KR20050071862A - 워크 이재 반송 장치 및 워크 이재 반송 방법 - Google Patents

워크 이재 반송 장치 및 워크 이재 반송 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20050071862A
KR20050071862A KR1020040000241A KR20040000241A KR20050071862A KR 20050071862 A KR20050071862 A KR 20050071862A KR 1020040000241 A KR1020040000241 A KR 1020040000241A KR 20040000241 A KR20040000241 A KR 20040000241A KR 20050071862 A KR20050071862 A KR 20050071862A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
workpiece
conveyance
work
holder
conveyance table
Prior art date
Application number
KR1020040000241A
Other languages
English (en)
Inventor
오가사와라후카시
Original Assignee
가부시키가이샤 도쿄 웰드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 도쿄 웰드 filed Critical 가부시키가이샤 도쿄 웰드
Priority to KR1020040000241A priority Critical patent/KR20050071862A/ko
Publication of KR20050071862A publication Critical patent/KR20050071862A/ko

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B63—SHIPS OR OTHER WATERBORNE VESSELS; RELATED EQUIPMENT
    • B63B—SHIPS OR OTHER WATERBORNE VESSELS; EQUIPMENT FOR SHIPPING 
    • B63B22/00—Buoys
    • B63B22/16—Buoys specially adapted for marking a navigational route
    • B63B22/166—Buoys specially adapted for marking a navigational route comprising a light
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B63—SHIPS OR OTHER WATERBORNE VESSELS; RELATED EQUIPMENT
    • B63B—SHIPS OR OTHER WATERBORNE VESSELS; EQUIPMENT FOR SHIPPING 
    • B63B22/00—Buoys
    • B63B22/18—Buoys having means to control attitude or position, e.g. reaction surfaces or tether
    • B63B22/20—Ballast means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B63—SHIPS OR OTHER WATERBORNE VESSELS; RELATED EQUIPMENT
    • B63B—SHIPS OR OTHER WATERBORNE VESSELS; EQUIPMENT FOR SHIPPING 
    • B63B5/00—Hulls characterised by their construction of non-metallic material
    • B63B5/24—Hulls characterised by their construction of non-metallic material made predominantly of plastics
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B63—SHIPS OR OTHER WATERBORNE VESSELS; RELATED EQUIPMENT
    • B63B—SHIPS OR OTHER WATERBORNE VESSELS; EQUIPMENT FOR SHIPPING 
    • B63B2207/00—Buoyancy or ballast means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B63—SHIPS OR OTHER WATERBORNE VESSELS; RELATED EQUIPMENT
    • B63B—SHIPS OR OTHER WATERBORNE VESSELS; EQUIPMENT FOR SHIPPING 
    • B63B2221/00—Methods and means for joining members or elements
    • B63B2221/08—Methods and means for joining members or elements by means of threaded members, e.g. screws, threaded bolts or nuts
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B63—SHIPS OR OTHER WATERBORNE VESSELS; RELATED EQUIPMENT
    • B63B—SHIPS OR OTHER WATERBORNE VESSELS; EQUIPMENT FOR SHIPPING 
    • B63B2231/00—Material used for some parts or elements, or for particular purposes
    • B63B2231/40—Synthetic materials
    • B63B2231/52—Fibre reinforced plastics materials
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21—LIGHTING
    • F21W—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES F21K, F21L, F21S and F21V, RELATING TO USES OR APPLICATIONS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS
    • F21W2111/00—Use or application of lighting devices or systems for signalling, marking or indicating, not provided for in codes F21W2102/00 – F21W2107/00
    • F21W2111/04—Use or application of lighting devices or systems for signalling, marking or indicating, not provided for in codes F21W2102/00 – F21W2107/00 for waterways
    • F21W2111/047—Use or application of lighting devices or systems for signalling, marking or indicating, not provided for in codes F21W2102/00 – F21W2107/00 for waterways for light-buoys

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Ocean & Marine Engineering (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Specific Conveyance Elements (AREA)

Abstract

워크 이재 반송 장치(1)는 복수의 반송 테이블(2, 3)을 구비하고 있다. 각각의 반송 테이블(2, 3)의 주연부에는 워크(W)를 보호 유지하기 위한 복수의 워크 홀더(4, 5)가 형성되어 있다. 서로 이웃하는 반송 테이블(2, 3) 사이에서, 워크(W)가 이재(移載)되고, 또한 반송된다. 서로 이웃하는 반송 테이블(2, 3) 사이에 워크 이재부(6)가 있다. 서로 이웃하는 반송 테이블(2, 3)은 각각 동기하여 연속 회전한다. 워크 이재부(6)에 있어서, 한쪽의 반송 테이블(2)의 워크 홀더(4)에 보호 유지되고 있던 워크(W)가 다른 쪽의 반송 테이블(3)의 워크 홀더(5)에 이재된다.

Description

워크 이재 반송 장치 및 워크 이재 반송 방법 {Work transferring and transporting apparatus and work transferring and transporting method}
본 발명은 예를 들면 칩 형상의 전자 부품 등의 워크를 반송 도중에 전기적 특성의 측정이나 분류 등의 각종 처리를 행하면서, 한 쪽의 반송 테이블에서 다른 쪽의 반송 테이블에 이재하여 반송하기 위한 장치와 방법에 관한 것으로, 특히 복수의 반송 테이블간에 있어서의 반송 고속화에 대응하고, 또한 워크의 외관 검사에도 적합한 워크 이재 반송 장치 및 이재 반송 방법에 관한 것이다.
예를 들면 칩 형상의 전자 부품 등을 이재 반송하기 위한 장치가 예를 들면 일본의 특개 평10―74673호 공보에 기재되어 있다. 상기 종래 기술은 도 5에 도시한 바와 같이 구성되어 있다. 상기 워크 이재 반송 장치(20)는 회전축심이 서로 직교 관계에 있는 제 1 반송 테이블(21)과 제 2 반송 테이블(22)을 구비하고 있다. 이들 반송 테이블(21, 22)의 주연부에는 각각, 둘레 방향으로 등 피치로 복수의 워크 수납 오목부(23, 24)가 형성되어 있다.
제 1 반송 테이블(21)의 근방에 워크 분리 공급 수단(25)이 마련되어 있다. 상기 워크 분리 공급 수단(25)으로부터 공급된 워크(W)는 간헐 회전하는 제 1 반송 테이블(21)의 워크 수납 오목부(23)에 1개씩 수납된다. 워크(W)는 간헐 회전하는 제 1 반송 테이블(21)에 의하여 반송되는 도중에, 제 1 처리부(26)에 대하여 외관 검사 또는 전기적 특성의 측정 등이 실시된다. 여기서 불량 또는 규격외로 판정된 워크(W)는 제 1 처리부(26)에서 배출된다.
제 1 처리부(26)에서 우량품으로 판정된 워크(W)는 워크 이재 수단(27)에 의하여, 제 2 반송 테이블(22)의 워크 수납 오목부(24)에 이재된다. 제 1 반송 테이블(21)과 제 2 반송 테이블(22)은 각각 간헐 회전하고, 쌍방의 워크 수납 오목부 (23, 24)가 서로 대향한 상태에서 일시적으로 정지한다. 워크(W)는 간헐 회전하는 제 2 반송 테이블(22)에 의하여 반송되는 과정에서, 제 2 처리부(28)에서 검사 등이 행하여진다.
제 2 처리부(28)에서는 제 1 처리부(26)에서 처리되지 않았던 워크(W) 면의 외관 검사 등이 행하여진다. 제 2 처리부(28)에서 불량, 우량이 판정된 워크(W)는 제 2 반송 테이블(22)에 의해 배출부(29)로 반송된다. 우량품은 다음 공정으로 반송되고, 불량품 또는 규격외로 판정된 워크는 배출부(29)에서 배출 처리된다.
이러한 이재 반송 장치(20)에서는 상기한 바와 같이 복수의 반송 테이블 (21, 22)이 간헐 회전하면서 워크(W)를 반송한다. 따라서, 반송 테이블(21, 22)의 간헐 회전에 수반되는 진동에 의해, 불편이 발생하는 일이 있다. 또한, 워크 이재 수단(27)에서, 워크(W)가 막히는 것에 의한 이재 불량, 또는 워크 이재 수단(27)의 이재 속도의 한계나, 간헐 회전으로부터 오는 회전 속도의 한계 등에 의하여, 처리 속도의 고속화에 대응할 수 없다는 문제가 있었다.
그래서, 간헐 회전의 상기 불편을 해소하기 위하여, 반송 테이블을 연속 회전시키는 칩 부품의 이재 장치가 일본 특개 평11―268824호 공보로서 알려져 있다. 상기 종래 기술은 도 6 및 도 7에 도시한 바와 같이 구성되어 있다. 도 6은 이재 장치의 평면도이다. 상기 이재 장치에서는 입력 원판(30)과 반송 원판(32)이 병설 되어 있다. 입력 원판(30)에는 캐비티(31)가 형성되어 있다. 반송 원판(32)의 주연부에는 칩 부품 등의 워크(W)를 수납하는 캐비티(33)가 형성되어 있다.
칩 부품 등의 워크(W)는 입력 원판(30)의 캐비티(31)에 이재된다. 상기 워크(W)는 입력 원판(30)의 회전에 의해 반송되고, 입력 원판(30)에 인접한 반송 원판(32)의 캐비티(33)에 이재된다. 상기 워크(W)는 반송 원판(32)의 회전에 의해 재차 반송되고, 더욱이 캐리어 테이프(35)의 캐비티(36)에 이재된다.
도 7a 내지 도 7c는 도 6의 입력 원판(30)으로부터 반송 원판(32)에 워크(W)가 이재되는 모습을 경시적으로 도시한 것이다. 도 7a에 도시한 바와 같이, 입력 원판(30)의 외주에 마련한 캐비티(31)에 워크(W)가 에어의 흡인에 의하여 보호 유지된다. 상기 워크(W)는 입력 원판(30)의 외주로부터 돌출되어 있다. 워크(W)가 반송 원판(32)의 캐비티(33)와 대향한 위치에서, 입력 원판(30)의 에어 흡인을 정지한다. 이것과 동시에, 반송 원판(32)의 캐비티(33)의 에어 흡인을 행하는 것에 의하여, 워크(W)가 반송 원판(32)에 이재된다.
상기 종래 기술에서는 입력 원판(30)의 캐비티(31)와 반송 원판(32)의 캐비티(33)가 순차적으로 대향하도록, 각 원판(30, 32)이 서로 동기(同期)를 취하여 연속 회전한다. 그렇지만, 상기 종래 기술은 다음과 같은 문제가 존재한다.
(1) 입력 원판(30)과 반송 원판(32)의 고 정밀 동기 회전이 필요하다. 동기 회전에 근소한 어긋남이 있어도, 캐비티(31)로부터 돌출한 워크(W)가 반송 원판(32)의 외주와 충돌하여, 워크(W)가 파손될 우려가 있다. 예를 들면, 캐비티( 31, 33)와 워크(W)와의 사이에 먼지가 쌓이거나 에어 흡인의 전환 불량 등으로, 워크(W)의 이재가 순조롭게 행하여지지 않는 일이 있다.
예를 들면, 워크(W)가 도 7b에 도시한 바와 같이 입력 원판(30)과 반송 원판(32)의 중간 위치에서 멈추어 버리는 일이 있다. 이 상태인 채로, 원판(30, 32)이 도 7b중의 화살표 방향으로 회전을 계속하면, 상기 워크(W)에는 캐비티(31)와 캐비티(33)와의 사이에서 휨력이 더해지게 된다. 이 경우, 워크(W)가 파손되거나 캐비티(31, 33)가 파손하거나 하는 일이 있다.
(2) 상기(1)의 대책으로서 캐비티(31, 33)와 워크(W)와의 틈새를 크게 하면, 워크(W)의 이재가 불안정하게 된다. 반송 원판(32)의 에어 흡인의 누락이 증가하여 워크(W)의 흡인력이 저하한다.
(3) 워크(W)를 반송하는 도중에, 워크(W)의 특성 측정이나 외관 검사 등을 행하지만, 워크(W)와 캐비티(31, 33)간의 틈새가 많으면 워크(W)의 위치가 변화하고, 그 결과, 측정 불량이나 검사 불량을 일으키기 쉽다.
(4) 입력 원판(30)과 반송 원판(32)이 연속적으로 회전하는 도중에, 워크(W)를 원판(30, 32) 사이에서 이재하기 때문에, 센서를 마련하는 것이 곤란하다. 게다가 원판(30, 32)이 연속 회전하기 때문에, 불량이 발생하였을 때에 순간적으로 정지시키는 것이 곤란하다. 이것에 대하여, 도 5에 도시한 상기 반송 테이블(21, 22)은 간헐적으로 회전하기 때문에, 워크(W)의 불량을 센서에 의해 검출하거나 테이블(21, 22)을 정지시키거나 하는 것이 가능하였다.
이상 설명한 바와 같이, 동작의 확실성은 높지만 처리 속도가 늦은 종래의 간헐 회전 방식(도 5)에 대하여, 연속 회전 방식(도 6, 도 7)은 처리 속도는 빠르지만 확실성에 문제가 있다.
따라서 본 발명의 목적은 워크를 확실하게 이재 반송할 수 있고, 처리 속도를 높일 수 있는 워크 이재 반송 장치 및 워크 이재 반송 방법을 제공하는 것에 있다.
제 1의 관점에 기초한 본 발명은, 주연부에 워크를 보호 유지하기 위한 복수의 워크 홀더를 가지고 또한, 서로 동일 평면상에 서로 이웃하게 배치되는 제 1 및 제 2의 반송 테이블을 포함하고, 제 1 반송 테이블에서 제 2의 반송 테이블에 워크를 이재하고 또한, 상기 반송 테이블에 의하여 상기 워크를 반송하는 워크 이재 반송 장치이며,
상기 제 1 및 제 2의 반송 테이블 사이에 위치하는 워크 이재부를 가지고,
상기 제 1 및 제 2의 반송 테이블은 서로 동기하여 연속 회전하고,
상기 워크 이재부에 있어서는, 상기 제 1 반송 테이블의 워크 홀더에 보호 유지되고 있는 워크를 상기 제 2 반송 테이블의 워크 홀더에 이재한 후, 상기 워크를 상기 제 2 반송 테이블에 의하여 반송하는 워크 이재 반송 장치이다.
상기 구성에 의하면, 제 1 및 제 2의 반송 테이블이 연속 회전하고, 제 1 반송 테이블의 워크 홀더에 보호 유지된 워크가 워크 이재부에 도달했을 때에, 상기 워크가 제 2의 반송 테이블의 워크 홀더에 이재된다. 워크의 반송중에, 예를 들면, 워크의 외관 검사 또는 전기적 특성의 측정을 행한다.
상기 제 1 반송 테이블은 연속 회전하고 있기 때문에, 워크 이재부에 있어서는 워크에 작용하는 원심력 이외에, 상기 반송 테이블의 회전 방향과 같은 방향(예를 들면 반시계회전)의 모멘트가 작용한다. 이 때문에 상기 워크는 제 1 반송 테이블과 이격되었을 때에, 상기 모멘트의 방향으로 회전하면서, 제 2의 반송 테이블의 워크 홀더 방향으로 뛰어드는 형태로 이재된다. 이 때문에, 워크의 이재가 확실하게 이루어진다. 따라서, 처리 속도의 고속화에 대응하는 것이 가능해진다.
본 발명의 한 형태에서는 상기 제 1 및 제 2의 반송 테이블은 워크의 반송 방향에 관하여 상류 측에 위치하는 제 1 반송 테이블의 워크 홀더로부터 하류 측에 위치하는 제 2 반송 테이블의 워크 홀더로 이재한다.
본 발명의 한 형태에서는 상기 제 1 및 제 2의 반송 테이블은 상기 워크 이재부에 있어서 이들 반송 테이블의 각 워크 홀더가 동일 방향으로 이동하도록, 각각의 회전 중심을 중심으로 하여 서로 역방향으로 회전한다.
본 발명의 한 형태에서는 상기 제 1 반송 테이블의 워크 홀더는 상기 반송테이블의 회전 궤적의 회전 방향 전측의 접선에 대하여 0°보다 크고 45°보다 작은 각도로 상기 반송 테이블의 내측에 경사진 자세로 워크를 보호 유지 가능한 면을 가지는 L자형 오목부로 이루어진다.
본 발명의 한 형태에서는 상기 제 2 반송 테이블의 워크 홀더는 상기 반송 테이블의 회전 궤적의 회전 방향 후측의 접선에 대하여 O°보다 크고 45°보다 작은 각도로 상기 반송 테이블의 내측에 경사진 자세로 워크를 보호 유지 가능한 면을 가지는 L자형 오목부로 이루어진다.
본 발명의 한 형태에서는 상기 제 1 및 제 2의 반송 테이블의 각각의 워크 홀더는 상기 워크 이재부에 있어서 점대칭의 위치 관계에 있다.
본 발명의 한 형태에서는 상기 제 1 반송 테이블의 워크 홀더의 L자형 오목부의 각부(角部)에, 부압(negative pressure)발생원에 접속되는 흡인포트가 형성되어 있다.
본 발명의 한 형태에서는 상기 제 2 반송 테이블의 워크 홀더의 L자형 오목부의 각부에, 부압발생원에 접속되는 흡인 포트가 형성되어 있다.
본 발명의 한 형태에서는 상기 워크 이재부에 있어서, 상기 제 1 반송 테이블의 회전 중심과 상기 반송 테이블의 워크 홀더의 상기 L자형 오목부의 각부를 묶는 선과, 상기 제 2 반송 테이블의 회전 중심과 상기 반송 테이블의 워크 홀더의 상기 L자형 오목부의 각부를 묶는 선이 서로 평행하고, 또한 서로 이간(離間)하고 있다.
본 발명의 한 형태에서는 상기 제 1 및 제 2의 반송 테이블의 각 워크 홀더에, 각각 흡인 포트가 형성되고, 이들 흡인 포트에 압력을 절환하는 것이 가능한 절환 수단을 개재하고, 부압발생수단이 접속되어 있다.
상기 절환 수단의 일 예는 대기압보다 낮은 부압과 대기압을 절환하는 절환 밸브이다. 상기 절환 수단의 다른 예는 대기압보다 낮은 부압과 대기압보다 높은 정압(positive pressure)을 절환하는 절환 밸브이다.
제 2의 관점에 기초한 본 발명은 회전하는 제 1 반송 테이블의 주연부에 설치된 워크 홀더에 부압에 의해 워크를 흡착하여 반송하는 공정과,
상기 제 1 반송 테이블의 워크 홀더로부터 제 2 반송 테이블의 워크 홀더에 워크를 이재하는 공정을 포함하는 워크 이재 반송 방법이며,
상기 제 1 및 제 2의 반송 테이블 사이에 위치하는 워크 이재부에 있어서,
상기 제 1 반송 테이블의 워크 홀더의 부압을 해소시키는 것에 의하여, 상기 제 1 반송 테이블의 워크 홀더로부터 상기 워크를 이탈시키는 공정과,
상기 제 1 반송 테이블에서 이탈한 상기 워크를 상기 제 2 반송 테이블의 워크 홀더에 부압에 의해 흡착하는 것에 의하여, 상기 워크를 상기 제 2 반송 테이블로 이재하고, 상기 반송 테이블에 의해 상기 워크를 반송하는 공정을 가지고 있다.
본 발명의 한 형태에서는 상기 제 1 반송 테이블의 워크 홀더의 부압을 해소시키는 것에 의하여 상기 워크 홀더로부터 이탈한 상기 워크를 상기 제 1 반송 테이블의 회전에 따른 원심력에 의해, 상기 제 2 반송 테이블의 워크 홀더에 이재한다.
본 발명의 한 형태에서는 상기 제 1 반송 테이블의 워크 홀더로부터 상기 워크를 이탈시킬 때에, 상기 워크 홀더에 정압을 부여한다.
이하에 본 발명의 일실시 형태를 도 1 내지 도 4c에 기초하여 설명한다.
도 1에 도시한 바와 같이, 워크 이재 반송 장치(1)는 워크(W)의 반송 방향에 관해서 반송 상류 측에 위치하는 제 1 반송 테이블(2)과 반송 하류 측에 위치하는 제 2의 반송 테이블(3)을 구비하고 있다. 이러한 반송 테이블(2, 3)은 서로 동일 평면상에, 거의 수평한 자세로 배치되어 있다. 상기 워크 이재 반송 장치(1)는 제 1 및 제 2의 반송 테이블(2, 3) 이외에, 다른 반송 테이블(예를 들면 제 3 또는 제 4의 반송 테이블)을 갖추고 있어도 무관하다.
제 1 반송 테이블(2)은 원판 형상을 이루고, 회전 중심(C1)을 중심으로 하여 화살표(R1)로 도시하는 방향으로 연속 회전하게 되어 있다. 제 1 반송 테이블(2)의 외주연부에 복수의 워크 홀더(4)가 둘레 방향으로 동일 피치로 마련되어 있다. 제 2 반송 테이블(3)은 제 1 반송 테이블(2)과 거의 동일 외경의 원판 형상을 이루고, 회전 중심(C2)을 중심으로서 화살표(R2)로 도시하는 방향, 즉 제 1 반송 테이블(2)과는 역 방향으로 연속 회전하게 되어 있다. 제 2의 반송 테이블(3)의 외주연부에도, 복수의 워크 홀더(5)가 둘레 방향으로 동일 피치로 마련되어 있다.
입방체 또는 직방체 형상의 전자 부품 칩인 워크(W)는 반송 테이블(2, 3)의 각각의 워크 홀더(4, 5)에 의해 보호 유지된다. 반송 테이블(2, 3) 사이에는 반송 테이블(2, 3)이 서로 가장 접근한 위치에 워크 이재부(6)가 설치되어 있다. 이들 반송 테이블(2, 3)은 워크 이재부(6)에 있어서, 워크(W)를 한쪽의 워크 홀더(4)로부터 다른 쪽의 워크 홀더(5)로 이재할 수 있도록, 동일 평면상에서 서로 이웃하게 배치되어 있다. 워크 이재부(6)의 하부에는 워크(W)가 수평 방향으로 미끄러질 수 있도록, 가이드 부재(도시하지 않음)가 마련되어 있다.
도 2에 도시한 바와 같이, 한 쪽의 워크 홀더(4)는 서로 직각을 이루는 단변(短邊)(4a)과 장변(長邊)(4b)을 가지고, L자형을 이루고 있다. 장변(4b)은 제 1 반송 테이블(2)의 회전 궤적의 접선 회전 방향의 전방측(Tl)에 대하여, 각도 θ를 이루고 반송 테이블(2)의 내측에 경사져 있다. 다른 쪽의 워크 홀더(5)도 서로 직각을 이루는 단변(5a)과 장변(5b)을 가지고, L자형을 이루고 있다. 장변(5b)은 제 2 반송 테이블(3)의 회전 궤적의 접선 회전 방향의 후방측(T2)에 대하여, 각도θ를 이루고 반송 테이블(3)의 내측에 경사져 있다. θ는 0°보다 크고, 45°미만이다　(0<θ<45°).
워크 이재부(6)에 있어서, 워크 홀더(4, 5)의 단변(4a, 5a)끼리는 서로 대략 평행하다. 장변(4b, 5b)끼리도 서로 대략 평행하다. 워크 홀더(4, 5) 각각의 각부(4c, 5c)에 형성된 오목부에, 흡인 포트(7, 8)가 개구하고 있다. 이들 흡인 포트(7, 8)는 각각, 흡인 구멍(9, 10)을 개재하여 부압발생원(P)(도 3에 모식적으로 도시한다)에 연통하고 있다. 흡인 구멍(9, 10)과 부압발생원(P)과의 사이에는 절환 수단으로서 기능하는 전자 절환 밸브(V)가 설치되어 있다. 전자 절환 밸브(V)는 흡인 구멍(9, 10)의 압력을 부압발생원(P)과, 대기와 필요에 따라서 대기보다 높은 압력으로 절환할 수 있는 기능을 가지고 있다.
도 2에 도시한 바와 같이, 워크 이재부(6)에 있어서, 제 1 반송 테이블(2)의 회전 중심(C1)과 흡인 포트(7)를 묶는 제 1 반송 테이블(2)의 중심선을 Φ1으로 한다. 또한, 제 2 반송 테이블(3)의 회전 중심(C2)과 흡인 포트(8)를 묶는 제 2 반송 테이블(3)의 중심선을 Φ2로 한다. 여기서 제 2 반송 테이블(3)의 중심선 Φ2는 제 1 반송 테이블(2)의 중심선 Φ1에 대하여, 제 2 반송 테이블(3)의 회전 후측에, 도 2중에 y로 도시한 거리분이 오프셋(offset) 되어 있다. 이들 중심선 Φ1, Φ2은 서로 평행하다.
따라서, 워크 이재부(6)에 있어서, 워크 홀더(4, 5)는 서로 오프셋량 y만큼 위치가 어긋나 있고, 대향은 하고 있지 않다. 즉, 워크 홀더(4, 5)와는 워크 이재부(6)에 있어서 점대칭의 위치 관계로 되어 있다.
오프셋량 y는 적어도, 도 3에 도시한 치수 Z와 동등한 것이 바람직하다. 여기서 말하는 치수 Z는 수선 H에 대해여 경사각 θ로 경사하고 있는 워크(W) 장변의 각 코너부에서 수평 방향으로 늘린 4개의 선분(L1, L2, L3, L4)들 중에서, 가장 내측에 위치한 2개의 선분(Ll, L2) 간의 거리이다.
도 2에 도시한 바와 같이, 워크 이재부(6)에 있어서의 제 1 반송 테이블(2)과 제 2의 반송 테이블(3)의 간격(X)은 워크(W)의 단변(폭 방향의 치수(h))의 여현[hcosθ]과 동등하거나 또는 약간 작은 것이 바람직하다.
워크 이재부(6)에 있어서 제 1 및 제 2의 반송 테이블(3)의 간격(X)은 워크 홀더(4, 5)의 깊이에도 좌우된다. 요컨데, 워크 홀더(4, 또는 5)의 한쪽에 워크(W)가 보호 유지되고 있을 때, 상기 워크(W)가 다른 쪽의 워크 홀더(5, 또는 4)에 간섭하지 않으면 된다.
제 1 및 제 2의 반송 테이블(2, 3)은 워크 이재부(6)에 있어서, 각각의 워크 홀더(4, 5)의 이동 방향이 같게 되어 있다. 즉, 회전 중심 C1을 중심으로 하여 회전하는 제 1 반송 테이블(2)의 회전 방향(R1)과 회전 중심 C2를 중심으로 하여 회전하는 제 2 반송 테이블(3)의 회전 방향(R2)은 서로 역이다. 예를 들면, 제 1 반송 테이블(2)의 워크 홀더(4)의 단변(4a)이 회전 방향(Rl)에 관하여 전측이 되고, 제 2 반송 테이블(3)의 워크 홀더(5)의 단변(5a)이 회전 방향(R2)에 관하여 후측이 된다.
제 1 반송 테이블(2)의 외주연부의 일부에는 제 1 반송 테이블(2)의 접선 방향으로 워크 분리 공급 수단(11)이 마련되어 있다. 상기 워크 분리 공급 수단(11)보다 제 1 반송 테이블(2)의 회전 방향 전측에, 워크(W)의 외관 검사 또는 전기적 특성의 측정 등을 행하는 제 1 처리부(12)가 마련되어 있다. 도 3에 도시한 바와 같이 제 1 처리부(12)에는 워크(W)의 2면(또는 4면)의 외관 검사를 행하는 복수대의 카메라(13)가 배치되어 있다.
제 2의 반송 테이블(3)의 외주연부의 일부에, 제 2 처리부(14)가 마련되어 있다. 제 2 처리부(14)보다 제 2 반송 테이블(3)의 회전 방향 전측에, 워크(W)를 반출하기 위한 워크 반출부(15)가 마련되어 있다. 제 2 처리부(14)에도, 제 1 처리부(12)와 같이, 워크(W)의 다른 4면(또는 2면)의 외관 검사를 행하는 복수대의 카메라가 배치되어 있다. 제 2 처리부(14)에서는 제 1 처리부(12)에서 행할 수 없었던 워크(W)의 외관 검사 등의 처리를 행한다.
다음에, 워크 이재 반송 장치의 작용에 대하여 설명한다.
제 1 및 제 2의 반송 테이블(2, 3)은 각각, 도 1에 화살표(R1, R2)로 도시한 방향으로 연속 회전하고 있다. 각 워크 홀더(4, 5)의 흡인 포트(7, 8)에 있어서는 흡인 구멍(9, 10)을 개재하여 부압발생원(P)이 발생하는 부압에 의하여, 대기가 흡입되고 있다. 또한, 워크 반출부(15) 등과 같이 워크 홀더(4, 5)에 워크(W)가 존재하지 않게 되는 개소에서는 도시하지 않은 절환 기구에 의하여, 흡인 포트(7, 8)에서의 대기압의 흡인은 행하여지지 않도록 하고 있다.
워크 분리 공급 수단(11)으로부터 제 1 반송 테이블(2)의 워크 홀더(4)에 워크(W)가 공급되면, 상기 워크(W)는 워크 홀더(4)의 흡인 포트(7)에 흡인된다. 여기서 워크(W)의 단변은 워크 홀더(4)의 단변(4a)에 보호 유지되고, 워크(W)의 장변은 워크 홀더(4)의 장변(4b)에 보호 유지된다.
제 1 반송 테이블(2)이 화살표(R1) 방향으로 회전하는 것에 의하여, 워크(W)가 제 1 처리부(12)에 도달하면, 복수대의 카메라(13)에 의하여 외관 검사가 행하여지거나, 또는 전기적 특성의 측정 등이 행하여진다. 제 1 처리부(12)에서 불량 또는 규격외로 판정된 워크(W)는 제 1 처리부(12)에서 배출 처리된다. 제 1 처리부(12)에서 우량품으로 판정된 워크(W)만이, 제 1 반송 테이블(2)의 회전에 따라, 워크 이재부(6)에 반송된다.
이하에, 도 4a 내지 도 4c를 참조하여, 제 1 반송 테이블(2)의 워크 홀더(4)로부터 제 2 반송 테이블(3)의 워크 홀더(5)에 워크(W)가 이재되는 작용을 설명한다. 도 4a는 워크(W)가 워크 이재부(6)에 도달하기 직전의 상태를 도시하고 있다. 이 상태에서는 흡인 구멍(9)이 부압발생원(P, 도 3에 도시한다)과 연통하고 있기 때문에, 흡인 포트(7)의 근방이 부압으로 유지되고 있다. 상기 워크(W)가 워크 홀더(4)에 보호 유지되어 있다.
다음에 절환 밸브(V)가 완전히 교체되는 것에 의하여, 워크 이재부(6)에 있어서, 워크 홀더(4)의 흡인 구멍(9)이 부압발생원(P)으로부터 차단됨과 동시에, 흡인 구멍(9)이 대기에 개방된다. 이렇게 하는 것에 의하여, 흡인 포트(7)내의 부압이 급격하게 대기압에 가까워지기 때문에, 워크 홀더(4)의 워크 보호 유지력이 없어진다. 또한, 제 1 반송 테이블(2)의 회전 속도가 비교적 작은 경우, 흡인 구멍(9)을 대기 개방하는 것 만으로는 워크 보호 유지력이 지속되는 일이 있다. 그 경우에는 흡인 구멍(9)에 대기압보다 약간 높은 정압을 부여하는 것에 의하여, 워크 보호 유지력을 적극적으로 해소시켜도 좋다.
워크 홀더(4)의 워크 보호 유지력이 없어지면, 도 4b에 도시한 바와 같이, 제 1 반송 테이블(2)의 회전에 따라 워크(W)에 작용하고 있던 원심력(F)에 의해, 워크(W)가 워크 홀더(4)로부터 이탈한다. 여기서, 워크(W)의 질량을 m, 제 1 반송 테이블(2)의 중심으로부터 워크(W)까지의 거리를 r, 제 1 반송 테이블(2)의 회전 각속도를 ω로 하면, 원심력(F)은 F=mrω2으로 표시된다.
제 1 반송 테이블(2)의 워크 홀더(4)로부터 이탈한 워크(W)는 도 4c에 도시한 바와 같이, 제 1 반송 테이블(2)과 동기하여 회전하는 제 2 반송 테이블(3)의 워크 홀더(5)내로 이재된다.
제 1 반송 테이블(2)은 화살표(R1) 방향으로 연속 회전하고 있기 때문에, 워크(W)에 작용하고 있던 원심력(F) 이외에, 워크(W)에는 도 4b에 있어서 반시계 방향의 모멘트(Wm)가 작용하고 있다. 이것은 워크(W)가 제 1 반송 테이블(2)의 주위를 공전함과 함께 자전하고 있기 때문이다. 이 때문에 워크(W)는 제 1 반송 테이블(2)과 이격되었을 때에, 반시계 방향(모멘트(Wm)의 방향)으로 회전하면서, 제 2 반송 테이블(3)의 워크 홀더(5)내로 갈아탄다.
이 때, 제 2 반송 테이블(3)의 L자형 워크 홀더(5)의 각부에 마련되어 있는 흡인 포트(8) 부근은 흡인 구멍(10)이 부압발생원(P)에 접속되어 있는 것에 의하여 부압화하고 있다. 이 때문에, 도 4c에 도시한 바와 같이, 워크 홀더(5) 측에 이동한 워크(W)는 워크 홀더(5)에 흡인 보호 유지되는 됨과 함께, 화살표(R2) 방향으로 반송된다. 게다가 상기 워크(W)는 그 각부(Wa)가 도 4a, 도 4b, 도 4c에 도시한 바와 같이 흡인 포트(8)를 향하여 뛰어드는 형태로, 워크 홀더(5)에 이재되기 때문에 이재가 확실하게 행하여진다.
제 2 반송 테이블(3)의 워크 홀더(5)에 이재된 워크(W)는 제 2 반송 테이블(3)의 연속 회전에 따라 제 2 처리부(14)에 반송된다. 제 2 처리부(14)에서는 제 1의 처리부(12)에 있어서 검사되지 않았던 외관 검사, 예를 들면, 상기 워크 홀더(4)의 2면(4A, 4B)에서 숨겨져 있던 워크(W)의 표면의 외관 검사를 행한다. 제 2 처리부(14)에서 불량 또는 규격외로 판정된 워크(W)는 제 2 처리부(14)에서 배출 처리되고, 우량품으로 판정된 워크(W)만이 반출부(15)로 반송된다.
반출부(15)에 있어서, 워크 홀더(5)의 흡인 구멍(10)이 부압발생원(P)으로부터 차단됨과 함께, 흡인 구멍(10)이 대기에 개방된다. 이렇게 하는 것에 의하여, 흡인 포트(8)가 급격하게 대기압화하기 때문에, 워크 홀더(5)의 워크 보호 유지력이 없어진다. 필요하다면, 흡인 구멍(10)내에 대기압보다 약간 높은 정압을 부가하여도 무관하다. 워크 홀더(5)의 워크 보호 유지력이 없어지는 것에 의하여, 워크(W)는 워크 홀더(5)로부터 이탈하여, 다음 공정으로 반출된다.
이와 같이, 제 1 및 제 2의 반송 테이블(2, 3)이 연속 회전하는 동안에, 제 1 반송 테이블(2)의 워크 홀더(4)에 보호 유지되고 있는 워크(W)가 워크 이재부(6)에 도달한다. 워크(W)가 워크 이재부(6)에 도달하면, 상기 워크(W)는 자동적으로 제 2의 반송 테이블(3)의 워크 홀더(5)에 이재되고, 제 2의 반송 테이블(3)에 의하여 반송된다. 이렇게 하여 워크(W)가 반송되는 동안에, 개개의 워크(W)의 외관 검사 또는 전기적 특성의 측정을 행한다.
게다가 제 1 반송 테이블(2)이 연속 회전하고 있기 때문에, 워크 이재부(6)에 있어서, 워크(W)에는 원심력(F) 외에, 상기 모멘트(Wm)가 작용한다. 이 때문에, 워크(W)의 각부(Wa)는 제 1 반송 테이블(2)과 이격됨과 동시에, 모멘트(Wm)의 방향으로 회전하면서, 제 2 반송 테이블(3)의 흡인 포트(8) 방향으로 뛰어든다. 이 때문에, 제 1 반송 테이블(2)로부터 제 2 반송 테이블(3)에의 워크(W)의 이재가 확실하게 행하여진다.
상기 실시 형태에서는 워크(W)의 일례로서 평면 형상이 직사각형인 전자 부품의 칩에 대하여 설명하였다. 그러나, 워크는 전자 부품에 한정되지 않고, 수지 또는 금속 등으로 이루어지는 부품으로, 그 평면 형상이 정사각형이라도 좋다. 또한, 워크를 부압에 의하여 워크 홀더에 흡착하는 대신에, 자력 또는 기계적인 클램프력에 의하여 워크를 워크 홀더로 유지하여도 무관하다.
따라서 본 발명에 의하면, 워크를 확실하게 이재 반송할 수 있고, 처리 속도를 높일 수 있는 워크 이재 반송 장치 및 워크 이재 반송 방법을 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시 형태를 도시한 워크 이재(移載) 반송 장치의 평면도이고,
도 2는 도 1중의 A부를 확대해 도시한 워크 이재 반송 장치의 일부의 평면도이고,
도 3은 도 1에 도시된 워크 이재 반송 장치의 제 1 반송테이블의 워크 홀더에 워크가 보호 유지된 상태의 평면도이고,　
도 4a 내지 도 4c는 각각, 도 1에 도시된 워크 이재 반송 장치에 의해 워크가 이재되는 모습을 도시한 상기 장치의 일부의 평면도이고,
도 5는 종래의 이재 반송 장치의 개략을 도시한 사시도이고,
도 6은 종래의 다른 이재 반송 장치를 도시한 평면도이고,
도 7a 내지 도 7c는 각각, 도 6에 도시된 이재 반송 장치의 동작을 도시한 평면도이다.

Claims (15)

  1. 주연부에 워크(W)를 보호 유지하기 위한 복수의 워크 홀더(4, 5)를 가지고 또한, 서로 거의 동일 평면상에 서로 이웃하게 배치되는 제 1 및 제 2의 반송 테이블(2, 3)을 포함하고, 제 1 반송 테이블(2)로부터 제 2 반송 테이블(3)로 워크(W)를 이재하고, 또한, 상기 반송 테이블(3)에 의하여 상기 워크(W)를 반송하는 워크 이재 반송 장치(1)이며,
    상기 제 1 및 제 2 반송 테이블(2, 3) 사이에 위치하는 워크 이재부(6)를 가지고,
    상기 제 1 및 제 2 반송 테이블(2, 3)은 서로 동기하여 연속 회전하고,
    상기 워크 이재부(6)에 있어서는, 상기 제 1 반송 테이블(2)의 워크 홀더(4)에 보호 유지되고 있는 워크(W)를 상기 제 2 반송 테이블(3)의 워크 홀더(5)에 이재한 후, 상기 워크(W)를 상기 제 2 반송 테이블(3)에 의하여 반송하는 것을 특징으로 하는 워크 이재 반송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2의 반송 테이블(2, 3)은 워크(W)의 반송 방향에 관하여 상류 측에 위치하는 제 1 반송 테이블(2)의 워크 홀더(4)로부터 하류 측에 위치하는 제 2 반송 테이블(3)의 워크 홀더(5)에 이재하는 것을 특징으로 하는 워크 이재 반송 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 반송 테이블(2, 3)은 상기 워크 이재부(6)에 있어서 이들 반송 테이블(2, 3)의 각 워크 홀더(4, 5)가 동일 방향으로 이동하도록, 각각의 회전 중심(C1, C2)을 중심으로 하여 서로 역방향(Rl, R2)으로 회전하는 것을 특징으로 하는 워크 이재 반송 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 반송 테이블(2)의 워크 홀더(4)는 상기 반송 테이블(2)의 회전 궤적의 회전 방향 전측의 접선(T1)에 대하여 0°보다 크고, 45°보다 작은 각도(θ)로 상기 반송 테이블(2)의 내측에 경사진 자세로 워크(W)를 보호 유지 가능한 면(4a, 4b)을 가지는 L자형 오목부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 워크 이재 반송 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 반송 테이블(3)의 워크 홀더(5)는 상기 반송 테이블(3)의 회전 궤적의 회전 방향 후측의 접선(T2)에 대하여 0°보다 크고, 45°보다 작은 각도(θ)로 상기 반송 테이블(3)의 내측에 경사진 자세로 워크(W)를 보호 유지 가능한 면(5a, 5b)을 가지는 L자형 오목부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 워크 이재 반송 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2의 반송 테이블(2, 3)의 각각의 워크 홀더(4, 5)는 상기 워크 이재부(6)에 있어서 점대칭의 위치 관계에 있는 것을 특징으로 하는 워크 이재 반송 장치.
  7. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 1 반송 테이블(2)의 워크 홀더(4)의 L자형 오목부의 각부(4c)에, 부압발생원(P)에 접속되는 흡인 포트(7)가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 워크 이재 반송 장치.
  8. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 2 반송 테이블(3)의 워크 홀더(5)의 L자형 오목부의 각부(5c)에 부압발생원(P)에 접속되는 흡인 포트(8)가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 워크 이재 반송 장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 반송 테이블(2)의 워크 홀더(4)는 상기 반송 테이블(2)의 회전 궤적의 회전 방향 전측(前側)의 접선(Tl)에 대하여 O°보다 크고 45°보다 작은 각도(θ)로 상기 반송 테이블(2)의 내측에 경사진 자세로 워크(W)를 보호 유지 가능한 면(4a, 4b)을 가지는 L자형 오목부로 이루어지고,
    상기 제 2 반송 테이블(3)의 워크 홀더(5)는 상기 반송 테이블(3)의 회전 궤적의 회전 방향 후측(後側)의 접선(T2)에 대하여 O°보다 크고, 45°보다 작은 각도(θ)로 상기 반송 테이블(3)의 내측에 경사진 자세로 워크(W)를 보호 유지 가능한 면(5a, 5b)을 가지는 L자형 오목부로 이루어지고,
    상기 워크 이재부(6)에 있어서,
    상기 제 1 반송 테이블(2)의 회전 중심(C1)과 상기 반송 테이블(2)의 워크 홀더(4)의 상기 L자형 오목부의 각부(4c)를 묶는 선(Φ1)과, 상기 제 2 반송 테이블(3)의 회전 중심(C2)과 상기 반송 테이블(3)의 워크 홀더(5)의 상기 L자형 오목부의 각부(5c)를 묶는 선(Φ2)이 서로 평행하고, 또한 서로 이간(離間)하고 있는 것을 특징으로 하는 워크 이재 반송 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2의 반송 테이블(2, 3)의 각 워크 홀더(4, 5)에, 각각 흡인 포트(7, 8)가 형성되고, 이들 흡인 포트(7, 8)에, 압력을 절환시키는 것이 가능한 절환 수단(V)을 개재하여, 대기압보다 낮은 부압을 발생하는 발생 수단(P)이 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 워크 이재 반송 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 절환 수단(V)은 대기압보다 낮은 부압과 대기압을 절환시키는 절환 밸브인 것을 특징으로 하는 워크 이재 반송 장치.
  12. 제 10 항에 있어서,
    상기 절환 수단(V)은 대기압보다 낮은 부압과, 대기압보다 높은 정압을 절환하는 절환 밸브인 것을 특징으로 하는 워크 이재 반송 장치.
  13. 회전하는 제 1 반송 테이블(2)의 주연부에 마련된 워크 홀더(4)에, 대기압보다 낮은 부압에 의하여 워크(W)를 흡착하여 반송하는 공정과,
    상기 제 1 반송 테이블(2)의 워크 홀더(4)로부터 제 2의 반송 테이블(3)의 워크 홀더(5)에 워크(W)를 이재하는 공정을 포함하는 워크 이재 반송 방법이며,
    상기 제 1 및 제 2의 반송 테이블(2, 3)의 사이에 위치하는 워크 이재부(6)에 있어서, 상기 제 1 반송 테이블(2)의 워크 홀더(4)의 부압을 해소시키는 것에 의하여, 상기 제 1 반송 테이블(2)의 워크 홀더(4)로부터 상기 워크(W)를 이탈시키는 공정과,
    상기 제 1 반송 테이블(2)으로부터 이탈한 상기 워크(W)를 상기 제 2 반송 테이블(3)의 워크 홀더(5)에 대기압보다 낮은 부압에 의하여 흡착하는 것에 의하여, 상기 워크(W)를 상기 제 2 반송 테이블(3)로 이재하고, 상기 반송 테이블(3)에 의하여 상기 워크(W)를 반송하는 공정을 가지는 것을 특징으로 하는 워크의 이재 반송 방법.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 제 1 반송 테이블(2)의 워크 홀더(4)의 상기 부압을 해소시키는 것에 의하여 상기 워크 홀더(4)로부터 이탈한 상기 워크(W)를 상기 제 1 반송 테이블(2)의 회전에 따른 원심력에 의하여, 상기 제 2 반송 테이블(3)의 워크 홀더(5)로 이재하는 것을 특징으로 하는 워크의 이재 반송 방법.
  15. 제 13 항에 있어서,
    상기 제 1 반송 테이블(2)의 워크 홀더(4)로부터 상기 워크(W)를 이탈시킬 때에, 상기 워크 홀더(4)에 대기압보다 높은 정압을 부여하는 것을 특징으로 하는 워크의 이재 반송 방법.
KR1020040000241A 2004-01-05 2004-01-05 워크 이재 반송 장치 및 워크 이재 반송 방법 KR20050071862A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040000241A KR20050071862A (ko) 2004-01-05 2004-01-05 워크 이재 반송 장치 및 워크 이재 반송 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040000241A KR20050071862A (ko) 2004-01-05 2004-01-05 워크 이재 반송 장치 및 워크 이재 반송 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20050071862A true KR20050071862A (ko) 2005-07-08

Family

ID=37261500

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020040000241A KR20050071862A (ko) 2004-01-05 2004-01-05 워크 이재 반송 장치 및 워크 이재 반송 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20050071862A (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210036771A (ko) * 2019-09-26 2021-04-05 가부시키가이샤 도쿄 웰드 워크 반송 장치 및 워크 반송 방법

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210036771A (ko) * 2019-09-26 2021-04-05 가부시키가이샤 도쿄 웰드 워크 반송 장치 및 워크 반송 방법

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI682487B (zh) 部件中心化
CN1968876B (zh) 片式部件搬送装置以及外观检查装置
JP3062517B2 (ja) 物品整列装置
JP4241439B2 (ja) チップ型電子部品の取扱い装置
TWI504550B (zh) Element reversing unit and conveying device and conveying method
TW201628949A (zh) 排列裝置及排列方法
JP2010070271A (ja) 出荷トレイ装填装置
JPH11295236A (ja) チップの６面検査装置
JP5183979B2 (ja) ワークの検査装置
JP2003341832A (ja) チップ分離搬送装置
JP4079179B2 (ja) ワーク搬送装置及び電子部品搬送装置
JP2009168570A (ja) 部品の外観検査装置
KR20050071862A (ko) 워크 이재 반송 장치 및 워크 이재 반송 방법
US6527101B1 (en) Attitude changing device for electronic chips
JP2007281095A (ja) ワーク搬送装置
KR102107051B1 (ko) 플립퍼 장치
US6948376B2 (en) Work transferring and transporting apparatus and work transferring and transporting method
JP2004010301A (ja) ワーク搬送装置およびワーク搬送方法
JP6751636B2 (ja) アライメント装置、同アライメント装置を備えた半導体ウエハ処理装置及びアライメント方法
JPH0837225A (ja) 半導体製造用治具および前記治具を使用した検査装置
JP2008114342A (ja) 基板加工機のワークローダ
JP2000150209A (ja) チップの表裏整列搬送装置
JP2006306569A (ja) ワーク搬送装置
JP2000085945A (ja) チップ部品の自動分離供給装置
JP3258191B2 (ja) 電子部品の極性整列装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application