KR20210036771A - 워크 반송 장치 및 워크 반송 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 워크 피더로부터의 워크를 이재(移載) 테이블 상에 정확하며 또한 신속하게 이송하는 것을 과제로 한다.
이러한 과제를 해결하기 위한 수단으로서, 워크 반송 장치(10)는, 회전 테이블(1)과, 회전 테이블(1)과 동기해서 회전하는 흡착 노즐 장치(20)를 구비하고 있다. 흡착 노즐 장치(20)는 장치 본체(21)와, 복수의 흡착 노즐(22)을 갖는다. 흡착 노즐(22)은 노즐 본체(22a)와, 노즐 본체(22a)에 대해서 상하 방향으로 이동 가능한 노즐(25)을 포함한다.

Description

워크 반송 장치 및 워크 반송 방법{WORK TRANSFER DEVICE AND WORK TRANSFER METHOD}
본 개시는 장치 부품을 반송하는 워크 반송 장치 및 워크 반송 방법에 관한 것이다.
종래부터 장치 부품(이하, 워크라고도 한다)을 반송하고, 다음 공정에 있어서 장치 부품에 대해서 검사를 행하기 위한 워크 반송 방법이 알려져 있다.
이 경우, 우선 워크는, 워크 피더에 의해 반송되고, 워크 피더에 의해 반송된 워크는 흡착 노즐 등에 의해 이재(移載) 테이블 상에 순차 이재된다. 그 후, 이재 테이블 상의 워크에 대해서, 다음 공정에 있어서 성능 검사 또는 외관 검사가 실시된다.
일본 특개2008-260594호 공보
그러나, 종래부터, 워크 피더에 의해서 반송되는 워크를, 이재 테이블 상에 정밀도 좋게 위치 결정하면서, 신속하게 이재하는 워크 반송 장치 및 워크 반송 방법은 아직 개발되어 있지 않은 것이 실정이다.
본 개시는 이와 같은 점을 고려해서 이루어진 것이며, 워크 피더에 의해 반송되는 워크를 정밀도 좋게 위치 결정하면서, 신속하게 이재하는 워크 반송 장치 및 워크 반송 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 개시는, 워크가 수납되는 복수의 포켓이 외주연(外周緣)에 형성된 회전 가능한 회전 테이블과, 상기 회전 테이블 상에 설치되고, 상기 회전 테이블과 동기해서 회전하는 흡착 노즐 장치를 구비하고, 상기 흡착 노즐 장치는, 회전 가능한 장치 본체와, 이 장치 본체에 유지됨과 함께 각 포켓에 대응하는 위치에 설치되고, 상기 워크를 흡착하는 복수의 흡착 노즐을 갖고, 각 흡착 노즐은 상하 방향으로 이동 가능하게 되고, 상기 포켓 내의 상기 워크를 상기 포켓으로부터 아래쪽으로 강하시키는, 워크 반송 장치이다.
본 개시는, 상기 회전 테이블의 아래쪽에, 상기 포켓 내의 상기 워크를 수납하는 복수의 워크 수납부를 갖는 이재 테이블, 점착층을 갖는 점착 플레이트 또는 실장 기판이 설치되어 있는, 워크 반송 장치이다.
본 개시는, 상기 회전 테이블에, 상기 워크를 상기 포켓 내에 이재하는 워크 피더가 접속되어 있는, 워크 반송 장치이다.
본 개시는, 상기 포켓은 상기 회전 테이블의 외주연에 상하 방향으로 관통해서 설치되어 있는, 워크 반송 장치이다.
본 개시는, 상기 이재 테이블, 상기 점착 플레이트 또는 상기 실장 기판은 수평면 상에 있어서, X-Y 방향으로 이동 가능하게 되는, 워크 반송 장치이다.
본 개시는, 상기 회전 테이블의 상기 포켓의 상연(上緣) 단부에는, 상기 포켓 안쪽으로 돌출해서, 상기 흡착 노즐과 함께 상기 포켓 내를 밀폐하는 돌출 플레이트가 설치되어 있는, 워크 반송 장치이다.
본 개시는, 상기 워크 반송 장치를 이용한 워크 반송 방법에 있어서, 상기 회전 테이블을 정지시키고, 상기 워크를 상기 포켓 내에 수납하는 공정과, 상기 포켓 내의 상기 워크를 상기 포켓에 대응하는 상기 흡착 노즐에 의해 흡착하는 공정과, 상기 포켓 내의 상기 워크를 상기 흡착 노즐에 의해 흡착시킨 상태에서 상기 회전 테이블과 상기 흡착 노즐 장치를 회전시키는 공정과, 상기 회전 테이블과 상기 흡착 노즐의 회전을 정지시킨 후, 상기 흡착 노즐을 강하시켜서 상기 흡착 노즐에 흡착된 상기 워크를 상기 포켓으로부터 아래쪽으로 강하시키는 공정을 구비한 워크 반송 방법이다.
이상과 같이 본 개시에 의하면, 워크를 정밀도 좋게 위치 결정하면서 신속하게 이재할 수 있다.
도 1은 본 개시에 의한 워크 반송 장치를 나타내는 개략 사시도.
도 2는 회전 테이블을 나타내는 평면도.
도 3은 편의상 수지제 플레이트를 제거한 회전 테이블을 나타내는 평면도.
도 4는 회전 테이블을 나타내는 측단면도.
도 5는 워크 피더로부터 회전 테이블로 반송되는 워크를 나타내는 도면.
도 6a는 회전 테이블의 포켓 내의 워크의 거동을 나타내는 도면.
도 6b는 회전 테이블의 포켓 내의 워크의 거동을 나타내는 도면.
도 6c는 회전 테이블의 포켓 내의 워크의 거동을 나타내는 도면.
도 7은 회전 테이블의 포켓 내의 워크를 이재 테이블에 이재하는 상태를 나타내는 도면.
도 8은 이재 테이블을 나타내는 평면도.
도 9는 본 개시의 변형예를 나타내는 도면.
<실시형태>
이하, 도면을 참조해서 본 개시의 실시형태에 대하여 설명한다. 도 1 내지 도 8은 본 개시의 실시형태를 나타내는 도면이다.
여기에서 도 1은 본 개시에 의한 워크 반송 장치를 나타내는 개략 사시도, 도 2는 회전 테이블을 나타내는 평면도, 도 3은 편의상 수지제 플레이트를 제거한 회전 테이블을 나타내는 평면도, 도 4는 회전 테이블을 나타내는 측단면도, 도 5는 워크 피더로부터 회전 테이블로 반송되는 워크를 나타내는 도면, 도 6a 내지 도 6c는 회전 테이블의 포켓 내의 워크의 거동을 나타내는 도면, 도 7은 회전 테이블의 포켓 내의 워크를 이재 테이블에 이재하는 상태를 나타내는 도면, 도 8은 이재 테이블을 나타내는 평면도이다.
도 1 내지 도 8에 나타내는 바와 같이, 워크 반송 장치(10)는 장치 부품 등의 워크(W)를 반송함과 함께 정밀도 좋게 위치 결정해서 이재하는 것이다.
이와 같은 워크 반송 장치(10)는, 워크(W)가 수납되는 복수의 포켓(2)이 외주연에 설치된 회전 가능한 원 형상 회전 테이블(1)과, 회전 테이블(1) 상에 설치되고, 회전 테이블(1)과 동기해서 회전하는 흡착 노즐 장치(20)를 구비하고 있다.
또한 회전 테이블(1)의 일측에는, 워크(W)를 반송함과 함께, 이 워크(W)를 회전 테이블(1)의 포켓(2) 내에 이재하는 직선 형상의 리니어 피더로 이루어지는 워크 피더(11)가 접속되어 있다. 그리고 이 워크 피더(11)는 워크 피더 지지 기구(11a)에 의해 지지되어 있다. 또한 회전 테이블(1)의 아래쪽에는, 회전 테이블(1)의 포켓(2) 내에 수납된 워크(W)가 이재되는 복수의 워크 수납부(31)를 갖는 이재 테이블(30)이 설치되어 있다.
이 중 회전 테이블(1)은, 구동축(38)을 개재해서, 회전 테이블 위쪽의 구동부(7)에 의해 회전 가능하게 지지되고, 이 구동축(38)은 고정측의 구동 박스(7A) 내에 수납되어 있다. 또한 회전 테이블(1)에는 워크(W)를 수납하는 4개의 포켓(2)이, 회전 테이블(1)의 외주연에 90°씩 이간해서 설치되어 있다. 또한 각 포켓(2)은 회전 테이블(1)의 외주연에, 상하 방향으로 회전 테이블(1)을 관통해서 설치되어 있다.
또한 흡착 노즐 장치(20)는 구동부(7)로부터 아래쪽으로 연장되는 구동축(38)에 연결되고, 회전 테이블(1)과 동기해서 회전하는 장치 본체(21)와, 이 장치 본체(21)에 유지된 4개의 흡착 노즐(22)을 갖는다. 이 중 장치 본체(21)는 전술과 같이, 회전 테이블(1)의 중앙부에 부착된 구동축(38)에 연결되고, 이 구동축(38)은, 위쪽으로 연장되어 구동부(7)에 도달하여 있다.
또한 장치 본체(21)는, 구동축(38)에 연결됨과 함께, 위쪽으로부터 보았을 때 열십자의 형상을 구성하는 4개의 레버(21a)를 갖고, 각 레버(21a)의 선단에 흡착 노즐(22)이 설치되어 있다.
각 흡착 노즐(22)은 노즐 본체(22a)와, 이 노즐 본체(22a)의 하단에 설치된 노즐(25)을 갖고, 각 노즐(25)은 노즐 본체(22a)에 대해서 상하 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 또한 각 흡착 노즐(22)의 노즐(25)은, 흡착 작동 중 그 하단에 있어서 워크(W)를 흡착할 수 있고, 흡착 작동을 정지했을 경우, 노즐(25)은 워크(W)를 흡착할 수 없다.
그런데 각 흡착 노즐(22)은 전술과 같이 장치 본체(21)의 4개의 레버(21a)의 선단에 설치되고, 이것에 의해 합계 4개의 흡착 노즐(22)이 장치 본체(21)에 설치되어 있다. 그리고 각 흡착 노즐(22)은, 회전 테이블(1)의 위쪽에, 각 흡착 노즐(22)의 노즐(25)이 회전 테이블(1)의 포켓(2)에 대응하는 위치에 오도록 배치되어 있다.
또한 회전 테이블(1)은 포켓(2)의 배치 피치(90° 피치)마다 단속적(斷續的)으로 회전한다. 또한 회전 테이블(1)의 상면에는, 수지제 플레이트(5)가 설치되고, 이 수지제 플레이트(5)에는 포켓(2)에 대응하는 개구(5a)가 설치되어 있다. 수지제 플레이트(5)의 개구(5a)는, 평면으로부터 보았을 때 직사각형 형상을 이루고, 회전 테이블(1)의 포켓(2)도 평면으로부터 보았을 때 직사각형 형상을 이룬다. 그리고 수지제 플레이트(5)의 개구(5a)의 평면 형상은, 포켓(2)의 평면 직사각형 형상보다도 작게 되어 있다. 이 때문에 수지제 플레이트(5)는 포켓(2)의 상단 연부(緣部)로부터 포켓(2)의 안쪽을 향해서 3변으로부터 돌출한다(도 2 및 도 3 참조). 이 경우, 도 2에 나타내는 바와 같이, 수지제 플레이트(5)의 개구(5a) 및 포켓(2)은, 평면으로부터 보았을 때 회전 테이블(1)의 외주연측에 개구하고 있다.
이와 같이 수지제 플레이트(5)가 포켓(2)의 상단 연부로부터 포켓(2)의 안쪽으로 돌출하기 때문에, 수지제 플레이트(5)는 포켓(2)의 상단 연부로부터 포켓(2)의 안쪽으로 돌출하는 돌출 플레이트로서 기능한다.
이 경우, 포켓(2)의 상단 연부로부터 포켓(2)의 안쪽으로 돌출하는 수지제 플레이트(5)는, 포켓(2)의 상단 연부를 흡착 노즐(22)의 노즐과 함께 밀폐할 수 있고, 이것에 의해 포켓(2) 내의 밀폐도를 향상시킬 수 있다.
또, 상기 본 실시형태에 있어서, 회전 테이블(1) 상에 수지제 플레이트(5)를 설치한 예를 나타냈지만, 포켓(2) 내의 밀폐도가 확보되는 경우는, 이 수지제 플레이트(5)는 반드시 설치할 필요는 없다.
다음으로 회전 테이블(1)과 워크 피더(11) 사이의 접속부의 구조에 대하여, 도 5 내지 도 7에 의해 기술한다. 도 5 내지 도 7에 나타내는 바와 같이, 회전 테이블(1)의 포켓(2) 내에는, 그 반경 방향 안쪽에 워크(W)를 흡착 작용에 의해 포켓(2) 내에 끌어들이는 흡착부(8)가 설치되어 있다.
이 경우, 포켓(2) 내의 흡착부(8)는, 포켓(2)의 내측 연부의 코너부에 설치되어 있다(도 2 및 도 3 참조). 또한 흡착부(8)는 후술하는 로더 베이스(13) 내에 도입된 흡착 기구(도시하지 않음)에 접속되고, 이 흡착 기구에 의해 흡착 작용을 행한다.
또한 회전 테이블(1)의 포켓(2) 내에는, 포켓(2) 내의 올바른 위치에 워크(W)가 수납되었는지의 여부를 광학적으로 검지하는 워크 검지부(9)가 설치되어 있다.
그런데, 회전 테이블(1)과 워크 피더(11) 사이의 접속부에는, 워크 피더(11)로부터 워크(W)를 회전 테이블(1)의 포켓(2)측에 원활하게 이행시키기 위하여 워크(W)를 위쪽으로부터 덮는 상측 커버(12)가 부착되어 있다.
또한 회전 테이블(1)과 워크 피더(11) 사이의 접속부에는, 워크 피더(11)로부터 회전 테이블(1)의 포켓(2)측에 이행하는 워크(W)를 아래쪽으로부터 지지하는 로더 베이스(13)가 설치되어 있다.
다음으로 도 7 및 도 8에 의해, 회전 테이블(1)의 아래쪽에 배치된 이재 테이블(30)에 대하여 기술한다. 이재 테이블(30)은, 구획벽(32)에 의해 격자 형상으로 구획된 다수의 워크 수납부(31)를 갖는다.
또한 이재 테이블(30)은 회전 테이블(1)의 아래쪽에 있어서, 수평면 상을 X-Y 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 이와 같이, 이재 테이블(30)이 수평면 상을 X-Y 방향으로 이동함에 의해, 회전 테이블(1)의 포켓(2) 내에 수납되고, 회전 테이블(1)에 의해 반송되는 워크(W)를, 흡착 노즐(22)에 의해 강하시키고, 이재 테이블(30)의 원하는 워크 수납부(31) 내에 수납할 수 있다.
다음으로 이와 같은 구성으로 이루어지는 본 실시형태의 작용에 대하여 설명한다.
우선, 도 1 및 도 6a에 나타내는 바와 같이, 장치 부품 등의 워크(W)가 워크 피더(11)로부터 회전 테이블(1) 중 워크 피더(11)측의 포켓(2) 내에 수납된다. 이 경우, 회전 테이블(1)은 회전하지 않고 정지하여 있다. 또한 워크 피더(11) 내로부터 나온 워크(W)는, 워크 피더(11)와 회전 테이블(1) 사이의 접속부에 있어서, 로더 베이스(13)에 의해 지지됨과 함께, 상측 커버(12)에 의해 위쪽으로부터 덮인다.
다음으로 제어부(35)에 의해 회전 테이블(1)의 위쪽에 설치된 흡착 노즐 장치(20) 중, 워크(W)가 수납된 포켓(2)에 대응하는 흡착 노즐(22)의 노즐(25)이 강하해서 포켓(2) 내에 진입하고, 포켓(2) 내에 약간 들어갔을 때 노즐(25)은 정지한다.
이 경우, 포켓(2)의 상단 연부 중, 회전 테이블(1)의 그 외주연측의 변을 제외한 3변에 있어서, 수지제 플레이트(5)가 포켓(2)의 안쪽을 향해서 돌출하여 있다. 이 때문에, 노즐(25)과 수지제 플레이트(5)에 의해 포켓(2)의 상단 연부가 밀폐된다.
다음으로 포켓(2) 내의 흡착부(8)가 로더 베이스(13)의 흡착 기구에 의해 작동하여, 포켓(2) 내에 워크(W)를 끌어당기도록 에어의 흐름이 발생한다. 이 경우, 전술과 같이 포켓(2)의 상단 연부가 노즐(25)과 수지제 플레이트(5)에 의해 밀폐되기 때문에, 포켓(2) 내를 효과적으로 흡인 상태로 할 수 있고, 이 포켓(2) 내의 흡인 상태를 높일 수 있다.
이와 같이, 포켓(2) 내가 흡인 상태로 된 후, 도 6b에 나타내는 바와 같이, 워크 피더(11)로부터 나온 워크(W)는 상측 커버(12)와 로더 베이스(13)에 의해 상하 방향으로부터 안내되어, 흡인 상태의 포켓(2) 내에 끌어들여진다.
다음으로, 워크(W)가 포켓(2) 내에 진입하면, 포켓(2) 내에 워크(W)가 진입한 것을 워크 검지부(9)가 검지한다. 워크 검지부(9)로부터의 신호는 제어부(35)에 보내지고, 제어부(35)는 워크 검지부(9)로부터의 신호에 의거해서 흡착 노즐(22)의 노즐(25)을 작동시켜서, 노즐(25)의 하단에 있어서 워크(W)를 흡착한다(도 6c 참조).
그 후, 도 1에 나타내는 바와 같이, 제어부(35)는 구동부(7)를 작동시켜서, 회전 테이블(1)과 흡착 노즐 장치(20)를 90°만큼 회전시킨다.
이 동안, 회전 테이블(1)의 포켓(2) 내에 수납되고 흡착 노즐(22)의 노즐(25)에 의해 흡착 유지된 워크(W)도, 회전 테이블(1)과 함께 90°만큼 회전한다.
그 후, 회전 테이블(1) 및 흡착 노즐 장치(20)는, 그 회전을 정지하고, 마찬가지로 해서 워크 피더(11)로부터 회전 테이블(1) 중 워크 피더(11)측의 포켓(2) 내에 워크(W)가 수납된다.
다음으로 회전 테이블(1)과 흡착 노즐 장치(20)가 90° 더 회전하고, 최초로 워크 피더(11)측의 포켓(2) 내에 수납된 워크(W)가, 워크 피더(11)에 대해서 180°만큼 회전한 위치에 도달한다. 그 후, 회전 테이블(1) 및 흡착 노즐 장치(20)는 그 회전을 정지한다.
이때, 워크 피더(11)에 대해서 180°만큼 회전한 위치에 온 흡착 노즐(22)의 노즐(25)이, 그 하단에 있어서 포켓(2) 내에서 워크(W)를 흡착 유지하고 있다. 다음으로 제어부(35)에 의해, 흡착 노즐(22)의 노즐(25)이 더 강하하고, 노즐(25)은 포켓(2) 내를 관통해서 더 강하한다. 노즐(25)의 하단에 흡착된 워크(W)가, 이재 테이블(30)의 워크 수납부(31) 내에 도달했을 때, 제어부(35)는 노즐(25)의 강하를 정지함과 함께, 노즐(25)의 흡착 작용을 정지한다.
이와 같이 해서 노즐(25)의 하단에 흡착된 워크(W)가 이재 테이블(30)의 워크 수납부(31) 내에 정확히 이재되고, 그 후, 제어부(35)에 의해 흡착 노즐(22)의 노즐(25)이 위쪽으로 인상된다.
이와 같이 해서 워크 피더(11)에 대해서 180°만큼 회전한 위치에 도달한 흡착 노즐(22)에 의해, 워크(W)를 이재 테이블(30)의 워크 수납부(31) 내에 순차 이재할 수 있다. 이 경우, 제어부(35)는 이재 테이블(30)을 X-Y 방향으로 수평면 상에서 이동시킬 수 있고, 이것에 의해, 흡착 노즐(22)에 의해 워크(W)를 이재 테이블(30)의 원하는 워크 수납부(31)에 순차 이재할 수 있다.
또, 회전 테이블(1)이 270° 회전한 위치에 있는 흡착 노즐(22)은, 특별히 워크(W)를 흡착하지 않고 대기 상태에 있다.
이와 같은 작용을 순차 반복함에 의해, 워크 피더(11)로부터 보내져 오는 워크(W)를, 이재 테이블(30)의 원하는 워크 수납부(31) 내에 순차 이재할 수 있다. 그 후 이재 테이블(30)은 다음 공정에 보내지고, 다음 공정에 있어서, 이재 테이블(30) 내로부터 워크(W)가 취출되고, 이 워크(W)에 대해서 성능 검사 혹은 외관 검사가 실시된다. 그 후 양품으로 판정된 워크(W)는 장치 부품으로서 사용된다.
이상과 같이 본 실시형태에 따르면, 워크 피더(11)로부터 보내져 오는 워크(W)를, 회전 테이블(1)의 포켓(2) 내에 올바르게 위치 결정하면서 흡착 노즐(22)의 노즐(25)에 의해 흡착하고, 워크 피더(11)에 대해서 180° 회전한 위치까지 확실히 반송할 수 있다. 또한, 워크 피더(11)에 대해서 180° 회전한 위치에 도달한 워크(W)에 대해서는, 흡착 노즐(22)의 노즐(25)을 강하시키는 것만으로 용이하며 또한 간단하게 이재 테이블(30) 내의 원하는 워크 수납부(31) 내에 수납할 수 있다.
이 때문에, 워크 피더(11)로부터 보내져 오는 워크(W)를 이재 테이블(30)의 원하는 워크 수납부(31) 내에 신속하며 또한 정밀도 좋게 반송할 수 있다.
<본 개시의 변형예>
다음으로 도 9에 의해, 본 개시의 변형예에 대하여 기술한다. 도 1 내지 도 8에 나타내는 실시형태에 있어서, 흡착 노즐 장치(20)에 의해, 워크(W)를 이재 테이블(30)의 워크 수납부(31) 내에 수납한 예를 나타냈지만, 이에 한하지 않으며, 도 9에 나타내는 바와 같이, 흡착 노즐 장치(20)에 의해 워크(W)를 점착 플레이트(40) 상에 이재해도 된다. 도 9에 나타내는 변형예에 있어서, 도 1 내지 도 8에 나타내는 실시형태와 동일 부분에는, 동일 부호를 부여해서 상세한 설명은 생략한다. 도 9에 있어서, 흡착 노즐 장치(20)에 의해 워크(W)가 이재되는 점착 플레이트(40)는, 그 표면에 설치된 점착층(40a)을 갖는다.
혹은, 이 점착 플레이트(40)를 설치하는 대신에, 흡착 노즐 장치(20)에 의해, 워크(W)를 실장 기판(도시하지 않음) 상에 직접 실장해도 된다.
혹은, 도 1 내지 도 8에 나타내는 실시형태 혹은 도 9에 나타내는 변형예에 있어서, 워크 피더(11)에 대해서 180° 회전한 위치에 도달한 워크(W)를, 흡착 노즐 장치(20)에 의해 이재 테이블(30)에 이재하거나(도 1 내지 도 8 참조), 혹은 점착 플레이트(40)에 이재한(도 9 참조) 예를 나타냈지만, 이에 한하지 않으며, 워크 피더(11)에 대해서 90° 회전한 위치에 도달한 워크(W)를 이재 테이블(30)의 워크 수납부(31) 내에, 혹은 점착 플레이트(40) 상에 이재해도 된다.
1 : 회전 테이블 2 : 포켓
5 : 수지제 플레이트(돌출 플레이트)
5a : 개구 8 : 흡착부
9 : 워크 검지부 10 : 워크 반송 장치
11 : 워크 피더 20 : 흡착 노즐 장치
21 : 장치 본체 22 : 흡착 노즐
25 : 노즐 30 : 이재 테이블
31 : 워크 수납부 35 : 제어부
40 : 점착 플레이트

Claims (7)

  1. 워크가 수납되는 복수의 포켓이 외주연(外周緣)에 형성된 회전 가능한 회전 테이블과,
    상기 회전 테이블 상에 설치되고, 상기 회전 테이블과 동기해서 회전하는 흡착 노즐 장치를 구비하고,
    상기 흡착 노즐 장치는, 회전 가능한 장치 본체와, 이 장치 본체에 유지됨과 함께 각 포켓에 대응하는 위치에 설치되고, 상기 워크를 흡착하는 복수의 흡착 노즐을 갖고,
    각 흡착 노즐은 상하 방향으로 이동 가능하게 되고, 상기 포켓 내의 상기 워크를 상기 포켓으로부터 아래쪽으로 강하시키는, 워크 반송 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 회전 테이블의 아래쪽에, 상기 포켓 내의 상기 워크를 수납하는 복수의 워크 수납부를 갖는 이재(移載) 테이블, 점착층을 갖는 점착 플레이트 또는 실장 기판이 설치되어 있는, 워크 반송 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 회전 테이블에, 상기 워크를 상기 포켓 내에 이재하는 워크 피더가 접속되어 있는, 워크 반송 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 포켓은 상기 회전 테이블의 외주연에 상하 방향으로 관통해서 설치되어 있는, 워크 반송 장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 이재 테이블, 상기 점착 플레이트 또는 상기 실장 기판은 수평면 상에 있어서, X-Y 방향으로 이동 가능하게 되는, 워크 반송 장치.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서.
    상기 회전 테이블의 상기 포켓의 상연(上緣) 단부에는, 상기 포켓 안쪽으로 돌출해서, 상기 흡착 노즐과 함께 상기 포켓 내를 밀폐하는 돌출 플레이트가 설치되어 있는, 워크 반송 장치.
  7. 제1항에 기재된 워크 반송 장치를 이용한 워크 반송 방법에 있어서,
    상기 회전 테이블을 정지시키고, 상기 워크를 상기 포켓 내에 수납하는 공정과,
    상기 포켓 내의 상기 워크를 상기 포켓에 대응하는 상기 흡착 노즐에 의해 흡착하는 공정과,
    상기 포켓 내의 상기 워크를 상기 흡착 노즐에 의해 흡착시킨 상태에서 상기 회전 테이블과 상기 흡착 노즐 장치를 회전시키는 공정과,
    상기 회전 테이블과 상기 흡착 노즐의 회전을 정지시킨 후, 상기 흡착 노즐을 강하시켜서 상기 흡착 노즐에 흡착된 상기 워크를 상기 포켓으로부터 아래쪽으로 강하시키는 공정을 구비한 워크 반송 방법.
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