KR100692910B1 - 슬러리 공급장치를 위한 보완 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 슬러리 공급장치를 위한 보완 장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 하나의 슬러리 공급 장치(210)와 화학적 기계적 연마 장치에 연결되며 밸브(32, 34)를 갖는 제 1 배관 루프(20); 다른 슬러리 공급 장치(220)와 화학적 기계적 연마 장치에 연결되고 밸브(52, 54)를 갖는 제 2 배관 루프(40); 그리고, 제 1, 2 배관 루프(20, 40)에 연결되며 각각 양방향성 밸브(72, 74)를 가지는 보완 루프(60, 65);를 포함하여 구성되고, 하나의 슬러리 공급 장치(220)가 작동 정지시에 정상 작동 중인 슬러리 공급 장치로부터 보완 루프를 통해 정지된 슬러리 공급 장치에 연결된 배관 루프로 슬러리 등이 공급되는 것을 특징으로 하는 슬러리 공급장치를 위한 보완 장치 및 이를 이용한 보완 방법에 관한 것이다.
슬러리 공급 장치 , 배관 루프, 보완 루프, 밸브

Description

슬러리 공급장치를 위한 보완 장치 및 방법{Back up system and method for slurry delivery system}
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 슬러리 공급장치를 위한 보완 장치의 개념도이고,
도 2는 본 발명의 슬러리 공급장치를 위한 보완 장치가 적용된 실제 유닛의 평면도이다.
[도면의 주요부분에 대한 부호의 설명]
20 : 제 1 배관 루프 22 : 공급라인,
24 : 회수라인 32 : 밸브
34 : 밸브 40 : 제 2 배관 루프
42 : 공급라인 44 : 회수라인
52 : 밸브 54 : 밸브
60 : 공급용 보완 루프 65 : 회수용 보안 루프
72 : 양방향성 밸브 74 : 양방향성 밸브
210 : 슬러리 공급 장치 220 : 슬러리 공급 장치
본 발명은 웨이퍼 표면 연마를 위한 화학기계적 연마(CMP) 장비에 연마재 첨가제를 공급하는 슬러리 공급장치를 위한 보완 장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 두대의 슬러리 공급장치에 연결된 각각 연결된 배관 루프와 이 배관 루프를 상호 연결하는 보완 루프를 포함하여 구성되고, 하나의 슬러리 공급 장치가 작동 정지시에 정상 작동 중인 슬러리 공급 장치로부터 보완 루프를 통해 정지된 슬러리 공급 장치에 연결된 배관 루프로 슬러리 등이 공급되는 것을 특징으로 하는 슬러리 공급장치를 위한 보완 장치 및 이를 이용한 보완 방법에 관한 것이다.
화학기계적 연마(또는 평탄화, CMP)는 연마재에 의한 기계적인 폴리싱 효과와 산 또는 염기 용액에 의한 화학적 반응 효과를 결합하여 웨이퍼 표면을 연마(또는 평탄화) 해주는 공정을 말하며, 화학적 기계적 연마(chemical mechanical polishing) 장치란 이러한 화학기계적 연마를 수행하는 장치 또는 설비를 의미한다.
일반적으로 화학기계적 연마 장치는 공정별로 하나의 라인을 이루어 운행되며, 1대의 슬러리 공급 장치에 복수대(예를 들어, 1 ~ 4대)의 화학적 기계적 연마 장치가 연결되어 연마재(슬러리)와 첨가제를 공급받아 사용된다. 따라서, 그 1대의 슬러리 공급 장치에 이상이 발생하여 정지되면 여러대의 화학기계적 연마장치가 가동을 할 수 없게 되는 문제점이 있다. 이렇게 되면 고가의 와이퍼 생산에 차질이 생기며 슬러리 공급 장치의 정상 운행까지 화학적 기계적 연마 장치를 동작할 수 없게되어 손해가 커진다. 즉, 화학기계적 연마 장치에서 웨이퍼 연마 중 슬러리 공 급 장치 1대의 이상으로 여러 대의 화학기계적 연마 장치가 동작할 수 없으면 고부가가치 반도체 생산 라인을 공정별로 진행할 수 없어 시간적,경제적으로 손실이 크다 할 수 있다.
본 발명의 목적은 슬러리 공급 장치의 부속장치인 보완 시스템을 도입함으로써 내, 외부적 원인으로 슬러리 공급장치 중 1대가 이상 정지했을 때, 다른 1대가 이를 감지하여 자동으로 이상 정지된 슬러리 공급 장치에 연결된 배관으로 슬러리 와 첨가제를 공급해주는 슬러리 공급장치를 위한 보완 장치 및 방법을 제공하기 위한 것이다. 이로 인해 슬러리 공급 장치 중 일부가 정지되도 그에 연결된 화학기계적 연마 장치의 가동을 계속할 수 있게 하기 위함이다.
이하에서는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자가 용이하게 실시할 수 있도록 바람직한 실시예가 첨부된 도면을 참조하여 발명의 구성에 관하여 설명한다.
본 발명의 일실시예에 따른 슬러리 공급장치를 위한 보완 장치는 제 1 배관 루프(20), 제 2 배관 루프(40), 공급용 보완 루프(60) 및 회수용 보완 루프(65)로 구성되고, 하나의 슬러리 공급 장치가 작동 정지시에 보완 루프 상의 양방향성 밸브(72, 74)가 개방됨으로써 정상 작동 중인 슬러리 공급 장치로부터 정지된 슬러리 공급 장치에 연결된 배관 루프로 슬러리 등이 공급되는 것을 특징으로 한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 슬러리 공급장치를 위한 보완 장치의 개 념도이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 제 1 배관 루프(20)는 하나의 슬러리 공급 장치(210)와 그것으로부터 연마재(슬러리)와 첨가제를 공급받는 적어도 하나의 화학기계적 연마 장치(212, 214, 216, 218)에 연결되고, 연마재(슬러리) 또는 첨가제의 공급, 회수 통로가 되며 공급라인(22)과 회수라인(24)에 각각 밸브(32, 34)를 가진다. 슬러리 공급장치는 공급라인(22)과 회수라인(24) 사이에서 적어도 하나의 화학기계적 연마 장치에 연결된다. 바람직하게는 1~4대의 화학기계적 연마 장치에 연결된다.
제 2 배관 루프(40)는 다른 슬러리 공급 장치(220)와 그것으로부터 연마재(슬러리)와 첨가제를 공급받는 적어도 하나의 화학적 기계적 연마 장치(222, 224, 226, 228)에 연결되어 연마재(슬러리) 또는 첨가제의 공급,회수 통로가 되며 공급라인(42)과 회수라인(44)에 각각 밸브(52, 54)를 갖는다. 슬러리 공급장치는 공급라인(42)과 회수라인(44) 사이에서 적어도 하나의 화학기계적 연마 장치에 연결된다. 바람직하게는 1~4대의 화학기계적 연마 장치에 연결된다.
제 1, 2 배관 루프(20, 40)는 공급라인(22, 42)과 공급용 보완 루프(60)의 연결지점보다 상류(22a, 42a)에 하나의 밸브(32, 52)를 가지며, 회수라인(24, 44)과 회수용 보완 루프(65)의 연결지점보다 하류(24b, 44b)에 다른 하나의 밸브(34, 54)를 가진다.
공급용 보완 루프(60)는 제 1, 2 배관 루프(20, 40)의 공급라인(22, 42)에 연결되며 양방향성 밸브(72)를 가진다. 회수용 보완 루프(65)는 제 1, 2 배관 루프(20, 40)의 회수라인(24, 44)에 연결되며 양방향성 밸브(74)를 가진다.
전술한 밸브(32, 34, 52, 54, 72, 74, 172, 및 174) 중 일부 또는 전부는 에어 밸브이며, 에어 밸브는 에어공급부와 연결되고, 에어공급부와 에어 밸브를 연결하는 배관에 위치한 솔레노이드 밸브에 의해 개방 폐쇄가 제어되며, 솔레노이드 밸브에 인가되는 신호는 슬러리 공급 장치(210, 220)의 작동/정지 여부에 기초할 수 있다. 밸브에 입력으로 작용하는 에어는 에어공급부에서 솔레노이드 밸브가 위치한 배관을 통해 공급될 수 있으며, 솔레노이드 밸브에는 슬러리 공급 장치(210, 220)의 정지신호에 기초한 신호가 작용하게 된다.
정지신호란 두대의 슬러리 공급 장치(210, 220) 중 한대의 이상 정지, 조작자에 의해 의도된 정지, 및 슬러리 등의 공급 중단 등을 밸브, 다른 슬러리 공급 장치에 전달하기 위해 감지 센서 등에 의해 생성된 신호를 의미한다. 정지신호는 당해 기술분야에서 주지된 수단 또는 당업자에게 자명한 수단을 이용하여 생성이 가능하다.
이 경우 슬러리 공급 장치(210, 220)의 정지 신호(또는, 정상 작동 신호)는 온/오프 신호일 수 있으며, 이 신호는 솔레노이드밸브 도달 전에 논리 게이트(NOT, AND, OR 등)를 포함하는 솔레노이드 밸브 제어부를 통과할 수 있다. 하지만 밸브(32, 34, 52, 54, 등)는 에어 밸브에 한정되는 것은 아니며, 전자기적 신호 또는 유압 신호에 의해 개폐되는 다른 형태의 밸브일 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 슬러리 공급장치를 위한 보완 장치는 제 3 배관 루프(120), 제 4 배관 루프(140), 공급용 보완 루프(160), 및 회수용 보완 루프(165)를 더 포함할 수 있고, 이를 첨가제의 공급, 회수 통로로 사용할 수 있다.
제 3 배관 루프(120)는 하나의 슬러리 공급 장치(210)와 그것으로부터 연마재(슬러리)와 첨가제를 공급받는 적어도 하나의 화학적 기계적 연마 장치(212, 214, 216, 218)에 연결되고 공급라인(122)와 회수라인(124)에 각각 밸브(132, 134)를 갖는다.
제 4 배관 루프(140)는 다른 슬러리 공급 장치(220)와 그것으로부터 연마재(슬러리)와 첨가제를 공급받는 적어도 하나의 화학적 기계적 연마 장치(222, 224, 226, 228)에 연결되고 공급라인(142)과 회수라인(144)에 각각 밸브(152, 154)를 갖는다.
공급용 보완 루프(160)는 제 3, 4 배관 루프(120, 140)의 공급라인(122, 142)에 연결되며 양방향성 밸브(172)를 가진다. 회수용 보완 루프(165)는 제 3, 4 배관 루프(120, 140)의 회수라인(124, 144)에 연결되며 양방향성 밸브(174)를 가진다.
바람직하게는 제 4 배관 루프의 밸브(152, 154)는 제 2 배관 루프의 밸브 (52, 54)와 폐쇄 작동이, 보완 루프의 양방향성 밸브(172, 174)는 보완 루프의 양방향성 밸브(72, 74)와 개방 작동이, 제 3 배관 루프의 밸브(132, 134)는 제 1 배관 루프의 밸브 (32, 24)와 폐쇄 작동이 동기화될 수 있다.
도 2는 본 발명의 슬러리 공급장치를 위한 보완 장치가 적용된 실제 유닛의 평면도이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 제 1 배관 루프(20)의 공급라인(22) 바로 옆에 제 2 배관 루프(40)의 공급라인을 배치하고, 그 사이에 공급용 보완 루프(60) 를 배치하여 배관 구성의 간결함과 견고함을 도모할 수 있다. 마찬가지로, 제 1 배관 루프(20)의 회수라인(24) 바로 옆에 제 2 배관 루프(40)의 회수라인(44)을 배치하고, 그 사이에 회수용 보완 루프(65)를 배치할 수 있다.
본 발명에 따른 슬러리 공급장치를 위한 보완 방법은 크게 정상작동 단계, 정지감지 단계, 밸브제어 단계, 보완단계의 네단계로 구성된다.
첫번째 단계는 하나의 슬러리 공급 장치로부터 그에 연결된 배관 루프를 통해 한조의 화학적 기계적 연마 장치에 슬러리 등을 공급하고, 다른 하나의 슬러리 공급 장치로부터 배관 루프를 통해 다른 한조의 화학적 기계적 연마 장치에 슬러리 등을 공급하는 정상작동 단계이다.
두번째 단계는 슬러리 공급 장치 중 한대의 이상 정지, 조작자에 의해 의도된 정지, 및 슬러리 등의 공급 중단 중 하나를 감지하여 이에 상응하는 정지신호를 생성시키는 정지감지 단계이다.
세번째 단계는 정지신호를 이용하여 정지된(또는, 슬러리 공급 중단된) 슬러리 공급 장치에 연결된 배관 루프에 위치한 두개의 밸브를 폐쇄함으로써 공급용 배관 루프의 상류와 회수용 배관 루프의 하류를 폐쇄하고, 양방향성 밸브를 개방함으로써 두개의 보완 루프를 개방하는 밸브제어 단계이다.
네번째 단계는 정상 작동 중인 슬러리 공급 장치가 보완 루프를 통해 다른 한조의 화학적 기계적 연마 장치에 슬러리 등을 공급하는 보완 단계이다. 선택적으로, 정지 신호를 이용하여 정상 작동 중인 슬러리 공급 장치의 슬러리 등의 공급량을 증가시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
이러한 구성으로 이루어진 본 발명에 따른 슬러리 공급장치를 위한 보완 장치의 작용에 대해 설명하기로 한다.
정상 작동 중에, 밸브(72, 74, 172, 174)는 닫혀 있어 슬러리 공급장치(210, 220)는 각자의 배관 루프에 연결된 화학기계적 연마 장치에 슬러리 등을 공급,회수하며 순환라인으로 흐른다.
이때 내,외부요인으로 인해서 둘 중 1대의 장치가 정지한다고 가정하자. 슬러리 공급 장치(220)가 작동 정지시에는 제 2 배관 루프(40)의 밸브(52, 54)가 폐쇄되고 양방향성 밸브(72, 74)가 개방되어, 정상 작동 중인 슬러리 공급 장치(210)로부터 보완 루프(60, 65)를 통해 정지된 슬러리 공급 장치(220)에 연결된 배관 루프(40)로 슬러리 등이 공급되어 슬러리 공급 장치(220)와 한조를 이루는 화학기계적 연마 장치는 계속 연마 작업을 수행할 수 있게 된다.
이때 슬러리 공급 장치(220)의 정지신호는 밸브(52, 54)와 양방향성 밸브(72, 74)로 보내어 지는데, 전술한 바와 같이 이 신호는 논리게이트를 가지는 제어부를 경유하여 신호가 변환(예를들어, 온 신호가 오프 신호로 바뀜) 될 수 있고, 에어 밸브인 경우 정지 신호에 기초한 신호가 밸브의 제어 수단인 솔레노이드밸브에 인가될 수 있다.
정지신호가 밸브(52, 54)를 제어하는 솔레노이드 밸브에 도달한 경우 솔레노이드 밸브는 폐쇄되고 에어 공급이 차단되어 밸브(52, 54)는 폐쇄된다. 또 이 정지신호는 (제어부, 또는 슬러리 공급 장치(210)를 경유하여) 양방향성 밸브(72, 74)로 전달된다. 양방향성 밸브(72, 74)가 에어 밸브인 경우 정지신호는 제어장치 통 과 후 솔레노이드 밸브에 인가될 수 있다. 이로서 밸브(72, 74)는 개방되고 슬러리 공급장치(220)에 연결된 배관 루프로 슬러리와 첨가제가 공급된다. 그 흐름은 슬러리 공급 장치(220)의 배관 루프로 흐르되 밸브(52, 54)가 닫혀 있으므로 슬러리 공급 장치(210)으로 다시 돌아오게 된다. 물론 슬러리 공급 장치(210)는 기존에 운영하던 되로 연마재(Slurry)와 첨가제를 자신의 배관 루프로 공급하고 회수한다. 동시에 화학기계적 연마 장치 8대로 공급을 해주게 되는데 공급시 유량은 연마재(Slurry)공급장치 설계시 8대분을 고려해서 설계해야 할 것이다.
반대로 슬러리 공급 장치(210)가 정지되면 역시 이 정지신호가 밸브(32, 34), 양방향성 밸브(72, 74), 슬러리 공급 장치(220), 또는 제어부에 전달되어 전술한 바와 같은 작용을 수행하게 된다. 밸브에 연결된 에어 라인은 슬러리 공급 장치(210)와 슬러리 공급 장치(220)에 연결될 수 있고, 체크밸브로 압력의 소진을 방할 수 있다.
본 발명은 특히, 연마재와 첨가제의 종류와 특성이 같고 연마재와 첨가제의 혼합 비율도 동일한 작동 상황에서 유용하며, 별도의 장치의 설치 없이 기존장비에 수개의 솔레노이드 밸브와 간단한 제어부를 구성함에 의해 실시될 수도 있다.
본 발명에 따르는 경우 내, 외부적 원인으로 슬러리 공급장치 중 1대가 이상 정지했을 때, 다른 1대가 이를 감지하여 자동으로 이상 정지된 슬러리 공급 장치에 연결된 배관으로 슬러리 및 첨가제를 공급해주는 슬러리 공급장치를 위한 보완 장치 및 방법이 제공된다. 이로 인해 슬러리 공급 장치 중 일부가 정지되도 그에 연 결된 화학기계적 연마 장치의 가동을 계속할 수 있게 되어 종래 기술의 문제점이 해결된다.
또한, 본 발명에 따른 슬러리 공급 장치의 부속장치인 보완(Back up) 시스템을 이용하면 슬러리 공급 장치 1대가 이상 발생정지 하더라도 다른 1대가 이를 보완해줌으로써 슬러리 공급 장치 공급장치가 정상적으로 운영될 때까지 언제든지 화학적기계적 연마 장치로 연마재와 첨가재를 공급하여 웨이퍼 생산 라인에는 지장을 주지 않으면서 노후된 부품 교체시나 예방정비(PM)시에 화학적 기계적 연마 장치는 정지되않고 사용할 수 있어 그 효과가 더욱 크다고 할 수 있다.
본 발명은 상기에서 언급한 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 본 발명의 요지와 범위를 벗어남이 없이 다른 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 예를 들어, 세대 이상의 슬러리 공급 장치를 사용하여 본 발명의 목적, 기능, 효과와 동일한 목적, 기능, 효과를 가지는 장치를 구현하는 것 등은 본 발명의 범위에 속한다고 볼 것이다. 본 발명의 범위는 이하의 특허청구범위에 의하여 정하여 지는 것으로 본 발명과 균등 범위에 속하는 다양한 수정 및 변형을 포함할 것이다.

Claims (7)

  1. 하나의 슬러리 공급 장치(210)와 그것으로부터 연마재(슬러리)와 첨가제를 공급받는 적어도 하나의 화학기계적 연마 장치(212, 214, 216, 218)에 연결되고 연마재(슬러리) 또는 첨가제의 공급, 회수 통로가 되며 공급라인(22)과 회수라인(24)에 각각 밸브(32, 34)를 갖는 제 1 배관 루프(20);
    다른 슬러리 공급 장치(220)와 그것으로부터 연마재(슬러리)와 첨가제를 공급받는 적어도 하나의 화학기계적 연마 장치(222, 224, 226, 228)에 연결되어 연마재(슬러리) 또는 첨가제의 공급,회수 통로가 되며 공급라인(42)과 회수라인(44)에 각각 밸브(52, 54)를 갖는 제 2 배관 루프(40); 그리고,
    상기 제 1, 2 배관 루프(20, 40)의 공급라인(22, 42)에 연결되며 양방향성 밸브(72)를 가지는 공급용 보완 루프(60)와, 상기 제 1, 2 배관 루프(20, 40)의 회수라인(24, 44)에 연결되며 양방향성 밸브(74)를 가지는 회수용 보완 루프(65);를 포함하여 구성되고,
    상기 다른 하나의 슬러리 공급 장치(220)가 작동 정지시에 제 2 배관 루프(40)의 밸브(52, 54)가 폐쇄되고 상기 양방향성 밸브(72, 74)가 개방되며, 상기 하나의 슬러리 공급 장치(210)가 작동 정지시에 상기 제 1 배관 루프(20)의 밸브(32, 34)가 폐쇄되고 상기 양방향성 밸브(72, 74)가 개방됨으로써, 정상 작동 중인 슬러리 공급 장치로부터 보완 루프를 통해 정지된 슬러리 공급 장치에 연결된 배관루프로 슬러리 등이 공급되는 것을 특징으로 하는 슬러리 공급 장치를 위한 보완 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1, 2 배관 루프(20, 40)는 상기 공급라인(22, 42)과 상기 공급용 보완 루프(60)의 연결지점보다 상류(22a, 42a)에 각각 밸브(32, 52)를 가지며, 상기 회수라인(24, 44)과 상기 회수용 보완 루프(65)의 연결지점보다 하류(24b, 44b)에 각각 밸브(34, 54)를 가지는 것을 특징으로 하는 슬러리 공급 장치를 위한 보완 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    하나의 슬러리 공급 장치(210)와 그것으로부터 연마재(슬러리)와 첨가제를 공급받는 적어도 하나의 화학기계적 연마 장치(212, 214, 216, 218)에 연결되고 공급라인(122)과 회수라인(124)에 각각 밸브(132, 134)를 갖는 제 3 배관 루프(120);
    다른 슬러리 공급 장치(220)와 그것으로부터 연마재(슬러리)와 첨가제를 공급받는 적어도 하나의 화학기계적 연마 장치(222, 224, 226, 228)에 연결되고 공급라인(142)과 회수라인(144)에 각각 밸브(152, 154)를 갖는 제 4 배관 루프(140); 그리고,
    상기 제 3, 4 배관 루프(120, 140)의 공급라인(22, 42)에 연결되며 양방향성 밸브(172)를 가지는 공급용 보완 루프(160)와, 상기 제 3, 4 배관 루프(120, 140)의 회수라인(124, 144)에 연결되며 양방향성 밸브(174)를 가지는 회수용 보완 루프 (165);를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 슬러리 공급장치를 위한 보완 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    제 4 배관 루프의 밸브(152, 154)는 제 2 배관 루프의 밸브 (52, 54)와 폐쇄 작동이, 보완 루프의 양방향성 밸브(172, 174)는 보완 루프의 양방향성 밸브(72, 74)와 개방 작동이, 제 3 배관 루프의 밸브(132, 134)는 제 1 배관 루프의 밸브 (32, 24)와 폐쇄 작동이 동기화되는 것을 특징으로 하는 슬러리 공급 장치를 위한 보완 장치.
  5. 제 1항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 밸브(32, 34, 52, 54, 72, 74, 172, 및 174) 중 일부 또는 전부는 에어 밸브이며, 상기 에어 밸브는 에어공급부와 배관으로 연결되고, 솔레노이드 밸브에 의해 개방 폐쇄가 제어되며, 상기 솔레노이드 밸브에 인가되는 신호는 상기 슬러리 공급 장치(210, 220)의 정지신호에 기초하는 것을 특징으로 하는 슬러리 공급장치를 위한 보완 장치.
  6. 하나의 슬러리 공급 장치로부터 그에 연결된 배관 루프를 통해 한조의 화학적 기계적 연마 장치에 슬러리 등을 공급하고, 다른 하나의 슬러리 공급 장치로부터 배관 루프를 통해 다른 한조의 화학적 기계적 연마 장치에 슬러리 등을 공급하 는 정상작동 단계;
    상기 슬러리 공급 장치 중 한대의 이상 정지, 조작자에 의해 의도된 정지, 및 연마재(슬러리)의 공급 중단 중 하나를 감지하여, 이에 상응하는 정지신호를 생성시키는 정지감지 단계;
    상기 정지신호를 이용하여 정지된(또는, 슬러리 공급 중단된) 슬러리 공급 장치에 연결된 배관 루프에 위치한 밸브를 폐쇄함으로써 배관 루프 공급라인 상류(22a,42a 지점)와 배관 루프 회수라인 하류(24b, 44b 지점)를 폐쇄하고, 상기 배관 루프들을 연결하는 보완 루프 상에 위치한 양방향성 밸브를 개방함으로써 보완 루프를 개방하는 밸브제어 단계; 그리고,
    정상 작동 중인 슬러리 공급 장치가 상기 정지신호에 의해 개방된 보완 루프를 통해 다른 한조의 화학적 기계적 연마 장치에 슬러리 등을 공급하는 보완공급 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 슬러리 공급장치를 위한 보완 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    정지신호를 이용하여 정상 작동 중인 슬러리 공급 장치의 슬러리, 첨가제 공급량을 증가시키는 단계;를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 슬러리 공급장치를 위한 보완 방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100893109B1 (ko) * 2007-08-13 2009-04-10 플러스테크주식회사 슬러리 연속 공급장치 및 그 방법
US11020839B2 (en) * 2018-06-18 2021-06-01 Samsung Electronics Co., Ltd. Apparatus of supplying slurry for planarization process and chemical-mechanical-polishing system including the same
KR101968467B1 (ko) * 2019-01-22 2019-04-11 장기영 연마제의 압력을 조절할 수 있도록 된 연마제 공급장치

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11126764A (ja) 1997-08-21 1999-05-11 Fujitsu Ltd 薬液供給装置
KR19990047522A (ko) * 1997-12-04 1999-07-05 김광교 슬러리 자동공급 시스템
KR20040025090A (ko) * 2002-09-18 2004-03-24 텍셀엔지니어링 주식회사 씨엠피장치의 슬러리 및 케미컬 공급장치
KR20050084139A (ko) * 2005-06-03 2005-08-26 후지쯔 가부시끼가이샤 약액 공급 장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11126764A (ja) 1997-08-21 1999-05-11 Fujitsu Ltd 薬液供給装置
KR19990047522A (ko) * 1997-12-04 1999-07-05 김광교 슬러리 자동공급 시스템
KR20040025090A (ko) * 2002-09-18 2004-03-24 텍셀엔지니어링 주식회사 씨엠피장치의 슬러리 및 케미컬 공급장치
KR20050084139A (ko) * 2005-06-03 2005-08-26 후지쯔 가부시끼가이샤 약액 공급 장치

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