KR101146696B1 - 웨이퍼 연마용 슬러리를 공급하는 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 실리콘 웨이퍼 연마용 슬러리 공급 장치 및 방법을 개시한다. 본 발명에 따른 연마기의 웨이퍼 연마 공정에 사용되는 연마용 슬러리를 공급하는 장치는, 둘 이상의 연마용 슬러리 원료에 대하여 공급량이 일정하게 유지되도록 조절하는 공급량 조절부; 상기 공급량 조절부로부터 공급된 연마용 슬러리 원료의 흐르는 방향이 1회 이상 전환되도록 내부에 유로가 형성되어, 상기 유로를 통해 상기 연마용 슬러리 원료를 혼합하여 연마용 슬러리를 생성하는 원료 혼합부; 및 상기 원료 혼합부로부터 상기 연마용 슬러리를 공급받아 수용하고 이를 상기 연마기로 공급하는 버퍼 탱크;를 포함한다.
웨이퍼, 연마, 슬러리, 공급, 유로

Description

웨이퍼 연마용 슬러리를 공급하는 장치 및 방법{Apparatus and method for supplying wafer polishing slurry}
본 발명은 실리콘 웨이퍼 연마용 슬러리 공급 장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 연마용 슬러리의 품질을 향상시킬 수 있도록 연마기로 공급하는 경로 및 시간을 단축시킨 연마용 슬러리 공급 장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로 웨이퍼는 슬라이싱(slicing) 공정, 그라인딩(grinding) 공정, 랩핑(lapping) 공정, 에칭(etching) 공정, 연마(polishing) 공정 등의 일련의 공정을 거쳐 반도체 소자 제조용 웨이퍼로 생산된다. 그 중, 연마 공정은 웨이퍼 표면의 평탄도를 높이기 위해서 화학기계연마(CMP;Chemical Mechanical Polishing) 가공에 의하여, 웨이퍼 표면을 경면 상태로 만드는 공정이다.
이러한 연마 공정에서는 연마 효율을 높이기 위하여 슬러리 형태의 연마재, 즉 연마용 슬러리가 사용되는 것이 일반적이다. 연마용 슬러리에는 다양한 종류가 존재하고 있으며, 그 중 대표적인 것으로 주로 콜로이드 실리카나 퓸드 실리카와 같은 실리카계 슬러리와 알루미나계 슬러리 등을 들 수 있다. 특히, 콜로이드 실리카는 연마속도가 우수하고 분산안정성 및 저장성이 좋아 연마 후 표면에 긁힘 현상 및 잔류 이물 흔적이 적게 남으므로 널리 사용되고 있다.
일반적으로 원액 드럼 형태로 존재하는 연마용 슬러리 원료가 연마용 슬러리로 혼합되어 연마기로 공급되기까지에는 다수의 탱크, 펌프 및 배관 등으로 이루어진 여러 단계를 거쳐야 한다.
도 1은, 종래의 연마용 슬러리 공급 장치의 구성에 대한 일례를 도시하는 도면이다.
도 1을 참조하면, 연마용 슬러리를 제조하기 위한 콜로이드 실리카와 같은 슬러리 원액이 원액 드럼(10)으로부터 펌프 P1(11)을 통해 원액공급 탱크(20)로 제공되어 저장된다. 그리고, 이와 같이 원액공급 탱크(20)에 저장된 슬러리 원액은 초순수와 함께 혼합 탱크(40)로 공급되어 혼합되게 되는데, 이때 혼합비는 측정 탱크(30)에 의해 조절된다. 그리고나서 혼합 탱크(40)는 혼합된 연마용 슬러리를 펌프 P2(41)에 의해 버퍼 탱크(50)로 공급한다. 또한, 펌프 P2(41)는 버퍼 탱크(50)에 공급되지 않고 순환 라인(42)에 남아 있는 연마용 슬러리를 다시 혼합 탱크(40)로 재공급한다. 한편, 버퍼 탱크(50)는 혼합 탱크(40)로부터 공급받은 연마용 슬러리를 수용하고 있다가 연마 공정이 수행되는 경우 연마용 슬러리를 펌프 P3(51)를 이용하여 연마기(60)로 공급한다. 이때 버퍼 탱크(50)의 펌프 P3(51) 또한 연마기(60)로 공급되지 않고 순환 라인(52)에 남아 있는 연마용 슬러리를 다시 버퍼 탱크(50)로 재공급한다.
이와 같이 종래의 연마용 슬러리 공급 장치에 따르면, 연마용 슬러리 원료가 원액 드럼 형태로부터 연마용 슬러리로 제조되어 연마기로 공급되기까지 원액공급 탱크, 측정 탱크, 혼합 탱크 및 버퍼 탱크와 같은 여러 개의 탱크와 그에 설치된 펌프 및 배관을 거쳐야 한다. 뿐만 아니라, 혼합 탱크와 버퍼 탱크의 경우 슬러리를 순환하여 공급할 수 있도록 펌프 및 순환 라인을 통과하는 과정이 반복적으로 수행되어야 한다.
그런데, 이와 같이 여러 단계의 탱크 및 배관을 거치는 과정에서 연마용 슬러리의 연마 입자가 서로 응집될 수 있으며, 특히 펌프에 의해 연마용 슬러리가 순환하는 과정에서 이러한 연마 입자의 응집은 더욱 가속화될 수 있다. 이와 같이 미세한 연마 입자가 응집되어 비교적 큰 입자를 형성하면 연마용 슬러리로서 기능을 제대로 수행하지 못할 수 있다. 뿐만 아니라, 연마용 슬러리가 이동, 혼합 및 순환 등의 과정을 거치는 동안 연마용 슬러리 내부의 휘발성 물질이 휘발될 수 있는데, 이는 곧 연마용 슬러리의 구성 성분 변화를 가져와 그 기능을 떨어뜨릴 수 있다.
그러므로, 종래 기술에 의하면 이러한 연마 입자의 응집과 연마용 슬러리의 구성 성분 변화 등으로 인해 연마 효율이 감소되어 일정 수준 이상의 웨이퍼 품질을 확보할 수 없게 되는 문제가 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로서, 실리콘 웨이퍼의 연마 공정에 사용되는 연마용 슬러리를 연마기로 공급할 때 공급 경로 및 시간이 단축되도록 함으로써 연마 효율을 향상시킬 수 있는 연마용 슬러리 공급 장치 및 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있으며, 본 발명의 실시예에 의해 보다 분명하게 알게 될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 연마기의 웨이퍼 연마 공정에 사용되는 연마용 슬러리를 공급하는 장치는, 둘 이상의 연마용 슬러리 원료에 대하여 공급량이 일정하게 유지되도록 조절하는 공급량 조절부; 상기 공급량 조절부로부터 공급된 연마용 슬러리 원료의 흐르는 방향이 1회 이상 전환되도록 내부에 유로가 형성되어, 상기 유로를 통해 상기 연마용 슬러리 원료를 혼합하여 연마용 슬러리를 생성하는 원료 혼합부; 및 상기 원료 혼합부로부터 상기 연마용 슬러리를 공급받아 수용하고 이를 상기 연마기로 공급하는 버퍼 탱크;를 포함한다.
또한, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 연마기의 웨이퍼 연마 공정에 사용되는 연마용 슬러리를 공급하는 방법은, 둘 이상의 연마용 슬러리 원료에 대하여 공급량이 일정하게 유지되도록 조절하는 단계; 상기 연마용 슬러리 원료의 흐르는 방향이 1회 이상 전환되도록 형성된 유로로 상기 연마용 슬러리 원료를 통과시켜 혼합함으로써 연마용 슬러리를 생성하는 단계; 상기 연마용 슬러리를 버퍼 탱크에 수용하는 단계; 및 상기 버퍼 탱크로부터 상기 연마기로 연마용 슬러리를 공급하는 단계;를 포함한다.
본 발명에 의하면, 실리콘 웨이퍼의 연마 공정에 사용하기 위한 연마용 슬러리를 연마기로 공급하는 과정에서 공급 경로 및 시간을 효과적으로 단축시킬 수 있다. 따라서, 연마용 슬러리가 연마기로 공급되는 과정에서 연마 입자가 응집하거나 휘발성 물질의 휘발로 연마용 슬러리의 구성 성분이 변화하는 문제점을 방지할 수 있다.
그러므로, 본 발명에 따르면 웨이퍼 연마 공정에 사용되는 연마용 슬러리의 품질 및 상태를 일정하게 유지할 수 있으므로 웨이퍼 연마 효율을 안정적으로 확보하여 웨이퍼 제조 품질을 향상시킬 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상에 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
도 2는, 본 발명의 일 실시예에 따른 연마용 슬러리 공급 장치의 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 연마용 슬러리 공급 장치는 공급량 조절부(110), 원료 혼합부(120) 및 버퍼 탱크(130)를 포함한다.
상기 공급량 조절부(110)는, 펌프 P4(151)에 의해 슬러리 원액 드럼(150)으로부터 공급되는 슬러리 원액 또는 초순수 공급 수단(160)에 의해 공급되는 초순수와 같은 연마용 슬러리 원료가 원료 혼합부(120)로 공급될 때, 그 공급량이 적정한 상태로 일정하게 유지되도록 조절한다. 예를 들면, 원료 혼합부(120)로 공급되는 슬러리 원액과 초순수의 양이 일정 비율을 유지하도록 공급량을 조절한다.
도 2에서는 연마용 슬러리 원료로서 하나의 슬러리 원액과 초순수만 공급되는 것으로 도시되었으나, 이는 일 실시예에 불과하며 다양한 종류 및 개수의 슬러리 원료가 원료 혼합부(120)로 공급될 수 있다. 예를 들면, 슬러리 원액 및 초순수와 함께 각종 첨가제가 연마용 슬러리 원료로서 원료 혼합부(120)로 공급될 수 있다. 그리고 이 경우 슬러리 원료의 개수에 따라 공급량 조절부(110)의 개수 또한 변경될 수 있음은 당업자에게 자명하다.
또한, 상기 슬러리 원액 드럼(150)으로부터 공급되는 슬러리 원액은 콜로이드 실리카일 수 있으나, 본 발명에 따른 연마용 슬러리 공급 장치가 공급하는 연마용 슬러리의 종류에 따라 슬러리 원액의 종류는 다양하게 변경될 수 있다.
상기 원료 혼합부(120)는 내부에 연마용 슬러리 원료가 흐를 수 있는 유로가 형성되어 있다. 공급량 조절부(110)로부터 공급된 연마용 슬러리 원료는 이러한 유로를 따라 흐르게 되는데, 이때 유로는 연마용 슬러리 원료가 그 흐르는 방향을 1회 이상 전환하도록 형성되어 있다. 즉, 원료 혼합부(120)의 내부에서 연마용 슬러리 원료는 계속해서 한 방향으로 흐르는 것이 아니라 방향을 여러 번 바꾸어 흐르게 된다. 이와 같이 슬러리 원료가 방향을 전환하여 흐르게 되면 그러한 전환 과정에서 난류가 발생하게 되므로, 원료 혼합부(120) 내부에서 둘 이상의 슬러리 원료는 서로 균일하게 혼합되어 연마용 슬러리를 생성하게 된다.
원료 혼합부(120)에 형성된 이러한 유로는 연마용 슬러리 원료가 방향을 전환하면서 흐를 수 있는 형태로 구현되면 족하며, 본 발명이 그 구체적인 특정 실시 형태에 의해 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 상기 유로는 원료 혼합부(120)가 내부에 복수의 격벽을 구비하고 그러한 복수의 격벽에 의해 한정되어 구현될 수 있다.
더욱 구체적으로, 상기 유로는 복수의 격벽이 원료 혼합부(120)의 좌우에 번갈아 설치되어 구현될 수 있다. 또는, 상기 유로는 복수의 격벽에 구멍(122)이 좌우 번갈아 형성되어 구현될 수 있다. 도 3 내지 도 6은, 본 발명의 서로 다른 실시예에 따른 복수의 격벽(121)에 의해 유로가 형성된 원료 혼합부(120)의 내부 구성 을 위에서 바라본 형태의 도면이다. 도 3 내지 도 6에서 화살표는 원료 혼합부(120) 내부의 유로를 따라 유체가 흐르는 방향을 나타낸다.
도 3을 참조하면, 원료 혼합부(120)는 그 좌우 폭보다 짧은 길이를 갖는 복수의 격벽(121)을 구비한다. 그리고, 이러한 복수의 격벽(121)은 원료 혼합부(120)의 내부에서 좌우에 번갈아 설치되어 격벽(121)이 없는 부분에 의해 유로를 형성한다. 따라서, 원료 혼합부(120)로 공급된 초순수 및 슬러리 원액이 이와 같이 형성된 유로를 흐르다 보면, 도면에서 화살표로 도시된 바와 같이 180도(°) 방향 전환을 여러 번 반복하게 된다. 이러한 방향 전환은 난류를 발생시키므로 슬러리 원액과 초순수가 균일하게 혼합될 수 있고, 결국 균일한 혼합 슬러리가 원료 혼합부(120) 외부로 배출되게 된다.
도 3은 복수의 격벽(121)이 원료 혼합부(120)의 좌우에만 유로를 형성한 형태를 도시하였으나 다른 형태로 유로를 형성할 수도 있다.
도 4를 참조하면, 복수의 격벽(121)이 원료 혼합부(120)의 좌우에 번갈아 유로를 형성할 뿐 아니라, 그 원료 혼합부(120)의 중간에도 유로를 형성한다. 따라서, 공급된 슬러리 원액 및 초순수는 원료 혼합부(120) 내부에서 180도 방향 전환과 90도 방향 전환을 반복하게 되어 서로 균일하게 혼합될 수 있다.
도 5를 참조하면, 복수의 격벽(121)이 원료 혼합부(120)의 좌우와 중간에 유로를 번갈아 형성하고 있다. 따라서, 공급된 슬러리 원액 및 초순수는 원료 혼합부(120) 내부에서 이러한 유로를 따라 흐르면서 180도 방향 전환과 90도 방향 전환을 반복하게 되어 서로 균일하게 혼합될 수 있다.
한편, 도 3 내지 도 5에서는 원료 혼합부(120)의 좌우 폭보다 짧은 길이를 갖는 복수의 격벽(121)에 의해 유로가 형성된 형태를 도시하였으나, 원료 혼합부(120)의 좌우 폭과 동일한 길이를 갖는 복수의 격벽(121)에 의해 유로가 형성될 수도 있다.
도 6을 참조하면, 원료 혼합부(120)에 구비된 복수의 격벽(121)은 모두 원료 혼합부(120)의 좌우 폭과 동일한 길이를 갖고 있다. 따라서, 도 3 내지 도 5와 달리 격벽(121)에 의해 원료 혼합부(120)의 내부가 독립된 여러 공간으로 분리된다. 다만, 이러한 복수의 격벽(121)에는 구멍(122)이 좌우 번갈아 형성되어 있어, 슬러리 원액 및 초순수는 이러한 구멍(122)을 통해 격벽(121)에 의해 분리된 다음 공간으로 흐를 수 있게 된다. 이와 같이, 원료 혼합부(120) 내부에는 격벽(121)과 격벽(121)에 형성된 구멍(122)을 통해 유로가 형성되며, 슬러리 원액 및 초순수는 이러한 유로를 통해 흐르면서 180도 방향 전환을 하여 균일하게 혼합되고 외부로 배출된다.
한편, 도 3 내지 도 6에서는 슬러리 원액 및 초순수가 90도 또는 180도로 방향을 전환하는 형태만을 도시하였으나, 이는 일 실시예에 불과하며 본 발명이 이러한 유로의 구체적인 방향 전환 각도에 의해 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 유로가 45도나 120도와 같이 다양한 방향 전환 각도를 가질 수 있다.
또한, 상기 유로는 상기 실시예와 같이 격벽(121)에 의해 구현되지 아니하고, 원료 혼합부(120) 내부에 파이프가 구비되어 그에 의해 구현될 수도 있다.
도 7은, 본 발명의 일 실시예에 따른 파이프(123)에 의해 유로가 형성된 원 료 혼합부(120)의 내부 구성을 위에서 바라본 형태의 도면이다.
도 7을 참조하면, 원료 혼합부(120)는 내부에 파이프(123)를 구비하여 유로를 형성한다. 다만, 이러한 파이프(123)는 원료 혼합부(120)의 좌우 방향으로 다양한 각도로 방향을 전환하는 형태를 포함한다. 따라서, 공급된 슬러리 원액 및 초순수는 이러한 파이프(123) 내부를 따라 흐르면서 다양하게 방향 전환을 하게 되며, 그 과정에서 서로 균일하게 혼합되어 외부로 배출되게 된다.
도 3 내지 도 7에서 원료 혼합부(120) 내부에 유로가 형성된 형태를 설명하였으나, 이러한 실시예들은 구체적인 일례에 불과하며 다양한 형태로 변형될 수 있음은 본 발명의 당업자에게 자명하다.
상기 버퍼 탱크(130)는, 원료 혼합부(120)로부터 각 원료가 균일하게 혼합된 연마용 슬러리를 공급받아 수용한다. 그리고 이와 같이 수용된 연마용 슬러리를 연마 공정에 사용할 수 있도록 연마기(140)로 공급한다.
여기서, 상기 버퍼 탱크(130)는 도 2에 도시된 바와 같이, 연마기(140)로 연마용 슬러리를 공급하기 위해 펌프 P5(131)를 구비할 수 있다. 이러한 펌프 P5(131)는 연마 공정이 수행될 때 버퍼 탱크(130)에 수용된 연마용 슬러리를 연마기(140)로 공급한다. 또한, 상기 펌프 P5(131)는 연마기(140)로 공급되지 않은 연마용 슬러리를 순환 라인(132)을 통해 다시 버퍼 탱크(130)로 재공급한다.
여기서, 상기 연마기(140)의 작동이 중단된 때, 이를테면 연마기(140)가 고장이거나 그 동작이 정지되어 연마기(140)로 연마용 슬러리가 공급되지 않을 때에는, 상기 펌프 P5(131)도 재공급 동작을 중단하는 것이 좋다. 종래 기술에 의하면, 연마기의 작동이 중단된 때에도 펌프가 여전히 작동하여 버퍼 탱크에 있는 연마용 슬러리가 순환 라인을 통해 다시 버퍼 탱크로 재공급되는 순환 동작이 수행되었다. 그런데 이러한 과정에서, 순환 라인을 통해 연마용 슬러리가 이동하면서 연마 입자가 응집되고 휘발성 물질이 증발되어 연마용 슬러리의 구성 성분이 점차 변화하는 문제점이 발생하였다. 그러나, 상기 실시예에 의하면 연마기(140)의 작동이 중단된 때에는 펌프 P5(131)에 의한 이러한 슬러리 순환 과정이 수행되지 않도록 함으로써 상기와 같은 문제점이 해결될 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 도 2와 종래 기술에 따른 도 1을 비교하여 보면, 도 2의 경우, 도 1에 비해 탱크, 펌프 및 순환 라인 등의 개수가 현저히 감소하였음을 알 수 있다. 따라서, 본 발명에 의하면 연마용 슬러리의 공급 경로 및 시간을 단축시켜 연마 입자의 응집 및 휘발성 물질의 휘발에 따른 구성 성분 변화를 방지하여 연마용 슬러리의 품질을 향상시킬 수 있다.
도 8은, 종래의 연마용 슬러리 공급 장치에 의해 공급된 연마용 슬러리와 본 발명에 따른 연마용 슬러리 공급 장치에 의해 공급된 연마용 슬러리에 각각 포함된 응집된 연마 입자의 개수를 측정한 후 그 결과를 비교하여 나타낸 도면이다.
도 8의 측정에서는, 300mm 웨이퍼 한 장에 공급되는 일정량의 연마용 슬러리에서 장반경이 50nm 이상의 크기를 갖는 연마 입자를 응집된 연마 입자로 판단하고 그 개수를 파티클 카운터(particle counter)로 측정하였다. 도 8의 그래프에서 가로축은 측정 시점을 나타내며, 세로축은 응집된 연마 입자의 개수를 나타낸다. 또한, 응집된 연마 입자를 카운트한 결과는 그래프 상에서 점으로 나타내었으며, 그 러한 점들의 이동 평균을 직선으로 나타내었다. 그리고, 도 8에서 구분선 a의 좌측은 도 1의 종래의 연마용 슬러리 공급 장치에 의한 연마용 슬러리의 측정 결과를 나타내며, 구분선 a의 우측은 도 2의 본 발명에 따른 연마용 슬러리 공급 장치에 의한 연마용 슬러리의 측정 결과를 나타낸다.
도 8을 참조하면, 본 발명에 따른 연마용 슬러리 공급 장치에 의해 공급된 연마용 슬러리는 종래의 연마용 슬러리 공급 장치에 의해 공급된 연마용 슬러리보다 50nm 이상 크기의 응집된 연마 입자를 훨씬 더 적게 포함하고 있음을 알 수 있다. 따라서, 본 발명에 의하면 응집된 연마 입자의 개수가 적은 연마용 슬러리를 공급할 수 있으므로, 연마용 슬러리의 품질을 개선하여 연마 효율을 향상시킬 수 있게 된다.
다음은 상기와 같은 구성을 가지는 본 실시예의 연마용 슬러리 공급 장치를 이용한 연마용 슬러리 공급 방법을 설명한다. 도 9는, 본 발명의 일 실시예에 따른 연마용 슬러리 공급 방법을 개략적으로 나타내는 흐름도이다.
도 9에 도시된 바와 같이, 둘 이상의 연마용 슬러리 원료가 공급될 때(S110), 그 공급량이 일정하게 유지되도록 조절한다(S120). 다음으로, 연마용 슬러리 원료의 흐르는 방향이 1회 이상 전환되도록 형성된 유로로 연마용 슬러리 원료를 통과시켜 혼합함으로써 연마용 슬러리를 생성한다(S130). 이때, 상기 유로는 복수의 격벽에 의해 한정되어 구현될 수 있다. 더욱 구체적으로, 상기 유로는 좌우 번갈아 설치된 복수의 격벽을 포함하여 구현되거나, 구멍이 좌우 번갈아 형성된 복수의 격벽을 포함하여 구현될 수 있다. 또한, 상기 유로는 격벽이 아닌 파이프에 의해 구현될 수도 있다.
그리고 나서, 생성된 연마용 슬러리를 버퍼 탱크로 공급하여 이를 수용하고(S140), 버퍼 탱크로부터 연마기로 연마용 슬러리를 공급한다(S150). 여기서, 상기 S150 단계 이후에 상기 연마기로 공급되지 않은 연마용 슬러리를 다시 버퍼 탱크로 재공급하는 단계(S160)를 더 포함할 수 있다. 이때, 연마기의 동작 종료 또는 고장 등으로 인해 연마기가 작동하지 않는 때에는, 상기 S160 단계는 수행되지 않는 것이 좋다.
이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.
도 1은, 종래의 연마용 슬러리 공급 장치의 구성에 대한 일례를 도시하는 도면이다.
도 2는, 본 발명의 일 실시예에 따른 연마용 슬러리 공급 장치의 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 3 내지 도 6은, 본 발명의 서로 다른 실시예에 따른 복수의 격벽에 의해 유로가 형성된 원료 혼합부의 내부 구성을 위에서 바라본 형태의 도면이다.
도 7은, 본 발명의 일 실시예에 따른 파이프에 의해 유로가 형성된 원료 혼합부의 내부 구성을 위에서 바라본 형태의 도면이다.
도 8은, 종래의 연마용 슬러리 공급 장치에 의해 공급된 연마용 슬러리와 본 발명에 따른 연마용 슬러리 공급 장치에 의해 공급된 연마용 슬러리에 각각 포함된 응집된 연마 입자의 개수를 측정한 후 그 결과를 비교하여 나타낸 도면이다.
도 9는, 본 발명의 일 실시예에 따른 연마용 슬러리 공급 방법을 개략적으로 나타내는 흐름도이다.

Claims (12)

  1. 연마기의 웨이퍼 연마 공정에 사용되는 연마용 슬러리를 공급하는 장치에 있어서,
    둘 이상의 연마용 슬러리 원료에 대하여 공급량이 일정하게 유지되도록 조절하는 공급량 조절부;
    상기 공급량 조절부로부터 공급된 연마용 슬러리 원료의 흐르는 방향이 1회 이상 전환되도록 내부에 유로가 형성되어, 상기 유로를 통해 상기 연마용 슬러리 원료를 혼합하여 연마용 슬러리를 생성하는 원료 혼합부; 및
    상기 원료 혼합부로부터 상기 연마용 슬러리를 공급받아 수용하고 이를 상기 연마기로 공급하는 버퍼 탱크;
    를 포함하되,
    상기 유로는, 상기 원료 혼합부 내부에 구비된 파이프에 의해 구현되는 것을 특징으로 하는 연마용 슬러리 공급 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 버퍼 탱크는 상기 연마기로 공급되지 않은 연마용 슬러리를 다시 버퍼 탱크로 재공급하는 펌프를 포함하되,
    상기 펌프는, 상기 연마기의 작동이 중단된 때에는 상기 재공급 동작을 수행하지 않는 것을 특징으로 하는 연마용 슬러리 공급 장치.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 삭제
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