KR20050084139A - 약액 공급 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (14)
- 저장 탱크에 저장된 약액(藥液)을 외부 장치에 공급하는 약액 공급 장치로서,그 안을 상기 약액이 소정의 유량으로 흐르는 공급 경로와,상기 외부 장치로의 상기 약액의 공급을 정지했을 때, 상기 공급 경로로부터 상기 저장 탱크에 상기 약액을 환류시키는 환류 경로를 구비한 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
- 복수의 저장 탱크에 각각 저장된 복수의 원액을 혼합해서 혼합 약액을 생성하고, 상기 혼합 약액을 외부 장치에 공급하는 약액 공급 장치로서,그 안을 상기 복수의 원액이 각각 소정의 유량으로 흐르는 복수의 공급 경로와,상기 외부 장치로의 상기 혼합 약액의 공급을 정지했을 때, 상기 복수의 공급 경로로부터 상기 복수의 저장 탱크에 상기 복수의 원액을 각각 환류시키기 위한 복수의 환류 경로를 구비하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
- 슬러리를 외부 장치에 공급하는 약액 공급 장치로서,그 안을 상기 슬러리를 조제하기 위해서 사용되는 연마용 입자를 포함하는 제 1 액(液)이 소정의 유량으로 흐르는 제 1 공급 경로와,그 안을 상기 슬러리를 조제하기 위해서 상기 제 1 액과 혼합되는 제 2 액이 소정의 유량으로 흐르는 제 2 공급 경로와,상기 제 1 공급 경로에 접속된 환류 경로로서, 상기 외부 장치로의 상기 슬러리의 공급을 정지했을 때, 상기 제 1 공급 경로로부터 상기 제 1 저장 탱크에 상기 제 1 액을 환류시키는 상기 환류 경로를 구비하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
- 제 4 항에 있어서,상기 제 1 저장 탱크로부터 상기 제 1 공급 경로와 병행하여 상기 환류 경로에 상기 제 1 액을 공급하는 바이패스 경로를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
- 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 공급 경로의 각각에는,관련되는 상기 저장 탱크로부터 관련되는 상기 액을 받아 들이기 위해서 선택적으로 열리는 상류 밸브와,각 공급 경로의 토출 압력을 설정하는 압력 조정 수단과,각 공급 경로의 유량을 조절하는 유량 조절 수단과,각 공급 경로로부터 상기 외부 장치로의 관련되는 상기 액을 공급하기 위해서 선택적으로 열리는 하류(下流) 밸브가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
- 제 5 항에 있어서,상기 상류 밸브, 상기 압력 조정 수단 및 상기 유량 조절 수단을 조작하여, 상기 제 1 액 및 상기 제 2 액의 유량을 제어하는 제어 장치를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
- 제 3 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제 1 공급 경로에 세정액을 공급하는 제 1 세정 밸브와,상기 제 1 공급 경로로부터 상기 세정액을 배출하는 제 2 세정 밸브를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
- 제 7 항에 있어서,상기 제 1 공급 경로는 병행하는 적어도 2개의 공급 경로 중의 하나이며, 상기 제 1 및 제 2 세정 밸브는 상기 적어도 2개의 공급 경로의 각각에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
- 제 6 항에 있어서,상기 압력 조정 수단은 관련되는 상기 공급 경로 내의 압력을 검출해서 그 검출값을 상기 제어 장치에 공급하는 압력계와, 상기 압력계의 검출값에 의거하여 상기 제어 장치에 의해 제어되는 정압(定壓) 밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
- 제 6 항에 있어서,상기 유량 조절 수단은 상기 각 경로의 유량을 검출해서 그 검출값을 상기 제어 장치에 공급하는 유량계와, 상기 유량계의 검출값에 의거하여 상기 제어 장치에 의해 제어되는 오리피스를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
- 제 1 액을 저장하는 제 1 탱크와, 제 2 액을 저장하는 제 2 탱크에 접속되고, 상기 제 1 액과 상기 제 2 액을 혼합해서 혼합액을 조제하면서, 상기 혼합액을 외부 장치에 공급하는 장치로서,그 안을 상기 제 1 액이 흐르는 제 1 공급 경로와,그 안을 상기 제 2 액이 흐르는 제 2 공급 경로와,상기 제 1 공급 경로와 상기 제 2 공급 경로에 접속되고, 상기 제 1 액과 상기 제 2 액을 혼합하기 위한 믹서와,상기 제 1 공급 경로에 설치되고, 상기 제 1 액의 상기 믹서로의 공급을 선택적으로 차단하기 위한 제 1 차단 밸브와,상기 제 1 공급 경로에서, 상기 제 1 차단 밸브의 상류 위치와 상기 제 1 탱크를 접속하는 제 1 환류 경로와,상기 제 1 환류 경로의 도중에 설치된 제 1 환류 밸브와,상기 외부 장치로의 상기 혼합액의 공급을 정지할 때, 상기 제 1 공급 경로중의 상기 제 1 액의 흐름을 유지하면서, 상기 제 1 액을 상기 제 1 환류 경로를 통해서 제 1 탱크에 되돌리기 위해서, 상기 제 1 차단 밸브를 폐쇄(閉鎖)하고, 또한, 상기 제 1 환류 밸브를 개방하는 제어 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 혼합액을 외부 장치에 공급하는 장치.
- 제 11 항에 있어서,상기 제 2 공급 경로에 설치되고, 상기 제 2 액의 상기 믹서로의 공급을 선택적으로 차단하기 위한 제 2 차단 밸브와,상기 제 2 공급 경로에서, 상기 제 2 차단 밸브의 상류 위치와 상기 제 2 탱크를 접속하는 제 2 환류 경로와,상기 제 2 환류 경로의 도중에 설치된 제 2 환류 밸브를 더 구비하고, 상기 제어 장치는 상기 외부 장치로의 상기 혼합액의 공급을 정지할 때, 상기 제 2 액을 상기 제 2 환류 경로를 통해서 제 2 탱크에 되돌리기 위해서, 상기 제 2 차단 밸브를 폐쇄하고, 또한 상기 제 2 환류 밸브를 개방하는 것을 특징으로 하는 혼합액을 외부 장치에 공급하는 장치.
- 제 12 항에 있어서,상기 외부 장치에 상기 혼합액을 공급할 때, 상기 제어 장치는 상기 제 1 및 제 2 차단 밸브를 개방하고, 또한, 상기 제 1 및 제 2 환류 밸브를 폐쇄하는 것을 특징으로 하는 혼합액을 외부 장치에 공급하는 장치.
- 제 13 항에 있어서,상기 제 1 액은 연마용 입자를 포함하는 서스펜션이며, 상기 제 2 액은 상기 서스펜션을 희석하기 위한 희석액이고, 상기 혼합액은 연마용 슬러리인 것을 특징으로 하는 혼합액을 외부 장치에 공급하는 장치.
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