KR20050065542A - 웨이퍼의 주 유닛 팩의 제조 방법 및 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은, 캐리어 시트와 활성물질 막으로 구성된 적층물이 소정의 길이에서 크로스컷팅되고, 캐리어 시트로부터 분리되어 2개의 포장재 웹 사이로 안내되고, 상기 포장재 웹과 함께 밀봉부로 전달되어, 상기 포장재 웹은 가방을 형성하도록 밀봉되고 상기 가방은 상기 포장재 웹으로부터 분리되는, 웨이퍼의 주 유닛 팩의 제조 방법 및 장치에 관한 것이다. 본 발명은 웨이퍼 재료가 기계적인 응력을 받지 않도록 방법과 장치를 형성하는 일을 해결한다. 그 방법은, 활성물질 막(3)으로부터 분리된 캐리어 시트(2)가 웨이퍼(21)의 소정의 길이로 전방으로 추출되도록 하고, 동시에 상기 캐리어 시트(2)로부터 분리된 활성물질 막(3)은, 기계적인 응력을 받지 않고, 그 전단이 정지 상태에 있는 포장재 웹(12) 사이로 안내되고, 수용되고, 상기 포장재 웹(12)에 의해 고정되고, 그로부터 소정의 거리에서 횡방향으로 컷팅되어 소정의 길이의 웨이퍼(21)를 형성하고, 그 다음에 웨이퍼(21)는 포장재 웹(12)과 함께 동시에 전방으로 추출되고, 밀봉부(17, 18)로 운반된다. 마지막으로 그 장치는, 분리 롤(7) 및 크로스컷팅 기구(10)의 하부에 수직방향으로 배열된, 활성물질 막(3)의 전단을 위한, 수용 및 클램핑 장치(13, 14)를 포함하는 포장재의 공급 및 추출을 위한 장치가 제공된다.
Description
본 발명은 웨이퍼(wafer), 특히 약의 복용(dosage) 단위 및 투여형으로 사용하기 위한 하나 또는 그 이상의 활성물질로 된 활성물질 막으로부터 분리된 웨이퍼의 주 유닛 팩(primary unit pack)의 제조 방법 및 장치에 관한 것이다.
태블릿, 캡슐, 드롭(drops) 또는 이와 유사한 투여형과 같은 공지의 약의 복용형 이외에 "웨이퍼"의 투여형이 있다. 이것은 전달되는 활성물질의 양에 따라 적용되는 두께 및 크기의, 소정량의 활성물질을 포함하는 활성물질 막의 작은 박판 이다. 웨이퍼는 유연하고 부드럽고 가벼우며 찢어질 수 있다. 웨이퍼의 접촉면과 활성물질의 복용량 사이에는 직접적인 상관관계가 있기 때문에, 그 크기는 계산된 가능한 가장 큰 크기와 같아야 하고 허용오차(tolerance) 범위 내에 존재하여야 한다. 복용량은 표면적에 의존하므로, 부드러운 활성물질 재료는 컷팅(cutting)되기 전에 신장(sretch)되어서는 안되는데, 이는 그렇지 않으면 활성물질의 양이 변할 수 있기 때문이다. 이러한 이유로, 웨이퍼의 제조 및 주 팩 유닛에서의 단일 웨이퍼의 포장 또는 복수의 웨이퍼의 포장은 비용이 많이 든다.
DE 198 00 682 A1 으로부터, 상부 포장재 웹(web)의 구획과 하부 포장재 웹의 구획을 포함하는, 내복(內服)용의 필름상 또는 웨이퍼상 투여형(웨이퍼)을 위한, 주 팩 유닛의 제조방법이 게재되어 있다. 정방형 또는 직사각형 웨이퍼에 적용될 때, 원칙적으로 또한 웨이퍼의 유닛 팩에 적용되는 이 방법은 다른 형상의 웨이퍼 제조방법과 다르다. 정방형 또는 직사각형 웨이퍼에 대해서, 첫 번째 단계는 냉각 또는 열 성형 없이 상부 포장재 웹과 하부 포장재 웹을 각각의 편향 샤프트(deflecting shaft)를 통하여 서로 서로의 상면상으로 운반하고, 동시에 필름상 또는 웨이퍼상의 투여형을 롤러 또는 그리퍼(gripper) 공급 시스템에 의하여 2개의 포장재 웹 사이에 운반하는 것이다. 이 공정에서 또한, 복용 단위의 원하는 폭으로, 단일 웹 또는 서로 서로 거리를 두고 평행하게 공간을 둔 복수 웹의 웹 재료 형태로, 활성물질 막을 공급하는 것이 가능하다. 그 다음에, 복용 단위는 편향 샤프트의 전방에 즉시 위치되는 크로스컷팅(crosscutting) 장치에 의해 웹 형태의 활성물질 막으로부터 개편화한다. 다음 공정 단계에서, 2개의 포장재 웹은 가열된 밀봉 기구의 도움으로 함께 밀봉되어, 단일 복용 단위가 구획부 내로 밀봉되고 밀봉된 시임(seam) 또는 밀봉된 영역에 의하여 완전히 둘러싸여진다. 다음 공정 단계에서, 천공(perforation)이 구획부 사이에 펀칭되고, 주 팩 유닛이 구획되어진다.
정방형 또는 직사각형 외의 형상을 갖는 웨이퍼에 대하여는, DE 198 00 682 A1 에 따른 주 패키지 유닛의 제조방법이 다음과 같이 형성되어있다: 첫 번째 공정 단계에서, 웹형 활성물질 막과 캐리어 시트(carrier sheet)의 적층물이 제공되고, 다음 공정 단계에서 펀칭 장치로 복용 단위를 펀칭하고 캐리어 시트는 펀칭하지 않는다. 다음으로, 부분적으로 펀칭된 적층물은 롤러 공급 또는 그리퍼 공급 시스템의 도움으로 가장자리 또는 편향 샤프트에서 진로를 변경하여, 복용 단위가 캐리어 시트로부터 분리된다. 필요하면, 이를 위해서 스트립 장치(stripping device)가 사용될 수 있다. 그 다음, 냉각 또는 열 성형 없이 포장재의 상부 웹과 포장재의 하부 웹이 각각의 편향 샤프트에 의해 서로 서로의 상면상으로 운반되고, 동시에 캐리어 시트로부터 분리된 복용 단위는 2개의 포장재 웹 사이로 운반된다. 그 다음, 2개의 포장재 웹은 가열된 밀봉 기구의 도움으로 함께 밀봉되어, 단일 복용 단위는 구획부 내로 밀봉되고 밀봉된 시임 또는 밀봉된 영역에 의해 완전히 둘러싸여진다. 다음 공정 단계에서, 천공이 구획부 사이에 펀칭되고, 주 패키징 유닛이 구획되어진다. 이 공정은 또한, 정방형 또는 직사각형의 웨이퍼의 제조 및 주 유닛 팩에서의 포장에 사용될 수 있다.
또한 각각의 공정을 실행하기 위한 장치가 상기한 DE 198 00 682 A1에 게재되어 있다. 이 장치들 중의 하나는 활성물질 막과 캐리어 시트로 구성된 적층물을 위한 공급 장치, 캐리어 시트 상의 웨이퍼를 펀칭하기 위한 활성물질 막을 위한 컷팅 또는 펀칭 장치, 캐리어 시트로부터 활성물질 막을 분리하기 위한 분리 기구, 캐리어 시트를 위한, 또한 웨이퍼와 함께 활성물질 막을 위한 추출 장치, 각각의 웨이퍼를 수용하는 2개의 포장재 웹을 위한 포장재 공급 및 포장재 추출 장치, 포장재를 위한 가열된 밀봉 기구, 밀봉된 파우치(pouch)를 분리하기 위한 컷팅 기구를 구비한다.
웨이퍼 재료는 탄력성이 있고, 그것이 상부 포장재의 웹과 하부 포장재의 웹 사이로 전송될 때 발생하는 기계적인 응력(stress)의 결과로서 형상과 크기가 변할 수 있는데, 활성물질을 복용하기 위해 웨이퍼의 면적이 결정적이기 때문에 단일 웨이퍼에서 활성물질의 양이 변하는 위험이 있다. 상기 공정에서는, 웨이퍼 재료가 포장재 웹 사이에 삽입되기 전에 각각의 경우에 기계적인 응력을 받기 때문에 필요한 활성물질 양의 일정성을 보장할 수 없다.
다음에서, 본 발명은 실시예에 의해서 설명될 것이다. 첨부 도면은 개략적인 도시이다:
도1은 웨이퍼의 주 유닛 팩의 제조장치.
도2 내지 도5는 연속적인 공정 단계에서 웨이퍼의 연관된 수용 및 클램핑 장치.
<참조부호 목록>
1 공급 코일
2 캐리어 시트
3 활성물질 막
4 적층물
5 편향 롤
6 스트립 장치
7 분리 롤
8 코일
9 가이드 통로 또는 가이드 바
10 크로스컷팅 장치
11 포장재의 공급 및 추출을 위한 장치
12 포장재 웹
13 클램핑 롤러
14 클램핑 롤러
15 공급 롤
16 추출 롤
17 횡 밀봉 기구
18 종 밀봉 기구
19 평평한 칼
20 횡 밀봉 시임
21 웨이퍼
22 유닛 팩
본 발명의 목적은 웨이퍼 재료가 기계적인 응력을 받지 않도록 제1항의 전제부와 제6항의 전제부에 따른 웨이퍼의 주 유닛 팩의 제조 방법 및 장치를 형성하는 것이다.
이 목적은 제1항의 도입부에 따른 방법과 제6항의 도입부에 따른 장치에서 상기 청구항의 각각의 특징부에 의해 실현된다. 유리한 실시예는 각각의 종속항에 제시되어 있다.
본 발명에 따른 방법은, 캐리어 시트와 활성물질 막으로 구성된 적층물이 제공되고 추출되며, 이 공정에서 캐리어 시트는 활성물질 막으로부터 분리되어 별도로 감아지는 것이다. 캐리어 시트의 전방 이동 때문에, 활성물질 막 또한 전방으로 이동한다. 활성물질 막은 기계적인 응력을 받지 않고 그 전단부가 2개의 정지한(resting) 포장재 웹 사이에 운반되고, 상기 포장재 웹에 의해 고정되며, 웨이퍼를 생산하기 위해 포장재 웹으로부터 소정의 후방의 거리에서 크로스컷팅 된다. 그 다음, 추출력이 포장재 웹에 작용하여, 포장재 웹 사이에 고정된 웨이퍼는 상기 웹과 함께 그리고 동시에 전방으로 추출되고, 밀봉부로 들어간다. 이 밀봉부에서는, 웨이퍼가 위치한 영역 외측에서 포장재 웹이 밀봉되고, 다음에 포장재 웹으로부터 분리되는 파우치 또는 가방(bag)을 형성한다.
적층물은 코팅 공정을 사용함으로써 공지된 방법으로 생산되고, 그 다음에, 감아진 스트립(strip)으로 컷팅되고; 코일의 폭은 원하는 웨이퍼의 폭 또는 웨이퍼의 수배의 상기 폭에 대응한다. 복수의 웨이퍼가 코일로부터 컷팅되면, 각각의 웨이퍼는 포장재 웹에 그것들을 삽입하기 위해 필요한 폭으로 배열되도록 펴진다. 코일은 공급 코일로 제공된다. 이 공정의 특별한 이점은 웨이퍼가 기계적인 응력을 받지 않고 운반되고 안내된다는 것이다. 공정은 캐리어 시트와 또한 그로 인해 활성물질 막이 전방으로 추출되는 각각의 길이가 웨이퍼의 원하는 길이와 일치하도록 수행되어서, 웨이퍼는 매우 정밀한 방법으로 재생될 수 있고 항상 동일하다. 그 결과 각각의 웨이퍼 또한 동일한 활성물질 복용량을 갖는다. 그 다음에, 포장재 웹이 전방으로 추출되는 동안 단일 웨이퍼는 상기 웹 사이에 전 범위에 걸쳐 고정되는데, 이 공정에서 기계적인 응력은 받지 않는다. 포장재 웹이 가방을 형성하도록 밀봉될 때, 상기 웹 사이에 고정된 웨이퍼에 손상을 줄 위험은 없다. 이 공정은 용이하게 수행된다.
더 바람직한 실시예에서, 캐리어 시트로부터 분리된 활성물질 막은, 이 공정 단계에서 정지 상태로 상호간에 거리를 두고 배열되어 있는 포장재 웹 사이에 수직 방향으로 운반된다. 그 다음에, 포장재 웹은 웨이퍼에 대향하여 놓여지고, 활성물질 막의 양면 상에서 전방으로 추출되어, 동일한 추출 속도 및 방향으로 포장재 웹 사이의 활성물질 막은 기계적인 응력을 받지 않고 함께 추출된다. 활성물질 막의 공급부에서 포장재 웹은 웨이퍼에 대향하여 포장재 웹을 가압하고 고정하는 클램핑(clamping) 장치를 통해 안내되는데; 이것은 작업 사이클(work cycle)의 마지막에 발생하고, 그 동안 활성물질 막의 전단부가 포장재 웹 사이에 위치한다. 따라서 웨이퍼와 포장재 웹 사이의 상대적인 이동은 불가능하다. 이 위치에서, 활성물질 막은 웨이퍼를 분리하기 위해 클램핑부로부터 소정의 거리에서 크로스컷팅되고, 다음 작동 단계에서 완전히 응력을 받지 않고 포장재 웹 사이로 추출되고 함께 전방으로 추출된다.
이 공정을 수행하기 위한 장치는, 알려진 방법에서, 캐리어 시트와 활성물질 막으로 형성된 적층물을 위한 공급장치; 캐리어 시트로부터 활성물질 막을 분리하기 위한 분리기구; 상기 캐리어 시트와 또한 그에 의한 활성물질 막을 위한 추출장치; 상기 활성물질 막을 위한 컷팅기구; 포장재 롤로부터 공급되고, 분리방법에 의해 분리되고, 편향되는 2개의 포장재 웹을 위한, 포장재의 공급 및 전방으로의 추출을 위한 장치; 포장재를 위한 가열된 밀봉기구; 완성된 측면 밀봉 가방을 분리하기 위한 컷팅기구를 포함한다. 본 발명에 따르면, 포장재의 공급 및 추출을 위한 장치는 활성물질 막의 전단을 위한 수용 및 클램핑 장치로 제공되는데, 이 장치는 활성물질 막의 분리를 위한 분리 기구 및 상기 활성물질 막을 위한 컷팅기구의 하방에 수직방향으로 배열되고, 공급 사이클 동안 캐리어 시트로부터 분리된 활성물질 막은 수용 및 클램핑 장치로 수직 하방으로 이동한다. 이 공정 중에 활성물질 막은 기계적인 응력을 받지 않는다.
수용 및 클램핑 장치는 바람직하게, 그 사이에서 포장재 웹이 장력을 받으며 안내되고, 수평방향 즉 활성물질 막이 전방으로 추출되는 방향에 대하여 횡방향으로, 상호간에 반대방향으로, 활성물질 막의 수용을 위한 수용위치와 활성물질 막의 클램핑을 위한 클램핑 위치 사이를 이동할 수 있는, 클램핑 롤로 형성된다. 활성물질 막을 위한 공급 깔때기(infeed funnel)를 형성하기 위해, 2쌍의 클램핑 롤이 하나가 다른 하나 위에 배열된다.
도1에 도시된 장치는, 입구측에서, 전방으로 추출되어질 캐리어 시트(2)와 활성물질 막(3)으로 구성된 적층물(4)을 공급하는 공급 롤(1); 캐리어 시트(2)로부터 활성물질 막(3)을 분리하기 위한 편향 롤(5) 및 스트립 장치(6); 캐리어 시트(2)를 감기 위한 코일(8)이 제공된다. 분리 롤(7) 하부에는, 캐리어 시트(2)로부터 분리된 활성물질 막(3)의 정확한 정렬을 위하여 배열된 가이드 통로 또는 가이드 바(9), 도시되지 않은 칼이 있는 크로스컷팅 장치(10), 하나가 다른 하나 위에 배열되어 있는 2쌍의 클램핑 롤러(13, 14)로 형성된 수용 및 클램핑 장치를 구비한, 컷팅 장치의 측면 상의, 2개의 포장재 웹(12)을 위한, 포장재의 공급 및 추출을 위한 장치(11)가 있다. 포장재 웹(12)은 공급 롤(15) 상에 배열되고 클램핑 롤러(13, 14)를 경유하여 추출 롤(16)로 안내되는데, 이에 의하여 클램핑에 의해 고정되고 전방으로 추출되며, 그 결과로써 또한 클램핑 롤러(13, 14) 상에서 장력을 받으며 놓여진다. 롤러(13, 14)와 추출 롤(16) 사이에는, 가열된 횡 밀봉 및 종 밀봉 기구(17, 18)가 배열되어 있고, 추출 방향으로 추출 롤(16) 다음에는 컷팅 장치로서 평평한 칼(19)이 있다.
웨이퍼의 주 유닛 팩을 제조하기 위해서, 코일(8)을 작동함으로써 공급 코일(1)로부터 웨이퍼의 소정의 폭을 갖는 적층물(4)이 웨이퍼의 소정의 길이로 추출된다. 이 공정에서, 활성물질 막(3)은 분리 롤(7)에 의하여 캐리어 시트(2)로부터 제거되고, 가이드 통로 또는 가이드 바(9)에 의하여 수직 하방으로 향하는데, 상기 가이트 통로 또는 가이드 바는 활성물질 막(3)을 클램핑하기 위한 어떤 클램핑 기능도 구비하지 않는다. 이 공정에서, 활성물질 막(3)의 전단부가 클램핑 롤러(13, 14) 사이로 움직이는데, 이때 클램핑 롤러는 상호 거리를 둔 수용 위치에 있고, 포장재 웹(12)은 활성물질 막의 측면 상에서 클램핑 롤러를 따라 안내되고 수용 위치에서 상기 롤러에 대항하여 장력을 받으며 놓여진다. 상기 사이클에서, 포장재 웹(12)은 생산되고 있는 측면 밀봉 가방 즉, 웨이퍼의 주 유닛 팩의 전면 또는 저면 시임을 형성하는 횡 밀봉 시임(20)이 제공된다. 이 공정 단계는 도2에 도시되어 있다. 다음 공정 단계(도3)에서, 포장재 웹(12)은 전방으로 추출된 활성물질 막(3)의 전단부에 대향하여 클램핑 롤러(13, 14)에 의해서 가압되고, 이 활성물질 막은 서로를 향해 이동된 상기 롤러(13, 14)에 의해서 포장재 웹(12) 사이에 고정된다. 소정 길이의 웨이퍼(21)는 이제 크로스컷팅 장치(10)에 의해서 활성물질 막(3)으로부터 분리된다. 그 다음, 포장재 웹(12)은 그 사이에 클램프된 웨이퍼와 함께, 추출 롤(16)의 동시 작동에 의해, 후방의 횡 밀봉 시임의 위치로, 전방으로 추출되며(도4), 웨이퍼(21)는 마찰없이 포장재 웹(12)과 동일한 속도로 이동된다. 이 위치에서 포장재 웹(12)은 2개의 종 밀봉 기구(18)에 의해 2개의 종측 상에서, 횡 밀봉 기구(17)에 의해 후방의 횡측 상에서 상호 열 밀봉된다. 결정되는 횡 밀봉 시임의 폭은 그것이 횡으로(crosswise) 분리될 수 있도록 선택되고, 금방 제조되었지만 아직 분리되지 않은 주 유닛 팩의 밀봉 시임과 다음 유닛 팩의 전면 또는 저면 시임을 형성한다. 밀봉 후에, 클램핑 롤러(13, 14)는 수용 위치로 복귀하여 개방된다. 이 공정 단계는 도5에 도시되어 있다. 다시 다음 사이클이, 상기한 바와 같이, 수용 위치에 있는 클램핑 롤러(13, 14) 사이에 활성물질 막을 삽입함으로써 시작된다. 각 사이클 후에, 상기한 방법으로 제조된 웨이퍼(21)의 주 유닛 팩(22)은 평평한 칼(19)에 의해 다음 유닛 팩으로부터 분리된다.
Claims (8)
- 캐리어 시트와 활성물질 막으로 구성된 적층물이 제공되고, 상기 활성물질 막은 소정의 길이에서 크로스컷팅되고 상기 캐리어 시트로부터 분리되어 2개의 포장재 웹 사이에 안내되고, 상기 포장재 웹과 함께 밀봉부로 운반되어, 상기 포장재 웹은 가방을 형성하도록 밀봉되고, 상기 가방은 상기 포장재 웹으로부터 분리되는 웨이퍼의 주 유닛 팩의 제조방법에 있어서,상기 활성물질 막(3)으로부터 분리된 상기 캐리어 시트(2)는 상기 웨이퍼(21)의 상기 소정의 길이로 전방으로 추출되고, 상기 캐리어 시트(2)로부터 분리된 상기 활성물질 막(3)은, 기계적인 응력을 받지 않고, 정지 상태에 있는 상기 포장재 웹(12) 사이로 그 전단이 동시에 안내되고, 상기 포장재 웹(12)에 의해 수용되고 고정되며, 상기 소정의 길이의 웨이퍼(21)를 형성하도록 거리를 두고 횡방향으로 컷팅되며, 그 다음 상기 웨이퍼(21)는 상기 포장재 웹(12)과 함께 동시에 전방으로 추출되고, 상기 밀봉부(17, 18)로 운반되어, 상기 포장재 웹(12)이 그 사이에 고정된 상기 웨이퍼(21) 영역의 외측에서 밀봉되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 주 유닛 팩의 제조방법.
- 제1항에 있어서,상기 캐리어 시트(2)로부터 분리된 상기 활성물질 막(3)이 상기 활성물질 막(3)의 양면 상에 공급되는 상기 포장재 웹(12) 사이에 수직으로 정열하여 안내되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 주 유닛 팩의 제조방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,전방으로 추출된 상기 캐리어 시트(2)로부터 상기 활성물질 막(3)의 분리는 가장자리 또는 편향 롤(5)에서 발생하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 주 유닛 팩의 제조방법.
- 제3항에 있어서,상기 캐리어 시트(2)로부터 상기 활성물질 막(3)의 분리는 상기 활성물질 막(3)과 상기 캐리어 시트(2) 사이에 배열된 스트립 장치(6)의 도움으로 수행되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 주 유닛 팩의 제조방법.
- 제1항에 있어서,포장재의 공급 및 추출을 위한 장치(11)로 상기 활성물질 막(3)을 공급하는 부분에서, 상기 포장재 웹(12)은 클램핑 장치(13, 14)를 통해 안내되고, 이것에 의해, 상기 활성물질 막(3)으로부터 상기 웨이퍼(21)를 분리하는 동안 및 그 다음 상기 포장재 웹(12)이 전방으로 이동하는 동안, 상기 포장재 웹(12)은 상기 활성물질 막(3)에 대향하여 가압되어 상기 웨이퍼(21)와 상기 포장재 웹(12) 사이의 상대적인 운동이 배제되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 주 유닛 팩의 제조방법.
- 활성물질 막과 캐리어 시트로 구성된 적층물을 위한 공급 장치; 상기 캐리어 시트로부터 상기 활성물질 막을 분리하기 위한 분리 롤; 상기 캐리어 시트와 또한 그에 의해 상기 활성물질 막을 위한 추출 장치; 상기 활성물질 막을 컷팅하기 위한 크로스컷팅 장치; 2개의 포장재 웹을 위한, 포장재의 공급 및 추출을 위한 장치; 상기 포장재를 위한 가열된 밀봉 기구; 측면 밀봉 가방을 분리하기 위한 컷팅 장치를 포함하는, 웨이퍼의 주 유닛 팩의 제조 장치에 있어서,상기 포장재의 공급 및 추출을 위한 장치(11)는 상기 활성물질 막(3)의 전단을 위한 수용 및 클램핑 장치(13, 14)가 제공되고, 상기 수용 및 클램핑 장치(13, 14)는 상기 분리 롤(7) 및 상기 크로스컷팅 장치(10)의 하부에 수직방향으로 배열되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 주 유닛 팩의 제조 장치.
- 제6항에 있어서,상기 수용 및 클램핑 장치는, 그 사이에 상기 포장재 웹(12)이 운반되는 클램핑 롤러(13, 14)로 형성되고, 상기 클램핑 롤러(13, 14)는, 상기 활성물질 막(3)을 위하여, 상기 활성물질 막(3)에 대하여 횡방향 및 상호 역방향으로 수용 위치와 클램핑 위치 사이를 이동할 수 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 주 유닛 팩의 제조 장치.
- 제8항에 있어서,2쌍의 클램핑 롤러(13, 14)는 하나가 다른 하나 위에 배열되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 주 유닛 팩의 제조 장치.
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