정이,
    상기 벨트를 구동하는 공정,
    상기 패널 보유 지지 수단의 상기 입력측의 닙 롤러로 상기 패널을 보유 지지시키는 공정,
    상기 벨트로 상기 패널의 다른 쪽면으로부터 상기 패널을 지지하면서 상기 패널을 반송하는 공정 및
    상기 패널 보유 지지 수단의 상기 출력측의 닙 롤러로 상기 패널을 보유 지지시키는 공정으로 이루어지는 패널 클리닝 방법.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105921440A (zh) * 2016-07-04 2016-09-07 国网山东省电力公司莱州市供电公司 一种光伏板清洁装置及其清洁方法
CN108435613A (zh) * 2018-05-21 2018-08-24 吴江市聚杰微纤无尘洁净纺织品有限公司 一种曲面屏擦拭机构

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW200841987A (en) * 2007-04-16 2008-11-01 Sanshin Co Ltd Panel grinding device
KR101270823B1 (ko) * 2011-05-26 2013-06-05 이진형 세척기
JP5855483B2 (ja) * 2012-02-13 2016-02-09 日産自動車株式会社 電池押圧装置および電池押圧方法
JP6063131B2 (ja) 2012-02-13 2017-01-18 日産自動車株式会社 電池押圧装置および電池押圧方法
JP5511880B2 (ja) 2012-04-11 2014-06-04 株式会社ブルーマウステクノロジー 電力線通信装置
CN102698971A (zh) * 2012-06-04 2012-10-03 潮州三环(集团)股份有限公司 一种电子陶瓷片表面自动清扫装置
KR101352387B1 (ko) * 2013-06-12 2014-01-16 주식회사 코빅 건식 글라스 패널 세정 장치
CN105499207A (zh) * 2013-08-30 2016-04-20 重庆润泽医药有限公司 一种电凝镊清洁和擦干支座
KR102272661B1 (ko) 2014-10-02 2021-07-06 삼성디스플레이 주식회사 기판 세정 장치
AT516183B1 (de) * 2014-10-06 2016-03-15 Berndorf Band Gmbh Verfahren zum Schleifen einer Schweißnaht eines Metallbands
JP6517522B2 (ja) * 2015-01-30 2019-05-22 株式会社 ハリーズ 清掃装置及びワーク清掃システム
CN106733841A (zh) * 2016-12-21 2017-05-31 重庆天和玻璃有限公司 玻璃条自动打磨生产线
CN107262401B (zh) * 2017-06-29 2023-05-26 芜湖莫森泰克汽车科技股份有限公司 汽车全景天窗玻璃边沿自动清理装置
JP2019018127A (ja) * 2017-07-12 2019-02-07 株式会社 ハリーズ 清掃システム、透明基板の清掃方法及び電子部品の製造方法
CA3090835A1 (en) * 2018-02-23 2019-08-29 International Test Solutions, Inc. Novel material and hardware to automatically clean flexible electronic web rolls
CN110026388B (zh) * 2019-03-06 2021-09-03 中义(杭州)医药科技有限公司 一种柔性电路板表面清洁的黏尘机构
JP7359125B2 (ja) * 2020-10-14 2023-10-11 トヨタ自動車株式会社 転写基材再生装置及び転写基材再生方法
IT202100003830A1 (it) * 2021-02-19 2022-08-19 Giorgio Petratto Apparecchiatura per la pulitura di fogli di materiale cartaceo
KR102541947B1 (ko) * 2021-07-22 2023-06-12 주식회사 원테크코리아 가변벨트형 측면이송장치를 이용한 번들포장 시스템
KR102575757B1 (ko) * 2021-07-22 2023-09-06 주식회사 원테크코리아 가변벨트형 저면이송장치를 이용한 번들포장 시스템

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3778464B2 (ja) 1997-03-19 2006-05-24 本田技研工業株式会社 ブランク材洗浄装置
JP3618256B2 (ja) 1999-05-28 2005-02-09 大日本スクリーン製造株式会社 回転式基板処理装置及び回転式基板処理方法
JP2003145060A (ja) 2001-11-15 2003-05-20 Shibaura Mechatronics Corp 洗浄用ブラシ、洗浄装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105921440A (zh) * 2016-07-04 2016-09-07 国网山东省电力公司莱州市供电公司 一种光伏板清洁装置及其清洁方法
CN108435613A (zh) * 2018-05-21 2018-08-24 吴江市聚杰微纤无尘洁净纺织品有限公司 一种曲面屏擦拭机构

Also Published As

Publication number Publication date
TW200538211A (en) 2005-12-01
JP3964886B2 (ja) 2007-08-22
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CN1701917A (zh) 2005-11-30

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